JP2002367875A - プロセス工程管理システムおよびプロセス工程管理方法 - Google Patents

プロセス工程管理システムおよびプロセス工程管理方法

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JP2002367875A
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Takuya Matsumoto
卓也 松本
Yuukisoku Miura
由紀則 三浦
Kazuyuki Takubo
和之 田久保
Masayuki Tanaka
昌行 田中
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 歩留り安定化を図りつつ工程全体の品質安定
期間を大幅に短縮可能なプロセス工程管理システムおよ
びプロセス工程管理方法を提供すること。 【解決手段】 プロセス工程を構成するプロセス装置毎
にシミュレーションを行って、各プロセス装置間でフィ
ードフォワードまたはフィードバックを行うことにより
プロセス条件を段階的に調整していくものであり、素材
１１３に対してプロセス加工処理を行うことによって製
品１１５に仕上げていくプロセス装置１０１と、他の制
御部から送られた制御情報に基づいて適当なプロセス条
件を解析し、これをシミュレーションすることによって
現状に即したより適当なプロセス条件を設定し、このプ
ロセス条件を含む制御情報を（ＦＦ）を次段の制御部に
送る制御部１０５とを備えて構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プロセス工程を構
成する処理装置に対してプロセス条件を段階的に制御し
ていくプロセス工程管理システムおよびプロセス工程管
理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶パネルや半導体等の製造工場
のプロセス工程においては、処理装置の歩留り安定化や
テストウェハの削減等のために、処理装置の処理結果を
フィードフォワード／フィードバックすることによって
プロセス条件を制御する手法、いわゆるＭＢＰＣ（Mode
l Based Process Control）が用いられていた。
【０００３】例えば、従来のプロセス工程管理システム
では、図６に示すように、プロセス装置１１や素材１３
の経時的な変化等に対応するため、検査機１５で得られ
た検査結果を参照し、プロセス装置毎に設定されている
モデル式のパラメータが最適となるよう再設定して、全
プロセス装置に対しモデル式を一斉に調整している。よ
り具体的には、検査機１５で得られた検査結果が工程管
理端末１７を介して工場管理サーバ１９に送られ、この
工場管理サーバ１９は、工程管理端末１７から送られた
検査結果および処理データベース２１を用いて、各プロ
セス装置に設定されているモデル式のパラメータの調整
分を求め、工程管理端末１７に送る。工程管理端末１７
は、工場管理サーバ１９から送られた情報または値を、
プロセス装置１１に対して制御を行う制御部２３に送
る。各制御部は、組となっているプロセス装置に設定さ
れているモデル式のパラメータを変更する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のプロセス工程管理システムでは、各プロセス装置に
設定されているモデル式のパラメータ変更による他プロ
セス装置への影響が考慮されていない、または他プロセ
ス装置への影響を考慮したパラメータの決定が非常に難
解なため、複雑なプロセスや新規プロセスの場合、工程
内のプロセス装置相互の関連についてはその把握が非常
に困難である。したがって、品質の安定した製品を生産
するまでに何回もパラメータを変更するなど試行錯誤を
繰り返す必要があり、ライン全体の品質安定化に時間が
かかってしまうという問題点があった。また、モデル式
を変更する場合、従来は蓄積データとプロセス技術者の
勘も用いられてきたが、このような手法では技術者個人
への負担が大きく、変化に対しても迅速に対応していく
ことが難しい。
【０００５】また、一般に、プロセス加工処理を行う際
の最適なプロセス条件は、環境変化やプロセス装置の経
時変化等によって変動し、プロセス加工処理される素材
も素材の受けた加工履歴や原材料の違い、処理を受けて
からの経過時間等によって状態がそれぞれ異なり得る。
このため、製品の品質を迅速に安定化していくために
は、各プロセス装置、各素材および状況に応じてプロセ
ス条件を適宜制御する必要がある。すなわち、プロセス
装置に設定されているモデル式のパラメータが最適とな
るよう随時変えていかなければならない。
【０００６】また、検査機１５で得られた検査結果は工
場管理サーバ１９で集中的に処理されているため、パラ
メータが増加すると工場管理サーバ１９の負荷が大きく
なり、処理時間が長くなってしまう。このため、工場管
理サーバ１９は高スペックのリソースおよび処理能力を
有する必要がある。
【０００７】さらに、液晶パネルや半導体等では、一般
に、基幹工場の展開により複数の製造工場で同様の生産
を行っている場合が多い。しかしながら、プロセス装置
のプロセス条件を調整する技術者の数が十分でないと、
離れた場所にある複数の工程で歩留りが悪化しても適切
な対処を早急に行えないという問題点があった。
【０００８】本発明は、上記従来の問題点および事情に
鑑みてなされたものであって、歩留り安定化を図りつつ
工程全体の品質安定期間を大幅に短縮可能なプロセス工
程管理システムおよびプロセス工程管理方法を提供する
ことを目的としている。また、プロセス技術者が少人数
でも遠隔地での複数のプロセス工程を管理可能なプロセ
ス工程管理システムおよびプロセス工程管理方法を提供
することも目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係るプロセス工程管理システムは、素材に
応じたプロセス条件が設定されたプロセス装置と、前記
プロセス装置に設定されたプロセス条件を制御する制御
部とがそれぞれ複数組設けられ、制御部同士が通信回線
によって接続されるプロセス工程管理システムであっ
て、前記制御部が対のプロセス装置に対してプロセス条
件の変更を指示した際、前記プロセス条件に関する制御
情報を他の対の所定の制御部にも送信し、前記所定の制
御部は、受け取った制御情報に基づいて、対のプロセス
装置に対してプロセス条件を変更するよう指示するもの
である。したがって、複雑なプロセスであっても歩留り
安定化を図りつつ工程全体の品質安定期間を大幅に短縮
することができる。
【００１０】また、本発明に係るプロセス工程管理シス
テムは、前記制御部は、プロセス装置の状態に関するデ
ータおよびプロセス条件の設定に関するデータを記憶し
た記憶部と、他の制御部から制御情報を受け取ったと
き、当該制御情報と前記記憶部に記憶されているデータ
とを用いて、組となっているプロセス装置にとって適当
なプロセス条件を解析する解析部と、前記解析部で解析
して得られたプロセス条件と、前記記憶部に記憶されて
いるデータとを比較して、前記プロセス条件が前記対の
プロセス装置における影響度合を計算するシミュレーシ
ョン部と、を有し、前記解析部は、前記シミュレーショ
ン部の計算結果に基づいて前記プロセス条件を最適化し
た上で、最適なプロセス条件を含む制御情報を生成する
ものである。
【００１１】また、本発明に係るプロセス工程管理シス
テムは、前記制御部は、制御情報を他の制御部に送信す
るとき、前記制御部と前記他の制御部との順序関係を示
す順序情報および前記制御情報が経由した制御部の数を
示す経由情報によって表される世代情報を生成し、当該
世代情報を前記制御情報に付与するものである。
【００１２】また、本発明に係るプロセス工程管理シス
テムは、前記制御部が世代情報の付与された制御情報を
複数受け取ったとき、前記解析部は、前記複数の制御情
報に付与された各世代情報を鑑みて制御情報の優先度を
判断し、優先度が高いと判断された制御情報と前記記憶
部に記憶されているデータとを用いて、プロセス条件を
解析するものである。したがって、制御部が複数の制御
情報を受け取っても、利用するのに最適な制御情報を複
数の中から１つ選択することができる。
【００１３】また、本発明に係るプロセス工程管理シス
テムは、前記制御部は、制御情報が前記解析部で用いら
れたことを示す報酬情報を作成する報酬情報作成部を有
し、前記制御情報を送信した制御部に前記報酬情報作成
部で作成された報酬情報を送信するものである。
【００１４】また、本発明に係るプロセス工程管理シス
テムは、前記制御部は、受け取った報酬情報を解析し、
その解析結果を前記記憶部に格納する報酬情報解析部を
有するものである。したがって、解析部およびシミュレ
ーション部は、報酬情報の解析結果も使用して解析およ
びシミュレーションを行うこととなるため、制御情報が
用いられたか否かを鑑みてプロセス条件を解析およびシ
ミュレーションすることができる。
【００１５】また、本発明に係るプロセス工程管理シス
テムは、前記制御部を管理する工場管理サーバを備え、
前記工場管理サーバは、他のプロセス工程管理システム
に設けられている工場管理サーバと通信回線で互いに接
続されているものである。したがって、プロセス技術者
がたとえ少人数であっても、遠隔地での複数のプロセス
工程を効率的に管理することができる。
【００１６】また、本発明に係るプロセス工程管理方法
は、素材に応じたプロセス条件が設定されたプロセス装
置を制御部が管理するプロセス工程管理方法であり、前
記制御部が、対のプロセス装置に対してプロセス条件を
変更するよう指示したとき、前記プロセス条件に関する
制御情報を他の組の所定の制御部に送信する制御情報送
信ステップと、前記所定の制御部が、受け取った制御情
報に基づいて、対のプロセス装置に対してプロセス条件
を変更するよう指示するプロセス条件変更指示ステップ
と、を有する。
【００１７】また、本発明に係るプロセス工程管理方法
は、前記制御情報送信ステップで送信される制御情報
を、前記制御部が他の制御部から制御情報を受け取り、
当該制御情報と前記記憶部に記憶されているデータとを
用いて、プロセス条件を解析する解析ステップと、解析
した結果得られたプロセス条件と前記記憶部に記憶され
ているデータとを用いて、前記プロセス条件が前記組と
なっているプロセス装置における影響度合を計算するシ
ミュレーションステップと、計算結果に基づいて前記プ
ロセス条件を最適化した上で、最適なプロセス条件を含
む制御情報を生成する制御情報生成ステップを有する。
【００１８】また、本発明に係るプロセス工程管理方法
は、前記制御情報送信ステップは、前記制御部と前記他
の制御部との順序関係を示す順序情報および前記制御情
報が経由した制御部の数を示す経由情報によって表され
る世代情報を生成し、生成された世代情報を前記制御情
報に付与した制御情報を他の制御部に送信する。
【００１９】また、本発明に係るプロセス工程管理方法
は、前記制御部が世代情報の付与された制御情報を複数
受け取ったとき、前記解析ステップは、前記複数の制御
情報に付与された各世代情報を鑑みて制御情報の優先度
を判断し、優先度が高いと判断された制御情報と前記記
憶部に記憶されているデータとを用いて、適当なプロセ
ス条件を解析する。
【００２０】さらに、本発明に係るプロセス工程管理方
法は、制御情報は前記解析ステップで用いられたことを
示す報酬情報を作成し、前記制御情報を送信した制御部
に作成した報酬情報を送信し、前記制御情報を送信した
制御部は受け取った報酬情報を解析して、その解析結果
を前記記憶部に格納する。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明のプロセス工程管理
システムの実施の形態について、〔第１の実施形態〕、
〔第２の実施形態〕、〔第３の実施形態〕の順に図面を
参照して詳細に説明する。以下に説明する実施形態のプ
ロセス工程管理システムは、プロセス工程を構成するプ
ロセス装置毎にシミュレーションを行って、各プロセス
装置間でフィードフォワードまたはフィードバックを行
うことによりプロセス条件を段階的に調整していくもの
である。
【００２２】〔第１の実施形態〕図１は、本発明の第１
の実施形態に係るプロセス工程管理システムを示すブロ
ック構成図である。同図において、本実施形態のプロセ
ス工程管理システムは、プロセス装置１０１（１０１ａ
〜１０１ｄ）と、検査機１０３と、各プロセス装置１０
１および検査機１０３に対応した制御部*1１０５（１０
５ａ〜１０５ｅ）と、工場内部で構築されているＬＡＮ
等の内部ネットワーク（通信回線）１０７と、処理デー
タベース１０９が設けられた工場管理サーバ１１１とを
備えて構成されている。図１にも示したように、プロセ
ス装置１０１ａと制御部１０５ａとが対（組）になって
おり、同様に、プロセス装置１０１ｂと制御部１０５
ｂ、プロセス装置１０１ｃと制御部１０５ｃ、プロセス
装置１０１ｄと制御部１０５ｄ、検査機１０３と制御部
１０５ｅとが対（組）になっている。
【００２３】以下、本実施形態のプロセス工程管理シス
テムが有する各構成要素について説明する。まず、プロ
セス装置１０１は、素材１１３に対してプロセス加工処
理を行うことによって製品１１５に仕上げていくもので
あり、組となっている制御部１０５ａ〜１０５ｄにより
制御されている。なお、プロセス装置１０１は、処理時
間や処理温度、処理圧力等を表すモデル式によって設定
されたプロセス条件でプロセス加工処理を行う。また、
検査機１０３は、完成した製品１１５を検査するもので
あり、プロセス装置１０１と同様に制御部１０５ｅによ
って制御されている。
【００２４】制御部１０５は、プロセス装置１０１また
は検査機１０３の制御および情報管理を行うものであ
る。特に、制御部１０５ａ〜１０５ｄは、他の制御部か
ら送られた制御情報に基づいて適当なプロセス条件を解
析し、これをシミュレーションすることによって現状に
即したより適当なプロセス条件を設定するものである。
なお、制御部１０５ａ〜１０５ｄは、組となっているプ
ロセス装置（以下、「自装置」という）のプロセス条件
を設定するのであって、対応しない他のプロセス装置の
プロセス条件を設定するものではない。また、プロセス
条件の最適化は、プロセス装置に設定されたモデル式の
特にパラメータを変更することによって行われる。
【００２５】また、制御部１０５は、解析およびシミュ
レーションして得られたプロセス条件を含むフィードフ
ォワード制御情報（ＦＦ）を次段の制御部に送る。フィ
ードフォワード制御情報（ＦＦ）を受け取った次段の制
御部は、この情報に基づいてプロセス条件を解析した後
シミュレーションし、前段の制御部と同様に、解析およ
びシミュレーションして得られたプロセス条件を含むフ
ィードフォワード制御情報（ＦＦ）を次々段の制御部に
送る。
【００２６】このように、制御部１０５は、前段の制御
部から送られたフィードフォワード制御情報（ＦＦ）を
利用して自装置のプロセス条件を設定しており、図２に
示すように、制御情報受信部２０１と、制御情報判断部
２０３と、解析部２０５と、シミュレーション部２０７
と、制御情報送信部２０９と、記憶部２１１とを備えて
構成されている。
【００２７】なお、記憶部２１１は、プロセス装置１０
１の状態に関するデータを蓄積している装置状態データ
ベース（装置状態ＤＢ）２１３と、どのようなプロセス
条件で処理されるべきかといった上限や下限等のプロセ
ス条件の設定値や工程処理順序等の設定に関するデータ
を蓄積している設定データベース（設定ＤＢ）２１５と
から構成されている。また、これらＤＢに蓄積されてい
るデータの内容は、入力制御部２１７を介して入力部２
１９により適宜更新される。
【００２８】以下、制御部１０５の各構成要素につい
て、図２を用いてより詳細に説明する。まず、制御情報
受信部２０１は、前段の制御部から送られたフィードフ
ォワード制御情報を受信し、後述する制御情報判断部２
０３に前記フィードフォワード制御情報を送るものであ
る。また、制御情報判断部２０３は、制御情報受信部２
０１によって受信されたフィードフォワード制御情報が
次の解析部２０５で利用に値するかについての判断を所
定のルールに基づいて行い、利用に値するフィードフォ
ワード情報だけを解析部２０５に送るものである。例え
ば、フィードフォワード制御情報がモデル式のパラメー
タの調整分に関する数値を含んでいるとき、制御情報判
断部２０３は、この数値が設定ＤＢ２１５のデータが示
す設定範囲内にあるかを判断し、範囲内にあるときだけ
この数値を解析部２０５に送る。
【００２９】また、解析部２０５は、制御情報判断部２
０３で解析が必要と判断されたフィードフォワード制御
情報と、記憶部２１１の装置状態ＤＢ２１３および設定
ＤＢ２１５に蓄積されているデータとから、自装置にと
って適当なモデル式のプロセス条件を解析するものであ
る。但し、解析部２０５で解析されたプロセス条件はシ
ミュレーション部２０７においてシミュレーションさ
れ、解析部２０５は、シミュレーション結果に基づいて
プロセス条件を最適化した上で、パラメータの調整分に
関する数値等の最適なプロセス条件を含んだ制御情報を
生成し、この制御情報を自装置のコントローラと制御情
報送信部２０９とに送る。
【００３０】シミュレーション部２０７は、解析部２０
５で設定されたプロセス条件が自装置においてどのよう
に影響するかについて、記憶部２１１の装置状態ＤＢ２
１３および設定ＤＢ２１５に蓄積されているデータを利
用してシミュレーションするものである。なお、シミュ
レーションした結果、解析部２０５で設定されたプロセ
ス条件を変更した方が良い場合は、その変更されたプロ
セス条件を解析部２０５に送る。
【００３１】また、制御情報送信部２０９は、解析部２
０５から送られた制御情報を次段の制御部１０５に送信
するものである。本実施形態では、図１を参照している
ため、制御部で生成された制御情報は次段の制御部に送
られているが、次段に限らず、次々段若しくはそれ以降
の制御部または前段若しくはそれ以前の制御部に送信さ
れても良い。但し、制御情報の送り先は制御部毎に予め
設定されている。
【００３２】なお、本明細書では、次段またはそれ以降
の制御部に送信される制御情報を「フィードフォワード
制御情報」と称し、前段またはそれ以前の制御部に送信
される制御情報を「フィードバック制御情報」と称して
いる。そして、「制御情報」という言葉は、フィードフ
ォワード制御情報とフィードバック制御情報の２つを含
むものとして用いる。また、制御情報受信部２０１は、
前段の制御部から送られたフィードフォワード制御情報
を受信するものと説明されているが、どの工程であって
も制御部から送信された制御情報であればこれを受信す
ることができる。
【００３３】次に、本実施形態のプロセス工程管理シス
テムの動作について説明する。まず、制御部１０５の制
御情報受信部２０１が、他の制御部から送信された制御
情報を受信する。次に、制御情報判断部２０３におい
て、制御情報受信部２０１が受信した制御情報が解析部
２０５で利用するに値するかについての判断を所定のル
ールに基づいて行う。利用するに値すると判断された制
御情報は解析部２０５に送られる。
【００３４】次に、解析部２０５は、制御情報と記憶部
２１１に蓄積されているデータとから自装置に設定され
ているモデル式のプロセス条件を解析して、自装置に対
して新たに設定するプロセス条件を設定する。次に、シ
ミュレーション部２０７は、解析部２０５で設定された
プロセス条件が自装置においてどのように影響するかに
ついて、記憶部２１１に蓄積されているデータを利用し
てシミュレーションする。
【００３５】次に、解析部２０５は、シミュレーション
部２０７におけるシミュレーションの結果をも鑑みて、
パラメータの調整分に関する数値等の最適なプロセス条
件を含んだ制御情報を生成し、この制御情報を自装置の
コントローラと制御情報送信部２０９に送る。制御情報
送信部２０９は、所定の制御部１０５に制御情報を送信
する。したがって、この制御情報を受け取った他の制御
部において上記と同様のステップが実行される。
【００３６】以上説明したように、本実施形態のプロセ
ス工程管理システムおよびプロセス工程管理方法では、
他のプロセス装置と組になっている制御部から送られた
制御情報を利用することによって、プロセス装置に設定
されているモデル式のプロセス条件を現状に即してより
適当なものに変えていくことができる。特に、このプロ
セス条件の最適化は、プロセス装置間でフィードフォワ
ード制御やフィードバック制御することによって段階的
に行われているため、環境変化やプロセス装置の経時変
化等に応じて、品質の安定化を短時間で実現することが
できる。また、プロセス条件を変更するための解析やシ
ミュレーション等の処理は各プロセス装置で行われてい
るため、工場管理サーバ１１１の処理能力に極めて高い
ものは要求されない。
【００３７】〔第２の実施形態〕第１の実施形態のプロ
セス工程管理システムおよびプロセス工程管理方法で
は、制御情報の送り先が予め設定されている関係上、一
制御部に複数の制御部から異なる内容の制御情報が送信
されることがあり得る。例えば、処理温度のモデル式の
パラメータを５℃上げなさいという制御情報と、同じく
処理温度のモデル式のパラメータを２℃上げなさいとい
う制御情報を制御部が受け取ってしまうと、制御部はど
ちらの制御情報を採用して良いのか判別つかず、本来の
制御意図から外れた制御を行ってしまう可能性がある。
【００３８】第２の実施形態のプロセス工程管理システ
ムでは、このような事態を回避するために、工程処理順
序に応じた世代情報を制御情報に付与している。より詳
細には、制御部１０５の制御情報送信部２０９は、工程
処理順序に関するデータを蓄積している設定ＤＢ２１５
を用いて、制御情報の送信先である制御部が送信元の制
御部とどのような順序関係にあるか（例えば、１段先、
２段先、１段前等）を示す順序情報Ｅと、制御情報が発
信元からいくつ制御部を経由したかを示す経由情報Ｉと
を含む世代情報ＧＰを制御情報に付与している。なお、
世代情報ＧＰは以下の式（１）によって表される。
【００３９】
【数１】
【００４０】また、本実施形態の制御部１０５では、制
御情報受信部２０１が複数の制御情報を受け取ると、制
御情報判断部２０３は、各制御情報に対して第１の実施
形態と同様な処理、すなわち、制御情報が解析部２０５
で利用に値するかについて判断し、利用に値すると判断
された制御情報が複数ある場合は、その複数の制御情報
を解析部２０５に渡す。解析部２０５は、それぞれに付
与されている世代情報を鑑みて制御情報の優先度を判断
する。本実施形態では、世代情報ＧＰの値が小さい程優
先度が高いと判断する。
【００４１】例えば、図３に示す例のように、プロセス
装置１０１ｃと組になっている制御部１０５ｃに、フィ
ードフォワード制御情報が制御部１０５ｂから送信さ
れ、フィードバック制御情報が制御部１０５ｄから送信
されている場合を考える。制御部１０５ｃの解析部２０
５は、制御部１０５ｂからのフィードフォワード制御情
報ＦＦに付与されている世代情報ＧＰ（＝Ｅｂ×Ｉ２）
と、制御部１０５ｄからのフィードバック制御情報ＦＢ
に付与されている世代情報ＧＰ（＝Ｅｄ×Ｉ３）とを比
較し、数値の小さい世代情報が付与されている制御情報
を優先度が高いと判断する。
【００４２】次に、解析部２０５は、優先度が最も高い
と判断した世代情報が付与された制御情報と記憶部２１
１の装置状態ＤＢ２１３および設定ＤＢ２１５とを用い
て解析を行い、第１の実施形態と同様にシミュレーショ
ンを行った後、制御情報を生成する。
【００４３】したがって、本実施形態のプロセス工程管
理システムおよびプロセス工程管理方法では、制御部１
０５が複数の制御情報を受け取っても、いずれか１つの
制御情報を用いて自装置に設定されているモデル式のプ
ロセス条件を解析したり、シミュレーションしたり、制
御情報を生成することができる。
【００４４】なお、複数の制御情報にそれぞれ付与され
た各世代情報ＧＰの数値が同じである場合、優先度をつ
けるために、例えば、工程処理段階が近いほど優先度を
高く設定したり、所定の制御部からの制御情報に対して
高くしたり、制御部の経由数が少ない程高く設定した
り、フィードバック制御情報よりもフィードフォワード
制御情報に対して高くしたり、パラメータの調整分が大
きいほど高く設定したりする基準を設けても良い。
【００４５】〔第３の実施形態〕第３の実施形態に係る
プロセス工程管理システムおよびプロセス工程管理方法
では、他の制御部に送信した制御情報が送信先の制御部
の解析部２０５において解析、シミュレーションおよび
制御情報生成のために使用されたとき、制御情報が使用
されたことを示す報酬情報を送信元の制御部に送ってい
る。
【００４６】より詳細には、図４に示すように、本実施
形態の制御部１０５′には、第１または第２の制御部１
０５が有する構成要素の他に、制御情報の送信元である
制御部に送る報酬情報を作成するための報酬情報作成部
４０１が設けられている。報酬情報作成部４０１は、解
析部２０５で制御情報が用いられたとき、報酬情報を作
成するものである。報酬情報作成部４０１で作成された
情報は、制御情報送信部２０９から送信元の制御部に送
られる。
【００４７】また、本実施形態の制御部１０５′が有す
る制御情報受信部２０１は、制御情報送信部２０９から
送られた報酬情報も受信する。また、本実施形態の制御
部１０５には、報酬情報を解析するための報酬情報解析
部４０３が設けられており、制御情報受信部２０１にお
いて受信された報酬情報は報酬情報解析部４０３に送ら
れる。報酬情報解析部４０３は、報酬情報を解析してそ
の結果を記憶部２１１の設定ＤＢ２１５に格納する。
【００４８】したがって、本実施形態のプロセス工程管
理システムおよびプロセス工程管理方法では、特に、解
析部２０５およびシミュレーション部２０７が、設定Ｄ
Ｂ２１５に蓄積されている報酬情報の解析結果も使用し
て解析およびシミュレーションを行うため、制御情報が
用いられたか否かを鑑みて、自装置に設定されているモ
ニタ式のプロセス条件を解析したり、シミュレーション
したり、制御情報を生成することができる。
【００４９】以上説明した第１〜第３の実施形態に係る
プロセス工程管理システムでは、工場管理サーバ１１１
が工場外部の通信ネットワーク（通信回線）に接続され
ていないため、プロセス技術者は、ある工場で歩留りが
悪化するなど対処しなければならない状況になると、そ
の工場に赴いたり状況を詳しく聞いたりする必要があ
り、適切な対処を早急に行うことが困難であった。
【００５０】しかしながら、図５に示すように、複数の
工場の工場管理サーバ１１１ａ，１１１ｂをインターネ
ットや専用線等の通信ネットワーク５０１によって相互
に接続することによって、例えば、工場Ｂに居るプロセ
ス技術者は、工場管理サーバ１１１ｂを用いて工場Ａの
工場管理サーバ１１１ａにアクセスすることにより、工
場管理サーバ１１１ａの処理データベースに蓄積されて
いる学習結果を閲覧することができる。このように、離
れた場所にあるプロセス工程管理システムの状態を管理
することができるため、プロセス技術者がたとえ少人数
であっても、遠隔地での複数のプロセス工程を効率的に
管理することができる。
【００５１】なお、工場管理サーバ１１１ａ，１１１ｂ
の処理データベース１０９には、解析部２０５で生成さ
れた制御情報や記憶部２１１の各ＤＢに蓄積されている
データおよび第３の実施形態の報酬情報解析部４０３で
解析された解析結果等の情報が内部ネットワーク１０７
を介して格納される。
【００５２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のプロセス
工程管理システムおよびプロセス工程管理方法によれ
ば、歩留り安定化を図りつつ工程全体の品質安定期間を
大幅に短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るプロセス工程管
理システムを示すブロック構成図
【図２】第1の実施形態のプロセス工程管理システムが
有する制御部の内部構成を示すブロック図
【図３】本発明の第２の実施形態に係るプロセス工程管
理システムを示すブロック構成図
【図４】第1の実施形態のプロセス工程管理システムが
有する制御部の内部構成を示すブロック図
【図５】工場管理サーバが通信ネットワークによって相
互に接続されたブロック構成図
【図６】従来のプロセス工程管理システムを示すブロッ
ク構成図
【符号の説明】
１０１（１０１ａ〜１０１ｄ） プロセス装置 １０３ 検査機 １０５（１０５ａ〜１０５ｅ） 制御部 １０７ 内部ネットワーク １０９ 処理データベース １１１ 工場管理サーバ ２０１ 制御情報受信部 ２０３ 制御情報判断部 ２０５ 解析部 ２０７ シミュレーション部 ２０９ 制御情報送信部 ２１１ 記憶部 ２１３ 装置状態データベース（装置状態ＤＢ） ２１５ 設定データベース（設定ＤＢ） ２１７ 入力制御部 ２１９ 入力部 ４０１ 報酬情報作成部 ４０３ 報酬情報解析部 ５０１ 通信ネットワーク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田久保 和之 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 田中 昌行 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 3C100 AA05 BB14 CC02 CC08 CC12 EE06 5H004 GA07 GA08 GB01 HA01 HB01 JA22 JB08 KA71 KA80 KB33 KC28 KC45 KC55 LA15 MA38 MA51

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 素材に応じたプロセス条件が設定された
    プロセス装置と、前記プロセス装置に設定されたプロセ
    ス条件を制御する制御部とがそれぞれ複数組設けられ、
    制御部同士が通信回線によって接続されるプロセス工程
    管理システムであって、 前記制御部が対のプロセス装置に対してプロセス条件の
    変更を指示した際、前記プロセス条件に関する制御情報
    を他の対の所定の制御部にも送信し、 前記所定の制御部は、受け取った制御情報に基づいて、
    対のプロセス装置に対してプロセス条件を変更するよう
    指示することを特徴とするプロセス工程管理システム。
  2. 【請求項２】 前記制御部は、 プロセス装置の状態に関するデータおよびプロセス条件
    の設定に関するデータを記憶した記憶部と、 他の制御部から制御情報を受け取ったとき、当該制御情
    報と前記記憶部に記憶されているデータとを用いて、組
    となっているプロセス装置にとって適当なプロセス条件
    を解析する解析部と、 前記解析部で解析して得られたプロセス条件と、前記記
    憶部に記憶されているデータとを比較して、前記プロセ
    ス条件が前記対のプロセス装置における影響度合を計算
    するシミュレーション部と、を有し、 前記解析部は、前記シミュレーション部の計算結果に基
    づいて前記プロセス条件を最適化した上で、最適なプロ
    セス条件を含む制御情報を生成することを特徴とする請
    求項１記載のプロセス工程管理システム。
  3. 【請求項３】 前記制御部は、 制御情報を他の制御部に送信するとき、前記制御部と前
    記他の制御部との順序関係を示す順序情報および前記制
    御情報が経由した制御部の数を示す経由情報によって表
    される世代情報を生成し、当該世代情報を前記制御情報
    に付与することを特徴とする請求項１または２記載のプ
    ロセス工程管理システム。
  4. 【請求項４】 前記制御部が世代情報の付与された制御
    情報を複数受け取ったとき、 前記解析部は、 前記複数の制御情報に付与された各世代情報を鑑みて制
    御情報の優先度を判断し、優先度が高いと判断された制
    御情報と前記記憶部に記憶されているデータとを用い
    て、プロセス条件を解析することを特徴とする請求項３
    記載のプロセス工程管理システム。
  5. 【請求項５】 前記制御部は、 制御情報が前記解析部で用いられたことを示す報酬情報
    を作成する報酬情報作成部を有し、 前記制御情報を送信した制御部に前記報酬情報作成部で
    作成された報酬情報を送信することを特徴とする請求項
    ２、３または４のいずれかに記載のプロセス工程管理シ
    ステム。
  6. 【請求項６】 前記制御部は、 受け取った報酬情報を解析し、その解析結果を前記記憶
    部に格納する報酬情報解析部を有することを特徴とする
    請求項５記載のプロセス工程管理システム。
  7. 【請求項７】 前記制御部を管理する工場管理サーバを
    備え、 前記工場管理サーバは、他のプロセス工程管理システム
    に設けられている工場管理サーバと通信回線で互いに接
    続されていることを特徴とする請求項１、２、３、４、
    ５または６のいずれかに記載のプロセス工程管理システ
    ム。
  8. 【請求項８】 素材に応じたプロセス条件が設定された
    プロセス装置を制御部が管理するプロセス工程管理方法
    であり、 前記制御部が、対のプロセス装置に対して、プロセス条
    件を変更するよう指示したとき、前記プロセス条件に関
    する制御情報を他の組の所定の制御部に送信する制御情
    報送信ステップと、 前記所定の制御部が、受け取った制御情報に基づいて、
    対のプロセス装置に対してプロセス条件を変更するよう
    指示するプロセス条件変更指示ステップと、を有するこ
    とを特徴とするプロセス工程管理方法。
  9. 【請求項９】 前記制御情報送信ステップで送信される
    制御情報を、 前記制御部が他の制御部から制御情報を受け取り、当該
    制御情報と前記記憶部に記憶されているデータとを用い
    て、プロセス条件を解析する解析ステップと、 解析した結果得られたプロセス条件と前記記憶部に記憶
    されているデータとを用いて、前記プロセス条件が前記
    組となっているプロセス装置における影響度合を計算す
    るシミュレーションステップと、 計算結果に基づいて前記プロセス条件を最適化した上
    で、最適なプロセス条件を含む制御情報を生成する制御
    情報生成ステップを有することを特徴とする請求項８記
    載のプロセス工程管理方法。
  10. 【請求項１０】 前記制御情報送信ステップは、 前記制御部と前記他の制御部との順序関係を示す順序情
    報および前記制御情報が経由した制御部の数を示す経由
    情報によって表される世代情報を生成し、 生成された世代情報を前記制御情報に付与した制御情報
    を他の制御部に送信することを特徴とする請求項８また
    は９記載のプロセス工程管理方法。
  11. 【請求項１１】 前記制御部が世代情報の付与された制
    御情報を複数受け取ったとき、 前記解析ステップは、 前記複数の制御情報に付与された各世代情報を鑑みて制
    御情報の優先度を判断し、 優先度が高いと判断された制御情報と前記記憶部に記憶
    されているデータとを用いて、適当なプロセス条件を解
    析することを特徴とする請求項１０記載のプロセス工程
    管理方法。
  12. 【請求項１２】 制御情報は前記解析ステップで用いら
    れたことを示す報酬情報を作成し、 前記制御情報を送信した制御部に作成した報酬情報を送
    信し、 前記制御情報を送信した制御部は受け取った報酬情報を
    解析して、その解析結果を前記記憶部に格納することを
    特徴とする請求項９、１０または１１のいずれかに記載
    のプロセス工程管理方法。
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