【発明の名称】真空断熱体の製造方法
【特許請求の範囲】
【請求項１】 内部空間を排気して封止する真空断熱体の製造方法において、前記内部空間内にゲッターを配設し、該内部空間を１Ｐａ（０．７５×１０−２Ｔｏｒｒ）から１×１０２Ｐａ（約０．７５Ｔｏｒｒ）の低真空度で排気して封止した後、前記ゲッターを後加熱して活性化させることにより高真空度を得ることを特徴とする真空断熱体の製造方法。
【請求項２】 前記内部空間の排気は、ロータリーポンプのみを使用し、またはロータリーポンプとメカニカルブースターポンプを併用して行うことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】 前記内部空間の封止の前に、前記内部空間のリークテストを行い、前記内部空間内にリークが無いことが確認されたときに封止を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】 前記内部空間の封止は常温から約２５０℃で行い、前記ゲッターの後加熱は２５０℃から６００℃で行うことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】 前記ゲッターとして、チタン箔またはジルコニウム箔を使用することを特徴とする請求項１から４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は真空断熱体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、真空断熱体の製造方法として、例えば特公平２−５５１５３号公報には、真空加熱炉内に構造体を配置して加熱温度５８０〜６００℃、１０−２から１０−３Ｐａ（１０−４〜１０−５Ｔｏｒｒ）の真空度で略１時間保持した後、径０．５ｍｍの３つの排気孔を電子ビーム溶接機で封止する方法が開示されている。また、特開平７−２９８９９１号公報には、真空加熱炉内に構造体を配置して加熱温度４５０℃、１Ｐａ（１０−２Ｔｏｒｒ）以下の真空度で真空加熱排気した後、排気孔近傍に配置したろう材をレーザ光で溶融させて排気孔（面積０．７〜７．０ｍｍ２）を閉塞する方法が開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の真空断熱体の製造方法では、１Ｐａ（１０−２Ｔｏｒｒ）以下の高真空に排気しているため、高真空用のディフュージョンポンプが必要である。このため、設備が大掛かりとなり、ポンプを水で冷却する配管設備も必要である。また、ディフュージョンポンプの中のオイルを加熱して動作可能とするのに数十分かかるうえ、炉内又は構造体の内部空間が高真空度に達してから加熱排気工程に移るため、予備排気に数十分かかる。さらに、加熱排気工程においても高真空度を維持するため、約１時間を要していた。この結果、構造体を設置してから取り出すまでに約２時間の処理時間が必要であった。
【０００４】
本発明は前記従来の問題点に鑑みてなされたもので、低真空で排気でき、しかも製造時間を大幅に減少できる真空断熱体の製造方法を提供することを課題とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明は、
内部空間を排気して封止する真空断熱体の製造方法において、前記内部空間内にゲッターを配設し、該内部空間を１Ｐａ（０．７５×１０−２Ｔｏｒｒ）から１×１０２Ｐａ（約０．７５Ｔｏｒｒ）の低真空度で排気して封止した後、前記ゲッターを後加熱して活性化させることにより高真空度を得るものである。
【０００６】
本発明によると、低真空で排気するから、気体分子の排気速度が速く、構造体の温度上昇速度も速くなるので、構成部材からの脱ガス、閉じられた内部空間の排気が促進される結果、排気時間が短縮される。
【０００７】
前記内部空間の排気は、ディフュージョンポンプ等の高真空用ポンプでなく、従来補助ポンプとして使用されている真空粗引き用ポンプ、具体的には、ロータリーポンプのみを使用し、またはロータリーポンプとメカニカルブースターポンプを併用して行うと、排気の立ち上げが瞬間に行える点で好ましい。
【０００８】
前記真空断熱体は、対向する金属製板状体の間に形成される内部空間内にスペーサを配設し、前記内部空間を排気して封止した後、所望形状に変形させるものであってもよい。この場合、前記内部空間の排気するための排気部は、封止後に切除することで、後の成形加工で邪魔になることがない。
【０００９】
前記内部空間の封止の前に、前記内部空間のリークテストを行い、前記内部空間内にリークが無いことが確認されたときに封止を行うことが好ましい。このように、リークテストと封止を一連の工程で行うことにより工程が簡略となる。
【００１０】
前記内部空間の封止は、前記対向する金属製板状体をシーム溶接することにより行うと、封止作業が非常に簡単になる。
【００１１】
前記内部空間の排気および封止は、前記対向する金属製板状体を真空炉に設置して周縁部をシーム溶接することもできる。
【００１２】
前記内部空間の封止は常温から約２５０℃で行い、前記ゲッターの後加熱は２５０℃から６００℃で行うことが好ましい。
【００１３】
前記ゲッターとして、チタン箔またはジルコニウム箔を使用することが好ましい。
【００１４】
前記ゲッターは、前記対向する金属製板状体の内面に接触させることで、後加熱により昇温する金属製板状態の熱をゲッターに伝えることができ、ゲッターを十分に活性化することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を添付図面に従って説明する。
【００１６】
図１は、本発明にかかる真空断熱体の製造方法を示す。１は、真空断熱体となる前の構造体で、該構造体１は、図３に示すように、対向する金属製薄板２の間に形成される略平板状の内部空間３内に該内部空間３と略同形状のスペーサ４を配設し、前記内部空間３内にゲッター５を配設してなる。
【００１７】
構造体１の金属製薄板２は、図３に示すように２枚の矩形の板２ａ，２ｂを重ね合わせたり、図４に示すように１枚の矩形の板２ｃを２つ折りすることにより形成される。金属製薄板２には、板厚が０．０５ｍｍから０．５ｍｍのステンレス鋼、鉄、チタニウム等が使用できる。金属製薄板２の外縁はスペーサ４とゲッター５が配設された後、シーム溶接等の圧着接合、ＴＩＧ溶接等の突き合わせ溶接、ＭＩＧブレージング等によって接合される。図４に示すように、１枚の矩形の板２ｃを２つ折りしたものは、接合範囲が少なくて済む。金属製薄板２の一辺には、矩形の突片からなる排気部６が形成され、該排気部６に排気口７が形成されている。排気口７は、金属製薄板２に開口を形成するだけでもよいし、チップ管を接合してもよい。
【００１８】
スペーサ４は、ガラス繊維、セラミック繊維、カーボン繊維等の織布又は不織布、あるいはマイカ等を使用できる。非圧縮状態で０．１から１５ｍｍの厚みを有するものが好ましい。ただし、内部空間３の真空度を高めるために、不織布を使用するのが好ましい。また、後加熱時の加熱温度（例えば、４５０℃）により損傷しないような、例えばセラミック材料を使用してもよい。スペーサ４は、薄いものを複数枚重ねたものでもよい。
【００１９】
ゲッター５としてのチタン箔は、前記構造体１の排気封止後に、内部空間３に発生するガス等を吸収して所望の真空度を維持するために使用される。チタン箔は、数厚さ０．０１から０．０３ｍｍのものが好ましい。チタン箔に代えて、厚さ０．０２から０．０３ｍｍのジルコニウム箔を使用してもよい。
【００２０】
次に、前記構造体１から真空断熱体を製造する方法について説明する。
【００２１】
まず、図２に示すように、構造体１の排気口７に排気管１１をシール部材１２を介して押し付け、当該排気管１１に図１に示すように配管８を介してロータリーポンプ９を接続し、該配管８にリークテスト装置１０を接続する。なお、ロータリーポンプ９を単独で使用する代わりに、当該ロータリーポンプ９と図示しないメカニカルブースターポンプを併用して行うと、排気の立ち上げが瞬間に行える。
【００２２】
続いて、前記ロータリーポンプ９を駆動して、前記構造体１の内部空間３を１Ｐａ（０．７５×１０−２Ｔｏｒｒ）から１×１０２Ｐａ（約０．７５Ｔｏｒｒ）の低真空度で排気する。このとき、スペーサ４の存在により、金属製薄板２の対向面の接触が確実に防止される。この排気工程は、常温で行うことができるが、必要に応じて約２５０℃以下の温度で加熱した状態で行ってもよい。
【００２３】
前記低真空度を維持した状態で、リークテスト装置１０により、前記構造体１の内部空間３にリークが無いことが確認されたときに、金属製薄板２の排気部６の付け根の図１中Ｓ部分をシーム溶接して図２中２点鎖線で示すように接合し、この接合部分を図２中Ｓ−Ｓ線で示す位置で切断する。
【００２４】
続いて、前記構造体１を多数製造して、これらをまとめて図示しない加熱炉に収容し、前記構造体１を２５０℃から６００℃に加熱する。これにより、前記構造体１の内部のゲッター５が活性化され、前記構造体１の金属表面の吸蔵ガスが十分に遊離する。この結果、構造体１の内部空間３内に遊離した吸蔵ガスは残留空気とともにゲッター５に吸収される。これにより、構造体１の内部空間３は、３×１０−３Ｐａ（約２．２５×１０−５Ｔｏｒｒ）から３×１０−４Ｐａ（約２．２５×１０−６Ｔｏｒｒ）の高真空度に到達し、真空断熱体が得られる。
【００２５】
図５は、以上説明した真空断熱体の製造方法における内部空間の圧力と温度の変化を示す。構造体１の内部空間３を排気してゆくと、内部空間３の圧力は１気圧から１Ｐａ（０．７５×１０−２Ｔｏｒｒ）まで低下し、ここで点Ｔにおいてリークテストを行った後、点Ｓで排気部６をシーム溶接により封止して切断する。このとき、構造体１の内部空間３を封止した後も、金属製薄板２の表面から吸蔵ガスが遊離し続けるので、内部空間３の圧力は増加してゆく。次に、構造体１を加熱炉で４５０℃に加熱すると、金属製薄板２の表面から吸蔵ガスが十分に遊離し放出されるので、内部空間３の圧力はさらに増加する。同時に、ゲッター５が活性化されるので、遊離した吸蔵ガスは残留空気とともにゲッター５に吸収される。この結果、構造体１の内部空間３の圧力は、次第に低下し、３×１０−３Ｐａ（約２．２５×１０−５Ｔｏｒｒ）所望の高真空度に達する。
【００２６】
このようにして得られた真空断熱体は、所望の形状に成形加工することができる。例えば、電気ポット、炊飯ジャー、ランチジャー等の胴部および蓋、車両のボンネットの裏面、自動販売機の内面、金庫の内面、家屋の壁面内、電気温水器の胴部等、保温や遮熱を必要とする種々の場所に応じて所望の形状に加工することができる。図６に示すように、折り曲げ加工等により、円筒（ａ）や角筒（ｂ）、箱状（ｆ）にしたり、絞り加工により、半球状（ｅ）、円筒状（ｃ）、角状（ｄ）等の有底筒状とすることができる。
【００２７】
なお、発明者らは、以上のようにして得られた真空断熱体の断熱性能試験を行った。この断熱性能試験では、２０℃の雰囲気において、真空断熱体の下面中央部に１００℃の水蒸気を当てた状態で、上面中央部での温度を測定した。この結果、図７に示すように、本発明により製造された真空断熱体は、真空引きしていないものに比べて格段の優れた保温性を発揮し、十分に実用性のあることが分かった。また、厚みが３．１ｍｍであれば、それ以上の厚みを有するものと断熱性能はそれほど差がないことが分かった。さらに、厚さが２ｍｍ以下の、例えば０．８ｍｍのものでは、３．１ｍｍのものに比べて断熱性能は若干劣るが、加工しやすく、狭い領域であっても余裕を持って配設することが可能であった。さらにまた、９５℃の雰囲気中に６日間放置することを繰り返す、いわゆるエイジング（aging）試験を行ったところ、断熱性能が維持され、電気ポット等の高温環境で使用する場合にも何ら問題のないことが分かった。
【００２８】
なお、前記実施形態では、予め構造体１を形成してロータリーポンプ９により排気し、封止するようにしたが、前記内部空間の排気および封止は、前記対向する金属製薄板２の間にスペーサ４とゲッター５を配設した状態で真空炉に設置し、１Ｐａ（０．７５×１０−２Ｔｏｒｒ）から１×１０２Ｐａ（約０．７５Ｔｏｒｒ）の低真空度に排気した後、構造体１の周縁部をシーム溶接することで封止するようにしてもよい。
【００２９】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、１Ｐａ（０．７５×１０−２Ｔｏｒｒ）から１×１０２Ｐａ（約０．７５Ｔｏｒｒ）の低真空度で排気するために、ディフュージョンポンプ等の高真空用ポンプを使用する必要がなく、設備を大幅に簡略化できる。また、真空粗引き用ポンプを使用して低真空で加熱排気を行えるので、排気の立ち上げが瞬間に行え、気体分子の排気速度が速く、構造体の温度上昇速度も速くなるので、構成部材からの脱ガス、閉じられた内部空間の排気が促進される結果、排気時間が著しく短縮される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる真空断熱体の製造方法を示す概略図。
【図２】図１の構造体のＩ−Ｉ線断面図。
【図３】矩形板を重ね合わせて組み立てる例の構造体の分解斜視図。
【図４】矩形板を２つ折りして組み立てる他の例の構造体の分解斜視図。
【図５】本発明にかかる真空断熱体の製造時における構造体の内部空間の圧力と温度の変化を示す図。
【図６】真空断熱体の加工例を示す斜視図である。
【図７】本発明により製造された真空断熱体の断熱性能試験の結果を示すグラフ。
【符号の説明】
１ 構造体
２ 金属製薄板
３ 内部空間
４ スペーサ
５ ゲッター
６ 排気部
７ 排気口
８ 配管
９ ロータリーポンプ
１０ リークテスト装置Patent application title: METHOD FOR MANUFACTURING VACUUM INSULATING BODY
1. A method for producing a vacuum insulation material for sealing and evacuating the unit space, the getter disposed, the internal space from 1Pa (0.75 × 10 -2 Torr) within the interior space A vacuum insulator characterized in that a high vacuum degree is obtained by postheating and activating the getter after being evacuated and sealed at a low vacuum degree of 1 × 10 2 Pa (about 0.75 Torr). Production method.
2. The method according to claim 1, wherein the exhaust of the internal space is performed using only a rotary pump or using a combination of a rotary pump and a mechanical booster pump.
3. A method according to claim 1 , wherein a leak test of the inner space is performed before sealing of the inner space, and sealing is performed when it is confirmed that there is no leak in the inner space. The method according to 1 or 2.
4. The method according to claim 1, wherein the inner space is sealed at room temperature to about 250 ° C., and the post-heating of the getter is performed at 250 ° C. to 600 ° C. .
5. The method according to claim 1, wherein a titanium foil or a zirconium foil is used as the getter.
Detailed Description of the Invention
[0001]
Field of the Invention
The present invention relates to a method of manufacturing a vacuum insulator.
[0002]
[Prior Art]
Conventionally, as a method of manufacturing a vacuum heat insulator, for example, in JP-B-2-55153, a structure is disposed in a vacuum heating furnace and heating temperatures of 580 to 600 ° C. and 10 −2 to 10 −3 Pa (10 − A method of sealing three exhaust holes with a diameter of 0.5 mm with an electron beam welder after holding at a vacuum degree of 4 to 10 -5 Torr for approximately 1 hour is disclosed. Further, in Japanese Patent Laid-Open No. 7-298991, after the structure is placed in a vacuum heating furnace and vacuum heated and exhausted at a heating temperature of 450 ° C. and a vacuum degree of 1 Pa (10 −2 Torr) or less, There is disclosed a method of melting the arranged brazing material with laser light to close the exhaust hole (area of 0.7 to 7.0 mm 2 ).
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional method for manufacturing a vacuum heat insulator, since a high vacuum of 1 Pa (10 -2 Torr) or less is used, a diffusion pump for high vacuum is required. For this reason, the equipment becomes large-scaled and piping equipment for cooling the pump with water is also required. In addition, it takes several tens of minutes to heat the oil in the diffusion pump to be able to operate, and after the internal space of the furnace or the structure reaches a high vacuum degree, it shifts to the heating and exhausting process, so It takes a few minutes. Furthermore, in order to maintain a high degree of vacuum also in the heating and exhausting process, approximately one hour was required. As a result, a processing time of about 2 hours was required from the installation to the removal of the structure.
[0004]
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a vacuum heat insulator which can be evacuated with low vacuum and can significantly reduce the manufacturing time.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned subject, the present invention is
In a method of manufacturing a vacuum heat insulator in which an internal space is evacuated and sealed, a getter is disposed in the internal space, and the internal space is 1 Pa (0.75 × 10 −2 Torr) to 1 × 10 2 Pa (1 × 10 2 Pa). After evacuation and sealing with a low degree of vacuum of about 0.75 Torr, the getter is post-heated to be activated to obtain a high degree of vacuum.
[0006]
According to the present invention, since the evacuation is performed with a low vacuum, the evacuation speed of gas molecules is high, and the temperature rise speed of the structure is also high, so that the degassing from the components and the evacuation of the closed internal space are promoted. The exhaust time is shortened.
[0007]
The exhaust of the internal space is not a high vacuum pump such as a diffusion pump but a vacuum roughing pump conventionally used as an auxiliary pump, specifically, only a rotary pump, or a rotary pump and a mechanical booster It is preferable to carry out by using a pump in that the exhaust can be started up instantaneously.
[0008]
The vacuum heat insulator is provided with a spacer in an internal space formed between opposing metal plate-like bodies, and after the internal space is evacuated and sealed, it is deformed into a desired shape. It is also good. In this case, the exhaust part for exhausting the internal space is cut off after sealing, so that it will not be an obstacle in the later forming process.
[0009]
Before the sealing of the internal space, it is preferable to perform a leak test of the internal space and to perform sealing when it is confirmed that there is no leak in the internal space. Thus, the process is simplified by performing the leak test and the sealing in a series of processes.
[0010]
The sealing operation is extremely simplified if the inner space is sealed by seam-welding the opposing metal plate-like bodies.
[0011]
For evacuation and sealing of the internal space, the opposing metal plate-like body may be installed in a vacuum furnace to seam weld the peripheral portion.
[0012]
The internal space is preferably sealed at room temperature to about 250 ° C., and the post-heating of the getter is preferably performed at 250 ° C. to 600 ° C.
[0013]
It is preferable to use titanium foil or zirconium foil as the getter.
[0014]
By bringing the getter into contact with the inner surface of the opposing metal plate-like body, the heat in the form of a metal plate which is heated by post heating can be transmitted to the getter, and the getter can be sufficiently activated. .
[0015]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Next, an embodiment of the present invention will be described according to the attached drawings.
[0016]
FIG. 1 shows a method of manufacturing a vacuum insulator according to the present invention. Reference numeral 1 denotes a structure before becoming a vacuum insulator, and the structure 1 is, as shown in FIG. 3, the inside of a substantially flat internal space 3 formed between opposing metal thin plates 2. A spacer 4 having substantially the same shape as the space 3 is disposed, and a getter 5 is disposed in the internal space 3.
[0017]
The metal thin plate 2 of the structure 1 is formed by superposing two rectangular plates 2a and 2b as shown in FIG. 3 or folding one rectangular plate 2c as shown in FIG. Be done. For the thin metal plate 2, stainless steel, iron, titanium or the like having a thickness of 0.05 mm to 0.5 mm can be used. After the spacer 4 and the getter 5 are disposed, the outer edge of the thin metal plate 2 is joined by pressure bonding such as seam welding, butt welding such as TIG welding, MIG brazing or the like. As shown in FIG. 4, in the case where one rectangular plate 2 c is folded in two, the bonding range may be small. On one side of the thin metal plate 2, an exhaust portion 6 formed of a rectangular protrusion is formed, and an exhaust port 7 is formed in the exhaust portion 6. The exhaust port 7 may only form an opening in the metal thin plate 2 or may connect a tip tube.
[0018]
As the spacer 4, woven or non-woven fabric of glass fiber, ceramic fiber, carbon fiber or the like, mica or the like can be used. Preferred are those having a thickness of 0.1 to 15 mm in the uncompressed state. However, in order to increase the degree of vacuum of the internal space 3, it is preferable to use a non-woven fabric. Also, for example, a ceramic material may be used which is not damaged by the heating temperature (for example, 450 ° C.) at the time of post-heating. The spacer 4 may be a stack of thin ones.
[0019]
The titanium foil as the getter 5 is used to absorb a gas or the like generated in the internal space 3 to maintain a desired degree of vacuum after exhaust sealing of the structure 1. The titanium foil preferably has a number thickness of 0.01 to 0.03 mm. Instead of titanium foil, zirconium foil with a thickness of 0.02 to 0.03 mm may be used.
[0020]
Next, a method of manufacturing a vacuum heat insulator from the structure 1 will be described.
[0021]
First, as shown in FIG. 2, the exhaust pipe 11 is pressed against the exhaust port 7 of the structure 1 through the seal member 12, and the rotary pump 9 is connected to the exhaust pipe 11 via the pipe 8 as shown in FIG. Then, the leak test device 10 is connected to the pipe 8. If the rotary pump 9 is used in combination with a mechanical booster pump (not shown) instead of using the rotary pump 9 alone, the exhaust can be started at an instant.
[0022]
Subsequently, the rotary pump 9 is driven to evacuate the internal space 3 of the structure 1 at a low vacuum degree of 1 Pa (0.75 × 10 −2 Torr) to 1 × 10 2 Pa (about 0.75 Torr). Do. At this time, the presence of the spacer 4 reliably prevents the contact of the opposite surface of the thin metal plate 2. This evacuation step can be carried out at normal temperature, but may be carried out at a temperature of about 250 ° C. or less if necessary.
[0023]
When it is confirmed by the leak test apparatus 10 that there is no leak in the internal space 3 of the structural body 1 while maintaining the low degree of vacuum, in FIG. 1 of the root of the exhaust portion 6 of the metal thin plate 2. The S portion is seam-welded and joined as indicated by a two-dot chain line in FIG. 2, and this joint portion is cut at a position indicated by an S-S line in FIG.
[0024]
Subsequently, a large number of the structures 1 are manufactured, these are put together and housed in a heating furnace (not shown), and the structures 1 are heated to 250 ° C. to 600 ° C. As a result, the getter 5 inside the structure 1 is activated, and the occluded gas on the metal surface of the structure 1 is sufficiently released. As a result, the storage gas liberated in the internal space 3 of the structure 1 is absorbed by the getter 5 together with the residual air. As a result, the internal space 3 of the structure 1 has a high vacuum of 3 × 10 −3 Pa (about 2.25 × 10 −5 Torr) to 3 × 10 −4 Pa (about 2.25 × 10 −6 Torr). The vacuum insulation is obtained.
[0025]
FIG. 5 shows changes in pressure and temperature of the internal space in the method of manufacturing the vacuum insulator described above. As the internal space 3 of the structure 1 is exhausted, the pressure of the internal space 3 drops from 1 atm to 1 Pa (0.75 × 10 −2 Torr), and after performing a leak test at point T, At the point S, the exhaust part 6 is sealed and cut by seam welding. At this time, even after the internal space 3 of the structure 1 is sealed, the occluded gas continues to be released from the surface of the thin metal plate 2, so the pressure in the internal space 3 increases. Next, when the structure 1 is heated to 450 ° C. in a heating furnace, the occluded gas is sufficiently released from the surface of the thin metal plate 2 and released, so the pressure in the internal space 3 further increases. At the same time, since the getter 5 is activated, the liberated storage gas is absorbed by the getter 5 together with the residual air. As a result, the pressure in the internal space 3 of the structure 1 gradually decreases to reach the desired high vacuum degree of 3 × 10 −3 Pa (about 2.25 × 10 −5 Torr).
[0026]
The vacuum insulator thus obtained can be formed into a desired shape. For example, the body and lid of electric pot, rice cooker, lunch jar etc., the back of the hood of the vehicle, the inner surface of the vending machine, the inner surface of the safe, the inner wall of the house, the body of the electric water heater, etc. It can be processed into a desired shape according to the various places which require. As shown in FIG. 6, a cylinder (a), a square tube (b), a box (f) by bending or the like, or a hemisphere (e), a cylinder (c) or a square d) It can be made into a bottomed cylindrical shape.
[0027]
The inventors conducted a heat insulation performance test of the vacuum heat insulator obtained as described above. In the heat insulation performance test, the temperature at the center of the upper surface was measured in a 20 ° C. atmosphere with 100 ° C. of water vapor applied to the center of the lower surface of the vacuum insulator. As a result, as shown in FIG. 7, it was found that the vacuum heat insulator manufactured according to the present invention exhibited remarkably excellent heat retention as compared with the one not vacuumed, and was sufficiently practical. . In addition, it was found that when the thickness is 3.1 mm, the thermal insulation performance does not differ much from that having a thickness greater than that. Furthermore, if the thickness is 2 mm or less, for example 0.8 mm, the heat insulation performance is slightly inferior to that of 3.1 mm, but it is easy to process, and it should be arranged with allowance even in a narrow area. Was possible. Furthermore, when a so-called aging test was conducted by repeating leaving in an atmosphere at 95 ° C. for 6 days, the heat insulation performance was maintained, and there was no problem when used in a high temperature environment such as an electric pot I found that.
[0028]
In the above embodiment, the structure 1 is formed in advance, and the rotary pump 9 is used to evacuate and seal. However, the exhaust and sealing of the internal space is performed between the opposing metal thin plates 2. The spacer 4 and the getter 5 are disposed in a vacuum furnace and are evacuated to a low vacuum degree of 1 Pa (0.75 × 10 −2 Torr) to 1 × 10 2 Pa (about 0.75 Torr), and then the structure is obtained. The peripheral portion of the body 1 may be sealed by seam welding.
[0029]
【Effect of the invention】
As apparent from the above description, according to the present invention, a diffusion pump is used to evacuate at a low vacuum degree of 1 Pa (0.75 × 10 −2 Torr) to 1 × 10 2 Pa (about 0.75 Torr). It is not necessary to use a high vacuum pump, etc., and the equipment can be greatly simplified. In addition, since the heating and exhausting can be performed with low vacuum using the vacuum roughing pump, the exhaust can be instantaneously set up, the exhausting speed of the gas molecules is fast, and the temperature rising speed of the structure becomes fast. As a result of promoting the degassing from the air and exhausting the closed internal space, the exhausting time is significantly shortened.
Brief Description of the Drawings
FIG. 1 is a schematic view showing a method of manufacturing a vacuum insulator according to the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the structure of FIG. 1 taken along line II.
FIG. 3 is an exploded perspective view of a structural example in which rectangular plates are stacked and assembled.
FIG. 4 is an exploded perspective view of another example structure assembled by folding a rectangular plate in half.
FIG. 5 is a view showing changes in pressure and temperature in an internal space of a structure at the time of manufacturing a vacuum heat insulator according to the present invention.
FIG. 6 is a perspective view showing a processing example of a vacuum heat insulator.
FIG. 7 is a graph showing the results of the thermal insulation performance test of the vacuum insulator manufactured according to the present invention.
[Description of the code]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Structure 2 Metal thin plate 3 Internal space 4 Spacer 5 Getter 6 Exhaust part 7 Exhaust port 8 Piping 9 Rotary pump 10 Leak test device