JP2002520613A - 圧力センサ、圧力測定装置およびチャンバで圧力をモニタするための方法 - Google Patents
圧力センサ、圧力測定装置およびチャンバで圧力をモニタするための方法Info
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Abstract
Description
そのような圧力センサまたは圧力測定装置を用いてチャンバ内の圧力をモニタす
るための方法に関する。
からなる容量測定素子のみを含む。そのような測定素子を用いることにより、気
体の種類によらずかつ非常に正確に約10-6ミリバールから10バールの間の測
定を行なうことができるが、その全範囲が単一の測定素子で測定できるわけでは
ない。さらに、そのような圧力センサには常にオフセットの問題があるため、特
により長期的にはかなり不正確になってしまう可能性がある。
知である。そのような圧力センサでは、通常は測定ワイヤである少なくとも1つ
の加熱素子が電気的に加熱され、圧力に依存する気体の熱伝導率を用いて、加熱
力(heating power)から圧力が決定される。このように、約10-3ミリバール
から数100ミリバールの間の範囲で圧力を測定することができる。しかしなが
ら、数十ミリバールを超えると、対流による熱伝達が主となるため、そこでは測
定は気体の流れに影響されかつ大きく位置に依存する。さらに、この方法による
測定は常に気体の種類に依存する。評価回路を含む熱伝導センサは、約10-5ミ
リバールまたは最大10-6ミリバールまで動作し得るように設計することも可能
であるが、この場合数十ミリバールより上の高い圧力を信頼性をもって測定する
ことはもはやできない。
リバールより低い圧力に用いることができ、またさらに精度を下げれば10-1ミ
リバールまで用いることができることも公知である。冷陰極電離真空計と熱陰極
電離真空計とは区別する。それらはより高い圧力範囲で機能することができず、
約10-2ミリバールからは不正確になる。それらは原則的に気体の種類に依存す
る。
定しようとすれば、互いに独立して、各々が測定信号を処理するための装置を与
えられた、間隔をあけて分離された少なくとも2つの異なる圧力センサを用いる
ことが通常である。したがって、初めに述べられたような、一部の範囲を測定す
るのに好適なタイプの容量測定素子を各々が含む、たとえば2つまたはそれ以上
の圧力センサを用いることができる。しかしながら、それに関連する技術が複雑
であるため、これらの、また同様の解決策のコストが高くなってしまう。測定素
子の間に距離があるために、測定された結果が不正確になってしまう可能性があ
る。さらに、複数のそのような測定素子が用いられても、オフセットの問題が依
然として残る。
。EP−A−0 658755には、ピラニの熱伝導測定素子および冷陰極測定
素子が組合わされて圧力測定装置を提供し、前者が高圧の範囲を測定し、かつ後
者が低圧の範囲を測定する、圧力測定装置が開示されている。装置は小型であり
、上述の測定範囲全体を測定することができるが、高圧の部分では非常に不正確
である。
た公知である(US−A−3 064478)。ここでは、対応する圧力測定装
置は比較的不都合である。さらに、測定素子を間隔をあけて分離することにより
、測定結果が不確かになる可能性が高くなる。
ルをカバーし、同時に設計が単純であり、小型で経済的なかつ汚染の影響を受け
ない圧力センサを提供することである。この目的は、請求項1の特徴部分に述べ
られた特性により達成される。
れる、どの位置にも迅速に容易に取付けられる圧力測定装置を提供し、さらに、
これらの利点と、高い精度と安定性とともに非常に広い測定範囲とを併せ持つ圧
力測定装置を提供することである。これらの目的はそれぞれ請求項15および1
9に記載の特徴により達成される。
わたる測定において長期的に十分に正確でありかつ安定している方法を提供する
ことであって、この目的は請求項22に記載の特徴により達成される。
で扱いやすくかつ経済的に生産し得る形に組合せている。たとえば、約0.1ミ
リバールより高い高圧の範囲は気体の種類に依存しない容量測定素子によりカバ
ーされ、かつ約10-6ミリバールから約10ミリバールの低圧の範囲は熱伝導率
測定素子によってカバーされ、重複する領域では平均がとられる。したがって、
約1ミリバールから数バールの間の圧力を、気体の種類に依存せず、高い精度(
一般的には約1%)で測定することができ、同時に一般的に測定の十分な精度で
の測定範囲は約10-6ミリバールまで広がる。
るようになる。圧力センサは多目的であり、最初に述べられた部分の測定範囲で
の比較圧力測定に好適であるように形成され得る。その配置は、たとえば直径が
35mmまたはそれ未満となるよう、小さくかつ小型に設計することができる。
熱伝導率測定に関しては、短い加熱フィラメントなどのサイズの小さい加熱素子
を用いることにより、前記圧力範囲で最適な動作の振舞いが実現できる。
、好都合でありかつ取付けが容易である。さらなる好適な測定素子で補足すれば
、それらの設計は小型になり、広い測定範囲で高い精度で圧力を測定することが
できる。
わらず、長期にわたり安定した態様でチャンバ内の圧力をモニタすることが可能
となる。これらの有利な特徴は、ロック(locks)内の圧力をモニタする際に特
に示される。なぜなら周期的に圧力が変化するために、ここではオフセットが定
期的に補償されるためである。
れる。
原則的にその容量Cの値が気体の圧力に依存する容量測定素子が、接地A0とキ
ャパシタ接続Acとの間に配置されるように設計される。その値は好適な評価回
路を用いて公知の態様でモニタされ、これは容量測定素子から第1の圧力信号を
導出する。第1の圧力信号は、本質的に線形である特徴によりもとの値から導出
され、容量Cの値を再現する。容量測定素子の場合に通常発生して、長期的な安
定性を損なうオフセットは以下に説明される方法により補償される。
ぞれ配置される。抵抗器R1、R2は、比抵抗値がそれに対応する異なる温度T1
およびT2で、抵抗器接続AR1およびAR2で電圧および電流を適切に調整または
モニタすることにより安定化され、それらによる電力出力が測定される。
出力に関しては、抵抗器の温度をT、壁の温度をTwとして、たとえば1976
年の”Rev. Sci. Instrum.”47/8、912−914ペー
ジに掲載のH.R.ヒドバー、G.スース(H.R.Hidber, G.Suss)による「応答
が線形化されたピラニのナノメータ」(“Pirani nanometer with linearized r
esponse”)から公知の式により以下の式が得られる。
(T−Tw) ここでは、第1の項は放射による熱転送に関し、最後の項は抵抗器の接続の領域
での熱伝導による熱転送に関し、さらに真中の項はここで特に関心のある10ミ
リバールより低い圧力の範囲での、気体による圧力に依存する、熱伝導が引起す
熱転送を説明している。より高い圧力での飽和も考慮する、ややより複雑な式が
この項の圧力に対する依存のために用いられると、この方法は実質的な変更をす
ることなく実質的により広い範囲の圧力に適用することもできる。
測定され、かつその差が計算されれば、結果は以下の式のようになる。
Tw×p+γ(T1−T2) この式ではα、ε、βおよびγは定数である。この式は定数A、Bを用いて以下
のように要約されてもよい。
大きい式1の項は式3には存在しない。
ulter)らによる”Vacuum”33号の311ページに掲載されたもの、お
よび1987年発行のW.ジッチン(W.Jitschin)らによる、”J.Vac.S
ci.Technol.”A5号の372ページに掲載されたもの)を含む標準
化された圧力Pが、たとえばTwo=300°Kでpに対応する以下の式として定
義されれば、 (式4) P=√(Two/Tw)×p 前記標準化された圧力は以下の式として得られ、 (式5) P=(N1−N2−A)/K この式ではKもまた定数である。したがってPは壁温度に依存しない。第2の圧
力信号は、式5に従って、評価ユニットから抵抗器接続AR1、AR2での電圧およ
び電流から導出される。
素子から発生する第2の圧力信号とから出力信号を生成し、出力信号は各々の場
合において圧力センサの特定の測定結果に一意的に対応する。測定範囲の高圧部
では、出力信号は容量測定素子から発生する第1の圧力信号に基づいて決定され
る。その低圧部では、熱伝導率測定素子から発生する第2の圧力信号に基づいて
決定される。遷移値で急に遷移してもよいが、これは測定値が容易に飛躍してし
まったり、ヒステリシス効果につながってしまう可能性がある。遷移は、特にE
P−A−658755に説明された方法に対応して、たとえば0.1ミリバール
から10ミリバールの間の遷移の間隔で安定して発生するのが好ましい。
第1の実施例に従った圧力センサ3は、環状の弾力ばね4を用いて、フランジ2
を有する保護管の端に弾力的にかつ気密に懸架され、フランジを用いて保護管1
はチャンバの対応する接続に接続される。ばね4は圧力センサ3の、同時にベー
ス部材としての役割を果たす支持プレート5に直接しっかりとはんだづけされ、
保護管1に溶接される。ばねは、鋼から作製される保護管1および好ましくは少
なくとも95%のAl2O3を含むセラミックからなる支持プレート5の熱膨張の
差を補償する。
膜6は全面ガラスシール7により支持プレート5に気密に接続され、同時に前記
支持プレートからはある距離をあけられ、それにより支持プレートとともにゲッ
タリングされるであろう基準真空8を取囲む。膜6は好ましくは、Al2O3を好
ましくは含むセラミック、または主にAl2O3を含むセラミックから作られる。
その厚みは好ましくは10μmから1000μmの間、特に10μmから250
μmの間である。その直径は好ましくは2mmから15mmの間、特に4mmか
ら9mmの間である。
層は支持プレート5を介して、前記支持プレートの外側で、接地A0に対応する
接続9またはキャパシタ接続Acに対応する接続10に接続される。支持プレー
ト5およびこれに接続された膜6はこうしてキャパシタCとしての前記導電層と
ともに容量測定素子を形成する。支持プレート5および膜6がセラミックからな
る好ましい実施例では、支持プレートおよび膜により形成された容量測定素子は
腐蝕性の大気中でも耐性がある。
抵抗器R1、R2を構成し、かつ熱伝導率測定素子を形成する。それらは測定ワイ
ヤ11、12の形で、真中の支持部13から延びて支持プレート5の内表面と平
行に、膜6からわずかに広く距離をあけて、支持部14、15に向かってほぼ直
角に広がる。真中の支持部13は導電的に接続9に接続する。これらは好ましく
は、ニッケル、プラチナ、タングステンまたはこれらの金属のうち少なくとも1
つを含む合金から作られ、そのためそれら自体が腐蝕性の気体に対して耐性があ
る。支持部は支持プレート5を介して抵抗器接続AR1、AR2に対応するさらなる
接続(図示せず)に接続される。膜6はたとえばセラミックの保護リング16に
よって取囲まれ、保護リングは測定ワイヤ11および12により放出される放射
熱および光から膜を保護し、かつ前記膜が加熱されるのを防ぎ、結果として導電
層の間の平均の距離と容量Cの値に影響を与えるのを防ぐ。
述のように、支持プレート5および膜6の上の導電層により形成されるキャパシ
タCの値からすべてまたは部分的に導出され、それらの層は基準真空8により分
離される。この値は圧力の関数である、膜6のたるみ(sag)に依存する。測定
範囲の下限より下では、膜6のたるみに対する圧力の影響は非常に小さいため、
その変化を十分な精度で検出することはもはや不可能である。したがって、約1
0-6ミリバールから約10ミリバールの測定範囲の低圧部では、測定結果はすべ
てまたは部分的にピラニの原則に従って、測定ワイヤ11、12による電力出力
から導出される。この測定の原則を用いると、約50ミリバールより下、特に約
30ミリバールより下で、相対的に正確な測定結果が得られる。
に膜の設計により、上下の範囲の間の境界を変更することができる。ピラニの圧
力測定は交互に異なる温度T1、T2にされるか、またはただ1つの温度でのみ動
作する、ただ1つの加熱ワイヤを用いて行なうことが可能である。しかし後者の
場合は壁温度の影響が非常に大きいことを考慮しなければならない。使用される
分野によって、上述以外の材料が場合によっては用いられてもよくまたは、測定
ワイヤの代わりに、テープ、薄膜構造、マイクロチップまたはシリコンウェハ上
にマイクロテクノロジにより作られたピラニ素子などの他の加熱抵抗素子が用い
られてもよい。
るベース部材、好ましくはそれを介して電気的接続が行なわれる、より直径の大
きなベースプレートに取付けられてもよい。圧力測定装置の保護管はその場合ベ
ースプレートによって閉じられる。最後に、圧力センサは、前記支持プレートと
膜との間に存在するこの場合は基準真空の形をとらない空間に通じ、支持プレー
トを通る孔を設けることにより、測定範囲の高圧部での比較測定に好適となるよ
うに形成されてもよい。
であり、かつ図1に示された回路図に対応する圧力センサは、別個のベース部材
またはより正確にはベースプレート17を有し、ベースプレートは好ましくはセ
ラミックまたは別の電気的絶縁材料からなる。ベースプレート5および膜6を含
む容量測定素子は、ベースプレート17と垂直に整列され、たとえば第1の実施
例に従って保護管内に懸架されるか、または別の方法で取付けられる。
中央部を貫通し、ベースプレートに固定されるピン18によって作られる。支持
プレート5の背面は、前記支持プレートの直径に沿うように前記ピンに留められ
る。同時に、前記ピンはタブ19を用いてその上の導電層に接続される。ベース
プレート17から突き出たピンの部分は接地接続A0に対応する接続9を形成す
る。膜6上の導電層は、ベースプレート17を貫通する接続ピンを用いてキャパ
シタ接続Acに対応する接続10に接続される。
、それにより前記支持プレートはワイヤの熱の影響から膜を保護する。各々の場
合に、これらはタブ19の一端から延在し、タブを用いてピン18に電気的に接
続され、さらにベースプレート17に向かって斜めに広がり、そこで支持部14
、15に接続される。ここでは、支持部はベースプレート17を貫通し、かつ抵
抗器接続AR1、AR2に対応する接続20、21を形成する接続ピンの形をとる。
て修正がもちろん可能である。比較測定を行なおうとするなら、さらなる容量測
定素子がベースプレートの背面に取付けられてもよい。すべての実施例において
重要なのは、測定ワイヤが膜の近傍に取付けられることであり、それにより圧力
の勾配が発生しても異なる圧力に晒されず、一方膜に対して望ましくない熱効果
を与えることもない。このために、膜と測定ワイヤの間の距離は5mmを越えて
はならず、かつその距離は2μm未満であってはならない。第1の実施例では保
護リング16により実現され、また第2の実施例では支持プレート5自体により
実現されたような、遮蔽もまた有利である。
たとえば測定範囲を下方に拡大するような、または低い圧力で精度もしくは安定
性を向上させるようなさらなる測定素子を含む圧力測定装置の一部として非常に
有用である。その場合、圧力センサは、各々の場合に保護管1内にさらなる測定
素子とともに任意に配置される。
ネトロン23、すなわちそれ自体公知の設計である冷陰極測定素子は、ピン24
および保護管1を同軸方向に取囲む永久磁石25を備えた、保護管1内に配置さ
れる。保護管1の開放端と対向する端のピン24のための通路の隣に、開口が残
され、これは上述の第2の実施例に対応する圧力センサ3のベースプレート17
により閉じられる。このような圧力測定装置は低い圧力でも高い精度を有し、長
期にわたり安定性がよく、たとえばハードディスクの被覆のためのチャンバに用
いるのに好適である。
力センサ3に加えて、熱陰極測定素子である三極管を有する。圧力センサ3およ
び三極管26はセラミックまたは他の電気的絶縁材料を含む共通の保持プレート
27の上に取付けられ、保持プレートは一方端で保護管1を閉じ、これを通って
両者の接続が導かれる。三極管26は圧力管1のフランジ2により囲まれる端に
向かってオフセットされており、すなわち前記三極管は圧力センサ3の前に配置
される。三極管26が存在するために、圧力測定装置は10-1ミリバールから1
0-5または10-6ミリバールの間の範囲で正確であり、かつ長期的に非常に安定
する。三極管26はまた、機械的に丈夫である。圧力測定装置は、たとえば通常
は上流にロックを有しない、工具の塗装のためのチャンバに用いるのに好適であ
る。
して、汚損に対する相対的な強さが顕著であるベアード・アルパート素子28を
有する。
価ユニットに送出され、そこで測定範囲の特定の部分に対する出力信号を決定す
るための基準として用いられる。遷移は同様に急であるか、または着実な重ね合
わせをもって起こり得る。
徴は、長期の安定性を損なう容量測定素子のオフセットがしばしば補償されれば
さらに改良することができる。圧力が周期的に変化するチャンバ内で圧力をモニ
タする際には、たとえば処理されるべきウェハ30または同様のものなどの物体
が外部すなわち大気圧p0(図8a)下からもたらされる真空ユニット(図7)
であるロック29内でこれを定期的に行なうことができる。ここでは、ロック2
9が閉じられた後、圧力pは数十ミリバールまたは実質的により低い、たとえば
約10-4ミリバールになり得る転送圧ptまで減じられる。その後、バルブ31
が開かれ、転送間隔It(図8b)の間に前記ウェハ30は圧力が予め転送圧pt に上昇された中間チャンバ32にさらに運ばれる。バルブ31が閉じられた後、
圧力pは再びロック29内で大気圧p0に上昇するが、中間チャンバ32内では
圧力が減少し、ウェハ30はさらなるバルブ33によりたとえば処理チャンバ3
4にさらに運ばれる。
的には2%から5%の間で、大気圧p0に密に近づいたときのみ、常に開かれる
ことが非常に重要である。なぜならそうでなければ問題のある流れが生成されて
バルブに負荷がかかりすぎ、そのために摩滅が生じ、対応して不純物が生じてし
まうためである。しかしながら、高圧の範囲で用いられ、そうでなければすぐれ
た精度を有する容量測定素子の場合、オフセットにより、長期的に安定性に欠け
る点が問題となり得る。
50ミリバールまたはさらに30ミリバールよりも低いしきい値psより下に降
下するとすぐに、オフセットの補償をすることにより解決される。この場合は、
評価回路により第1の圧力信号から決定される出力信号は、前記評価回路により
第2の圧力信号から決定される信号と比較される。オフセットによりずれが起こ
れば、第1の圧力信号を導出するために用いられる特徴は、そこから導出される
出力信号が第2の圧力信号から導出された出力信号と一致するようにシフトされ
る。圧力pが減少し続ける限り、これは間隔をあけてまたは連続して繰返される
。圧力が再び上昇し始めると、この手順は終了する。オフセットの補償はこのよ
うに較正間隔Ic(図8a)内で達成される。
従った測定結果の実際の圧力からのずれは通例20%、すなわち1ミリバールを
越えない。容量測定素子のオフセットはしたがって約1ミリバールまで正確に決
定され得る。容量測定素子の精度がこの他では非常に高いために、測定範囲内の
測定の精度は同様に約1ミリバールであり、それは大気圧で約0.1%ずれる。
この精度はこの場合通例全く十分である。ロック29内でより低い圧力に到達す
れば、これは外側の圧力が変化するためにしばしば有利であるが、この結果はさ
らによくなる。ロックの外側に設けられた第2の容量測定素子を用いて比較測定
が行なわれれば、ロックが開けられたとき、他の測定素子の信号と、その出力信
号とを比較することができ、こうしてそのオフセットを補償することができる。
。
施例に従った圧力測定装置の縦軸方向の断面図である。
例に従った圧力測定装置の図である。
例に従った圧力測定装置の図である。
例に従った圧力測定装置の図である。
ある。
を参照)は、導電層を有する支持プレートおよび膜からなる容量測定素子のみを
含む。そのような測定素子を用いることにより、気体の種類によらずかつ非常に
正確に約10-6ミリバールから10バールの間の測定を行なうことができるが、
その全範囲が単一の測定素子で測定できるわけではない。さらに、そのような圧
力センサには常にオフセットの問題があるため、特により長期的にはかなり不正
確になってしまう可能性がある。
+γ(T−Tw) ここでは、第1の項は放射による熱転送に関し、最後の項は抵抗器の接続の領域
での熱伝導による熱転送に関し、さらに真中の項はここで特に関心のある10ミ
リバールより低い圧力の範囲での、気体による圧力に依存する、熱伝導が引起す
熱転送を説明している。より高い圧力での飽和も考慮する、ややより複雑な式が
この項の圧力に対する依存のために用いられると、この方法は実質的な変更をす
ることなく実質的により広い範囲の圧力に適用することもできる。
√Tw)×p+γ(T1−T2) この式ではα、ε、βおよびγは定数である。この式は定数A、Bを用いて以下
のように要約されてもよい。
ulter)らによる”Vacuum”33号の311ページに掲載されたもの、お
よび1987年発行のW.ジッチン(W.Jitschin)らによる、”J.Vac.S
ci.Technol.”A5号の372ページに掲載されたもの)を含む標準
化された圧力Pが、たとえばTwo=300°Kでpに対応する以下の式として定
義されれば、 (式4) P=p×√(Two/Tw) 前記標準化された圧力は以下の式として得られ、 (式5) P=(N1−N2−A)/K この式ではKもまた定数である。したがってPは壁温度に依存しない。第2の圧
力信号は、式5に従って、評価ユニットから抵抗器接続AR1、AR2での電圧およ
び電流から導出される。
Claims (26)
- 【請求項1】 容量測定素子を有する圧力センサであって、支持プレート(
5)と、距離をあけてそれに先行して置かれかつ支持プレートと気密に接続され
たセラミックの膜(6)とを含み、この両者は導電層を備え、前記圧力センサは
、少なくとも1つの加熱素子を備えた熱伝導率測定素子を有し、加熱素子は直接
または両測定素子を支持するベース部材を介して支持プレート(5)に接続され
ることを特徴とする、圧力センサ。 - 【請求項2】 膜と少なくとも1つの加熱素子との間の距離が5mm以下で
あることを特徴とする、請求項1に記載の圧力センサ。 - 【請求項3】 膜(6)は少なくとも1つの加熱素子により放出された放射
から遮蔽されることを特徴とする、請求項1または2に記載の圧力センサ。 - 【請求項4】 膜(6)は特にAl2O3を含むセラミックからなり、かつそ
の厚みが10μmから1000μmの間、特に10μmから250μmの間であ
ることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の圧力センサ。 - 【請求項5】 膜の直径が2mmから15mmの間、好ましくは4mmから
9mmの間であることを特徴とする、請求項1から4のいずれかに記載の圧力セ
ンサ。 - 【請求項6】 ゲッタされた基準真空(8)が支持プレート(5)と膜(6
)との間に包含されることを特徴とする、請求項1から5のいずれかに記載の圧
力センサ。 - 【請求項7】 各々の加熱素子は、測定ワイヤ(11、12)、テープ、薄
膜構造またはマイクロチップの形であることを特徴とする、請求項1から6のい
ずれかに記載の圧力センサ。 - 【請求項8】 圧力センサは、互いに独立して加熱可能な少なくとも2つの
加熱素子を有することを特徴とする、請求項1から7のいずれかに記載の圧力セ
ンサ。 - 【請求項9】 少なくとも1つの加熱素子が、少なくとも1%のニッケル、
プラチナまたはタングステンを含むことを特徴とする、請求項1から8のいずれ
かに記載の圧力センサ。 - 【請求項10】 少なくとも1つの加熱素子が、支持プレート(5)からあ
る距離をおき、かつ支持プレートと平行であることを特徴とする、請求項1から
9のいずれかに記載の圧力センサ。 - 【請求項11】 少なくとも1つの加熱素子が、膜(6)の側の加熱素子よ
りも支持プレート(5)からの距離がより大きいところに配置されることを特徴
とする、請求項1から10のいずれかに記載の圧力センサ。 - 【請求項12】 膜(6)は、前記膜を取囲みかつ支持プレート(5)上に
配置される保護リング(16)により確実に遮蔽され、支持プレートの外側に少
なくとも1つの加熱素子が配置されることを特徴とする、請求項3から11のい
ずれかに記載の圧力センサ。 - 【請求項13】 少なくとも1つの加熱素子が、支持プレート(5)の膜(
6)と対向していない側に配置されることを特徴とする、請求項3から10のい
ずれかに記載の圧力センサ。 - 【請求項14】 支持プレート(5)が、好ましくはベースプレート(17
)の形のベース部材を貫通するピン(18)の上に、前記ベース部材に対してほ
ぼ垂直に取付けられることを特徴とする、請求項1から13のいずれかに記載の
圧力センサ。 - 【請求項15】 圧力測定装置は圧力センサ(3)を取囲む保護管(1)を
含むことを特徴とする、請求項1から14のいずれかに記載の圧力センサ(3)
を有する圧力測定装置。 - 【請求項16】 保護管(1)が支持プレート(5)により一方端で閉じら
れることを特徴とする、請求項15に記載の圧力測定装置。 - 【請求項17】 支持プレート(5)が保護管(1)内に弾力的にかつ封止
する態様で懸架されることを特徴とする、請求項16に記載の圧力測定装置。 - 【請求項18】 圧力センサ(3)が、保護管(1)内で圧力を測定するた
めの少なくとも1つのさらなる測定素子とともに配置されることを特徴とする、
請求項15から17のいずれかに記載の圧力測定装置。 - 【請求項19】 圧力センサが共通の支持部上に少なくとも1つのさらなる
圧力測定素子とともに配置されることを特徴とする、請求項1から14のいずれ
かに記載の圧力センサ(3)を有する圧力測定装置。 - 【請求項20】 少なくとも1つのさらなる測定素子は冷陰極素子であるこ
とを特徴とする、請求項18または19に記載の圧力測定装置。 - 【請求項21】 少なくとも1つのさらなる圧力測定素子は熱陰極素子、特
に三極管(26)またはベアード・アルパート素子(28)であることを特徴と
する、請求項18または19に記載の圧力測定装置。 - 【請求項22】 請求項1から14のいずれかに記載の圧力センサまたは請
求項15から21のいずれかに記載の圧力測定装置を用いてチャンバ内の圧力を
モニタするための方法であって、少なくとも測定結果が遷移値または遷移の範囲
よりも上のときに、各々の場合に、容量測定素子から発生する第1の圧力信号に
基づいて決定される、測定結果を示す出力信号が生成され、また圧力がしきい値
(ps)よりも下に降下するときは、各々の場合に、第1の圧力信号のいかなる
オフセットも、第1の圧力信号に基づく出力信号の決定が、熱伝導率測定素子か
ら発生する第2の圧力信号に基づく出力信号の決定と同じ結果になるように補償
されることを特徴とする、方法。 - 【請求項23】 圧力がしきい値(ps)よりも下であり、かつ減少する限
りはオフセットの補償が繰返されるが、圧力が増加する場合には繰返されないこ
とを特徴とする、請求項22に記載の方法。 - 【請求項24】 しきい値(ps)が50ミリバール、好ましくは30ミリ
バール以下であることを特徴とする、請求項22または23に記載の方法。 - 【請求項25】 少なくとも測定結果が遷移値または遷移の範囲よりも低い
ときに、熱伝導率測定素子から発生する第2の圧力信号に基づいて出力信号が決
定されることを特徴とする、請求項22から24のいずれかに記載の方法。 - 【請求項26】 チャンバがロック(29)であることを特徴とする、請求
項22から25のいずれかに記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/116,666 US5962791A (en) | 1998-07-16 | 1998-07-16 | Pirani+capacitive sensor |
US09/116,666 | 1998-07-16 | ||
PCT/CH1999/000325 WO2000004358A1 (de) | 1998-07-16 | 1999-07-16 | Druckmesszelle, druckmessvorrichtung sowie verfahren zur überwachung des druckes in einer kammer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002520613A true JP2002520613A (ja) | 2002-07-09 |
JP4590100B2 JP4590100B2 (ja) | 2010-12-01 |
Family
ID=22368524
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000560427A Expired - Lifetime JP4590100B2 (ja) | 1998-07-16 | 1999-07-16 | 圧力センサ、圧力測定装置およびチャンバで圧力をモニタするための方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5962791A (ja) |
EP (1) | EP1097361B1 (ja) |
JP (1) | JP4590100B2 (ja) |
KR (1) | KR100620671B1 (ja) |
AT (1) | ATE244398T1 (ja) |
DE (1) | DE59906195D1 (ja) |
HK (1) | HK1037027A1 (ja) |
WO (1) | WO2000004358A1 (ja) |
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WO2000004358A1 (de) | 2000-01-27 |
EP1097361B1 (de) | 2003-07-02 |
JP4590100B2 (ja) | 2010-12-01 |
DE59906195D1 (de) | 2003-08-07 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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