JP2003051278A

JP2003051278A - 回転陽極型ｘ線管およびその製造方法

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Publication number: JP2003051278A
Application number: JP2001238901A
Authority: JP
Inventors: Mitsuhisa Iwase; 光央岩瀬
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2001-08-07
Filing date: 2001-08-07
Publication date: 2003-02-21

Abstract

(57)【要約】【課題】液体金属潤滑剤の漏れを防止する回転陽極型
Ｘ線管およびその製造方法を提供すること。【解決手段】動圧式すべり軸受に用いられる液体金属
潤滑剤の漏れを阻止するシール領域Ａを形成する内側回
転体１６およびスラストリング１７を有し、陽極ターゲ
ットを回転可能に支持する回転機構１３とを具備した回
転陽極型Ｘ線管において、内側回転体１６およびスラス
トリング１７よりも硬度が大きい封止部材を３３、内側
回転体１６およびスラストリング１７間に配置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、動圧式すべり軸受
に用いられる液体金属潤滑剤の漏れを防止した回転陽極
型Ｘ線管およびその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】回転陽極型Ｘ線管は、回転状態にある陽
極ターゲットに電子ビームを照射し、陽極ターゲットか
らＸ線を放出させる電子管で、医療用の診断装置などに
使用されている。

【０００３】回転陽極型Ｘ線管は、電子ビームを発生す
る陰極およびＸ線を放出する陽極ターゲットなどを真空
外囲器内に配置して構成されている。陽極ターゲットは
回転支柱を介して回転機構に連結され、回転機構によっ
て回転可能に支持されている。回転機構は、たとえば筒
状の回転体およびこの回転体に嵌合した固定体などから
構成され、回転体と固定体との間に軸受たとえば動圧式
すべり軸受が設けられている。

【０００４】動圧式すべり軸受は、軸受面にらせん溝を
形成し、らせん溝や軸受間隙に液体金属潤滑剤が供給さ
れる。液体金属潤滑剤は流動性があるため、液体金属潤
滑剤の漏れを防止するシール領域が回転機構の一部に設
けられる。

【０００５】ここで、回転機構に設けられるシール領域
について、回転機構の一部を抜き出した図９を参照して
説明する。符号９１は陽極ターゲットが連結される筒状
回転体である。筒状回転体９１は、たとえば隣接するど
うしが接合された外側回転体９１ａおよび中間回転体９
１ｂ、内側回転体９１ｃの３層構造で構成され、内側回
転体９１ｃの端部開口はスラストリング９２で塞がれて
いる。内側回転体９１ｃとスラストリング９２はねじ９
３で固定されている。内側回転体９１ｃの内部に円柱状
の固定体９４が嵌合され、固定体９４はスラストリング
９２を貫通し、その外側まで伸びている。筒状回転体９
１およびスラストリング９２は軸受を介して固定体９４
に支えられ管軸ｍを中心に回転する。

【０００６】固定体９４のたとえば外周面にらせん溝９
５が形成され、らせん溝９５の部分、および、内側回転
体９１ｃと固定体９４間の軸受間隙の部分などに液体金
属潤滑剤が供給され、動圧式すべり軸受が構成されてい
る。

【０００７】上記した構成によれば、内側回転体９１ｃ
とスラストリング９２がねじ９３で締め付けられてい
る。このとき、内側回転体９１およびスラストリング９
２が面接触で密着し、液体金属潤滑剤の漏れを防止する
シール領域Ａが形成される。

【０００８】液体金属潤滑剤の漏れを防止する方法とし
ては、その他、ドイツ特許１９６０６８７１Ｃ２、
あるいは特開平８−２７０６５５号公報のように、液体
金属潤滑剤と固体混合相を形成するシール材料などを用
いて、シール領域に封止リングや封止層を設ける方法が
ある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】従来の回転陽極型Ｘ線
管は、液体金属潤滑剤の漏れを防止する方法として、回
転機構を構成する回転体とスラストリングとを面接触さ
せる方法、あるいは、液体金属潤滑剤と固体混合相を形
成するシール材料などを用いて封止リングや封止層を形
成する方法などがある。

【００１０】前者の方法は、面接触であるため、軸受部
分が高速で回転すると、遠心力による圧力がシール領域
の面接触の圧力を超え、液体金属潤滑剤が漏れる場合が
ある。後者の方法は、シール材料と液体金属潤滑剤との
反応でシール材料が膨らみ、軸受部品が変形し、あるい
は軸受寸法が変化し、シール隙間が開く恐れがある。

【００１１】本発明は、上記した欠点を解決し、液体金
属潤滑剤の漏れを防止する回転陽極型Ｘ線管およびその
製造方法を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、Ｘ線を放出す
る陽極ターゲットと、動圧式すべり軸受に用いられる液
体金属潤滑剤の漏れを阻止するシール領域を形成する第
１部材および第２部材を有し、前記陽極ターゲットを回
転可能に支持する回転機構とを具備した回転陽極型Ｘ線
管において、前記第１部材および前記第２部材の少なく
とも一方よりも硬度が大きい封止部材を、前記第１部材
および前記第２部材間に配置したことを特徴とする。

【００１３】また、本発明の回転陽極型Ｘ線管の製造方
法は、回転体および固定体を有する動圧式すべり軸受に
用いられる液体金属潤滑剤の漏れを阻止するシール領域
を形成する第１部材および第２部材の少なくとも一方よ
りも硬度が大きい封止部材を、前記第１部材および前記
第２部材間に配置する第１工程と、前記封止部材を挟ん
だ前記第１部材および前記第２部材をねじで締め付け一
体化し、前記第１部材および前記第２部材の一部に前記
封止部材を食い込ませる第２工程と、前記回転体とＸ線
を放出する陽極ターゲットとを連結する第３工程とを有
することを特徴とする。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の実施形態について図１を
参照して説明する。符号１１は回転陽極型Ｘ線管を構成
する陽極ターゲットで、陽極ターゲット１１は真空外囲
器（図示せず）内に配置されている。陽極ターゲット１
１は回転支柱１２を介して回転機構１３に連結され、管
軸ｍを中心に回転する構造になっている。

【００１５】回転機構１３は、たとえば回転支柱１２が
直接連結した中間回転体１４および中間回転体１４の外
側に接合された外側回転体１５、中間回転体１４の内側
に接合された内側回転体１６などから構成されている。
内側回転体１６の図示右側の開口はスラストリング１７
で塞がれ、内側回転体１６とスラストリング１７はねじ
１８で固定されている。内側回転体１６の内部に固定体
１９が嵌合され、固定体１９はスラストリング１７を貫
通し、その外側まで伸びている。

【００１６】内側回転体１６は、図示右側端部の内面
に、たとえば１つの段差面１６ａが設けられている。段
差面１６ａを境にしてその左側は内径が小さい径小部１
６１、その右側は内径が大きい径大部１６２となってい
る。スラストリング１７は、内側回転体１６と接する部
分にたとえば２つの第１段差面１７ａおよび第２段差面
１７ｂが設けられている。

【００１７】陽極ターゲット１１に近い方の第１段差面
１７ａの図示左側は外径が小さい径小部１７１、また２
つの段差面１７ａ、１７ｂに挟まれ部分は径小部１７１
よりも外径が大きい中間部１７２、第２段差面１７ａの
図示右側は中間部１７２よりも外径が大きい径大部１７
３になっている。

【００１８】上記した構成において、回転機構１３の回
転部分を構成する内側回転体１６およびスラストリング
１７と、回転機構１３の固定部分を構成する固定体１９
との間に動圧式すべり軸受が設けられている。

【００１９】たとえば、固定体１９の管軸方向に離れた
２つの領域にそれぞれらせん溝を対に形成し、このらせ
ん溝の部分に液体金属潤滑剤が供給され、ラジアル方向
の動圧式すべり軸受２０ａ、２０ｂが設けられている。
また、固定体１９の図示左側の端面にらせん溝を形成
し、このらせん溝の部分に液体金属潤滑剤が供給され、
スラスト方向の動圧式すべり軸受２１ａが設けられてい
る。固定体１９の段部１９ａと対向するスラストリング
１７の図示左側の面にも、らせん溝を形成し、このらせ
ん溝の部分などに液体金属潤滑剤が供給され、もう１つ
のスラスト方向の動圧式すべり軸受２１ｂが設けられて
いる。

【００２０】上記の構成において、回転機構１３の回転
部分を構成する２つの部材、たとえば内側回転体１６と
スラストリング１７の間に、液体金属潤滑剤の漏れを防
止するシール領域Ａが環状に形成されている。シール領
域Ａは、たとえば内側回転体１６の段差面１６ａとスラ
ストリング１７の第１段差面１７ａとの間に形成され、
たとえばシール領域Ａの一部に封止機構２２が環状に設
けられている。

【００２１】ここで、シール領域Ａに設けられる封止機
構２２について図２を参照して説明する。図２（ａ）は
図１のシール領域Ａ近傍を拡大した図、また、図２
（ｂ）は図２（ａ）の一部をさらに拡大した図で、図１
に対応する部分には同じ符号を付し重複する説明は一部
省略する。

【００２２】シール領域Ａでは、内側回転体１６および
スラストリング１７はたとえば面接触し、管軸ｍを囲む
同じ半径上の位置に凹溝３１、３２が環状に形成されて
いる。また、連続する凹溝３１、３２の中に、内側回転
体１６およびスラストリング１７の材料よりもたとえば
硬度が大きく、液体金属潤滑剤と反応しにくい環状の封
止部材３３が配置されている。封止部材３３の断面は、
管軸方向における両先端３４ａ、３４ｂがたとえば楔状
に尖った形状をしている。

【００２３】凹溝３１、３２に配置された封止部材３３
は、その後、内側回転体１６およびスラストリング１７
がねじ１８で締め付け固定されると、封止部材３３の先
端３４ａ、３４ｂは凹部３１、３２の底面を塑性変形さ
せ、内側回転体１６やスラストリング１７の一部に食い
込んだ形になる。このとき、内側回転体１６および封止
部材３３間、および、スラストリング１７および封止部
材３３間に、動圧式すべり軸受２０ａ、２０ｂを囲む線
状の密着部分が環状に形成され、液体金属潤滑剤の漏れ
を防止する封止機構２２が構成される。

【００２４】封止機構２２が構成された内側回転体１６
およびスラストリング１７は、陽極ターゲットを回転可
能に支持する回転機構の回転部分を構成し、その後、こ
の回転部分に陽極ターゲットが連結され、回転陽極型Ｘ
線管に組み立てられる。

【００２５】なお、陽極ターゲットと回転体を先に連結
し、その後、封止部材を固定してもよい。

【００２６】上記した構成の場合、内側回転体１６やス
ラストリング１７のシール領域Ａには、通常、らせん溝
が形成される軸受面と同じ材料たとえばＭｏ系合金や鉄
系合金が用いられる。この場合、封止部材３３には、Ｍ
ｏ系合金や鉄系合金よりも硬度が大きいたとえばセラミ
ックが用いられる。

【００２７】ビッカース硬度で比較すると、Ｍｏ系合金
は２５０〜３５０Ｈｖ、鉄系合金は２００〜２５０Ｈｖ
程度となっている。セラミックたとえば窒化珪素（Ｓｉ
3 Ｎ4 ）や炭化珪素（ＳｉＣ）、酸化アルミニウム（Ａ
ｌ2 Ｏ3 ）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2 ）などはほぼ
１０００Ｈｖ以上となっている。

【００２８】なお、Ｗ系合金もビッカース硬度がほぼ５
００Ｈｖ以上であるため、セラミックに代えてＷ系合金
を用いることもできる。セラミックやＷ系合金は液体金
属潤滑剤との反応速度が小さいため、液体金属潤滑剤に
侵されてシール効果が低下したり、体積の膨張で軸受寸
法が変化することもない。

【００２９】また、内側回転体１６やスラストリング１
８が鉄系合金で形成されている場合は、封止部材３３と
してＭｏ系合金を用いることもできる。

【００３０】上記した構成の場合、通常の使用条件で
は、軸受部の温度は極端に高くなることはない。そのた
め、内側回転体１６やスラストリング１７のシール領域
Ａおよび封止部材３３に鉄系合金やＭｏ系合金を使用し
ても、これらの材料が液体金属潤滑剤と反応して腐食
し、シール効果が劣化したり、体積の膨張で軸受寸法が
変化したりすることもない。

【００３１】次に、封止機構の他の例について図３を参
照して説明する。図３は、図１および図２に対応する部
分には同じ符号を付し重複する説明は一部省略する。

【００３２】この実施形態の場合、環状の封止部材３３
の断面形状は、内側回転体１６側の先端３４ａだけが楔
状に突出している。スラストリング１７側の断面は凹溝
３２の断面に一致する形状に構成され、封止部材３３の
スラストリング１７側は凹溝３２に嵌合している。

【００３３】封止部材３３を凹溝３２に嵌合する場合、
焼き嵌めや圧接などの方法が用いられ、封止部材３３は
スラストリング１７に予め取り付けられる。この方法
は、環状の封止部材３３が部品の段階で取り付けられる
ため、十分に大きな接合力をもって嵌合でき、嵌合部分
から液体金属潤滑剤が漏れるようなことはない。

【００３４】図３の場合も、内側回転体１６およびスラ
ストリング１７をねじ１８で固定すると、封止部材３３
の先端３４ａが内側回転体１６のたとえば凹溝３１の底
面を塑性変形させ、内側回転体１６の一部に食い込み、
液体金属潤滑剤の漏れを防止する封止機構２２が形成さ
れる。

【００３５】図２および図３では、内側回転体１６およ
びスラストリング１７よりも硬度の大きい材料で封止部
材３３を形成している。封止部材３３の硬度が大きい
と、封止部材３３が内側回転体１６やスラストリング１
７を確実に塑性変形させ、良好なシール効果をもつ封止
機構２２が得られる。しかし、封止部材３３を、内側回
転体１６やスラストリング１７の一方あるいは両方と同
じ材料あるいは同程度の硬度の材料で形成することもで
きる。この場合も、内側回転体１６およびスラストリン
グ１７をねじ１８で締め付け固定する際に、封止部材３
３の先端が凹部３１、３２底面の一方あるいは両方を塑
性変形させ、内側回転体１６やスラストリング１７の一
部に食い込み、単なる面接触などの場合よりも良好なシ
ール効果をもつ封止機構２２が形成される。

【００３６】次に、封止機構の他の例について図４を参
照して説明する。図４は、図１および図２に対応する部
分に同じ符号を付し重複する説明は一部省略する。

【００３７】この実施形態は、内側回転体１６およびス
ラストリング１８の一方、たとえばスラストリング１７
を内側回転体１６よりも硬度の大きい材料で形成してい
る。そして、硬度の大きいスラストリング１７の面に断
面が楔状の突出部４１を環状に設けている。この場合
も、内側回転体１６およびスラストリング１７をねじ１
８で固定すると、スラストリング１７の突出部４１が内
側回転体１６を塑性変形させ、その一部に食い込んで密
着し封止機構２２が形成される。

【００３８】図４では、内側回転体１６およびスラスト
リング１７の一方たとえばスラストリング１７を内側回
転体１６よりも硬度の高い材料で形成している。しか
し、内側回転体１６およびスラストリング１７の両方を
同じ材料あるいは同程度の硬度の材料で形成することも
できる。この場合も、内側回転体１６およびスラストリ
ング１７の一方が相手の突出部によって塑性変形し、塑
性変形した部分に突出部が食い込んで封止機構２２が形
成される。

【００３９】次に、封止機構の他の例について図５を参
照して説明する。図５は、図１および図２に対応する部
分に同じ符号を付し重複する説明は一部省略する。

【００４０】この実施形態は、スラストリング１７の第
１段差面１７ａおよびこの第１段差面１７ａと接触する
内側回転体１６の段差面１６ａをそれぞれ平坦に形成し
ている。そして、内側回転体１６およびスラストリング
１７の一方、たとえばスラストリング１７の第２段差面
１７ｂに環状の突出部５１を形成している。この構成の
場合も、内側回転体１６とスラストリング１７をねじ１
８で締め付け固定すると、スラストリング１７の突出部
５１が内側回転体１６を塑性変形させ、その一部に食い
込んで密着し封止機構２２を形成する。このとき、スラ
ストリング１７の第１段差面１７ａと内側回転体１６の
段差面１６ａが面接触し、これによって管軸ｍ方向の位
置関係が規定され高い組み立て寸法精度が得られる。

【００４１】図４および図５では、内側回転体１６およ
びスラストリング１７の一方に突出部を形成している。
しかし、突出部の位置をずらせるなどして、内側回転体
１６およびスラストリング１７の両方に突出部を形成
し、それぞれの突出部が相手の一部に食い込むような構
造にすることもできる。

【００４２】次に、封止機構の他の例について、シール
領域Ａの部分を抜き出した図６を参照して説明する。図
６は、図１および図２に対応する部分に同じ符号を付し
重複する説明は一部省略する。

【００４３】図６（ａ）は、スラストリング１７の内側
回転体１６側の端部に切欠部６１が環状に設けられ、切
欠部６１の管軸ｍに平行な面６１ａが内側回転体１６の
内面と面接触し、管軸ｍに垂直な面６２ｂが内側回転体
１６の端面に面接触する構造になっている。また、切欠
部６１から管軸ｍ方向に離れた位置に段差面６２が設け
られ、この段差面６２に、内側回転体１６方向に突出す
る突起６３が環状に形成されている。

【００４４】この場合、内側回転体１６はたとえばＭｏ
系合金や鉄系合金で形成され、スラストリング１７はた
とえばセラミックで形成され、両者はねじ６４で締め付
け固定される。このとき、突起６３が内側回転体１６の
一部に食い込み封止機構２２が形成される。また、スラ
ストリング１７に設けられた切欠部６１の面と内側回転
体１６が接触し、両者の位置関係が正しく規定される。

【００４５】図６（ｂ）は、スラストリング１７に切欠
部がなく、スラストリング１７の外面６１ｃが内側回転
体１６の内面と接触する構造になっている。図６（ｂ）
は、図６（ａ）に対応する部分には同じ符号を付し重複
する説明は一部省略する。

【００４６】次に、封止機構の他の例について、シール
領域Ａ部分を抜き出した図７を参照して説明する。図７
は、図６に対応する部分には同じ符号を付し重複する説
明は一部省略する。

【００４７】図７（ａ）は、図６（ａ）と同様に、スラ
ストリング１７に切欠部６１が設けられ、段差面６２に
断面が矩形の凹溝７１が形成されている。そして、内側
回転体１６の端面とスラストリング１７との間に、内側
回転体１６側が楔状に突出し、スラストリング１７側が
凹溝７１と嵌合する封止部材３３が配置されている。

【００４８】この封止部材３３には、同図（ｃ）の符号
７２に示すように、たとえば全体が環状に形成されその
断面が一方の側で尖った形状のものが使用される。この
場合、内側回転体１６およびスラストリング１７をねじ
６４で締め付け固定すると、封止部材３３の楔状の先端
が内側回転体１６に食い込んで封止機構２２が形成され
る。

【００４９】図７（ｂ）は、図６（ｂ）と同様、スラス
トリング１７に切欠部が設けられない場合で、図７
（ａ）に対応する部分には同じ符号を付し重複する説明
は一部省略する。

【００５０】なお、内側回転体１６とスラストリング１
７との間に配置される封止部材３３には、図７（ｄ）
（ｅ）に示すように、全体が環状に形成されその断面形
状が矩形の封止部材７３、あるいは、全体が環状に形成
されその断面形状が円形の封止部材７４を使用すること
もできる。

【００５１】次に、封止機構の他の例について、シール
領域Ａ部分を抜き出した図８を参照して説明する。

【００５２】図８は、図１で説明した内側回転体１６が
２つの部材たとえば円筒状部品８１と蓋状部品８２とで
構成され、この円筒状部品８１と蓋状部品８２の間にシ
ール領域Ａが形成されている場合である。

【００５３】図８（ａ）は、蓋状部品８２の円筒状部品
８１側の端部に切欠部８３を設け、切欠部８３の管軸ｍ
に平行な面８３ａが円筒状部品８１の内面に接触し、管
軸ｍに垂直な面８３ｂが円筒状部品８１の端面に接触す
る構造になっている。切欠部８３から管軸ｍ方向に離れ
た位置に段差面８４が形成され、この段差面８４に、円
筒状部品８１の端面方向に突出する突起８５が環状に形
成されている。

【００５４】上記した構成の場合、円筒状部品８１はた
とえばＭｏ系合金や鉄系合金で形成され、蓋状部品８２
はたとえばセラミックで形成され、両者がねじ８６で締
め付け固定される。このとき、突起８５が円筒状部品８
１の一部に食い込み封止機構２２が形成される。また、
蓋状部品８２の切欠部８３の面８３ａ、８３ｂと円筒状
部品８１が面接触し、両者の位置関係が正しく規定され
る。

【００５５】図８（ｂ）は、蓋状部品８２に切欠部がな
く、蓋状部品８２の外周面８３ｃが円筒状部品８１の内
面と接触する構造になっている。図８（ｂ）は、図８
（ａ）に対応する部分には同じ符号を付し重複する説明
は一部省略する。

【００５６】上記の各実施形態では、内側回転体および
スラストリングなど２つの部材間に配置される封止部
材、あるいは、これらの部材に形成される突起部などを
環状に無端に構成する場合で説明している。しかし、封
止部材や突起部は、円弧状をした複数の部分を互いに接
触させて全体が環状になるように形成してもよく、ある
いは、隣接するどうし間に狭い間隙をもたせて全体が環
状になるように形成してもよい。

【００５７】

【発明の効果】本発明によれば、液体金属潤滑剤の漏れ
を防止する回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法を実現
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態を説明するための構造図で、
一部が断面で示されている。

【図２】本発明の実施形態を説明するための構造図で、
シール領域近傍を抜き出した図である。

【図３】本発明の他の実施形態を説明するための構造図
で、シール領域近傍を抜き出した図である。

【図４】本発明の他の実施形態を説明するための構造図
で、シール領域近傍を抜き出した図である。

【図５】本発明の他の実施形態を説明するための構造図
で、シール領域近傍を抜き出した図である。

【図６】本発明の他の実施形態を説明するための構造図
で、シール領域近傍を抜き出した図である。

【図７】本発明の他の実施形態を説明するための構造図
で、シール領域近傍を抜き出した図である。

【図８】本発明の他の実施形態を説明するための構造図
で、シール領域近傍を抜き出した図である。

【図９】従来例を説明するための構造図で、シール領域
近傍を抜き出した図である。

【符号の説明】

１１…陽極ターゲット１２…回転支柱１３…回転機構１４…中間回転体１５…外側回転体１６…内側回転体１７…スラストリング１８…ねじ１９…固定体２０ａ、２０ｂ…ラジアル方向の動圧式すべり軸受２１ａ、２１ｂ…スラスト方向の動圧式すべり軸受３１…内側回転体の凹溝３２…スラストリングの凹溝３３…封止部材３４ａ、３４ｂ…封止部材の先端

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】Ｘ線を放出する陽極ターゲットと、動圧
式すべり軸受に用いられる液体金属潤滑剤の漏れを阻止
するシール領域を形成する第１部材および第２部材を有
し、前記陽極ターゲットを回転可能に支持する回転機構
とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記第１部材
および前記第２部材の少なくとも一方よりも硬度が大き
い封止部材を、前記第１部材および前記第２部材間に配
置したことを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項２】Ｘ線を放出する陽極ターゲットと、動圧
式すべり軸受に用いられる液体金属潤滑剤の漏れを阻止
するシール領域を形成する第１部材および第２部材を有
し、前記陽極ターゲットを回転可能に支持する回転機構
とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記第１部材
および前記第２部材のそれぞれの一部に食い込んだ封止
部材が、前記第１部材および前記第２部材間に位置する
ことを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項３】Ｘ線を放出する陽極ターゲットと、動圧
式すべり軸受に用いられる液体金属潤滑剤の漏れを阻止
するシール領域を形成する第１部材および第２部材を有
し、前記陽極ターゲットを回転可能に支持する回転機構
とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記第１部材
および前記第２部材を硬度の相違する材料で形成し、硬
度の大きい材料の部材が硬度の小さい材料の部材の一部
に食い込んでいることを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項４】第１部材および第２部材の硬度の大きい
材料の部材に突出部を形成した請求項３記載の回転陽極
型Ｘ線管。
【請求項５】Ｘ線を放出する陽極ターゲットと、動圧
式すべり軸受に用いられる液体金属潤滑剤の漏れを阻止
するシール領域を形成する第１部材および第２部材を有
し、前記陽極ターゲットを回転可能に支持する回転機構
とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記第１部材
および前記第２部材の少なくとも一方に、他方の一部に
食い込む突出部を形成したことを特徴とする回転陽極型
Ｘ線管。
【請求項６】回転体および固定体を有する動圧式すべ
り軸受に用いられる液体金属潤滑剤の漏れを阻止するシ
ール領域を形成する第１部材および第２部材の少なくと
も一方よりも硬度が大きい封止部材を、前記第１部材お
よび前記第２部材間に配置する第１工程と、前記封止部
材を挟んだ前記第１部材および前記第２部材をねじで締
め付け一体化し、前記第１部材および前記第２部材の一
部に前記封止部材を食い込ませる第２工程と、前記回転
体とＸ線を放出する陽極ターゲットとを連結する第３工
程とを有することを特徴とする回転陽極型Ｘ線管の製造
方法。
【請求項７】回転体および固定体を有する動圧式すべ
り軸受に用いられる液体金属潤滑剤の漏れを阻止するシ
ール領域を形成する第１部材および第２部材間に封止部
材を配置する第１工程と、前記封止部材が配置された前
記第１部材および前記第２部材をねじで締め付け一体化
し、前記第１部材および前記第２部材の一部に前記封止
部材を食い込ませる第２工程と、前記回転体とＸ線を放
出する陽極ターゲットとを連結する第３工程とを有する
ことを特徴とする回転陽極型Ｘ線管の製造方法。
【請求項８】回転体および固定体を有する動圧式すべ
り軸受に用いられる液体金属潤滑剤の漏れを阻止するシ
ール領域を形成する第１部材および第２部材の硬度が大
きい一方に突出部を形成する第１工程と、突出部が一方
に形成された前記第１部材および前記第２部材をねじで
締め付け一体化し、前記突出部を硬度の小さい他方の一
部に食い込ませる第２工程と、前記回転体とＸ線を放出
する陽極ターゲットとを連結する第３工程とを有するこ
とを特徴とする回転陽極型Ｘ線管の製造方法。
【請求項９】回転体および固定体を有する動圧式すべ
り軸受に用いられる液体金属潤滑剤の漏れを阻止するシ
ール領域を形成する第１部材および第２部材の少なくと
も一方に突出部を形成する第１工程と、少なくとも一方
に突出部が形成された前記第１部材および前記第２部材
をねじで締め付け一体化し、前記突出部を他方の一部に
食い込ませる第２工程と、前記回転体とＸ線を放出する
陽極ターゲットとを連結する第３工程とを有することを
特徴とする回転陽極型Ｘ線管の製造方法。