JP2003068800A - Jig holder - Google Patents

Jig holder

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JP2003068800A
JP2003068800A JP2001260985A JP2001260985A JP2003068800A JP 2003068800 A JP2003068800 A JP 2003068800A JP 2001260985 A JP2001260985 A JP 2001260985A JP 2001260985 A JP2001260985 A JP 2001260985A JP 2003068800 A JP2003068800 A JP 2003068800A
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JP
Japan
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lead frame
jig
holding jig
frame
lead
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Application number
JP2001260985A
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Japanese (ja)
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Atsuhiko Tanaka
敦彦 田中
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Sanken Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanken Electric Co Ltd
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Publication date
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
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    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01078Platinum [Pt]

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  • Wire Bonding (AREA)
  • Die Bonding (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a jig holder which can constantly hold a lead frame and is consisting of common components. SOLUTION: A jig 30 holding the lead frame at a prescribed position is composed of three components, a first portion 42, a second portion 43 and a third portion 44. The second portion 43 is provided with connecting convex portions 45 at both ends of it. The first portion 42 and the third portion 44 are provided with the connecting convex portions 45 and connecting concave portions 46 possible to be fitted at portions adjacent to the second portion 43. The first to third portions 42 to 44 can be slid relatively and mutually by fitting the connecting convex portion 45 and the connecting concave portions 46.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、リードフレーム保
持用の保持治具に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a holding jig for holding a lead frame.

【0002】[0002]

【従来の技術】現在最も普及しているIC(集積回路)
パッケージとして、樹脂封止パッケージがある。樹脂封
止パッケージは、金属シートからなるリードフレームを
用いて製造される。すなわち、リードフレームの一部に
素子チップを接合し、素子チップを含むリードフレーム
の接合部分を樹脂封止する。次いで、封止部分をリード
フレームから切り離すことにより、ICパッケージが製
造される。
2. Description of the Related Art The most popular IC (integrated circuit) at present
As a package, there is a resin sealed package. The resin sealed package is manufactured using a lead frame made of a metal sheet. That is, the element chip is joined to a part of the lead frame, and the joint portion of the lead frame including the element chip is resin-sealed. Next, the IC package is manufactured by separating the sealing portion from the lead frame.

【0003】ICパッケージの製造に用いられるリード
フレームは、長尺に形成されたフレームと、フレームに
設けられた複数のリードと、を備える。リードは、フレ
ームの長手方向に対して垂直に、フレームから突出する
ように複数等間隔に設けられている。
A lead frame used for manufacturing an IC package includes a long frame and a plurality of leads provided on the frame. The leads are provided at a plurality of equal intervals perpendicular to the longitudinal direction of the frame so as to project from the frame.

【0004】素子チップは、リードの一部にはんだ等に
より接合される。接合は、素子チップとリードの一面と
の間に、はんだ等の接合材を設けた状態で加熱して行わ
れる。接合の後、リードは素子チップとともに樹脂封止
され、さらに、フレームとの連結部分付近においてフレ
ームから切り離される。これにより、ICパッケージが
得られる。
The element chip is joined to a part of the lead with solder or the like. The joining is performed by heating with a joining material such as solder provided between the element chip and one surface of the lead. After the joining, the leads are resin-sealed together with the element chip, and further separated from the frame in the vicinity of the connecting portion with the frame. As a result, an IC package is obtained.

【0005】ここで、上記各処理は、リードフレームを
保持治具で保持した状態で行われる。通常、保持治具
は、リードフレームと略同等の幅を有する溝を備え、こ
の溝に嵌合してリードフレームを保持、固定する。接合
(加熱)工程では、リードフレームとともに、保持治具
も接合温度まで加熱される。
Here, each of the above processes is performed in a state where the lead frame is held by a holding jig. Usually, the holding jig is provided with a groove having a width substantially equal to that of the lead frame, and fits in the groove to hold and fix the lead frame. In the bonding (heating) step, the holding jig is heated to the bonding temperature together with the lead frame.

【0006】加熱により、リードフレームおよび保持治
具は、熱膨張する。ここで、保持治具が、リードフレー
ムよりも過度に低い熱膨張係数を有する場合、保持治具
の膨張がリードフレームのそれに追いつかず、治具にリ
ードフレームを安定に保持し、位置決めすることは困難
となる。これにより、リードフレームに対する素子チッ
プの搭載等の処理は、信頼性の低いものとなる。このた
め、保持治具はリードフレームと同等の熱膨張係数を有
する必要がある。
Due to the heating, the lead frame and the holding jig are thermally expanded. Here, if the holding jig has a coefficient of thermal expansion that is excessively lower than that of the lead frame, the expansion of the holding jig does not catch up with that of the lead frame, and the lead frame is stably held and positioned in the jig. It will be difficult. As a result, the process of mounting the element chip on the lead frame becomes less reliable. Therefore, the holding jig needs to have a thermal expansion coefficient equivalent to that of the lead frame.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】従来より、リードフレ
ームと同等の熱膨張係数を得るため、保持治具は、銅に
ニッケルめっきを施した材料などの、特殊な材料から構
成されている。しかし、特殊材から保持治具を構成した
場合、グラファイト等の一般材を用いるよりも、高コス
トとなる。また、特殊材からなる治具は稀少であるた
め、頻繁な治具の更新はできない。治具の交換在庫が無
く、更新できないと、治具の劣化により処理の信頼性が
低下する等して、歩留まりが低下する。
Conventionally, in order to obtain a coefficient of thermal expansion equivalent to that of a lead frame, the holding jig is made of a special material such as a material obtained by plating copper with nickel. However, when the holding jig is made of a special material, the cost is higher than when a general material such as graphite is used. Also, since jigs made of special materials are rare, frequent jig updates cannot be performed. If there is no jig replacement inventory and the jig cannot be renewed, the yield deteriorates because the reliability of the process deteriorates due to the deterioration of the jig.

【0008】以上のことから、保持治具は一般材から構
成され、容易に入手可能であることが望ましい。しか
し、一般材の熱膨張係数は高いものでも約5×10−6
/℃と低く、特殊材と同様の構造の治具を構成すること
はできない。このように、リードフレームを安定に保持
し、正確な位置決めが可能な、一般材から構成可能な保
持治具は、従来なかった。
From the above, it is desirable that the holding jig is made of a general material and easily available. However, even if the general material has a high coefficient of thermal expansion, it is about 5 × 10 −6.
It is as low as / ° C, and it is not possible to construct a jig with the same structure as a special material. As described above, there has been no conventional holding jig that can hold the lead frame stably and can be accurately positioned, and that can be made of a general material.

【0009】上記問題を解決するため、本発明は、リー
ドフレームを安定に保持可能な、一般材から構成可能な
保持治具を提供することを目的とする。
In order to solve the above problems, it is an object of the present invention to provide a holding jig which can hold a lead frame in a stable manner and which can be constructed from a general material.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明にかかる保持治具は、長尺状に形成され、複
数のリードをその長手方向に所定間隔毎に備えるリード
フレームを所定の配置位置に保持するための保持治具で
あって、前記保持治具は、前記リードフレームの長手方
向に対して順に配置された複数の部材から構成され、前
記複数の部材の隣接するもの同士は、前記長手方向に互
いに相対的に移動可能に構成されている、ことを特徴と
する。
In order to achieve the above object, a holding jig according to the present invention has a lead frame which is formed in an elongated shape and has a plurality of leads at predetermined intervals in a longitudinal direction thereof. A holding jig for holding at an arrangement position, wherein the holding jig is composed of a plurality of members sequentially arranged in the longitudinal direction of the lead frame, and the adjacent members of the plurality of members are And is configured to be movable in the longitudinal direction relative to each other.

【0011】上記構成において、前記複数の部材は、前
記リードフレームが前記保持治具により保持された状態
で加熱された際に、前記リードフレームの熱膨張に従っ
て前記長手方向に互いに相対的に移動して、前記リード
フレームを前記所定の配置位置に保持することが望まし
い。
In the above structure, the plurality of members move relative to each other in the longitudinal direction according to the thermal expansion of the lead frame when the lead frame is heated while being held by the holding jig. It is desirable to hold the lead frame at the predetermined position.

【0012】上記構成において、前記複数の部材のう
ち、互いに隣接する前記部材の一方は、その隣接面に前
記長手方向に延伸する柱状の凸部を備え、他方は、その
隣接面に前記凸部と嵌合可能な凹部を備え、前記互いに
隣接する前記部材は、前記凸部と前記凹部とが嵌合した
状態で互いに相対的に移動することが望ましい。
In the above structure, one of the members adjacent to each other among the plurality of members has a columnar convex portion extending in the longitudinal direction on the adjoining surface thereof, and the other has the convex portion on the adjoining surface thereof. It is preferable that the members adjacent to each other are provided with a concave portion that can be fitted with each other, and that the members adjacent to each other move relative to each other in a state where the convex portion and the concave portion are fitted with each other.

【0013】上記構成において、前記リードフレームは
複数のガイド穴を備え、前記保持治具は、前記ガイド穴
と嵌合することにより、前記リードフレームを前記所定
の配置位置に保持する複数のガイドピンを備え、前記部
材は前記ガイドピンを少なくとも1つ備えることが望ま
しい。
In the above structure, the lead frame is provided with a plurality of guide holes, and the holding jig is fitted in the guide holes to hold the lead frame at the predetermined arrangement position. Preferably, the member comprises at least one guide pin.

【0014】上記構成において、例えば、前記保持治具
は3つの前記部材から構成される。また、上記構成にお
いて、前記保持治具は、例えば、グラファイトから構成
される。
In the above structure, for example, the holding jig is composed of the three members. In the above structure, the holding jig is made of graphite, for example.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態にかかるリー
ドフレーム保持用の治具について、以下図面を参照して
説明する。本実施の形態の治具は、リードフレームの保
持治具であり、リードフレームには、該治具に保持され
た状態で半導体素子チップ(ダイオードチップ)とのは
んだ付け、樹脂封止等の処理が施される。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION A jig for holding a lead frame according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. The jig of the present embodiment is a jig for holding a lead frame, and the lead frame is held by the jig and is subjected to processing such as soldering with a semiconductor element chip (diode chip) and resin sealing. Is applied.

【0016】図1に、本実施の形態にかかるリードフレ
ーム11の平面図を示す。図1に示すように、リードフ
レーム11は、互いに分離した一対の第1フレーム12
と、第2フレーム13と、から構成される。第1フレー
ム12および第2フレーム13は、銅からなる長尺のシ
ートから構成される。リードフレーム11は、打ち抜き
加工、エッチング加工等により形成される。
FIG. 1 is a plan view of the lead frame 11 according to this embodiment. As shown in FIG. 1, the lead frame 11 includes a pair of first frames 12 separated from each other.
And a second frame 13. The first frame 12 and the second frame 13 are composed of a long sheet made of copper. The lead frame 11 is formed by punching, etching or the like.

【0017】第1フレーム12は、略長方形の第1レー
ル14と、第1レール14に、その長手方向に対して垂
直な方向に突出するように設けられた複数の第1リード
15と、を備える。第1レール14には、位置決め用の
第1ガイド穴16が所定間隔毎に複数設けられている。
The first frame 12 includes a substantially rectangular first rail 14 and a plurality of first leads 15 provided on the first rail 14 so as to project in a direction perpendicular to the longitudinal direction thereof. Prepare The first rail 14 is provided with a plurality of positioning first guide holes 16 at predetermined intervals.

【0018】第1リード15は、第1レール14に等間
隔に設けられている。第1リード15は、第1外部リー
ド17と、第1ダムバー18と、第1コネクタ部19
と、を備える。第1外部リード17は、第1レール14
から帯状に延びて形成されている。第1ダムバー18
は、第1外部リード17から帯状に延びて、第1外部リ
ード17よりも幅狭に形成されている。第1コネクタ部
19は、第1ダムバー18から帯状に延びて、第1外部
リード17よりも幅狭に形成されている。
The first leads 15 are provided on the first rail 14 at equal intervals. The first lead 15 includes a first outer lead 17, a first dam bar 18, and a first connector portion 19
And The first outer lead 17 includes the first rail 14
Is formed so as to extend in a strip shape from. First dam bar 18
Are formed to extend in a strip shape from the first outer leads 17 and have a width narrower than that of the first outer leads 17. The first connector portion 19 extends in a strip shape from the first dam bar 18 and is formed narrower than the first external lead 17.

【0019】第2フレーム13は、略長方形の第2レー
ル20と、第2レール20に、その長手方向に対して垂
直な方向に突出するように設けられた複数の第2リード
21と、を備える。第2レール20には、位置決め用の
第2ガイド穴22が所定間隔毎に複数設けられている。
The second frame 13 includes a substantially rectangular second rail 20 and a plurality of second leads 21 provided on the second rail 20 so as to project in a direction perpendicular to the longitudinal direction thereof. Prepare The second rail 20 is provided with a plurality of second positioning guide holes 22 at predetermined intervals.

【0020】第2リード21は、第2レール20に等間
隔に設けられている。第2リード21は、第2外部リー
ド23と、第2ダムバー24と、第2コネクタ部25
と、を備える。第2外部リード23は、第2レール20
から帯状に延びて形成されている。第2ダムバー24
は、第2外部リード23から帯状に延びて、第2外部リ
ード23よりも幅狭に形成されている。第2コネクタ部
25は、第2ダムバー24から帯状に延びて、第2外部
リード23よりも幅狭に形成されている。第2コネクタ
部25は、第2ダムバー24から延びるネック26と、
ネック26から延び、ネック26よりも幅広のアイラン
ド27と、から構成されている。
The second leads 21 are provided on the second rail 20 at equal intervals. The second lead 21 includes a second outer lead 23, a second dam bar 24, and a second connector portion 25.
And The second outer lead 23 is connected to the second rail 20.
Is formed so as to extend in a strip shape from. Second dam bar 24
Are formed to extend in a strip shape from the second external leads 23 and have a width narrower than that of the second external leads 23. The second connector portion 25 extends in a strip shape from the second dam bar 24 and is formed narrower than the second external lead 23. The second connector portion 25 includes a neck 26 extending from the second dam bar 24,
The island 27 extends from the neck 26 and is wider than the neck 26.

【0021】第1リード15および第2リード21は、
それぞれ、第1フレーム12および第2フレーム13に
ほぼ同一の間隔で設けられている。従って、ほぼ同一の
長さを有する第1フレーム12と第2フレーム13とを
並行に対向配置した場合には、第1リード15と第2リ
ード21とは、互いに対向した状態にある。
The first lead 15 and the second lead 21 are
The first frame 12 and the second frame 13 are provided at substantially the same intervals, respectively. Therefore, when the first frame 12 and the second frame 13 having substantially the same length are arranged in parallel to face each other, the first lead 15 and the second lead 21 are in a state of facing each other.

【0022】図2に、本実施の形態にかかる、リードフ
レーム11を保持するための治具30の平面図を示す。
FIG. 2 shows a plan view of the jig 30 for holding the lead frame 11 according to the present embodiment.

【0023】図2に示すように、治具30は、長尺状に
形成され、リードフレーム11とほぼ同程度の長さを有
する。治具30は、一般的な材料である、グラファイト
から構成されている。
As shown in FIG. 2, the jig 30 is formed in a long shape and has a length substantially equal to that of the lead frame 11. The jig 30 is made of graphite, which is a general material.

【0024】治具30の上面には、一対の第1の溝31
および第2の溝32が略直線状に形成されている。第1
の溝31および第2の溝32は、治具30の長手方向に
沿って延びる凸部33によって隔てられ、治具30の全
長にわたって互いに並行して設けられている。
A pair of first grooves 31 is formed on the upper surface of the jig 30.
And the second groove 32 is formed in a substantially linear shape. First
The groove 31 and the second groove 32 are separated by a convex portion 33 extending along the longitudinal direction of the jig 30, and are provided in parallel with each other over the entire length of the jig 30.

【0025】凸部33は、所定間隔ごとにチップ固定部
34を備える。チップ固定部34は、第1の溝31に接
続された第1凹部35と、第2の溝32に接続された第
2凹部36と、第1凹部35と第2凹部36と、を備え
る。第1凹部35と第2凹部36とは、凸部33の中央
部分で接続しており、接続部分には、貫通穴37が設け
られている。
The convex portion 33 has chip fixing portions 34 at predetermined intervals. The chip fixing portion 34 includes a first recess 35 connected to the first groove 31, a second recess 36 connected to the second groove 32, a first recess 35 and a second recess 36. The first concave portion 35 and the second concave portion 36 are connected at the central portion of the convex portion 33, and a through hole 37 is provided in the connecting portion.

【0026】第1凹部35は、第1フレーム12の第1
コネクタ部19の先端を収容可能なくぼみである。ま
た、第2凹部36は、第2フレーム13の第2コネクタ
部25のアイランド27を収容可能なくぼみである。貫
通穴37は、治具30の裏面側に通じる直線状の穴であ
る。
The first concave portion 35 is the first concave portion of the first frame 12.
It is a recess that can accommodate the tip of the connector portion 19. The second recess 36 is a recess that can accommodate the island 27 of the second connector portion 25 of the second frame 13. The through hole 37 is a linear hole that communicates with the back surface side of the jig 30.

【0027】第1の溝31および第2の溝32の底面の
側方には、第1ガイドピン38および第2ガイドピン3
9が所定間隔毎にそれぞれ3つ設けられている。第1ガ
イドピン38と、第2ガイドピン39とは、それぞれ、
第1フレーム12の第1ガイド穴16と、第2フレーム
13の第2ガイド穴22と、にそれぞれ挿入可能となっ
ている。複数の第1ガイドピン38と第2ガイドピン3
9と、により、第1の溝31および第2の溝32内で、
第1フレーム12および第2フレーム13は、それぞれ
所定の位置に固定される。
The first guide pin 38 and the second guide pin 3 are provided at the sides of the bottom surfaces of the first groove 31 and the second groove 32.
Three 9 are provided at predetermined intervals. The first guide pin 38 and the second guide pin 39 are respectively
It can be inserted into the first guide hole 16 of the first frame 12 and the second guide hole 22 of the second frame 13, respectively. A plurality of first guide pins 38 and second guide pins 3
9 and, in the first groove 31 and the second groove 32,
The first frame 12 and the second frame 13 are fixed at predetermined positions.

【0028】第1の溝31および第2の溝32の底面の
中央には、治具30を貫通する放熱穴40が複数設けら
れている。放熱穴40は、加熱処理時におけるリードフ
レーム11および治具30の過熱を防ぐ。
A plurality of heat dissipation holes 40 penetrating the jig 30 are provided at the centers of the bottom surfaces of the first groove 31 and the second groove 32. The heat dissipation holes 40 prevent overheating of the lead frame 11 and the jig 30 during the heat treatment.

【0029】図3に、リードフレーム11を保持した状
態の治具30のA−A’線矢視断面を示す。ここで、図
3は、リードフレーム11に素子チップ41を搭載した
はんだづけ前の状態を示す。図3に示すように、第2の
溝32は、第2フレーム13の厚さと同程度の深さを有
する。また、第1の溝31は、第2の溝32よりも深く
設けられている。
FIG. 3 shows a cross section taken along the line AA 'of the jig 30 with the lead frame 11 held. Here, FIG. 3 shows a state in which the element chip 41 is mounted on the lead frame 11 before soldering. As shown in FIG. 3, the second groove 32 has a depth similar to the thickness of the second frame 13. Further, the first groove 31 is provided deeper than the second groove 32.

【0030】第1の溝31は、第1フレーム12の幅よ
りもわずかに短い幅を有し、第1フレーム12の第1リ
ード15が形成されていない側の端部が、第1の溝31
の外側の端部に接した状態で、第1コネクタ部19の先
端が凸部33と重なるようになっている。ここで、第1
フレーム12が、第1ガイド穴16と第1ガイドピン3
8との嵌合により位置決め固定された状態で、第1コネ
クタ部19の先端は凸部33の第1凹部35および貫通
穴37の上部に収容される。
The first groove 31 has a width slightly shorter than the width of the first frame 12, and the end of the first frame 12 on the side where the first lead 15 is not formed has the first groove 31. 31
The tip of the first connector portion 19 overlaps the convex portion 33 in a state of being in contact with the outer end portion of the. Where the first
The frame 12 has the first guide hole 16 and the first guide pin 3
The tip of the first connector portion 19 is accommodated in the first concave portion 35 of the convex portion 33 and the upper portion of the through hole 37 in a state of being positioned and fixed by fitting with 8.

【0031】第2の溝32は、第2フレーム13の幅よ
りもわずかに短い幅を有し、第2フレーム13の第2リ
ード21が形成されていない側の端部が、第2の溝32
の外側の端部に接した状態で、第2コネクタ部25のア
イランド27が凸部33と重なるようになっている。こ
こで、第2フレーム13が、第2ガイド穴22と第2ガ
イドピン39との嵌合により位置決め固定された状態
で、アイランド27は凸部33の第2凹部36および貫
通穴37の上部に収容される。
The second groove 32 has a width slightly shorter than the width of the second frame 13, and the end portion of the second frame 13 on the side where the second lead 21 is not formed has the second groove 32. 32
The island 27 of the second connector portion 25 overlaps the convex portion 33 in a state of being in contact with the outer end portion of the. Here, in a state where the second frame 13 is positioned and fixed by fitting the second guide hole 22 and the second guide pin 39, the island 27 is located above the second concave portion 36 of the convex portion 33 and the through hole 37. Be accommodated.

【0032】上述したように、第1の溝31は、第2の
溝32よりも深く形成されている。これにより、治具3
0にリードフレーム11(第1フレーム12および第2
フレーム13)を保持した状態で、第1フレーム12の
第1コネクタ部19の先端は、凸部33の貫通穴37に
て第2フレーム13のアイランド27に覆われている。
素子チップ(ダイオードチップ)41は、はんだ付け処
理においては第1コネクタ部19とアイランド27とに
挟まれている。
As described above, the first groove 31 is formed deeper than the second groove 32. As a result, the jig 3
0 to the lead frame 11 (first frame 12 and second frame
With the frame 13) held, the tip of the first connector portion 19 of the first frame 12 is covered with the island 27 of the second frame 13 through the through hole 37 of the convex portion 33.
The element chip (diode chip) 41 is sandwiched between the first connector portion 19 and the island 27 in the soldering process.

【0033】図2に戻り、上記構成の治具30は、第1
部分42と、第2部分43と、第3部分44と、から構
成されている。第1〜第3部分42〜44は、それぞ
れ、治具30を3つの部分に分割して(3つのパートか
ら)形成されている。図4(a)〜(c)に、第1〜第
3部分42〜44をそれぞれの構成を示す。
Returning to FIG. 2, the jig 30 having the above construction is
It is composed of a portion 42, a second portion 43, and a third portion 44. The first to third parts 42 to 44 are each formed by dividing the jig 30 into three parts (from three parts). 4A to 4C show respective configurations of the first to third portions 42 to 44.

【0034】図4(b)に示すように、第2部分43
は、第1部分42および第3部分44と接する部分の側
部に、接続用凸部45をそれぞれ備える。接続用凸部4
5は、方形の断面を有して柱状に形成され、所定長さを
有して治具30の長手方向に延伸している。一方、図4
(a)および(c)に示すように、治具30の第1部分
42および第3部分44は、第2部分43と接する部分
の側部に、2つの接続用凹部46をそれぞれ備える。第
1部分42および第3部分44の接続用凹部46は、接
続用凸部45の長さ以上の深さで、接続用凸部45と嵌
合可能に形成されている。
As shown in FIG. 4B, the second portion 43
Is provided with connecting convex portions 45 on the side portions of the portions that contact the first portion 42 and the third portion 44, respectively. Connection convex part 4
5 is formed in a columnar shape with a rectangular cross section and has a predetermined length and extends in the longitudinal direction of the jig 30. On the other hand, FIG.
As shown in (a) and (c), the first portion 42 and the third portion 44 of the jig 30 are respectively provided with two connecting recesses 46 on the side portions of the portions which are in contact with the second portion 43. The connecting concave portions 46 of the first portion 42 and the third portion 44 are formed to have a depth equal to or greater than the length of the connecting convex portion 45 and to be fittable with the connecting convex portions 45.

【0035】また、第1〜第3部分42〜44は、第1
ガイドピン38および第2ガイドピン39をそれぞれ1
つづつ備えている。
The first to third parts 42 to 44 are the first
One guide pin 38 and one second guide pin 39
It is prepared one after another.

【0036】接続用凸部45と接続用凹部46とが、上
記のように嵌合可能となっていることにより、図5に示
すように、第1部分42および第3部分44は、第2部
分43に対して、治具30の長手方向に相対的にスライ
ド可能となっている。
Since the connecting convex portion 45 and the connecting concave portion 46 can be fitted to each other as described above, as shown in FIG. 5, the first portion 42 and the third portion 44 have the second portion. It is slidable relative to the portion 43 in the longitudinal direction of the jig 30.

【0037】以下、上記構成の治具30を用いて、上記
リードフレーム11と、素子チップ41と、からダイオ
ードパッケージを形成する工程について説明する。
A process of forming a diode package from the lead frame 11 and the element chip 41 using the jig 30 having the above structure will be described below.

【0038】まず、第1フレーム12と第2フレーム1
3とからなるリードフレーム11と、その両面にはんだ
が塗布された素子チップ41とを用意する。次いで、治
具30の第1の溝31に、第1ガイド穴16と第1ガイ
ドピン38とが嵌合するように第1フレーム12を配置
する。ここで、第1フレーム12の第1コネクタ部19
は、凸部33のチップ固定部34に固定されている。
First, the first frame 12 and the second frame 1
A lead frame 11 composed of 3 and an element chip 41 whose both surfaces are coated with solder are prepared. Next, the first frame 12 is placed in the first groove 31 of the jig 30 so that the first guide hole 16 and the first guide pin 38 fit together. Here, the first connector portion 19 of the first frame 12
Are fixed to the chip fixing portion 34 of the convex portion 33.

【0039】次いで、第1コネクタ部19の上に素子チ
ップ41を搭載する。このとき、チップ固定部34によ
り、素子チップ41もまた固定される。その後、第2の
溝32に、第2ガイド穴22と第2ガイドピン39とが
嵌合するように第2フレーム13を配置する。ここで、
第2フレーム13のアイランド27は、凸部33のチッ
プ固定部34に固定される。これにより、図3に示すよ
うに、素子チップ41は第1コネクタ部19とアイラン
ド27とにより挟持される。
Next, the element chip 41 is mounted on the first connector section 19. At this time, the element chip 41 is also fixed by the chip fixing portion 34. Then, the second frame 13 is arranged in the second groove 32 so that the second guide hole 22 and the second guide pin 39 are fitted to each other. here,
The island 27 of the second frame 13 is fixed to the chip fixing portion 34 of the convex portion 33. As a result, as shown in FIG. 3, the element chip 41 is sandwiched between the first connector portion 19 and the island 27.

【0040】続いて、上記のように治具30にリードフ
レーム11を保持した状態で、加熱炉に送る加熱炉で
は、図6に示すように、上方および下方の貫通穴37か
ら、それぞれ、押圧具47a、47bが第1コネクタ部
19およびアイランド27を押圧する。この状態で、例
えば、400℃程度での加熱を行う。これにより、素子
チップ41の両面に塗布されたはんだ48が溶融して、
リードフレーム11と素子チップ41とが接合される。
Subsequently, in the heating furnace in which the lead frame 11 is held by the jig 30 as described above, in the heating furnace which is sent to the heating furnace, as shown in FIG. The tools 47a and 47b press the first connector portion 19 and the island 27. In this state, heating is performed at about 400 ° C., for example. This melts the solder 48 applied to both sides of the element chip 41,
The lead frame 11 and the element chip 41 are joined.

【0041】接合後、素子チップ41に接合された第1
リード15および第2リード21は、第1外部リード1
7および第2外部リード23が突出する状態で樹脂封止
される。封止樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂が用
いられる。樹脂封止の後、封止体は第1外部リード17
および第2外部リード23において、第1レール14お
よび第2レール20から切り離される。これにより、ダ
イオードパッケージが得られる。
After joining, the first joined to the element chip 41
The lead 15 and the second lead 21 are the first external lead 1
7 and the second external lead 23 are resin-sealed in a protruding state. For example, an epoxy resin is used as the sealing resin. After the resin sealing, the sealing body is the first external lead 17
The second outer lead 23 is separated from the first rail 14 and the second rail 20. As a result, a diode package is obtained.

【0042】ここで、上記接合工程において、リードフ
レーム11は銅から構成され、一方、治具30は、グラ
ファイトから構成されている。しかし、銅の熱膨張係数
が17×10−6/℃程度である一方、グラファイトの
熱膨張係数は3×10−6/℃〜5×10−6/℃程度
である。このように、リードフレーム11(銅)と、治
具30(グラファイト)と、の熱膨張係数が異なるた
め、加熱時のリードフレーム11のサイズ、特に、長手
方向の長さは、治具30のサイズと大きく異なったもの
となる。
Here, in the joining step, the lead frame 11 is made of copper, while the jig 30 is made of graphite. However, while the thermal expansion coefficient of copper is about 17 × 10 −6 / ° C., the thermal expansion coefficient of graphite is about 3 × 10 −6 / ° C. to 5 × 10 −6 / ° C. As described above, since the lead frame 11 (copper) and the jig 30 (graphite) have different thermal expansion coefficients, the size of the lead frame 11 at the time of heating, particularly, the length in the longitudinal direction is different from that of the jig 30. It will be very different from the size.

【0043】上記のような熱膨張係数の差から、加熱時
にリードフレーム11が熱膨張して、そのサイズ、特
に、長さが長くなると、リードフレーム11の第1ガイ
ド穴16および第2ガイド穴22を固定している第1ガ
イドピン38および第2ガイドピン39は、逆にリード
フレーム11により引っ張られる。
Due to the difference in the coefficient of thermal expansion as described above, when the lead frame 11 thermally expands during heating and its size, especially length, becomes long, the first guide hole 16 and the second guide hole of the lead frame 11 are formed. The first guide pin 38 and the second guide pin 39 fixing 22 are pulled by the lead frame 11 on the contrary.

【0044】ここで、第1ガイドピン38および第2ガ
イドピン39は、互いに分離可能な第1〜第3部分42
〜44に1つずつ設けられている。このため、リードフ
レーム11の熱膨張により隣り合う第1ガイドピン38
同士および第2ガイドピン39同士の間にかかる張力
は、第1部分42および第2部分43と、第2部分43
および第3部分44と、をそれぞれ離間させる力として
あらわれる。
Here, the first guide pin 38 and the second guide pin 39 are separated from each other by the first to third portions 42.
~ 44 are provided one by one. Therefore, the first guide pins 38 adjacent to each other due to the thermal expansion of the lead frame 11
The tension applied between the second guide pins 39 and between the first guide 42 and the second guide 43 is
And the third portion 44 and the third portion 44, respectively.

【0045】このようにして、熱処理時に治具30の第
1〜第3部分42〜44は互いに離間することになる。
ここで、第1〜第3部分42〜44は、互いに、接続用
凸部45と接続用凹部46とが嵌合することにより、リ
ードフレーム11の保持状態を保ちつつ長手方向にスラ
イドする構成となっている。このスライド構成により、
リードフレーム11を安定に保持しつつ、リードフレー
ム11の熱膨張による長手方向の伸びに対応することが
できる。
In this way, the first to third portions 42 to 44 of the jig 30 are separated from each other during the heat treatment.
Here, the first to third portions 42 to 44 are configured to slide in the longitudinal direction while maintaining the holding state of the lead frame 11 by fitting the connecting convex portion 45 and the connecting concave portion 46 to each other. Has become. With this slide configuration,
The lead frame 11 can be stably held and can cope with elongation in the longitudinal direction due to thermal expansion of the lead frame 11.

【0046】以上説明したように、本発明においては、
リードフレーム11保持用の治具30を3分割し、それ
ぞれを相対的にスライド可能な構造としている。この分
割構造により、銅からなるリードフレーム11と、グラ
ファイトからなる治具30と、の熱膨張係数の差による
伸びの差を、治具30の第1〜第3部分42〜44が離
間することにより補償している。
As described above, in the present invention,
The jig 30 for holding the lead frame 11 is divided into three parts, each of which is configured to be relatively slidable. With this division structure, the first to third portions 42 to 44 of the jig 30 are separated from each other by the difference in expansion due to the difference in the thermal expansion coefficient between the lead frame 11 made of copper and the jig 30 made of graphite. Is compensated by.

【0047】このように、治具30を分割した構造とす
ることにより、銅からなるリードフレーム11と同様に
高い熱膨張係数を有する、ニッケルめっき銅等の特殊な
材料を用いることなく、熱膨張係数の低い一般的な材料
(グラファイト)から治具30を構成することが可能と
なる。一般材から構成可能な治具30は低コストに入手
することができ、治具30の更新も容易となる。以上よ
り、本発明によれば、リードフレーム11を安定に保持
し、正確な位置決めが可能な、一般材から構成可能な治
具30が得られる。
As described above, the jig 30 has a divided structure, so that the thermal expansion can be performed without using a special material such as nickel-plated copper, which has a high thermal expansion coefficient like the lead frame 11 made of copper. It is possible to form the jig 30 from a general material (graphite) having a low coefficient. The jig 30 that can be configured from a general material can be obtained at low cost, and the jig 30 can be easily updated. As described above, according to the present invention, it is possible to obtain the jig 30 which can hold the lead frame 11 stably and can be accurately positioned, and which can be formed of a general material.

【0048】本発明は、上記実施の形態に限られず、種
々の変形、応用が可能である。以下、本発明に適用可能
な上記の実施の形態の変形態様について、説明する。
The present invention is not limited to the above embodiment, but various modifications and applications are possible. Hereinafter, modifications of the above-described embodiment applicable to the present invention will be described.

【0049】上記実施の形態では、リードフレーム11
は銅から構成されるものとしたが、これに限らず、リー
ドフレーム11の材料として一般的に用いられる材料で
あれば、鉄−ニッケル合金、リン青銅等いかなるもので
あってもよい。また、リードフレーム11の表面全体お
よびその一部に、銀メッキ等の表面処理を施したもので
あってもよい。また、リードフレーム11の形状は上記
した2分割型に限らず、一般的な一体型の形状を有する
リードフレームとしてもよい。
In the above embodiment, the lead frame 11
Although it is made of copper, the material is not limited to this and may be any material such as iron-nickel alloy and phosphor bronze as long as it is a material generally used as the material of the lead frame 11. Further, the entire surface of the lead frame 11 and a part thereof may be subjected to surface treatment such as silver plating. Further, the shape of the lead frame 11 is not limited to the above-mentioned two-divided type, but may be a lead frame having a general integral type.

【0050】本実施の形態の治具30は、グラファイト
から構成されるものとした。しかし、これに限らず、耐
熱性を備えた、搬送、保持用の治具に一般に用いられる
材料であれば、セラミック等、どのようなものであって
もよい。
The jig 30 of this embodiment is made of graphite. However, the material is not limited to this, and any material such as ceramic may be used as long as it is a material that has heat resistance and is generally used for a jig for carrying and holding.

【0051】上記実施の形態では、治具30は、3分割
されるものとした。しかし、これに限らず、2分割また
は4分割以上としてもよい。この場合、各分割部材に、
少なくとも各1つの第1ガイドピン38および第2ガイ
ドピン39を設ければよい。さらに、リードフレーム1
1を位置決めするガイドピン38、39の数は、分割部
分に各1つではなく、2つ以上備える構成としてもよ
い。
In the above embodiment, the jig 30 is divided into three parts. However, the present invention is not limited to this, and it may be divided into two or four or more. In this case, for each split member,
At least one each of the first guide pin 38 and the second guide pin 39 may be provided. Furthermore, the lead frame 1
The number of guide pins 38 and 39 for positioning 1 may be two or more instead of one at each divided portion.

【0052】また、第2部分43に設けられた接続用凸
部45は、方形の断面を有して柱状に2つ設けるものと
した。しかし、これに限らず、断面が円形あるいは多角
形の柱状としてもよい。さらには、柱状部の側面に溝を
形成した構造としてもよい。また、第2部分43が2つ
の接続用凹部46を備え、第1部分42および第3部分
44が接続用凸部45を備える構成としてもよい。さら
に、その数も2つに限らず、3つ以上形成してもよい。
いずれの場合も、接続用凹部46の形状を対応する形状
とすればよい。
The connecting projections 45 provided on the second portion 43 are provided in two columnar shapes having a rectangular cross section. However, the shape is not limited to this, and may be a columnar shape having a circular or polygonal cross section. Furthermore, a structure in which a groove is formed on the side surface of the columnar portion may be used. In addition, the second portion 43 may include two connecting concave portions 46, and the first portion 42 and the third portion 44 may include the connecting convex portion 45. Further, the number is not limited to two and may be three or more.
In either case, the connecting recess 46 may have a corresponding shape.

【0053】上記実施の形態では、素子チップ41の両
面にはんだ48を塗布し、これを第1リード15と第2
リード21とで挟んだ状態で加熱するものとした。しか
し、これに限らず、第1リード15および/または第2
リード21側の接触面にはんだを塗布するようにしても
よい。また、接合材もはんだに限らず、樹脂ペースト、
テープ等を用いてもよい。
In the above-described embodiment, the solder 48 is applied to both surfaces of the element chip 41, and is applied to the first lead 15 and the second lead 15.
The heating was performed while sandwiched between the leads 21. However, not limited to this, the first lead 15 and / or the second lead 15
You may make it apply | coat solder to the contact surface by the side of the lead 21. Also, the joining material is not limited to solder, but resin paste,
Tape or the like may be used.

【0054】[0054]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
リードフレームを安定に保持可能な、一般材から構成可
能な保持治具が提供される。
As described above, according to the present invention,
Provided is a holding jig which can hold a lead frame stably and can be made of a general material.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態にかかるリードフレームの
構成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a lead frame according to an exemplary embodiment of the present invention.

【図2】図1に示すリードフレームの保持治具の構成を
示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a holding jig for the lead frame shown in FIG.

【図3】図2に示す治具のA−A’線矢視断面を示す図
である。
FIG. 3 is a view showing a cross section taken along line AA ′ of the jig shown in FIG.

【図4】図2示す治具の各分割部分の構成を示す図であ
る。
FIG. 4 is a diagram showing a configuration of each divided portion of the jig shown in FIG.

【図5】本発明の実施の形態にかかるリードフレームの
構成を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a configuration of a lead frame according to the exemplary embodiment of the present invention.

【図6】本発明の実施の形態にかかるリードフレームの
構成を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a lead frame according to the exemplary embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 リードフレーム 12 第1フレーム 13 第2フレーム 14 第1レール 15 第1リード 16 第1ガイド穴 17 第1外部リード 18 第1ダムバー 19 第1コネクタ部 20 第2レール 21 第2リード 22 第2ガイド穴 23 第2外部リード 24 第2ダムバー 25 第2コネクタ部 26 ネック 27 アイランド 30 治具 31 第1の溝 32 第2の溝 33 凸部 34 チップ固定部 35 第1凹部 36 第2凹部 37 貫通穴 38 第1ガイドピン 39 第2ガイドピン 40 放熱穴 41 素子チップ 42 第1部分 43 第2部分 44 第3部分 45 接続用凸部 46 接続用凹部 47 押圧具 48 はんだ 11 lead frame 12 First Frame 13 Second frame 14 First rail 15 First lead 16 First guide hole 17 First external lead 18 First Dam Bar 19 1st connector part 20 second rail 21 second lead 22 Second guide hole 23 Second external lead 24 Second Dam Bar 25 Second connector part 26 neck 27 islands 30 jigs 31 first groove 32 second groove 33 convex 34 Chip fixing part 35 First recess 36 Second recess 37 through hole 38 First guide pin 39 Second guide pin 40 heat dissipation hole 41 element chip 42 First Part 43 Second Part 44 Third Part 45 Convex portion for connection 46 Connection recess 47 Pressing tool 48 solder

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】長尺状に形成され、複数のリードをその長
手方向に所定間隔毎に備えるリードフレームを所定の配
置位置に保持するための保持治具であって、 前記保持治具は、前記リードフレームの長手方向に対し
て順に配置された複数の部材から構成され、 前記複数の部材の隣接するもの同士は、前記長手方向に
互いに相対的に移動可能に構成されている、ことを特徴
とする保持治具。
1. A holding jig for holding a lead frame formed in an elongated shape and provided with a plurality of leads at predetermined intervals in a longitudinal direction thereof at a predetermined arrangement position, wherein the holding jig comprises: It is composed of a plurality of members arranged in order in the longitudinal direction of the lead frame, and adjacent members of the plurality of members are configured to be movable relative to each other in the longitudinal direction. And holding jig.
【請求項2】前記複数の部材は、前記リードフレームが
前記保持治具により保持された状態で加熱された際に、
前記リードフレームの熱膨張に従って前記長手方向に互
いに相対的に移動して、前記リードフレームを前記所定
の配置位置に保持する、ことを特徴とする請求項1に記
載の保持治具。
2. The plurality of members, when the lead frame is heated while being held by the holding jig,
The holding jig according to claim 1, wherein the lead frame moves relative to each other in the longitudinal direction according to thermal expansion of the lead frame to hold the lead frame at the predetermined arrangement position.
【請求項3】前記複数の部材のうち、互いに隣接する前
記部材の一方は、その隣接面に前記長手方向に延伸する
柱状の凸部を備え、他方は、その隣接面に前記凸部と嵌
合可能な凹部を備え、 前記互いに隣接する前記部材は、前記凸部と前記凹部と
が嵌合した状態で互いに相対的に移動する、ことを特徴
とする請求項1または2に記載の保持治具。
3. One of the members adjacent to each other among the plurality of members has a columnar convex portion extending in the longitudinal direction on the adjacent surface thereof, and the other member fits the convex portion on the adjacent surface thereof. The holding jig according to claim 1 or 2, further comprising: a concave portion that can be fitted, and the members adjacent to each other move relative to each other in a state where the convex portion and the concave portion are fitted to each other. Ingredient
【請求項4】前記リードフレームは複数のガイド穴を備
え、前記保持治具は、前記ガイド穴と嵌合することによ
り、前記リードフレームを前記所定の配置位置に保持す
る複数のガイドピンを備え、前記部材は前記ガイドピン
を少なくとも1つ備える、ことを特徴とする請求項1乃
至3のいずれか1項に記載の保持治具。
4. The lead frame is provided with a plurality of guide holes, and the holding jig is provided with a plurality of guide pins for holding the lead frame at the predetermined arrangement position by fitting with the guide holes. The holding jig according to any one of claims 1 to 3, wherein the member includes at least one of the guide pins.
【請求項5】前記保持治具は3つの前記部材から構成さ
れる、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項
に記載の保持治具。
5. The holding jig according to any one of claims 1 to 4, wherein the holding jig is composed of three members.
【請求項6】前記保持治具は、グラファイトから構成さ
れる、ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項
に記載の保持治具。
6. A holding jig according to claim 1, wherein the holding jig is made of graphite.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115440607A (en) * 2022-10-13 2022-12-06 德欧泰克半导体(上海)有限公司 Semiconductor packaging process and graphite boat structure applied to same

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