JP2002372613A - カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法Info
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- JP2002372613A JP2002372613A JP2001179038A JP2001179038A JP2002372613A JP 2002372613 A JP2002372613 A JP 2002372613A JP 2001179038 A JP2001179038 A JP 2001179038A JP 2001179038 A JP2001179038 A JP 2001179038A JP 2002372613 A JP2002372613 A JP 2002372613A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の画素の色にそれぞれ対応したインク
の、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性が確保されるとと
もに、表示装置に用いられた場合に、色調のバラツキを
抑制する（ΔＥ＊ａｂで算出した色差を３以下に収斂さ
せる）ことが可能なカラーフィルタを得ることができる
カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法
を提供する。 【解決手段】 基板１上に形成した所定パターンを有す
る遮光層２ａ上に、樹脂による所定パターンのバンク５
ａを形成し、バンク５ａの所定パターンの間隙に、所定
の色に対応したインク６をそれぞれ配設した後に、所定
の色に対応したインクのそれぞれを乾燥させるカラーフ
ィルタの製造方法であって、所定の色に対応したインク
６のそれぞれを、そのインク６が有する粘度の大きさに
応じて、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色
調のバラツキが抑制される（ΔＥ＊ａｂで算出した色差
が３以下に収斂する）ように、乾燥後のインク６の形状
の平坦性を確保する。
の、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性が確保されるとと
もに、表示装置に用いられた場合に、色調のバラツキを
抑制する（ΔＥ＊ａｂで算出した色差を３以下に収斂さ
せる）ことが可能なカラーフィルタを得ることができる
カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法
を提供する。 【解決手段】 基板１上に形成した所定パターンを有す
る遮光層２ａ上に、樹脂による所定パターンのバンク５
ａを形成し、バンク５ａの所定パターンの間隙に、所定
の色に対応したインク６をそれぞれ配設した後に、所定
の色に対応したインクのそれぞれを乾燥させるカラーフ
ィルタの製造方法であって、所定の色に対応したインク
６のそれぞれを、そのインク６が有する粘度の大きさに
応じて、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色
調のバラツキが抑制される（ΔＥ＊ａｂで算出した色差
が３以下に収斂する）ように、乾燥後のインク６の形状
の平坦性を確保する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルタの
製造方法及び液晶表示装置の製造方法に関する。さらに
詳しくは、複数の画素の色にそれぞれ対応したインク
の、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性が確保されるとと
もに、表示装置に用いられた場合に、色調のバラツキを
抑制する（ΔＥ＊ａｂで算出した色差を３以下に収斂さ
せる）ことが可能なカラーフィルタを得ることができ
る、特に、ノート型パソコン、デスクトップ型パソコ
ン、車載用ナビゲーションシステム、電子スチルカメ
ラ、ゲーム機器、プロジェクタ、携帯電話等の電子機器
に好適に用いられるカラーフィルタの製造方法及び液晶
表示装置の製造方法に関する。
製造方法及び液晶表示装置の製造方法に関する。さらに
詳しくは、複数の画素の色にそれぞれ対応したインク
の、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性が確保されるとと
もに、表示装置に用いられた場合に、色調のバラツキを
抑制する（ΔＥ＊ａｂで算出した色差を３以下に収斂さ
せる）ことが可能なカラーフィルタを得ることができ
る、特に、ノート型パソコン、デスクトップ型パソコ
ン、車載用ナビゲーションシステム、電子スチルカメ
ラ、ゲーム機器、プロジェクタ、携帯電話等の電子機器
に好適に用いられるカラーフィルタの製造方法及び液晶
表示装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、パーソナルコンピューター、特
に、携帯用パーソナルコンピューターの進歩に伴い、電
子機器、例えば、ノート型パソコン、デスクトップ型パ
ソコン、車載用ナビゲーションシステム、電子スチルカ
メラ、ゲーム機器、プロジェクタ、携帯電話等に用いら
れるカラー液晶表示装置（ディスプレイ）の需要が急増
している。これに対応し、適正価格で高精細かつ美麗な
表示装置（ディスプレイ）を供給する手段の早急な確立
が求められている。
に、携帯用パーソナルコンピューターの進歩に伴い、電
子機器、例えば、ノート型パソコン、デスクトップ型パ
ソコン、車載用ナビゲーションシステム、電子スチルカ
メラ、ゲーム機器、プロジェクタ、携帯電話等に用いら
れるカラー液晶表示装置（ディスプレイ）の需要が急増
している。これに対応し、適正価格で高精細かつ美麗な
表示装置（ディスプレイ）を供給する手段の早急な確立
が求められている。
【０００３】また、地球規模の環境保護の要請が高ま
り、環境負荷を低減することが可能なプロセスの実現が
焦眉の急となっている。
り、環境負荷を低減することが可能なプロセスの実現が
焦眉の急となっている。
【０００４】このような状況に対応するため、カラーフ
ィルタの製造における画素の形成（着色）方法として、
インクジェットの印刷技法（インクジェットプリンティ
ング方式）が用いられるようになっている。
ィルタの製造における画素の形成（着色）方法として、
インクジェットの印刷技法（インクジェットプリンティ
ング方式）が用いられるようになっている。
【０００５】この技法は、圧電体薄膜素子を用いたイン
クジェットヘッドの加圧室にインク（例えば、熱硬化性
樹脂からなるＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色の
画素形成用インク）をそれぞれ貯蔵し、圧電体素子の振
動による加圧室の体積変化を利用して画素形成用インク
を吐出させることによってカラーフィルタ用の基板上に
画素を形成するものであるが、従来から用いられてきた
フォトリソグラフィ技法による画素の形成技法のよう
に、遮光材料（例えば、クロム等の金属薄膜を所定形状
にパターン化したブラックマトリックス）及び各色に対
応した複数の画素の形成のため、これらのパターン形状
ごとに異なるパターンのマスクを用い、露光、現像、洗
浄等の煩雑な工程を経る必要がないため生産効率を向上
させることが可能であり、また、インク量の高度な制御
が可能であるため高精細なカラーフィルタの効率的な製
造を可能にするとともに、フォトリソグラフィ技法に比
べ材料を浪費することがないので環境に対する負荷を低
減することができるという点で優れた方法である。
クジェットヘッドの加圧室にインク（例えば、熱硬化性
樹脂からなるＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色の
画素形成用インク）をそれぞれ貯蔵し、圧電体素子の振
動による加圧室の体積変化を利用して画素形成用インク
を吐出させることによってカラーフィルタ用の基板上に
画素を形成するものであるが、従来から用いられてきた
フォトリソグラフィ技法による画素の形成技法のよう
に、遮光材料（例えば、クロム等の金属薄膜を所定形状
にパターン化したブラックマトリックス）及び各色に対
応した複数の画素の形成のため、これらのパターン形状
ごとに異なるパターンのマスクを用い、露光、現像、洗
浄等の煩雑な工程を経る必要がないため生産効率を向上
させることが可能であり、また、インク量の高度な制御
が可能であるため高精細なカラーフィルタの効率的な製
造を可能にするとともに、フォトリソグラフィ技法に比
べ材料を浪費することがないので環境に対する負荷を低
減することができるという点で優れた方法である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、カラー
フィルタは高精細化の一途を辿り、数１０μｍ角という
微細なＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色のそれぞ
れの、各種表示装置に用いられた場合における色調のバ
ラツキを小さく抑制する（ΔＥ＊ａｂで算出した色差を
３以下に収斂させる）ことへの要求が飛躍的に高まり、
インクジェット印刷技法を用いた場合であっても、従来
の方法のままでは十分に上述の要求に対応することがで
きなくなってきている。
フィルタは高精細化の一途を辿り、数１０μｍ角という
微細なＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色のそれぞ
れの、各種表示装置に用いられた場合における色調のバ
ラツキを小さく抑制する（ΔＥ＊ａｂで算出した色差を
３以下に収斂させる）ことへの要求が飛躍的に高まり、
インクジェット印刷技法を用いた場合であっても、従来
の方法のままでは十分に上述の要求に対応することがで
きなくなってきている。
【０００７】すなわち、基板上に形成した所定パターン
を有する遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンク
を形成し、バンクの所定パターンの間隙に、複数の色に
対応した複数のインクのそれぞれを塗布した後に、イン
クのそれぞれを乾燥させるカラーフィルタを製造する場
合、所定の色に対応したインクは、それぞれの色によっ
て用いる有機顔料、分散溶媒等が異なること等から、そ
れぞれ有するの固有の物性、例えば、粘度、表面張力等
に起因する流動特性（レオロジー特性）も異なるものと
なり、全ての色を一律の条件で乾燥すると、上述のそれ
ぞれの色の流動特性の相違に起因して、形成されるそれ
ぞれの画素の形状の平坦性にバラツキを生じ、表示装置
に用いた場合に色調のバラツキ（色調ムラ）を発生させ
るという問題があった。
を有する遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンク
を形成し、バンクの所定パターンの間隙に、複数の色に
対応した複数のインクのそれぞれを塗布した後に、イン
クのそれぞれを乾燥させるカラーフィルタを製造する場
合、所定の色に対応したインクは、それぞれの色によっ
て用いる有機顔料、分散溶媒等が異なること等から、そ
れぞれ有するの固有の物性、例えば、粘度、表面張力等
に起因する流動特性（レオロジー特性）も異なるものと
なり、全ての色を一律の条件で乾燥すると、上述のそれ
ぞれの色の流動特性の相違に起因して、形成されるそれ
ぞれの画素の形状の平坦性にバラツキを生じ、表示装置
に用いた場合に色調のバラツキ（色調ムラ）を発生させ
るという問題があった。
【０００８】本発明は、上述の問題に鑑みてなされたも
のであり、複数の画素の色にそれぞれ対応したインク
の、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性が確保されるとと
もに、表示装置に用いられた場合に、色調のバラツキを
抑制する（ΔＥ＊ａｂで算出した色差を３以下に収斂さ
せる）ことが可能なカラーフィルタを得ることができ
る、特に、ノート型パソコン、デスクトップ型パソコ
ン、車載用ナビゲーションシステム、電子スチルカメ
ラ、ゲーム機器、プロジェクタ、携帯電話等の電子機器
に好適に用いられるカラーフィルタの製造方法及び液晶
表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
のであり、複数の画素の色にそれぞれ対応したインク
の、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性が確保されるとと
もに、表示装置に用いられた場合に、色調のバラツキを
抑制する（ΔＥ＊ａｂで算出した色差を３以下に収斂さ
せる）ことが可能なカラーフィルタを得ることができ
る、特に、ノート型パソコン、デスクトップ型パソコ
ン、車載用ナビゲーションシステム、電子スチルカメ
ラ、ゲーム機器、プロジェクタ、携帯電話等の電子機器
に好適に用いられるカラーフィルタの製造方法及び液晶
表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的
を達成するため鋭意研究した結果、カラーフィルタに用
いられる複数の画素の色にそれぞれ対応したインクをそ
れぞれの最適な条件で乾燥させることによって、乾燥後
のそれぞれの形状の平坦性が確保されることを見出し、
本発明を完成させた。すなわち、本発明によって、以下
のカラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方
法が提供される。
を達成するため鋭意研究した結果、カラーフィルタに用
いられる複数の画素の色にそれぞれ対応したインクをそ
れぞれの最適な条件で乾燥させることによって、乾燥後
のそれぞれの形状の平坦性が確保されることを見出し、
本発明を完成させた。すなわち、本発明によって、以下
のカラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方
法が提供される。
【００１０】［１］ 基板上に形成した所定パターンを
有する遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンクを
形成し、前記バンクの所定パターンの間隙に、所定の色
に対応したインクをそれぞれ配設した後に、前記所定の
色に対応したインクのそれぞれを乾燥させるカラーフィ
ルタの製造方法であって、前記所定の色に対応したイン
クのそれぞれを、そのインクが有する粘度の大きさに応
じて、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調
のバラツキが抑制される（ΔＥ＊ａｂで算出した色差が
３以下に収斂する）ように、乾燥後の前記インクの形状
の平坦性を確保することを特徴とするカラーフィルタの
製造方法。
有する遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンクを
形成し、前記バンクの所定パターンの間隙に、所定の色
に対応したインクをそれぞれ配設した後に、前記所定の
色に対応したインクのそれぞれを乾燥させるカラーフィ
ルタの製造方法であって、前記所定の色に対応したイン
クのそれぞれを、そのインクが有する粘度の大きさに応
じて、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調
のバラツキが抑制される（ΔＥ＊ａｂで算出した色差が
３以下に収斂する）ように、乾燥後の前記インクの形状
の平坦性を確保することを特徴とするカラーフィルタの
製造方法。
【００１１】このように構成することによって、複数の
画素の色にそれぞれ対応したインクの、乾燥後のそれぞ
れの形状の平坦性が確保されるとともに、表示装置に用
いられた場合に、色調のバラツキを抑制する（ΔＥ＊ａ
ｂで算出した色差を３以下に収斂させる）ことが可能な
カラーフィルタを得ることができる。
画素の色にそれぞれ対応したインクの、乾燥後のそれぞ
れの形状の平坦性が確保されるとともに、表示装置に用
いられた場合に、色調のバラツキを抑制する（ΔＥ＊ａ
ｂで算出した色差を３以下に収斂させる）ことが可能な
カラーフィルタを得ることができる。
【００１２】［２］ 前記所定の色に対応したインクと
して、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色に対応す
るとともに、それぞれ、有機顔料、アクリル系樹脂、モ
ノマー、分散溶剤及び高沸点溶媒を含むものを用いる前
記［１］に記載のカラーフィルタの製造方法。
して、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色に対応す
るとともに、それぞれ、有機顔料、アクリル系樹脂、モ
ノマー、分散溶剤及び高沸点溶媒を含むものを用いる前
記［１］に記載のカラーフィルタの製造方法。
【００１３】［３］ 前記所定の色に対応したインクの
粘度が、Ｇ（緑）色のインクが８〜１２ｍＰａ・ｓで、
Ｒ（赤）色のインクが６〜１０ｍＰａ・ｓで、かつＢ
（青）の色のインクが４〜８ｍＰａ・ｓである前記
［１］又は［２］に記載のカラーフィルタの製造方法。
粘度が、Ｇ（緑）色のインクが８〜１２ｍＰａ・ｓで、
Ｒ（赤）色のインクが６〜１０ｍＰａ・ｓで、かつＢ
（青）の色のインクが４〜８ｍＰａ・ｓである前記
［１］又は［２］に記載のカラーフィルタの製造方法。
【００１４】［４］ 前記Ｇ（緑）色のインクを最も高
温で、Ｒ（赤）色のインクを中間の温度で、及びＢ
（青）の色のインクを最も低温で、それぞれ乾燥させる
前記［１］〜［３］のいずれかに記載のカラーフィルタ
の製造方法。
温で、Ｒ（赤）色のインクを中間の温度で、及びＢ
（青）の色のインクを最も低温で、それぞれ乾燥させる
前記［１］〜［３］のいずれかに記載のカラーフィルタ
の製造方法。
【００１５】［５］ 前記Ｇ（緑）色のインクを４０〜
６０℃で、前記Ｒ（赤）色のインクを３０〜５０℃で、
かつ前記Ｂ（青）の色のインクを２０〜４０℃で乾燥さ
せる前記［１］〜［４］のいずれかに記載のカラーフィ
ルタの製造方法。
６０℃で、前記Ｒ（赤）色のインクを３０〜５０℃で、
かつ前記Ｂ（青）の色のインクを２０〜４０℃で乾燥さ
せる前記［１］〜［４］のいずれかに記載のカラーフィ
ルタの製造方法。
【００１６】［６］ 初めに、粘度の最も大きなイン
ク、次いで、中間の粘度を有するインク、最後に、粘度
の最も小さなインクの順番で乾燥させる前記［１］〜
［５］のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
ク、次いで、中間の粘度を有するインク、最後に、粘度
の最も小さなインクの順番で乾燥させる前記［１］〜
［５］のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【００１７】［７］ 初めに、前記Ｇ（緑）の色のイン
ク、次いで、前記Ｒ（赤）色のインク、最後に、前記色
Ｂ（青）のインクの順番で乾燥させる前記［６］に記載
のカラーフィルタの製造方法。
ク、次いで、前記Ｒ（赤）色のインク、最後に、前記色
Ｂ（青）のインクの順番で乾燥させる前記［６］に記載
のカラーフィルタの製造方法。
【００１８】［８］ 前記マトリックスパターンの間隙
に前記所定の色に対応した前記インクのそれぞれを、イ
ンクジェットプリンティングヘッドを用いて配設する前
記［１］〜［７］のいずれかに記載のカラーフィルタの
製造方法。
に前記所定の色に対応した前記インクのそれぞれを、イ
ンクジェットプリンティングヘッドを用いて配設する前
記［１］〜［７］のいずれかに記載のカラーフィルタの
製造方法。
【００１９】［９］ 基板上に形成した所定パターンを
有する遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンクを
形成し、前記バンクの所定パターンの間隙に、所定の色
に対応したインクをそれぞれ配設した後に、前記所定の
色に対応したインクのそれぞれを乾燥させてカラーフィ
ルタを作製するに際し、前記所定の色に対応したインク
のそれぞれを、そのインクが有する粘度の大きさに応じ
て、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調の
バラツキが抑制される（ΔＥ＊ａｂで算出した色差が３
以下に収斂する）ように、乾燥後の前記インクの形状の
平坦性を確保してカラーフィルタを作製し、前記カラー
フィルタのインクが乾燥、硬化した後、その上面に平坦
化層を配設し、この平坦化層上に一の電極（共通電極）
を配設してカラーフィルタ用基板を形成し、前記カラー
フィルタ用基板と、前記カラーフィルタに用いられた基
板（共通電極）に対向して一対の対向基板を形成する、
他の電極（画素電極）が配設された他の基板（画素電極
基板）とが形成する間隙に液晶を封入することを特徴と
する液晶表示装置の製造方法。
有する遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンクを
形成し、前記バンクの所定パターンの間隙に、所定の色
に対応したインクをそれぞれ配設した後に、前記所定の
色に対応したインクのそれぞれを乾燥させてカラーフィ
ルタを作製するに際し、前記所定の色に対応したインク
のそれぞれを、そのインクが有する粘度の大きさに応じ
て、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調の
バラツキが抑制される（ΔＥ＊ａｂで算出した色差が３
以下に収斂する）ように、乾燥後の前記インクの形状の
平坦性を確保してカラーフィルタを作製し、前記カラー
フィルタのインクが乾燥、硬化した後、その上面に平坦
化層を配設し、この平坦化層上に一の電極（共通電極）
を配設してカラーフィルタ用基板を形成し、前記カラー
フィルタ用基板と、前記カラーフィルタに用いられた基
板（共通電極）に対向して一対の対向基板を形成する、
他の電極（画素電極）が配設された他の基板（画素電極
基板）とが形成する間隙に液晶を封入することを特徴と
する液晶表示装置の製造方法。
【００２０】［１０］ 前記所定の色に対応したインク
として、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色に対応
するとともに、それぞれ、有機顔料、アクリル系樹脂、
モノマー、分散溶剤及び高沸点溶媒を含むものを用いる
前記［９］に記載の液晶表示装置の製造方法。
として、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色に対応
するとともに、それぞれ、有機顔料、アクリル系樹脂、
モノマー、分散溶剤及び高沸点溶媒を含むものを用いる
前記［９］に記載の液晶表示装置の製造方法。
【００２１】［１１］ 前記マトリックスパターンの間
隙に前記所定の色に対応した前記インクのそれぞれを、
インクジェットプリンティングヘッドを用いて配設する
前記［９］又は［１０］に記載の液晶表示装置の製造方
法。
隙に前記所定の色に対応した前記インクのそれぞれを、
インクジェットプリンティングヘッドを用いて配設する
前記［９］又は［１０］に記載の液晶表示装置の製造方
法。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を具体
的に説明する。
的に説明する。
【００２３】本発明のカラーフィルタの製造方法は、図
１にその流れ工程を示すように、基板１上に形成した所
定パターンを有する遮光層２ａ上に（図１（ｄ）参
照）、樹脂による所定パターンのバンク５ａを形成し
（図１（ｇ）参照）、バンク５ａの所定パターンの間隙
に、所定の色に対応したインク６をそれぞれ配設した後
に（図１（ｈ）参照）、所定の色に対応したインクのそ
れぞれを乾燥させる（図１（ｉ）参照）カラーフィルタ
の製造方法であって、所定の色に対応したインク６のそ
れぞれを、そのインク６が有する粘度の大きさに応じ
て、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調の
バラツキが抑制される（ΔＥ＊ａｂで算出した色差が３
以下に収斂する）ように、乾燥後のインク６の形状の平
坦性を確保することを特徴とする。
１にその流れ工程を示すように、基板１上に形成した所
定パターンを有する遮光層２ａ上に（図１（ｄ）参
照）、樹脂による所定パターンのバンク５ａを形成し
（図１（ｇ）参照）、バンク５ａの所定パターンの間隙
に、所定の色に対応したインク６をそれぞれ配設した後
に（図１（ｈ）参照）、所定の色に対応したインクのそ
れぞれを乾燥させる（図１（ｉ）参照）カラーフィルタ
の製造方法であって、所定の色に対応したインク６のそ
れぞれを、そのインク６が有する粘度の大きさに応じ
て、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調の
バラツキが抑制される（ΔＥ＊ａｂで算出した色差が３
以下に収斂する）ように、乾燥後のインク６の形状の平
坦性を確保することを特徴とする。
【００２４】前述のように、インク６のそれぞれは、固
有の物性、例えば、粘度、表面張力等に起因するそれぞ
れの流動特性（レオロジー特性）を有するため、乾燥後
のインク６の形状の平坦性を確保するためには、それぞ
れのインク６の固有の流動特性に適合した乾燥条件を採
用する必要がある。
有の物性、例えば、粘度、表面張力等に起因するそれぞ
れの流動特性（レオロジー特性）を有するため、乾燥後
のインク６の形状の平坦性を確保するためには、それぞ
れのインク６の固有の流動特性に適合した乾燥条件を採
用する必要がある。
【００２５】図２（ａ）に示すように、本発明のカラー
フィルタの製造方法によって得られたカラーフィルタに
おける乾燥後のインク６のそれぞれの形状は、各色とも
それぞれ最適な乾燥条件を採用しているため、インク６
の色の如何に関わらず、バンク５ａの所定パターンの間
隙に配設した直後の断面形状１７が凸形状であったもの
が、乾燥途上の断面形状１８を経て平坦な形状１９を有
するものとなる。
フィルタの製造方法によって得られたカラーフィルタに
おける乾燥後のインク６のそれぞれの形状は、各色とも
それぞれ最適な乾燥条件を採用しているため、インク６
の色の如何に関わらず、バンク５ａの所定パターンの間
隙に配設した直後の断面形状１７が凸形状であったもの
が、乾燥途上の断面形状１８を経て平坦な形状１９を有
するものとなる。
【００２６】一方、従来の方法では、乾燥条件がインク
６の流動特性と適合しない場合は、図２（ｂ）に示すよ
うに、凹形状２０、又は図２（ｃ）に示すように、凸形
状２１となり易く、平坦性を確保することが困難で、表
示装置に用いられた場合、画素色調のバラツキの原因と
なり易い。一般に、粘度の低いインク６程、凹形状２０
になり易く、粘度の高いインク程、凸形状２１になり易
い。
６の流動特性と適合しない場合は、図２（ｂ）に示すよ
うに、凹形状２０、又は図２（ｃ）に示すように、凸形
状２１となり易く、平坦性を確保することが困難で、表
示装置に用いられた場合、画素色調のバラツキの原因と
なり易い。一般に、粘度の低いインク６程、凹形状２０
になり易く、粘度の高いインク程、凸形状２１になり易
い。
【００２７】以下、本発明のカラーフィルタの製造方法
を、図１を用いてさらに具体的に説明する。
を、図１を用いてさらに具体的に説明する。
【００２８】まず、図１（ａ）に示すように、透明ガラ
ス基板、アクリル等のプラスチック基板（フィルム）等
の光透過性基板及びこれらの表面処理品、又は反射膜が
基板上に形成された反射性の基板等の基板１上に、遮光
層（例えば、遮光性薄膜金属層）２ａ（図１（ｄ）参
照）を形成する材料として、クロム、ニッケル、アルミ
ニウム等の電子デバイス加工プロセスで汎用されている
金属を用い（薄膜形成が簡便であること及びフォトレジ
ストエッチングを含む全工程の効率を高めることができ
るものが好ましい）、金属薄膜２を形成し、この金属薄
膜２を、例えば、ドライめっき法で付着させる。この場
合、金属薄膜２の厚さは、０．１〜０．５μｍであるこ
とが好ましい。０．１μｍ未満であると、十分な遮光性
が得られないことがあり、０．５μｍを超えると、得ら
れた金属薄膜２の密着性、脆性等が低下することがあ
る。
ス基板、アクリル等のプラスチック基板（フィルム）等
の光透過性基板及びこれらの表面処理品、又は反射膜が
基板上に形成された反射性の基板等の基板１上に、遮光
層（例えば、遮光性薄膜金属層）２ａ（図１（ｄ）参
照）を形成する材料として、クロム、ニッケル、アルミ
ニウム等の電子デバイス加工プロセスで汎用されている
金属を用い（薄膜形成が簡便であること及びフォトレジ
ストエッチングを含む全工程の効率を高めることができ
るものが好ましい）、金属薄膜２を形成し、この金属薄
膜２を、例えば、ドライめっき法で付着させる。この場
合、金属薄膜２の厚さは、０．１〜０．５μｍであるこ
とが好ましい。０．１μｍ未満であると、十分な遮光性
が得られないことがあり、０．５μｍを超えると、得ら
れた金属薄膜２の密着性、脆性等が低下することがあ
る。
【００２９】次に、図１（ｂ）〜（ｄ）に示すように、
遮光層２ａを形成するが、本実施の形態においては、フ
ォトレジストエッチング法を用いる場合を説明する。す
なわち、マスク３及び第１の感光性樹脂４を用いて露
光、現像等し、金属薄膜２のうち、基板１上の画素形成
領域となるパターン区画間隙部分に対応する部分を除去
し、所定のマトリックスパターン形状の遮光層２ａを得
る。この場合、第１の感光性樹脂４の厚さは、０．８〜
１．２μｍが好ましい。
遮光層２ａを形成するが、本実施の形態においては、フ
ォトレジストエッチング法を用いる場合を説明する。す
なわち、マスク３及び第１の感光性樹脂４を用いて露
光、現像等し、金属薄膜２のうち、基板１上の画素形成
領域となるパターン区画間隙部分に対応する部分を除去
し、所定のマトリックスパターン形状の遮光層２ａを得
る。この場合、第１の感光性樹脂４の厚さは、０．８〜
１．２μｍが好ましい。
【００３０】次に、図２（ｅ）〜（ｇ）に示すように、
バンク５ａを形成するが、本実施の形態においては、フ
ォトレジストエッチング法を用いる場合を説明する。す
なわち、遮光層２ａの上に、第２の感光性樹脂５を用い
たフォトレジストエッチング法によって、所定パターン
のバンク５ａを形成する。この場合、第２の感光性樹脂
５の厚さは、１．５〜５μｍが好ましい。第２の感光性
樹脂５の役割は、インクを配設すべきマトリックスパタ
ーン間隙をバンクとして仕切り、隣接するインク相互の
混色を防止することにある。
バンク５ａを形成するが、本実施の形態においては、フ
ォトレジストエッチング法を用いる場合を説明する。す
なわち、遮光層２ａの上に、第２の感光性樹脂５を用い
たフォトレジストエッチング法によって、所定パターン
のバンク５ａを形成する。この場合、第２の感光性樹脂
５の厚さは、１．５〜５μｍが好ましい。第２の感光性
樹脂５の役割は、インクを配設すべきマトリックスパタ
ーン間隙をバンクとして仕切り、隣接するインク相互の
混色を防止することにある。
【００３１】なお、第１の感光性樹脂４のマトリックス
パターンと第２の感光性樹脂５のマトリックスパターン
とは重ね合わせる必要がある。重ね合わせ精度は、平均
的に、第１の感光性樹脂４のパターン幅（第２の感光性
樹脂５のパターン幅より広く設定する）から第２の感光
性樹脂５のパターン幅を差し引いた値が５μｍ程度とな
るものであることが好ましい。この第２の感光性樹脂５
からなるバンク５ａの高さは、乾燥後に画素として形成
されるインクの膜厚との関係で決定される。第２の感光
性樹脂５としては、水に対する接触角が大きく、撥水性
に優れたものであるものが好ましい。
パターンと第２の感光性樹脂５のマトリックスパターン
とは重ね合わせる必要がある。重ね合わせ精度は、平均
的に、第１の感光性樹脂４のパターン幅（第２の感光性
樹脂５のパターン幅より広く設定する）から第２の感光
性樹脂５のパターン幅を差し引いた値が５μｍ程度とな
るものであることが好ましい。この第２の感光性樹脂５
からなるバンク５ａの高さは、乾燥後に画素として形成
されるインクの膜厚との関係で決定される。第２の感光
性樹脂５としては、水に対する接触角が大きく、撥水性
に優れたものであるものが好ましい。
【００３２】また、バンク５ａとしては、特に黒色のも
のを用いる必要はない。例えば、ウレタン系又はアクリ
ル系光硬化型の感光性樹脂組成物を好適例として挙げる
ことができる。
のを用いる必要はない。例えば、ウレタン系又はアクリ
ル系光硬化型の感光性樹脂組成物を好適例として挙げる
ことができる。
【００３３】次に、図１（ｈ）に示すように、所定の色
に対応したインクをそれぞれ配設するが、本実施の形態
では、インクを配設する方法として、インクジェットプ
リンティング方式（プリンティングヘッドを用いたイン
クジェット技法）で行う場合を説明する。前述のよう
に、インクジェットプリンティング方式は、５０μｍ角
のような微細な面積に精度よくインクを配設したい場
合、吐出するインク滴を微細化し、吐出インク滴数を制
御することができることから好ましい方法である。
に対応したインクをそれぞれ配設するが、本実施の形態
では、インクを配設する方法として、インクジェットプ
リンティング方式（プリンティングヘッドを用いたイン
クジェット技法）で行う場合を説明する。前述のよう
に、インクジェットプリンティング方式は、５０μｍ角
のような微細な面積に精度よくインクを配設したい場
合、吐出するインク滴を微細化し、吐出インク滴数を制
御することができることから好ましい方法である。
【００３４】また、インクジェットプリンティング方式
を用いることによって、フォトリソグラフィ法を用いる
場合のような複雑な工程を経る必要もなく、材料を浪費
することもないので環境に対する負荷を低減することが
できる。
を用いることによって、フォトリソグラフィ法を用いる
場合のような複雑な工程を経る必要もなく、材料を浪費
することもないので環境に対する負荷を低減することが
できる。
【００３５】具体的には、微細化したインク６の液滴
（インク滴）を精度よく目標とする位置、すなわちマト
リックスパターン間隙に配設するため、インク滴のサイ
ズをターゲットであるバンク５ａの所定のパターン（例
えば、マトリックスパターン）間隙のサイズに合わせて
制御することが好ましい。インク６の液滴サイズは、５
０μｍ角程度の画素サイズの形成に対応させるために
は、６〜３０ピコリットルに制御することが好ましい。
スループットを考慮すれば、１２〜２０ピコリットルが
さらに好ましい。また、インクジェットプリンティング
ヘッドからインク滴を飛翔させ、ターゲットに正確に到
達させて付着させるためには、インク滴が飛翔途中に分
裂するがことなく、しかも真っ直ぐに飛翔するような条
件を適宜選択して制御することが好ましい。
（インク滴）を精度よく目標とする位置、すなわちマト
リックスパターン間隙に配設するため、インク滴のサイ
ズをターゲットであるバンク５ａの所定のパターン（例
えば、マトリックスパターン）間隙のサイズに合わせて
制御することが好ましい。インク６の液滴サイズは、５
０μｍ角程度の画素サイズの形成に対応させるために
は、６〜３０ピコリットルに制御することが好ましい。
スループットを考慮すれば、１２〜２０ピコリットルが
さらに好ましい。また、インクジェットプリンティング
ヘッドからインク滴を飛翔させ、ターゲットに正確に到
達させて付着させるためには、インク滴が飛翔途中に分
裂するがことなく、しかも真っ直ぐに飛翔するような条
件を適宜選択して制御することが好ましい。
【００３６】次に、図１（ｉ）に示すように、所定の色
に対応したインクのそれぞれを上述の最適な条件で乾
燥、硬化させる。すなわち、前記所定の色に対応したイ
ンクの構成に関しては、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ
（青）の三色に対応するとともに、それぞれ、有機顔
料、アクリル系樹脂、モノマー、分散溶剤及び高沸点溶
媒を含むものを用いることが平坦化の上で好ましい。
に対応したインクのそれぞれを上述の最適な条件で乾
燥、硬化させる。すなわち、前記所定の色に対応したイ
ンクの構成に関しては、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ
（青）の三色に対応するとともに、それぞれ、有機顔
料、アクリル系樹脂、モノマー、分散溶剤及び高沸点溶
媒を含むものを用いることが平坦化の上で好ましい。
【００３７】このように、高沸点溶媒（沸点が２００〜
３００℃の溶剤）、例えば、ジエチレングリコールモノ
−ｎ−ブチルエーテルアセテート等を用いることによっ
て、乾燥途上のインクの形状の平坦性を改善することが
できる。
３００℃の溶剤）、例えば、ジエチレングリコールモノ
−ｎ−ブチルエーテルアセテート等を用いることによっ
て、乾燥途上のインクの形状の平坦性を改善することが
できる。
【００３８】また、所定の色に対応したインクに含まれ
る分散溶剤として、Ｇ（緑）色のインクにメトキシブチ
ルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテート等を、Ｒ（赤）色のインクにエチルエトキ
シプロピオネート、プロピレングリコールモノメチルエ
ーテルアセテート等を、かつＢ（青）の色のインクにプ
ロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エ
チル−３−エトキシプロピオネート等をそれぞれ用いる
ことによって、各色最適な膜を得る上で好ましい。
る分散溶剤として、Ｇ（緑）色のインクにメトキシブチ
ルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテート等を、Ｒ（赤）色のインクにエチルエトキ
シプロピオネート、プロピレングリコールモノメチルエ
ーテルアセテート等を、かつＢ（青）の色のインクにプ
ロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エ
チル−３−エトキシプロピオネート等をそれぞれ用いる
ことによって、各色最適な膜を得る上で好ましい。
【００３９】具体的には、初めに、Ｇ（緑）の色のイン
ク、次いで、Ｒ（赤）色のインク、最後に、Ｂ（青）色
のインクの順番で乾燥させることが、各色最適な膜を得
る上で好ましい。
ク、次いで、Ｒ（赤）色のインク、最後に、Ｂ（青）色
のインクの順番で乾燥させることが、各色最適な膜を得
る上で好ましい。
【００４０】このように構成することによって、カラー
フィルタに用いられる複数の画素の色にそれぞれ対応し
たインクの、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性を確保す
ることができ、表示装置に用いられた場合に、色調のバ
ラツキを抑制する（ΔＥ＊ａｂで算出した色差を３以下
に収斂させる）ことができる。
フィルタに用いられる複数の画素の色にそれぞれ対応し
たインクの、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性を確保す
ることができ、表示装置に用いられた場合に、色調のバ
ラツキを抑制する（ΔＥ＊ａｂで算出した色差を３以下
に収斂させる）ことができる。
【００４１】ここで、ΔＥ＊ａｂで算出した色差とは、
均等色空間（Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系）における二つの試料
間の色の差（座標上の距離）を意味する。
均等色空間（Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系）における二つの試料
間の色の差（座標上の距離）を意味する。
【００４２】最後に、図１（ｊ）〜（ｋ）に示すよう
に、表示装置におけるカラーフィルタ用基板とするた
め、表面を平坦化させるための平坦化層（オーバーコー
ト層）７を形成し、さらに、必要に応じて、その表面に
共通電極１０を形成してもよい。
に、表示装置におけるカラーフィルタ用基板とするた
め、表面を平坦化させるための平坦化層（オーバーコー
ト層）７を形成し、さらに、必要に応じて、その表面に
共通電極１０を形成してもよい。
【００４３】本発明の液晶表示装置の製造方法は、ま
ず、上述のカラーフィルタの製造方法を用いてカラーフ
ィルタを製造する。すなわち、基板上に形成した所定パ
ターンを有する遮光層上に、樹脂による所定パターンの
バンクを形成し、バンクの所定パターンの間隙に、所定
の色に対応したインクをそれぞれ配設した後に、所定の
色に対応したインクのそれぞれを乾燥させてカラーフィ
ルタを作製するに際し、所定の色に対応したインクのそ
れぞれを、そのインクが有する粘度の大きさに応じて、
粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調のバラ
ツキが抑制される（ΔＥ＊ａｂで算出した色差が３以下
に収斂する）ように、乾燥後のインクの形状の平坦性を
確保してカラーフィルタを作製する。
ず、上述のカラーフィルタの製造方法を用いてカラーフ
ィルタを製造する。すなわち、基板上に形成した所定パ
ターンを有する遮光層上に、樹脂による所定パターンの
バンクを形成し、バンクの所定パターンの間隙に、所定
の色に対応したインクをそれぞれ配設した後に、所定の
色に対応したインクのそれぞれを乾燥させてカラーフィ
ルタを作製するに際し、所定の色に対応したインクのそ
れぞれを、そのインクが有する粘度の大きさに応じて、
粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調のバラ
ツキが抑制される（ΔＥ＊ａｂで算出した色差が３以下
に収斂する）ように、乾燥後のインクの形状の平坦性を
確保してカラーフィルタを作製する。
【００４４】次いで、カラーフィルタのインクが乾燥、
硬化した後、その上面に平坦化層を配設し、この平坦化
層上に一の電極（共通電極）を配設してカラーフィルタ
用基板を形成し、カラーフィルタ用基板と、カラーフィ
ルタに用いられた基板（共通電極）に対向して一対の対
向基板を形成する、他の電極（画素電極）が配設された
他の基板（画素電極基板）とが形成する間隙に液晶を封
入することを特徴とする。
硬化した後、その上面に平坦化層を配設し、この平坦化
層上に一の電極（共通電極）を配設してカラーフィルタ
用基板を形成し、カラーフィルタ用基板と、カラーフィ
ルタに用いられた基板（共通電極）に対向して一対の対
向基板を形成する、他の電極（画素電極）が配設された
他の基板（画素電極基板）とが形成する間隙に液晶を封
入することを特徴とする。
【００４５】図３に、本発明の液晶表示装置の製造方法
を用いて得られる液晶表示装置を示す。
を用いて得られる液晶表示装置を示す。
【００４６】図３に示すように、画素電極１３に対向す
る位置にＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色の画素
が配列するようにカラーフィルタ９を配置する。
る位置にＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色の画素
が配列するようにカラーフィルタ９を配置する。
【００４７】また、基板１及びガラス基板１４の面内に
は配向膜１１を形成し、これをラビング処理することに
より液晶分子を一定方向に配列させることができる。ま
た、それぞれの基板１、１４の外側には偏光板１５を接
着、配置し、液晶組成物１２はこの基板１、１４の間隙
に充填する。また、通常、バックライト光（図示せず）
として、蛍光灯と散乱板との組み合わせが用いる。この
場合、液晶組成物１２を、バックライト光の透過率を変
化させる光シャッターとして機能させてもよい。
は配向膜１１を形成し、これをラビング処理することに
より液晶分子を一定方向に配列させることができる。ま
た、それぞれの基板１、１４の外側には偏光板１５を接
着、配置し、液晶組成物１２はこの基板１、１４の間隙
に充填する。また、通常、バックライト光（図示せず）
として、蛍光灯と散乱板との組み合わせが用いる。この
場合、液晶組成物１２を、バックライト光の透過率を変
化させる光シャッターとして機能させてもよい。
【００４８】
【実施例】以下、本発明を実施例によってさらに具体的
に説明するが、本発明はこれらの実施例によっていかな
る制限を受けるものではない。
に説明するが、本発明はこれらの実施例によっていかな
る制限を受けるものではない。
【００４９】実施例１ 厚さ０．７ｍｍ、縦３７ｃｍ、横３０ｃｍの無アルカリ
ガラス透明基板の表面を、熱濃厚硫酸に過酸化水素水を
１％添加した洗浄液で洗浄し、純水でリンスの後、エア
乾燥を行って清浄表面を有する透明基板を得た。この表
面に、スパッタリング法によって、クロム皮膜を皮膜厚
さ平均０．２μｍで形成した。この表面に、フォトレジ
スト（東京応化（株）製、商品名：ＯＦＰＲ−８００）
をスピンコートした。基板を、ホットプレート上で、８
０℃で、５分間乾燥し、フォトレジスト皮膜を形成し
た。この基板表面に、所定のマトリックスパターン形状
を描画したマスクフィルムを密着し、ＵＶ露光を行っ
た。次に、これを、水酸化カリュウム８％のアルカリ現
像液に浸漬して露光部の画素部分のフォトレジストを除
去した。続いて、露出した画素部クロム皮膜を塩酸を主
成分とするエッチング液でエッチング除去した。このよ
うにして、所定のマトリックスパターンの第１の感光性
樹脂層及び遮光層（ブラックマトリックス（略称：Ｂ
Ｍ））を得た。
ガラス透明基板の表面を、熱濃厚硫酸に過酸化水素水を
１％添加した洗浄液で洗浄し、純水でリンスの後、エア
乾燥を行って清浄表面を有する透明基板を得た。この表
面に、スパッタリング法によって、クロム皮膜を皮膜厚
さ平均０．２μｍで形成した。この表面に、フォトレジ
スト（東京応化（株）製、商品名：ＯＦＰＲ−８００）
をスピンコートした。基板を、ホットプレート上で、８
０℃で、５分間乾燥し、フォトレジスト皮膜を形成し
た。この基板表面に、所定のマトリックスパターン形状
を描画したマスクフィルムを密着し、ＵＶ露光を行っ
た。次に、これを、水酸化カリュウム８％のアルカリ現
像液に浸漬して露光部の画素部分のフォトレジストを除
去した。続いて、露出した画素部クロム皮膜を塩酸を主
成分とするエッチング液でエッチング除去した。このよ
うにして、所定のマトリックスパターンの第１の感光性
樹脂層及び遮光層（ブラックマトリックス（略称：Ｂ
Ｍ））を得た。
【００５０】この基板上に、第２の感光性樹脂層とし
て、ネガタイプ透明アクリル系感光性樹脂組成物をスピ
ンコート法で塗布した。１００℃で２０分間プレベーク
した後、クロムマトリックスパターンのパターニングに
使用したマスクの補正版を用いてＵＶ露光を行った。未
露光部分である画素部分の樹脂を、アルカリ性の現像液
で現像し、純水でリンスの後スピン乾燥した。最終乾燥
としてのアフターベークを２００℃で３０分間行い、樹
脂部を十分硬化させてバンクを得た。このバンクの厚さ
は、平均２．５μｍであった。
て、ネガタイプ透明アクリル系感光性樹脂組成物をスピ
ンコート法で塗布した。１００℃で２０分間プレベーク
した後、クロムマトリックスパターンのパターニングに
使用したマスクの補正版を用いてＵＶ露光を行った。未
露光部分である画素部分の樹脂を、アルカリ性の現像液
で現像し、純水でリンスの後スピン乾燥した。最終乾燥
としてのアフターベークを２００℃で３０分間行い、樹
脂部を十分硬化させてバンクを得た。このバンクの厚さ
は、平均２．５μｍであった。
【００５１】この基板上パターン間隙画素部分に、イン
クジェットプリンティングヘッドから色材であるインク
を高精度で制御しつつ吐出、塗布した。インクジェット
プリンティングヘッドには、ピエゾ圧電効果応用の精密
ヘッドを使用し、インク滴は８〜１０ピコリットルの微
小滴を画素毎に３〜８滴ずつ、各色を選択的に飛ばし
た。ヘッドよりターゲットである画素間隙への飛翔速
度、飛行曲がり、サテライトと称される分裂迷走滴発生
防止のためには、インクの物性はもとよりヘッドのピエ
ゾ素子を駆動する電圧と、その波形が重要であることか
ら、あらかじめ条件設定した波形をプログラムして、イ
ンク滴をＧ（緑）、Ｒ（赤）及びＢ（青）の順番で吐出
し、塗布した。
クジェットプリンティングヘッドから色材であるインク
を高精度で制御しつつ吐出、塗布した。インクジェット
プリンティングヘッドには、ピエゾ圧電効果応用の精密
ヘッドを使用し、インク滴は８〜１０ピコリットルの微
小滴を画素毎に３〜８滴ずつ、各色を選択的に飛ばし
た。ヘッドよりターゲットである画素間隙への飛翔速
度、飛行曲がり、サテライトと称される分裂迷走滴発生
防止のためには、インクの物性はもとよりヘッドのピエ
ゾ素子を駆動する電圧と、その波形が重要であることか
ら、あらかじめ条件設定した波形をプログラムして、イ
ンク滴をＧ（緑）、Ｒ（赤）及びＢ（青）の順番で吐出
し、塗布した。
【００５２】インクとしては、ポリウレタン樹脂オリゴ
マーに有機顔料を分散させた後、低沸点溶剤としてシク
ロヘキサノン、酢酸ブチルを、また高沸点溶剤としてブ
チルカルビトールアセテートを加え、さらに非イオン系
界面活性剤０．０１％を分散剤として添加したものを用
い、かつ、各色のインクとして、表１に示す構成のもの
を用いた。
マーに有機顔料を分散させた後、低沸点溶剤としてシク
ロヘキサノン、酢酸ブチルを、また高沸点溶剤としてブ
チルカルビトールアセテートを加え、さらに非イオン系
界面活性剤０．０１％を分散剤として添加したものを用
い、かつ、各色のインクとして、表１に示す構成のもの
を用いた。
【００５３】
【表１】
【００５４】上記のようにして得られた基板に、透明ア
クリル樹脂塗料を平坦化層（オーバーコート）としてス
ピンコートし、平坦化された面を得た。さらにこの上面
にＩＴＯ電極膜を所定のパターンに形成して、カラーフ
ィルタ（用基板）とした。得られたカラーフィルタ（用
基板）は、熱サイクル耐久試験、紫外線照射試験、加湿
試験等の耐久試験に合格し、液晶表示装置用の基板とし
て好適に用い得ることを確認した。
クリル樹脂塗料を平坦化層（オーバーコート）としてス
ピンコートし、平坦化された面を得た。さらにこの上面
にＩＴＯ電極膜を所定のパターンに形成して、カラーフ
ィルタ（用基板）とした。得られたカラーフィルタ（用
基板）は、熱サイクル耐久試験、紫外線照射試験、加湿
試験等の耐久試験に合格し、液晶表示装置用の基板とし
て好適に用い得ることを確認した。
【００５５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によって、
複数の画素の色にそれぞれ対応したインクの、乾燥後の
それぞれの形状の平坦性が確保されるとともに、表示装
置に用いられた場合に、色調のバラツキを抑制する（Δ
Ｅ＊ａｂで算出した色差を３以下に収斂させる）ことが
可能なカラーフィルタを得ることができる、特に、ノー
ト型パソコン、デスクトップ型パソコン、車載用ナビゲ
ーションシステム、電子スチルカメラ、ゲーム機器、プ
ロジェクタ、携帯電話等の電子機器に好適に用いられる
カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法
を提供することができる。
複数の画素の色にそれぞれ対応したインクの、乾燥後の
それぞれの形状の平坦性が確保されるとともに、表示装
置に用いられた場合に、色調のバラツキを抑制する（Δ
Ｅ＊ａｂで算出した色差を３以下に収斂させる）ことが
可能なカラーフィルタを得ることができる、特に、ノー
ト型パソコン、デスクトップ型パソコン、車載用ナビゲ
ーションシステム、電子スチルカメラ、ゲーム機器、プ
ロジェクタ、携帯電話等の電子機器に好適に用いられる
カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法
を提供することができる。
【図１】本発明のカラーフィルタの製造方法の一の実施
の形態を流れ工程順に模式的に示す断面図である。
の形態を流れ工程順に模式的に示す断面図である。
【図２】インク配設直後、乾燥途上及び乾燥後のインク
の形状を模式的に示す断面図である。
の形状を模式的に示す断面図である。
【図３】本発明の液晶表示装置の一の実施の形態を模式
的に示す断面図である。
的に示す断面図である。
１…（透明）基板 ２…金属薄膜 ２ａ…遮光層 ３…マスク ４…第１の感光性樹脂層 ５…第２の感光性樹脂層 ５ａ…バンク ６…インク ７…平坦化層（オーバーコート） ９…カラーフィルタ １０…共通電極 １１…配向膜 １２…液晶組成物 １３…画素電極 １４…ガラス基板 １５…偏向板 １７…インクの配設直後の断面形状 １８…インクの乾燥途上の断面形状 １９…平坦形状 ２０…凹形状 ２１…凸形状
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川瀬 智己 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 (72)発明者 有賀 久 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C056 EA11 FB01 HA46 2H048 BA02 BA11 BA57 BA64 BB01 BB02 BB14 BB42 2H086 BA04 BA05 BA15 BA54 BA55 BA59 BA61 2H091 FA02Y FB02 FC01 FC26 LA12 LA15 LA18
Claims (11)
- 【請求項１】 基板上に形成した所定パターンを有する
遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンクを形成
し、前記バンクの所定パターンの間隙に、所定の色に対
応したインクをそれぞれ配設した後に、前記所定の色に
対応したインクのそれぞれを乾燥させるカラーフィルタ
の製造方法であって、 前記所定の色に対応したインクのそれぞれを、そのイン
クが有する粘度の大きさに応じて、粘度の大きなものほ
ど高い温度で乾燥させ、色調のバラツキが抑制される
（ΔＥ＊ａｂで算出した色差が３以下に収斂する）よう
に、乾燥後の前記インクの形状の平坦性を確保すること
を特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項２】 前記所定の色に対応したインクとして、
Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色に対応するとと
もに、それぞれ、有機顔料、アクリル系樹脂、モノマ
ー、分散溶剤及び高沸点溶媒を含むものを用いる請求項
１に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項３】 前記所定の色に対応したインクの粘度
が、Ｇ（緑）色のインクが８〜１２ｍＰａ・ｓで、Ｒ
（赤）色のインクが６〜１０ｍＰａ・ｓで、かつＢ
（青）の色のインクが４〜８ｍＰａ・ｓである請求項１
又は２に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項４】 前記Ｇ（緑）色のインクを最も高温で、
Ｒ（赤）色のインクを中間の温度で、及びＢ（青）の色
のインクを最も低温で、それぞれ乾燥させる請求項１〜
３のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項５】 前記Ｇ（緑）色のインクを４０〜６０℃
で、前記Ｒ（赤）色のインクを３０〜５０℃で、かつ前
記Ｂ（青）の色のインクを２０〜４０℃で乾燥させる請
求項１〜４のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方
法。 - 【請求項６】 初めに、粘度の最も大きなインク、次い
で、中間の粘度を有するインク、最後に、粘度の最も小
さなインクの順番で乾燥させる請求項１〜５のいずれか
に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項７】 初めに、前記Ｇ（緑）の色のインク、次
いで、前記Ｒ（赤）色のインク、最後に、前記Ｂ（青）
色のインクの順番で乾燥させる請求項６に記載のカラー
フィルタの製造方法。 - 【請求項８】 前記バンクの所定パターンの間隙に前記
所定の色に対応した前記インクのそれぞれを、インクジ
ェットプリンティングヘッドを用いて配設する請求項１
〜７のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項９】 基板上に形成した所定パターンを有する
遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンクを形成
し、前記バンクの所定パターンの間隙に、所定の色に対
応したインクをそれぞれ配設した後に、前記所定の色に
対応したインクのそれぞれを乾燥させてカラーフィルタ
を作製するに際し、前記所定の色に対応したインクのそ
れぞれを、そのインクが有する粘度の大きさに応じて、
粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調のバラ
ツキが抑制される（ΔＥ＊ａｂで算出した色差が３以下
に収斂する）ように、乾燥後の前記インクの形状の平坦
性を確保してカラーフィルタを作製し、前記カラーフィ
ルタのインクが乾燥、硬化した後、その上面に平坦化層
を配設し、この平坦化層上に一の電極（共通電極）を配
設してカラーフィルタ用基板を形成し、前記カラーフィ
ルタ用基板と、前記カラーフィルタに用いられた基板
（共通電極）に対向して一対の対向基板を形成する、他
の電極（画素電極）を配設した他の基板（画素電極基
板）とが形成する間隙に液晶を封入することを特徴とす
る液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項１０】 前記所定の色に対応したインクとし
て、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色に対応する
とともに、それぞれ、有機顔料、アクリル系樹脂、モノ
マー、分散溶剤及び高沸点溶媒を含むものを用いる請求
項９に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項１１】 前記マトリックスパターンの間隙に前
記所定の色に対応した前記インクのそれぞれを、インク
ジェットプリンティングヘッドを用いて配設する請求項
９又は１０に記載の液晶表示装置の製造方法。
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