JP2003054135A - Optical recording medium and optical recording method - Google Patents

Optical recording medium and optical recording method

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JP2003054135A
JP2003054135A JP2001272671A JP2001272671A JP2003054135A JP 2003054135 A JP2003054135 A JP 2003054135A JP 2001272671 A JP2001272671 A JP 2001272671A JP 2001272671 A JP2001272671 A JP 2001272671A JP 2003054135 A JP2003054135 A JP 2003054135A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a write-once type optical recording medium excellent in long-term preservation reliability and regeneration durability, capable of selecting a recording/regeneration wavelength from a wide wavelength region and enabling high speed/high density recording, and a proper recording method at the time of adaptation of the write-once type optical recording medium to a multilayered optical recording medium. SOLUTION: The optical recording medium has a laminated recording layer containing a first sub-recording layer and a second sub-recording layer at least one by one. Both of the main component metal of the a first sub-recording layer and the main component metal of the second sub-recording layer have a melting point higher than 500 deg.C and, when both main component metals are mixed, they can form an alloy having a melting point higher than that of each of the main component metals. The main component metals contained in the respective sub-recording layers are diffused to be mixed by the irradiation with laser beam and a recording mark, of which the reflectivity is changed irreversibly, is formed by this mixing.

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、追記型記録層を有する光記録媒体と、この光記録媒体に記録する方法とに関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION [0001] [Technical Field of the Invention The present invention includes an optical recording medium having a write-once recording layer, and a method of recording to the optical recording medium. 【0002】 【従来の技術】近年、高密度高速記録が可能な光記録媒体が注目されている。 [0002] Recently, capable of high-density high-speed recording optical recording medium has attracted attention. 【0003】現在、追記型光記録媒体の記録層として有機色素を塗布したものが普及している。 At present, that the organic dye was applied has spread as a recording layer of the write-once optical recording medium. しかし有機色素は、低速記録では問題はないが、高速記録を行うためには記録感度が不十分である。 But organic dye, there is no problem in the low-speed recording, in order to perform high-speed recording is insufficient recording sensitivity. また、記録密度を上げるためにレーザ波長を短くしていった場合、使用できる有機色素が各波長で限定されること、および、青色以下の波長での色素の合成が難しいといった問題を孕んでいる。 Also, if began to shorten the laser wavelength in order to increase the recording density, the organic dye that can be used is limited at each wavelength, and fraught with problems such as difficulty in the synthesis of the dye at a wavelength blue . 【0004】無機材料を用いた追記型光記録媒体としては、孔あけ記録や、積層膜における拡散を用いた記録により反射率を変化させて情報を記録する方法等が提案されている。 [0004] As write-once optical recording medium using an inorganic material, drilling records and, and a method of recording by changing the reflectivity information is proposed by recording using the diffusion in the laminated film. 【0005】孔あけ記録が行われる媒体は、通常、Te [0005] medium punching recording is performed, usually, Te
やBi等の低融点金属(または合金)からなる記録膜を有する。 Having a recording film made of a low melting point metal (or alloy) of or Bi or the like. 孔あけ記録の際には、記録膜にレーザビームを照射することによって記録膜を局部的に溶融させる。 During drilling records, locally melt the recording film by irradiating a laser beam to the recording film. 溶融した低融点金属は表面張力によって盛り上がり、一方、その盛り上がりに囲まれた領域は窪む。 Low melting metal was melted raised by surface tension, while the depressed region surrounded by the climax. この窪んだ領域が記録マークとして利用される。 The recessed area is used as a recording mark. このような孔あけ記録媒体では、溶融金属の移動を妨げないために、いわゆるエアーサンドイッチ構造とする必要がある。 In such drilling recording medium, in order not to hinder the movement of the molten metal, it is necessary to make the so-called air sandwich structure. そのため、製造コストが高くなるほか、CD(コンパクトディスク)やDVD(Digital Versatile Disk)のような再生専用媒体と再生互換性を確保することが実質的に不可能であり、実用性が低い。 Therefore, in addition to the production cost is high, CD is to ensure the (compact disc) and DVD reproduction-only medium and the reproduction compatibility as (Digital Versatile Disk) is virtually impossible, is less practical. 【0006】一方、積層した金属膜の拡散・混合による反射率変化を利用した記録媒体は、孔あけ型で用いるエアーサンドイッチ構造のような複雑な構造をとる必要が無く、低コスト化が可能な媒体として注目を集めている。 On the other hand, a recording medium utilizing a reflectance change due to the diffusion and mixing of the laminated metal film, there is no need to take a complicated structure, such as an air sandwich structure for use in drilling type, which can be cost It has attracted attention as a medium. 【0007】例えば、特公平4−838号公報には、低融点金属(In、Sn)と固相反応を示す第1の金属膜(Au、Ag)と、前記低融点金属を主成分とする第2 [0007] For example, Japanese Patent Kokoku 4-838, a low melting point metal (an In, Sn) and the first metal film exhibiting solid-phase reaction (Au, Ag), as the main component the low melting point metal the second
の金属膜を積層した記録材料にレーザビームを照射することにより、第1の金属膜と第2の金属膜とを固相で反応させる記録方法が記載されている。 Of by irradiating a laser beam on a recording material obtained by laminating a metal film, a recording method of reacting a first metal film and the second metal film in the solid phase is described. 同公報には、低融点金属としてInを用いた場合には125℃で固相反応が急激に進み、また、Snを用いた場合には180℃程度で固相反応が進む旨が記載されている。 The same publication, the solid-phase reaction proceeds rapidly at 125 ° C. in the case of using In as low-melting-point metal, also in the case of using the Sn is described that the solid phase reaction proceeds at about 180 ° C. there. このように比較的低温で反応が進むため、この記録材料では、十分な保存信頼性を確保することは困難である。 Thus, since the flow proceeds relatively low temperature in the reaction, in this recording material, it is difficult to secure sufficient storage reliability. また、低融点金属と組み合わせて用いられるAuおよびAgは、その融点が前記反応温度に比べ著しく高い。 Further, Au and Ag is used in combination with the low melting metal, whose melting point is considerably higher than that of the reaction temperature. したがって、このような組み合わせにおける固相反応では拡散速度が遅くなるので、高速記録には不向きである。 Therefore, because the diffusion rate becomes slower in solid phase reaction in such a combination, it is not suitable for high-speed recording. 【0008】実公平6−32372号公報には、光学的消衰係数の小さいGe、Te、Bi、Tl、Tiおよびこれらを主成分とする第1の記録層と、これよりも大きな光学的消衰係数をもつTe、Bi、Sn、Au、S [0008] actual fair 6-32372 discloses, a first recording layer of small Ge of optical extinction coefficient, Te, Bi, Tl, Ti and these mainly, large optical extinction than this Te with coefficient of, Bi, Sn, Au, S
b、Ag、Al、Inおよびそれらを主成分とする合金の第2の記録層とを具備する光ディスクが記載されている。 b, Ag, Al, an optical disk comprising a second recording layer of In and them as a main component alloy is described. この光ディスクでは、光照射により両記録層が相互拡散して単一層に変化する。 In this optical disc, both the recording layer by light irradiation is changed to a single layer and interdiffusion. 同公報の実施例では、第1 In the example set forth in the first
の薄膜(記録層)をGeから構成し、第2の薄膜(記録層)をAlから構成している。 The thin films (recording layer) composed of a Ge, and a second thin film (recording layer) composed of a Al. 【0009】特開2000−187884号公報には、 [0009] in Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-187884,
ライトワンス型光記録媒体において、記録層が記録媒体の基板側に設けた第1の記録層とその上に設けた第2の記録層の2層からなり、レーザービームの照射により第1の記録層を構成する元素の濃度と第2の記録層を構成する元素の濃度とが逆転する現象を利用して記録を行う光記録媒体が記載されている。 In the write-once type optical recording medium, made from two layers, a first recording layer and the second recording layer provided thereon a recording layer provided on the substrate side of the recording medium, the first recording by irradiation of a laser beam optical recording medium in which the concentration of elements constituting the concentration and the second recording layer of the element constituting the layer performs recording by utilizing the phenomenon of reverse is described. 第1の記録層を構成する元素は、Sb、Ge、Bi、Te、Se、Siの少なくとも1種であり、第2の記録層を構成する元素は、I Elements constituting the first recording layer, Sb, Ge, Bi, Te, Se, at least one of Si, elements constituting the second recording layer, I
n、Al、Gaの少なくとも1種である。 n, Al, at least one of Ga. 同公報の実施例では、第1の記録層をGeまたはその合金から構成し、第2の記録層をAlまたはその合金から構成している。 In the example set forth in the first recording layer was composed of Ge or an alloy thereof, and a second recording layer composed of Al or an alloy thereof. 同公報には、レーザービーム照射により相互拡散が急激に進行するため、濃度の逆転が生じる旨が記載されている。 The same publication, since the interdiffusion proceeds rapidly by laser beam irradiation, it is described that reversal of the density occur. しかし、このようにレーザービーム照射部位(記録マーク)において元素分布が偏り、安定した混合状態となっていないのでは、十分な保存信頼性が得られるとは思われない。 However, such elemental distribution bias in the laser beam irradiation site (recording marks), than not a stable mixed state does not seem to sufficiently storage reliability can be obtained. 【0010】特公平4−29135号公報には、レーザービームに対し高い透過率を有する第1の層と、レーザービームを吸収し、かつ上記第1の層と容易に合金をつくる低融点金属を主成分とする第2の層とを有し、レーザービーム照射によって第1の層と第2の層とが合金化する情報記録媒体が記載されている。 [0010] Japanese Patent Kokoku 4-29135, a first layer having a high transmittance with respect to laser beam, absorbs the laser beam, and the low melting point metal to make the first layer and the readily alloys and a second layer mainly, the first layer and the second layer is described information recording medium alloyed by laser beam irradiation. 第1の層はカルコゲナイドガラスから構成され、第2の層はTe、Bi、 The first layer consists of chalcogenide glass, the second layer Te, Bi,
Sb、In等の低融点金属から構成される。 Sb, composed of low melting point metal such as In. 同公報の実施例では、第1の層をSb 2 Se 3から構成し、第2の層をBi 2 Te 3から構成している。 In the example set forth in the first layer consist of Sb 2 Se 3, and a second layer composed of Bi 2 Te 3. 【0011】特開平2−235789号公報には、A [0011] JP-A-2-235789, A
u、Al、Ag、Pt、Pd、Ni、Cr、Coから選択される元素およびこれらの元素を含む合金から構成される高い反射率をもつ層(反射層)と、カルコゲナイド(Te、Se、S)から構成される低い反射率をもつ層(吸収層または記録層)とを有する光学情報記録部材が記載されている。 u, Al, Ag, Pt, Pd, Ni, Cr, an element and a layer with high reflectivity made of an alloy containing these elements selected from Co and (reflective layer), a chalcogenide (Te, Se, S ) it has been described an optical information recording member having a layer (absorption layer or recording layer) having a low reflectivity composed. 同公報には、吸収層または記録層において、カルコゲナイドに加え、Ge、Sn、In、S The same publication, the absorbent layer or the recording layer, in addition to the chalcogenide, Ge, Sn, an In, S
b、Pb、Cu、Ni、Pd、Co、Si、酸化物、窒化物、炭化物を共存させてもよい旨が記載されている。 b, Pb, Cu, Ni, Pd, Co, Si, oxides, nitrides, it is described that may be allowed to coexist carbide.
同公報には、記録時に、反射層構成元素がカルコゲン化物を形成する旨が記載されている。 The same publication, at the time of recording, the reflective layer constituent elements are described that form the chalcogenide. 同公報の実施例では、Auからなる反射層とTeまたはこれとTeO 2との混合物からなる記録層との組み合わせ、Alからなる反射層とTeからなる記録層との組み合わせ、NiCr In the example set forth in the combination of the reflective layer and Te or its combination with the recording layer composed of a mixture of the TeO 2, the recording layer comprising a reflective layer and a Te of Al consisting of Au, NiCr
からなる反射層とTeからなる記録層との組み合わせ、 The combination of a recording layer made of reflective layer and Te consisting
Auからなる反射層とSb層およびTe層からなる記録層との組み合わせを用いている。 And using a combination of the recording layer of reflective layer and the Sb layer and Te layer made au. 同公報記載の発明では、反射層と記録層との反応により生成するカルコゲン化物の融点が反射層の融点よりも低くなる(例えばAu In the invention described in the publication, the melting point of the chalcogenide to be formed by the reaction between the reflecting layer and the recording layer is lower than the melting point of the reflective layer (e.g., Au
の融点は1083℃で、AuTe 2の融点は464℃) The melting point at 1083 ° C., the melting point of AuTe 2 is 464 ° C.)
ため、記録マークの熱安定性が十分に高くはならない。 Therefore, the thermal stability of the recording mark is not high enough. 【0012】そのほかにも、特開平5−12711号公報には、高反射率の元素と低融点元素とから構成された第1の記録膜と、第1の記録膜中の低融点元素と合金を生じるような元素を含有する第2の記録膜とを光ディスクが記載されている。 [0012] Besides that, JP-A-5-12711, a first recording layer which is composed of the element and the low melting point elements of the high reflectance, low melting elements and alloy in the first recording layer It has been described second recording layer and the optical disk containing an element such as produce. 同公報の実施例2では、Al−B In Example 2 of the publication, Al-B
i(原子比1:1)層とSb−Se(原子比1:1)層とを積層している。 i (atomic ratio 1: 1) layer and the Sb-Se (atomic ratio 1: 1) and the layer was laminated. この光ディスクにおける記録時の作用は、Al−Bi層中のBiがSb−Se層側に拡散することによってAlが析出し、その部位で反射率が向上するというものである。 Recording operation in this optical disk, Al is deposited by the Bi of Al-Bi layer from diffusing into the Sb-Se layer side, is that to improve the reflectivity at that site. 【0013】上記各提案に示される媒体は、いずれも実用化に至っていない。 [0013] medium shown above each proposal, neither put to practical use. 上記各媒体は、保存信頼性や再生耐久性、高速記録について改善の余地があると考えられる。 Each medium, storage reliability and reproduction durability is considered that there is room for improvement for high-speed recording. 【0014】 【発明が解決しようとする課題】本発明は、長期保存信頼性および再生耐久性に優れ、かつ、記録/再生波長を広い波長域から選択することが可能で、また、高速、高密度記録が可能な追記型光記録媒体を提供することを目的とする。 [0014] SUMMARY OF THE INVENTION The present invention, long-term storage reliability and excellent reproduction durability, and can select the recording / reproducing wavelength from a wide wavelength range, also fast, high and to provide a write-once optical recording medium capable density recording. また、本発明は、このような追記型光記録媒体を多層光記録媒体に適用したときの適切な記録方法を提供することを目的とする。 The present invention also aims to provide an appropriate recording method of applying such a recordable optical recording medium in a multilayer optical recording medium. 【0015】 【課題を解決するための手段】このような目的は、下記(1)〜(11)の本発明により達成される。 [0015] [Means for Solving the Problems] Such an object is achieved by the following aspects of the invention (1) to (11). (1) 1種の金属を主成分とする第1の副記録層と、 (1) a first sub-recording layer mainly composed of one metal,
前記1種の金属以外の金属を主成分とする第2の副記録層とを、それぞれ少なくとも1層含む積層記録層を有し、第1の副記録層の主成分金属および第2の副記録層の主成分金属は、融点がいずれも500℃以上であり、 Said one of the second sub-recording layer mainly composed of a metal other than a metal, has a laminated recording layer comprising at least one layer respectively, the main component metal of the first sub-recording layer and a second sub-recording main component metal layer has a melting point at both 500 ° C. or higher,
第1の副記録層の主成分金属と第2の副記録層の主成分金属とは、混合したときに、それぞれの融点より高い融点をもつ合金が生成しうるものであり、積層記録層に記録用レーザービームを照射することにより、それぞれの副記録層に含有される主成分金属が拡散して混合し、この混合により、反射率が不可逆的に変化した記録マークが形成される光記録媒体。 And the main component metal of the first sub-recording layer and the main component metal of the second sub-recording layer, when mixed, which is an alloy having a melting point higher than the respective melting points can be generated, the recording layer laminate by irradiating the recording laser beam, each of the sub-main component metals contained in the recording layer is mixed by diffusion, this mixing, an optical recording medium recording mark reflectance is changed irreversibly are formed . (2) 第1の副記録層および第2の副記録層が、いずれも結晶質である上記(1)の光記録媒体。 (2) the first sub-recording layer and a second sub-recording layer, both of which are crystalline optical recording medium of (1). (3) 第1の副記録層の主成分がAlであり、第2の副記録層の主成分がSbである上記(1)または(2) (3) the main component of the first sub-recording layer is Al, the main component of the second auxiliary recording layer is Sb (1) or (2)
の光記録媒体。 Of the optical recording medium. (4) 積層記録層中において、原子比Sb/Alが1 (4) In the laminated recording layer, the atomic ratio Sb / Al 1
/3〜3である上記(3)の光記録媒体。 A / 3 to 3 optical recording medium of (3). (5) 記録マークの反射率の熱安定性が、記録マークを除く領域の反射率の熱安定性よりも高い上記(1)〜 (5) thermal stability of the reflectance of the recording mark is higher than the thermal stability of the reflectance of the region except the record mark (1) to
(4)のいずれかの光記録媒体。 One of the optical recording medium (4). (6) 記録用レーザービームの照射により副記録層の少なくとも1層が溶融する上記(1)〜(5)のいずれかの光記録媒体。 (6) one of the optical recording medium of the at least one layer of the subsidiary recording layer by irradiation of the recording laser beam melts (1) to (5). (7) 積層記録層の両側に、無機材料からなる無機保護層が存在する上記(1)〜(6)のいずれかの光記録媒体。 (7) on both sides of the laminated recording layers, one of the optical recording medium of the inorganic protective layer made of an inorganic material is present (1) to (6). (8) 少なくとも2層の記録層が積層され、他の記録層を通して照射されるレーザービームによって記録/再生が行われる記録層が存在する媒体であり、少なくとも1層の記録層が前記積層記録層である上記(1)〜 (8) at least two recording layers are laminated, a medium in which the recording layer is present recording / reproduction is performed by a laser beam irradiated through the other recording layers, the recording layer at least one layer of the laminated recording layer in the above (1) to
(7)のいずれかの光記録媒体。 One of the optical recording medium (7). (9) 他の記録層の記録/再生に用いるレーザービームが透過する記録層のうち少なくとも1層が、前記積層記録層である上記(8)の光記録媒体。 (9) at least one layer of the recording layer where the laser beam passes used for recording / reproducing of the other recording layers, wherein a laminated recording layer optical recording medium of (8). (10) 上記(8)または(9)の光記録媒体に記録する方法であって、特定のマーク長の信号を記録するに際し、すべての記録層において記録パルスストラテジを同一とし、かつ、各記録層ごとに記録用レーザービームのパワーを最適に制御する光記録方法。 (10) A method of recording to the optical recording medium of (8) or (9), when recording a signal of a specific mark length, a recording pulse strategy the same in all the recording layers, and the recording the optical recording method for optimally controlling the power of the recording laser beam for each layer. (11) 上記(8)または(9)の光記録媒体に記録する方法であって、特定のマーク長の信号を記録するに際し、すべての記録層において記録用レーザービームのパワーを同一とし、かつ、各記録層ごとに記録用レーザービーム照射時間を最適に制御する光記録方法。 (11) A method of recording to the optical recording medium of (8) or (9), when recording a signal of a particular mark length and the same power of the recording laser beam in all of the recording layer, and the optical recording method for optimally controlling the recording laser beam irradiation time for each recording layer. 【0016】なお、前記特開2000−187884号公報には、Sbからなる第1の記録層とAlからなる第2の記録層とを組み合わせる選択肢が開示されている。 [0016] Incidentally, the JP-A-2000-187884 discloses, option of combining a second recording layer comprising a first recording layer and Al made of Sb is disclosed.
ただし、同公報に開示されているのはあくまでも選択肢だけであり、この組み合わせで実際に媒体を作製して効果を確認しているわけではない。 However, only last option that disclosed in the publication, not have to see the effect was produced actually medium in this combination. 同公報に実施例として記載されているのは、Geまたはその合金からなる第1 What is described as an example in this publication, first made of Ge or an alloy thereof
の記録層と、Alまたはその合金からなる第2の記録層との組み合わせであり、本明細書において比較例として示すように、この組み合わせでは本発明の効果は実現しない。 A recording layer of a combination of the second recording layer made of Al or an alloy thereof, as shown as a comparative example herein, the effect of the present invention is not achieved with this combination. また、同公報には、レーザービーム照射により相互拡散が急激に進行するため、濃度の逆転が生じる旨が記載されているが、本明細書に実施例として示すように、本発明の媒体では、第1の副記録層構成元素と第2 Further, in the publication, since the interdiffusion proceeds rapidly by laser beam irradiation, although it is described that reversal of the density occurs, as shown as an example herein, in the medium of the present invention, the first sub-recording layer constituent elements and the second
の副記録層構成元素とはほぼ均一に混合し、濃度の逆転は生じない。 The sub-recording layer constituent elements substantially uniformly mixed, there is no reversal of the concentration. 【0017】ところで、特開平5−159352号公報には、前記した孔あけ記録が行われる媒体が記載されている。 [0017] Incidentally, Japanese Patent Laid-Open No. 5-159352, the medium wherein the drilling recording is performed is described. 同公報記載の媒体は、多層構造の記録膜を有し、 Medium described in the publication has a recording film of a multilayer structure,
記録膜を構成する各薄膜が互いに溶融、混合したとき、 Melting the thin film constituting the recording film to each other, when mixed,
各薄膜を構成する材料よりも溶融温度の高い合金または金属間化合物が生成するものである。 Than the material constituting each of the thin film and generates a high alloy or intermetallic compound melting temperature. 同公報記載の記録方法では、記録用エネルギービーム照射により前記記録層を局部的に溶融して孔あけ記録を行った後、記録用エネルギービームより低パワーレベルの保存処理用エネルギービームを、記録膜の全域に照射する。 In the recording method of the publication, after locally melted and boring recording the recording layer by the recording energy beam irradiation, a lower-power level of the storing process energy beam recording energy beam, the recording film to irradiate the entire area of ​​the. この保存処理用エネルギービームの照射により、記録膜全域が高融点の合金または金属間化合物に変化するため、記録情報の長期保存性が改善される。 By irradiation of the storage process energy beam, the recording film throughout is for changing the alloy or intermetallic compound having a high melting point, long-term storage of the recorded information is improved. 【0018】特開平5−159352号公報記載の媒体は、記録膜を構成する各薄膜が互いに溶融、混合したとき、各薄膜を構成する材料よりも溶融温度の高い合金または金属間化合物が生成する点で、本発明の媒体に類似する。 The medium of JP-A 5-159352 JP is fused each thin film constituting the recording film to each other, when mixed, high alloy or intermetallic compound melting temperature than the material to produce constituting each thin film in point, similar to the medium of the present invention. しかし、同公報記載の媒体は、孔あけ記録媒体であり、孔あけ記録媒体は前述したように高コストであり、また、実用性が低い。 However, the medium of the publication is a drilling recording medium, drilling recording medium is a high cost as described above, also is less practical. また、同公報の実施例では、 Further, in the embodiment of the publication,
(1)Te(融点m P =450℃)膜とSn(m P =23 (1) Te (mp m P = 450 ℃) film and Sn (m P = 23
2℃)との組み合わせ、(2)Te膜とBi(m P =2 Combination of 2 ℃), (2) Te films and Bi (m P = 2
71℃)膜との組み合わせ、(3)Te膜とZn(m P Combination of 71 ° C.) film, (3) Te film and Zn (m P
=419℃)膜との組み合わせを用いている。 = 419 ° C.) are used in combination with the membrane. このように各薄膜の融点が低いと、高温環境下での保存時に記録膜中において固相反応による拡散が進行して高融点金属が生成されてしまうので、記録が不可能となってしまう。 With such a low melting point of the film, the diffusion by solid-phase reaction in the recording film during storage in a high temperature environment progresses refractory metal would be generated, the recording becomes impossible. 【0019】 【発明の実施の形態】本発明の光記録媒体は、少なくとも1層の第1の副記録層と、少なくとも1層の第2の副記録層とを含む積層記録層を有する。 The optical recording medium of the present invention DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION comprises a at least one layer of the first sub-recording layer, the recording layer laminate comprising a at least one layer of the second sub-recording layer. 第1の副記録層と第2の副記録層とは、相異なる1種の金属を主成分とする。 A first auxiliary recording layer and the second sub-recording layer, the main component different one metal. この積層記録層に記録用レーザービームを照射すると、それぞれの副記録層に含有される主成分金属が、照射領域において拡散して混合する。 Upon irradiation with a recording laser beam on the laminated recording layer, the main component metal contained in the respective sub-recording layer, mixed with diffusion in the irradiation region. この混合により生じる反応生成物が、照射領域の反射率を変化させるため、 Reaction products resulting from the mixing, to change the reflectivity of the irradiated region,
ここを記録マークとして利用することができる。 It can be used here as a record mark. 前記反射率変化は不可逆的であるため、本発明の媒体は追記型の光記録媒体として利用することができる。 The reflectance change is because it is irreversible, media of the present invention can be utilized as a write-once type optical recording medium. 【0020】以下、本発明の好ましい態様である、Al [0020] Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention, Al
を主成分とする副記録層(以下、Al主成分層)と、S A subsidiary recording layer mainly composed of (hereinafter, Al main component layer), S
bを主成分とする副記録層(以下、Sb主成分層)とをそれぞれ少なくとも1層含む積層記録層を有する媒体を中心に説明する。 Secondary recording layer mainly composed of b (hereinafter, Sb principal component layer) is described with a mainly medium having a laminated recording layer comprising at least one layer respectively. 【0021】記録マーク中において前記主成分金属は混合された状態となっており、金属間化合物として存在するか、金属間化合物は生成しなくても、少なくとも主成分金属同士が結合した状態の混合物として存在すると考えられる。 [0021] The main component metal in a recording mark has a mixed state, or present as an intermetallic compound, without generating intermetallic compound, a mixture of state of at least the main component metals are bound It is considered to be present as. 例えば、Al主成分層とSb主成分層とからなる積層記録層の場合、金属間化合物であるAlSbが生成していると考えられる。 For example, if the recording layer laminate consisting of an Al main component layer and the Sb main component layer, considered AlSb is generated which is an intermetallic compound. ただし、AlSbのような金属間化合物は、結晶成長している必要はなく、電子線回折によって検出できない程度の結晶質(微結晶状態) However, the intermetallic compound such as AlSb does not need to be crystal growth, the crystalline which can not be detected by electron diffraction (fine crystalline state)
であっても本発明の効果は実現する。 Even the effect of the present invention is realized. 【0022】本発明では、記録マーク中の反応生成物の熱安定性が、記録前において副記録層が積層された状態での熱安定性よりも高くなることが特徴である。 [0022] In the present invention, the thermal stability of the reaction product in a recording mark, it is it is characterized that the sub-recording layer is higher than the thermal stability in a laminated state before recording. 具体的には、記録マークが既に形成されている積層記録層に、 Specifically, the laminated recording layer a recording mark has already been formed,
記録マークの形成が可能なパワーレベルの記録用レーザービームを照射したとき、積層記録層では前記混合が生じて反射率が変化し、一方、既に形成されている記録マークは記録用レーザービーム照射により反射率が変化しないことを意味する。 When formation of the recording mark is irradiated with a power level recording laser beam of possible reflectance said mixing occurs changes in the recording layer laminate, while the recording mark has already been formed by the recording laser beam It means that the reflectance does not change. Alの融点は660℃、Sbの融点は631℃であり、両者共に単体で熱的に十分に安定であり、しかもレーザービーム照射による溶融が可能である。 Melting point of Al is 660 ° C., the melting point of Sb is 631 ° C., are thermally sufficiently stable alone Both, moreover it is possible to melt by laser beam irradiation. また、SbとAlとの反応により、それぞれの単体よりも融点が十分に高く、低温と高温とで結晶構造が変化しない安定な金属間化合物AlSb(融点:106 Further, the reaction between Sb and Al, each of sufficiently high melting point than a single, stable intermetallic compound AlSb (melting point crystal structure between the low and high temperatures do not change: 106
0℃)が生成しうる。 0 ℃) are able to form. 本発明ではこのように、各副記録層に含有される主成分金属同士が混合したときに、それぞれの主成分金属の融点より高い融点をもつ合金(好ましくは金属間化合物)が生成しうる必要がある。 As this, in the present invention, when the main component metal together contained in each sub-recording layer are mixed, required alloy having a respective main component metal melting point higher than the melting point of the (preferably intermetallic compound) are able to form there is. 【0023】そのため、本発明の媒体は、記録後に高温環境下で保存しても、前記反応生成物からなる記録マークが変化しにくく安定である。 [0023] Therefore, media of the present invention, even when stored under a high temperature environment after recording, the recording marks formed of the reaction product is stable hardly changed. 形成された記録マークを読み出す際には、再生用レーザービームを照射する。 It formed when reading the recording marks is irradiated with a reproduction laser beam. 再生用レーザービームのパワーは比較的低いが、その照射領域では積層記録層の温度が数十℃程度上がってしまう。 Reproducing laser beam power is relatively low, the temperature of the laminated recording layer in the irradiation region will be increased about several tens of ° C.. 熱安定性の低い記録マークでは、再生によって、特に繰り返し再生によって記録マークが変化してしまうが、本発明の媒体では再生によっては記録マークは変化しにくく、再生耐久性に優れる。 In low recording mark thermal stability, by reproducing, in particular repeated recording marks by the reproduction is changed, the recording marks by the reproduction in the medium of the present invention is less likely to change, excellent reproduction durability. また、本発明の媒体では記録マークの熱安定性が高いため、記録時に隣接トラックの記録マークを消してしまう現象(クロスイレーズ)が実質的に生じない。 Moreover, due to the high thermal stability of recorded marks in the medium of the present invention, a phenomenon that at the time of recording will erase the recording mark of the adjacent tracks (cross erase) does not substantially occur. そのため、記録トラックピッチを狭くすることができるので、高密度記録に有効である。 Therefore, it is possible to narrow the recording track pitch, is effective for high density recording. 【0024】これに対し、組成の相異なる2層の金属層をレーザービームによって瞬時に加熱して拡散する点では同じであっても、拡散によって生成する生成物が非平衡状態である場合、例えば生成物が共融混合物や準安定構造をもつ場合には、加熱により、あるいは室温での長期間保存により平衡状態への状態変化(例えば相分離) [0024] By contrast, in terms of diffuse by heating the metal layers of different two layers of the composition instantaneously by the laser beam is the same, if product produced by diffusion is non-equilibrium state, for example, If the product has a eutectic mixture or metastable structure, heated by, or a state change to the equilibrium state by long-term storage at room temperature (e.g. phase separation)
が生じる。 It occurs. そのため、非平衡状態の生成物からなる記録マークは、本発明における記録マークに比べ熱安定性が著しく低くなり、再生耐久性および保存信頼性が悪くなる。 Therefore, recording marks consisting of the product of non-equilibrium state, the heat stability is remarkably lower than that in the recording mark in the present invention, reproduction durability and storage reliability is deteriorated. 【0025】副記録層は上記主成分金属だけを含有していてもよいが、他の元素が添加されていてもよい。 The auxiliary recording layer may contain only the main component metal, but may be other elements are added. 各副記録層における主成分金属の含有量は、好ましくは80 The content of the main component metal in each sub-recording layer is preferably 80
原子%以上、より好ましくは90原子%以上である。 Atomic% or more, more preferably 90 atomic% or more. 副記録層中における主成分金属の含有量が少なすぎると、 When the content of the main component metal in the secondary recording layer is too small,
熱安定の高い記録マークを形成することが困難となる。 It is difficult to form a high recording mark thermal stability. 【0026】本発明では、Sb主成分層およびAl主成分層を結晶質層として形成することが好ましい。 [0026] In the present invention, it is preferable to form a Sb principal component layer and Al main component layer as crystalline layer. Sb主成分層およびAl主成分層を結晶質層として形成すれば、非晶質層として形成される場合に比べ反射率が高くなるため、記録マークを除く領域の反射率を高くすることができ、その結果、再生出力を高くすることができる。 By forming the Sb principal component layer and Al main component layer as crystalline layers, the reflectance compared with a case that is formed as an amorphous layer is increased, it is possible to increase the reflectivity of the region except the recording mark As a result, it is possible to increase the reproduction output. 【0027】副記録層は、スパッタ法や蒸着法などの気相成長法により形成することが好ましく、特にスパッタ法により形成することが好ましい。 The secondary recording layer is preferably formed by vapor deposition such as sputtering or vapor deposition, it is particularly preferable to be formed by sputtering. Sb主成分層をスパッタ法により形成する場合、Sb含有量が多ければ結晶質層として形成される。 When forming a Sb principal component layer by sputtering, it is formed as a crystalline layer The greater the Sb content. 一方、Sbの結晶化を阻害する元素がある程度以上添加されていれば、Sb主成分層は非晶質層として形成されやすい。 On the other hand, if the elements of inhibiting the crystallization of Sb is added over a certain extent, Sb main component layer is formed as an amorphous layer easily. Sb主成分層が結晶質となるか非晶質となるかは、Sb主成分層に含有されるSb以外の元素の種類およびその含有量に依存する。 Or Sb principal component layer is either amorphous becomes a crystalline depends on the type and content of elements other than Sb contained in the Sb principal component layer. S
b主成分層を結晶質層として形成するためには、Sb含有量を好ましくは80原子%以上とし、より好ましくは90原子%以上とし、さらに好ましくは95原子%以上とし、最も好ましくは100原子%とすることが望ましい。 The b principal component layer to form a crystalline layer, preferably the Sb content is 80 atomic% or more, more preferably 90 atomic% or more, more preferably set to 95 atomic% or more, most preferably 100 atoms % and it is desirable to. なお、スパッタ法を用いれば、Al主成分層は結晶質層として形成することができる。 Incidentally, by using a sputtering method, Al main component layer may be formed as a crystalline layer. 【0028】ただし、結晶質層として形成されうる組成であっても、後述する多層光記録媒体に適用する場合のように副記録層が厚さ数ナノメートル程度以下と薄い場合には、Sb主成分層およびAl主成分層のいずれもが微結晶構造となることがある。 [0028] However, even if the composition can be formed as a crystalline layer, if so subsidiary recording layer thickness of several nanometers or less and thin when applied to multilayer optical recording medium to be described later, Sb main which may be either component layer and Al main component layer is a microcrystalline structure. 【0029】Al主成分層に添加される元素としては、 [0029] as an element to be added to the Al main component layer,
Cr、Ti、Niなど、耐食性を向上させる金属元素の少なくとも1種が好ましい。 Cr, Ti, Ni, etc. is preferable that at least one metal element to improve corrosion resistance. 一方、Sb主成分層に添加される元素としては、13(IIIb)、14(IVb)、1 On the other hand, as the element added to the Sb principal component layer, 13 (IIIb), 14 (IVb), 1
5(Vb)、16(VIb)の各族に属する元素の少なくとも1種が好ましい。 5 (Vb), 16 (VIb) at least one element belonging to each group are preferred. ただし、上述したように、Sb主成分層はSbだけから構成されることが最も好ましい。 However, as described above, Sb main component layer is most preferably composed of only Sb. 【0030】積層記録層中において、Al主成分層とS [0030] In the laminated recording layer, Al main component layer and S
b主成分層とは接していることが好ましいが、これらの層の間に、他の元素を主成分とする介在層が存在していてもよい。 It is preferable that the contact with the b main component layers, between these layers may be interposed layer mainly composed of other elements are present. 前記他の元素としては、Al主成分層またはSb主成分層において添加元素として用いられる前記元素の少なくとも1種が挙げられる。 Examples of the other elements, at least one of the elements to be used as an additional element in the Al main component layer or Sb main component layer. また、介在層は、融点が500〜1000℃の範囲内にある化合物から構成されていてもよい。 Further, the intervening layer may be composed of a compound having a melting point in the range of 500 to 1000 ° C.. 上記介在層の厚さは、好ましくは5 The thickness of the intermediate layer is preferably 5
nm以下、より好ましくは3nm以下である。 nm or less, and more preferably 3nm or less. 介在層が厚すぎると、AlとSbとの混合が妨げられることがある。 When intervening layer is too thick, there is the mixing of the Al and Sb is prevented. 【0031】主成分金属の融点は、どの副記録層においても500℃以上とする。 [0031] the main component metal melting point, also to 500 ° C. or higher in any sub-recording layer. 融点の低い主成分金属を含有する副記録層が存在すると、再生時および高温環境下での保存時に、固相反応による拡散が進行してしまうため、再生耐久性および保存信頼性が悪くなる。 When secondary recording layer containing a low main component metal melting point is present, at the time of storage under reproduction and high temperature environments, the diffusion by the solid-phase reaction will progress, reproduction durability and storage reliability is deteriorated. 【0032】積層記録層は、これを構成する各副記録層の融点未満の温度においても固相反応により拡散を生じさせて反射率を変化させることが可能である。 The laminated recording layer can also vary the reflectivity cause diffused by solid-phase reaction at a temperature below the melting point of each sub-recording layer to configure this. 例えばA For example, A
l主成分層とSb主成分層との組み合わせでは、400 In combination with l main component layer and the Sb main component layer, 400
℃以上かつ融点未満の温度で十分な固相反応を生じさせることができる。 ℃ or more and at a temperature lower than the melting point can be generated sufficient solid-phase reaction. ただし、高速で記録するためには、拡散速度が速い液相反応による拡散を利用することが好ましいので、記録用レーザービームを照射したときに、副記録層の少なくとも一方が溶融することが好ましく、すべての副記録層が溶融することがより好ましい。 However, in order to record at a high speed, since it is preferable to use the diffusion by fast liquid phase reaction rate of diffusion, when irradiated with recording laser beam, it is preferable that at least one of the subsidiary recording layer is melted, it is more preferred that all of the subsidiary recording layer to melt. その場合に記録感度を高くするためには、主成分金属の融点が、副記録層の少なくとも1層において、好ましくはすべての副記録層において、1000℃以下であることが望ましい。 In order to increase the recording sensitivity in this case, the melting point of the main component metal, in at least one layer of the subsidiary recording layer, preferably in all of the sub-recording layer is desirably 1000 ° C. or less. なお、前記したようにAlとSbとは融点が近いため、両層を同時に溶融させることは容易である。 Incidentally, Al and Sb as described above because of close melting points, it is easy to melt both layers simultaneously. 【0033】また、記録時の反応を各主成分金属の融点未満の温度で進行させる場合、すなわち固相反応により拡散させる場合、各副記録層の主成分金属の融点が互いに近いことが好ましく、具体的には、各副記録層の主成分金属の融点が幅200℃以下の温度域、特に幅100 Further, if the reaction to proceed at the time of recording at a temperature below the melting point of the main component metal, that is, when the diffusing by a solid phase reaction, it is preferable close to each other the melting point of the main component metal of the subsidiary recording layer, Specifically, a temperature range having a melting point of width 200 ° C. the following main component metal of the subsidiary recording layer, particularly the width 100
℃以下の温度域内に収まっていることが好ましい。 ℃ it is preferable that falls within the following temperature range. 各主成分金属の融点が近ければ、すべての副記録層を活性な状態にすることができるため、比較的速い速度で拡散が進行する。 The closer the melting point of the main component metal, for all the sub-recording layer can be an active state, diffusion at a relatively high speed traveling. 前記したようにAlとSbとは融点が十分に近い。 Are sufficiently close melting points Al and Sb as described above. 【0034】積層記録層の厚さ、すなわちすべての副記録層の合計厚さは、3〜50nm、特に3〜30nmであることが好ましい。 [0034] The thickness of the laminated recording layers, i.e. the total thickness of all the sub-recording layer, 3 to 50 nm, it is particularly preferably 3 to 30 nm. 積層記録層が薄すぎると、記録前後において十分な反射率差を確保することが困難となる。 When the laminated recording layer is too thin, it becomes difficult to secure a sufficient reflectance difference before and after recording. 一方、積層記録層が厚すぎると、積層記録層の熱容量が大きくなるため、記録感度が悪くなる。 On the other hand, when the laminated recording layer is too thick, the heat capacity of the multilayer recording layer is increased, recording sensitivity deteriorates. 【0035】各副記録層の厚さは、1〜30nm、特に2 [0035] The thickness of each sub-recording layer, 1 to 30 nm, especially 2
〜30nmであることが好ましい。 It is preferable that the ~30nm. 副記録層が薄すぎると、記録前後において十分な反射率差を確保することが難しくなる。 When secondary recording layer is too thin, to ensure a sufficient reflectance difference before and after the recording becomes difficult. 一方、副記録層が厚すぎると、積層記録層の全厚が大きくなりすぎるため、積層記録層の熱容量が大きくなって記録感度が低くなってしまう。 On the other hand, when the auxiliary recording layer is too thick, since the total thickness of the multilayer recording layer is too large, the recording sensitivity thermal capacity is increased in the laminated recording layer is lowered. 各副記録層の厚さは、熱安定性が高く、かつ反射率差の大きい記録マークが形成されるように適宜決定すればよい。 The thickness of each sub-recording layer has a high thermal stability, and may be suitably determined to be greater recording mark reflectance difference is formed. 例えば、Al主成分層とSb主成分層とを組み合わせる場合、AlとSbとが1:1で結合した金属間化合物が生成すると考えられるので、積層記録層中におけるAlとSbとの比率(原子比)が1:1から大きく外れないように、各副記録層の厚さを設定することが好ましい。 For example, if the combination of the Al main component layer and the Sb main component layer, Al and Sb is 1: Since the intermetallic compound attached at 1 is considered to be generated, the ratio of Al and Sb in the layered recording layer (atomic ratio) is 1: to not deviate significantly from 1, it is preferable to set the thickness of each sub-recording layer. 【0036】Al主成分層とSb主成分層とからなる積層記録層において、原子比Sb/Alは1/3〜3、特に2/5〜5/2であることが好ましい。 [0036] In the laminated recording layer comprising a Al main component layer and the Sb main component layer, it is preferable atomic ratio Sb / Al is 1/3 to 3, in particular 2 / 5-5 / 2. この原子比が小さすぎても大きすぎても、反射率を低下させる混合物が十分に生成しにくくなり、記録前後での反射率差が十分に大きくならず、その結果、十分に高いCNR(carr This even be too large atomic ratio is too small, a mixture of lowering the reflectivity is hardly sufficiently generated, not sufficiently large difference in reflectivity before and after recording, as a result, a sufficiently high CNR (carr
ier to noise ratio)が得られない。 ier to noise ratio) can not be obtained. したがって、Sb Therefore, Sb
/Alが上記範囲内となるように、Al主成分層の厚さとSb主成分層の厚さとの比を設定することが好ましい。 / Al are formed so that the above-mentioned range, it is preferable to set the ratio of the thickness of the Sb main component layer of Al main component layer. 【0037】Al主成分層とSb主成分層とを含む積層記録層において、レーザービーム入射側から見て手前側の層は、Al主成分層であってもSb主成分層であってもよい。 [0037] In the laminated recording layer containing Al main component layer and the Sb main component layer, the front side of the layer as seen from the laser beam incident side may be a Sb main component layer even Al main component layer . 本発明では、これらのいずれの場合であっても記録および再生に支障はないので、設計の自由度が高い。 In the present invention, there is no trouble in recording and reproducing, even when any of these, a high degree of freedom in design. 手前側の層をAl主成分層とすれば、未記録部において高反射率が得られやすくなる。 If a layer on the front side and the Al main component layer, a high reflectivity can be easily obtained at an unrecorded portion. 一方、手前側の層をSb主成分層とすれば、記録感度を高くしやすくなる。 On the other hand, if a layer on the front side and Sb main component layer, it is easy to increase the recording sensitivity. 【0038】本発明における積層記録層は、青色から赤色までの広い波長域において、記録前後の光学特性が変化するので、記録/再生用レーザービームの波長を広い波長域から選択できる。 The laminated recording layer in the present invention, in a wide wavelength range from blue to red, the optical characteristics before and after recording is changed, can be selected wavelength of the recording / reproducing laser beam from a wide range of wavelengths. 【0039】本発明における積層記録層は、熱的には安定であるが、水蒸気やそのほかのガスに対しては十分に安定とはいえない。 The present invention stacked recording layers in is thermally are stable, not sufficiently stable to water vapor and other gases. そのため本発明の媒体では、積層記録層を一対の無機保護層で挟んだ構造とすることが好ましい。 Therefore in medium of the present invention, it is preferable that the laminated recording layer sandwiched by a pair of the inorganic protective layer. 無機保護層は無機材料からなる。 Inorganic protective layer is made of an inorganic material. この無機材料としては、酸化物、硫化物、窒化物、フッ化物、炭化物、 As the inorganic materials, oxides, sulfides, nitrides, fluorides, carbides,
これらの混合物などの各種誘電体が好ましい。 Various dielectric such as mixtures thereof are preferred. 誘電体からなる無機保護層を設けて光干渉効果を利用することにより、記録前後での反射率差を大きくすることも可能である。 By providing the inorganic protective layer made of a dielectric material utilizing light interference effect, it is also possible to increase the difference in reflectance before and after recording. 無機保護層の構成材料および厚さは、媒体の光学的設計および熱的設計に応じて適宜決定すればよい。 The material and thickness of the inorganic protective layer may be suitably determined in accordance with the optical design and thermal design of the medium. 【0040】また、本発明の媒体では、記録用レーザービーム入射側から見て、積層記録層より奥に反射層を設けることが好ましい。 Further, in the medium of the present invention, as viewed from the recording laser beam incident side, it is preferable to provide a reflective layer behind the layer recording layer. 反射層からの戻り光を利用することで、記録前後での反射率差を大きくでき、また、記録感度を高くすることが可能となる。 By utilizing the return light from the reflective layer, it can increase the reflectivity difference before and after recording, also it is possible to increase the recording sensitivity. 反射層は、金属(半金属を含む)膜や誘電体多層膜などから構成すればよい。 Reflective layer, the metal may be composed of such (semimetal including) film or a dielectric multilayer film. 反射層の構成材料および厚さは、媒体の光学的設計および熱的設計に応じて適宜決定すればよい。 The material and thickness of the reflective layer may be suitably determined in accordance with the optical design and thermal design of the medium. 【0041】また、塵埃や摩耗などの外的要素から媒体を守るために、本発明の媒体の少なくとも一方の面に、 Further, in order to protect the media from external elements such as dust or wear, at least one surface of the medium of the present invention,
樹脂や硬度の高い無機材料などからなるトップコート層やハードコート層を設けてもよい。 The top coat layer or a hard coat layer made of a high inorganic material resin and hardness may be provided. 【0042】記録マーク形成により反射率が上昇するタイプ(Low to Highタイプ)では、記録前における反射率が低いため、記録する前はトラッキングサーボ信号、 [0042] In Type reflectance by forming recording marks is increased (Low-to High type), due to the low reflectivity before recording, the tracking servo signal before recording,
フォーカシングサーボ信号が小さい。 Focusing servo signal is small. また、プリピットにおける反射率はさらに低いため、プリピットが保持する信号を再生することが困難である。 Further, since a lower reflectance in the prepit, it is difficult to reproduce the signal prepit held. したがって本発明の媒体は、記録マーク形成により反射率が低下するタイプ(High to Lowタイプ)であることが好ましい。 Therefore medium of the present invention, it is preferable reflectance by forming a recording mark is of a type that decreases (High-to Low type). 本発明において積層記録層をAl主成分層とSb主成分層とから構成した場合、記録マークの反射率を未記録領域の反射率より低く設定しやすい。 If the stacked recording layers in the present invention was formed from an Al main component layer and the Sb main component layer, it is easy to set lower than the reflectance of the unrecorded area the reflectivity of the recording mark. ただし、本発明を透過型の媒体や高反射を必要としない媒体に適用する場合には、Low to Highタイプであってもよい。 However, when applied to media that do not require transmission of medium and high reflection of the present invention may be a Low to High type. Al主成分層とSb主成分層とを組み合わせた場合でも、誘電体層による光干渉効果を利用すれば、Lowto Highタイプとすることができる。 Even when a combination of the Al main component layer and the Sb main component layer, by using an optical interference effect due to the dielectric layer can be a Lowto High type. 【0043】次に、多層光記録媒体に本発明を適用する場合について説明する。 Next, the case of applying the present invention to a multilayer optical recording medium. 【0044】多層光記録媒体は、複数の記録層が、記録/再生用レーザービームに対し透明性を有する透明中間層を介して積層された構造をもち、他の記録層を通して照射されるレーザービームによって記録/再生が行われる記録層が存在する媒体である。 The multilayer optical recording medium has a plurality of recording layers has a laminated structure via a transparent intermediate layer having transparency to recording / reproducing laser beam, the laser beam irradiated through the other recording layers recording / reproduction is a medium in which the recording layer is present to be performed by. この多層光記録媒体に本発明を適用する場合には、記録層の少なくとも1つを、前記積層記録層とする。 When the present invention is applied to the multilayer optical recording medium, at least one of the recording layer, and the laminated recording layer. なお、そのほかの記録層は、例えば相変化型の記録層であってもよく、プリピットを有する反射層からなる再生専用型の記録層であってもよく、特に限定されない。 Incidentally, other recording layer may be a recording layer of eg a phase change, may be a recording layer of read-only type of reflective layer having a pre-pit is not particularly limited. 【0045】従来、複数の相変化型記録層を積層した多層光記録媒体が提案されている。 [0045] Conventionally, multi-layer optical recording medium has been proposed that by stacking a plurality of phase-change recording layer. 相変化型記録層では、 The phase-change type recording layer,
レーザービーム照射により結晶質記録層を溶融し、これを急冷することにより非晶質記録マークを形成する。 Melting the crystalline recording layer by laser beam irradiation, to form an amorphous recording mark by quenching it. 記録層を急冷するためには、記録層近傍に金属からなる放熱層を設けることが一般的であり、冷却速度を速くするためには放熱層を厚くする必要がある。 To quench the recording layer, it is common to provide a heat dissipating layer made of a metal in the vicinity of the recording layer, in order to increase the cooling rate it is necessary to increase the heat dissipation layer. しかし、放熱層を厚くすると、放熱層の光透過率が低くなってしまうため、多層光記録媒体には不適当となる。 However, when the thickness of the heat dissipation layer, the light transmittance of the heat dissipation layer is lowered, and unsuitable for a multilayer optical recording medium. また、相変化型記録層を備える多層光記録媒体において、すべての記録層でジッタを小さくするためには、各記録層ごとに記録時の記録パルスストラテジを最適に制御する必要があり、また、各記録層ごとに熱設計を最適化する必要があるので、煩雑である。 Further, in the multilayer optical recording medium including a phase change type recording layer, in order to reduce the jitter in all recording layers, it is necessary to optimally control the recording pulse strategy for recording each recording layer, since it is necessary to optimize the thermal design for each recording layer, which is troublesome. なお、記録パルスストラテジとは、記録用レーザービームのパワー制御パターンを意味する。 Note that the recording pulse strategy, means a power control pattern of the recording laser beam. 一般に、相変化型光記録媒体に記録する際には、 Generally, when recording on the phase change optical recording medium,
記録用レーザービームを記録マークの長さに対応して連続的に照射するのではなく、例えば特開平9−7176 Instead of continuously irradiating a recording laser beam corresponds to the length of the recording marks, for example, JP-A-9-7176
号公報に記載されているように、記録マーク形状の制御のため、複数のパルスからなるパルス列として照射し、 No. As described in JP, for controlling the recording mark shape, and irradiated as a pulse train consisting of a plurality of pulses,
かつ、パルス列中の各パルスの幅を厳密に制御する場合が多い。 And often to strictly control the width of each pulse in the pulse train. この場合のパルス分割の具体的構成を、一般に記録パルスストラテジと呼ぶ。 The specific configuration of the pulse division of this case, generally referred to as recording pulse strategy. 【0046】これに対し本発明で用いる前記積層記録層は、複数の金属層を瞬時に溶融させるだけで記録マークを形成することができ、冷却速度を考慮する必要がない。 [0046] The said laminated recording layer contrary used in the present invention, simply by melting a plurality of metal layers instantly it is possible to form a recording mark, it is not necessary to consider the cooling rate. そのため、前記放熱層を設ける必要がない。 Therefore, there is no need to provide the heat dissipation layer. また、 Also,
記録パワーマージンが広い。 The recording power margin is wide. また、高速記録が可能である。 In addition, it is possible to high-speed recording. また、記録パルスストラテジを厳密に制御する必要がない。 Moreover, it is not necessary to strictly control the recording pulse strategy. また、熱設計に関する自由度が高い。 In addition, there is a high degree of freedom related to thermal design. したがって、前記積層記録層は、多層光記録媒体に適しており、 Therefore, the laminated recording layer is suitable for multi-layer optical recording medium,
特に、他の記録層の記録/再生に用いるレーザービームが透過する記録層に最適である。 In particular, the laser beam used for recording / reproduction of another recording layer is optimal for the recording layer to be transmitted. したがって、このような記録層のうちの少なくとも1層を、前記積層記録層とすることが好ましい。 Accordingly, at least one layer of such a recording layer, it is preferable that the said laminated recording layer. 【0047】多層光記録媒体では、レーザービーム入射側表面に近いものほど記録層を薄くして、光透過率を高くする設計とすることがある。 [0047] In a multilayer optical recording medium, by reducing the recording layer nearer to the laser beam incident side surface and be designed to increase the light transmittance. その場合、各記録層ごとに熱容量や光吸収率が異なることになり、そのため、記録感度も異なることになる。 In that case, it becomes the heat capacity and the light absorption rate is different for each recording layer, therefore, the recording sensitivity becomes different. 各記録層が相変化型記録層である場合には、各記録層ごとに記録パルスストラテジを厳密に制御することにより、各層における記録感度の違いを補償する必要がある。 When the recording layer is a phase change type recording layer, by strictly controlling the recording pulse strategy for each recording layer, it is necessary to compensate for the difference in recording sensitivity in each layer. 【0048】一方、前記積層記録層からなる記録層では記録パルスストラテジの制御が実質的に不要であるため、記録用レーザービームのエネルギーの総量だけを制御すれば記録感度の違いを補償できる。 Meanwhile, said recording layer comprising a recording layer laminate for control of the recording pulse strategy is substantially unnecessary, it is possible to compensate for the difference in the recording sensitivity by controlling only the amount of energy of the recording laser beam. したがって、特定のマーク長の信号を記録するに際し、すべての記録層において記録パルスストラテジを同一とし、かつ、各記録層ごとに記録用レーザービームのパワーを最適に制御するという単純な制御方法が利用できる。 Therefore, when recording a signal of a particular mark length, all the recording pulse strategy the same in the recording layer, and a simple control method that optimally control the power of the recording laser beam is utilized for each recording layer it can. また、例えば複数の記録層中に相変化型記録層が存在する場合には、 Further, for example, when a plurality of recording layers phase-change recording layer in the present,
記録パルスストラテジはその相変化型記録層に対応するものに固定し、前記積層記録層に記録する際には記録用レーザービームのパワー制御により対応することにより、相変化型記録層および前記積層記録層のいずれにおいても良好な記録が行える。 Recording pulse strategy is fixed to the one corresponding to the phase-change recording layer, by corresponding the power control of the recording laser beam to record on the recording layer laminate, a phase-change type recording layer and the stacked recording in any of the layers can be performed satisfactory recording. 【0049】また、記録用レーザービームのエネルギーの総量を制御するために、パルス分割した記録用レーザービームのデューティー比を制御してもよい。 [0049] In order to control the total amount of energy of the recording laser beam, may control the pulse divided duty ratio of the recording laser beam. すなわち、特定のマーク長の信号を記録するに際し、すべての記録層において記録用レーザービームのパワーを同一とし、かつ、各記録層ごとに記録用レーザービーム照射時間を最適に制御する方法を利用してもよい。 That is, upon recording a signal of a particular mark length and the same power of the recording laser beam in all of the recording layers, and, using the method of optimally controlling the recording laser beam irradiation time for each recording layer it may be. 【0050】なお、隣接する記録マーク間における記録用レーザービームのパワーは特に限定されない。 [0050] The power of the recording laser beam between adjacent recording marks is not particularly limited. 通常、 Normal,
DVD−Rのような追記型の媒体では、記録マーク間における記録用レーザービームのパワーは、トラッキングが可能な程度(再生パワーと同程度)まで落とされる。 The write-once media such as DVD-R, the power of the recording laser beam between the recording marks is dropped to the extent tracking is possible (reproduction power and the same degree).
一方、DVD−RWのようなオーバーライトが可能な書き換え型媒体では、隣り合う記録マーク間における記録用レーザービームのパワーは、消去パワーに相当するパワーであり、再生パワーよりも高い。 On the other hand, the overwrite possible rewritable media such as DVD-RW, power of the recording laser beam between the adjacent recording marks is a power corresponding to the erase power, higher than the reproduction power. 前記積層記録層に対しては、これらのいずれのパワー制御パターンを利用してもよい。 Wherein for the recording layer laminate may be utilized any of these power control pattern. 【0051】多層光記録媒体では、サーボ信号やプリピットによる信号の強度を各記録層で揃えるために、各記録層の記録前の反射率がほぼ同じであることが好ましい。 [0051] In a multilayer optical recording medium, the intensity of the signal by the servo signal and prepits in order to align with each recording layer, it is preferable that the reflectivity before recording of each recording layer is approximately the same. 具体的には、任意の2層の記録層を選択し、一方の反射率をR Mとし、他方の反射率をR Nとしたとき、 2/3≦R M /R N ≦3/2 であることが好ましい。 Specifically, selecting the recording layer of any two layers, one of reflectance and R M, the other reflectance when the R N, in 2/3 ≦ R M / R N ≦ 3/2 there it is preferable. 前記積層記録層は厚さ制御による透過率の調整が容易であり、また、前記積層記録層に加えて誘電体層および/または反射層を設けることにより多重反射条件を容易に制御できる。 The laminated recording layer is easy to adjust the transmittance due to the thickness control, also the multiple reflection conditions can be easily controlled by, in addition to the stacked recording layers provided dielectric layers and / or reflective layer. したがって、本発明を適用した多層光記録媒体では、R M /R Nが上記範囲となるように反射率を揃えることが容易にできる。 Accordingly, in multilayer optical recording medium according to the present invention, R M / R N can be easily be made uniform reflectivity so that the above-mentioned range. 【0052】多層光記録媒体において、他の記録層の記録/再生に用いるレーザービームが透過する積層記録層は、厚さが好ましくは3〜15nm、より好ましくは3〜 [0052] In a multilayer optical recording medium, the recording layer laminate which laser beam is transmitted to be used for recording / reproduction of another recording layer, is preferably thick is 3 to 15 nm, more preferably 3 to
10nmである。 It is 10nm. 薄すぎると、記録前後において十分な反射率差を確保することが困難となる。 If too thin, it becomes difficult to secure a sufficient reflectance difference before and after recording. 一方、厚すぎると、光透過率が低くなるため、前記他の記録層の記録/ On the other hand, if too thick, the light transmittance is lowered, recording of the other recording layer /
再生に悪影響を与える。 Adversely affect the playback. 【0053】ところで、記録層の光反射率を記録前においてR B 、記録後においてR Aとし、記録層の光吸収率を記録前においてA B 、記録後においてA Aとし、記録層の光透過率を記録前においてT B 、記録後においてT Aとすると、 式I R B +A B +T B =R A +A A +T A =1 が成立する。 By the way, R B before recording the light reflectivity of the recording layer, and R A after recording, A B before recording the light absorption of the recording layer, and A A after recording, the light transmission of the recording layer T B the rate before recording, when T a after recording, the formula I R B + a B + T B = R a + a a + T a = 1 is satisfied. 多層光記録媒体において、他の記録層の記録/再生に用いるレーザービームが透過する記録層では、記録前後の透過率がほぼ同じ(T B ≒T A )であることが好ましい。 In a multilayer optical recording medium, the recording layer where the laser beam passes used for recording / reproduction of another recording layer, it is preferable that the transmittance before and after recording are about the same (T B ≒ T A). 記録前後で透過率が異なると、その記録層の記録状態に依存して透過光の強度が異なるため、この透過光によって記録/再生が行われる記録層の記録感度および反射率が影響を受けるからである。 When the transmittance before and after recording are different, therefore the strength of depending on the recording state of the recording layer the transmitted light is different, since the recording sensitivity and the reflectance of the recording layer recording / reproduction is performed by the transmitted light is affected it is. また、前述したように、光記録媒体はHigh to Lowタイプ(R B >R Further, as described above, the optical recording medium High to Low type (R B> R
A )であることが好ましく、これは多層光記録媒体においても同様である。 It is preferably A), which is the same in the multilayer optical recording medium. 【0054】Al主成分層とSb主成分層とを有する前記積層記録層は、High to Lowタイプ(R B >R A )となる設計において記録前後の透過率をほぼ同じ(T B [0054] The multilayer recording layer having an Al main component layer and the Sb main component layer is substantially the same (T B ≒ transmittance before and after recording in the design of a High to Low type (R B> R A)
A )にすることが容易にできるので、多層光記録媒体に好適である。 Since can be easily be made T A), is suitable for multi-layer optical recording medium. 【0055】ところで、T B ≒T AかつR B >R Aである場合、前記式IからA B <A Aとなる。 By the way, when it is T B ≒ T A and R B> R A, the A B <A A from the formula I. すなわち、記録マークの吸収率が、未記録部の吸収率よりも高くなる。 That is, the absorption rate of the recording mark is higher than the absorption rate of the non-recorded portion. したがって、レーザービーム照射時に、記録マークの温度が未記録部の温度より高くなる。 Therefore, when the laser beam irradiation, the temperature of the recording mark is higher than the temperature of the unrecorded portion. そのため、記録マークの熱安定性が低い記録層では、レーザービーム照射時に記録マークの温度が高くなり、その結果、記録マークの反射率が変化し、信頼性に問題が生じることがある。 Therefore, in the thermal stability is low recording layer of the recording mark, the temperature of the recording mark is increased when the laser beam irradiation, so that the reflectance of the recording mark is changed, sometimes reliability problems. これに対し本発明で用いる積層記録層は、前記したように記録マークの反射率の熱安定性が高い。 Layered recording layer used in the present invention with respect to this, a high thermal stability of the reflectance of the recording mark as described above. そのため前記積層記録層では、T Therefore, in the above laminated recording layer, T B ≒T AかつR B >R AとしたためにA B B ≒ T A and A to have a R B> R A B <
Aとなっても、信頼性に問題は生じない。 Even if the A A, there is no problem in reliability. 【0056】多層光記録媒体においてT B ≒T Aとする場合、具体的にはT B /T Aが5/6≦T B /T A ≦6/5 の範囲内にあればよい。 [0056] When the multi-layer optical recording medium and T B ≒ T A, in particular T B / T A is may be in the range of 5/6 ≦ T B / T A ≦ 6/5. B /T Aが小さすぎても大きすぎても、他の記録層の記録感度や反射率に与える影響が大きくなる。 It is T B / T A is too too large small effect on the recording sensitivity and the reflectance of the other recording layer is increased. なお、T BおよびT Aは、光干渉効果により制御できる。 Incidentally, T B and T A may be controlled by an optical interference effect. 具体的には、積層記録層の前後に無機保護層(誘電体層)を設け、その光学特性および厚さを制御すればよい。 Specifically, the inorganic protective layer (dielectric layer) provided on the front and rear of the laminated recording layer may be controlled its optical properties and thickness. 【0057】一方、他の記録層の記録/再生に用いるレーザービームが透過しない積層記録層、すなわち、レーザービーム入射面から最も遠くにある積層記録層は、光透過率が高い必要はない。 Meanwhile, the laminated recording layer laser beam is not transmitted for use in recording / reproduction of another recording layer, i.e., the laser beam incidence surface laminated recording layer farthest from the light transmittance is not higher required. ただし、この積層記録層は、 However, the laminated recording layer,
そこに到達するレーザービームの強度が全記録層中で最も低いため、記録感度が高い必要がある。 Since the lowest intensity of the laser beam reaching there is in all recording layers, it is necessary recording sensitivity is high. したがって、 Therefore,
熱容量を小さくするために、この積層記録層は厚さ25 To reduce the heat capacity, the laminated recording layer has a thickness 25
nm以下とすることが好ましい。 It is preferable that the nm or less. また、この積層記録層からの反射光は、他の記録層によって減衰するため、この積層記録層は反射率が高いことが好ましい。 Further, light reflected from the multilayer recording layer, to attenuate the other recording layer, the recording layer laminate is preferably higher reflectance. したがって、レーザービーム入射面側から見て、この積層記録層の後ろ側には前記した反射層を設けることが好ましい。 Thus, viewed from the laser beam incident surface side, it is preferable to provide a reflective layer described above on the rear side of the laminated recording layer.
また、反射層を設ければ、この積層記録層に戻る記録用レーザービームの量が多くなるので、見かけ上、記録感度を向上させることができる。 Further, by providing the reflective layer, the amount of the recording laser beam returning to the stacked recording layers increases, it is possible to improve the apparent, the recording sensitivity. 【0058】 【実施例】 実施例1 サンプルNo.101以下の手順で図1に示す構造の光記録ディスクサンプルを作製した。 [0058] [Example was fabricated optical recording disc sample having the structure shown in FIG. 1 in Example 1 Sample No.101 follows. 【0059】基体2には、射出成形によりグルーブ(深さ40nm)を同時成形した直径120mm、厚さ0.6mm [0059] The base body 2, a diameter of 120mm were simultaneously molded groove (depth 40 nm) by injection molding, thickness 0.6mm
のポリカーボネートを用いた。 Using a polycarbonate. この基体2において、グルーブ記録方式における記録トラックピッチは0.74 In the base body 2, the recording track pitch in a groove recording system is 0.74
μmである。 It is μm. この基体2上に、Ar雰囲気中においてスパッタ法により第1誘電体層31、積層記録層4、第2 On this substrate 2, first dielectric layer 31 by sputtering in Ar atmosphere, the laminated recording layer 4, second
誘電体層32およびトップコート層6をこの順で形成した。 The dielectric layer 32 and topcoat layer 6 were formed in this order. 【0060】第1誘電体層31は、厚さ80nmとし、組成はZnS−SiO 2 (ZnS:80モル%、SiO 2 [0060] The first dielectric layer 31, a thickness of 80 nm, the composition ZnS-SiO 2 (ZnS: 80 mol%, SiO 2:
20モル%)とした。 It was 20 mol%). 【0061】積層記録層4は2層構造とし、第1誘電体層31側から、 副記録層41:厚さ10nmのSb層、 副記録層42:厚さ10nmのAl 98 Cr 2 (原子比) [0061] and a laminated recording layer 4 is two-layer structure, the first dielectric layer 31 side, sub-recording layer 41: Sb layer having a thickness of 10 nm, sub-recording layer 42: thickness 10 nm Al 98 Cr 2 (atomic ratio )
層、 とした。 The layers, and. この積層記録層中において、原子比Sb/Al In the laminated recording layer, the atomic ratio Sb / Al
は0.54である。 It is 0.54. なお、この原子比は、密度と副記録層の厚さとから算出した値である。 Incidentally, the atomic ratio is a value calculated from the thickness of the density and the secondary recording layer. 【0062】第2誘電体層32は、厚さ50nmとし、Z [0062] The second dielectric layer 32, a thickness of 50 nm, Z
nS・SiO 2ターゲット(ZnS:80モル%、Si nS · SiO 2 target (ZnS: 80 mol%, Si
2 :20モル%)を用いてAr雰囲気でスパッタ法により形成した。 O 2: was formed by sputtering in an Ar atmosphere using a 20 mole%). 【0063】トップコート層6は、紫外線硬化樹脂をスピンコートにより塗布後、紫外線照射により硬化して形成した。 [0063] The top coat layer 6 after applying a UV curable resin by spin coating, is formed by curing by ultraviolet irradiation. 硬化後のトップコート層6の厚さは5μmであった。 Top thickness of the coating layer 6 after curing was 5 [mu] m. 【0064】 サンプルNo.102積層記録層4を除き、サンプルNo.101と同様にして作製した。 [0064] Except for sample No.102 laminated recording layer 4, it was produced in the same manner as the sample No.101. 積層記録層4は2層構造とし、第1誘電体層31側から、 副記録層41:厚さ7nmのAl 98 Cr 2 (原子比)層、 副記録層42:厚さ13nmのSb層、 とした。 Laminated recording layer 4 has a two-layer structure, the first dielectric layer 31 side, sub-recording layer 41: Al 98 Cr 2 (atomic ratio) having a thickness of 7nm layer, auxiliary recording layer 42: Sb layer having a thickness of 13 nm, and the. この積層記録層中において、原子比Sb/Al In the laminated recording layer, the atomic ratio Sb / Al
は1.01である。 It is 1.01. 【0065】 比較サンプルNo.103積層記録層4を除き、サンプルNo.101と同様にして作製した。 [0065] Except for Comparative Sample No.103 laminated recording layer 4, was produced in the same manner as the sample No.101. 積層記録層4は2層構造とし、第1誘電体層31側から、 副記録層41:厚さ10nmのTe層、 副記録層42:厚さ10nmのAl 98 Cr 2 (原子比) Laminated recording layer 4 is a two-layer structure, the first dielectric layer 31 side, sub-recording layer 41: Te layer having a thickness of 10 nm, sub-recording layer 42: thickness 10 nm Al 98 Cr 2 (atomic ratio)
層、 とした。 The layers, and. 【0066】 比較サンプルNo.104積層記録層4を除き、サンプルNo.101と同様にして作製した。 [0066] Except for Comparative Sample No.104 laminated recording layer 4, was produced in the same manner as the sample No.101. 積層記録層4は2層構造とし、第1誘電体層31側から、 副記録層41:厚さ10nmのGe層、 副記録層42:厚さ10nmのAl 98 Cr 2 (原子比) Laminated recording layer 4 is a two-layer structure, the first dielectric layer 31 side, sub-recording layer 41: Ge layer with a thickness of 10 nm, sub-recording layer 42: thickness 10 nm Al 98 Cr 2 (atomic ratio)
層、 とした。 The layers, and. 【0067】 評価 上記各サンプルについて、光ディスク評価装置を用い、 [0067] Evaluation each sample, using an optical disk evaluation device,
基体2を通してレーザービームを入射させて特性評価を行った。 Characteristics thereof were evaluated by the incidence of the laser beam through the substrate 2. 【0068】測定条件レーザ波長:634nm、 開口率NA:0.6、 線速度:14m/s、 再生パワー:0.9mW 【0069】レーザービームの照射により、それぞれ長さ1.87μmのマークとスペースとからなる単一信号を記録し、マークに対応する記録部とスペースに対応する未記録部とからなる記録マーク列を形成した。 [0068] Measurement conditions laser wavelength: 634 nm, numerical aperture NA: 0.6, the linear velocity: 14m / s, a reproducing power: 0.9 mW [0069] The irradiation of the laser beam, a mark and a space each length 1.87μm recording a single signal consisting of, to form a recording mark train consisting of a non-recorded portion corresponding to the recording portion and the space corresponding to the mark. 次いで、この記録マーク列のCNR(carrier to noise rat Then, of the recording mark string CNR (carrier to noise rat
io)を測定した。 io) was measured. また、各サンプルを80℃、80%R Further, 80 ° C. Each sample, 80% R
Hの恒温恒湿槽に50時間保存する保存試験を行い、その後にCNRを測定した。 And save test of storing 50 hours in a constant temperature and constant humidity chamber of H, CNR was measured thereafter. 初期CNRと保存後のCNR CNR after storage to the initial CNR
とを表1に示す。 Door are shown in Table 1. 【0070】 【表1】 [0070] [Table 1] 【0071】表1において、サンプルNo.101、No.1 [0071] In Table 1, sample No.101, No.1
02は、保存試験によりCNRは劣化していない。 02, CNR is not degraded by the storage test. また、保存時間を200時間に延長して同様な測定を行ったときも、CNRは劣化しなかった。 Further, even when subjected to the same measurements for extended storage time of 200 hours, CNR was not deteriorated. この結果から、本発明サンプルは保存信頼性が良好であることがわかる。 From this result, the present invention samples it can be seen that storage reliability is excellent.
一方、比較サンプルでは、保存試験によりCNRが劣化している。 On the other hand, in the comparative sample, CNR is degraded by the storage test. また、保存試験の前後において各サンプルの記録部および未記録部の反射光量を測定したところ、本発明サンプルでは反射光量に変化は見られなかったが、 The measured amount of reflected light in a recorded part and an unrecorded part of each sample before and after the storage test, the change in amount of reflected light in the present invention sample was not observed,
比較サンプルでは記録部の反射光量が変化した。 Reflected light amount of the recording portion has changed in comparison sample. この結果から、比較サンプルでは記録部の状態が変化したためにCNRが劣化したことがわかる。 This result reveals that the CNR to the state of the recording unit is changed is deteriorated in the comparative sample. 【0072】また、上記各サンプルに対し、上記記録マーク列を形成した後、CNRを測定し、次いで、サンプルを回転させながら、記録マーク列に出力3mWの直流レーザービームを1分間照射した後、CNRを測定した。 [0072] Also, the for each sample, after forming the recording mark train, by measuring the CNR, then while rotating the sample was irradiated for 1 minute DC laser beam output 3mW to the recording mark train, It was measured CNR.
この場合も、サンプルNo.101、No.102ではCNR Also in this case, the sample No.101, at No.102 CNR
の劣化は見られなかった。 The deterioration was observed. この結果から、本発明サンプルは再生耐久性が良好であることがわかる。 From this result, the present invention sample is seen that reproduction durability is good. 一方、比較サンプルNo.103、No.104ではCNRが劣化した。 On the other hand, Comparative Sample No.103, the No.104 CNR is degraded. 【0073】このとき比較サンプルNo.103では、記録部、未記録部とも反射光量に変化が見られたので、未記録部で拡散・混合が生じると共に、記録部の状態が変化したことがわかる。 [0073] Comparative Sample No.103 this time, the recording unit, the change in the amount of reflected light with the unrecorded portion was observed, along with the diffusion and mixing in an unrecorded portion occurs, it can be seen that the state of the recording unit is changed . 一方、比較サンプルNo.104では、記録部の反射光量にだけ変化が見られた。 On the other hand, in Comparative sample No.104, only changes in the reflected light of the recording portion was observed. すなわち、両比較サンプルでは、記録部の状態が変化したことがわかる。 That is, in both Comparative Sample, it is understood that the state of the recording unit is changed. また、比較サンプルNo.103では一方の副記録層をTeから構成しており、Teは融点が450℃ Further, constitutes Comparative Sample No.103 one of the sub-recording layer from Te, Te has a melting point of 450 ° C.
と比較的低いため、未記録部でも拡散・混合が進行したと考えられる。 Relatively low when considered to diffusion and mixing proceeded in the unrecorded portion. 【0074】以上から、Sb主成分層とAl主成分層とを副記録層として用いた場合のみ、記録部が熱的に安定であることがわかる。 [0074] From the above, only the case of using the Sb principal component layer and the Al main component layer as an auxiliary recording layer, it can be seen that the recording unit is thermally stable. これに対し、Al主成分層と、T In contrast, the Al main component layer, T
eやGeを主成分とする層とを組み合わせた場合には、 In the case of a combination of a layer composed mainly of e and Ge is,
記録部が熱的に安定ではないことがわかる。 It can be seen that the recording unit is not thermally stable. これは、A This is, A
lとTe、および、AlとGeでは、安定な結合が形成されないためと考えられる。 l and Te, and the Al and Ge, presumably because stable bonds are not formed. AlとGeとは共融混合物(共融点424℃)を形成しうる組み合わせである。 The Al and Ge is a combination that can form a eutectic mixture (eutectic point 424 ° C.). また、AlとTeとは、準安定な金属化合物であるAl 2 Further, Al and Te, a metastable metal compound Al 2
Te 3を形成しうる組み合わせであるため、高温下での保存または室温での長期間の保存により相分離または構造変化が生じると考えられる。 For a combination that can form a Te 3, considered storage or long term phase separation or structure change by storage at room temperature at a high temperature occurs. 【0075】なお、サンプルNo.101、No.102、比較サンプルNo.103はHigh to Lowタイプであったが、 [0075] It should be noted that the sample No.101, No.102, No.103 comparison sample but was High to Low type,
比較サンプルNo.104はLow to Highタイプであった。 Comparative Sample No.104 was a Low to High type. 【0076】記録部の状態を分析するために、スライドガラスを基体2とし、この上に、サンプルNo.101と同様にして第1誘電体層31、積層記録層4、第2誘電体層32を形成して、分析用サンプルとした。 [0076] To analyze the state of the recording unit, a slide glass as a base 2, on the first dielectric layer 31 in the same manner as in Sample No.101, the laminated recording layer 4, second dielectric layer 32 to form, it was as a sample for analysis. 第1誘電体層31および第2誘電体層32はそれぞれ厚さ20nm The first dielectric layer 31 and the second dielectric layer 32 has a thickness of 20nm, respectively
とし、積層記録層4は、Sb層の厚さを100nmとし、 And then, laminated recording layer 4, the thickness of the Sb layer was 100 nm,
Al 98 Cr 2層の厚さを100nmとした。 The thickness of al 98 Cr 2 layer was 100 nm. 【0077】この分析用サンプルを500℃で5分間熱処理し、この熱処理の前後において薄膜X線回折により解析を行った。 [0077] The analytical sample was heat-treated for 5 minutes at 500 ° C., was analyzed by thin film X-ray diffraction before and after the heat treatment. その結果、熱処理前はSbのピークとA As a result, before the heat treatment and the peak of Sb A
lのピークとが見られたが、熱処理後は、熱処理前には存在していなかったAlSbの(111)面を示すピークがメインピークとなっていた。 It was observed and the peak of l, after heat treatment, a peak indicating the (111) plane of AlSb that did not exist before the heat treatment has been a main peak. この結果から、Sb主成分層とAl主成分層とを積層した積層記録層4では、 From this result, the multilayer recording layer 4 were laminated and Sb principal component layer and the Al main component layer,
加熱によって拡散が生じて、安定な金属間化合物であるAlSbが形成されることがわかる。 Occurs is diffused by heating, it is understood that a stable intermetallic compound AlSb is formed. 【0078】なお、熱処理後のサンプルに対し再度50 [0078] It should be noted, again with respect to the sample after the heat treatment 50
0℃で5分間熱処理を行ったが、X線回折図形に変化は見られなかった。 0 for 5 minutes heat treatment was performed at ℃ but changes in X-ray diffraction pattern was observed. この結果から、SbとAlとが混合された状態は、Sb主成分層とAl主成分層とが積層された状態よりも熱的に安定なことがわかる。 From this result, the state in which the Sb and Al are mixed, thermally stable it can be seen than in the state in which the Sb main component layer and the Al main component layers are stacked. 【0079】 実施例2誘電体層および反射層による効果を調べた。 [0079] examined the effect of Example 2 dielectric layer and a reflective layer. 【0080】 サンプルNo.201図2に示す構造から第2誘電体層32および反射層5を省いた構造のサンプルを、以下の手順で作製した。 [0080] A sample of a construct was omitted sample No.201 second dielectric layer 32 and the reflective layer 5 from the structure shown in FIG. 2, was prepared by the following procedure. 【0081】基体2には、サンプルNo.101と同じものを用いた。 [0081] to the substrate 2, using the same sample No.101. 【0082】第1誘電体層31は、厚さ60nmとし、組成はZnS−SiO 2 (ZnS:80モル%、SiO 2 [0082] The first dielectric layer 31, a thickness of 60 nm, the composition ZnS-SiO 2 (ZnS: 80 mol%, SiO 2:
20モル%)とした。 It was 20 mol%). 【0083】積層記録層4は2層構造とし、第1誘電体層31側から、 副記録層41:厚さ7nmのAl 98 Cr 2 (原子比)層、 副記録層42:厚さ13nmのSb層、 とした。 [0083] laminating the recording layer 4 has a two-layer structure, the first dielectric layer 31 side, sub-recording layer 41: Al 98 Cr 2 (atomic ratio) layer having a thickness of 7 nm, secondary recording layer 42: thickness of 13nm Sb layer, it was. 【0084】トップコート層6は、サンプルNo.101 [0084] The top coat layer 6, sample No.101
と同様にして形成した。 It was formed in the same manner as. 【0085】 サンプルNo.202サンプルNo.201の積層記録層4とトップコート層6 [0085] sample No.202 stacked recording layer 4 and the top coat layer of the sample No.201 6
との間に、第2誘電体層32を設けた構造とした。 Between, it has a structure in which a second dielectric layer 32. 第2 The second
誘電体層32は、厚さ50nmとし、組成はZnS−Si The dielectric layer 32 has a thickness of 50 nm, the composition ZnS-Si
2 (ZnS:80モル%、SiO 2 :20モル%)とした。 O 2 (ZnS: 80 mol%, SiO 2: 20 mol%) was. 【0086】 サンプルNo.203サンプルNo.202の第2誘電体層32とトップコート層6との間に、反射層5を設けた構造とした。 [0086] Between the second dielectric layer 32 and the topcoat layer 6 Sample No.203 Sample No. 202, has a structure in which a reflective layer 5. 反射層5 Reflective layer 5
は、厚さ50nmとし、組成はAl 98 Cr 2 (原子比)とした。 Is a thickness of 50 nm, the composition was Al 98 Cr 2 (atomic ratio). 【0087】 評価 これらのサンプルに対し、マークおよびスペースをいずれも0.4μmとしたほかは実施例1と同様にして記録マーク列を形成した。 [0087] Evaluation with respect to these samples, except that both was 0.4μm marks and spaces to form a recording mark train in the same manner as in Example 1. 次いで、保存時間を200時間としたほかは実施例1と同様にして保存試験を行い、保存信頼性を評価した。 Then, in addition to the storage time of 200 hours and save test in the same manner as in Example 1 to evaluate storage reliability. 初期CNRと保存後のCNRとを表2に示す。 The initial CNR and after storage CNR shown in Table 2. 【0088】 【表2】 [0088] [Table 2] 【0089】表2において、積層記録層4を第2誘電体層32で保護しなかったサンプルNo.201は、保存試験によりCNRが劣化している。 [0089] In Table 2, Sample No.201 which the stacked recording layer 4 was not protected by the second dielectric layer 32, CNR is degraded by the storage test. この結果から、誘電体層で積層記録層を挟んだ構造とすることにより、高湿条件下での積層記録層の劣化が抑えられることがわかる。 From this result, by the sandwiched the laminated recording layer with a dielectric layer, it can be seen that the deterioration of the recording layer laminate at high humidity conditions is suppressed. 【0090】サンプルNo.202およびNo.203に対し実施例1と同様にして記録マーク列を形成し、記録部および未記録部の反射光量と記録パワーとの関係を調べた。 [0090] In analogy to the sample No.202 and No.203 to Example 1 a recording mark train formed to examine the relationship between the reflected light and the recording power in a recorded part and an unrecorded part. 結果を図3に示す。 The results are shown in Figure 3. 【0091】図3に示されるように、反射層を設けた場合、戻り光を利用することによって記録部と末記録部との反射率差(再生信号出力)が大きくなることがわかる。 [0091] As shown in FIG. 3, when provided with a reflective layer, the reflectivity difference between the recorded portion and the end recording unit by utilizing the return light (reproduced signal output) it can be seen that increase. また、反射層を設ければ、記録パワーが小さいときでも大きな反射率差が得られることがわかる。 Further, by providing the reflective layer, it can be seen that a large reflectance difference even when the recording power is small can be obtained. 【0092】また、上記記録マーク列を形成したサンプルNo.203について、反射層5とトップコート層6とをテープにより剥離した後、クロロホルムにより基体2 [0092] Further, the sample No.203 of the formation of the recording mark row, after a reflective layer 5 and the top coat layer 6 was peeled off by tape, the substrate with chloroform 2
を溶解して除去した。 It was removed by dissolving. この状態の積層記録層4に対し、 To stack the recording layer 4 in this state,
透過型電子顕微鏡による観察および電子線回折を行った。 The observation and electron beam diffraction by a transmission electron microscope was conducted. その結果、未記録部では、Sb結晶相を示す回折パターンとAl結晶相を示す回折パターン(Al(11 As a result, the unrecorded portion, the diffraction pattern having a diffraction pattern and the Al crystalline phase showing the Sb crystal phase (Al (11
1)面のピーク)が観察された。 1) the peak of the surface) was observed. 一方、記録部ではこれらの回折パターンが観察されなかった。 On the other hand, these diffraction patterns was observed in the recording unit. この結果から、 from this result,
記録部ではAlとSbとの混合物がレーザービーム照射により生成されたことがわかる。 In the recording unit it is understood that a mixture of Al and Sb is generated by laser beam irradiation. また、記録部ではSb In addition, Sb in the recording unit
とAlとが溶融した痕跡が見られた。 And the Al was seen molten trace. この結果から、レーザービーム照射部位では積層記録層が厚さ方向の全体にわたって溶融し、溶融拡散が生じたことがわかる。 From this result, in the laser beam irradiation site is melted throughout the thickness direction stacked recording layers, it can be seen that the melting diffusion occurs. 【0093】上記記録マーク列を形成した上記各サンプルに対し、出力7mWの直流レーザービームを1回照射したところ、記録部の反射光量は変化しなかったが未記録部の反射光量は低下した。 [0093] For each sample forming the recording mark train was irradiated once a DC laser beam output 7 mW, the reflected light quantity of the recording unit is the amount of reflected light did not change the unrecorded portion was reduced. このことから、記録部の混合物のほうが、記録前の積層状態よりも熱的に安定であることがわかる。 Therefore, more of the mixture of the recording portion, it can be seen that thermally stable than stacked state before recording. 【0094】また、上記記録マーク列を形成したサンプルNo.203を、レーザ波長432nmの光ディスク評価装置で再生したところ、未記録部の反射率32%、変調度65%であった。 [0094] Further, the sample No.203 of the formation of the recording mark row, was reproduced by the optical disk evaluation apparatus having a laser wavelength of 432 nm, the reflectivity of 32% of the unrecorded portion was modulation of 65%. 一方、レーザ波長634nmでは、未記録部の反射率19%、変調度70%であった。 On the other hand, the laser wavelength 634 nm, the reflectivity of 19% of the unrecorded portion was modulation of 70%. この結果から、本発明の媒体は記録/再生用レーザービームの波長を広い波長域から選択できることがわかる。 From this result, the medium of the present invention it can be seen that selecting a wavelength of the recording / reproducing laser beam from a wide range of wavelengths. 【0095】 実施例3図4に示す構造の光記録ディスクサンプルを、以下の手順で作製した。 [0095] The optical recording disk sample of the structure shown in Example 3 Fig. 4, was prepared by the following procedure. 【0096】ポリカーボネートからなる直径120mm、 [0096] diameter 120mm made of polycarbonate,
厚さ0.6mmの支持基体20上に、Ar雰囲気中でスパッタ法により反射層5、第2誘電体層32、積層記録層4および第1誘電体層31を順次形成した。 A support base 20 on the thickness 0.6 mm, the reflective layer 5 by sputtering in an Ar atmosphere, a second dielectric layer 32, and the stacked recording layer 4 and the first dielectric layer 31 are sequentially formed. 【0097】反射層5は、厚さ50nmとし、組成はAg [0097] reflective layer 5, a thickness of 50 nm, the composition Ag
98 Pd 1 Cu 1 (原子比)とした。 98 and Pd 1 Cu 1 (atomic ratio). 【0098】第2誘電体層32は、厚さ50nmとし、組成はZnS・SiO 2 (ZnS:80モル%、SiO 2 [0098] The second dielectric layer 32, a thickness of 50 nm, the composition is ZnS · SiO 2 (ZnS: 80 mol%, SiO 2:
20モル%)とした。 It was 20 mol%). 【0099】積層記録層4は2層構造とし、第1誘電体層31側から、 副記録層41:厚さ14nmのAl 98 Cr 2 (原子比) [0099] laminating the recording layer 4 has a two-layer structure, the first dielectric layer 31 side, sub-recording layer 41: thickness 14 nm Al 98 Cr 2 (atomic ratio)
層、 副記録層42:厚さ14nmのSb層、 とした。 Layers, auxiliary recording layer 42: the thickness of 14 nm Sb layer, and. この積層記録層中において、原子比Sb/Al In the laminated recording layer, the atomic ratio Sb / Al
は0.54である。 It is 0.54. 【0100】第1誘電体層31は、厚さ70nmとし、組成はZnS−SiO 2 (ZnS:80モル%、SiO 2 [0100] The first dielectric layer 31, a thickness of 70 nm, the composition ZnS-SiO 2 (ZnS: 80 mol%, SiO 2:
20モル%)とした。 It was 20 mol%). 【0101】このサンプルの第1誘電体層31側から、 [0102] from the first dielectric layer 31 side of the sample,
波長810nm、ビームスポット径100μmのレーザービームを積層記録層4に照射して、幅20mmにわたる一様な記録領域(記録マークと同じ状態)を形成した。 Wavelength 810 nm, is irradiated with a laser beam of the beam spot diameter 100μm to stack the recording layer 4 was formed a uniform recording area (the same state as recording marks) across the width 20 mm. 次いで、記録領域と未記録領域とについて、第1誘電体層31側からエッチングを行いながらオージェ電子分光により元素分析を行った。 Then, for the recording area and the unrecorded area, the elemental analysis was carried out by Auger electron spectroscopy while etching from the first dielectric layer 31 side. この分析により得られた、積層記録層厚さ方向におけるSbおよびAlの分布を、図5 This was obtained by analyzing the distribution of Sb and Al in the laminated recording layer thickness direction, FIG 5
および図6にそれぞれ示す。 And it is shown in FIG. 図5および図6は、オージェ電子分光におけるエッチング時間と元素濃度(単位時間あたりのカウント)との関係を示すグラフであり、図5は、記録領域における元素分布、図6は未記録領域における元素分布である。 5 and 6 are graphs showing the relationship between the etching time and the element concentration (counts per unit time) in the Auger electron spectroscopy, FIG. 5, element distribution in the recording area, 6 elements in unrecorded area it is the distribution. 【0102】図5と図6との比較から、レーザービーム照射によりSbとAlとがほぼ均一に混合したことがわかる。 [0102] Figure 5 Comparison of the FIG. 6, it can be seen that the Sb and Al by laser beam irradiation are mixed substantially uniformly. ところで、前記特開2000−187884号公報では、レーザービーム照射により、第1の記録層構成元素の濃度と第2の記録層構成元素の濃度とが逆転する現象を利用することが記載されている。 However, the JP-A-2000-187884, JP-by laser beam irradiation, the concentration of the first recording layer constituting elements and the concentration of the second recording layer structure elements has been described that utilize the phenomenon of reverse . これに対し本発明では、同公報記載の発明と異なり、図5に示すようにレーザービーム照射部位において元素分布が偏らず安定した混合状態となるため、十分な保存信頼性が得られる。 In contrast, in the present invention, unlike the invention described in the publication, since a stable mixed state without elemental distribution bias in the laser beam irradiated portion as shown in FIG. 5, sufficient storage reliability. 【0103】 実施例4以下の手順で図7に示す構造の多層光記録ディスクサンプルを作製した。 [0103] was prepared multilayer optical recording disk sample of the structure shown in FIG. 7 in Example 4 the following procedure. このサンプルは、支持基体20上に、 This sample, on a supporting substrate 20,
反射層5、第1データ層DL−1、透明中間層TL、第2データ層DL−2および基体2を有し、レーザービームは基体2を通して入射する。 Reflective layer 5, the first data layer DL-1, a transparent intermediate layer TL, the second data layer DL-2 and the substrate 2, the laser beam is incident through the substrate 2. 各データ層は、レーザービーム入射側から見て、第1誘電体層31、副記録層4 Each data layer, as viewed from the laser beam incidence side, the first dielectric layer 31, auxiliary recording layer 4
1、42、第2誘電体層32をこの順に有する。 1,42, a second dielectric layer 32 in this order. 【0104】支持基体20には、射出成形によりグルーブ(深さ40nm)を同時成形した直径120mm、厚さ1.1mmのポリカーボネートを用いた。 [0104] The supporting substrate 20 is simultaneously molded diameter 120mm groove (depth 40 nm) by injection molding, polycarbonate was used having a thickness of 1.1 mm. この支持基体2 The support base 2
0において、ランド・グルーブ記録方式における記録トラックピッチは0.3μmである。 At 0, the recording track pitch in a land-groove recording method is 0.3 [mu] m. この支持基体20上に、Ar雰囲気中においてスパッタ法によりデータ層D On the support 20, the data layer by sputtering in an Ar atmosphere D
L−2までの各層を形成した。 To form the respective layers up to L-2. 【0105】反射層5は、厚さ50nmとし、組成はAg [0105] reflective layer 5, a thickness of 50 nm, the composition Ag
98 Pd 1 Cu 1 (原子比)とした。 98 and Pd 1 Cu 1 (atomic ratio). 【0106】第1データ層DL−1において、第1誘電体層31は厚さ75nm、第2誘電体層32は厚さ90nm [0106] In the first data layer DL-1, the first dielectric layer 31 has a thickness 75 nm, a second dielectric layer 32 has a thickness 90nm
とし、組成はいずれもZnS−SiO 2 (ZnS:80 And then, both the composition ZnS-SiO 2 (ZnS: 80
モル%、SiO 2 :20モル%)とした。 Mol%, SiO 2: was 20 mol%). また、 副記録層41:厚さ4nmのAl 98 Cr 2 (原子比)層、 副記録層42:厚さ6nmのSb層、 とした。 The sub recording layer 41: Al 98 Cr 2 (atomic ratio) layer having a thickness of 4 nm, sub-recording layer 42: the thickness of 6 nm Sb layer, and. この積層記録層中において、原子比Sb/Al In the laminated recording layer, the atomic ratio Sb / Al
は0.82である。 It is 0.82. 【0107】透明中間層TLは、紫外線硬化樹脂をスピンコートにより塗布後、グルーブパターンを有するスタンパで押圧しながら紫外線照射により硬化して形成した。 [0107] transparent intermediate layer TL after applying a UV curable resin by spin coating, to form cured by UV irradiation while pressing at a stamper having a groove pattern. なお、このグルーブパターンは、支持基体20上のグルーブパターンと同じとした。 Incidentally, the groove pattern was the same as the groove pattern on the support 20. 硬化後の透明中間層T Transparent intermediate layer T after curing
Lの厚さは20μmであった。 The thickness of the L was 20μm. 【0108】第2データ層DL−2において、第1誘電体層31は厚さ45nm、第2誘電体層32は厚さ65nm [0108] In the second data layer DL-2, the first dielectric layer 31 has a thickness 45 nm, a second dielectric layer 32 has a thickness 65nm
とし、組成はいずれもZnS−SiO 2 (ZnS:80 And then, both the composition ZnS-SiO 2 (ZnS: 80
モル%、SiO 2 :20モル%)とした。 Mol%, SiO 2: was 20 mol%). また、 副記録層41:厚さ3nmのAl 98 Cr 2 (原子比)層、 副記録層42:厚さ5nmのSb層、 とした。 The sub recording layer 41: Al 98 Cr 2 (atomic ratio) layer having a thickness of 3 nm, sub-recording layer 42: the Sb layer having a thickness of 5 nm, and. この積層記録層中において、原子比Sb/Al In the laminated recording layer, the atomic ratio Sb / Al
は0.91である。 It is 0.91. 【0109】次いで、第2データ層DL−2上に、紫外線硬化樹脂をスピンコートにより塗布し、紫外線照射により硬化して基体2を形成した。 [0109] Then, on the second data layer DL-2, an ultraviolet curable resin was applied by spin-coating to form a base 2 and hardened by ultraviolet irradiation. 硬化後の基体2の厚さは90μmであった。 The thickness of the substrate 2 after curing was 90 [mu] m. 【0110】 評価 このサンプルについて、光ディスク評価装置を用い、以下の条件で各データ層のグルーブ内にランダム信号を記録して、反射率およびジッタを測定した。 [0110] Evaluation for this sample, using an optical disk evaluation device, to record a random signal into the groove of each data layer under the following conditions to measure the reflectance and jitter. 【0111】測定条件レーザ波長:405nm、 開口率NA:0.85、 記録信号:1−7変調(ビット長0.13μm)、 記録線速度:11.4m/s、 再生線速度:6.5m/s、 記録パワー:表3に示す値、 再生パワー:0.5mW 【0112】記録パルスストラテジは、nT信号のパルス数がn−1となる2値パルス列を用い、先頭パルスの幅は0.6T、それ以外のパルスの幅は0.5Tとした。 [0111] Measurement conditions laser wavelength: 405 nm, numerical aperture NA: 0.85, recording signals: 1-7 modulation (bit length 0.13 [mu] m), the recording linear velocity: 11.4 m / s, reproduction linear velocity: 6.5m / s, the recording power: the values ​​shown in Table 3, the reproduction power: 0.5 mW [0112] recording pulse strategy, using the binary pulse train the number of pulses of the nT signal is n-1, the width of the leading pulse 0. 6T, the width of the other pulses was 0.5T. すなわち、2T信号はパルス数1とし、8T信号はパルス数7とし、パルス間におけるパワーは上記再生パワーとした。 That, 2T signal is the pulse number 1, 8T signal is a pulse number 7, the power between pulses was the reproduction power. 【0113】測定結果を表3に示す。 [0113] The measurement results are shown in Table 3. なお、表3に示すジッタはクロックジッタである。 Note that the jitter shown in Table 3 is the clock jitter. このクロックジッタは、再生信号をタイムインターバルアナライザ(横河電機株式会社製)により測定して「信号の揺らぎ(σ)」 This clock jitter, as measured by the reproduction signal a time interval analyzer (manufactured by Yokogawa Electric Corporation) "signal of fluctuation (σ)"
を求め、検出窓幅をTwとして、 σ/Tw (%) により算出した。 Look, the detection window width as Tw, was calculated by σ / Tw (%). クロックジッタが10%以下であれば、信号品質に問題はないといえる。 If the clock jitter is 10% or less, it can be said that there is no problem in signal quality. 【0114】 【表3】 [0114] [Table 3] 【0115】表3に示すように、記録前(未記録部)の反射率は両データ層でほぼ等しく、いずれも10%以上と十分に高い。 [0115] Table as shown in 3, the reflectivity before recording (unrecorded portion) is substantially equal, both 10% or more and sufficiently high in both data layers. そのため、両データ層共に、トラッキングエラー信号などのサーボ信号の出力が十分に高かった。 Therefore, both data layers together, were sufficiently high output of the servo signals such as a tracking error signal. また、両データ層共に、High to Lowタイプであり、記録部で反射率が4%程度まで低下しており、変調度は60%程度で再生信号出力が十分に高くなっている。 Further, both data layers together, a High to Low type, has been decreased to the reflectance of about 4% in the recording unit, the degree of modulation reproduced signal output at about 60% is sufficiently high. また、両データ層に記録する際に、記録パルスストラテジは同じものとし、記録パワーだけを制御することにより、いずれのデータ層においてもジッタが10%以下となり、良好な信号品質が得られている。 Also, when recording on both data layers, the recording pulse strategy is the same as, by controlling only the recording power, also the jitter is 10% or less in any of the data layer, and good signal quality is obtained . 【0116】第2のデータ層DL−2に、数ミリメートルの幅でランダム信号を記録し、記録前後の透過率を比較した。 [0116] the second data layer DL-2, and recording a random signal by a few millimeters wide, and compared the transmittance before and after recording. その結果、記録前の透過率T Bは49%、記録後の透過率T Aは50%であった。 As a result, 49% transmittance T B before recording, the transmittance T A after the recording was 50%. すなわち、この第2 That is, the second
のデータ層DL−2は、透過率が記録によってほとんど変化しない。 Data layer DL-2 of the transmittance hardly changes by recording. また、第2のデータ層DL−2にランダム信号を記録する前に、第1のデータ層DL−1に対し記録および再生を行い、ジッタを測定した。 Moreover, before recording the random signal to the second data layer DL-2, performs recording and reproduction with respect to the first data layer DL-1, the jitter was measured. さらに、第2 In addition, the second
のデータ層DL−2にランダム信号を記録した後にも、 Even after recording a random signal to the data layer DL-2 of
第1のデータ層DL−1に対しジッタを測定した。 The jitter was measured for the first data layer DL-1. このとき、第2のデータ層DL−2の記録部を透過させて、 In this case, by transmitting a second recording of the data layer DL-2,
第1のデータ層DL−1にレーザービームを照射した。 It was irradiated with laser beam to the first data layer DL-1.
これらの測定により得られた記録パワーとジッタとの関係を、図8に示す。 The relationship between the obtained recording power and jitter by these measurements are shown in FIG. 図8から、第2のデータ層DL−2 8, a second data layer DL-2
の記録前後において、第1のデータ層の記録感度およびジッタはそれぞれ同等であることがわかる。 Before and after recording, it is understood that recording sensitivity and jitter of the first data layer is respectively equal. また、第1 In addition, the first
のデータ層DL−1の反射率および信号のエンベロープも、第2のデータ層DL−2への記録によってほとんど影響を受けなかった。 Also it shows the envelope of the reflectance and the signal of the data layer DL-1, was little affected by the recording of the second to the data layer DL-2. これらの結果から、記録層の透過率が記録によってほとんど変化しない場合、多層光記録媒体において安定した記録/再生特性が得られることが明らかである。 These results, when the transmittance of the recording layer is hardly changed by recording, it is clear that stable recording / reproducing characteristics in a multilayer optical recording medium is obtained. 【0117】第1のデータ層DL−1に対する記録の際に、先頭パルスの幅を0.3Tに、それ以外のパルスの幅を0.25Tにそれぞれ変更し、かつ、記録パワーを第2のデータ層への記録時と同じ7.0mWに変更したところ、ジッタは9.8%となり、やはり良好な信号品質が得られた。 [0117] During recording on the first data layer DL-1, the width of the leading pulse to 0.3 T, then change the width of the other pulse 0.25T, and the recording power second was changed to the same 7.0mW the time of recording to the data layer, the jitter becomes 9.8%, still good signal quality is obtained. この結果から、複数のデータ層に記録する際に、記録パワーを固定した状態で記録用レーザービーム照射時間だけ制御すれば、ジッタを十分に小さくできることがわかる。 From this result, when recording a plurality of data layers, by controlling only the recording laser beam irradiation time while fixing the recording power, it can be seen that the jitter can be sufficiently reduced. 【0118】この実施例におけるデータ転送レートは、 [0118] Data transfer rates in this example,
記録時70Mbps、再生時40Mbpsに相当する。 At the time of recording 70Mbps, equivalent to the playback time of 40Mbps. また、記録容量は、2層のデータ層全体で45GBに達する。 The recording capacity is reached 45GB across the data layer of the two layers. このデータ転送レートおよび記録容量は、現在実用化されている光ディスクに対し著しく大きい。 The data transfer rate and storage capacity is significantly greater with respect to the optical disk which is currently put to practical use. しかも、記録時の上記データ転送レートは、光ディスク評価装置のレーザ駆動部の性能限界によって決定されたものであり、本発明サンプルにおける限界ではない。 Moreover, the data transfer rate during recording, which has been determined by the performance limitations of the laser driver of the optical disc evaluation device, not a limitation of the present invention the sample. すなわち本発明サンプルは、より高いデータ転送レートを実現するポテンシャルをもっている。 That is, the present invention samples have the potential to achieve higher data transfer rates. 【0119】なお、データ層の光透過率を10%以上向上させたサンプルでも、記録が可能であった。 [0119] Also in the sample with improved light transmittance of the data layer 10% or more was possible recording. この結果から、本発明は3層以上の記録層を有する多層光記録媒体にも適用可能であることが明らかである。 From this result, the present invention is found to be applicable to a multilayer optical recording medium having three or more recording layers. 【0120】第1のデータ層DL−1にランダム信号を記録した後、線速度を6.5m/sとして1.5mWのレーザービームを照射して再生を行ったところ、未記録部の反射率がやや低下した。 [0120] After recording the random signal to the first data layer DL-1, by irradiating a laser beam of 1.5mW linear velocity as 6.5m / s was carried out reproduction, the reflectivity of the unrecorded portion There was a slight decline. この反射率の低下は、固相反応により副記録層間で元素拡散が生じた結果と考えられる。 This reduction in reflectivity is believed to result element diffusion with sub recording layers caused by solid state reaction. しかし、記録部では反射率変化は認められなかった。 However, the reflectivity change by the recording unit was not observed. なお、この実施例では、高NA(0.85)の対物レンズにより短波長(波長λ=405nm)のレーザービームを照射しているため、λ/NAに比例するレーザビームスポット径はかなり小さい。 In this embodiment, since the laser beam irradiation of a short wavelength by the objective lens having a high NA (0.85) (wavelength lambda = 405 nm), the laser beam spot diameter is proportional to lambda / NA it is much smaller. そのため、出力1.5 Therefore, output 1.5
mWのレーザービームであっても、ビームスポット内における単位面積当たりのエネルギーはかなり高くなる。 Even mW of the laser beam, the energy per unit area of ​​the beam spot is quite high. 【0121】 【発明の効果】本発明では、保存信頼性および再生耐久性が高く、また、記録/再生波長を広い波長域から選択することが可能で、また、高速、高密度記録が可能な追記型光記録媒体が実現する。 [0121] [Effect of the Invention] In the present invention, storage reliable and reproduction durability, also possible to select the recording / reproducing wavelength from a wide wavelength range, also possible fast, high-density recording write-once optical recording medium can be realized.

【図面の簡単な説明】 【図1】本発明が適用される光記録媒体の構成例を示す部分断面図である。 It is a partial sectional view showing a configuration example of the drawings: Figure 1 The optical recording medium of the present invention is applied. 【図2】本発明が適用される光記録媒体の構成例を示す部分断面図である。 2 is a partial sectional view showing a configuration example of an optical recording medium to which the present invention is applied. 【図3】記録パワーと媒体の反射光量との関係を示すグラフである。 3 is a graph showing the relationship between the reflected light of the recording power and the medium. 【図4】本発明が適用される光記録媒体の構成例を示す部分断面図である。 4 is a partial cross-sectional view showing a configuration example of an optical recording medium to which the present invention is applied. 【図5】積層記録層の記録領域におけるオージェ電子分光分析の結果を示すグラフである。 5 is a graph showing the results of Auger electron spectroscopy in the recording area of ​​the recording layer laminate. 【図6】積層記録層の未記録領域におけるオージェ電子分光分析の結果を示すグラフである。 6 is a graph showing the results of Auger electron spectroscopy in the unrecorded area of ​​the recording layer laminate. 【図7】本発明が適用される多層光記録媒体の構成例を示す部分断面図である。 7 is a partial sectional view showing a configuration example of a multilayer optical recording medium to which the present invention is applied. 【図8】図7に示す構造の媒体において、第1のデータ層DL−1に対し記録/再生を行ったときの記録パワーとジッタとの関係を示すグラフである。 In medium having the structure shown in FIG. 8 7 is a graph showing the relationship between the recording power and jitter at the time of performing recording / reproducing for the first data layer DL-1. 【符号の説明】 2 基体20 支持基体31 第1誘電体層32 第2誘電体層4 積層記録層41、42 副記録層5 反射層6 トップコート層DL−1、DL−2 データ層TL 透明中間層 [Reference Numerals] 2 base 20 supporting base 31 first dielectric layer 32 second dielectric layer 4 laminated recording layers 41 and 42 sub-recording layer 5 reflecting layer 6 a top coat layer DL-1, DL-2 data layer TL transparent intermediate layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 栗林 勇 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内Fターム(参考) 2H111 EA03 EA12 EA21 EA32 EA33 EA40 EA41 EA43 FA02 FA14 FA24 FB09 FB21 FB30 5D029 JA01 JB03 JB17 JC17 5D090 AA01 BB03 BB12 CC01 DD01 EE02 KK03 5D119 AA23 BA01 BB02 HA47 HA60 ────────────────────────────────────────────────── ─── front page of the continuation (72) inventor Isamu Kuribayashi Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo chome 13th No. 1 tee Dikei Co., Ltd. in the F-term (reference) 2H111 EA03 EA12 EA21 EA32 EA33 EA40 EA41 EA43 FA02 FA14 FA24 FB09 FB21 FB30 5D029 JA01 JB03 JB17 JC17 5D090 AA01 BB03 BB12 CC01 DD01 EE02 KK03 5D119 AA23 BA01 BB02 HA47 HA60

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】 1種の金属を主成分とする第1の副記録層と、前記1種の金属以外の金属を主成分とする第2の副記録層とを、それぞれ少なくとも1層含む積層記録層を有し、 第1の副記録層の主成分金属および第2の副記録層の主成分金属は、融点がいずれも500℃以上であり、 第1の副記録層の主成分金属と第2の副記録層の主成分金属とは、混合したときに、それぞれの融点より高い融点をもつ合金が生成しうるものであり、 積層記録層に記録用レーザービームを照射することにより、それぞれの副記録層に含有される主成分金属が拡散して混合し、この混合により、反射率が不可逆的に変化した記録マークが形成される光記録媒体。 A first sub-recording layer mainly composed of Patent Claims: 1. A one metal, and a second sub-recording layer mainly composed of the one metal other than a metal, has a laminated recording layer comprising at least one layer respectively, the main component metal of the first sub-recording layer main component metal and the second sub-recording layer of the melting point of both 500 ° C. or higher, the first sub-records the main component metal of the main component metal and the second sub-recording layer of the layer, when mixed, which is an alloy having a melting point higher than the respective melting points can generate a recording laser beam to the recording layer laminate by irradiating the respective diffuse main component metal contained within auxiliary recording layer were mixed, this mixture, an optical recording medium that recording mark reflectance is changed irreversibly are formed. 【請求項2】 第1の副記録層および第2の副記録層が、いずれも結晶質である請求項1の光記録媒体。 Wherein the first sub-recording layer and the second auxiliary recording layer, an optical recording medium according to claim 1 all of which are crystalline. 【請求項3】 第1の副記録層の主成分がAlであり、 3. A main component of the first sub-recording layer is Al,
    第2の副記録層の主成分がSbである請求項1または2 Main component of the second auxiliary recording layer is Sb claim 1 or 2
    の光記録媒体。 Of the optical recording medium. 【請求項4】 積層記録層中において、原子比Sb/A 4. A laminated recording layer, the atomic ratio Sb / A
    lが1/3〜3である請求項3の光記録媒体。 The optical recording medium according to claim 3 l is 1/3 to 3. 【請求項5】 記録マークの反射率の熱安定性が、記録マークを除く領域の反射率の熱安定性よりも高い請求項1〜4のいずれかの光記録媒体。 Thermal stability wherein the reflectivity of the recording mark, one of the optical recording medium of claims 1 to 4 higher than the thermal stability of the reflectance of the region except the record mark. 【請求項6】 記録用レーザービームの照射により副記録層の少なくとも1層が溶融する請求項1〜5のいずれかの光記録媒体。 6. Any of the optical recording medium of claim 5 wherein at least one layer of the subsidiary recording layer by irradiation of the recording laser beam is melted. 【請求項7】 積層記録層の両側に、無機材料からなる無機保護層が存在する請求項1〜6のいずれかの光記録媒体。 On both sides of 7. The laminated recording layers, one of the optical recording medium of claim 6 in which the inorganic protective layer made of an inorganic material is present. 【請求項8】 少なくとも2層の記録層が積層され、他の記録層を通して照射されるレーザービームによって記録/再生が行われる記録層が存在する媒体であり、少なくとも1層の記録層が前記積層記録層である請求項1〜 Recording layer according to claim 8 wherein at least two layers are laminated, a medium in which the recording layer is present recording / reproduction is performed by a laser beam irradiated through the other recording layers, the recording layer at least one layer of the laminate a recording layer according to claim 1
    7のいずれかの光記録媒体。 One of the optical recording medium 7. 【請求項9】 他の記録層の記録/再生に用いるレーザービームが透過する記録層のうち少なくとも1層が、前記積層記録層である請求項8の光記録媒体。 9. At least one layer of the recording layer where the laser beam passes used for recording / reproducing of the other recording layers, the optical recording medium of claim 8 wherein a laminated recording layer. 【請求項10】 請求項8または9の光記録媒体に記録する方法であって、 特定のマーク長の信号を記録するに際し、すべての記録層において記録パルスストラテジを同一とし、かつ、各記録層ごとに記録用レーザービームのパワーを最適に制御する光記録方法。 10. A method of recording to the optical recording medium according to claim 8 or 9, when recording a signal of a particular mark length and the recording pulse strategy the same in all the recording layers, and each recording layer the optical recording method for optimally controlling the power of the recording laser beam each time. 【請求項11】 請求項8または9の光記録媒体に記録する方法であって、 特定のマーク長の信号を記録するに際し、すべての記録層において記録用レーザービームのパワーを同一とし、 11. A method of recording to the optical recording medium according to claim 8 or 9, when recording a signal of a particular mark length and the same power of the recording laser beam in all of the recording layers,
    かつ、各記録層ごとに記録用レーザービーム照射時間を最適に制御する光記録方法。 And, an optical recording method for optimally controlling the recording laser beam irradiation time for each recording layer.
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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003069604A1 (en) * 2002-02-14 2003-08-21 Tdk Corporation Method for recording information on optical recording medium, information recorder, and optical recording medium
WO2004079731A1 (en) * 2003-03-08 2004-09-16 Samsung Electronics Co., Ltd. Method and apparatus for preserving data-recording status of a write-once recording medium, and write-once recording medium therefor
US6996055B2 (en) 2002-04-30 2006-02-07 Tdk Corporation Optical recording medium and method for optically recording data in the same
US7141289B2 (en) 2003-08-25 2006-11-28 Tdk Corporation Optical information recording medium
US7157128B2 (en) 2003-07-23 2007-01-02 Tdk Corporation Optical information recording medium
US7231649B2 (en) 2002-05-31 2007-06-12 Tdk Corporation Optical recording medium and method for optically recording data in the same
US7321481B2 (en) 2002-07-04 2008-01-22 Tdk Corporation Optical recording medium
US7342855B2 (en) 2003-03-08 2008-03-11 Samsung Electronics Co., Ltd. Write-once recording medium preserving data-recording status, method of preserving data-recording status of a write-once recording medium, medium including computer readable code for the same, and recording and/or reproducing apparatus therefor
US7408860B2 (en) 2002-02-28 2008-08-05 Tdk Corporation Method of recording information in optical recording medium, information recording apparatus and optical recording medium
US7479363B2 (en) * 2002-04-26 2009-01-20 Tdk Corporation Optical recording medium and method for optically recording data in the same
US7932015B2 (en) * 2003-01-08 2011-04-26 Tdk Corporation Optical recording medium
US8559286B2 (en) 2003-04-15 2013-10-15 Samsung Electronics Co., Ltd. Recording/reproducing method, recording/reproducing apparatus, optical recording medium, and computer readable recording medium having recorded thereon program for the recording/reproducing method
JP2013540063A (en) * 2010-09-29 2013-10-31 ディエゴ ロード ルシアン Information recording medium capable of legally safe recording

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003069604A1 (en) * 2002-02-14 2003-08-21 Tdk Corporation Method for recording information on optical recording medium, information recorder, and optical recording medium
US7298682B2 (en) 2002-02-14 2007-11-20 Tdk Corporation Method of recording information in optical recording medium, information recording apparatus and optical recording medium
US7408860B2 (en) 2002-02-28 2008-08-05 Tdk Corporation Method of recording information in optical recording medium, information recording apparatus and optical recording medium
US7479363B2 (en) * 2002-04-26 2009-01-20 Tdk Corporation Optical recording medium and method for optically recording data in the same
US6996055B2 (en) 2002-04-30 2006-02-07 Tdk Corporation Optical recording medium and method for optically recording data in the same
US7231649B2 (en) 2002-05-31 2007-06-12 Tdk Corporation Optical recording medium and method for optically recording data in the same
US7321481B2 (en) 2002-07-04 2008-01-22 Tdk Corporation Optical recording medium
US7932015B2 (en) * 2003-01-08 2011-04-26 Tdk Corporation Optical recording medium
US7376060B2 (en) 2003-03-08 2008-05-20 Samsung Electronics Co., Ltd. Write-once recording medium preserving data-recording status, method of preserving data-recording status of a write-once recording medium, medium including computer readable code for the same, and recording and/or reproducing apparatus therefor
US7369468B2 (en) 2003-03-08 2008-05-06 Samsung Electronics Co., Ltd. Write-once recording medium preserving data-recording status, method of preserving data-recording status of a write-once recording medium, medium including computer readable code for the same, and recording and/or reproducing apparatus therefor
US7342855B2 (en) 2003-03-08 2008-03-11 Samsung Electronics Co., Ltd. Write-once recording medium preserving data-recording status, method of preserving data-recording status of a write-once recording medium, medium including computer readable code for the same, and recording and/or reproducing apparatus therefor
US7397738B2 (en) 2003-03-08 2008-07-08 Samsung Electronics Co., Ltd. Write-once recording medium preserving data-recording status, method of preserving data-recording status of a write-once recording medium, medium including computer readable code for the same, and recording and/or reproducing apparatus therefor
US7911896B2 (en) 2003-03-08 2011-03-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Write-once recording medium preserving data-recording status, method of preserving data-recording status of a write-once recording medium, medium including computer readable code for the same, and recording and/or reproducing apparatus therefor
WO2004079731A1 (en) * 2003-03-08 2004-09-16 Samsung Electronics Co., Ltd. Method and apparatus for preserving data-recording status of a write-once recording medium, and write-once recording medium therefor
US7499385B2 (en) 2003-03-08 2009-03-03 Samsung Electronics Co., Ltd. Write-once recording medium preserving data-recording status, method of preserving data-recording status of a write-once recording medium, medium including computer readable code for the same, and recording and/or reproducing apparatus therefor
US7663991B2 (en) 2003-03-08 2010-02-16 Samsung Electronics Co., Ltd. Write-once recording medium preserving data-recording status, method of preserving data-recording status of a write-once recording medium, medium including computer readable code for the same, and recording and/or reproducing apparatus therefor
US8559286B2 (en) 2003-04-15 2013-10-15 Samsung Electronics Co., Ltd. Recording/reproducing method, recording/reproducing apparatus, optical recording medium, and computer readable recording medium having recorded thereon program for the recording/reproducing method
US7157128B2 (en) 2003-07-23 2007-01-02 Tdk Corporation Optical information recording medium
US7141289B2 (en) 2003-08-25 2006-11-28 Tdk Corporation Optical information recording medium
JP2013540063A (en) * 2010-09-29 2013-10-31 ディエゴ ロード ルシアン Information recording medium capable of legally safe recording

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