JP2002372613A - カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法Info
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Abstract
の、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性が確保されるとと
もに、表示装置に用いられた場合に、色調のバラツキを
抑制する(ΔE*abで算出した色差を3以下に収斂さ
せる)ことが可能なカラーフィルタを得ることができる
カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法
を提供する。 【解決手段】 基板1上に形成した所定パターンを有す
る遮光層2a上に、樹脂による所定パターンのバンク5
aを形成し、バンク5aの所定パターンの間隙に、所定
の色に対応したインク6をそれぞれ配設した後に、所定
の色に対応したインクのそれぞれを乾燥させるカラーフ
ィルタの製造方法であって、所定の色に対応したインク
6のそれぞれを、そのインク6が有する粘度の大きさに
応じて、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色
調のバラツキが抑制される(ΔE*abで算出した色差
が3以下に収斂する)ように、乾燥後のインク6の形状
の平坦性を確保する。
Description
製造方法及び液晶表示装置の製造方法に関する。さらに
詳しくは、複数の画素の色にそれぞれ対応したインク
の、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性が確保されるとと
もに、表示装置に用いられた場合に、色調のバラツキを
抑制する(ΔE*abで算出した色差を3以下に収斂さ
せる)ことが可能なカラーフィルタを得ることができ
る、特に、ノート型パソコン、デスクトップ型パソコ
ン、車載用ナビゲーションシステム、電子スチルカメ
ラ、ゲーム機器、プロジェクタ、携帯電話等の電子機器
に好適に用いられるカラーフィルタの製造方法及び液晶
表示装置の製造方法に関する。
に、携帯用パーソナルコンピューターの進歩に伴い、電
子機器、例えば、ノート型パソコン、デスクトップ型パ
ソコン、車載用ナビゲーションシステム、電子スチルカ
メラ、ゲーム機器、プロジェクタ、携帯電話等に用いら
れるカラー液晶表示装置(ディスプレイ)の需要が急増
している。これに対応し、適正価格で高精細かつ美麗な
表示装置(ディスプレイ)を供給する手段の早急な確立
が求められている。
り、環境負荷を低減することが可能なプロセスの実現が
焦眉の急となっている。
ィルタの製造における画素の形成(着色)方法として、
インクジェットの印刷技法(インクジェットプリンティ
ング方式)が用いられるようになっている。
クジェットヘッドの加圧室にインク(例えば、熱硬化性
樹脂からなるR(赤)、G(緑)及びB(青)の三色の
画素形成用インク)をそれぞれ貯蔵し、圧電体素子の振
動による加圧室の体積変化を利用して画素形成用インク
を吐出させることによってカラーフィルタ用の基板上に
画素を形成するものであるが、従来から用いられてきた
フォトリソグラフィ技法による画素の形成技法のよう
に、遮光材料(例えば、クロム等の金属薄膜を所定形状
にパターン化したブラックマトリックス)及び各色に対
応した複数の画素の形成のため、これらのパターン形状
ごとに異なるパターンのマスクを用い、露光、現像、洗
浄等の煩雑な工程を経る必要がないため生産効率を向上
させることが可能であり、また、インク量の高度な制御
が可能であるため高精細なカラーフィルタの効率的な製
造を可能にするとともに、フォトリソグラフィ技法に比
べ材料を浪費することがないので環境に対する負荷を低
減することができるという点で優れた方法である。
フィルタは高精細化の一途を辿り、数10μm角という
微細なR(赤)、G(緑)及びB(青)の三色のそれぞ
れの、各種表示装置に用いられた場合における色調のバ
ラツキを小さく抑制する(ΔE*abで算出した色差を
3以下に収斂させる)ことへの要求が飛躍的に高まり、
インクジェット印刷技法を用いた場合であっても、従来
の方法のままでは十分に上述の要求に対応することがで
きなくなってきている。
を有する遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンク
を形成し、バンクの所定パターンの間隙に、複数の色に
対応した複数のインクのそれぞれを塗布した後に、イン
クのそれぞれを乾燥させるカラーフィルタを製造する場
合、所定の色に対応したインクは、それぞれの色によっ
て用いる有機顔料、分散溶媒等が異なること等から、そ
れぞれ有するの固有の物性、例えば、粘度、表面張力等
に起因する流動特性(レオロジー特性)も異なるものと
なり、全ての色を一律の条件で乾燥すると、上述のそれ
ぞれの色の流動特性の相違に起因して、形成されるそれ
ぞれの画素の形状の平坦性にバラツキを生じ、表示装置
に用いた場合に色調のバラツキ(色調ムラ)を発生させ
るという問題があった。
のであり、複数の画素の色にそれぞれ対応したインク
の、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性が確保されるとと
もに、表示装置に用いられた場合に、色調のバラツキを
抑制する(ΔE*abで算出した色差を3以下に収斂さ
せる)ことが可能なカラーフィルタを得ることができ
る、特に、ノート型パソコン、デスクトップ型パソコ
ン、車載用ナビゲーションシステム、電子スチルカメ
ラ、ゲーム機器、プロジェクタ、携帯電話等の電子機器
に好適に用いられるカラーフィルタの製造方法及び液晶
表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
を達成するため鋭意研究した結果、カラーフィルタに用
いられる複数の画素の色にそれぞれ対応したインクをそ
れぞれの最適な条件で乾燥させることによって、乾燥後
のそれぞれの形状の平坦性が確保されることを見出し、
本発明を完成させた。すなわち、本発明によって、以下
のカラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方
法が提供される。
有する遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンクを
形成し、前記バンクの所定パターンの間隙に、所定の色
に対応したインクをそれぞれ配設した後に、前記所定の
色に対応したインクのそれぞれを乾燥させるカラーフィ
ルタの製造方法であって、前記所定の色に対応したイン
クのそれぞれを、そのインクが有する粘度の大きさに応
じて、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調
のバラツキが抑制される(ΔE*abで算出した色差が
3以下に収斂する)ように、乾燥後の前記インクの形状
の平坦性を確保することを特徴とするカラーフィルタの
製造方法。
画素の色にそれぞれ対応したインクの、乾燥後のそれぞ
れの形状の平坦性が確保されるとともに、表示装置に用
いられた場合に、色調のバラツキを抑制する(ΔE*a
bで算出した色差を3以下に収斂させる)ことが可能な
カラーフィルタを得ることができる。
して、R(赤)、G(緑)及びB(青)の三色に対応す
るとともに、それぞれ、有機顔料、アクリル系樹脂、モ
ノマー、分散溶剤及び高沸点溶媒を含むものを用いる前
記[1]に記載のカラーフィルタの製造方法。
粘度が、G(緑)色のインクが8〜12mPa・sで、
R(赤)色のインクが6〜10mPa・sで、かつB
(青)の色のインクが4〜8mPa・sである前記
[1]又は[2]に記載のカラーフィルタの製造方法。
温で、R(赤)色のインクを中間の温度で、及びB
(青)の色のインクを最も低温で、それぞれ乾燥させる
前記[1]〜[3]のいずれかに記載のカラーフィルタ
の製造方法。
60℃で、前記R(赤)色のインクを30〜50℃で、
かつ前記B(青)の色のインクを20〜40℃で乾燥さ
せる前記[1]〜[4]のいずれかに記載のカラーフィ
ルタの製造方法。
ク、次いで、中間の粘度を有するインク、最後に、粘度
の最も小さなインクの順番で乾燥させる前記[1]〜
[5]のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
ク、次いで、前記R(赤)色のインク、最後に、前記色
B(青)のインクの順番で乾燥させる前記[6]に記載
のカラーフィルタの製造方法。
に前記所定の色に対応した前記インクのそれぞれを、イ
ンクジェットプリンティングヘッドを用いて配設する前
記[1]〜[7]のいずれかに記載のカラーフィルタの
製造方法。
有する遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンクを
形成し、前記バンクの所定パターンの間隙に、所定の色
に対応したインクをそれぞれ配設した後に、前記所定の
色に対応したインクのそれぞれを乾燥させてカラーフィ
ルタを作製するに際し、前記所定の色に対応したインク
のそれぞれを、そのインクが有する粘度の大きさに応じ
て、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調の
バラツキが抑制される(ΔE*abで算出した色差が3
以下に収斂する)ように、乾燥後の前記インクの形状の
平坦性を確保してカラーフィルタを作製し、前記カラー
フィルタのインクが乾燥、硬化した後、その上面に平坦
化層を配設し、この平坦化層上に一の電極(共通電極)
を配設してカラーフィルタ用基板を形成し、前記カラー
フィルタ用基板と、前記カラーフィルタに用いられた基
板(共通電極)に対向して一対の対向基板を形成する、
他の電極(画素電極)が配設された他の基板(画素電極
基板)とが形成する間隙に液晶を封入することを特徴と
する液晶表示装置の製造方法。
として、R(赤)、G(緑)及びB(青)の三色に対応
するとともに、それぞれ、有機顔料、アクリル系樹脂、
モノマー、分散溶剤及び高沸点溶媒を含むものを用いる
前記[9]に記載の液晶表示装置の製造方法。
隙に前記所定の色に対応した前記インクのそれぞれを、
インクジェットプリンティングヘッドを用いて配設する
前記[9]又は[10]に記載の液晶表示装置の製造方
法。
的に説明する。
1にその流れ工程を示すように、基板1上に形成した所
定パターンを有する遮光層2a上に(図1(d)参
照)、樹脂による所定パターンのバンク5aを形成し
(図1(g)参照)、バンク5aの所定パターンの間隙
に、所定の色に対応したインク6をそれぞれ配設した後
に(図1(h)参照)、所定の色に対応したインクのそ
れぞれを乾燥させる(図1(i)参照)カラーフィルタ
の製造方法であって、所定の色に対応したインク6のそ
れぞれを、そのインク6が有する粘度の大きさに応じ
て、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調の
バラツキが抑制される(ΔE*abで算出した色差が3
以下に収斂する)ように、乾燥後のインク6の形状の平
坦性を確保することを特徴とする。
有の物性、例えば、粘度、表面張力等に起因するそれぞ
れの流動特性(レオロジー特性)を有するため、乾燥後
のインク6の形状の平坦性を確保するためには、それぞ
れのインク6の固有の流動特性に適合した乾燥条件を採
用する必要がある。
フィルタの製造方法によって得られたカラーフィルタに
おける乾燥後のインク6のそれぞれの形状は、各色とも
それぞれ最適な乾燥条件を採用しているため、インク6
の色の如何に関わらず、バンク5aの所定パターンの間
隙に配設した直後の断面形状17が凸形状であったもの
が、乾燥途上の断面形状18を経て平坦な形状19を有
するものとなる。
6の流動特性と適合しない場合は、図2(b)に示すよ
うに、凹形状20、又は図2(c)に示すように、凸形
状21となり易く、平坦性を確保することが困難で、表
示装置に用いられた場合、画素色調のバラツキの原因と
なり易い。一般に、粘度の低いインク6程、凹形状20
になり易く、粘度の高いインク程、凸形状21になり易
い。
を、図1を用いてさらに具体的に説明する。
ス基板、アクリル等のプラスチック基板(フィルム)等
の光透過性基板及びこれらの表面処理品、又は反射膜が
基板上に形成された反射性の基板等の基板1上に、遮光
層(例えば、遮光性薄膜金属層)2a(図1(d)参
照)を形成する材料として、クロム、ニッケル、アルミ
ニウム等の電子デバイス加工プロセスで汎用されている
金属を用い(薄膜形成が簡便であること及びフォトレジ
ストエッチングを含む全工程の効率を高めることができ
るものが好ましい)、金属薄膜2を形成し、この金属薄
膜2を、例えば、ドライめっき法で付着させる。この場
合、金属薄膜2の厚さは、0.1〜0.5μmであるこ
とが好ましい。0.1μm未満であると、十分な遮光性
が得られないことがあり、0.5μmを超えると、得ら
れた金属薄膜2の密着性、脆性等が低下することがあ
る。
遮光層2aを形成するが、本実施の形態においては、フ
ォトレジストエッチング法を用いる場合を説明する。す
なわち、マスク3及び第1の感光性樹脂4を用いて露
光、現像等し、金属薄膜2のうち、基板1上の画素形成
領域となるパターン区画間隙部分に対応する部分を除去
し、所定のマトリックスパターン形状の遮光層2aを得
る。この場合、第1の感光性樹脂4の厚さは、0.8〜
1.2μmが好ましい。
バンク5aを形成するが、本実施の形態においては、フ
ォトレジストエッチング法を用いる場合を説明する。す
なわち、遮光層2aの上に、第2の感光性樹脂5を用い
たフォトレジストエッチング法によって、所定パターン
のバンク5aを形成する。この場合、第2の感光性樹脂
5の厚さは、1.5〜5μmが好ましい。第2の感光性
樹脂5の役割は、インクを配設すべきマトリックスパタ
ーン間隙をバンクとして仕切り、隣接するインク相互の
混色を防止することにある。
パターンと第2の感光性樹脂5のマトリックスパターン
とは重ね合わせる必要がある。重ね合わせ精度は、平均
的に、第1の感光性樹脂4のパターン幅(第2の感光性
樹脂5のパターン幅より広く設定する)から第2の感光
性樹脂5のパターン幅を差し引いた値が5μm程度とな
るものであることが好ましい。この第2の感光性樹脂5
からなるバンク5aの高さは、乾燥後に画素として形成
されるインクの膜厚との関係で決定される。第2の感光
性樹脂5としては、水に対する接触角が大きく、撥水性
に優れたものであるものが好ましい。
のを用いる必要はない。例えば、ウレタン系又はアクリ
ル系光硬化型の感光性樹脂組成物を好適例として挙げる
ことができる。
に対応したインクをそれぞれ配設するが、本実施の形態
では、インクを配設する方法として、インクジェットプ
リンティング方式(プリンティングヘッドを用いたイン
クジェット技法)で行う場合を説明する。前述のよう
に、インクジェットプリンティング方式は、50μm角
のような微細な面積に精度よくインクを配設したい場
合、吐出するインク滴を微細化し、吐出インク滴数を制
御することができることから好ましい方法である。
を用いることによって、フォトリソグラフィ法を用いる
場合のような複雑な工程を経る必要もなく、材料を浪費
することもないので環境に対する負荷を低減することが
できる。
(インク滴)を精度よく目標とする位置、すなわちマト
リックスパターン間隙に配設するため、インク滴のサイ
ズをターゲットであるバンク5aの所定のパターン(例
えば、マトリックスパターン)間隙のサイズに合わせて
制御することが好ましい。インク6の液滴サイズは、5
0μm角程度の画素サイズの形成に対応させるために
は、6〜30ピコリットルに制御することが好ましい。
スループットを考慮すれば、12〜20ピコリットルが
さらに好ましい。また、インクジェットプリンティング
ヘッドからインク滴を飛翔させ、ターゲットに正確に到
達させて付着させるためには、インク滴が飛翔途中に分
裂するがことなく、しかも真っ直ぐに飛翔するような条
件を適宜選択して制御することが好ましい。
に対応したインクのそれぞれを上述の最適な条件で乾
燥、硬化させる。すなわち、前記所定の色に対応したイ
ンクの構成に関しては、R(赤)、G(緑)及びB
(青)の三色に対応するとともに、それぞれ、有機顔
料、アクリル系樹脂、モノマー、分散溶剤及び高沸点溶
媒を含むものを用いることが平坦化の上で好ましい。
300℃の溶剤)、例えば、ジエチレングリコールモノ
−n−ブチルエーテルアセテート等を用いることによっ
て、乾燥途上のインクの形状の平坦性を改善することが
できる。
る分散溶剤として、G(緑)色のインクにメトキシブチ
ルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテート等を、R(赤)色のインクにエチルエトキ
シプロピオネート、プロピレングリコールモノメチルエ
ーテルアセテート等を、かつB(青)の色のインクにプ
ロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エ
チル−3−エトキシプロピオネート等をそれぞれ用いる
ことによって、各色最適な膜を得る上で好ましい。
ク、次いで、R(赤)色のインク、最後に、B(青)色
のインクの順番で乾燥させることが、各色最適な膜を得
る上で好ましい。
フィルタに用いられる複数の画素の色にそれぞれ対応し
たインクの、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性を確保す
ることができ、表示装置に用いられた場合に、色調のバ
ラツキを抑制する(ΔE*abで算出した色差を3以下
に収斂させる)ことができる。
均等色空間(L*a*b*表色系)における二つの試料
間の色の差(座標上の距離)を意味する。
に、表示装置におけるカラーフィルタ用基板とするた
め、表面を平坦化させるための平坦化層(オーバーコー
ト層)7を形成し、さらに、必要に応じて、その表面に
共通電極10を形成してもよい。
ず、上述のカラーフィルタの製造方法を用いてカラーフ
ィルタを製造する。すなわち、基板上に形成した所定パ
ターンを有する遮光層上に、樹脂による所定パターンの
バンクを形成し、バンクの所定パターンの間隙に、所定
の色に対応したインクをそれぞれ配設した後に、所定の
色に対応したインクのそれぞれを乾燥させてカラーフィ
ルタを作製するに際し、所定の色に対応したインクのそ
れぞれを、そのインクが有する粘度の大きさに応じて、
粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調のバラ
ツキが抑制される(ΔE*abで算出した色差が3以下
に収斂する)ように、乾燥後のインクの形状の平坦性を
確保してカラーフィルタを作製する。
硬化した後、その上面に平坦化層を配設し、この平坦化
層上に一の電極(共通電極)を配設してカラーフィルタ
用基板を形成し、カラーフィルタ用基板と、カラーフィ
ルタに用いられた基板(共通電極)に対向して一対の対
向基板を形成する、他の電極(画素電極)が配設された
他の基板(画素電極基板)とが形成する間隙に液晶を封
入することを特徴とする。
を用いて得られる液晶表示装置を示す。
る位置にR(赤)、G(緑)及びB(青)の三色の画素
が配列するようにカラーフィルタ9を配置する。
は配向膜11を形成し、これをラビング処理することに
より液晶分子を一定方向に配列させることができる。ま
た、それぞれの基板1、14の外側には偏光板15を接
着、配置し、液晶組成物12はこの基板1、14の間隙
に充填する。また、通常、バックライト光(図示せず)
として、蛍光灯と散乱板との組み合わせが用いる。この
場合、液晶組成物12を、バックライト光の透過率を変
化させる光シャッターとして機能させてもよい。
に説明するが、本発明はこれらの実施例によっていかな
る制限を受けるものではない。
ガラス透明基板の表面を、熱濃厚硫酸に過酸化水素水を
1%添加した洗浄液で洗浄し、純水でリンスの後、エア
乾燥を行って清浄表面を有する透明基板を得た。この表
面に、スパッタリング法によって、クロム皮膜を皮膜厚
さ平均0.2μmで形成した。この表面に、フォトレジ
スト(東京応化(株)製、商品名:OFPR−800)
をスピンコートした。基板を、ホットプレート上で、8
0℃で、5分間乾燥し、フォトレジスト皮膜を形成し
た。この基板表面に、所定のマトリックスパターン形状
を描画したマスクフィルムを密着し、UV露光を行っ
た。次に、これを、水酸化カリュウム8%のアルカリ現
像液に浸漬して露光部の画素部分のフォトレジストを除
去した。続いて、露出した画素部クロム皮膜を塩酸を主
成分とするエッチング液でエッチング除去した。このよ
うにして、所定のマトリックスパターンの第1の感光性
樹脂層及び遮光層(ブラックマトリックス(略称:B
M))を得た。
て、ネガタイプ透明アクリル系感光性樹脂組成物をスピ
ンコート法で塗布した。100℃で20分間プレベーク
した後、クロムマトリックスパターンのパターニングに
使用したマスクの補正版を用いてUV露光を行った。未
露光部分である画素部分の樹脂を、アルカリ性の現像液
で現像し、純水でリンスの後スピン乾燥した。最終乾燥
としてのアフターベークを200℃で30分間行い、樹
脂部を十分硬化させてバンクを得た。このバンクの厚さ
は、平均2.5μmであった。
クジェットプリンティングヘッドから色材であるインク
を高精度で制御しつつ吐出、塗布した。インクジェット
プリンティングヘッドには、ピエゾ圧電効果応用の精密
ヘッドを使用し、インク滴は8〜10ピコリットルの微
小滴を画素毎に3〜8滴ずつ、各色を選択的に飛ばし
た。ヘッドよりターゲットである画素間隙への飛翔速
度、飛行曲がり、サテライトと称される分裂迷走滴発生
防止のためには、インクの物性はもとよりヘッドのピエ
ゾ素子を駆動する電圧と、その波形が重要であることか
ら、あらかじめ条件設定した波形をプログラムして、イ
ンク滴をG(緑)、R(赤)及びB(青)の順番で吐出
し、塗布した。
マーに有機顔料を分散させた後、低沸点溶剤としてシク
ロヘキサノン、酢酸ブチルを、また高沸点溶剤としてブ
チルカルビトールアセテートを加え、さらに非イオン系
界面活性剤0.01%を分散剤として添加したものを用
い、かつ、各色のインクとして、表1に示す構成のもの
を用いた。
クリル樹脂塗料を平坦化層(オーバーコート)としてス
ピンコートし、平坦化された面を得た。さらにこの上面
にITO電極膜を所定のパターンに形成して、カラーフ
ィルタ(用基板)とした。得られたカラーフィルタ(用
基板)は、熱サイクル耐久試験、紫外線照射試験、加湿
試験等の耐久試験に合格し、液晶表示装置用の基板とし
て好適に用い得ることを確認した。
複数の画素の色にそれぞれ対応したインクの、乾燥後の
それぞれの形状の平坦性が確保されるとともに、表示装
置に用いられた場合に、色調のバラツキを抑制する(Δ
E*abで算出した色差を3以下に収斂させる)ことが
可能なカラーフィルタを得ることができる、特に、ノー
ト型パソコン、デスクトップ型パソコン、車載用ナビゲ
ーションシステム、電子スチルカメラ、ゲーム機器、プ
ロジェクタ、携帯電話等の電子機器に好適に用いられる
カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法
を提供することができる。
の形態を流れ工程順に模式的に示す断面図である。
の形状を模式的に示す断面図である。
的に示す断面図である。
Claims (11)
- 【請求項1】 基板上に形成した所定パターンを有する
遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンクを形成
し、前記バンクの所定パターンの間隙に、所定の色に対
応したインクをそれぞれ配設した後に、前記所定の色に
対応したインクのそれぞれを乾燥させるカラーフィルタ
の製造方法であって、 前記所定の色に対応したインクのそれぞれを、そのイン
クが有する粘度の大きさに応じて、粘度の大きなものほ
ど高い温度で乾燥させ、色調のバラツキが抑制される
(ΔE*abで算出した色差が3以下に収斂する)よう
に、乾燥後の前記インクの形状の平坦性を確保すること
を特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項2】 前記所定の色に対応したインクとして、
R(赤)、G(緑)及びB(青)の三色に対応するとと
もに、それぞれ、有機顔料、アクリル系樹脂、モノマ
ー、分散溶剤及び高沸点溶媒を含むものを用いる請求項
1に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項3】 前記所定の色に対応したインクの粘度
が、G(緑)色のインクが8〜12mPa・sで、R
(赤)色のインクが6〜10mPa・sで、かつB
(青)の色のインクが4〜8mPa・sである請求項1
又は2に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項4】 前記G(緑)色のインクを最も高温で、
R(赤)色のインクを中間の温度で、及びB(青)の色
のインクを最も低温で、それぞれ乾燥させる請求項1〜
3のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項5】 前記G(緑)色のインクを40〜60℃
で、前記R(赤)色のインクを30〜50℃で、かつ前
記B(青)の色のインクを20〜40℃で乾燥させる請
求項1〜4のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方
法。 - 【請求項6】 初めに、粘度の最も大きなインク、次い
で、中間の粘度を有するインク、最後に、粘度の最も小
さなインクの順番で乾燥させる請求項1〜5のいずれか
に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項7】 初めに、前記G(緑)の色のインク、次
いで、前記R(赤)色のインク、最後に、前記B(青)
色のインクの順番で乾燥させる請求項6に記載のカラー
フィルタの製造方法。 - 【請求項8】 前記バンクの所定パターンの間隙に前記
所定の色に対応した前記インクのそれぞれを、インクジ
ェットプリンティングヘッドを用いて配設する請求項1
〜7のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項9】 基板上に形成した所定パターンを有する
遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンクを形成
し、前記バンクの所定パターンの間隙に、所定の色に対
応したインクをそれぞれ配設した後に、前記所定の色に
対応したインクのそれぞれを乾燥させてカラーフィルタ
を作製するに際し、前記所定の色に対応したインクのそ
れぞれを、そのインクが有する粘度の大きさに応じて、
粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調のバラ
ツキが抑制される(ΔE*abで算出した色差が3以下
に収斂する)ように、乾燥後の前記インクの形状の平坦
性を確保してカラーフィルタを作製し、前記カラーフィ
ルタのインクが乾燥、硬化した後、その上面に平坦化層
を配設し、この平坦化層上に一の電極(共通電極)を配
設してカラーフィルタ用基板を形成し、前記カラーフィ
ルタ用基板と、前記カラーフィルタに用いられた基板
(共通電極)に対向して一対の対向基板を形成する、他
の電極(画素電極)を配設した他の基板(画素電極基
板)とが形成する間隙に液晶を封入することを特徴とす
る液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項10】 前記所定の色に対応したインクとし
て、R(赤)、G(緑)及びB(青)の三色に対応する
とともに、それぞれ、有機顔料、アクリル系樹脂、モノ
マー、分散溶剤及び高沸点溶媒を含むものを用いる請求
項9に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項11】 前記マトリックスパターンの間隙に前
記所定の色に対応した前記インクのそれぞれを、インク
ジェットプリンティングヘッドを用いて配設する請求項
9又は10に記載の液晶表示装置の製造方法。
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