JP2003040415A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 部品交換等を必要とすることなく、コンベア
長を迅速かつ容易に任意の長さに変更し、これにより設
備レイアウトの変更等に迅速、容易かつ安価に対応す
る。 【解決手段】 搬送コンベア２０のレール本体部２３に
対する補助レール２４の相対変位に伴って、コンベア長
を変更可能である。また、コンベア長の変更に伴う搬送
ベルト２１の張力調整は、テンションプーリ２７によっ
て行われる。すなわち、補助レール２４の伸縮に伴っ
て、テンションプーリ２７による定量的な張力調整が行
われる。更に、隣接設備との連結を行う連結機構４０の
連結継手４２の位置が、ガイドスタンド４１への連結用
パイプ４３の取付位置及び角度の変更、及び連結用パイ
プ４３に対する連結継手４２の相対位置の変更によっ
て、図中、Ｘ，Ｚ，θ方向及び紙面に垂直な方向に変更
可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば電子部品実
装装置において、各工程装置間でのプリント基板の搬送
を行う基板搬送装置に関し、詳しくはコンベア長を迅速
かつ容易に変更可能とする構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１０及び図１１を参照すると、従来、
基板搬送装置５０として、搬送コンベア５１が、搬送ベ
ルト５２に載置された基板５３を、搬送モータ５４の回
転に伴う搬送ベルト５２の移動により搬送するものがあ
る。搬送コンベア５１近傍には、搬送ベルト５２上の基
板５３を検出する基板検出センサ５５が設けられてお
り、搬送コンベア５１は、基板検出センサ５５からの信
号に基づいて、制御装置５６によって制御される。

【０００３】搬送ベルト５２は、ベルトプーリ５７及び
モータプーリ５８に巻回される。搬送モータ５４は、モ
ータブラケット５９に取り付けられており、回転軸５４
ａにモータプーリ５８を固定される。ベルトプーリ５７
は、ガイドレール６０に設けられた軸６１に回転自在に
支持される。

【０００４】ガイドレール６０は、搬送ベルト５２の長
手方向に沿って配置されており、モータブラケット５９
の図１１中上端部に固定・支持される。ガイドレール６
０は、基板５３を端面でガイドすることにより、基板５
３の蛇行を防止する。

【０００５】また、図１２（ａ），（ｂ）及び図１３を
参照すると、従来の他の例の基板搬送装置７０として、
搬送コンベア７１が、搬送ベルト７２に載置された基板
７３を、搬送モータ（図示しない）の回転に伴う搬送ベ
ルト７２の移動により搬送するものがある。搬送コンベ
ア７１近傍には、搬送ベルト７２上の基板７３を検出す
る基板検出センサ７４が設けられており、搬送コンベア
７１は、基板検出センサ７４からの信号に基づいて、コ
ントローラ７５によって制御される。

【０００６】なお、図１２（ａ）は、長いコンベア長を
得るために長いガイドレール７６を用いるとともに、隣
接設備９０との間に、長いコンベア長に対応する長さの
連結金具７７を用いた例である。また図１２（ｂ）は、
コンベア長を短縮するために短いガイドレール７８を用
いるとともに、短いコンベア長に対応する短い連結金具
７９を用いた例である。

【０００７】搬送ベルト７２は、ベルトプーリ８０、モ
ータプーリ８１及びテンションプーリに巻回される。搬
送モータは、回転軸にモータプーリ８１を固定される。
各ベルトプーリ８０はそれぞれ、ガイドレール７６に固
定された軸８２に、ベアリング８３を介して回転自在に
支持されており、作用面には、搬送ベルト７２の幅方向
位置を規制するための凹溝８０ａを有する。ガイドレー
ル７６又は７８は、搬送ベルト７２の長手方向（図１２
中、左右方向）に沿って配置されており、基板７３を端
面でガイドすることにより、基板７３の蛇行を防止す
る。テンションプーリは、モータブラケット（図示しな
い）に複数設けられており、取付位置を作業者によって
変更されることにより、搬送ベルト７２の張力調整を行
う。

【０００８】なお、各ベルトプーリの他の例としては、
図１４に示すように、作用面に凹溝を設けず、作用面１
０１を断面円弧状に形成して幅方向略中央を凸状とした
ベルトプーリ１００がある。このようなベルトプーリ１
００では、周速度が作用面１０１の幅方向略中央で一番
高くなり、当該部分に搬送ベルト７２が誘導され、搬送
ベルト７２の幅方向位置が規制される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし上述した従来の
いずれの基板搬送装置５０，７０でも、コンベア長の変
更が必要な場合には、ガイドレール６０，７６，７８を
変更後のコンベア長に対応する長さのものに交換しなけ
ればならない。このため、ガイドレール６０，７６，７
８、搬送ベルト５２，７２、及び連結金具７７，７９を
それぞれ新たに製作する必要があり、装置コストを増大
させるとともに、コンベア長の変更対応に長時間を必要
としていた。また、搬送ベルト５２，７２を交換する度
に、搬送ベルト５２，７２の張力調整を行う必要があ
り、時間を要するとともに、作業者の技能レベルに起因
する品質のバラツキを生じる原因となるという問題があ
った。

【００１０】本発明は、部品交換等を必要とすることな
く、コンベア長を迅速かつ容易に任意の長さに変更する
ことができ、これにより設備レイアウトの変更等に迅
速、容易かつ安価に対応することができる基板搬送装置
を提供することを目的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、下
記構成により達成される。 搬送ベルトに載置された基板を、ベルトプーリの回
転に伴う搬送ベルトの移動により搬送するコンベア手段
と、前記コンベア手段近傍に設けられ、搬送ベルト上の
基板を検出する基板検出手段と、該基板検出手段からの
信号に基づいて、前記コンベア手段を制御する制御手段
とを備えた基板搬送装置において、前記コンベア手段
は、ベルトプーリを有するレール本体部と、レール本体
部に相対変位可能に支持され、ベルトプーリを有すると
ともに、レール本体部に対する相対変位に伴ってコンベ
ア長を変更可能な補助レールとを備えたことを特徴とす
る基板搬送装置。

【００１２】 前記コンベア手段には、レール本体部
の長手方向に沿って所定の間隔をあけて複数、レール本
体部に回転自在に設けられ、搬送ベルトを相対移動可能
に支持するガイドプーリを備えることを特徴とする前記
記載の基板搬送装置。

【００１３】 前記各ガイドプーリはそれぞれ、レー
ル本体部の長手方向に沿う相互間隔を、等間隔に設定さ
れており、補助レールがレール本体部に対して相対変位
される際、補助レールの変位量に対応する分だけ移動さ
れ、相互間隔を等間隔のまま補助レールの変位量に対応
する分だけ変更されることを特徴とする前記記載の基
板搬送装置。

【００１４】 前記搬送ベルトは、基板を載置される
搬送面と、搬送面に長手方向に沿って設けられ、基板を
ガイドする基板ガイド部と、搬送面裏側のガイドプーリ
との接触面に長手方向に沿って設けられ、ガイドプーリ
との接触に伴ってガイドプーリの作用面に形成された凹
部に嵌合・案内されるベルトガイド部とを有することを
特徴とする前記〜のいずれか記載の基板搬送装置。

【００１５】 前記搬送ベルトの基板ガイド部及びベ
ルトガイド部にはそれぞれ、搬送ベルトの長手方向に所
定の間隔をあけてスリットが形成されることを特徴とす
る前記記載の基板搬送装置。

【００１６】 前記コンベア手段のレール本体部に
は、搬送ベルトに所要の張力を付与するテンションプー
リが、レール本体部に対して相対変位可能に設けられて
おり、テンションプーリは、レール本体部に対する補助
レールの相対変位に連動して、レール本体部に対して相
対変位されることを特徴とする前記〜のいずれか記
載の基板搬送装置。

【００１７】 前記コンベア手段のレール本体部に
は、隣接設備との連結のための連結手段が設けられてお
り、該連結手段は、コンベア手段の脚部として機能する
ガイドスタンドと、ガイドスタンドに長手方向に沿って
形成されたガイド用溝と、長手方向一端部を、ガイド用
溝に取付位置及び角度を変更可能に取り付けられ、長手
方向一端部の位置を、ガイド用溝への取付位置の変更に
よってガイドスタンドの長手方向に沿って変更可能であ
るとともに、長手方向他端部の位置を、ガイド用溝への
取付角度の変更によってガイドスタンドへの接離方向に
変更可能な連結用パイプと、連結用パイプの長手方向他
端部に設けられ、ガイドスタンドへの連結用パイプの接
離方向と略直交する方向に移動可能であるとともに、隣
接設備との連結を行う連結継手とを備えたことを特徴と
する前記〜のいずれか記載の基板搬送装置。

【００１８】

【作用】本発明に係る基板搬送装置において、コンベア
手段は、基板検出手段からの信号に基づいて制御手段に
よって制御され、搬送ベルトに載置された基板を、ベル
トプーリの回転に伴う搬送ベルトの移動により搬送す
る。

【００１９】例えばコンベア長を拡大する際、補助レー
ルをレール本体部に対して突出側に相対変位させる。ま
た例えばコンベア長を縮小する際、補助レールをレール
本体部に対して収納側に相対変位させる。

【００２０】本発明に係る基板搬送装置においては、コ
ンベア手段のレール本体部に回転自在に設けられた複数
のガイドプーリがそれぞれ、搬送ベルトを相対移動可能
に支持する。これにより、搬送ベルトの撓み等が防止さ
れ、搬送ベルトが円滑に移動される。

【００２１】本発明に係る基板搬送装置において、コン
ベア手段のレール本体部に等間隔に設けられた各ガイド
プーリはそれぞれ、補助レールがレール本体部に対して
相対変位される際、補助レールの変位量に対応する分だ
け移動され、相互間隔を等間隔のまま補助レールの変位
量に対応する分だけ変更される。したがって、搬送ベル
トの撓み等がより確実に防止され、搬送ベルトがより円
滑に移動される。

【００２２】本発明に係る基板搬送装置において、搬送
ベルトは、搬送面に長手方向に沿って設けられた基板ガ
イド部によって、基板をガイドする。また搬送ベルト
は、搬送面裏側のガイドプーリとの接触面に長手方向に
沿って設けられたベルトガイド部が、ガイドプーリとの
接触に伴ってガイドプーリの作用面に形成された凹部に
嵌合・案内されることにより、蛇行等を防止される。

【００２３】本発明に係る基板搬送装置においては、搬
送ベルトの基板ガイド部及びベルトガイド部にそれぞ
れ、搬送ベルトの長手方向に所定の間隔をあけて形成さ
れたスリットによって、搬送ベルトの曲率半径が縮小さ
れるとともに、材料費が削減される。

【００２４】本発明に係る基板搬送装置においては、コ
ンベア長を拡大又は縮小する際、テンションプーリが、
補助レールに連動してレール本体部に対して相対変位さ
れる。これにより、コンベア長の変化に伴う搬送ベルト
の張力変化が調整される。

【００２５】本発明に係る基板搬送装置においては、連
結手段を介して、隣接設備との連結が行われる。

【００２６】すなわち、コンベア長の拡大又は縮小に伴
って、隣接設備との距離が拡大又は縮小する際、連結手
段は、連結パイプの長手方向一端部の位置を、ガイド用
溝への取付位置の変更によってガイドスタンドの長手方
向に沿って変更されるとともに、連結パイプの長手方向
他端部の位置を、ガイド用溝への取付角度の変更によっ
てガイドスタンドへの接離方向に変更される。

【００２７】また連結手段は、連結用パイプの長手方向
他端部に設けられた連結継手を、ガイドスタンドへの連
結用パイプの接離方向と略直交する方向に移動される。
これにより、コンベア長の拡大又は縮小にかかわらず、
隣接設備との連結が迅速かつ容易に行われる。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下図示実施形態により、本発明
を説明する。図１は、本発明の一実施形態である基板搬
送装置を示す全体側面図であり、図２は、図１の基板搬
送装置の右側面図、図３は、図１の基板搬送装置の平面
図である。また図４は、図１の要部側面図であり、図５
は、図２の要部側面図、図６は、図１のＡ矢視断面図で
ある。

【００２９】更に、図７は、図１の基板搬送装置のガイ
ドプーリの取付構造を示す要部断面図である。図８は、
図１の基板搬送装置の搬送ベルトを示す図であり、図８
（ａ）は要部側面図、図８（ｂ）は断面図である。図９
は、図１の基板搬送装置のテンションプーリの取付構造
を示す要部側面図である。

【００３０】図１〜図５を参照すると、基板搬送装置１
０は、生産ラインにおける設備間に配置され、隣接設備
間での基板搬送を行う。

【００３１】すなわち基板搬送装置１０において、搬送
コンベア２０は、搬送ベルト２１に載置された基板１１
を、モータプーリ２２の回転に伴う搬送ベルト２１の移
動により搬送する。搬送コンベア２０近傍には、搬送ベ
ルト２１上の基板１１を検出する基板検出センサ１２が
設けられており、搬送コンベア２０は、基板検出センサ
１２からの信号に基づいて、制御装置１３によって制御
される。

【００３２】搬送コンベア２０は、レール本体部２３
と、レール本体部２３に相対変位可能に支持された補助
レール２４と、レール本体部２３及び補助レール２４に
それぞれ回転自在に支持された複数（図４では４個）の
ベルトプーリ２５と、搬送ベルト２１を支持する複数
（図４では５個）のガイドプーリ２６と、搬送ベルト２
１に所要の張力を付与する一対のテンションプーリ２７
とを備える。

【００３３】各ベルトプーリ２５、テンションプーリ２
７及びモータプーリ２２にはそれぞれ、搬送ベルト２１
が巻回される。モータプーリ２２は、レール本体部２３
に取り付けられた搬送モータ２８の回転軸２８ａに連結
されており、搬送モータ２８の回転に伴って回転され
る。

【００３４】補助レール２４は、レール本体部２３外側
の端部（図１中、左右両端部）にベルトプーリ２５を有
しており、レール本体部２３に対する相対変位に伴って
コンベア長を変更可能である。

【００３５】すなわち補助レール２４は、コンベア長を
最も縮小する際、レール本体部２３内に収容され、図４
中右側に示す収縮状態とされる。また補助レール２４
は、コンベア長を最も拡大する際、レール本体部２３か
ら突出するように相対変位され、図４中左側に示す最大
伸長状態とされる。

【００３６】各ガイドプーリ２６はそれぞれ、レール本
体部２３に設けられた上段溝２３ａに、レール本体部２
３の長手方向（図４中、左右方向）に沿って摺動可能か
つ回転可能に支持されており、搬送ベルト２１を相対移
動可能に支持する。

【００３７】すなわち図７を参照すると、各ガイドプー
リ２６はそれぞれ、シャフト２９にベアリング３０を介
して回転自在に支持される。シャフト２９は、レール本
体部２３の上段溝２３ａに、ナット３１を介してレール
本体部２３の長手方向（図７中、紙面に垂直な方向）に
沿って摺動可能に支持される。ガイドプーリ２６間には
圧縮ばねが作用しており、ガイドプーリ２６は等間隔に
設定されている。

【００３８】各ガイドプーリ２６はそれぞれ、レール本
体部２３の長手方向に沿う相互間隔を、等間隔に設定さ
れており、補助レール２４が伸縮される際、補助レール
２４の伸縮量に対応する分だけ、シャフト２９の摺動に
伴って移動される。これにより各ガイドプーリ２６はそ
れぞれ、相互間隔を等間隔のまま補助レール２４の伸縮
量に対応する分だけ変更される。

【００３９】各テンションプーリ２７はそれぞれ、レー
ル本体部２３に設けられた下段溝２３ｂに、レール本体
部２３の長手方向（図４中、左右方向）に沿って摺動可
能かつ回転可能に支持される。各テンションプーリ２７
はそれぞれ、レール本体部２３に対する補助レール２４
の相対変位に伴って、補助レール２４に連動してレール
本体部２３の下段溝２３ｂ内を摺動され、コンベア長の
変化に伴う搬送ベルト２１の張力変化を調整する。

【００４０】すなわち図９を参照すると、各テンション
プーリ２７はそれぞれ、摺動用ナット３２に回動自在に
支持されており、摺動用ナット３２は、レール本体部２
３の下段溝２３ｂに、レール本体部２３の長手方向（図
９中、左右方向）に沿って摺動可能に支持される。

【００４１】また各テンションプーリ２７はそれぞれ、
レール本体部２３にボルト３３を介して固定されたテン
ションプレート３４との間に、圧縮バネ３５を設けられ
る。圧縮バネ３５は、図９中左端部をテンションプーリ
２７に形成されたバネ用座グリ２７ａに嵌合されるとと
もに、図９中右端部をテンションプレート３４に形成さ
れたバネ用座グリ３４ａに嵌合されており、テンション
プーリ２７に図９中矢印方向への所定の付勢力を付与す
る。

【００４２】なお、レール本体部２３へのテンションプ
レート３４の固定位置は、搬送ベルト２１が巻回された
テンションプーリ２７を、圧縮バネ３５を介してテンシ
ョンプレート３４で図９中矢印方向に押圧した際、テン
ションプーリ２７との間隔がΔＸ（任意設定値）となる
位置に調整される。

【００４３】補助レール２４が収縮される際、各テンシ
ョンプーリ２７はそれぞれ、補助レール２４に連動して
レール本体部２３の下段溝２３ｂ内をレール本体部２３
の中央側に摺動され、例えば最小収縮時には図４中右側
に示す位置に位置される。これにより、補助レール２４
の収縮に伴う搬送ベルト２１の張力変動が調整される。

【００４４】また各ガイドプーリ２６はそれぞれ、補助
レール２４に連動してレール本体部２３の上段溝２３ａ
内をレール本体部２３の中央側に、それぞれの間隔を等
間隔のまま狭めるように摺動される。これにより、ガイ
ドプーリ２６による搬送ベルト２１の支持間隔が、レー
ル本体部２３の長手方向に均等に保たれる。

【００４５】一方、補助レール２４が伸長される際、各
テンションプーリ２７はそれぞれ、補助レール２４に連
動してレール本体部２３の下段溝２３ｂ内をレール本体
部２３の長手方向外側に摺動され、例えば最大伸長時に
は図４中左側に示す位置に位置される。これにより、補
助レール２４の伸長に伴う搬送ベルト２１の張力変動が
調整される。

【００４６】また各ガイドプーリ２６はそれぞれ、補助
レール２４に連動してレール本体部２３の下段溝２３ｂ
内をレール本体部２３の長手方向外側に、それぞれの間
隔を等間隔のまま広げるように摺動される。これによ
り、ガイドプーリ２６による搬送ベルト２１の支持間隔
が、レール本体部２３の長手方向に均等に保たれる。

【００４７】図１〜図８を参照すると、搬送ベルト２１
は、基板１１を載置される搬送面２１ａに、基板ガイド
部２１ｂを突設されるとともに、搬送面２１ａ裏側のガ
イドプーリ２６との接触面２１ｃに、ベルトガイド部２
１ｄを突設される。

【００４８】基板ガイド部２１ｂは、基板１１をガイド
するガイドレールの機能を有する。ベルトガイド部２１
ｄは、ガイドプーリ２６との接触に伴ってガイドプーリ
２６の作用面に形成された凹溝２６ａに嵌合・案内され
る。これによりベルトガイド部２１ｄは、搬送ベルト２
１の蛇行を防止して、搬送ベルト２１を直行状態で走行
させることができ、基板１１の搬送を安定させることが
できる。なお、搬送ベルト２１のベルトガイド部２１ｄ
とガイドプーリ２６の凹溝２６ａとの嵌合は、しまり、
中間、すきま嵌めのいずれでもよい。

【００４９】搬送ベルト２１の基板ガイド部２１ｂ及び
ベルトガイド部２１ｄにはそれぞれ、スリット２１ｅ
が、搬送ベルト２１の長手方向に所定の間隔をあけて形
成される。各スリット２１ｅによって、搬送ベルト２１
の曲率半径が縮小されるとともに、材料費が削減され
る。

【００５０】搬送コンベア２０のレール本体部２３に
は、隣接設備との連結のための連結機構４０が設けられ
る。連結機構４０は、搬送コンベア２０の脚部として機
能するガイドスタンド４１に、連結継手４２を設けられ
た連結用パイプ４３を取り付けられてなる。

【００５１】図１中右側の連結機構４０を例に説明する
と、ガイドスタンド４１は、長手方向に同一断面を有す
る長尺の型材からなる。ガイドスタンド４１には、ガイ
ド用溝４１ａが、長手方向（図１中、矢印Ｚ方向）に沿
って形成される。

【００５２】連結用パイプ４３は、長手方向一端部（図
１中、左端部）をガイドスタンド４１のガイド用溝４１
ａに、固定ボルト４４を介して取付位置及び角度を変更
可能に取り付けられる。連結用パイプ４３は、長手方向
一端部の位置を、固定ボルト４４を緩めた状態でのガイ
ド用溝４１ａへの取付位置（図１中、矢印Ｚ方向に沿う
位置）の変更によって、ガイドスタンド４１の長手方向
（図１中、矢印Ｚ方向）に沿って変更可能である。また
連結用パイプ４３は、長手方向他端部（図１中、右端
部）の位置（図１中、矢印Ｘ方向に沿う位置）を、固定
ボルト４４を緩めた状態でのガイド用溝４１ａへの取付
角度の変更によって、ガイドスタンド４１への接離方向
（図１中、矢印Ｘ方向）に変更可能である。

【００５３】連結継手４２は、連結用パイプ４３の他端
部（図１中、右端部）に、連結用パイプ４３外周に巻き
付けるように取り付けられており、固定ボルト４５の締
め付けによって連結用パイプ４３に固定され、隣接設備
との連結を行う。連結継手４２は、固定ボルト４５を緩
めた状態で、ガイドスタンド４１への連結用パイプ４３
の接離方向と略直交する方向（図１中、紙面に垂直な方
向、図６中、矢印Ｙ方向）に移動可能であるとともに、
連結用パイプ４３の外周に沿って図１中矢印θ方向に回
転可能である。

【００５４】本実施形態の作用を説明する。例えばコン
ベア長を拡大する際、補助レール２４をレール本体部２
３から引き出し、所望の位置まで伸長させた後、ボルト
締結により位置を固定する。この際、補助レール２４に
対応するテンションプーリ２７が、補助レール２４に連
動してレール本体部２３の下段溝２３ｂ内をレール本体
部２３の長手方向外側に摺動される。これにより、搬送
ベルト２１の張力が調整される。

【００５５】補助レール２４がレール本体部２３から突
出した上述のような状態では、レール本体部２３からの
補助レール２４の突出部分では、従来の基板搬送装置５
０，７０におけるガイドレール６０，７６に代わって、
搬送ベルト２１の基板ガイド部２１ｂが基板１１をガイ
ドする。

【００５６】また例えばコンベア長を縮小する際、補助
レール２４をレール本体部２３内に所望の位置まで収納
させた後、ボルト締結により位置を固定する。この際、
補助レール２４に対応するテンションプーリ２７が、補
助レール２４に連動してレール本体部２３の下段溝２３
ｂ内をレール本体部２３の長手方向内側に摺動される。
これにより、搬送ベルト２１の張力が調整される。

【００５７】以上のように上記実施形態によれば、搬送
コンベア２０のレール本体部２３に対する補助レール２
４の相対変位に伴って、コンベア長を変更可能である。
したがって、部品交換等を必要とすることなく、コンベ
ア長を迅速かつ容易に任意の長さに変更することができ
る。これにより、生産設備のレイアウト変更等に、フレ
キシブル、迅速、容易かつ安価に対応することができ、
重量物である設備の移動を極力回避しつつ、各設備間を
つなぐことができる。

【００５８】また、コンベア長の変更に伴う搬送ベルト
２１の張力調整は、テンションプーリ２７によって行わ
れる。すなわち、補助レール２４の伸縮に伴って、テン
ションプーリ２７による定量的な張力調整が行われる。
したがって、作業者による搬送ベルト２１の張力調整を
行う必要がなく、作業時間の短縮を図ることができると
ともに、作業者の技能レベルに起因する品質のバラツキ
等を回避することができる。

【００５９】更に、隣接設備との連結を行う連結機構４
０の連結継手４２の位置を、ガイドスタンド４１への連
結用パイプ４３の取付位置及び角度の変更、及び連結用
パイプ４３に対する連結継手４２の相対位置の変更によ
って、図１中、Ｘ，Ｚ，θ方向及び図６中、Ｙ方向に変
更可能である。したがって、生産設備のレイアウト変更
等に、フレキシブル、迅速、容易かつ安価に対応するこ
とができる。

【００６０】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、コンベア手段
が、ベルトプーリを有するレール本体部と、レール本体
部に相対変位可能に支持され、ベルトプーリを有すると
ともに、レール本体部に対する相対変位に伴ってコンベ
ア長を変更可能な補助レールとを備える。

【００６１】したがって、部品交換等を必要とすること
なく、コンベア長を迅速かつ容易に任意の長さに変更す
ることができる。これにより、設備レイアウトの変更等
に迅速、容易かつ安価に対応することができる。

【００６２】また、請求項２の発明によれば、更に、コ
ンベア手段には、レール本体部の長手方向に沿って所定
の間隔をあけて複数、レール本体部に回転自在に設けら
れ、搬送ベルトを相対移動可能に支持するガイドプーリ
を備える。

【００６３】したがって、搬送ベルトの撓み等を防止す
ることができ、搬送ベルトを円滑に移動させることがで
きる。

【００６４】また請求項３の発明によれば、更に、各ガ
イドプーリはそれぞれ、レール本体部の長手方向に沿う
相互間隔を、等間隔に設定されており、補助レールがレ
ール本体部に対して相対変位される際、補助レールの変
位量に対応する分だけ移動され、相互間隔を等間隔のま
ま補助レールの変位量に対応する分だけ変更される。

【００６５】したがって、搬送ベルトの撓み等をより確
実に防止することができ、搬送ベルトをより円滑に移動
させることができる。

【００６６】また請求項４の発明によれば、更に、搬送
ベルトは、搬送面に長手方向に沿って設けられ、基板を
ガイドする基板ガイド部と、搬送面裏側のガイドプーリ
との接触面に長手方向に沿って設けられ、ガイドプーリ
との接触に伴ってガイドプーリの作用面に形成された凹
部に嵌合・案内されるベルトガイド部とを有する。

【００６７】したがって、例えばコンベア長を長くした
状態でも、基板のためのガイドレールを別途必要とする
ことなく、基板を基板ガイド部によってガイドすること
ができ、コンベア長の変更に迅速、容易かつ安価に対応
することができる。また、ベルトガイド部によって、搬
送ベルトの蛇行等を防止することができる。

【００６８】また、請求項５の発明によれば、更に、搬
送ベルトの基板ガイド部及びベルトガイド部にはそれぞ
れ、搬送ベルトの長手方向に所定の間隔をあけてスリッ
トが形成される。したがって、搬送ベルトの曲率半径を
縮小することができるとともに、材料費を削減すること
ができる。

【００６９】また、請求項６の発明によれば、更に、コ
ンベア手段のレール本体部には、搬送ベルトに所要の張
力を付与するテンションプーリが、レール本体部に対し
て相対変位可能に設けられる。テンションプーリは、レ
ール本体部に対する補助レールの相対変位に連動して、
レール本体部に対して相対変位する。

【００７０】したがって、コンベア長の変化に伴う搬送
ベルトの張力変化を調整することができ、作業者による
搬送ベルトの張力調整を行う必要がなく、作業時間の短
縮を図ることができるとともに、作業者の技能レベルに
起因する品質のバラツキ等を回避することができる。

【００７１】また、請求項７の発明によれば、更に、連
結手段の連結用パイプの長手方向一端部の位置が、ガイ
ド用溝への取付位置の変更によってガイドスタンドの長
手方向に沿って変更可能であるとともに、連結用パイプ
の長手方向他端部の位置が、ガイド用溝への取付角度の
変更によってガイドスタンドへの接離方向に変更であ
る。更に、隣接設備との連結を行う連結継手が、連結用
パイプの長手方向他端部に設けられ、ガイドスタンドへ
の連結用パイプの接離方向と略直交する方向に移動可能
である。

【００７２】したがって、コンベア長の拡大又は縮小に
かかわらず、隣接設備との連結を迅速かつ容易に行うこ
とができ、設備レイアウトの変更等に迅速、容易かつ安
価に対応することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態である基板搬送装置を示す
全体側面図である。

【図２】図１の基板搬送装置の右側面図である。

【図３】図１の基板搬送装置の平面図である。

【図４】図１の要部側面図である。

【図５】図２の要部側面図である。

【図６】図１のＡ矢視断面図である。

【図７】図１の基板搬送装置のガイドプーリの取付構造
を示す要部断面図である。

【図８】図１の基板搬送装置の搬送ベルトを示す図であ
る。

【図９】図１の基板搬送装置のテンションプーリの取付
構造を示す要部側面図である。

【図１０】従来の基板搬送装置の一例を示す概略側面図
である。

【図１１】図１０の基板搬送装置の要部側面図である。

【図１２】従来の基板搬送装置の他の例を示す概略側面
図である。

【図１３】図１２の基板搬送装置のベルトプーリの一例
を示す要部断面図である。

【図１４】図１２の基板搬送装置のベルトプーリの他の
例を示す要部断面図である。

【符号の説明】

１０ 基板搬送装置 １１ 基板 １２ 基板検出手段（基板検出センサ） １３ 制御手段（制御装置） ２０ 搬送コンベア ２１ 搬送ベルト ２１ａ 搬送面 ２１ｂ 基板ガイド部 ２１ｃ 接触面 ２１ｄ ベルトガイド部 ２１ｅ スリット ２３ レール本体部 ２３ａ 上段溝 ２３ｂ 下段溝 ２４ 補助レール ２５ ベルトプーリ ２６ ガイドプーリ ２６ａ 凹溝 ２７ テンションプーリ ４０ 連結手段（連結機構） ４１ ガイドスタンド ４１ａ ガイド用溝 ４２ 連結継手 ４３ 連結用パイプ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｈ０５Ｋ 13/02 Ｈ０５Ｋ 13/02 Ｕ (72)発明者 渡辺 英明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 西脇 敏郎 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 3C030 DA23 DA33 DA37 3F024 AA04 CA06 DA04 DA06 DA17 3F025 AA02 AA04 AA11 3F026 AA02 AA05 AB03 AC03 5E313 AA11 CD05 DD01 DD02 DD03 DD05 DD12 DD13 DD50 FF33 FG02

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送ベルトに載置された基板を、ベルト
   プーリの回転に伴う搬送ベルトの移動により搬送するコ
   ンベア手段と、 前記コンベア手段近傍に設けられ、搬送ベルト上の基板
   を検出する基板検出手段と、 該基板検出手段からの信号に基づいて、前記コンベア手
   段を制御する制御手段とを備えた基板搬送装置におい
   て、 前記コンベア手段は、 ベルトプーリを有するレール本体部と、 レール本体部に相対変位可能に支持され、ベルトプーリ
   を有するとともに、レール本体部に対する相対変位に伴
   ってコンベア長を変更可能な補助レールとを備えたこと
   を特徴とする基板搬送装置。
2. 【請求項２】 前記コンベア手段には、レール本体部の
   長手方向に沿って所定の間隔をあけて複数、レール本体
   部に回転自在に設けられ、搬送ベルトを相対移動可能に
   支持するガイドプーリを備えることを特徴とする請求項
   １記載の基板搬送装置。
3. 【請求項３】 前記各ガイドプーリはそれぞれ、レール
   本体部の長手方向に沿う相互間隔を、等間隔に設定され
   ており、補助レールがレール本体部に対して相対変位さ
   れる際、補助レールの変位量に対応する分だけ移動さ
   れ、相互間隔を等間隔のまま補助レールの変位量に対応
   する分だけ変更されることを特徴とする請求項２記載の
   基板搬送装置。
4. 【請求項４】 前記搬送ベルトは、 基板を載置される搬送面と、 搬送面に長手方向に沿って設けられ、基板をガイドする
   基板ガイド部と、 搬送面裏側のガイドプーリとの接触面に長手方向に沿っ
   て設けられ、ガイドプーリとの接触に伴ってガイドプー
   リの作用面に形成された凹部に嵌合・案内されるベルト
   ガイド部とを有することを特徴とする請求項１〜３のい
   ずれか記載の基板搬送装置。
5. 【請求項５】 前記搬送ベルトの基板ガイド部及びベル
   トガイド部にはそれぞれ、搬送ベルトの長手方向に所定
   の間隔をあけてスリットが形成されることを特徴とする
   請求項４記載の基板搬送装置。
6. 【請求項６】 前記コンベア手段のレール本体部には、
   搬送ベルトに所要の張力を付与するテンションプーリ
   が、レール本体部に対して相対変位可能に設けられてお
   り、テンションプーリは、レール本体部に対する補助レ
   ールの相対変位に連動して、レール本体部に対して相対
   変位されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか記
   載の基板搬送装置。
7. 【請求項７】 前記コンベア手段のレール本体部には、
   隣接設備との連結のための連結手段が設けられており、 該連結手段は、 コンベア手段の脚部として機能するガイドスタンドと、 ガイドスタンドに長手方向に沿って形成されたガイド用
   溝と、 長手方向一端部を、ガイド用溝に取付位置及び角度を変
   更可能に取り付けられ、長手方向一端部の位置を、ガイ
   ド用溝への取付位置の変更によってガイドスタンドの長
   手方向に沿って変更可能であるとともに、長手方向他端
   部の位置を、ガイド用溝への取付角度の変更によってガ
   イドスタンドへの接離方向に変更可能な連結用パイプ
   と、 連結用パイプの長手方向他端部に設けられ、ガイドスタ
   ンドへの連結用パイプの接離方向と略直交する方向に移
   動可能であるとともに、隣接設備との連結を行う連結継
   手とを備えたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか
   記載の基板搬送装置。