JP2003042724A - 球体の寸法測定方法と寸法測定装置 - Google Patents
球体の寸法測定方法と寸法測定装置Info
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- JP2003042724A JP2003042724A JP2001233164A JP2001233164A JP2003042724A JP 2003042724 A JP2003042724 A JP 2003042724A JP 2001233164 A JP2001233164 A JP 2001233164A JP 2001233164 A JP2001233164 A JP 2001233164A JP 2003042724 A JP2003042724 A JP 2003042724A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高分解能を得るため視野を狭くしたＣＣＤカ
メラで視野よりも大きな球体の外周部を、移動ステージ
で球体を動かしながら撮像し、画像処理して球体の直径
を移動ステージの移動誤差の影響を無くして高精度に測
定することを可能ならしめる。 【解決手段】 ワークテーブルを構成するガラス板２に
ピンホール３とピンホール中心からの距離を一定にした
固定ゲージ４を設け、ピンホール３で位置決めした球体
２０と固定ゲージ４間の寸法Ｅ、Ｆ、Ｇ、ＨをＣＣＤカ
メラによる直上からの撮像と画像処理を行って測定し、
予め求めたゲージボールと固定ゲージ間の距離を比較値
にして実測値との差を求め、その差をゲージボールの直
径に加減して球体の直径を割り出すようにした。
メラで視野よりも大きな球体の外周部を、移動ステージ
で球体を動かしながら撮像し、画像処理して球体の直径
を移動ステージの移動誤差の影響を無くして高精度に測
定することを可能ならしめる。 【解決手段】 ワークテーブルを構成するガラス板２に
ピンホール３とピンホール中心からの距離を一定にした
固定ゲージ４を設け、ピンホール３で位置決めした球体
２０と固定ゲージ４間の寸法Ｅ、Ｆ、Ｇ、ＨをＣＣＤカ
メラによる直上からの撮像と画像処理を行って測定し、
予め求めたゲージボールと固定ゲージ間の距離を比較値
にして実測値との差を求め、その差をゲージボールの直
径に加減して球体の直径を割り出すようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ＣＣＤカメラを
用いてそのカメラの視野に全体が収まらないサイズの球
体の直径を高精度に測定する球体の寸法測定方法と寸法
測定装置に関する。
用いてそのカメラの視野に全体が収まらないサイズの球
体の直径を高精度に測定する球体の寸法測定方法と寸法
測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】高性能マイクロスコープやＣＣＤカメラ
を用いた画像処理システムによる微小球体の寸法測定は
一般に実施されている。
を用いた画像処理システムによる微小球体の寸法測定は
一般に実施されている。
【０００３】高性能マイクロスコープは、通常１００〜
１５０万画素、最大約２４０万画素ＣＣＤのペンタイプ
カメラを用いる。
１５０万画素、最大約２４０万画素ＣＣＤのペンタイプ
カメラを用いる。
【０００４】これに対し、画像処理システムは、縦約５
００画素、横約５００画素、総数２５万画素のＣＣＤカ
メラを使用している。画素数はマイクロスコープよりも
少ないが、このシステムの場合、１画素をそれぞれ１／
１０に電気的に分割するサブピクセル処理が可能であ
り、その処理で実質画素数が２５００万画素になり、マ
イクロスコープの約１０倍の分解能が得られる。
００画素、横約５００画素、総数２５万画素のＣＣＤカ
メラを使用している。画素数はマイクロスコープよりも
少ないが、このシステムの場合、１画素をそれぞれ１／
１０に電気的に分割するサブピクセル処理が可能であ
り、その処理で実質画素数が２５００万画素になり、マ
イクロスコープの約１０倍の分解能が得られる。
【０００５】今、図１においてＣＣＤカメラの視野ｆｖ
が１ｍｍ角（１ｍｍ×１ｍｍ）とすると、サブピクセル
処理を行ったときにはその視野が縦、横それぞれ１／５
０００に分割されて分解能は０．０００２ｍｍとなる。
が１ｍｍ角（１ｍｍ×１ｍｍ）とすると、サブピクセル
処理を行ったときにはその視野が縦、横それぞれ１／５
０００に分割されて分解能は０．０００２ｍｍとなる。
【０００６】±１ミクロンの精度を保証する場合、分解
能は０．２ミクロン程度は必要であり、視野をこれ以上
に広げるのが困難になる。
能は０．２ミクロン程度は必要であり、視野をこれ以上
に広げるのが困難になる。
【０００７】ところが、１ｍｍ角の視野で直径１ｍｍ以
上の球体を撮像すると球体の一部が視野からはみ出し、
このままでは寸法測定が行えない。
上の球体を撮像すると球体の一部が視野からはみ出し、
このままでは寸法測定が行えない。
【０００８】そこで、このような場合には、通常、移動
量を計測できる高性能移動ステージを利用し、球体とそ
れを保持したワークテーブルを移動させて球体の全域を
撮像し、移動ステージによる移動量と球体の画像エッジ
の位置を演算して大きさを求める方法が採られる。
量を計測できる高性能移動ステージを利用し、球体とそ
れを保持したワークテーブルを移動させて球体の全域を
撮像し、移動ステージによる移動量と球体の画像エッジ
の位置を演算して大きさを求める方法が採られる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述した方法では、移
動ステージの移動量に誤差が生じ、その誤差が測定寸法
の誤差となって現れる。従って、高精度測定では極めて
精密な高性能の移動ステージが要求され、測定装置が高
価なものになってしまう。
動ステージの移動量に誤差が生じ、その誤差が測定寸法
の誤差となって現れる。従って、高精度測定では極めて
精密な高性能の移動ステージが要求され、測定装置が高
価なものになってしまう。
【００１０】また、移動ステージがいかに高精度でも現
状技術では移動誤差をゼロにするのは不可能であり、そ
の誤差の影響が出て測定精度が悪くなる。
状技術では移動誤差をゼロにするのは不可能であり、そ
の誤差の影響が出て測定精度が悪くなる。
【００１１】そこで、この発明は、ＣＣＤカメラの視野
に全体が収まりきらないサイズの球体の寸法測定を安価
な移動ステージを用いて高精度に行えるようにすること
を課題としている。
に全体が収まりきらないサイズの球体の寸法測定を安価
な移動ステージを用いて高精度に行えるようにすること
を課題としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この発明においては、ワークテーブルに球体の一部
を落ち込ませる位置決め用のピンホールとピンホール中
心から一定距離離れた固定ゲージを設け、ピンホールで
位置決めした球体の外周エッジとそれに対面した固定ゲ
ージ間の距離をＣＣＤカメラによる直上からの撮像と画
像処理を行って計測し、その計測をＣＣＤカメラとワー
クテーブルを相対移動させて球体の外周の複数箇所で実
施し、予め求めたゲージボールの外周エッジと固定ゲー
ジ間の距離を比較値にして実測値と比較値の差を求め、
その差をゲージボールの直径に加減して球体の直径を求
める方法を提供する。
め、この発明においては、ワークテーブルに球体の一部
を落ち込ませる位置決め用のピンホールとピンホール中
心から一定距離離れた固定ゲージを設け、ピンホールで
位置決めした球体の外周エッジとそれに対面した固定ゲ
ージ間の距離をＣＣＤカメラによる直上からの撮像と画
像処理を行って計測し、その計測をＣＣＤカメラとワー
クテーブルを相対移動させて球体の外周の複数箇所で実
施し、予め求めたゲージボールの外周エッジと固定ゲー
ジ間の距離を比較値にして実測値と比較値の差を求め、
その差をゲージボールの直径に加減して球体の直径を求
める方法を提供する。
【００１３】また、この方法を実施するために、球体の
一部を落ち込ませる位置決め用のピンホールとピンホー
ル中心から一定距離離れた固定ゲージを設けたワークテ
ーブルと、ピンホールで位置決めした球体の外周の一部
とそれに対面した固定ゲージを視野に収めて直上から撮
像するＣＣＤカメラと、このＣＣＤカメラとワークテー
ブルを少なくとも水平一軸方向に相対移動させる移動ス
テージと、ＣＣＤカメラからの画像を処理して球体の外
周エッジとそれに対面した固定ゲージ間の距離を計測す
る画像処理装置とを備えた寸法測定装置を提供する。
一部を落ち込ませる位置決め用のピンホールとピンホー
ル中心から一定距離離れた固定ゲージを設けたワークテ
ーブルと、ピンホールで位置決めした球体の外周の一部
とそれに対面した固定ゲージを視野に収めて直上から撮
像するＣＣＤカメラと、このＣＣＤカメラとワークテー
ブルを少なくとも水平一軸方向に相対移動させる移動ス
テージと、ＣＣＤカメラからの画像を処理して球体の外
周エッジとそれに対面した固定ゲージ間の距離を計測す
る画像処理装置とを備えた寸法測定装置を提供する。
【００１４】なお、この装置の画像処理装置は、予め求
めたゲージボールの外周エッジと固定ゲージ間の距離を
比較値として記憶し、実測値と比較値の差とゲージボー
ルの直径から球体の直径を演算する機能をもたせたもの
が好ましい。
めたゲージボールの外周エッジと固定ゲージ間の距離を
比較値として記憶し、実測値と比較値の差とゲージボー
ルの直径から球体の直径を演算する機能をもたせたもの
が好ましい。
【００１５】ワークテーブルを透明にし、そのテーブル
の裏側に透過照明用の光源を設けたものや、移動ステー
ジとして、ワークテーブル又はＣＣＤカメラを水平直角
２軸方向に移動させるＸＹテーブルを用いたものは更に
好ましい。
の裏側に透過照明用の光源を設けたものや、移動ステー
ジとして、ワークテーブル又はＣＣＤカメラを水平直角
２軸方向に移動させるＸＹテーブルを用いたものは更に
好ましい。
【００１６】
【作用】この発明の方法では、実測値が比較値よりも小
さければ実測値と比較値の差をゲージボールの直径に加
算し、逆に実測値が比較値よりも大きければ実測値と比
較値の差をゲージボールの直径から差し引いて球体の直
径を求め、ＣＣＤカメラとワークテーブルの相対移動量
を寸法演算のデータとして使わない。従って、視野の位
置を変える移動ステージの精度が悪くても測定には何ら
影響が出ず、非常に安価な移動ステージを使って測定装
置のコストを下げることができる。
さければ実測値と比較値の差をゲージボールの直径に加
算し、逆に実測値が比較値よりも大きければ実測値と比
較値の差をゲージボールの直径から差し引いて球体の直
径を求め、ＣＣＤカメラとワークテーブルの相対移動量
を寸法演算のデータとして使わない。従って、視野の位
置を変える移動ステージの精度が悪くても測定には何ら
影響が出ず、非常に安価な移動ステージを使って測定装
置のコストを下げることができる。
【００１７】また、移動ステージの移動誤差が測定誤差
とならないため、測定誤差は画像処理による誤差のみに
なり、測定精度と信頼性が著しく高まる。
とならないため、測定誤差は画像処理による誤差のみに
なり、測定精度と信頼性が著しく高まる。
【００１８】
【発明の実施の形態】図２に、この発明の方法及び装置
に利用するワークテーブルの一例を示す。
に利用するワークテーブルの一例を示す。
【００１９】図示のワークテーブル１は、透明ガラス板
２にピンホール３と、２組計４個の固定ゲージ４を設け
て成る。
２にピンホール３と、２組計４個の固定ゲージ４を設け
て成る。
【００２０】２個の固定ゲージ４は、線Ｌ１を中心にし
てその線Ｌ１上に対向して配置され、他の２個の固定ゲ
ージ４は線Ｌ１と直交する線Ｌ２を中心にしてその線Ｌ
２上に対向して配置されている。また、ピンホール３
は、各固定ゲージ４の中心に配置され、ピンホール３の
中心から各固定ゲージ４までの距離は等しくなってい
る。
てその線Ｌ１上に対向して配置され、他の２個の固定ゲ
ージ４は線Ｌ１と直交する線Ｌ２を中心にしてその線Ｌ
２上に対向して配置されている。また、ピンホール３
は、各固定ゲージ４の中心に配置され、ピンホール３の
中心から各固定ゲージ４までの距離は等しくなってい
る。
【００２１】ピンホール３は、図３に示す貫通孔にする
と加工し易いが、球体２０を、その一部を落ち込ませて
ホール中心に位置決めできるものであればよく、貫通孔
に限定されない。
と加工し易いが、球体２０を、その一部を落ち込ませて
ホール中心に位置決めできるものであればよく、貫通孔
に限定されない。
【００２２】また、固定ゲージ４は、ここでは２組を９
０°方向に変えて設けたが、２組以上のゲージを等ピッ
チの割り出し点上に対向させて配置してもよいし、ピン
ホール３と同心の１個の環状ゲージ（円形、多角形を問
わない）を用いてもよい。
０°方向に変えて設けたが、２組以上のゲージを等ピッ
チの割り出し点上に対向させて配置してもよいし、ピン
ホール３と同心の１個の環状ゲージ（円形、多角形を問
わない）を用いてもよい。
【００２３】この固定ゲージ４は、図３に示す高さＨ１
を、ガラス板２の上面からピンホール３に落ち込ませて
位置決めした球体２０の中心までの高さＨ２に極力近づ
けたものが好ましい。ＣＣＤカメラ５から固定ゲージま
での距離と、カメラから球体２０の外周エッジまでの距
離の差を小さくするほど、球体２０の外周エッジから固
定ゲージ４までの距離（測定距離）がより正確に求まる
からである。
を、ガラス板２の上面からピンホール３に落ち込ませて
位置決めした球体２０の中心までの高さＨ２に極力近づ
けたものが好ましい。ＣＣＤカメラ５から固定ゲージま
での距離と、カメラから球体２０の外周エッジまでの距
離の差を小さくするほど、球体２０の外周エッジから固
定ゲージ４までの距離（測定距離）がより正確に求まる
からである。
【００２４】かかるワークテーブル１を使用してこの発
明の方法で球体２０の寸法を測定するときには、ピンホ
ール３（その直径は例えば０．６ｍｍ）に予め所定サイ
ズのゲージボール２１（図２（ａ）参照）をセットし、
ＣＣＤカメラによる撮像と画像処理（二値化処理）を行
ってゲージボール２１の外周エッジから固定ゲージ４ま
での距離Ａを求める。また、ＣＣＤカメラとワークテー
ブルを相対移動させてゲージボール２１の反対側の外周
部をＣＣＤカメラの視野に収め、ゲージボール２１と対
向位置の固定ゲージ４との間の距離Ｂを求める。さら
に、他の固定ゲージについても同じことを行って距離
Ｃ、Ｄを求める。
明の方法で球体２０の寸法を測定するときには、ピンホ
ール３（その直径は例えば０．６ｍｍ）に予め所定サイ
ズのゲージボール２１（図２（ａ）参照）をセットし、
ＣＣＤカメラによる撮像と画像処理（二値化処理）を行
ってゲージボール２１の外周エッジから固定ゲージ４ま
での距離Ａを求める。また、ＣＣＤカメラとワークテー
ブルを相対移動させてゲージボール２１の反対側の外周
部をＣＣＤカメラの視野に収め、ゲージボール２１と対
向位置の固定ゲージ４との間の距離Ｂを求める。さら
に、他の固定ゲージについても同じことを行って距離
Ｃ、Ｄを求める。
【００２５】その後、ゲージボール２１に代えて測定対
象の球体２０をピンホール３にセットし、今度は、その
球体の外周エッジと各ゲージ間の距離を求める。
象の球体２０をピンホール３にセットし、今度は、その
球体の外周エッジと各ゲージ間の距離を求める。
【００２６】図４において、２組のゲージボール間の寸
法Ｗが２．５ｍｍに設定されているとする。この場合、
ゲージボール２１の直径が例えば１．６ｍｍであったな
ら、前述のＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄはそれぞれ０．４５ｍｍとな
る。
法Ｗが２．５ｍｍに設定されているとする。この場合、
ゲージボール２１の直径が例えば１．６ｍｍであったな
ら、前述のＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄはそれぞれ０．４５ｍｍとな
る。
【００２７】一方、測定対象の球体２０について測定し
た距離Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈがそれぞれ０．２５ｍｍであった
とすると、Ａ＋Ｂ＝０．９とＥ＋Ｆ＝０．５の差０．４
（球体が真球なら（Ｃ＋Ｄ）と（Ｇ＋Ｈ）の差も同じく
０．４）を既知のゲージボール２１の直径１．６ｍｍに
加算して球体２０の直径２．０ｍｍを求めることができ
る。
た距離Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈがそれぞれ０．２５ｍｍであった
とすると、Ａ＋Ｂ＝０．９とＥ＋Ｆ＝０．５の差０．４
（球体が真球なら（Ｃ＋Ｄ）と（Ｇ＋Ｈ）の差も同じく
０．４）を既知のゲージボール２１の直径１．６ｍｍに
加算して球体２０の直径２．０ｍｍを求めることができ
る。
【００２８】また、実測値Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈがそれぞれ
０．７５ｍｍとなった場合は、Ａ＋Ｂ＝０．９とＥ＋Ｆ
＝１．５の差０．６又はＣ＋Ｄ＝０．９とＧ＋Ｈ＝１．
５の差０．６をゲージボール２１の直径１．６ｍｍから
差し引いて球体２０の直径１．０ｍｍを求めることがで
きる。
０．７５ｍｍとなった場合は、Ａ＋Ｂ＝０．９とＥ＋Ｆ
＝１．５の差０．６又はＣ＋Ｄ＝０．９とＧ＋Ｈ＝１．
５の差０．６をゲージボール２１の直径１．６ｍｍから
差し引いて球体２０の直径１．０ｍｍを求めることがで
きる。
【００２９】このケースの場合、ＣＣＤカメラ５の視野
を１ｍｍ角とすると、下は１ｍｍ弱から上はほぼ２．５
ｍｍまでのサイズの球体の直径測定が行える。
を１ｍｍ角とすると、下は１ｍｍ弱から上はほぼ２．５
ｍｍまでのサイズの球体の直径測定が行える。
【００３０】固定ゲージ４の寸法は、ワークテーブルを
交換するなどして変更でき、そのゲージ寸法を変えるこ
とで様々な球体の大きさを高精度に測定することが可能
になる。
交換するなどして変更でき、そのゲージ寸法を変えるこ
とで様々な球体の大きさを高精度に測定することが可能
になる。
【００３１】図３の６は、ワークテーブル１の裏側に設
けられた透過照明用の光源である。透過照明を行うとエ
ッジのボケのない鮮明な画像が得られ、測定精度が良く
なる。
けられた透過照明用の光源である。透過照明を行うとエ
ッジのボケのない鮮明な画像が得られ、測定精度が良く
なる。
【００３２】図５は、寸法測定装置の全体の概要を表し
ている。
ている。
【００３３】７は、ＣＣＤカメラ５から画像を取り込ん
で処理する画像処理装置、８は測定値等を表示するモニ
タである。この装置の基台９上に移動ステージ（図のそ
れはＸＹテーブル）１０が設置され、そのステージ上に
設けたボックス１１に透過照明用の光源６が内蔵され、
ボックス１１上に図２のワークテーブル１が線Ｌ１、Ｌ
２をステージの移動方向に向けてセットされ、そのテー
ブルの直上にＣＣＤカメラ５が据え付けられている。１
２はカメラを支えるスタンドである。
で処理する画像処理装置、８は測定値等を表示するモニ
タである。この装置の基台９上に移動ステージ（図のそ
れはＸＹテーブル）１０が設置され、そのステージ上に
設けたボックス１１に透過照明用の光源６が内蔵され、
ボックス１１上に図２のワークテーブル１が線Ｌ１、Ｌ
２をステージの移動方向に向けてセットされ、そのテー
ブルの直上にＣＣＤカメラ５が据え付けられている。１
２はカメラを支えるスタンドである。
【００３４】なお、移動ステージ１０は、ＣＣＤカメラ
を動かすものにしてもよい。いずれにしろ、この移動ス
テージ１０は、移動距離の測定機能が無く、精度もラフ
なものでよい。
を動かすものにしてもよい。いずれにしろ、この移動ス
テージ１０は、移動距離の測定機能が無く、精度もラフ
なものでよい。
【００３５】この寸法測定装置を使用すると、移動ステ
ージ１０による移動誤差が例えば１ミクロンあったとし
ても、画像処理による誤差のみで球体の寸法を測定で
き、±１ミクロン程度の精度の保証が可能となる。
ージ１０による移動誤差が例えば１ミクロンあったとし
ても、画像処理による誤差のみで球体の寸法を測定で
き、±１ミクロン程度の精度の保証が可能となる。
【００３６】
【発明の効果】以上述べたように、この発明の方法及び
装置は、球体がＣＣＤカメラの視野よりも大きくて視野
を移動させながらの測定が不可欠となる場合に安価な移
動ステージを使って移動ステージの移動誤差の影響を受
けない高精度測定を行うことができる。
装置は、球体がＣＣＤカメラの視野よりも大きくて視野
を移動させながらの測定が不可欠となる場合に安価な移
動ステージを使って移動ステージの移動誤差の影響を受
けない高精度測定を行うことができる。
【００３７】既存の測定装置には、安価さと、±１ミク
ロン程度の測定精度の保証の要求を共に満たせるものが
なく、このため、高精度が要求される球体の寸法検査が
ラフになり、不良球の選別等が甘くなっていたが、この
発明の方法及び装置を用いることでその不具合を解消す
ることができる。
ロン程度の測定精度の保証の要求を共に満たせるものが
なく、このため、高精度が要求される球体の寸法検査が
ラフになり、不良球の選別等が甘くなっていたが、この
発明の方法及び装置を用いることでその不具合を解消す
ることができる。
【図１】高分解能が要求されるときのＣＣＤカメラの視
野サイズを示す拡大図
野サイズを示す拡大図
【図２】（ａ）この発明で用いるワークテーブルの一例
を示す斜視図 （ｂ）ワークテーブルに設けたピンホールと固定ゲージ
の拡大平面図
を示す斜視図 （ｂ）ワークテーブルに設けたピンホールと固定ゲージ
の拡大平面図
【図３】この発明の装置の要部の拡大断面図
【図４】測定原理説明用の平面図
【図５】測定装置の全体の概要を示す図
１ ワークテーブル
２ 透明ガラス板
３ ピンホール
４ 固定ゲージ
５ ＣＣＤカメラ
６ 透過照明用光源
７ 画像処理装置
８ モニタ
９ 基台
１０ 移動ステージ（ＸＹテーブル）
１１ ボックス
１２ スタンド
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2F065 AA07 AA26 BB07 DD03 FF01
FF02 FF04 FF09 FF61 HH15
JJ03 JJ09 JJ26 MM02 PP12
QQ32 RR10 SS13 UU04 UU05
5B057 AA04 CA12 CB20 CC04
Claims (5)
- 【請求項１】 ワークテーブルに球体の一部を落ち込ま
せる位置決め用のピンホールとピンホール中心から一定
距離離れた固定ゲージを設け、ピンホールで位置決めし
た球体の外周エッジとそれに対面した固定ゲージ間の距
離をＣＣＤカメラによる直上からの撮像と画像処理を行
って計測し、その計測をＣＣＤカメラとワークテーブル
を相対移動させて球体の外周の複数箇所で実施し、予め
求めたゲージボールの外周エッジと固定ゲージ間の距離
を比較値にして実測値と比較値の差を求め、その差をゲ
ージボールの直径に加減して球体の直径を求める球体の
寸法測定方法。 - 【請求項２】 球体の一部を落ち込ませる位置決め用の
ピンホールとピンホール中心から一定距離離れた固定ゲ
ージを設けたワークテーブルと、ピンホールで位置決め
した球体の外周の一部とそれに対面した固定ゲージを視
野に収めて直上から撮像するＣＣＤカメラと、このＣＣ
Ｄカメラとワークテーブルを少なくとも水平一軸方向に
相対移動させる移動ステージと、ＣＣＤカメラからの画
像を処理して球体の外周エッジとそれに対面した固定ゲ
ージ間の距離を計測する画像処理装置とを備えた球体の
寸法測定装置。 - 【請求項３】 画像処理装置に、予め求めたゲージボー
ルの外周エッジと固定ゲージ間の距離を比較値として記
憶し、実測値と比較値の差とゲージボールの直径から球
体の直径を演算する機能をもたせた請求項２に記載の球
体の寸法測定装置。 - 【請求項４】 ワークテーブルを透明にし、そのテーブ
ルの裏側に透過照明用の光源を設けた請求項２又は３に
記載の球体の寸法測定装置。 - 【請求項５】 移動ステージとして、ワークテーブル又
はＣＣＤカメラを水平直角２軸方向に移動させるＸＹテ
ーブルを用いた請求項２乃至４のいずれかに記載の球体
の寸法測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001233164A JP2003042724A (ja) | 2001-08-01 | 2001-08-01 | 球体の寸法測定方法と寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001233164A JP2003042724A (ja) | 2001-08-01 | 2001-08-01 | 球体の寸法測定方法と寸法測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003042724A true JP2003042724A (ja) | 2003-02-13 |
Family
ID=19064972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001233164A Pending JP2003042724A (ja) | 2001-08-01 | 2001-08-01 | 球体の寸法測定方法と寸法測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003042724A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106540885A (zh) * | 2016-11-25 | 2017-03-29 | 安顺市虹翼特种钢球制造有限公司 | 一种钢球分拣方法 |
| CN113049455A (zh) * | 2019-12-26 | 2021-06-29 | 中核北方核燃料元件有限公司 | 一种包覆燃料颗粒及核芯溯源性直径辅助测量装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2000292138A (ja) * | 1999-04-06 | 2000-10-20 | Nok Corp | 真球度測定装置及び真球度測定方法 |
-
2001
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