JP2003047902A - スピンコート装置におけるスピンナーヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のスピンコート装置におけるスピンナー
ヘッドでは塗布液がディスク裏面に回り込んで付着し、
更には、ディスク裏面と接触して傷が付くことがある。 【解決手段】 台部３のディスク７の端部よりも内側に
塗布液の記録ディスク７の裏面への回り込みを阻止する
遮蔽壁５を周状に設け、台部３の略中央部には所定間隔
を置いて所定高さの第１、第２の保持壁４１，４２を周
状に設ける。また第１、第２の保持壁の間に吸引口４５
を設け、ディスク７を遮蔽壁及び第１、第２の保持壁で
保持することによってディスクと台部の間に隙間を設け
て塗布液を塗布する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、非処理体表面に液
体を供給して被処理体に被膜を形成するスピンコート装
置におけるスピンナーヘッド、特に、記録ディスクに保
護膜を形成するのに好適なスピンナーヘッドに関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＭＯ、ＭＤのような円盤状記録メ
ディアにおいては磁性層等の保護を目的としてコート剤
をスピンコートにより塗布している。このようなコート
剤を塗布するには、製造工程に図４に示すスピンナーヘ
ッド１１を設置し、これにディスク７を固定してコート
剤を塗布している。具体的には、スピンナーヘッド１１
の内部に空気の流路４６が形成されており、図４に示す
ようにディスク７をスピンナーヘッド１１上に載置し、
図示しない吸引ポンプで吸引することによってディスク
７を真空吸着する。また、この状態で、スピンナーヘッ
ド７を矢印で示す方向に回転させてコート剤をディスク
面に供給することでコート剤をディスク面に塗布してい
る。従来のスピンナーヘッドは回転時の真空吸着のた
め、ディスク７の裏面と密着しているのが一般的であ
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のスピンナーヘッドではスピンナーヘッドの上面がデ
ィスクと密着しているために、スピンナーヘッドの最外
周径がディスクより大きい場合にはディスク外端部から
側面に付着する塗布材料が毛細管現象によってディスク
裏面に回り込むという問題があった。また、スピンナー
ヘッドの最外周径がディスクより小さい場合にはディス
ク外周側から遠心力により飛散した樹脂材料のミストが
ディスク裏面側に付着することがあった。更に、スピン
ナーヘッドとディスク７面が密着しているため、ディス
ク面に傷が付きやすく、特に、透過型の光磁気ディスク
のような媒体を製造する場合には、ディスク裏面の記録
領域部にスピンナーヘッドと接触することで傷をつける
ことがあるため、歩留まりの低下を招くという問題があ
った。

【０００４】本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされ
たもので、その目的は、塗布液の裏面への回り込みを防
止し、安定して高い歩留まりの塗布を行うことが可能な
スピンコート装置におけるスピンナーヘッドを提供する
ことにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、吸引口
を有する台部を含み、前記台部上に載置された被処理体
を前記吸引口から吸引することにより前記台部上に吸着
固定すると共に、前記台部を回転させることによって供
給された塗布液を前記被処理体の表面に塗布するスピン
ナーヘッドにおいて、前記台部の被処理体の端部よりも
内側に前記塗布液の被処理体の裏面への回り込みを阻止
するための所定高さの遮蔽壁が周状に設けられ、前記台
部の略中央部には所定間隔を置いて所定高さの第１、第
２の保持壁が周状に設けられ、前記第１、第２の保持壁
の間には前記吸引口が設けられており、前記被処理体を
前記遮蔽壁及び第１、第２の保持壁で保持することによ
って、前記被処理体と台部の間に隙間を設けた状態で前
記塗布液を被処理体に塗布することを特徴とするスピン
コート装置におけるスピンナーヘッドによって達成され
る。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。なお、本実施形態では、スピンナー
ヘッドを光記録ディスクの記録層の保護コート剤を塗布
するスピンコート装置に適用した場合を例として説明す
る。図１は本発明のスピンコート装置におけるスピンナ
ーヘッドの一実施形態を示す縦断面図、図２は平面図で
ある。また、図３はスピンナーヘッドに記録層を有し、
中央に開口部を持つディスクをセットした状態を示す縦
断面図である。

【０００７】図１において、３は被処理体である記録デ
ィスクを保持固定するための円盤状の台部であり、その
下部の基部２と一体に形成されている。また、台部３の
ほぼ中央部には、径が異なる第１、第２のディスク保持
壁４１，４２から成るディスク保持部４が周状に設けら
れ、その第１、第２の保持壁４１，４２の間に吸引口４
５が設けられている。吸引口４５は台部３及び基部２内
に形成された流路４６に繋がっており、図３に示すよう
に記録ディスク７をディスク保持部４に載置した状態で
吸引ポンプ６によって吸引することにより記録ディスク
７を台部３上に吸引固定する構造である。

【０００８】また、台部３上には台部３の端部よりも内
側に円形状の遮蔽壁５が設けられている。これはスピン
コート時の飛散ミストのディスク裏面への回り込みを阻
止するために設けられている。このように飛散ミストの
ディスク裏面への回り込みを防止するためには、第１、
第２のディスク保持壁４１，４２と遮蔽壁５の高さは同
一とするのがよい。例えば、台部３の台部上面３１から
第１、第２のディスク保持壁４１，４２及び遮蔽壁５の
高さを２ｍｍ以下とし、台部３の半径方向の径はディス
ク外周端から５〜１０ｍｍ程度大きくするのが望まし
い。また、遮蔽壁５の半径方向の位置はスピンコート時
の塗布液がディスク裏面へ毛細管現象によって侵入する
ことを防ぐためにディスク外周端から０．５ｍｍ〜１．
０ｍｍ内側であることが望ましい。

【０００９】更に、本実施形態では図３に示すように記
録ディスク７の記録層形成領域７１のディスク裏面側が
スピンナーヘッドと非接触にするために遮蔽壁５の円周
方向の内端は記録層形成領域７１の最外部より外側に形
成され、ディスク保持部４の半径方向の最外端は、記録
層形成領域７１の最内部より内側に形成されている。ま
た、台部３の中心部におけるディスク保持部４の内側は
台部３の台上面３１よりも低くなっており、記録ディス
ク７の中央開口よりも大きい範囲でディスク７とスピン
ナーヘッドの台部３の間に隙間を持つように掘り込み部
３２が設けられている。この構造により、ディスク７の
ハンドリングをディスクの中央開口端部で行うことが容
易となり、塗布後の液体が付着するディスク外周部や記
録領域部に触れることなくディスクの取り外し作業を行
うことが可能である。

【００１０】本実施形態では、図３に示すように記録デ
ィスク７を台部３上の遮蔽壁５及び第１、第２の保持壁
４１，４２から成るディスク保持部４上に載置し、吸引
ポンプによって吸引することによってディスク７を吸着
固定する。この状態で、台部３を矢印方向に回転するこ
とによってディスク７の表面に供給されたコート剤をデ
ィスク７の表面に塗布するものである。

【００１１】

【実施例】次に、本発明の実施例及び比較例について説
明する。なお、比較例としては図４に示すスピンナーヘ
ッドを用いてコート剤の塗布実験を行い、実施例との比
較を行った。

【００１２】（実施例）被処理体である記録ディスク７
としては、図３に示すように直径Φ５０．８ｍｍのポリ
カーボネート製で中心部にΦ９ｍｍの開口部が設けら
れ、その半径方向の外側２ｍｍとなるΦ９ｍｍからΦ１
３ｍｍの範囲の裏面には０．７ｍｍの高さで凸部７２が
形成され、表面の半径方向１１ｍｍから２４ｍｍ、即
ち、Φ２２ｍｍからΦ４８ｍｍの範囲で記録層が形成さ
れたものを用いた。

【００１３】また、本実施例のスピンナーヘッドとして
は、遮蔽壁５の高さをディスク保持部４と同面、且つ、
台部上面３１から１ｍｍとし、記録ディスク７の搭載時
のディスク裏面とスピンナーヘッドの台部３までの隙間
を１ｍｍとした。台部３の直径は７１ｍｍとし、半径方
向にディスク最外周部よりも約５ｍｍはみ出すようにし
た。

【００１４】更に、遮蔽壁５の半径方向の幅を０．５ｍ
ｍ、位置をΦ４８．８ｍｍからΦ４９．８ｍｍの位置に
形成し、遮蔽壁５の半径方向の外周端はディスク７の最
外周部より０．５ｍｍ内側とし、内周端は記録層形成領
域７１の最外部から０．４ｍｍ外側とした。また、ディ
スク保持部４の半径方向の形成領域はΦ１３．０４ｍｍ
からΦ２１ｍｍの範囲とし、その外周端は記録層形成領
域７１の最内部より０．５ｍｍ内側とした。

【００１５】次に、本実施例のスピンナーヘッドを用い
てディスクにコート剤を塗布する実験を行った。具体的
には、本実施例のスピンナーヘッドに記録ディスク７を
固定した状態でスピンナーヘッドを回転させながら粘度
５０ｍＰａ・Ｓの紫外線硬化性樹脂をディスクに塗布
し、平均膜厚５μｍ、１０μｍの保護膜を形成した。ま
た、ディスクの内周側を保持したまま紫外線硬化装置に
移載して、硬化処理を行った後、ディスク裏面を観察し
たところ、遮蔽壁の内側に相当する部分には全く塗布液
の付着は見られず、ディスク７の外周端から０．５ｍｍ
の範囲においても遮蔽壁を取り除いたスピンナーヘッド
で塗布した場合のディスク裏面の外周端から０．５ｍｍ
の範囲に付着している塗布液のミストよりもはるかに少
ない量であった。また、塗布後の記録層形成領域の裏面
側には全く傷も発生せず、安定した記録データの読み取
りが可能となった。

【００１６】（比較例）比較例として図４に示すスピン
ナーヘッドを用い、上記実施例と同一条件でディスクに
保護膜を形成したところ、スピンナーヘッドは全面接触
であるためスピンナーヘッドの最外周がディスク径より
小さい場合はディスクの裏面への飛散ミストの付着が著
しく、スピンナーヘッドの最外周がディスク径より大き
い場合には毛細管現象による塗布液の裏面回り込みが見
られた。また、いずれの場合もスピンナーヘッドとの接
触による傷の存在も確認された。

【００１７】以上により本実施形態のスピンナーヘッド
はディスク裏面への塗布液の回り込みを防止でき、ディ
スク基板へのスピンコートにおいて安定した塗膜形成が
可能であることを確認できた。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、台
部上に遮蔽壁及び第１、第２の保持壁を周状に設けてい
るので、塗布液の被処理体の裏面への回り込みを阻止で
き、被処理体の裏面に液剤が付着することを防止するこ
とができる。また、被処理体の裏面が台部に接触するこ
とがないため、被処理体の裏面、特にディスク状記録媒
体に保護膜を塗布するような場合、記録層に傷が付くこ
とがなく、歩留りの低下を防止できる。更に、台部の第
１、第２の保持壁の内側に掘り込み部を設けているの
で、被処理体のハンドリングを容易に行うことができ、
塗布後において塗布液に干渉することなく被処理体を移
載することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のスピンコート装置におけるスピンナー
ヘッドの一実施形態を示す縦断面図である。

【図２】図１の平面図である。

【図３】図１の実施形態のスピンナーヘッドにディスク
基板を搭載した状態を示す縦断面図である。

【図４】従来例のスピンナーヘッドを示す縦断面図であ
る。

【符号の説明】

２ 基部 ３ 台部 ３１ 台部上面 ３２ 掘り込み部 ４ ディスク保持部 ４１ 第１のディスク保持部 ４２ 第２のディスク保持部 ４５ 吸引口 ４６ 流路 ５ 遮蔽板 ６ 吸引ポンプ ７ 記録ディスク ７１ 記録層形成領域 ７２ 凸部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吸引口を有する台部を含み、前記台部上
   に載置された被処理体を前記吸引口から吸引することに
   より前記台部上に吸着固定すると共に、前記台部を回転
   させることによって供給された塗布液を前記被処理体の
   表面に塗布するスピンナーヘッドにおいて、前記台部の
   被処理体の端部よりも内側に前記塗布液の被処理体の裏
   面への回り込みを阻止するための所定高さの遮蔽壁が周
   状に設けられ、前記台部の略中央部には所定間隔を置い
   て所定高さの第１、第２の保持壁が周状に設けられ、前
   記第１、第２の保持壁の間には前記吸引口が設けられて
   おり、前記被処理体を前記遮蔽壁及び第１、第２の保持
   壁で保持することによって前記被処理体と台部の間に隙
   間を設けた状態で前記塗布液を被処理体に塗布すること
   を特徴とするスピンコート装置におけるスピンナーヘッ
   ド。
2. 【請求項２】 前記台部の第１、第２の保持壁で囲まれ
   た内側の領域に台部の平面よりも深くなるように掘り込
   みが形成されていることを特徴とする請求項１に記載の
   スピンコート装置におけるスピンナーヘッド。
3. 【請求項３】 前記被処理体は、ディスク状記録媒体で
   あり、前記遮蔽壁はディスク状記録媒体の記録層よりも
   外側に、前記第１、第２の保持壁は記録層よりも内側に
   配置されていることを特徴とする請求項１、２のいずれ
   か１項に記載のスピンコート装置におけるスピンナーヘ
   ッド。