JP2002345263A - Power supply unit for silent discharge - Google Patents

Power supply unit for silent discharge

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JP2002345263A
JP2002345263A JP2001147171A JP2001147171A JP2002345263A JP 2002345263 A JP2002345263 A JP 2002345263A JP 2001147171 A JP2001147171 A JP 2001147171A JP 2001147171 A JP2001147171 A JP 2001147171A JP 2002345263 A JP2002345263 A JP 2002345263A
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power supply
control circuit
silent discharge
coil
signal
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JP2001147171A
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Japanese (ja)
Inventor
Tomonori Kamimura
友範 上村
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Miura Co Ltd
Miura Institute of Research and Development Co Ltd
Original Assignee
Miura Co Ltd
Miura Institute of Research and Development Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a power supply unit for silent discharge capable of suppressing noise and loss at turning off a switching device. SOLUTION: This power supply unit includes a power supply 2 for supplying direct current; a silent discharge electrode 3; a transformer 5 whose power supply 2 is connected to a primary coil 6, the silent discharge electrode 3 is connected to a secondary coil 4 with a choking coil 10; a switching device 7 which controls power supply with the power supply 2 to the primary coil 6; a detection means which detects the current of the primary coil 6; and a control circuit 9 which detects a changing rate of the current detected by the detection means and which performs the off-control of the switching device 7.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、無声放電電極を
有するオゾン発生器等に用いられる無声放電用電源装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a power supply for silent discharge used for an ozone generator having a silent discharge electrode.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、チョークコイルを用いない矩形波
インバータ方式の無声放電用電源装置を備えたオゾン発
生器では、無声放電電極への電圧印加直後に前記無声放
電電極が容量性の負荷であるため、高調波成分を多く含
む突入電流が前記無声放電用電源装置へ流れ,いわゆる
ノイズが発生する。また、前記突入電流が流れた後にお
いて、前記無声放電用電源装置のトランスの一次電流値
は、緩やかに増加するため、スイッチング素子をオフと
する制御時の損失(以下、「スイッチング損失」と云
う)が多くなる問題がある。ここにおいて、前記スイッ
チング損失とは、前記スイッチング素子を流れる電流値
と電圧値との積で表わされる熱損失である。一方、チョ
ークコイルを用いた無声放電用電源装置を備えたオゾン
発生器では、前記チョークコイルにて突入電流を緩和し
ながら、前記チョークコイルと前記無声放電電極との間
で発振するので、前記トランスの一次電流値は、上昇傾
向をもった擬似正弦波波形となる。しかし、このとき、
前記一次電流値が比較的大きい時にオフとする制御を行
うと、前記スイッチング損失が大きくなるとともに、サ
ージ電圧によってノイズを発生する。
2. Description of the Related Art Conventionally, in an ozone generator provided with a rectangular wave inverter type silent discharge power supply device without using a choke coil, the silent discharge electrode is a capacitive load immediately after a voltage is applied to the silent discharge electrode. Therefore, an inrush current containing many harmonic components flows to the silent discharge power supply device, and so-called noise is generated. Further, after the inrush current flows, the primary current value of the transformer of the silent discharge power supply device gradually increases, so that a loss during control for turning off the switching element (hereinafter, referred to as “switching loss”). ) Is a problem. Here, the switching loss is a heat loss represented by a product of a current value and a voltage value flowing through the switching element. On the other hand, in an ozone generator equipped with a power supply for silent discharge using a choke coil, the oscillation occurs between the choke coil and the silent discharge electrode while the inrush current is reduced by the choke coil. Has a pseudo-sinusoidal waveform having a rising tendency. But at this time,
If control is performed to turn off the primary current value when the primary current value is relatively large, the switching loss increases and noise is generated due to a surge voltage.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】この発明が解決しよう
とする課題は、ノイズの発生およびスイッチング素子の
スイッチング損失を低減できる無声放電用電源装置を提
供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a power supply for silent discharge which can reduce generation of noise and switching loss of a switching element.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】この発明は、前記課題を
解決するためになされたもので、請求項1に記載の発明
は、直流を供給する電源と、無声放電電極と、前記電源
を一次側コイルに接続するとともに、前記無声放電電極
を二次側コイルに接続し、かつチョークコイルを有する
トランスと、前記一次側コイルへの電力の供給を制御す
るスイッチング素子と、前記一次側コイルの電流値を検
出する検出手段とを備え、前記検出手段により検出した
電流値の変化率を検出し、前記スイッチング素子をオフ
とする制御を行う制御回路を備えたことを特徴としてい
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and the invention according to claim 1 comprises a power supply for supplying a direct current, a silent discharge electrode, and A transformer connected to the secondary coil, the silent discharge electrode connected to the secondary coil, and a choke coil, a switching element for controlling the supply of power to the primary coil, and a current flowing through the primary coil. And a control circuit for controlling a turning-off of the switching element by detecting a change rate of the current value detected by the detecting means.

【0005】[0005]

【発明の実施の形態】つぎに、この発明の実施の形態に
ついて説明する。ここにおける説明は、好適な実施の形
態として、オゾン発生器に用いる無声放電用電源装置を
例として説明する。
Next, an embodiment of the present invention will be described. In the following description, a silent discharge power supply device used for an ozone generator will be described as a preferred embodiment.

【0006】この実施の形態における無声放電用電源装
置は、チョークコイルを有するトランスと、前記トラン
スの一次側コイルへの電力の供給を制御するスイッチン
グ素子と、前記一次側コイルの電流値を検出する検出手
段と、前記検出手段により検出した電流値の変化率を検
出して、前記スイッチング素子をオンオフ制御する制御
回路により構成されている。ここにおいて、前記検出手
段について三つの実施の形態がある。
A power supply apparatus for silent discharge in this embodiment includes a transformer having a choke coil, a switching element for controlling supply of power to a primary coil of the transformer, and detecting a current value of the primary coil. The control device includes a detecting unit and a control circuit that detects a rate of change of the current value detected by the detecting unit and controls on / off of the switching element. Here, there are three embodiments of the detection means.

【0007】まず、第一の実施の形態における前記検出
手段は、前記一次側コイルの電流値を検出する手段,た
とえば電磁誘導式検出手段により構成される。この電磁
誘導式検出手段は、前記一次側コイルの電流値の変化率
に比例した出力が得られるものである。
First, the detecting means in the first embodiment is constituted by means for detecting the current value of the primary coil, for example, electromagnetic induction type detecting means. This electromagnetic induction type detecting means can obtain an output proportional to the rate of change of the current value of the primary coil.

【0008】前記オゾン発生器は、前記一次側コイルの
電流がゼロクロスする点(電流値が零となる点)で前記
スイッチング素子をオフとすることによってノイズを無
くすことができるが、運転条件による前記トランスの一
次側の電流値の変動が激しいため、ゼロクロスしない場
合においては、ノイズおよびスイッチング損失を少なく
するため、前記電流値としての最適なタイミングにてオ
フとする制御が必要である。このため、この実施の形態
にあっては、前記電磁誘導式検出手段により検出した前
記電流値が極小となるタイミングのとき、前記制御器か
ら前記スイッチング素子のゲートへ供給していた開信号
を閉信号へ切り替え、前記スイッチング素子をオフとす
る制御を行うものである。これにより、前記ノイズの発
生および前記スイッチング損失を低減する。
The ozone generator can eliminate noise by turning off the switching element at the point where the current of the primary coil crosses zero (point where the current value becomes zero). If the current value on the primary side of the transformer fluctuates greatly, and zero crossing does not occur, it is necessary to perform control to turn off the current value at an optimal timing in order to reduce noise and switching loss. For this reason, in this embodiment, when the current value detected by the electromagnetic induction detecting means is at a minimum, the open signal supplied from the controller to the gate of the switching element is closed. Control to switch to a signal and to turn off the switching element. Thereby, the generation of the noise and the switching loss are reduced.

【0009】つぎに、第二の実施の形態について説明す
る。この第二の実施の形態は、前記第一の実施の形態の
変形例である。すなわち、前記電磁誘導式検出手段に代
えて、電流−電圧変換装置を利用するものである。この
第二の実施の形態における変換装置式検出手段は、たと
えばホール素子あるいは抵抗素子により構成される。
Next, a second embodiment will be described. The second embodiment is a modification of the first embodiment. That is, a current-voltage converter is used in place of the electromagnetic induction type detection means. The converter-type detecting means in the second embodiment is constituted by, for example, a Hall element or a resistance element.

【0010】そして、前記変換装置式検出手段により、
前記一次側コイルの電流値を電圧値へ変換し、その電圧
値の変化率を微分演算回路へ入力し、その微分演算回路
からの出力信号に応じたタイミングのとき,すなわち前
記変換装置式検出手段により検出した前記一次側コイル
の電流値が極小となるとき、前記制御回路により、前記
スイッチング素子のゲートへ供給していた開信号を閉信
号へ切り替えるものである。これにより、前記ノイズの
発生および前記スイッチング損失を低減する。
[0010] Then, by the conversion device type detection means,
The current value of the primary coil is converted into a voltage value, the rate of change of the voltage value is input to a differential operation circuit, and at a timing according to an output signal from the differential operation circuit, that is, the conversion device type detection means When the current value of the primary coil detected by the control circuit becomes minimum, the open signal supplied to the gate of the switching element is switched to the close signal by the control circuit. Thereby, the generation of the noise and the switching loss are reduced.

【0011】さらに、第三の実施の形態について説明す
る。この第三の実施の形態は、前記第二の実施の形態の
さらなる変形例である。すなわち、前記第二の実施の形
態における電流値の変化率(変換した電圧値の変化率)
を演算するとき、独立した回路としての微分演算回路を
備え、前記一次側コイルの電流値を前記微分演算回路へ
入力し、この微分演算回路からの出力信号を前記制御回
路へさらに入力し、前記スイッチング素子のゲートへ供
給していた開信号を閉信号へ切り替えるものである。
Next, a third embodiment will be described. The third embodiment is a further modification of the second embodiment. That is, the change rate of the current value (change rate of the converted voltage value) in the second embodiment.
When calculating, a differential operation circuit as an independent circuit is provided, a current value of the primary side coil is input to the differential operation circuit, an output signal from the differential operation circuit is further input to the control circuit, The open signal supplied to the gate of the switching element is switched to a close signal.

【0012】そして、前記変換装置式検出手段により検
出した前記一次側コイルの電流値が極小となるタイミン
グのとき、前記制御器から前記スイッチング素子のゲー
トへ供給していた前記開信号を閉信号へ切り替え、前記
スイッチング素子をオフとする制御を行うものである。
これにより、前記ノイズの発生および前記スイッチング
損失を低減する。
When the current value of the primary coil detected by the converter type detecting means is at a minimum, the open signal supplied from the controller to the gate of the switching element is converted to a closed signal. The switching is performed, and control for turning off the switching element is performed.
Thereby, the generation of the noise and the switching loss are reduced.

【0013】[0013]

【実施例】以下、この発明の具体的実施例を図面に基づ
いて詳細に説明する。以下の説明は、オゾン発生器に適
用した場合について具体的に説明する。第一実施例を図
1〜図4に基づいて、詳細に説明する。図1は、この発
明の第一実施例の概略電気回路図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The following description specifically describes a case where the present invention is applied to an ozone generator. The first embodiment will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic electric circuit diagram of a first embodiment of the present invention.

【0014】図1において、この無声放電用電源装置1
は、直流を供給する電源2と、無声放電を行い、オゾン
を発生する無声放電電極3と、前記電源2を一次側コイ
ル6に接続するとともに、前記無声放電電極3を二次側
コイル4に接続し、かつチョークコイル10を有するト
ランス5と、前記一次側コイル6への前記電源2の電力
供給を制御するスイッチング素子7と、前記一次側コイ
ル6の電流値を検出する検出コイル(符号省略)を備え
た,いわゆる電磁誘導式検出手段8と、前記スイッチン
グ素子7をオンオフ制御する制御回路9により構成され
ている。
In FIG. 1, the power supply device 1 for silent discharge is shown.
Is connected to a power supply 2 for supplying a direct current, a silent discharge electrode 3 for performing a silent discharge to generate ozone, and the power supply 2 to a primary coil 6, and connecting the silent discharge electrode 3 to a secondary coil 4. A transformer 5 which is connected and has a choke coil 10, a switching element 7 for controlling the power supply of the power supply 2 to the primary coil 6, and a detection coil for detecting a current value of the primary coil 6 (symbols are omitted) ), And a control circuit 9 for controlling the switching element 7 to turn on and off.

【0015】前記電源2のプラス側ライン(符号省略)
は、前記一次側コイル6の一端(符号省略)および前記
制御回路9のプラス電源端子(符号省略)と接続されて
いる。前記電源2のマイナス側ライン(符号省略)は、
前記制御回路9のマイナス電源端子(符号省略)と接続
されている。そして、前記電源2のマイナス側ライン
(符号省略)は、前記電磁誘導式検出手段8の検出コイ
ルを貫通し、前記スイッチング素子7のマイナス側端子
(符号省略)と接続されている。
The positive line of the power supply 2 (symbol omitted)
Is connected to one end (not shown) of the primary coil 6 and a positive power supply terminal (not shown) of the control circuit 9. The negative side line (symbol omitted) of the power supply 2 is
It is connected to a negative power supply terminal (symbol omitted) of the control circuit 9. A negative line (reference number omitted) of the power supply 2 penetrates a detection coil of the electromagnetic induction detecting means 8 and is connected to a minus terminal (reference number omitted) of the switching element 7.

【0016】ここで、前記チョークコイル10の構成に
ついて説明する。この構成は、2つの構成例があり、ま
ず第一の構成例としては、前記トランス5の漏れインダ
クタンスがチョークコイル成分となるものであり、具体
的な実体のある物としてのものではなく、前記トランス
5全体に,いわゆる寄生している状態の構成のものであ
る。つぎに、第二の構成例としては、前記トランス5に
外付けされたチョークコイル10を組み合わせるもので
ある。いずれの場合も、図1の概略電気回路図上では、
前記チョークコイル10を前記一次側コイル6に直列の
状態で接続しているものとして表記できる。すなわち、
前記トランス5は、一次側に前記一次側コイル6と前記
チョークコイル10とを直列に接続して備え、二次側に
前記二次側コイル4を備えている。
Here, the configuration of the choke coil 10 will be described. This configuration has two configuration examples. First, as a first configuration example, the leakage inductance of the transformer 5 is a choke coil component, and is not a specific substance. The transformer 5 has a configuration in a so-called parasitic state. Next, as a second configuration example, a choke coil 10 externally attached to the transformer 5 is combined. In any case, on the schematic electric circuit diagram of FIG.
It can be described that the choke coil 10 is connected to the primary coil 6 in series. That is,
The transformer 5 includes the primary side coil 6 and the choke coil 10 connected in series on a primary side, and includes the secondary side coil 4 on a secondary side.

【0017】前記無声放電電極3は、無声放電を行う電
極である。無声放電とは、一対の電極(図1において
は、符号11,12)間において行われるが、その放電
は、前記両電極11,12間に絶縁物(図示省略)を配
置した形態での放電であり、前記両電極11,12の全
面に渡り均一に放電するため、火花放電のような音を発
しない放電となる。また、前記絶縁物は、誘電体として
働き、この一対の電極11,12は、いわゆる容量(コ
ンデンサ)成分を有する。そして、この一対の電極1
1,12は、昇圧用の前記二次側コイル4にそれぞれ電
線(符号省略)を介して接続されている。
The silent discharge electrode 3 is an electrode for performing a silent discharge. The silent discharge is performed between a pair of electrodes (in FIG. 1, reference numerals 11 and 12). In addition, since the discharge is uniformly performed over the entire surfaces of the two electrodes 11 and 12, the discharge does not emit a sound such as a spark discharge. The insulator functions as a dielectric, and the pair of electrodes 11 and 12 have a so-called capacitance (capacitor) component. And this pair of electrodes 1
Reference numerals 1 and 12 are connected to the secondary coil 4 for boosting via electric wires (symbols are omitted).

【0018】前記スイッチング素子7は、前記一次側コ
イル6への前記電源2の供給を制御するものであり、半
導体素子,たとえばMOSFETにより構成されてい
る。前記スイッチング素子7のマイナス側端子は、前記
電磁誘導式検出手段8を介在させて、前記電源2のマイ
ナス側ラインへ接続される。前記スイッチング素子7の
プラス側端子(符号省略)は、前記チョークコイル10
と接続されている。前記スイッチング素子7は、前記制
御回路9から開閉信号を受け取るゲート13を備えてい
る。
The switching element 7 controls the supply of the power source 2 to the primary coil 6, and is composed of a semiconductor element, for example, a MOSFET. The negative terminal of the switching element 7 is connected to the negative line of the power supply 2 via the electromagnetic induction detecting means 8. The plus side terminal (symbol omitted) of the switching element 7 is connected to the choke coil 10.
Is connected to The switching element 7 includes a gate 13 that receives an open / close signal from the control circuit 9.

【0019】前記電磁誘導式検出手段8は、前記スイッ
チング素子7を介して流れる前記一次側コイル6の電流
値を検出する手段であり、前記検出コイルで電流を検出
する。すなわち、この電磁誘導式検出手段8は、前記検
出コイルを貫通して流れる前記一次側コイル6の電流値
の変化率に比例した出力が得られるものである。前記検
出コイルの両端(符号省略)は、前記制御回路9へ回線
(符号省略)を介してそれぞれ接続されている。
The electromagnetic induction type detecting means 8 is a means for detecting a current value of the primary side coil 6 flowing through the switching element 7, and detects a current with the detecting coil. That is, the electromagnetic induction type detection means 8 can obtain an output proportional to the rate of change of the current value of the primary side coil 6 flowing through the detection coil. Both ends (reference numerals omitted) of the detection coil are connected to the control circuit 9 via lines (reference numerals omitted).

【0020】前記制御回路9は、予め内蔵している制御
用コンピューター(図示省略)に記憶されている設定さ
れた判定プログラムにより、前記電流値の変化率を判定
し、前記スイッチング素子7をオンオフ制御する。前記
制御回路9は、前記無声放電電極3からのオゾン発生量
を調節する周波数トリガパルスジェネレーター14と接
続線(符号省略)を介して接続されている。
The control circuit 9 determines the rate of change of the current value according to a set determination program stored in a built-in control computer (not shown) and controls the switching element 7 to turn on and off. I do. The control circuit 9 is connected to a frequency trigger pulse generator 14 for adjusting the amount of ozone generated from the silent discharge electrode 3 via a connection line (omitted by reference numerals).

【0021】ここにおいて、前記無声放電用電源装置1
は、前記スイッチング素子7への投入パルスを減衰させ
る減衰器15を備えている。この減衰器15は、第一抵
抗素子16とダイオード17とを直列に接続して構成さ
れている。前記第一抵抗素子16の一端(符号省略)
は、前記チョークコイル10と前記スイッチング素子7
との接続点(符号省略)と接続されている。前記ダイオ
ード17のマイナス側(符号省略)は、前記一次側コイ
ル6と前記プラス側ラインとの接続点(符号省略)と接
続されている。
Here, the power supply device 1 for silent discharge is provided.
Is provided with an attenuator 15 for attenuating a pulse applied to the switching element 7. This attenuator 15 is configured by connecting a first resistance element 16 and a diode 17 in series. One end of the first resistance element 16 (symbol omitted)
Are the choke coil 10 and the switching element 7
Is connected to the connection point (the symbol is omitted). The minus side (reference number omitted) of the diode 17 is connected to a connection point (reference number omitted) between the primary side coil 6 and the plus side line.

【0022】つぎに、この回路の動作を説明する。前記
電源2をオンとした状態で、前記制御回路9により前記
ゲート13へ開信号を供給して、前記スイッチング素子
7をオンとすると、前記無声放電電極3のキャパシタン
スと前記チョークコイル10のインダクタンスとにより
決まる周波数を持った過渡応答の振動が発生する。そし
て、この過渡応答の振動により発生する前記二次側コイ
ル4の高電圧パルスにより、前記両電極11,12間で
無声放電を開始し、オゾンを発生する。また、前記制御
回路9から前記ゲート13へ供給していた開信号を閉信
号へ切り替え、前記スイッチング素子7をオフとする制
御を行う。
Next, the operation of this circuit will be described. When the power supply 2 is turned on and an open signal is supplied to the gate 13 by the control circuit 9 to turn on the switching element 7, the capacitance of the silent discharge electrode 3 and the inductance of the choke coil 10 are reduced. A vibration of a transient response having a frequency determined by the above occurs. Then, a high voltage pulse of the secondary coil 4 generated by the vibration of the transient response starts a silent discharge between the two electrodes 11 and 12 to generate ozone. Further, control is performed to switch the open signal supplied from the control circuit 9 to the gate 13 to a close signal and to turn off the switching element 7.

【0023】前記オゾン発生器(図示省略)は、前記一
次側コイル6の電流がゼロクロスする点(電流値が零と
なる点)で前記スイッチング素子7をオフとすることに
よって、ノイズを無くすことができるが、運転条件によ
る前記一次側コイル6の電流値の変動が激しいため、ゼ
ロクロスしない場合においては、ノイズおよび前記スイ
ッチング素子7の損失を少なくするため、前記電流値が
最適なタイミングのときにオフとする制御が必要であ
る。
The ozone generator (not shown) can eliminate noise by turning off the switching element 7 at a point where the current of the primary coil 6 crosses zero (a point where the current value becomes zero). Although possible, the current value of the primary coil 6 fluctuates greatly due to operating conditions, and when zero crossing does not occur, noise and loss of the switching element 7 are reduced. Is necessary.

【0024】このため、この第一実施例にあっては、前
記検出手段8により検出した前記電流値が極小となるタ
イミングのとき、前記制御回路9から前記ゲート13へ
供給していた開信号を閉信号へ切り替え、前記スイッチ
ング素子7をオフとする制御を行うものである。具体的
には、前記一次側コイル6の電流値を前記電磁誘導式検
出手段8により前記一次側コイル6の電流値の変化率に
比例した出力信号として、前記制御回路9へ入力する。
そして、前記制御回路9により、前記ゲート13へ供給
していた開信号を閉信号へ切り替えるものである。これ
により、ノイズの発生および前記スイッチング素子7を
オフとする制御時の損失(以下、「スイッチング損失」
と云う)を低減する。
For this reason, in the first embodiment, when the current value detected by the detection means 8 is at a minimum, the open signal supplied from the control circuit 9 to the gate 13 is output. The control is performed to switch to the close signal and to turn off the switching element 7. Specifically, the current value of the primary coil 6 is input to the control circuit 9 by the electromagnetic induction type detection means 8 as an output signal proportional to the rate of change of the current value of the primary coil 6.
The control circuit 9 switches the open signal supplied to the gate 13 to a closed signal. As a result, generation of noise and loss during control for turning off the switching element 7 (hereinafter, “switching loss”)
) Is reduced.

【0025】つぎに、この第一実施例のより具体的な説
明をする。図2は、前記スイッチング素子7を流れる一
次電流と、前記二次側コイル4の二次電圧との関係を説
明するグラフである。図2において、前記スイッチング
素子7を流れる,すなわち前記一次側コイル6を流れる
一次電流を上側のグラフに示している。図2の上側のグ
ラフの縦軸は一次電流を示し、横軸は時間経過を示して
いる。この一次電流の波形は、前記周波数トリガパルス
ジェネレーター14により出力される信号を前記制御回
路9へ入力し、さらに前記制御回路9から前記ゲート1
3へ出力することにより形成される。前記周波数トリガ
パルスジェネレーター14の周期で擬似正弦波波形のパ
ルス電流が流れる。この一次電流の波形が前記トランス
5により昇圧され、図2の下側のグラフに示す二次電圧
の応答波形となる。図2の下側のグラフの縦軸は二次電
圧を示し、横軸は時間経過を示している。
Next, a more specific description of the first embodiment will be given. FIG. 2 is a graph illustrating a relationship between a primary current flowing through the switching element 7 and a secondary voltage of the secondary coil 4. In FIG. 2, a primary current flowing through the switching element 7, that is, a primary current flowing through the primary coil 6, is shown in an upper graph. The vertical axis of the upper graph in FIG. 2 represents the primary current, and the horizontal axis represents the passage of time. The waveform of the primary current is obtained by inputting a signal output from the frequency trigger pulse generator 14 to the control circuit 9,
3 is formed. A pulse current having a pseudo sine wave waveform flows in the cycle of the frequency trigger pulse generator 14. The waveform of the primary current is boosted by the transformer 5 and becomes a response waveform of the secondary voltage shown in the lower graph of FIG. The vertical axis of the lower graph in FIG. 2 indicates the secondary voltage, and the horizontal axis indicates the passage of time.

【0026】図3は、前記一次電流と前記一次電流の変
化率との関係を説明するグラフである。ここにおいて、
図2の上側のグラフで示した一次電流の波形を1つだけ
拡大して、図3における上側のグラフに示している。図
3の上側のグラフの縦軸は一次電流を示し、横軸は図2
と同様、時間経過を示し、説明のため、時間間隔を拡大
している。図3の下側のグラフにおいて、前記一次電流
の変化率を縦軸に示し、横軸は時間経過を示し、説明の
ため、上側のグラフと同様、時間間隔を拡大している。
図3に基づいて、前記電磁誘導式検出手段8により検出
した前記電流値が極小となるタイミングについて説明す
る。
FIG. 3 is a graph illustrating the relationship between the primary current and the rate of change of the primary current. put it here,
The waveform of the primary current shown in the upper graph of FIG. 2 is enlarged by one, and is shown in the upper graph of FIG. The vertical axis of the upper graph of FIG. 3 indicates the primary current, and the horizontal axis of FIG.
Similarly to the above, the time passage is shown, and the time interval is expanded for explanation. In the lower graph of FIG. 3, the rate of change of the primary current is shown on the vertical axis, and the horizontal axis shows the passage of time. For the sake of explanation, the time interval is enlarged as in the upper graph.
The timing at which the current value detected by the electromagnetic induction type detection means 8 becomes a minimum will be described with reference to FIG.

【0027】図3の下側のグラフにおいて、前記制御回
路9により、前記一次電流の変化率の判定のため、前記
一次電流の変化率が「正」の領域と「負」の領域とを区
別して認識する。さらに、横軸に示す時間経過におい
て、時間経過をカウント(計時)する最大時限として基
準時間Aを設定する。ここにおいて、前記基準時間Aの
間隔は、その終点が上側のグラフで示した一次電流の波
形の開始時から1サイクルの時間が経過した後で、かつ
つぎの1サイクルが開始するまでの間となるように設定
される。
In the lower graph of FIG. 3, the control circuit 9 distinguishes between a region where the change rate of the primary current is "positive" and a region where the change rate of the primary current is "negative", in order to determine the change rate of the primary current. Recognize separately. Further, a reference time A is set as a maximum time limit for counting (measuring) the elapsed time in the elapsed time shown on the horizontal axis. Here, the interval of the reference time A is set such that its end point is between the time when one cycle has elapsed from the start of the waveform of the primary current shown in the upper graph and the time when the next one cycle starts. Is set to

【0028】つぎに、図3において認識した前記両領域
および前記基準時間Aに基づいて、前記ゲート13へ前
記制御回路9からオフ信号を出力するときについて、図
4に基づいて説明する。図4は、前記制御回路9の制御
方法を説明する状態遷移図である。ここにおいて、前記
オフ信号を出力するときのパターンは、3種類ある。
Next, a case where an off signal is output from the control circuit 9 to the gate 13 based on the two regions and the reference time A recognized in FIG. 3 will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a state transition diagram for explaining a control method of the control circuit 9. Here, there are three types of patterns for outputting the off signal.

【0029】まず、図4において、前記制御回路9が待
機状態にあるとき、前記周波数トリガパルスジェネレー
ター14により出力される信号が入力されると、前記制
御回路9は、前記ゲート13をオンとする信号(開信
号)を出力するとともに、内蔵している時限タイマ(図
示省略)をセットして、前記基準時間Aに到達するまで
のカウントを開始する。
First, in FIG. 4, when the signal output from the frequency trigger pulse generator 14 is input while the control circuit 9 is in a standby state, the control circuit 9 turns on the gate 13. A signal (open signal) is output, and a built-in time timer (not shown) is set to start counting until the reference time A is reached.

【0030】つぎに、前記一次電流の変化率が「負」に
なるのを待っている第一中間状態となる。このとき、第
一のパターンとして、前記時限タイマがタイムアップ,
すなわち前記基準時間Aを超過して切れてしまえば、前
記制御回路9は、前記ゲート13へ前記開信号に代えて
オフとする信号(閉信号)を出力する。
Next, a first intermediate state is established waiting for the rate of change of the primary current to become "negative". At this time, as the first pattern, the time-out timer expires,
That is, if the reference time A has expired and the control circuit 9 has expired, the control circuit 9 outputs to the gate 13 a signal to turn off (close signal) instead of the open signal.

【0031】そして、前記一次電流の変化率が一度
「負」となったときは、つぎの第二中間状態へ遷移す
る。この第二中間状態では、前記一次電流の変化率が
「正」となるのを待っている状態である。このとき、第
二のパターンとして、前記時限タイマがタイムアップし
て切れてしまえば、前記制御回路9は、前記ゲート13
へ前記開信号に代えてオフとする信号(閉信号)を出力
する。
When the rate of change of the primary current once becomes "negative", a transition is made to the next second intermediate state. The second intermediate state is a state where the change rate of the primary current becomes “positive”. At this time, as a second pattern, if the timed timer expires after expiration, the control circuit 9 sets the gate 13
A signal to turn off (close signal) is output instead of the open signal.

【0032】さらに、この状態で、前記基準時間Aより
早く前記一次電流の変化率が「正」になったとき,すな
わち図3における符号Bで示すポイントとなったとき
は、第三のパターンとして、前記制御回路9は、前記ゲ
ート13へ前記開信号に代えてオフとする信号(閉信
号)を出力する。そして、いずれのパターンのときも前
記待機状態へ戻り、つぎのサイクルまで待機となる。こ
のように、前記各パターンにより、前記ゲート13へ切
替え信号を送ることで、ノイズの発生と前記スイッチン
グ損失を防止する。
Further, in this state, when the rate of change of the primary current becomes "positive" earlier than the reference time A, that is, when the point indicated by the symbol B in FIG. The control circuit 9 outputs to the gate 13 a signal to turn off (close signal) instead of the open signal. In any of the patterns, the process returns to the standby state and waits until the next cycle. As described above, the switching signal is transmitted to the gate 13 in accordance with each of the patterns, thereby preventing generation of noise and the switching loss.

【0033】つぎに、この発明の第二実施例を図5〜図
7に基づいて、詳細に説明する。この第二実施例は、前
記第一実施例の変形例である。この第二実施例の説明に
おいて、前記第一実施例と同一の機器には同一の符号を
付し、その詳細な説明は省略する。図5は、この発明の
第二実施例の概略電気回路図である。
Next, a second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. The second embodiment is a modification of the first embodiment. In the description of the second embodiment, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. FIG. 5 is a schematic electric circuit diagram of the second embodiment of the present invention.

【0034】図5において、前記無声放電用電源装置1
は、前記電源2と、前記無声放電電極3と、前記トラン
ス5と、前記スイッチング素子7と、前記電磁誘導式検
出手段8に代えて電流−電圧変換装置により構成された
変換装置式検出手段18と、前記変換装置式検出手段1
8により検出した電流値の微分演算回路19と、前記制
御回路9とにより構成されている。
In FIG. 5, the power supply device 1 for silent discharge is shown.
Is a converter type detecting means 18 constituted by a current-voltage converter instead of the power source 2, the silent discharge electrode 3, the transformer 5, the switching element 7, and the electromagnetic induction type detecting means 8. And the converting device type detecting means 1
The control circuit 9 includes a differential operation circuit 19 for the current value detected by the control circuit 8 and the control circuit 9.

【0035】前記変換装置式検出手段18は、ホール素
子あるいは抵抗素子により構成されている。
The converting device type detecting means 18 is constituted by a Hall element or a resistance element.

【0036】前記微分演算回路19は、時間経過に伴な
う前記電流値の増減の変化率を演算し、その変化率の波
形の信号を前記制御回路9へ出力する。ここにおいて、
前記微分演算回路19は、前記制御回路9内に組み込ん
でマイクロコンピューター(図示省略)のソフトウェア
で演算処理する。すなわち、所定時間前の一次電流値を
記憶し、所定時間経過後の一次電流値と比較し、その変
化率を前記制御回路9へ出力する。
The differential operation circuit 19 calculates the rate of change of the increase and decrease of the current value with the passage of time, and outputs a signal having a waveform of the rate of change to the control circuit 9. put it here,
The differential operation circuit 19 is incorporated in the control circuit 9 and performs arithmetic processing by software of a microcomputer (not shown). That is, the primary current value before the predetermined time is stored, compared with the primary current value after the predetermined time has elapsed, and the rate of change is output to the control circuit 9.

【0037】つぎに、このように構成された前記無声放
電用電源装置1の作用について説明する。前記電源2を
オンとした状態で、前記第一実施例と同様、オゾンを発
生する。
Next, the operation of the power supply device 1 for silent discharge constructed as described above will be described. With the power supply 2 turned on, ozone is generated as in the first embodiment.

【0038】そして、前記変換装置式検出手段18によ
り、前記一次側コイル6の電流値を電圧値へ変換し、そ
の電圧値の変化率を前記微分演算回路19へ入力し、こ
の微分演算回路19からの出力信号に応じたタイミング
のとき,すなわち前記変換装置式検出手段18により検
出した前記一次側コイル6の電流値が極小となるとき、
前記制御回路9により、前記ゲート13へ供給していた
開信号を閉信号へ切り替えるものである。これにより、
前記ノイズの発生および前記スイッチング損失を低減す
る。
Then, the current value of the primary coil 6 is converted into a voltage value by the conversion device type detecting means 18 and the rate of change of the voltage value is inputted to the differential operation circuit 19, and the differential operation circuit 19 At the timing according to the output signal from the converter, that is, when the current value of the primary side coil 6 detected by the converter type detecting means 18 becomes a minimum,
The control circuit 9 switches the open signal supplied to the gate 13 to a closed signal. This allows
The generation of the noise and the switching loss are reduced.

【0039】つぎに、この第二実施例のより具体的な説
明をする。図6は、前記一次電流と前記一次電流の変化
率との関係を説明するグラフである。ここにおいて、図
2で示した一次電流の波形を1つだけ拡大して、図6に
おける上側のグラフに示している。図6の上側のグラフ
の縦軸は一次電流を示し、横軸は図2と同様、時間経過
を示し、説明のため、時間間隔を拡大している。図6の
下側のグラフにおいて、前記一次電流の変化率を縦軸に
示し、横軸は時間経過を示し、説明のため、上側のグラ
フと同様、時間間隔を拡大している。
Next, a more specific description of the second embodiment will be given. FIG. 6 is a graph illustrating the relationship between the primary current and the rate of change of the primary current. Here, the waveform of the primary current shown in FIG. 2 is enlarged by one, and is shown in the upper graph in FIG. The vertical axis of the upper graph in FIG. 6 represents the primary current, and the horizontal axis represents the passage of time, as in FIG. 2, and the time interval is enlarged for explanation. In the lower graph of FIG. 6, the rate of change of the primary current is shown on the vertical axis, and the horizontal axis shows the passage of time.

【0040】図6の下側のグラフにおいて、前記一次電
流の変化率の判定のため、2つの基準レベルを追加して
設ける。まず、第一基準レベルCを変化率がゼロのとこ
ろより低く,すなわちマイナス側の所定の閾値として設
定する。つぎに、第二基準レベルDを前記第一基準レベ
ルCの閾値より高く,かつゼロ近傍のマイナス側の閾値
として設定する。説明のため、図6においては、このゼ
ロ近傍の縦軸の変化率を拡大して表記している。すなわ
ち、前記第二基準レベルDは、ほぼゼロに近く設定され
る。さらに、横軸に示す時間経過において、前記第一実
施例と同様、前記基準時間Aを時間経過の最大時限とし
て設定する。ここにおいて、前記第二基準レベルDは、
ほぼゼロ近傍のプラス側の閾値とすることもできる。
In the lower graph of FIG. 6, two reference levels are additionally provided for determining the rate of change of the primary current. First, the first reference level C is set as a predetermined threshold value that is lower than the rate at which the change rate is zero, that is, on the minus side. Next, the second reference level D is set as a threshold higher than the threshold of the first reference level C and on the negative side near zero. For the sake of explanation, in FIG. 6, the rate of change of the vertical axis near zero is enlarged and shown. That is, the second reference level D is set to almost zero. Further, in the time passage shown on the horizontal axis, the reference time A is set as the maximum time limit of the time passage as in the first embodiment. Here, the second reference level D is
The threshold value on the positive side near zero can also be used.

【0041】つぎに、図6で設定した前記第一基準レベ
ルC,前記第二基準レベルDおよび前記基準時間Aに基
づいて、前記ゲート13へ前記制御回路9からオフ信号
を出力するときについて、図7に基づいて説明する。図
7は、前記制御回路9の制御方法を説明する状態遷移図
である。ここにおいても、前記オフ信号を出力するとき
のパターンは、3種類ある。
Next, when outputting an off signal from the control circuit 9 to the gate 13 based on the first reference level C, the second reference level D, and the reference time A set in FIG. A description will be given based on FIG. FIG. 7 is a state transition diagram for explaining a control method of the control circuit 9. Also in this case, there are three types of patterns for outputting the off signal.

【0042】まず、図7において、前記制御回路9が待
機状態にあるとき、前記周波数トリガパルスジェネレー
ター14により出力される信号が入力されると、前記制
御回路9は、前記ゲート13をオンとする信号(開信
号)を出力するとともに、内蔵している前記時限タイマ
をセットして、前記基準時間Aに到達するまでのカウン
トを開始する。
First, in FIG. 7, when the control circuit 9 is in a standby state and a signal output from the frequency trigger pulse generator 14 is input, the control circuit 9 turns on the gate 13. A signal (open signal) is output, and the built-in timer is set to start counting until the reference time A is reached.

【0043】つぎに、前記微分演算回路19の出力が前
記第一基準レベルC以下になるのを待っている第三中間
状態となる。このとき、第一のパターンとして、前記時
限タイマがタイムアップして切れてしまえば、前記制御
回路9は、前記ゲート13へ前記開信号に代えてオフと
する信号(閉信号)を出力する。すなわち、この場合
は、前記微分演算回路19の出力が一度も前記第一基準
レベルC以下にならないときである。
Next, a third intermediate state waits for the output of the differential operation circuit 19 to fall below the first reference level C. At this time, as a first pattern, if the time-out timer expires after the time-out timer expires, the control circuit 9 outputs to the gate 13 a signal to turn off (close signal) instead of the open signal. That is, in this case, the output of the differential operation circuit 19 never falls below the first reference level C.

【0044】そして、前記微分演算回路19の出力が一
度前記第一基準レベルCを下回ったときは、つぎの第四
中間状態へ遷移する。この第四中間状態では、前記微分
演算回路19の出力が前記第二基準レベルD以上になる
のを待っている。このとき、第二のパターンとして、前
記時限タイマがタイムアップして切れてしまえば、前記
制御回路9は、前記ゲート13へ前記開信号に代えてオ
フとする信号(閉信号)を出力する。
When the output of the differential operation circuit 19 once falls below the first reference level C, a transition is made to the next fourth intermediate state. In the fourth intermediate state, it waits for the output of the differential operation circuit 19 to become equal to or higher than the second reference level D. At this time, as a second pattern, if the time-out timer expires after the time-out timer expires, the control circuit 9 outputs a signal (close signal) to the gate 13 to turn off instead of the open signal.

【0045】さらに、この第四中間状態で、前記基準時
間Aの時間より早く前記微分演算回路19の出力が前記
第二基準レベルD以上になったときは、第三のパターン
として、前記制御回路9は、前記ゲート13へ前記開信
号に代えてオフとする信号(閉信号)を出力する。この
ように前記各パターンにより、前記ゲート13へ切替え
信号を送ることで、ノイズの発生と前記スイッチング損
失を防止する。
In the fourth intermediate state, when the output of the differential operation circuit 19 becomes higher than the second reference level D earlier than the time of the reference time A, the control circuit is used as a third pattern. Reference numeral 9 outputs a signal to turn off (close signal) to the gate 13 instead of the open signal. By transmitting a switching signal to the gate 13 in accordance with each of the patterns, generation of noise and switching loss are prevented.

【0046】さらに、この発明の第三実施例を図8〜図
10に基づいて、詳細に説明する。この第三実施例は、
前記第二実施例のさらなる変形例である。この第三実施
例の説明において、前記第二実施例と同一の機器には同
一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。図8は、
この発明の第三実施例の概略電気回路図である。
Further, a third embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. This third embodiment,
It is a further modified example of the second embodiment. In the description of the third embodiment, the same components as those of the second embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. FIG.
FIG. 7 is a schematic electric circuit diagram of a third embodiment of the present invention.

【0047】図8において、前記無声放電用電源装置1
は、前記電源2と、前記無声放電電極3と、前記トラン
ス5と、前記スイッチング素子7と、前記変換装置式の
検出手段である抵抗素子20(以下、「第二抵抗素子2
0」と云う)と、前記制御回路9の外部に外付けされた
前記第二抵抗素子20により検出した電流値の外付微分
演算回路21と、前記制御回路9とにより構成されてい
る。
Referring to FIG. 8, the power supply device 1 for silent discharge
Are the power supply 2, the silent discharge electrode 3, the transformer 5, the switching element 7, and a resistance element 20 (hereinafter, referred to as a "second resistance element 2"
0)), an external differential operation circuit 21 for the current value detected by the second resistance element 20 externally attached to the control circuit 9, and the control circuit 9.

【0048】前記第二抵抗素子20は、前記一次側コイ
ル6の電流値を検出するとき、前記電流が流れるとその
両側に電圧が生じるものである。
When detecting the current value of the primary coil 6, the second resistance element 20 generates a voltage on both sides when the current flows.

【0049】前記外付微分演算回路21は、時間経過に
伴なう前記電流値の増減の変化率を演算し、その変化率
の波形の信号を前記制御回路9へ出力する。すなわち、
電流値の変化率を演算するとき、独立した回路としての
前記外付微分演算回路21を備え、前記一次側コイル6
の電流値を前記外付微分演算回路21へ入力する。前記
外付微分演算回路21は、前記一次側コイル6の電流値
を微分した波形の信号へ変換し、前記制御回路9へ出力
する。前記外付微分演算回路21は、前記外付微分演算
回路21へのノイズを減らすノイズフィルター22を備
えている。
The external differential operation circuit 21 calculates the rate of change of the increase / decrease of the current value with the passage of time, and outputs a signal having a waveform of the rate of change to the control circuit 9. That is,
When calculating the change rate of the current value, the external differential operation circuit 21 is provided as an independent circuit, and the primary coil 6
Is input to the external differential operation circuit 21. The external differential operation circuit 21 converts the current value of the primary coil 6 into a signal having a differentiated waveform, and outputs the signal to the control circuit 9. The external differential operation circuit 21 includes a noise filter 22 that reduces noise to the external differential operation circuit 21.

【0050】前記ノイズフィルター22は、第三抵抗素
子23と第一コンデンサ24との平滑回路として構成さ
れている。前記第二抵抗素子20と前記スイッチング素
子7のマイナス側端子(符号省略)との接続点(符号省
略)は、前記第三抵抗素子23と接続されている。前記
第三抵抗素子23と前記第一コンデンサ24との接続点
(符号省略)は、前記制御回路9の第一入力端子(符号
省略)と前記外付微分演算回路21の入力側である第二
コンデンサ25とに接続されている。前記第一コンデン
サ24のマイナス側端子(符号省略)は、前記マイナス
側ラインと接続されている。
The noise filter 22 is configured as a smoothing circuit of the third resistance element 23 and the first capacitor 24. A connection point (symbol omitted) between the second resistance element 20 and the negative terminal (symbol omitted) of the switching element 7 is connected to the third resistance element 23. A connection point (symbol omitted) of the third resistance element 23 and the first capacitor 24 is a second input terminal (symbol omitted) of the control circuit 9 and an input side of the external differential operation circuit 21. It is connected to a capacitor 25. The negative terminal (symbol omitted) of the first capacitor 24 is connected to the negative line.

【0051】また、前記外付微分演算回路21の詳細構
成は、前記第二コンデンサ25と、第四抵抗素子26
と、一般的にオペアンプと呼称されている増幅器27と
により構成されている。前記第二コンデンサ25と前記
第四抵抗素子26との接続点(符号省略)は、前記増幅
器27の入力端子(符号省略)と接続されている。前記
第四抵抗素子26と前記増幅器27の出力端子(符号省
略)との接続点(符号省略)は、前記制御回路9の第二
入力端子(符号省略)と接続されている。前記増幅器2
7のアース端子(符号省略)は、前記マイナス側ライン
と接続されている。
The detailed configuration of the external differential operation circuit 21 is as follows. The second capacitor 25 and the fourth resistance element 26
And an amplifier 27 generally called an operational amplifier. A connection point (symbol omitted) of the second capacitor 25 and the fourth resistance element 26 is connected to an input terminal (symbol omitted) of the amplifier 27. A connection point (symbol omitted) between the fourth resistance element 26 and an output terminal (symbol omitted) of the amplifier 27 is connected to a second input terminal (symbol omitted) of the control circuit 9. The amplifier 2
A ground terminal 7 (symbol omitted) is connected to the negative line.

【0052】この第三実施例における前記制御回路9
は、前記制御用コンピューターに記憶されている予め設
定された判定プログラムにより、前記電流値を判定し、
前記スイッチング素子7をオンオフ制御する。前記制御
回路9は、前記周波数トリガパルスジェネレーター14
と接続線(符号省略)を介して接続されている。
The control circuit 9 in the third embodiment
Determines the current value by a preset determination program stored in the control computer,
On / off control of the switching element 7 is performed. The control circuit 9 includes the frequency trigger pulse generator 14
And a connection line (not shown).

【0053】つぎに、この回路の動作を説明する。前記
電源2をオンとした状態で、前記第二実施例と同様、オ
ゾンを発生する。そして、前記制御回路9から前記ゲー
ト13へ供給していた前記開信号を閉信号へ切り替え、
前記スイッチング素子7をオフとする制御を行う。
Next, the operation of this circuit will be described. With the power supply 2 turned on, ozone is generated as in the second embodiment. Then, the open signal supplied from the control circuit 9 to the gate 13 is switched to a close signal,
Control for turning off the switching element 7 is performed.

【0054】つぎに、この第三実施例のより具体的な説
明をする。図9は、前記一次電流と前記外付微分演算回
路21の出力との関係を説明するグラフである。ここに
おいて、図2で示した一次電流の波形を1つだけ拡大し
て、図9における上側のグラフに示している。図9の上
側のグラフの縦軸は一次電流を示し、横軸は図2と同
様、時間経過を示し、説明のため、時間間隔を拡大して
いる。図9の下側のグラフにおいて、前記外付微分演算
回路21の出力波形(以下、「微分回路出力」と云う)
を縦軸に示している。横軸は図2と同様、時間経過を示
し、説明のため、時間間隔を拡大している。ここにおい
て、前記微分回路出力は、前記一次側電流が前記外付微
分演算回路21により、電圧へ変換されており、電圧の
波形の大きさの目盛として示している。そして、前記微
分回路出力を示す波形は、前記ノイズフィルター22に
より、いわゆるなまされた波形となっている。
Next, a more specific description of the third embodiment will be given. FIG. 9 is a graph illustrating the relationship between the primary current and the output of the external differential operation circuit 21. Here, the waveform of the primary current shown in FIG. 2 is enlarged by one, and is shown in the upper graph in FIG. The vertical axis of the upper graph in FIG. 9 represents the primary current, and the horizontal axis represents the passage of time, as in FIG. 2, and the time interval is enlarged for explanation. In the lower graph of FIG. 9, the output waveform of the external differential operation circuit 21 (hereinafter, referred to as “differential circuit output”)
Is shown on the vertical axis. The abscissa indicates the passage of time as in FIG. 2, and the time interval is enlarged for explanation. Here, the output of the differentiating circuit is obtained by converting the primary-side current into a voltage by the external differentiating operation circuit 21 and is shown as a scale of the voltage waveform. The waveform indicating the output of the differentiating circuit is a so-called smoothed waveform by the noise filter 22.

【0055】図9の下側のグラフにおいて、前記微分回
路出力の電圧値の判定のため、さらに、2つの基準レベ
ルを追加して設ける。まず、第三基準レベルEを、ゼロ
電圧より低く,すなわちマイナス側の所定の電圧として
設定する。つぎに、第四基準レベルFを、前記第三基準
レベルEの電圧より高く,かつゼロ電圧近傍のマイナス
側の電圧として設定する。説明のため、図9において
は、このゼロ近傍の縦軸の微分回路出力を拡大して表記
している。すなわち、前記第四基準レベルFは、ほぼゼ
ロに近く設定される。さらに、横軸に示す時間経過にお
いて、前記第二実施例と同様、前記基準時間Aを時間経
過の最大時限として設定する。ここにおいて、前記第四
基準レベルFは、ほぼゼロ近傍のプラス側の閾値とする
こともできる。
In the lower graph of FIG. 9, two reference levels are additionally provided for determining the voltage value of the output of the differentiating circuit. First, the third reference level E is set lower than the zero voltage, that is, as a predetermined voltage on the negative side. Next, the fourth reference level F is set as a voltage higher than the voltage of the third reference level E and on the negative side near zero voltage. For the sake of explanation, in FIG. 9, the output of the differentiating circuit on the vertical axis near zero is enlarged and shown. That is, the fourth reference level F is set to be nearly zero. Further, in the time passage shown on the horizontal axis, the reference time A is set as the maximum time limit of the time passage, as in the second embodiment. Here, the fourth reference level F may be a threshold value on the plus side near substantially zero.

【0056】つぎに、図9で設定した前記第三基準レベ
ルE,前記第四基準レベルFおよび前記基準時間Aに基
づいて、前記ゲート13へ前記制御回路9からオフ信号
を出力するときについて、図10に基づいて説明する。
図10は、前記制御回路9の制御方法を説明する状態遷
移図である。ここにおいても、前記オフ信号を出力する
ときのパターンは、3種類ある。
Next, based on the third reference level E, the fourth reference level F, and the reference time A set in FIG. 9, when the control circuit 9 outputs an off signal to the gate 13, A description will be given based on FIG.
FIG. 10 is a state transition diagram for explaining a control method of the control circuit 9. Also in this case, there are three types of patterns for outputting the off signal.

【0057】まず、図10において、前記制御回路9が
待機状態にあるとき、前記周波数トリガパルスジェネレ
ーター14により出力される信号が入力されると、前記
制御回路9は、前記ゲート13をオンとする信号(開信
号)を出力するとともに、内蔵している時限タイマ(図
示省略)をセットして、前記基準時間Aに到達するまで
のカウントを開始する。
First, in FIG. 10, when the signal output from the frequency trigger pulse generator 14 is input while the control circuit 9 is in a standby state, the control circuit 9 turns on the gate 13. A signal (open signal) is output, and a built-in time timer (not shown) is set to start counting until the reference time A is reached.

【0058】つぎに、前記微分回路出力が前記第三基準
レベルE以下になるのを待っている第五中間状態とな
る。このとき、第一のパターンとして、前記時限タイマ
がタイムアップして切れてしまえば、前記制御回路9
は、前記ゲート13へ前記開信号に代えてオフとする信
号(閉信号)を出力する。すなわち、この場合は、前記
微分回路出力が一度も前記第三基準レベルE以下になら
ないときである。
Next, a fifth intermediate state is established, waiting for the output of the differentiating circuit to fall below the third reference level E. At this time, as the first pattern, if the time-out timer expires after expiration, the control circuit 9
Outputs an off signal (close signal) to the gate 13 instead of the open signal. That is, in this case, the output of the differentiating circuit never falls below the third reference level E.

【0059】そして、前記微分回路出力が一度前記第三
基準レベルEを下回ったときは、つぎの第六中間状態へ
遷移する。この第六中間状態では、前記微分回路出力が
前記第四基準レベルF以上になるのを待つ。このとき、
第二のパターンとして、前記時限タイマがタイムアップ
して切れてしまえば、前記制御回路9は、前記ゲート1
3へ前記開信号に代えてオフとする信号(閉信号)を出
力する。
When the output of the differentiating circuit once falls below the third reference level E, the state transits to the next sixth intermediate state. In the sixth intermediate state, it waits until the output of the differentiating circuit becomes equal to or higher than the fourth reference level F. At this time,
As a second pattern, if the time-out timer expires after the time-out timer expires, the control circuit 9 sets the gate 1
A signal to turn off (close signal) is output to 3 in place of the open signal.

【0060】さらに、この第六中間状態で、前記基準時
間Aの時間より早く前記微分回路出力が前記第四基準レ
ベルF以上になったときは、第三のパターンとして、前
記制御回路9は、前記ゲート13へ前記開信号に代えて
オフとする信号(閉信号)を出力する。このように前記
各パターンにより、前記ゲート13へ切替え信号を送る
ことでノイズの発生と前記スイッチング損失を防止す
る。
Further, in the sixth intermediate state, when the output of the differentiating circuit reaches or exceeds the fourth reference level F earlier than the time of the reference time A, as a third pattern, the control circuit 9 A signal to turn off (close signal) is output to the gate 13 instead of the open signal. As described above, the switching signal is transmitted to the gate 13 in accordance with each of the patterns, thereby preventing noise and the switching loss.

【0061】[0061]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、ノイズの発生およびスイッチング素子のスイッチン
グ損失を低減することができる無声放電用電源装置を提
供することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a silent discharge power supply device capable of reducing noise generation and switching loss of a switching element.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の第一実施例の概略電気回路図であ
る。
FIG. 1 is a schematic electric circuit diagram of a first embodiment of the present invention.

【図2】第一実施例におけるスイッチング素子を流れる
一次電流と、トランスの二次側コイルの二次電圧との関
係を説明するグラフである。
FIG. 2 is a graph illustrating a relationship between a primary current flowing through a switching element and a secondary voltage of a secondary coil of a transformer in the first embodiment.

【図3】第一実施例における一次電流と一次電流の変化
率との関係を説明するグラフである。
FIG. 3 is a graph illustrating a relationship between a primary current and a rate of change of the primary current in the first embodiment.

【図4】第一実施例における制御回路の制御方法を説明
する状態遷移図である。
FIG. 4 is a state transition diagram for explaining a control method of the control circuit in the first embodiment.

【図5】この発明の第二実施例の概略電気回路図であ
る。
FIG. 5 is a schematic electric circuit diagram of a second embodiment of the present invention.

【図6】第二実施例におけるスイッチング素子を流れる
一次電流と、一次電流の変化率との関係を説明するグラ
フである。
FIG. 6 is a graph illustrating the relationship between the primary current flowing through the switching element and the rate of change of the primary current in the second embodiment.

【図7】第二実施例における制御回路の制御方法を説明
する状態遷移図である。
FIG. 7 is a state transition diagram for explaining a control method of the control circuit in the second embodiment.

【図8】この発明の第三実施例の概略電気回路図であ
る。
FIG. 8 is a schematic electric circuit diagram of a third embodiment of the present invention.

【図9】第三実施例における一次電流と微分回路出力と
の関係を説明するグラフである。
FIG. 9 is a graph illustrating the relationship between the primary current and the output of the differentiating circuit in the third embodiment.

【図10】第三実施例における制御回路の制御方法を説
明する状態遷移図である。
FIG. 10 is a state transition diagram illustrating a control method of the control circuit in the third embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 電源 3 無声放電電極 4 二次側コイル 5 トランス 6 一次側コイル 7 スイッチング素子 8 電磁誘導式検出手段(検出手段) 9 制御回路 10 チョークコイル 18 変換装置式検出手段(検出手段) 20 第二抵抗素子(検出手段) A 基準時間 B 基準時間より早く一次電流の変化率が「正」になっ
たときを示すポイント C 第一基準レベル D 第二基準レベル E 第三基準レベル F 第四基準レベル
2 power supply 3 silent discharge electrode 4 secondary side coil 5 transformer 6 primary side coil 7 switching element 8 electromagnetic induction type detection means (detection means) 9 control circuit 10 choke coil 18 conversion device type detection means (detection means) 20 second resistor Element (detection means) A Reference time B Point indicating when the rate of change of the primary current becomes "positive" earlier than the reference time C First reference level D Second reference level E Third reference level F Fourth reference level

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4G042 CA01 CB23 CD03 5H730 AA02 AA14 AS04 BB23 BB57 DD04 DD41 FD41 FF09 FG01 5H790 BA00 BB15 CC01 DD06 EA01 EA02 EA07 EA16 EA26 EB06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 4G042 CA01 CB23 CD03 5H730 AA02 AA14 AS04 BB23 BB57 DD04 DD41 FD41 FF09 FG01 5H790 BA00 BB15 CC01 DD06 EA01 EA02 EA07 EA16 EA26 EB06

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 直流を供給する電源2と、無声放電電極
3と、前記電源2を一次側コイル6に接続するととも
に、前記無声放電電極3を二次側コイル4に接続し、か
つチョークコイル10を有するトランス5と、前記一次
側コイル6への電力の供給を制御するスイッチング素子
7と、前記一次側コイル6の電流値を検出する検出手段
とを備え、前記検出手段により検出した電流値の変化率
を検出し、前記スイッチング素子7をオフとする制御を
行う制御回路9を備えたことを特徴とする無声放電用電
源装置。
1. A power supply 2 for supplying a direct current, a silent discharge electrode 3, and the power supply 2 is connected to a primary coil 6; the silent discharge electrode 3 is connected to a secondary coil 4; 10, a switching element 7 for controlling the supply of power to the primary coil 6, and detection means for detecting the current value of the primary coil 6, the current value detected by the detection means A power supply device for silent discharge, comprising a control circuit 9 for detecting a rate of change of the switching element 7 and controlling the switching element 7 to be turned off.
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