JP2002354664A - Electric-power capacity setting method, power supply device, and power supply device for semiconductor-device testing device - Google Patents
Electric-power capacity setting method, power supply device, and power supply device for semiconductor-device testing deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば半導体デ
バイスを試験する半導体デバイス試験装置に適用して好
適な電力容量設定方法及びこの設定方法を用いて電力容
量を設定した電源装置、半導体デバイス試験装置用電源
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a power capacity setting method suitable for a semiconductor device test apparatus for testing, for example, a semiconductor device, a power supply apparatus having a power capacity set by using the setting method, and a semiconductor device test apparatus. For power supply.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より半導体デバイス試験装置では、
一度に試験することができる被試験半導体デバイスの数
を増加させる傾向があることと、被試験半導体デバイス
の消費電力も増大する傾向にある。従って、被試験半導
体デバイスを試験する半導体デバイス試験装置では例え
ば３００チャンネル程のプログラマブル直流電源ユニッ
トを用意し、このプログラマブル直流電源ユニットによ
り例えば６６〜１００個程の半導体デバイスに電源電圧
を印加し、被試験半導体デバイスを動作させて試験を行
っている。2. Description of the Related Art Conventionally, in a semiconductor device test apparatus,
There is a tendency that the number of semiconductor devices under test that can be tested at one time tends to increase, and the power consumption of the semiconductor devices under test also tends to increase. Accordingly, in a semiconductor device test apparatus for testing a semiconductor device under test, a programmable DC power supply unit of, for example, about 300 channels is prepared, and a power supply voltage is applied to, for example, about 66 to 100 semiconductor devices by the programmable DC power supply unit. The test is performed by operating the test semiconductor device.
【０００３】図４にその様子を示す。図中１０は給電装
置、２０−１〜２０−ｎ1、２０−ｎ2、２０−ｎ3はプ
ログラマブル直流電源ユニット、３０はこのプログラマ
ブル直流電源ユニット２０−１〜２０−ｎ3が出力する
直流電圧と許容する最大電流値を設定するコントロー
ラ、ＤＵＴ−１〜ＤＵＴ−ｎは被試験半導体デバイスを
示す。図４の例では被試験半導体デバイスＤＵＴ−１〜
ＤＵＴ−ｎがそれぞれ３つの電源端子ＶＣ１、ＶＣ２、
ＶＣ３を有し、これら３つの電源端子ＶＣ１、ＶＣ２、
ＶＣ３にそれぞれプログラマブル直流電源ユニット２０
−１〜２０−ｎ3から直流の電源電圧を印加する場合を
示す。FIG. 4 shows such a situation. Figure 10 is the power supply apparatus, 20-1~20-n 1, 20- n 2, 20-n 3 programmable DC power supply unit, 30 is the DC output from the programmable DC power supply unit 20-1 to 20-n 3 Controllers for setting the voltage and the maximum allowable current value, DUT-1 to DUT-n, indicate semiconductor devices under test. In the example of FIG. 4, the semiconductor devices under test DUT-1 to DUT-1
DUT-n has three power supply terminals VC1, VC2,
VC3, and these three power supply terminals VC1, VC2,
VC3 has a programmable DC power supply unit 20
From -1~20-n 3 shows the case of applying a direct current power supply voltage.
【０００４】各プログラマブル直流電源ユニット２０−
１〜２０−ｎ3はそれぞれが独立してコントローラ３０
により出力電圧と最大出力電流値が設定され、試験しよ
うとする半導体デバイスの規格及び端子の規格に合致し
た電源電圧及び電流を印加できるように構成されてい
る。Each programmable DC power supply unit 20-
1 to 20-n 3 are independently controlled by the controller 30
, The output voltage and the maximum output current value are set, so that a power supply voltage and a current that conform to the standard of the semiconductor device to be tested and the standard of the terminal can be applied.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】従来、給電装置１０の
電力容量はプログラマブル直流電源ユニット２０−１〜
２０−ｎ3に許容されている最大定格電流値にユニット
の台数を乗算した値で決定している。つまり、各プログ
ラマブル直流電源ユニット２０−１〜２０−ｎ3が持つ
許容最大定格電流が１Ａ（アンペア）であるものとする
と、給電装置１０に与える電流容量は１Ａ×台数（３０
０）＝３００Ａとして設定し、３００Ａ（アンペア）の
電流を安全に供給できるように設計している。Conventionally, the power capacity of the power supply device 10 is controlled by the programmable DC power supply units 20-1 to 20-1.
Are determined by the value obtained by multiplying the number of units to the maximum rated current value to 20-n 3 are allowed. That is, when the allowable maximum current rating with each programmable DC power supply unit 20-1 to 20-n 3 is assumed to be 1A (ampere), the current capacity supplied to the transmission device 10 1A × number (30
0) = 300 A, which is designed to safely supply a current of 300 A (ampere).
【０００６】然し乍ら、プログラマブル直流電源ユニッ
ト２０−１〜２０−ｎ3の全てが常時最大定格電流を出
力している状況はほとんど無く、定常的には３００Ａ
（アンペア）の数分の１程度の電力を消費している状況
が一般的である。この結果として給電装置１０には無駄
なコストが掛けられていることになる。このため、各プ
ログラマブル直流電源ユニット２０−１〜２０−ｎ3の
全ての最大定格電流値を例えば一律に半分の０．５Ａ
（アンペア）に設定したとすると、給電装置１０の電力
容量は３００×０．５Ａ＝１５０Ａとなり半分の電力容
量に設定することができ、それだけ給電装置１０の製造
コストを低減できることになるが、現実問題として被試
験半導体デバイスには１つの端子で最大定格電流として
例えば１．２Ａを要求するデバイスが存在すると、この
場合には例えば図５に示すように０．５Ａの定格容量の
プログラマブル直流電源ユニットを３台並列接続して
１．２Ａを要求する電源端子ＶＣ１に電力を供給し、他
の電源端子ＶＣ２、ＶＣ３にはそれぞれに１台のプログ
ラマブル直流電源ユニットを接続して半導体デバイスを
駆動する必要がある。このために各被試験半導体デバイ
ス毎に５台のプログラマブル直流電源ユニットが用いら
れることになる。However, there is almost no situation in which all of the programmable DC power supply units 20-1 to 20-n 3 always output the maximum rated current, and normally 300 A
In general, the power consumption is about a fraction of (Amperes). As a result, wasteful cost is imposed on the power supply device 10. Thus, each programmable DC power supply unit 20-1 to 20-n 3 half of all of the maximum rated current value, for example, the uniform 0.5A
(Ampere), the power capacity of the power supply device 10 is 300 × 0.5 A = 150 A, which can be set to half the power capacity, and the manufacturing cost of the power supply device 10 can be reduced accordingly. As a problem, if a semiconductor device under test includes a device that requires, for example, 1.2 A as a maximum rated current at one terminal, in this case, for example, a programmable DC power supply unit having a rated capacity of 0.5 A as shown in FIG. Are connected in parallel to supply power to the power supply terminal VC1 requiring 1.2A, and one programmable DC power supply unit is connected to each of the other power supply terminals VC2 and VC3 to drive the semiconductor device. There is. For this purpose, five programmable DC power supply units are used for each semiconductor device under test.
【０００７】このように、プログラマブル直流電源ユニ
ットの定格電流より電流値が大きい電流を要求する電源
端子を持つ半導体デバイスを試験しようとすると、複数
のプログラマブル直流電源ユニットを並列接続してその
要求を満たさなくてはならないため、その場合にはプロ
グラマブル直流電源ユニットの総数には制限があるた
め、同時に試験することができる半導体デバイスの数を
大幅に減らさなければならない不都合が生じる。つま
り、図５に示す例では１個の被試験半導体デバイスに対
して５台のプログラマブル直流電源ユニットを用いるか
ら、プログラマブル直流電源ユニットが３００台とすれ
ば試験が可能なデバイスは６０個となる。As described above, when testing a semiconductor device having a power supply terminal that requires a current larger than the rated current of the programmable DC power supply unit, a plurality of programmable DC power supply units are connected in parallel to satisfy the requirement. In that case, the total number of programmable DC power supply units is limited in that case, so that the number of semiconductor devices that can be simultaneously tested must be greatly reduced. That is, in the example shown in FIG. 5, five programmable DC power supply units are used for one semiconductor device under test, and if there are 300 programmable DC power supply units, 60 devices can be tested.
【０００８】この発明の目的は同時に試験することがで
きる半導体デバイスの数を大きく減らすことはなく、然
も給電装置の電力容量を可及的に小さく設定することが
でき、経済的に無駄が少ない電源の電力容量を設定する
電力容量設定方法及びこの方法を適用した電源装置、半
導体デバイス試験装置用電源装置を提案しようとするも
のである。An object of the present invention is not to greatly reduce the number of semiconductor devices that can be tested at the same time, but it is possible to set the power capacity of the power supply device as small as possible, and to economically reduce waste. An object of the present invention is to propose a power capacity setting method for setting a power capacity of a power supply, a power supply apparatus to which the method is applied, and a power supply apparatus for a semiconductor device test apparatus.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１で
は、設定された最大電流値で定められる許容電流の範囲
内で負荷の要求に応じて自由に電流を出力することがで
きる複数のプログラマブル直流電源ユニットと、この複
数のプログラマブル直流電源ユニットが要求する電流の
総量を安全に給電することができる給電装置とを具備し
て構成される電源装置の電力容量設定方法において、複
数のプログラマブル直流電源ユニットに設定する最大電
流値を負荷に定められている定格最大電流値に対応させ
て設定し、この設定された負荷の定格最大電流値の総量
の値に従って、給電装置の電力容量を決定する構成とし
た電力容量設定方法を提案する。According to a first aspect of the present invention, a plurality of programmable current sources capable of freely outputting a current in response to a load request within an allowable current range defined by a set maximum current value. In a power capacity setting method for a power supply device comprising a DC power supply unit and a power supply device capable of safely supplying the total amount of current required by the plurality of programmable DC power supply units, a plurality of programmable DC power supplies are provided. A configuration in which the maximum current value set for the unit is set in accordance with the rated maximum current value specified for the load, and the power capacity of the power supply device is determined according to the total amount of the rated maximum current value of the set load. We propose a power capacity setting method.
【００１０】この発明の請求項２では、設定された最大
電流値で定められる許容電流範囲内で負荷の要求に応じ
て自由に電流を出力することができる複数のプログラマ
ブル直流電源ユニットと、この複数のプログラマブル直
流電源ユニットが要求する電流の総量を安全に給電する
ことができる給電装置と、を具備して構成される電源装
置において、複数のプログラマブル直流電源ユニットに
設定する最大電流値を負荷に定められている定格最大電
流値に対応させて設定し、この設定された負荷の定格最
大電流値の総量の値に従って給電装置の電力容量を決定
すると共に、決定した給電装置の電力容量値を制限値と
定め、負荷の定格が変更される毎に、各負荷の定格最大
電流の和を求め、この和の値が制限値を超えた場合はエ
ラーを表示させる構成とした電源装置を提案する。According to a second aspect of the present invention, there are provided a plurality of programmable DC power supply units capable of freely outputting a current according to a load request within an allowable current range defined by a set maximum current value, and A power supply device capable of safely supplying the total amount of current required by the programmable DC power supply unit, and setting a maximum current value to be set for the plurality of programmable DC power supply units to the load. The power capacity of the power supply device is determined according to the total value of the set maximum rated current value of the load, and the determined power capacity value of the power supply device is set to the limit value. Each time the load rating is changed, the sum of the rated maximum current of each load is calculated, and if this sum exceeds the limit value, an error is displayed. Suggest formed and the power supply.
【００１１】この発明の請求項３では、請求項２記載の
電源装置において、負荷は半導体デバイスとされ、複数
のプログラマブル直流電源ユニットはそれぞれ被試験半
導体デバイスに直流電源電圧を印加する直流電源ユニッ
トとして動作する半導体デバイス試験装置用電源装置を
提案する。作用 この発明による電力容量設定方法によれば、各プログラ
マブル直流電源ユニットの負荷となる被試験半導体デバ
イスに定められている定格最大電流値をそれぞれのプロ
グラマブル直流電源ユニットの定格電流と定め、その定
格電流の総量で給電装置の電力容量を決定するから、実
質的に無駄のない電力容量に定めることができる。この
結果、給電装置に掛かるコストを低減することができる
利点が得られる。According to a third aspect of the present invention, in the power supply device according to the second aspect, the load is a semiconductor device, and each of the plurality of programmable DC power supply units is a DC power supply unit for applying a DC power supply voltage to the semiconductor device under test. A power supply for a semiconductor device test apparatus that operates is proposed. According to the power capacity setting method according to the action the present invention, determined the programmable DC power supply unit and load becomes the rated maximum current value is defined in the semiconductor device under test and the rated current of each of the programmable DC power supply unit, the rated current Since the power capacity of the power supply device is determined by the total amount of the power supply apparatus, the power capacity can be substantially reduced. As a result, there is an advantage that the cost of the power supply device can be reduced.
【００１２】更に、この発明による電源装置によれば負
荷の品種が変わる毎に負荷の定格最大電流の総量を求
め、その総量の値が給電装置に設定した電力容量で定め
た制限値を超えた場合は、設定に誤りがあるものとして
エラーを表示させる構成としたから、制限値を超えた状
態で電源装置が実動することはなく、安全性の高い電源
装置を提供することができる。また、この発明による電
源装置を半導体デバイス試験装置に適用することによ
り、半導体デバイス試験装置のコストを低減することが
できる利点が得られる。また、同時に試験することがで
きる半導体デバイスの数は許容される範囲内で最大値に
採ることができる利点も得られる。Further, according to the power supply device of the present invention, every time the type of load changes, the total amount of the rated maximum current of the load is obtained, and the total amount exceeds the limit value defined by the power capacity set in the power supply device. In such a case, the error is displayed assuming that there is an error in the setting, so that the power supply does not operate in a state where the limit value is exceeded, and a highly safe power supply can be provided. Further, by applying the power supply device according to the present invention to a semiconductor device test apparatus, there is obtained an advantage that the cost of the semiconductor device test apparatus can be reduced. Further, there is an advantage that the number of semiconductor devices that can be tested simultaneously can be set to the maximum value within an allowable range.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】図１を用いてこの発明による電力
容量設定方法及びこの発明による電源装置の構成を説明
する。図４及び図５と対応する部分には同一符号を付し
て示す。即ち１０は給電装置、２０−１、２０−２、２
０−３…はプログラマブル直流電源ユニットＤＵＴ−
１、ＤＵＴ−２、ＤＵＴ−３…はそれぞれ負荷となるこ
の例では、被試験半導体デバイスを示す。この発明で
は、負荷に定められた定格最大電流値を各プログラマブ
ル直流電源ユニット２０−１、２０−２、２０−３…に
設定する。つまり、各負荷ＤＵＴ−１、ＤＵＴ−２、Ｄ
ＵＴ−３…に電源電圧を印加するプログラマブル直流電
源ユニット２０−１、２０−２、２０−３…に、負荷と
なる半導体デバイスＤＵＴ−１〜ＤＵＴ−ｎに定められ
た定格最大電流値を設定する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A power capacity setting method according to the present invention and a configuration of a power supply device according to the present invention will be described with reference to FIG. 4 and 5 are denoted by the same reference numerals. That is, 10 is a power supply device, 20-1, 20-2, 2
0-3 ... is a programmable DC power supply unit DUT-
1, DUT-2, DUT-3,... Each represent a semiconductor device under test in this example. In the present invention, the rated maximum current value determined for the load is set in each of the programmable DC power supply units 20-1, 20-2, 20-3,. That is, each load DUT-1, DUT-2, D
The rated maximum current value set for the semiconductor devices DUT-1 to DUT-n serving as loads is set in the programmable DC power supply units 20-1, 20-2, 20-3, which apply a power supply voltage to the UT-3. I do.
【００１４】従って、図１に示すように負荷となる例え
ば半導体デバイスＤＵＴ−１の電源端子ＶＣ１が１．２
Ａ（アンペア）、他の電源端子ＶＣ２とＶＣ３が０．３
Ａ及び０．２Ａ（アンペア）が定格最大電流値であるも
のとすると、プログラマブル直流電源ユニット２０−１
に各プログラマブル直流電源ユニットに許容されている
最大電流である１Ａ（アンペア）を設定し、プログラマ
ブル直流電源ユニット２０−２に０．２Ａ（アンペア）
を設定し、これらプログラマブル直流電源ユニット２０
−１と２０−２を並列接続して半導体デバイスＤＵＴ−
１の電源端子ＶＣ１に接続する。更にプログラマブル直
流電源ユニット２０−３には定格最大電流を０．３Ａ、
プログラマブル直流電源ユニット２０−４には定格最大
電流を０．２Ａに設定する。Therefore, as shown in FIG. 1, for example, the power supply terminal VC1 of the semiconductor device DUT-1 becomes 1.2
A (Amps), other power terminals VC2 and VC3 are 0.3
Assuming that A and 0.2A (ampere) are rated maximum current values, the programmable DC power supply unit 20-1
Is set to 1 A (ampere), which is the maximum current allowed for each programmable DC power supply unit, and 0.2 A (ampere) is set to the programmable DC power supply unit 20-2.
And set these programmable DC power supply units 20
-1 and 20-2 connected in parallel to form a semiconductor device DUT-
1 power supply terminal VC1. Further, the rated maximum current of the programmable DC power supply unit 20-3 is 0.3 A,
The rated maximum current is set to 0.2 A for the programmable DC power supply unit 20-4.
【００１５】この設定はコントローラ３０に搭載してい
る試験プログラムに利用者が記述することによって設定
される。図２はその記述の一例を示す。ＰＰＳ１、ＰＰ
Ｓ２、ＰＰＳ３…ＰＰＳ３００は各プログラマブル直流
電源ユニット２０−１、２０−２、２０−３…に付した
ユニットＮＯ．を示す。各ユニットＮＯ．に対応して出
力すべき設定電圧と、出力が可能な最大電流値を示す設
定電流を記述する。この出力が可能な最大電流値は負荷
である被試験半導体デバイスＤＵＴ−１、ＤＵＴ−２、
ＤＵＴ−３…の各電源端子ＶＣ１、ＶＣ２、ＶＣ３…が
要求する定格最大電流値である。This setting is set by the user describing the test program in the controller 30. FIG. 2 shows an example of the description. PPS1, PP
SPS, PPS3... PPS300 are unit numbers assigned to the respective programmable DC power supply units 20-1, 20-2, 20-3. Is shown. Each unit No. The setting voltage to be output and the setting current indicating the maximum current value that can be output are described in correspondence with the above. The maximum current value at which this output is possible is the load of the semiconductor devices under test DUT-1, DUT-2,
Is the rated maximum current value required by each of the power supply terminals VC1, VC2, VC3,.
【００１６】この発明の請求項１で提案する電力容量設
定方法は平均的な定格最大電流値を持つ被試験半導体デ
バイスＤＵＴ−１、ＤＵＴ−２、ＤＵＴ−３の最大電流
を設定した状態で各設定値の総和を求め、その総和の値
を給電装置１０の電力容量として設定する。電力容量設
定方法を提案するものである。図１に示す被試験半導体
デバイスの例を電力容量設定方法に用いるモデルとする
ならば、この被試験半導体デバイスは１個当り１．７Ａ
（アンペア）を消費することになるから、同時に１００
個のデバイスを試験しようとすると１．７Ａ×１００＝
１７０Ａ（アンペア）となる。In the power capacity setting method proposed in claim 1 of the present invention, each of the semiconductor devices under test DUT-1, DUT-2, and DUT-3 having an average rated maximum current value is set with the maximum current set. The sum of the set values is obtained, and the sum is set as the power capacity of the power supply device 10. The present invention proposes a power capacity setting method. If the example of the semiconductor device under test shown in FIG. 1 is used as a model used in the power capacity setting method, the semiconductor device under test has a capacity of 1.7 A per device.
(Amps) will be consumed, so 100
1.7A × 100 =
170A (ampere).
【００１７】従って、この場合には給電装置１０に１７
０Ａ（アンペア）の電力容量を持たせればよいことにな
る。但し、この場合は各プログラマブル直流電源ユニッ
ト２０−１、２０−２、２０−３…に許容されている最
大出力電流は従来と同様に１Ａ（アンペア）であるもの
とする。このように、負荷が要求する定格最大電流の総
和を給電装置１０の電力容量に設定することにより必要
最小限度の電力容量で給電装置１０を設計できるため、
従来の電力容量設定方法と比較して約半分程度の電力容
量とすることができる。この結果、給電装置１０の製造
コストを低減することができる利点が得られる。Therefore, in this case, 17
It suffices to have a power capacity of 0 A (ampere). However, in this case, the maximum output current allowed for each of the programmable DC power supply units 20-1, 20-2, 20-3,... Is 1 A (ampere) as in the conventional case. As described above, by setting the sum of the rated maximum currents required by the load to the power capacity of the power supply apparatus 10, the power supply apparatus 10 can be designed with the minimum required power capacity.
The power capacity can be reduced to about half as compared with the conventional power capacity setting method. As a result, the advantage that the manufacturing cost of the power supply device 10 can be reduced is obtained.
【００１８】更に、この発明では、平素の利用形態にお
いて、負荷となる被試験半導体デバイスＤＵＴ−１、Ｄ
ＵＴ−２、ＤＵＴ−３…の品種が変わった場合に、新た
に試験しようとする半導体デバイスの各電源端子に定め
られている定格最大電流値を図２に示したようにコント
ローラ３０に搭載しているプログラムに記述し、各プロ
グラマブル直流電源ユニット２０−１、２０−２、２０
−３…に最大電流値を設定する。この発明の請求項２で
はこの新たに設定した最大電流値の総和Ｐを求め、この
総和Ｐと給電装置１０に設定した電力容量値ＷP（制限
値として働く）とを比較し、ＷP＜Ｐである場合は設定
エラーとして表示器３１に表示させる。この表示により
設定値が正しいか否かを調べると共に、設定の間違いが
なければ同時に試験する半導体デバイスの個数を削減
し、ＷP＞Ｐとなる状態に整合させる。Further, according to the present invention, the semiconductor devices under test DUT-1 and DUT, which are loads, are used in the normal mode of use.
When the type of UT-2, DUT-3,... Has changed, the rated maximum current value specified for each power supply terminal of the semiconductor device to be newly tested is mounted on the controller 30 as shown in FIG. In each of the programmable DC power supply units 20-1, 20-2, 20
Set the maximum current value to -3 ... According to claim 2 of the present invention, the sum P of the newly set maximum current value is obtained, and the sum P is compared with a power capacity value W P (acting as a limit value) set in the power supply device 10, and W P < If it is P, it is displayed on the display 31 as a setting error. This display checks whether or not the set value is correct. If there is no mistake in the setting, the number of semiconductor devices to be tested is reduced at the same time, and matching is performed so that W P > P.
【００１９】[0019]
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
給電装置１０の電力容量を実質的に実需に沿った値に設
定することができるから、給電装置１０に無駄なコスト
が掛かることはない。この結果、給電装置１０の製造コ
ストを低減することができ、特に半導体デバイス試験装
置の製造コストを低減できる利点が得られる。また、コ
ストの低減効果に加えて各プログラマブル直流電源ユニ
ット２０−１、２０−２、２０−３…に設定する最大電
流の値を変更した場合にはその総和Ｐを求め、その総和
Ｐと給電装置１０に設定した電力容量ＷPとを比較して
ＷP＜Ｐの状態では設定エラーを表示させるから、ＷP＜
Ｐの状態で実動させることを防止することがきできる。
従って、安全に運用することができる利点が得られる。As described above, according to the present invention, the power capacity of the power supply device 10 can be set to a value substantially in accordance with actual demand, so that unnecessary cost is imposed on the power supply device 10. Absent. As a result, the manufacturing cost of the power supply device 10 can be reduced, and in particular, the advantage that the manufacturing cost of the semiconductor device test device can be reduced can be obtained. When the maximum current value set in each of the programmable DC power supply units 20-1, 20-2, 20-3,... Is changed in addition to the cost reduction effect, the total P is obtained. Since the setting error is displayed in the state of W P <P by comparing the power capacity W P set in the device 10, W P <
It is possible to prevent actual operation in the state of P.
Therefore, there is obtained an advantage that it can be operated safely.
【００２０】更に、上述したように各プログラマブル直
流電源ユニット２０−１、２０−２、２０−３…に許容
される最大電流を従来と同様に１Ａ（アンペア）とした
場合には、１Ａ（アンペア）の範囲内で最大電流を設定
することができる。この結果、図５で説明したように例
えば１．２Ａ（アンペア）を要求する電源端子に最大電
流が０．５Ａのプログラマブル直流電源ユニットを３台
並列接続しなくて済むため、並列接続して利用するプロ
グラマブル直流電源ユニットの数を可及的に少なくする
ことができる。この結果、同時に試験することができる
半導体デバイスの数を大きく低減させることがない利点
が得られる。Further, as described above, if the maximum current allowed in each of the programmable DC power supply units 20-1, 20-2, 20-3,... ), The maximum current can be set. As a result, as described with reference to FIG. 5, for example, three programmable DC power supply units having a maximum current of 0.5 A do not need to be connected in parallel to a power supply terminal requiring 1.2 A (ampere). The number of programmable DC power supply units to be used can be reduced as much as possible. As a result, an advantage is obtained that the number of semiconductor devices that can be tested simultaneously is not significantly reduced.
【００２１】また、この発明によれば図３に示すよう
に、各プログラマブル直流電源ユニット２０−１、２０
−２、２０−３…とソケットボード２０１までの間のコ
ネクタ２１２で接続される固定配線部分を変更しなくと
も、ソケットボード２０１の内部で品種に対応した布線
２１０、２１１を配線すればよいから、この品種に対応
した布線２１０、２１１はソケットボード２０１上に配
線される。ソケットボード２０１は各品種毎に用意する
ものであるため、各品種毎に用意したソケットボード２
０１を交換するだけで各品種のデバイスの試験を開始す
ることができる。この点で運用上手間の掛からない半導
体試験装置を提供することができる。According to the present invention, as shown in FIG. 3, each of the programmable DC power supply units 20-1 and 20-1
The wirings 210 and 211 corresponding to the type may be wired inside the socket board 201 without changing the fixed wiring part connected by the connector 212 between the socket boards 201, -2, 20-3... Therefore, the wirings 210 and 211 corresponding to this type are wired on the socket board 201. Since the socket board 201 is prepared for each type, the socket board 2 prepared for each type is
Testing of each type of device can be started only by replacing 01. In this respect, it is possible to provide a semiconductor test apparatus that requires no trouble in operation.
【図１】この発明の一実施例を説明するためのブロック
図。FIG. 1 is a block diagram for explaining an embodiment of the present invention.
【図２】図１に示した実施例の動作を説明するための
図。FIG. 2 is a view for explaining the operation of the embodiment shown in FIG. 1;
【図３】この発明によって得られる一つの効果を説明す
るためのブロック図。FIG. 3 is a block diagram for explaining one effect obtained by the present invention.
【図４】従来の技術を説明するためのブロック図。FIG. 4 is a block diagram for explaining a conventional technique.
【図５】従来の技術の不都合を説明するためのブロック
図。FIG. 5 is a block diagram for explaining inconvenience of the conventional technique.
【符号の説明】 １０ 給電装置 ２０−１〜２０−ｎ3 プログラマブル直流電
源ユニット ３０ コントローラ ３１ 表示器 ＤＵＴ−１、ＤＵＴ−２… 被試験半導体デバ
イス[Description of Signs] 10 Power supply device 20-1 to 20-n 3 Programmable DC power supply unit 30 Controller 31 Display DUT-1, DUT-2 ... Semiconductor device under test
Claims (3)
電流の範囲内で負荷の要求に応じて自由に電流を出力す
ることができる複数のプログラマブル直流電源ユニット
と、この複数のプログラマブル直流電源ユニットが要求
する電流の総量を安全に給電することができる給電装置
とを具備して構成される電源装置の電力容量設定方法に
おいて、 上記複数のプログラマブル直流電源ユニットに設定する
最大電流値を負荷に定められている定格最大電流値に対
応させて設定し、この設定された負荷の定格最大電流値
の総量の値に従って、上記給電装置の電力容量を決定す
ることを特徴とする電力容量設定方法。1. A plurality of programmable DC power supply units capable of freely outputting a current according to a load request within an allowable current range defined by a set maximum current value, and a plurality of programmable DC power supply units And a power supply device capable of safely supplying the total amount of current required by the power supply device. A power capacity setting method comprising: setting a power capacity of the power supply device in accordance with a set maximum rated current value, and determining a power capacity of the power supply device according to a value of the total rated maximum current value of the set load.
電流範囲内で負荷の要求に応じて自由に電流を出力する
ことができる複数のプログラマブル直流電源ユニット
と、この複数のプログラマブル直流電源ユニットが要求
する電流の総量を安全に給電することができる給電装置
と、を具備して構成される電源装置において、 上記複数のプログラマブル直流電源ユニットに設定する
最大電流値を負荷に定められている定格最大電流値に対
応させて設定し、この設定された負荷の定格最大電流値
の総量の値に従って上記給電装置の電力容量を決定する
と共に、決定した給電装置の電力容量値を制限値と定
め、負荷の定格が変更される毎に、各負荷の定格最大電
流の和を求め、この和の値が上記制限値を超えた場合は
エラーを表示させる構成としたことを特徴とする電源装
置。2. A plurality of programmable DC power supply units capable of freely outputting a current according to a load request within an allowable current range defined by a set maximum current value, and a plurality of programmable DC power supply units. A power supply device capable of safely supplying the total amount of required current, wherein the maximum current value set for the plurality of programmable DC power supply units is a rated maximum value set for the load. The power capacity of the power supply device is set in accordance with the current value, and the power capacity of the power supply device is determined in accordance with the total value of the set maximum rated current value of the load. Each time the rating is changed, the sum of the rated maximum current of each load is calculated, and an error is displayed if the sum exceeds the above limit value. Switching control in accordance with and.
負荷は半導体デバイスとされ、上記複数のプログラマブ
ル直流電源ユニットはそれぞれ被試験半導体デバイスに
直流電源電圧を印加する直流電源ユニットとして動作す
る半導体デバイス試験装置用電源装置。3. The power supply device according to claim 2, wherein the load is a semiconductor device, and each of the plurality of programmable DC power supply units operates as a DC power supply unit for applying a DC power supply voltage to the semiconductor device under test. Power supply for test equipment.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001153370A JP2002354664A (en) | 2001-05-23 | 2001-05-23 | Electric-power capacity setting method, power supply device, and power supply device for semiconductor-device testing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001153370A JP2002354664A (en) | 2001-05-23 | 2001-05-23 | Electric-power capacity setting method, power supply device, and power supply device for semiconductor-device testing device |
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| JP2002354664A true JP2002354664A (en) | 2002-12-06 |
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| JP (1) | JP2002354664A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010178455A (en) * | 2009-01-28 | 2010-08-12 | Nec Computertechno Ltd | Power supply, power supply method, and power supply program |
| JP2014181969A (en) * | 2013-03-18 | 2014-09-29 | Fujitsu Semiconductor Ltd | Testing apparatus and testing method |
| WO2022255621A1 (en) * | 2021-06-01 | 2022-12-08 | 삼성전자 주식회사 | Electronic device for detecting defect of semiconductor component, and method for controlling same |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5895934A (en) * | 1981-12-02 | 1983-06-07 | 株式会社日立製作所 | Dc power source supply circuit |
| JPH02502332A (en) * | 1987-11-09 | 1990-07-26 | ユニシス・コーポレーション | Power system for segmented loads |
| JPH0665912U (en) * | 1993-02-22 | 1994-09-16 | 株式会社アドバンテスト | Programmable power supply unit for semiconductor measuring equipment |
| JPH0829495A (en) * | 1994-07-11 | 1996-02-02 | Advantest Corp | Feeder circuit of power source |
| JPH09167025A (en) * | 1995-12-15 | 1997-06-24 | Advantest Corp | Automatic source voltage control unit |
| JPH116860A (en) * | 1997-06-17 | 1999-01-12 | Advantest Corp | Semiconductor testing device |
| JP2000098000A (en) * | 1998-09-18 | 2000-04-07 | Advantest Corp | Semiconductor testing device |
| JP2001004692A (en) * | 1999-01-01 | 2001-01-12 | Advantest Corp | Semiconductor test device |
-
2001
- 2001-05-23 JP JP2001153370A patent/JP2002354664A/en active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5895934A (en) * | 1981-12-02 | 1983-06-07 | 株式会社日立製作所 | Dc power source supply circuit |
| JPH02502332A (en) * | 1987-11-09 | 1990-07-26 | ユニシス・コーポレーション | Power system for segmented loads |
| JPH0665912U (en) * | 1993-02-22 | 1994-09-16 | 株式会社アドバンテスト | Programmable power supply unit for semiconductor measuring equipment |
| JPH0829495A (en) * | 1994-07-11 | 1996-02-02 | Advantest Corp | Feeder circuit of power source |
| JPH09167025A (en) * | 1995-12-15 | 1997-06-24 | Advantest Corp | Automatic source voltage control unit |
| JPH116860A (en) * | 1997-06-17 | 1999-01-12 | Advantest Corp | Semiconductor testing device |
| JP2000098000A (en) * | 1998-09-18 | 2000-04-07 | Advantest Corp | Semiconductor testing device |
| JP2001004692A (en) * | 1999-01-01 | 2001-01-12 | Advantest Corp | Semiconductor test device |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010178455A (en) * | 2009-01-28 | 2010-08-12 | Nec Computertechno Ltd | Power supply, power supply method, and power supply program |
| JP2014181969A (en) * | 2013-03-18 | 2014-09-29 | Fujitsu Semiconductor Ltd | Testing apparatus and testing method |
| WO2022255621A1 (en) * | 2021-06-01 | 2022-12-08 | 삼성전자 주식회사 | Electronic device for detecting defect of semiconductor component, and method for controlling same |
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