JP2002341549A - Method for forming multicolor pattern - Google Patents

Method for forming multicolor pattern

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JP2002341549A
JP2002341549A JP2001146841A JP2001146841A JP2002341549A JP 2002341549 A JP2002341549 A JP 2002341549A JP 2001146841 A JP2001146841 A JP 2001146841A JP 2001146841 A JP2001146841 A JP 2001146841A JP 2002341549 A JP2002341549 A JP 2002341549A
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pattern
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a color filter for a reflection and transmission type LCD panel in which pixels having regions of different thickness can be formed by applying a photosensitive resin composition on a substrate and exposing the composition to light through the top and back sides of the substrate. SOLUTION: A multicolor pattern is formed by repeating twice or more times the process including (1) a process of forming a photosensitive resin composition layer on the substrate, (2) a process of exposing through the substrate side and the photosensitive resin composition layer side to form a pattern and (3) a process of developing. The color filter for a reflection and transmission type LCD panel can be easily formed by the method for forming a multicolor pattern featuring that the composition layer is exposed in such a manner that a region exposed only through the substrate side to form the pattern is present.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶カラーディス
プレー等、特に反射・透過兼用液晶カラーディスプレイ
に使用するのに好適な多色パターン形成方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a multicolor pattern suitable for use in a liquid crystal color display or the like, in particular, a liquid crystal color display for both reflection and transmission.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、携帯電話に代表される携帯端末と
して、反射型液晶ディスプレイが開発されているが、室
内および暗所においての表示品位の低下が問題視されて
おり、その改善策として、反射・透過兼用液晶表示装置
が考案されている。その原理は、反射板の一部に透過表
示用の窓を開け、その上にカラーフィルターを形成し、
室内および暗所においてはバックライトを用い、透過モ
ードで画像を表示し、外光が十分である屋外等では従来
の反射モードで表示を行うものである。その場合、透過
部と反射部のカラーフィルターの厚みは同じとなり、反
射表示に十分な明るさを実現した場合には、透過部の色
純度が不十分であった。また、その逆の透過部の色純度
を十分とした場合は、反射部が暗くなる不都合を有して
いた。
2. Description of the Related Art In recent years, a reflection type liquid crystal display has been developed as a portable terminal typified by a portable telephone. However, deterioration of display quality in a room and in a dark place has been regarded as a problem. A reflective / transmissive liquid crystal display device has been devised. The principle is that a window for transmissive display is opened in a part of the reflector, and a color filter is formed on it,
In a room or a dark place, a backlight is used to display an image in a transmission mode, and in an outdoor or the like where external light is sufficient, display is performed in a conventional reflection mode. In that case, the thicknesses of the color filters of the transmissive portion and the reflective portion were the same, and when sufficient brightness for reflective display was realized, the color purity of the transmissive portion was insufficient. On the other hand, when the color purity of the transmissive portion is sufficient, the reflective portion becomes dark.

【0003】このような問題を解決決するために透過部
と反射部のカラーフィルターの厚みあるいは色相を変
え、表示品位を向上させる試みがなされているが、工程
が複雑で、コストアップとなっている。
In order to solve such a problem, attempts have been made to improve the display quality by changing the thickness or hue of the color filters of the transmission part and the reflection part, but the process is complicated and the cost is increased. .

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は,前記
の問題点に鑑み、反射・透過兼用液晶表示装置に用いら
れるカラーフィルターを簡便に形成可能な製造方法を提
供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a manufacturing method capable of easily forming a color filter used in a reflective / transmissive liquid crystal display device in view of the above problems.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】(1)基板上に感光性樹
脂組成物層を設ける工程 (2)基板側および感光性樹脂組成物層側の両方からパ
ターン露光をする工程 (3)現像する工程 を少なくとも含む工程を2回以上繰り返すことより形成
される多色パターン形成方法において上記(2)の基板
側からのパターン露光のみの領域が存在するように露光
することを特徴とする多色パターン形成方法により上記
課題が達成された。
(1) Step of providing a photosensitive resin composition layer on a substrate (2) Step of pattern exposure from both the substrate side and the photosensitive resin composition layer side (3) Developing A multicolor pattern forming method formed by repeating a process including at least two times at least two times, wherein the multicolor pattern is exposed so that an area of only the pattern exposure from the substrate side exists in the above (2). The above object has been achieved by a forming method.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】先ず、基板として、厚さ0.1〜
2.0mmのガラス基板や、厚さ10〜1000μmの
ポリエーテルスルホン、ポリアリレート、ポリカーボネ
ート等のポリマーフイルム上に、感光性樹脂組成物層を
設け、基板側および感光性樹脂組成物側からの露光およ
び現像により基板上の同一画素内に厚さの異なるパター
ンを形成する。この工程を複数回繰り返し多色パターン
を形成する。用いられる感光性樹脂組成物としては公知
の、例えば特願平2─82262に記載されている感光
性樹脂全てが使用できる。具体的には、ネガ型ジアゾ樹
脂とバインダーからなる感光性樹脂組成物、光重合性組
成物、アジド化合物とバインダーからなる感光性樹脂組
成物、桂皮酸型感光性樹脂組成物等があげられる。その
中でも特に好ましいのは光重合性樹脂である。その光重
合性樹脂は光重合開始剤、光重合性モノマー及びバイン
ダーを基本構成要素として含む。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, a substrate having a thickness of 0.1 to
A photosensitive resin composition layer is provided on a 2.0 mm glass substrate or a polymer film such as polyethersulfone, polyarylate, or polycarbonate having a thickness of 10 to 1000 μm, and exposure from the substrate side and the photosensitive resin composition side is performed. Then, patterns having different thicknesses are formed in the same pixel on the substrate by development. This step is repeated a plurality of times to form a multicolor pattern. As the photosensitive resin composition to be used, all known photosensitive resins described in, for example, Japanese Patent Application No. 82262/1990 can be used. Specific examples include a photosensitive resin composition comprising a negative diazo resin and a binder, a photopolymerizable composition, a photosensitive resin composition comprising an azide compound and a binder, and a cinnamic acid type photosensitive resin composition. Among them, a photopolymerizable resin is particularly preferable. The photopolymerizable resin contains a photopolymerization initiator, a photopolymerizable monomer and a binder as basic components.

【0007】また、感光性樹脂組成物としては、アルカ
リ水溶液により現像可能なものと、有機溶剤により現像
可能なものが知られているが、公害防止、労働安全性の
確保の観点から、アルカリ水溶液現像可能なものが好ま
しい。
As the photosensitive resin composition, those which can be developed with an aqueous alkali solution and those which can be developed with an organic solvent are known, but from the viewpoint of preventing pollution and ensuring work safety, an alkaline aqueous solution is preferred. Those that can be developed are preferred.

【0008】感光性樹脂組成物層にはさらにカラーフィ
ルターの構成色である赤色、緑色、青色の顔料を添加す
るが、これらの好ましい具体例としては、カーミン6B
(C.I.12490)、フタロシアニングリーン
(C.I.74260)、フタロシアニンブルー(C.
I.74160)等をあげることが出来る。着色された
感光性樹脂組成物中の顔料の含有量は、1〜30重量%
であることが好ましい。より好ましくは5〜20重量%
である。
[0008] Red, green, and blue pigments, which are the constituent colors of a color filter, are further added to the photosensitive resin composition layer. Preferred examples thereof include carmine 6B.
(C.I. 12490), phthalocyanine green (C.I. 74260), phthalocyanine blue (C.I.
I. 74160). The content of the pigment in the colored photosensitive resin composition is 1 to 30% by weight.
It is preferable that More preferably 5 to 20% by weight
It is.

【0009】感光性樹脂組成物層の膜厚は、最終的にカ
ラーフィルター上に形成する膜厚により決定され、画素
内の膜厚段差、ボストベーク等の熱処理工程での膜厚減
少等、各着色層の色の濃さおよび現像適性を考慮する
と、各着色層の膜厚は0.1〜5μmが好ましく、より
好ましくは0.3〜4μmである。本発明の好ましい実
施の形態として、基板上に感光性樹脂組成物を設ける方
法として、塗布方式、印刷法、転写法等が挙げられる。
特に好ましいのはその工程の簡便性から転写法が好まし
い。そのカラーフィルター用転写材料について説明す
る。カラーフィルター用転写材料は、着色された感光性
樹脂組成物層を仮支持体上に設けた画像形成材である。
本発明で用いる着色した感光性樹脂組成物層のための仮
支持体としては、可撓性を有し、加圧もしくは加圧及び
加熱下においても著しい変形、収縮もしくは伸びを生じ
ないことが必要である。そのような支持体の例として
は、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セ
ルローズフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボ
ネートフィルムを挙げることができる。2軸延伸ポリエ
チレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
The thickness of the photosensitive resin composition layer is determined by the thickness finally formed on the color filter. The thickness of each colored layer is preferably from 0.1 to 5 μm, more preferably from 0.3 to 4 μm, in consideration of the color depth and developability of the layer. As a preferred embodiment of the present invention, as a method of providing a photosensitive resin composition on a substrate, there are a coating method, a printing method, a transfer method and the like.
The transfer method is particularly preferred because of the simplicity of the process. The transfer material for a color filter will be described. The transfer material for a color filter is an image forming material in which a colored photosensitive resin composition layer is provided on a temporary support.
It is necessary that the temporary support for the colored photosensitive resin composition layer used in the present invention has flexibility and does not cause significant deformation, shrinkage or elongation even under pressure or under pressure and heat. It is. Examples of such a support include a polyethylene terephthalate film, a cellulose triacetate film, a polystyrene film, and a polycarbonate film. Biaxially oriented polyethylene terephthalate films are particularly preferred.

【0010】該仮支持体の上には、着色した感光性樹脂
組成物層を直接、もしくは紫外線透過性を有し酸素透過
性が低い中間層を介して設けることが望ましい。さら
に、転写時の気泡混入を避ける目的で、熱可塑性樹脂層
を設けるのが好ましい。その場合は、仮支持体、熱可塑
性樹脂層、中間層、感光性樹脂組成物層の順に積層する
のが好ましい。これらの層は、層を構成する素材を適当
な溶剤に溶解し、塗布・乾燥することにより作製するこ
とができる。この際、既に形成されている層の上に重層
塗布する場合には、下の層を侵さない溶剤であることが
必要であるが、これらの溶剤は当業者が適宜選択するこ
とが可能である。
On the temporary support, a colored photosensitive resin composition layer is desirably provided directly or via an intermediate layer having ultraviolet transmittance and low oxygen permeability. Further, it is preferable to provide a thermoplastic resin layer for the purpose of avoiding air bubbles during transfer. In that case, it is preferable to laminate the temporary support, the thermoplastic resin layer, the intermediate layer, and the photosensitive resin composition layer in this order. These layers can be produced by dissolving the material constituting the layers in an appropriate solvent, and applying and drying the same. At this time, in the case of multi-layer coating on an already formed layer, it is necessary that the solvent does not attack the lower layer, but these solvents can be appropriately selected by those skilled in the art. .

【0011】中間層は、着色した感光性樹脂組成物層を
透明基板に密着した後で、仮支持体を剥離し、パターン
露光するに際し、着色した感光性樹脂組成物層中での光
硬化反応を阻害する空気中からの酸素の拡散を防止する
ためと、3つの層を積層する場合に熱可塑性樹脂層と感
光性樹脂組成物層が混じり合わないようにするためのバ
リアー層として設けられる。そのため、着色した感光性
樹脂組成物層からは機械的に剥離できないようにし、か
つ酸素の遮断能が高いことが好ましい。
The intermediate layer is formed by adhering the colored photosensitive resin composition layer to the transparent substrate, then peeling off the temporary support, and performing pattern exposure to the photocuring reaction in the colored photosensitive resin composition layer. It is provided as a barrier layer for preventing diffusion of oxygen from the air, which hinders the diffusion, and for preventing the thermoplastic resin layer and the photosensitive resin composition layer from being mixed when three layers are laminated. Therefore, it is preferable that the layer cannot be mechanically peeled off from the colored photosensitive resin composition layer and has high oxygen blocking ability.

【0012】このような中間層はポリマーの溶液を仮支
持体上に直接、または熱可塑性樹脂層を介して塗布する
ことにより形成される。中間層に用いる好適なポリマー
として、特公昭46─32714号及び特公昭5640
824号の各公報に記載されているポリビニルエ−テル
/無水マレイン酸重合体、カルボキシアルキルセルロー
スの水溶性塩、水溶性セルロースエーテル類、カルボキ
シアルキル澱粉の水溶性塩、ポリビニルアルコール、ポ
リビニルピロリドン、各種のポリアクリルアミド類、各
種の水溶性ポリアミド、ポリアクリル酸の水溶性塩、ゼ
ラチン、エチレンオキサイド重合体、各種の澱粉及びそ
の類似物からなる群の水溶性塩、スチレン/マレイン酸
の共重合体、及びマレイネート樹脂、さらにこれらの2
種以上の組合せがあげられる。特に好ましいのは、ポリ
ビニルアルコールとポリビニルピリドンの組合せであ
り、ポリビニルアルコールは鹸化率が80%以上である
ものが好ましい。
Such an intermediate layer is formed by applying a solution of a polymer directly onto a temporary support or through a thermoplastic resin layer. Suitable polymers for use in the intermediate layer include JP-B-46-32714 and JP-B-5640.
No. 824, polyvinyl ether / maleic anhydride polymers, water-soluble salts of carboxyalkyl cellulose, water-soluble cellulose ethers, water-soluble salts of carboxyalkyl starch, polyvinyl alcohol, polyvinyl pyrrolidone, various types Polyacrylamides, various water-soluble polyamides, water-soluble salts of polyacrylic acid, gelatin, ethylene oxide polymers, water-soluble salts of the group consisting of various starches and the like, copolymers of styrene / maleic acid, And maleate resins, and two of these
Combinations of more than one species are mentioned. Particularly preferred is a combination of polyvinyl alcohol and polyvinyl pyridone, and polyvinyl alcohol having a saponification rate of 80% or more is preferred.

【0013】ポリビニルピロリドン等のポリマーの含有
量は中間層固形分の1重量%〜75重量%が好ましく、
より好ましくは1重量%〜60重量%、さらに好ましく
は10重量%〜50重量%である。1重量%未満では感
光性樹脂層との十分な密着が得られず、75重量%を超
えると、酸素遮断能が低下する。中間層の厚みは非常に
薄く、約0.1〜5μm、特に0.2〜3μmである。
中間層の厚みが0・1μm未満の場合、中間層における
酸素の透過性が高すぎ、5μmを超えると、現像時また
は中間層除去時に時間が掛かり過ぎる。
The content of the polymer such as polyvinylpyrrolidone is preferably 1% by weight to 75% by weight of the solid content of the intermediate layer.
It is more preferably 1% to 60% by weight, and still more preferably 10% to 50% by weight. If it is less than 1% by weight, sufficient adhesion to the photosensitive resin layer cannot be obtained, and if it exceeds 75% by weight, the oxygen barrier ability is reduced. The thickness of the intermediate layer is very thin, about 0.1-5 μm, especially 0.2-3 μm.
When the thickness of the intermediate layer is less than 0.1 μm, the oxygen permeability of the intermediate layer is too high, and when it exceeds 5 μm, it takes too much time during development or removal of the intermediate layer.

【0014】熱可塑性樹脂層を構成する樹脂は、実質的
な軟化点が80℃以下であることが好ましい。軟化点が
80℃以下のアルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、
エチレンとアクリル酸エステルの共重合体の鹸化物、ス
チレンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体の鹸化
物、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重
合体の鹸化物、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メ
タ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリ
ル酸エステル共重合体の鹸化物等からすくなくとも1つ
選ばれるのが好ましいが、さらに「プラスチック性能便
覧」(日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック
成形工業連合会編著、工業調査会発行、1968年10
月25日発行)による軟化点が約80℃以下の有機高分
子のうち、アルカリ水溶液に可溶なものを使用すること
が出来る。また軟化点が80℃を超える有機高分子物質
においてもその有機高分子物質中に該高分子物質と相溶
性のある各種の可塑剤を添加して実質的な軟化点を80
℃以下に下げることも可能である。
The resin constituting the thermoplastic resin layer preferably has a substantial softening point of 80 ° C. or less. As the alkali-soluble thermoplastic resin having a softening point of 80 ° C. or less,
Saponified product of copolymer of ethylene and acrylate, saponified product of styrene and (meth) acrylate copolymer, saponified product of vinyltoluene and (meth) acrylate copolymer, poly (meth) acrylic acid Preferably, at least one is selected from esters, saponified (meth) acrylate copolymers such as butyl (meth) acrylate and vinyl acetate, and the like. Edited by the Plastic Molding Industry Federation, published by the Industrial Research Council, October 1968
Among the organic polymers having a softening point of about 80 ° C. or lower, which are soluble in an aqueous alkali solution, can be used. Also, in the case of an organic polymer substance having a softening point exceeding 80 ° C., various plasticizers compatible with the polymer substance are added to the organic polymer substance to increase the substantial softening point to 80 ° C.
It is also possible to lower the temperature below ° C.

【0015】また、これらの有機高分子物質中に仮支持
体との接着力を調節するために、実質的な軟化点が80
℃を超えない範囲で各種のポリマーや過冷却物質、密着
改良剤あるいは界面活性剤、離型剤等を加えることが可
能である。好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロ
ピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチ
ルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレ
ート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニ
ルフォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェー
トを挙げることができる。熱可塑性樹脂層の厚みは6μ
m以上が好ましい。この理由としては熱可塑性樹脂層の
厚みが6μm未満であると1μm以上の下地の凹凸を完
全に吸収することが出来ず、転写時に下地との間に気泡
を生じやすくなるためである。また上限については、現
像性、製造適性から100μm以下、好ましくは50μ
m以下である。
In order to adjust the adhesive strength between these organic polymer substances and the temporary support, the organic polymer substance has a substantial softening point of 80%.
It is possible to add various polymers, supercooled substances, adhesion improvers or surfactants, release agents and the like within a range not exceeding ℃. Specific examples of preferred plasticizers include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, and biphenyl diphenyl phosphate. The thickness of the thermoplastic resin layer is 6μ
m or more is preferable. The reason for this is that if the thickness of the thermoplastic resin layer is less than 6 μm, it is not possible to completely absorb the irregularities of the substrate having a thickness of 1 μm or more, and air bubbles are easily generated between the substrate and the substrate during transfer. The upper limit is 100 μm or less, preferably 50 μm, from the viewpoint of developability and manufacturing suitability.
m or less.

【0016】本発明の感光性樹脂組成物層の素材として
は公知の、例えば特願平2─82262に記載されてい
る感光性樹脂全てが使用できる。具体的には、ネガ型ジ
アゾ樹脂とバインダーからなる感光性樹脂組成物、光重
合性組成物、アジド化合物とバインダーからなる感光性
樹脂組成物、桂皮酸型感光性樹脂組成物等があげられ
る。その中でも特に好ましいのは光重合性樹脂である。
その光重合性樹脂は光重合開始剤、光重合性モノマー及
びバインダーを基本構成要素として含む。
As the material of the photosensitive resin composition layer of the present invention, all known photosensitive resins described in, for example, Japanese Patent Application No. 82262/1990 can be used. Specific examples include a photosensitive resin composition comprising a negative diazo resin and a binder, a photopolymerizable composition, a photosensitive resin composition comprising an azide compound and a binder, and a cinnamic acid type photosensitive resin composition. Among them, a photopolymerizable resin is particularly preferable.
The photopolymerizable resin contains a photopolymerization initiator, a photopolymerizable monomer and a binder as basic components.

【0017】また、感光性樹脂組成物としては、アルカ
リ水溶液により現像可能なものと、有機溶剤により現像
可能なものが知られているが、公害防止、労働安全性の
確保の観点から、アルカリ水溶液現像可能なものが好ま
しい。
As the photosensitive resin composition, those which can be developed with an aqueous alkali solution and those which can be developed with an organic solvent are known. From the viewpoint of preventing pollution and ensuring work safety, the alkali resin aqueous solution is used. Those that can be developed are preferred.

【0018】感光性樹脂組成物層にはさらにカラーフィ
ルターの構成色である赤色、緑色、青色の顔料を添加す
るが、これらの好ましい具体例としては、カーミン6B
(C.I.12490)、フタロシアニングリーン
(C.I.74260)、フタロシアニンブルー(C.
I.74160)等をあげることが出来る。着色された
感光性樹脂組成物中の顔料の含有量は、1〜30重量%
であることが好ましい。より好ましくは5〜20重量%
である。
Red, green, and blue pigments, which are the constituent colors of the color filter, are further added to the photosensitive resin composition layer. Preferred examples thereof include carmine 6B.
(C.I. 12490), phthalocyanine green (C.I. 74260), phthalocyanine blue (C.I.
I. 74160). The content of the pigment in the colored photosensitive resin composition is 1 to 30% by weight.
It is preferable that More preferably 5 to 20% by weight
It is.

【0019】感光性樹脂組成物層の膜厚は、最終的にカ
ラーフィルター上に形成する膜厚により決定され、画素
内の膜厚段差、ボストベーク等の熱処理工程での膜厚減
少等、各着色層の色の濃さおよび現像適性を考慮する
と、各着色層の膜厚は0.1〜5μmが好ましく、より
好ましくは0.3〜4μmである。
The thickness of the photosensitive resin composition layer is determined by the thickness finally formed on the color filter. The thickness of each colored layer is preferably from 0.1 to 5 μm, more preferably from 0.3 to 4 μm, in consideration of the color depth and developability of the layer.

【0020】次に上述したような方法で作成した画像形
成材料(カラーフィルター用転写材料)を用いて、カラー
フィルターを製造する方法を説明する。約1mmの厚み
のガラス基板や厚さ約100μmのポリエーテルスルホ
ンフイルムの上に、仮支持体に形成された感光性樹脂組
成物層を加圧加温下で貼り合わせる。貼り合わせには、
従来公知のラミネーター、真空ラミネーターが使用で
き、より生産性を高めるためには、オートカットラミネ
ーターの使用も可能である。場合によっては予め透明パ
ターンや反射膜等が形成された基板を用いてもよい。そ
の後仮支持体を剥がした後で、基板側および感光性樹脂
組成物側から所定のフォトマスクを介して露光する。こ
の露光は少なくとも基板側のみの露光領域が存在するよ
うに露光する。その後現像することにより基板側からの
露光領域は感光性樹脂組成物の光吸収により表面まで露
光されることなく、膜厚減少が発生し、表露光域は膜厚
減少は発生せず、同一画素内に異なる膜厚を有するパタ
ーンが形成される。露光量は適宜選択されるが、1〜1
000mj/cm2が好ましい。特に基板側からの露光
量を調節することで膜厚減少率を適宜選択できる。基板
側からのパターン露光は基板の厚みの影響で解像力が低
下するので、好ましくは1画素のエッジ部は表露光部で
あることが好ましい。また、仮支持体を剥がす前に露光
し、その後仮支持体を剥がして現像することも可能であ
るが、高解像度を得るためには、露光前に剥がすのが好
ましい。
Next, a method of manufacturing a color filter using the image forming material (transfer material for color filter) prepared by the above-described method will be described. A photosensitive resin composition layer formed on a temporary support is bonded on a glass substrate having a thickness of about 1 mm or a polyethersulfone film having a thickness of about 100 μm under pressure and heat. For bonding,
Conventionally known laminators and vacuum laminators can be used, and in order to further increase productivity, an auto-cut laminator can be used. In some cases, a substrate on which a transparent pattern, a reflective film, or the like is formed in advance may be used. Thereafter, after the temporary support is peeled off, exposure is performed from the substrate side and the photosensitive resin composition side via a predetermined photomask. This exposure is performed so that there is at least an exposure area only on the substrate side. After development, the exposed area from the substrate side is not exposed to the surface due to light absorption of the photosensitive resin composition, the film thickness is reduced, and the surface exposed area is not reduced in the film thickness, and the same pixel is exposed. A pattern having a different film thickness is formed therein. The exposure amount is appropriately selected.
000 mj / cm 2 is preferred. In particular, by adjusting the amount of exposure from the substrate side, the film thickness reduction rate can be appropriately selected. Since the resolution of the pattern exposure from the substrate side is reduced due to the influence of the thickness of the substrate, the edge portion of one pixel is preferably a front exposure portion. Further, it is possible to perform exposure before peeling off the temporary support, and then peel off the temporary support for development. However, in order to obtain high resolution, it is preferable to peel off before exposure.

【0021】現像は公知の方法で、溶剤もしくは水性の
現像液、特にアルカリ水溶液に浸漬するか、スプレーか
らの現像液噴射を与えること、さらにブラシでのこす
り、または超音波を照射しつつ処理することで行われ
る。さらに硬化反応を進めるために現像後、紫外線照射
および熱処理工程を実施してもよい。以上の工程を複数
繰り返し、基板上にカラーフィルターを形成する。
The development is carried out in a known manner by immersing in a solvent or an aqueous developer, especially an aqueous alkaline solution, spraying the developer with a spray, rubbing with a brush, or irradiating with an ultrasonic wave. It is done by that. After the development, an ultraviolet irradiation and heat treatment step may be performed to further promote the curing reaction. By repeating the above steps a plurality of times, a color filter is formed on the substrate.

【0022】[0022]

【実施例】実施例1 厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮
支持体の上に下記の処方H1からなる塗布液を塗布、乾
燥させ、乾燥膜厚が20μmの熱可塑性樹脂層を設け
た。
Example 1 A coating liquid having the following formulation H1 was applied on a polyethylene terephthalate film temporary support having a thickness of 75 μm and dried to form a thermoplastic resin layer having a dry film thickness of 20 μm.

【0023】 熱可塑性樹脂層処方H1: メチルメタクリレート/2─エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレ ート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比) =55/28.8/11.7/4.5、重量平均分子量=90000) 15重量部 ポリプロピレングリコールジアクリレート(平均分子量=822) 6.5重量部 テトラエチレングリコールジメタクリレート 1.5重量部 p−トルエンスルホンアミド 0.5重量部 ベンゾフェノン 1.0重量部 メチルエチルケトン 30重量部Thermoplastic resin layer formulation H1: Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymer composition ratio (molar ratio) = 55 / 28.8 / 11.7 / 4) 5.5, weight average molecular weight = 90000) 15 parts by weight Polypropylene glycol diacrylate (average molecular weight = 822) 6.5 parts by weight Tetraethylene glycol dimethacrylate 1.5 parts by weight p-toluenesulfonamide 0.5 parts by weight Benzophenone 1. 0 parts by weight Methyl ethyl ketone 30 parts by weight

【0024】次に上記熱可塑性樹脂層上に下記処方B1
からなる塗布液を塗布、乾燥させて中間層を設けた。
Next, the following formulation B1 was placed on the thermoplastic resin layer.
Was applied and dried to form an intermediate layer.

【0025】 中間層処方B1: ポリビニルアルコール(クラレ(株)製PVA205、鹸化率=80%) 130重量部 ポリビニルピロリドン(GAFコーポレーション社製PVP、K−90) 60重量部 フッ素系界面活性剤(旭硝子(株)社製サーフロンS−131 ) 10重量部 蒸留水 3350重量部Intermediate layer formulation B1: Polyvinyl alcohol (PVA205 manufactured by Kuraray Co., Ltd., saponification ratio = 80%) 130 parts by weight Polyvinylpyrrolidone (PVP, K-90 manufactured by GAF Corporation) 60 parts by weight Fluorinated surfactant (Asahi Glass) Surflon S-131 manufactured by Corporation) 10 parts by weight Distilled water 3350 parts by weight

【0026】上記熱可塑性樹脂層及び中間層を有する仮
支持体の上に、それぞれ表1の処方を有する、赤色(R
層用)、緑色(G層用)、及び青色(B層用)の3色の
感光性溶液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚が2.0μmの
着色感光性樹脂組成物層を形成した。
On the temporary support having the thermoplastic resin layer and the intermediate layer, a red (R)
Layers), green (for the G layer), and blue (for the B layer) photosensitive solutions of three colors were applied and dried to form a colored photosensitive resin composition layer having a dry film thickness of 2.0 μm.

【0027】[0027]

【表1】 [Table 1]

【0028】このようにして作製したR,G,Bの3色
の感光性樹脂組成物層の厚みおよび厚みムラ(50cm
×50cmの面積内)は、それぞれR:2.0±0.0
8μm、G:2.0±0.09μm、B:2.0±0.
08μmであった。
The thickness and thickness unevenness (50 cm) of the photosensitive resin composition layers of the three colors of R, G, and B thus produced are described.
× 50 cm area) is R: 2.0 ± 0.0, respectively.
8 μm, G: 2.0 ± 0.09 μm, B: 2.0 ± 0.
08 μm.

【0029】さらに上記感光性樹脂組成物層の上にポリ
プロピレン(厚さ12μm)の被覆シートを圧着し、赤
色、青色、緑色及び黒色画像形成材料料を作成した。こ
の画像形成材料を用いて、以下の方法でカラーフィルタ
ーを作成した。厚さ1.1mm、400mm×300m
mの透明ガラス基板(コーニング社#7059)を洗浄
し、シランカップリング剤(信越化学KBM−603)
1%水溶液に3分間浸漬後、30秒間純水洗浄して過剰
なシランカップリング剤を洗い落とし、水切りしてオー
ブンで110℃20分間熱処理した。赤色画像形成材料
の被覆シートを剥離し、感光性樹脂組成物層面をシラン
カップリング剤処理した透明ガラス基板にラミネーター
(ソマール(株)製オートカットラミネーターASL−
24)を用いて加圧(10kg/cm2)、加熱して貼
り合わせ、続いて仮支持体と熱可塑性樹脂層との界面で
剥離し、仮支持体を除去した。次に基板側および感光性
樹脂組成物側からそれぞれ所定のフォトマスクを介し
て、50mj/cm2および20mj/cm2をそれぞれ
露光した。その後、PD1、CD1、SD1(それぞれ
富士写真フイルム製アルカリ現像液)にて現像し、不要
部を除去した後、超高圧水銀灯を用いてカラーフィルタ
ー形成面の反対側から紫外線を300mj/cm2で照
射し、さらに220℃で20分間熱処理を実施し、透明
ガラス基板上に赤色画素パターンを形成した。得られた
赤色画素は基板側のみの露光域の膜厚0.8μmおよび
感光性樹脂組成物側からの露光域の膜厚1.7μであっ
た。続いて、赤色画素パターンが形成されたガラス基板
上に緑色画像形成材料を上記と同様にして貼り合わせ、
剥離、露光、現像、ポスト露光を行い、緑色画素パター
ンを形成した。同様な工程を青色画像形成材料で繰り返
し、透明ガラス基板上にカラーフィルターを形成した。
それぞれの緑および青色画素は基板側のみの露光域の膜
厚0.8μmおよび感光性樹脂組成物側からの露光域の
膜厚1.7μであった。図1にR,G,Bそれぞれの得
られた画素パターン断面図を示した。図1中、10は透
明ガラス基板である。
Further, a cover sheet of polypropylene (thickness: 12 μm) was pressed on the photosensitive resin composition layer to prepare red, blue, green and black image forming materials. Using this image forming material, a color filter was prepared by the following method. 1.1mm thick, 400mm x 300m
m, a transparent glass substrate (Corning # 7059) was washed, and a silane coupling agent (Shin-Etsu Chemical KBM-603) was used.
After being immersed in a 1% aqueous solution for 3 minutes, it was washed with pure water for 30 seconds to remove excess silane coupling agent, drained, and heat-treated in an oven at 110 ° C. for 20 minutes. The coating sheet of the red image forming material was peeled off, and the photosensitive resin composition layer surface was treated with a silane coupling agent on a transparent glass substrate.
Pressure by using 24) (10kg / cm 2) , heating the bonding, followed by peeling at the interface between the temporary support and the thermoplastic resin layer was removed temporary support. Next, 50 mj / cm 2 and 20 mj / cm 2 were respectively exposed from the substrate side and the photosensitive resin composition side via predetermined photomasks. Thereafter, developed by PD1, CD1, SD1 (manufactured by Fuji Photo Film Co. alkali developer, respectively), after removing the unnecessary portion, the ultraviolet from the opposite side of the color filter forming surface by using a super high pressure mercury lamp at 300 mj / cm 2 Irradiation and heat treatment were further performed at 220 ° C. for 20 minutes to form a red pixel pattern on the transparent glass substrate. The obtained red pixel had a thickness of 0.8 μm in the exposed area only on the substrate side and a thickness of 1.7 μ in the exposed area from the photosensitive resin composition side. Subsequently, a green image forming material is attached to the glass substrate on which the red pixel pattern is formed in the same manner as described above,
Peeling, exposure, development, and post exposure were performed to form a green pixel pattern. The same process was repeated with a blue image forming material to form a color filter on a transparent glass substrate.
Each of the green and blue pixels had a film thickness of 0.8 μm in the exposed area only on the substrate side and a film thickness of 1.7 μ in the exposed area from the photosensitive resin composition side. FIG. 1 is a sectional view of a pixel pattern obtained for each of R, G, and B. In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a transparent glass substrate.

【0030】実施例2 基板側からの露光量を20mj/cm2とした以外は実
施例1と同様に行った。得られたRGB画素の基板側の
みの露光域の膜厚0.4μmとなった以外は実施例1と
同じ結果であった。
Example 2 The same procedure as in Example 1 was carried out except that the exposure amount from the substrate side was 20 mj / cm 2 . The same results as in Example 1 were obtained except that the film thickness of the exposure area only on the substrate side of the obtained RGB pixels was 0.4 μm.

【0031】実施例3 実施例1の基板側および感光性樹脂組成物側からそれぞ
れ所定のフォトマスクパターンを変え露光した以外は実
施例1と同様に行った。得られたパターンの膜厚は実施
例1と同様であり、図2にはR,G,Bそれぞれの得ら
れた画素パターン断面図を示した。図2中、10は透明
ガラス基板である。
Example 3 Example 3 was carried out in the same manner as in Example 1 except that exposure was performed by changing a predetermined photomask pattern from the substrate side and the photosensitive resin composition side, respectively. The film thickness of the obtained pattern is the same as that in Example 1, and FIG. 2 shows a cross-sectional view of the obtained pixel pattern of each of R, G, and B. In FIG. 2, reference numeral 10 denotes a transparent glass substrate.

【0032】実施例4 基板側からの露光量を20mj/cm2とした以外は実
施例3と同様に行った。得られたRGB画素の基板側の
みの露光域の膜厚0.4μmとなった以外は実施例3と
同じ結果であった。
Example 4 The same procedure as in Example 3 was carried out except that the exposure amount from the substrate side was 20 mj / cm 2 . The same result as in Example 3 was obtained, except that the film thickness of the exposure area only on the substrate side of the obtained RGB pixels was 0.4 μm.

【0033】実施例5 予め厚さ0.9μm透明画素パターンを形成した厚さ7
5μmのポリエーテルスルホンフイルム基板を用い、基
板側からの露光域をその透明画素領域と一致させたこ
と、熱処理温度を150℃とした。以外は実施例1と同
様に行った。得られた膜厚は実施例1と同じであり、図
3にR,G,Bそれぞれの画素パターン断面図を示し
た。図3中、10は透明ガラス基板、12は透明パター
ンを示す。この場合、CF画素の平坦性は良好であっ
た。
Example 5 Thickness of 0.9 μm in thickness with a transparent pixel pattern previously formed
A 5 μm polyethersulfone film substrate was used, the exposure area from the substrate side was matched with the transparent pixel area, and the heat treatment temperature was 150 ° C. Other than that, it carried out similarly to Example 1. The obtained film thickness was the same as that of Example 1, and FIG. 3 shows a cross-sectional view of the R, G, and B pixel patterns. 3, reference numeral 10 denotes a transparent glass substrate, and reference numeral 12 denotes a transparent pattern. In this case, the flatness of the CF pixel was good.

【0034】[0034]

【発明の効果】本発明によれば、簡便な方法により同一
画素内に膜厚の異なるパターンが形成され、反射・透過
兼用液晶パネルコスト低減可能である。
According to the present invention, patterns having different thicknesses are formed in the same pixel by a simple method, and the cost of a liquid crystal panel for both reflection and transmission can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施例1で得られた画素パターン断
面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a pixel pattern obtained in Example 1 of the present invention.

【図2】 本発明の実施例3で得られた画素パターン断
面図である。
FIG. 2 is a sectional view of a pixel pattern obtained in Example 3 of the present invention.

【図3】 本発明の実施例5で得られた画素パターン断
面図である。
FIG. 3 is a sectional view of a pixel pattern obtained in Example 5 of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 透明ガラス基板 12 透明パターン 10 Transparent glass substrate 12 Transparent pattern

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】(1)基板上に感光性樹脂組成物層を設け
る工程 (2)基板側および感光性樹脂組成物層側の両方からパ
ターン露光をする工程 (3)現像する工程 を少なくとも含む工程を2回以上繰り返すことより形成
される多色パターン形成方法において上記(2)の基板
側からのパターン露光のみの領域が存在するように露光
することを特徴とする多色パターン形成方法。
(1) a step of providing a photosensitive resin composition layer on a substrate; (2) a step of pattern exposure from both the substrate side and the photosensitive resin composition layer side; and (3) a developing step. In the multicolor pattern forming method formed by repeating the process two or more times, the multicolor pattern forming method according to the above (2), wherein the exposure is performed such that an area of only the pattern exposure from the substrate side exists.
【請求項2】 前記基板上に感光性樹脂組成物層を設け
る工程が、感光性転写材料を用いる工程であることを特
徴とする請求項1に記載の多色パターン形成方法。
2. The method according to claim 1, wherein the step of providing a photosensitive resin composition layer on the substrate is a step of using a photosensitive transfer material.
【請求項3】 同一画素内に1:0.9〜1:0.1の
膜厚差を有することを特徴とする請求項1または請求項
2に記載の多色パターン形成方法。
3. The multicolor pattern forming method according to claim 1, wherein the same pixel has a thickness difference of 1: 0.9 to 1: 0.1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007114467A (en) * 2005-10-20 2007-05-10 Dainippon Printing Co Ltd Color filter for transrefrective liquid crystal display device

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