JP2002520489A - 改良されたカップ、アノードおよび導電体のアセンブリーを有するリアクタ容器 - Google Patents

改良されたカップ、アノードおよび導電体のアセンブリーを有するリアクタ容器

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JP2002520489A
JP2002520489A JP2000559280A JP2000559280A JP2002520489A JP 2002520489 A JP2002520489 A JP 2002520489A JP 2000559280 A JP2000559280 A JP 2000559280A JP 2000559280 A JP2000559280 A JP 2000559280A JP 2002520489 A JP2002520489 A JP 2002520489A
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Japan
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anode
cup
tube
reactor vessel
reactor
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JP2000559280A
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Inventor
ダニエル ジェイ ウッドラフ
カイル エム ハンソン
Original Assignee
セミトゥール・インコーポレイテッド
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Publication date
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    • C25D7/12Semiconductors
    • C25D7/123Semiconductors first coated with a seed layer or a conductive layer

Abstract

(57)【要約】 リアクタ容器のための改善されたアノード(114)、カップ(16)および導電体アセンブリー(122)は、処理液の供給を保持するカップ(16)内に支持されたアノードアセンブリー(117)を含む。カップ(16)は、リアクタ容器(100)内のその周縁周りに支持され、拡散プレート(112)およびアノードアセンブリー(117)は、器具(300)を使用してリアクタ容器(100)の頂部から取付け可能である。アノードアセンブリー(117)はアノード(114)を担持するアノードシールド(116)を有し、アノードシールド(116)は、半径方向に伸びる部材と共に上方に伸びたブラケット(274)を有する。拡散プレート(112)は、第一のバヨネット結合を使用してアノード(114)の上に支持される。アノードシールド(116)およびアノード(114)は、カップ(16)に処理液を供給するデリバリー管(44)によって下から支持される。第二のバヨネット結合は、デリバリー管(44)とアノードアセンブリー(177)との間にスペーサを介在して設けられる。液体デリバリー管(44)は容器内において固定された高さを有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【関連出願の相互参照】
出願なし
【連邦に援助された研究または開発の陳述】
適用なし
【0002】
【発明の背景】
半導体ウエハーから半導体集積回路および他の半導体製品を製造する際に、集
積回路の種々のデバイスを相互に電気的に接続する配線メタライゼーションとし
て働くための複数の金属層を与えることが必要になることが多い。従来は、この
ような配線のためにアルミニウムが使用されてきたが、今では銅メタライゼーシ
ョンが好ましい可能性があると認識されている。
【0003】 半導体製造工業では、通常は「ビア(via)」と称される孔、トレンチおよび/
または他の凹部を基板に形成して銅を充填する「象眼」電着プロセスを使用する
ことによって、銅を半導体ウエハーの上に適用している。この象眼プロセスにお
いては、ウエハーには最初に金属シード層が設けられ、これは後続の電着工程の
際に電流を通すために使用される。このシード層は非常に薄い金属の層であり、
幾つかのプロセスのうちの一以上を使用して適用することができる。例えば、金
属のシード層は物理的気相成長プロセスまたは化学的気相成長プロセスを使用し
て堆積し、約1,000オングストロームの厚さの層に形成することができる。この
シード層は、銅、金、ニッケル、パラジウム、または他の金属で有利に形成する
ことができる。該シード層は、ビア、トレンチまたは他の凹部を有する装置構造
の存在により複雑化した表面を覆って形成される。
【0004】 次いで、ブランケット層形態の銅の層が、シード層の上に電着される。このブ
ランケット層は、トレンチおよびビアを埋め且つこれら構造の上に一定の量だけ
広がる銅の層を与える目的で、覆い層を形成する程度に電着される。このような
ブランケット層は、典型的には略10,000〜15,000オングストローム(1〜1.5ミク
ロン)の厚さで形成されるであろう。
【0005】 ブランケット層を半導体ウエハー上に電着した後に、ビア、トレンチ、または
他の凹部の外側に存在する余剰の金属材料を除去する。
【0006】 金属を除去すると、半導体集積回路における金属層のパターンが形成される。
過剰に電着された材料は、例えばケモメカニカルな平坦化を使用して除去するこ
とができる。ケモメカニカルな平坦化は、化学的除去剤と、露出した金属表面を
磨耗および研磨して、電着工程で適用された金属層の望ましくない部分を除去す
る研磨剤とを組合せて使用する加工工程である。
【0007】 半導体ウエハーの電着は、リアクタアセンブリー内で行われる。このようなア
センブリーにおいて、アノード電極は電着浴の中に配置され、シード層を有する
ウエハーはカソードとして使用される。ウエハーの下面のみが電着浴の表面に接
触する。ウエハーは支持システムによって保持され、該システムも必要なカソー
ド電流をウエハーに流す。このシステムは、ウエハーを正しい場所に固定し且つ
電着操作のための電流を流すために、ウエハーに接触する導電性フィンガーを具
備している。
【0008】 リアクタアセンブリーの一つの態様が、「先端接触部分および誘電体カバーを
備えたワークピース/係合電極を有する半導体電着システムワークピース支持体
」と題する、1997年9月30日に出願された米国特許出願第08/988,333号に開示さ
れている。図1は、このようなアセンブリーを図示している。図示のように、ア
センブリー10は金属を電着するためのリアクタ容器11、処理ヘッド12および電着
ボウルアセンブリー14を含んでいる。
【0009】 図1に示すように、電着ボウルアセンブリー14は、容器チャンバー18内に配置
されるカップアセンブリー16を含んでいる。カップアセンブリー16は、電着プロ
セスのための処理液体を保持する液体カップ20を含んでいる。また、図示の態様
のカップアセンブリーは、カップ底部30から懸吊されたスカート26を有し、また
容器チャンバーが液体で満たされるときに回収され得る何等かのガスの流通およ
び放出のための、全体を通して開いた縦溝を有している。該カップは、ポリプロ
ピレンまたは他の適切な材料で製造することができる。
【0010】 カップアセンブリー16の底部壁30における底部開口は、ポリプロピレン製上昇
管34を収容しており、これは底部壁30と管34との間のネジの螺合により、相対的
な高さを調節可能である。流体デリバリー管44が、上昇管34内に配置されている
。該デリバリー管44の第一の末端は、ネジ結合45によってアノード42に固定され
ている。アノードシールド40は、ネジ74によってアノード42に取りつけられる。
デリバリー管44は、カップ内のアノードを支持する。流体デリバリー管44は、取
りつけ器具50により上昇管34に固定される。取り付け器具50は、上昇管34内での
デリバリー管44の高さ調節に適合することができる。このように、取りつけ器具
50と上昇管34との間の結合は、デリバリー管の垂直調節、従ってアノードの垂直
位置の調節を容易にする。デリバリー管44は、チタンのような導電性材料で製造
することができ、アノード42に電流を流し、またカップに流体を供給するために
使用することができる。
【0011】 処理液はデリバリー管44を通してカップに与えられ、そこから液体出口開口部
56を通って進む。電着液は該開口56を通してカップを満たし、電着液ポンプ(図
示せず)から供給される。
【0012】 カップ側壁60の上縁は、カップ内における電着溶液または処理液のレベルを制
限する堰を形成する。このレベルは、ウエハーWの底部表面のみが電着溶液に接
触するように選択される。過剰な溶液はこの頂部縁を越えて容器チャンバー18の
中に注ぐ。チャンバー18内の液体のレベルは、センサおよびアクチュエータで液
体レベルをモニターおよび制御することにより、動作の安定性のために望ましい
範囲内に維持することができる。一つの構成には、適切なスイッチ63を使用して
高レベル状態を検地し、次いで、制御弁(図示せず)によって制御されるドレイ
ンラインを通して液体を排出することが含まれる。チャンバー18から流出する液
体は、適切な容器に戻すことができる。次いで、この液体は追加の電着化学薬品
もしくは電着液の他の成分、または他の処理液体で処理して、再度使用すること
ができる。
【0013】 ウエハーの表面の全体に液体電着浴の更に制御された分布を与えるために、ア
ノード42の上方に拡散プレート66が設けられる。拡散プレート66の全体または一
部には穿孔形態の液体流路が設けられ、そこを通して液体流通を可能にする。カ
ップアセンブリー内の拡散プレートの高さは、ネジ付の拡散プレート高さ調節機
構70を使用して調節可能である。
【0014】 アノードシールド40は、アノードシールドファスナー74を使用して、消耗性ア
ノード42の下側に固定される。このアノードシールドは、電着溶液が処理チャン
バーの中に通過するときに、電着溶液によるアノードに対する直接の衝撃を防止
する。このアノードシールド40およびアノードシールドファスナー74は、フッ化
ポリビニリデンまたはポリプロピレンのような誘電体材料から製造することがで
きる。アノードシールドは、アノードの裏面を電気的に絶縁し且つ物理的に保護
するように働く。また、それは有機電着液添加物の消費を低減する。
【0015】 処理ヘッド12は、処理チャンバー内で垂直軸Rの回りに回転させるために、
ウエハーWを保持する。処理ヘッド12は、回転子の保持構造に当接させてウエハ
ーを保持するために、複数のウエハー係止フィンガー89を有する回転子アセンブ
リーを含んでいる。フィンガー89は、好ましくはウエハーと電着電力源の間で電
流を通し、電流盗用として作用する。処理ヘッド12は処理ボウルアセンブリー14
と対合して、実質的に閉じた処理容積13を与える。
【0016】 処理ヘッド12は、ヘッドオペレータによって支持することができる。ヘッドオ
ペレータは高さ調節可能な上部部分を含むことができ、これは処理ヘッドの高さ
調節を可能にする。また、ヘッドオペレータはヘッド連結シャフトを有すること
ができ、これは、水平旋回軸の周りにヘッド12を旋回させるように動作可能であ
る。オペレータを使用する処理ヘッドの旋回動作は、ウエハーWをロードおよび
アンロードするための、処理ヘッドが開いた位置または上向きの位置(図示せず
)に配置されることを可能にする。
【0017】 処理排ガスは、容積13から除去されなければならない。図1および図2は、容
器ベースプレート75から頂部端へと上方に伸びる外側容器側壁76を示しており、
頂部端には周囲方向に離間したスロット78を有する中間排出リング77が、入れ子
式に挿入される。スロット78は、容器13の内部から中間排出リング77と外側ボウ
ル側壁76の間に位置する細い環状プレナム79の中へと排ガスを導通させる。外側
ボウル側壁76を取囲んで容器リングアセンブリー80が存在しており、これは側壁
76と共に、外側の環状回収チャンバー81を形成する。プレナム79の中に回収され
るガスは、中間オリフィス82を通って環状回収チャンバー81の中へと通過する。
回収チャンバー81の中に回収されたガスは、排気ノズル83を通って回収およびリ
サイクルされる。
【0018】 上記の装置は幾つかの欠点を有する可能性がある。アノードとデリバリー管と
のネジ螺合45は、保守または新しいアノードをデリバリー管に据え付ける際に、
ネジが損傷するリスクを導入する。このタイプの構成はまた、アノードの大きな
重量およびアノード42とカップ側壁60との間の緊密な隙間に起因して、デリバリ
ー管に対するアノードの回転係合、および据え付けまたは脱着および取外しを困
難で且つ時間を要するものにしている。ネジによる結合は、アセンブリーの際の
完全な螺合、または分解の際の完全なネジ脱着のために、充分な数のアノードの
回転を必要とする。
【0019】 加えて、消耗性アノードを使用した電着処理においては、アノードの表面に堆
積したアノード膜を有するのが望ましい。この膜は、ウエハー処理の前にアノー
ドに適用される。しかし、このアノード膜は非常に脆いので、結合または脱着の
際に手または器具がアノード膜に接触すると該膜を損傷し易く、そのときにはこ
れを再成長させなければならない。これは、取付けまたは取外しの際に、アノー
ドの螺合回転操作および取扱いを特に困難にする。また、組立ておよび分解の際
にアノードアセンブリーまたは拡散プレートを取扱うことは、アノードアセンブ
リー表面、拡散プレート表面または容積13内の他の内部表面を汚染する可能性が
ある。
【0020】 ネジ付高さ調節機構70を用いた拡散プレートの螺合高さ調節もまた、アノード
に拡散プレートを精密に取りつけるための時間を要する操作である。拡散プレー
トをアノードから取外して分解し、また再組立の際に再取り付けするために、ア
レンビードネジのような複数の固定器具が必要とされる。アノード上のアノード
膜形成を検査するためには、拡散プレートをルーチンに取外さなければならない
から、これは重要な要件である。この複数のネジ機構の調節もまた、アノードお
よび/またはリアクタカップに対する拡散プレートの高さおよびレベルに、不正
確さを導入する可能性がある。
【0021】 また、リアクタ容器の内部に位置するカップアセンブリーは、上昇管との調節
可能な螺合によって支持される。この螺合は、カップの高さおよびレベルに調節
ミスを導入する可能性がある。
【0022】 デリバリー管を調節することによる、カップ内でのアノードアセンブリーの螺
合高さ調節は、高さおよびレベルの調節ミスを導入する可能性がある。加えて、
デリバリー管は、リアクタ容器の下に位置するロックナットを緩めることによっ
て垂直方向に調節可能であるから、アノード高さの調節を検査するためにはカッ
プの頂部側へのアクセスを必要とし、同時にロックナットを緩めるために、容器
の底部側へのアクセスをも必要とする。リアクタ容器がデッキ上に支持されると
き、これはデッキの上方および下方へのアクセスを必要とする。加えて、デリバ
リー管は、リアクタ容器ベースプレートにおいて垂直方向に調節可能であるから
、容器ベースプレートにおけるデリバリー管とアノードポストとの間の複雑なシ
ール機構を必要とする。また、液体導管および導電体としての二重の機能を果た
すデリバリー管は、導電性であり且つ処理化学剤に対して実質的に不活性な金属
材料で構成されることを必要とする。このような導管はチタンで構成されており
、高価である。
【0023】 本発明者等は、上記の欠点の幾つかを回避するために、アノードと拡散プレー
トとの間、アノードとアノード指示構造体との間の改善された連結構成を有する
リアクタ容器を提供することが有利であることを認識した。更に、発明者等は、
上述のシステムに見られるよりも、拡散プレート、アノード、アノード支持構造
体およびアノード導電体のより容易な組立ておよび分解を促進するリアクタ容器
構成を提供することが有利であることを認識した。更に、本発明者等は、螺合結
合を可能な限り排除したリアクタ容器を提供することが有利であることを認識し
た。
【0024】 発明者等は、アノードとデリバリー管との間の改善された機械的連結構成、ア
ノードと外部電源との間の改善された電気的接続、リアクタ容器の部材を調節す
るための改善されたアクセス可能性、アノードとカップとの間の垂直方向調節の
改善された正確さ、およびリアクタ容器内のカップの垂直方向調節および水平方
向調節の改善された正確さを有するリアクタ容器を提供することが有利であろう
ことを認識した。
【0025】
【発明の簡単な概要】
改善されたリアクタ容器がここに開示される。この改善されたリアクタ容器は
、ベースおよび該ベースから直立した周囲コンテナ側壁を備えた、ベースを有す
る貯留コンテナを含む。前記ベースの上方にはカップが配置され、該カップは、
底壁および該底壁から直立したカップ周囲の側壁を有し、該カップ側壁はカップ
内に保持される処理液のレベルを決定する。カップは、実質的にカップ外縁の回
りの周囲コンテナ側壁上で、リアクタ容器内に支持される。上昇管との螺合によ
りカップを中央位置に支持する図1のリアクタ容器とは異なり、本発明のカップ
は、その外周の回りで、リアクタ容器に対して精密かつ安定なレベルに支持され
る。消耗性アノードのような電極プレートは、カップ内の液面下に配置される。
【0026】 リアクタ容器は、アノードアセンブリーと拡散プレートとの間のバヨネット式
結合、およびアノード支持構造体とアノードアセンブリートの間のバヨネット式
結合を含んでいる。拡散プレートおよびアノードアセンブリーの取付けおよび取
外しを単純化すると共に、アノードアセンブリー、拡散プレート、またはリアク
タ容器内の他の表面に対する汚染または損傷の危険を最小にするための器具が設
けられる。
【0027】 一実施例において、リアクタ容器は、別の部材としてアノード導電体および液
体デリバリー管を含む。デリバリー管はアノードアセンブリーを調節可能に支持
するためのアノード支持構造体として機能し、またアノードを取囲むカップの中
に処理液をデリバリーするための導管として機能する。波形のスリーブまたは管
が、導電体をデリバリー管の中にシールする。
【0028】 液体デリバリー管は、バヨネット結合により、その頂部端においてアノードア
センブリー固定される。デリバリー管の上に伸びる導電体の突出チップは、アノ
ードに形成されたソケットと係合する。該ソケットの中へのチップの係合は、バ
ヨネット結合の係合と同時に生じる。ベロースシール内のバネは、バヨネット結
合をその係合状態に弾性的に保持し、またベローズシールとアノードとの間のシ
ール結合の維持を補助する。
【0029】 デリバリー管はベースにシールされ、カップ底壁を通して延出し、ベースから
アノードアセンブリーを支持する。この管は、実質的に閉じた底および頂部を有
する。アノード導電体は、前記管の中に配置されて管の底から頂部へと通過する
導電性ワイヤを含み、該導電体ワイヤは前記突出チップに接続される。前記管は
処理液を受け容れるための入口開口を含み、前記カップの中への少なくとも一つ
の出口開口を含む。
【0030】 リアクタ容器は、アノードアセンブリーとリアクタカップとの間の固定された
増分垂直調節および水平調節を含む。所望の厚さを有する一または二以上のスペ
ーサが、アノードとデリバリー管との間に介在されて、カップ内でのアノード高
さを設定する。このスペーサは、導電体アセンブリーの完全な解体を伴わずに取
り付けられるように、C字形状を有している。導電体は、カップのレベル調節の
際に、C形スペーサを取外しおよび取付けるための空間を可能にする目的で、デ
リバリー管内に過剰な長さを含んでいる。
【0031】 アノードアセンブリーは、アノードを担持するアノードシールドを含んでいる
。好ましくはアノードシールドとの一体構造として形成された複数のブラケット
が、アノードから上方に伸びている。拡散プレートは、各ブラケットでのバヨネ
ット結合によって、複数のブラケットに接続される。従って、拡散プレートはア
ノードの上方に持ち上げて保持される。
【0032】 当該リアクタ容器構成は、その構造および組立てを単純化する。デリバリー管
とアノードとの間のバヨネット結合、並びに導電体とアノードとの間のチップ/
ソケット結合に起因して、アノードアセンブリーは液体デリバリー管から容易に
取外すことができ、また導電体はアノードから外すことができる。アノードアセ
ンブリーとデリバリー管との間の螺合(ネジ結合)は排除される。デリバリー管
とアノードアセンブリーとの間の螺合による、アノードアセンブリーの調節ミス
は排除される。ネジ損傷および時間を要する組立て/分解のような、螺合に伴う
アセンブリーの欠点は緩和または回避される。このアノードアセンブリーは、リ
アクタ容器から解体および取外すために、押圧、回転および引き抜くことを必要
とするだけである。
【0033】 アノードのレベル調節は、リアクタの頂部側にアクセスするだけで完全に達成
することができる。リアクタの底部側での緩め操作またはネジ調節は必要ない。
アノードは、リアクタの頂部側から取外しおよび取付けができる。次に、より精
密な高さ調節またはレベル調節のため、スペーサを取り換えスペーサと交換する
ことができるように、突出チップおよびその付随フランジを持ち上げる。
【0034】 容器底壁でのネジによる垂直方向調節を、容器底壁と管の間の相対的運動がな
い固定デリバリー管で置き換えることにより、容器底壁でのデリバリー管につい
て、シール機構の複雑さの低減が達成される。デリバリー管は、底壁におけるデ
リバリー管とアノードポストとの間の相対的な垂直方向調節を提供することなく
、容器の底に永久的にシールすることができる。
【0035】 誘電体スリーブによって処理液からシールされた導電体ワイヤは、誘電体材料
のデリバリー管と組合せて使用され、効果的で且つよりコスト効率の良い構造を
もたらす。処理液デリバリー機能を導電性機能から分離することにより、高価な
チタンデリバリー管の必要性が排除される。
【0036】 拡散プレートは、アノードシールドの夫々のブラケットにおけるバヨネット結
合のために、より容易に取外され且つ再取り付けされる。拡散プレート高さ調節
機構から拡散プレートを取り外すために予め取外すことが必要とされた、例えば
アレンレンチ(Allen wrench)のような小さなネジは排除される。加えて、それが
ないと拡散プレートの取り付け高さまたはレベルが不都合に変化する可能性があ
る、ネジによる高さ調節機構は排除される。
【0037】 拡散プレートをアノードアセンブリーに対して取りつけ/取外しするように機
能し、またアノードアセンブリーを液体デリバリーク管に対して取付け/取外し
するように機能する多機能器具が設けられる。この器具は、アノード膜の損傷、
或いは拡散プレート若しくはアノードアセンブリ−または容器内部に対する汚染
および損傷を生じ得るような、取付けまたは取外しの際の拡散プレートおよびア
ノードアセンブリーの取扱いを低減または排除する。
【0038】 多機能器具と組合せた、拡散プレートおよびアノードのバヨネット結合による
追加の利点は、拡散プレートおよびアノードを取外すために、少ないオーバーヘ
ッド隙間しか必要とされないという事実である。比較において、図1に示したリ
アクタ容器の拡散プレートおよびアノードを、手で分離および取外しを行い、ま
たその後に再取り付けを行うためには、リフトおよび回転子を操作する回転機構
を含むヘッドアセンブリーの全体を取外さなければならない。リアクタを再組立
てし、ヘッドアセンブリーを再設置した後、回転子上でのウエハーの正確な配置
を保証するために、ウエハーを回転子上にロードするウエハーロードロボットま
たはマニピュレータ(図示せず)に再指令を与え、または再キャリブレートしな
ければならない。この工程には時間を要し、且つ高コストである。本発明の拡散
プレートおよびアノードアセンブリーは、多機能器具を用いた単純な手での操作
を使用して操作および取外しができるから、リフトおよび回転機構を元の場所に
残したまま、回転子だけを処理ヘッドから取外して、拡散プレートおよびアノー
ドアセンブリーを取外しおよび再取付けするための充分なアクセスを得ることが
可能である。本発明のこの利点は、リアクタ容器のメンテナンスの際の分解、検
査および再組立に要する時間の減少をもたらすことが理解される。
【0039】 本発明他の多くの利点および特徴は、以下で述べる本発明およびその実施例の
詳細な説明、特許請求の範囲、および本明細書の一部として本発明の詳細が充分
且つ完全に開示されている添付の図面から容易に明かになるであろう。
【0040】
【発明の詳細な記述】
本発明は多くの異なる形態の実施例が可能であるが、その特定の実施例が図面
に示され、ここで詳細に説明されるであろう。これらの開示は本発明の原理の例
示とみなされるべきであり、本発明をこの例示した特定の実施例に限定するもの
ではないことが理解されるべきである。
【0041】 図3〜図6は、処理ヘッド12(図1に示したものと同じ)と協働して使用され
るリアクタ容器100を図示している。この処理ヘッド12は、例えば「先端接触部
分および誘電体カバーを備えたワークピース/係合電極を有する半導体電着シス
テムワークピース支持体」と題する、1997年9月30日に出願された米国特許出願
第08/988,333号に開示されているタイプのものであることができ、この出願は本
明細書の一部として本願に援用する。この処理ヘッドは、処理すべきウエハーを
リアクタ容器100の実質的に閉じた処理容積103内に保持し、処理の際に該ウエハ
ーを回転させる。容器100は、その下にある部品を明瞭に図示すために、容器排
出リングアセンブリーなしで示されている。例えば図1に示されるような外側容
器排出リングアセンブリー80および排気ノズル83が、例えば図2に示す容器100
の回りに装着されることを理解すべきである。
【0042】 リアクタ容器100は、貯留コンテナ120上に担持される内側排出リング124上に
装着された、回転子支持リングまたはリム110を含む。拡散プレート112はアノー
ドシールド116によって担持され、該シールドはアノード114を担持する。アノー
ド114は、好ましくは、銅または他の電着材料で構成された消耗性アノードであ
る。アノード114およびアノードシールド116は一緒に固定されて、アノードアセ
ンブリー117を形成する。リアクタカップアセンブリー118は、リアクタコンテナ
アセンブリー120上に支持され、部分的にその中に保持される。アノード導電体
アセンブリー122は、貯留コンテナ120を通って垂直方向に伸び、以下で述べるよ
うにアノード114との電気的接続を形成する。リング123aおよび接触支持対123b
の形態のdc電着電極123は、ウエハー係合フィンガー89(図1に図示)の周期的
な脱メッキを可能にする。
【0043】 図7〜図9は、貯留コンテナセンブリー120の排出リング124の中に入れ子式で
挿入される回転子支持リング110を示している。カップアセンブリー118は、その
上部縁130aにオーバーフロー堰を形成するカップ内側壁130と、回転子支持リン
グ110の底110aへと上向きに伸びるカップ外側壁とを含んでいる。この内側壁お
よび外側壁310,131は、これら側壁130,131と一体に形成された間欠的な堰132
によって放射状に接続されている。処理液を保持するためのコンテナまたは「カ
ップ」139が、カップ底壁および内側壁130によって形成される。
【0044】 貯留コンテナセンブリー120は、ベースプレート142にシールされ且つその頂部
で排出リング124を支持する周囲の容器側壁140を含んでいる。カップアセンブリ
ー18は、排出リング124の横桟124a上に載置された外側壁131の外縁131bによって
支持され、排出リングは容器側壁140の頂部縁140aに支持される。従って、カッ
プアセンブリー118の高さおよびレベルは、好ましくは固定される。即ち、容器1
20に対して調節不能である。
【0045】 アノード114は、ファスナー(例えば図1に示されているような)によって、
アノードシールド116に結合される。アノード114は、液体デリバリー管または「
アノードポスト」134のようなアノード支持構造体によって、カップ側壁内に支
持される。アノードポスト134は、以下で述べるように実質的に閉じた頂部端お
よび底部端を有する円柱管の形態である(図10参照)。アノードポスト134は、
開口部143を通り、容器ベースプレート142を通り、またカップ底壁138の開口部1
36を通って伸びている。アノードポスト134は、O-リング137を用いて、開口部13
6の回りのカップ底壁138にシールされる。更に、アノードポストは、プラスチッ
ク溶接または他のシール技術によって、開口部143の回りのベースプレート142に
シールされる。
【0046】 カップ側壁130から下方に伸びているのは、処理液を通過させるための複数の
スロット150を有する縦溝付のスカート148である。貯留コンテナ120のベースプ
レート142を通って、処理液を受け取るための開放端155を有するオーバーフロー
縦管が貫通している。また、底壁142には、貯留コンテナ120から処理液を排出す
るための処理出口158が結合されている。縦管154および処理出口158は、処理液
をリサイクルシステムまたは他の処理液システムに供給するために、プロセス配
管に接続されることが理解されるべきである。この点に関して、コンテナ120内
の処理液レベルの精密な制御を、コンテナ120内の高プロセス液面スイッチ170お
よび低プロセス液面スイッチ171を使用することによって維持することができ、
これらスイッチは、出口158に接続された制御弁(図示せず)を開閉する。アノ
ード導電体アセンブリー122は、その底部端に、ナット192を収容するためのネジ
が切られた底部領域191を有する取付け具190を含んでいる。取付け具190は、ア
ノードポスト134の底壁200に固く結合することができる。取付け具190は、O-リ
ングシール部材190bを備えた頂部フランジ190aを含んでおり、該シール部材は、
取付け具190上でのナット192の前進により引っ張られて、壁200の頂面200aとシ
ール係合する。
【0047】 処理液の外部供給源から処理液をカップ139の中に供給するために、アノード
ポスト134は、出口開口部206(図8に示されている)および底部供給ノズル208
(図8に示されている)と液体流通した内部容積204を含んでいる。アノードポ
スト134は、頂部キャップ194によってその頂部で閉じられている。
【0048】 アノード導電体アセンブリー122は、第一のカップリング212によって取り付け
具190の首部213にシールされた、波形スリーブ210を含んでいる。このスリーブ
は、線で模式的に示されている導電体ワイヤ221を取囲んでいる。明瞭化のため
に、該ワイヤ221は図8および図9には示されていない。波形スリーブ210は上方
に伸び、第二のカップリング224によって、頂部キャップ194の取付け具195にお
ける首部225にシールされる。
【0049】 図7Aは、カップリング212,214に使用されるシール構成を図示している。首
部213,225は、波形スリーブ210の予め広げられた波形を付されていない端部210
b(または210c)を収容し、次いで、カップリングネジ226が夫々ン取り付け具の
ネジ227上を前進するときに、それは夫々のカップリング212,224のテーパした
内部表面225aによって、夫々の首部のテーパした外表面に当接して圧縮される。
このシーリング構成は、商業的に入手可能な末広がりの取付け具に類似している
【0050】 頂部キャップ194は支持リング240を含んでいる。この支持リングは、支持リン
グの中央孔の中に垂直に保持された導電体チップ220を案内する。チップ220は、
導電体ワイヤ221に電気的に接続される。キャップ194は更に周囲の案内リング24
2を含み、その回りには、キャップ194から上方に伸びるベローズシール260が担
持される。このベローズシールはチップ220を取囲み、開いた状態で、その上方
の位置にまで伸びる。ベローズシール260は、チップ220に登録された頂部開口部
262、およびO-リングシール部材260bを保持するための周囲溝260cを含んでいる
(図11〜図13参照)。
【0051】 頂部キャップ194は実質的に平面図では実質的にクロス形状であり、複数の固
定孔194aを有している(図11参照)。実質的に円形の皿型取付けプレート264は
、頂部キャップ194と同軸に配置されており、頂部キャップ194の案内リング242
を収容するための中央孔266を含んでいる。取付けプレート264およびキャップ19
4は、一緒に固定され、また四つのファスナー229によって、挿入されたスペーサ
228を介してポスト134に固定される。このファスナーは、取付けプレート264を
貫通する四つの孔264a(図4に示す)、頂部キャップ194を貫通する四つの固定孔
194a、スペーサを貫通する四つの孔228a(図4に示す)の中に嵌合され、次いで
アノードポストの四つのネジ付孔134a(図10に示す)の中に螺入される。スペー
サ228は、カップアセンブリー118に関して、特に側壁130の頂部縁130aに関して
、アノード114の高さを設定する精密な厚さを有するように選択される。
【0052】 取付けプレート264は、バヨネット結合によって、アノードアセンブリーに結
合される。バヨネット結合は、相互に向かう第一の移動と、これに続く部材間の
相対的な第二の回転運動によって、一方の部材が他方の部材に結合されることを
特徴とする。取付けプレート264は、複数の離間し且つ放射状に伸びるタブ265を
含んでいる。アノードアセンブリーを取付ける際、タブ265は、アノードシール
ド116に形成された垂直スロット267(図9、17および18参照)の中に垂直に入り
、アノードアセンブリー117を上から回すと、タブ265は相対的に、アノード114
とシールド116との間に形成された円形の実質的に水平なスロット268の中に進む
。水平スロット268は、夫々がタブを収容する凹部269の中で終端し、該凹部は、
完全に取付けられたときに回転して外れないようにタブを拘束する。ベローズの
バネ(以下で述べる)からのバネ力は、タブ265を凹部269の中に保持する。タブ
265の係合の際、チップ220がアノード114に形成されたソケット270の中に挿入さ
れるので、ベローズ260およびベローズのバネは垂直方向に圧縮されて、固い「
プラグイン」または「プラグ及びソケット」の電気的接続を形成する。
【0053】 アノードアセンブリーを取付けプレート264から取外すためには、アノードを
下方に押し下げて、タブ265を凹部269から持ち上げて外し、アノード旋回または
回転させてタブを垂直スロット267に整列させる。次いで、アノードは上方に引
き抜くことができる。チップ220はソケット270から自由に引っ張られ、ソケット
から自由にななったら弾性により開くであろう。
【0054】 アノードの高さ調節は、上方から完全に設定できることが分かる。第一に、ア
ノード114およびシールド116が取り付けプレート264から除去される。第二に、
ファスナー229を除去することにより、取付けプレートがポスト134から取外され
る。第三に、キャップ194が上方に持ち上げられ、スペーサ228が望ましいより大
きな寸法を有するスペーサと取り換えられる。完全に分解することなく、即ち、
チップ220または頂部キャップ194を導電体ワイヤから取外す必要なしに、導電体
アセンブリー122の回りでの取り換えを容易にするために、スペーサ228は図4に
示すようにC字形状である。
【0055】 特に図8及び図9に示したように、拡散プレート112は、バヨネット結合を使
用して、間欠的に配置された直立のブラケット部材274に結合される。図9及び
図21に示すように、拡散プレート112の接続リング278は、チャンネル279を形
成するC字形状の断面を有している。各ブラケット274は、垂直脚275および放射
状に外側に向けて伸びるタブ部材280を含んでいる。
【0056】 取付けの際、各タブ部材280は、C字形状断面の底部客279aを貫通してワイヤス
ロットまたは凹部281に入り込む。リング278とブラケット274との間で相対的に
回転させると、各ブラケット274の夫々の垂直脚275は移動止め282を弾性的に通
過して、より狭いスロットまたは凹部283の中に入る。こうして、夫々の移動止
め282は、ブラケット部材274をコネクタリング278に弾性的にロックする。拡散
プレート112をアノードアセンブリー117から取外すためには、該プレートを反対
方向に回転させる。脚275は、移動止め282を通過するために充分な量だけ、半径
方向内側に向かって弾性的に偏向する。最終的に、タブ部材280は凹部281を通し
て抜き取られる。
【0057】 図11〜図13は、アノード導電体アセンブリーの一実施例の構造をより詳細
に示している。図示のように、アノードチップ220は、アノードのソケット270の
中に設置されたときに収縮するプロファイルを有している。このチップは、直径
の小さい先端領域220a、広い中央領域220b、および狭いベース領域220cを含んで
いる。ベース領域220cは、キャップ194の支持リング240からのチップ220の延出
を設定するフランジまたは停止部220dにおいて終端する。
【0058】 チップ220は、その底部端に半田付け結合またはひだ領域220eを含み、これは
それを導電体ワイヤ221(図12に模式的に示されている)に接続するために使用
される。導電体ワイヤ221は、チップ220から、キャップ194の取り付け具195、波
形スリーブ210、および底部取付け具190を通して下方に伸びている。ワイヤ221
は、電着電源に接続するために、底部取付け具190からリアクタ容器100の外側に
向けて伸びている。
【0059】 波形スリーブ210は、図7Aに示すように、カップリング212,214の間の波型
長210aと、取付け具195の首部225にオーバーフィットする第一の非波形部分210b
と、取付け具190の首部213にオーバーフィットする第二の非波型部分210cとを含
んでいる。カップリング212,214は、夫々の首部213,225に対する漸進的なネジ
固定により、非波形領域210b,210cを取付け部190,195上にシールして、アノー
ドポスト134内における導電体ワイヤの回りのシール構造を形成する。
【0060】 図11は、明瞭にするためにワイヤ導電体を省いて、導電体アセンブリー122
の組み立てを示している。O-リング260bは、ベローズ260のチャンネル260c内に
適合するように配置される。もう一つのO-リング242aは、案内リング242のチャ
ンネル242b(図13参照)内に適合して、ベローズ260を頂部キャップ194に対して
シールするように配置される。
【0061】 図13に示すように、ベローズのコイルバネ290は、ベローズ260および頂部キ
ャップ194内で適合される。バネ290は、案内リング242と支持リング240との間に
形成された環状チャンネル292内に適合される。バネ290はアノードアセンブリー
を取付けプレート264から遠くに付勢して、タブ265をタブ収容凹部269内に弾性
的に着座させる。加えて、このバネはO-リング260bをアノードの中に押し込むよ
うに作用して、これに対して緊密なシールを形成する。
【0062】 図14は、本発明の多機能拡散プレート、およびアノード取外し/取付け器具
300を示している。この器具300は、中央孔304を有するディスク構造体302を含ん
でいる。ハンドル306が、中央孔を横切って架設されている。ハンドルは、ファ
スナー307(図15に示されている)によってディスク構造体に保持される。グリ
ップヘッド310を有するロックピン310が、ディスク構造体302を通してピン収容
孔312を貫通する。
【0063】 図15に示すように、ディスク構造体は四つのL字形フックアーム320を含み、
その夫々は、垂直脚322および半径方向内側に向いた移動止めまたはフック部分3
24を有している。動作において、フックアーム320は下方に向いて伸びる。フッ
クアーム320は、図5、図19及び図20に示すように、拡散プレート112の頂部穿孔
プレート112aを通して、外側に形成されたバヨネット凹部330に係合するように
構成および配置される。夫々の凹部330は、フック部分324を収容するための広い
領域332と、脚部322をロック位置(取外しまたは取付けの何れが行われるかに依
存して何れのかの向きで)にぴったり収容するための二つの狭い領域334を含ん
でいる。脚部322がこの位置に移動すると、フック部分324は頂部穿孔プレート11
2aの下に位置する。次いで、係合した拡散プレートと共に器具を一つの方向に回
転させて、拡散プレート112をブラケット274から除去し、或いは反対方向に回転
させて拡散プレート112をブラケット274上に取付ける。
【0064】 器具300はまた、拡散プレート112が取外されたときは、アノードアセンブリー
の取外し/取付け器具として働く。器具300の底面には、アノードシールド116の
ブラケット274と一致するように離間された、四つのブラケット/係合凹部340が
位置している。夫々の凹部340は、ブラケット274の半径方向に回転された端部を
収容するための凹部領域342を含んでいる。少なくとも一部は半径方向に伸びる
脚部346によって、更なる凹部領域344が形成される。ディスク構造体302からは
、四つの案内ピン348が垂直に伸びている。夫々の案内ピン348は、夫々のブラケ
ットの垂直脚部275の半径方向厚さに略等しいか、またはそれよりも大きい距離
だけ夫々の脚部346から半径方向に離間している。従って、動作においては、器
具300がアノードアセンブリー117の上に置かれ、各ブラケット274は広い凹部領
域342の一つの中に収容される。核ブラケット274のタブ部材280は、夫々の脚部3
46の上に位置する。次いで、この器具はアノードに対して回転され、各ブラケッ
ト274の垂直脚275は、夫々の脚部346および夫々の案内ピン348の間で円周方向に
摺動することになる。こうして、各ブラケット274のタブ部材280は、夫々の脚部
346上に捕捉される。
【0065】 ロックピン308は重力の力によって動作して、狭い凹部領域344の中に貫通した
ブラケット274のうちの一つの後の位置に落ちる。従って、ロックピン308は、器
具がアノードに対して偶然に逆回転するのを防止する。これは、アノードアセン
ブリーの取外し、組立てまたは輸送の際に、器具と比較的重いアノードアセンブ
リーとが偶発的に分離するのを防止する。ロックピン308は、好ましくは二つの
部分、即ち、第一の円筒部352に接続された器具係合ヘッド350を有する底部ピー
ス308aと、第二の円筒部354に結合された把持ヘッド310を含む頂部ピースで形成
される。第一の円筒部は、第二の円筒部の雌ネジ付ソケットに係合される雄ネジ
を形成した延長部(図示せず)を有する。従って、第一および第二の円筒部の相
対的な回転によって、二つのピース308a,308bを、ピン308による分解または組
立てのための継ぎ目308cにおいて分離または結合することができる。把持ヘッド
310および係合ヘッド350は、挿入されたディスク構造体へのピンの保持を可能に
すると共に、そこへの垂直方向の往復運動を可能にする。
【0066】 加えて、図16に示すように、アノードアセンブリーへの器具の係合の際に、
夫々のブラケット274の摺動圧によるロックピンの持ち上げ(手動リフティング
ではなく)を可能にするように、ロックピンは交互に構成することができる。こ
のピンは、それがスロット32の中に入るときにタブ274の頂部表面により持ち上
げられ、次いでハンドルが回転するとその位置に落ちるように設計される。しか
し、このロックピンは、相対的な回転によって器具をアノードアセンブリーから
取外すために、ピンを手動により持ち上げることを必要とすることができる。
【0067】 これは、例えばラチェット歯形状のピン350によって達成され、このラチェッ
ト歯形状のピンは、ブラケット274との係合方向に向いた傾斜表面352を与えるで
あろう。ピン350は、器具の取外し方向に向いた垂直表面354を含んでいる。成形
されたピンの挿入されたディスク構造体302からの分離を防止するために、移動
止め(図示せず)または拡大ヘッドをもった二ピース構成(例えばピン308に関
して説明したもの)のような保持機構を提供することができる。この保持機構は
、ディスク構造体に対するピンの垂直往復運動を可能にするであろう。
【0068】 従って、器具300は、拡散プレートおよびアノードアセンブリーを容器から取
外し、且つ再組立するための効果的な手段を与える。また、この器具はアノード
およびアノード膜の接触、損傷および汚染を低減する。
【0069】 図19〜図20は、拡散プレート112を詳細に図示している。この拡散プレー
トは頂部穿孔プレート112aを含んでおり、これはファスナー(図せず)により、
四つのファスナー孔対297a、297bを介してコレクタリング279に取付けられ、そ
の間にスペーサリング298を捕捉する。孔297bは、ファスナーに係合するように
ネジが切られている。スペーサリング298は、拡散プレートの取り付けまたは取
外しの際に、スペーサリング298の、器具300のフックアーム320との非干渉を保
証するために、直径方向に向き合った広い凹部332の間の内径D2よりも小さい外
径D1を有する。スペーサリング298の厚さは、穿孔プレート112aの下、特にバヨ
ネット凹部330の下に、収容すべきフック位置324のための垂直方向のスペースを
与える。
【0070】 開示された実施例において、カップアセンブリー118、アノードポスト134、貯
留コンテナ120、アノードシールド116、拡散プレート112、排出リング124、回転
子支持リング110、波形スリーブ210、スペーサ228、ファスナー229、頂部キャッ
プ、取付け具190、ナット192、カップリング212,224、および取付けプレート26
4は全て、好ましくは、ポリプロピレンまたはフッ化ポリビニリデンのような誘
電体材料で構成される。導電体ワイヤ221は、増大した電気接点のために金メッ
キできるチップのように、好ましくは銅またはもう一つの適切な導電体で構成さ
れる。ベローズシール260は、好ましくはテフロン材料で構成される。ベローズ
バネは、好ましくはステンレス鋼で構成される。種々のO-リングは、好ましくは
、処理液に応じて酸適合性フッ素化エラストマーで構成される。
【0071】 その基本的な教示を逸脱することなく、上記システムに対する多くの変形が可
能である。一以上の特定の実施例を参照して本発明を実質的に詳細に説明してき
たが、当業者は、特許請求の範囲に記載した本発明の範囲および精神を逸脱する
ことなく、これに変形を加え得ることを理解するであろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は、リアクタ容器および処理ヘッドの分解部分断面図である。
【図2】 図2は、図1の拡大部分断面図である。
【図3】 図3は、本発明の一実施例に従って構成されたリアクタ容器の斜視図である。
【図4】 図4は、図3のリアクタ容器の分解斜視図である。
【図5】 図5は、図3のリアクタ容器の頂面図である。
【図6】 図6は、図3のリアクタ容器の底面図である。
【図7】 図7は、一般に図5の7−7線に沿った断面図である。
【図7A】 図7Aは、図7の拡大部分断面図である。
【図8】 図8は、一般に図5の8−8線に沿った断面図である。。
【図9】 図9は、一般に図5の9−9線に沿った断面図である。。
【図10】 図10は、図7に示した液体デリバリー管の拡大斜視図である。
【図11】 図11は、アノード導電体アセンブリーの一実施例を示す分解斜視図である。
【図12】 図12は、図11のアノード動転体アセンブリーの断面図である。
【図13】 図13は、図12のアノード導電体アセンブリーの拡大部分断面図である。
【図14】 図14は、本発明の一実施例に従って構成された拡散プレートおよびアノード
の取外し/取付け器具の頂部斜視図である。
【図15】 図15は、図14の器具の底部斜視図である。
【図16】 図16は、図14に示した器具のための別のロックピン構成を示す部分的な底
部斜視図である。。
【図17】 図17は、図3のリアクタ容器に使用されるアノードシールドの一実施例を示
す斜視図である。
【図18】 図18は、図17のアノードシールドの一部を示す拡大斜視図である。
【図19】 図19は、図3のリアクタ容器に使用される拡散プレートの位置実施例を示す
拡大斜視図である。
【図20】 図20は、図19の拡散プレートの斜視図である。
【図21】 図21は、図19の拡散プレートにおける底部リング部分の一実施例を示す底
部斜視図である。

Claims (63)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 処理液のレベルを保持するためのカップ、該カップ内の第一
    の位置に配置されたアノード、および前記アノードから離間した第二の位置にウ
    エハーを保持するためのウエハー支持体を有する半導体ウエハーを処理するため
    のリアクタ容器において: アノードと; 前記アノードを前記カップ内のある高さに支持するアノード支持体とを具備し
    、 前記アノードおよびアノード支持体は、それらの間のバヨネット結合を形成す
    る相互噛合い部材を有する改良。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の改良であって、前記アノード支持体は、前
    記容器のベースプレートから前記カップの底壁を通って前記アノードへと垂直方
    向に伸びる改良。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の改良であって、前記アノード支持体は、処
    理液の外部供給源に接続可能な液体入口、前記カップと流体連絡した液体出口、
    および前記液体入口と前記液体出口との間の液体流路を有する管を具備した改良
  4. 【請求項4】 請求項1に記載の改良であって、前記アノードに結合され且
    つ少なくとも部分的に複数のスロットを定義するアノードシールドを具備し、ま
    た前記アノード支持体は、前記アノードが前記アノード支持体上で回転されると
    きに前記スロットの係合するように適合された複数の放射状に伸びるタブを含み
    、前記スロットおよび前記タブは前記バヨネット結合を形成する改良。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の改良であって、更に、前記アノード支持体
    を通って伸び、プラグおよびソケット結合によって前記アノードに電気的に接続
    される導電体と、前記プラグおよびソケット結合を取囲み、バヨネット結合の係
    合によって前記アノードに押圧されるベローズシールとを具備する改良
  6. 【請求項6】 請求項1に記載の改良であって、前記アノードまたは前記ア
    ノード支持体の一方はスロットを含み、また夫々の他方は、一緒になって前記バ
    ヨネット結合を形成する対応する半径方向のタブを含み、前記スロットの夫々は
    水平方向のスロット領域を横切る垂直方向のスロット領域を含み、前記水平方向
    のスロット領域はその中にタブを収容するための凹部を有する改良。
  7. 【請求項7】 請求項1に記載の改良であって、前記アノード支持体は前記
    アノードと管の間で該管に固定された取り付けプレートを有する前記管を具備し
    、前記取り付けプレートは半径方向に伸びるタブを有し、前記アノードは前記タ
    ブを収容するためのスロットを有する改良。
  8. 【請求項8】 処理液のレベルを保持するためのカップ、該カップ内の或る
    位置に配置されたアノード、および前記アノードから離間した第二の位置にウエ
    ハーを保持するためのウエハー支持体を有する、半導体ウエハーを処理するため
    のリアクタ容器において: アノード拡散プレートと; アノード拡散プレート支持体とを具備し、 前記アノード拡散プレートは、前記アノードと前記ウエハーとの間に配置され
    、前記アノード拡散プレート支持体および前記アノード拡散プレートは、それら
    の間に少なくとも一つのバヨネット結合を形成する相互噛合い部材を有する改良
  9. 【請求項9】 請求項8に記載の改良であって、前記拡散プレート支持体は
    複数のブラケットを含み、前記拡散プレートは、前記拡散プレート支持体に対す
    る前記拡散プレートの回転によって、前記ブラケットに係合されるように適合さ
    れた複数のスロットを含む改良。
  10. 【請求項10】 請求項9に記載の改良であって、前記ブラケットの夫々は
    直立した脚部および半径方向に伸びる端部を含み、前記拡散プレートは、その中
    に前記端部を収容する寸法の円周方向に配置されたチャンネルと、前記端部を前
    記チャンネルの中に通すための複数の凹部とを含む改良。
  11. 【請求項11】 請求項8に記載の改良であって、前記拡散プレート支持体
    は前記アノードを担持するアノードシールドを具備し、前記ブラケットは前記ア
    ノードの回りおよび上を前記拡散プレートにまで伸びる改良。
  12. 【請求項12】 ウエハーに電着を施すためのリアクタであって: 容器と; 処理液の供給を保持するための、前記容器内に保持されたカップと; 前記カップ内に位置し、且つ頂面および底面を有するアノードと; 前記アノードの前記底面に、プラグイン接続により電気的に接続された導電体
    と; バヨネット結合により、前記アノードに機械的に接続されたアノード支持体と
    を具備し; 前記導電体は前記容器を通して下方に伸び、電気的接続のために前記ハウジン
    グの外に露出されるリアクタ。
  13. 【請求項13】 請求項12に記載のリアクタであって、更に、拡散プレー
    トおよびアノードシールドを具備し、前記アノードシールドは前記アノードの底
    面に対して配置され、且つ前記アノードの頂面上に広がるブラケットを有し、前
    記拡散プレートは、前記アノードの頂面上にある距離で離間して前記ブラケット
    上に担持されるリアクタ。
  14. 【請求項14】 請求項13に記載のリアクタであって、前記拡散プレート
    および前記ブラケットは、少なくとも一つのバヨネット結合を形成する相互噛合
    い部材を含むリアクタ。
  15. 【請求項15】 請求項13に記載のリアクタであって、前記ブラケットは
    前記アノードシールドと一体に形成されて、そこから垂直に伸び、前記ブラケッ
    トの夫々はタブ部材を有し、前記拡散プレートは複数の水平スロットを有し、夫
    々のタブ部材は前記バヨネットスロットの一つに収容されるリアクタ。
  16. 【請求項16】 請求項12に記載のリアクタであって、前記アノード支持
    体は前記導電体を取囲むアノードポストを具備し、前記カップはその底壁に前記
    アノードポストを収容するための開口部を有し、前記アノードポストは、前記容
    器の外側で接続可能な液体入口と、前記カップ内に露出した液体出口と、前記入
    口および前記出口の間の液体流路を有するリアクタ。
  17. 【請求項17】 請求項12に記載のリアクタであって、前記アノード支持
    体は管を有し、前記機械的接続は、前記アノードに担持された水平スロットと係
    合する前記管に担持された半径方向に伸びるタブを含むリアクタ。
  18. 【請求項18】 請求項12に記載のリアクタであって、更に、ハンドルを
    有する器具を具備し、該器具および前記拡散プレートは一緒になってバヨネット
    結合を形成する相互噛合い部材を有し、前記器具および前記拡散プレートは、垂
    直方向の対合およびこれに続く相対的な回転により共にロック可能であるリアク
    タ。
  19. 【請求項19】 請求項18に記載のリアクタであって、更に、ハンドルを
    有する器具を具備し、該器具および前記アノードは一緒になってバヨネット結合
    を形成する相互噛合い部材を有し、前記器具および前記アノードは、垂直方向の
    噛合いおよびこれに続く相対的な回転により共にロック可能であるリアクタ。
  20. 【請求項20】 請求項12に記載のリアクタであって、更に、ハンドルを
    有する器具を具備し、該器具および前記アノードは一緒になってバヨネット結合
    を形成する相互噛合い部材を有し、前記器具および前記アノードは、垂直方向の
    噛合いおよびこれに続く相対的な回転により共にロック可能であるリアクタ。
  21. 【請求項21】 ウエハーに電着を施すためのリアクタであって: 容器と; 処理液の供給を保持するための、前記容器内に保持されたカップと; 前記カップ内に位置し、且つ頂面および底面を有するアノードと; 前記容器から延出して前記アノードを支持するアノード支持体であって、該ア
    ノード支持体および前記アノードは、一緒になってバヨネット結合を構成する相
    互噛合い部材を有するアノード支持体と; 前記アノードに電気的に接続され、且つ前記容器の外の電源に電気的に接続さ
    れた導電体と; 前記アノードに担持されて、前記アノードの上の或る位置にまで伸びるアノー
    ドブラケットと; 前記アノードブラケット上に支持された拡散プレートとを具備したリアクタ。
  22. 【請求項22】 請求項21に記載のリアクタであって、前記ブラケットは
    前記アノードの下に配置されたアノードシールドと一体の構造として形成され、
    前記ブラケットは、前記拡散プレートの縁部領域に形成された水平スロットに収
    容されるタブ部材を含むリアクタ。
  23. 【請求項23】 頂部が開放された貯留コンテナ、該コンテナ内に支持され
    且つ前記開放された頂部を通してアクセス可能なたカップ、および前記開放され
    た頂部を通してアクセス可能なアノード支持体を有するリアクタ容器を組立てる
    方法であって: アノードを提供する工程と; 前記アノードおよび前記アノード支持体は、その間にバヨネット結合を形成す
    る係合部材を含むことを提供する工程と; 前記アノードを前記開放された頂部を通して降下させ、前記部材を垂直方向に
    係合させる工程と; 前記アノード支持体に対して前記アノードを回転させて、前記部材を完全に係
    合させる工程とを具備した方法。
  24. 【請求項24】 請求項23に記載の方法であって:更に、 前記アノードに係合してこれを保持し、且つハンドルを含む器具を提供する工
    程と; 前記器具を前記アノードに係合させて、前記アノードを前記器具で保持する工
    程と; 前記アノードを降下させて回転させる前記工程は、前記器具により前記アノー
    ドに作用する力により行われることと; 前記器具を前記アノードから取外す工程とを具備した方法。
  25. 【請求項25】 請求項24に記載の方法であって、前記器具を前記アノー
    ドに係合させる工程は、更に、前記器具および前記アノードが、その間にバヨネ
    ット結合を形成する相互噛合い部材を含み、前記器具は垂直方向の対合およびこ
    れに続く相対的回転により前記アノードに係合されることにおいて定義される方
    法。
  26. 【請求項26】 請求項23に記載の方法であって:更に、 前記アノード上に伸びる拡散プレート支持体を提供する工程と; 前記拡散プレートおよび前記拡散プレート支持体は、一緒になってバヨネット
    結合を形成する係合可能な部材を有することを提供する工程と; 前記拡散プレートを前記開放された頂部を通して降下させて、前記部分に垂直
    方向に係合させる工程と; 前記拡散プレートを前記拡散プレート支持体に対して回転させて、前記部分に
    完全に係合させる工程とを具備した方法。
  27. 【請求項27】 請求項26に記載の方法であって:更に、 前記拡散プレートに係合してこれを保持し、且つハンドルを含む器具を提供す
    る工程と; 前記器具を前記拡散プレートに係合させて、前記拡散プレートを前記器具で保
    持する工程と; 前記拡散プレートを降下させて回転させる前記工程は、前記器具により前記拡
    散プレートに作用する力により行われることと; 前記器具を前記拡散プレートから取外す工程とを具備した方法。
  28. 【請求項28】 請求項27に記載の方法であって、前記器具を前記拡散プ
    レートに係合させる工程は、更に、前記器具および前記拡散プレートが、その間
    にバヨネット結合を形成する相互噛合い部材を含み、前記器具は垂直方向の対合
    およびこれに続く相対的回転により前記拡散プレートに係合されることにおいて
    定義される方法。
  29. 【請求項29】 半導体ウエハーに電着を施すためのリアクタ容器であって
    : ベースプレートおよび該ベースプレートから直立した周囲のコンテナ側壁を含
    む貯留コンテナと; 前記ベースプレート上の配置されたカップであって、底壁および該底壁から直
    立した周囲カップ側壁を有し、該カップ側壁は前記カップ内に保持された処理液
    のレベルを決定するカップと; 前記レベルの下で前記カップ内に配置された電極プレートと; 前記ベースプレートにシールされ、前記カップ底壁を通して延出して前記ベー
    スプレートからの前記電極プレートを支持する管であって、実質的に閉じた底部
    および頂部を有する管と; 前記内に配置されて前記管の底部および頂部を貫通する導電体ワイヤであって
    、前記電極プレートに電気的に接続されたプラグを有する導電体ワイヤとを具備
    するリアクタ容器。
  30. 【請求項30】 請求項29に記載のリアクタ容器であって、前記管は処理
    液を受け容れるための入口開口部と、前記カップの中への少なくとも一つの出口
    開口部とを含むリアクタ容器。
  31. 【請求項31】 請求項29に記載のリアクタ容器であって、前記導電体ワ
    イヤを取囲み前記電極プレートおよび前記管の底部にシールされたスリーブを含
    むリアクタ容器。
  32. 【請求項32】 請求項31に記載のリアクタ容器であって、前記プラグを
    取囲むベローズシールを含み、前記管の頂部は前記電極プレートに機械的に結合
    可能であり、 前記電極プレートは前記プラグを収容して、これと電気的接続を形成するため
    のソケットを有し、 前記ベローズシールは、前記プラグが前記ソケットの中に収容されるときに、
    前記電極プレートに対して部分的に圧縮されるリアクタ容器。
  33. 【請求項33】 請求項29に記載のリアクタ容器であって、更に、前記電
    極プレートと前記管の頂部との間に挿入されて、前記電極プレートの高さを調節
    するように適合されたスペーサを具備するリアクタ容器。
  34. 【請求項34】 請求項33に記載のリアクタ容器であって、前記スペーサ
    は実質的にC字形状であるリアクタ容器。
  35. 【請求項35】 請求項29に記載のリアクタ容器であって、更に、前記管
    の頂部に接続されたプレート構造体を具備し、複数の半径方向に伸びるタブを含
    み、前記電極プレートは前記タブを収容するための複数のスロット領域を含み、
    前記スロット領域は、前記電極プレートと前記プレート構造体との間の相対的回
    転により前記タブを収容する実質的な水平部分を有するリアクタ容器。
  36. 【請求項36】 請求項35に記載のリアクタ容器であって、前記電極プレ
    ートは、アノードディスクおよび該アノードディスクの下に位置するアノードシ
    ールドを含み、前記スロット領域は、前記アノードディスクと前記アノードシー
    ルドとの間に形成されるリアクタ容器。
  37. 【請求項37】 請求項29に記載のリアクタ容器であって、更に、前記導
    電体ワイヤを取囲むスリーブと、該スリーブの各端部における管取付け具および
    管カップリングを具備し、前記管取付け具は前記管の底部および頂部に夫々固定
    され、前記スリーブは前記取付け具に結合されて、前記管カップリングによりそ
    こにシールされているリアクタ容器。
  38. 【請求項38】 請求項37に記載のリアクタ容器であって、前記導電体ワ
    イヤおよび前記スリーブの夫々は、前記取り付け具の間に過剰な長さを含むリア
    クタ容器。
  39. 【請求項39】 請求項37に記載のリアクタ容器であって、前記スリーブ
    は波形の管部分を具備するリアクタ容器。
  40. 【請求項40】 請求項29に記載のリアクタ容器であって、前記カップは
    その周囲回りを前記周囲のコンテナ側壁に支持されるリアクタ容器。
  41. 【請求項41】 請求項40に記載のリアクタ容器であって、前記カップは
    更に、前記カップ側壁を取囲み且つそこに固定された外側壁を具備し、それらの
    間には液体が垂直方向に通過するための間欠的な間隙があり、前記外側壁は下に
    向いた第一の半径方向表面を有し; 前記貯留コンテナは更に、前記容器側壁に支持された排出リングを含み、また
    前記第一の半径方向表面を支持するための上方に向いた第二の半径方向表面を有
    し; 前記排出リングは前記外側壁から離間して、それらの間に排出プレナムを形成
    し、前記外側壁は前記排出プレナムの中への少なくとも一つの入口開口部を有し
    、また前記排出リングは前記プレナムからの少なくとも一つの出口開口部を有す
    るリアクタ容器。
  42. 【請求項42】 請求項29に記載のリアクタ容器であって、前記カップは
    その周縁の周りに下向きの第一の水平表面を含み、前記貯留コンテナは前記第一
    の水平表面に隣接して、前記貯留コンテナ上に前記カップを支持するための上方
    に向いた第二の水平表面を含むリアクタ容器。
  43. 【請求項43】 請求項29に記載のリアクタ容器であって、前記管は前記
    カップの底壁にシールされるリアクタ容器。
  44. 【請求項44】 電着すべきウエハーを電気的カソードとして保持するウエ
    ハー保持アセンブリーと共に使用するための電着リアクタ容器であって、前記ウ
    エハーはリアクタ容器内のカップ内に配置されたアノードから離間され、前記カ
    ップは処理液のレベルを保持するリアクタ容器において、 前記カップを前記リアクタ容器内に支持するための構造を具備し、該構造は前
    記リアクタ容器の側壁によって担持され、前記カップを実質的に前記カップの周
    縁の回りに支持することを含む改良。
  45. 【請求項45】 請求項44に記載の改良であって、更に、前記容器内に固
    定され、前記容器のベースからのアノードを支持する管と、前記アノードの高さ
    を調節するための、前記アノードおよび前記管の間のスペーサとを具備する改良
  46. 【請求項46】 請求項45に記載の改良であって、前記管は前記容器外側
    の処理液入口と、内部液通路と、前記カップの中への液体出口とを含む改良。
  47. 【請求項47】 請求項46に記載の改良であって、更に、前記アノードに接
    続され、前記管の前記内部通路を通過し、前記容器の外で電気的にアクセス可能
    であるための前記管から出る電気ワイヤを具備した改良。
  48. 【請求項48】 請求項47に記載の改良であって、更に、スリーブおよび
    ベローズシールを具備し、前記ワイヤは前記スリーブ内に含められ、前記管内に
    位置し、前記スリーブは前記ワイヤを前記管の中にシールし、前記ベローズシー
    ルは前記管と前記アノードの間に前記ワイヤをシールする改良。
  49. 【請求項49】 請求項48に記載の改良であって、前記ワイヤおよび前記
    スリーブは、前記スペーサを取り換えるときに前記アノードの垂直方向の変位を
    可能にするように、前記管の両端の間に過剰な長さを含む改良。
  50. 【請求項50】 請求項45に記載の改良であって、前記アノードはバヨネ
    ット結合により前記管に接続され、前記アノードは両者の間の相対的回転によっ
    て前記管に対して係合または脱着される改良。
  51. 【請求項51】 請求項45に記載の改良であって、前記管は中央開口部を
    通して前記カップの底壁を貫通し、且つこれに対してシールされる改良。
  52. 【請求項52】 電着すべきウエハーを電気的カソードとして保持するウエ
    ハー保持アセンブリーと共に使用するための電着リアクタ容器であって、前記ウ
    エハーはリアクタ容器内のカップ内に配置されたアノードから離間され、前記カ
    ップは処理液のレベルを保持するリアクタ容器において、 前記容器の底からの前記アノードを支持し、その中に前記容器の外側から前記
    カップの内側への液体流路を限定する管と; 前記アノードに結合され、前記管を貫通し、前記容器の外側から電気的に節像
    可能にするために前記管を出る前記ワイヤとを具備する改良。
  53. 【請求項53】 請求項52に記載の改良であって、前記管は頂部端および
    底部端において実質的に閉じており、前記ワイヤは前記頂部端および底部端を貫
    通し、また前記管の頂部端から前記管の底部端まで前記ワイヤをシールするため
    のスリーブを具備する改良。
  54. 【請求項54】 請求項53に記載の改良であって、更に、前記アノードと
    前記管の頂部端との間のベローズシールを具備し、前記ベロースシールは前記ア
    ノードと前記管の頂部端との間で前記ワイヤをシールする改良。
  55. 【請求項55】 請求項54に記載の改良であって、前記管の頂部および前
    記アノードは相互に噛合ってバヨネット結合を形成する部材を具備し、前記ベロ
    ーズシールは、前記管の頂部が前記アノードに係合するときに、前記アノードに
    対して弾性的に圧縮される改良。
  56. 【請求項56】 請求項55に記載の改良であって、更に、前記ベローズシ
    ール内に保持され、前記管の頂部と前記ベローズシールとの間で、前記ベローズ
    シールを前記アノードに弾性的に押圧するように作用するコイルバネを具備する
    改良。
  57. 【請求項57】 半導体ウエハーに電着を施すためのリアクタ容器であって
    : ベースプレートおよび該ベースプレートから直立した周囲コンテナ側壁を含む
    貯留コンテナと; 前記ベースプレートの上に配置されたカップであって、底壁および該底壁から
    直立した周囲カップ側壁を有し、該カップ側壁は前記カップ内に保持された処理
    液のレベルを限定するカップと; 前記レベルの下で前記カップ内に配置されたアノードと; 前記アノードの下に配置されて、前記ベースプレートから支持されたたアノー
    ド支持体と; 前記アノード支持体と前記アノードとの間に配置されたスペーサとを具備する
    リアクタ容器。
  58. 【請求項58】 請求項57に記載のリアクタ容器であって、前記アノード
    支持体内に配置され、且つ前記アノードに電気的に接続されたプラグを有する導
    電体ワイヤを具備するリアクタ容器。
  59. 【請求項59】 請求項58に記載のリアクタ容器であって、前記アノード
    支持体は、処理液を収容するための入口開口部と、前記カップの中への少なくと
    も一つの開口部とを有する管を含み、該管は前記導電体ワイヤを取囲むリアクタ
    容器。
  60. 【請求項60】 請求項59に記載のリアクタ容器であって、前記導電体ワ
    イヤを取囲み、前記アノードおよび前記管の底部にシールされたスリーブを具備
    するリアクタ容器。
  61. 【請求項61】 請求項60に記載のリアクタ容器であって、前記プラグお
    よび前記アノードに機械的に結合された前記管を取囲むベローズシールを含み、 前記アノードは、前記プラグを収容してこれと電気的に接続するためのソケッ
    トを有し、 前記ベローズシールは、前記プラグが前記ソケットの中に収容されるときに、
    前記アノードに対してシールするように部分的圧縮されるリアクタ容器。
  62. 【請求項62】 請求項57に記載のリアクタ容器であって: リアクタ容器内に前記カップを支持するための構造で、前記周囲コンテナ側壁
    により担持され、前記カップを実質的に前記カップ周縁の回りに支持する構造を
    具備するリアクタ容器。
  63. 【請求項63】 ウエハーに電着を施すためのリアクタであって: 容器と; 処理液の供給を保持するために前記容器内に保持され、前記容器の内部壁表面
    によって実質的にその周縁回りに支持されたたカップと; 前記カップ内に位置し、且つ頂面および底面を有するアノードと; 突出チップおよび該突出チップに接続された導電性ワイヤを有し、前記チップ
    はプラグイン接続によって前記アノードの底部表面に電気的に接続される導電体
    と; 実質的に前記容器のベースから前記アノードの底部へと伸び、頂部および底部
    を有するデリバリー管であって、該管はバヨネット結合によって前記アノードに
    機械的に結合され、前記デリバリー管は処理液入り口、液体通路、および前記容
    器の中への処理駅出口を有し、前記導電性ワイヤは前記デリバリー管の前記通路
    および前記底部を貫通するデリバリー管と; スリーブおよび弾性的に圧縮可能なベローズシールと; 前記スリーブによって前記通路内にシールされ、また前記ベローズシールによ
    って前記アノードの底部表面にシールされた前記導電性ワイヤであって、前記第
    一のバヨネット結合が結合されるときに前記ベローズシールは圧縮され、前記突
    出チップは前記ソケットの中に入り、前記導電性ワイヤは電気的接続のために前
    記ハウジングの外に露出される導電性ワイヤと; 拡散プレートおよびアノードシールドであって、該アノードシールドは前記ア
    ノードの底部表面に当接して配置され、且つ前記アノードの前記頂部表面の上に
    伸びるブラケットを有し、前記拡散プレートは、前記アノードの頂部表面上に或
    る距離だけ離間されて前記ブラケットに担持される拡散プレートおよびアノード
    シールドとを具備し; 前記拡散プレートおよび前記ブラケットは、バヨネット結合を形成する相互化
    見合い部材を含むリアクタ。
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