JP2003045715A - 機能性流体を利用した位置固定装置 - Google Patents
機能性流体を利用した位置固定装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 位置ずれを起こすことなく所定の位置で２つ
の部材を固定することができる機能性流体を利用した位
置固定装置を提供する。 【解決手段】 可動台２と可動台２に摺動自在に設けら
れる固定台３との間に設けられるＭＲ流体１と、前記固
定台３を介してＭＲ流体１に対して磁場を発生させる電
磁石７と、を備え、電磁石７により磁場を発生させて、
磁力により可動台２と固定台３との相対位置を固定す
る。
の部材を固定することができる機能性流体を利用した位
置固定装置を提供する。 【解決手段】 可動台２と可動台２に摺動自在に設けら
れる固定台３との間に設けられるＭＲ流体１と、前記固
定台３を介してＭＲ流体１に対して磁場を発生させる電
磁石７と、を備え、電磁石７により磁場を発生させて、
磁力により可動台２と固定台３との相対位置を固定す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、摺動自在に設けら
れた２部材間の相対位置を機能性流体を用いて固定する
機能性流体を利用した位置固定装置に関するものであ
る。
れた２部材間の相対位置を機能性流体を用いて固定する
機能性流体を利用した位置固定装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、摺動自在に設けられた対向する２
部材を固定する方法としては、機械的、磁気的な力を用
いた摩擦力等により、直接可動部材に圧力を加えて固定
する方法が一般的である。
部材を固定する方法としては、機械的、磁気的な力を用
いた摩擦力等により、直接可動部材に圧力を加えて固定
する方法が一般的である。
【０００３】そして、このような場合には、対象部材を
吸引したり押付ける為に、負荷剛性の大きい軸受を必要
としている。
吸引したり押付ける為に、負荷剛性の大きい軸受を必要
としている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ような固定方法では、直接圧力を加えたりできないもの
（例えば、磁性流体ガイド等）、ストッパーを起動した
場合に位置を変えたくないものには使用できないという
問題があった。
ような固定方法では、直接圧力を加えたりできないもの
（例えば、磁性流体ガイド等）、ストッパーを起動した
場合に位置を変えたくないものには使用できないという
問題があった。
【０００５】特に、基板上に半導体素子を接合するチッ
プボンダやワイヤの軸合わせ装置等のように、低摺動で
且つ高精度位置決めが必要な分野においては、任意の位
置で固定する方法に課題がある。
プボンダやワイヤの軸合わせ装置等のように、低摺動で
且つ高精度位置決めが必要な分野においては、任意の位
置で固定する方法に課題がある。
【０００６】すなわち、摺動抵抗を小さくして任意の位
置に移動させることはできるが、その位置で固定させよ
うとすると、固定の際の吸引又は押付けの為に位置ずれ
を起こしてしまう。一方、固定の際に位置ずれを起こさ
ないように軸受の負荷剛性を上げようとすると、摺動抵
抗が大きくなってしまう。
置に移動させることはできるが、その位置で固定させよ
うとすると、固定の際の吸引又は押付けの為に位置ずれ
を起こしてしまう。一方、固定の際に位置ずれを起こさ
ないように軸受の負荷剛性を上げようとすると、摺動抵
抗が大きくなってしまう。
【０００７】図４（ａ）は、磁性流体により摺動自在に
移動可能な２部材を示す図であり、同図（ｂ）は、同図
（ａ）における２部材を固定させた状態を示す図であ
る。
移動可能な２部材を示す図であり、同図（ｂ）は、同図
（ａ）における２部材を固定させた状態を示す図であ
る。
【０００８】これは、固定台１０３上を可動台１０２に
取り付けられた磁石１０５と、磁石１０５の磁束により
保持される磁性流体１０６と、により構成される摺動部
により、固定台１０３と可動台１０２とを摺動自在にし
ている。
取り付けられた磁石１０５と、磁石１０５の磁束により
保持される磁性流体１０６と、により構成される摺動部
により、固定台１０３と可動台１０２とを摺動自在にし
ている。
【０００９】図４に示すように、可動台１０２と固定台
１０３との間に磁性流体１０６を介在させることによ
り、低摺動とすることはできる。しかし、固定台１０３
に対して可動台１０２を固定させるために、電磁石１０
７に通電することにより可動台１０２を引き付けて固定
しようとすると、図４（ｂ）に示すように、可動台１０
２は磁性流体１０６を押しのけるようにして電磁石１０
７に引き付けられるため、鉛直方向に変位して位置ずれ
を起こしてしまう。
１０３との間に磁性流体１０６を介在させることによ
り、低摺動とすることはできる。しかし、固定台１０３
に対して可動台１０２を固定させるために、電磁石１０
７に通電することにより可動台１０２を引き付けて固定
しようとすると、図４（ｂ）に示すように、可動台１０
２は磁性流体１０６を押しのけるようにして電磁石１０
７に引き付けられるため、鉛直方向に変位して位置ずれ
を起こしてしまう。
【００１０】本発明は上記の従来技術の課題を解決する
ためになされたもので、その目的とするところは、位置
ずれを起こすことなく所定の位置で２つの部材を固定す
ることができる機能性流体を利用した位置固定装置を提
供することにある。
ためになされたもので、その目的とするところは、位置
ずれを起こすことなく所定の位置で２つの部材を固定す
ることができる機能性流体を利用した位置固定装置を提
供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明にあっては、磁性材で構成される一方の部材
と、該一方の部材と摺動自在に設けられる他方の部材と
の間の相対位置を固定する機能性流体を利用した位置固
定装置であって、前記一方及び他方の部材間に設けられ
る機能性流体と、前記他方の部材を介して前記機能性流
体に対して磁場を発生させる磁場発生手段と、を備え、
前記磁場発生手段により磁場を発生させて、磁力により
前記一方の部材と前記他方の部材との相対位置を固定す
ることを特徴とする。
に本発明にあっては、磁性材で構成される一方の部材
と、該一方の部材と摺動自在に設けられる他方の部材と
の間の相対位置を固定する機能性流体を利用した位置固
定装置であって、前記一方及び他方の部材間に設けられ
る機能性流体と、前記他方の部材を介して前記機能性流
体に対して磁場を発生させる磁場発生手段と、を備え、
前記磁場発生手段により磁場を発生させて、磁力により
前記一方の部材と前記他方の部材との相対位置を固定す
ることを特徴とする。
【００１２】磁場発生手段により磁場が発生すると、機
能性流体中の微粒子各々が磁化されて磁界方向に鎖状の
クラスタを形成する。すなわち、微粒子各々が磁石とな
るクラスタ構造を形成するようになる。したがって、機
能性流体は、外部磁場により、粘性が増大するととも
に、磁石として機能するようになる。
能性流体中の微粒子各々が磁化されて磁界方向に鎖状の
クラスタを形成する。すなわち、微粒子各々が磁石とな
るクラスタ構造を形成するようになる。したがって、機
能性流体は、外部磁場により、粘性が増大するととも
に、磁石として機能するようになる。
【００１３】そして、機能性流体中の磁性微粒子の移動
でクラスタ構造を形成するため、機能性流体自体は外形
を変えることなく、磁石として機能し、一方の部材と他
方の部材との相対位置を固定する。
でクラスタ構造を形成するため、機能性流体自体は外形
を変えることなく、磁石として機能し、一方の部材と他
方の部材との相対位置を固定する。
【００１４】前記磁場発生手段が作動した場合には、該
磁場発生手段により発生された磁場により、前記機能性
流体の粘性が増大するとともに、前記機能性流体と前記
一方の部材とを介して磁気回路が形成されることも好適
である。
磁場発生手段により発生された磁場により、前記機能性
流体の粘性が増大するとともに、前記機能性流体と前記
一方の部材とを介して磁気回路が形成されることも好適
である。
【００１５】前記一方又は他方の部材に設けられて対向
面と隙間を形成する磁力発生手段と、該磁力発生手段に
より発生された磁束により該隙間に保持される磁性流体
と、を有し、前記一方及び他方の部材を摺動自在に支持
する軸受を備えることも好適である。
面と隙間を形成する磁力発生手段と、該磁力発生手段に
より発生された磁束により該隙間に保持される磁性流体
と、を有し、前記一方及び他方の部材を摺動自在に支持
する軸受を備えることも好適である。
【００１６】前記磁場発生手段は、電磁石を備えること
も好適である。
も好適である。
【００１７】前記磁場発生手段は、永久磁石を備えるこ
とも好適である。
とも好適である。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下に図面を参照して、この発明
の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただ
し、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、
材質、形状それらの相対配置などは、発明が適用される
装置の構成や各種条件により適宜変更されるべきもので
あり、この発明の範囲を以下の実施の形態に限定する趣
旨のものではない。
の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただ
し、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、
材質、形状それらの相対配置などは、発明が適用される
装置の構成や各種条件により適宜変更されるべきもので
あり、この発明の範囲を以下の実施の形態に限定する趣
旨のものではない。
【００１９】図１は、本発明の実施の形態に係る機能性
流体を利用した位置固定装置を示す模式図である。図２
は、本実施の形態に係る機能性流体を利用した位置固定
装置において形成される磁気回路を示す模式図である。
図３は、図２のＡ部すなわち機能性流体の内部のクラス
タ構造を示す模式図であり、（ａ）は電磁石ＯＦＦ時、
（ｂ）は電磁石ＯＮ時を示している。
流体を利用した位置固定装置を示す模式図である。図２
は、本実施の形態に係る機能性流体を利用した位置固定
装置において形成される磁気回路を示す模式図である。
図３は、図２のＡ部すなわち機能性流体の内部のクラス
タ構造を示す模式図であり、（ａ）は電磁石ＯＦＦ時、
（ｂ）は電磁石ＯＮ時を示している。
【００２０】本実施の形態に係る機能性流体を利用した
位置固定装置１０は、他方の部材としての固定台３に対
して、固定台３上に低摺動部４を介して設けられた、一
方の部材として磁性材で構成される可動台２を、任意の
位置で固定するものであり、例えば、半導体装置製造時
の構成部品の位置合わせや、光学部品を組み立てる際の
光学要素の調整・位置合わせに好適に適用される。な
お、以下に説明する実施の形態では、低摺動部４に、磁
性流体を利用した流体軸受を適用した例について説明す
るが、固定台３上に可動台２を低摺動で保持するもので
あればこれに限らず、例えば、空気軸受であってもよ
い。
位置固定装置１０は、他方の部材としての固定台３に対
して、固定台３上に低摺動部４を介して設けられた、一
方の部材として磁性材で構成される可動台２を、任意の
位置で固定するものであり、例えば、半導体装置製造時
の構成部品の位置合わせや、光学部品を組み立てる際の
光学要素の調整・位置合わせに好適に適用される。な
お、以下に説明する実施の形態では、低摺動部４に、磁
性流体を利用した流体軸受を適用した例について説明す
るが、固定台３上に可動台２を低摺動で保持するもので
あればこれに限らず、例えば、空気軸受であってもよ
い。
【００２１】図１に示すように、固定台３上には、可動
台２が、低摺動部４により摺動自在に設けられている。
台２が、低摺動部４により摺動自在に設けられている。
【００２２】また、低摺動部４は、可動台２の両端に設
けられた磁力発生手段としての永久磁石５と、永久磁石
５の固定台３側表面に設けられた磁性流体６と、から構
成されている。
けられた磁力発生手段としての永久磁石５と、永久磁石
５の固定台３側表面に設けられた磁性流体６と、から構
成されている。
【００２３】永久磁石５は、可動台２が摺動する固定台
３の表面に対して略直交する方向に異極が配されてお
り、永久磁石５の固定台３側に磁性流体６が固定台３に
接触するように設けられている。
３の表面に対して略直交する方向に異極が配されてお
り、永久磁石５の固定台３側に磁性流体６が固定台３に
接触するように設けられている。
【００２４】低摺動部４においては、永久磁石５が磁性
流体６を引き付ける力に相当する分の反発力を生じるこ
ととなり、すなわち、磁性流体６が接触する対向面であ
る固定台３から浮く方向に力が発生することとなり、こ
の磁気浮揚力によりクリアランスの維持や摺動抵抗の低
減といった軸受機能を発揮させている。
流体６を引き付ける力に相当する分の反発力を生じるこ
ととなり、すなわち、磁性流体６が接触する対向面であ
る固定台３から浮く方向に力が発生することとなり、こ
の磁気浮揚力によりクリアランスの維持や摺動抵抗の低
減といった軸受機能を発揮させている。
【００２５】これにより、可動台２は、固定台３上を低
摺動状態で自在に移動可能となる。
摺動状態で自在に移動可能となる。
【００２６】そして、本実施の形態の特徴的な構成とし
て、固定台３と可動台２との間には、機能性流体として
ＭＲ流体（Ｍａｇｎｅｔｏ−Ｒｈｅｏｌｏｇｉｃａｌ
Ｆｌｕｉｄ：磁気粘性流体）１が設けられている。
て、固定台３と可動台２との間には、機能性流体として
ＭＲ流体（Ｍａｇｎｅｔｏ−Ｒｈｅｏｌｏｇｉｃａｌ
Ｆｌｕｉｄ：磁気粘性流体）１が設けられている。
【００２７】ＭＲ流体は、外部磁場によりレオロジー特
性を変化させることが可能な機能性流体である。
性を変化させることが可能な機能性流体である。
【００２８】ＭＲ流体に外部から磁場が与えられると、
微粒子各々が磁化されて磁界方向に鎖状のクラスタを形
成し、クラスタのもつ張力が降伏応力の変化に対応し、
このクラスタ形成が流体の流動抵抗となることにより粘
度が上昇するとされている。
微粒子各々が磁化されて磁界方向に鎖状のクラスタを形
成し、クラスタのもつ張力が降伏応力の変化に対応し、
このクラスタ形成が流体の流動抵抗となることにより粘
度が上昇するとされている。
【００２９】そして、固定台３の下側、すなわち、可動
台２及びＭＲ流体１とは反対側であって、ＭＲ流体１に
略相当する位置には、磁場を発生させる磁場発生手段と
して電磁石７が設けられている。
台２及びＭＲ流体１とは反対側であって、ＭＲ流体１に
略相当する位置には、磁場を発生させる磁場発生手段と
して電磁石７が設けられている。
【００３０】電磁石７は、図においては、Ｅ型コア８と
コイル９とを備えた構成としているが、これに限らず、
例えばＩ型コアとコイルとを備えた構成としてもよい。
コイル９とを備えた構成としているが、これに限らず、
例えばＩ型コアとコイルとを備えた構成としてもよい。
【００３１】また、磁場発生手段としては、電磁石に限
らず、永久磁石を用い、永久磁石をモータやソレノイド
等のアクチュエータにより移動させてＭＲ流体に対して
磁場を発生させてもよい。
らず、永久磁石を用い、永久磁石をモータやソレノイド
等のアクチュエータにより移動させてＭＲ流体に対して
磁場を発生させてもよい。
【００３２】以上のように構成することにより、電磁石
７に通電されていない場合には、低摺動部４により摺動
抵抗が小さい状態で、固定台３に対して可動台２を摺動
自在に移動させることができる。
７に通電されていない場合には、低摺動部４により摺動
抵抗が小さい状態で、固定台３に対して可動台２を摺動
自在に移動させることができる。
【００３３】このとき、ＭＲ流体１の内部では、図３
（ａ）に示すように、ＭＲ流体中の微粒子は散乱してお
り、ＭＲ流体１は粘性の小さい状態となっている。
（ａ）に示すように、ＭＲ流体中の微粒子は散乱してお
り、ＭＲ流体１は粘性の小さい状態となっている。
【００３４】そして、固定台３に対して可動台２を所定
の位置に移動させた後、電磁石７に通電することによ
り、ＭＲ流体１は、ＭＲ流体中の微粒子各々が磁化され
て磁界方向に鎖状のクラスタを形成する。すなわち、図
３（ｂ）に示すように、微粒子各々が磁石となるクラス
タ構造を形成するようになる。
の位置に移動させた後、電磁石７に通電することによ
り、ＭＲ流体１は、ＭＲ流体中の微粒子各々が磁化され
て磁界方向に鎖状のクラスタを形成する。すなわち、図
３（ｂ）に示すように、微粒子各々が磁石となるクラス
タ構造を形成するようになる。
【００３５】したがって、ＭＲ流体１は、電磁石７の通
電状態においては、外部磁場により、粘性が増大すると
ともに、磁石として機能するようになる。
電状態においては、外部磁場により、粘性が増大すると
ともに、磁石として機能するようになる。
【００３６】ここで、可動台２と固定台３との間に介在
しているＭＲ流体１は、電磁石７に通電された場合に、
ＭＲ流体中の磁性微粒子の移動でクラスタ構造を形成す
るため、ＭＲ流体自体は外形を変えることなく、磁石と
して機能するようになるものである。
しているＭＲ流体１は、電磁石７に通電された場合に、
ＭＲ流体中の磁性微粒子の移動でクラスタ構造を形成す
るため、ＭＲ流体自体は外形を変えることなく、磁石と
して機能するようになるものである。
【００３７】そして、可動台２は磁性体で構成されてい
るため、図２に示すように、電磁石７，ＭＲ流体１と可
動台２とを介する磁気回路１１が形成されるようにな
る。
るため、図２に示すように、電磁石７，ＭＲ流体１と可
動台２とを介する磁気回路１１が形成されるようにな
る。
【００３８】この磁気回路１１により、可動台２は固定
台３に磁気的に固定される。
台３に磁気的に固定される。
【００３９】このように、可動台２と固定台３との間に
ＭＲ流体１を介在させて、このＭＲ流体１に電磁石７に
より磁場を与えることにより、ＭＲ流体１は外形を変え
ることなく磁石として機能するので、通電により磁気的
に、可動台２と固定台３との位置ずれを起こすことなく
可動台２を固定台３に固定させることが可能となる。
ＭＲ流体１を介在させて、このＭＲ流体１に電磁石７に
より磁場を与えることにより、ＭＲ流体１は外形を変え
ることなく磁石として機能するので、通電により磁気的
に、可動台２と固定台３との位置ずれを起こすことなく
可動台２を固定台３に固定させることが可能となる。
【００４０】なお、本実施の形態においては、他方の部
材としての固定台３側に電磁石７を設けているが、他方
の部材を可動台２とし一方の部材を固定台３としてもよ
く、この場合には可動台２側に磁場発生手段が設けられ
ることとなる。
材としての固定台３側に電磁石７を設けているが、他方
の部材を可動台２とし一方の部材を固定台３としてもよ
く、この場合には可動台２側に磁場発生手段が設けられ
ることとなる。
【００４１】また、機能性流体として、ＭＲ流体を用い
たが、電場にも磁場にも応答するＥＭＲ流体を適用する
ことも可能である。
たが、電場にも磁場にも応答するＥＭＲ流体を適用する
ことも可能である。
【００４２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
一方の部材と他方の部材との間に機能性流体を介在させ
て、この機能性流体に磁場発生手段により磁場を与える
ことにより、機能性流体は外形を変えることなく磁石と
して機能させることができ、磁気的に、一方の部材と他
方の部材との位置ずれを起こすことなく、一方の部材と
他方の部材とを固定させることが可能となる。
一方の部材と他方の部材との間に機能性流体を介在させ
て、この機能性流体に磁場発生手段により磁場を与える
ことにより、機能性流体は外形を変えることなく磁石と
して機能させることができ、磁気的に、一方の部材と他
方の部材との位置ずれを起こすことなく、一方の部材と
他方の部材とを固定させることが可能となる。
【図１】本発明の実施の形態に係る機能性流体を利用し
た位置固定装置を示す模式図である。
た位置固定装置を示す模式図である。
【図２】実施の形態に係る機能性流体を利用した位置固
定装置において形成される磁気回路を示す模式図であ
る。
定装置において形成される磁気回路を示す模式図であ
る。
【図３】機能性流体の内部のクラスタ構造を示す模式図
であり、（ａ）は電磁石ＯＦＦ時、（ｂ）は電磁石ＯＮ
時を示している。
であり、（ａ）は電磁石ＯＦＦ時、（ｂ）は電磁石ＯＮ
時を示している。
【図４】従来技術に係り、（ａ）は磁性流体で２部材を
摺動自在とした状態を示す模式図であり、（ｂ）は
（ａ）において電磁石をＯＮとした状態を示す模式図で
ある。
摺動自在とした状態を示す模式図であり、（ｂ）は
（ａ）において電磁石をＯＮとした状態を示す模式図で
ある。
１ ＭＲ流体
２ 可動台
３ 固定台
４ 低摺動部
５ 永久磁石
６ 磁性流体
７ 電磁石
８ Ｅ型コア
９ コイル
１０ 位置固定装置
１１ 磁気回路
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１３年９月１２日（２００１．９．１
２）
２）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】これは、固定台１０３上を可動台１０２に
取り付けられた磁石１０５と、磁石１０５の磁場により
保持される磁性流体１０６と、により構成される摺動部
により、固定台１０３と可動台１０２とを摺動自在にし
ている。
取り付けられた磁石１０５と、磁石１０５の磁場により
保持される磁性流体１０６と、により構成される摺動部
により、固定台１０３と可動台１０２とを摺動自在にし
ている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】前記一方又は他方の部材に設けられて対向
面と隙間を形成する軸受部磁場発生手段と、該軸受部磁
場発生手段により発生された磁場により該隙間に保持さ
れる磁性流体と、を有し、前記一方及び他方の部材を摺
動自在に支持する軸受を備えることも好適である。
面と隙間を形成する軸受部磁場発生手段と、該軸受部磁
場発生手段により発生された磁場により該隙間に保持さ
れる磁性流体と、を有し、前記一方及び他方の部材を摺
動自在に支持する軸受を備えることも好適である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２２】また、低摺動部４は、可動台２の両端に設
けられた軸受部磁場発生手段としての永久磁石５と、永
久磁石５の固定台３側表面に設けられた磁性流体６と、
から構成されている。
けられた軸受部磁場発生手段としての永久磁石５と、永
久磁石５の固定台３側表面に設けられた磁性流体６と、
から構成されている。
Claims (5)
- 【請求項１】磁性材で構成される一方の部材と、該一方
の部材と摺動自在に設けられる他方の部材との間の相対
位置を固定する位置固定装置であって、 前記一方及び他方の部材間に設けられる機能性流体と、 前記他方の部材を介して前記機能性流体に対して磁場を
発生させる磁場発生手段と、 を備え、 前記磁場発生手段により磁場を発生させて、磁力により
前記一方の部材と前記他方の部材との相対位置を固定す
ることを特徴とする機能性流体を利用した位置固定装
置。 - 【請求項２】前記磁場発生手段が作動した場合には、該
磁場発生手段により発生された磁場により、前記機能性
流体の粘性が増大するとともに、前記機能性流体と前記
一方の部材とを介して磁気回路が形成されることを特徴
とする請求項１に記載の機能性流体を利用した位置固定
装置。 - 【請求項３】前記一方又は他方の部材に設けられて対向
面と隙間を形成する磁力発生手段と、該磁力発生手段に
より発生された磁束により該隙間に保持される磁性流体
と、を有し、前記一方及び他方の部材を摺動自在に支持
する軸受を備えることを特徴とする請求項１又は２に記
載の機能性流体を利用した位置固定装置。 - 【請求項４】前記磁場発生手段は、電磁石を備えること
を特徴とする請求項１，２又は３に記載の機能性流体を
利用した位置固定装置。 - 【請求項５】前記磁場発生手段は、永久磁石を備えるこ
とを特徴とする請求項１，２又は３に記載の機能性流体
を利用した位置固定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001228539A JP2003045715A (ja) | 2001-07-27 | 2001-07-27 | 機能性流体を利用した位置固定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001228539A JP2003045715A (ja) | 2001-07-27 | 2001-07-27 | 機能性流体を利用した位置固定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003045715A true JP2003045715A (ja) | 2003-02-14 |
Family
ID=19061034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001228539A Withdrawn JP2003045715A (ja) | 2001-07-27 | 2001-07-27 | 機能性流体を利用した位置固定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003045715A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007199583A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Pentax Corp | ステージ装置 |
| KR101679242B1 (ko) | 2015-07-01 | 2016-11-24 | 인하대학교 산학협력단 | Ｍｒ 유체를 이용한 형상 변형 장치 |
| JP2017167604A (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-21 | アルプス電気株式会社 | 入力装置 |
-
2001
- 2001-07-27 JP JP2001228539A patent/JP2003045715A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007199583A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Pentax Corp | ステージ装置 |
| JP4714594B2 (ja) * | 2006-01-30 | 2011-06-29 | Ｈｏｙａ株式会社 | ステージ装置 |
| KR101679242B1 (ko) | 2015-07-01 | 2016-11-24 | 인하대학교 산학협력단 | Ｍｒ 유체를 이용한 형상 변형 장치 |
| JP2017167604A (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-21 | アルプス電気株式会社 | 入力装置 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20081007 |