JP2003067994A - Magneto-optical disk - Google Patents

Magneto-optical disk

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JP2003067994A
JP2003067994A JP2001258041A JP2001258041A JP2003067994A JP 2003067994 A JP2003067994 A JP 2003067994A JP 2001258041 A JP2001258041 A JP 2001258041A JP 2001258041 A JP2001258041 A JP 2001258041A JP 2003067994 A JP2003067994 A JP 2003067994A
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thermal diffusion
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magneto-optical disk that can make the recording power margin 30% or larger. SOLUTION: This disk has a base plate laminated, in order, with a first dielectric layer, a reproducing layer, a reproduction support layer, a non- magnetic layer, a recording layer, a second dielectric layer, and a heat diffusion layer. The information on this disk can be read from the recorded marks smaller than the diameter of the light beam spot for reproduction by using MSR of a CAD system. It is desirable that the thickness x of the second dielectric layer and the thickness y of the heat diffusion layer are within the limits shown in Fig. or the thickness x of the second dielectric layer is 30 nm or larger, the thickness y of the heat diffusion layer is within the limits of 5 nm or less, or the thickness x of the second dielectric layer is 50 nm or larger, and the thickness y of the heat diffusion layer is within the limits of y<=0.3x+9.5. The temperature distribution at the time of reproduction can be improved, and a recording power margin can be made large.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光磁気記録により
情報の書き込みおよび読み出しが行われる光磁気ディス
クに係り、特に、磁気超解像(Magnetically induced S
uper Resolusion;MSR)技術により記録密度の高密
度化が図られた光磁気ディスクに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical disk in which information is written and read by magneto-optical recording, and more particularly, to a magnetically induced resolution.
The present invention relates to a magneto-optical disk whose recording density is increased by the upper resolusion (MSR) technology.

【0002】[0002]

【従来の技術】情報の書き換えが可能な記録媒体とし
て、光磁気記録により情報の書き込みおよび読み出しが
行われる光磁気ディスクが実用化されている。この光磁
気ディスクにおいては、近年、MSRと呼ばれる技術に
より、情報の再生に使用する光ビームのスポット径より
も小さな記録マークから情報を読み出す方式が提案さ
れ、記録密度の高密度化を実現させる手法として注目さ
れている。
2. Description of the Related Art As a rewritable recording medium, a magneto-optical disk in which information is written and read by magneto-optical recording has been put into practical use. In this magneto-optical disk, a method of reading information from a recording mark smaller than a spot diameter of a light beam used for reproducing information has been proposed in recent years by a technique called MSR, which is a method for realizing a high recording density. Is being watched as.

【0003】このMSRは、情報の再生に使用する光ビ
ームのスポット内に温度分布が生じることを利用し、こ
のスポット内の低温領域または高温領域をマスクするこ
とで、光ビームのスポット径よりも小さな記録マークか
ら情報を読み出すことを可能にしたものである。このよ
うなMSRの一例として、中央開口検出(Center Apert
ure Detection ;CAD)方式と呼ばれるものが特開平
5−81717号公報に開示されている。
This MSR takes advantage of the fact that a temperature distribution occurs in the spot of the light beam used for reproducing information, and by masking the low temperature region or high temperature region in this spot, the spot diameter of the light beam can be made smaller than the spot diameter. It is possible to read information from a small recording mark. As an example of such MSR, the center aperture detection (Center Apert
The ure detection (CAD) method is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 5-81717.

【0004】このCAD方式では、室温においては面内
磁気異方性が優位な面内磁化状態であり、温度上昇に伴
い垂直磁気異方性が優位な垂直磁化状態となる再生層
と、情報を記録する記録層とを備え、再生層と記録層と
の間にそれらの交換結合を防ぐ非磁性層が設けられた光
磁気ディスクを用い、次のようにして情報の記録および
再生を行う。まず、この光磁気ディスクの記録層に、再
生に使用する光ビームのスポット径よりも小さな記録マ
ークで情報を記録する。
In the CAD system, the in-plane magnetization state in which the in-plane magnetic anisotropy is predominant at room temperature and the reproducing layer in which the perpendicular magnetization anisotropy is predominant in the perpendicular magnetization state as the temperature rises and information is recorded. Using a magneto-optical disk provided with a recording layer for recording and a non-magnetic layer for preventing exchange coupling between the reproducing layer and the recording layer, information is recorded and reproduced as follows. First, information is recorded on the recording layer of this magneto-optical disk with a recording mark smaller than the spot diameter of the light beam used for reproduction.

【0005】次いで、再生の際には、再生層に光ビーム
を照射する。再生層はこの光ビームにより加熱され温度
上昇するが、照射する光ビームは集光レンズにより回折
限界まで絞り込まれているので、光強度分布はガウス分
布となり、再生層における温度分布もガウス分布とな
る。よって、再生層の光ビームが照射された部分のうち
中央部分のみが磁気補償温度付近まで昇温され、この部
分が垂直磁化状態となる。この垂直磁化状態となった部
分には、記録層からの洩れ磁界が印加され、記録層に記
録された記録マークが転写される。再生層のそれ以外の
部分は面内磁化状態のままであるので、記録層の磁化を
マスクすることになる。この結果、光ビームのスポット
径よりも小さい記録マークから情報を読み出すことが可
能となる。
Next, at the time of reproduction, the reproduction layer is irradiated with a light beam. The reproducing layer is heated by this light beam and its temperature rises. However, since the irradiating light beam is narrowed down to the diffraction limit by the condenser lens, the light intensity distribution becomes Gaussian distribution, and the temperature distribution in the reproducing layer also becomes Gaussian distribution. . Therefore, only the central portion of the portion of the reproducing layer irradiated with the light beam is heated to near the magnetic compensation temperature, and this portion is in the perpendicular magnetization state. A leak magnetic field from the recording layer is applied to the portion in the perpendicular magnetization state, and the recording mark recorded on the recording layer is transferred. Since the other portions of the reproducing layer remain in the in-plane magnetization state, the magnetization of the recording layer is masked. As a result, it becomes possible to read information from a recording mark smaller than the spot diameter of the light beam.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】このようなCAD方式
は、再生時に初期化のための外部磁界を印加する必要が
ないという利点を有し、非常に優れた技術である。しか
しながら、CAD方式では、記録層からの洩れ磁界を利
用して再生層に記録マークを転写しているので、記録層
に記録された磁区の大きさの誤差または読み出し時に照
射されるレーザーパワーの誤差によって洩れ磁界が大き
く揺さぶられ、安定して読み出すのが比較的難しいとい
う問題があった。
Such a CAD method is an extremely excellent technique because it has the advantage that it is not necessary to apply an external magnetic field for initialization during reproduction. However, in the CAD method, since the recording mark is transferred to the reproducing layer by utilizing the leakage magnetic field from the recording layer, the error in the size of the magnetic domain recorded in the recording layer or the error in the laser power irradiated at the time of reading out. Due to this, the leakage magnetic field is greatly shaken, and there is a problem that stable reading is relatively difficult.

【0007】この読み出し安定性を評価する方法として
一般的なのは、記録パワーおよび再生パワーを変化させ
てエラーレートを測定し、エラーレートが十分に低下す
る記録パワーおよび再生パワーの範囲を求めるものであ
る。この読み出し可能な記録パワーの範囲は記録パワー
マージンと呼ばれ、20%を下回ると読み出し安定性に
欠け、30%以上有れば十分といえる。しかし、CAD
方式では、上述したように安定性が低く、記録パワーマ
ージンがしばしば20%を下回ってしまう。
A general method for evaluating the read stability is to measure the error rate by changing the recording power and the reproducing power, and obtain the range of the recording power and the reproducing power at which the error rate is sufficiently reduced. . This readable recording power range is called a recording power margin, and if it is less than 20%, the reading stability is poor, and if it is 30% or more, it can be said to be sufficient. But CAD
In the method, the stability is low as described above, and the recording power margin often falls below 20%.

【0008】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、記録パワーマージンを30%以上と
することができる光磁気ディスクを提供することにあ
る。
The present invention has been made in view of such problems, and an object thereof is to provide a magneto-optical disk capable of having a recording power margin of 30% or more.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明による第1の光磁
気ディスクは、順に積層された第1誘電体層,再生層,
記録層,第2誘電体層および熱拡散層を有し、記録層に
情報を記録すると共に、その記録した情報を記録層から
再生層に転写して再生するものであって、第2誘電体層
の厚みおよび熱拡散層の厚みは図1に斜線で示した範囲
内である、または第2誘電体層の厚みは30nm以上で
あり、熱拡散層の厚みは5nm以下の範囲内である、ま
たは第2誘電体層の厚みは50nm以上であり、第2誘
電体層の厚みをx[nm]、熱拡散層の厚みy[nm]
とすると、熱拡散層の厚みyはy≦0.3x+9.5の
範囲内であることを特徴とするものである。
A first magneto-optical disk according to the present invention comprises a first dielectric layer, a reproducing layer, and
A second dielectric, which has a recording layer, a second dielectric layer, and a thermal diffusion layer, records information on the recording layer, and transfers the recorded information from the recording layer to the reproducing layer for reproduction. The thickness of the layer and the thickness of the thermal diffusion layer are within the range indicated by the diagonal lines in FIG. 1, or the thickness of the second dielectric layer is 30 nm or more, and the thickness of the thermal diffusion layer is within the range of 5 nm or less. Alternatively, the thickness of the second dielectric layer is 50 nm or more, the thickness of the second dielectric layer is x [nm], and the thickness of the thermal diffusion layer is y [nm].
Then, the thickness y of the heat diffusion layer is characterized in that y ≦ 0.3x + 9.5.

【0010】本発明による第2の光磁気ディスクは、順
に積層された第1誘電体層,再生層,記録層,第2誘電
体層および熱拡散層を有し、記録層に情報を記録すると
共に、その記録した情報を記録層から再生層に転写して
再生するものであって、第2誘電体層の厚みをx[n
m]、熱拡散層の厚みy[nm]とすると、第2誘電体
層の厚みxは26.5nm以上であり、第2誘電体層の
厚みxが35nm以上の場合には、熱拡散層の厚みyは
y≦0.3x+9.5の範囲内であり、第2誘電体層の
厚みxが30.5nm以上35nm未満の場合には、熱
拡散層の厚みyはy≦0.78x−7.22の範囲内で
あり、第2誘電体層の厚みxが26.5nm以上30.
5nm未満の場合には、熱拡散層の厚みyは−1.25
x+43.1≦y≦1.63x−33.1の範囲内であ
ることを特徴とするものである。
A second magneto-optical disk according to the present invention has a first dielectric layer, a reproducing layer, a recording layer, a second dielectric layer and a thermal diffusion layer which are sequentially stacked, and records information on the recording layer. At the same time, the recorded information is transferred from the recording layer to the reproducing layer and reproduced, and the thickness of the second dielectric layer is x [n
m] and the thickness y [nm] of the thermal diffusion layer, the thickness x of the second dielectric layer is 26.5 nm or more, and when the thickness x of the second dielectric layer is 35 nm or more, the thermal diffusion layer is Is within a range of y ≦ 0.3x + 9.5, and when the thickness x of the second dielectric layer is 30.5 nm or more and less than 35 nm, the thickness y of the thermal diffusion layer is y ≦ 0.78x−. It is within the range of 7.22, and the thickness x of the second dielectric layer is 26.5 nm or more and 30.
When the thickness is less than 5 nm, the thickness y of the thermal diffusion layer is -1.25.
It is characterized in that x + 43.1 ≦ y ≦ 1.63x−33.1.

【0011】本発明による光磁気ディスクによれば、第
2誘電体層の厚みおよび熱拡散層の厚みが上述した範囲
内とされているので、再生時の温度分布が改善され、記
録パワーマージンが向上する。なお、本発明において、
図1に斜線で示した範囲内にはその範囲を囲む実線上も
含む。
According to the magneto-optical disk of the present invention, since the thickness of the second dielectric layer and the thickness of the thermal diffusion layer are within the above ranges, the temperature distribution during reproduction is improved and the recording power margin is improved. improves. In the present invention,
The shaded area in FIG. 1 includes the solid line surrounding the area.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して詳細に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0013】図2は本発明の一実施の形態に係る光磁気
ディスクの構成を表すものである。この光磁気ディスク
は、いわゆるCAD方式のMSRにより再生用の光ビー
ムのスポット径よりも小さい記録マークから情報を読み
出すことが可能とされたものであり、基板1の上に、第
1誘電体層2、再生層3、再生補助層4、非磁性層5、
記録層6、第2誘電体層7および熱拡散層8が順に積層
されている。
FIG. 2 shows the structure of a magneto-optical disk according to an embodiment of the present invention. In this magneto-optical disk, information can be read from a recording mark smaller than the spot diameter of a reproduction light beam by a so-called CAD MSR, and a first dielectric layer is formed on a substrate 1. 2, reproduction layer 3, reproduction auxiliary layer 4, non-magnetic layer 5,
The recording layer 6, the second dielectric layer 7, and the thermal diffusion layer 8 are sequentially stacked.

【0014】基板1は、例えば、積層方向の厚み(以
下、単に厚みと言う)が0.1mm〜1.2mmであ
り、ポリカーボネートなどの再生に用いる光に対して十
分な透過率を有する材料により構成されている。この基
板1には、必要に応じて、トラッキング制御を容易に行
えるようにするためのグルーブと呼ばれる案内溝や、あ
るいはアドレス情報などを示すエンボスピットが形成さ
れている。
The substrate 1 has, for example, a thickness in the stacking direction (hereinafter, simply referred to as thickness) of 0.1 mm to 1.2 mm, and is made of a material such as polycarbonate having a sufficient transmittance for light used for reproduction. It is configured. On this substrate 1, guide grooves called grooves for facilitating tracking control or embossed pits indicating address information or the like are formed as needed.

【0015】第1誘電体層2は、例えば、厚みが50n
m〜90nmであり、ケイ素の窒化物などの再生に用い
る光に対して十分な透過率を有する透明誘電体材料によ
り構成されている。なお、本明細書においてケイ素の窒
化物というのは、組成がSi 3 4 であるものに限ら
ず、ケイ素と窒素との化合物を広く含むものである。
The first dielectric layer 2 has a thickness of, for example, 50 n.
m-90 nm, used for regeneration of silicon nitride, etc.
Transparent dielectric material with sufficient transmittance for
It is composed of In the present specification, silicon nitride is used.
Compounds have the composition Si 3NFourLimited to
However, it widely includes compounds of silicon and nitrogen.

【0016】再生層3は、記録層6に記録されている情
報を再生時に転写するものである。再生層3は、例え
ば、厚みが15nm〜40nmであり、ガドリニウム・
鉄・コバルト系合金(GdFeCo系合金)などの希土
類元素と遷移元素との合金により構成されている。再生
層3における希土類元素の含有量は室温の補償組成より
も多くなっている。これにより、再生層3は、室温では
面内磁気異方性が優位な面内磁化状態であり、温度が上
昇すると垂直磁気異方性が優位な垂直磁化状態となる。
すなわち、室温においては高い飽和磁化にのために形状
異方性が大きく、磁化方向が面内に倒れている面内磁化
状態であるが、温度上昇に伴って飽和磁化が小さくな
り、磁気補償温度付近になると形状異方性が小さくなっ
て垂直磁気異方性が優位な垂直磁化状態になる。
The reproduction layer 3 transfers the information recorded in the recording layer 6 during reproduction. The reproduction layer 3 has, for example, a thickness of 15 nm to 40 nm and is made of gadolinium.
It is composed of an alloy of a rare earth element such as an iron-cobalt alloy (GdFeCo alloy) and a transition element. The content of the rare earth element in the reproduction layer 3 is higher than the compensation composition at room temperature. As a result, the reproducing layer 3 is in the in-plane magnetization state in which the in-plane magnetic anisotropy is dominant at room temperature, and becomes in the perpendicular magnetization state in which the perpendicular magnetic anisotropy is dominant when the temperature rises.
That is, at room temperature, the shape anisotropy is large due to the high saturation magnetization, and the magnetization direction is tilted in-plane, but the saturation magnetization becomes smaller as the temperature rises. The shape anisotropy becomes small in the vicinity, and the state becomes the perpendicular magnetization state in which the perpendicular magnetic anisotropy is dominant.

【0017】再生補助層4は、再生層3が面内磁化状態
から垂直磁化状態へと変化する温度において、再生層3
の状態変化を急峻とし、光磁気ディスクの更なる高密度
化を図るためのものである。再生補助層4は、例えば、
厚みが5nm〜20nmであり、ガドリニウム・鉄系合
金(GdFe系合金)などの希土類元素と遷移元素との
合金により構成されている。
The auxiliary reproduction layer 4 is formed at a temperature at which the reproduction layer 3 changes from the in-plane magnetization state to the perpendicular magnetization state.
The purpose of this is to make the state change abrupt and to further increase the density of the magneto-optical disk. The reproduction assisting layer 4 is, for example,
It has a thickness of 5 nm to 20 nm and is composed of an alloy of a rare earth element such as a gadolinium-iron alloy (GdFe alloy) and a transition element.

【0018】非磁性層5は、再生層3および再生補助層
4と、記録層6とが交換結合しないようにそれらの磁気
的結合を遮断するためのものである。非磁性層5は、例
えば、厚みが1nm〜5nmであり、ケイ素の窒化物な
どの記録に用いる光に対して十分な透過率を有する透明
非磁性材料により構成されている。
The non-magnetic layer 5 is for blocking the magnetic coupling between the reproducing layer 3 and the auxiliary reproducing layer 4 and the recording layer 6 so as not to exchange-couple them. The nonmagnetic layer 5 has a thickness of 1 nm to 5 nm, for example, and is made of a transparent nonmagnetic material such as silicon nitride having a sufficient transmittance for light used for recording.

【0019】記録層6は、情報を記録するものである。
記録層6は、例えば、厚みが20nm〜50nmであ
り、テルビウム・鉄・コバルト合金(TbFeCo合
金)などの希土類元素と遷移元素との合金により構成さ
れている。
The recording layer 6 is for recording information.
The recording layer 6 has, for example, a thickness of 20 nm to 50 nm and is made of an alloy of a rare earth element such as a terbium-iron-cobalt alloy (TbFeCo alloy) and a transition element.

【0020】第2誘電体層7は、例えば、ケイ素の窒化
物などの誘電体材料により構成されている。熱拡散層8
は、冷却時における再生層3と記録層6との温度変化の
差を大きくするためのものであり、例えば、アルミニウ
ム・チタン合金(AlTi合金)あるいはアルミニウム
・タングステン合金(AlW合金)などのアルミニウム
を含む合金により構成されている。
The second dielectric layer 7 is made of a dielectric material such as silicon nitride. Thermal diffusion layer 8
Is for increasing the difference in temperature change between the reproducing layer 3 and the recording layer 6 during cooling. For example, aluminum such as aluminum-titanium alloy (AlTi alloy) or aluminum-tungsten alloy (AlW alloy) is used. It is composed of an alloy containing.

【0021】第2誘電体層7の厚みおよび熱拡散層8の
厚みは、通常、第2誘電体層7については生産能率を上
げるために35nm以下とされ、熱拡散層8については
成膜のしやすさから20nm以上とされることが多い。
但し、これらの厚みは記録パワーマージンと密接な関係
があり、次に示すような範囲内とされることが好まし
い。これらの厚みを調整することにより、再生時に光ビ
ームを照射した際の光磁気ディスク内の温度分布を改善
することができる。記録パワーマージンを30%以上と
高くすることができるからである。
The thickness of the second dielectric layer 7 and the thickness of the thermal diffusion layer 8 are usually 35 nm or less for the second dielectric layer 7 in order to improve the production efficiency, and the thickness of the thermal diffusion layer 8 is not formed. It is often set to 20 nm or more for ease of use.
However, these thicknesses are closely related to the recording power margin, and it is preferable to set them within the following ranges. By adjusting these thicknesses, it is possible to improve the temperature distribution in the magneto-optical disk when a light beam is irradiated during reproduction. This is because the recording power margin can be increased to 30% or more.

【0022】図3は第2誘電体層7の厚みと熱拡散層8
の厚みとの関係を示すものである。第2誘電体層7の厚
みをx[nm]、前記熱拡散層8の厚みy[nm]とす
ると、第2誘電体層7の厚みxおよび熱拡散層8の厚み
yは図3において左下斜線で示した範囲内、または第2
誘電体層7の厚みxは30nm以上、熱拡散層8の厚み
yは5nm以下の範囲内、または第2誘電体層7の厚み
xは50nm以上、熱拡散層8の厚みyはy≦0.3x
+9.5の範囲内であることが好ましい。なお、図3に
おいて左下斜線で示した範囲内には、その範囲を囲む実
線上も含む。
FIG. 3 shows the thickness of the second dielectric layer 7 and the thermal diffusion layer 8.
Shows the relationship with the thickness of the. Assuming that the thickness of the second dielectric layer 7 is x [nm] and the thickness of the thermal diffusion layer 8 is y [nm], the thickness x of the second dielectric layer 7 and the thickness y of the thermal diffusion layer 8 are lower left in FIG. Within the shaded area or the second
The thickness x of the dielectric layer 7 is 30 nm or more, the thickness y of the thermal diffusion layer 8 is 5 nm or less, or the thickness x of the second dielectric layer 7 is 50 nm or more, and the thickness y of the thermal diffusion layer 8 is y ≦ 0. .3x
It is preferably within the range of +9.5. It should be noted that the range shown by the lower left diagonal line in FIG. 3 also includes the solid line surrounding the range.

【0023】具体的に近似した数式で示すと、第2誘電
体層7の厚みxは26.5nm以上であり、第2誘電体
層7の厚みxが35nm以上の場合には、熱拡散層8の
厚みyはy≦0.3x+9.5の範囲内、第2誘電体層
7の厚みxが30.5nm以上35nm未満の場合に
は、熱拡散層8の厚みyはy≦0.78x−7.22の
範囲内、第2誘電体層7の厚みxが26.5nm以上3
0.5nm未満の場合には、熱拡散層8の厚みyは−
1.25x+43.1≦y≦1.63x−33.1の範
囲内であることが好ましい。
In a concrete approximation, the thickness x of the second dielectric layer 7 is 26.5 nm or more, and when the thickness x of the second dielectric layer 7 is 35 nm or more, the thermal diffusion layer is formed. 8 has a thickness y within the range of y ≦ 0.3x + 9.5. When the thickness x of the second dielectric layer 7 is 30.5 nm or more and less than 35 nm, the thickness y of the thermal diffusion layer 8 is y ≦ 0.78x. Within the range of -7.22, the thickness x of the second dielectric layer 7 is 26.5 nm or more 3
When it is less than 0.5 nm, the thickness y of the thermal diffusion layer 8 is −.
It is preferable that it is within the range of 1.25x + 43.1 ≦ y ≦ 1.63x−33.1.

【0024】また、第2誘電体層7の厚みxおよび熱拡
散層8の厚みyを次に示すような範囲内とすれば、記録
パワーマージンをより大きくすることができるのでより
好ましい。例えば、図3において右下斜め2点破線で示
した範囲内、または第2誘電体層7の厚みxが40nm
以上、熱拡散層8の厚みyが5nm以下の範囲内、また
は第2誘電体層7の厚みxが50nm以上、熱拡散層8
の厚みyがy≦0.33x+3.33の範囲内であれば
より好ましい。なお、図3において右下斜め2点破線で
示した範囲内には、その範囲を囲む2点破線上も含む。
It is more preferable to set the thickness x of the second dielectric layer 7 and the thickness y of the thermal diffusion layer 8 within the following ranges, because the recording power margin can be further increased. For example, in the range shown by the two-dot dashed line in the lower right of FIG. 3, or the thickness x of the second dielectric layer 7 is 40 nm.
As described above, the thickness y of the thermal diffusion layer 8 is in the range of 5 nm or less, or the thickness x of the second dielectric layer 7 is 50 nm or more, and the thermal diffusion layer 8 is
It is more preferable that the thickness y is within the range of y ≦ 0.33x + 3.33. In addition, in FIG. 3, the range shown by the lower right diagonal two-dotted line includes the two-dotted line surrounding the range.

【0025】具体的に近似した数式で示すと、第2誘電
体層7の厚みxは32nm以上であり、第2誘電体層7
の厚みxが40nm以上の場合には、熱拡散層8の厚み
yはy≦0.33x+3.33の範囲内、第2誘電体層
7の厚みxが35nm以上40nm未満の場合には、熱
拡散層8の厚みyは−0.625x+30.0≦y≦
0.33x+3.33の範囲内、第2誘電体層7の厚み
xが32nm以上35nm未満の場合には、熱拡散層8
の厚みyは−0.625x+30.0≦y≦1.67x
−43.33の範囲内であればより好ましい。
In a concrete approximation, the thickness x of the second dielectric layer 7 is 32 nm or more, and the second dielectric layer 7 is
When the thickness x of the second diffusion layer 8 is 40 nm or more, the thickness y of the thermal diffusion layer 8 is within the range of y ≦ 0.33x + 3.33, and when the thickness x of the second dielectric layer 7 is 35 nm or more and less than 40 nm, The thickness y of the diffusion layer 8 is −0.625x + 30.0 ≦ y ≦.
Within the range of 0.33x + 3.33, when the thickness x of the second dielectric layer 7 is 32 nm or more and less than 35 nm, the thermal diffusion layer 8
Thickness y is -0.625x + 30.0≤y≤1.67x
More preferably, it is within the range of −43.33.

【0026】なお、第2誘電体層7の厚みxは、200
nm以下とすることが好ましく、100nm以下とすれ
ばより好ましい。あまり厚すぎると膜に割れなどが生じ
てしまうからである。
The thickness x of the second dielectric layer 7 is 200
It is preferably not more than 100 nm, more preferably not more than 100 nm. This is because if it is too thick, the film will crack.

【0027】このような構成を有する光磁気ディスク
は、例えば次のようにして製造することができる。
The magneto-optical disk having such a structure can be manufactured, for example, as follows.

【0028】まず、例えば、射出成形により基板1を作
製する。その際、必要に応じて、スタンパなどを用い、
基板1の表面に案内溝あるいはエンボスピットを形成す
る。次いで、基板1の上に、例えばスパッタリングによ
り、第1誘電体層2,再生層3,再生補助層4,非磁性
層5,記録層6,第2誘電体層7および熱拡散層8を順
に積層する。このうち、ケイ素の窒化物などの誘電体材
料あるいは非磁性材料により形成する第1誘電体層2,
非磁性層5および第2誘電体層7には例えば高周波スパ
ッタリングを用い、合金により形成する再生層3,再生
補助層4,記録層6および熱拡散層8には例えば直流ス
パッタリングを用いる。その際、第2誘電体層7の厚み
xおよび熱拡散層8の厚みyが上述した範囲内となるよ
うに調整する。これにより、図2に示した光磁気ディス
クが形成される。
First, the substrate 1 is manufactured by, for example, injection molding. At that time, if necessary, use a stamper,
Guide grooves or embossed pits are formed on the surface of the substrate 1. Then, the first dielectric layer 2, the reproduction layer 3, the reproduction auxiliary layer 4, the non-magnetic layer 5, the recording layer 6, the second dielectric layer 7, and the thermal diffusion layer 8 are sequentially formed on the substrate 1 by, for example, sputtering. Stack. Of these, the first dielectric layer 2, which is formed of a dielectric material such as silicon nitride or a non-magnetic material,
For example, high frequency sputtering is used for the non-magnetic layer 5 and the second dielectric layer 7, and direct current sputtering is used for the reproducing layer 3, the reproduction assisting layer 4, the recording layer 6 and the thermal diffusion layer 8 formed of an alloy. At that time, the thickness x of the second dielectric layer 7 and the thickness y of the thermal diffusion layer 8 are adjusted to fall within the above-mentioned ranges. As a result, the magneto-optical disk shown in FIG. 2 is formed.

【0029】この光磁気ディスクは、次のようにして情
報の書き込みおよび読み出しが行われる。
On this magneto-optical disk, information is written and read as follows.

【0030】情報の書き込みは、再生に使用する光ビー
ムよりもスポット径が小さい光ビームを基板1の側から
記録層6に照射することにより行う。記録層6は、再生
用の光ビームのスポット径よりも小さな記録マークで情
報を記録する。
Information is written by irradiating the recording layer 6 with a light beam having a smaller spot diameter than the light beam used for reproduction from the substrate 1 side. The recording layer 6 records information with a recording mark smaller than the spot diameter of the reproduction light beam.

【0031】情報の読み出しは、再生用の光ビームを基
板1の側から再生層3に照射することにより行う。再生
層3は、光ビームが照射された部分のうち中央部分のみ
が磁気補償温度付近まで昇温し、中央部分のみが垂直磁
化状態となる。これにより、この中央部分に記録層6か
らの洩れ磁界が印加され、記録層6に記録された記録マ
ークが転写される。再生層3のそれ以外の部分は面内磁
化状態であり、記録層6の磁化をマスクする。
The information is read by irradiating the reproducing layer 3 with a reproducing light beam from the substrate 1 side. In the reproducing layer 3, only the central portion of the portion irradiated with the light beam is heated to near the magnetic compensation temperature, and only the central portion is in the perpendicular magnetization state. As a result, a leakage magnetic field from the recording layer 6 is applied to this central portion, and the recording mark recorded on the recording layer 6 is transferred. The other portion of the reproducing layer 3 is in the in-plane magnetization state and masks the magnetization of the recording layer 6.

【0032】本実施の形態では、第2誘電体層7の厚み
xおよび熱拡散層8の厚みyが上述した所定の範囲内と
されているので、光磁気ディスク内の温度分布が改善さ
れる。よって、記録層6に記録された磁区の大きさの誤
差または読み出し時に照射される光ビームのパワーの誤
差などにより記録層6からの洩れ磁界が変動しても、記
録パワーマージンは大きく、情報を安定して読み出せ
る。
In this embodiment, the thickness x of the second dielectric layer 7 and the thickness y of the thermal diffusion layer 8 are within the above-mentioned predetermined ranges, so that the temperature distribution in the magneto-optical disk is improved. . Therefore, even if the leakage magnetic field from the recording layer 6 changes due to an error in the size of the magnetic domain recorded in the recording layer 6 or an error in the power of the light beam irradiated at the time of reading, the recording power margin is large and the information is It can be read stably.

【0033】このように本実施の形態に係る光磁気ディ
スクによれば、第2誘電体層7の厚みxおよび熱拡散層
8の厚みyを上述した所定の範囲内とするようにしたの
で、記録パワーマージンを30%以上とすることがで
き、情報の読み出し安定性を向上させることができる。
また、製造条件がばらついても、記録パワーマージンの
絶対必要量である20%を余裕で確保することができる
ので、製造稼働率および歩留りを向上させることがで
き、製造コストを削減することができる。
As described above, according to the magneto-optical disk of this embodiment, the thickness x of the second dielectric layer 7 and the thickness y of the thermal diffusion layer 8 are set within the above-mentioned predetermined ranges. The recording power margin can be set to 30% or more, and the information reading stability can be improved.
Further, even if the manufacturing conditions vary, it is possible to secure 20%, which is the absolute required amount of the recording power margin, with a margin, so that the manufacturing operation rate and the yield can be improved, and the manufacturing cost can be reduced. .

【0034】特に、第2誘電体層7の厚みxを200n
m以下とするようにすれば、膜の割れなどを防止するこ
とができ、高い特性を得ることができる。
In particular, the thickness x of the second dielectric layer 7 is 200n.
When it is set to m or less, cracking of the film can be prevented and high characteristics can be obtained.

【0035】[0035]

【実施例】更に、本発明の具体的な実施例について、詳
細に説明する。
EXAMPLES Further, specific examples of the present invention will be described in detail.

【0036】第2誘電体層7の厚みxおよび熱拡散層8
の厚みyを変化させて図1に示した光磁気ディスクを複
数作製した。ここでは図1を参照し、図1と同一の符号
を用いて説明する。
The thickness x of the second dielectric layer 7 and the thermal diffusion layer 8
A plurality of magneto-optical disks shown in FIG. 1 were manufactured by changing the thickness y of the magneto-optical disk. Here, with reference to FIG. 1, description will be given using the same reference numerals as those in FIG.

【0037】まず、ポリカーボネートを射出成形して厚
み1.2mmのディスク状の基板1を作製した。その
際、スタンパにより、基板1の表面にスパイラル状のグ
ルーブを形成した。次いで、基板1の表面に、高周波ス
パッタリングにより厚み90nmのケイ素の窒化物膜を
形成し、第1誘電体層2とした。続いて、第1誘電体層
2の上に、直流スパッタリングにより、厚み20nmの
Gd31Fe54Co15のアモルファス膜を形成して再生層
3とし、更に、厚み10nmのGd11Fe89のアモルフ
ァス膜を形成して再生補助層4とした。そののち、再生
補助層4の上に、高周波スパッタリングにより厚み2.
5nmのケイ素の窒化物膜を形成し、非磁性層5とし
た。次いで、非磁性層5の上に、直流スパッタリングに
より厚み40nmのTb19Fe66Co15のアモルファス
膜を形成し、記録層6とした。続いて、記録層6上に、
高周波スパッタリングにより厚み15nm〜50nmの
ケイ素の窒化物膜を形成し、第2誘電体層7とした。最
後に、第2誘電体層7の上に、直流スパッタリングによ
り厚み5nm〜40nmのAlTi合金膜(チタンの含
有量1.5質量%)を形成し、熱拡散層8とした。
First, polycarbonate was injection molded to prepare a disk-shaped substrate 1 having a thickness of 1.2 mm. At that time, a spiral groove was formed on the surface of the substrate 1 by the stamper. Then, a silicon nitride film having a thickness of 90 nm was formed on the surface of the substrate 1 by high frequency sputtering to form a first dielectric layer 2. Subsequently, an amorphous film of Gd 31 Fe 54 Co 15 having a thickness of 20 nm is formed on the first dielectric layer 2 by DC sputtering to form a reproducing layer 3, and further an amorphous film of Gd 11 Fe 89 having a thickness of 10 nm is formed. To form a reproduction assisting layer 4. After that, the thickness of 2.
A non-magnetic layer 5 was formed by forming a 5 nm silicon nitride film. Next, an amorphous film of Tb 19 Fe 66 Co 15 having a thickness of 40 nm was formed on the non-magnetic layer 5 by direct current sputtering to form a recording layer 6. Then, on the recording layer 6,
The second dielectric layer 7 was formed by forming a silicon nitride film having a thickness of 15 nm to 50 nm by high frequency sputtering. Finally, an AlTi alloy film (titanium content: 1.5% by mass) having a thickness of 5 nm to 40 nm was formed on the second dielectric layer 7 by direct current sputtering to form a thermal diffusion layer 8.

【0038】これにより、第2誘電体層7の厚みxを1
5nm〜50nmの範囲内で、熱拡散層8の厚みyを5
nm〜40nmの範囲内でそれぞれ変化させた複数の光
磁気ディスクを得た。この光磁気ディスクは、トラック
ピッチが0.65μmであり、グルーブが形成された部
分と、隣接するグルーブ間のランド部分との双方に情報
が書き込まれるランドグルーブ基板に対応したものであ
る。
As a result, the thickness x of the second dielectric layer 7 is set to 1
Within the range of 5 nm to 50 nm, the thickness y of the thermal diffusion layer 8 is set to 5
A plurality of magneto-optical discs each having a variation in the range of 40 nm to 40 nm were obtained. This magneto-optical disk has a track pitch of 0.65 μm, and corresponds to a land / groove substrate in which information is written in both the groove-formed portion and the land portion between adjacent grooves.

【0039】得られた各光磁気ディスクについて、記録
再生特性を評価した。まず、光磁気ディスクを線速度が
9.5m/sとなるように回転操作し、−24kA/m
の記録磁界を印加した状態で、記録パワーを変化させな
がら、ランドの部分に最短ピット長0.4μmとなる
(2−7)RLL変調化したランダムパターンを記録し
た。次いで、光磁気ディスクを同様の線速度で回転操作
し、+8kA/mの再生磁界を印加した状態で、再生パ
ワーを変化させながら記録された信号を再生し、バイト
エラーレートを測定した。図4に、1つの光磁気ディス
クについて得られたエラーバイトの測定結果を代表して
示す。
The recording / reproducing characteristics of each of the obtained magneto-optical disks were evaluated. First, the magneto-optical disk was rotated to a linear velocity of 9.5 m / s, and -24 kA / m.
With the recording magnetic field applied, the recording power was changed and a (2-7) RLL-modulated random pattern having a shortest pit length of 0.4 μm was recorded on the land portion. Then, the magneto-optical disk was rotated at the same linear velocity, and while the reproducing magnetic field of +8 kA / m was applied, the recorded signal was reproduced while changing the reproducing power, and the byte error rate was measured. FIG. 4 shows representatively the measurement results of error bytes obtained for one magneto-optical disk.

【0040】図4において、横軸は記録パワー、縦軸は
再生パワーである。バイトエラーレートについては、値
の等しいところを線で結ぶ等高式で表しており、右下斜
め細線で示した領域は1×10-4未満、左下斜め細線で
示した領域は1×10-4以上1×10-3未満、右下斜め
太線で示した領域は1×10-3以上1×10-2未満、左
下斜め太線で示した領域は1×10-2以上1×10-1
満、右下斜め破線で示した領域は1×10-1以上であ
る。
In FIG. 4, the horizontal axis represents the recording power and the vertical axis represents the reproducing power. The byte error rate is expressed by a contour formula that connects equal values with a line. The area shown by the lower right diagonal thin line is less than 1 × 10 −4 , and the area shown by the lower left diagonal thin line is 1 × 10 −. 4 or more and less than 1 × 10 -3 , the area indicated by the lower right diagonal thick line is 1 × 10 -3 or more and less than 1 × 10 -2 , and the area indicated by the lower left diagonal thick line is 1 × 10 -2 or more 1 × 10 -1 The region indicated by the lower right diagonal broken line is 1 × 10 −1 or more.

【0041】次いで、各光磁気ディスクについて、バイ
トエラレートの測定結果に基づき記録パワーマージンを
求めた。記録パワーマージンは、バイトエラーレートが
1×10-4未満の領域で記録パワーが最大となる再生パ
ワーを最適再生パワーとし、最適再生パワーにおいてバ
イトエラーレートが1×10-4未満となる下限記録パワ
ーL[mW]と、上限記録パワーH[mW]とから、数
1により算出した。
Next, a recording power margin was obtained for each magneto-optical disk based on the measurement result of the bite error rate. Regarding the recording power margin, the reproduction power that maximizes the recording power in the area where the byte error rate is less than 1 × 10 −4 is set as the optimum reproduction power, and the lower limit recording when the byte error rate is less than 1 × 10 −4 at the optimum reproduction power It was calculated from Equation 1 from the power L [mW] and the upper limit recording power H [mW].

【0042】[0042]

【数1】 [Equation 1]

【0043】図4に基づいて具体的に説明すると、図4
の場合には下限記録パワーLが7.5mW、上限記録パ
ワーHが10.0mWであるので、数1により記録パワ
ーマージンは28.6%となる。
A specific description will be given with reference to FIG.
In this case, since the lower limit recording power L is 7.5 mW and the upper limit recording power H is 10.0 mW, the recording power margin is 28.6% according to the equation (1).

【0044】図5に、各光磁気ディスクについて得られ
た記録パワーマージンの結果を示す。図5において、横
軸は第2誘電体層7の厚みx、縦軸は熱拡散層8の厚み
yである。記録パワーマージンについては、値の等しい
ところを線で結ぶ等高式で表しており、左下斜め1点細
線で示した領域は34%以上36%未満、右下斜め2点
細線で示した領域は32%以上34%未満、左下斜め細
線で示した領域は30%以上32%未満、右下斜め破細
線で示した領域は28%以上30%未満、左下斜め1点
太線で示した領域は26%以上28%未満、右下斜め2
点太線で示した領域は24%以上36%未満、左下斜め
太線で示した領域は22%以上24%未満、右下斜め破
太線で示した領域は20%以上32%未満である。
FIG. 5 shows the result of the recording power margin obtained for each magneto-optical disk. In FIG. 5, the horizontal axis represents the thickness x of the second dielectric layer 7, and the vertical axis represents the thickness y of the thermal diffusion layer 8. The recording power margin is expressed by a contour equation connecting equal values with a line. The area shown by the lower left diagonal one-dot thin line is 34% or more and less than 36%, and the area shown by the lower right diagonal two-dot thin line is 32% or more and less than 34%, the area indicated by the lower left diagonal thin line is 30% or more and less than 32%, the area indicated by the lower right diagonal thin line is 28% or more and less than 30%, and the area indicated by the thicker left lower diagonal line is 26 % Or more and less than 28%, lower right diagonal 2
The area shown by the dotted line is 24% or more and less than 36%, the area shown by the lower left diagonal thick line is 22% or more and less than 24%, and the area shown by the lower right diagonal broken line is 20% or more and less than 32%.

【0045】この結果から、第2誘電体層7の厚みxお
よび熱拡散層8の厚みyは記録パワーマージンと密接な
関係があり、これらの厚みx,yを、左下斜め細線,右
下斜め2点破細線および左下斜め1点破細線で示した範
囲内とすれば、記録パワーマージンを30%以上とでき
ることが分かった。
From these results, the thickness x of the second dielectric layer 7 and the thickness y of the thermal diffusion layer 8 have a close relationship with the recording power margin. These thicknesses x and y are the lower left diagonal thin line and the lower right diagonal. It was found that the recording power margin can be set to 30% or more within the range shown by the two-point broken line and the one-point broken line on the lower left.

【0046】この範囲を数式で近似して表せば、第2誘
電体層7の厚みxは26.5nm以上であり、第2誘電
体層7の厚みxが35nm以上の場合には、熱拡散層8
の厚みyはy≦0.3x+9.5の範囲内、第2誘電体
層7の厚みxが30.5nm以上35nm未満の場合に
は、熱拡散層8の厚みyはy≦0.78x−7.22の
範囲内、第2誘電体層7の厚みxが26.5nm以上3
0.5nm未満の場合には、熱拡散層8の厚みyは−
1.25x+43.1≦y≦1.63x−33.1の範
囲内である。
When this range is approximated by a mathematical expression, the thickness x of the second dielectric layer 7 is 26.5 nm or more, and when the thickness x of the second dielectric layer 7 is 35 nm or more, thermal diffusion is performed. Layer 8
Is within a range of y ≦ 0.3x + 9.5, and when the thickness x of the second dielectric layer 7 is 30.5 nm or more and less than 35 nm, the thickness y of the thermal diffusion layer 8 is y ≦ 0.78x−. Within the range of 7.22, the thickness x of the second dielectric layer 7 is 26.5 nm or more 3
When it is less than 0.5 nm, the thickness y of the thermal diffusion layer 8 is −.
It is within the range of 1.25x + 43.1 ≦ y ≦ 1.63x−33.1.

【0047】また、第2誘電体層7の厚みxおよび熱拡
散層8の厚みyを、右下斜め2点破細線で示した範囲
内、更には、左下斜め1点破細線で示した範囲内とすれ
ば、記録パワーマージンをより大きくできることが分か
った。
Further, the thickness x of the second dielectric layer 7 and the thickness y of the thermal diffusion layer 8 are within the range indicated by the broken line at the lower right diagonal two points, and further within the range indicated by the broken line at the lower left diagonal one point. It was found that the recording power margin can be further increased by doing so.

【0048】これらについても数式で近似して表せば、
より好ましいのは、第2誘電体層7の厚みxが32nm
以上であり、第2誘電体層7の厚みxが40nm以上の
場合には、熱拡散層8の厚みyはy≦0.33x+3.
33の範囲内、第2誘電体層7の厚みxが35nm以上
40nm未満の場合には、熱拡散層8の厚みyは−0.
625x+30.0≦y≦0.33x+3.33の範囲
内、第2誘電体層7の厚みxが32nm以上35nm未
満の場合には、熱拡散層8の厚みyは−0.625x+
30.0≦y≦1.67x−43.33の範囲内であ
る。
If these are also approximated by mathematical expressions,
More preferably, the thickness x of the second dielectric layer 7 is 32 nm.
When the thickness x of the second dielectric layer 7 is 40 nm or more, the thickness y of the thermal diffusion layer 8 is y ≦ 0.33x + 3.
In the range of 33, when the thickness x of the second dielectric layer 7 is 35 nm or more and less than 40 nm, the thickness y of the thermal diffusion layer 8 is −0.
Within the range of 625x + 30.0 ≦ y ≦ 0.33x + 3.33, when the thickness x of the second dielectric layer 7 is 32 nm or more and less than 35 nm, the thickness y of the thermal diffusion layer 8 is −0.625x +.
It is within the range of 30.0 ≦ y ≦ 1.67x−43.33.

【0049】なお、上記実施例では、第2誘電体層7の
厚みxを15〜50nmの範囲内で、熱拡散層8の厚み
yを5〜40nmの範囲内でそれぞれ変化させた場合に
ついて具体的に説明したが、第2誘電体層7の厚みxを
50nmよりも厚くした場合、または熱拡散層8の厚み
yを5nmよりも薄く、あるいは40nmよりも厚くし
た場合についても、図5に示した結果に準じ、図5に示
した領域を延長した範囲においても同様の結果を得るこ
とができる。
In the above embodiment, the case where the thickness x of the second dielectric layer 7 is changed within the range of 15 to 50 nm and the thickness y of the thermal diffusion layer 8 is changed within the range of 5 to 40 nm is specifically described. As described above, FIG. 5 also shows the case where the thickness x of the second dielectric layer 7 is thicker than 50 nm or the thickness y of the thermal diffusion layer 8 is thinner than 5 nm or thicker than 40 nm. According to the results shown, similar results can be obtained in the extended range of the region shown in FIG.

【0050】以上、実施の形態および実施例を挙げて本
発明を説明したが、本発明は上記実施の形態および実施
例に限定されるものではなく、種々変形可能である。例
えば、上記実施の形態および実施例では、光磁気ディス
クの構成について具体的に説明したが、本発明は、第1
誘電体層,再生層,記録層,第2誘電体層および熱拡散
層を備えた光磁気ディスクについて広く適用することが
でき、上記実施の形態で説明した他の層を備えていなく
てもよく、または説明した以外の他の層を備えていても
よい。
Although the present invention has been described with reference to the embodiments and examples, the present invention is not limited to the above-described embodiments and examples, and various modifications can be made. For example, although the configuration of the magneto-optical disk has been specifically described in the above embodiments and examples, the present invention is not limited to the first embodiment.
It can be widely applied to a magneto-optical disk having a dielectric layer, a reproducing layer, a recording layer, a second dielectric layer and a thermal diffusion layer, and may not have the other layers described in the above embodiment. , Or may have other layers other than those described.

【0051】また、上記実施の形態および実施例では、
CAD方式のMSRにより情報を読み出す光磁気ディス
クについて説明したが、本発明は、再生時における光磁
気ディスク内の内温度分布を改善するものであるので、
温度分布を利用して読み出しを行う他の方式、例えば後
方開口検出(Rear Aperture Detection ;RAD)方式
のMSR、または磁壁移動検出(Domain Wall Displace
ment Detection;DWDD)方式により情報を読み出す
光磁気ディスクにも適用することができる。但し、本発
明はCAD方式において高い効果が得られるので好まし
い。
Further, in the above-mentioned embodiment and example,
Although the magneto-optical disk for reading out information by the CAD MSR has been described, the present invention improves the internal temperature distribution in the magneto-optical disk during reproduction.
Other methods of reading using temperature distribution, for example, MSR of rear aperture detection (RAD) method, or domain wall displacement detection (Domain Wall Displacement)
ment detection (DWDD) method, the present invention can be applied to a magneto-optical disk that reads information. However, the present invention is preferable because a high effect can be obtained in the CAD method.

【0052】[0052]

【発明の効果】以上説明したように請求項1または請求
項2ないし請求項5のいずれか1項に記載の光磁気ディ
スクによれば、第2誘電体層の厚みおよび熱拡散層の厚
みを所定の範囲内とするようにしたので、記録パワーマ
ージンを30%以上とすることができ、情報の読み出し
安定性を向上させることができる。また、製造条件がば
らついても、記録パワーマージンの絶対必要量である2
0%を余裕で確保することができるので、製造稼働率お
よび歩留りを向上させることができ、製造コストを削減
することができる。
As described above, according to the magneto-optical disk of any one of claims 1 or 2 to 5, the thickness of the second dielectric layer and the thickness of the heat diffusion layer can be reduced. Since it is set within the predetermined range, the recording power margin can be set to 30% or more, and the information reading stability can be improved. Even if the manufacturing conditions vary, the recording power margin is the absolute required amount.
Since 0% can be secured with a margin, the manufacturing operation rate and the yield can be improved, and the manufacturing cost can be reduced.

【0053】特に、請求項4記載の光磁気ディスクによ
れば、第2誘電体層の厚みを200nm以下とするよう
にしたので、膜の割れなどを防止することができ、高い
特性を得ることができる。
Particularly, according to the magneto-optical disk of the fourth aspect, since the thickness of the second dielectric layer is set to 200 nm or less, it is possible to prevent the film from cracking and obtain high characteristics. You can

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の光磁気ディスクにおける第2誘電体層
の厚みおよび熱拡散層の厚みの範囲を表す関係図であ
る。
FIG. 1 is a relationship diagram showing a range of thicknesses of a second dielectric layer and a heat diffusion layer in a magneto-optical disk of the present invention.

【図2】本発明の一実施の形態に係る光磁気ディスクの
構成を表す部分断面図である。
FIG. 2 is a partial cross-sectional view showing the structure of a magneto-optical disk according to an embodiment of the present invention.

【図3】図1に示した光磁気ディスクにおける第2誘電
体層の厚みおよび熱拡散層の厚みの好ましい範囲を表す
関係図である。
3 is a relationship diagram showing a preferable range of the thickness of the second dielectric layer and the thickness of the heat diffusion layer in the magneto-optical disk shown in FIG.

【図4】本発明の実施例に関する再生パワーと記録パワ
ーとバイトエラーレートとの関係を表す特性図である。
FIG. 4 is a characteristic diagram showing a relationship among a reproduction power, a recording power and a byte error rate according to the example of the present invention.

【図5】本発明の実施例に関する第2誘電体層の厚みと
熱拡散層の厚みと記録パワーマージンとの関係を表す特
性図である。
FIG. 5 is a characteristic diagram showing the relationship between the thickness of the second dielectric layer, the thickness of the thermal diffusion layer, and the recording power margin according to the example of the present invention.

【符号の説明】 1…基板、2…第1誘電体層、3…再生層、4…再生補
助層、5…非磁性層、6…記録層、7…第2誘電体層、
8…熱拡散層
[Explanation of Codes] 1 ... Substrate, 2 ... First Dielectric Layer, 3 ... Reproduction Layer, 4 ... Reproduction Auxiliary Layer, 5 ... Nonmagnetic Layer, 6 ... Recording Layer, 7 ... Second Dielectric Layer,
8 ... Thermal diffusion layer

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 順に積層された第1誘電体層,再生層,
記録層,第2誘電体層および熱拡散層を有し、前記記録
層に情報を記録すると共に、その記録した情報を前記記
録層から前記再生層に転写して再生する光磁気ディスク
であって、 前記第2誘電体層の厚みおよび前記熱拡散層の厚みは図
1に斜線で示した範囲内である、 または前記第2誘電体層の厚みは30nm以上であり、
前記熱拡散層の厚みは5nm以下の範囲内である、 または前記第2誘電体層の厚みは50nm以上であり、
前記第2誘電体層の厚みをx[nm]、前記熱拡散層の
厚みy[nm]とすると、前記熱拡散層の厚みyはy≦
0.3x+9.5の範囲内であることを特徴とする光磁
気ディスク。
1. A first dielectric layer, a reproducing layer, which are sequentially stacked.
A magneto-optical disk having a recording layer, a second dielectric layer and a thermal diffusion layer, for recording information on the recording layer and transferring the recorded information from the recording layer to the reproducing layer for reproduction. The thickness of the second dielectric layer and the thickness of the thermal diffusion layer are within the range indicated by the diagonal lines in FIG. 1, or the thickness of the second dielectric layer is 30 nm or more,
The thickness of the thermal diffusion layer is in the range of 5 nm or less, or the thickness of the second dielectric layer is 50 nm or more,
When the thickness of the second dielectric layer is x [nm] and the thickness of the thermal diffusion layer is y [nm], the thickness y of the thermal diffusion layer is y ≦.
A magneto-optical disk having a range of 0.3x + 9.5.
【請求項2】 順に積層された第1誘電体層,再生層,
記録層,第2誘電体層および熱拡散層を有し、前記記録
層に情報を記録すると共に、その記録した情報を前記記
録層から前記再生層に転写して再生する光磁気ディスク
であって、 前記第2誘電体層の厚みをx[nm]、前記熱拡散層の
厚みy[nm]とすると、 前記第2誘電体層の厚みxは26.5nm以上であり、 前記第2誘電体層の厚みxが35nm以上の場合には、
前記熱拡散層の厚みyはy≦0.3x+9.5の範囲内
であり、 前記第2誘電体層の厚みxが30.5nm以上35nm
未満の場合には、前記熱拡散層の厚みyはy≦0.78
x−7.22の範囲内であり、 前記第2誘電体層の厚みxが26.5nm以上30.5
nm未満の場合には、前記熱拡散層の厚みyは−1.2
5x+43.1≦y≦1.63x−33.1の範囲内で
あることを特徴とする光磁気ディスク。
2. A first dielectric layer, a reproducing layer, which are sequentially stacked.
A magneto-optical disk having a recording layer, a second dielectric layer and a thermal diffusion layer, for recording information on the recording layer and transferring the recorded information from the recording layer to the reproducing layer for reproduction. When the thickness of the second dielectric layer is x [nm] and the thickness of the thermal diffusion layer is y [nm], the thickness x of the second dielectric layer is 26.5 nm or more. When the layer thickness x is 35 nm or more,
The thickness y of the thermal diffusion layer is in the range of y ≦ 0.3x + 9.5, and the thickness x of the second dielectric layer is 30.5 nm or more and 35 nm.
When less than, the thickness y of the thermal diffusion layer is y ≦ 0.78
x-7.22, and the thickness x of the second dielectric layer is 26.5 nm or more and 30.5.
When the thickness is less than nm, the thickness y of the thermal diffusion layer is -1.2.
A magneto-optical disk having a range of 5x + 43.1 ≦ y ≦ 1.63x−33.1.
【請求項3】 前記第2誘電体層の厚みxは32nm以
上であり、 前記第2誘電体層の厚みxが40nm以上の場合には、
前記熱拡散層の厚みyはy≦0.33x+3.33の範
囲内であり、 前記第2誘電体層の厚みxが35nm以上40nm未満
の場合には、前記熱拡散層の厚みyは−0.625x+
30.0≦y≦0.33x+3.33の範囲内であり、 前記第2誘電体層の厚みxが32nm以上35nm未満
の場合には、前記熱拡散層の厚みyは−0.625x+
30.0≦y≦1.67x−43.33の範囲内である
ことを特徴とする請求項2記載の光磁気ディスク。
3. The thickness x of the second dielectric layer is 32 nm or more, and when the thickness x of the second dielectric layer is 40 nm or more,
The thickness y of the thermal diffusion layer is in the range of y ≦ 0.33x + 3.33, and when the thickness x of the second dielectric layer is 35 nm or more and less than 40 nm, the thickness y of the thermal diffusion layer is −0. .625x +
Within the range of 30.0 ≦ y ≦ 0.33x + 3.33, and when the thickness x of the second dielectric layer is 32 nm or more and less than 35 nm, the thickness y of the thermal diffusion layer is −0.625x +.
3. The magneto-optical disk according to claim 2, wherein the range is 30.0 ≦ y ≦ 1.67x−43.33.
【請求項4】 前記第2誘電体層の厚みxは200nm
以下であることを特徴とする請求項2記載の光磁気ディ
スク。
4. The thickness x of the second dielectric layer is 200 nm.
The magneto-optical disk according to claim 2, wherein:
【請求項5】 前記第2誘電体層はケイ素(Si)の窒
化物よりなり、前記熱拡散層はアルミニウム(Al)を
含む合金よりなることを特徴とする請求項2記載の光磁
気ディスク。
5. The magneto-optical disk according to claim 2, wherein the second dielectric layer is made of a nitride of silicon (Si), and the thermal diffusion layer is made of an alloy containing aluminum (Al).
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