JP2002352540A - Flexible metallic laminate - Google Patents
Flexible metallic laminateInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスクド
ライブのサスペンション用フレキシブル金属積層体に関
する。更に詳しくは最終的に金属部分をパターン形成し
てロードビームとフレクシャとして使用される金属積層
板に関するものである。The present invention relates to a flexible metal laminate for a suspension of a hard disk drive. More specifically, the present invention relates to a metal laminate which is finally used as a load beam and a flexure by patterning a metal portion.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、ハードディスク用サスペンシ
ョン製造の一つに、ロードビームを成形加工する工程、
フレクシャを成形加工する工程、ロードビームとフレク
シャを貼り合わせる工程、その後フレクシャの上に磁気
ヘッドスライダに接続する配線を形成する工程からなる
方法がある。この方法では、フレクシャは薄く、かつ、
剛性が小さいため、成形加工時においてゆがみ等の不具
合をもたらし、かつ最終製品信頼性にも大きく影響を及
ぼす。さらに、ロードビームおよびフレクシャは成形
後、接着されるため、位置合わせ不良等の不具合をもた
らし、かつ最終製品信頼性にも大きく影響を及ぼす。2. Description of the Related Art Conventionally, one of the processes for manufacturing a suspension for a hard disk includes a step of forming and processing a load beam.
There is a method including a step of forming a flexure, a step of bonding a load beam and a flexure, and a step of forming a wiring connected to the magnetic head slider on the flexure. With this method, the flexure is thin and
Since the rigidity is low, it causes defects such as distortion during molding, and greatly affects the reliability of the final product. Furthermore, since the load beam and the flexure are bonded after molding, they cause defects such as misalignment and greatly affect the reliability of the final product.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】本発明はロードビーム
とフレクシャを一体成形することにより、金属成形工程
数が削減でき、かつ、磁気ヘッドサスペンションを歩留
まり良く成形可能な金属積層体を提供するものであっ
て、ロードビーム用金属箔の接着層と接しない面にレジ
ストパターンを形成する工程と、フレクシャ用金属箔の
接着層と接しない面にレジストパターンを形成する工程
と、金属箔をエッチングする工程を含む方法で製造され
るハードディスクドライブのサスペンション用フレキシ
ブル金属積層体である。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a metal laminate that can reduce the number of metal forming steps and can form a magnetic head suspension with good yield by integrally forming a load beam and a flexure. A step of forming a resist pattern on a surface of the metal foil for load beam that does not contact the adhesive layer; a step of forming a resist pattern on a surface of the metal foil for flexure that does not contact the adhesive layer; and a step of etching the metal foil. A flexible metal laminate for a suspension of a hard disk drive manufactured by a method including:
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、鋭意検討
した結果、本願発明を完成した。即ち、本願発明は、 （1） 金属箔１と金属箔２を接着剤あるいは／および
接着シートを用いて加熱圧着することを特徴とするハー
ドディスクドライブのサスペンション用フレキシブル金
属積層体。 （2） 前記金属箔１および金属箔２が50GPa以上400GPa
以下の弾性率を備えた金属箔であることを特徴とする
（１）に記載のハードディスクドライブのサスペンショ
ン用フレキシブル金属積層体。 （３） 前記金属箔１および金属箔２がFe-Ni、Ni-Fe-C
r、あるいは、Fe-Cr合金のいずれかであることを特徴と
する（１）又は（２）に記載のハードディスクドライブ
のサスペンション用フレキシブル金属積層体 （4） 金属箔1の厚さが10μm以上200μm以下であるこ
とを特徴とする（１）乃至（３）いずれかに記載のハー
ドディスクドライブのサスペンション用フレキシブル金
属積層体。 （5） 金属箔2の厚さが金属箔1の厚さ以下であり、か
つ、5μm以上50μm以下であることを特徴とする（４）
に記載のハードディスクドライブのサスペンション用フ
レキシブル金属積層体。 （６） 接着シートが、非熱可塑性樹脂であるベースフ
ィルムの両面に熱可塑性樹脂を塗布したシートであるこ
とを特徴とする（１）乃至（５）いずれかに記載のハー
ドディスクドライブのサスペンション用フレキシブル金
属積層体。 （７） 金属箔1および／または金属箔２に接着剤とし
て熱可塑性樹脂を塗布し、加熱圧着することを特徴とす
る（１）乃至（５）いずれかに記載のハードディスクド
ライブのサスペンション用フレキシブル金属積層体。に
関する。Means for Solving the Problems The present inventors have made intensive studies and completed the present invention. That is, the present invention provides: (1) a flexible metal laminate for suspension of a hard disk drive, wherein the metal foil 1 and the metal foil 2 are heat-pressed using an adhesive or / and an adhesive sheet. (2) The metal foil 1 and the metal foil 2 are 50 GPa or more and 400 GPa.
The flexible metal laminate for suspension of a hard disk drive according to (1), which is a metal foil having the following elastic modulus. (3) The metal foil 1 and the metal foil 2 are made of Fe-Ni, Ni-Fe-C
r, or a Fe-Cr alloy, the flexible metal laminate for suspension of a hard disk drive according to (1) or (2), (4) the thickness of the metal foil 1 is 10 μm or more and 200 μm. The flexible metal laminate for a suspension of a hard disk drive according to any one of (1) to (3), wherein: (5) The thickness of the metal foil 2 is equal to or less than the thickness of the metal foil 1, and is not less than 5 μm and not more than 50 μm (4).
4. The flexible metal laminate for a suspension of a hard disk drive according to item 1. (6) The flexible sheet for a hard disk drive suspension according to any one of (1) to (5), wherein the adhesive sheet is a sheet in which a thermoplastic resin is applied to both surfaces of a base film which is a non-thermoplastic resin. Metal laminate. (7) A flexible metal for a suspension of a hard disk drive according to any one of (1) to (5), wherein a thermoplastic resin is applied as an adhesive to the metal foil 1 and / or the metal foil 2 and then heated and pressed. Laminate. About.
【０００５】[0005]
【発明の実施の形態】以下に本発明を詳しく説明する。
本発明にいう金属積層板は、最終的に金属部分をパター
ン形成してロードビームとなる金属箔1と、金属箔1より
も薄く、最終的に金属部分をパターン形成してフレクシ
ャとなる金属箔2を接着剤、あるいは／および接着シー
トで貼り合わせたものである。金属箔1の材質として好
ましくはステンレスであり、具体的にはＦｅ−Ｎｉ、Ｎ
ｉ−Ｆｅ−Ｃｒあるいは Ｆｅ−Ｃｒ 合金等が挙げられ
る。厚さは、10μm以上200μm以下が好ましく、50GPa以
上400GPa以下の弾性率を備えているのが好ましい。金属
箔2の材質として好ましくはステンレスであり、具体的
にはＦｅ−Ｎｉ、Ｎｉ−Ｆｅ−Ｃｒあるいは Ｆｅ−Ｃ
ｒ 合金等が挙げられる。厚さは5μm以上50μm以下であ
り、かつ、金属箔1より薄いのが好ましく、50GPa以上40
0GPa以下の弾性率を備えてるのが好ましい。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail.
The metal laminate referred to in the present invention is a metal foil 1 which finally becomes a load beam by patterning a metal part, and a metal foil which is thinner than the metal foil 1 and finally becomes a flexure by patterning a metal part. 2 is bonded with an adhesive or / and an adhesive sheet. The material of the metal foil 1 is preferably stainless steel, specifically, Fe-Ni, N
i-Fe-Cr or an Fe-Cr alloy. The thickness is preferably 10 μm or more and 200 μm or less, and preferably has an elastic modulus of 50 GPa or more and 400 GPa or less. The material of the metal foil 2 is preferably stainless steel, specifically, Fe-Ni, Ni-Fe-Cr or Fe-C.
r alloy and the like. The thickness is 5 μm or more and 50 μm or less, and is preferably thinner than the metal foil 1, and 50 GPa or more and 40 GPa or more.
It is preferable to have an elastic modulus of 0 GPa or less.
【０００６】金属箔1と金属箔2の接着に接着剤を使用す
る場合、使用される熱可塑性樹脂としてはポリイミド
系、ポリアミド系、ポリアミドイミド系、ポリエーテル
イミド系、ポリエーテル系、エポキシ系、アクリル系等
が挙げられる。接着剤を塗布した金属箔1と金属箔2、金
属箔1と接着剤を塗布した金属箔2、あるいは、接着剤を
塗布した金属箔1と接着剤を塗布した金属箔2の接着はプ
レス、ラミネーター等による加熱圧着で行われる。接着
剤を使用する場合、接着剤の厚みは特に限定はない。金
属箔1と金属箔2の接着に接着シートを使用する場合、使
用される熱可塑性樹脂はポリイミド系、ポリアミド系、
ポリアミドイミド系、ポリエーテルイミド系、ポリエー
テル系、エポキシ系、アクリル系等が挙げられる。ベー
スフィルムとして用いられる非熱可塑性樹脂としてはポ
リイミド、アミドイミド、アミド等が挙げられる。好ま
しくは非熱可塑性宇部興産社製ポリイミドフィルムUpil
exシリーズ、鐘淵化学工業製ポリイミドフィルムApical
シリーズ、デュポン社製ポリイミドフィルムKaptonシリ
ーズ等が挙げられる。金属箔1と金属箔2の接着シートに
よる接着はプレス、ラミネー夕ー等による加熱圧着で行
われる。プレスで加熱圧着されたフレキシブル金属積層
体はシート、ラミネーターで加熱圧着されたフレキシブ
ル金属積層体はロールでの提供が可能となる。When an adhesive is used to bond the metal foil 1 and the metal foil 2, the thermoplastic resin used may be polyimide, polyamide, polyamideimide, polyetherimide, polyether, epoxy, or the like. Acrylics and the like can be mentioned. Bonding of metal foil 1 and metal foil 2 coated with adhesive, metal foil 1 and metal foil 2 coated with adhesive, or metal foil 1 coated with adhesive and metal foil 2 coated with adhesive is performed by pressing, It is performed by heat compression by a laminator or the like. When using an adhesive, the thickness of the adhesive is not particularly limited. When using an adhesive sheet for bonding the metal foil 1 and the metal foil 2, the thermoplastic resin used is a polyimide resin, a polyamide resin,
Polyamide imides, polyether imides, polyethers, epoxies, acryls and the like can be mentioned. Examples of the non-thermoplastic resin used as the base film include polyimide, amide imide, and amide. Preferably a non-thermoplastic polyimide film Upil manufactured by Ube Industries
ex series, Kanebuchi Chemical Industries polyimide film Apical
Series, Kapton series, a polyimide film manufactured by DuPont. Adhesion of the metal foil 1 and the metal foil 2 by the adhesive sheet is performed by heating and pressing with a press, a laminator, or the like. The flexible metal laminate thermocompressed by a press can be provided by a sheet, and the flexible metal laminate thermocompressed by a laminator can be provided by a roll.
【０００７】[0007]
【実施例】実施例1 1,3ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼンを1.00モルと、
3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物を
0.975モルを秤量し、N,N'-ジメチルアセトアミドを固形
分濃度で15wt%になるように加え、50℃で15時間攪拌溶
解し、ポリイミドの前駆体であるポリアミック酸溶液を
得た。これをポリイミドフィルム（鐘淵化学工業製アピ
カルNPI(厚み12.5μm)）の両面に、乾燥後の厚さが2μm
になるように塗工し、115℃15分、150℃15分、200℃15
分、260℃15分間乾燥させ、接着シートを得た。最終的
にフレクシャとして使用される新日鉄製ステンレス箔SU
S304H-TA(厚み30.5μm)、最終的にロードビームとして
使用される新日鉄製ステンレス箔SUS304H-TA(厚み50.8
μm)を接着シートの両側に積層し、ホットプレスを用い
て加熱圧着した。Example 1 1.00 mol of 1,3 bis (3-aminophenoxy) benzene
3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride
0.975 mol was weighed, N, N'-dimethylacetamide was added to a solid content concentration of 15 wt%, and the mixture was stirred and dissolved at 50 ° C. for 15 hours to obtain a polyamic acid solution as a polyimide precursor. This was applied to both sides of a polyimide film (Kanebuchi Chemical Industry's Apical NPI (thickness: 12.5 μm)), and the thickness after drying was 2 μm.
Coating to become 115 ℃ 15min, 150 ℃ 15min, 200 ℃ 15
And 260 ° C for 15 minutes to obtain an adhesive sheet. Nippon Steel stainless steel foil SU ultimately used as flexure
S304H-TA (thickness 30.5μm), Nippon Steel stainless steel foil SUS304H-TA (thickness 50.8
μm) was laminated on both sides of the adhesive sheet, and heated and pressed using a hot press.
【０００８】実施例2 1,3ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼンを1.00モルと、
3、3',4、4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
を0.975モルを秤量し、N,N'-ジメチルアセトアミドを固
形分濃度で15wt%になるように加え、50℃で15時間撹拝
溶解し、ポリイミドの前駆体であるポリアミック酸溶液
を得た。これをポリイミドフィルム鐘淵化学工業製アピ
カルNPI(厚み12.5μm)の両面に、乾燥後の厚さが2μmに
なるよりに塗工し、115℃15分、150℃15分、200℃15
分、260℃15分間乾燥させ、接着シートを得た。最終的
にフレクシャとして使用される新日鉄製ステンレス箔SU
S304H-TA(厚み30.5μm)、最終的にロードビームとして
使用される新日鉄製ステンレス箔SUS304H-TA(厚み63.5
μm)を接着シートの両側に積層し、ホットプレスを用い
て加熱圧着した。Example 2 1.00 mol of 1,3 bis (3-aminophenoxy) benzene was
0.975 mol of 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride was weighed, N, N′-dimethylacetamide was added to a solid concentration of 15 wt%, and the mixture was stirred at 50 ° C. for 15 hours. By dissolving, a polyamic acid solution as a precursor of polyimide was obtained. This is applied to both sides of the polyimide film Kanebuchi Chemical's Apical NPI (thickness 12.5 μm) so that the thickness after drying becomes 2 μm, 115 ° C 15 minutes, 150 ° C 15 minutes, 200 ° C 15 minutes
And 260 ° C for 15 minutes to obtain an adhesive sheet. Nippon Steel stainless steel foil SU ultimately used as flexure
S304H-TA (thickness 30.5 μm), Nippon Steel stainless steel foil SUS304H-TA (thickness 63.5
μm) was laminated on both sides of the adhesive sheet, and heated and pressed using a hot press.
【０００９】[0009]
【発明の効果】本発明により、厚みが異なるステンレス
スチール箔を接着剤あるいは接着シートで加熱圧着し
た、シート状あるいはロール状のフレキシブル金属積層
体を提供できる。厚い方の金属箔は、ロードビームとし
て所定の厚みと弾性率を備え、薄い方の金属箔は、フレ
クシャとしてロードビームよりも柔軟性を備えている。
厚い方の金属箔の表面にロードビームをレジストパター
ン形成し、薄い方の金属箔の表面にフレクシャをレジス
トパターン形成し、金属箔をエッチングすることによ
り、歩留まりが良く、かつ、品質信頼性が高いハードデ
ィスク用サスペンションが得られ、ロードビーム材料と
して有効に利用できる。According to the present invention, a sheet-shaped or roll-shaped flexible metal laminate in which stainless steel foils having different thicknesses are heated and pressed with an adhesive or an adhesive sheet can be provided. The thicker metal foil has a predetermined thickness and elastic modulus as a load beam, and the thinner metal foil has more flexibility as a flexure than the load beam.
A load beam is resist-patterned on the surface of the thicker metal foil, a flexure is resist-patterned on the surface of the thinner metal foil, and the metal foil is etched, resulting in good yield and high quality reliability. A suspension for a hard disk is obtained and can be effectively used as a load beam material.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大坪英二 千葉県袖ヶ浦市長浦580番地32 (72)発明者 小林正尚 千葉県袖ヶ浦市長浦580番地32 (72)発明者 廣田幸治 千葉県袖ヶ浦市長浦580番地32 Ｆターム(参考） 4F100 AB01A AB01C AB02A AB02C AB13A AB13C AB16A AB16C AB31A AB31C AB33A AB33C AK01B AK01D AK49B AK49D AR00B AR00D BA03 BA04 BA06 BA07 BA10A BA10C GB43 JB12B JB16D JK07 JL11B JL11D YY00A YY00C 5D059 AA01 BA01 CA04 DA31 EA08 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Eiji Otsubo 580-32 Nagaura, Sodegaura-shi, Chiba Prefecture (72) Inventor Masanao Kobayashi 580-32, Nagaura, Sodegaura-shi, Chiba Prefecture (72) Koji Hirota 580 Nagaura, Sodegaura-shi, Chiba Prefecture Address 32 F term (reference) 4F100 AB01A AB01C AB02A AB02C AB13A AB13C AB16A AB16C AB31A AB31C AB33A AB33C AK01B AK01D AK49B AK49D AR00B AR00D BA00 BA03 BA04 BA06 BA07 BA10A BA10C GB43 JB12A JB01A JB01A
Claims (7)
および接着シートを用いて加熱圧着することを特徴とす
るハードディスクドライブのサスペンション用フレキシ
ブル金属積層体。1. An adhesive or / and a metal foil 1 and a metal foil 2
A flexible metal laminate for a hard disk drive suspension, wherein the laminate is heat-pressed using an adhesive sheet.
400GPa以下の弾性率を備えた金属箔であることを特徴と
する請求項１に記載のハードディスクドライブのサスペ
ンション用フレキシブル金属積層体。2. The metal foil 1 and the metal foil 2 are 50 GPa or more.
The flexible metal laminate for suspension of a hard disk drive according to claim 1, wherein the flexible metal laminate is a metal foil having an elastic modulus of 400 GPa or less.
Fe-Cr、あるいは、Fe-Cr合金のいずれかであることを特
徴とする請求項１又は２に記載のハードディスクドライ
ブのサスペンション用フレキシブル金属積層体3. The metal foil 1 and the metal foil 2 are made of Fe-Ni, Ni-
3. The flexible metal laminate for suspension of a hard disk drive according to claim 1, wherein the metal laminate is one of Fe-Cr and an Fe-Cr alloy.
ることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載のハ
ードディスクドライブのサスペンション用フレキシブル
金属積層体。4. The flexible metal laminate for suspension of a hard disk drive according to claim 1, wherein the thickness of the metal foil 1 is not less than 10 μm and not more than 200 μm.
り、かつ、5μm以上50μm以下であることを特徴とする
請求項４に記載のハードディスクドライブのサスペンシ
ョン用フレキシブル金属積層体。5. The flexible metal laminate for a hard disk drive suspension according to claim 4, wherein the thickness of the metal foil 2 is equal to or less than the thickness of the metal foil 1, and is 5 μm or more and 50 μm or less. .
ースフィルムの両面に熱可塑性樹脂を塗布したシートで
あることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の
ハードディスクドライブのサスペンション用フレキシブ
ル金属積層体。6. The flexible for a hard disk drive suspension according to claim 1, wherein the adhesive sheet is a sheet in which a thermoplastic resin is applied to both surfaces of a base film which is a non-thermoplastic resin. Metal laminate.
として熱可塑性樹脂を塗布し、加熱圧着することを特徴
とする請求項１乃至５いずれかに記載のハードディスク
ドライブのサスペンション用フレキシブル金属積層体。7. The flexible metal for a suspension of a hard disk drive according to claim 1, wherein a thermoplastic resin is applied as an adhesive to the metal foil 1 and / or the metal foil 2 and then heated and pressed. Laminate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001151895A JP2002352540A (en) | 2001-05-22 | 2001-05-22 | Flexible metallic laminate |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002352540A true JP2002352540A (en) | 2002-12-06 |
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| JP2001151895A Pending JP2002352540A (en) | 2001-05-22 | 2001-05-22 | Flexible metallic laminate |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002352540A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
2001
- 2001-05-22 JP JP2001151895A patent/JP2002352540A/en active Pending
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