JP2003042806A

JP2003042806A - 変位測定装置

Info

Publication number: JP2003042806A
Application number: JP2001230333A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Warabe; 毅童
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2001-07-30
Filing date: 2001-07-30
Publication date: 2003-02-13

Abstract

(57)【要約】【課題】原信号の振幅異常の検出は勿論、オフセット
異常も検出でき、しかも、移動物体の停止の際の誤検出
を防止できる変位測定装置を提供する。【解決手段】移動物体に設けられたスケールの変位を
エンコーダヘッド１により読取りＡ、Ｂ相の原信号を出
力するとともに、これらＡ、Ｂ相の原信号の異常判定を
可能にした変位測定装置であって、エンコーダヘッド１
から出力される原信号より９０度位相が異なる正弦波信
号と余弦波信号をプリアンプ２より出力するとともに、
これら正弦波信号および余弦波信号の間の波動部分を波
動部分抽出手段４ａにより抽出し、この抽出された波動
部分に基づいて平滑増幅手段４ｃにより直流信号を生成
し、この直流信号と予め設定された範囲値とを比較表示
手段４ｄで比較し、この比較結果を表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、異常判別手段を有
するエンコーダなどの変位測定装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】変位測定装置であるエンコーダは、エン
コーダヘッドの受光手段より得られる９０°位相差をも
つ２つの正弦波信号を用いて移動物体の移動量や移動方
向などを検出可能にしているが、さらに、エンコーダの
検出分解能を高めるために、２つの正弦波信号の電気信
号に対して信号内挿回路により内挿処理を行うことによ
り、より高分解能の矩形波出力を得られるようにもして
いる。

【０００３】ところで、このようなエンコーダでは、移
動物体側に設けられたスケールを読取るエンコーダヘッ
ドを設置する場合に、スケールとエンコーダヘッドとの
間のギャップが正しく設定されていることが重要で、仮
に、これらの設定不良によりスケールと該スケールを読
取るヘッドとの相対的移動の際に、スケールを読取る手
段からの原信号に異常が生じると、信号内挿回路におい
て正しく内挿処理を行うことができないという問題を生
じる。

【０００４】このような問題を解決する方法として、例
えば、特開平８-２１９８０９号公報には、エンコーダ
のスケール読み取り手段からの正弦波信号と余弦波信号
の２乗和信号の変化を検知し、この信号に基づいて異常
を検出すると警告信号を出力する異常検出手段を設ける
ようにしたものが提案されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに正弦波信号と余弦波信号の２乗和信号の変化から異
常検出を行うものは、スケールを読取る読取手段からの
正弦波信号および余弦波信号の原信号の振幅の異常検出
はできるが、例えば、原信号の一方のオフセットに異常
が生じたような場合も、２乗和の信号ＶMが予め設定さ
れた正常時の最大値ＶMAXと最小値ＶMINとの領域にあれ
ば、正常と判断してしまい、このような場合のオフセッ
トの異常検出ができない。また、逆に、移動物体が停止
して、原信号の振幅が零になったような場合は、２乗和
の信号ＶMが最大値ＶMAXと最小値ＶMINの領域から外れ
て、ヘッド側に何らかの異常があったとみなされ、間違
って異常信号ＳＡを出力してしまうことがあった。

【０００６】さらに、上述した引例のものは、２乗和の
信号ＶMを得るのに乗算器を使うため、固有な集積回路
(ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓｐｅｃｉｆｉｃｅｉｎ
ｔｅｇｒａｔｅｄｃｉｒｃｕｉｔ；ＡＳＩＣ)として
集積した形で作成する場合、製造しずらいばかりか、コ
スト的にも不利になるという問題がある。

【０００７】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、原信号の振幅異常の検出は勿論、オフセット異常も
検出でき、しかも、移動物体の停止の際の誤検出を防止
できる変位測定装置を提供することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
移動物体に設けられたスケールの変位を読取り少なくと
も２つの原信号を出力するスケール読取り手段を有し、
前記スケール読取り手段から出力される原信号の異常判
定を可能にした変位測定装置において、前記スケール読
取り手段から出力される原信号より９０度位相が異なる
正弦波信号と余弦波信号を出力する信号整形手段と、前
記信号整形手段より出力される正弦波信号および余弦波
信号の間の波動部分を抽出する波動部分抽出手段と、前
記波動部分抽出手段により抽出された波動部分に基づい
て直流信号を生成する直流信号生成手段と、前記直流信
号生成手段により生成された直流信号と予め設定された
範囲値とを比較するとともに、この比較結果を表示する
比較表示手段とを具備したことを特徴としている。

【０００９】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記波動部分抽出手段により抽出された波
動部分に所定レベルの調整用信号を加算するレベル調整
手段をさらに有し、前記直流信号生成手段は、レベル調
整手段により所定レベルの調整用信号が加算された信号
に基づいて直流信号を生成することを特徴としている。

【００１０】請求項３記載の発明は、請求項１または２
記載の発明において、前記比較表示手段は、予め設定さ
れた範囲値として最小値と最大値を有し、これら最小値
および最大値と前記直流信号生成手段により生成された
直流信号との比較結果からアンダー異常表示、正常表
示、オーバー異常表示のいずれかを行うことを特徴とし
ている。

【００１１】請求項４記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記信号整形手段は、前記スケール読取り
手段から出力される原信号より差動式の正弦波信号およ
び余弦波信号を出力することを特徴としている。

【００１２】この結果、本発明によれば、スケール読取
り手段より得られる原信号の振幅の異常を始めとして、
オフセットの異常を検出できる。

【００１３】また、本発明によれば、移動物体側が停止
した際に、誤って異常の検出をしてしまうのを防止する
ことができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。

【００１５】(第１の実施の形態)図１は、本発明が適用
される変位測定装置としてのエンコーダの概略構成を示
している。

【００１６】図において、１はスケール読取り手段とし
てのエンコーダヘッドで、このエンコーダヘッド１は、
移動物体側に設けられたスケール(不図示)の変位を読み
取って、Ａ相、Ｂ相の２つの原信号を出力するものであ
る。

【００１７】エンコーダヘッド１には、信号整形手段と
してプリアンプ２が接続されている。このプリアンプ２
は、エンコーダヘッド１からのＡ相、Ｂ相の原信号を増
幅整形し、図２（ａ）に示すような近似正弦波信号Ｖａ
＝Ａｓｉｎ（ｘ）と、それより９０度位相が異なる近似
余弦波信号Ｖｂ＝Ｂｃｏｓ（ｘ）を出力するようにして
いる。

【００１８】プリアンプ２には、内挿手段３と異常判別
手段４が接続されている。内挿手段３は、プリアンプ２
からの２つの信号Ｖａ、Ｖｂより公知の方法によりパル
スを内挿して、２相の矩形波またはアップダウンパルス
を出力するようにしている。この場合、内挿手段３の信
号内挿方式は、例えば、抵抗分割方式が適用され、正弦
波信号と余弦波信号を複数の組抵抗を利用して分割し
て、それぞれの分割値のゼロクロスをコンパレータによ
り求める位相ディジタイザ等が用いられる。

【００１９】そして、このような内挿手段３からのアッ
プダウンパルスは、パルス出力手段５に送られ、このパ
ルス出力手段５において、アップダウンパルス数を数え
ることにより、移動物体の移動速度(回転速度)や移動方
向(回転方向)等の変位情報を検出するようになってい
る。

【００２０】一方、異常判別手段４は、波動部分抽出手
段４ａ、レベル調整手段としての停止時誤動作防止手段
４ｂ、直流信号生成手段としての平滑増幅手段４ｃおよ
び比較表示手段４ｄを有している。

【００２１】ここで、波動部分抽出手段４ａは、図２
（ａ）に示すプリアンプ２から入力される正弦波信号Ｖ
ａと余弦波信号Ｖｂより、同図(ｂ)に示すような、正弦
波信号Ｖａと余弦波信号Ｖｂの間の波動部分Ｖａｂを抽
出するものである。この場合、波動部分Ｖａｂは、Ｖａｂ＝０．６×（｜Ｖａ｜＋｜Ｖｂ｜）から求められる。

【００２２】停止時誤動作防止手段４ｂは、波動部分抽
出手段４ａで抽出された波動部分Ｖａｂに対して所定レ
ベルのレベル調整用信号Ｖｏｆｔを加算してレベル変換
を行い、このレベル変換した結果を絶対値に変換し、図
２(ｃ)に示すような信号Ｖｓを出力するものである。こ
こで、レベル調整用信号Ｖｏｆｔは、移動物体の移動停
止によりプリアンプ２からの２つの信号Ｖａ、Ｖｂが零
になったときも、所定レベルの信号Ｖｓを出力して、こ
の時の誤検出を防止するためのものである。

【００２３】この場合、信号Ｖｓは、Ｖｏｆｔ＝０．２
Ｖとすると、Ｖｓ＝｜０．６（｜Ｖａ｜＋｜Ｖｂ｜）−０．２｜ …（１）より求められる。

【００２４】平滑増幅手段４ｃは、停止時誤動作防止手
段４ｂから入力されたリップルを含む信号Ｖｓをローパ
スフィルタを通した後、平滑および増幅を行い、図２
(ｄ)に示すような直流信号Ｖｄｃに変換するものであ
る。この場合、直流信号Ｖｄｃは、Ｖｄｃ＝９×（Ｖｓが平滑フィルタを通った値） …（２）より求められる。

【００２５】比較表示手段４ｄは、平滑増幅手段４ｃか
ら出力される直流信号Ｖｄｃが、図２(ｄ)に示すような
予め設定した範囲値、つまり、最小値Ｖｌと最大値Ｖｈ
の範囲にあるか否かを比較し、Ｖｄｃが、Ｖｄｃ≦Ｖｌ
であれば、アンダー異常表示を行い、Ｖｌ＜Ｖｄｃ＜Ｖ
ｈであれば、正常表示を行い、Ｖｄｃ≧Ｖｈであれば、
オーバー異常表示を行うようになっている。ここで、最
小値Ｖｌと最大値Ｖｈは、装置に要求される精度やこれ
までの経験などによって決定する。

【００２６】次に、このように構成された実施の形態の
動作を説明する。

【００２７】いま、エンコーダヘッド１が、移動物体側
に設けられたスケール(不図示)の変位を読み取ってＡ
相、Ｂ相の原信号を出力すると、プリアンプ２は、エン
コーダヘッド１からのＡ相、Ｂ相の原信号を増幅整形
し、図２（ａ）に示す、例えば１００ＫＨｚの近似正弦
波信号Ｖａ＝Ａｓｉｎ（ｘ）と、それより９０度位相が
異なる近似余弦波信号Ｖｂ＝Ｂｃｏｓ（ｘ）の２つの信
号を出力する。

【００２８】これら２つの信号は、波動部分抽出手段４
ａに送られる。波動部分抽出手段４ａは、これらの正弦
波信号Ｖａと余弦波信号Ｖｂより、図２(ｂ)に示す波動
部分Ｖａｂを０．６×（｜Ｖａ｜＋｜Ｖｂ｜）より抽出
し、停止時誤動作防止手段４ｂに入力する。停止時誤動
作防止手段４ｂは、波動部分抽出手段４ａで抽出された
波動部分Ｖａｂに対しレベル調整用信号Ｖｏｆｔを加算
してレベル変換を行い、このレベル変換した結果を絶対
値に変換し、図２(ｃ)に示す信号Ｖｓを出力する。

【００２９】この信号Ｖｓは、平滑増幅手段４ｃに入力
される。平滑増幅手段４ｃでは、停止時誤動作防止手段
４ｂから入力されたリップルを含む信号Ｖｓを平滑増幅
して図２(ｄ)に示す直流信号Ｖｄｃに変換する。

【００３０】この直流信号Ｖｄｃは、比較表示手段４ｄ
に入力される。比較表示手段４ｄは、平滑増幅手段４ｃ
から出力される直流信号Ｖｄｃと図２(ｄ)に示す予め設
定された正常時の最小値Ｖｌ（１．５Ｖ）と最大値Ｖｈ
（２．０Ｖ）の範囲とを比較し、ここでの比較が、Ｖｄ
ｃ≦Ｖｌであれば、アンダー異常表示、Ｖｌ＜Ｖｄｃ＜
Ｖｈであれば、正常表示、Ｖｄｃ≧Ｖｈであれば、オー
バー異常表示をそれぞれ行うようになる。

【００３１】図２は、エンコーダヘッド１のＡＢ相の原
信号から得られる正弦波信号Ｖａと余弦波信号Ｖｂが正
常なケースを示している。この場合、プリアンプ２から
出力される正弦波信号Ｖａと余弦波信号Ｖｂは、図２
(ａ)に示すように、ともに１００ＫＨｚで、振幅が０．
５Ｖとなっている。また、これら正弦波信号Ｖａと余弦
波信号Ｖｂから波動部分抽出手段４ａより抽出される波
動部分Ｖａｂは、同図（ｂ）となり、この波動部分Ｖａ
ｂにレベル調整用信号Ｖｏｆｔを加算した停止時誤動作
防止手段４ｂからの出力信号Ｖｓは、上述した(１)式か
ら同図（ｃ）、さらに、出力信号Ｖｓを平滑増幅した平
滑増幅手段４ｃからの直流信号Ｖｄｃは、上述した(２)
式から同図(ｄ)となる。そして、この直流信号Ｖｄｃ
は、比較表示手段４ｄで最小値Ｖｌと最大値Ｖｈの範囲
と比較されるが、ここでは、Ｖｌ＜Ｖｄｃ＜Ｖｈとな
り、この結果から、正常表示が行われる。

【００３２】次に、図３および図４は、エンコーダヘッ
ド１のＡＢ相の原信号から得られる正弦波信号Ｖａと余
弦波信号Ｖｂの振幅が変化したケースを示している。

【００３３】図３（ａ）では、余弦波信号Ｖｂの振幅
が、正弦波信号Ｖａの振幅（０．５Ｖ）に対して０．１
Ｖ低下し、０．４Ｖになっている。この場合、これら正
弦波信号Ｖａと余弦波信号Ｖｂから波動部分抽出手段４
ａより抽出される波動部分Ｖａｂは、同図（ｂ）とな
り、この波動部分Ｖａｂにレベル調整用信号Ｖｏｆｔを
加算した停止時誤動作防止手段４ｂからの出力信号Ｖｓ
は、上述した(１)式から同図（ｃ）で、さらに、出力信
号Ｖｓを平滑増幅した平滑増幅手段４ｃからの直流信号
Ｖｄｃは、上述した(２)式から同図(ｄ)となる。そし
て、この直流信号Ｖｄｃは、比較表示手段４ｄで最小値
Ｖｌと最大値Ｖｈの範囲と比較されるが、ここでは、Ｖ
ｄｃ≦Ｖｌとなり、この結果からアンダー異常表示が行
われる。

【００３４】また、図４（ａ）では、余弦波信号Ｖｂの
振幅が、正弦波信号Ｖａの振幅（０．５Ｖ）に対して
０．１５Ｖ大きく、０．６５Ｖになっている。この場
合、これら正弦波信号Ｖａと余弦波信号Ｖｂから波動部
分抽出手段４ａより抽出される波動部分Ｖａｂは、同図
（ｂ）となり、この波動部分Ｖａｂにレベル調整用信号
Ｖｏｆｔを加算した停止時誤動作防止手段４ｂからの出
力信号Ｖｓは、上述した(１)式から同図（ｃ）、さら
に、出力信号Ｖｓを平滑増幅した平滑増幅手段４ｃから
の直流信号Ｖｄｃは、上述した(２)式から同図(ｄ)とな
る。そして、この直流信号Ｖｄｃは、比較表示手段４ｄ
で最小値Ｖｌと最大値Ｖｈの範囲と比較されるが、ここ
ではＶｄｃ≧Ｖｈとなり、この結果からオーバー異常表
示が行われる。

【００３５】次に、図５は、エンコーダヘッド１からの
ＡＢ相の原信号のうち、Ｂ相信号断線により出力が停止
したケースを示している。この場合、図５(ａ)に示すよ
うに、プリアンプ２では、正弦波信号Ｖａの振幅（０．
５Ｖ）に対して、余弦波信号Ｖｂの振幅は、零になって
いる。これにより、波動部分抽出手段４ａより抽出され
る波動部分Ｖａｂは、同図（ｂ）となり、この波動部分
Ｖａｂにレベル調整用信号Ｖｏｆｔを加算した停止時誤
動作防止手段４ｂからの出力信号Ｖｓは、上述した(１)
式から同図（ｃ）、さらに、出力信号Ｖｓを平滑増幅し
た平滑増幅手段４ｃからの直流信号Ｖｄｃは、上述した
(２)式から同図(ｄ)となる。そして、この直流信号Ｖｄ
ｃは、比較表示手段４ｄで最小値Ｖｌと最大値Ｖｈの範
囲と比較されるが、ここではＶｄｃ≦Ｖｌとなり、この
結果からアンダー異常表示が行われる。

【００３６】次に、図６は、移動物体側が停止してエン
コーダヘッド１からＡＢ相の原信号のいずれにも出力が
なケースを示している。この場合、図６(ａ)に示すよう
に、正弦波信号Ｖａおよび余弦波信号Ｖｂともに振幅が
零になっている。これにより、波動部分抽出手段４ａよ
り抽出される波動部分Ｖａｂは、同図（ｂ）に示すよう
に零となり、停止時誤動作防止手段４ｂからの出力信号
Ｖｓは、上述した(１)式から同図（ｃ）に示すように
０．２Ｖで、さらに、出力信号Ｖｓを平滑増幅した平滑
増幅手段４ｃからの直流信号Ｖｄｃは、上述した(２)式
から同図(ｄ)に示すように１．８Ｖとなる。そして、こ
の直流信号Ｖｄｃは、比較表示手段４ｄで最小値Ｖｌ
（１．５Ｖ）と最大値Ｖｈ（２Ｖ）の範囲と比較される
が、ここでは、Ｖｌ＜Ｖｄｃ＜Ｖｈとなるので、異常表
示が誤ってされることがない。

【００３７】図７は、エンコーダヘッド１からのＡＢ相
の原信号のうち、Ｂ相の原信号のオフセットがシフトし
ているケースを示している。この場合、図７（ａ）に示
すように、プリアンプ２では、正弦波信号Ｖａに対し
て、余弦波信号Ｖｂのオフセットが零から＋０．３５Ｖ
シフトしている。これにより、波動部分抽出手段４ａよ
り抽出される波動部分Ｖａｂは、同図（ｂ）となり、こ
の波動部分Ｖａｂにレベル調整用信号Ｖｏｆｔを加算し
た停止時誤動作防止手段４ｂからの出力信号Ｖｓは、上
述した(１)式から同図（ｃ）、さらに、出力信号Ｖｓを
平滑増幅した平滑増幅手段４ｃからの直流信号Ｖｄｃ
は、上述した(２)式から同図(ｄ)となる。そして、この
直流信号Ｖｄｃは、比較表示手段４ｄで最小値Ｖｌと最
大値Ｖｈの範囲と比較されるが、ここではＶｄｃ≦Ｖｌ
となり、この結果からアンダー異常表示が行われる。

【００３８】従って、このようにすれば、エンコーダヘ
ッド１から得られる原信号の振幅の異常は勿論、オフセ
ットの異常を検出でき、さらに移動物体側が停止した際
に、誤って異常の検出をしてしまうのを防止することが
でき、常に安定した動作を期待することができる。ま
た、従来のように乗算器を用いることがないので、固有
な集積回路(ＡＳＩＣ)として集積した形で作製する場合
に有利にできる。

【００３９】なお、上述した平滑増幅手段４ｃでは、リ
ップルを含む信号Ｖｓを平滑増幅するようにしている
が、これをピーク値検出手段に置き換えて、リップルを
含む信号Ｖｓのピーク値を検出し、これを直流信号Ｖｄ
ｃに変換し比較表示手段４ｄに出力して異常判別を行う
ようにしてもよい。

【００４０】（第２の実施の形態）次に、本発明の第２
の実施の形態を説明する。

【００４１】図８は、本発明の第２の実施の形態の概略
構成を示すもので、図１と同一部分には、同符号を付し
ている。

【００４２】この場合、エンコーダヘッド１からのＡ
相、Ｂ相の信号が入力されるプリアンプ１１は、差動式
の正弦波信号±Ｖａと余弦波信号±Ｖｂを出力するよう
になっている。プリアンプ１１からの正弦波信号±Ｖａ
および余弦波信号±Ｖｂは、異常判別手段４の波動部分
抽出手段４ａに入力される。波動部分抽出手段４ａは、
これら正弦波信号±Ｖａと余弦波信号±Ｖｂから、これ
ら間の波動部分Ｖａｂを抽出するようにしている。

【００４３】その他は、上述したと同様である。

【００４４】このようにすると、エンコーダヘッド１か
らのＡ、Ｂ相の信号により、プリアンプ１１は、差動式
の正弦波信号±Ｖａと余弦波信号±Ｖｂ、つまり図９に
示すような＋ｓｉｎ（ｘ）、−ｓｉｎ（ｘ）と＋ｃｏｓ
（ｘ）、−ｃｏｓ（ｘ）の各信号を出力する。次に、こ
れら信号により、波動部分抽出手段４ａは、同図上の太
線で示す波動部分Ｖａｂを抽出し、停止時誤動作防止手
段４ｂに入力する。

【００４５】そして、これ以降、上述した第１の実施の
形態で述べたと同様な各種の処理が実行される。

【００４６】従って、このようにしても、エンコーダヘ
ッド１から得られる原信号の振幅の異常は勿論、オフセ
ットの異常を検出でき、さらに移動物体側が停止した際
に、誤って異常の検出をしてしまうのを防止することが
でき、常に安定した動作を期待することができる。ま
た、従来のように乗算器を用いることがないので、固有
な集積回路(ＡＳＩＣ)として集積した形で作製する場合
に有利にできる。さらに、原信号の位相差に変動時が生
じると、±ｓｉｎ（ｘ）、±ｃｏｓ（ｘ）の間の波動部
分が互いにシフトするようになるため、ＡＢ相の原信号
が９０°の位相差から外れた場合に、その異常も検出す
ることができる。

【００４７】なお、この第２の実施の形態についても、
平滑増幅手段４ｃをピーク値検出手段に置き換えて、リ
ップルを含む信号Ｖｓのピーク値を検出し、これを直流
信号Ｖｄｃに変換し比較表示手段４ｄに出力して異常判
別を行うようことも可能である。

【００４８】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、原信
号の振幅異常の検出は勿論、オフセット異常も検出で
き、しかも、移動物体の停止の際の誤検出を防止できる
変位測定装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図２】第１の実施の形態の動作を説明するための波形
図。

【図３】第１の実施の形態の振幅が変化した場合の動作
を説明するための波形図。

【図４】第１の実施の形態の振幅が変化した場合の動作
を説明するための波形図。

【図５】第１の実施の形態の原信号の一方が停止した場
合の動作を説明するための波形図。

【図６】第１の実施の形態の原信号のいずれも停止した
場合の動作を説明するための波形図。

【図７】第１の実施の形態の原信号のオフセット異常の
場合の動作を説明するための波形図。

【図８】本発明の第２の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図９】第２の実施の形態の動作を説明するための波形
図。

【符号の説明】

１…エンコーダヘッド２…プリアンプ３…内挿手段４…異常判別手段４ａ…波動部分抽出手段４ｂ…停止時誤動作防止手段４ｃ…平滑増幅手段４ｄ…比較表示手段５…パルス出力手段１１…プリアンプ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】移動物体に設けられたスケールの変位を
読取り少なくとも２つの原信号を出力するスケール読取
り手段を有し、前記スケール読取り手段から出力される
原信号の異常判定を可能にした変位測定装置において、前記スケール読取り手段から出力される原信号より９０
度位相が異なる正弦波信号と余弦波信号を出力する信号
整形手段と、前記信号整形手段より出力される正弦波信号および余弦
波信号の間の波動部分を抽出する波動部分抽出手段と、前記波動部分抽出手段により抽出された波動部分に基づ
いて直流信号を生成する直流信号生成手段と、前記直流信号生成手段により生成された直流信号と予め
設定された範囲値とを比較するとともに、この比較結果
を表示する比較表示手段とを具備したことを特徴とする
変位測定装置。
【請求項２】前記波動部分抽出手段により抽出された
波動部分に所定レベルの調整用信号を加算するレベル調
整手段をさらに有し、前記直流信号生成手段は、レベル調整手段により所定レ
ベルの調整用信号が加算された信号に基づいて直流信号
を生成することを特徴とする請求項１記載の変位測定装
置。
【請求項３】前記比較表示手段は、予め設定された範
囲値として最小値と最大値を有し、これら最小値および
最大値と前記直流信号生成手段により生成された直流信
号との比較結果からアンダー異常表示、正常表示、オー
バー異常表示のいずれかを行うことを特徴とする請求項
１または２記載の変位測定装置。
【請求項４】前記信号整形手段は、前記スケール読取
り手段から出力される原信号より差動式の正弦波信号お
よび余弦波信号を出力することを特徴とする請求項１記
載の変位測定装置。