JP2003007839A - 高電圧発生方法および電圧発生器 - Google Patents

高電圧発生方法および電圧発生器

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 チップ電源からチップ上で得られる電圧より
も高い電圧を、集積回路チップ上で発生する電圧発生器
を提供する。 【解決手段】 集積回路チップ用の電圧発生器26は、
集積回路チップに利用できる電圧を有する電源を有する
集積回路チップ20と、電源に電気的に接続された集積
回路チップ上の、または集積回路チップに接触したイン
ダクタであって、電流を流すインダクタと、電源からイ
ンダクタを経て流れる電流を、所望の時間間隔で断続さ
せて、電源の電圧より大きい電圧スパイクを発生させる
ように構成されたクロックとを備える。インダクタは、
集積回路チップを集積回路チップ・パッケージ22へ接
続するリードフレーム24の一部よりなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電源から集積回路
(IC)チップへ供給できる電圧よりも高い電圧を発生
する方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】最近、酸化物型の電気ヒューズまたはア
ンチヒューズが、半導体技術に導入されており、集積回
路チップに普通に利用でき、集積回路チップによって用
いられる電源電圧(Vext )よりも高いプログラミング
電圧を必要としている。アンチヒューズ・プログラミン
グは、製造テストにおいて典型的に行われ、10秒以下
の間、動作する高電圧発生器を必要とする。従来、大半
のチップは、5V電源によって動作されており、このよ
うな電源の電圧は、現在、約3V領域、例えば3.3
V、および2.7Vのような低い値に下がってきてい
る。アンチヒューズをプログラムするのに必要な電圧
は、約6〜10Vである。これらの高い電圧は、例えば
特殊なピン(一組の自身の問題を有している)によっ
て、チップ外の電源から、またはチップ上の電源から電
圧を発生することによって、供給する必要がある。チッ
プ外から高電圧を供給できるが、特殊な静電デバイス
(ESD)保護回路を必要とする。この保護回路は、通
常のESDデバイスによって普通にシャントされた電圧
レベルを許容する。発振器および多段ポンプを用いて、
チップ上で10Vを発生できるが、このようなデバイス
は、チップ上に比較的大きな領域を必要とする。
【0003】電気ヒューズをプログラムする電圧の発生
に加えて、他の特定の応用は、チップ上で得られる電圧
よりも高い電圧を必要とする。他の特定の応用として
は、基準電圧を発生する、バッテリを充電する手段を与
えるといった応用、および低電力を用いる高電圧を必要
とするあらゆる応用が含まれる。通常のチップ電源から
得られる電圧の2〜4倍である電圧を集積回路チップ上
で発生できること、およびコンパクトなデバイスでその
ようにできることは、有益であろう。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来技術の問題および
欠点を考慮すると、本発明の目的は、チップ電源からチ
ップ上で得られる電圧よりも高い電圧を、集積回路チッ
プ上で発生する方法および装置を提供することにある。
【0005】本発明の他の目的は、集積回路チップ上で
高電圧を発生する、比較的コンパクトな装置を提供する
ことにある。
【0006】本発明のさらに他の目的は、アンチヒュー
ズをプログラムするのに用いることのできる高電圧を、
集積回路チップ上で発生する方法および装置を提供する
ことにある。
【0007】本発明のさらに他の目的は、低電力を用い
る高電圧応用に用いることのできる高電圧を、集積回路
チップ上で発生する方法および装置を提供することにあ
る。
【0008】本発明のさらに他の目的および利点は、部
分的に自明であり、部分的に明細書から明らかであろ
う。
【0009】
【課題を解決するための手段】当業者には明らかな上記
および他の目的および利点は、本発明によって実現され
る。本発明は、第1の態様によれば、集積回路チップに
利用できる電源から、集積回路チップ上で高電圧を発生
する方法である。この方法は、集積回路チップに供給で
きる電圧を有する電源を、集積回路チップに設けるステ
ップと、集積回路チップ上に、または集積回路チップに
接触して、インダクタを設けるステップと、電源からイ
ンダクタを経て電流を流すステップと、インダクタを流
れる電流を、所望の時間間隔で断続させて、電源の電圧
より大きい電圧スパイクを発生させるステップとを含ん
でいる。
【0010】好適には、集積回路チップは、集積回路チ
ップを集積回路チップ・パッケージへ接続するリードフ
レームを有し、インダクタは、リードフレームの一部よ
りなる。電流を、複数のトランジスタを経て流し、クロ
ックを複数のトランジスタの1つに供給して、電流を断
続させる。本発明の方法は、電圧スパイクを整流し、収
集して、キャパシタに蓄積するステップをさらに含んで
おり、キャパシタおよび整流器が、集積回路チップ上に
設けられている。
【0011】正および負の電圧スパイクが、電流の断続
によって発生され、本発明の方法は、集積回路チップ上
のダイオードを用いて、負の電圧スパイクをグランドに
シャントするステップをさらに含む。スタックド・ダイ
オード・クランプ回路を用いて、発生された高電圧を制
限する。電圧スパイクは、集積回路チップに利用できる
電源の電圧の約2または約3倍の電圧を発生することが
できる。集積回路チップは、電気ヒューズおよび/また
はバッテリを有し、電圧スパイクによって発生された高
電圧を用いて、集積回路チップ上の電気ヒューズをプロ
グラムし、および/またはバッテリを充電するステップ
をさらに含む。
【0012】関連する態様では、本発明は、集積回路チ
ップ用の電圧発生器に関する。この電圧発生器は、集積
回路チップに利用できる電圧を有する電源を有する集積
回路チップと、電源に電気的に接続された集積回路チッ
プ上の、または集積回路チップに接触したインダクタで
あって、電流を流すインダクタと、電源からインダクタ
を経て流れる電流を、所望の時間間隔で断続させて、電
源の電圧より大きい電圧スパイクを発生させるように構
成されたクロックとを備える。
【0013】好適には、集積回路チップは、集積回路チ
ップを集積回路チップ・パッケージへ接続するリードフ
レームを有し、インダクタは、リードフレームの一部よ
りなる。電圧発生器は、集積回路チップ上に設けられ、
電流が流れるインダクタに接続されたトランジスタをさ
らに備え、クロックは複数のトランジスタの1つに接続
され、トランジスタを流れる電流を断続させる。電圧発
生器は、集積回路チップ上に設けられ、電圧スパイクを
収集して蓄積するように構成されたキャパシタおよび整
流器をさらに備える。集積回路チップ上に設けられたダ
イオードを、電流の断続によって発生された負の電圧ス
パイクをグランドにシャントするように構成することが
でき、および集積回路チップ上に設けられたスタックド
・ダイオード・クランプ回路を、発生された高電圧を制
限するように構成することができる。電圧スパイクは、
集積回路チップに利用できる電源の電圧の約2または約
3倍の電圧を発生する。集積回路チップが、電気ヒュー
ズおよび/またはバッテリを有する場合、集積回路チッ
プ上のヒューズを、電圧スパイクによって発生された高
電圧によってプログラムされるように構成することがで
き、および/または、バッテリは、電圧スパイクによっ
て発生された高電圧によって充電されるように構成する
ことができる。
【0014】
【発明の実施の形態】本発明の好適な実施例の説明で
は、図1〜図3を参照する。本発明の特徴は、図におい
て必ずしもスケール通りに示していない。
【0015】本発明は、チップ電源の電圧より数ボルト
大きいピーク振幅を有する誘導電圧スパイクを、集積回
路チップ上で発生する方法および装置である。この高電
圧が発生すると、この高電圧は、アンチヒューズの酸化
物に何回も供給できて、特定のヒューズ・エレメントを
プログラムすることができ、あるいは通常のチップ電源
の電圧の2〜4倍の電圧を必要とする他の応用に用いる
ことができる。
【0016】本発明の好適な実施例は、クロック信号C
LKを入力するための回路を用いる。クロック信号は、
インダクタを流れる電流を変調して、以下の関係式に従
って、インダクタに高電圧を誘起させる。
【0017】VL =−L(di/dt) ここに、VL は、インダクタに発生する電圧であり、L
は、インダクタのインダクタンスであり、iは電流、t
は時間である。インダクタンスは、8〜10nHのTS
OP(thin small outline pac
kage)リードフレーム・インダクタで構成でき、あ
るいは“On-Chip Spiral Inductors…”1987 digest of
Tech. Papers, Symposium on VLSI circuits, p.12-1
に開示されている、チップ上に作製されたインダクタで
構成できる。高電圧が内部ノードに誘起されると、整流
されて、フィルタ・キャップのスタックに送られて、電
気ヒューズ・エレメントをプログラムするのに用いられ
る。さらに、本発明の好適な実施例は、集積回路チップ
パッケージ上の既存のリードフレーム・インダクタを、
コンポーネントの1つとして利用する。
【0018】図1に示されるように、集積回路チップ2
0は、シリコン上に作製され、続いて、プラスチックま
たはセラミックのパッケージ22内に、パッケージング
される。集積回路チップは、通常、リードフレームまた
はワイヤボンド24と呼ばれる接続手段によって、パッ
ケージ・ピン32に接続される。典型的に、リードフレ
ームは、高透磁率のニッケル−鉄構成、例えばAllo
y42よりなる金属フレームであり、チップ上に載って
いる。リードフレームは、チップの上側周波数応答を制
限する高レベルのインダクタンスを有するので、インダ
クタンスは確定的ではなく、したがって寄生的であると
みなされる。本発明によれば、このようなリードフレー
ムのインダクタンスは、その誘導特性を利用することに
よって、リードフレームを有用に用いて、集積回路チッ
プ上で直接に高電圧を発生させることができる。リード
フレーム・インダクタの使用は、特に有益である。とい
うのは、集積回路は、配線がアルミニウムで作られてお
り、インダクタを作製する便宜な方法を通常有さず、お
よび配線からグランド面への距離が非常に小さいからで
ある。追加のチップ領域を用いることなしに、既存のリ
ードフレームは、適切なインダクタンスを与えることが
できる。
【0019】本発明では、リードフレームの一部に電流
を強制的に流して断続し、電流の変化di/dtを生じ
させる。これにより、高電圧スパイクが、誘導的に発生
される。この高電圧スパイクは、ICコンポーネントを
用いて、整流されろ波される。各スパイクは、約1ns
続くだけであるので、数百(数千でなければ)のスパイ
クが、繰り返し発生されて整流され、キャパシタを充電
する。このキャパシタは、高電圧を蓄積する。これらの
コンポーネントおよび回路は、チップ20上の比較的小
さい領域内に設けられたオンチップ高電圧発生器26に
含ませることができる。
【0020】特定の低電圧、例えば3〜4Vで設計され
たトランジスタへの電圧酸化物ストレスを阻止するため
には、スタッキング技術を用いて、電圧酸化物ストレス
を低くする。電圧酸化物ストレスは、各トランジスタ
が、一定レベルより大きな電圧を許容できない特定のゲ
ート酸化物厚さを有する故に、発生することが知られて
いる。このことは、酸化物が耐えることのできない限界
(メガボルト/センチメートル)によって、特定するこ
とができる。この限界は、大半の技術に対して、典型的
に5mV/cmである。本発明は、2個以上のこれらト
ランジスタを直列に用いて、1個のコンポーネントに電
圧を負担させて1個のコンポーネントをオーバストレス
にさらすよりはむしろ、電圧を2個のコンポーネントに
分配するようにする。この方法を用いることによって、
酸化物ストレスの問題は避けられ、他方では、低電力回
路における高電圧基準のような応用に有用な高電圧を依
然として発生し、あるいはアンチヒューズ・プログラミ
ング用の高電圧を与える。アンチヒューズ・エレメント
28は、本発明によって発生された高電圧を用いて、プ
ログラムできる。さらに、このような高電圧を用いて、
チップ上に設けられた再充電可能バッテリ30を充電す
ることができる。
【0021】図2は、本発明のオンチップ電圧スパイク
発生器の好適な実施例の回路図である。ICパッケージ
22上のリードフレーム・インダクタ24(図1)によ
って形成されるインダクタL1 に、電流が流される。図
示の例では、L1 =10nHである。電流は、この例で
は2.7Vである外部電源Vext から、インダクタL 1
に流される。電流は、垂直方向にスタックされたトラン
ジスタNFET6,NFET4,NFET0を経て、下
側インダクタL0 に流れ、そしてグランドに流れる。下
側インダクタL0 は、また、リードフレーム24によっ
て形成され、基本的には寄生エレメントである。同様
に、リードフレーム24で形成されるインダクタL2
も、寄生エレメントである。図示の例では、L0 =L2
=4nHである。クロック入力CLKは、NFET0の
ゲートに接続されている。
【0022】オンチップ電圧スパイク発生器の動作は、
クロック入力CLKをターンオンして、インダクタL
1 、トランジスタNFET6,NFET4,NFET
0、インダクタL0 に電流を流す。次に、クロック入力
CLKを、急速に閉じる。これは、所望の期間間隔で繰
り返され、di/dtを形成する。この変化電流に応じ
て、Vext より大きい電圧スパイクが、ノードVc に発
生する。すなわち、インダクタL1 に電磁界が無くなる
と、ノードVc は、変化電流の結果、電圧スパイクをイ
ンダクタL1 に発生させる。したがって、ノードVc
高電圧ノードである。
【0023】このインダクタは、電流の正変化または電
流の負変化に応じて、正のスパイクまたは負のスパイク
を発生する。ノードVc に接続されたダイオードN4
は、正の電圧スパイクを、収集キャパシタンスC1 およ
びC2 に送る。これらの収集キャパシタは、ソースとド
レインを互いに接続したトランジスタとして示されてお
り、トランジスタの間は電圧ノードVd を構成してい
る。ノードVc に発生する正の電圧スパイクは、ダイオ
ードN4を経て、ノードVout へ送られると、電荷がキ
ャパシタC1 およびC2 に蓄積される。ノードVout
発生する電圧は、これらトランジスタのうちの1つを通
るならば、酸化物ストレスの問題を生じさせるほどに高
いが、分圧器を構成する1対のスタックド・トランジス
タ(キャパシタ)エレメントが存在するので、ノードV
out の電圧は、半分に分けられ、酸化物ストレスは、許
容限界以下に保持される。ダイオードNFET3は、一
端が外部電源Vext に接続され、他端がキャパシタC1
とC2 との間に接続されて、パワーアップ電圧Vd は、
ext よりダイオード電圧降下分だけ低いものよりも低
くはなく、すなわち(Vext −しきい値降下)よりも低
くないようにする。これは、また、酸化物ストレスを阻
止するのを助ける。
【0024】電流が断続されて、負のスパイクを発生す
ると、ノードVc とインダクタL0との間に設けられて
いるダイオードN5が、回路をショートし、すなわち負
のスパイクをグランドにシャントする。換言すれば、ノ
ードVc がグランド電位以下になると、ダイオードN5
が導通し、ノードVc を、グランド電位よりダイオード
電圧だけ低い値にクランプする。
【0025】ノードVc に発生する電圧が、変化し、不
確定なインダクタンスに比例する。さらに、インダクタ
でのdi/dt、ノードVc およびVout での対応ノー
ド電圧を予測することは困難である。このことは、酸化
物ストレスおよび過電圧を発生するほどにノードVout
が高くなる状況を生じるかもしれない。この潜在的な問
題を処理するために、本発明は、ノードVout を外部電
源Vext に接続するダイオードのスタックを与える。そ
の結果、ノードVout は、外部電源の電圧よりもN個の
ダイオードの電圧降下分だけ高い値より大きく上昇でき
ない。ダイオードN1,N2,N3は、外部電源Vext
に接続されたインダクタL2 とノードV out との間に直
列に配列されて示されている。○印は、追加のダイオー
ドの可能性を示している。所望の最大電圧に応じて、任
意の数のダイオードを用いることができる。これらのス
タックされたダイオードは、過電圧を阻止するためのク
ランプ機構を与える。ダイオード電圧降下が0.65V
であり、10個のダイオードが直列に用いられるなら
ば、ノードVout の最大電圧は、外部電源Vext より
6.5V大きな値になる。他のダイオードを、他の最大
電圧のために用いることができる。例えば、アンチヒュ
ーズが、8Vまたは9Vでとばされるならば、10Vま
たは11Vより大きい電圧をノードVout に発生させる
必要はない。コンポーネントは、何Vに耐え得るかを、
技術仕様書から計算することができ、したがってスタッ
クド・ダイオード・クランプ回路は、電圧を応用使用に
十分なほど高い電圧にするが、信頼性の問題を生じるほ
どに高くはない。
【0026】さらに、任意のキャパシタCAPを設け
て、外部電源とグランドとの間の典型的なオンチップ・
キャパシタンスをシミュレートする。CAPは、オペラ
ビリティ(operability)を証明するための
シミュレーションにおいて有用であるが、本発明の本質
的な部分ではない。
【0027】図3は、本発明の高電圧発生器の電圧出力
out を、クロックパルスの数の関数として示すグラフ
である。電圧出力Vout は、2.7Vの外部電源電圧V
extから作られる。水平軸は、時間(ナノ秒)を示し、
クロックCLKパルスは、グラフの下部に示されてい
る。また、垂直軸は、ボルトを示している。クロックパ
ルス速度は、約5nsオンおよび約5nsオフであり、
これは電流変化di/dtとインダクタでの電圧スパイ
クとを発生する。得られる出力電圧Vout は、基本的に
2つの周波数で振動している。低周波は、約7V〜約9
Vの電圧範囲を有している。この低周波は、オンチップ
・キャパシタンスとインダクタンスとの間で発生する共
振に基づいている。さらに、図2の電圧Vout は、単一
の外部グランドを基準にすることに注意すべきである。
実際のオンチップ電圧は、平滑である。というのは、使
用に際して、オンチップ・グランドVb (図2)を基準
にするからである。
【0028】このように、本発明の好適な回路は、PN
ダイオードによる電圧制限を用いて、大きな負のスパイ
クが、順方向バイアスされた接合を生じさせることを防
止する。最大電圧の制限は、また、ダイオード・スタッ
ク・クランプ機構によって調整することができる。本発
明を用いて、米国特許第5,070,384号公報に開
示されているようなアンチヒューズをプログラムするこ
とができる。なお、この米国特許の内容は、本願明細書
の内容に含まれるものとする。現在の技術でアンチヒュ
ーズをプログラミングするLab測定値は、6μAといっ
た小さな電流での適正なプログラミングを示しており、
したがって高電流容量は、必要とされない。
【0029】本発明を、特定の好適な実施例で説明した
が、前述した説明から、多くの変形,変更が当業者には
明らかであろう。特許請求の範囲は、本発明の範囲およ
び趣旨の範囲内にあるこのような変形,変更を含むこと
を意図している。
【0030】まとめとして、本発明の構成に関して以下
の事項を開示する。 (1)集積回路チップに利用できる電源から、前記集積
回路チップ上で高電圧を発生する方法であって、前記集
積回路チップに供給できる電圧を有する電源を、前記集
積回路チップに設けるステップと、前記集積回路チップ
上に、または前記集積回路チップに接触して、インダク
タを設けるステップと、前記電源から前記インダクタを
経て電流を流すステップと、前記インダクタを流れる電
流を、所望の時間間隔で断続させて、前記電源の電圧よ
り大きい電圧スパイクを発生させるステップと、を含む
方法。 (2)前記集積回路チップは、前記集積回路チップを集
積回路チップ・パッケージへ接続するリードフレームを
有し、前記インダクタは、前記リードフレームの一部よ
りなる、上記(1)に記載の方法。 (3)前記電流を、複数のトランジスタを経て流し、ク
ロックを前記複数のトランジスタの1つに供給して、前
記電流を断続させる、上記(1)に記載の方法。 (4)前記複数のトランジスタは、前記集積回路チップ
上に設けられている、上記(3)に記載の方法。 (5)前記電圧スパイクを整流し、収集して、キャパシ
タに蓄積するステップをさらに含む、上記(1)に記載
の方法。 (6)前記キャパシタおよび整流器が、前記集積回路チ
ップ上に設けられている、上記(5)に記載の方法。 (7)正および負の電圧スパイクが、前記電流の断続に
よって発生され、ダイオードを用いて、前記負の電圧ス
パイクをグランドにシャントするステップをさらに含
む、上記(1)に記載の方法。 (8)前記ダイオードは、前記集積回路チップ上に設け
られている、上記(7)に記載の方法。 (9)発生された前記高電圧を制限するためのスタック
ド・ダイオード・クランプ回路をさらに含む、上記
(1)に記載の方法。 (10)前記スタックド・ダイオード・クランプ回路
は、前記集積回路チップ上に設けられている、上記
(9)に記載の方法。 (11)前記電圧スパイクは、前記集積回路チップに利
用できる前記電源の電圧の約2または約3倍の電圧を発
生する、上記(1)に記載の方法。 (12)前記集積回路チップは、電気ヒューズを有し、
前記電圧スパイクによって発生された前記高電圧を用い
て、前記集積回路チップ上の前記電気ヒューズをプログ
ラムするステップをさらに含む、上記(1)に記載の方
法。 (13)前記集積回路チップは、バッテリを有し、前記
電圧スパイクによって発生された前記高電圧を用いて、
前記集積回路チップ上の前記バッテリを充電するステッ
プをさらに含む、上記(1)に記載の方法。 (14)集積回路チップ用の電圧発生器であって、集積
回路チップに利用できる電圧を有する電源を有する集積
回路チップと、前記電源に電気的に接続された前記集積
回路チップ上の、または前記集積回路チップに接触した
インダクタであって、電流を流すインダクタと、前記電
源から前記インダクタを経て流れる電流を、所望の時間
間隔で断続させて、前記電源の電圧より大きい電圧スパ
イクを発生させるように構成されたクロックと、を備え
る電圧発生器。 (15)前記集積回路チップは、前記集積回路チップを
集積回路チップ・パッケージへ接続するリードフレーム
を有し、前記インダクタは、前記リードフレームの一部
よりなる、上記(14)に記載の電圧発生器。 (16)前記集積回路チップ上に設けられ、電流が流れ
る前記インダクタに接続されたトランジスタをさらに備
え、前記クロックは前記複数のトランジスタの1つに接
続され、前記トランジスタを流れる電流を断続させる、
上記(14)に記載の電圧発生器。 (17)前記集積回路チップ上に設けられ、前記電圧ス
パイクを収集して蓄積するように構成されたキャパシタ
および整流器をさらに備える、上記(14)に記載の電
圧発生器。 (18)前記集積回路チップ上に設けられ、前記電流の
断続によって発生された前記負の電圧スパイクをグラン
ドにシャントするように構成されたダイオードをさらに
備える、上記(14)に記載の電圧発生器。 (19)前記集積回路チップ上に設けられ、発生された
前記高電圧を制限するように構成されたスタックド・ダ
イオード・クランプ回路をさらに備える、上記(14)
に記載の電圧発生器。 (20)前記電圧スパイクは、前記集積回路チップに利
用できる前記電源の電圧の約2または約3倍の電圧を発
生する、上記(14)に記載の電圧発生器。 (21)前記集積回路チップは、電気ヒューズを有し、
前記集積回路チップ上のヒューズは、前記電圧スパイク
によって発生された前記高電圧によってプログラムされ
るように構成されている、上記(14)に記載の電圧発
生器。 (22)前記集積回路チップは、バッテリを有し、前記
集積回路チップ上のバッテリは、前記電圧スパイクによ
って発生された前記高電圧によって充電されるように構
成されている、上記(14)に記載の電圧発生器。
【図面の簡単な説明】
【図1】リードフレームと本発明の誘導電圧スパイク発
生器とを示す集積回路チップの平面図である。
【図2】本発明の誘導電圧発生器の回路図である。
【図3】本発明の誘導電圧発生器によって発生された高
電圧Vout のグラフ表示である。
【符号の説明】
20 集積回路チップ 22 パッケージ 24 リードフレームまたはワイヤボンド 26 オンチップ高電圧発生器 28 アンチヒューズ・エレメント 30 再充電可能バッテリ 32 パッケージ・ピン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 トシアキ・キリハタ アメリカ合衆国 12603 ニューヨーク州 ポウキープシー ミスティ リッジ サ ークル 10 (72)発明者 サング・フー・ドング アメリカ合衆国 78733 テキサス州 オ ースティン コーリオプシス ドライブ 10617 Fターム(参考) 5F038 AV15 AZ04 BB05 BE07 BG03 BH03 BH04 BH15 CD06 EZ20 5F067 CD10

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】集積回路チップに利用できる電源から、前
    記集積回路チップ上で高電圧を発生する方法であって、 前記集積回路チップに供給できる電圧を有する電源を、
    前記集積回路チップに設けるステップと、 前記集積回路チップ上に、または前記集積回路チップに
    接触して、インダクタを設けるステップと、 前記電源から前記インダクタを経て電流を流すステップ
    と、 前記インダクタを流れる電流を、所望の時間間隔で断続
    させて、前記電源の電圧より大きい電圧スパイクを発生
    させるステップと、を含む方法。
  2. 【請求項2】前記集積回路チップは、前記集積回路チッ
    プを集積回路チップ・パッケージへ接続するリードフレ
    ームを有し、前記インダクタは、前記リードフレームの
    一部よりなる、請求項1に記載の方法。
  3. 【請求項3】前記電流を、複数のトランジスタを経て流
    し、クロックを前記複数のトランジスタの1つに供給し
    て、前記電流を断続させる、請求項1に記載の方法。
  4. 【請求項4】前記複数のトランジスタは、前記集積回路
    チップ上に設けられている、請求項3に記載の方法。
  5. 【請求項5】前記電圧スパイクを整流し、収集して、キ
    ャパシタに蓄積するステップをさらに含む、請求項1に
    記載の方法。
  6. 【請求項6】前記キャパシタおよび整流器が、前記集積
    回路チップ上に設けられている、請求項5に記載の方
    法。
  7. 【請求項7】正および負の電圧スパイクが、前記電流の
    断続によって発生され、ダイオードを用いて、前記負の
    電圧スパイクをグランドにシャントするステップをさら
    に含む、請求項1に記載の方法。
  8. 【請求項8】前記ダイオードは、前記集積回路チップ上
    に設けられている、請求項7に記載の方法。
  9. 【請求項9】発生された前記高電圧を制限するためのス
    タックド・ダイオード・クランプ回路をさらに含む、請
    求項1に記載の方法。
  10. 【請求項10】前記スタックド・ダイオード・クランプ
    回路は、前記集積回路チップ上に設けられている、請求
    項9に記載の方法。
  11. 【請求項11】前記電圧スパイクは、前記集積回路チッ
    プに利用できる前記電源の電圧の約2または約3倍の電
    圧を発生する、請求項1に記載の方法。
  12. 【請求項12】前記集積回路チップは、電気ヒューズを
    有し、前記電圧スパイクによって発生された前記高電圧
    を用いて、前記集積回路チップ上の前記電気ヒューズを
    プログラムするステップをさらに含む、請求項1に記載
    の方法。
  13. 【請求項13】前記集積回路チップは、バッテリを有
    し、前記電圧スパイクによって発生された前記高電圧を
    用いて、前記集積回路チップ上の前記バッテリを充電す
    るステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
  14. 【請求項14】集積回路チップ用の電圧発生器であっ
    て、 集積回路チップに利用できる電圧を有する電源を有する
    集積回路チップと、 前記電源に電気的に接続された前記集積回路チップ上
    の、または前記集積回路チップに接触したインダクタで
    あって、電流を流すインダクタと、 前記電源から前記インダクタを経て流れる電流を、所望
    の時間間隔で断続させて、前記電源の電圧より大きい電
    圧スパイクを発生させるように構成されたクロックと、
    を備える電圧発生器。
  15. 【請求項15】前記集積回路チップは、前記集積回路チ
    ップを集積回路チップ・パッケージへ接続するリードフ
    レームを有し、前記インダクタは、前記リードフレーム
    の一部よりなる、請求項14に記載の電圧発生器。
  16. 【請求項16】前記集積回路チップ上に設けられ、電流
    が流れる前記インダクタに接続されたトランジスタをさ
    らに備え、前記クロックは前記複数のトランジスタの1
    つに接続され、前記トランジスタを流れる電流を断続さ
    せる、請求項14に記載の電圧発生器。
  17. 【請求項17】前記集積回路チップ上に設けられ、前記
    電圧スパイクを収集して蓄積するように構成されたキャ
    パシタおよび整流器をさらに備える、請求項14に記載
    の電圧発生器。
  18. 【請求項18】前記集積回路チップ上に設けられ、前記
    電流の断続によって発生された前記負の電圧スパイクを
    グランドにシャントするように構成されたダイオードを
    さらに備える、請求項14に記載の電圧発生器。
  19. 【請求項19】前記集積回路チップ上に設けられ、発生
    された前記高電圧を制限するように構成されたスタック
    ド・ダイオード・クランプ回路をさらに備える、請求項
    14に記載の電圧発生器。
  20. 【請求項20】前記電圧スパイクは、前記集積回路チッ
    プに利用できる前記電源の電圧の約2または約3倍の電
    圧を発生する、請求項14に記載の電圧発生器。
  21. 【請求項21】前記集積回路チップは、電気ヒューズを
    有し、前記集積回路チップ上のヒューズは、前記電圧ス
    パイクによって発生された前記高電圧によってプログラ
    ムされるように構成されている、請求項14に記載の電
    圧発生器。
  22. 【請求項22】前記集積回路チップは、バッテリを有
    し、前記集積回路チップ上のバッテリは、前記電圧スパ
    イクによって発生された前記高電圧によって充電される
    ように構成されている、請求項14に記載の電圧発生
    器。
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