JP2002367874A - Ultraviolet irradiation apparatus, and irradiation unit for the ultraviolet irradiation apparatus - Google Patents
Ultraviolet irradiation apparatus, and irradiation unit for the ultraviolet irradiation apparatusInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明が属する技術分野】本発明は、ワークに紫外線を
照射する、紫外線照射装置及び、該紫外線照射装置の照
射ユニットに関し、より詳細には、紫外線照射装置の光
照射箱内部に設けられるランプの交換を速やかに行な
い、且つ所望の照度及び照度分布を容易に得るための、
紫外線照射装置及び、該紫外線照射装置の照射ユニット
の構造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultraviolet irradiation apparatus for irradiating a work with ultraviolet light, and an irradiation unit of the ultraviolet irradiation apparatus, and more particularly, to a lamp provided inside a light irradiation box of the ultraviolet irradiation apparatus. In order to perform the replacement promptly and easily obtain the desired illuminance and illuminance distribution,
The present invention relates to an ultraviolet irradiation device and a structure of an irradiation unit of the ultraviolet irradiation device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体集積回路の製造工程において、シ
リコンウエハ等の基板上に形成された回路内に蓄積され
ている電荷を、紫外線を照射することにより除去する場
合がある。また、基板上に塗布され、露光及び現像によ
り回路パターン状に成形されたレジストに、加熱しなが
ら紫外線を照射して、レジストの耐熱性、耐薬品性、耐
ドライエッチング性を向上させる場合がある。2. Description of the Related Art In a manufacturing process of a semiconductor integrated circuit, electric charges accumulated in a circuit formed on a substrate such as a silicon wafer may be removed by irradiating ultraviolet rays. Further, the resist applied to the substrate and formed into a circuit pattern by exposure and development may be irradiated with ultraviolet rays while heating to improve the heat resistance, chemical resistance and dry etching resistance of the resist. .
【０００３】上述した目的に用いられる、従来の紫外線
照射装置の概略断面図を図１に示す。処理室１の内部に
は、処理ステージ１ａが設けられ、該処理ステージ１ａ
の上面に、回路が形成された基板など、処理すべきワー
クＷが載置される。また、処理室１の一側面には、搬入
・搬出口１ｃが設けられ、搬送系２により、搬入・搬出
口１ｃを介して、ワークＷの搬入及び搬出が行なわれ
る。一方、処理室１の上部には、処理室上面を囲うよう
に光照射箱３が載置され、例えば蝶番Ｒ１を介して互い
に固定される構造となっている。光照射箱３の内部に
は、紫外線を含む光を放射するランプＬ、例えば棒状の
高圧水銀ランプと、該ランプＬから放射される紫外線を
含む光を反射するミラーＭとが、２組略平行に並べて設
けられ、ランプＬはランプ位置調整機構Ａを介して光照
射箱３の底部３ａに固定され、ミラーＭは光照射箱３の
ミラー取付部３ｄに固定されている。FIG. 1 is a schematic sectional view of a conventional ultraviolet irradiation apparatus used for the above-mentioned purpose. Inside the processing chamber 1, a processing stage 1a is provided.
A work W to be processed, such as a substrate on which a circuit is formed, is placed on the upper surface of the substrate. A loading / unloading port 1c is provided on one side surface of the processing chamber 1, and the workpiece W is loaded and unloaded by the transport system 2 via the loading / unloading port 1c. On the other hand, a light irradiation box 3 is placed above the processing chamber 1 so as to surround the upper surface of the processing chamber, and is fixed to each other via, for example, a hinge R1. Inside the light irradiation box 3, two sets of lamps L that emit light including ultraviolet rays, for example, a bar-shaped high-pressure mercury lamp, and two mirrors M that reflect light including ultraviolet rays emitted from the lamps L are substantially parallel. The lamp L is fixed to the bottom 3a of the light irradiation box 3 via the lamp position adjusting mechanism A, and the mirror M is fixed to the mirror mounting portion 3d of the light irradiation box 3.
【０００４】更に、処理室１と接する、光照射箱３の底
部３ａには、石英ガラス板などからなる光透過窓Ｆが設
けられ、紫外線を含む、ランプＬからの直接光、ミラー
Ｍからの反射光が該光透過窓Ｆを介してワークＷ上に照
射される。また、光照射箱３の上部には、ダクト４が設
けられ、該ダクト４は、不図示の排気系に接続されてい
る。そして、ランプＬ点灯時、排気ダンパー４ａが開
き、光照射箱３内の空気を排気し、光照射箱３の側面に
設けられた吸気口３ｃより、光照射箱３外部の空気を吸
気する。つまり、ランプＬ点灯時、ランプＬの点灯によ
り発生した熱が光照射箱３内部に蓄積することがないよ
う、ダクト４を介して光照射箱３内部の熱を排気し、更
に光照射箱３外部より空気を取り入れて、ランプＬを冷
却する構成になっている。Further, a light transmitting window F made of a quartz glass plate or the like is provided at the bottom 3a of the light irradiation box 3 which is in contact with the processing chamber 1, and includes a direct light from the lamp L and a light from the mirror M, including ultraviolet rays. The reflected light is irradiated onto the work W through the light transmission window F. In addition, a duct 4 is provided above the light irradiation box 3, and the duct 4 is connected to an exhaust system (not shown). Then, when the lamp L is turned on, the exhaust damper 4a is opened to exhaust the air in the light irradiation box 3, and the air outside the light irradiation box 3 is taken in from the air inlet 3c provided on the side surface of the light irradiation box 3. That is, when the lamp L is turned on, the heat inside the light irradiation box 3 is exhausted through the duct 4 so that the heat generated by the lighting of the lamp L does not accumulate inside the light irradiation box 3. The lamp L is cooled by taking in air from outside.
【０００５】ここで、処理室１及び光照射箱３は共に箱
型構造を有しており、その側面は、ステンレス板等、紫
外線を含む光を遮光する板１ｂ，３ｂで覆われている。
また、ランプＬより放射される光は、ミラーＭにより、
その照射方向が制御されている。したがって、ランプＬ
点灯時、紫外線を含む光が紫外線照射装置の外部に漏れ
ることのない構造となっている。[0005] Here, the processing chamber 1 and the light irradiation box 3 both have a box-shaped structure, and the side surfaces thereof are covered with plates 1b and 3b for shielding light including ultraviolet rays, such as a stainless plate.
Light emitted from the lamp L is reflected by the mirror M.
The irradiation direction is controlled. Therefore, the lamp L
At the time of lighting, the structure is such that light including ultraviolet rays does not leak out of the ultraviolet irradiation device.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、ランプＬは
点灯時間が経過するにつれて紫外線放射照度（以下、照
度と呼ぶ場合もある）及び照度分布が低下し、処理プロ
セスに基づきユーザが設定した照度及び照度分布以下に
なると交換する必要がある。ランプＬを交換する際に
は、図２に示すように、蝶番Ｒ１を回転中心として、光
照射箱３を矢印Ｙ方向に持ち上げて保持する。次に、光
透過窓Ｆを光照射箱３の底部３ａより外し、使用済みの
ランプＬと新しいランプＬとを交換する。ここで、新し
いランプＬを取り付ける際には、設定した照度及び照度
分布になるように、ミラーＭに対するランプＬの位置や
２本のランプの照度のバランスを調整する必要がある。
従来の紫外線照射装置の光照射箱３には、ランプ位置調
整機構Ａが予め設けられており、ランプＬの位置調整
は、ランプ位置調整機構Ａを用いて行なうことができ
る。しかし、ランプＬ交換後、所望の照度及び照度分布
が得られたかどうかを確認する為には、光透過窓Ｆを光
照射箱３に取り付け、光照射箱３を矢印Ｙと反対方向に
回動させて所定位置に戻し、処理ステージ１ａ上に照度
及び照度分布測定器を配置し、ランプＬを点灯して確認
する必要がある。そして、所望の照度及び照度分布が得
られなかった場合には、ランプＬを消灯して、再度光照
射箱３を矢印Ｙ方向に回動させて保持し、光透過窓Ｆを
外して、ランプＬの位置の調整や交換をし直す必要があ
る。By the way, as for the lamp L, as the lighting time elapses, the ultraviolet irradiance (hereinafter sometimes referred to as illuminance) and the illuminance distribution decrease, and the illuminance and the illuminance set by the user based on the processing process. It is necessary to replace when the illumination distribution becomes lower. When replacing the lamp L, as shown in FIG. 2, the light irradiation box 3 is lifted up in the direction of arrow Y and held around the hinge R1 as the center of rotation. Next, the light transmission window F is removed from the bottom 3a of the light irradiation box 3, and the used lamp L and the new lamp L are exchanged. Here, when installing a new lamp L, it is necessary to adjust the position of the lamp L with respect to the mirror M and the balance of the illuminance of the two lamps so that the set illuminance and the illuminance distribution are obtained.
The light irradiation box 3 of the conventional ultraviolet irradiation apparatus is provided with a lamp position adjusting mechanism A in advance, and the position of the lamp L can be adjusted using the lamp position adjusting mechanism A. However, after replacing the lamp L, in order to confirm whether the desired illuminance and illuminance distribution were obtained, the light transmission window F was attached to the light irradiation box 3, and the light irradiation box 3 was rotated in the direction opposite to the arrow Y. Then, it is necessary to confirm the position of the illuminance and the illuminance distribution measuring device on the processing stage 1a by turning on the lamp L. When the desired illuminance and illuminance distribution are not obtained, the lamp L is turned off, the light irradiation box 3 is again rotated and held in the direction of the arrow Y, the light transmission window F is removed, and the lamp L is turned off. It is necessary to adjust and replace the position of L again.
【０００７】上述したように、従来の紫外線照射装置の
光照射箱３において、ランプの交換、及び所望の照度及
び照度分布を得る為の作業は、非常に手間がかかり、生
産性向上を妨げる原因となっていた。As described above, in the light irradiation box 3 of the conventional ultraviolet irradiation apparatus, the work of replacing the lamp and obtaining a desired illuminance and illuminance distribution is extremely troublesome, and is a factor that hinders an improvement in productivity. Had become.
【０００８】本発明は、以上のような事情に基づいてな
されたものであって、本発明の目的は、ランプ交換を速
やかに行い、且つ所望の照度及び照度分布を容易に得る
ことができる、紫外線照射装置及び、該紫外線照射装置
の照射ユニットを提供することである。[0008] The present invention has been made based on the above circumstances, and an object of the present invention is to quickly replace a lamp and easily obtain a desired illuminance and illuminance distribution. An object of the present invention is to provide an ultraviolet irradiation device and an irradiation unit of the ultraviolet irradiation device.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の紫外線照射装置は、ワークに紫外線を照射する紫外線
照射装置であって、紫外線を含む光を放射するランプ
と、該ランプからの光を反射するミラーとを、保持部材
に設け、上記紫外線照射装置の光照射箱内に、案内部を
設け、上記ランプとミラーとが設けられた保持部材が、
上記案内部に沿って上記光照射箱内へ収納されて、固定
されることを特徴としている。また、本発明の請求項２
に記載の紫外線照射装置の照射ユニットは、紫外線を含
む光を放射するランプと、該ランプからの光を反射する
ミラーとを、保持部材に設けてなることを特徴としてい
る。また、本発明の請求項３に記載の紫外線照射装置
は、前記光照射箱には排気ダクトが設けられ、前記保持
部材には排気口が設けられ、上記保持部材が前記案内部
に沿って上記光照射箱内へ収納されて、固定されると、
上記排気ダクトと上記排気口とが連結されることを特徴
としている。更に、本発明の請求項４に記載の照射ユニ
ットは、紫外線を含む光を放射するランプと、該ランプ
からの光を反射するミラーとを、保持部材に設けてな
り、上記保持部材には排気口が設けられていることを特
徴としている。According to a first aspect of the present invention, there is provided an ultraviolet irradiation apparatus for irradiating a workpiece with ultraviolet light, comprising: a lamp for emitting light containing ultraviolet light; A mirror that reflects light is provided on a holding member, a guide portion is provided in a light irradiation box of the ultraviolet irradiation device, and a holding member provided with the lamp and the mirror is provided.
It is housed in the light irradiation box along the guide portion and is fixed. Further, claim 2 of the present invention
The irradiation unit of the ultraviolet irradiation device described in (1) is characterized in that a holding member is provided with a lamp that emits light including ultraviolet light and a mirror that reflects light from the lamp. Further, in the ultraviolet irradiation apparatus according to claim 3 of the present invention, the light irradiation box is provided with an exhaust duct, the holding member is provided with an exhaust port, and the holding member is arranged along the guide portion. When stored in the light irradiation box and fixed,
The exhaust duct and the exhaust port are connected to each other. Furthermore, the irradiation unit according to claim 4 of the present invention is provided with a lamp that emits light including ultraviolet rays and a mirror that reflects light from the lamp on a holding member. A mouth is provided.
【００１０】[0010]
【作用】本発明の紫外線照射装置及び、該紫外線照射装
置の照射ユニットによれば、ランプ交換時、ランプ及び
ミラーを保持部材に設けてなる照射ユニットを、案内部
に沿って、光照射箱の外部へ移動させる。そして、ラン
プ及びミラーを所望の照度及び照度分布が得られるよう
に調整して保持部材に設けた、新たな照射ユニットを光
照射箱の内部に挿入し、案内部に沿って上記光照射箱内
へ収納し、固定する。また、光照射箱に設けられた排気
ダクトと、保持部材に設けられた排気口は、光照射ユニ
ットが、光照射箱に固定されると同時に連結される。According to the ultraviolet irradiation device and the irradiation unit of the ultraviolet irradiation device of the present invention, when the lamp is replaced, the irradiation unit having the lamp and the mirror provided on the holding member is moved along the guide portion to the light irradiation box. Move outside. Then, a new irradiation unit, which is provided on the holding member by adjusting the lamp and the mirror so that a desired illuminance and illuminance distribution is obtained, is inserted into the inside of the light irradiation box, and the inside of the light irradiation box is guided along the guide portion. And fix it. The exhaust duct provided in the light irradiation box and the exhaust port provided in the holding member are connected at the same time that the light irradiation unit is fixed to the light irradiation box.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】本発明の実施例に係る紫外線照射
装置正面の概略断面図を図３に示す。同図において、図
１，２に示したものと同一のものには同一の符号が付さ
れている。本発明の紫外線照射装置の光照射箱３０は、
従来の光照射箱３と同様に、箱型構造を有しており、そ
の側面は、ステンレス板等、紫外線を含む光を遮光する
板３０ｂで覆われている。また、光照射箱３０の一側面
には、扉３０ｅが設けられ、蝶番Ｒ２を介して光照射箱
３０に固定されている。したがって、蝶番Ｒ２を回転中
心として扉３０ｅをＺ方向に回動させることにより、光
照射箱３０の内部を覗くことができるようになってい
る。ここで、扉３０ｅは、取り外せる構造や、左右方
向、または上下方向にスライドする構造でも良い。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 3 is a schematic sectional view of the front of an ultraviolet irradiation device according to an embodiment of the present invention. In the figure, the same components as those shown in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals. The light irradiation box 30 of the ultraviolet irradiation device of the present invention includes:
Like the conventional light irradiation box 3, the light irradiation box 3 has a box-shaped structure, and its side surface is covered with a plate 30b, such as a stainless steel plate, that blocks light including ultraviolet rays. In addition, a door 30e is provided on one side surface of the light irradiation box 30, and is fixed to the light irradiation box 30 via a hinge R2. Therefore, by turning the door 30e in the Z direction about the hinge R2 as the center of rotation, the inside of the light irradiation box 30 can be viewed. Here, the door 30e may have a structure that can be removed or a structure that slides horizontally or vertically.
【００１２】一方、ランプＬ及びミラーＭは、保持部
材、例えばアルミニウム板などにより作製された、略長
方形のプレートＰの一側面側に取り付けられ、その反対
面側には、照射ユニット支持体６に設けられた、凹部６
２ａ（後述する）からなる案内部に沿って、スライド可
能な凸部５２ａ（後述する）を有する排気口５が設けら
れ、一つの照射ユニットを構成する。ここで、ランプＬ
は、ランプ位置調整機構Ａを介してプレートＰに取り付
けられており、ミラーＭに対するランプＬの位置を調整
することができる構造になっている。また、ミラーＭの
頂部及びプレートＰには、それぞれ貫通孔Ｈ１，Ｈ２が
設けられ、且つ略一致した状態で配置されている。（図
４（ａ），（ｂ）参照）On the other hand, the lamp L and the mirror M are attached to one side of a substantially rectangular plate P made of a holding member, for example, an aluminum plate. The provided recess 6
An exhaust port 5 having a slidable convex portion 52a (to be described later) is provided along a guide portion 2a (to be described later), and constitutes one irradiation unit. Here, lamp L
Is mounted on the plate P via a lamp position adjusting mechanism A, and has a structure capable of adjusting the position of the lamp L with respect to the mirror M. In addition, through holes H1 and H2 are provided in the top of the mirror M and the plate P, respectively, and are arranged in a substantially coincident state. (See FIGS. 4A and 4B)
【００１３】次に、プレートＰ、及び排気ダクト４に設
けられる、排気口５及び、照射ユニット支持体６の構造
と、その係合関係について、図５，６を用いて説明す
る。図５は、本発明の実施例に係る紫外線照射装置の光
照射箱の正面断面構造を示す図である。また、図６は、
図５のＸ２−Ｘ２断面、Ｘ３−Ｘ３断面を示す図であ
る。前述したように、プレートＰの一側面には、ランプ
Ｌ及びミラーＭが取り付けられ、その反対面側には、排
気口５が設けられ、一つの照射ユニットを構成してい
る。排気口５は、前面板５１，２枚の側面板５２，後方
板５３により、プレートＰの四方を取り囲む構造を有し
ている。そして、前面板５１、側面板５２には、それぞ
れ凸部５１ａ，５２ａが、後方板５３には凹部５３ａが
それぞれ設けられている。一方、排気ダクト４の先端に
は、上記排気口５と係合して一体化する、照射ユニット
支持体６が設けられている。照射ユニット支持体６は、
前面板６１，２枚の側面板６２により、排気ダクト４の
先端に取り付けられた、略長方形の上面板６３の三方を
取り囲む構造を有している。そして、前面板６１には、
前面板５１の凸部５１ａと係合する凹部６１ａが、側面
板６２には、側面板５２の凸部５２ａと係合する凹部６
２ａがそれぞれ設けられている。また、上面板６３に
は、後方板５３の凹部５３ａと係合する凸部６３ａが設
けられている。Next, the structure of the exhaust port 5 and the irradiation unit support 6 provided on the plate P and the exhaust duct 4 and their engagement relationship will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a diagram showing a front sectional structure of a light irradiation box of the ultraviolet irradiation device according to the embodiment of the present invention. Also, FIG.
It is a figure which shows the X2-X2 cross section of FIG. 5, and the X3-X3 cross section. As described above, the lamp L and the mirror M are mounted on one side of the plate P, and the exhaust port 5 is provided on the opposite side, thereby forming one irradiation unit. The exhaust port 5 has a structure in which a front plate 51, two side plates 52, and a rear plate 53 surround four sides of the plate P. The front plate 51 and the side plate 52 are provided with convex portions 51a and 52a, respectively, and the rear plate 53 is provided with a concave portion 53a. On the other hand, an irradiation unit support 6 is provided at the end of the exhaust duct 4 so as to engage with and integrate with the exhaust port 5. The irradiation unit support 6 is
It has a structure surrounding three sides of a substantially rectangular top plate 63 attached to the end of the exhaust duct 4 by the front plate 61 and the two side plates 62. And, on the front plate 61,
A concave portion 61a that engages with the convex portion 51a of the front plate 51 has a concave portion 6 that engages with the convex portion 52a of the side plate 52 on the side plate 62.
2a are provided respectively. The upper surface plate 63 is provided with a convex portion 63a that engages with the concave portion 53a of the rear plate 53.
【００１４】そして、図５に示した挿入方向より、ラン
プＬ，ミラーＭ，排気口５が設けられた上記プレートＰ
を光照射箱３０内部に挿入し、照射ユニット支持体６の
凹部６２ａを係合溝として排気口５の凸部５２ａを挿入
方向にスライドさせていく。そして、排気口５の凸部５
１ａが照射ユニット支持体６の凹部６１ａに、および照
射ユニット支持体６の凸部６３ａが排気口５の凹部５３
ａに、それぞれ嵌まるまでプレートＰを挿入方向に押し
込むと、排気口５と照射ユニット支持体６とは互い隙間
無く嵌まり合って連結し、一つの排気ダクトを形成する
と共に、ワークＷに対するランプＬの位置が定まる。The plate P provided with the lamp L, the mirror M, and the exhaust port 5 from the insertion direction shown in FIG.
Is inserted into the light irradiation box 30, and the projection 52a of the exhaust port 5 is slid in the insertion direction using the recess 62a of the irradiation unit support 6 as an engagement groove. And the convex part 5 of the exhaust port 5
1 a is provided in the recess 61 a of the irradiation unit support 6, and the projection 63 a of the irradiation unit support 6 is provided in the recess 53 of the exhaust port 5.
When the plate P is pushed in the insertion direction until it fits into each of the a, the exhaust port 5 and the irradiation unit support 6 are fitted and connected to each other without a gap to form one exhaust duct, and a lamp for the workpiece W is formed. The position of L is determined.
【００１５】次に、本発明の実施例の作用・効果を説明
する。図３乃至６に示すように、ランプＬ及びミラーＭ
が取り付けられたプレートＰと排気ダクト４とは、プレ
ートＰに設けられた排気口５と、排気ダクト４に設けら
れた照射ユニット支持体６において、着脱自在な構造と
なっている。したがって、光照射箱３０と同等の構造を
有する照度及び照度分布測定治具を用意し、所望の照度
及び照度分布が得られるよう、ミラーＭに対するランプ
Ｌの位置調整やランプＬの選別を行なった、新たな照射
ユニットを、予め準備しておけば、ランプＬ交換時に
は、照射ユニットを交換するだけで、ランプＬを交換す
ることができ、しかも照度及び照度分布の測定は不要と
なり、ランプＬ交換に必要な時間を従来に比べ格段に短
くすることができる。更に、上述したように、ワークＷ
に対するランプＬの位置も定まるので、ワークＷを所望
の照度及び照度分布で照射することができる。Next, the operation and effect of the embodiment of the present invention will be described. As shown in FIGS. 3 to 6, the lamp L and the mirror M
The plate P to which is attached and the exhaust duct 4 have a detachable structure at an exhaust port 5 provided at the plate P and an irradiation unit support 6 provided at the exhaust duct 4. Therefore, an illuminance and illuminance distribution measuring jig having a structure equivalent to that of the light irradiation box 30 was prepared, and the position adjustment of the lamp L with respect to the mirror M and the selection of the lamp L were performed so as to obtain a desired illuminance and illuminance distribution. If a new irradiation unit is prepared in advance, when replacing the lamp L, the lamp L can be replaced simply by replacing the irradiation unit, and the measurement of the illuminance and the illuminance distribution becomes unnecessary. Required time can be made much shorter than before. Further, as described above, the work W
Is determined, the work W can be irradiated with desired illuminance and illuminance distribution.
【００１６】また、排気ダクト４に設けられた照射ユニ
ット支持体６に、プレートＰに設けられた排気口５を係
合させて一体化すると、排気口５と照射ユニット支持体
６とは１つの排気ダクトを形成すると共に、プレートＰ
に設けられた貫通孔Ｈ２から排気ダクト４を介して排気
系へと続く流路を形成する。そして、図７に示すよう
に、紫外線照射装置を作動させると、排気ダンパー４ａ
が開いて、光照射箱３０の側面に設けられた吸気口３０
ｃより、冷却用の外部空気が取り込まれ、該空気は、ラ
ンプＬとミラーＭの間を抜けて、貫通孔Ｈ１，Ｈ２、排
気口５と照射ユニット支持体６とにより形成された排気
ダクト、そして排気ダクト４を通って排気される。すな
わち、外部より取り込まれた空気は、ランプＬに集ま
り、ランプＬの熱を均一に奪って排気されていくので、
ランプＬの冷却を、効率良く行なうことができる。When the exhaust port 5 provided on the plate P is engaged with and integrated with the irradiation unit support 6 provided on the exhaust duct 4, the exhaust port 5 and the irradiation unit support 6 become one unit. An exhaust duct is formed and the plate P
A flow path is formed from the through hole H2 provided to the exhaust system through the exhaust duct 4 to the exhaust system. Then, as shown in FIG. 7, when the ultraviolet irradiation device is operated, the exhaust damper 4a
Is opened, and the air inlet 30 provided on the side of the light irradiation box 30 is opened.
c, external air for cooling is taken in, the air passes between the lamp L and the mirror M, and is formed by the through holes H1 and H2, the exhaust port 5 and the irradiation unit support 6, Then, the air is exhausted through the exhaust duct 4. That is, the air taken in from the outside collects in the lamp L and uniformly exhausts the heat of the lamp L and is exhausted.
The cooling of the lamp L can be performed efficiently.
【００１７】なお、本実施例においては、照射ユニット
支持体６に、案内部として凹部６２ａを設けたが、案内
部の構造はこれに限るものではなく、例えば、案内部の
構造を凸部とし、排気口５に、該凸部と係合する凹部を
形成してもよい。また、上記照射ユニット支持体の案内
部、または排気口にの何れか一方に、車輪を設け、該車
輪の回転により、照射ユニット支持体を案内部において
スライドさせる構造とすることもできる。そして、上記
構成とすることにより、照射ユニットの大型化により、
重量が増加した場合でも、案内部におけるスライドを容
易に行なうことができる。In this embodiment, the irradiation unit support 6 is provided with the concave portion 62a as a guide portion. However, the structure of the guide portion is not limited to this. For example, the structure of the guide portion may be a convex portion. The exhaust port 5 may be formed with a concave portion that engages with the convex portion. Further, it is also possible to adopt a structure in which a wheel is provided on one of the guide portion and the exhaust port of the irradiation unit support, and the irradiation unit support slides on the guide portion by rotation of the wheel. And, by adopting the above configuration, by increasing the size of the irradiation unit,
Even when the weight increases, the slide in the guide portion can be easily performed.
【００１８】[0018]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の紫外線照
射装置の光照射箱及び、該紫外線照射装置の照射ユニッ
トによれば、ランプ交換時、ランプ及びミラーを保持部
材に設けてなる照射ユニットを、案内部に沿って、光照
射箱の外部へ移動させる。そして、ランプ及びミラーを
所望の照度及び照度分布が得られるように調整して保持
部材に設けた、新たな照射ユニットを光照射箱の内部に
挿入し、案内部に沿って上記光照射箱内へ収納し、固定
する。また、光照射箱に設けられた排気ダクトと、保持
部材に設けられた排気口は、光照射ユニットが、光照射
箱に支持、固定されると同時に連結される。したがっ
て、紫外線照射装置の光照射箱内部に設けられるランプ
の交換を速やかに行ない、且つ所望の照度及び照度分布
を容易に得ることができる。また、上述したように、ワ
ークＷに対するランプＬの位置も定まるので、ワークＷ
を所望の照度及び照度分布で照射することができる。更
に、該紫外線照射装置の照射ユニットに設けられた、ラ
ンプが安定して点灯するに十分な冷却を行なうことがで
きる。As described above, according to the light irradiation box of the ultraviolet irradiation apparatus and the irradiation unit of the ultraviolet irradiation apparatus of the present invention, the irradiation unit having the lamp and the mirror provided on the holding member when replacing the lamp. Is moved to the outside of the light irradiation box along the guide portion. Then, a new irradiation unit, which is provided on the holding member by adjusting the lamp and the mirror so that a desired illuminance and illuminance distribution is obtained, is inserted into the inside of the light irradiation box, and the inside of the light irradiation box is guided along the guide portion. And fix it. The exhaust duct provided in the light irradiation box and the exhaust port provided in the holding member are connected at the same time that the light irradiation unit is supported and fixed to the light irradiation box. Therefore, the lamp provided inside the light irradiation box of the ultraviolet irradiation device can be quickly replaced, and the desired illuminance and illuminance distribution can be easily obtained. Further, as described above, since the position of the lamp L with respect to the work W is determined,
At a desired illuminance and illuminance distribution. Further, it is possible to sufficiently cool the lamp provided in the irradiation unit of the ultraviolet irradiation device so that the lamp is stably turned on.
【図１】 従来の紫外線照射装置の概略断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view of a conventional ultraviolet irradiation device.
【図２】 従来の紫外線照射装置の、ランプ交換時の状
態を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a state of a conventional ultraviolet irradiation device when a lamp is replaced.
【図３】 本発明の実施例に係る紫外線照射装置正面の
概略断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the front of an ultraviolet irradiation device according to an embodiment of the present invention.
【図４】 ミラーの頂部及びプレートに設けられた貫通
孔を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a top portion of a mirror and a through hole provided in a plate.
【図５】 本発明の実施例に係る紫外線照射装置の光照
射箱の正面断面構造を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a front sectional structure of a light irradiation box of the ultraviolet irradiation device according to the embodiment of the present invention.
【図６】 図５のＸ２−Ｘ２断面、Ｘ３−Ｘ３断面を示
す図である。6 is a diagram showing a cross section taken along line X2-X2 and a cross section taken along X3-X3 of FIG. 5;
【図７】 本発明の実施例に係る紫外線照射装置の光照
射箱において、冷却空気が流れていく様子を示す図であ
る。FIG. 7 is a diagram showing a state in which cooling air flows in a light irradiation box of the ultraviolet irradiation device according to the embodiment of the present invention.
１ 処理室 １ａ 処理ステージ １ｃ 搬入・搬出口 ２ 搬送系 ３，３０ 光照射箱 ３ａ 底部 ３ｃ 吸気口 ３ｄ ミラー取付部 ３０ｅ 扉 １ｂ，３ｂ，３０ｂ 紫外線を含む光を遮光する板 ４ ダクト ４ａ 排気ダンパー ５ 排気口 ６ 照射ユニット支持体 ５１，６１ 前面板 ５２，６２ 側面板 ５３ 後方板 ６３ 上面板 ５１ａ，５２ａ，６３ａ 凸部 ５３ａ，６１ａ，６２ａ 凹部 Ａ ランプ位置調整機構 Ｆ 光透過窓 Ｈ１，Ｈ２ 貫通孔 Ｌ ランプ Ｍ ミラー Ｐ プレート Ｒ１，Ｒ２ 蝶番 Ｗ ワーク DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Processing room 1a Processing stage 1c Loading / unloading 2 Transport system 3,30 Light irradiation box 3a Bottom part 3c Inlet 3d Mirror mounting part 30e Door 1b, 3b, 30b Plate which shields light containing ultraviolet rays 4 Duct 4a Exhaust damper 5 Exhaust port 6 Irradiation unit support 51, 61 Front plate 52, 62 Side plate 53 Back plate 63 Top plate 51a, 52a, 63a Convex portions 53a, 61a, 62a Recess A Lamp position adjusting mechanism F Light transmission window H1, H2 Through hole L Lamp M Mirror P Plate R1, R2 Hinge W Work
Claims (4)
置であって、 紫外線を含む光を放射するランプと、該ランプからの光
を反射するミラーとを、保持部材に設け、 上記紫外線照射装置の光照射箱内に、案内部を設け、 上記ランプとミラーとが設けられた保持部材が、上記案
内部に沿って上記光照射箱内へ収納されて、固定される
ことを特徴とする、紫外線照射装置。An ultraviolet irradiation device for irradiating a workpiece with ultraviolet light, wherein a lamp that emits light containing ultraviolet light and a mirror that reflects light from the lamp are provided on a holding member. A guide member is provided in the light irradiation box, and a holding member provided with the lamp and the mirror is housed in the light irradiation box along the guide portion and fixed. Irradiation device.
ユニットであって、 上記照射ユニットは、紫外線を含む光を放射するランプ
と、該ランプからの光を反射するミラーとを、保持部材
に設けてなる、紫外線照射装置の照射ユニット。2. The irradiation unit of the ultraviolet irradiation apparatus according to claim 1, wherein the irradiation unit includes: a lamp that emits light including ultraviolet light; and a mirror that reflects light from the lamp. The irradiation unit of the ultraviolet irradiation device provided in the above.
れ、 前記保持部材には排気口が設けられ、 上記保持部材が前記案内部に沿って上記光照射箱内へ収
納されて、固定されると、上記排気ダクトと上記排気口
とが連結されることを特徴とする、請求項１に記載の紫
外線照射装置。3. The light irradiation box is provided with an exhaust duct, the holding member is provided with an exhaust port, and the holding member is housed and fixed in the light irradiation box along the guide portion. The ultraviolet irradiation device according to claim 1, wherein the exhaust duct and the exhaust port are connected.
ユニットであって、 上記照射ユニットは、紫外線を含む光を放射するランプ
と、該ランプからの光を反射するミラーとを、保持部材
に設けてなり、 上記保持部材には排気口が設けられている、紫外線照射
装置の照射ユニット。4. The irradiation unit of the ultraviolet irradiation apparatus according to claim 3, wherein the irradiation unit includes a lamp that emits light including ultraviolet light and a mirror that reflects light from the lamp. An irradiation unit of an ultraviolet irradiation device, wherein the holding member is provided with an exhaust port.
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