JP2002364643A

JP2002364643A - 流体力学的箔軸受

Info

Publication number: JP2002364643A
Application number: JP2001173869A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Hayashi; 和宏林; Keiji Heisata; 敬二平佐多
Original assignee: Osaka Sangyo University
Current assignee: Osaka Sangyo University
Priority date: 2001-06-08
Filing date: 2001-06-08
Publication date: 2002-12-18

Abstract

(57)【要約】【課題】流体力学的箔軸受を小型で高速回転に適応で
き、高速回転軸用の軸受として最適なものにする。【解決手段】回転軸５とハウジング１との間に形成し
た環状隙間６に、前記ハウジング１に設けた固定部７
に、周方向の一端を固定して他端を自由端とする可撓性
を有するトップフォイル２と、前記環状隙間６の外側
に、周方向の一端を前記固定部７に固定して他端を自由
端とし、周方向に適宜間隔で内側に切り起こした支持板
３を形成したバックアップフォイル４を設ける。前記ト
ップフォイル２は、回転軸５との間に流体力学的に流体
膜を形成して軸受作用を行う。一方、バックアップフォ
イル４は、回転軸５の振動を切り起こした支持板３の変
形によるバネ作用と、支持板３の変形時にトップフォイ
ルとの間に生じるすべり摩擦により吸収し、軸受が小型
で高速回転に適応できるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する利用分野】この発明は、高速回転軸用の
流体力学的箔軸受に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】高速回転体の代表的な物として、例え
ば、ターボチャージャーがある。ターボチャージャー
は、近年、自動車への採用が急増し、大型トラックへの
搭載に始まり、現在では小型乗用車、単車にまで普及し
ている。

【０００３】そのため、ますます、小型化、軽量化、高
速化などの性能の向上が計られている。

【０００４】このターボチャージャー用軸受には、従来
から油潤滑の浮動ブッシュ軸受が用いられているが、エ
ンジンルームからの高温の排気ガスに晒されるタービン
側では、油の温度上昇による粘度の低下や劣化に伴う潤
滑性能の低下、さらに、シール部からの漏油の増加や火
災の危険性などのいくつかの問題点が生じている。

【０００５】これらの問題点から、ターボチャージャ用
軸受として要求される条件としては、高速安定性、耐衝
撃性、耐異物性や小型で低コストである他に、潤滑油の
粘度の低下や劣化に伴う潤滑性能の低下、シール部から
の漏油の増加と火災の危険性などを伴わないことも重要
である。

【０００６】これらの要求を満たす軸受形式として流体
力学的箔軸受が有望である。この流体力学的箔軸受の基
本的な構造は、回転軸とハウジングの間の隙間に金属箔
（以下、金属薄板という）を設け、その金属薄板で軸受
面を構成し、金属薄板の軸受面と回転軸間に形成される
薄い流体膜の減衰効果によって優れた安定性を実現し、
同時に金属薄板の可撓性により、異物の混入やミスアラ
イメントに対しても優れた特性を発揮させようとするも
のである。

【０００７】そのため、これまで多くの種類の流体力学
的箔軸受が提案されており、その代表的なものとして、
例えば図７に示す特公昭６２−２９６４９号公報に記載
のものや、図８に示すフォイルベアリングと呼ばれるも
のが知られている。

【０００８】前者は、図７に示すように、回転軸５が挿
入されたハウジング１の内周面に複数枚の金属薄板２０
の一端を固定して円周方向に一定の間隔で取り付けたも
ので、各金属薄板２０の一方の面を軸受面ｓとして回転
軸５の外周面に接触させ、前記回転軸５の外周面と軸受
面ｓ間に形成される薄い流体膜により回転軸５を流体力
学的に支持する構造となっている。

【０００９】一方、後者は、図８に示すように、回転軸
５と回転軸５が挿入されたハウジング１との隙間に波板
状に成形された金属薄板２１と、さらに、その内側（回
転軸外周面側）に平らな金属薄板２２を設けて、そのそ
れぞれの金属薄板２１、２２の一端をハウジング１の内
周に固定し、回転軸５を回転軸５と金属薄板２２の軸受
面ｓの間に形成される薄い流体膜によって流体力学的に
支持する構造になっている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構造の流体力学的箔軸受においては、以下のよう
な問題がある。

【００１１】まず、前者のような構造の流体力学的箔軸
受は、金属製の薄板を一定間隔で配置した構造のため、
間隔を密にしないと生成される流体膜の生成面積が少な
く、高速回転軸用の軸受として十分な効果が得られない
という問題がある。

【００１２】そのため、各金属薄板は、回転軸の回転数
の変化に対応して回転軸への接触量をハウジングの外部
より調整する必要があるが、そのようにすると、構造が
複雑になり、装置全体も大型化するという問題もある
（図７参照）。

【００１３】一方、後者のような構造の流体力学的箔軸
受では、前記の問題点に対する改善は行われるが、両構
造の流体力学的箔軸受とも、軸線方向の支持構造（断面
構造）が一様であるため、軸線方向の回転軸の傾きやミ
スアライメントに対して対応できないという問題があ
る。

【００１４】また、両軸受とも、金属薄板の変形によっ
て薄板間に生じるクローン摩擦を利用して回転軸の振動
エネルギーを吸収し、安定化をはかる構造となっている
が、そのバネ特性・減衰特性が不可変で固定されてしま
い、様々な回転軸の挙動に対応できないという問題があ
る。

【００１５】そこで、この発明の課題は、回転軸の傾き
やミスアライメント、さらに、回転軸の振動に対しても
対応できるようにして、流体力学的箔軸受を小型で高速
回転に適応できる高速回転軸用の軸受として最適なもの
にすることである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この発明では、回転軸との間に環状隙間を設けて前
記回転軸を覆うハウジングと、前記環状隙間の内側に配
し、前記ハウジングに設けた固定部に周方向の一端を固
定して他端を自由端とする可撓性を有するトップフォイ
ルと、前記環状隙間の外側に所要間隔で配して前記トッ
プフォイルの外周を弾性的に支持する複数列の支持板と
からなる構成を採用したのである。このような構成を採
用したことにより、環状隙間の内側に配したトップフォ
イルが、ハウジングに設けた固定部に一端を固定した状
態で、回転軸外周面と接する側の面が軸受面となり、回
転軸の回転時に軸面との間に流体力学的に流体膜を形成
することによって軸受作用を行う。その際、環状隙間の
外側、すなわち、トップフォイルとハウジングの間に設
けた支持板は、回転軸が振動すると、その振動エネルギ
ーを支持板の変形によるバネ作用と、支持板の変形時に
トップフォイルとの間に生じるすべり摩擦により吸収す
る。このとき、支持板は、軸方向に複数列設けたことに
より、回転軸の軸方向の傾きやミスアライメントに対し
て変形することで適応することができる。

【００１７】また、前記環状隙間の外側に所要間隔で配
した複数列の支持板に代えて、周方向の一端を前記固定
部に固定して他端を自由端とし、かつ、周方向に所要間
隔で内側に切り起こした支持板を複数列形成したバック
アップフォイルを設けた構成を採用することができる。
このような構成を採用することにより、環状隙間の外側
に所要間隔で配した支持板と同様に、環状隙間の外側、
すなわち、トップフォイルとハウジングの間に設けたバ
ックアップフォイルの支持板は、回転軸が振動すると、
その振動エネルギーを支持板の変形によるバネ作用と、
支持板の変形時にトップフォイルとの間に生じるすべり
摩擦により吸収することができる。このとき、支持板は
バックアップフォイルに簡単に形成することができるの
で、バックアップフォイルを環状隙間に配すれば、環状
隙間の外側に支持板を容易に設けることができる。

【００１８】また、前記バックアップフォイルが複数枚
のバックアップフォイルを重ね合わせたものとし、その
内側に配したバックアップフォイルの複数列の支持板を
切り起こして生じた窓部から、外側に配した前記バック
アップフォイルの複数列の支持板を内側に突出させて、
重ね合わせた構成を採用することができる。このような
構成を採用することにより、外側のバックアップフォイ
ルは窓部の分だけスライドさせることができるので、ス
ライドにより支持板の重なり具合を（位相を変えて）設
定できる。その際、例えば、支持板を密着させれば、重
ねた支持板のバネ特性は堅くできるし、離せば柔らかく
できる。また、用いるバックアップフォイルの枚数によ
り重ね合わせる支持板の枚数と間隔とを設定できるの
で、全体のバネ特性及び減衰特性を任意に設定できる。

【００１９】さらに、前記複数枚のバックアップフォイ
ルが、複数列の支持板を切り起こした前記バックアップ
フォイルと、回転軸の軸方向に複数列の棒状体を設けた
他のバックアップフォイルとからなり、その内側に配し
た複数列の支持板を切り起こした前記バックアップフォ
イルの窓部から、外側に配した前記他のバックアップフ
ォイルの棒状体を内側に突出させて、重ね合わせた構成
を採用することができる。このような構成を採用するこ
とにより、棒状体は、バックアップフォイルをスライド
させて（位相を変えて）、支持板との係合具合を変えれ
ば、支持板の立ち上げ角を設定できるので、バネ特性及
び減衰特性を設定できる。

【００２０】なお、上記所要間隔とは、実験や経験など
により適宜決められるものである。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。図１（ａ）〜（ｃ）に第１実施
形態の流体力学的箔軸受を示す。この流体力学的箔軸受
は、軸受全体の形を規定するハウジング１と、図１
（ｂ）に示すように、一方の面が軸受面ｓとなるトップ
フォイル２と、長手方向（円周方向）に所要間隔で、複
数列（軸方向（軸線方向にも所要間隔））の互いに独立
した支持板３を設けたバックアップフォイル４とで構成
されている。

【００２２】トップフォイル２は、図１（ｂ）に示すよ
うに、一様な厚みを有する可撓性の平滑な金属などの薄
板で形成されたものである。また、バックアップフォイ
ル４は、図１（ｂ）に示すように、可撓性の金属薄板に
幅方向に２列の「コ」の字形のスリットを入れ、このス
リット部分を適当な角度で立ち上げて支持板３を形成し
た構造となっている。

【００２３】このトップフォイル２とバックアップフォ
イル４を図１（ｃ）のように重ねて、ハウジング１の内
周とこのハウジング１内に挿入した回転軸５との間の環
状隙間６へ、トップフォイル２が内側（回転軸側）とな
るように筒状にして挿入し、それらの一方の端部をハウ
ジング１に設けた固定部７に固定（例えば、スペーサな
どで圧接して）するようになっており、固定されたトッ
プフォイル２は図１（ａ）に示すとおり、回転軸５の全
周に接することができるようになっている。

【００２４】但し、回転軸５の回転は、トップフォイル
２の固定されていない側の端部（自由端）から固定側の
端部に向かう方向であり、バックアップフォイル４の突
起（「コ」の字形スリットの立ち上げ）の方向も同様で
ある。すなわち、図１（ａ）における回転軸１の回転方
向は反時計回りである。

【００２５】この形態は上記のように構成され、このよ
うな回転軸では回転中は、軸受面ｓと回転軸５の外周面
間で全周にわたって流体力学的に流体膜（気体膜、液体
膜）が形成され、回転軸５に対する軸受作用を行うこと
になる。

【００２６】このとき、トップフォイル２は、可撓性を
有しているため、回転軸５とトップフォイル２の軸受面
ｓ間に異物が混入した場合にも変形して流体膜を形成す
ることができるので、対応可能である。

【００２７】また、回転軸５が振動を開始した場合に
は、トップフォイル２およびバックアップフォイル４の
支持板３の弾性変形によるバネ作用と、トップフォイル
２の背面とバックアップフォイル４の支持板３の変形に
より生じる滑り摩擦の効果によって振動エネルギーを吸
収・減衰するので、安定性を高めることができる。

【００２８】さらに、偏荷重やミスアライメントによ
り、回転軸５が軸方向に傾くと、バックアップフォイル
４の軸線方向に設けた互いに独立した２列の支持板３
が、それぞれ傾きに追従して弾性変形し、弾性変形によ
るバネ作用により不正な振動を吸収・減衰することがで
きる。

【００２９】次に、図２に第２実施形態の流体力学的箔
軸受を示す。図２に示す流体力学的箔軸受は、ハウジン
グ１と、トップフォイル２と、長手方向（円周方向）に
所要間隔で、複数列（幅方向（軸線方向にも所要間
隔））の互いに独立した支持板３（「コ」の字形スリッ
トの立ち上げ）を設けた複数のバックアップフォイル４
とで構成されており、バックアップフォイル４はこの形
態では２枚のバックアップフォイル４ａ、４ｂで構成さ
れている。

【００３０】ハウジング１、トップフォイル２、バック
アップフォイル４ａ、４ｂは、第１実施形態のものと基
本的には同様のものであり、トップフォイル２の背面に
バックアップフォイル４ａと４ｂを重ね、その重ねた外
側のバックアップフォイル４ｂの支持板３を内側に配し
たバックアップフォイル４ａの切り起こした窓部８から
突出させ、ハウジング１の内周とこのハウジング１内に
挿入した回転軸５との間の環状隙間６へトップフォイル
２が内側となるように筒状にして挿入し、それらの一方
の端部をハウジング１に設けた固定部７に固定した構造
となっている。

【００３１】その際、バックアップフォイル４ａと４ｂ
は、長手方向にスライドさせることにより、各窓部８の
２枚の支持板３に位相差（窓部８の幅の分だけ）を与え
ると、全体としてバネ特性及び減衰特性を可変とするこ
とができる。

【００３２】例えば、バックアップフォイル４ａ、４ｂ
をスライドさせて各窓部８の支持板３を重ねて密着させ
れば、重ねた支持板３のバネ特性は堅くすることができ
るし、逆に離せばバネ特性を柔らかくできる（単独のバ
ネ特性に近くなる）。その際、支持板３を離す距離に応
じてトップフォイル２を支持する間隔も変わるので、全
体のバネ特性及び減衰特性を最適な状態に設定すること
ができる。

【００３３】この形態では、バックアップフォイル４
ａ、４ｂの位相差を決めてハウジング１の固定部７に固
定するようにしたが、例えば、バックアップフォイル４
ａ、４ｂをスライドさせる調整機構を設けて位相差の設
定を固定後にもできるようにしてもよい。

【００３４】また、このとき、トップフォイル２の巻方
向及びバックアップフォイル４ａ、４ｂの支持板３の立
ち上げ方向と回転軸５の回転方向の関係についても、第
１実施形態のものと同様である。

【００３５】そのため、このタイプの流体力学的箔軸受
も、第１実施形態のものと同様の原理により、１．流体膜の形成による軸受作用２．異物混入に対する対応３．偏荷重やミスアライアメントによる回転軸の傾き４．振動エネルギーの吸収・減衰による安定性の向上などを達成できるが、２枚のバックアップフォイル４
ａ、４ｂを用いて、バネ特性及び減衰特性を可変とする
ことで、より広い使用条件に対する安定性が達成でき
る。

【００３６】図３に第３実施形態の流体力学的箔軸受を
示す。この形態の流体力学的箔軸受は、ハウジング１、
トップフォイル２、２枚のバックアップフォイル４ａ、
４ｂで構成されており、２枚のバックアップフォイル４
ａ、４ｄのうち、外周側のバックアップフォイル４ｄの
形状が異なる以外は、第２実施形態のものと同じもので
ある。

【００３７】この外周側のバックアップフォイル４ｄ
は、図３（ｂ）に示すように、支持板３に代えて内側の
バックアップフォイル４ａと列数が同一で、同一ピッチ
の棒状体９を設けたものである（例えば、棒状体９は一
体成形の他に溶着や接着などによっても設けることがで
きる）。

【００３８】そして、これら３枚のフォイル２、４ａ、
４ｄを図３（ｃ）のように重ねて、トップフォイル２が
内周側となるように筒状にして、ハウジング１と回転軸
５の間の環状隙間６に挿入し、一端をハウジング１に設
けた固定部７に固定してある。この際、第２実施形態の
場合と同様に、バックアップフォイル４ａとバックアッ
プフォイル４ｄの長手方向の位置を所要量ずらせること
により、バックアップフォイル４ａ、４ｄに設けられた
支持板３と棒状体９に位相差を与えると、棒状体９と支
持板３との係合状態を変えて支持板３の立ち上げ角度を
調整することができる。そのため、全体としてのバネ特
性及び減衰特性を可変とすることができるので、第２実
施形態のものと同様に優れた軸受性能を実現できる。

【００３９】次に、上記流体力学的箔軸受が優位なこと
を検証するため、回転性能実験を行ったので、実験のス
ペックとその実験結果を下記に示す。

【００４０】実験には、図１の第１実施形態のものと同
一構造の軸受１０、１０’を用いた。なお、本実験では
軸受１０、１０’を動圧空気軸受として試験を行った。

【００４１】トップフォイル２は、厚さ０．０８ｍｍ、
幅２０ｍｍ、長さ７０ｍｍのりん青銅からなる薄板を用
いている。また、バックアップフォイル４は、厚さ０．
０８ｍｍ、幅２０ｍｍ、長さ７０ｍｍのＳＵＳ４４０に
よる薄板を用いており、幅７ｍｍ（深さ３ｍｍ）の２列
×１３個＝２６個のスリットを立ち上げて支持板３を構
成している。

【００４２】このトップフォイル２とバックアップフォ
イル４は、先に述べたとおり、バックアップフォイル４
の支持板３がトップフォイル２の背面に接触するように
重ね、トップフォイル２が内側となるように筒状にして
ハウジング３と回転軸５の間の環状隙間６に挿入し、一
端をハウジング１の固定部７に固定してある。

【００４３】また、その際、前記供試用軸受１０、１
０’の公称軸受隙間（ハウジング１内径から軸径および
重ね合わせたフォイル要素２、４の高さ（厚さ）を差し
引いた値）は、０μｍであった。なお、潤滑性を高める
ために、トップフォイル２の両面に二硫化モリブデンを
塗布した。

【００４４】図４は、回転性能試験装置の概略図であ
り、同図において符号５は回転軸である。回転軸５はス
テンレス製で表面の一部にイオン窒化処理を施した直径
１７ｍｍ、長さ２２０ｍｍ、質量０．４５ｋｇのもので
あり、中央部に回転駆動のためのタービン羽根１２が取
り付けられている。また、回転軸５は、中央と端部間の
端部よりの位置を前記した供試軸受（流体力学的箔軸
受）１０、１０’で支持し、両端部には端面に加圧空気
を吹き付けるスラスト軸受１１を設けて、スラスト方向
に支持している。また、軸端の近傍に非接触式変位計１
３を設け、回転軸５の水平および鉛直方向についての変
位を測定した。さらに、一方の流体力学的箔軸受１０’
を静圧空気ジャーナル軸受１４で支持し、流体力学的箔
軸受１０’に働く反動トルクを歪みゲージを用いたトル
クセンサー１５により検出するようにして回転軸５に働
く摩擦トルクを測定した。

【００４５】（実験結果）（１）軸振動回転軸の振動振幅（水平方向）と回転速度の関係を図５
に示す。図５からわかるように、起動から１万ｒｐｍ付
近までは少し変動は見られるものの、６万ｒｐｍ付近ま
では１μｍ程度の振動振幅で非常に安定した特性を示し
た。それ以上の高速回転では、徐々に振幅が増加し、軸
の１次曲げ危険速度である９０，３００ｒｐｍに近づく
と振動振幅が急増し、それ以上の昇速はできなかった。
しかし、振動波形の分析結果から、いわゆる、ハーフフ
リクエンシーホワールと呼ばれる不安定現象は生じてい
ないことがわかった。

【００４６】（２）軸トルク回転軸１に働く摩擦トルクを知るために、流体力学的箔
軸受１０’に働く反動トルクを測定した。測定結果を図
６に示す。その結果、起動時は回転軸５とトップフォイ
ル２の軸受面ｓが固体接触しているために、摩擦トルク
は急激に増大するが、２，８００ｒｐｍ付近でピークと
なった後は急減し、その後は、回転速度の増加とともに
緩やかに減少していることがわかる。このことから、か
なり早い低速の状態で回転軸５が空気力学的に浮上し、
流体潤滑状態へ移行したことがうかがえる。また、流体
潤滑状態への移行後、通常の軸受では昇速とともに、流
体粘性摩擦の増大により摩擦トルクが増大するのに対し
て、本発明にかかる流体力学的箔軸受１０、１０’で
は、流体膜圧力によるフォイル２、４の変形により軸受
すきまが拡大するため、昇速による摩擦トルクの増大が
相殺され、その結果、摩擦トルクの増大は見られなかっ
た。

【００４７】なお、実施形態では、支持板の形状を長方
形としたが、これに限定されるものではない。例えば、
接触端を円弧状のような形状としてもよい。

【００４８】また、実施形態では、支持板を２列のもの
について述べたが、これに限定されるされるものではな
い。３列、４列・・・など実験や経験などにより、軸受
の大きさや重量、回転数などに基づいて適宜決定される
ものである。

【００４９】さらに、実施形態では、バックアップフォ
イルによって支持板を形成したが、バックアップフォイ
ルを用いずに例えば、ハウジングに直接支持板を設ける
ようにしても良いことは当然である。

【００５０】なお、実施形態では、トップフォイルとバ
ックアップフォイルに金属薄板を用いたものを示した
が、これに限定されるものではなく、例えば、フィルム
状の高分子材料やその他の弾性材料を使用してもよいこ
とは明白である。

【００５１】

【発明の効果】この発明は、以上のように構成したこと
により、軸受面を構成するトップフォイルと軸外周面と
の間に流体膜を形成し、すみやかに流体潤滑状態に移行
することによって軸受作用を行うとともに、トップフォ
イルとそれを弾性的に支えるバックアップフォイルの可
撓性により高速域まで安定した回転を実現することがで
きる。

【００５２】さらに、これらフォイルの可撓性の効果に
より、昇速による摩擦トルクの増大も抑えることがで
き、例えば、自動車用のターボチャージャー始め、分散
電源用のマイクロガスタービンなど高速回転体用の軸受
として広い用途に適用可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）第１実施形態の断面図（ｂ）第１実施形態の要部の分解斜視図（ｃ）第１実施形態の要部の断面図

【図２】（ａ）第２実施形態の断面図（ｂ）第２実施形態の要部の分解斜視図（ｃ）第２実施形態の要部の断面図

【図３】（ａ）第３実施形態の断面図（ｂ）第３実施形態の要部の分解斜視図（ｃ）第３実施形態の要部の断面図

【図４】試験装置の模式図

【図５】軸振幅対回転速度の特性図

【図６】摩擦トルク対回転速度の特性図

【図７】従来例の断面図

【図８】従来例の断面図

【符号の説明】

１ハウジング２トップフォイル３支持板４バックアップフォイル４ａバックアップフォイル４ｂバックアップフォイル４ｃバックアップフォイル５回転軸６環状隙間７固定部８窓部ｓ軸受面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者平佐多敬二交野市天野が原町２丁目36番３号Ｆターム(参考） 3G005 FA12 GB55 3J012 AB01 AB12 BB01 CB05 DB06 EB07 EB10 FB01 HB01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転軸との間に環状隙間を設けて前記回
転軸を覆うハウジングと、前記環状隙間の内側に配し、
前記ハウジングに設けた固定部に周方向の一端を固定し
て他端を自由端とする可撓性を有するトップフォイル
と、前記環状隙間の外側に所要間隔で配して前記トップ
フォイルの外周を弾性的に支持する複数列の支持板とか
らなる流体力学的箔軸受。
【請求項２】前記環状隙間の外側に所要間隔で配した
複数列の支持板に代えて、周方向の一端を前記固定部に
固定して他端を自由端とし、かつ、周方向に所要間隔で
内側に切り起こした支持板を複数列形成したバックアッ
プフォイルを設けたことを特徴とする請求項１に記載の
流体力学的箔軸受。
【請求項３】前記バックアップフォイルが複数枚のバ
ックアップフォイルを重ね合わせたものとし、その内側
に配したバックアップフォイルの複数列の支持板を切り
起こして生じた窓部から、外側に配した前記バックアッ
プフォイルの複数列の支持板を内側に突出させて、重ね
合わせたことを特徴とする請求項２に記載の流体力学的
箔軸受。
【請求項４】前記複数枚のバックアップフォイルが、
複数列の支持板を切り起こした前記バックアップフォイ
ルと、回転軸の軸方向に複数列の棒状体を設けた他のバ
ックアップフォイルとからなり、その内側に配した複数
列の支持板を切り起こした前記バックアップフォイルの
窓部から、外側に配した前記他のバックアップフォイル
の棒状体を内側に突出させて、重ね合わせたことを特徴
とする請求項３に記載の流体力学的箔軸受。