JP2002370182A - 自走式クリーンストッカーロボットシステム及びそのロボット - Google Patents
自走式クリーンストッカーロボットシステム及びそのロボットInfo
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- JP2002370182A JP2002370182A JP2001178072A JP2001178072A JP2002370182A JP 2002370182 A JP2002370182 A JP 2002370182A JP 2001178072 A JP2001178072 A JP 2001178072A JP 2001178072 A JP2001178072 A JP 2001178072A JP 2002370182 A JP2002370182 A JP 2002370182A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T10/00—Road transport of goods or passengers
- Y02T10/60—Other road transportation technologies with climate change mitigation effect
- Y02T10/70—Energy storage systems for electromobility, e.g. batteries
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Electric Propulsion And Braking For Vehicles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶基板搬送に使用されるクリーンストッカ
ーのカセット移載ロボットにおいて、生産性、コスト、
生産設備環境を向上させることを目的とする。 【解決手段】 クリーンストッカーにおけるカセット移
載ロボットの駆動用電源として、非接触式電源供給であ
るバッテリー受電部１３を用いることで、接触式電源供
給時問題とされていたダストや騒音を低減する。また同
時に、このバッテリー１３はロボットＶ軸部２に搭載さ
れるためロボットＶ軸部２のカウンタウェイトの機能も
果たす。走行架台部６にはバッテリー給電部１４も設け
ており、クリーンストッカーロボットがカセットの移載
作業を行わないときにその場所へ戻るように設定してお
くことで、バッテリーを充電することが可能であり、ま
た、ロボットＶ軸部が下降動作する際に発生する回生電
力を利用してバッテリーを充電することも可能である。
ーのカセット移載ロボットにおいて、生産性、コスト、
生産設備環境を向上させることを目的とする。 【解決手段】 クリーンストッカーにおけるカセット移
載ロボットの駆動用電源として、非接触式電源供給であ
るバッテリー受電部１３を用いることで、接触式電源供
給時問題とされていたダストや騒音を低減する。また同
時に、このバッテリー１３はロボットＶ軸部２に搭載さ
れるためロボットＶ軸部２のカウンタウェイトの機能も
果たす。走行架台部６にはバッテリー給電部１４も設け
ており、クリーンストッカーロボットがカセットの移載
作業を行わないときにその場所へ戻るように設定してお
くことで、バッテリーを充電することが可能であり、ま
た、ロボットＶ軸部が下降動作する際に発生する回生電
力を利用してバッテリーを充電することも可能である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶基板のストッ
クなど高いクリーン度が要求されるストック内にて液晶
基板が収納されたカセットを移載する時に使用する自走
式クリーンストッカーロボットシステム及びそのロボッ
トに関する。
クなど高いクリーン度が要求されるストック内にて液晶
基板が収納されたカセットを移載する時に使用する自走
式クリーンストッカーロボットシステム及びそのロボッ
トに関する。
【０００２】
【従来の技術】以下、図面を参照しながら従来の自走式
クリーンストッカーロボットシステムおよびそのロボッ
トについて説明する。図２は従来のクリーンストッカー
ロボットへの電源供給装置の概要を模式的に示す斜視図
である。
クリーンストッカーロボットシステムおよびそのロボッ
トについて説明する。図２は従来のクリーンストッカー
ロボットへの電源供給装置の概要を模式的に示す斜視図
である。
【０００３】図中、１はカウンタウエイト、２はロボッ
トＶ軸（垂直軸）部、３はロボットＲ軸（回転軸）部、
４はロボットＨ軸（水平軸）部、５はワーク、６は走行
架台部、７は集電子、８は集電アーム、９は集電レー
ル、１０は銅板、１１はＶ軸部モータ、１２は回生抵抗
器である。
トＶ軸（垂直軸）部、３はロボットＲ軸（回転軸）部、
４はロボットＨ軸（水平軸）部、５はワーク、６は走行
架台部、７は集電子、８は集電アーム、９は集電レー
ル、１０は銅板、１１はＶ軸部モータ、１２は回生抵抗
器である。
【０００４】従来のクリーンストッカーロボットへの電
源供給装置について説明する。このクリーンストッカー
ロボットのＨ軸部４には集電アーム８が、走行架台部６
には集電レール９が敷設されている。この集電アーム８
の集電子７と呼ばれるブラシと集電レール９の銅板１０
が接触することで、クリーンストッカーロボットへの電
源供給が実現できるといった仕組みになっている。ま
た、図３に示すように、ロボットＲ軸部３を下降させる
場合、Ｖ軸部モータ１１は発動機として働くことになる
ので、発生する回生電力はモータドライバに接続されて
いる回生抵抗器１２で熱として消費される。また該ロボ
ットとしての動きをスムーズに作動させるためのカウン
タウエイト１が設けられている。
源供給装置について説明する。このクリーンストッカー
ロボットのＨ軸部４には集電アーム８が、走行架台部６
には集電レール９が敷設されている。この集電アーム８
の集電子７と呼ばれるブラシと集電レール９の銅板１０
が接触することで、クリーンストッカーロボットへの電
源供給が実現できるといった仕組みになっている。ま
た、図３に示すように、ロボットＲ軸部３を下降させる
場合、Ｖ軸部モータ１１は発動機として働くことになる
ので、発生する回生電力はモータドライバに接続されて
いる回生抵抗器１２で熱として消費される。また該ロボ
ットとしての動きをスムーズに作動させるためのカウン
タウエイト１が設けられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な装置では、クリーンストッカーロボットが移動する度
に集電アーム８の集電子７と集電レール９の銅板１０と
が擦れながら接触することになるため、生産設備環境を
悪化させるおそれのある騒音が発生してしまったり、ワ
ークに対して影響を及ぼす銅イオンが発生してしまうと
いった問題があった。また、この集電子７及び銅板１０
は長期間使用すると摩耗してしまうため、メンテナンス
を定期的に行わなければならず、多大な労力を必要とす
るといった問題点もあった。そして、ロボットの動きを
安定させるカウンタウエイトを取りつけるエリアが大き
く占めるという問題があった。
な装置では、クリーンストッカーロボットが移動する度
に集電アーム８の集電子７と集電レール９の銅板１０と
が擦れながら接触することになるため、生産設備環境を
悪化させるおそれのある騒音が発生してしまったり、ワ
ークに対して影響を及ぼす銅イオンが発生してしまうと
いった問題があった。また、この集電子７及び銅板１０
は長期間使用すると摩耗してしまうため、メンテナンス
を定期的に行わなければならず、多大な労力を必要とす
るといった問題点もあった。そして、ロボットの動きを
安定させるカウンタウエイトを取りつけるエリアが大き
く占めるという問題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、自走式クリーンストッカーロボットに内蔵
されたバッテリー受電部と、該バッテリー受電部に必要
な時に電気を供給するバッテリー給電部と、該自走式ク
リーンストッカーロボットが定められた軌道を走ること
を規制する走行架台部とを備えたことを特徴とする自走
式クリーンストッカーロボットシステムと、３軸の駆動
機構の起動を安定させるためにバランスをとるカウンタ
ウエイトとして搭載されたバッテリー受電部を使用する
ように配置したことを特徴とする自走式クリーンストッ
カーロボットを提供して本システム及び設備の品質、コ
スト、生産設備環境を向上させることが可能となる。
に本発明は、自走式クリーンストッカーロボットに内蔵
されたバッテリー受電部と、該バッテリー受電部に必要
な時に電気を供給するバッテリー給電部と、該自走式ク
リーンストッカーロボットが定められた軌道を走ること
を規制する走行架台部とを備えたことを特徴とする自走
式クリーンストッカーロボットシステムと、３軸の駆動
機構の起動を安定させるためにバランスをとるカウンタ
ウエイトとして搭載されたバッテリー受電部を使用する
ように配置したことを特徴とする自走式クリーンストッ
カーロボットを提供して本システム及び設備の品質、コ
スト、生産設備環境を向上させることが可能となる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら説明する。
て図面を参照しながら説明する。
【０００８】図１は本発明のクリーンストッカーロボッ
トへの電源供給装置の概要を模式的に示す斜視図であ
る。
トへの電源供給装置の概要を模式的に示す斜視図であ
る。
【０００９】図中、１３はバッテリー受電部、１４はバ
ッテリー給電部である。
ッテリー給電部である。
【００１０】本実施形態の自走式クリーンストッカーロ
ボットシステムの電源供給装置の動作について説明す
る。本実施形態の自走式クリーンストッカーロボットに
はバッテリー受電部１３を搭載しており、各軸の駆動用
電源としてこのバッテリー受電部の電源を用いる。また
同時に、このバッテリーは図１に示す位置に搭載するた
め、３軸部駆動のカウンタウエイトの機能も果たす。さ
らに、図１に示すようにこのシステムにはバッテリー給
電部１４も設けており、クリーンストッカーロボットが
カセットの移載作業を行わないときにその場所へ戻るよ
うに設定しておくことで、バッテリーを充電することが
可能である。また、ロボットＶ軸部が下降動作する際に
発生する回生電力を回生抵抗器で熱エネルギーとして消
費するのではなく、バッテリーへの電気エネルギーとし
て利用することでもバッテリーを充電することが可能で
ある。
ボットシステムの電源供給装置の動作について説明す
る。本実施形態の自走式クリーンストッカーロボットに
はバッテリー受電部１３を搭載しており、各軸の駆動用
電源としてこのバッテリー受電部の電源を用いる。また
同時に、このバッテリーは図１に示す位置に搭載するた
め、３軸部駆動のカウンタウエイトの機能も果たす。さ
らに、図１に示すようにこのシステムにはバッテリー給
電部１４も設けており、クリーンストッカーロボットが
カセットの移載作業を行わないときにその場所へ戻るよ
うに設定しておくことで、バッテリーを充電することが
可能である。また、ロボットＶ軸部が下降動作する際に
発生する回生電力を回生抵抗器で熱エネルギーとして消
費するのではなく、バッテリーへの電気エネルギーとし
て利用することでもバッテリーを充電することが可能で
ある。
【００１１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、自走式ク
リーンストッカーロボットシステムが従来の接触式電源
供給装置から非接触電源供給装置となるため、従来発生
していた騒音およびダストが減少し、その結果として品
質、コスト、生産設備環境を向上させることが可能とな
る。そしてさらに３軸部駆動時のカウンタウエイト機能
をバッテリー受電部にもたせることによりコスト低減に
もつながる。
リーンストッカーロボットシステムが従来の接触式電源
供給装置から非接触電源供給装置となるため、従来発生
していた騒音およびダストが減少し、その結果として品
質、コスト、生産設備環境を向上させることが可能とな
る。そしてさらに３軸部駆動時のカウンタウエイト機能
をバッテリー受電部にもたせることによりコスト低減に
もつながる。
【図１】本発明のバッテリー受電部を搭載した自走式ク
リーンストッカーロボットシステムの概要模式図
リーンストッカーロボットシステムの概要模式図
【図２】バッテリー受電部に電気を充電する模式図
【図３】従来のＶ軸部の模式図
【図４】従来の自走式クリーンストッカーロボットシス
テムの概要模式図
テムの概要模式図
【図５】図４中のＡ部拡大図
【符号の説明】 １ カウンタウエイト ２ ロボットＶ軸部 ３ ロボットＲ軸部 ４ ロボットＨ軸部 ５ ワーク ６ 走行架台部 ７ 集電子 ８ 集電アーム ９ 集電レール １０ 銅板 １１ Ｖ軸部モータ １２ 回生抵抗器 １３ バッテリー受電部 １４ バッテリー給電部
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６５Ｇ 49/06 Ｂ６５Ｇ 49/06 Ｚ 49/07 49/07 Ｄ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ (72)発明者 渕上 克 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 3C007 AS01 AS24 AS25 BS15 BT11 BT14 CS04 CV03 CV07 CW07 CY02 CY22 CY36 CY37 HT02 KS18 KS27 KS38 LV03 MT03 NS09 NS12 WC20 5F031 CA05 DA01 DA17 FA03 GA01 GA43 GA49 GA58 LA06 LA11 NA02 PA26 5H115 PC03 PG04 PG10 PI16 PI29 PI30 PO07 PO14 PO17 QA07
Claims (2)
- 【請求項１】 独立した３軸の駆動機構を持つ自走式の
クリーンストッカーロボットシステムにおいて、該クリ
ーンストッカーロボットに内蔵されたバッテリー受電部
と、該バッテリー受電部に必要な時に電気を供給するバ
ッテリー給電部と、該クリーンストッカーロボットが定
められた軌道を走ることを規制する走行架台部とを備え
たことを特徴とする自走式クリーンストッカーロボット
システム。 - 【請求項２】 独立した３軸の駆動機構を持つ自走式の
クリーンストッカーロボットにおいて、前記３軸の駆動
機構の起動を安定させるためにバランスをとるカウンタ
ウエイトとして搭載したバッテリー受電部を使用するよ
うに配置したことを特徴とする自走式クリーンストッカ
ーロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001178072A JP2002370182A (ja) | 2001-06-13 | 2001-06-13 | 自走式クリーンストッカーロボットシステム及びそのロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001178072A JP2002370182A (ja) | 2001-06-13 | 2001-06-13 | 自走式クリーンストッカーロボットシステム及びそのロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002370182A true JP2002370182A (ja) | 2002-12-24 |
Family
ID=19018823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001178072A Pending JP2002370182A (ja) | 2001-06-13 | 2001-06-13 | 自走式クリーンストッカーロボットシステム及びそのロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002370182A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004066379A1 (ja) * | 2003-01-17 | 2004-08-05 | Tokyo Electron Limited | 基板処理装置 |
| US7227334B2 (en) | 2003-10-21 | 2007-06-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Charging apparatus used with a mobile robot |
| KR100759890B1 (ko) * | 2006-02-01 | 2007-09-18 | 주식회사 에스에프에이 | 스토커 장치 |
| JPWO2016103304A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2017-09-07 | 川崎重工業株式会社 | 生産システム |
| CN115593839A (zh) * | 2022-12-15 | 2023-01-13 | 成都工业职业技术学院（Cn） | 一种物料搬运机器人及其控制方法 |
-
2001
- 2001-06-13 JP JP2001178072A patent/JP2002370182A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004066379A1 (ja) * | 2003-01-17 | 2004-08-05 | Tokyo Electron Limited | 基板処理装置 |
| US7227334B2 (en) | 2003-10-21 | 2007-06-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Charging apparatus used with a mobile robot |
| KR100759890B1 (ko) * | 2006-02-01 | 2007-09-18 | 주식회사 에스에프에이 | 스토커 장치 |
| JPWO2016103304A1 (ja) * | 2014-12-26 | 2017-09-07 | 川崎重工業株式会社 | 生産システム |
| CN115593839A (zh) * | 2022-12-15 | 2023-01-13 | 成都工业职业技术学院（Cn） | 一种物料搬运机器人及其控制方法 |
| CN115593839B (zh) * | 2022-12-15 | 2023-03-10 | 成都工业职业技术学院 | 一种物料搬运机器人及其控制方法 |
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