JP2003006940A - ディスクの作成方法及び装置 - Google Patents
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 サブストレート1にシート部材2を貼り合わ
せてディスクを作成する際に、貼り合わせ面に気泡が混
入することを防止すると同時に、シート部材2が位置ず
れを起こすことなくサブストレート1に正確に貼り合わ
されるようにする。 【解決手段】 先ず常圧環境下において、シート部材2
を位置合わせ(アライメント)した状態で固定し、その
状態でサブストレート1を押圧パッド11によって部分
的に押圧してサブストレート1の一部分のみをシート部
材2に貼り合わせる。そしてその後、真空環境下におい
て押圧パッド11によってサブストレート1を全体的に
押圧して完全にシート部材2に貼り合わせるようにす
る。
せてディスクを作成する際に、貼り合わせ面に気泡が混
入することを防止すると同時に、シート部材2が位置ず
れを起こすことなくサブストレート1に正確に貼り合わ
されるようにする。 【解決手段】 先ず常圧環境下において、シート部材2
を位置合わせ(アライメント)した状態で固定し、その
状態でサブストレート1を押圧パッド11によって部分
的に押圧してサブストレート1の一部分のみをシート部
材2に貼り合わせる。そしてその後、真空環境下におい
て押圧パッド11によってサブストレート1を全体的に
押圧して完全にシート部材2に貼り合わせるようにす
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は複数のディスク部材
を貼り合わせてディスクを作成する方法及び装置に関す
る。
を貼り合わせてディスクを作成する方法及び装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】例えば光ディスクにおいては、多層記録
型の光ディスクとして各層の信号記録面を形成する複数
のディスク部材を貼り合わせて構成されるものがある。
この多層記録型の光ディスクの作成工程において、ディ
スク部材の貼り合わせは次のように行なわれる。
型の光ディスクとして各層の信号記録面を形成する複数
のディスク部材を貼り合わせて構成されるものがある。
この多層記録型の光ディスクの作成工程において、ディ
スク部材の貼り合わせは次のように行なわれる。
【0003】先ず、貼り合わされるディスク部材の偏心
量が許容範囲内となるように、画像処理等の手法を用い
てディスク部材を精度よく位置合わせ(アライメント)
し、その状態でこれを真空吸着等で固定する。そしてこ
の状態から押圧手段によってディスク部材を押圧して貼
り合せを行なう。この場合、貼り合わされるディスク部
材の一方には予め接着シート等が貼り付けられており、
これを介してディスク部材が密着状に貼り合わされるも
のである。
量が許容範囲内となるように、画像処理等の手法を用い
てディスク部材を精度よく位置合わせ(アライメント)
し、その状態でこれを真空吸着等で固定する。そしてこ
の状態から押圧手段によってディスク部材を押圧して貼
り合せを行なう。この場合、貼り合わされるディスク部
材の一方には予め接着シート等が貼り付けられており、
これを介してディスク部材が密着状に貼り合わされるも
のである。
【0004】ところで、このディスク部材の貼り合せで
問題となるのは、気泡の混入である。即ち、ディスク部
材を貼り合わせるときにはその貼り合わせ面に気泡が入
り込み易く、この気泡が混入した光ディスクは再生時に
気泡が信号の読み取りの妨げとなるため、正常な再生が
行なわれないものとなってしまう。
問題となるのは、気泡の混入である。即ち、ディスク部
材を貼り合わせるときにはその貼り合わせ面に気泡が入
り込み易く、この気泡が混入した光ディスクは再生時に
気泡が信号の読み取りの妨げとなるため、正常な再生が
行なわれないものとなってしまう。
【0005】そこでこれを回避するための方法として、
ディスク部材を押圧して貼り合わせる作業を真空環境下
で行なうことが考えられている。
ディスク部材を押圧して貼り合わせる作業を真空環境下
で行なうことが考えられている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うにディスク部材の貼り合わせを真空環境下で行なう場
合、始めに位置合わせしたディスク部材に位置ずれが生
じ易い問題がある。特にディスク部材の固定を真空吸着
で行なっている場合、真空環境下ではディスク部材の固
定が外れてしまうため位置ずれが起き易く、この位置ず
れ状態でディスク部材の貼り合わせを行なうと、互いの
信号記録面がずれて貼り合わされるため、そのディスク
は不良品となってしまう。
うにディスク部材の貼り合わせを真空環境下で行なう場
合、始めに位置合わせしたディスク部材に位置ずれが生
じ易い問題がある。特にディスク部材の固定を真空吸着
で行なっている場合、真空環境下ではディスク部材の固
定が外れてしまうため位置ずれが起き易く、この位置ず
れ状態でディスク部材の貼り合わせを行なうと、互いの
信号記録面がずれて貼り合わされるため、そのディスク
は不良品となってしまう。
【0007】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たもので、ディスク部材の貼り合わせにおいて、気泡の
混入を防止すると同時に、ディスク部材の位置ずれを確
実に防止できる方法を提供することを課題としている。
たもので、ディスク部材の貼り合わせにおいて、気泡の
混入を防止すると同時に、ディスク部材の位置ずれを確
実に防止できる方法を提供することを課題としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに本発明は、複数のディスク部材を貼り合わせるにあ
たって、先ず常圧環境下において、ディスク部材を位置
合わせした状態で固定し、その状態でディスク部材を部
分的に押圧してディスク部材の一部分のみを貼り合わ
せ、その後、真空環境下においてディスク部材を全体的
に押圧して完全に貼り合わせるようにしたものである。
めに本発明は、複数のディスク部材を貼り合わせるにあ
たって、先ず常圧環境下において、ディスク部材を位置
合わせした状態で固定し、その状態でディスク部材を部
分的に押圧してディスク部材の一部分のみを貼り合わ
せ、その後、真空環境下においてディスク部材を全体的
に押圧して完全に貼り合わせるようにしたものである。
【0009】このように真空環境下でディスク部材の貼
り合わせを行なうことにより、ディスク部材の貼り合わ
せ面に気泡が混入することはない。そして特にこの方法
では、真空にする前に常圧環境下でディスク部材の一部
分を貼り合わせておき、その後に真空環境下でディスク
部材の全体的な貼り合わせを行なうようにしたので、真
空環境下でのディスク部材の位置ずれを確実に防止で
き、正確な貼り合わせを行なうことができる。
り合わせを行なうことにより、ディスク部材の貼り合わ
せ面に気泡が混入することはない。そして特にこの方法
では、真空にする前に常圧環境下でディスク部材の一部
分を貼り合わせておき、その後に真空環境下でディスク
部材の全体的な貼り合わせを行なうようにしたので、真
空環境下でのディスク部材の位置ずれを確実に防止で
き、正確な貼り合わせを行なうことができる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の好適な実施の形態例について詳細に説明する。ここで
は、ディスク部材としてディスク基板であるサブストレ
ート1に薄いシート部材2を貼り合わせて2層記録型の
光ディスクを作成する工程について説明する。
の好適な実施の形態例について詳細に説明する。ここで
は、ディスク部材としてディスク基板であるサブストレ
ート1に薄いシート部材2を貼り合わせて2層記録型の
光ディスクを作成する工程について説明する。
【0011】即ちサブストレート1とシート部材2は何
れもポリカーボネート等の樹脂材で形成されるもので、
夫々に信号記録面を有し、このサブストレート1とシー
ト部材2とを両面接着シート3を介して貼り合わせて2
層記録型の光ディスクを作成するものである。
れもポリカーボネート等の樹脂材で形成されるもので、
夫々に信号記録面を有し、このサブストレート1とシー
ト部材2とを両面接着シート3を介して貼り合わせて2
層記録型の光ディスクを作成するものである。
【0012】この光ディスクの作成工程においては、先
ず始めにサブストレート1に対するシート部材2の偏心
量が許容範囲内となるように、正確な位置合わせ(アラ
イメント)が必要である。
ず始めにサブストレート1に対するシート部材2の偏心
量が許容範囲内となるように、正確な位置合わせ(アラ
イメント)が必要である。
【0013】図1はシート部材2の位置合わせ工程を示
している。ここでは先ず、シート部材2を作業台4上に
載せ、このシート部材2の中心孔2aを作業台4の中央
部に突設された心柱5に嵌め合わせて大凡の位置合わせ
をする。
している。ここでは先ず、シート部材2を作業台4上に
載せ、このシート部材2の中心孔2aを作業台4の中央
部に突設された心柱5に嵌め合わせて大凡の位置合わせ
をする。
【0014】この場合、シート部材2は中心孔2aが心
柱5よりも僅かに大きい径に形成されているため、作業
台4上で面方向に若干動かすことができるようになって
おり、そこでこのシート部材2を動かしながら、貼り合
わされるサブストレートに対する偏心が最小となるよう
に位置合わせを行なう。
柱5よりも僅かに大きい径に形成されているため、作業
台4上で面方向に若干動かすことができるようになって
おり、そこでこのシート部材2を動かしながら、貼り合
わされるサブストレートに対する偏心が最小となるよう
に位置合わせを行なう。
【0015】このシート部材2の位置合わせには画像処
理の手法が好適に用いられ、即ち図示の如くカメラ6に
よってシート部材2の信号記録面を撮影し、これを画像
処理することで予め想定した理想中心に対するずれを測
定しながらシート部材2を動かして位置合わせを行なう
ものである。
理の手法が好適に用いられ、即ち図示の如くカメラ6に
よってシート部材2の信号記録面を撮影し、これを画像
処理することで予め想定した理想中心に対するずれを測
定しながらシート部材2を動かして位置合わせを行なう
ものである。
【0016】そしてこのようにシート部材2の位置合わ
せを行なった後、これを固定手段によって作業台4に固
定する。この固定手段としては真空吸着が用いられ、即
ち作業台4には真空ポンプに直結する真空吸引口7が設
けられており、この真空吸引口7でシート部材2を真空
吸引して作業台4に吸着固定させるようにする。
せを行なった後、これを固定手段によって作業台4に固
定する。この固定手段としては真空吸着が用いられ、即
ち作業台4には真空ポンプに直結する真空吸引口7が設
けられており、この真空吸引口7でシート部材2を真空
吸引して作業台4に吸着固定させるようにする。
【0017】続いて図2に示す如く、シート部材2の上
方にこのシート部材2と貼り合わされるサブストレート
1を配置する。この場合、サブストレート1はその中心
孔1aを心柱5の先端軸部5aに嵌合固定した状態で心
柱5に載置支持される。さらにこの状態でサブストレー
ト1は、作業台4の外側端部に突設された外柱8に外周
部が支持されるようになっている。
方にこのシート部材2と貼り合わされるサブストレート
1を配置する。この場合、サブストレート1はその中心
孔1aを心柱5の先端軸部5aに嵌合固定した状態で心
柱5に載置支持される。さらにこの状態でサブストレー
ト1は、作業台4の外側端部に突設された外柱8に外周
部が支持されるようになっている。
【0018】尚、この構成において心柱5と外柱8は、
夫々バネ9と10によって弾性的に支持されており、後
述する押圧パッドによってサブストレート1が押圧され
るとバネ9と10の力に抗して引込む構造となってい
る。
夫々バネ9と10によって弾性的に支持されており、後
述する押圧パッドによってサブストレート1が押圧され
るとバネ9と10の力に抗して引込む構造となってい
る。
【0019】サブストレート1の内面側即ちシート部材
2との貼り合わせ面には光透過性の両面接着シート3が
予め貼り付けられており、この両面接着シート3を介し
てサブストレート1とシート部材2が貼り合わされるも
のである。
2との貼り合わせ面には光透過性の両面接着シート3が
予め貼り付けられており、この両面接着シート3を介し
てサブストレート1とシート部材2が貼り合わされるも
のである。
【0020】この貼り合わせは、押圧手段である押圧パ
ッド11でサブストレート1を上方から押圧することに
よって行なわれる。この押圧パッド11はサブストレー
ト1に対する押圧面が球面形状をした弾性体によりなる
もので、ここでは先ず予備加圧工程として図3に示す如
くこの押圧パッド11の中央部でサブストレート1の中
央部を部分的に押圧する。
ッド11でサブストレート1を上方から押圧することに
よって行なわれる。この押圧パッド11はサブストレー
ト1に対する押圧面が球面形状をした弾性体によりなる
もので、ここでは先ず予備加圧工程として図3に示す如
くこの押圧パッド11の中央部でサブストレート1の中
央部を部分的に押圧する。
【0021】この場合、押圧パッド11の押圧力によっ
て心柱5はバネ9の力に抗して引込むが、外柱8はバネ
10の力が勝るため引込まず、このためサブストレート
1は図示のように中央部が湾曲するように変形し、この
中央部のみがシート部材2と貼り合わされる状態とな
る。
て心柱5はバネ9の力に抗して引込むが、外柱8はバネ
10の力が勝るため引込まず、このためサブストレート
1は図示のように中央部が湾曲するように変形し、この
中央部のみがシート部材2と貼り合わされる状態とな
る。
【0022】本発明では、この予備加圧工程までは常圧
環境下で行なわれるものであるが、これ以降の工程は真
空環境下で行なうようにする。
環境下で行なわれるものであるが、これ以降の工程は真
空環境下で行なうようにする。
【0023】この真空環境を実現するための真空手段と
しては、図4に示す如く装置全体を真空容器12に入
れ、この真空容器12内の空気を真空ポンプで吸引して
真空容器12内を真空状態とする。
しては、図4に示す如く装置全体を真空容器12に入
れ、この真空容器12内の空気を真空ポンプで吸引して
真空容器12内を真空状態とする。
【0024】この真空状態では、真空吸引口7によるシ
ート部材2の真空吸引が利かなくなり、即ちシート部材
2の固定が外れることになるが、この場合でもシート部
材2にはサブストレート1の中央部が貼り合わされてい
るため、位置ずれが生じることはない。
ート部材2の真空吸引が利かなくなり、即ちシート部材
2の固定が外れることになるが、この場合でもシート部
材2にはサブストレート1の中央部が貼り合わされてい
るため、位置ずれが生じることはない。
【0025】そしてこの状態から最終加圧工程として図
5に示す如く押圧パッド11によってサブストレート1
を全体的に強く押圧する。この場合、押圧パッド11の
押圧力によって外柱8もバネ10の力に抗して引込み、
このためサブストレート1は図示の如く全面的にシート
部材2に貼り合わされる状態となる。
5に示す如く押圧パッド11によってサブストレート1
を全体的に強く押圧する。この場合、押圧パッド11の
押圧力によって外柱8もバネ10の力に抗して引込み、
このためサブストレート1は図示の如く全面的にシート
部材2に貼り合わされる状態となる。
【0026】このようにサブストレート1とシート部材
2の貼り合わせを真空環境下で行なうことにより、真空
環境下では空気が存在しないため、サブストレート1と
シート部材2の貼り合わせ面に気泡が混入することはな
い。
2の貼り合わせを真空環境下で行なうことにより、真空
環境下では空気が存在しないため、サブストレート1と
シート部材2の貼り合わせ面に気泡が混入することはな
い。
【0027】そして上記の如くしてサブストレート1に
シート部材2を貼り合わせて2層記録型の光ディスクを
作成した後、真空ポンプを切って真空容器12内を大気
開放状態即ち常圧にし、そこから成品である光ディスク
を取り出して一連の工程が完了する。
シート部材2を貼り合わせて2層記録型の光ディスクを
作成した後、真空ポンプを切って真空容器12内を大気
開放状態即ち常圧にし、そこから成品である光ディスク
を取り出して一連の工程が完了する。
【0028】このシステムでは、サブストレート1とシ
ート部材2の貼り合わせを真空環境下で行なうことで気
泡の混入を確実に防止することができるので、光ディス
クの生産性の向上に大きな効果がある。
ート部材2の貼り合わせを真空環境下で行なうことで気
泡の混入を確実に防止することができるので、光ディス
クの生産性の向上に大きな効果がある。
【0029】そして特にこのシステムでは、真空にする
前に予備加圧工程として常圧下でサブストレート1の中
央部を部分的に押圧して一部分をシート部材2に貼り合
わせ、その後に真空にしてサブストレート1を全体的に
押圧してシート部材2に完全に貼り合わせるようにした
ので、真空環境下でのシート部材2の位置ずれを確実に
防止でき、正確な貼り合わせを行なうことができる。
前に予備加圧工程として常圧下でサブストレート1の中
央部を部分的に押圧して一部分をシート部材2に貼り合
わせ、その後に真空にしてサブストレート1を全体的に
押圧してシート部材2に完全に貼り合わせるようにした
ので、真空環境下でのシート部材2の位置ずれを確実に
防止でき、正確な貼り合わせを行なうことができる。
【0030】また常圧下の予備加圧工程でサブストレー
ト1の一部分をシート部材2に貼り合わせるときに気泡
が多少混入しても、その後に真空にすることによりその
気泡を効果的に除去することができる。
ト1の一部分をシート部材2に貼り合わせるときに気泡
が多少混入しても、その後に真空にすることによりその
気泡を効果的に除去することができる。
【0031】尚、上記のシステムでは、サブストレート
1の中央部からシート部材2に貼り合わせるようにして
いるが、これを端部から貼り合わせるようにしてもよ
い。この場合、押圧手段としてローラ等を使用すること
ができる。
1の中央部からシート部材2に貼り合わせるようにして
いるが、これを端部から貼り合わせるようにしてもよ
い。この場合、押圧手段としてローラ等を使用すること
ができる。
【0032】また上記のシステムでは、予めサブストレ
ート1側に両面接着シート3を貼り付けてあるが、この
両面接着シート3はシート部材2側に貼り付けておいて
もよい。さらにこの両面接着シート3は、予めサブスト
レート1あるいはシート部材2に貼り付けておくのでは
なく、サブストレート1とシート部材2を貼り合わせる
段階で同時に貼り付けられるようにしてもよい。
ート1側に両面接着シート3を貼り付けてあるが、この
両面接着シート3はシート部材2側に貼り付けておいて
もよい。さらにこの両面接着シート3は、予めサブスト
レート1あるいはシート部材2に貼り付けておくのでは
なく、サブストレート1とシート部材2を貼り合わせる
段階で同時に貼り付けられるようにしてもよい。
【0033】また上記のシステムは、2層記録型の光デ
ィスクに限ることなく、単層記録型の光ディスクの作成
にも適用することが可能である。即ち単層記録型光ディ
スクは、サブストレートの信号記録面に単にカバー層と
してのシート部材を貼り合わせて構成されるものであ
り、この場合は上記工程におけるシート部材の位置合わ
せ工程が不要となり、他は上記工程と同様にして貼り合
わせを行なえばよい。
ィスクに限ることなく、単層記録型の光ディスクの作成
にも適用することが可能である。即ち単層記録型光ディ
スクは、サブストレートの信号記録面に単にカバー層と
してのシート部材を貼り合わせて構成されるものであ
り、この場合は上記工程におけるシート部材の位置合わ
せ工程が不要となり、他は上記工程と同様にして貼り合
わせを行なえばよい。
【0034】さらに上記のシステムは3層以上の多層記
録型光ディスクの作成にも適用が可能であり、この場合
は上記の工程を繰り返してサブストレート1にシート部
材2を2層、3層‥‥と貼り合わせて行けばよい。
録型光ディスクの作成にも適用が可能であり、この場合
は上記の工程を繰り返してサブストレート1にシート部
材2を2層、3層‥‥と貼り合わせて行けばよい。
【0035】このように上記のシステムは単層記録型か
ら多層記録型の光ディスクまで同一のシステムで作成す
ることができ、即ちこのシステムでは単層記録型光ディ
スクの場合と多層記録型光ディスクの場合とで夫々専用
のシステムを構築する必要がなく、例えば通常は単層記
録型光ディスクの貼り合わせに使用し、多層記録型光デ
ィスクを少量作成する必要が生じた場合にはシステム構
成を変えることなく対応が可能となるため、多品種少量
生産に対しても有用なシステムを構築できるものであ
る。
ら多層記録型の光ディスクまで同一のシステムで作成す
ることができ、即ちこのシステムでは単層記録型光ディ
スクの場合と多層記録型光ディスクの場合とで夫々専用
のシステムを構築する必要がなく、例えば通常は単層記
録型光ディスクの貼り合わせに使用し、多層記録型光デ
ィスクを少量作成する必要が生じた場合にはシステム構
成を変えることなく対応が可能となるため、多品種少量
生産に対しても有用なシステムを構築できるものであ
る。
【0036】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明で
は、真空環境下でディスク部材の貼り合わせを行なうこ
とにより、ディスク部材の貼り合わせ面への気泡の混入
を確実に防止することができるので、ディスクの生産性
の向上に大きな効果がある。
は、真空環境下でディスク部材の貼り合わせを行なうこ
とにより、ディスク部材の貼り合わせ面への気泡の混入
を確実に防止することができるので、ディスクの生産性
の向上に大きな効果がある。
【0037】そして特に本発明では、真空にする前に常
圧環境下でディスクの一部分を貼り合わせておき、その
後に真空環境下でディスク部材の全体的な貼り合わせを
行なうようにしたので、真空環境下でのディスク部材の
位置ずれを確実に防止でき、正確な貼り合わせを行なう
ことができる。従って光ディスクの生産性の向上に一層
有利となるものである。
圧環境下でディスクの一部分を貼り合わせておき、その
後に真空環境下でディスク部材の全体的な貼り合わせを
行なうようにしたので、真空環境下でのディスク部材の
位置ずれを確実に防止でき、正確な貼り合わせを行なう
ことができる。従って光ディスクの生産性の向上に一層
有利となるものである。
【図1】シート部材を位置合わせ(アライメント)する
工程の説明図である。
工程の説明図である。
【図2】シート部材の上方にサブストレートを配置する
工程の説明図である。
工程の説明図である。
【図3】サブストレートを部分的に押圧して一部分をシ
ート部材に貼り合わせる工程(予備加圧工程)の説明図
である。
ート部材に貼り合わせる工程(予備加圧工程)の説明図
である。
【図4】サブストレートとシート部材の周囲を真空環境
とする工程の説明図である。
とする工程の説明図である。
【図5】サブストレートを全体的に押圧してシート部材
に貼り合わせる工程(最終加圧
に貼り合わせる工程(最終加圧
1‥‥サブストレート(ディスク部材)、2‥‥シート
部材(ディスク部材)、3‥‥両面接着シート、4‥‥
作業台、7‥‥真空吸引口(固定手段)、11‥‥押圧
パッド(押圧手段)、12‥‥真空容器(真空手段)
部材(ディスク部材)、3‥‥両面接着シート、4‥‥
作業台、7‥‥真空吸引口(固定手段)、11‥‥押圧
パッド(押圧手段)、12‥‥真空容器(真空手段)
Claims (2)
- 【請求項1】 複数のディスク部材を貼り合わせてディ
スクを作成する方法であって、 先ず常圧環境下において、上記ディスク部材を位置合わ
せした状態で固定し、その状態で上記ディスク部材を部
分的に押圧して上記ディスク部材の一部分のみを貼り合
わせ、 その後、真空環境下において上記ディスク部材を全体的
に押圧して完全に貼り合わせるようにしたディスクの作
成方法。 - 【請求項2】 複数のディスク部材を貼り合わせてディ
スクを作成する装置であって、 上記ディスク部材を位置合わせした状態で固定する固定
手段と、 上記ディスク部材を押圧する押圧手段と、 上記ディスク部材の周囲を真空環境とする真空手段と、 を備え、 先ず常圧環境下において、上記ディスク部材を位置合わ
せした状態で上記固定手段によって固定し、その状態で
上記押圧手段によって上記ディスク部材を部分的に押圧
して上記ディスク部材の一部分のみを貼り合わせ、 その後、上記真空手段によって上記ディスク部材の周囲
を真空環境とし、この真空環境下において上記押圧手段
によって上記ディスク部材を全体的に押圧して完全に貼
り合わせるようにしたディスクの作成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001183811A JP2003006940A (ja) | 2001-06-18 | 2001-06-18 | ディスクの作成方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001183811A JP2003006940A (ja) | 2001-06-18 | 2001-06-18 | ディスクの作成方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003006940A true JP2003006940A (ja) | 2003-01-10 |
Family
ID=19023693
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001183811A Pending JP2003006940A (ja) | 2001-06-18 | 2001-06-18 | ディスクの作成方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003006940A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004057939A3 (en) * | 2003-08-22 | 2004-09-16 | Unaxis Balzers Ag | Method for the bonding of disk-shaped substrates and apparatus for carrying out the method |
JP2014058588A (ja) * | 2012-09-14 | 2014-04-03 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | フィルム体の貼着方法及びその装置 |
-
2001
- 2001-06-18 JP JP2001183811A patent/JP2003006940A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004057939A3 (en) * | 2003-08-22 | 2004-09-16 | Unaxis Balzers Ag | Method for the bonding of disk-shaped substrates and apparatus for carrying out the method |
JP2007507050A (ja) * | 2003-08-22 | 2007-03-22 | ユナキス・バルツェルス・アクチェンゲゼルシャフト | ディスク状基板の結合のための方法およびこの方法を実行するための装置 |
JP4777067B2 (ja) * | 2003-08-22 | 2011-09-21 | ジングルス・テヒノロギース・アクチェンゲゼルシャフト | ディスク状基板の結合のための方法およびこの方法を実行するための装置 |
JP2014058588A (ja) * | 2012-09-14 | 2014-04-03 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | フィルム体の貼着方法及びその装置 |
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