JP2002372566A

JP2002372566A - 特性検査装置と特性検査方法

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Publication number: JP2002372566A
Application number: JP2001180298A
Authority: JP
Inventors: Yoshiharu Taga; 吉春多賀; Takeshi Nagao; 剛長尾; Hirohiko Furuta; 裕彦古田
Original assignee: Furukawa Electric Co Ltd
Current assignee: Furukawa Electric Co Ltd
Priority date: 2001-06-14
Filing date: 2001-06-14
Publication date: 2002-12-26

Abstract

(57)【要約】【課題】検査対象の光モジュールの数を増やすことが
可能なうえ、短時間に検査することができる小型で安価
な特性検査装置と特性検査方法を提供することを第１の
目的とし、第１の目的に加え、検査対象の光モジュール
のみに温度制御を施すことができ、測定手段を単一の方
向のみに移動させるだけでよい特性検査装置と特性検査
方法を提供することを第２の目的とする。【解決手段】検査ボードに着脱自在に取り付けた複数
の光モジュールを一括して所定の検査温度に設定して光
学的特性或いは電気的特性を検査する特性検査装置と特
性検査方法。特性検査装置10は、複数の光モジュールの
光学的特性或いは電気的特性を測定する測定手段11と、
所定温度の気体を送る送気管12ａが接続され、検査ボー
ド８に被せて複数の光モジュールを閉じ込める所定の温
度空間を形成するカバー12とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の光モジュー
ルを一括して検査温度に設定して光学的特性或いは電気
的特性を検査する特性検査装置と特性検査方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】複数の光モジュールを一括して所定の検
査温度に設定して特性、例えば、動作電流（Ｉ）を変化
させたときの光出力（Ｌ）に関する特性（以下、単に
「Ｉ−Ｌ特性」と称する）を検査する特性検査装置とし
て、図５に示す検査装置１が知られている。

【０００３】検査装置１は、図示のように、ヒートサイ
クル試験に用いられる恒温槽２内に温度制御手段３が配
置されると共に、半導体レーザモジュール等の光モジュ
ール４ａを複数着脱自在に取り付けた検査ボード４が上
下方向に複数段セットされる。検査装置１は、各光モジ
ュール４ａのジャンパ線（光ファイバ）４ｂ先端に取り
付けた光コネクタ４ｃが配列板２ａに接続されている。
ここで、温度制御手段３は、加熱器と冷却器とを備え、
恒温槽２内を所望の検査温度に加熱あるいは冷却する。

【０００４】検査装置１は、恒温槽２内を温度制御手段
３によって、例えば、−４０℃，８５℃，２５℃等の所
定の検査温度に設定して複数の光モジュールに一括して
Ｉ−Ｌ特性に関する検査を繰り返す。そして、この各検
査温度に設定された各光モジュール４ａは、配列板２ａ
に対向配置され、矢印Ｘ及び矢印Ｚ方向に移動する測定
ヘッド５によって光出力（Ｌ）が測定される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記特性検
査装置は、上記のような構造であるから、測定できる光
モジュールの数を簡単に増やすことができないうえ、収
容する検査ボードの数に合わせた大きな恒温槽を必要と
する。しかも、上記特性検査装置は、１つの恒温槽で複
数の検査温度を作り出さなければないので、温度の変更
を含めた検査に時間がかかるうえ、装置が大型で高価に
なってしまうという問題があった。

【０００６】また、上記特性検査装置は、恒温槽内に検
査ボードを収容して複数温度でＩ−Ｌ特性検査を行う。
このため、検査ボードは、不必要な箇所まで温度制御が
施され、光モジュールに電気を供給する電気コネクタが
劣化し易い。更に、多数の光モジュールがあるため、測
定ヘッドを矢印Ｘ方向だけでなく、矢印Ｚ方向にも移動
させる必要があり、測定ヘッドの駆動手段が大型化する
という問題があった。

【０００７】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、検査対象の光モジュールの数を増やすことが可能な
うえ、短時間に検査することができる小型で安価な特性
検査装置と特性検査方法を提供することを第１の目的と
する。また、本発明は、前記第１の目的に加え、検査対
象の光モジュールのみに温度制御を施すことができ、測
定手段を単一の方向のみに移動させるだけでよい特性検
査装置と特性検査方法を提供することを第２の目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明においては、検査ボードに着脱自在に取り付けた
複数の光モジュールを一括して所定の検査温度に設定し
て光学的特性或いは電気的特性を検査する特性検査装置
であって、前記複数の光モジュールの光学的特性或いは
電気的特性を測定する測定手段と、所定温度の気体を送
る送気管が接続され、前記検査ボードに被せて前記複数
の光モジュールを閉じ込めて所定の温度空間を形成する
カバーとを備えた構成としたのである。

【０００９】好ましくは、前記カバーに、前記検査ボー
ドと当接して前記所定の温度空間をシールするシール材
を設ける。また好ましくは、前記カバーを、所定の検査
温度毎に設ける。更に好ましくは、１つの前記検査ボー
ドに対して前記カバーを１つとする。好ましくは、１つ
のカバーに前記送気管を１つ接続する。

【００１０】また好ましくは、１つのカバーに前記送気
管を複数接続する。更に好ましくは、前記検査手段を前
記カバーと同じ数だけ設ける。好ましくは、前記カバー
が第１の方向に移動する構成とする。また好ましくは、
前記検査手段が前記第１の方向に直交する第２の方向に
移動する構成とする。

【００１１】更に好ましくは、前記検査ボードを搬送す
るコンベアを設ける。また、上記目的を達成するため本
発明においては、検査ボードに着脱自在に取り付けた複
数の光モジュールを一括して所定の検査温度に設定して
光学的特性或いは電気的特性を検査する特性検査方法で
あって、前記検査ボードに所定温度の気体を送る送気管
が接続されたカバーを被せ、前記送気管から送られてく
る所定温度の気体によって前記カバーと前記検査ボード
とによって所定の温度空間を形成し、前記複数の光モジ
ュールを一括して所定の検査温度に設定しながら光学的
特性或いは電気的特性を検査する構成としたのである。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の特性検査装置と特
性検査方法に係る一実施形態を図１乃至図４に基づいて
詳細に説明する。特性検査装置１０は、図１及び図２に
示すように、測定ヘッド１１、カバー１２、コンベア１
３及び制御手段１４を備えている。特性検査装置１０
は、コンベア１３によって搬送される複数の検査ボード
８のそれぞれに着脱自在に取り付けた複数の光モジュー
ル８ａを一括して所定の検査温度に設定してＩ−Ｌ特性
を検査する。

【００１３】ここで、検査ボード８は、光モジュール８
ａが複数、例えば、４０個着脱自在に取り付けられ、図
２に示すように、複数の光モジュール８ａのそれぞれの
ジャンパ線（光ファイバ）８ｂ先端に光コネクタ８ｃが
取り付けられている。検査ボード８は、各光コネクタ８
ｃが前面の配列板８ｄに接続され、周囲には複数の光モ
ジュール８ａを取り囲むように断熱性クッションからな
るシール材８ｅが取り付けられている。

【００１４】測定ヘッド１１は、配列板８ｄに対向させ
て３つ設けられ、コンベア１３による検査ボード８の搬
送方向である矢印Ｘ方向（図２参照）に移動される。各
測定ヘッド１１は、検査ボード８に着脱自在に取り付け
られた複数の光モジュール８ａのＩ−Ｌ特性を個々に測
定する。ここで、測定ヘッド１１は、１つで後述する３
つのカバー１２間を移動し、各温度における各光モジュ
ール８ａの光出力（Ｌ）を測定してもよい。

【００１５】カバー１２は、コンベア１３の上方に矢印
Ｚ方向（図２参照）に昇降自在に３つ配置され、所定温
度の気体を送る送気管１２ａを介して、図１に示すよう
に、加熱器１５，１６あるいは冷却器１７と接続されて
いる。各カバー１２は、箱状に形成され、図２に示すよ
うに、下縁には断熱性クッションからなり、シール材８
ｅと当接されるシール材１２ｂが取り付けられ、下方の
検査ボード８に被せて複数の光モジュール８ａを閉じ込
める所定の温度空間を形成する。但し、シール材８ｅ，
１２ａは、送気管１２ａを介して加熱器１５，１６や冷
却器１７から送られてくる所定温度の空気によって前記
温度空間を所定温度に維持できれば、前記温度空間を完
全にシールする必要はない。

【００１６】ここで、加熱器１５，１６は、それぞれ２
５℃，８５℃の加熱空気を、冷却器１７は−４０℃の冷
却空気を、それぞれの送気管１２ａを介してカバー１２
へと送る。また、各送気管１２ａは、中央から所定温度
の空気を吹き出し外側から空気を吸い込んで、加熱器１
５，１６あるいは冷却器１７へ戻す二重構造のパイプで
ある。

【００１７】コンベア１３は、搬送方向両端に検査ボー
ド８の収納棚１３ａ，１３ｂが配置され、搭載側の収納
棚１３ａから取出し側の収納棚１３ｂへと複数の検査ボ
ード８を搬送する。搭載側の収納棚１３ａには、検査対
象の複数の光モジュール８ａをセットした検査ボード８
が予め複数積み重ねられている。但し、複数のローラあ
るいは平らな台を使用して複数の検査ボード８を移動さ
せることもできるので、コンベア１３は必ずしも必要で
はない。また、作業者が検査ボード８の供給・取出しを
行えば、収納棚１３ａ，１３ｂも必ずしも必要ではな
い。

【００１８】制御手段１４は、特性検査装置１０の作動
を制御するパーソナルコンピュータで、図１に示すよう
に、各測定ヘッド１１と接続されている。特性検査装置
１０は、以上のように構成され、以下のようにして各検
査ボード８にセットされた複数の光モジュール８ａのＩ
−Ｌ特性を一括して検査する。先ず、特性検査装置１０
を起動すると、制御手段１４によって作動が自動制御さ
れながら、搭載側の収納棚１３ａからコンベア１３に検
査ボード８が順次供給されてゆく。

【００１９】コンベア１３に供給された第１番目の検査
ボード８が、送気管１２ａが冷却器１７と接続されたカ
バー１２の直下へ来るとコンベア１３が停止し、カバー
１２が下降して検査ボード８に被せられる。これによ
り、カバー１２は、シール材１２ａがシール材８ｅと当
接し、内部に複数の光モジュール８ａを閉じ込める温度
空間を形成する。

【００２０】次に、冷却器１７から送気管１２ａを介し
てカバー１２内へ−４０℃の冷却空気が送り込まれ、内
部に−４０℃の温度空間が形成され、対向配置された測
定ヘッド１１が矢印Ｘ方向に順次移動しながら各光モジ
ュール８ａの光出力（Ｌ）が測定されてゆく。測定され
た各光モジュール８ａの光出力（Ｌ）は、制御手段１４
へ出力されて各光モジュール８ａのＩ−Ｌ特性が検査さ
れる。

【００２１】光出力（Ｌ）の測定が終了したら、冷却器
１７からカバー１２内への冷却空気の送り込みが停止
し、カバー１２が上昇する。次いで、コンベア１３が作
動し、送気管１２ａが加熱器１６と接続された隣接する
カバー１２の直下へ第１番目の検査ボード８を移動させ
た後、コンベア１３が停止する。このとき、第２番目の
検査ボード８が送気管１２ａが冷却器１７と接続された
カバー１２の直下へ来る。

【００２２】この後、カバー１２が下降して第１番目の
検査ボード８に被せられ、シール材１２ａがシール材８
ｅと当接してカバー１２内に複数の光モジュール８ａを
閉じ込める温度空間が形成される。しかる後、検査ボー
ド８を加熱器１６から送気管１２ａを介してカバー１２
内へ８５℃の加熱空気が送り込まれ、内部に８５℃の温
度空間が形成される。この状態で、対向配置された測定
ヘッド１１が矢印Ｘ方向に順次移動しながら各光モジュ
ール８ａの光出力（Ｌ）を測定してゆき、測定された各
光モジュール８ａの光出力（Ｌ）が制御手段１４へ出力
されて各光モジュール８ａのＩ−Ｌ特性が検査される。

【００２３】このとき、第２番目の検査ボード８は、送
気管１２ａを介して冷却器１７と接続されたカバー１２
が被せられ、前記と同様にして各光モジュール８ａの光
出力（Ｌ）の測定が並行して行われる。この並行した光
出力（Ｌ）の測定が終了したら、加熱器１６からカバー
１２内への加熱空気の送り込みが停止し、カバー１２が
上昇する。このとき、第２番目の検査ボード８において
は、冷却器１７からカバー１２内への冷却空気の送り込
みが停止し、カバー１２が上昇することは言うまでもな
い。

【００２４】次に、コンベア１３が作動し、送気管１２
ａが加熱器１５と接続された隣接するカバー１２の直下
へ第１番目の検査ボード８を移動させた後、コンベア１
３が停止する。このとき、第２番目の検査ボード８は送
気管１２ａが加熱器１６と接続された隣接するカバー１
２の直下へ、第３番目の検査ボード８は送気管１２ａが
冷却器１７と接続されたカバー１２の直下へ、それぞれ
移動してきている。

【００２５】次いで、カバー１２が下降して検査ボード
８に被せられ、シール材１２ａがシール材８ｅと当接し
てカバー１２内に複数の光モジュール８ａを閉じ込める
温度空間が形成される。しかる後、加熱器１５から送気
管１２ａを介してカバー１２内へ２５℃の加熱空気が送
り込まれ、第１番目の検査ボード８の内部に２５℃の温
度空間が形成される。この状態で、対向配置された測定
ヘッド１１が矢印Ｘ方向に順次移動しながら各光モジュ
ール８ａの光出力（Ｌ）を測定してゆき、測定された各
光モジュール８ａの光出力（Ｌ）が制御手段１４へ出力
されて各光モジュール８ａのＩ−Ｌ特性が検査される。

【００２６】このとき、第２番目の検査ボード８は、送
気管１２ａを介して加熱器１６と接続されたカバー１２
が、第３番目の検査ボード８は、送気管１２ａを介して
冷却器１７と接続されたカバー１２が、それぞれ被せら
れ、前記と同様にして各光モジュール８ａの光出力
（Ｌ）の測定が並行して行われる。この並行した光出力
（Ｌ）の測定が終了したら、加熱器１５からカバー１２
内への加熱空気の送り込みが停止し、カバー１２が上昇
する。このとき、第２番目の検査ボード８においては、
加熱器１６からカバー１２内への冷却空気の送り込み
が、第３番目の検査ボード８においては、冷却器１７か
らカバー１２内への冷却空気の送り込みが、それぞれ停
止し、カバー１２が上昇することは言うまでもない。

【００２７】次に、コンベア１３が作動し、送気管１２
ａが加熱器１５と接続されたカバー１２の直下から第１
番目の検査ボード８が外れると共に、第２番目の検査ボ
ード８は送気管１２ａが加熱器１５と接続された隣接す
るカバー１２の直下へ移動した後、コンベア１３が停止
する。このとき、第３番目の検査ボード８は送気管１２
ａが加熱器１６と接続されたカバー１２の直下へ、第４
番目の検査ボード８は送気管１２ａが冷却器１７と接続
されたカバー１２の直下へ、それぞれ移動してきてい
る。

【００２８】次いで、各カバー１２が下降して第２〜４
番目の検査ボード８に被せられ、シール材１２ａがシー
ル材８ｅと当接してカバー１２内に複数の光モジュール
８ａを閉じ込める温度空間が形成される。この状態で、
第２〜４番目の検査ボード８のそれぞれに対向配置され
た測定ヘッド１１が矢印Ｘ方向に順次移動しながら各光
モジュール８ａの光出力（Ｌ）を測定してゆき、第２〜
４番目の検査ボード８における各光モジュール８ａのＩ
−Ｌ特性が検査される。

【００２９】そして、コンベア１３が作動して検査ボー
ド８が新たに送り込まれると、第１番目の検査ボード８
は、取出し側の収納棚１３ｂへ送り込まれる。特性検査
装置１０は、以下同様の動作を繰り返しながら、搭載側
の収納棚１３ａに積み重ねられた多数の検査ボード８に
おける各光モジュール８ａのＩ−Ｌ特性を検査してゆ
く。

【００３０】以上のように、本発明の特性検査装置と特
性検査方法は、複数の光モジュール８ａを着脱自在に取
り付けた検査ボード８にカバー１２を被せて複数の光モ
ジュール８ａを閉じ込め、これによって形成される温度
空間に所定温度の気体を送って温度制御を行い、複数の
光モジュール８ａの光学的特性や電気的特性を検査す
る。

【００３１】このため、検査ボード８の数を所望に応じ
て増やせば、検査処理する光モジュール８ａの数を簡単
に増やすことができる。しかも、本発明の特性検査装置
と特性検査方法では、検査ボード８にカバー１２を被せ
て検査のための温度空間を形成するので、温度の変更を
含めた検査時間を極端に短縮することができるうえ、装
置を小型で安価なものにすることができる。

【００３２】また、本発明の特性検査装置と特性検査方
法は、検査ボード８にカバー１２を被せて検査のための
温度空間を形成するので、光モジュール８ａだけが種々
の温度に曝され、それ以外の不必要な箇所まで加熱ある
いは冷却されることがないので、従来の検査装置のよう
に光モジュール８ａに電気を供給する電気コネクタを劣
化させることも避けられる。

【００３３】更に、本発明の特性検査装置と特性検査方
法は、測定ヘッド１１がコンベア１３に沿った一方向
（図２のＸ方向）のみに移動すればよいので、測定ヘッ
ド１１の駆動手段が大型化することもない。尚、上記実
施形態の特性検査装置１０は、カバー１２が各検査温度
毎に設けられ、カバー１２に送気管１２ａが１つ接続さ
れた場合について説明した。しかし、カバー１２は、図
３に示すように、各温度毎の送気管１２ａ，１２ｃ，１
２ｄを接続してもよい。この場合、送気管１２ａは冷却
器１７に、送気管１２ｃは加熱器１６に、送気管１２ｄ
は加熱器１５に、それぞれ接続する。

【００３４】このようにすると、特性検査装置１０は、
カバー１２を１つにして、検査部分のコンベア１３を短
くすることで、全体の長さを短縮することができる。一
方、図４に示す特性検査装置１０のように、送気管１２
ａを２本に分岐させると、それぞれ１つの加熱器１５，
１６及び冷却器１７で、２つのカバー１２に所定温度の
空気を送ることができ、各測定ヘッド１１による測定に
先立って検査対象の複数の光モジュールを余熱すること
ができる。このため、各光モジュール８ａのＩ−Ｌ特性
が検査に要する温度処理時間を一層短縮することができ
る。また、室温に近い余熱（２５℃）を常にカバー１２
を開ける前に行うと、除湿の効果もある。この場合、送
気管１２ａは、２本の分岐に限定されるものではなく、
３本，４本あるいはこれ以上に分岐させてもよい。

【００３５】また、上記実施形態では、光モジュール８
ａの特性として動作電流（Ｉ）を変化させたときの光出
力（Ｌ）に関するＩ−Ｌ特性を検査する場合について説
明したが、光学的特性或いは電気的特性であれば、例え
ば、スペクトル分布，消光比，モニタ電流等の特性を検
査してもよいことは言うまでもない。

【００３６】

【発明の効果】請求項１乃至１２の発明によれば、検査
対象の光モジュールの数を増やすことが可能なうえ、短
時間に検査することができる小型で安価な特性検査装置
と特性検査方法を提供することができるうえ、検査対象
の光モジュールのみに温度制御を施すことができ、測定
手段を単一の方向のみに移動させるだけよい特性検査装
置と特性検査方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の特性検査装置と特性検査方法に係る一
実施形態を示すもので、特性検査方法を実行する特性検
査装置の概略構成を示す平面図である。

【図２】図１の特性検査装置から収納棚を除いた部分を
示す斜視図である。

【図３】本発明の特性検査装置で用いるカバーの変形例
を示す斜視図である。

【図４】カバーの他の変形例を特性検査装置の上方から
示した平面図である。

【図５】従来の特性検査装置の斜視図である。

【符号の説明】

８検査ボード８ａ光モジュール１０特性検査装置１１測定ヘッド１２カバー１２ａ送気管１３コンベア１４制御手段１５，１６加熱器１７冷却器

フロントページの続き (72)発明者古田裕彦東京都千代田区丸の内２丁目６番１号古河電気工業株式会社内Ｆターム(参考） 2G003 AA06 AC03 AD02 AD04 AG08 AG11 AH04 5F073 AB28 EA29 HA10 HA11

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】検査ボードに着脱自在に取り付けた複数
の光モジュールを一括して所定の検査温度に設定して光
学的特性或いは電気的特性を検査する特性検査装置であ
って、前記複数の光モジュールの光学的特性或いは電気的特性
を測定する測定手段と、所定温度の気体を送る送気管が
接続され、前記検査ボードに被せて前記複数の光モジュ
ールを閉じ込めて所定の温度空間を形成するカバーとを
備えたことを特徴とする特性検査装置。
【請求項２】前記カバーには、前記検査ボードと当接
して前記所定の温度空間をシールするシール材が設けら
れている、請求項１の特性検査装置。
【請求項３】前記カバーが、所定の検査温度毎に設け
られている、請求項１又は２の特性検査装置。
【請求項４】１つの前記検査ボードに対して前記カバ
ーが１つである、請求項１又は２の特性検査装置。
【請求項５】１つのカバーに前記送気管が１つ接続さ
れている、請求項３の特性検査装置。
【請求項６】１つのカバーに前記送気管が複数接続さ
れている、請求項４の特性検査装置。
【請求項７】前記検査手段が前記カバーと同じ数だけ
設けられている、請求項３又は４の特性検査装置。
【請求項８】前記カバーが第１の方向に移動する、請
求項１乃至７いずれかの特性検査装置。
【請求項９】前記検査手段が前記第１の方向に直交す
る第２の方向に移動する、請求項１乃至８いずれかの特
性検査装置。
【請求項１０】前記検査ボードを搬送するコンベアが
設けられている、請求項１乃至９いずれかの特性検査装
置。
【請求項１１】更に、装置全体の作動を制御する制御
手段が設けられている、請求項１乃至１０いずれかの特
性検査装置。
【請求項１２】検査ボードに着脱自在に取り付けた複
数の光モジュールを一括して所定の検査温度に設定して
光学的特性或いは電気的特性を検査する特性検査方法で
あって、前記検査ボードに所定温度の気体を送る送気管が接続さ
れたカバーを被せ、前記送気管から送られてくる所定温
度の気体によって前記カバーと前記検査ボードとによっ
て所定の温度空間を形成し、前記複数の光モジュールを
一括して所定の検査温度に設定しながら光学的特性或い
は電気的特性を検査することを特徴とする特性検査方
法。