JP3472158B2 - Magneto-optical recording medium - Google Patents

Magneto-optical recording medium

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JP3472158B2
JP3472158B2 JP29081898A JP29081898A JP3472158B2 JP 3472158 B2 JP3472158 B2 JP 3472158B2 JP 29081898 A JP29081898 A JP 29081898A JP 29081898 A JP29081898 A JP 29081898A JP 3472158 B2 JP3472158 B2 JP 3472158B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気光学効果を利
用してレーザー光により情報の記録再生を行う光磁気記
録媒体に関し、特に再生時に磁壁の移動を利用した光磁
気記録媒体をさらに高密度化する方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical recording medium for recording / reproducing information with a laser beam by utilizing a magneto-optical effect, and more particularly to a magneto-optical recording medium utilizing a movement of a domain wall at the time of reproducing. About how to turn.

【0002】[0002]

【従来の技術】書き換え可能な高密度記録媒体として光
磁気ディスクが近年注目されている。さらに大容量の記
録媒体とするために、光磁気ディスクの記録密度を高め
る要求が高まっている。光ディスクの線記録密度は、再
生光学系のレーザー波長λ及び対物レンズの開口数NA
に大きく依存し、信号再生時の空間周波数は、NA/λ
程度が検出可能な限界である。従って、従来の光ディス
クで高密度化を実現するためには、再生光学系のレーザ
ー波長λを短くし、対物レンズの開口数NAを大きくす
る必要がある。しかしながら、レーザー波長や対物レン
ズの開口数の改善にも限界がある。このため、記録媒体
の構成や読み取り方法を工夫して記録密度を改善する技
術がいくつか提案されている。
2. Description of the Related Art In recent years, a magneto-optical disk has attracted attention as a rewritable high density recording medium. There is an increasing demand for increasing the recording density of the magneto-optical disk in order to make it a recording medium having a large capacity. The linear recording density of the optical disc is determined by the laser wavelength λ of the reproduction optical system and the numerical aperture NA of the objective lens.
, The spatial frequency during signal reproduction is NA / λ
The degree is the detectable limit. Therefore, in order to realize high density in the conventional optical disc, it is necessary to shorten the laser wavelength λ of the reproducing optical system and increase the numerical aperture NA of the objective lens. However, there is a limit in improving the laser wavelength and the numerical aperture of the objective lens. Therefore, some techniques have been proposed to improve the recording density by devising the configuration of the recording medium and the reading method.

【0003】例えば、本発明者らは、特開平6−290
496号公報において、再生信号振幅を低下させること
なく光の回路限界以下の周期の信号を高速で再生可能と
した光磁気記録媒体及びその再生方式及びその再生装置
を提案している。即ち、光磁気記録媒体の再生層に光ビ
ーム等の加熱手段によって温度分布を形成すると、磁壁
エネルギー密度に分布が生じるために、磁壁エネルギー
の低い方に磁壁を移動させることができる。
For example, the inventors of the present invention have disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 6-290.
Japanese Patent No. 496 proposes a magneto-optical recording medium, a reproducing method thereof and a reproducing apparatus thereof capable of reproducing a signal having a period equal to or shorter than a circuit limit of light at a high speed without lowering the reproduction signal amplitude. That is, when a temperature distribution is formed in the reproducing layer of the magneto-optical recording medium by a heating means such as a light beam, the domain wall energy density is distributed, so that the domain wall can be moved to the lower domain wall energy.

【0004】図4は、特開平6−290496号公報の
光磁気記録媒体およびその再生方法における作用を説明
するため模式図である。図4(a)に示すように、この
光磁気記録媒体の磁性層は、第1の磁性層51、第2の
磁性層52、第3の磁性層53が順次積層された積層構
造である。各層中の矢印54は原子スピンの向きを表し
ている。スピンの向きが相互に逆向きの領域の境界部に
は磁壁55が形成されている。
FIG . 4 is a schematic diagram for explaining the operation of the magneto-optical recording medium and the reproducing method thereof disclosed in JP-A-6-290496. As shown in FIG. 4A, the magnetic layer of this magneto-optical recording medium has a laminated structure in which a first magnetic layer 51, a second magnetic layer 52, and a third magnetic layer 53 are sequentially laminated. The arrow 54 in each layer represents the direction of atomic spin. A domain wall 55 is formed at the boundary between the regions where the spin directions are opposite to each other.

【0005】図4(b)は、再生時にこの光磁気記録媒
体に形成される温度分布を示すグラフである。この温度
分布は、再生用に照射されている光ビーム自身によって
媒体上に誘起されるものでもよいが、望ましくは別の加
熱手段を併用して、再生用の光ビームのスポットの手前
側から温度を上昇させ、スポットの後方に温度のピーク
が来るような温度分布を形成する。ここで位置xsにお
いては、媒体温度が第2の磁性層のキュリー温度近傍の
温度Tsになっている。
FIG . 4B is a graph showing the temperature distribution formed on the magneto-optical recording medium during reproduction. This temperature distribution may be induced on the medium by the light beam itself irradiating for reproduction, but it is desirable to use another heating means together, and the temperature from the front side of the spot of the reproduction light beam To form a temperature distribution such that a temperature peak appears behind the spot. At the position xs, the medium temperature is the temperature Ts near the Curie temperature of the second magnetic layer.

【0006】図4(c)は、図4(b)の温度分布に対
応する第1の磁性層の磁壁エネルギー密度σ1の分布を
示すグラフである。この様にx方向に磁壁エネルギー密
度σ1の勾配があると、位置xに存在する各層の磁壁に
対して下記式から求められる力F1が作用する。
FIG . 4C is a graph showing the distribution of the domain wall energy density σ 1 of the first magnetic layer corresponding to the temperature distribution of FIG. 4B. When there is a gradient of the domain wall energy density σ 1 in the x direction in this way, the force F 1 obtained from the following formula acts on the domain wall of each layer existing at the position x.

【0007】力F=∂σ/∂x この力F1は、磁壁エネルギーの低い方に磁壁を移動さ
せるように作用する。第1の磁性層は、磁壁抗磁力が小
さく磁壁移動度が大きいので、単独では、この力F1
よって容易に磁壁が移動する。しかし、位置xsより手
前(図では右側)の領域では、まだ媒体温度がTsより
低く、磁壁抗磁力の大きな第3の磁性層と交換結合して
いるために、第3の磁性層中の磁壁の位置に対応した位
置に第1の磁性層中の磁壁も固定されている。
Force F = ∂σ / ∂x This force F 1 acts so as to move the domain wall to the lower domain wall energy. Since the first magnetic layer has a small domain wall coercive force and a large domain wall mobility, by itself, the domain wall is easily moved by this force F 1 . However, in the region before the position xs (on the right side in the figure), the medium temperature is still lower than Ts, and the magnetic domain wall in the third magnetic layer is exchange-coupled with the third magnetic layer having a large magnetic coercive force. The domain wall in the first magnetic layer is also fixed at a position corresponding to the position.

【0008】媒体が、媒体移動方向58の方向に移動
し、図4(a)に示す様に、磁壁55が媒体の位置xs
にあると、媒体温度が第2の磁性層のキュリー温度近傍
の温度Tsまで上昇し、第1の磁性層と第3の磁性層と
の間の交換結合が切断される。この結果、第1の磁性層
中の磁壁55は、破線矢印57で示した様に、より温度
が高く磁壁エネルギー密度の小さな領域へと"瞬間的"に
移動する。
The medium moves in the medium moving direction 58, and as shown in FIG. 4A , the domain wall 55 is moved to the position xs of the medium.
In the above, the medium temperature rises to a temperature Ts near the Curie temperature of the second magnetic layer, and the exchange coupling between the first magnetic layer and the third magnetic layer is broken. As a result, the domain wall 55 in the first magnetic layer "instantly" moves to a region of higher temperature and smaller domain wall energy density, as indicated by the dashed arrow 57.

【0009】再生用の光ビームのスポット56の下を磁
壁55が通過すると、スポット内の第1の磁性層の原子
スピンは全て一方向に揃う。そして、媒体の移動に伴っ
て磁壁55が位置xsに来るたびに、スポットの下を磁
壁55が瞬間的に移動しスポット内の原子スピンの向き
が反転して全て一方向に揃う。この結果、図4(a)に
示す様に、再生信号振幅は記録されている磁壁の間隔
(即ち記録マーク長)によらず、常に一定かつ最大の振
幅になり、光学的な回折限界に起因した波形干渉等の問
題から完全に解放される。
When the domain wall 55 passes under the spot 56 of the reproducing light beam, all atomic spins of the first magnetic layer in the spot are aligned in one direction. Every time the magnetic domain wall 55 comes to the position xs as the medium moves, the magnetic domain wall 55 instantaneously moves under the spot and the directions of atomic spins in the spot are reversed to align them in one direction. As a result, as shown in FIG. 4A , the reproduction signal amplitude is always constant and maximum regardless of the recorded domain wall spacing (that is, the recording mark length), which is caused by the optical diffraction limit. Completely free from problems such as waveform interference.

【0010】このようにこの技術により、線記録密度を
向上させても再生出力が低下することがなく、以前より
高密度化が可能となった。
As described above, according to this technique, the reproduction output does not decrease even if the linear recording density is improved, and it is possible to achieve higher density than before.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】このときの磁壁の移動
は、同一トラック上で(トラック方向に)起こる現象で
あり、磁性層はトラック間で互いに分断(即ち、磁気的
に分離)されていることが必須となっている。この様な
閉じていない磁区(分断された磁壁)を作成する方法と
して、特開平6−209496号公報では、矩形の深溝
透明基板を用いる方法と、溝部分をレーザーでアニール
照射して磁気的に変質させる方法を提案しているが、矩
形の深溝透明基板については、成形時の転写性に問題が
あり、また、アニール処理を行った場合には、アニール
処理部分が情報データ部として使えないので、トラック
方向の記録密度が減少するといった問題があった。
The movement of the domain wall at this time is a phenomenon that occurs on the same track (in the track direction), and the magnetic layers are separated (that is, magnetically separated) between the tracks. Is mandatory. As a method of forming such an unclosed magnetic domain (divided domain wall), Japanese Patent Laid-Open No. 6-209496 discloses a method of using a rectangular deep groove transparent substrate and a method of magnetically irradiating the groove portion with a laser for annealing. Although a method of modifying the quality is proposed, the rectangular deep groove transparent substrate has a problem in transferability at the time of molding, and when the annealing treatment is performed, the annealing treatment portion cannot be used as the information data portion. However, there is a problem that the recording density in the track direction is reduced.

【0012】本発明者は、前記課題について鋭意検討し
た結果、深溝形成やアニール処理を用いずに、ランド&
グルーブ記録用の透明基板形状を工夫し、『矩形に近い
ランド&グルーブ基板で(かつランド部の幅を狭くする
ことによって)トラック間を磁気的に分離する方法』を
提案している。しかし、この方法では光磁気記録媒体の
記録面としてグルーブ面のみが使用可能で、ランド部は
情報データ部として使えないために、トラック密度を上
げるためには一層の改善が求められていた。
As a result of earnest studies on the above-mentioned problems, the present inventor found that the land &
We have proposed a "method of magnetically separating tracks with a land and groove substrate close to a rectangle (and narrowing the width of the land portion)" by devising the shape of a transparent substrate for groove recording. However, in this method, only the groove surface can be used as the recording surface of the magneto-optical recording medium, and the land portion cannot be used as the information data portion. Therefore, further improvement is required to increase the track density.

【0013】本発明は、上記の課題に鑑みてなされたも
ので、表面にランド部とグルーブ部を有する透明基板を
用いることにより、特別の磁気分断処理を行わなくとも
製造が容易で、かつランド部とグルーブ部の両方を記録
面とすることによりさらに高密度記録が可能な、温度勾
配を用いて磁壁を瞬間的に移動させて磁区を拡大再生す
ることができる光磁気記録媒体を提供することを目的と
する。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and by using a transparent substrate having a land portion and a groove portion on the surface, it is easy to manufacture without special magnetic cutting processing, and the land can be easily manufactured. PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magneto-optical recording medium capable of performing high density recording by using both a groove portion and a groove portion as a recording surface and capable of expanding and reproducing a magnetic domain by instantaneously moving a domain wall using a temperature gradient. With the goal.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板と、
この透明基板の表面に形成され、少なくとも再生する磁
性層の磁壁を移動させることによって、見かけ上磁区を
拡大させて再生することが可能な磁性層を有する光磁気
記録媒体において、前記透明基板の表面は、ランド部と
グルーブ部からなり、このランド部の傾斜面の表面粗さ
Raが1.2nm以下であり且つ傾斜面の角度が40〜
90度であることを特徴とする光磁気記録媒体に関す
る。
The present invention comprises a transparent substrate,
A magneto-optical recording medium having a magnetic layer formed on the surface of this transparent substrate and capable of reproducing by expanding at least a magnetic domain by moving at least a magnetic domain wall of the magnetic layer to be reproduced, the surface of the transparent substrate consists lands and grooves, 40 the angle of and the inclined surface roughness Ra of the inclined plane Ri der following 1.2nm of the land portion
It relates to a magneto-optical recording medium characterized by being 90 degrees .

【0015】前記磁性層を、少なくとも第1、第2、第
3の磁性層が順次積層された積層構造とし、第1の磁性
層を、周囲温度において第3の磁性層に比べて相対的に
磁壁抗磁力が小さく磁壁移動度の大きな磁性層とし、第
2の磁性層を、第1の磁性層及び第3の磁性層よりキュ
リー温度の低い磁性層とすることが好ましい。
The magnetic layer has a laminated structure in which at least a first magnetic layer, a second magnetic layer and a third magnetic layer are sequentially laminated, and the first magnetic layer is relatively at ambient temperature as compared with the third magnetic layer. It is preferable that the magnetic layer has a small domain wall coercive force and a large domain wall mobility, and the second magnetic layer is a magnetic layer having a lower Curie temperature than the first magnetic layer and the third magnetic layer.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】図1は、本発明の光磁気記録媒体
を、記録方向に対して直角に切った断面の模式図であ
り、図2は、透明基板のみを示した図である。本発明で
用いられる透明基板11の表面には、凸状のランド部1
と凹状のグルーブ部2が形成されている。図1に示すよ
うにランド部は平面の上面と傾斜面の側面を有し、グル
ーブ部面は平面である。
1 is a schematic view of a cross section of a magneto-optical recording medium of the present invention cut at a right angle to the recording direction, and FIG. 2 is a view showing only a transparent substrate. The convex land portion 1 is formed on the surface of the transparent substrate 11 used in the present invention.
And a concave groove portion 2 is formed. As shown in FIG. 1, the land portion has a flat upper surface and inclined side surfaces, and the groove portion surface is a flat surface.

【0017】ランド部の傾斜面の角度θは、40〜90
度である。ランド部の傾斜面の角度θを40度以上にす
ることで、磁性層13を堆積したときに、グルーブ部と
ランド部の境界に磁性層に切れ目(不連続面A)が生
じ、磁性層は磁気的に分離されるので、特別な分断処方
を必要としない。さらに磁気分離を確実に行うために
は、90度に近い方が好ましく、60〜90度が好まし
い。
The angle θ of the inclined surface of the land portion is 40 to 90.
It is degree. By setting the angle θ of the inclined surface of the land portion to 40 degrees or more, when the magnetic layer 13 is deposited, a cut (discontinuous surface A) is generated in the magnetic layer at the boundary between the groove portion and the land portion, and the magnetic layer is formed. Since they are magnetically separated, no special prescription is required. Further, in order to surely perform magnetic separation, it is preferably close to 90 degrees, and preferably 60 to 90 degrees.

【0018】ランド部1およびグルーブ部2の幅は、高
密度化のためには狭いほどよいが、クロスイレース(隣
接トラック上に記録されたマークの消去)およびクロス
トーク(隣接トラックよりの再生信号の混入)の影響が
小さく、しかも実用に耐える再生信号が得られる程度の
広さは必要であるので、通常0.1〜0.8μmであ
り、好ましくは0.3〜0.6μmである。また、ラン
ド幅23とグルーブ幅24の比は7:3〜4:6程度が
好ましい。また、ランド部の高さ25は、クロストーク
キャンセルが可能なλ/(3n)(但し、λは光の波長
であり、nは自然数である。)にほぼ等しいことが好ま
しく、さらに磁性層を磁気的に分離する効果を発現する
ためには大きいほど好ましく、通常50〜600nmで
あり、好ましくは85〜400nmである。
The widths of the land portion 1 and the groove portion 2 are preferably as narrow as possible for higher density, but cross erase (erasure of marks recorded on adjacent tracks) and crosstalk (reproduction signal from adjacent tracks). Since the influence of (mixture of) is small and the width is large enough to obtain a reproduced signal that can be used practically, it is usually 0.1 to 0.8 μm, preferably 0.3 to 0.6 μm. Further, the ratio of the land width 23 to the groove width 24 is preferably about 7: 3 to 4: 6. Further, it is preferable that the height 25 of the land portion is approximately equal to λ / (3n) (where λ is the wavelength of light and n is a natural number) at which crosstalk cancellation is possible. In order to exert the effect of magnetically separating, the larger is preferable, and it is usually 50 to 600 nm, preferably 85 to 400 nm.

【0019】本発明者の検討によれば、このように形状
の透明基板でも、ランド部の傾斜面14の表面粗さが粗
い場合には、ランド部では磁壁移動再生が極めて起こり
にくいことがわかった。即ち、その表面凹凸の大きさが
磁壁移動再生の障害になるために、磁壁移動再生は起こ
っているが、その信号レベルは極めて低い。
According to the study by the present inventor, even in the transparent substrate having such a shape, if the surface roughness of the inclined surface 14 of the land portion is rough, it is extremely difficult for the domain wall movement reproduction to occur in the land portion. It was That is, since the size of the surface irregularities hinders the domain wall motion reproduction, the domain wall motion reproduction is occurring, but the signal level is extremely low.

【0020】そこで本発明では、透明基板のランド部の
傾斜面14の表面粗さRaを1.2nm以下とすること
により、ランド部でも磁壁移動再生が可能になった。ラ
ンド部の傾斜面の表面粗さはできるだけ小さい方が好ま
しく、0.6nm以下であることが特に好ましい。
Therefore, in the present invention, by setting the surface roughness Ra of the inclined surface 14 of the land portion of the transparent substrate to be 1.2 nm or less, the domain wall movement reproduction can be performed even in the land portion. The surface roughness of the inclined surface of the land portion is preferably as small as possible, and particularly preferably 0.6 nm or less.

【0021】また、ランド部の上面およびグルーブ部の
表面の表面粗さRaも、1.2nm以下、特に0.6n
m以下であることが好ましい。
The surface roughness Ra of the upper surface of the land portion and the surface of the groove portion is 1.2 nm or less, particularly 0.6 n.
It is preferably m or less.

【0022】本発明の光磁気記録媒体の層構造の一例
を、図3に示す。透明基板11上に、第1の誘電体層3
2、磁性層33、第2の誘電体層34が順に積層形成さ
れている。
An example of the layer structure of the magneto-optical recording medium of the present invention is shown in FIG. The first dielectric layer 3 is formed on the transparent substrate 11.
2, the magnetic layer 33, and the second dielectric layer 34 are sequentially stacked.

【0023】本発明で用いられる透明基板としては、例
えば、ガラス、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリ
レート、熱可塑性ノルボルネン系樹脂等を挙げることが
できる。
Examples of the transparent substrate used in the present invention include glass, polycarbonate, polymethylmethacrylate, and thermoplastic norbornene-based resin.

【0024】透明基板の成形方法としては特に制限はな
いが、多量生産するためには、射出成形が好ましい。こ
の場合、透明基板の表面粗さは、スタンパの表面粗さが
ほぼ反映される。従って、スタンパのランド部、グルー
ブ部に対応する面が前述のような表面粗さになるように
スタンパを製造する。スタンパを製造するには、まず、
ガラス原盤を研磨し、その上にレジストをランド部の高
さ25と対応する厚さに塗布し、熱処理を行った後、所
定のパターンに露光してカッティング(記録)した後、
現像して凹凸パターンを形成する。このとき、ランド部
に対応する部分にレジストが残ったレジスト原盤ができ
る。
The method for molding the transparent substrate is not particularly limited, but injection molding is preferable for mass production. In this case, the surface roughness of the transparent substrate substantially reflects the surface roughness of the stamper. Therefore, the stamper is manufactured so that the surface corresponding to the land portion and the groove portion of the stamper has the surface roughness as described above. To manufacture a stamper, first
The glass master is polished, a resist is applied on the glass master to a thickness corresponding to the height 25 of the land portion, heat-treated, exposed to a predetermined pattern and cut (recorded),
It develops and forms an uneven | corrugated pattern. At this time, a resist master disk is formed in which the resist remains in the portion corresponding to the land portion.

【0025】次にNiをスパッタ成膜した後Ni電鋳を
行ない、剥離・洗浄してスタンパを完成する。このスタ
ンパを用いて透明基板を成形すると、パターン状のレジ
スト原盤と同一の形状の透明基板が得られる。従って、
透明基板のランド部の上面及び傾斜面に対応するスタン
パの表面粗さは、レジストの上面および傾斜面の表面粗
さのレプリカとなるため、レジストの面粗さが直接反映
される。
Next, after Ni is formed by sputtering, Ni electroforming is performed, peeling and cleaning are performed, and the stamper is completed. When a transparent substrate is molded using this stamper, a transparent substrate having the same shape as the patterned resist master can be obtained. Therefore,
The surface roughness of the stamper corresponding to the upper surface and the inclined surface of the land portion of the transparent substrate is a replica of the surface roughness of the upper surface and the inclined surface of the resist, and thus the surface roughness of the resist is directly reflected.

【0026】また、このグルーブ面をランド面として使
いたいときには、作成したスタンパをマザーにして逆性
のスタンパを作成すれば良い。この場合、スタンパの表
面粗さは、ランド部の上面はガラス原盤、ランド部の傾
斜面ではレジスト面の表面粗さが反映される。
When the groove surface is desired to be used as a land surface, the stamper thus prepared may be used as a mother to prepare a reverse stamper. In this case, the surface roughness of the stamper reflects the glass master on the upper surface of the land portion and the resist surface on the inclined surface of the land portion.

【0027】ランド部の表面粗さを制御するには、特に
ガラス原盤の表面粗さが重要であり、ガラス原盤の表面
粗さRaが1.2nm以下、特に好ましくは0.6nm
以下となるように制御することが好ましい。
In order to control the surface roughness of the land portion, the surface roughness of the glass master is particularly important, and the surface roughness Ra of the glass master is 1.2 nm or less, particularly preferably 0.6 nm.
It is preferable to control the following.

【0028】さらに、レジスト材料およびその濃度、レ
ジスト工程(レジスト回転数、レジスト塗布量、給排気
条件、温度、湿度等)、露光条件を最適化して、ガラス
原盤の表面に忠実に追随するようなレジスト膜を形成
し、さらにNiスパッタ膜の成膜条件を適宜調整するこ
とにより、所定の表面粗さに制御することが可能であ
る。特に傾斜部の表面粗さは、レジスト材料・濃度(揮
発性)、露光条件および現像条件等を調整することで、
表面粗さRaを1.2nm以下とすることができる。ま
た、傾斜面の角度θも、同様の条件を調整することで制
御することができる。
Further, the resist material and its concentration, the resist process (resist rotation speed, resist coating amount, air supply / exhaust conditions, temperature, humidity, etc.) and exposure conditions are optimized so as to faithfully follow the surface of the glass master. It is possible to control to a predetermined surface roughness by forming a resist film and adjusting the film forming conditions of the Ni sputtered film appropriately. Especially the surface roughness of the sloped part can be adjusted by adjusting the resist material / concentration (volatility), exposure conditions and development conditions.
The surface roughness Ra can be 1.2 nm or less. Further, the angle θ of the inclined surface can be controlled by adjusting the same condition.

【0029】また、磁性層33は、単層であっても積層
であっても良く、特に限定されないが、再生時に磁壁を
移動させて、見かけ上、磁区を拡大して再生することが
できる磁性層である。
Further, the magnetic layer 33 may be a single layer or a laminated layer, and is not particularly limited, but the magnetic domain wall can be moved during reproduction to apparently expand the magnetic domain to reproduce. It is a layer.

【0030】例えば、特開平6−290496号公報に
示されているような第1の磁性層、第2の磁性層および
第3の磁性層からなる3層構成が用いられる。ここで第
1の磁性層331は周囲温度近傍においてこの第3の磁
性層に比べて相対的に磁壁抗磁力が小さく磁壁移動度の
大きな磁性層(移動層かつ再生層)であり、第2の磁性
層332はこの第1の磁性層及び第3の磁性層よりもキ
ュリー温度の低い磁性層(スイッチング層)からなり、
第3の磁性層333は、磁区の保存安定性に優れた通常
の磁気記録層(メモリ層)である。各磁性層はスパッタ
リングや真空蒸着等の物理蒸着法で連続成膜することに
より、互いに交換結合をしている。
For example, a three-layer structure composed of a first magnetic layer, a second magnetic layer and a third magnetic layer as shown in JP-A-6-290496 is used. Here, the first magnetic layer 331 is a magnetic layer (moving layer and reproducing layer) which has a smaller domain wall coercive force and a larger domain wall mobility than the third magnetic layer in the vicinity of the ambient temperature. The magnetic layer 332 includes a magnetic layer (switching layer) having a Curie temperature lower than that of the first magnetic layer and the third magnetic layer,
The third magnetic layer 333 is an ordinary magnetic recording layer (memory layer) having excellent storage stability of magnetic domains. Each magnetic layer is exchange-coupled with each other by continuously forming a film by a physical vapor deposition method such as sputtering or vacuum vapor deposition.

【0031】第1の磁性層としては、例えばGdCo、
GdFe、GdFeCo、NdGdFeCo、TbFe
Coなどの垂直磁気異方性が比較的小さな希土類−鉄族
非晶質合金やガーネット等のバブルメモリ用の材料が好
ましい。
As the first magnetic layer, for example, GdCo,
GdFe, GdFeCo, NdGdFeCo, TbFe
A material for bubble memory such as rare earth-iron group amorphous alloy or garnet having a relatively small perpendicular magnetic anisotropy such as Co is preferable.

【0032】第2の磁性層としては、例えば、DyC
o、TbCo、GdCo、GdFeCo等のCo系合金
あるいはDyFe、GdFe、TbFe等のFe系合金
磁性層で、キュリー温度が第1の磁性層及び第3の磁性
層333より小さく、飽和磁化の値が第3の磁性層より
小さいものが好ましい。また、Co、Cr、Ti等の添
加量でキュリー温度が調整可能である。
As the second magnetic layer, for example, DyC
o, TbCo, GdCo, GdFeCo, or other Co-based alloy or DyFe, GdFe, TbFe, or other Fe-based alloy magnetic layer having a Curie temperature lower than those of the first magnetic layer and the third magnetic layer 333 and a saturation magnetization value of It is preferably smaller than the third magnetic layer. Further, the Curie temperature can be adjusted by the addition amount of Co, Cr, Ti or the like.

【0033】第3の磁性層としては、例えば、TbFe
Co、DyFeCo、GdFeCo、TbDyFeCo
などの希土類−鉄族非晶質合金やPt/Co、Pd/C
oなどの白金族−鉄族周期構造膜等、飽和磁化と磁気異
方性の値が大きく、磁化状態(磁区)が安定に保持でき
るものが好ましい。
As the third magnetic layer, for example, TbFe
Co, DyFeCo, GdFeCo, TbDyFeCo
Rare earth-iron group amorphous alloys such as Pt / Co, Pd / C
It is preferable to use a platinum group-iron group periodic structure film such as o that has a large value of saturation magnetization and magnetic anisotropy and can stably hold the magnetization state (magnetic domain).

【0034】誘電体層32、34は特に限定されない
が、SiN、SiO2、ZnS等が好ましい。
The dielectric layers 32 and 34 are not particularly limited, but SiN, SiO 2 , ZnS and the like are preferable.

【0035】また、必要に応じてAl合金等の反射膜を
第2の誘電体層34上に形成しても良い。
A reflective film such as an Al alloy may be formed on the second dielectric layer 34, if necessary.

【0036】この磁気記録媒体では、磁気増幅層と記録
層の間に中間層を設けてもよい。
In this magnetic recording medium, an intermediate layer may be provided between the magnetic amplification layer and the recording layer.

【0037】[0037]

【実施例】以下に具体的な実施例をもって本発明を更に
詳しく説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、
以下の実施例に限定されるものではない。
EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to the following specific examples. However, the present invention does not exceed the gist of the invention.
The present invention is not limited to the following examples.

【0038】透明基板31および磁性層33の表面粗さ
は、走査型プローブ顕微鏡(SPM)NanoScop
eIII(米国デジタルインスツルメンツ社製)のタッ
ピングモードAFMを用いて測定した。探針は通常のブ
レードチップを用い、表面粗さは、Ra(平均中心線粗
さ)の値で比較した。
The surface roughness of the transparent substrate 31 and the magnetic layer 33 is determined by scanning probe microscope (SPM) NanoScop.
The measurement was performed using a tapping mode AFM of eIII (manufactured by Digital Instruments, USA). An ordinary blade tip was used as the probe, and the surface roughness was compared by the value of Ra (average center line roughness).

【0039】<記録再生方法>測定に用いた記録再生装
置には、図5に示すように、一般的な光磁気ディスク記
録再生装置の光学系に、加熱用のレーザーが付加されて
いる。81は、記録再生用のレーザー光源で、波長は6
35nmで、記録媒体に対してP偏向が入射する様に配
置されている。82は、加熱用のレーザー光源で、波長
は1.3μmで、同じく記録媒体に対してP偏向が入射
する様に配置されている。83は、635nm光を10
0%透過し、1.3μm光を100%反射するように設
計されたダイクロイックミラーである。84は、偏向ビ
ームスプリッタで、635nm光、1.3μm光、各々
のP偏向は70〜80%透過し、S偏向は100%反射
するよう設計されている。1.3μm光の光束径は、対
物レンズ85の開口径よりも小さくなるようにしてあ
り、全開口部を通過して集光される635nm光に比べ
て、NAが小さくなるようにしてある。また、87は、
1.3μm光が、信号検出系に漏れ込まないようにする
ために設けるもので、635nm光を100%透過し、
1.3μm光を100%反射するように設計されたダイ
クロイックミラーである。
<Recording / Reproducing Method> In the recording / reproducing apparatus used for the measurement, as shown in FIG. 5 , a heating laser is added to the optical system of a general magneto-optical disk recording / reproducing apparatus. Reference numeral 81 is a laser light source for recording and reproduction, which has a wavelength of 6
It is arranged so that P deflection is incident on the recording medium at 35 nm. Reference numeral 82 denotes a laser light source for heating, which has a wavelength of 1.3 μm and is arranged so that P deflection is incident on the recording medium. 83 is 10 for 635 nm light
It is a dichroic mirror designed to transmit 0% and reflect 100% of 1.3 μm light. Reference numeral 84 is a deflecting beam splitter, which is designed to transmit 70% to 80% of P polarization of 635 nm light and 1.3 μm of light, and reflect 100% of S polarization. The light flux diameter of the 1.3 μm light is smaller than the aperture diameter of the objective lens 85, and the NA is smaller than that of the 635 nm light condensed through the entire aperture. Also, 87 is
It is provided to prevent 1.3 μm light from leaking into the signal detection system. It transmits 100% of 635 nm light,
It is a dichroic mirror designed to reflect 100% of 1.3 μm light.

【0040】この光学系により、記録媒体86の記録面
上に、図6(a)に示すように、記録トラック95上に
おいて、記録再生用のスポット91と、加熱用のスポッ
ト92とを結像させることができる。加熱用のスポット
92は、波長が長くNAが小さいので、記録再生用のス
ポット91よりも径が大きくなる。これにより、移動し
ている媒体の記録面上の記録再生用のスポット91の領
域に、図6(b)に示してあるような所望の温度勾配を
容易に形成することができる。ここで温度Tsの等温線
96も図示する。
By this optical system, a recording / reproducing spot 91 and a heating spot 92 are imaged on the recording surface of the recording medium 86 on the recording track 95 as shown in FIG. 6A . Can be made. Since the heating spot 92 has a long wavelength and a small NA, it has a larger diameter than the recording / reproducing spot 91. As a result, a desired temperature gradient as shown in FIG. 6B can be easily formed in the area of the recording / reproducing spot 91 on the recording surface of the moving medium. An isotherm 96 of the temperature Ts is also shown here.

【0041】まず、記録再生用レーザーを8mWでDC
照射しながら磁界を±150[Oe]で変調することに
より、第3の磁性層のキュリー温度以上に加熱した後の
冷却過程で、磁界の変調に対応した上向き磁化と下向き
磁化との繰り返しパターンを形成した。尚、この時、加
熱用のレーザーを合わせて照射して、記録再生用レーザ
ーの記録パワーを低減させることも可能である。
First, the recording / reproducing laser was set to DC at 8 mW.
By modulating the magnetic field at ± 150 [Oe] while irradiating, a repeating pattern of upward magnetization and downward magnetization corresponding to the modulation of the magnetic field is formed in the cooling process after heating above the Curie temperature of the third magnetic layer. Formed. At this time, it is also possible to reduce the recording power of the recording / reproducing laser by irradiating the heating laser together.

【0042】記録磁界の変調周波数は1〜10MHzま
で変化させ、各実施例で示す所定のピット長、ピット間
隔で記録を行った。
The modulation frequency of the recording magnetic field was changed from 1 to 10 MHz, and recording was performed with a predetermined pit length and pit interval shown in each example.

【0043】再生時の記録再生用のレーザーのパワーは
1mWとし、加熱用のレーザーを20mWのパワーで同
時に照射しながら、各マーク長のパターンについてC/
Nを測定した。この時の媒体面上の温度分布は図6
(b)に示すとおりである。このときの再生原理は、特
開平6−290496号公報と同様であり、媒体が移動
して、媒体温度が第2の磁性層のTsまで上昇し、第1
および第3の磁性層との交換結合が切れ、第1の磁性層
の磁壁93がより温度が高く磁壁エネルギー密度の小さ
い領域へ瞬間的に移動するので、マーク長が短くなって
も再生用のスポット内の第1の磁性層の原子スピンをす
べて一方向にそろえることが可能で、かつ記録マーク長
によらず常に一定かつ最大の振幅となり、光の回折限界
以下の周期の信号が再生可能となる。
The power of the recording / reproducing laser at the time of reproduction is
1mW, heating laser with the same power of 20mW
While irradiating, C / for each mark length pattern
N was measured. The temperature distribution on the medium surface at this time isFigure 6
It is as shown in (b). The reproduction principle at this time is
Similar to Kaihei 6-290496, the medium moves
Then, the medium temperature rises to Ts of the second magnetic layer,
And the exchange coupling with the third magnetic layer is broken, and the first magnetic layer
Domain wall 93 has a higher temperature and a smaller domain wall energy density.
The mark length is shortened because
Also shows the atomic spin of the first magnetic layer in the reproducing spot.
It is possible to align in all directions and the recording mark length
A constant and maximum amplitude, regardless of
The signals with the following cycles can be reproduced.

【0044】<実施例1> この実施例で用いた透明基板11は、図2に示すよう
に、材料としてポリカーボネートを用い、ランド幅23
が0.6μm、グルーブ幅24が0.4μmである。ラ
ンド部の傾斜面の角度θは70度、ランド部の高さ25
は280nmである。
Example 1 As shown in FIG. 2, the transparent substrate 11 used in this example uses polycarbonate as a material and has a land width 23.
Is 0.6 μm and the groove width 24 is 0.4 μm. The angle θ of the inclined surface of the land is 70 degrees, and the height of the land is 25.
Is 280 nm.

【0045】このような透明基板を作製するために、表
面が極めて平滑な石英ガラス原盤を使用し、カッティン
グには波長351nmのArレーザを使用した。
In order to manufacture such a transparent substrate, a quartz glass master having an extremely smooth surface was used, and an Ar laser having a wavelength of 351 nm was used for cutting.

【0046】この透明基板11の表面粗さRaを測定し
たところ、ランド部上面1aで0.825nm、グルー
ブ部底面2aで1.015nm、ランド部の傾斜面1b
で0.825nmであった。
When the surface roughness Ra of the transparent substrate 11 was measured, it was 0.825 nm on the top surface 1a of the land portion, 1.015 nm on the bottom surface 2a of the groove portion, and the inclined surface 1b of the land portion.
Was 0.825 nm.

【0047】この透明基板11上に、図3に示すよう
に、第1の誘電体層(干渉層)であるSiN層32を8
0nm形成し、次に第1の磁性層(磁壁移動層)として
GdFeCo層331を30nm、第2の磁性層(スイ
ッチング層)としてDyFe層332を10nm、第3
の磁性層(メモリ層)としてTbFeCo層333を4
0nmを順次スパッタリング形成した。最後に、第2の
誘電体層(保護層)としてSiN層34を80nm形成
した。
On this transparent substrate 11, as shown in FIG. 3, a SiN layer 32 as a first dielectric layer (interference layer) 8 is formed.
0 nm, then a GdFeCo layer 331 as a first magnetic layer (domain wall displacement layer) of 30 nm, a DyFe layer 332 as a second magnetic layer (switching layer) of 10 nm, a third magnetic layer
Of the TbFeCo layer 333 as a magnetic layer (memory layer) of
0 nm was sequentially formed by sputtering. Finally, a SiN layer 34 having a thickness of 80 nm was formed as a second dielectric layer (protective layer).

【0048】このようにして得られた光磁気ディスクの
表面粗さは、透明基板11の表面粗さとほぼ同等であっ
た。
The surface roughness of the magneto-optical disk thus obtained was almost the same as the surface roughness of the transparent substrate 11.

【0049】このようにして得られた光磁気ディスク
に、磁界変調方式で0.25μmの孤立磁区を記録した
後、加熱用の光ビームを当てて、偏光顕微鏡で磁区観察
をしたところ、ランド部とグルーブ部の両方に、閉じて
いない磁区が確認された。
After recording an isolated magnetic domain of 0.25 μm on the magneto-optical disk thus obtained by the magnetic field modulation method, a light beam for heating was irradiated and the magnetic domain was observed with a polarizing microscope. An unclosed magnetic domain was confirmed in both the groove and the groove.

【0050】このようにして得られた光磁気ディスクの
「グルーブ面」に、通常の磁界変調方式でピット長0.
10μm、ピット間隔0.10μmで連続に記録した
後、前述の磁壁移動型拡大再生方法を用いて再生したと
ころ、波長635nm、NA0.6の光学系(相対速度
2m/s)において、C/N37.5dBが再現良く得
られた。
On the "groove surface" of the magneto-optical disk thus obtained, the pit length of 0.
After continuous recording at 10 μm and a pit interval of 0.10 μm, reproduction was performed by using the above-mentioned domain wall displacement type expansion / reproduction method. A reproducibility of 0.5 dB was obtained.

【0051】同様にして、この光磁気ディスクの「ラン
ド面」に、通常の磁界変調方式でピット長0.10μ
m、ピット間隔0.10μmで連続に記録した後、同様
にして再生したところ、波長635nm、NA0.6の
光学系(相対速度2m/s)において、C/N38.0
dBが再現良く得られた。
Similarly, on the "land surface" of this magneto-optical disk, a pit length of 0.10 .mu.
m and a pit interval of 0.10 μm were continuously recorded, and then reproduced in the same manner. As a result, in an optical system having a wavelength of 635 nm and an NA of 0.6 (relative speed 2 m / s), C / N 38.0 was obtained.
dB was obtained with good reproducibility.

【0052】即ち、本発明では、アニール処理等を行わ
なくても磁性層のトラック間での磁気的分断が実現さ
れ、グルーブ部のみならずランド部においても磁壁移動
が起こり、ランドとグルーブの両方に記録可能な磁壁移
動型光磁気記録媒体を実現することができた。
That is, according to the present invention, the magnetic separation between the tracks of the magnetic layer is realized without performing the annealing treatment and the domain wall movement occurs not only in the groove portion but also in the land portion, and both the land and the groove are formed. It has been possible to realize a domain wall motion type magneto-optical recording medium capable of recording on a disk.

【0053】この透明基板11は、ポリカーボネートを
用いて、汎用の基板形成技術で作成可能なので、媒体の
コストアップが避けられ、安価な高密度記録媒体が提供
できる。
Since the transparent substrate 11 can be formed by using a general-purpose substrate forming technique using polycarbonate, it is possible to avoid an increase in the cost of the medium and provide an inexpensive high density recording medium.

【0054】<比較例1> 実施例1において、ランド部の傾斜面14の表面粗さR
aが1.513nmである透明基板を用いた以外は実施
例1と同様にして光磁気ディスクを作製した。
<Comparative Example 1> In Example 1, the surface roughness R of the inclined surface 14 of the land portion was measured.
A magneto-optical disk was produced in the same manner as in Example 1 except that a transparent substrate having a of 1.513 nm was used.

【0055】このようにして得られた光磁気ディスク
に、磁界変調方式で0.25μmの孤立磁区を記録した
後、加熱用の光ビームを当てて、偏光顕微鏡で磁区観察
をしたところ、ランド部とグルーブ部の両方に、閉じて
いない磁区が確認された。
After recording an isolated magnetic domain of 0.25 μm on the thus obtained magneto-optical disk by the magnetic field modulation method, a light beam for heating was applied and the magnetic domain was observed with a polarization microscope. An unclosed magnetic domain was confirmed in both the groove and the groove.

【0056】このようにして得られた光磁気ディスクの
「グルーブ面」に、通常の磁界変調方式でピット長0.
10μm、ピット間隔0.10μmで連続に記録した
後、実施例1と同様にして再生したところ、波長635
nm、NA0.6の光学系(相対速度2m/s)におい
てC/N37.5dBが再現良く得られた。
On the "groove surface" of the magneto-optical disk thus obtained, a pit length of 0.
After continuous recording at 10 μm and a pit spacing of 0.10 μm, reproduction was carried out in the same manner as in Example 1, and a wavelength of 635
C / N of 37.5 dB was obtained with good reproducibility in an optical system of nm and NA of 0.6 (relative speed of 2 m / s).

【0057】一方、「ランド面」にも同様に、通常の磁
界変調方式で、ピット長0.10μm、ピット間隔0.
10μmで連続に記録した後、同様にして再生したとこ
ろ、再生信号は極めて小さく、波長635nm、NA
0.6の光学系(相対速度2m/s)において、C/N
27.0dBであった。
On the other hand, similarly for the “land surface”, the pit length is 0.10 μm and the pit interval is 0.
When continuously recorded at 10 μm and then reproduced in the same manner, the reproduced signal is extremely small, and the wavelength is 635 nm and the NA is
C / N at an optical system of 0.6 (relative velocity 2 m / s)
It was 27.0 dB.

【0058】このように、ランド部の傾斜面の表面粗さ
Raが1.513nmの場合、磁区観察の結果では、深
溝でかつ矩形の透明基板による磁性層の分断は実現され
ているにもかかわらず、ランド面において実用的な信号
レベルの磁壁移動による再生信号は得られないことがわ
かった。
As described above, when the surface roughness Ra of the inclined surface of the land portion is 1.513 nm, the result of the magnetic domain observation shows that the division of the magnetic layer by the deep transparent rectangular substrate is realized. In other words, it was found that the reproduced signal due to the domain wall movement of a practical signal level could not be obtained on the land surface.

【0059】<実施例2> 実施例1において、透明基板を作成するもととなるスタ
ンパを作成するレジストプロセス(主にレジストの粘度
と気化速度、膜厚等)、露光条件および現像条件を変更
した以外は実施例1と同様にして透明基板を作製した。
この透明基板のランド部上面1aおよび傾斜面1bの表
面粗さRaは共に0.530nm、グルーブ部2aの表
面粗さRaは0.767nmであった。この透明基板を
用いた以外は、実施例1と同じにして光磁気記録媒体を
作成した。
<Example 2> In Example 1, the resist process (mainly the viscosity and vaporization rate of the resist, the film thickness, etc.) for forming the stamper from which the transparent substrate is formed, the exposure conditions and the development conditions were changed. A transparent substrate was produced in the same manner as in Example 1 except for the above.
The surface roughness Ra of the land upper surface 1a and the inclined surface 1b of this transparent substrate were both 0.530 nm, and the surface roughness Ra of the groove 2a was 0.767 nm. A magneto-optical recording medium was prepared in the same manner as in Example 1 except that this transparent substrate was used.

【0060】このようにして得られた光磁気ディスク
に、磁界変調方式で0.25μmの孤立磁区を記録した
後、加熱用の光ビームを当てて、偏光顕微鏡で磁区観察
をしたところ、ランド部とグルーブ部の両方に、閉じて
いない磁区が確認された。
After recording an isolated magnetic domain of 0.25 μm by the magnetic field modulation method on the magneto-optical disk thus obtained, a light beam for heating was applied and the magnetic domain was observed with a polarizing microscope. An unclosed magnetic domain was confirmed in both the groove and the groove.

【0061】このようにして得られた光磁気ディスクの
「グルーブ面」に、通常の磁界変調方式でピット長0.
10μm、ピット間隔0.10μmで連続に記録した
後、前述の再生方法を用いて再生したところ、波長63
5nm、NA0.6の光学系(相対速度2m/s)にお
いてC/N38.5dBが再現良く得られた。
On the "groove surface" of the magneto-optical disk thus obtained, a pit length of 0.
After continuously recording at 10 μm and a pit interval of 0.10 μm, the data was reproduced by using the above-mentioned reproduction method.
C / N of 38.5 dB was obtained with good reproducibility in an optical system of 5 nm and NA of 0.6 (relative velocity 2 m / s).

【0062】一方、「ランド面」にも同様に、通常の磁
界変調方式で、ピット長0.10μm、ピット間隔0.
10μmで連続に記録した後、同様にして再生したとこ
ろ、波長635nm、NA0.6の光学系(相対速度2
m/s)においてC/N39.5dBが再現良く得られ
た。
On the other hand, similarly for the "land surface", the pit length is 0.10 μm and the pit spacing is 0.
After continuously recording at 10 μm and reproducing in the same manner, an optical system with a wavelength of 635 nm and an NA of 0.6 (relative speed 2
m / s), C / N of 39.5 dB was obtained with good reproducibility.

【0063】再生信号の結果を実施例1と比較すると、
ランド部及びグルーブ部の表面粗さが改善されているこ
とで、さらにC/Nが向上している。
Comparing the result of the reproduced signal with the first embodiment,
By improving the surface roughness of the land portion and the groove portion, C / N is further improved.

【0064】<実施例3> 実施例1において、ランド&グルーブ形状の基板を作成
するもととなるスタンパを作成するレジストプロセス
(主にレジストの粘度と気化速度、膜厚等)を調整し、
ランド部上面1aおよびランド部の傾斜面(テーパ部)
1bの表面粗さRaが共に1.150nm、グルーブ部
底面2aの表面粗さRaが0.767nmの基板11を
用いて、他の条件は実施例1と同じにして光磁気記録媒
体を作成した。
< Example 3 > In Example 1, the resist process (mainly the viscosity and vaporization rate of the resist, the film thickness, etc.) for forming the stamper from which the land-and-groove-shaped substrate is formed is adjusted,
Land portion upper surface 1a and land portion inclined surface (tapered portion)
A magneto-optical recording medium was prepared under the same conditions as in Example 1 except that the substrate 11 having a surface roughness Ra of 1b of 1.150 nm and a surface roughness Ra of the bottom surface 2a of the groove portion of 0.767 nm was used. .

【0065】このようにして得られた光磁気ディスク
に、磁界変調方式で0.25μmの孤立磁区を記録した
後、加熱用の光ビームを当てて、偏光顕微鏡で磁区観察
をしたところ、ランド部とグルーブ部の両方に、閉じて
いない磁区が確認された。
After recording an isolated magnetic domain of 0.25 μm on the magneto-optical disk thus obtained by the magnetic field modulation method, a light beam for heating was applied and the magnetic domain was observed with a polarization microscope. An unclosed magnetic domain was confirmed in both the groove and the groove.

【0066】このようにして得られた光磁気ディスクの
「グルーブ面」に、通常の磁界変調方式でビット長0.
10μm、ビット間隔0.10μmで連続に記録した
後、実施例1と同様に磁壁移動型拡大再生方法を用いて
再生したところ、波長635mm、NA0.6の光学系
(相対速度2m/s)においてC/N38.5dBが再
現良く得られた。
On the "groove surface" of the magneto-optical disk thus obtained, a bit length of 0.
After continuous recording at 10 μm and a bit interval of 0.10 μm, reproduction was performed using the domain wall displacement type expansion / reproduction method in the same manner as in Example 1, and in an optical system with a wavelength of 635 mm and NA of 0.6 (relative speed 2 m / s) C / N of 38.5 dB was obtained with good reproducibility.

【0067】一方、「ランド面」にも同様に、通常の磁
界変調方式で、ビット長0.10μm、ビット間隔0.
10μmで連続に記録した後、同様にして再生したとこ
ろ、波長635nm、NA0.6の光学系(相対速度2
m/s)において、C/N37.0dBが再現良く得ら
れた。再生信号の結果を実施例1と比較すると、ランド
部の表面粗さが大きい為に、ランド部におけるC/Nが
多少劣化しているが、実用的には差し支えない程度であ
る。
On the other hand, similarly for the “land surface”, the bit length is 0.10 μm and the bit interval is 0.
After continuously recording at 10 μm and reproducing in the same manner, an optical system with a wavelength of 635 nm and an NA of 0.6 (relative speed 2
m / s), C / N of 37.0 dB was obtained with good reproducibility. Comparing the result of the reproduced signal with that of the first embodiment, the C / N in the land portion is somewhat deteriorated because the surface roughness of the land portion is large, but this is practically acceptable.

【0068】以上、このような表面粗さを備えた矩形基
板を用いることによって、アニール処理等を行なわなく
てもトラック間の磁気的分断が実現され、「グルーブ
部」のみならず「ランド部」においても磁壁の移動現象
が起こり、ランドとグルーブ両方に記録可能な磁壁移動
型光磁気記録媒体を容易に実現することができた。用い
たポリカーボネート基板は汎用の基板形成技術で作成可
能なので、媒体のコストアップが避けられ、安価な高密
度記録媒体が提供できる。
As described above, by using the rectangular substrate having such a surface roughness, the magnetic separation between the tracks can be realized without performing the annealing treatment and the "land portion" as well as the "groove portion". In this case, the domain wall movement phenomenon also occurred, and the domain wall moving type magneto-optical recording medium capable of recording on both the land and the groove could be easily realized. Since the polycarbonate substrate used can be produced by a general-purpose substrate forming technique, the cost of the medium can be prevented from increasing, and an inexpensive high-density recording medium can be provided.

【0069】<比較例2実施例3 において、ランド部の傾斜面(テーパ部)1b
の表面粗さRaが1.305nmである基板を用いた他
実施例3と同様にして光磁気ディスクを作成した。
< Comparative Example 2 > In Example 3 , the inclined surface (tapered portion) 1b of the land portion is used.
A magneto-optical disk was prepared in the same manner as in Example 3 except that a substrate having a surface roughness Ra of 1.305 nm was used.

【0070】このようにして得られた光磁気ディスク
に、磁界変調方式で0.25μmの孤立磁区を記録した
後、加熱用の光ビームを当てて、偏光顕微鏡で磁区観察
をしたところ、ランド部とグルーブ部の両方に、閉じて
いない磁区が確認された。
After recording an isolated magnetic domain of 0.25 μm on the magneto-optical disk thus obtained by the magnetic field modulation method, a light beam for heating was applied and the magnetic domain was observed with a polarization microscope. An unclosed magnetic domain was confirmed in both the groove and the groove.

【0071】このようにして得られた光磁気ディスクの
「グルーブ面」に、通常の磁界変調方式でビット長0.
10μm、ビット間隔0.10μmで連続に記録した
後、実施例1と同様に磁壁移動型拡大再生方法を用いて
再生したところ、波長635nm、NA0.6の光学系
(相対速度2m/s)においてC/N38.5dBが再
現良く得られた。
On the "groove surface" of the magneto-optical disk thus obtained, the bit length of 0.
After continuous recording at 10 μm and a bit interval of 0.10 μm, reproduction was performed using the domain wall displacement type expansion / reproduction method in the same manner as in Example 1. In an optical system with a wavelength of 635 nm and NA of 0.6 (relative speed 2 m / s). C / N of 38.5 dB was obtained with good reproducibility.

【0072】一方、「ランド面」にも同様に、通常の磁
界変調方式で、ビット長0.10μm、ビット間隔0.
10μmで連続に記録した後、同様にして再生したとこ
ろ、再生信号は極めて小さく、波長635nm、NA
0.6の光学系(相対速度2m/s)において、C/N
35.0dBであった。
On the other hand, similarly for the “land surface”, a bit length of 0.10 μm and a bit interval of 0.
When continuously recorded at 10 μm and then reproduced in the same manner, the reproduced signal is extremely small, and the wavelength is 635 nm and the NA is
C / N at an optical system of 0.6 (relative velocity 2 m / s)
It was 35.0 dB.

【0073】以上の結果から、該ポリカーボネート基板
11のランド部の傾斜面(テーパ部)1bの表面粗さR
aが1.305nmの場合、磁区観察の結果では、矩形
基板による磁性層の分断は実現されているにもかかわら
ず、ランド面において実用的な(信号レベルの)磁壁移
動による再生信号は得られなかった。
From the above results, the surface roughness R of the inclined surface (tapered portion) 1b of the land portion of the polycarbonate substrate 11
When a is 1.305 nm, the result of magnetic domain observation shows that although the division of the magnetic layer by the rectangular substrate has been realized, a practical reproduction signal due to domain wall movement (of the signal level) is obtained on the land surface. There wasn't.

【0074】[0074]

【発明の効果】本発明の光磁気記録媒体は、特別の磁気
分断処理を行わなくともよいので製造が容易であり、ま
たランド部とグルーブ部の両方を記録面とすることがで
きるのでトラック密度が向上しさらに高密度記録が可能
である。本発明の光磁気記録媒体を用いて、温度勾配を
用いて磁壁を瞬間的に移動させて磁区を拡大再生するこ
とができる。
The magneto-optical recording medium of the present invention is easy to manufacture because it does not require any special magnetic decoupling treatment, and both the land portion and the groove portion can be used as the recording surface, so that the track density can be improved. Is improved and higher density recording is possible. By using the magneto-optical recording medium of the present invention, it is possible to instantaneously move the domain wall by using a temperature gradient to expand and reproduce the magnetic domain.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の光磁気記録媒体の模式的断面図であ
る。
FIG. 1 is a schematic sectional view of a magneto-optical recording medium of the present invention.

【図2】本発明の光磁気記録媒体に使用する透明基板の
模式的断面図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a transparent substrate used in the magneto-optical recording medium of the present invention.

【図3】本発明の光磁気記録媒体(実施例1、実施例
2、実施例3)の層構成断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of a layer structure of a magneto-optical recording medium (Example 1, Example 2, Example 3 ) of the present invention.

【図4】特開平6−209496号公報および本発明の
再生原理を説明するための模式図である。
FIG. 4 is a schematic diagram for explaining the reproduction principle of JP-A-6-209496 and the present invention.

【図5】本発明の光磁気記録媒体に用いられる記録再生
装置を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a recording / reproducing apparatus used for the magneto-optical recording medium of the present invention.

【図6】本発明の再生状態を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a reproduction state of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ランド部 1a ランド部の上面 1b ランド部の傾斜面 2 グルーブ部 2a グルーブ面 11 透明基板 14 ランド部の傾斜面 13 磁性層 A 磁性層の不連続面 23 ランド幅 24 グルーブ幅 25 ランド部の高さ 331 第1の磁性層 332 第2の磁性層 333 第3の磁性層 32、34 誘電体層(干渉層または保護層) 1 land section 1a Top surface of land 1b Land slope 2 groove part 2a Groove surface 11 Transparent substrate 14 Land surface slope 13 Magnetic layer A discontinuous surface of magnetic layer 23 Land width 24 groove width 25 Land height 331 First magnetic layer 332 Second magnetic layer 333 Third magnetic layer 32, 34 Dielectric layer (interference layer or protective layer)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 透明基板と、この透明基板の表面に形成
され、少なくとも再生する磁性層の磁壁を移動させるこ
とによって、見かけ上磁区を拡大させて再生することが
可能な磁性層を有する光磁気記録媒体において、前記透
明基板の表面は、ランド部とグルーブ部からなり、この
ランド部の傾斜面の表面粗さRaが1.2nm以下であ
り且つ傾斜面の角度が40〜90度であることを特徴と
する光磁気記録媒体。
1. A magneto-optical device having a transparent substrate and a magnetic layer formed on the surface of the transparent substrate and capable of reproducing by expanding at least magnetic domains by moving at least the magnetic domain wall of the magnetic layer to be reproduced. In the recording medium, the surface of the transparent substrate is composed of a land portion and a groove portion, and the surface roughness Ra of the inclined surface of the land portion is 1.2 nm or less.
And a tilted surface having an angle of 40 to 90 degrees .
【請求項2】 前記磁性層は、少なくとも、第1、第
2、第3の磁性層が順次積層された積層構造であって、
第1の磁性層は、周囲温度において第3の磁性層に比べ
て相対的に磁壁抗磁力が小さな磁性層であり、第2の磁
性層は、第1の磁性層及び第3の磁性層よりキュリー温
度の低い磁性層であることを特徴とする請求項1記載の
光磁気記録媒体。
2. The magnetic layer has a laminated structure in which at least first, second and third magnetic layers are sequentially laminated,
The first magnetic layer is a magnetic layer having a domain wall coercive force relatively smaller than that of the third magnetic layer at the ambient temperature, and the second magnetic layer is formed from the first magnetic layer and the third magnetic layer. The magneto-optical recording medium according to claim 1, which is a magnetic layer having a low Curie temperature.
【請求項3】 前記ランド部の上面およびグルーブ部の
表面の表面粗さRaが1.2nm以下であることを特徴
とする請求項1または2に記載の光磁気記録媒体。
3. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the surface roughness Ra of the upper surface of the land portion and the surface of the groove portion is 1.2 nm or less.
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