JP2002500447A - キンク抑制層を備えた半導体レーザー - Google Patents
キンク抑制層を備えた半導体レーザーInfo
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Abstract
Description
31日に出題された米国特許出願第09/002,151号の継続出願である。
導体レーザーデバイスは数多くの通信システムにおいて使用されている。それら
の製造および実装における多くの改善は、満足できる性能特徴および明確に理解
された長期動作を有するクラスのデバイスを生じさせてきた。さらにリッジ導波
管構造は、例えば埋込みヘテロ構造に基づくより複雑な構造物と比較して製造方
法が複雑ではなく、さらに優れた収率を提供する。
ることが主要な設計基準である。長距離通信用途では、デバイスからの出力は次
の中継器ステージまでの距離を決定し、さらに所定リンクにおけるステージ数は
リンクの初期コストおよびその後のメンテナンスにおける主要なコスト要因とな
る。
方での出力対電流従属性における「キンク(kink)」によって限定されるが
、さらに例えばリッジ導波管レーザーのような弱誘導半導体デバイスは特にこれ
らのキンクの影響を受け易い。キンクの定義は大きく異なるが、典型的には閾値
の上方での線形従属性からのおよそ20%の逸脱に相当する。
論が提案されてきた。かかる理論はこれまでのところ総光学出力に影響を及ぼす
高電流では固有モードスペース(eigenmode space)の移動が生
じるらしいこと、および/または出力がどのようにしてファイバー伝送媒体に結
合されるのかについては一致している。
ク出力は例えば空胴寸法および屈折率並びにそれらのプロファイルのようなその
共振空胴特徴に大きく依存することが証明されてきた。例えば、弱誘導ガリウム
ヒ素リッジ導波管デバイスの場合は、共振空胴の特徴は一部には被覆層(cla
dding layer)パラメータによって決定される。残念なことに、これ
らの被覆層パラメータおよびパラメータを定義するために使用される製造プロセ
スは、単一共振器の設計をすべてのウエハおよびすべてのデバイスにとって最適
であるようにするために必要な精度で制御することが困難である。
ースウエハが満足できるキンク出力性能を達成できるようにリッジ導波管デバイ
スの製造が最適化されなければならない。ウエハにおける変動が測定され、収集
された情報を使用してウエハのプロセシングが個別化される。
試験のために何度も犠牲にされるために収率が低下する。さらに、製造において
必要とされる公差は一般に標準プロセスの能力を超えている。従って、最適化が
適正に実行された場合でさえ、キンク出力性能はまだ満足できない程度にとどま
り、ウエハ・デバイスの多くに広く分布しているので、なおさら収率を低下させ
るであろう。
および特にリッジの幾何学的形状へのキンク出力の従属性を劇的に低下させるよ
うに改良される。これは出力対電流従属性においてキンクを抑制するように機能
する光学層の材料をリッジに隣接して若しくは近くに添加することによって遂行
される。特に、この光学層を含めると、平均キンク出力が80mW増加し、キン
ク出力変動が50%低下し、さらに側方遠方界発散角度(lateral fa
r field divergence angle)が40%低下することが
証明されている。
振器モード(fundamental lateral resonator
mode)および望ましくないより上位の側方共振器モード(higher o
rder lateral resonator mode)によって経験され
る有効指数の修正とを組み合わせることによってキンク出力を最適化する。そし
て、これらの潜在的寄与の相対的有意性を限定することは困難であるが、吸収が
優勢であると考えられる。さらに、応力、熱伝導率、および導波管の幾何学的形
状における変化もまた本発明の性能に有益に寄与する可能性がある。
ドと上位モードのフェーズ・ロッキング(phase locking)の結果
であると理論付けた。これは2つのモードの組合せである新規の固有モードを生
じさせる。フェーズ・ロッキングは、駆動電流と相関する熱若しくはその他の摂
動を原因として2つのモードに対する伝搬定数が縮退し始めたときに発生する。
本発明は基本および上位モードの伝搬定数を修正することによってこのフェーズ
・ロッキングを阻害することが可能である。従って、一部の場合では観察された
結果を達成するために光学層において大きな吸収が必要とされない可能性がある
。
。それは、上方および下方被覆層によって挟まれた能動層(active la
yer)を含む好ましくはエピタキシャル層を有する半導体基板を含む。ファセ
ット(facet)は光軸に沿ってデバイスの両端上に位置しており、リッジは
光軸の方向で上方被覆層に形成される。キンク抑制層は光軸に沿って配置され、
共振空胴特徴へのキンク出力従属性を低下させるために被覆層に相対的に方向付
けられる。
領域の周囲に沿って側方で先端が切り取られており、さらに好ましくはリッジの
両側で1つずつの2つの区間(section)を含んでいる。
の複合屈折率、2)信頼性への有害な影響の可能性、および3)配置の容易さ。
好ましい実施態様では、キンク抑制層はシリコンを含む。シリコンは3.65の
屈折率および100cm-1の吸収係数を有する。これは、各々2.0、3.38
および3.39である窒化シリコンパシベーション層(silicon nit
ride passivation layer)、上方被覆層およびトランス
バース・モード(transverse mode)の屈折率に匹敵する。従っ
て、シリコンは好ましい構造および望ましい吸収のために適した妥当な屈折率を
有する。さらに、シリコンはn形ドーパントおよび様々なレーザーのためのファ
セット・コーティング材料として使用されてきた。このため、信頼性についての
懸念が最小限に抑えられる。チタンは、その3.35の屈折率、500,000
cm-1の損失、並びに接点および高屈折率ファセット・コーティングを形成する
ために使用される金属フィルムのための接着層としての至る所での使用の点でも
う1つの優れた候補である。その他に考えられる材料にはガリウムおよびゲルマ
ニウムが含まれるが、それらに限定はされない。
めの方法を特徴とする。本方法は下方被覆層、能動層および上方被覆層を含む一
連の典型的にはエピタキシャル層を形成する工程を含む。その後に上方被覆層に
リッジが形成される。さらにその後にキンク抑制層が、一般にリッジの寸法また
は共振空胴特徴へのキンク出力従属性を低下させるために被覆層および能動層に
相対的に方向付けられる。
トリップの両側で上方被覆層をエッチングすることによって形成される。その後
ストリップはキンク抑制層の配置の際に保護層として使用される。
およびスパッタ溶着プロセスのような単純な標準薄膜溶着技術を使用して溶着さ
せられる点である。より複雑な構造は、モード特徴を制御するためにウエハが選
択的にエッチングされた後にMBE、MOCVD、およびLPEのような再生技
術を用いて製造されてきた。そうした肥大化(overgrowth) は、A
lGaAs構造では、好ましい実施態様におけるように特にエピタキシャル層に
おけるアルミニウム画分が10%を超える場合には困難である。
)であるフォトレジストマスクの使用を許容し、再生プロセスにおいて遭遇する
ような典型的には300℃を超える高温を必要としない。さらに、キンク抑制層
のためのマスキング・フォトレジストはリッジのエッチング中に使用されたもの
と同一のフォトレジストであるので、好ましい実施態様では本方法はセルフアラ
イン接触プロセス(self−aligned contact proces
s)である。
およびその他の特徴並びに他の利点を添付の図面を参照しながらより詳細に説明
し、請求項において指摘するであろう。本発明を具体化する特定の方法および装
置は例示を目的に示されており、本発明を限定するものではないことは理解され
るであろう。本発明の原理および特徴は、本発明の範囲から逸脱することなく様
々な数多くの態様において使用することができる。
は必ずしも一定の縮尺で描かれてはおらず、その代わりに本発明の原理を例示す
ることに重点が置かれている。
バイス10の斜視図である。
はガリウムヒ化物(GaAs)である。基板は、同様に好ましくはGaAsであ
るがさらに様々な含量のアルミニウムを有する、従ってAlGaAsを形成して
いる上方および下方エピタキシャル被覆層105、110を有する。これらの層
は、好ましくはインジウム・ガリウムヒ化物(InGaAs)のドープ処理され
ていない単一量子井戸(SQW)領域である能動層115を取り囲む傾斜p形(
105)およびn形(110)領域である。
sエピタキシャル層を備えたInP基板が代替実施である。
の主として能動層115において発生させられる光線を限定する。反射防止性フ
ロントファセットコーティング122および高反射性リヤファセットコーティン
グ124が光軸120に沿ったレーザーの共振空胴の程度を確定する。同様に、
フロントファセットの反射性を増加させることを含む様々なコーティングの組合
せを使用することができる。
。リッジ125は、光軸120の方向で上方被覆層105内に例えばエッチング
によって形成される。リッジを取り囲む領域は、リッジの上端以外はパシベーシ
ョン層316によって被覆される。導電層130には、リッジ上端との良好なオ
ーム接触を形成するためにGaAs接触層と金属電極とが含まれる。
、およびさらに導電層130を介してリッジの中心を抜けて下方へ電流を伝導す
る2つの比較的大きな金属製p形接触領域140である。これは、電流がリッジ
125を通って能動層115内に投入されることを保証する。ある実施における
デバイスについての全体寸法は、およそ幅300μm、高さ150μm、および
長さ750μmである。
シベーション層316の下にキンク抑制層がある。好ましくは、このキンク抑制
層は、光軸120の両側で、リッジ125の上端の下方かつ能動層115の上方
にある2つの区間若しくはウイング135A、135Bに形成されるアモルファ
スシリコン層である。これらの区間135A、135B各々は、好ましくは共振
空胴の全長に渡り光軸120に沿って縦方向に伸びている。かかる区間は能動層
115に対して垂直に走っていて光軸120を含んでいる平面の両側の横方向で
先端が切られている。かかる区間は、基本光学出力の95%以上が伝搬する光学
モード領域155の周囲で終了する。
5、110の断面図である。Fig.2の左側でプロットによって示されている
ように、線形傾斜指数個別限定へテロ構造(linear graded in
dex−separate confinement heterostruc
ture)単一量子井戸(GRIN−SCH−SQW)指数プロファイル170
は能動層115を取り囲むほんの小さな帯域でのみ存在する。しかし、基本トラ
ンスバースモード強度プロファイル175は、実質的にリッジ125内へ伸びて
、はるかに広い帯域に渡って分布している。
l mode intensity)のプロット180が重ね合わせられている
。かかるプロットは、大部分のモード・エネルギーが光軸120の周囲に集まっ
て存在していることを示している。これとは対照的に、参照番号185によって
示されている次の上位側方モード強度はゼロでは光軸120の周囲にあるが、キ
ンク抑制層135A、135Bの近くでは最大に達する。逐次的に上位側方モー
ドはますます広がり、どんどん大きな程度までキンク抑制層135A、135B
に重複しているので、従ってますます高度の光作用を経験する。
失を付け加えることによって、従ってそれらが定着および共振することを防止す
ることによってキンク出力に影響を及ぼすと理論付けられている。これは固有モ
ードスペースを一様により高い入力電流へ延長させる。
モードが経験する損失が最大化されながら、望ましい基本モードが経験する損失
が最小限に抑えられなければならない。基本モードについての満足できる損失は
キンク抑制層が不在である場合に経験される損失の0.01から1倍の範囲内で
あり、好ましい数値は通常損失のおよそ0.1倍である。
tion)および厚さは、基本トランスバースモード・エネルギーの1.5%、
基本側方モード・エネルギーの5.7%、および次の上位側方モードの30.6
%が抑制層135A、135Bに重複するように制御される。従って、層によっ
て導入される損失はキンク抑制層が不在である共振器設計に典型的な20/cm
の損失とは対照的におよそ1/cmである。次の上位側方モードはその層のため
に6/cmの追加の損失を経験すると予想される。これらの数値は本実行の設計
において使用されたが、幾らかの不明確さは免れない。
ためのプロセスを示している。
00上に形成された線形傾斜指数被覆層105、110はSQW能動層115を
挟んでいる。好ましい実施態様では、層105、110は金属ビーム・エピタキ
シー(MBE)を使用して連続的に形成されるが、例えばMOCVDおよびCB
Eのような他のプロセスを使用することもできる。
ジスト・ストリップ310を溶着する。このフォトレジスト層310を形成する
ための方法はよく知られている。その方法は典型的には、被覆層の全上面の上に
完全なフォトレジスト層を溶着する工程、その後に露光および現像を行う工程を
含む。
方被覆層105のエッチングの結果を示している。このプロセスによりリッジ1
25を形成する。好ましい実施態様ではウェット・ケミカル・エッチングを行な
う。エッチング液の化学的性質および浸漬時間を使用してリッジの形状およびサ
イズを制御する。下記で説明する試験結果では、ウエハは4,200Åの公称残
留被覆層厚さおよび20,000Åのリッジ高さを有していた。公称リッジ幅は
5μmであった。
区間135A、135Bをリッジ125の両側に溶着する。好ましくは、使用す
る溶着法はフォトレジスト310によって覆い被される領域312、314がキ
ンク抑制層135のいずれの部分も受け入れないように高度に指向性である。詳
細には、キンク抑制層135A、135Bはウエハヘ垂直入射で電子ビーム蒸着
法を使用して形成されるアモルファスシリコン層である。
。好ましい実施態様では、シリコン層の厚さは500〜1,000Åである。詳
細には、試験された下記で説明するウエハでは843Åである。実験では、1,
500Åまでのシリコン層の厚さは達成できるが、それを超えるとシリコン層に
よって惹起される応力下でフォトレジスト・ピーリングが発生することが示され
ている。他の材料および/またはマスキング法であればこの限度を拡張できる可
能性がある。
モード領域に対するキンク抑制層の相対アライメントは重要であり、1μmより
良好にコアライメントされなければならない。
めにリッジ125の下方側壁315A、315Bに沿って溶着する。この作用は
例えば次のような数多くの方法のいずれか一つによって達成される:1)シリコ
ン溶着プロセス中に基板100を揺り動かす工程;2)基板100をその正常軸
の周囲で回転させ、回転軸に対して斜角でシリコン層を溶着させる工程;または
3)スパッタリングのような無指向性溶着プロセスを使用する工程。さらになお
別の実施態様では、これらの技術の一部を使用して光軸120の周囲でシリコン
層135A、135Bを非対称的に溶着する。
ム、またはデバイスの動作波長で低拡散率および高吸収率を提供する他の材料層
から形成される。かかる層は或いはまた、イオン注入法を使用して形成すること
もできる。
てフォトレジスト310およびシリコン層135を覆ってリッジ125上に窒化
シリコンパシベーション層316を溶着する。窒化シリコン層は下記のウエハ結
果では厚さ2,200Åである。或いはまた、より高周波数用途ではエアギャッ
プ(air gap)パシベーション層に置換することもできよう。
ctional plasma enhanced chemical vap
or deposition)(PECVD)を使用してシリコン製キンク抑制
層135A、135Bを溶着し、その後に一部の小さなプロセス変更を伴うPE
CVDを使用して窒化シリコンパシベーション層の溶着が行われる。このプロセ
スの長所は次の点である:1)シリコンおよび窒化シリコンは1つの装置および
プロセス順序を使用して溶着させることができるので、製品の製造性が強化され
る;および2)シリコンがリッジの側面にまで及ぶであろう。
Pt/Au金属化層318を溶着する。下記で考察する結果では、Ti/Pt/
Au金属化保護膜は各々200Å/1,500Å/2,000Åの厚さを有する
。リッジの保護およびワイヤーボンディング領域を提供するために追加して金メ
ッキされる。
スにおける実際のリッジのプロファイルおよび層厚さを示している。
一基板/ウエハ100に沿って並行してかつ相互に平行に形成される。製造工程
が完了した後には、ウエハは典型的にはウエハの全長に沿ってリッジに垂直に走
る面に沿って線が刻まれ、分割される。これは「バー」と呼ばれるものを生み出
す。各バーはその後、Fig.1に示されているような個々の半導体レーザーデ
バイスを形成するために連続するリッジ間で線が刻まれて分割される。その結果
として、各バーから多くのそうしたデバイスを形成することができ、単一ウエハ
内に多数のバーが存在する。
ジのエッチングは結果として生じるデバイスのキンク出力を最大化するために最
高の共振空胴特徴を入手することを求めて厳密に制御されるであろう。これはプ
ロセスの限界を原因として必要精度レベルで被覆層パラメータを制御することが
不可能であるために各ウエハ上で実施されなければならない。さらにリッジのエ
ッチング深さが制御されなかった場合は、例えばリッジ幅、空胴長さ、リッジプ
ロファイルまたは屈折率のような共振空胴特徴に影響を及ぼす一部の他のパラメ
ータが精密な公差へ制御されなければならない。これとは対照的に、下記の結果
によって示されるように、本発明に従うと例えばリッジのエッチング深さのよう
な共振空胴特徴間の減結合が達成される。
イスの95%以上が190ミリワット(mW)を超えるキンク出力を有する;デ
バイスの50%は225mWを超えるキンク出力を有する。これらの結果は、1
35mWを超えるキンク出力を有するのが従来通りに製造された、即ちキンク抑
制層を備えていないデバイスの50%未満であるのと比較される。その結果とし
て、本発明を実行すると、本発明のデバイスのキンク出力はキンク抑制層を備え
ていないデバイスより一様に高い。
を判断するためのもう1つの測定基準である。本発明を使用せずに製造されたウ
エハの一部からのデバイスにおけるキンク出力の標準偏差は55.2と計算され
た。シリコン製キンク抑制層を使用して製造されたウエハの一部からのデバイス
は、デバイスのキンク出力において20.8の標準偏差を生じさせた。従って、
第1および第2ウエハからのデバイスがデバイス毎の共振空胴特徴において実質
的に同一変動性を有している場合でさえ、本発明に従って製造されたデバイスは
大きく向上したキンク出力分布を示した。
るように、本発明を取り込んだデバイスはより優れた側方モード特徴を有する。
本発明は小組立デバイス(sub−mounted devices)から側方
遠方界発散角度において40%低下を生じさせる。側方モードサイズにおける変
動は係数2より大きく低下し、さらに遠距離通信のために使用される光ファイバ
ーに結合するために最適である平均値を有する。
における予想される増加である。試験されたデバイスでは、閾値電流は4mA増
加した。同様に、傾斜効率では0.75%の低下が観察されている。
イスで使用される相違するリッジ構造物への本発明の適用を示している。
覆層105および能動層120を用いて開始する工程が様々な元素組成のAlG
aInAsを使用してエピタキシャルに成長させられる。上方被覆層105にお
ける2つのチャネル212、214およびGaInAsPエッチング停止層(図
示されていない)への酸化物層210をエッチングするために写真平板プロセス
が使用される。
が現われないように高度の指向性プロセスを使用してキンク抑制光学層216を
溶着する。さらにその後、絶縁酸化物パシベーション層218が全基板に被せて
コーティングされる。
6は、好ましくは例えばTiのようなこれらの波長で吸収する材料である適切な
光学材料である。
壁220および222上に現われるように低指向性プロセスを用いて溶着するこ
とができよう。
覆層105とパシベーション層の間に溶着する事実であるが、これは容易に実行
され、黙示的付加プロセス工程に関連する欠点を幾分軽減する。
後リッジ125の領域において部分的に現像するプロセスにおける次の工程を示
している。部分的現像は井戸212および214内にフォトレジスト層を残すが
、リッジ125上の酸化シリコン層218、シリコン層216、および酸化シリ
コン層210の部分を露光させるので、その結果それらはエッチングプロセスに
おいて除去される。これは引続いての電気接触層(electrical co
ntact layers)のためにリッジ125を露光させる。
よび214の底部に残留し、そこで結果として生じるデバイスのキンク出力性能
を向上させるであろう。
者であれば添付の特許請求の範囲に定義されている発明の精神および範囲から逸
脱することなく形状および細部において様々な変更を加えられることは理解でき
るであろう。
。
る。
を示す。
。
デバイス(実線)についてのキンク出力に関連するデバイス収率のプロットであ
る。
有するデバイスのパーセンテージを示している累積側方遠方界分布のプロットで
ある。
ーザーデバイスの製造方法の工程を示す。
Claims (27)
- 【請求項1】 能動層; 能動層を挟む上方被覆層および下方被覆層; 光軸の方向に伸びている、上方被覆層に形成されたリッジ; 光軸に沿ってデバイスの両端上に位置しており、かつ共振空胴を規定するファセ
ット; 光軸に沿って配置され、かつ共振空胴特徴へのキンク出力従属性を低下させるた
めに前記被覆層に相対的に方向付けられているキンク抑制層、 を含んでなる半導体レーザーデバイス。 - 【請求項2】 キンク抑制層がエピタキシャル上方被覆層のエッチングされ
た部分の上に形成されるものである請求項1記載の半導体レーザーデバイス。 - 【請求項3】 キンク抑制層が、150mWを超えるキンク出力を有するデ
バイスの数を90%を超えるまで増加させるものである、請求項1記載の半導体
レーザーデバイス。 - 【請求項4】 キンク抑制層が、175mWを超えるキンク出力を有するデ
バイスの数をおよそ90%またはそれ以上まで増加させるものである、請求項1
記載の半導体レーザーデバイス。 - 【請求項5】 キンク抑制層が基本光学モード領域の周囲に沿って側方で先
端が切り取られているものである、請求項1記載の半導体レーザーデバイス。 - 【請求項6】 キンク抑制層がリッジの両側の下で光軸の縦方向下方に伸び
ている2つの区分を含んでなるものである請求項1記載の半導体レーザーデバイ
ス。 - 【請求項7】 キンク抑制層がリッジの上端と能動層との間に位置するもの
である請求項1記載の半導体レーザーデバイス。 - 【請求項8】 キンク抑制層が、デバイスの動作波長で吸収があり、および
/または上位側方モードにより経験される屈折の有効指数を修正するものである
、請求項1記載の半導体レーザーデバイス。 - 【請求項9】 キンク抑制層がシリコンを含有してなるものである請求項1
記載の半導体レーザーデバイス。 - 【請求項10】 キンク抑制層がチタン、ガリウム、またはゲルマニウムを
含有してなるものである請求項1記載の半導体レーザーデバイス。 - 【請求項11】 キンク抑制層が上方被覆層の上に溶着されているものであ
る請求項1記載の半導体レーザーデバイス。 - 【請求項12】 キンク抑制層が蒸着/スパッタリング技術を用いて溶着さ
れるものである請求項11記載の半導体レーザーデバイス。 - 【請求項13】 レーザーデバイスがレーザー増幅器である請求項1記載の
半導体レーザーデバイス。 - 【請求項14】 能動層; 能動層を挟むエピタキシャル上方被覆層およびエピタキシャル下方被覆層; 光軸に沿ってデバイスの両端上に位置しているファセット; 光軸の方向に伸びている、上方被覆層にエッチングされたリッジ; リッジを覆って溶着されたパシベーション層;ならびに パシベーション層とエッチングされた上方被覆との間で、リッジの両側の上に配
置された光学層、 を含んでなる半導体レーザーデバイス。 - 【請求項15】 光学エネルギー吸収層がシリコンを含有してなるものであ
る請求項14記載の半導体レーザーデバイス。 - 【請求項16】 キンク抑制層がチタン、ガリウム、またはゲルマニウムを
含有してなるものである請求項14記載の半導体レーザーデバイス。 - 【請求項17】 上方被覆層にリッジを形成する工程;ならびに リッジ寸法へのキンク出力従属性を低下させるために被覆層と能動層に相対的に
方向付けられているキンク抑制層を形成する工程、 を含む、下方被覆層、上方被覆層、および上方被覆層と下方被覆層との間の能動
層からの半導体レーザーデバイスの製造方法。 - 【請求項18】 リッジがエピタキシャル上方被覆層をエッチングすること
により形成されるものであり、かつキンク抑制層が上方被覆層のエッチングされ
た部分の上に溶着されるものである請求項17記載の方法。 - 【請求項19】 150mWを超えるキンク出力を有するデバイスの数を9
0%を超えるまで増加させるキンク抑制層をさらに含む請求項17記載の方法。 - 【請求項20】 175mWを超えるキンク出力を有するデバイスの数をお
よそ90%またはそれ以上まで増加させるキンク抑制層をさらに含む請求項17
記載の方法。 - 【請求項21】 光学モード領域の両側の上の2つの区分にキンク抑制層を
形成する工程をさらに含む請求項17記載の方法。 - 【請求項22】 キンク抑制層が従来の蒸着/スパッタリング技術を用いて
溶着される請求項17記載の方法。 - 【請求項23】 キンク抑制層が150℃未満の温度で溶着される請求項1
7記載の方法。 - 【請求項24】 レーザーデバイスの光軸の方向に伸びている、上方被覆層
のリッジをエッチングする工程; パシベーション層を溶着する工程;ならびに リッジの両側の上で、上方被覆層とパシベーション層との間に光学層を溶着する
工程、 を含む、下方被覆層、上方被覆層、および上方被覆層と下方被覆層との間の能動
層からの半導体レーザーデバイスの製造方法。 - 【請求項25】 リッジをエッチングする工程が、 光軸の方向に伸びているフォトレジストストリップを溶着する工程;ならびに フォトレジストストリップの両側の上に上方被覆層をエッチングする工程、 を含む、請求項24記載の方法。
- 【請求項26】 さらにフォトレジストストリップの除去の前にエッチング
された上方被覆層の上に光学層を溶着する工程を含む請求項25記載の方法。 - 【請求項27】 パシベーション層を溶着する工程が光学層を覆って窒化物
層を溶着する工程を含む請求項26記載の方法。
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