JP2003030273A - 不要輻射解析方法および不要輻射解析装置 - Google Patents

不要輻射解析方法および不要輻射解析装置

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JP2003030273A JP2001213970A JP2001213970A JP2003030273A JP 2003030273 A JP2003030273 A JP 2003030273A JP 2001213970 A JP2001213970 A JP 2001213970A JP 2001213970 A JP2001213970 A JP 2001213970A JP 2003030273 A JP2003030273 A JP 2003030273A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】電源電流情報を算出することなく、フロアプラ
ン段階でEMI解析を行うことのできる方法を提供す
る。 【解決手段】LSIの不要輻射量を解析する方法であっ
て、当該LSIチップの回路情報と、当該LSIチップ
のパッケージ情報とに基づいて等価インピーダンス情報
を算出推定する等価インピーダンス情報算出工程と、前
記等価インピーダンス情報に基づいて、不要輻射ノイズ
を算出する不要輻射ノイズ算出工程とを含むことを特徴
とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、不要輻射(EM
I:Electromagnetic Interference)解析方法および不
要輻射解析装置に係り、特に、電流情報がない場合で
も、大規模でかつ高速駆動のLSI(大規模半導体集積
回路)に対して高速かつ高精度のEMI解析を行い、電
磁輻射を解析することのできる方法に関する。
【0002】
【従来の技術】LSIは、コンピュータはもちろんのこ
と、携帯電話等の通信機器、一般家庭製品や玩具、自動
車まで利用範囲が拡大している。しかし、その一方で、
これらの製品から生じる不要輻射がテレビ・ラジオ等の
受信装置の電波障害や他システムの誤動作の原因として
問題になっている。これらの問題に対して、フィルタリ
ングやシールディングといった製品全体としての対策も
施されているが、部品点数増大・コスト増大・製品上対
策の難しさ等の観点より、LSIパッケージとしてのノ
イズ抑制が強く要請されている。
【0003】このような状況下、各製品においてLSI
はキーデバイスとして位置付けられており、製品の競争
力確保のために、LSIの大規模化・高速化が要求され
ている。製品サイクルが短くなる中で、これらの要求に
答えるためにはLSI設計の自動化が必須であり、現状
の設計自動化技術導入の条件として同期設計を採用する
必要が高まっている。
【0004】従来、図30に示すように、セルの内部容
量・入力容量などをあらかじめキャラクタライズしたE
MI専用ライブラリ3101とレイアウト情報3102
とを用いて、寄生の抵抗、容量成分を含んだネットリス
ト(回路接続情報ファイル)をつくるLPE(レイアウ
ト素子抽出)処理を行い(ステップ3103)、ブロッ
クの総容量を計算する(ステップ3105)方法が提案
されている。
【0005】そして同様にしてブロックネットリスト3
106もLPEし、電源抵抗・電源容量のない条件での
ブロックの電源電流を計算し(ステップ3107)、電
源電流を得る。またブロック総容量・電源電流の電流モ
デルを同様にLPEした電源ネットリスト3104に接
続する。
【0006】これらの接続情報をトランジスタレベルシ
ミュレーションすることによりEMIノイズを推定する
(ステップ3109)。そしてEMIスペクトル311
0を得る。
【0007】しかしながらこの方法では、容量推定に専
用のライブラリが必要であるという問題がある。
【0008】また、電源電流計算にトランジスタレベル
シミュレータを用いるため、演算に非常に時間がかかる
という問題がある。さらにまた、電源を含めてLPEを
行うため演算に非常に時間がかかる。
【0009】加えて、電源ネットリスト・容量情報・電
源電流情報をまとめてトランジスタレベルシミュレーシ
ョンするため、こちらも非常に時間がかかるという問題
がある。
【0010】そこで、演算処理の高速化をはかるため
に、RLCをインピーダンスアナライザで抽出する方法
を提案している。
【0011】この方法は図31に示すように、LSI情
報3201からインピーダンスアナライザ3202を用
いてR3203、L3204,C3205を算出する。
そして、これらの値と、負荷容量3206、ゲートレベ
ルネットリスト3207、テストベクタ3208からゲ
ートレベルでの電源電流推定3209を行い電源電流ス
ペクトル3210を得、この電源電流スペクトル321
0と前記RLCとでEMI推定を行い(ステップ321
1)、EMIスペクトル3212を得るようにしたもの
である。
【0012】この方法では、ゲートレベルで電源電流を
推定することができるため演算処理が高速となる。ま
た、実際のチップから高速に求めることができるRLC
情報を使用するため、処理の高速化を図ることが可能と
なる。
【0013】またEMI推定において、トランジスタレ
ベルシミュレーションを用いることなくRLC情報から
定まる電源測定系ネットリストの周波数応答と電源電流
スペクトルを掛け合わせることで求めるため演算処理の
高速化を図ることが可能となる。
【0014】加えて、標準のゲートレベル検証フローで
用いる情報で解析を行うため、特別な処理や特別な情報
が不要である。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法では、実測結果をベースにするものであるため、従来
は設計段階でRLCを正確に予測する方法がないと言う
問題があった、
【0016】またトランジスタレベルシミュレーション
よりは高速であるものの、やはりゲートレベルシミュレ
ーションが必要であるため、演算に時間がかかるという
問題があった。
【0017】また、ネットリストが定まらないフロアプ
ラン段階での予測が困難であるという問題があった。
【0018】以上のような状況の中で、LSI設計にお
いては、できるだけ早い時期にEMIの見積もりをし、
不適切な場合には、入れ替えたり、早期の設計変更を行
うことが、容易に信頼性の高いLSI設計を行うという
方針への近道であることがよく分かる。にもかかわら
ず、現状ではLSI設計に先立ちフロアプラン段階でE
MI解析を行う方法はない。
【0019】本発明は前記実情に鑑みてなされたもの
で、設計の早期段階でEMI解析を行うことができ、高
速解析しつつも、回路およびパッケージの情報を計算に
反映することで、シミュレーション上においてLSIの
不要輻射を現実的な時間で評価することのできる不要輻
射解析方法および装置を提供することを目的とする。
【0020】特に本発明では、電源電流情報を算出する
ことなく、フロアプラン段階でEMI解析を行うことの
できる方法を提供することを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】本発明は、LSIの不要
輻射量を解析する方法であって、当該LSIチップの回
路情報と、当該LSIチップのパッケージ情報とに基づ
いて等価インピーダンス情報を算出推定する等価インピ
ーダンス情報算出工程と、前記等価インピーダンス情報
に基づいて、不要輻射ノイズを算出する不要輻射ノイズ
算出工程とを含むことを特徴とする。
【0022】かかる構成によれば、LSIチップの回路
情報から、電源電流情報を算出することなしに、回路情
報とパッケージ情報とから等価インピーダンス情報を算
出するようにし、容量対策補正を行っているため、高速
かつ容易に不要輻射解析を行うことが可能となる。ま
た、このように回路情報のみから早期に解析することが
できるため、チップ面積や電源あるいはパッケージの変
更が容易であり、不要輻射対策を立てるのに自由度が高
く、容易に不要輻射の低減を図ることが可能となる。
【0023】また望ましくは、前記等価インピーダンス
情報算出工程は、前記回路情報からチップ面積と、電源
パッドの位置と、電源情報とを抽出する第1の抽出工程
と、前記パッケージ情報からパッケージの種類を抽出す
る第2の抽出工程とを含み、前記第1および第2の抽出
工程で得られた情報に基づいて等価インピーダンス情報
を算出推定するように構成されていることを特徴とす
る。
【0024】かかる構成によれば、回路情報からチップ
面積と電源パッドの位置と電源情報とを抽出するように
しているため、最低限これが決まれば、等価インピーダ
ンスは容易に算出でき、所望の情報を容易に得ることが
可能となる。
【0025】望ましくは、前記回路情報は、フロアプラ
ン情報を含むことを特徴とする。
【0026】かかる構成によれば、フロアプラン情報に
基いて等価インピーダンスが算出されているため、回路
設計の初期段階において不要輻射解析を行うことがで
き、設計のやりなおしも容易であり、制約なしに最適化
設計を行うことが可能となる。
【0027】望ましくは、前記回路情報は、レイアウト
情報を含むことを特徴とする。
【0028】かかる構成によれば、レイアウトデータは
具体度が高いため、高精度の等価インピーダンス情報を
算出できる。この値に基づいて不要輻射解析がなされる
ため、レイアウト設計段階で不要輻射解析を行うように
すれば、さらに高精度で信頼性の高い不要輻射解析を行
うことが可能となる。このように、レイアウトレベルの
回路情報から等価インピーダンス情報を算出し、この値
に基いて不要輻射解析がなされるため、レイアウトが一
応フィックスされた段階で不要輻射解析を行うようにす
れば、さらに高精度で信頼性の高い不要輻射解析を行う
ことが可能となる。
【0029】望ましくは、前記回路情報は、ネットリス
ト情報を含むことを特徴とする。
【0030】かかる構成によれば、より高精度の不要輻
射解析を行うことが可能となる。また、フロアプラン情
報なしに、ネットリストだけでも、トランジスタ数がわ
かり、このトランジスタ数に基いて面積(抵抗)が推定
できる。またネットリストの接続情報から容量の推定も
可能である。
【0031】また望ましくは、前記ネットリスト情報
は、機能レベルの回路情報を含むことを特徴とする。
【0032】かかる構成によれば、ゲートレベルでの回
路情報に比べて演算時間の短縮化を図ることが可能とな
る。さらに、LSI設計フェーズに適合した等価インピ
ーダンス算出が可能となる。
【0033】望ましくは、前記ネットリスト情報はゲー
トレベルの回路情報を含む含むことを特徴とする。
【0034】かかる構成によれば、トランジスタレベル
での回路情報に比べて演算時間の短縮化を図ることが可
能となる。さらに、LSI設計フェーズに適合した等価
インピーダンス算出が可能となる。
【0035】望ましくは、前記ネットリスト情報は、ト
ランジスタレベルの回路情報を含むことを特徴とする。
【0036】かかる構成によれば、トランジスタレベル
の回路情報から、デバイス成分を考慮して、容易に等価
インピーダンスを算出できる。すなわち、レイアウトデ
ータからトランジスタレベルのネットリストを抽出し、
ゲート容量、配線容量、電源間容量、MOS容量(電源
線と接地線との間の容量)などを算出することにより、
容易に等価インピーダンス情報を算出することが可能と
なる。
【0037】望ましくは、前記等価インピーダンス情報
算出工程は、回路情報から、メモリブロックを容量とし
て推定し実行されることを特徴とする。
【0038】かかる構成によれば、メモリブロックを容
量として用いたデータを用いるため、寄生成分も考慮し
た等価インピーダンスが算出できる。回路設計の初期段
階において不要輻射解析を行うことができ、設計のやり
なおしも容易であり、制約なしに最適化設計を行うこと
が可能となる。
【0039】望ましくは、前記等価インピーダンス情報
算出工程は、活性化率を考慮して容量推定を行う工程で
あることを特徴とする。
【0040】かかる構成によれば、デバイス素子および
寄生素子を、ゲート容量、配線容量、電源間容量、MO
S容量(電源線と接地線との間のゲート容量)として抽
出する。容量は、その箇所が動作状態(活性)であると
きは、容量として動作しないため、活性化率βを容量値
に乗じることにより、より高精度の等価容量を得ること
が可能となる。なお、セルの活性化率はセルの動作・非
動作をダイナミック解析に基づいて得ることができる。
【0041】また望ましくは、前記等価インピーダンス
情報算出工程は、前記回路情報から抵抗値を推定する工
程を含むことを特徴とする。
【0042】かかる構成によれば、容易に高精度のEM
I解析を行うことが可能となる。
【0043】また望ましくは、前記等価インピーダンス
情報算出工程は、前記回路情報から回路接続情報を抽出
し、さらに、能動素子をあらかじめ定めた抵抗に置換し
た回路接続情報を作成し、等価抵抗を算出する工程を含
むことを特徴とする。
【0044】かかる構成によれば、電源の抵抗を極めて
容易に見積もることが出来、容易により高精度のEMI
解析を行うことが可能となる。
【0045】かかる構成によれば、たとえば電源LPE
を行い、トランジスタ接続端子を抵抗(オン抵抗および
カットオフ抵抗)で接続し、たとえば、電源に対する電
流量で等価抵抗を推定することにより、電源電流情報な
しに容易に等価インピーダンス情報を得ることができ、
不要輻射解析を行うことができる。
【0046】また望ましくは、等価インピーダンス情報
算出工程は、前記回路情報からチップ面積に基づいて、
抵抗値を推定する工程を含むことを特徴とする。
【0047】チップ面積が決まれば、回路パターンのシ
ート抵抗と、あらかじめ測定しておいた統計情報とから
得られた係数を乗じることにより、フロアプラン段階で
容易に等価抵抗を得ることができる。
【0048】望ましくは、前記等価インピーダンス情報
算出工程は、ワイヤ長に対するインダクタンス情報をデ
ータベース化する工程と、前記回路情報および前記パッ
ケージ情報から、ワイヤ長を算出する工程と、前記ワイ
ヤ長から前記データベース化されたインダクタンス情報
を抽出し、インダクタンスを推定する工程とを含むこと
を特徴とする。
【0049】インダクタンスはワイヤによるインダクタ
ンスが支配的であるため、ワイヤ長に対するインダクタ
ンスをあらかじめデータベース化しておくことにより、
パッケージのピンと電源パッドの位置とからワイヤ長を
得、データベースからインダクタンスを推定するように
すれば、極めて容易かつ高精度にインダクタンスの推定
を行うことが可能となる。
【0050】望ましくは、前記等価インピーダンス情報
算出工程で得られた等価インピーダンスに基づいてEM
Iノイズを推定するノイズ推定工程とを含むことを特徴
とする。
【0051】かかる構成によれば、電源電流情報を得る
ことなしに、EMIノイズを推定することができる。
【0052】また望ましくは、前記ノイズ推定工程は、
前記等価インピーダンスと、前記回路情報とから前記L
SIの周波数応答性を算出する工程と、前記周波数応答
性に基づいて、特定周波数帯域における前記LSIのE
MIノイズを推定する工程とを含むことを特徴とする。
【0053】かかる構成によれば、電源電流情報を得る
ことなしに、等価インピーダンスと、回路情報とからL
SIの周波数応答性を算出し、EMIノイズを推定する
ようにしているため、設計の初期段階で容易に高精度の
EMI解析を行うことができるため、設計変更が容易で
あり、また無駄を防ぐことができる。
【0054】望ましくは、前記ノイズ推定工程は、クロ
ック周波数と推定消費電力とに基づいてオフセット値を
算出する工程と、前記オフセット値を前記等価インピー
ダンスに掛け合わせる工程とを含むことを特徴とする。
【0055】かかる構成によれば、容易にノイズ推定を
行うことが可能となる。
【0056】望ましくは、さらに、得られた前記等価イ
ンピーダンスに基づいてEMIノイズを最適化すべく補
正を行う補正工程を含むことを特徴とする。
【0057】かかる構成によれば、得られた等価インピ
ーダンス情報に応じてEMIノイズを最適化するための
補正を行うようにしているため、試行錯誤無しに、EMI
ノイズを抑えることができる。最適化が容易となる。
【0058】また望ましくは、前記補正工程は、前記推
定工程で推定されたインダクタンスを補正すべく、電源
端子位置、パッケージ種類およびワイヤ長を補正する工
程を含むことを特徴とする。
【0059】かかる構成によれば、推定工程で推定され
たインダクタンスを、電源端子位置、パッケージ種類お
よびワイヤ長を補正することにより、最適化すればよい
ため、面積の増加無しにEMIノイズを抑えることがで
き、容易に効率よく最適化を行うことができる。
【0060】望ましくは、前記補正工程は、前記推定工
程で推定された容量からタイミングに問題がない程度に
信号配線容量を補正する工程を含むことを特徴とする。
【0061】かかる構成によれば、タイミングの遅れが
ないように信号配線容量を補正すればよく、容易に効率
よく最適化を行うことができる。
【0062】さらに望ましくは、前記信号配線容量を補
正する工程は、信号配線幅、信号配線長、信号配線経路
を補正する工程を含むことを特徴とする。
【0063】信号容量は、配線幅、配線長、配線経路に
よって調整可能であるため、これらの値を補正すること
により、極めて容易に補正を行うことが可能となる。
【0064】また望ましくは、前記補正工程は、電圧降
下が問題のない程度に電源配線レイアウトを補正する電
源配線レイアウト補正工程を含むことを特徴とする。
【0065】容量値を大きく変化させると、電圧降下が
問題となることがあるが、電源配線レイアウトを調整す
ることによって補正は可能となる。
【0066】望ましくは、前記電源配線レイアウト補正
工程は、電源経路、電源配線幅、電源配線長を補正する
工程を含むことを特徴とする。
【0067】かかる構成によれば、信号配線容量の補正
を、電源経路や、電源配線幅、電源配線長の補正によっ
て容易に最適化を行うことが可能となる。
【0068】望ましくは、前記補正工程は、デカップリ
ング容量を補正する工程を含むことを特徴とする。
【0069】かかる構成によれば、得られた等価インピ
ーダンス情報に応じてEMIノイズを最適化するための
デカップリング容量の補正を行うようにしているため、
試行錯誤なしに、EMIノイズを抑えることができる。
そして容易に最適化を行うことが可能となる。
【0070】望ましくは、前記補正工程は、電源および
容量の接続関係を補正する工程を含むことを特徴とす
る。
【0071】かかる構成によれば、インピーダンスを構
成するためのチップの面積を変更せずインピーダンスの
配置の変更のみで等価インピーダンスの大きさを最適化
することにより、面積の増加無しにEMIノイズを抑え
ることが出来、容易に効率よく最適化を行うことが可能
となる。
【0072】なお上記方法は、主として、電源電流情報
を算出することなく、回路情報から直接等価インピーダ
ンスを算出することで容易にEMI解析を行うことが可
能であるが、電源電流情報を算出し、この電源電流情報
に基づいてEMI解析を行う場合にも有効であることは
いうまでもない。
【0073】すなわち、LSIの不要輻射量を解析する
方法において、当該LSIチップの回路情報から電源電
流に流れる等価電源電流情報を算出し、また前記LSI
チップに電流を供給する電源の電源情報、前記半導体チ
ップのパッケージのもつパッケージ情報および前記半導
体チップの特性を測定する測定系のもつ測定系情報のう
ちの少なくとも1つの情報を解析制御情報として考慮
し、前記回路情報に前記解析制御情報を反映させた総合
情報を等価回路として見積もり、この見積もられた総合
情報に従い、解析を実行するようにしてもよい。
【0074】上記構成によれば、LSIチップの回路に
起因する不要輻射のみならず、電源、パッケージに起因
する不要輻射を、高速かつ少メモリで高精度に解析する
ことができる。
【0075】また、LSIチップに電流を供給する電源
を仮に決定しこの電源情報と、前記半導体チップのパッ
ケージのもつパッケージ情報および前記半導体チップの
特性を測定する測定系のもつ測定系情報のうちの少なく
とも1つとを含むようにして、等価インピーダンスを求
めるようにしてもよい。
【0076】そして上述した不要輻射解析方法で得られ
た結果に基づいて、不要輻射を低減するように回路情報
を最適化することにより、不要輻射の少ない回路設計を
実現することが可能となる。
【0077】本発明の不要輻射解析方法において、更に
前記最適化工程で得られた回路情報を最適化情報として
表示するようにしてもよい。
【0078】また、本発明の不要輻射解析装置では、当
該LSIチップの回路情報と、当該LSIチップのパッ
ケージ情報とに基づいて等価インピーダンス情報を算出
推定する等価インピーダンス情報算出手段と、前記等価
インピーダンス情報に基づいて、不要輻射ノイズを算出
する不要輻射ノイズ算出手段とを含むことを特徴とす
る。
【0079】望ましくは、前記等価インピーダンス情報
算出手段は、前記回路情報から、チップ面積と、電源パ
ッドの位置と、電源情報とを抽出するとともに、前記パ
ッケージ情報からパッケージの種類を抽出するように構
成されており、前記不要輻射ノイズ算出手段は、前記抽
出された情報に基づいて等価インピーダンス情報を算出
推定する推定手段を含む事を特徴とする。
【0080】また、望ましくは、前記回路情報は、フロ
アプラン情報を含むことを特徴とする。
【0081】望ましくは、前記回路情報は、レイアウト
情報を含むことを特徴とする。
【0082】望ましくは、前記回路情報は、ネットリス
ト情報を含むことを特徴とする。
【0083】望ましくは、前記ネットリスト情報は、機
能レベルの回路情報を含むことを特徴とする。
【0084】望ましくは、前記ネットリスト情報は、ゲ
ートレベルの回路情報を含むことを特徴とする。
【0085】望ましくは、前記ネットリスト情報は、ト
ランジスタレベルの回路情報を含むことを特徴とする。
【0086】望ましくは、前記等価インピーダンス情報
算出手段は、回路情報からメモリブロックを容量として
推定し実行されるように構成されていることを特徴とす
る。
【0087】望ましくは、前記等価インピーダンス情報
算手段は、活性化率を考慮して容量推定を行う推定手段
を含むことを特徴とする。
【0088】望ましくは、前記等価インピーダンス情報
算出手段は、前記回路情報から抵抗値を推定する手段を
含むことを特徴とする。
【0089】望ましくは、前記等価インピーダンス情報
算出手段は、前記回路情報から回路接続情報を抽出し、
さらに、能動素子をあらかじめ定めた抵抗に置換した回
路接続情報を作成し、等価抵抗を算出する等価抵抗算出
手段を含むことを特徴とする。
【0090】望ましくは、前記等価インピーダンス情報
算出手段は、前記回路情報からチップ面積に基いて、抵
抗値を推定する抵抗値推定手段を含むことを特徴とす
る。
【0091】望ましくは、前記等価インピーダンス情報
算出手段は、ワイヤ長に対するインダクタンス情報をデ
ータベース化する手段と、前記回路情報および前記パッ
ケージ情報から、ワイヤ長を算出するワイヤ長算出手段
と、前記ワイヤ長から前記データベース化されたインダ
クタンス情報を抽出し、インダクタンスを推定する抽出
手段とを含むことを特徴とする。
【0092】望ましくは、前記等価インピーダンス情報
算出手段で得られた等価インピーダンスに基いてEMI
ノイズを推定するノイズ推定手段を含むことを特徴とす
る。
【0093】望ましくは、前記ノイズ推定手段は、前記
等価インピーダンスと、前記回路情報とから前記LSI
の周波数応答性を算出する手段と、前記周波数応答性に
基いて、前記LSIのEMIノイズを推定する推定手段
とを含むことを特徴とする。
【0094】望ましくは、前記ノイズ推定手段は、クロ
ック周波数と推定消費電力とに基いてオフセット値を算
出する手段と、前記オフセット値を前記等価インピーダ
ンスに掛け合わせる手段とを含むことを特徴とする。
【0095】望ましくは、さらに、得られた前記等価イ
ンピーダンスに基いてEMIノイズを最適化すべく補正
を行う補正手段を含むことを特徴とする。
【0096】望ましくは、前記補正手段は、前記推定手
段で推定されたインダクタンスを補正すべく、電源端子
位置、パッケージ種類およびワイヤ長を補正する補正手
段を含むことを特徴とする。
【0097】望ましくは、前記補正手段は、前記推定手
段で推定された容量からタイミングに問題がない程度に
信号配線容量を補正する容量補正手段を含むことを特徴
とする。
【0098】望ましくは、前記信号配線容量を補正する
補正手段は、信号配線幅、信号配線長、信号配線経路を
補正する補正手段を含むことを特徴とする。
【0099】望ましくは、前記補正手段は、電圧降下が
問題のない程度に電源配線レイアウトを補正する電源配
線レイアウト補正手段を含むことを特徴とする。
【0100】望ましくは、前記電源配線レイアウト補正
手段は、電源経路、電源配線幅、電源配線長を補正する
補正手段を含むことを特徴とする。
【0101】望ましくは、前記補正手段は、デカップリ
ング容量を補正する容量補正手段を含むことを特徴とす
る。
【0102】望ましくは、前記補正手段は、電源および
容量の接続関係を補正する接続関係補正手段を含むこと
を特徴とする。
【0103】かかる不要輻射解析装置によっても、上述
の方法と同様、主として、電源電流情報を算出すること
なく、回路情報から直接等価インピーダンスを算出する
ことで容易にEMI解析を行うことが可能である。しか
しながら、電源電流情報を算出し、この電源電流情報に
基づいてEMI解析を行う場合にも有効であることはい
うまでもない。
【0104】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る不要輻射解析
方法の実施形態について説明する。 実施形態1 図1は、本発明に係る不要輻射解析方法を実施するため
の不要輻射解析装置の全体構成を示す概念図である。
【0105】この不要輻射解析装置は、当該LSIチッ
プの回路情報11と、当該LSIチップのパッケージ情
報12とに基づいて等価インピーダンス情報を算出推定
する等価インピーダンス情報推定手段13と、前記等価
インピーダンス情報14に基づいて、不要輻射ノイズを
算出し、解析する不要輻射(EMI)ノイズ解析手段1
5とを含み、解析結果16を出力するものである。そし
てさらに、等価インピーダンス情報推定手段13によっ
て得られた等価インピーダンス情報14に基づいて、不
要輻射ノイズを最適化する最適化手段17と、この最適
化手段17で最適化を行い、得られた最適化結果18に
基づいてレイアウト設計を行うものである。
【0106】ここで、等価インピーダンス情報推定手段
13は、前記回路情報11からチップ面積と、電源パッ
ドの位置と、電源情報から電源配線の幅・長さ・材質
と、パッケージ情報からパッケージの種類とを抽出する
ように構成されており、これらの情報から図2に示すよ
うなR、L、C情報を求めることができる。
【0107】この不要輻射解析装置は、フロアプラン段
階における回路情報に基づいて実行することができる。
【0108】次にこの不要輻射解析装置を用いて不要輻
射解析を実行するための方法について説明する。
【0109】まず、フロアプラン段階で、機能設計を行
い、論理設計を行った段階で、図1に示すような、チッ
プ面積を決定すると共に、電源情報から電源配線の幅・
長さ・材質を得、さらにパッケージ情報12から得られ
るパッケージの種類から、電源パッドの位置を得、図3
に示すように、これらの値(フロアプラン情報31)か
ら等価インピーダンス推定手段13において、電源配線
の抵抗R,容量C,接続部分のインダクタンスLを推定
し(ステップ32)、等価インピーダンス33を得る。
【0110】ここで、抵抗Rはチップ面積が決まると決
まる。パッケージと電源パッド位置が決まるとリードの
長さが決まるのでインダクタンスが決まる。なお、この
ような抵抗あるいはインダクタンスの推定方法としては
種々の方法が提案されているが、チップ面積に単に係数
をかけるのみでも、大まかな抵抗値は算出可能である。
【0111】そしてチップ面積から電源のおおよその面
積が決まるので電源間容量が推定される。またチップ面
積が決まるとトランジスタ数が推定され、ゲート容量も
推定される。そしてチップ面積とトランジスタ数とから
トランジスタの占有面積が推定されると、配線容量が推
定される。
【0112】このようにして、回路情報から電源電流情
報を算出することなく、等価インピーダンス容量を推定
するようにしているため、演算量を少なくすることがで
き、高精度で信頼性の高い不要輻射解析を高速で実行す
ることが可能となる。
【0113】なお、このようにして得られた解析結果1
6に基づいて、EMIノイズ最適化手段17でEMIノ
イズの最適化を行い、最適のRTL情報を得る。
【0114】実施形態2 また、第2の実施形態として図4に示すように、RTL
(レジスタトランスファロジック)レベルでの回路情報
44に基づき、動作確率45を考慮し、確率伝搬手段4
6の伝搬確率に応じてセル動作確率47を算出し、この
セル動作確率47を考慮して前述のフロアプラン情報3
1から、インピーダンスを推定する。
【0115】この例では、まず、フロアプラン段階で、
機能設計を行い、論理設計を行った段階で、図5に示す
ような、Aブロックと、Fブロックと、Bブロックとか
らなる、RTL(レジスタトランスファロジック)レベ
ルでの回路情報に基づき、チップ面積を決定すると共
に、電源情報から電源配線の幅・長さ・材質を得、さら
にパッケージ情報12から得られるパッケージの種類か
ら、電源パッドの位置を得、これらの値(フロアプラン
情報31)から等価インピーダンス推定手段13におい
て、電源配線の抵抗R,容量C,接続部分のインダクタ
ンスLを推定し(ステップ32)、等価インピーダンス
33を得る。
【0116】本実施形態では、動作確率45を用いてセ
ルの動作確率からセルの活性化率を算出し、容量Cを最
適化する処理(実施形態16参照)を含んだフローとし
ているが、これはなくてもよい。この方法によれば、よ
り高精度の不要輻射解析を行なうことが可能となる。
【0117】実施形態3 本発明の第3の実施形態として、抵抗値の推定方法につ
いて説明する。この方法は図6に示すように、使用する
標準的な材料からそのシート抵抗61を求め、チップ面
積62と、電源配線設計のタイプなどからあらかじめ用
意しておくチップ面積と電源面積の相関をあらわす係数
63にもとづいて、推定手段64で抵抗値65を推定す
る。
【0118】このようにして容易に抵抗値の推定が可能
となる。
【0119】実施形態4 本発明の第4の実施形態として、インダクタンスの推定
方法について説明する。この方法は図7に示すように、
回路情報から電源パッドの数と位置からなる電源パッド
情報71を得るとともに、パッケージ情報72からパッ
ケージの位置と種類を求める。一方ワイヤ長に対するイ
ンダクタンスの値をデータベース化しておき、データベ
ース73から、該当するものを抽出し、推定手段74で
インダクタンスLを推定し、インダクタンス75を得る
ようにしたものである。
【0120】このようにして容易にインダクタンスの推
定を行うことが可能となる。
【0121】実施形態5 本発明の第5の実施形態として、EMIノイズ解析手段
によるノイズ推定方法について説明する。図1に示した
等価インピーダンス推定手段13で得られた等価インピ
ーダンスに基づき、EMIノイズ解析手段15を用い
て、EMIノイズの推定を行う。ここでは推定された等
価インピーダンスと、回路情報とから周波数応答性を算
出し、同等のチップとの比較により、EMIノイズを推
定するものである。
【0122】図8は周波数応答性の一例を示すデータで
ある。ここで縦軸は電流スペクトル、横軸は周波数であ
る。この図8で使用する周波数帯域での周波数応答性を
調べ、図1に示したEMIノイズ解析手段15で周波数
ノイズが所定の値よりも大きいと判断されたときは、E
MIノイズ大とした解析結果16が出力される。
【0123】かかる構成によれば、電源電流情報を得る
ことなしに、等価インピーダンスと、回路情報とからL
SIの周波数応答性を算出し、EMIノイズを推定する
ようにしているため、設計の初期段階で容易に高精度の
EMI解析を行うことができるため、設計変更が容易で
あり、また無駄を防ぐことができる。
【0124】実施形態6 本発明の第6の実施形態として、EMIノイズ解析手段
によるノイズ推定方法の変形例について説明する。この
例では図9に示すように、前記第5の実施形態で得られ
た周波数応答特性曲線91に、推定消費電力から決定さ
れたオフセット値92を算出し、このオフセット値を前
記周波数応答曲線91に掛け合わせるようにし、周波数
を考慮した統計情報から得られた電流スペクトル93を
得る。
【0125】このようにしてより高精度のノイズ推定を
行うことが可能となる。
【0126】実施形態7 本発明の第7の実施形態として、EMIノイズ解析手段
によって得られた等価インピーダンス情報に基づき、E
MI推定を行い、これに基づいて補正を行う方法につい
て説明する。図10に示すように、この例ではまずEM
Iノイズの目標値を入力する(ステップ101)。そし
て図1に示した等価インピーダンス推定手段13を用い
て(あるいは前述の各実施形態の方法を用いて)、フロ
アプラン段階での回路情報11とパッケージ情報12と
を読み込み(ステップ102)、等価インピーダンスの
推定を行う(ステップ103)。
【0127】この後、この等価インピーダンスからEM
Iノイズの推定を行い、所望の周波数帯域での推定EM
Iノイズを得る(ステップ104)。そしてこの推定E
MIノイズと既にステップ101で入力されているEM
Iノイズ目標値とを比較し、追加の必要なインダクタン
スを算出する(ステップ105)。
【0128】そして必要なインダクタンスを得るための
電源端子位置、パッケージ種類、ワイヤ長を算出しフロ
アプラン段階での補正を行う(ステップ106)
【0129】このようにして容易に補正を行うことが可
能となる。フロアプラン段階では種々の情報を変えるた
めの自由度が高く、レイアウト段階での補正に比べて容
易である上、作業性が良好である。
【0130】実施形態8 前記第7の実施形態では、インダクタンス補正を行う方
法について説明したが、本発明の第8の実施形態とし
て、EMIノイズ解析手段によって得られた等価インピ
ーダンス情報に基づき、EMI推定を行い、これに基づ
いて容量補正を行う方法について説明する。
【0131】図11に示すように、EMIノイズの目標
値入力ステップ111からEMIノイズの推定ステップ
114までは前記第7の実施形態とまったく同様に形成
されているが、この例ではEMIノイズの目標値を得る
ために、信号配線容量追加を行うようにしたものであ
る。
【0132】まずEMIノイズの目標値を入力する(ス
テップ111)。そして図1に示した等価インピーダン
ス推定手段13を用いて(あるいは前述の各実施形態の
方法を用いて)、フロアプラン段階での回路情報11と
パッケージ情報12とを読み込み(ステップ112)、
これらの情報に基づいて等価RLC計算を行い、等価イ
ンピーダンスの推定を行う(ステップ113)。
【0133】この後、この等価インピーダンスからEM
Iの推定を行い、所望の周波数帯域での推定EMIノイ
ズを得る(ステップ114)。そしてこの推定EMIノ
イズと既にステップ111で入力されているEMIノイ
ズ目標値とを比較し、追加の必要な容量値を算出する
(ステップ115)。そして必要な容量値を得るための
容量追加を行った場合タイミングの遅延量を算出し遅延
が許容範囲内であるかを判断する(ステップ116)。
【0134】そしてタイミングの許容範囲に相当する追
加限界容量値を算出する(ステップ117)。そして追
加すべき容量値を算出し、信号配線の幅、長さ、経路の
補正を行い信号配線容量の補正を行う(ステップ11
8)。
【0135】このようにして容易に補正を行うことが可
能となる。フロアプラン段階では種々の情報を変えるた
めの自由度が高く、レイアウト段階での補正に比べて容
易である上、作業性が良好である。
【0136】実施形態9 前記第7、8の実施形態では、インダクタンスおよび容
量補正を行う方法について説明したが、本発明の第9の
実施形態として、EMIノイズ解析手段によって得られ
た等価インピーダンス情報に基づき、EMI推定を行
い、これに基づいて抵抗補正を行う方法について説明す
る。
【0137】図12に示すように、EMIノイズの目標
値入力ステップ121からEMIノイズの推定ステップ
124までは前記第7および第8の実施形態とまったく
同様に形成されているが、この例ではEMIノイズの目
標値を得るために、抵抗を追加するようにしたものであ
る。まずEMIノイズの目標値を入力する(ステップ1
21)。
【0138】そして図1に示した等価インピーダンス推
定手段13を用いて(あるいは前述の各実施形態の方法
を用いて)、フロアプラン段階での回路情報11とパッ
ケージ情報12とを読み込み(ステップ122)、これ
らの情報に基づいて計算し、等価インピーダンスの推定
を行う(ステップ123)。
【0139】この後、この等価インピーダンスからEM
Iの推定を行い、所望の周波数帯域での推定EMIノイ
ズを得る(ステップ124)。そしてこの推定EMIノ
イズと既にステップ121で入力されているEMIノイ
ズ目標値とを比較し、追加の必要な抵抗値を算出する
(ステップ125)。
【0140】そして必要な抵抗値を得るための抵抗追加
を行った場合の電圧降下を算出し電圧降下が許容範囲内
であるかを判断する(ステップ126)。そして電圧降
下が許容範囲にあるような追加限界抵抗値を算出する
(ステップ127)。
【0141】そして追加すべき抵抗値を算出し、電源配
線の幅、長さ、経路の補正を行い電源配線による抵抗値
の補正を行う(ステップ128)。このようにして容易
に補正を行うことが可能となる。フロアプラン段階では
種々の情報を変えるための自由度が高く、レイアウト段
階での補正に比べて容易である上、作業性が良好であ
る。
【0142】実施形態10 前記第7、8、9の実施形態では、インダクタンス、容
量および抵抗値補正を行う方法について説明したが、本
発明の第10の実施形態として、EMIノイズ解析手段
によって得られた等価インピーダンス情報に基づき、E
MI推定を行い、これに基づいて空き地を用いたデカッ
プリング容量追加による補正を行う方法について説明す
る。
【0143】図13に示すように、EMIノイズの目標
値入力ステップ131からEMIノイズの推定ステップ
134までは前記第7乃至第9の実施形態とまったく同
様に形成されているが、この例ではEMIノイズの目標
値を得るために、抵抗を追加するようにしたものであ
る。
【0144】まずEMIノイズの目標値を入力する(ス
テップ131)。そして図1に示した等価インピーダン
ス推定手段13を用いて(あるいは前述の各実施形態の
方法を用いて)、フロアプラン段階での回路情報11と
パッケージ情報12とを読み込み(ステップ132)、
これらの情報に基づいて計算し、等価インピーダンスの
推定を行う(ステップ133)。
【0145】この後、この等価インピーダンスからEM
Iの推定を行い、所望の周波数帯域での推定EMIノイ
ズを得る(ステップ134)。そしてこの推定EMIノ
イズと既にステップ131で入力されているEMIノイ
ズ目標値とを比較し、追加の必要な容量値を算出する
(ステップ135)。
【0146】そして必要な容量を形成するための空き地
があるか否かを判断し(ステップ136)、空き地があ
った場合はデカップリング容量を追加する(ステップ1
38)。一方空き地がない場合はデカップリング容量を
追加するための空き地を確保し(ステップ137)、そ
こにデカップリング容量を追加する(ステップ13
9)。
【0147】このようにして容易に補正を行うことが可
能となる。フロアプラン段階では種々の情報を変えるた
めの自由度が高く、レイアウト段階での補正に比べて容
易である上、作業性が良好である。
【0148】実施形態11 これまでの工程では、等価インピーダンス情報算出工程
は、フロアプラン段階での回路情報に基づいて実行され
たが、レイアウト段階の回路情報に基づいて行い、EM
Iノイズを算出することも可能であることはいうまでも
ない。以下、レイアウト段階の回路情報(レイアウトデ
ータ)に基づいて等価インピーダンス情報を算出するよ
うにした例について説明する。
【0149】図14はフローチャートであり、図15は
これに用いられるEMI解析装置である。この装置はレ
イアウトデータ151から、レイアウト素子抽出LPE
を行うLPE手段152と、この抽出データに基づき、
ゲート容量(Cnchpch)と、配線容量(Cload)と、
電源間容量(Cpower)と、MOS容量(電源と接地をM
OSのゲートを介して直結した形状のもの:デカップリン
グ容量Cpatgen)とからなる等価容量を推定する等価容
量推定手段154とを具備し、等価容量Cを推定するも
のである(ステップ155)。
【0150】次にこのEMI解析装置を用いた解析方法
について説明する。図14に示すように、レイアウトデ
ータ141からレイアウト素子抽出LPEを行い(ステ
ップ142)、この抽出データに基づき、トランジスタ
レベルネットリスト143を得る。
【0151】そして等価容量推定手段144を用いて等
価容量145を推定する。ここで容量はゲート容量(C
nchpch)と、配線容量(Cload)と、電源間容量(C
power)と、MOS容量(デカップリング容量
patgen)とに区分される。
【0152】そしてゲート容量(Cnchpch)は、誘電
率およびゲート酸化膜厚をプロセス情報から入手し、デ
カップリング容量以外のゲート長およびゲート幅を得、
ゲート長L×ゲート幅W×誘電率÷ゲート酸化膜厚の演
算式により算出される。
【0153】またLPEで生成されたトランジスタレベ
ルのネットリストから電源―接地間以外の容量を積算し
これを配線容量(Cload)とする。更に、LPEで生成
されたトランジスタレベルのネットリストから電源―接
地間の容量を積算しこれを電源間容量(Cpower)とす
る。LPEで生成されたトランジスタレベルのネットリ
ストからデカップリング容量素子の長さ×幅の総計を算
出し膜厚から容量を計算する。長さL×幅W×誘電率÷
ゲート酸化膜厚の演算式により算出される。このように
して、レイアウトデータに基づいて高精度の等価インピ
ーダンスの推定を行うことが可能となる。
【0154】なおここで容量推定にはシリアル係数αお
よび活性化率βを考慮して次式に従って容量算出を行
う。
【0155】なお、本実施形態では、トランジスタレベ
ルのネットリストをLPE抽出させるとしているが、ゲー
トレベルのネットリストでも可能である。その際は、セ
ルの容量Libで、ゲート容量およびMOS容量を与えればよ
い。
【0156】実施形態12 前記実施形態では、レイアウトデータに基づいて高精度
の等価インピーダンスの推定を行うようにしたが、トラ
ンジスタレベルのスケマティックネットリストから等価
インピーダンスの推定を行うようにしてもよい。ここで
スケマティックとは、回路図段階で接続関係のみが決ま
っているレイアウト前段階のものをさすものとする。
【0157】この装置は図16に示すようにトランジス
タレベルスケマティックネットリスト161とこのトラ
ンジスタレベルスケマティックネットリスト161から
等価インピーダンス容量の推定を行う容量推定手段16
2とを具備し、等価容量Cを推定する(163)もので
ある。
【0158】次に容量推定手段162による各容量の推
定方法について説明する。まず、容量はゲート容量(C
nchpch)と、配線容量(Cload)と、電源間容量(C
power)と、MOS容量(デカップリング容量
patgen)とに区分される。
【0159】そしてゲート容量(Cnchpch)は、トラ
ンジスタレベルのスケマティックネットリストからゲー
トを通して電源・グランドに直結しているデカップリン
グ容量トランジスタ以外のゲートの長さ×幅の総計を計
算し、ゲート長L×ゲート幅W×誘電率÷ゲート酸化膜
厚の演算式により算出される。
【0160】またワイヤロードモデルなどからネット毎
の容量(電源―接地間以外の容量)を推定して積算し、
これを配線容量(Cload)とする。更に、チップサイ
ズ、プロセス種類、電源配線仕様をパラメータとし、統
計的データに基づき、電源―接地間の容量を積算しこれ
を電源間容量(Cpower)とする。
【0161】ゲートを通じて電源・グランドに直結して
いるデカップリングMOS容量トランジスタのゲート長
×幅Wの総計および膜厚、またはデカップリングMOS
容量の挿入する個数、またはデカップリングMOS容量
の挿入可能な面積から容量を計算し、MOS容量C
decoupとする。
【0162】このようにして、トランジスタレベルのス
ケマティックネットリストから容易に等価インピーダン
スの推定を行うことが可能となる。
【0163】この方法では、LPE処理を必要としない
ため、容易に等価インピーダンスを推定できる効果があ
る。またレイアウトの完成を待たずに等価インピーダン
スを推定することができる効果がある。さらに、回路設
計から決まる等価インピーダンスが定量化できることか
ら、回路設計によってのEMI最適化をおこなうことが
可能となる。
【0164】実施形態13 なお、前記実施形態では、トランジスタレベルのスケマ
ティックネットリストに基づいて等価インピーダンスの
推定を行うようにしたが、ゲートレベルのスケマティッ
クネットリストから等価インピーダンスの推定を行うよ
うにしてもよい。
【0165】この装置は図17に示すようにゲートレベ
ルスケマティックネットリスト171とこのゲートレベ
ルスケマティックネットリスト171から等価インピー
ダンス容量の推定を行う容量推定手段172とを具備
し、等価容量Cを推定する(173)ものである。
【0166】この方法でも、LPE処理を必要としない
ため、容易に等価インピーダンスを推定できる効果があ
る。またレイアウトの完成を待たずに等価インピーダン
スを推定することができる効果がある。また回路設計か
ら決まる等価インピーダンスが定量化できることから、
回路設計によってのEMI最適化をおこなうことが可能と
なる。
【0167】さらに、ゲートレベルでの推定のため、L
SI設計フェーズに適合した等価インピーダンス算出が
可能となる。
【0168】実施形態14 なお、前記実施形態では、容量推定にはトランジスタの
ゲート容量をすべて容量として算出したが、ゲートとソ
ース・ドレイン間容量はそれらの電位差により容量とし
て働く場合と働かない場合がある。すなわち、同電位で
は容量として働かないため、実際はその補正を行う必要
がある。
【0169】つまり、図18に示すように、入力信号I
N1にHが入力されている場合、トランジスタBのソー
ス・ドレイン電位はHになることがないため、トランジ
スタBのゲート電位にかかわらず容量としてリニアに働
かない。そこで直列接続状態における電源・グランドか
ら遠い側に配置されたトランジスタがゲート容量として
リニアに機能しなくなる確率が高くなることを考慮した
係数としてシリアル係数αを導入し、容量値の補正を行
う。セル単位・ライブラリ単位等、シリアル係数を算出
する単位については、その工数と精度のトレードオフを
考慮した上で、適切な単位で扱うと良い。
【0170】さらに、ゲート電位が電源・グランド等に
固定されているようなゲート容量値が明白なトランジス
タについて別途容量値を算出した上で、ゲート電位が確
定していないトランジスタに対する係数としてデカップ
リング率γを導入し、容量推定を行うことで、より高精
度な推定を実現することができる。
【0171】また動作中のトランジスタについてはゲー
ト容量から除外する必要があるため、動作しているか否
かを示す係数として活性化率βを導入し、容量値の補正
を行う。
【0172】そこで、容量推定にシリアル係数α、デカ
ップリング率γ、および活性化率βを考慮した一例とし
て、次式を示す。 [[Cnchpch×0.1×α+Cnchpch×(1-α)]+Cload]
×β×γ+ Cpower + Cpatgen この式で仮に0.1として与えているのは、シリアル接続
のゲート容量が容量として有効に効く量を与えたもので
ある。この場合、ゲート面積から見積もる容量の10%が
容量として有効に働くとなる。この数値はプロセス情報
として得ることが可能である。
【0173】これにより、より高精度の等価インピーダ
ンス推定を行うことが可能となる。
【0174】実施形態15 なお、前記実施形態では、トランジスタレベルのスケマ
ティックネットリストとに基づいて等価インピーダンス
の推定を行うようにしたが、RAMメモリなどのメモリ
素子をブロックとして扱いデカップリング容量として推
定することにより、等価容量の推定を行うようにしても
よい。
【0175】この装置は図19に示すようにRAMメモ
リ情報181とこのRAMメモリ情報181からデカッ
プリング容量の推定を行うデカップリング容量推定手段
182とを具備し、等価容量Cを推定する(183)も
のである。
【0176】これにより、容易により高精度の等価容量
推定を行うことが可能となる。
【0177】実施形態16 次にダイナミック解析からセルの動作非動作を考慮する
方法について説明する。インピーダンス算出式の活性化
率をダイナミックに変動させることで可変容量とし、精
度を向上することができる。
【0178】この装置は、図20に示すようにゲートレ
ベルネットリスト194とテストベクタ195とから、
活性化率を算出する活性化率計算手段196とを備えこ
こでセルの動作確率を得(ステップ197)、この動作
確率と回路情報191とからインピーダンス推定手段1
92でインピーダンスの推定を行うようにしたものであ
る。
【0179】この方法によればインピーダンス算出式の
活性化率をダイナミックに変動させることで可変容量と
し、精度の向上を図ることが可能となる。
【0180】実施形態17 前記実施形態では、次にダイナミック解析からセルの動
作非動作を活性化率で考慮する方法について説明した
が、ここでは確率伝搬で計算する装置について説明す
る。
【0181】この装置は、図21に示すようにゲートレ
ベルネットリスト204と確率情報205とから、確率
の伝搬率を算出する確率伝搬手段206とを備えここで
セルの動作確率を得(ステップ207)、この動作確率
と回路情報201とからインピーダンス推定手段202
でインピーダンスの推定(ステップ203)を行うよう
にしたものである。
【0182】この方法によればインピーダンス算出式の
活性化率を確率伝搬まで考慮して推定しているため、よ
り精度の向上を図ることが可能となる。
【0183】実施形態18 レイアウト段階の回路情報に基づいて抵抗を推定する方
法について説明する。図22はこれに用いられるEMI
解析装置である。この装置はレイアウトデータ211か
ら、レイアウト素子抽出LPEを行うLPE手段212
と、この抽出データに基づき、抵抗ネットリスト213
を生成し、トランジスタ接続端子を抵抗(ON抵抗また
はカットOFF抵抗)で接続したものとして等価処理し
(ステップ214)、リダクションあるいは電源に対す
る電流量を算出することにより等価抵抗216を算出す
る(ステップ215)。
【0184】かかる装置によっても、高精度の等価抵抗
を推定することが可能となる。
【0185】実施形態19 次に電源レイアウトのみができたときの電源抵抗の推定
について説明する。ここでは電源抵抗は幹線の約半分程
度であると推定するものとする。図23はこれに用いら
れるEMI解析装置である。この装置は電源のレイアウ
トデータからシート抵抗221と、幹線電源の長さおよ
び幅を得る(226)。そして電源抵抗223を計算す
る(ステップ222)。そして係数(ここでは1/2)
を乗じ、等価抵抗R225を推定する(ステップ22
4)。
【0186】このようにして効率よく高精度の抵抗推定
を行なうことが可能となる。
【0187】実施形態20 本発明の第20の実施形態として、レイアウト情報にも
とづいて推定をおこなったEMIノイズ解析手段によっ
て得られた等価インピーダンス情報に基づき、EMI推
定を行い、これに基づいて補正を行う方法について説明
する。前記第7乃至11の実施形態で説明したフロアプ
ラン段階の補正と同様であるが、レイアウト情報を読み
込みこの情報をもとに等価インピーダンスを推定してい
る点で異なり、高精度の推定が可能となるという特徴を
有する。
【0188】図24に示すように、この例ではまずEM
Iノイズの目標値を入力する(ステップ231)。そし
て図1に示した等価インピーダンス推定手段13を用い
て(あるいは前述の各実施形態の方法を用いて)、レイ
アウト段階での回路情報11とパッケージ情報12とを
読み込み(ステップ232)、この値に基いて等価イン
ピーダンスを算出しの等価インピーダンス推定を行う
(ステップ233)。
【0189】この後、この等価インピーダンスからEM
Iの推定を行い、所望の周波数帯域での推定EMIノイ
ズを得る(ステップ234)。そしてこの推定EMIノ
イズと既にステップ231で入力されているEMIノイ
ズ目標値とを比較し、追加の必要なインダクタンスを算
出する(ステップ235)。
【0190】そして必要なインダクタンスを得るための
電源端子位置、パッケージ種類、ワイヤ長を算出しレイ
アウトレベルでの補正を行う(ステップ236)。
【0191】このようにして容易に補正を行うことが可
能となる。フロアプラン段階出の補正にくらべ自由度は
低いが、高精度の補正が可能となる。
【0192】実施形態21 前記第20の実施形態では、インダクタンス補正を行う
方法について説明したが、本発明の第21の実施形態と
して、EMIノイズ解析手段によって得られた等価イン
ピーダンス情報に基づき、EMI推定を行い、これに基
づいて信号配線容量補正を行う方法について説明する。
【0193】図25に示すように、EMIノイズの目標
値入力ステップ241からEMIノイズの推定ステップ
244までは前記第20の実施形態とまったく同様に形
成されているが、この例ではEMIノイズの目標値を得
るために、信号配線容量追加を行うようにしたものであ
る。
【0194】まずEMIノイズの目標値を入力する(ス
テップ241)。そして図1に示した等価インピーダン
ス推定手段13を用いて(あるいは前述の各実施形態の
方法を用いて)、レイアウト段階での回路情報11とパ
ッケージ情報12とを読み込み(ステップ242)、こ
の情報に基づいて計算し、等価インピーダンスの推定を
行う(ステップ243)。
【0195】この後、この等価インピーダンスからEM
Iの推定を行い、所望の周波数帯域での推定EMIノイ
ズを得る(ステップ244)。そしてこの推定EMIノ
イズと既にステップ241で入力されているEMIノイ
ズ目標値とを比較し、追加の必要な容量値を算出する
(ステップ245)。
【0196】そして必要な容量値を得るための容量追加
を行った場合タイミングの遅延量を算出し遅延が許容範
囲内であるかを判断する(ステップ246)。
【0197】そしてタイミングの許容範囲に相当する追
加限界容量値を算出する(ステップ247)。そして追
加すべき容量値を算出し、信号配線の幅、長さ、経路の
補正を行い信号配線容量の補正を行う(ステップ24
8)。
【0198】かかる構成によれば、タイミングの遅れが
ないように信号配線容量を補正すればよく、容易に効率
よく最適化を行うことができる。このようにして容易に
補正を行うことが可能となる。フロアプラン段階出の補
正にくらべ自由度は低いが、高精度の補正が可能とな
る。
【0199】実施形態22 前記第20、21の実施形態では、インダクタンスおよ
び容量補正を行う方法について説明したが、本発明の第
9の実施形態として、EMIノイズ解析手段によって得
られた等価インピーダンス情報に基づき、EMI推定を
行い、これに基づいて抵抗補正を行う方法について説明
する。
【0200】図26に示すように、EMIノイズの目標
値入力ステップ251からEMIノイズの推定ステップ
254までは前記第20および第21の実施形態とまっ
たく同様に形成されているが、この例ではEMIノイズ
の目標値を得るために、抵抗を追加するようにしたもの
である。
【0201】まずEMIノイズの目標値を入力する(ス
テップ251)。そして図1に示した等価インピーダン
ス推定手段13を用いて(あるいは前述の各実施形態の
方法を用いて)、フロアプラン段階での回路情報11と
パッケージ情報12とを読み込み(ステップ252)、
この情報に基づいて等価RLCを計算し、等価インピー
ダンスの推定を行う(ステップ253)。
【0202】この後、この等価インピーダンスからEM
Iの推定を行い、所望の周波数帯域での推定EMIノイ
ズを得る(ステップ254)。そしてこの推定EMIノ
イズと既にステップ251で入力されているEMIノイ
ズ目標値とを比較し、追加の必要な抵抗値を算出する
(ステップ255)。
【0203】そして必要な抵抗値を得るための抵抗追加
を行った場合の電圧降下を算出し電圧降下が許容範囲内
であるかを判断する(ステップ256)。そして電圧降
下が許容範囲にあるような追加限界抵抗値を算出する
(ステップ257)。
【0204】そして追加すべき抵抗値を算出し、電源配
線の幅、長さ、経路の補正を行い電源配線による抵抗値
の補正を行う(ステップ258)。このようにして容易
に補正を行うことが可能となる。フロアプラン段階での
補正にくらべ自由度は低いが、高精度の補正が可能とな
る。
【0205】実施形態23 前記第20、21、22の実施形態では、インダクタン
ス、配線容量および抵抗値補正を行う方法について説明
したが、本発明の第23の実施形態として、EMIノイ
ズ解析手段によって得られた等価インピーダンス情報に
基づき、EMI推定を行い、これに基づいて空き地を用
いたデカップリング容量追加による補正を行う方法につ
いて説明する。
【0206】図27に示すように、EMIノイズの目標
値入力ステップ261からEMIノイズの推定ステップ
264までは前記第21乃至第23の実施形態とまった
く同様に形成されているが、この例ではEMIノイズの
目標値を得るために、デカップリング容量を追加するよ
うにしたものである。
【0207】まずEMIノイズの目標値を入力する(ス
テップ261)。そして図1に示した等価インピーダン
ス推定手段13を用いて(あるいは前述の各実施形態の
方法を用いて)、レイアウト段階での回路情報11とパ
ッケージ情報12とを読み込み(ステップ262)、こ
の情報に基づいて等価RLCを計算し、等価インピーダ
ンスの推定を行う(ステップ263)。
【0208】この後、この等価インピーダンスからEM
Iの推定を行い、所望の周波数帯域での推定EMIノイ
ズを得る(ステップ264)。そしてこの推定EMIノ
イズと既にステップ261で入力されているEMIノイ
ズ目標値とを比較し、追加の必要な容量値を算出する
(ステップ265)。
【0209】そして必要な容量を形成するための空き地
があるか否かを判断し(ステップ266)、空き地があ
った場合はデカップリング容量を追加する(ステップ2
68)。一方空き地がない場合はデカップリング容量を
追加するための空き地を確保し(ステップ267)、そ
こにデカップリング容量を追加する(ステップ26
9)。
【0210】このようにして容易に補正を行うことが可
能となる。フロアプラン段階で補正にくらべ自由度は低
いが、高精度の補正が可能となる。
【0211】実施形態24 次に推定RCに基づいてEMIノイズが小さくなるよう
に等価RCの最適化を行う方法について説明する。図2
8に示すように、トランジスタ回路を合計の容量および
抵抗が同じでも分散し他方が外から見た容量および抵抗
に起因するノイズが小さくなる場合がある。
【0212】つまり図28(a)のトランジスタ回路を
図28(b)では分散したものであるが、この場合は分
散した方がEMIノイズが小さかった。この逆の場合も
あるが、配列および組み合せを調整することにより調整
することが可能である。次に推定RCに基づいてEMI
ノイズを低減するように再配置を行うことにより最適化
を行う方法について説明する。図29に示すように、ま
ず図1に示した等価インピーダンス推定手段13を用い
て(あるいは前述の各実施形態の方法を用いて)、レイ
アウト段階での回路情報11を読み込み(ステップ28
1)、この情報に基づいて等価RCを計算し、等価容量
および等価抵抗の推定を行う(ステップ282)。
【0213】この後、再配置配線が可能か否かの判断を
行い(ステップ283)、可能であれば回路ブロック位
置、容量位置、電源配線経路などの変更を行い再配置配
線を行う(ステップ284)。そして再度等価容量およ
び等価抵抗(等価RC)を計算し、推定を行う(ステッ
プ285)。
【0214】この後、EMIノイズが低減されたか否か
の判断を行い(ステップ286)、低減されていれば、
これを最適の等価RCとして記憶する(ステップ28
7)。そして低減されていなければ再度ステップ283
に戻る。また再配置配線可能か否かを判断する判断ステ
ップ283で不可能と判断された場合は終了である。こ
のようにして最適化を行うことも可能である。
【0215】かかる構成によれば、レイアウトレベルの
回路情報から等価インピーダンス情報を算出し、この値
に基づいて不要輻射解析がなされるため、レイアウトが
一応フィックスされた段階で不要輻射解析を行うように
すれば、さらに高精度で信頼性の高い不要輻射解析を行
うことが可能となる。
【0216】
【発明の効果】本発明によれば、LSIチップの回路情
報から、電源電流情報を算出することなしに、回路情報
とパッケージ情報とから等価インピーダンス情報を算出
するようにし、容量対策補正を行っているため、高速か
つ容易に不要輻射解析を行うことが可能となる。また、
このように回路情報のみから早期に解析することができ
るため、チップ面積や電源あるいはパッケージの変更が
容易であり、不要輻射対策を立てるのに自由度が高く、
容易に不要輻射の低減を図ることが可能となる。
【0217】そして電源及びグランドの抵抗、容量、イ
ンダクタンスによるデカップリングの影響を、電源電流
情報なしに回路情報から推定することにより高速性と高
精度化を両立させ、シミュレーション上においてLSI
の不要輻射を現実的な時間で評価することを可能にす
る。さらには、EMI発生個所の特定を支援することに
よる効率的なEMI対策をも可能にするものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態における不要輻射解
析方法を実現するための構成を示すブロック図
【図2】本発明の第1の実施の形態における不要輻射解
析方法の説明図
【図3】本発明の第1の実施の形態における不要輻射解
析方法を示す図
【図4】本発明の第2の実施の形態における不要輻射解
析方法を示す図
【図5】本発明の第2の実施の形態における不要輻射解
析方法を示す図
【図6】本発明の第3の実施の形態における不要輻射解
析方法を示す図
【図7】本発明の第4の実施の形態における不要輻射解
析方法を示す図
【図8】本発明の第5の実施形態における周波数応答性
を示す図
【図9】本発明の第6の実施形態を示す図
【図10】本発明の第7の実施の形態における不要輻射
解析方法を示すフローチャート図
【図11】本発明の第8の実施の形態における不要輻射
解析方法を示すフローチャート図
【図12】本発明の第9の実施の形態における不要輻射
解析方法を示すフローチャート図
【図13】本発明の第10の実施の形態における不要輻
射解析方法を示すフローチャート図
【図14】本発明の第11の実施の形態における不要輻
射解析方法を示すフローチャート図
【図15】本発明の第11の実施の形態における不要輻
射解析装置を示す図
【図16】本発明の第12の実施の形態における不要輻
射解析装置を示す図
【図17】本発明の第13の実施の形態における不要輻
射解析装置を示す図
【図18】本発明の第1の実施の形態における不要輻射
解析方法を示す説明図
【図19】本発明の第15の実施の形態における不要輻
射解析装置を示す図
【図20】本発明の第16の実施の形態における不要輻
射解析装置を示す図
【図21】本発明の第17の実施の形態における不要輻
射解析装置を示す図
【図22】本発明の第18の実施の形態における不要輻
射解析装置を示す図
【図23】本発明の第19の実施の形態における不要輻
射解析方法を示す図
【図24】本発明の第20の実施の形態における不要輻
射解析方法を示す図
【図25】本発明の第21の実施の形態における不要輻
射解析方法を示す図
【図26】本発明の第22の実施の形態における不要輻
射解析方法を示す図
【図27】本発明の第23の実施の形態における不要輻
射解析方法を示す図
【図28】本発明の第24の実施の形態における不要輻
射解析方法の概念を示す図
【図29】本発明の第24の実施の形態における不要輻
射解析方法を示す図
【図30】従来例の不要輻射解析方法を示す図
【図31】従来例の不要輻射解析方法を示す図
【符号の説明】
11 回路情報 12 パッケージ情報解析制御入力部 13 等価インピーダンス推定手段 14 等価インピーダンス 15 EMIノイズ解析手段 16 解析結果 17 EMIノイズ最適化手段 18 最適化結果
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/82 T (72)発明者 辻川 洋行 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 2G036 AA10 AA28 BB12 BB22 CA10 5B046 AA08 BA05 BA06 JA03 5F064 DD03 EE03 EE42 EE43 EE44 HH06 HH10

Claims (50)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】LSIの不要輻射量を解析する方法であっ
    て、 当該LSIチップの回路情報と、当該LSIチップのパ
    ッケージ情報とに基づいて等価インピーダンス情報を算
    出推定する等価インピーダンス情報算出工程と、 前記等価インピーダンス情報に基づいて、不要輻射ノイ
    ズを算出する不要輻射ノイズ算出工程とを含むことを特
    徴とする不要輻射解析方法。
  2. 【請求項2】前記等価インピーダンス情報算出工程は、
    前記回路情報から、チップ面積と、電源パッドの位置
    と、電源情報とを抽出する第1の抽出工程と、前記パッ
    ケージ情報からパッケージの種類を抽出する第2の抽出
    工程とを含み、 前記第1および第2の抽出工程で得られた情報に基づい
    て等価インピーダンス情報を算出推定するように構成さ
    れていることを特徴とする請求項1に記載の不要輻射解
    析方法。
  3. 【請求項3】前記回路情報は、フロアプラン情報を含む
    ことを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の
    不要輻射解析方法。
  4. 【請求項4】前記回路情報は、レイアウト情報を含むこ
    とを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の不
    要輻射解析方法。
  5. 【請求項5】前記回路情報は、ネットリスト情報を含む
    ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の不
    要輻射解析方法。
  6. 【請求項6】前記ネットリスト情報は、機能レベルの回
    路情報を含むことを特徴とする請求項5に記載の不要輻
    射解析方法。
  7. 【請求項7】前記ネットリスト情報は、ゲートレベルの
    回路情報を含むことを特徴とする請求項5に記載の不要
    輻射解析方法。
  8. 【請求項8】前記ネットリスト情報は、トランジスタレ
    ベルの回路情報を含むことを特徴とする請求項5に記載
    の不要輻射解析方法。
  9. 【請求項9】前記等価インピーダンス情報算出工程は、
    回路情報から、メモリブロックを容量として推定し実行
    されることを特徴とする請求項1に記載の不要輻射解析
    方法。
  10. 【請求項10】前記等価インピーダンス情報算出工程
    は、活性化率を考慮して容量推定を行う工程を含むこと
    を特徴とする請求項1に記載の不要輻射解析方法。
  11. 【請求項11】前記等価インピーダンス情報算出工程
    は、前記回路情報から抵抗値を推定する工程を含むこと
    を特徴とする請求項1に記載の不要輻射解析方法。
  12. 【請求項12】前記等価インピーダンス情報算出工程
    は、前記回路情報から回路接続情報を抽出し、さらに、
    能動素子をあらかじめ定めた抵抗に置換した回路接続情
    報を作成し、等価抵抗を算出する工程を含むことを特徴
    とする請求項1に記載の不要輻射解析方法。
  13. 【請求項13】前記等価インピーダンス情報算出工程
    は、前記回路情報からチップ面積に基づいて、抵抗値を
    推定する工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の
    不要輻射解析方法。
  14. 【請求項14】前記等価インピーダンス情報算出工程
    は、ワイヤ長に対するインダクタンス情報をデータベー
    ス化する工程と、前記回路情報および前記パッケージ情
    報から、ワイヤ長を算出する工程と、前記ワイヤ長から
    前記データベース化されたインダクタンス情報を抽出
    し、インダクタンスを推定する工程とを含むことを特徴
    とする請求項1に記載の不要輻射解析方法。
  15. 【請求項15】前記等価インピーダンス情報算出工程で
    得られた等価インピーダンスに基づいてEMIノイズを
    推定するノイズ推定工程とを含むことを特徴とする請求
    項1乃至14のいずれかに記載の不要輻射解析方法。
  16. 【請求項16】前記ノイズ推定工程は、前記等価インピ
    ーダンスと、前記回路情報とから前記LSIの周波数応
    答性を算出する工程と、前記周波数応答性に基づいて、
    前記LSIのEMIノイズを推定する工程とを含むこと
    を特徴とする請求項15に記載の不要輻射解析方法。
  17. 【請求項17】前記ノイズ推定工程は、クロック周波数
    と推定消費電力とに基づいてオフセット値を算出する工
    程と、前記オフセット値を前記周波数応答性に掛け合わ
    せる工程とを含むことを特徴とする請求項16に記載の
    不要輻射解析方法。
  18. 【請求項18】さらに、得られた前記等価インピーダン
    スに基づいてEMIノイズを最適化すべく補正を行う補正
    工程を含むことを特徴とする請求項1乃至17のいずれ
    かに記載の不要輻射解析方法。
  19. 【請求項19】前記補正工程は、前記推定工程で推定さ
    れたインダクタンスを補正すべく、電源端子位置、パッ
    ケージ種類およびワイヤ長を補正する工程を含むことを
    特徴とする請求項18に記載の不要輻射解析方法。
  20. 【請求項20】前記補正工程は、前記推定工程で推定さ
    れた容量からタイミングに問題がない程度に信号配線容
    量を補正する工程を含むことを特徴とする請求項18に
    記載の不要輻射解析方法。
  21. 【請求項21】前記信号配線容量を補正する工程は、信
    号配線幅、信号配線長、信号配線経路を補正する工程を
    含むことを特徴とする請求項20に記載の不要輻射解析
    方法。
  22. 【請求項22】前記補正工程は、電圧降下が問題のない
    程度に電源配線レイアウトを補正する電源配線レイアウ
    ト補正工程を含むことを特徴とする請求項18に記載の
    不要輻射解析方法。
  23. 【請求項23】前記電源配線レイアウト補正工程は、電
    源経路、電源配線幅、電源配線長を補正する工程を含む
    ことを特徴とする請求項22に記載の不要輻射解析方
    法。
  24. 【請求項24】前記補正工程は、デカップリング容量を
    補正する工程を含むことを特徴とする請求項18に記載
    の不要輻射解析方法。
  25. 【請求項25】前記補正工程は、電源および容量の接続
    関係を補正する工程を含むことを特徴とする請求項18
    に記載の不要輻射解析方法。
  26. 【請求項26】LSIの不要輻射量を解析する装置であ
    って、 当該LSIチップの回路情報と、当該LSIチップのパ
    ッケージ情報とに基づいて等価インピーダンス情報を算
    出推定する等価インピーダンス情報算出手段と、 前記等価インピーダンス情報に基づいて、不要輻射ノイ
    ズを算出する不要輻射ノイズ算出手段とを含むことを特
    徴とする不要輻射解析装置。
  27. 【請求項27】前記等価インピーダンス情報算出手段
    は、前記回路情報から、チップ面積と、電源パッドの位
    置と、電源情報とを抽出するとともに、前記パッケージ
    情報からパッケージの種類を抽出するように構成されて
    おり、 前記不要輻射ノイズ算出手段は、前記抽出された情報に
    基づいて等価インピーダンス情報を算出推定する推定手
    段を含む事を特徴とする請求項26に記載の不要輻射解
    析装置。
  28. 【請求項28】前記回路情報は、フロアプラン情報を含
    むことを特徴とする請求項26または27のいずれかに
    記載の不要輻射解析装置。
  29. 【請求項29】前記回路情報は、レイアウト情報を含む
    ことを特徴とする請求項26または27のいずれかに記
    載の不要輻射解析装置。
  30. 【請求項30】前記回路情報は、ネットリスト情報を含
    むことを特徴とする請求項26乃至29のいずれかに記
    載の不要輻射解析装置。
  31. 【請求項31】前記ネットリスト情報は、機能レベルの
    回路情報を含むことを特徴とする請求項30に記載の不
    要輻射解析装置。
  32. 【請求項32】前記ネットリスト情報は、ゲートレベル
    の回路情報を含むことを特徴とする請求項30に記載の
    不要輻射解析装置。
  33. 【請求項33】前記ネットリスト情報は、トランジスタ
    レベルの回路情報を含むことを特徴とする請求項30に
    記載の不要輻射解析装置。
  34. 【請求項34】前記等価インピーダンス情報算出手段
    は、回路情報からメモリブロックを容量として推定し実
    行されるように構成されていることを特徴とする請求項
    26に記載の不要輻射解析装置。
  35. 【請求項35】前記等価インピーダンス情報算手段は、
    活性化率を考慮して容量推定を行う推定手段を含むこと
    を特徴とする請求項26に記載の不要輻射解析装置。
  36. 【請求項36】前記等価インピーダンス情報算出手段
    は、前記回路情報から抵抗値を推定する手段を含むこと
    を特徴とする請求項26に記載の不要輻射解析装置。
  37. 【請求項37】前記等価インピーダンス情報算出手段
    は、前記回路情報から回路接続情報を抽出し、さらに、
    能動素子をあらかじめ定めた抵抗に置換した回路接続情
    報を作成し、等価抵抗を算出する等価抵抗算出手段を含
    むことを特徴とする請求項26に記載の不要輻射解析装
    置。
  38. 【請求項38】前記等価インピーダンス情報算出手段
    は、前記回路情報からチップ面積に基いて、抵抗値を推
    定する抵抗値推定手段を含むことを特徴とする請求項2
    6に記載の不要輻射解析装置。
  39. 【請求項39】前記等価インピーダンス情報算出手段
    は、ワイヤ長に対するインダクタンス情報をデータベー
    ス化する手段と、前記回路情報および前記パッケージ情
    報から、ワイヤ長を算出するワイヤ長算出手段と、前記
    ワイヤ長から前記データベース化されたインダクタンス
    情報を抽出し、インダクタンスを推定する抽出手段とを
    含むことを特徴とする請求項26に記載の不要輻射解析
    装置。
  40. 【請求項40】前記等価インピーダンス情報算出手段で
    得られた等価インピーダンスに基いてEMIノイズを推
    定するノイズ推定手段を含むことを特徴とする請求項2
    6乃至39のいずれかに記載の不要輻射解析装置。
  41. 【請求項41】前記ノイズ推定手段は、前記等価インピ
    ーダンスと、前記回路情報とから前記LSIの周波数応
    答性を算出する手段と、前記周波数応答性に基いて、前
    記LSIのEMIノイズを推定する推定手段とを含むこ
    とを特徴とする請求項40に記載の不要輻射解析装置。
  42. 【請求項42】前記ノイズ推定手段は、クロック周波数
    と推定消費電力とに基いてオフセット値を算出する手段
    と、前記オフセット値を前記等価インピーダンスに掛け
    合わせる手段とを含むことを特徴とする請求項41に記
    載の不要輻射解析装置。
  43. 【請求項43】さらに、得られた前記等価インピーダン
    スに基いてEMIノイズを最適化すべく補正を行う補正
    手段を含むことを特徴とする請求項26乃至42のいず
    れかに記載の不要輻射解析装置。
  44. 【請求項44】前記補正手段は、前記推定手段で推定さ
    れたインダクタンスを補正すべく、電源端子位置、パッ
    ケージ種類およびワイヤ長を補正する補正手段を含むこ
    とを特徴とする請求項43に記載の不要輻射解析装置。
  45. 【請求項45】前記補正手段は、前記推定手段で推定さ
    れた容量からタイミングに問題がない程度に信号配線容
    量を補正する容量補正手段を含むことを特徴とする請求
    項43に記載の不要輻射解析装置。
  46. 【請求項46】前記信号配線容量を補正する補正手段
    は、信号配線幅、信号配線長、信号配線経路を補正する
    補正手段を含むことを特徴とする請求項42に記載の不
    要輻射解析装置。
  47. 【請求項47】前記補正手段は、電圧降下が問題のない
    程度に電源配線レイアウトを補正する電源配線レイアウ
    ト補正手段を含むことを特徴とする請求項43に記載の
    不要輻射解析装置。
  48. 【請求項48】前記電源配線レイアウト補正手段は、電
    源経路、電源配線幅、電源配線長を補正する補正手段を
    含むことを特徴とする請求項47に記載の不要輻射解析
    装置。
  49. 【請求項49】前記補正手段は、デカップリング容量を
    補正する容量補正手段を含むことを特徴とする請求項4
    3に記載の不要輻射解析装置。
  50. 【請求項50】前記補正手段は、電源および容量の接続
    関係を補正する接続関係補正手段を含むことを特徴とす
    る請求項43に記載の不要輻射解析装置。
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