JP2003004785A - 圧電発振器の検査システム及びその検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＤＩＰ現象として正しくかつ正確に判定で
き、温度安定のための待ち時間をなくした圧電発振器の
検査システム及び検査方法を得ること。 【解決手段】 指定された温度の気体を生成する連続温
調器３と、気体送風器４により送風された気体により作
り出された測定温度条件下で複数の水晶発振器を収容す
る被測定物収納箱５と、水晶発振器の周辺温度を実測し
出力する温度検出部６と、測定温度における水晶発振器
の周波数を測定し出力する周波数測定部７と、実測した
周波数から得られた周波数偏差の傾きから求めた周波数
偏差から前記水晶発振器の良否判定を行う制御部２０と
を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電発振器の検査
システム及び検査方法に関し、特に、ＡＴカット型水晶
振動子に代表される圧電振動子を搭載した水晶発振器に
おいて、この水晶発振器特有の現象である周波数温度特
性の不連続現象を検出する圧電発振器の検査システム及
びその検査方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】現在、数多くある水晶発振器の中で、最
も汎用性の高い発振器はＡＴカット型水晶振動子を用い
た水晶発振器であり、民生用通信機器のクロック信号の
発振源として用いられている。近年、特に、民生用機器
として携帯電話が広く普及し、様々な環境、例えば寒冷
地帯から熱帯地方まで広範囲な地域で使用されている。
この様な広範囲な環境条件において、携帯電話に用いら
れている水晶発振器の周波数温度特性が良好であること
が重要である。

【０００３】これらの水晶発振器に用いられる水晶振動
子には、有限な大きさであることから、通常厚みすべり
振動を主振動とする振動以外に、この主振動の周波数の
近傍にスプリアス振動が存在する。従って、この水晶発
振器を設計するに際しては、この厚みすべり振動とその
スプリアス振動とが結合していない寸法範囲内で、水晶
振動子を収容するパッケージの大きさ等を考慮して水晶
振動子の寸法の加工精度範囲が決められる。

【０００４】しかしながら、ＡＴカット型水晶振動子の
加工ばらつきや他の要因で主振動とスプリアス振動が結
合しやすく、図１２に示すような周波数温度特性の不連
続現象（以下、ＤＩＰ現象とよぶ）が発生する。又、こ
のＤＩＰ現象は作られたＡＴカット型水晶振動子により
その発生温度が異なり、これを用いた水晶発振器を搭載
した民生用通信機器に悪い影響を与える。このため、こ
の水晶発振器のＤＩＰ現象を検出するＤＩＰ検査が必要
となる。

【０００５】このＤＩＰ検査は、恒温槽内に水晶発振器
を収容し、測定温度サイクル内における周波数温度特性
を求め、ＤＩＰ現象の有無を判定するものである。ＤＩ
Ｐ現象の有無を判定する方法として、実測した周波数温
度特性に近似できる数学上の数式（以下、近似式と呼
ぶ）と比較する方法があった。この場合、正確な周波数
温度特性を得る必要があるため、恒温槽内の温度を一定
時間安定させた後周波数測定を行っていた。そして、前
述した近似式の値と実測した周波数温度特性の値との差
が０．３ｐｐｍ／℃以上となった場合にＤＩＰ現象が存
在すると判定していた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】この周波数を実測して
求める周波数温度特性の規格として、携帯電話機の例に
おいて、上記したような０．３ｐｐｍ／℃という規格が
あることが知られている。そして、この規格を満足する
ＤＩＰ現象が発生しても、ＤＩＰ現象と判別しにくい周
波数温度特性を持った水晶発振器の場合、例えば、高温
側や低温側のような温度変化の大きい温度領域で、周波
数温度特性を近似する近似式の値と実測値の差で表わさ
れる周波数偏差が０．１ｐｐｍ／℃ほどの小さなＤＩＰ
現象は近似計算誤差として許容され、ＤＩＰ現象として
正確に判定できないという課題があった。

【０００７】又、周波数温度特性に近似する近似式を用
いるに当たり正確な周波数温度特性を測定するために、
恒温槽内の温度を一定時間安定させることが必要であ
り、この待ち時間が無視できないという課題があった。
又、ＡＴカット型水晶振動子を用いた温度補償型水晶発
振器の場合、その周波数温度特性は凹凸が多いことか
ら、前述したような近似式を求めることが困難で、ＤＩ
Ｐ現象を正確に判定することができないという課題があ
った。

【０００８】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたもので、周波数温度特性を近似する近似
式の値と実測値との差で表わされる周波数偏差が０．１
ｐｐｍ／℃ほどの小さなＤＩＰ現象でも正確に検出で
き、高精度品としてさらなる品質向上が図れる圧電発振
器の検査システム及び検査方法を得ることを目的とす
る。

【０００９】又、前述した近似式と比較する必要性か
ら、恒温槽内の温度を一定時間安定させるための無視で
きない待ち時間をなくすことのできる圧電発振器の検査
システム及び検査方法を得ることを目的とする。又、複
雑な周波数温度特性を有する温度補償型水晶発振器にお
いて、ＤＩＰ現象を正確に判定し良否判定ができる圧電
発振器の検査システム及び検査方法を得ることをも目的
とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の圧電発
振器の検査システムは、温度を可変して、所定の周波数
からの測定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わ
す周波数温度特性を検査する圧電発振器の検査システム
において、所定温度の気体を生成し送風する気体生成手
段と、前記所定温度の気体環境に置かれた前記圧電発振
器を収容する被測定物収納手段と、前記圧電発振器の温
度を測定し出力する温度検出手段と、前記圧電発振器の
周波数を測定し出力する周波数測定手段と、前記周波数
偏差の所定温度範囲内おける複数の周波数偏差の傾きを
用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定手段とを備
えることを特徴とする。

【００１１】上記構成によれば、周波数偏差の所定温度
範囲内おける複数の周波数偏差の傾きを用いて圧電発振
器の良否を判定する判定手段を備えているので、周波数
温度特性を近似する近似式の値と周波数偏差の実測値の
差で表わされる周波数偏差０．１ｐｐｍ／℃ほどの小さ
な不連続現象であっても、正確かつ容易にＤＩＰ現象と
して判定でき、その検出率を高めることができるという
効果を有する。

【００１２】請求項２に記載の圧電発振器の検査システ
ムは請求項１の構成で、前記判定手段が、前記圧電発振
器の良否を判定する温度範囲内に４つ以上の前記所定温
度を設け、前記４つの所定温度における連続する３つの
温度間隔において、第１の温度間隔における周波数偏差
の傾きと第３の温度間隔における周波数偏差の傾きとの
平均値を算出する第１の算出手段と、前記第１及び前記
第３の温度間隔の間に位置する第２の温度間隔における
周波数偏差の傾きを算出する第２の算出手段と、前記平
均値と第２の算出手段で得た前記傾きとの差の絶対値を
所定の規格値と比較する比較手段とを備え、前記温度範
囲内において、前記絶対値が前記所定の規格値よりも小
さい場合、前記圧電発振器を良品と判定することを特徴
とする。

【００１３】上記構成によれば、第１の温度間隔におけ
る周波数偏差の傾きと第３の温度間隔における周波数偏
差の傾きとの平均値を算出する第１の算出手段と、前記
第１及び前記第３の温度間隔の間に位置する第２の温度
間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算出手
段と、第１の算出手段により得られた平均値と第２の算
出手段により得られた傾きとの差の絶対値を所定の規格
値と比較する比較手段とを備え、この絶対値が所定の規
格値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定す
るので、変化量の小さい領域では正確に圧電発振器のＤ
ＩＰ現象の有無を判定できるとともに、変化量の大きい
領域ではＤＩＰ現象の有無について誤判定することを防
止できるという効果を有する。

【００１４】請求項３に記載の圧電発振器の検査システ
ムは、温度を可変して、所定の周波数からの測定周波数
のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性
を検査する圧電発振器の検査システムにおいて、所定の
時点において所定温度の気体を生成し送風する気体生成
手段と、前記所定温度の気体環境に置かれた前記圧電発
振器を収容する被測定物収納手段と、前記圧電発振器の
周波数を測定し出力する周波数測定手段と、前記周波数
偏差の所定時間範囲内における複数の周波数偏差の傾き
を用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定手段とを
備えることを特徴とする。

【００１５】上記構成によれば、所定の時点に送風した
所定温度の気体環境での圧電発振器の周波数を測定し、
得られた周波数偏差の所定時間範囲内における複数の周
波数偏差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定す
るので、周波数温度特性を近似する近似式の値と周波数
偏差の実測値の差で表わされる周波数偏差０．１ｐｐｍ
／℃ほどの小さな不連続現象であっても、正確かつ容易
にＤＩＰ現象として判定でき、かつその検出率をさらに
高めることができるとともに、温度を測定する温度測定
手段を必要としない分圧電発振器の検査システムを簡素
化できるという効果を有する。

【００１６】請求項４に記載の圧電発振器の検査システ
ムは請求項３の構成において、前記判定手段は、前記圧
電発振器の良否を判定する温度範囲に相当する時間範囲
内に４つ以上の前記所定の時点を設け、前記４つの所定
の時点における連続する３つの時間間隔において、第１
の時間間隔における周波数偏差の傾きと第３の時間間隔
における周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の
算出手段と、前記第１及び前記第３の時間間隔の間に位
置する第２の時間間隔における周波数偏差の傾きを算出
する第２の算出手段と、前記平均値と第２の算出手段で
得た前記傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する
比較手段とを備え、前記時間範囲内において、前記絶対
値が前記所定の規格値よりも小さい場合、前記圧電発振
器を良品と判定することを特徴とする。

【００１７】上記構成によれば、第１の時間間隔におけ
る周波数偏差の傾きと第３の時間間隔における周波数偏
差の傾きとの平均値を算出する第１の算出手段と、第１
及び第３の時間間隔の間に位置する第２の時間間隔にお
ける周波数偏差の傾きを算出する第２の算出手段と、第
１の算出手段により得られた平均値と第２の算出手段に
より得られた傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較
する比較手段とを備え、この絶対値が所定の規格値より
も小さい場合、その圧電発振器を良品と判定するので、
変化量の小さい領域では正確に圧電発振器のＤＩＰ現象
の有無を判定できるとともに、変化量の大きい領域では
ＤＩＰ現象の有無について誤判定することを防止できる
という効果を有する。

【００１８】請求項５に記載の圧電発振器の検査システ
ムは請求項１乃至請求項４の構成において、前記圧電発
振器はＡＴカット型水晶振動子を搭載した温度補償型水
晶発振器であることを特徴とする。

【００１９】上記システムは、その周波数温度特性がＤ
ＩＰ現象という不連続現象を持つ可能性があるＡＴカッ
ト型水晶振動子を搭載した温度補償型発水晶発振器に適
用することが好ましい。

【００２０】請求項６に記載の圧電発振器の検査方法
は、温度を可変して、所定の周波数からの測定周波数の
ずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性を
検査する圧電発振器の検査方法において、所定温度の気
体を生成し送風する送風工程と、前記圧電発振器の温度
を測定する温度測定工程と、前記圧電発振器の周波数を
測定する周波数測定工程と、前記周波数偏差の所定温度
範囲内おける複数の周波数偏差の傾きを用いて前記圧電
発振器の良否を判定する判定工程とを備えることを特徴
とする。

【００２１】上記構成によれば、周波数偏差の所定温度
範囲内おける複数の周波数偏差の傾きを用いて圧電発振
器の良否を判定する判定工程を備えているので、周波数
温度特性を近似する近似式の値と実測値との差で表わさ
れる周波数偏差０．１ｐｐｍ／℃ほどの小さな不連続現
象であっても、正確かつ容易にＤＩＰ現象として判定で
き、その検出率をさらに高めることができるという効果
を有する。

【００２２】請求項７に記載の圧電発振器の検査方法は
請求項６の構成において、前記判定工程は、前記圧電発
振器の良否を判定する温度範囲内に４つ以上の前記所定
温度を設け、前記４つの所定温度における連続する３つ
の温度間隔において、第１の温度間隔における周波数偏
差の傾きと第３の温度間隔における周波数偏差の傾きと
の平均値を算出する第１の算出工程と、前記第１及び前
記第３の温度間隔の間に位置する第２の温度間隔におけ
る周波数偏差の傾きを算出する第２の算出工程と、前記
平均値と第２の算出工程で得た前記傾きとの差の絶対値
を所定の規格値と比較する比較工程とを備え、前記温度
範囲内において、前記絶対値が前記所定の規格値よりも
小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定することを特
徴とする。

【００２３】上記構成によれば、第１の温度間隔におけ
る周波数偏差の傾きと第３の温度間隔における周波数偏
差の傾きとの平均値を算出する第１の算出工程と、第１
及び第３の温度間隔の間に位置する第２の温度間隔にお
ける周波数偏差の傾きを算出する第２の算出工程と、第
１の算出工程により得られた平均値と第２の算出工程に
より得られた傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較
する比較工程とを備え、この絶対値が所定の規格値より
も小さい場合、その圧電発振器を良品と判定するので、
変化量の小さい領域では正確に圧電発振器のＤＩＰ現象
の有無を判定できるとともに、変化量の大きい領域では
ＤＩＰ現象の有無について誤判定することを防止できる
という効果を有する。

【００２４】請求項８に記載の圧電発振器の検査方法
は、温度を可変して、所定の周波数からの測定周波数の
ずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性を
検査する圧電発振器の検査方法において、所定の時点に
おける所定温度の気体を生成し送風する送風工程と、前
記圧電発振器の周波数を測定する周波数測定工程と、前
記周波数偏差の所定時間範囲内おける複数の周波数偏差
の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定工
程とを備えることを特徴とする。

【００２５】上記構成によれば、所定の時点に送風した
所定温度の気体環境での圧電発振器の周波数を測定し、
得られた周波数偏差の所定時間範囲内における複数の周
波数偏差の傾きを用いて圧電発振器の良否を判定するの
で、周波数温度特性を近似する近似式の値と周波数偏差
の実測値の差で表わされる周波数偏差０．１ｐｐｍ／℃
ほどの小さな不連続現象であっても、正確かつ容易にＤ
ＩＰ現象として判定でき、かつその検出率をさらに高め
ることができるとともに、温度を測定する温度測定工程
を必要としない分圧電発振器の検査方法を簡略化できる
という効果を有する。

【００２６】請求項９に記載の圧電発振器の検査方法は
請求項８の構成において、前記判定工程は、前記圧電発
振器の良否を判定する温度範囲に相当する時間範囲内に
４つ以上の前記所定の時点を設け、前記４つの所定の時
点における連続する３つの時間間隔において、第１の時
間間隔における周波数偏差の傾きと第３の時間間隔にお
ける周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の算出
工程と、前記第１及び前記第３の時間間隔の間に位置す
る第２の時間間隔における周波数偏差の傾きを算出する
第２の算出工程と、前記平均値と第２の算出工程で得た
前記傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する比較
工程とを備え、前記時間範囲内において、前記絶対値が
前記所定の規格値よりも小さい場合、前記圧電発振器を
良品と判定することを特徴とする。

【００２７】上記構成によれば、第１の時間間隔におけ
る周波数偏差の傾きと第３の時間間隔における周波数偏
差の傾きとの平均値を算出する第１の算出工程と、第１
及び第３の時間間隔の間に位置する第２の時間間隔にお
ける周波数偏差の傾きを算出する第２の算出工程と、第
１の算出工程により得られた平均値と第２の算出工程に
より得られた傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較
する比較工程とを備え、この絶対値が所定の規格値より
も小さい場合、その圧電発振器を良品と判定するので、
変化量の小さい領域では正確に圧電発振器のＤＩＰ現象
の有無を判定できるとともに、変化量の大きい領域では
ＤＩＰ現象の有無について誤判定することを防止できる
という効果を有する。

【００２８】請求項１０に記載の圧電発振器の検査方法
は請求項1乃至請求項９のいずれかの構成において、前
記圧電発振器が、ＡＴカット型水晶振動子を搭載した温
度補償型水晶発振器であることを特徴とする。

【００２９】上記検査方法は、その周波数温度特性がＤ
ＩＰ現象という不連続現象を持つ可能性のあるＡＴカッ
ト型水晶振動子を搭載した温度補償型発水晶発振器に適
用することが好ましい。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態を図面
に基づいて説明する。 （１） 第１の実施形態 （１−１） 第１の実施形態の原理 まず、第１の実施形態に係る原理について説明する。

【００３１】本発明による第１の実施形態は、所定の温
度範囲内における複数の周波数偏差の傾きに基づいて算
出した周波数偏差と所定の周波数偏差の規格値とを比較
して得られた結果により、ＤＩＰ現象の有無を判断し、
水晶発振器の良否を判断するというものである。即ち、
複数の周波数偏差の傾き、具体的には、連続する３つの
傾きに基づく周波数偏差が所定の温度範囲内において前
述の規格値以下である場合、測定した周波数温度特性は
連続性を有しているとして、この水晶発振器はＤＩＰ現
象が無いと判断できるということに基づくものである。

【００３２】（１−２） 第１の実施形態の構成 図１は、第１の実施形態による圧電発振器の検査システ
ム１の概観を示す図であり、図２は、この検査システム
の機能を説明したブロック図である。

【００３３】尚、この第１の実施形態において、圧電発
振器としてＡＴカット型水晶振動子を搭載した水晶発振
器を実施例として説明する。

【００３４】図１において、本発明に係る第１の実施形
態による圧電発振器の検査システム１は、パーソナルコ
ンピューター２、連続温調器３、気体送風器４、被測定
物収納箱５、温度検出部６、周波数測定部７から構成さ
れる。

【００３５】図２は、図１における各構成品間の接続及
び入出力信号を明確にした機能ブロック図である。図１
のパーソナルコンピューター２を機能的な名称である制
御部２０として置き換えた以外は図１と同一である。

【００３６】図２において、第１の実施形態による圧電
発振器の検査システム１ａは、圧電発振器の検査システ
ム１ａ全体を制御する制御部２０（判定手段）、制御部
２０の制御により指定された温度サイクル範囲内の気体
を生成する連続温調器３（気体生成手段）、連続温調器
３で生成された気体を送風するための気体送風器４（気
体生成手段）、気体送風器４により送風された環境下に
置かれた複数の水晶発振器を収容する被測定物収納箱５
（被測定物収納手段）、制御部２０の制御により、被測
定物収納箱５に収容された水晶発振器の周波数を測定し
これを出力する周波数測定部６（周波数測定手段）、被
測定物収納箱５内に収容された水晶発振器の周辺温度を
温度センサにより実測し、この実測値を出力する温度検
出部７（温度検出手段）、公称周波数（所定の周波数）
からの測定周波数のずれを表わす周波数偏差の傾きに基
づいて水晶発振器の良否を判定する前述した制御部２０
から構成される。

【００３７】図３は、パーソナルコンピューター２に代
表される制御部２０の機能の構成を示すブロック図であ
る。

【００３８】図３において、制御部２０は、制御部２０
内の機能ブロック全体を制御するマイクロプロセッサ２
１と、周波数偏差の傾きを求め、この３つの傾きに基づ
いた周波数偏差を算出し、算出したこの周波数偏差と所
定の周波数偏差の規格値とを比較し、良否を判定するデ
ータ処理部２２（第１および第２の算出手段、比較手
段）と、実測した周辺温度における水晶発振器の周波数
偏差、この周波数偏差の傾き、そして、この傾きを複数
用いて算出した周波数偏差を格納するメモリ２３と、周
波数測定部６からの周波数測定データ、温度検出部７か
らの実測した温度データ、マイクロプロセッサ２１から
の制御信号等の入出力を行う入出力部２４と、そして、
これらのブロックを相互に接続するデータバス２５とか
ら構成される。

【００３９】（１−３） 第１の実施形態における動作 次に、第１の実施形態による圧電発振器の検査システム
の動作及び検査手順について説明する。

【００４０】図４及び図５は、第１の実施形態による圧
電発振器の検査システム１ａにおいて、制御部２０が行
う水晶発振器の検査手順（ＤＩＰ判定手順）を示すフロ
ーチャート図である。

【００４１】図２乃至図４に基づいて、まず制御部２０
の制御により行う周波数の測定及び周波数偏差を求める
動作について説明する。ここで、この周波数偏差の検査
は−３５℃〜１００℃まで行うものと仮定する。尚、説
明上、測定温度サイクル範囲は−３５℃〜１００℃と仮
定したが、この範囲に限定されず自由に設定することが
可能である。

【００４２】周波数測定に際しては、−３５℃の気体を
生成し被測定物収納箱５内へ送風してこの温度状態を一
定時間持続し、安定させた後、所定温度の気体を送風
し、所定の温度測定ステップで被測定物収納箱５内の測
定すべき温度環境を作り出す。そして、−３５℃からそ
の所定温度ステップ毎に周波数の測定を行う。説明上、
測定は低温側から開始する場合について取り扱っている
が、低温側、高温側のいずれから行っても良い。また、
気体は空気もしくは窒素等の不活性ガスを用いることが
できるが、測定温度範囲において安定な気体でければな
らない。

【００４３】又、ＤＩＰ現象を正確に検出するために、
所定の温度測定ステップは適正な値である必要があり、
その詳細については後述する。尚、測定温度範囲と温度
測定ステップとから測定数ｎ０を設定する。

【００４４】測定開始に当たり、被測定物収納箱５内部
温度を測定開始温度以下に保持する。この場合、測定開
始温度は−３５℃であるので、−４０℃以下に設定する
のが望ましい。

【００４５】次に、水晶発振器を搭載した量産用基板を
被測定物収納箱５に収容し、パーソナルコンピューター
２に対して温度サイクル範囲等の測定条件を入力する。
測定条件を入力した制御部２０は、連続温調器３を動作
させるため、測定開始番号ｎ＝０の設定（ステップＳＴ
１）及び被測定物収納箱５内の温度として設定温度ｔ
（０）＝−３５℃を指定する。そして、連続温調器３
は、指定された最初の被測定物収納箱５内の温度ｔ
（０）になる気体温度及び風量等を設定し（ステップＳ
Ｔ２）指定した温度の気体を生成した後、気体送風器４
を介して、その気体を被測定物収納箱５に送風する（送
風工程）。

【００４６】制御部２０は、温度センサが実測した水晶
発振器の周辺温度の実測値を温度検出部６から入出力部
２４を介して入力し（温度測定工程）、設定温度ｔ
（０）に達しているかどうか判定する（ステップＳＴ
３）。この設定温度ｔ（０）に達していない場合は（ス
テップＳＴ３ Ｎｏ）、制御部２０は設定温度となるよ
う気体の温度，風量等について再度連続温調器３を制御
する（ステップＳＴ２に戻る）。

【００４７】又、この設定温度ｔ（０）に達している場
合は（ステップＳＴ３ Ｙｅｓ）、制御部２０は実測し
た周波数を周波数測定部７から図３に示す入出力部２４
を介して入力し（周波数測定工程）、周波数偏差ｆ
（０）を求めて設定温度ｔ（０）とともにメモリ２３に
格納する（ステップＳＴ４）。さらに、設定温度が最終
の測定温度ｔ（ｎ）＝１００℃で、これに対応する測定
番号ｎ＝ｎ０−１であるかどうかを判定する（ステップ
ＳＴ５）。この最終の測定番号ｎ＝ｎ０−１でない場合
（ステップＳＴ５ Ｎｏ）は、制御部２０は、測定番号
ｎを１だけ加算して（ステップＳＴ６）温度の設定ｔ
（ｎ）（スッテプＳＴ２）に戻り、その測定番号に該当
する次の温度ｔ（ｎ）より高く、かつ後述する適性な測
定温度ステップで、次の測定温度の温度ｔ（ｎ＋１）を
設定し、上述した手順を繰り返す（ステップＳＴ２〜Ｓ
Ｔ６）。

【００４８】この最終の測定番号ｎ＝ｎ０−１である場
合は（ステップＳＴ５ Ｙｅｓ）、周波数の実測を終了
し、実測した周波数から求めた周波数偏差ｆ（ｎ）の傾
きｆ′（ｎ）及びこの複数の傾きに基づいた周波数偏差
ｄｉｐ値［ｐｐｍ／℃］を後述する計算式により求め
る。

【００４９】ここで、図６及び式を参照して、上述した
周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）及びこの複数の傾
きに基づいた周波数偏差ｄｉｐ値［ｐｐｍ／℃］を求め
る計算式について説明する。

【００５０】周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）は、
以下の式（１）により算出される。

【００５１】

【数１】

【００５２】上記の式（１）で示された周波数偏差ｆ
（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）は、隣接する２つの測定点間の
周波数偏差ｆ（ｎ＋１）及びｆ（ｎ）の差並びに温度ｔ
（ｎ＋１）及びｔ（ｎ）の温度差との比で表わされる。
即ち、単位温度当たりの周波数偏差の変化量を表わして
いる。

【００５３】又、複数の上記した傾きに基づいた周波数
偏差ｄｉｐ値［ｐｐｍ／℃］は、以下の式（２）で算出
される。

【００５４】

【数２】

【００５５】上記の式（２）は、図６に示すように、隣
接する３つの傾きｆ′（ｎ），ｆ′（ｎ＋１），ｆ′
（ｎ＋２）により表わされ、第１の周波数偏差の傾き
ｆ′（ｎ）と第３の周波数偏差の傾きｆ′（ｎ＋２）の
平均値と第２の周波数偏差の傾きｆ′（ｎ＋１）との差
の絶対値で表わされた周波数偏差である。又、図６に示
すように、第１の傾きｆ′（ｎ）と第３の傾きｆ′（ｎ
＋２）は、第２の傾きｆ′（ｎ＋１）の前後に位置する
周波数偏差の傾きである。又、この式（２）から得られ
た周波数偏差ｄｉｐ値は、温度を可変し周波数偏差の変
化を表した周波数温度特性の連続性を保証するもので、
この値が小さければ連続性を、大きければ不連続である
ことを表わしている。

【００５６】上記の式（１）の計算結果を１つ又はこれ
を２つ用いてその差により製品の良否を判定することも
できる。一方、上記の式（２）は上記の式（１）の計算
結果を３つ用いているが、これは、以下の理由によるも
のである。式（１）の計算結果を２つ用いた場合は、周
波数偏差の変化が急激に変化する温度範囲において、そ
の２つの傾きの差が大きくなりＤＩＰ現象と誤判定して
しまうのを防止するためである。従って、上記の式
（１）の計算結果を３つ用いることにより、周波数偏差
の変化量が大きい温度範囲において、ＤＩＰ現象と誤判
定してしまうことを防止することができる。

【００５７】ここで、周波数測定に際して、前述した測
定温度ステップをどの程度の間隔に定めるのが適切か、
ＤＩＰ現象の検出の可能性との関係でその限界値（適性
値）について言及する。図７は、その測定温度ステップ
とＤＩＰ現象の発生温度範囲で式（２）より得たｄｉｐ
値との関係を示した図であり、実験データに基づいたグ
ラフである。図７において、実際のＤＩＰ現象の発生温
度範囲で一定の測定温度ステップ、即ち、１℃ステップ
から１℃毎に５℃ステップまでの条件で上記の式（２）
で求めた周波数偏差ｄｉｐ値のうち、「◆」は最小値を、
又「●」は最大値をプロットしたものである。尚、取り
扱ったサンプルデータは、ＤＩＰ現象が発生し始める変
化点からのピーク値が０．３ｐｐｍで、その温度幅が３
℃のＤＩＰ現象を有する水晶発振器により得たものであ
る。

【００５８】図７によれば、２℃の測定温度ステップま
では、その最小値と最大値はほとんど変わらないが、そ
れ以上の測定温度ステップになると急激にその差が拡大
しているのが認められる。そして、今、製品の判定基準
を０．１ｐｐｍ／℃とすれば測定温度ステップは３℃が
限界であり、それ以上になるとＤＩＰ現象の検出が困難
と判断できる。

【００５９】引き続いて、図５を参照して、周波数偏差
ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）に基づいた周波数偏差ｄｉｐ
値［ｐｐｍ／℃］を算出し、水晶発振器の良否を判定す
る手順（判定工程）について説明する。

【００６０】図３に示す制御部２０内のマイクロプロセ
ッサ２１は、図５の（Ａ）に示す計算開始を表わす計算
番号ｎ＝０を指定し（ステップＳＴ７）、データ処理部
２２を制御して、計算番号ｎ＝０に該当する周波数偏差
ｆ（ｎ）の傾きｆ′（０）を、メモリ２３に格納されて
いる周波数偏差ｆ（０），ｆ（１）及び測定温度ｔ
（０），ｔ（１）を用いて上記した式（１）より算出し
（ステップＳＴ８）、この値ｆ′（０）をメモリ２３に
格納する。

【００６１】そして、最後の周波数偏差ｆ（ｎ）の傾き
ｆ′（ｎ０−２）を算出したかどうか、即ち、計算番号
ｎが最終番号（ｎ０−２）に達しているかどうかの判定
を行う（ステップＳＴ９）。最終番号（ｎ０−２）に達
していない場合（ステップＳＴ９ Ｎｏ）は、計算番号
ｎを１だけ加算し（ステップＳＴ１０）周波数偏差の傾
きを計算する工程（スッテプＳＴ８）に戻り、次の設定
温度における周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）を式
（１）により算出する上述した手順を繰り返す（ステッ
プＳＴ８〜ＳＴ１０）。最終番号（ｎ０−２）に達して
いる場合（ステップＳＴ９ Ｙｅｓ）は、マイクロプロ
セッサ２１は周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）の計
算を終了する。

【００６２】次に、図３に示すデータ処理部２２におい
て、メモリ２３に格納されている３点の傾きｆ′
（ｎ），ｆ′（ｎ＋１），ｆ′（ｎ＋２）に基づいた周
波数偏差ｄｉｐ値［ｐｐｍ／℃］を計算番号ｎ＝０から
１ステップ毎にｎ＝ｎ０−２までの値を用いて算出し
（ステップＳＴ１１：第１及び第２の算出工程）、メモ
リ２３に格納する。マイクロプロセッサ２１は、算出し
たこれらすべてのｄｉｐ値［ｐｐｍ／℃］について所定
の周波数偏差の規格値（判定基準）と比較し（比較工
程）、この条件を満足しているかどうかを判定する（ス
テップＳＴ１２）。

【００６３】マイクロプロセッサ２１は、所定の規格値
と比較したすべての結果について満足していると判断し
た場合（ステップＳＴ１２ Ｙｅｓ）は、ＤＩＰ現象無
しと判定し（ステップＳＴ１３）、その水晶発振器を良
品とする。満足していない値が１つでも存在すると判断
した場合（ステップＳＴ１２ Ｎｏ）はＤＩＰ現象有り
と判定（ステップＳＴ１４）し、不良品とする。そし
て、次の水晶発振器を検査するため、図４に示す実測開
始に戻り、上記した手順が繰り返される（ステップＳＴ
１〜ステップＳＴ１４）。

【００６４】（１−４） 第１の実施形態から得られる
効果 以上説明した圧電発振器の検査システム及び検査方法に
よるＤＩＰ判定手順を用いた場合に得られる効果につい
て説明する。

【００６５】図８は、第１の実施形態によるＤＩＰ判定
手順において、実測した周波数から得られた周波数偏差
ｆ（ｎ）及び式（２）から算出した周波数偏差ｄｉｐ値
を表わしたグラフである。図８において、実線は周波数
を実測して得られた周波数偏差ｆ（ｎ）を、又、点線は
上記で示した式（２）で算出した周波数偏差ｄｉｐ値を
プロットしたものである。このグラフは、ＡＴカット型
水晶振動子を搭載した温度補償型水晶発振器の周波数温
度特性を表わし、その実測値：実線が示すようにその曲
線には凹凸がいくつか存在するのが見られる。

【００６６】図８によれば、室温が３０℃〜４０℃の間
でＤＩＰ現象と思われる現象が見られる。周波数温度特
性の緩やかな温度範囲では、従来用いていた周波数温度
特性を近似する近似式との差が０．１ｐｐｍ／℃程度の
ＤＩＰ現象の場合、近似計算誤差によるＤＩＰ現象の判
別が困難である。しかしながら、図８に示す周波数偏差
が緩やかな温度範囲において、本発明の式（２）による
周波数偏差ｄｉｐ値は大きな不連続現象として表わさ
れ、ＤＩＰ現象の有無の判断が微妙なＡＴカット型水晶
振動子を搭載した温度補償型水晶発振器であっても、Ｄ
ＩＰ現象有りと明確に判定することができる。

【００６７】一方、温度が７０℃〜１００℃の範囲で、
周波数温度特性の変化量が大きくても、この式（２）か
ら算出した周波数偏差ｄｉｐ値は±０．０５ｐｐｍ／℃
以内にあり、周波数温度特性の連続性が保証されること
になるので、この温度範囲ではＤＩＰ現象はないと明確
に判定することができる。

【００６８】以上、説明したように、第１の実施形態に
よれば、周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）、そし
て、その測定点が隣接する３つの傾きｆ′（ｎ），ｆ′
（ｎ＋１），ｆ′（ｎ＋２）を用いて、ｆ′（ｎ）と
ｆ′（ｎ＋２）の平均値とｆ′（ｎ＋１）との差、即
ち、式（２）で算出した周波数偏差ｄｉｐ値を求め周波
数温度特性の連続性からＤＩＰ現象の有無を判定するよ
うにしたので、従来許容していた水晶発振器もＤＩＰ現
象ありと容易にかつ正しく判定でき、その結果、ＤＩＰ
現象の検出率をさらに高めることができるという効果が
得られる。

【００６９】又、第１の実施形態によれば、式（２）で
算出した周波数偏差ｄｉｐ値を求め、周波数温度特性の
連続性からＤＩＰ現象の有無を判断するようにしたの
で、数学上の２次，３次曲線等に近似できる周波数温度
特性であっても、従来の判定基準としてきたこれらの近
似式を求める必要がなくなる。

【００７０】又、前述した数学上の曲線に近似できない
ような凹凸のある複雑な周波数温度特性、例えばＡＴカ
ット型水晶振動子を搭載した温度補償型水晶発振器のよ
うな周波数温度特性において、ＤＩＰ現象なのかあるい
は連続的に周波数偏差が変化しているのかを容易に判定
できる。

【００７１】又、従来の正確な周波数温度特性の測定の
ために温度を一定時間安定させる必要がなくなり、周波
数温度特性の測定時間の大幅な短縮を図ることができる
という効果が得られる。

【００７２】さらに、第１の実施形態によれば、周波数
偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）：式（１）及びこれを用
いた周波数偏差ｄｉｐ値：式（２）は非常に簡単な計算
式であり、それらを算出する時間が少なくてすむので、
全体の測定時間にはほとんど影響を与えないという効果
が得られる。

【００７３】（２） 第２の実施形態 次に、本発明に係る第２の実施形態について説明する。 （２−１） 第２の実施形態における構成 まず、第２の実施形態における構成について説明する。

【００７４】図９は、本発明の第２の実施形態による圧
電発振器の検査システムの機能構成を示すブロック図で
ある。図２と異なる点は、温度検出部７を除いた点にあ
り、他の機能ブロックについては同一であるのでその説
明は省略する。又、第１の実施形態と同様に、圧電発振
器としてＡＴカット型水晶振動子を搭載した水晶発振器
を実施例として取り上げる。

【００７５】（２−２） 第２の実施形態の原理 次に、第２の実施形態に係る原理について説明する。

【００７６】本発明による第２の実施形態は、第１の実
施形態における温度測定に代えて指定（又は、測定）時
刻（所定の時点）と周波数偏差の変化量から式（２）に
より周波数偏差ｄｉｐ値を求めて、ＤＩＰ現象の有無を
判定するというものである。この場合、測定時間の計時
は図２に示すマイクロプロセッサ２１が行い、計時手段
の役割を負う。

【００７７】時間変化に対して温度変化が一定の関係を
有していること、例えば直線的に、いわゆる正比例の関
係で変化するように制御された気体により被測定物収納
箱内の温度を設定する。この時間と温度の一定の関係
（この場合、正比例の関係）があることを利用して、測
定すべき温度範囲に相当する所定の測定時間範囲内で、
設定した時間間隔で周波数を測定し、水晶発振器の周波
数温度特性曲線を求める。この周波数温度特性曲線が第
１の実施形態におけるものと異なる点は、温度に代えて
時間軸で周波数偏差を表わした点にある。そして、求め
たこの周波数温度特性を用い、式（１）から周波数偏差
の傾きを得て、式（２）に基づく周波数偏差ｄｉｐ値を
求めることでＤＩＰ現象の有無を判定するというもので
ある。

【００７８】尚、式（２）は、式（１）において温度ｔ
（ｎ）を時刻Ｔ（ｎ）に置き換えることで、第１の実施
形態と同様に扱うことができる。

【００７９】（２−３） 第２の実施形態における動作 次に、動作について説明する。

【００８０】図１０は、本発明の第２の実施形態におけ
る圧電発振器の検査システム１ｂにおいて、水晶発振器
の検査手順（ＤＩＰ判定手順）を示すフローチャート図
である。尚、既に説明した図５のローチャート図は、こ
の第２の実施形態において、式（２）の周波数偏差ｄｉ
ｐ値を求める場合にも使用される。

【００８１】図１０に基づいて、制御部２０が行う周波
数測定と周波数偏差を求める手順・動作について説明す
る。ここで、温度可変範囲を−３０℃〜９５℃までとし
た場合、温度と時間の関係が正比例の関係にあることを
利用すると、この測定時間を、例えば、測定時間Ｔ０
（例えば、１２０秒）を設定することで、その温度範囲
における、時間軸をパラメータとする周波数温度特性曲
線が得られる。尚、この測定時間Ｔ０は予め実験におい
て検証された時間である。又、検査開始前において、本
来求めるべき水晶発振器の周波数温度特性と第２の実施
形態による測定方法で求めた周波数温度特性とのずれに
ついて、水晶発振器の複数のサンプルにより測定して予
め把握しておくものとする。

【００８２】第１の実施形態と同様に、測定準備が終了
すると、測定条件を入力した制御部２０は、図１に示す
連続温調器３を動作させ、周波数の測定を開始するに当
たり、低温側で、例えば、−３０℃において周波数が安
定した時点を時間軸上で０とし、所定の高温、この場合
９５℃に相当する測定時間Ｔ０（１２０秒）の間で周波
数の測定を行う。尚、測定開始温度−３０℃に設定する
手順については、第１の実施形態と同様である。

【００８３】この周波数を測定する手順について、以下
に、具体的に説明する。

【００８４】まず、入力した測定数Ｎを指定し（ステッ
プＳＴ２０）時間間隔Ｔ０／Ｎを求め、開始時の測定番
号ｎ＝０を設定した後（ステップＳＴ２１）、この時間
間隔（Ｔ０／Ｎ）×ｎ後における周波数を実測し周波数
偏差ｆ（ｎ）を求め（ステップＳＴ２２）、この周波数
偏差ｆ（ｎ）に対応する時刻Ｔ（ｎ）＝（Ｔ０／Ｎ）×
ｎを設定する（ステップＳＴ２３）。そして、この時刻
Ｔ（ｎ）の値が測定時間Ｔ０を超えているかどうかを判
定し（ステップＳＴ２４）、測定時間Ｔ０を超えていな
い場合（ステップＳＴ２４，Ｎｏ）は測定番号ｎを１だ
け加算して（ステップＳＴ２５）、上述した手順を繰り
返す（ステップ２２〜ステップ２５）。又、超えている
場合（ステップＳＴ２４，Ｙｅｓ）には、図５に示す、
式（２）の周波数偏差ｄｉｐ値を求めるフローチャート
へ移行する。

【００８５】この場合、式（１）において第１の実施形
態での測定温度ｔ（ｎ）を設定時刻Ｔ（ｎ）に置き換え
ればよく、計算手順に差異がないので図５に関する詳細
な説明は省略する。

【００８６】ここで、本発明による第２の実施形態にお
いて、前述した温度と時間の関係が所定の関係を維持し
ていれば、被測定物収納箱５内の大きさ、測定すべき複
数の水晶発振器の配置状態、連続温調器３から送付され
た気体の攪拌状態などに起因して、水晶発振器近傍の温
度に遅れが発生しても良い。この場合、これに合わせて
測定時間を設定することにより、必要とする規定の温度
範囲を確保することができる。

【００８７】また、温度と時間に関して所定の関係、こ
の場合、正比例の関係にあるという前提で説明したが、
これに関わらず、非線形の関係が混在していても良い。
この場合、時間領域に応じてＤＩＰ現象の有無の判定基
準を変えることで同様の手順で判定を行うことができ
る。

【００８８】さらに、この第２の実施形態において、設
定時刻Ｔ（ｎ）は、測定数Ｎと測定時間Ｔ０を予め指定
して求めたが、制御部２０におけるタイマ機能を利用し
て実測した測定時刻（所定の時点）Ｔ（ｎ）を用いても
良い。

【００８９】（２−４） 第２の実施形態から得られる
効果 次に、第２の実施形態で得られる効果について説明す
る。

【００９０】この第２の実施形態から得られる効果は、
上記した第１の実施形態と同じであり、さらに、以下に
記載した効果が得られる。

【００９１】図１１は、本発明の実施形態による周波数
偏差を求めて得られたグラフであり、（ａ）は第２の実
施形態による場合で設定時刻を、（ｂ）は第１の実施形
態による場合で測定温度（この場合の測定温度ステップ
は２．５℃である。）をパラメータとした場合のそれぞ
れのグラフである。実線は、測定周波数から求めた周波
数偏差であり、破線は数式（２）で算出した周波数偏差
ｄｉｐ値である。尚、破線は計算値をさらに１０倍した
ものをグラフで表わしたものである。

【００９２】この図１１から、（ａ）と（ｂ）のそれぞ
れのグラフにほぼ同一性が認められる。数式（２）で算
出した周波数偏差ｄｉｐ値の設定時刻をパラメータとし
て、即ち、時間変化に対して温度の変化が直線的に変化
することを利用して得られる、図１１（ａ）の破線で示
したグラフによりＤＩＰ現象の有無を判定できるという
効果が得られる。

【００９３】又、温度と時間との所定の関係、及び所定
の温度範囲を確保する測定時間を予め把握しておくの
で、直接温度を測定する必要がない。即ち、従来のよう
に、被測定物収納箱内の温度が安定するまで待機する必
要がないので、ＤＩＰ現象の検査工数を短縮することが
でき、水晶発振器の低コスト化が図れるという効果が得
られる。

【００９４】又、温度を測定する必要がないので温度検
出部が不要となり、本発明の第２の実施形態における圧
電発振器の検査システムが簡略化されるという効果が得
られる。

【００９５】又、この第２の実施形態における圧電発振
器の検査システムでは、被測定物収納箱内の温度を可変
させる温度範囲に相当する測定時間とこの範囲での測定
数は、任意に設定することができる。この結果、その測
定範囲において測定数を多く採ることで、測定時間間隔
を細かくとることができ測定精度の向上を図ることがで
きるという効果が得られる。

【００９６】さらに、ＤＩＰ検査のみならず、通常の周
波数温度特性が規格範囲以内か否かの検査にも、一定の
条件下、例えば、設定温度の応答時間の遅れを考慮して
測定時間範囲を任意に設定して、規格範囲以内か否かを
判定することに、応用することができるという効果が得
られる。

【００９７】（３）変形例 上述した実施形態においては、周波数を実測して得られ
た周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）、これに基づい
た周波数偏差ｄｉｐ値を求めるこれらの式（１）及び式
（２）は、圧電振動子としてＡＴカット型水晶振動子を
搭載した水晶発振器を本発明に適用する場合について説
明したが、本発明はこれに限定されない。即ち、連続す
る周波数温度特性を有する振動子、例えば、水晶振動子
で言えば弾性表面波素子を用いた発振器や圧電振動子で
言えばセラミック振動子やリチウムタンタレート、これ
らの圧電振動子を搭載した発振器や他の電子部品におけ
る不連続な周波数温度特性を持つという不良モードの検
出に適用しても、同様の効果を得ることができる。

【００９８】尚、圧電振動子を搭載した発振器に適用し
て説明したが、圧電振動子単独で上記した検査システム
及びその検査方法として適用しても上記と同様の効果を
奏する。

【００９９】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、周
波数を実測して得られた周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′
（ｎ）、そして、この隣接する３つの周波数偏差の傾き
を使用し、周波数温度特性の連続性を保証するか否かの
目安となる周波数偏差ｄｉｐ値を算出し、ＤＩＰ現象の
有無を判定しているので、従来小さなＤＩＰ現象と許容
していた水晶発振器もＤＩＰ現象ありと正確に判定でき
ＤＩＰ現象の高い検出率を得ることができる。又、周波
数偏差の変化量が大きい温度領域においてはＤＩＰ現象
として誤判定することを防止できる。

【０１００】又、上記した測定温度に代えて指定時刻
（又は測定時刻）を設定し、周波数温度特性の連続性を
保証するか否かの目安となる周波数偏差ｄｉｐ値を求め
て、ＤＩＰ現象の有無を判定することにより、上記と同
様の効果が得られる。又、温度を測定する必要がないの
で温度検出部が不要となり、圧電発振器の検査システム
が簡略化されとともに、温度を安定させるという時間を
必要としないので検査工数が短縮され、水晶発振器の低
コスト化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施形態による圧電発振器の
検査システムの概観構成を示す概観図である。

【図２】 本発明の第１の実施形態による圧電発振器の
検査システムの機能構成を示すブロック図である。

【図３】 本発明の第１の実施形態による制御部の機能
構成を示すブロック図である。

【図４】 本発明の第１の実施形態による圧電発振器の
検査システムにおいて制御部が行う水晶発振器の検査
（測定）手順を示すフローチャート図である。

【図５】 本発明の第１の実施形態による圧電発振器の
検査システムにおいて制御部が行う水晶発振器の判定手
順を示すフローチャート図である。

【図６】 周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）及びこ
の複数の傾きに基づいた周波数偏差ｄｉｐ値を説明する
図である。

【図７】 測定温度の測定ステップとＤＩＰ検出の関係
を示した図である。

【図８】 本発明の第１の実施形態による圧電発振器の
検査方法による計算式から求めた周波数偏差ｄｉｐ値を
表わしたグラフである。

【図９】 本発明の第２の実施形態による圧電発振器の
検査システムの機能構成を示すブロック図である。

【図１０】 本発明の第２の実施形態による圧電発振器
の検査システムにおいて制御部が行う水晶発振器の検査
手順を示すフローチャート図である。

【図１１】 本発明の第２の実施形態により得られたグ
ラフで、（ａ）は第２の実施形態による場合で設定時刻
を、（ｂ）は第１の実施形態による場合で測定温度をパ
ラメータとした場合の周波数偏差の傾きに基づくグラフ
である。

【図１２】 水晶発振器特有の現象であるＤＩＰ現象を
説明する図である。

【符号の説明】

１ １ａ，１ｂ 圧電発振器の検査システム ２ パーソナルコンピューター ２０ 制御部、 ２１ マイクロプロセッサ ２２ データ処理部 ２３ メモリ ２４ 入出
力部 ３ 連続温調器 ４ 気体送風器 ５ 被測定物収納箱 ６ 温度検出部 ７ 周波数測定部

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 温度を可変して、所定の周波数からの測
   定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数
   温度特性を検査する圧電発振器の検査システムにおい
   て、 所定温度の気体を生成し送風する気体生成手段と、 前記所定温度の気体環境に置かれた前記圧電発振器を収
   容する被測定物収納手段と、 前記圧電発振器の温度を測定し出力する温度検出手段
   と、 前記圧電発振器の周波数を測定し出力する周波数測定手
   段と、 前記周波数偏差の所定温度範囲内おける複数の周波数偏
   差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定
   手段とを備えることを特徴とする圧電発振器の検査シス
   テム。
2. 【請求項２】 前記判定手段は、 前記圧電発振器の良否を判定する温度範囲内に４つ以上
   の前記所定温度を設け、前記４つの所定温度における連
   続する３つの温度間隔において、第１の温度間隔におけ
   る周波数偏差の傾きと第３の温度間隔における周波数偏
   差の傾きとの平均値を算出する第１の算出手段と、 前記第１及び前記第３の温度間隔の間に位置する第２の
   温度間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算
   出手段と前記平均値と第２の算出手段で得た前記傾きと
   の差の絶対値を所定の規格値と比較する比較手段とを備
   え、 前記温度範囲内において、前記絶対値が前記所定の規格
   値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定する
   ことを特徴とする請求項１に記載の圧電発振器の検査シ
   ステム。
3. 【請求項３】 温度を可変して、所定の周波数からの測
   定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数
   温度特性を検査する圧電発振器の検査システムにおい
   て、 所定の時点において所定温度の気体を生成し送風する気
   体生成手段と、 前記所定温度の気体環境に置かれた前記圧電発振器を収
   容する被測定物収納手段と、 前記圧電発振器の周波数を測定し出力する周波数測定手
   段と、 前記周波数偏差の所定時間範囲内における複数の周波数
   偏差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判
   定手段とを備えることを特徴とする圧電発振器の検査シ
   ステム。
4. 【請求項４】 前記判定手段は、 前記圧電発振器の良否を判定する温度範囲に相当する時
   間範囲内に４つ以上の前記所定の時点を設け、前記４つ
   の所定の時点における連続する３つの時間間隔におい
   て、第１の時間間隔における周波数偏差の傾きと第３の
   時間間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出す
   る第１の算出手段と、 前記第１及び前記第３の時間間隔の間に位置する第２の
   時間間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算
   出手段と、 前記平均値と第２の算出手段で得た前記傾きとの差の絶
   対値を所定の規格値と比較する比較手段とを備え、 前記時間範囲内において、前記絶対値が前記所定の規格
   値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定する
   ことを特徴とする請求項３に記載の圧電発振器の検査シ
   ステム。
5. 【請求項５】 前記圧電発振器はＡＴカット型水晶振動
   子を搭載した温度補償型水晶発振器であることを特徴と
   する請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の圧電
   発振器の検査システム。
6. 【請求項６】 温度を可変して、所定の周波数からの測
   定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数
   温度特性を検査する圧電発振器の検査方法において、 所定温度の気体を生成し送風する送風工程と、 前記圧電発振器の温度を測定する温度測定工程と、 前記圧電発振器の周波数を測定する周波数測定工程と、 前記周波数偏差の所定温度範囲内おける複数の周波数偏
   差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定
   工程とを備えることを特徴とする圧電発振器の検査方
   法。
7. 【請求項７】 前記判定工程は、 前記圧電発振器の良否を判定する温度範囲内に４つ以上
   の前記所定温度を設け、前記４つの所定温度における連
   続する３つの温度間隔において、第１の温度間隔におけ
   る周波数偏差の傾きと第３の温度間隔における周波数偏
   差の傾きとの平均値を算出する第１の算出工程と、 前記第１及び前記第３の温度間隔の間に位置する第２の
   温度間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算
   出工程と、 前記平均値と第２の算出工程で得た前記傾きとの差の絶
   対値を所定の規格値と比較する比較工程とを備え、 前記温度範囲内において、前記絶対値が前記所定の規格
   値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定する
   ことを特徴とする請求項６に記載の圧電発振器の検査方
   法。
8. 【請求項８】 温度を可変して、所定の周波数からの測
   定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数
   温度特性を検査する圧電発振器の検査方法において、 所定の時点における所定温度の気体を生成し送風する送
   風工程と、 前記圧電発振器の周波数を測定する周波数測定工程と、 前記周波数偏差の所定時間範囲内おける複数の周波数偏
   差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定
   工程とを備えることを特徴とする圧電発振器の検査方
   法。
9. 【請求項９】 前記判定工程は、 前記圧電発振器の良否を判定する温度範囲に相当する時
   間範囲内に４つ以上の前記所定の時点を設け、前記４つ
   の所定の時点における連続する３つの時間間隔におい
   て、第１の時間間隔における周波数偏差の傾きと第３の
   時間間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出す
   る第１の算出工程と、 前記第１及び前記第３の時間間隔の間に位置する第２の
   時間間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算
   出工程と、 前記平均値と第２の算出工程で得た前記傾きとの差の絶
   対値を所定の規格値と比較する比較工程とを備え、 前記時間範囲内において、前記絶対値が前記所定の規格
   値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定する
   ことを特徴とする請求項８に記載の圧電発振器の検査方
   法。
10. 【請求項１０】 前記圧電発振器はＡＴカット型水晶振
    動子を搭載した温度補償型水晶発振器であることを特徴
    とする請求項６乃至請求項９のいずれか１項に記載の圧
    電発振器の検査方法。