JP2002338828A - 感放射線性屈折率変化性組成物 - Google Patents

感放射線性屈折率変化性組成物

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JP2002338828A
JP2002338828A JP2002039493A JP2002039493A JP2002338828A JP 2002338828 A JP2002338828 A JP 2002338828A JP 2002039493 A JP2002039493 A JP 2002039493A JP 2002039493 A JP2002039493 A JP 2002039493A JP 2002338828 A JP2002338828 A JP 2002338828A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡易な方法で、十分に大きな屈折率変化を与
えしかもその後の使用条件によらずに安定な屈折率パタ
ーンや光学材料を形成するための方法を提供すること。 【解決手段】 (A)分解性重合体、(B)無機酸化物
粒子を含有する非分解性成分および(C)感放射線分解
剤を含有する屈折率変化性組成物に放射線を照射し、次
いで(D)安定化剤で処理することによって、屈折率パ
ターンや光学材料を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、感放射線性屈折率
変化性組成物、屈折率変化法、屈折率パターン形成法、
屈折率パターンおよび光学材料に関する。さらに詳しく
は、光エレクトロニクスやディスプレイ分野に応用され
る新規な屈折率パターンや光学材料を与える屈折率パタ
ーン形成法、屈折率変化法およびそのために好適に用い
られる感放射線性屈折率変化性組成物に関する。
【0002】
【従来の技術】マルチメディア社会といわれる現在、異
なる屈折率領域から構成される屈折率分布型光学成形体
の需要は極めて大きい。そのような例として情報伝達を
担う光ファイバーは勿論、周期的な屈折率変化を有する
光回折格子、屈折率の異なる部位によって情報が書き込
まれた光メモリ、微細な屈折率パターンを有する光集積
回路等の光結合素子、光制御素子、光変調素子、光伝送
素子が挙げられる。
【0003】なお、ここで屈折率分布型光学成形体と
は、GI型光ファイバー等のような成形体中で屈折率が
連続的に分布している場合(以下、GRIN光学成形体
という)と、光回折格子、SI型光導波路等のように屈
折率の分布形状が不連続的な場合の両方をいう。
【0004】GRIN光学成形体は、次世代の光学成形
体として注目されている。例えば、光ファイバーのコア
の中心軸から周辺部へ放物線状に屈折率を減少させたG
I型光ファイバーは大容量の情報伝送を可能とし、ま
た、レンズ中で屈折率が連続的に変化したGRINレン
ズは、平面でも屈折力を持つことや、球面収差を生じな
い等の特長を生かし、コピー機などに用いる読み取りレ
ンズ、ファイバー同士をつなぐ球状レンズ、あるいはマ
イクロレンズなどに応用される。
【0005】上述のようなGRIN光学成形体の製造方
法としては、これまで数多くの提案がなされている。例
えば低分子あるいはモノマーをポリマー中に分散させ、
その濃度を連続的に分布させることによってGI型光フ
ァイバーを得る方法が特開平9−133813号公報、
特開平8−336911号公報、特開平8−33760
9号公報、特開平3−192310号公報、特開平5−
60931号公報、WO93/19505国際公開特許
公報およびWO94/04949国際公開特許公報に開
示されている。また、特開昭62−25705号は屈折
率および反応比の異なる2種類以上のビニルモノマーを
光で共重合させることによりGI型のロッド状光学成形
体あるいは光ファイバーを得るものである。さらに特開
平7−56026号公報は光反応性の官能基を有する重
合体Aを形成し、重合体Aより低屈折率である化合物B
を重合体Aの中に拡散させ、化合物Bの濃度分布を形成
した後、光で重合体Aと化合物Bを反応させ屈折率分布
を得る方法である。
【0006】また無機材料についてのGRIN光学成形
体の製造方法もいくつか提案されており、例えばケイ素
や鉛などを主成分とするロッド状のガラスに高屈折率の
タリウムを加え、低屈折率のカリウムを含む溶融液に浸
漬し、イオン交換によりカリウムの濃度分布を形成させ
てGI型ロッドとする方法である。
【0007】GRINレンズは、上述の方法を、短いロ
ッドつまりレンズ状の光学成形体について適用すれば同
様に得ることができる。あるいは上述の方法で作成した
GI型ロッドを輪切りにしてもよい。
【0008】また前述した光回折格子、光集積回路等の
ような屈折率の微細なパターンを有する光学成形体の製
造方法としては、光照射により成形体中に光化学反応を
誘起させ、それに伴う屈折率変化を得るという技術が知
られている。例えば、無機材料の場合、ゲルマニウムを
ドープしたガラスに光照射し、屈折率を変化させて光回
折格子を作製する方法などが挙げられる。また、有機材
料においては、フォトクロミック反応あるいはフォトブ
リーチングとして知られており、光化学反応活性な低分
子をポリマー中に分散させた材料にレーザー光を照射す
ることによって屈折率変化を誘起し、光回折格子とする
技術が特開平7−92313号公報などで開示されてい
る。さらに最近では、この技術をGRIN光学成形体の
製造に応用することが特開平9−178901号公報に
よって提案されている。この方法は成形体に照射した光
が吸収されて強度が弱くなるのを利用し、照射に対して
深さ方向に連続的な屈折率分布を付与するものである。
【0009】しかしながら、上記した従来の材料で得ら
れる屈折率分布は、その最大屈折率差がせいぜい0.0
01〜0.02程度であり、光学損失の防止や回路の誤
作動の抑制といった目的に対して、さらに大幅な屈折率
分布を持たせることを達成することは難しい。
【0010】また、一旦屈折率分布を形成した後、屈折
率を変化させるために使用した波長付近の光が通過する
条件下で使用すると、徐々に屈折率の変化を引き起こし
劣化してしまう現象を防止することはできなかった。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の技術
における上記した実情に鑑みてなされたものである。
【0012】すなわち、本発明の目的は、材料の屈折率
変化を簡易な方法で行うとともに、その変化した屈折率
差が十分大きな値となり、しかもその後の使用条件によ
らずに安定な屈折率パターンおよび光学材料、ならびに
それを形成するための新規な方法を提供することにあ
る。
【0013】本発明のさらに他の目的および利点は以下
の説明から明らかになろう。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、本発明
の上記目的および利点は、第1に、(A)分解性化合
物、(B)無機酸化物粒子を含有する非分解性成分およ
び(C)感放射線分解剤を含有することを特徴とする感
放射線性屈折率変化性組成物によって達成される。
【0015】本発明の上記目的および利点は、第2に、
本発明の上記感放射線性屈折率変化性組成物に放射線を
照射することを特徴とする屈折率変化方法によって達成
される。
【0016】本発明の上記目的および利点は、第3に、
上記感放射線性屈折率変化性組成物の一部に放射線を照
射することを特徴とする屈折率パターン形成方法によっ
て達成される。
【0017】本発明の上記目的および利点は、第4に、
上記屈折率パターン形成方法によって形成された屈折率
パターンによって達成される。
【0018】本発明の上記目的および利点は、第5に、
上記屈折率パターン形成方法によって形成された光学材
料によって達成される。
【0019】なお、本発明において、「屈折率パター
ン」とは、屈折率の異なる領域から構成される屈折率分
布型材料を意味する。以下、本発明で使用される屈折率
変化性組成物の各成分について詳細に説明する。
【0020】(A)分解性化合物 本発明で使用する(A)分解性化合物は、酸分解性化合
物または塩基分解性化合物であることができ、その屈折
率は、好ましくは1.7以下である。また、分解性化合
物(A)の重量平均分子量は、好ましくは100〜50
0,000、さらに好ましくは100〜300,000で
ある。
【0021】酸分解性化合物としては、下記式(1)〜
(6)および(10)のそれぞれで表される構造よりな
る群から選ばれる少なくとも一つを有する化合物を挙げ
ることができる。これらの化合物は単独で、あるいは2
種以上を一緒に用いることができる。
【0022】
【化15】
【0023】(式(1)において、R1はアルキレン
基、パーフロロアルキレン基、アルキルシリレン基、ア
ルキレンアリーレンアルキレン基またはアリーレン基で
ありそしてR2はアルキレン基、パーフロロアルキレン
基、アルキレンアリーレンアルキレン基、アリーレン
基、アルキルシリレン基またはアルキルゲルミレン基で
あり、そして上記アルキレン基またはパーフロロアルキ
レン基は−O−、−CO−、−COO−または−OCO
O−結合を含んでいてもよい。)
【0024】
【化16】
【0025】(式(2)において、MはSiまたはGe
であり、R3はアルキレン基、パーフロロアルキレン
基、アルキレンアリーレンアルキレン基、アリーレン
基、アルキルシリレン基、アルキルゲルミレン基または
単結合であり、R4は酸素原子、アルキレン基、パーフ
ロロアルキレン基、アルキレンアリーレンアルキレン
基、アリーレン基、アルキルシリレン基または単結合で
あり、R5、R6、R7およびR8はそれぞれ独立に水素原
子、アルキル基、アリール基、アルコキシル基、チオア
ルキル基、アルコキシエステル基、パーフロロアルキル
基、パーフロロアルコキシル基、パーフロロアルコキシ
エステル基またはパーフロロアリール基であり、そして
mは0から2までの整数であり、そして上記アルキレン
基またはパーフロロアルキレン基は−O−、−CO−、
−COO−または−OCOO−結合を含んでいてもよ
い。)
【0026】
【化17】
【0027】(式(3)において、R9およびR10はそ
れぞれ独立に、アルキレン基、パーフロロアルキレン
基、アルキレンアリーレンアルキレン基、アリーレン
基、アルキルシリレン基またはアルキルゲルミレン基で
あり、そして上記アルキレン基またはパーフロロアルキ
レン基は−O−、−CO−、−COO−または−OCO
O−結合を含んでいてもよい。)
【0028】
【化18】
【0029】(式(4)において、R11はオキシアルキ
レン基または単結合でありそしてR12は水素原子、アル
キル基、アルコキシル基、アルコキシエステル基、パー
フロロアルキル基、パーフロロアルコキシエステル基、
パーフロロアリール基、アルキレンアリーレンアルキレ
ン基またはアリール基である。)
【0030】
【化19】
【0031】(式(5)において、R13は水素原子、ア
ルキル基、アルコキシル基、アルコキシエステル基、パ
ーフロロアルキル基、パーフロロアルコキシル基、パー
フロロアルコキシエステル基、パーフロロアリール基ま
たはアリール基である。)
【0032】
【化20】
【0033】(式(6)において、R14は、アルキレン
基、下記式(7)、(8)、または(9)で表される構
造である。)
【0034】
【化21】
【0035】(式(7)において、R15、R16、R17
よびR18は互いに独立に水素原子、炭素数1〜6の鎖状
アルキル基、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、水酸
基、メルカプト基、カルボキシル基、炭素数1〜6のア
ルコキシル基、炭素数1〜6のアルキルチオ基、炭素数
1〜6のハロゲン化アルキル基、炭素数1〜6のハロゲ
ン化アルコキシル基、炭素数1〜6のハロゲン化アルキ
ルチオ基、炭素数1〜6のヒドロキシアルキル基、炭素
数1〜6のメルカプトアルキル基、炭素数1〜6のヒド
ロキシアルコキシル基、炭素数1〜6のメルカプトアル
キルチオ基、炭素数6〜10のアリール基または炭素数
7〜11のアラルキル基である。)
【0036】
【化22】
【0037】(式(8)において、R19はアルキレン基
である。)
【0038】
【化23】
【0039】(式(9)において、R20はアルキレン基
である。)
【0040】
【化24】
【0041】(式(10)において、R21はアルキレン
基、アルキレンアリーレンアルキレン基、またはアリー
レン基である。)
【0042】また、塩基分解性化合物としては、下記式
(11)〜(14)のそれぞれで表される構造よりなる
群から選ばれる少なくとも1つの構造を有する化合物を
挙げることができる。これらの化合物は単独で、あるい
は2種以上を一緒に用いることができる。
【0043】
【化25】
【0044】(式(11)において、R22はアルキレン
基、アラルキレン基、またはアリーレン基であり、R23
はアルキレン基、アラルキレン基、アリーレン基、アル
キレンアリーレンアルキレン基、アルキルシリレン基、
またはアルキルゲルミレン基であり、R24、R25、R26
およびR27はそれぞれ独立して水素原子、アルキル基、
アリール基、アルコキシル基またはチオアルキル基であ
り、iおよびjはそれぞれ独立に0または1である。)
【0045】
【化26】
【0046】(式(12)において、R28はアルキレン
基、アラルキレン基またはアリーレン基であり、R29
アルキレン基、アラルキレン基、アリーレン基、アルキ
レンアリーレンアルキレン基、アルキルシリレン基また
はアルキルゲルミレン基である。)
【0047】
【化27】
【0048】(式(13)において、R30およびR31
それぞれ独立にアルキレン基、アラルキレン基、アリー
レン基、アルキレンアリーレンアルキレン基、アルキル
シリレン基、またはアルキルゲルミレン基である。)
【0049】
【化28】
【0050】(式(14)において、R32およびR33
それぞれ独立に、アルキレン基、アラルキレン基、アリ
ーレン基、アルキレンアリーレンアルキレン基、アルキ
ルシリレン基、またはアルキルゲルミレン基である。)
【0051】上記全てのアルキレンアリーレンアルキレ
ン基としては、それぞれ独立に、例えば下記式(15)
または(16)で示される構造が挙げられる。
【0052】
【化29】
【0053】((15)式中、R34、R35、R36および
37は互いに独立に水素原子、炭素数1〜6の鎖状アル
キル基または炭素数6〜10のアリール基を示し、
38、R39、R40およびR41は互いに独立に水素原子、
塩素原子、臭素原子、水酸基、メルカプト基、アルコキ
シル基、チオアルキル基、アルキルエステル基、アルキ
ルチオエステル基、アリール基、シアノ基またはニトロ
基である。)
【0054】
【化30】
【0055】((16)式中、R42、R43、R44および
45は互いに独立に水素原子、炭素数1〜6の鎖状アル
キル基または炭素数6〜10のアリール基を示し、
46、R47、R48、R49、R50、R51、R52およびR53
は互いに独立に水素原子、塩素原子、臭素原子、水酸
基、メルカプト基、アルコキシル基、チオアルキル基、
アルキルエステル基、アルキルチオエステル基、アリー
ル基、シアノ基またはニトロ基を示し、A1は−S−、
−O−、−SO2−、−CO−、−COO−、−OCO
O−、−CH2−または−C(R542−を示しそしてR
54は炭素数1〜6の鎖状アルキル基である。)
【0056】上記全てのアリーレン基としては、それぞ
れ独立に、例えば下記式(17)で示される構造が挙げ
られる。
【0057】
【化31】
【0058】(ここで、R55〜R62は互いに独立に水素
原子、塩素原子、臭素原子、水酸基、メルカプト基、ア
ルコキシル基、チオアルキル基、アルキルエステル基、
アルキルチオエステル基、アリール基、シアノ基または
ニトロ基を示し、A2は−S−、−O−、−SO2−、−
CO−、−COO−、−OCOO−、−CH2−または
−C(R632−を示しそしてR63は炭素数1〜6の鎖
状アルキル基である。)
【0059】上記全てのアルキルシリレン基としては、
互いに独立に、例えば下記式(18)に示す構造が挙げ
られる。
【0060】
【化32】
【0061】(ここで、R64、R65、R66およびR67
互いに独立に水素原子、炭素数1〜6の鎖状アルキル基
または炭素数6〜10のアリール基を示し、A3は−O
−、アルキレン基またはアリーレン基を示しそしてaは
0か1の整数を表わす。)
【0062】上記全てのアルキルゲルミレン基として
は、互いに独立に、例えば下記式(19)に示す構造が
挙げられる。
【0063】
【化33】
【0064】(ここで、R68、R69、R70およびR71
互いに独立に水素原子、炭素数1〜6の鎖状アルキル基
または炭素数6〜10のアリール基を示し、A4は−O
−、アルキレン基またはアリーレン基を示しそしてbは
0か1の整数を表わす。)
【0065】上記全てのアルキレン基は、炭素数1〜1
0までの直鎖、分岐、または環状のアルキレン基である
ことができ、これらに含まれる水素原子の一部がフッ素
原子に置換されていてもよく、もしくはこれらに含まれ
る水素原子の一部または全部が塩素原子、臭素原子、パ
ーフロロアルキル基、水酸基、メルカプト基、チオアル
キル基、アルコキシル基、パーフロロアルコキシル基、
アルキルエステル基、アルキルチオエステル基、パーフ
ロロアルキルエステル基、シアノ基またはニトロ基に置
換されたものであってもよい。
【0066】上記全てのアルキル基、アルコキシル基、
チオアルキル基、アルキルエステル基およびアルキルチ
オエステル基中に含まれるアルキル基は炭素数1〜10
までの直鎖、分岐、または環状のアルキルであることが
でき、これらに含まれる水素原子の一部がフッ素原子に
置換されていてもよくあるいはこれらに含まれる水素原
子の一部または全部が塩素原子、臭素原子、パーフロロ
アルキル基、水酸基、メルカプト基、チオアルキル基、
アルコキシル基、パーフロロアルコキシル基、アルキル
エステル基、アルキルチオエステル基、パーフロロアル
キルエステル基、シアノ基、ニトロ基またはアリール基
に置換されたものであってもよい。
【0067】上記全てのパーフロロアリール基として
は、パーフロロフェニル基、パーフロロナフチル基、パ
ーフロロアントラセニル基、パーフロロビフェニル基な
どが挙げられ、また、これらに含まれるフッ素原子が水
酸基、パーフロロアルコキシル基、パーフロロアルキル
基、パーフロロアルキルエステル基、シアノ基またはニ
トロ基に置換されていてもよい。
【0068】上記全てのアリール基としては、互いに独
立に、例えばフェニル基、ナフチル基、アントラセニル
基またはビフェニル基およびこれらの水素原子が塩素原
子、臭素原子、水酸基、メルカプト基、アルコキシル
基、チオアルキル基、アルキルエステル基、アルキルチ
オエステル基、シアノ基またはニトロ基で置換されたも
のを挙げることができる。
【0069】本発明における上記式(1)〜(6)およ
び(10)のそれぞれで表される構造を例えば繰り返し
単位として有する酸分解性または塩基分解性化合物の製
造方法は公知である。
【0070】上記式(1)で表わされる構造を有する化
合物の製造方法は、PolymerBull.,1.19
9(1978)、特開昭62−136638号公報、E
P225,454、US806,597、特開平4−30
3843号公報、特開平7−56354号公報等に開示
されている。
【0071】上記式(2)で表わされる構造を有する化
合物の製造方法は、Macromolecules 2
9,5529(1996)、Polymer 17,10
86(1976)および特開昭60−37549号公報
等に開示されている。
【0072】上記式(3)で表わされる構造を有する化
合物の製造方法は、Electrochem.Soc.,
Solid State Sci.Technol.,1
33(1)181(1986)、J.Imaging
Sci.,30(2)59(1986)およびMacro
mol.Chem.,Rapid Commun.,7,12
1(1986)等に開示されている。
【0073】上記式(4)で表わされる構造を有する化
合物の製造方法は、米国特許第3,894,253号明細
書、特開昭62−190211号公報、特開平2−14
6544号公報、Macromol.Chem.,23,1
6(1957)、特開昭63−97945号公報、Po
lymer Sci.,A−1,8,2375(197
0)、米国特許第4,247,611号明細書、EP4
1,657、特開昭57−31674号公報、特開昭6
4−3647号公報および特開昭56−17345号公
報等に開示されている。
【0074】上記式(5)で表わされる構造を有する化
合物の製造方法は、Prepr.Eur.Disc Me
et.Polymer Sci.,Strasbourg,
p106(1978)およびMacromol.Che
m.,179,1689(1978)等に開示されてい
る。
【0075】上記式(6)で表わされる構造を有する化
合物の製造方法は、米国特許第3,894,253号明細
書、米国特許第3,940,507号明細書および特開昭
62−190211号公報等に開示されている。
【0076】上記式(10)で表わされる構造を有する
化合物の製造方法は、J. Am. Chem.Soc., 54, 1579(193
2)、J. Polym. Sci., 29, 343(1958)、J. Polym. Sci.,
Part A, Polym. Chem., 25, 3373(1958)、Macromolecu
les, 25, 12, (1992)、Macromolecules, 20, 705, (199
7)、Macromolecules, 21, 1925, (1998)、Macromol.Che
m., Rapid Commun., 11, 83(1990)等に開示されてい
る。
【0077】また、上記式(11)〜(14)で表され
る構造を例えば繰り返し単位として有する塩基分解性化
合物の製造方法もまた公知である。
【0078】上記式(11)で表される構造を有する化
合物の製造方法は、Macromol. Chem., Rapid Commun.,
5, 151 (1984)、Macromol. Chem., 189, 2229 (1988)、
Macromol. Chem., 187, 2525 (1986)、Polym. J., 22,
803 (1990)等に開示されている。
【0079】上記式(12)で表される構造を有する化
合物の製造方法は、J. Polym. Sci., 47, 1523 (199
3)、J. Appl. Polym. Sci., 35, 85 (1985)、J. Polym.
Sci.,Polym. Chem. Ed., 22, 1579 (1984)、J. Polym.
Sci., Polym. Chem. Ed., 14,655 (1976)、J. Polym.
Sci., Polym. Chem. Ed., 17, 2429 (1979)等に開示さ
れている。
【0080】上記式(13)で表される構造を有する化
合物の製造方法は、J. Macromol. Sci. Chem., A9, 126
5 (1975)等に開示されている。
【0081】上記式(14)で表される構造を有する化
合物の製造方法はPolym. Bull., 14, 85 (1985)、Macro
mol. Chem., 189, 1323 (1988)等に開示されている。
【0082】分解性化合物(A)の重量平均分子量は、
好ましくは100〜500,000、さらに好ましくは
100〜300,000である。
【0083】分解性化合物(A)を便宜的に屈折率によ
り分類すると、屈折率1.5以下の化合物としては、下
記構造(i)〜(vii)のうち少なくとも一つを有する
化合物が好ましい。
【0084】(i)式(1)において、R1およびR2
それぞれ独立にアルキレン基、パーフロロアルキレン基
またはアルキルシリレン基でありそして上記アルキレン
基またはパーフロロアルキレン基は−O−、−CO−、
−COO−または−OCOO−結合を含んでいてもよい
構造。
【0085】(ii)式(2)において、MはSiまたは
Geであり、R3はアルキレン基またはパーフロロアル
キレン基であり、R4はアルキレン基、パーフロロアル
キレン基、アルキルシリレン基または単結合であり、R
5、R6、R7およびR8はそれぞれ独立に水素原子、アル
キル基、アルコキシル基、アルコキシエステル基、パー
フロロアルキル基、パーフロロアルコキシル基、パーフ
ロロアルコキシエステル基またはパーフロロアリール基
であり、mは0から2までの整数でありそして上記アル
キレン基またはパーフロロアルキレン基は−O−、−C
O−、−COO−または−OCOO−結合を含んでいて
もよい構造。
【0086】(iii)式(3)において、R9およびR10
はそれぞれ独立に、アルキレン基またはパーフロロアル
キレン基でありそして上記アルキレン基またはパーフロ
ロアルキレン基は−O−、−CO−、−COO−または
−OCOO−結合を含んでいてもよい構造。
【0087】(iv)式(4)において、R11はオキシア
ルキレン基または単結合でありそしてR12は水素原子、
アルキル基、アルコキシル基、アルコキシエステル基、
パーフロロアルキル基、パーフロロアルコキシエステル
基またはパーフロロアリール基である構造。
【0088】(v)式(5)において、R13は水素原
子、アルキル基、アルコキシル基、アルコキシエステル
基、パーフロロアルキル基、パーフロロアルコキシル
基、パーフロロアルコキシエステル基またはパーフロロ
アリール基である構造。 (vi)式(6)で表わされる構造。 (vii)式(10)において、R21がアルキレン基であ
る構造。
【0089】また、屈折率1.5を超える化合物として
は下記構造(viii)〜(xiv)のうち一つを有する化合
物が好ましい。
【0090】(viii)式(1)において、R1はアルキ
レン基、アルキレンアリーレンアルキレン基またはアリ
ーレン基でありそしてR2はアルキレン基、アルキレン
アリーレンアルキレン基、アリーレン基、アルキルシリ
レン基またはアルキルゲルミレン基である構造。 (ix)式(2)において、MはSiまたはGeであり、
3はアルキレン基、アルキレンアリーレンアルキレン
基、アリーレン基、アルキルシリレン基またはアルキル
ゲルミレン基であり、R4は酸素原子、アルキレン基、
アルキレンアリーレンアルキレン基、アリーレン基また
は単結合であり、R5、R6、R7およびR8はそれぞれ独
立に水素原子、アルキル基、アリール基、アルコキシル
基またはチオアルキル基であり、そしてmは0から2ま
での整数である構造。 (x)式(3)において、R9およびR10はそれぞれ独
立に、アルキレン基、アルキレンアリーレンアルキレン
基、アリーレン基、アルキルシリレン基またはアルキル
ゲルミレン基である構造。 (xi)式(4)において、R11はオキシアルキレン基ま
たは単結合でありそしてR12は水素原子、アルキル基、
アルキレンアリーレンアルキレン基またはアリール基で
ある構造。 (xii)式(5)において、R13は水素原子、アルキル
基またはアリール基である構造。 (xiii)式(10)で表わされる構造。 (xiv)式(11)〜(14)で表わされる各構造。
【0091】無機酸化物粒子を含有する非分解性成分
(B) 非分解性成分(B)は上記の如き酸化物粒子からなるか
あるいは酸化物粒子とバインダー成分からなる。酸化物
粒子としては無機酸化物粒子全般が使用できる。好まし
くは後述の(C)感放射線分解剤から発せられる酸また
は塩基に対して安定であり、使用する波長領域の光が粒
子を通過する際に吸収が起こらず光学的に透明性が高い
ものである。酸化物粒子の屈折率は、その用途により好
ましい値のものを任意に選択して使用することができ
る。
【0092】このような酸化物粒子としては、例えば、
Be、Mg、Ca、Sr、Ba、Sc、Y、La、C
e、Gd、Tb、Dy、Yb、Lu、Ti、Zr、H
f、Nb、Mo、W、Zn、B、Al、Si、Ge、S
n、Pb、Bi、Te等の原子を含む酸化物が好適に用
いられ、さらに好ましい具体例としては例えば、Be
O、MgO、CaO、SrO、BaO、Sc23、Y2
3、La23、Ce23、Gd23、Tb23、Dy2
3、Yb23、Lu23、TiO2、ZrO2、Hf
2、Nb25、MoO3、WO3、ZnO、B23、A
23、SiO2、GeO2、SnO2、PbO、Bi2
3、TeO2等の酸化物およびこれらを含む複合酸化物、
例えばAl23−MgO、Al23−SiO2、ZnO
−Y23、ZrO2−Ce23、ZrO2−TiO2−S
nO2、TeO2−BaO−ZnO、TeO2−WO3−T
25、TeO2−WO3−Bi23、TeO2−BaO
−PbO、CaO−Al23、CaO−Al23−Ba
O、CaO−Al23−Na2O、CaO−Al23
2O、CaO−Al23−SiO2、PbO− Bi2
3−BaO、PbO−Bi23−ZnO、PbO−Bi2
3、PbO− Bi23−BaO−ZnO、PbO−
Bi23−CdO−Al23、PbO−Bi23−Ge
2、PbO− Bi23−GeO2−Tl2O、BaO−
PbO−Bi23、BaO−PbO−Bi23−Zn
O、Bi23−Ga23−PbO、Bi23−Ga 23
−CdO、Bi23−Ga23−(Pb,Cd)O等が
挙げられる。
【0093】酸化物粒子の粒子径は、本発明の屈折率変
化性組成物を使用する光の波長よりも小さいものが好ま
しく、例えば2μm以下とすることができ、0.2μm
以下であることがさらに好ましく、0.1μm以下であ
ることが特に好ましい。粒子径が2μmを越えると、得
られる屈折率変化性組成物の透明性が低下したり、膜と
したときの表面状態に問題が生じる場合がある。
【0094】酸化物粒子の形状は特に制限されないが、
略球形であるものが、入射光の散乱性が少ない点から好
ましく使用される。
【0095】上記の酸化物粒子は、シランカップリング
剤、界面活性剤、または酸化物を構成する金属原子への
配位能を持つ配位性化合物等と接触させることにより、
粒子表面を改質した後に使用することもできる。
【0096】バインダー成分は非分解性化合物であり、
酸または塩基に対して安定でありそして好ましくは光学
的に透明性の高い材料である。
【0097】非分解性化合物としては、アクリル系樹
脂、ウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリカーボ
ネート系樹脂、ノルボルネン系樹脂、スチレン系樹脂、
ポリエーテルスルホン系樹脂、シリコン樹脂、ポリアミ
ド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリシロキサン系樹脂、フッ
素系樹脂、ポリブタジエン系樹脂、ビニルエーテル系樹
脂、ビニルエステル系樹脂などが挙げられる。使用する
(A)分解性化合物の屈折率に依存して、用いられる好
ましい非分解性化合物を任意に選択することができる。
特に(A)分解性化合物との屈折率差を大きくする目的
において、芳香族類、ハロゲン原子、硫黄原子などを含
む非分解性化合物が好適に用いられる場合がある。
【0098】非分解性化合物のさらなる具体例として
は、下記化合物を挙げることができる。なお、カッコ内
の数字はd線による屈折率の値である。
【0099】例えば、ポリビニリデンフルオライド
(1.42)、ポリジメチルシロキサン(1.43)、ポ
リトリフルオロエチルメタクリレート(1.44)、ポ
リオキシプロピレン(1.45)、ポリビニルイソブチ
ルエーテル(1.45)、ポリビニルエチルエーテル
(1.45)、ポリオキシエチレン(1.46)、ポリビ
ニルブチルエーテル(1.46)、ポリビニルペンチル
エーテル(1.46)、ポリビニルヘキシルエーテル
(1.46)、ポリ(4−メチル−1−ペンテン)(1.
46〜1.47)、セルロースアセテートブチレート
(1.46〜1.49)、ポリ(4−フルオロ−2−トリ
フルオロメチルスチレン)(1.46)、ポリビニルオ
クチルエーテル(1.46)、ポリ(ビニル2−エチル
ヘキシルエーテル)(1.46)、ポリビニルデシルエ
ーテル(1.46)、ポリ(2−メトキシエチルアクリ
レート)(1.46)、ポリブチルアクリレート(1.4
6)、ポリブチルアクリレート(1.47)、ポリ(t
−ブチルメタクリレート)(1.46)、ポリビニルド
デシルエーテル(1.46)、ポリ(3−エトキシプロ
ピルアクリレート)(1.47)、ポリオキシカルボニ
ルテトラメチレン(1.47)、ポリビニルプロピオネ
ート(1.47)、ポリビニルアセテート(1.47)、
ポリビニルメチルエーテル(1.47)、ポリエチルア
クリレート(1.47)、エチレン−ビニルアセテート
共重合体(1.47〜1.50)、(80%〜20%ビニ
ルアセテート)セルロースプロピオネート(1.47〜
1.49)、セルロースアセテートプロピオネート(1.
47)、ベンジルセルロース(1.47〜1.58)、フ
ェノール−フォルムアルデヒド樹脂(1.47〜1.7
0)、セルローストリアセテート(1.47〜1.4
8)、ポリビニルメチルエーテル(アイソタクティッ
ク)(1.47)、ポリ(3−メトキシプロピルアクリ
レート)(1.47)、ポリ(2−エトキシエチルアク
リレート)(1.47)、ポリメチルアクリレート(1.
47〜1.48)、ポリイソプロピルメタクリレート
(1.47)、ポリ(1−デセン)(1.47)、ポリプ
ロピレン(アタクティック,密度0.8575g/c
3)(1.47)、ポリ(ビニルsec−ブチルエーテ
ル)(アイソタクティック)(1.47)、ポリドデシ
ルメタクリレート(1.47)、ポリオキシエチレンオ
キシスクシノイル(1.47)、(ポリエチレンスクシ
ネート)ポリテトラデシルメタクリレート(1.4
7)、エチレン−プロピレン共重合体(EPR−ゴム)
(1.47〜1.48)、
【0100】ポリヘキサデシルメタクリレート(1.4
8)、ポリビニルフォルメート(1.48)、ポリ(2
−フルオロエチルメタクリレート)(1.48)、ポリ
イソブチルメタクリレート(1.48)、エチルセルロ
ース(1.48)、ポリビニルアセタール(1.48〜
1.50)、セルロースアセテート(1.48〜1.5
0)、セルローストリプロピオネート(1.48〜1.4
9)、ポリオキシメチレン(1.48)、ポリビニルブ
チラール(1.48〜1.49)、ポリ(n−ヘキシルメ
タクリレート)(1.48)、ポリ(n−ブチルメタク
リレート)(1.48)、ポリエチリデンジメタクリレ
ート(1.48)、ポリ(2−エトキシエチルメタクリ
レート)(1.48)、ポリオキシエチレンオキシマレ
オイル(1.48)、(ポリエチレンマレート)ポリ
(n−プロピルメタクリレート)(1.48)、ポリ
(3,3,5−トリメチルシクロヘキシルメタクリレー
ト)(1.49)、ポリエチルメタクリレート(1.4
9)、ポリ(2−ニトロ−2−メチルプロピルメタクリ
レート)(1.49)、ポリトリエチルカルビニルメタ
クリレート(1.49)、ポリ(1,1−ジエチルプロピ
ルメタクリレート)(1.49)、ポリメチルメタクリ
レート(1.49)、ポリ(2−デシル−1,3−ブタジ
エン)(1.49)、ポリビニルアルコール(1.49〜
1.53)、ポリエチルグリコレートメタクリレート
(1.49)、ポリ(3−メチルシクロヘキシルメタク
リレート)(1.49)、ポリ(シクロヘキシルα−エ
トキシアクリレート)(1.50)、メチルセルロース
(低粘度)(1.50)、ポリ(4−メチルシクロヘキ
シルメタクリレート)(1.50)、ポリデカメチレン
グリコールジメタクリレート(1.50)、ポリウレタ
ン(1.50〜1.60)、ポリ(1,2−ブタジエン)
(1.50)、ポリビニルフォルマール(1.50)、ポ
リ(2−ブロモ−4−トリフルオロメチルスチレン)
(1.50)、セルロースニトレート(1.50〜1.5
1)、ポリ(sec−ブチルα−クロロアクリレート)
(1.50)、ポリ(2−ヘプチル−1,3−ブタジエ
ン)(1.50)、ポリ(エチルα−クロロアクリレー
ト)(1.50)、ポリ(2−イソプロピル−1,3ブタ
ジエン(1.50)、ポリ(2−メチルシクロヘキシル
メタクリレート)(1.50)、ポリプロピレン(密度
0.9075g/cm3)(1.50)、ポリイソブテン
(1.51)、ポリボルニルメタクリレート(1.5
1)、ポリ(2−t−ブチル−1,3−ブタジエン)
(1.51)、ポリエチレングリコールジメタクリレー
ト(1.51)、ポリシクロヘキシルメタクリレート
(1.51)、ポリ(シクロヘキサンジオール−1,4−
ジメタクリレート)(1.51)、ブチルゴム(未加
硫)(1.51)、ポリテトラハイドロフルフリルメタ
クリレート)(1.51)、グッタペルカ(β)(1.5
1)、ポリエチレンアイオノマー(1.51)、ポリオ
キシエチレン(高分子量)(1.51〜1.54)、ポリ
エチレン(密度0.914g/cm3)(1.51)、
(密度0.94〜0.945g/cm3)(1.52〜1.
53)、(密度0.965g/cm3)(1.55)、ポ
リ(1−メチルシクロヘキシルメタクリレート)(1.
51)、ポリ(2−ヒドロキシエチルメタクリレート)
(1.51)、ポリビニルクロロアセテート(1.5
1)、ポリブテン(アイソタクティック)(1.5
1)、ポリビニルメタクリレート(1.51)、ポリ
(N−ブチル−メタクリルアミド)(1.51)、グッ
タペルカ(α)(1.51)、テルペン樹脂(1.5
2)、ポリ(1,3−ブタジエン)(1.52)、セラッ
ク(1.51〜1.53)、ポリ(メチルα−クロロアク
リレート)(1.52)、ポリ(2−クロロエチルメタ
クリレート)(1.52)、ポリ(2−ジエチルアミノ
エチルメタクリレート)(1.52)、ポリ(2−クロ
ロシクロヘキシルメタクリレート)(1.52)、ポリ
(1,3−ブタジエン)(35%シス;56%トランス
1.5180;7%1,2−含有量)、天然ゴム(1.
52)、ポリアリルメタクリレート(1.52)、ポリ
ビニルクロライド+40%ジオクチルフタテート(1.
52)、ポリアクリロニトリル(1.52)、ポリメタ
クリロニトリル(1.52)、ポリ(1,3−ブタジエ
ン)(シス型リッチ)(1.52)、ブタジエン−アク
リロニトリル共重合体(1.52)、ポリメチルイソプ
ロペニルケトン(1.52)、ポリイソプレン(1.5
2)、ポリエステル樹脂リジッド(約50%スチレン)
(1.52〜1.54)、ポリ(N−(2−メトキシエチ
ル)メタクリルアミド)(1.52)、ポリ(2,3−ジ
メチルブタジエン)(メチルゴム)(1.53)、ビニ
ルクロライド−ビニルアセテート共重合体(95/5〜
90/10)(1.53〜1.54)、ポリアクリックア
シド(1.53)、ポリ(1,3−ジクロロプロピルメタ
クリレート)(1.53)、ポリ(2−クロロ−1−
(クロロメチル)エチルメタクリレート)(1.5
3)、ポリアクロレイン(1.53)、ポリ(1−ビニ
ル−2−ピロリドン)(1.53)、塩酸化ゴム(1.5
3〜1.55)、ナイロン6;ナイロン6,6;ナイロン
6,10(成型体)(1.53)、ブタジエン−スチレン
共重合体(約30%スチレン)(1.53)、ブロック
共重合体ポリ(シクロヘキシルα−クロロアクリレー
ト)(1.53)、ポリ(2−クロロエチルα−クロロ
アクリレート)(1.53)、ブタジエン−スチレン共
重合体(約75/25)(1.54)、ポリ(2−アミ
ノエチルメタクリレート)(1.54)、ポリフルフリ
ルメタクリレート(1.54)、ポリブチルメルカプチ
ルメタクリレート(1.54)、ポリ(1−フェニル−
n−アミルメタクリレート)(1.54)、ポリ(N−
メチル−メタクリルアミド)(1.54)、セルロース
(1.54)、ポリビニルクロライド(1.54〜1.5
5)、ウレアホルムアルデヒド樹脂(1.54〜1.5
6)、ポリ(sec−ブチルα−ブロモアクリレート)
(1.54)、ポリ(シクロヘキシルα−ブロモアクリ
レート)(1.54)、ポリ(2−ブロモエチルメタク
リレート)(1.54)、ポリジヒドロアビエチン酸
(1.54)、ポリアビエチン酸(1.546)、ポリエ
チルメルカプチルメタクリレート(1.55)、ポリ
(N−アリルメタクリルアミド)(1.55)、ポリ
(1−フェニルエチルメタクリレート)(1.55)、
ポリビニルフラン(1.55)、ポリ(2−ビニルテト
ラヒドロフラン)(1.55)、ポリ(ビニルクロライ
ド)+40%トリクレジルフォスフェート(1.5
5)、ポリ(p−メトキシベンジルメタクリレート)
(1.55)、ポリイソプロピルメタクリレート(1.5
5)、ポリ(p−イソプロピルスチレン)(1.5
5)、ポリクロロプレン(1.55〜1.56)、ポリ
(オキシエチレン−α−ベンゾエート−ω−メタクリレ
ート)(1.56)、ポリ(p,p’−キシリレニルジメ
タクリレート)(1.56)、ポリ(1−フェニルアリ
ルメタクリレート)(1.56)、ポリ(p−シクロヘ
キシルフェニルメタクリレート)(1.56)、ポリ
(2−フェニルエチルメタクリレート)(1.56)、
ポリ(オキシカルボニロキシ−1,4−フェニレン−1
−プロピル(1.56)、ポリ(1−(o−クロロフェ
ニル)エチルメタクリレート)(1.56)、スチレン
−無水マレイン酸共重合体(1.56)、ポリ(1−フ
ェニルシクロヘキシルメタクリレート)(1.56)、
ポリ(オキシカルボニロキシ−1,4−フェニレン−1,
3−ジメチル−ブチリデン−1,4−フェニレン)(1.
57)、ポリ(メチルα−ブロモアクリレート)(1.
57)、ポリベンジルメタクリレート(1.57)、ポ
リ(2−(フェニルスルフォニル)エチルメタクリレー
ト)(1.57)、ポリ(m−クレジルメタクリレー
ト)(1.57)、スチレン−アクリロニトリル共重合
体(約75/25)(1.57)、ポリ(オキシカルボ
ニロキシ−1,4−フェニレンイソブチリデン−1,4−
フェニレン)(1.57)、ポリ(o−メトキシフェニ
ルメタクリレート)(1.57)、ポリフェニルメタク
リレート(1.57)、ポリ(o−クレジルメタクリレ
ート)(1.57)、ポリジアリルフタレート(1.5
7)、ポリ(2,3−ジブロモプロピルメタクリレー
ト)(1.57)、ポリ(オキシカルボニロキシ−1,4
−フェニレン−1−メチル−ブチリデン−1,4−フェ
ニレン)(1.57)、ポリ(オキシ−2,6−ジメチル
フェニレン)(1.58)、ポリオキシエチレンオキシ
テレフタロイル(アモルファス)(1.58)、ポリエ
チレンテレフタレート(1.51〜1.64)、ポリビニ
ルベンゾエート(1.58)、ポリ(オキシカルボニロ
キシ−1,4−フェニレンブチリデン−1,4−フェニレ
ン)(1.58)、ポリ(1,2−ジフェニルエチルメタ
クリレート)(1.58)、ポリ(o−クロロベンジル
メタクリレート)(1.58)、ポリ(オキシカルボニ
ロキシ−1,4−フェニレン−sec−ブチリデン−1,
4−フェニレン)(1.58)、ポリオキシペンタエリ
スリトロキシフタロイル)(1.58)、ポリ(m−ニ
トロベンジルメタクリレート)(1.58)、ポリ(オ
キシカルボニロキシ−1,4−フェニレンイソプロピリ
デン−1,4−フェニレン)(1.59)、ポリ(N−
(2−フェニルエチル)メタクリルアミド)(1.5
9)、ポリ(4−メトキシ−2−メチルスチレン)
(1.59)、ポリ(o−メチルスチレン)(1.5
9)、ポリスチレン(1.59)、ポリ(オキシカルボ
ニロキシ−1,4−フェニレンシクロヘキシリデン−1,
4−フェニレン)(1.59)、ポリ(o−メトキシス
チレン)(1.59)、ポリジフェニルメチルメタクリ
レート(1.59)、ポリ(オキシカルボニロキシ−1,
4−フェニレンエチリデン−1,4−フェニレン)(1.
59)、ポリ(p−ブロモフェニルメタクリレート)
(1.60)、ポリ(N−ベンジルメタクリルアミド)
(1.60)、ポリ(p−メトキシスチレン)(1.6
0)、ポリビニリデンクロライド(1.60〜1.6
3)、ポリスルフィド(“Thiokol”)(1.6
〜1.7)、ポリ(o−クロロジフェニルメチルメタク
リレート)(1.60)、ポリ(オキシカルボニロキシ
−1,4−(2,6−ジクロロ)フェニレン−イソプロピ
リデン−1,4−(2,6−ジクロロ)フェニレン)
(1.61)、ポリ(オキシカルボニロキシビス(1,4
−(3,5−ジクロロフェニレン)))ポリペンタクロ
ロフェニルメタクリレート(1.61)、ポリ(o−ク
ロロスチレン)(1.61)、ポリ(フェニルα−ブロ
モアクリレート)(1.61)、ポリ(p−ジビニルベ
ンゼン)(1.62)、ポリ(N−ビニルフタルイミ
ド)(1.62)、ポリ(2,6−ジクロロスチレン)
(1.62)、ポリ(β−ナフチルメタクリレート)
(1.63)、ポリ(α−ナフチルカルビニルメタクリ
レート)(1.63)、ポリサルホン(1.63)、ポリ
(2−ビニルチオフェン)(1.64)、ポリ(α−ナ
フチルメタクリレート)(1.64)、ポリ(オキシカ
ルボニロキシ−1,4−フェニレンジフェニル−メチレ
ン−1,4−フェニレン)(1.65)、ポリビニルフェ
ニルスルフィド(1.66)、ブチルフェノールフォル
ムアルデヒド樹脂(1.66)、ウレア−チオウレア−
フォルムアルデヒド樹脂(1.66)、ポリビニルナフ
タレン(1.68)、ポリビニルカルバゾール(1.6
8)、ナフタレン−フォルムアルデヒド樹脂(1.7
0)、フェノール−フォルムアルデヒド樹脂(1.7
0)、ポリペンタブロモフェニルメタクリレート(1.
71)等が挙げられる。
【0101】非分解性化合物は、上記各化合物を構成す
る単量体2種以上からなる共重合体であってもよい。非
分解性化合物の重量平均分子量は、好ましくは100〜
500,000であり、より好ましくは100〜200,
000である。非分解性化合物は、1種を単独で用いて
もよく、2種以上を混合して使用してもよい。非分解性
化合物は、無機酸化物粒子100重量部に対し、好まし
くは300重量部以下、より好ましくは150重量部以
下で用いられる。
【0102】(B)成分の屈折率nBは(A)成分の分
解性化合物の屈折率nAと下記式(1)または(2)の
いずれかの関係にあるのが特に好ましい。 nB−nA≧0.05 ...(1) nA−nB≧0.05 ...(2) また、(B)成分は(A)成分との合計が100重量部
になるようにしたとき、10重量部から90重量部であ
ることが好ましく、20重量部から70重量部であるこ
とがさらに好ましい。(B)成分が10重量部未満の場
合、屈折率変化材料が脆くなりやすく、90重量部を超
える場合は得られる屈折率差が小さくなりやすい。
【0103】(C)感放射線分解剤 本発明に用いる(C)感放射線分解剤は、感放射線酸発
生剤または感放射線塩基発生剤であることができる。上
記感放射線酸発生剤としては、例えばトリクロロメチル
−s−トリアジン類、ジアリールヨードニウム塩類、ト
リアリールスルホニウム塩類、第四アンモニウム塩類、
スルホン酸エステル類等を用いることができる。
【0104】上記トリクロロメチル−s−トリアジン類
としては、例えば2,4,6−トリス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−ク
ロロフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−
s−トリアジン、2−(3−クロロフェニル)−4,6
−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−
(2−クロロフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメ
チル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニ
ル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン、2−(3−メトキシフェニル)−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2−メ
トキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)
−s−トリアジン、2−(4−メチルチオフェニル)−
4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
2−(3−メチルチオフェニル)−4,6−ビス(トリ
クロロメチル)−s−トリアジン、2−(2−メチルチ
オフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s
−トリアジン、2−(4−メトキシナフチル)−4,6
−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−
(3−メトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロ
メチル)−s−トリアジン、2−(2−メトキシナフチ
ル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン、2−(4−メトキシ−β−スチリル)−4,6−
ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3
−メトキシ−β−スチリル)−4,6−ビス(トリクロ
ロメチル)−s−トリアジン、2−(2−メトキシ−β
−スチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s
−トリアジン、2−(3,4,5−トリメトキシ−β−ス
チリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−ト
リアジン、2−(4−メチルチオ−β−スチリル)−
4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
2−(3−メチルチオ−β−スチリル)−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3−メ
チルチオ−β−スチリル)−4,6−ビス(トリクロロ
メチル)−s−トリアジン、2−ピペロニル−4,6−
ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2
−(フラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(ト
リクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(5−
メチルフラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−
(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニ
ル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン、等が挙げられる。
【0105】上記ジアリールヨードニウム塩類として
は、例えばジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレ
ート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスホネ
ート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセネ
ート、ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスル
ホナート、ジフェニルヨードニウムトリフルオロアセテ
ート、ジフェニルヨードニウム−p−トルエンスルホナ
ート、ジフェニルヨードニウムブチルトリス(2,6−
ジフルオロフェニル)ボレート、ジフェニルヨードニウ
ムヘキシルトリス(p−クロロフェニル)ボレート、ジ
フェニルヨードニウムヘキシルトリス(3−トリフルオ
ロメチルフェニル)ボレート、4−メトキシフェニルフ
ェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、4−メト
キシフェニルフェニルヨードニウムヘキサフルオロホス
ホネート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウム
ヘキサフルオロアルセネート、4−メトキシフェニルフ
ェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、
4−メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフルオ
ロアセテート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニ
ウム−p−トルエンスルホナート、4−メトキシフェニ
ルフェニルヨードニウムブチルトリス(2,6−ジフル
オロフェニル)ボレート、4−メトキシフェニルフェニ
ルヨードニウムヘキシルトリス(p−クロロフェニル)
ボレート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウム
ヘキシルトリス(3−トリフルオロメチルフェニル)ボ
レート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨード
ニウムテトラフルオロボレート、ビス(4−tert−
ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアルセネ
ート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニ
ウムトリフルオロメタンスルホナート、ビス(4−te
rt−ブチルフェニル)ヨードニウムトリフルオロアセ
テート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨード
ニウム−p−トルエンスルホナート、ビス(4−ter
t−ブチルフェニル)ヨードニウムブチルトリス(2,
6−ジフルオロフェニル)ボレート、ビス(4−ter
t−ブチルフェニル)ヨードニウムヘキシルトリス(p
−クロロフェニル)ボレート、ビス(4−tert−ブ
チルフェニル)ヨードニウムヘキシルトリス(3−トリ
フルオロメチルフェニル)ボレート等が挙げられる。
【0106】上記トリアリールスルホニウム塩類として
は、例えばトリフェニルスルホニウムテトラフルオロボ
レート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホス
ホネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロア
ルセネート、トリフェニルスルホニウムトリフルオロメ
タンスルホナート、トリフェニルスルホニウムトリフル
オロアセテート、トリフェニルスルホニウム−p−トル
エンスルホナート、トリフェニルスルホニウムブチルト
リス(2,6−ジフルオロフェニル)ボレート、トリフ
ェニルスルホニウムヘキシルトリス(p−クロロフェニ
ル)ボレート、トリフェニルスルホニウムヘキシルトリ
ス(3−トリフルオロメチルフェニル)ボレート、4−
メトキシフェニルジフェニルスルホニウムテトラフルオ
ロボレート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニ
ウムヘキサフルオロホスホネート、4−メトキシフェニ
ルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネー
ト、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリ
フルオロメタンスルホナート、4−メトキシフェニルジ
フェニルスルホニウムトリフルオロアセテート、4−メ
トキシフェニルジフェニルスルホニウム−p−トルエン
スルホナート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホ
ニウムブチルトリス(2,6−ジフルオロフェニル)ボ
レート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウム
ヘキシルトリス(p−クロロフェニル)ボレート、4−
メトキシフェニルジフェニルスルホニウムヘキシルトリ
ス(3−トリフルオロメチルフェニル)ボレート、4−
フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウムテトラフ
ルオロボレート、4−フェニルチオフェニルジフェニル
スルホニウムヘキサフルオロホスホネート、4−フェニ
ルチオフェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロ
アルセネート、4−フェニルチオフェニルジフェニルス
ルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、4−フェ
ニルチオフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロ
アセテート、4−フェニルチオフェニルジフェニルスル
ホニウム−p−トルエンスルホナート、4−フェニルチ
オフェニルジフェニルスルホニウムブチルトリス(2,
6−ジフルオロフェニル)ボレート、4−フェニルチオ
フェニルジフェニルスルホニウムヘキシルトリス(p−
クロロフェニル)ボレート、4−フェニルチオフェニル
ジフェニルスルホニウムヘキシルトリス(3−トリフル
オロメチルフェニル)ボレート、4−ヒドロキシ−1−
ナフタレニルジメチルスルホニウムテトラフルオロボレ
ート、4−ヒドロキシ−1−ナフタレニルジメチルスル
ホニウムヘキサフルオロホスホネート、4−ヒドロキシ
−1−ナフタレニルジメチルスルホニウムヘキサフルオ
ロアルセネート、4−ヒドロキシ−1−ナフタレニルジ
メチルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、
4−ヒドロキシ−1−ナフタレニルジメチルスルホニウ
ムトリフルオロアセテート、4−ヒドロキシ−1−ナフ
タレニルジメチルスルホニウム−p−トルエンスルホナ
ート、4−ヒドロキシ−1−ナフタレニルジメチルスル
ホニウムブチルトリス(2,6−ジフルオロフェニル)
ボレート、4−ヒドロキシ−1−ナフタレニルジメチル
スルホニウムヘキシルトリス(p−クロロフェニル)ボ
レート、4−ヒドロキシ−1−ナフタレニルジメチルス
ルホニウムヘキシルトリス(3−トリフルオロメチルフ
ェニル)ボレート等が挙げられる。
【0107】上記第四アンモニウム塩類としては、例え
ばテトラメチルアンモニウムテトラフルオロボレート、
テトラメチルアンモニウムヘキサフルオロホスホネー
ト、テトラメチルアンモニウムヘキサフルオロアルセネ
ート、テトラメチルアンモニウムトリフルオロメタンス
ルホナート、テトラメチルアンモニウムトリフルオロア
セテート、テトラメチルアンモニウム−p−トルエンス
ルホナート、テトラメチルアンモニウムブチルトリス
(2,6−ジフルオロフェニル)ボレート、テトラメチ
ルアンモニウムヘキシルトリス(p−クロロフェニル)
ボレート、テトラメチルアンモニウムヘキシルトリス
(3−トリフルオロメチルフェニル)ボレート、テトラ
ブチルアンモニウムテトラフルオロボレート、テトラブ
チルアンモニウムヘキサフルオロホスホネート、テトラ
ブチルアンモニウムヘキサフルオロアルセネート、テト
ラブチルアンモニウムトリフルオロメタンスルホナー
ト、テトラブチルアンモニウムトリフルオロアセテー
ト、テトラブチルアンモニウム−p−トルエンスルホナ
ート、テトラブチルアンモニウムブチルトリス(2,6
−ジフルオロフェニル)ボレート、テトラブチルアンモ
ニウムヘキシルトリス(p−クロロフェニル)ボレー
ト、テトラブチルアンモニウムヘキシルトリス(3−ト
リフルオロメチルフェニル)ボレート、ベンジルトリメ
チルアンモニウムテトラフルオロボレート、ベンジルト
リメチルアンモニウムヘキサフルオロホスホネート、ベ
ンジルトリメチルアンモニウムヘキサフルオロアルセネ
ート、ベンジルトリメチルアンモニウムトリフルオロメ
タンスルホナート、ベンジルトリメチルアンモニウムト
リフルオロアセテート、ベンジルトリメチルアンモニウ
ム−p−トルエンスルホナート、ベンジルトリメチルア
ンモニウムブチルトリス(2,6−ジフルオロフェニ
ル)ボレート、ベンジルトリメチルアンモニウムヘキシ
ルトリス(p−クロロフェニル)ボレート、ベンジルト
リメチルアンモニウムヘキシルトリス(3−トリフルオ
ロメチルフェニル)ボレート、ベンジルジメチルフェニ
ルアンモニウムテトラフルオロボレート、ベンジルジメ
チルフェニルアンモニウムヘキサフルオロホスホネー
ト、ベンジルジメチルフェニルアンモニウムヘキサフル
オロアルセネート、ベンジルジメチルフェニルアンモニ
ウムトリフルオロメタンスルホナート、ベンジルジメチ
ルフェニルアンモニウムトリフルオロアセテート、ベン
ジルジメチルフェニルアンモニウム−p−トルエンスル
ホナート、ベンジルジメチルフェニルアンモニウムブチ
ルトリス(2,6−ジフルオロフェニル)ボレート、ベ
ンジルジメチルフェニルアンモニウムヘキシルトリス
(p−クロロフェニル)ボレート、ベンジルジメチルフ
ェニルアンモニウムヘキシルトリス(3−トリフルオロ
メチルフェニル)ボレート、N−シンナミリデンエチル
フェニルアンモニウムテトラフルオロボレート、N−シ
ンナミリデンエチルフェニルアンモニウムヘキサフルオ
ロホスホネート、N−シンナミリデンエチルフェニルア
ンモニウムヘキサフルオロアルセネート、N−シンナミ
リデンエチルフェニルアンモニウムトリフルオロメタン
スルホナート、N−シンナミリデンエチルフェニルアン
モニウムトリフルオロアセテート、N−シンナミリデン
エチルフェニルアンモニウム−p−トルエンスルホナー
ト、N−シンナミリデンエチルフェニルアンモニウムブ
チルトリス(2,6−ジフルオロフェニル)ボレート、
N−シンナミリデンエチルフェニルアンモニウムヘキシ
ルトリス(p−クロロフェニル)ボレート、Nーシンナ
ミリデンエチルフェニルアンモニウムヘキシルトリス
(3−トリフルオロメチルフェニル)ボレート等が挙げ
られる。
【0108】上記スルホン酸エステル類としては、例え
ばα−ヒドロキシメチルベンゾイン−p−トルエンスル
ホン酸エステル、α−ヒドロキシメチルベンゾイン−ト
リフルオロメタンスルホン酸エステル、α−ヒドロキシ
メチルベンゾイン−メタンスルホン酸エステル、ピロガ
ロール−トリ(p−トルエンスルホン酸)エステル、ピ
ロガロール−トリ(トリフルオロメタンスルホン酸)エ
ステル、ピロガロール−トリメタンスルホン酸エステ
ル、2,4−ジニトロベンジル−p−トルエンスルホン
酸エステル、2,4−ジニトロベンジル−トリフルオロ
メタンスルホン酸エステル、2,4−ジニトロベンジル
−メタンスルホン酸エステル、2,4−ジニトロベンジ
ル−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エ
ステル、2,6−ジニトロベンジル−p−トルエンスル
ホン酸エステル、2,6−ジニトロベンジル−トリフル
オロメタンスルホン酸エステル、2,6−ジニトロベン
ジル−メタンスルホン酸エステル、2,6−ジニトロベ
ンジル−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン
酸エステル、2−ニトロベンジル−p−トルエンスルホ
ン酸エステル、2−ニトロベンジル−トリフルオロメタ
ンスルホン酸エステル、2−ニトロベンジル−メタンス
ルホン酸エステル、2−ニトロベンジル−1,2−ナフ
トキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、4−ニト
ロベンジル−p−トルエンスルホン酸エステル、4−ニ
トロベンジル−トリフルオロメタンスルホン酸エステ
ル、4−ニトロベンジル−メタンスルホン酸エステル、
4−ニトロベンジル−1,2−ナフトキノンジアジド−
5−スルホン酸エステル、N−ヒドロキシナフタルイミ
ド−p−トルエンスルホン酸エステル、N−ヒドロキシ
ナフタルイミド−トリフルオロメタンスルホン酸エステ
ル、N−ヒドロキシナフタルイミド−メタンスルホン酸
エステル、N−ヒドロキシ−5−ノルボルネン−2,3
−ジカルボキシイミド−p−トルエンスルホン酸エステ
ル、N−ヒドロキシ−5−ノルボルネン−2,3−ジカ
ルボキシイミド−トリフルオロメタンスルホン酸エステ
ル、N−ヒドロキシ−5−ノルボルネン−2,3−ジカ
ルボキシイミド−メタンスルホン酸エステル、2,4,
6,3’,4’,5’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン
−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エス
テル、1,1,1−トリ(p−ヒドロキシフェニル)エタ
ン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エ
ステル等が挙げられる。
【0109】これらの化合物のうち、トリクロロメチル
−s−トリアジン類としては、2−(3−クロロフェニ
ル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メ
チルチオフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシ−β−スチ
リル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリ
アジン、2−ピペロニル−4,6−ビス(トリクロロメ
チル)−s−トリアジン、2−[2−(フラン−2−イ
ル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−
s−トリアジン、2−[2−(5−メチルフラン−2−
イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)
−s−トリアジン、2−[2−(4−ジエチルアミノ−
2−メチルフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリ
クロロメチル)−s−トリアジンまたは2−(4−メト
キシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−
s−トリアジン;ジアリールヨードニウム塩類として
は、ジフェニルヨードニウムトリフルオロアセテート、
ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナー
ト、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフ
ルオロメタンスルホナートまたは4−メトキシフェニル
フェニルヨードニウムトリフルオロアセテート;トリア
リールスルホニウム塩類としては、トリフェニルスルホ
ニウムトリフルオロメタンスルホナート、トリフェニル
スルホニウムトリフルオロアセテート、4−メトキシフ
ェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスル
ホナート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウ
ムトリフルオロアセテート、4−フェニルチオフェニル
ジフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナー
トまたは4−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニ
ウムトリフルオロアセテート;
【0110】第四アンモニウム塩類としては、テトラメ
チルアンモニウムブチルトリス(2,6−ジフルオロフ
ェニル)ボレート、テトラメチルアンモニウムヘキシル
トリス(p−クロロフェニル)ボレート、テトラメチル
アンモニウムヘキシルトリス(3−トリフルオロメチル
フェニル)ボレート、ベンジルジメチルフェニルアンモ
ニウムブチルトリス(2,6−ジフルオロフェニル)ボ
レート、ベンジルジメチルフェニルアンモニウムヘキシ
ルトリス(p−クロロフェニル)ボレート、ベンジルジ
メチルフェニルアンモニウムヘキシルトリス(3−トリ
フルオロメチルフェニル)ボレート;スルホン酸エステ
ル類としては、2,6−ジニトロベンジル−p−トルエ
ンスルホン酸エステル、2,6−ジニトロベンジル−ト
リフルオロメタンスルホン酸エステル、N−ヒドロキシ
ナフタルイミド−p−トルエンスルホン酸エステル、N
−ヒドロキシナフタルイミド−トリフルオロメタンスル
ホン酸エステルをそれぞれ好ましいものとして挙げるこ
とができる。
【0111】上記感放射線塩基発生剤としては、特開平
4−330444号公報、「高分子」p242−24
8、46巻6号(1997年)、米国特許第5,627,
010号公報等に記載されているものが好適に用いられ
る。しかしながら、機能として放射線の照射により塩基
が発生すればこれらに限定されない。
【0112】本発明における好ましい感放射線塩基発生
剤としては、例えばトリフェニルメタノール、ベンジル
カルバメートおよびベンゾインカルバメート等の光活性
なカルバメート;O−カルバモイルヒドロキシルアミ
ド、O−カルバモイルオキシム、アロマティックスルホ
ンアミド、アルファーラクタムおよびN−(2−アリル
エチニル)アミド等のアミドならびにその他のアミド;
オキシムエステル、α−アミノアセトフェノン、コバル
ト錯体等を挙げることができる。
【0113】感放射線塩基発生剤の例としては、例えば
下記一般式(20)〜(30)で表される化合物が挙げ
られる。
【0114】
【化34】
【0115】(ここでR72は、炭素数1〜6のアルキル
基、炭素数1〜6のアルコキシル基、炭素数1〜6のチ
オアルキル基、炭素数1〜6のジアルキルアミノ基、ピ
ペリジル基、ニトロ基、ヒドロキシ基、メルカプト基、
炭素数2〜6のアルケニル基もしくはアルキニル基、炭
素数6〜20のアリール基、フッ素原子、塩素原子また
は臭素原子であり、kは0〜3の整数であり、R73は水
素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数2〜6のア
ルケニル基もしくはアルキニル基または炭素数6〜20
のアリール基であり、R74およびR75はそれぞれ独立に
水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数2〜6の
アルケニル基もしくはアルキニル基または炭素数6〜2
0のアリール基もしくはベンジル基であり、またはR74
とR75とで炭素数5〜6の環状構造を形成しても良
い。)
【0116】
【化35】
【0117】(ここでR76は、炭素数1〜6のアルキル
基、炭素数1〜6のアルコキシル基、炭素数1〜6のチ
オアルキル基、炭素数1〜6のジアルキルアミノ基、ピ
ペリジル基、ニトロ基、ヒドロキシ基、メルカプト基、
炭素数2〜6のアルケニル基もしくはアルキニル基また
は炭素数6〜20のアリール基であり、R77は水素原
子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数2〜6のアルケ
ニル基もしくはアルキニル基または炭素数6〜20のア
リール基であり、R78およびR79はそれぞれ独立に水素
原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数2〜6のアル
ケニル基もしくはアルキニル基または炭素数6〜20の
アリール基もしくはベンジル基でありまたはR78とR79
とで炭素数5〜6の環状構造を形成しても良い。)
【0118】
【化36】
【0119】(ここでR80は炭素数1〜6のアルキル
基、炭素数2〜6のアルケニル基もしくはアルキニル基
または炭素数6〜20のアリール基であり、R81および
82はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜6のアルキ
ル基、炭素数2〜6のアルケニル基もしくはアルキニル
基または炭素数6〜20のアリール基もしくはベンジル
基でありまたはR81とR82とで炭素数5〜6の環状構造
を形成していても良い。)
【0120】
【化37】
【0121】(ここでR83およびR84はそれぞれ独立に
炭素数1〜6のアルキル基、炭素数2〜6のアルケニル
基もしくはアルキニル基または炭素数6〜20のアリー
ル基である。)
【0122】
【化38】
【0123】(ここでR85、R86およびR87は、それぞ
れ独立に炭素数1〜6のアルキル基、炭素数2〜6のア
ルケニル基もしくはアルキニル基または炭素数6〜20
のアリール基である。)
【0124】
【化39】
【0125】(ここでR88は、炭素数1〜6のアルキル
基、炭素数1〜6のアルコキシル基、炭素数1〜6のチ
オアルキル基、炭素数1〜6のジアルキルアミノ基、ピ
ペリジル基、ニトロ基、ヒドロキシ基、メルカプト基、
炭素数2〜6のアルケニル基もしくはアルキニル基また
は炭素数6〜20のアリール基であり、R89は水素原
子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数2〜6のアルケ
ニル基もしくはアルキニル基または炭素数6〜20のア
リール基であり、R90、R91およびR92はそれぞれ独立
に水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数2〜6
のアルケニル基もしくはアルキニル基または炭素数6〜
20のアリール基またはベンジル基である。)
【0126】
【化40】
【0127】(ここでR93は、炭素数1〜6のアルキル
基、炭素数1〜6のアルコキシル基、炭素数1〜6のチ
オアルキル基、炭素数1〜6のジアルキルアミノ基、ピ
ペリジル基、ニトロ基、ヒドロキシ基、メルカプト基、
炭素数2〜6のアルケニル基もしくはアルキニル基また
は炭素数6〜20のアリール基であり、R94およびR95
はそれぞれ独立に水素原子、水酸基、メルカプト基、シ
アノ基、フェノキシ基、炭素数1〜6のアルキル基、フ
ッ素原子、塩素原子、臭素原子、炭素数2〜6のアルケ
ニル基もしくはアルキニル基または炭素数6〜20のア
リール基であり、R96およびR97はそれぞれ独立に水素
原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数2〜6のアル
ケニル基もしくはアルキニル基または炭素数6〜20の
アリール基もしくはベンジル基でありまたはR96とR97
とで炭素数5〜6の環状構造を形成していても良い。)
【0128】
【化41】
【0129】(ここでR98およびR99はそれぞれ独立に
炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシ
ル基、炭素数1〜6のチオアルキル基、炭素数1〜6の
ジアルキルアミノ基、ピペリジル基、ニトロ基、ヒドロ
キシ基、メルカプト基、炭素数2〜6のアルケニル基も
しくはアルキニル基または炭素数6〜20のアリール基
であり、R100〜R103はそれぞれ独立に水素原子、水酸
基、メルカプト基、シアノ基、フェノキシ基、炭素数1
〜6のアルキル基、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、
炭素数2〜6のアルケニル基もしくはアルキニル基また
は炭素数6〜20のアリール基であり、A5はモノアル
キルアミン、ピペラジン、芳香族ジアミンまたは脂肪族
ジアミンの1個または2個の窒素原子に結合する2個の
水素原子を除いて生ずる二価の原子団である。)
【0130】
【化42】
【0131】(ここでR104およびR105はそれぞれ独立
に炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキ
シル基、炭素数1〜6のチオアルキル基、炭素数1〜6
のジアルキルアミノ基、ピペリジル基、ニトロ基、ヒド
ロキシ基、メルカプト基、炭素数2〜6のアルケニル基
もしくはアルキニル基または炭素数6〜20のアリール
基であり、R106およびR107はそれぞれ独立に水素原
子、水酸基、メルカプト基、シアノ基、フェノキシ基、
炭素数1〜6のアルキル基、フッ素原子、塩素原子、臭
素原子、炭素数2〜6のアルケニル基もしくはアルキニ
ル基または炭素数6〜20のアリール基であり、R108
〜R111はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜6のア
ルキル基、炭素数2〜6のアルケニル基もしくはアルキ
ニル基または炭素数6〜20のアリール基もしくはベン
ジル基でありまたはR108とR109もしくはR110とR111
とで炭素数5〜6の環状構造を形成していても良く、A
6は炭素数1〜6のアルキレン基、シクロヘキシレン
基、フェニレン基または単結合である。)
【0132】
【化43】
【0133】(ここでR112〜R114はそれぞれ独立に水
素原子、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、炭素数1〜
6のアルキル基、炭素数1〜6のアルケニル基、炭素数
1〜6のアルキニル基、炭素数1〜6のアルコキシル
基、炭素数2〜6のアルケニル基もしくはアルキニル基
または炭素数6〜20のアリール基である。)
【0134】
【化44】
【0135】(ここでLは、アンモニア、ピリジン、イ
ミダゾール、エチレンジアミン、トリメチレンジアミ
ン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミ
ン、プロピレンジアミン、1,2−シクロヘキサンジア
ミン、N,N−ジエチルエチレンジアミン、ジエチレン
トリアミンから選ばれる少なくとも一種の配位子であ
り、nは2〜6の整数であり、R115は、炭素数2〜6
のアルケニル基もしくはアルキニル基または炭素数6〜
20のアリール基であり、R116は炭素数1〜18のア
ルキル基である。)
【0136】上記式(20)〜(30)の全てにおい
て、アルキル基とは直鎖状、分岐鎖状、環状であること
ができる。またアルケニル基とは、ビニル基、プロピレ
ニル基などを;アルキニル基としてはアセチレニル基な
どをそれぞれ例示することができる。アリール基として
はフェニル基、ナフチル基、アントラセニル基などを例
示することができる。またこれらの基に含まれる水素原
子がフッ素原子、塩素原子、臭素原子、ハロゲン化アル
キル基、水酸基、カルボキシル基、メルカプト基、シア
ノ基、ニトロ基、アジド基、ジアルキルアミノ基、アル
コキシル基またはチオアルキル基に置換されたものも含
むものとする。
【0137】これらの感放射線塩基発生剤のうち、2−
ニトロベンジルシクロヘキシルカルバメート、トリフェ
ニルメタノール、o−カルバモイルヒドロキシルアミ
ド、o−カルバモイルオキシム、[[(2,6−ジニト
ロベンジル)オキシ]カルボニル]シクロヘキシルアミ
ン、ビス[[(2−ニトロベンジル)オキシ]カルボニ
ル]ヘキサン1,6−ジアミン、4−(メチルチオベン
ゾイル)−1−メチル−1−モルホリノエタン、(4−
モルホリノベンゾイル)−1−ベンジル−1−ジメチル
アミノプロパン、N−(2−ニトロベンジルオキシカル
ボニル)ピロリジン、ヘキサアンミンコバルト(III)
トリス(トリフェニルメチルボレート)、2−ベンジル
−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニ
ル)−ブタノン等が好ましいものとして挙げられる。
【0138】上記(C)感放射線分解剤は、(A)分解
性化合物と(B)無機酸化物粒子を含有する非分解性成
分の合計が100重量部当り、0.01重量部以上用い
ることが好ましく、0.05重量部以上用いることがさ
らに好ましい。(C)成分が0.01重量部未満の場
合、照射光に対する感度が不足する場合がある。上限値
は好ましくは30重量部、より好ましくは20重量部で
ある。
【0139】(D)安定化剤 本発明の屈折率変化性組成物は、上記(A),(B)お
よび(C)成分の他に、任意成分として(D)安定化剤
を含有することができる。
【0140】本発明で使用される(D)安定化剤は、放
射線照射後の屈折率変化材料に残存する(A)分解性化
合物を安定化し、酸または塩基に対する安定性を付与す
る機能を有する。この安定化処理により、本発明の方法
により形成された屈折率パターンは、屈折率を変化させ
るために使用した波長付近の光が通過する条件下で使用
しても、屈折率の変化が引き起こされることがなく、劣
化することがない。
【0141】上記(D)安定化剤としては、例えばアミ
ノ化合物、エポキシ化合物、チイラン化合物、オキセタ
ン化合物、アルコキシメチル化メラミン化合物、アルコ
キシメチル化グリコールウリル化合物、アルコキシメチ
ル化ベンゾグアナミン化合物、アルコキシメチル化尿素
化合物、イソシアネート化合物、シアネート化合物、オ
キサゾリン化合物、オキサジン化合物およびシリル化合
物(ハロゲン化シリル化合物、その他のシリル化合物)
等を挙げることができる。
【0142】上記アミノ化合物としては、例えばトリエ
チルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、
トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリシクロ
ヘキシルアミン、トリフェニルアミン、トリベンジルア
ミン、アニリン、エチレンジアミン、ジエチレントリア
ミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタ
ミン、1,3−ジアミノプロパン、1,4−ジアミノブタ
ン、1,5−ジアミノペンタン、1,6−ジアミノヘキサ
ン、1,7−ジアミノヘプタン、1,8−ジアミノオンタ
ン、1,9−ジアミノノナン、1,10−ジアミノデカ
ン、1,11−ジアミノウンデカン、1,12−ジアミノ
ドデカン、1,4−ジアミノシクロヘキサン、1,3−シ
クロヘキサンビス(メチルアミン)、1,3−プロパン
−2−オール、2,2’,2”−トリアミノトリエチルア
ミン、1,4−ジアミノ−2,2,3,3−テトラフロロペ
ンタン、1,5−ジアミノ−2,2,3,3,4,4−ヘキサ
フロロペンタン、メラミン、ベンゾグアナミン、アセト
グアナミン、アクリログアナミン、パラミン、アミドー
ル、m−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミ
ン、p,p' −ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジ
フェニルスルフォン、1,8−ジアミノナフタレン、3,
5−ジアミノ−1,2,4−トリアゾール、2−クロロ−
4,6−ジアミノ−S−トリアジン、2、6−ジアミノ
ピリジン、3,3’−ジアミノベンジジン、ビス(4−
アミノフェニル)エーテル、m−キシリレンジアミン、
p−キシリレンジアミン、1,2,4,5−ベンゼンテト
ラミン、2,4−ジアミノ−1,3,5−トリアジン、4,
4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テ
トラアミノベンゾフェノン、トリアミノベンゼン、4,
4’−チオジアニリン、2,3,5,6−テトラブロモ−
p−キシリレンジアミン、2,3,5,6−テトラクロロ
−p−キシリレンジアミン、4,5−メチレンジオキシ
−1,2−フェニレンジアミン、2,2’−ビス(5−ア
ミノピリジル)サルファイド等を挙げることができる。
【0143】上記エポキシ化合物としては、ビスフェノ
ールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹
脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾール
ノボラック型エポキシ樹脂、環式脂肪族エポキシ樹脂、
ビスフェノールA型エポキシ化合物、脂肪族ポリグリシ
ジルエーテル等を挙げることができる。
【0144】これらの市販品として、以下のものを例示
することができる。ビスフェノールA型エポキシ樹脂と
しては、エピコート1001、同1002、同100
3、同1004、同1007、同1009、同101
0、同828(以上、油化シェルエポキシ(株)製)等
を、ビスフェノールF型エポキシ樹脂としては、エピコ
ート807(油化シェルエポキシ(株)製)等を、フェ
ノールノボラック型エポキシ樹脂としては、エピコート
152、同154(以上、油化シェルエポキシ(株)
製)、EPPN201、同202(以上、日本化薬
(株)製)等を、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂
としては、EOCN−102、EOCN−103S、E
OCN−104S、EOCN−1020、EOCN−1
025、EOCN−1027(以上、日本化薬(株)
製)、エピコート180S75(油化シェルエポキシ
(株)製)等を、環式脂肪族エポキシ樹脂としては、C
Y175、CY177、CY179(以上、CIBA−
GEIGY A.G製)、ERL−4234、ERL−
4299、ERL−4221、ERL−4206(以
上、U.C.C社製)、ショーダイン509(昭和電工
(株)製)、アラルダイトCY−182、同CY−19
2、同CY−184(以上、CIBA−GEIGY
A.G製)、エピクロン200、同400(以上、大日
本インキ工業(株)製)、エピコート871、同872
(以上、油化シェルエポキシ(株)製)、ED−566
1、ED−5662(以上、セラニーズコーティング
(株)製)等を、脂肪族ポリグリシジルエーテルとして
は、エポライト100MF(共栄社化学(株)製)、エ
ピオールTMP(日本油脂(株)製)等を挙げることが
できる。
【0145】上記以外にもフェニルグリシジルエーテ
ル、ブチルグリシジルエーテル、3,3,3−トリフロロ
メチルプロピレンオキシド、スチレンオキシド、ヘキサ
フロロプロピレンオキシド、シクロヘキセンオキシド、
N−グリシジルフタルイミド、(ノナフロロ−N−ブチ
ル)エポキシド、パーフロロエチルグリシジルエーテ
ル、エピクロロヒドリン、エピブロモヒドリン、N,N
−ジグリシジルアニリン、3−[2−(パーフロロヘキ
シル)エトキシ]−1,2−エポキシプロパン等がエポ
キシ化合物として好適に使用できる。
【0146】上記チイラン化合物としては、上記エポキ
シ化合物のエポキシ基を、例えばJ.Org. Chem., 28, 22
9 (1963)に示されるようにしてエチレンスルフィド基に
置換したものを使用することができる。
【0147】上記オキセタン化合物としては、ビス
〔(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル〕
ベンゼン(商品名「XDO」、東亞合成(株)製)、ビ
ス〔(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル
−フェニル〕メタン、ビス〔(3−エチル−3−オキセ
タニルメトキシ)メチル−フェニル〕エーテル、ビス
〔(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル−
フェニル〕プロパン、ビス〔(3−エチル−3−オキセ
タニルメトキシ)メチル−フェニル〕スルホン、ビス
〔(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル−
フェニル〕ケトン、ビス〔(3−エチル−3−オキセタ
ニルメトキシ)メチル−フェニル〕ヘキサフロロプロパ
ン、トリ〔(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)
メチル〕ベンゼン、テトラ〔(3−エチル−3−オキセ
タニルメトキシ)メチル〕ベンゼン等を挙げることがで
きる。
【0148】上記アルコキシメチル化メラミン化合物、
アルコキシメチル化ベンゾグアナミン化合物、アルコキ
シメチル化グリコールウリル化合物およびアルコキシメ
チル化尿素化合物は、それぞれメチロール化メラミン化
合物、メチロール化ベンゾグアナミン化合物、メチロー
ル化グリコールウリル化合物およびメチロール化尿素化
合物のメチロール基をアルコキシメチル基に変換するこ
とにより得られる。このアルコキシメチル基の種類につ
いては特に限定されるものではなく、例えばメトキシメ
チル基、エトキシメチル基、プロポキシメチル基、ブト
キシメチル基等とすることができる。
【0149】これらの市販品としては、例えばサイメル
300、同301、同303、同370、同325、同
327、同701、同266、同267、同238、同
1141、同272、同202、同1156、同115
8、同1123、同1170、同1174、同UFR6
5、同300(以上、三井サイアナミッド(株)製)、
ニカラックMx−750、同Mx−032、同Mx−7
06、同Mx−708、同Mx−40、同Mx−31、
同Ms−11、同Mw−30(以上、三和ケミカル
(株)製)等を挙げることができる。
【0150】上記イソシアネート化合物としては、例え
ばフェニレン−1,3−ジイソシアネート、フェニレン
−1,4−ジイソシアネート、1−メトキシフェニレン
−2,4−ジイソシアネート、1−メチルフェニレン−
2,4−ジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシア
ネート、2,6−トリレンジイソシアネート、1,3−キ
シリレンジイソシアネート、1,4−キシリレンジイソ
シアネート、ビフェニレン−4,4’−ジイソシアネー
ト、3,3’−ジメトキシビフェニレン−4,4’−ジイ
ソシアネート、3,3’−ジメチルビフェニレン−4,
4’−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−2,4’
−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−4,4’−ジ
イソシアネート、3,3’−ジメトキシジフェニルメタ
ン−4,4’−ジイソシアネート、3,3’−ジメチルジ
フェニルメタン−4,4’−ジイソシアネート、ナフチ
レン−1,5−ジイソシアネート、シクロブチレン−1,
3−ジイソシアネート、シクロペンチレン−1,3−ジ
イソシアネート、シクロヘキシレン−1,3−ジイソシ
アネート、シクロヘキシレン−1,4−ジイソシアネー
ト、1−メチルシクロヘキシレン−2,4−ジイソシア
ネート、1−メチルシクロヘキシレン−2,6−ジイソ
シアネート、1−イソシアネート−3,3,5−トリメチ
ル−5−イソシアネートメチルシクロヘキサン、シクロ
ヘキサン−1,3−ビス(メチルイソシアネート)、シ
クロヘキサン−1,4−ビス(メチルイソシアネー
ト)、イソホロンジイソシアネート、ジシクロヘキシル
メタン−2,4’−ジイソシアネート、ジシクロヘキシ
ルメタン−4,4’−ジイソシアネート、エチレンジイ
ソシアネート、テトラメチレン−1,4−ジイソシアネ
ート、ヘキサメチレン−1,6−ジイソシアネート、ド
デカメチレン−1,12−ジイソシアネート、リジンジ
イソシアネートメチルエステル等や、これらの有機ジイ
ソシアネートの化学量論的過剰量と2官能性活性水素含
有化合物との反応により得られる両末端イソシアネート
プレポリマー等を挙げることができる。
【0151】また、場合により上記ジイソシアネートと
ともに、例えばフェニル−1,3,5−トリイソシアネー
ト、ジフェニルメタン−2,4,4’−トリイソシアネー
ト、ジフェニルメタン−2,5,4’−トリイソシアネー
ト、トリフェニルメタン−2,4’,4”−トリイソシア
ネート、トリフェニルメタン−4,4’,4”−トリイソ
シアネート、ジフェニルメタン−2,4,2’,4’−テ
トライソシアネート、ジフェニルメタン−2,5,2’,
5’−テトライソシアネート、シクロヘキサン−1,3,
5−トリイソシアネート、シクロヘキサン−1,3,5−
トリス(メチルイソシアネート)、3,5−ジメチルシ
クロヘキサン−1,3,5−トリス(メチルイソシアネー
ト)、1,3,5−トリメチルシクロヘキサン−1,3,5
−トリス(メチルイソシアネート)、ジシクロヘキシル
メタン−2,4,2’−トリイソシアネート、ジシクロヘ
キシルメタン−2,4,4’−トリイソシアネート等の3
官能以上の有機ポリイソシアネートや、これらの3官能
以上の有機ポリイソシアネートの化学量論的過剰量と2
官能以上の多官能性活性水素含有化合物との反応により
得られる末端イソシアネートプレポリマー等を併用して
もよい。
【0152】上記シアネート化合物としては、1,3−
ジシアナートベンゼン、1,4−ジシアナートベンゼ
ン、1,3,5−トリシアナートベンゼン、1,3−、1,
4−、1,6−、1,8−、2,6−、または2,7−ジシ
アナートナフタレン、1,3,6−トリシアナートナフタ
レン、2,2'−または4,4'−ジシアナートビフェニ
ル、ビス(4−シアナートフェニル)メタン、2,2−
ビス(4−シアナートフェニル)プロパン、2,2'−ビ
ス(3,5−ジクロロ−4−シアナートフェニル)プロ
パン、2,2−ビス(4−シアナートフェニル)エタ
ン、ビス(4−シアナートフェニル)エーテル、ビス
(4−シアナートフェニル)チオエーテル、ビス(4−
シアナートフェニル)スルホン、1,1,1,3,3,3−
ヘキサフルオロ−2,2−ビス(4−シアナートフェニ
ル)プロパン、トリス(4−シアナートフェニル)ホス
ファイト、トリス(4−シアナートフェニル)ホスフェ
ート、およびフェノール樹脂とハロゲン化シアンの反応
より得られるベンゼン多核体のポリイソシアネート化合
物(例えば、特公昭45−11712号および55−9
433号公報)などを挙げることができる。入手が容易
でありかつ、成形性および最終硬化物に良好な性質を与
えるという点から、2,2−ビス(4−シアナートフェ
ニル)プロパンのようなビスフェノールから誘導された
2価のシアン酸エステル化合物は、特に良好に使用され
る。また、フェノールとホルムアルデヒドとの初期縮合
物にハロゲン化シアンを反応させて得られるポリシアナ
ートも有用である。
【0153】上記オキサゾリン化合物としては、2,
2’−ビス(2−オキサゾリン)、4−フラン−2−イ
ルメチレン−2−フェニル−4H−オキサゾール−5−
オン、1,4−ビス(4,5−ジヒドロ−2−オキサゾリ
ル)ベンゼン、1,3−ビス(4,5−ジヒドロ−2−オ
キサゾリル)ベンゼン、2,3−ビス(4−イソプロペ
ニル−2−オキサゾリン−2−イル)ブタン、2,2’
−ビス−4−ベンジル−2−オキサゾリン、2,6−ビ
ス(イソプロピル−2−オキサゾリン−2−イル)ピリ
ジン、2,2’−イソプロピリデンビス(4−tert
−ブチル−2−オキサゾリン)、2,2’−イソプロピ
リデンビス(4−フェニル−2−オキサゾリン)、2,
2’−メチレンビス(4−tert−ブチル−2−オキ
サゾリン)、2,2’−メチレンビス(4−フェニル−
2−オキサゾリン)等が挙げられる。
【0154】上記オキサジン化合物としては、2,2’
−ビス(2−オキサジン)、4−フラン−2−イルメチ
レン−2−フェニル−4H−オキサジル−5−オン、
1,4−ビス(4,5−ジヒドロ−2−オキサジル)ベン
ゼン、1,3−ビス(4,5−ジヒドロ−2−オキサジ
ル)ベンゼン、2,3−ビス(4−イソプロペニル−2
−オキサジン−2−イル)ブタン、2,2’−ビス−4
−ベンジル−2−オキサジン、2,6−ビス(イソプロ
ピル−2−オキサジン−2−イル)ピリジン、2,2’
−イソプロピリデンビス(4−tert−ブチル−2−
オキサジン)、2,2’−イソプロピリデンビス(4−
フェニル−2−オキサジン)、2,2’−メチレンビス
(4−tert−ブチル−2−オキサジン)、2,2’
−メチレンビス(4−フェニル−2−オキサジン)等が
挙げられる。
【0155】上記ハロゲン化シリル化合物としては、テ
トラクロロシラン、テトラブロモシラン、テトラヨード
シラン、トリクロロブロモシラン、ジクロロジブロモシ
ラン等のテトラハロゲノシラン類、メチルトリクロロシ
ラン、メチルジクロロブロモシラン、シクロヘキシルト
リクロロシラン等のモノアルキルトリハロゲノシラン
類、フェニルトリクロロシラン、ナフチルトリクロロシ
ラン、4−クロロフェニルトリクロロシラン、フェニル
ジクロロブロモシラン等のモノアリールトリハロゲノシ
ラン類、フェノキシトリクロロシラン、フェノキシジク
ロロブロモシラン等のモノアリールオキシトリハロゲノ
シラン類、メトキシトリクロロシラン、エトキシトリク
ロロシラン等のモノアルコキシトリハロゲノシラン類、
ジメチルジクロロシラン、メチル(エチル)ジクロロシ
ラン、メチル(シクロヘキシル)ジクロロシラン等のジ
アルキルジハロゲノシラン類、メチル(フェニル)ジク
ロロシラン等のモノアルキルモノアリールジハロゲノシ
ラン類、ジフェニルジクロロシラン等のジアリールジハ
ロゲノシラン類、ジフェノキシジクロロシラン等のジア
リールオキシジハロゲノシラン類、メチル(フェノキ
シ)ジクロロシラン等のモノアルキルモノアリールオキ
シジハロゲノシラン類、フェニル(フェノキシ)ジクロ
ロシラン等のモノアリールモノアリールオキシジハロゲ
ノシラン類、ジエトキシジクロロシラン等のジアルコキ
シジハロゲノシラン類、メチル(エトキシ)ジクロロシ
ラン等のモノアルキルモノアルコキシジクロロシラン
類、フェニル(エトキシ)ジクロロシラン等のモノアリ
ールモノエトキシジクロロシラン類、トリメチルクロロ
シラン、ジメチル(エチル)クロロシラン、ジメチル
(シクロヘキシル)クロロシラン等のトリアルキルモノ
ハロゲノシラン類、ジメチル(フェニル)クロロシラン
等のジアルキルモノアリールモノハロゲノシラン類、メ
チル(ジフェニル)クロロシラン等のモノアルキルジア
リールモノハロゲノシラン類、トリフェノキシクロロシ
ラン等のトリアリールオキシモノハロゲノシラン類、メ
チル(ジフェノキシ)クロロシラン等のモノアルキルジ
アリールオキシモノハロゲノシラン類、フェニル(ジフ
ェノキシ)クロロシラン等のモノアリールジアリールオ
キシモノハロゲノシラン類、ジメチル(フェノキシ)ク
ロロシラン等のジアルキルモノアリールオキシモノハロ
ゲノシラン類、ジフェニル(フェノキシ)クロロシラン
等のジアリールモノアリールオキシモノハロゲノシラン
類、メチル(フェニル)(フェノキシ)クロロシラン等
のモノアルキルモノアリールモノアリールオキシモノハ
ロゲノシラン類、トリエトキシクロロシラン等のトリエ
トキシモノハロゲノシラン類、およびテトラクロロシラ
ンの2〜5量体等の上記化合物のオリゴマー等が挙げら
れる。
【0156】上記その他のシリル化合物としては、ヘキ
サメチルジシラザン、t−ブチルジメチルクロロシラ
ン、ビス(トリメチルシリル)トリフルオロアセトアミ
ド、ジエチルアミノトリメチルシラン、トリメチルシラ
ノール、ヘキサメチルジシロキサン、クロルメチルジメ
チルエトキシシラン、アセチルトリフェニルシラン、エ
トキシトリフェニルシラン、トリフェニルシラノール、
トリエチルシラノール、トリプロピルシラノール、トリ
ブチルシラノール、ヘキサエチルジシロキサン、トリメ
チルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリ
エチルメトキシシラン、トリエチルエトキシラン、アセ
トキシエチルジメチルクロロシラン、1,3−ビス(ヒ
ドロキシブチル)テトラメチルジシロキサン、1,3−
ビス(ヒドロキシプロピル)テトラメチルジシロキサ
ン、γ−アミノプロピルメトキシシラン、γ−アミノプ
ロピルエトキシシラン、N−β(アミノエチル)−γ−
アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエ
チル)−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、
N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラ
ン、γ−アニリノプロピルトリメトキシシラン、γ−ジ
ブチルアミノプロピルトリメトキシシラン、γ−ウレイ
ドプロピルトリエトキシシラン、N−β(N−ビニルベ
ンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキ
シシラン・塩酸塩、γ−メタクリロキシプロピルトリメ
トキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキ
シシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエト
キシシラン、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリス
(β−メトキシエトキシ)シラン、γ−グリシドキシプ
ロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロ
ピルトリエトキシシラン、γ−(3,4−エポキシシク
ロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−グリシド
キシプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロ
ピルトリメトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメト
キシシラン、トリメチルクロロシラン、ヘキサメチルジ
シラザン、N−トリメチルシリルイミダゾール、ビス
(トリメチルシリル)ウレア、トリメチルシリルアセト
アミド、ビストリメチルシリルアセトアミド、トリメチ
ルシリルイソシアネート、トリメチルメトキシシラン、
トリメチルエトキシシラン、メチルトリメトキシシラ
ン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルジメトキシシ
ラン、ジメチルジエトキシシラン、t−ブチルジメチル
クロロシラン、t−ブチルジフェニルクロロシラン、ト
リイソプロピルクロロシラン、n−プロピルトリメトキ
シシラン、イソブチルトリメトキシシラン、n−ヘキシ
ルトリメトキシシラン、n−デシルトリメトキシシラ
ン、n−ヘキサデシルトリメトキシシラン、1,6−ビ
ス(トリメトキシシリル)ヘキサン、ジメチルシリルジ
イソシアネート、メチルシリルトリイソシアネート、フ
ェニルトリメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラ
ン、およびフェニルシリルトリイソシアネート等が挙げ
られる。
【0157】本発明に用いられる(D)安定化剤として
は、上記のうち、アミノ化合物、エポキシ化合物、チイ
ラン化合物、オキセタン化合物、オキサゾリン化合物、
オキサジン化合物、シリル化合物、イソシアネート化合
物およびシアネート化合物が好ましく、その中でもアミ
ノ化合物、エポキシ化合物、チイラン化合物、オキセタ
ン化合物、オキサゾリン化合物およびオキサジン化合物
がさらに好ましく用いられる。そのうちでも特に、エチ
レンジアミン、フェニルグリシジルエーテル、3−フェ
ノキシプロピレンスルフィド、3,3,3,−トリフロロ
プロピレンオキシド、ヘキサメチルジシラザン、γ−ア
ミノプロピルメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピ
ルトリメトキシシラン、メチルシリルトリイソシアネー
ト等が好ましく用いられる。
【0158】これらの(D)安定化剤は、単独でまたは
2種類以上を組み合わせて用いることができる。また
(D)成分の使用割合は、(A)分解性化合物の残存部
が十分に反応するように過剰に用いることができるが、
通常(A)成分100重量部に対して10重量部以上、
好ましくは30重量部以上を使用することができる。
(D)成分の量が10重量部未満であると、反応が不十
分となり、屈折率変化材料の安定性が不足することがあ
る。
【0159】また(D)安定化剤とともに触媒を使用す
ることができる。触媒の使用により、(D)成分と
(A)分解性化合物の残存部との反応が促進される。こ
のような触媒としては、例えば酸触媒、塩基触媒、第四
オニウム塩類などが挙げられる。
【0160】上記酸触媒としては、酢酸、メタンスルホ
ン酸、p−トルエンスルホン酸、トリフルオロ酢酸、ト
リフルオロメタンスルホン酸のような有機酸や、塩酸、
硫酸、硝酸のような無機酸が、上記塩基触媒としては、
炭酸ナトリウム、炭酸カリウムまたは炭酸リチウムのよ
うなアルカリ金属炭酸塩類;炭酸水素ナトリウム、炭酸
水素カリウムまたは炭酸水素リチウムのようなアルカリ
金属重炭酸塩類;酢酸ナトリウムのようなアルカリ金属
酢酸塩類;水素化リチウム、水素化ナトリウムまたは水
素化カリウムのようなアルカリ金属水素化物類;水酸化
ナトリウム、水酸化カリウムまたは水酸化リチウムのよ
うなアルカリ金属水酸化物類;ナトリウムメトキシド、
ナトリウムエトキシド、カリウムt−ブトキシドまたは
リチウムメトキシドのようなアルカリ金属アルコキシド
類;メチルメルカプタンナトリウムまたはエチルメルカ
プタンナトリウムのようなメルカプタンアルカリ金属
類;トリエチルアミン、トリブチルアミン、ジイソプロ
ピルエチルアミン、N−メチルモルホリン、ピリジン、
4−(N,N−ジメチルアミノ)ピリジン、N,N−ジメ
チルアニリン、N,N−ジエチルアニリン、1,5−ジア
ザビシクロ[4.3.0]ノナ−5−エン、1,4−ジア
ザビシクロ[2.2.2]オクタン(DABCO)または
1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデク−7−エ
ン(DBU)のような有機アミン類;メチルリチウム、
エチルリチウムまたはブチルリチウムのようなアルキル
リチウム類;リチウムジイソプロピルアミドまたはリチ
ウムジシクロヘキシルアミドのようなリチウムアルキル
アミド類などが、さらに上記第四オニウム塩類として
は、例えばテトラブチルアンモニウムクロライド、テト
ラブチルアンモニウムブロミド、テトラブチルアンモニ
ウムヨード、テトラブチルアンモニウムアセテート、テ
トラブチルホスホニウムクロライド、テトラブチルホス
ホニウムブロミド、セチルトリメチルアンモニウムブロ
ミド、テトラプロピルアンモニウムブロミド、ベンジル
トリエチルアンモニウムクロライド、その他を挙げるこ
とができる。また、18−クラウン−6−エーテルと、
塩化カリウム、臭化カリウム、沃化カリウム、塩化セシ
ウム、カリウムフェノキシド、ナトリウムフェノキシ
ド、安息香酸カリウムなどの塩類とを組み合わせて触媒
として用いることもできる。
【0161】これらの中で好ましい触媒としては、p−
トルエンスルホン酸、塩酸、硫酸、水酸化ナトリウム、
カリウムt−ブトキシド、トリエチルアミン、DBU、
テトラブチルアンモニウムブロミド、テトラブチルホス
ホニウムブロミド、18−クラウン−6−エーテル/カ
リウムフェノキシドを挙げることができる。
【0162】これらの触媒の使用量は、(D)成分とし
てアミノ化合物、アルコキシメチル化メラミン化合物、
アルコキシメチル化グリコールウリル化合物、アルコキ
シメチル化ベンゾグアナミン化合物、アルコキシメチル
化尿素化合物、およびハロゲン化シリル化合物を用いる
ときは、(D)成分1当量に対して、2モル以下の使用
量が好ましく用いられる。
【0163】また、(D)成分としてエポキシ化合物、
チイラン化合物、オキセタン化合物、イソシアネート化
合物、シアネート化合物、オキサゾリン化合物、オキサ
ジン化合物、その他のシリル化合物を用いるときは、
(D)成分1当量に対して、0.2モル以下の使用量が
好ましく用いられる。
【0164】なおここで(D)成分の使用当量数は、
(D)成分の使用量(モル)に当該(D)成分中に含ま
れる反応性基の数を乗じて得られる値であり、反応性基
の数とは、(D)成分の種類により下記のように定義さ
れる。
【0165】アミノ化合物の場合;窒素原子の数 エポキシ化合物の場合;エポキシ基の数 チイラン化合物の場合;エチレンスルフィド基の数 オキセタン化合物の場合;オキセタニル基の数 アルコキシメチル化メラミン化合物、アルコキシメチル
化グリコールウリル化合物、アルコキシメチル化ベンゾ
グアナミン化合物およびアルコキシメチル化尿素化合物
の場合;アルコキシメチル基の数 イソシアネート化合物の場合;イソシアネート基の数 シアネート化合物の場合;シアネート基の数 オキサゾリン化合物の場合;オキサゾリル基の数 オキサジン化合物の場合;オキサジル基の数 ハロゲン化シリル化合物;ケイ素原子に結合しているハ
ロゲン原子の数 その他のシリル化合物;ケイ素原子の数
【0166】<その他の成分>本発明の屈折率変化性組
成物には、本発明の目的を損なわない限りにおいて、そ
の他の添加剤が含有されていてもよい。このような添加
剤としては、紫外線吸収剤、増感剤、界面活性剤、耐熱
性改良剤、接着助剤等が挙げられる。
【0167】上記紫外線吸収剤としては、例えば、ベン
ゾトリアゾ−ル類、サリシレ−ト類、ベンゾフェノン
類、置換アクリロニトリル類、キサンテン類、クマリン
類、フラボン類、カルコン類化合物等の紫外線吸収剤が
挙げられる。具体的にはチバ・スペシャルティ−・ケミ
カルズ社製のチヌビン234(2−(2−ヒドロキシ−
3,5−ビス(α,α−ジメチルベンジル)フェニル)−
2H−ベンゾトリアゾ−ル)、チヌビン571(ヒドロ
キシフェニルベンゾトリアゾ−ル誘導体)、チヌビン1
130(メチル−3−(3−t−ブチル−5−(2H−
ベンゾトリアゾ−ル−2−イル)−4−ヒドロキシフェ
ニル)プロピオネ−ト−ポリエチレングリコ−ル(分子
量300)との縮合物)、1,7−ビス(4−ヒドロキ
シ−3−メトキシフェニル)−1,6−ヘプタジエン−
3,5−ジオン、ジベンジリデンアセトンなどがある。
【0168】紫外線吸収剤を添加することにより、本発
明の屈折率変化材料における放射線照射部の表面からの
深さが深くなるにつれ(C)成分からの酸または塩基発
生量を徐々に減少させることができ、GRIN形成手段
として有用である。これらの紫外線吸収剤の使用割合
は、(A)成分と(B)成分の合計100重量部に対し
て、好ましくは30重量部以下、より好ましくは20重
量部以下である。
【0169】上記増感剤としては、例えば3−位および
/または7−位に置換基を有するクマリン類、フラボン
類、ジベンザルアセトン類、ジベンザルシクロヘキサン
類、カルコン類、キサンテン類、チオキサンテン類、ポ
ルフィリン類、フタロシアニン類、アクリジン類、アン
トラセン類等を用いることができる。
【0170】増感剤の使用割合は、(A)成分と(B)
成分の合計100重量部に対して、好ましくは30重量
部以下、より好ましくは20重量部以下である。また、
上記界面活性剤は、塗布性の改善例えばストリエーショ
ンの防止や、現像性の改良を行うために添加することが
できる。
【0171】界面活性剤としては、例えばポリオキシエ
チレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリ
ルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等の
ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエ
チレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン
ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアリー
ルエーテル類、ポリエチレングリコールジラウレート、
ポリエチレングリコールジステアレート等のポリエチレ
ングリコールジアルキルエステル類の如きノニオン系界
面活性剤;エフトップEF301、同EF303、同E
F352(以上、新秋田化成(株)製)、メガファック
F171、同F172、同F173(以上、大日本イン
キ工業(株)製)、フロラードFC430、同FC43
1(以上、住友スリーエム(株)製)、アサヒガードA
G710、サーフロンS−382、SC−101、SC
−102、SC−103、SC−104、SC−10
5、SC−106(以上、旭硝子(株)製)等の商品名
で市販されている弗素系界面活性剤;オルガノシロキサ
ンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)、アク
リル酸系またはメタクリル酸系(共)重合体ポリフロー
No.57、95(共栄社化学(株)製)等の商品名で
市販されているその他の界面活性剤を用いることができ
る。
【0172】これらの界面活性剤の使用割合は、(A)
成分と(B)成分の合計量100重量部に対して、好ま
しくは2重量部以下、より好ましくは1重量部以下であ
る。また、上記接着助剤は、基板との密着性を改良する
ために添加することができ、シランカップリング剤等が
好ましく用いられる。上記耐熱性改良剤としては、多価
アクリレート等の不飽和化合物などを添加することがで
きる。
【0173】さらに、本発明で使用する屈折率変化性組
成物においては、必要に応じて、帯電防止剤、保存安定
剤、ハレーション防止剤、消泡剤、顔料、熱酸発生剤等
を添加することもできる。
【0174】<屈折率パターンの形成>本発明におい
て、上記の屈折率変化性組成物を用いることにより、例
えば次のようにして屈折率パターンを形成することがで
きる。
【0175】先ず、屈折率変化性組成物を、例えばその
固形分の濃度が5〜70重量%となるよう溶剤に溶解ま
たは分散し、組成物溶液を調製する。必要に応じて孔径
0.1〜10μm程度のフィルターで濾過した後に使用
してもよい。
【0176】その後、この組成物溶液をシリコンウェハ
ー等の基板の表面に塗布し、プレベークを行うことによ
り溶剤を除去して屈折率変化材料の塗膜を形成する。次
いで、形成された塗膜に、例えばパターンマスクを介し
て、その一部に対して放射線照射処理を行い、放射線照
射後ベーク処理(PEB処理)を行うことにより屈折率
変化材料の放射線照射部と放射線未照射部での屈折率差
が形成される。
【0177】放射線の照射により(C)成分の感放射線
性分解剤から酸または塩基が生成され、この酸または塩
基が(A)成分に作用して(A)成分を分解し、この分
解物は主に放射線照射後ベーク時に逃散する。その結
果、放射線照射部と放射線未照射部との間に屈折率の差
が生じることになる。
【0178】本発明に使用される屈折率変化性組成物を
含有する溶液を調製するための溶媒としては、上記
(A)、(B)、(C)および任意に添加される(D)
成分やその他の添加剤の各成分を均一に溶解または分散
し、各成分と反応しないものが用いられる。
【0179】具体的には、例えばメタノール、エタノー
ル、プロパノール、iso−プロパノール、ブタノー
ル、エチレングリコール、プロピレングリコールなどの
アルコール類;テトラヒドロフランなどのエーテル類;
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリ
コールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテル
類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブア
セテートなどのエチレングリコールアルキルエーテルア
セテート類;ジエチレングリコールモノメチルエーテ
ル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチ
レングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコー
ルエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチ
ルエーテルなどのジエチレングリコール類;プロピレン
グリコールメチルエーテル、プロピレングリコールエチ
ルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、
プロピレングリコールブチルエーテルなどのプロピレン
グリコールモノアルキルエーテル類;プロピレングリコ
ールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコール
エチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロ
ピルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチル
エーテルアセテートなどのプロピレングリコールアルキ
ルエーテルアセテート類;プロピレングリコールメチル
エーテルプロピオネート、プロピレングリコールエチル
エーテルプロピオネート、プロピレングリコールプロピ
ルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールブチ
ルエーテルプロピオネートなどのプロピレングリコール
アルキルエーテルアセテート類;トルエン、キシレンな
どの芳香族炭化水素類;メチルエチルケトン、シクロヘ
キサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノ
ンなどのケトン類;
【0180】および酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロ
ピル、酢酸ブチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチ
ル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、
2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ヒド
ロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ
酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、
乳酸ブチル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、3−
ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−ヒドロキシプロピ
オン酸プロチル、3−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、
2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、メトキシ
酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピ
ル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキ
シ酢酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブ
チル、プロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、
プロポキシ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブト
キシ酢酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プ
ロピル、ブトキシ酢酸ブチル、2−メトキシプロピオン
酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メト
キシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸
ブチル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキ
シプロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸プロ
ピル、2−エトキシプロピオン酸ブチル、2−ブトキシ
プロピオン酸メチル、2−ブトキシプロピオン酸エチ
ル、2−ブトキシプロピオン酸プロピル、2−ブトキシ
プロピオン酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチ
ル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプ
ロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチ
ル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプ
ロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸プロピ
ル、3−エトキシプロピオン酸ブチル、3−プロポキシ
プロピオン酸メチル、3−プロポキシプロピオン酸エチ
ル、3−プロポキシプロピオン酸プロピル、3−プロポ
キシプロピオン酸ブチル、3−ブトキシプロピオン酸メ
チル、3−ブトキシプロピオン酸エチル、3−ブトキシ
プロピオン酸プロピル、3−ブトキシプロピオン酸ブチ
ル、などのエステル類;
【0181】トリフルオロメチルベンゼン、1,3−ビ
ス(トリフルオロメチル)ベンゼン、ヘキサフルオロベ
ンゼン、ヘキサフルオロシクロヘキサン、ペルフルオロ
ジメチルシクロヘキサン、ペルフルオロメチルシクロヘ
キサン、オクタフルオロデカリン、1,1,2−トリクロ
ロ−1,2,2−トリフルオロエタンなどのフッ素原子含
有溶媒が挙げられる。
【0182】これらの溶剤の中で、溶解性、各成分との
反応性および塗膜の形成のしやすさから、アルコール
類、グリコールエーテル類、エチレングリコールアルキ
ルエーテルアセテート類、プロピレングリコールアルキ
ルエーテルアセテート類、ケトン類、エステル類および
ジエチレングリコール類が好ましく用いられる。
【0183】さらに前記溶媒とともに高沸点溶媒を併用
することもできる。併用できる高沸点溶媒としては、例
えばN−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルム
アミド、N−メチルホルムアニリド、N−メチルアセト
アミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピ
ロリドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエー
テル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソ
ホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、
1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、
安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチ
ル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレ
ン、フェニルセロソルブアセテートなどが挙げられる。
【0184】本発明で使用される屈折率変化性組成物
は、放射線を照射するにあたり、用途を考慮した上で各
種形状に成形される。例えばロッド状、ファイバー状、
長板状、球状、フィルム状、レンズ状などが挙げられる
がこれに限定されるものではない。その成形方法につい
ても通常用いられる方法を用いることができる。例えば
射出成形、圧縮成形、ブロー成形、押し出し、箱枠内重
合法、削り出し法、引き延ばし法、加熱冷却法、CVD
蒸着法、焼結法、スキャン法などが挙げられる。また光
学成形体の用途によってはスピンコート法、スリット
法、バーコート法、溶媒キャスト法、LB法、スプレー
法、ロールコート法、凸版印刷法、スクリーン印刷法等
も用いることができる。
【0185】この成形処理において加熱処理(以下、
「プレベーク」という。)を行なうのが好ましい。その
加熱条件は、本発明の材料の配合組成、各添加剤の種類
等により変わるが、好ましくは30〜200℃、より好
ましくは40〜150℃であり、ホットプレートやオー
ブン、赤外線などを使用して加熱することができる。
【0186】放射線照射処理に使用される放射線として
は、波長365nmのi線、404nmのh線、436
nmのg線、キセノンランプ等の広域波長光源等の紫外
線、波長248nmのKrFエキシマレーザー、波長1
93nmのArFエキシマレーザー等の遠紫外線、シン
クロトロン放射線等のX線あるいは電子線等の荷電粒子
線、可視光およびこれらの混合線等が挙げられる。これ
らのうち、紫外光および可視光が好ましい。照度として
は照射波長などにもよるが、0.1mW/cm2〜100
mW/cm2とすることが最も反応効率が良く好まし
い。これらの放射線は、パターンマスクを介して照射す
ることで、感放射線性屈折率変化材料をパターニングす
ることが可能である。パターニング精度としては、使用
する光源などにも影響を受けるが、0.2μm程度の解
像性をもつ屈折率変化分布の光学部品の製造が可能であ
る。
【0187】本発明においては、露光後に加熱処理(放
射線照射後ベーク)を行なうのが好ましい。その加熱に
は、上記プレベークと同様な装置が使用でき、その条件
は任意に設定することができる。好ましい加熱温度は3
0〜150℃であり、より好ましくは30〜130℃で
ある。
【0188】本発明の屈折率変化性組成物が任意成分で
ある(D)成分を含有していないときには、次に(D)
安定化剤による安定化処理を行うのが好ましい。
【0189】本発明で使用される(D)安定化剤は、放
射線照射後の屈折率変化性組成物に残存する(A)分解
性化合物を安定化し、酸または塩基に対する安定性を付
与する機能を有する。この安定化処理により、本発明の
方法により形成された屈折率パターンは、屈折率を変化
させるために使用した波長付近の光が通過する条件下で
使用しても、屈折率の変化が引き起こされることがな
く、劣化することがない。
【0190】上記(D)安定化剤としては、例えばアミ
ノ化合物、エポキシ化合物、チイラン化合物、オキセタ
ン化合物、アルコキシメチル化メラミン化合物、アルコ
キシメチル化グリコールウリル化合物、アルコキシメチ
ル化ベンゾグアナミン化合物、アルコキシメチル化尿素
化合物、イソシアネート化合物、シアネート化合物、オ
キサゾリン化合物、オキサジン化合物、ハロゲン化シリ
ル化合物、その他のシリル化合物等を挙げることができ
る。
【0191】これらの化合物の具体例としては、安定化
剤(D)として前記したと同じ化合物を挙げることがで
きる。ただし、アミノ化合物としては前記した具体例の
他に、アンモニアやトリメチルアミンの如き低沸点化合
物を使用することもできる。
【0192】これらの(D)安定化剤は、単独でまたは
2種類以上を組み合わせて用いることができる。また
(D)成分の使用割合は、(A)分解性化合物の残存部
が十分に反応するように過剰に用いることができるが、
通常(A)成分100重量部に対して10重量部以上、
好ましくは15重量部以上を使用することができる。
(D)成分の量が10重量部未満であると、反応が不十
分となり、屈折率変化材料の安定性が不足することがあ
る。
【0193】また(D)安定化剤とともに触媒を使用す
ることができる。触媒の使用により、(D)成分と
(A)分解性化合物の残存部との反応が促進される。こ
のような触媒としては、既に(D)安定化剤に関して記
載した触媒と同じものを使用することができる。
【0194】安定化処理における放射線照射後の屈折率
変化性組成物と(D)安定化剤との接触には、適宜の方
法を採用できるが、例えば(D)成分および場合により
触媒を適当な溶媒に溶解して溶液状態で屈折率変化性組
成物と接触することができ、あるいは、(D)成分が接
触条件下で液体または気体の場合には(D)成分100
%の状態でそのまま接触させることもできる。
【0195】上記(D)安定化剤と(A)成分との反応
において溶媒を使用する場合の溶媒は、(D)成分およ
び任意に添加される触媒を溶解し、(A)成分を溶解し
ないものが好ましい。このような溶媒を選択すれば、得
られる屈折率パターンの表面に荒れが生ずることがな
い。
【0196】このような溶媒としては、例えば水;メタ
ノール、エタノール、iso−プロパノール、n−プロ
パノール、n−ブタノール、iso−ブタノール、te
rt−ブタノール、シクロヘキサノール、エチレングリ
コール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール
などのアルコール類;ジエチルエーテル、テトラヒドロ
フランなどのエーテル類;エチレングリコールモノメチ
ルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルな
どのグリコールエーテル類;メチルセロソルブアセテー
ト、エチルセロソルブアセテートなどのエチレングリコ
ールアルキルエーテルアセテート類;ジエチレングリコ
ールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエ
チルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル
などのジエチレングリコール類;プロピレングリコール
メチルエーテル、プロピレングリコールエチルエーテル
などのプロピレングリコールモノアルキルエーテル類;
プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロ
ピレングリコールエチルエーテルアセテートなどのプロ
ピレングリコールアルキルエーテルアセテート類;プロ
ピレングリコールメチルエーテルプロピオネート、プロ
ピレングリコールエチルエーテルプロピオネート、プロ
ピレングリコールプロピルエーテルプロピオネート、プ
ロピレングリコールブチルエーテルプロピオネートなど
のプロピレングリコールアルキルエーテルアセテート
類;トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類;n−
ヘキサン、n−ヘプタン、n−オクタンなどの脂肪族炭
化水素類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、メ
チルイソブチルケトン、メチルアミルケトン、4−ヒド
ロキシ−4−メチル−2−ペンタノンなどのケトン類;
および酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、2−ヒ
ドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メ
チルプロピオン酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒド
ロキシ酢酸ブチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブ
チル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、2−ヒドロ
キシ−3−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸エチ
ル、メトキシ酢酸ブチル、2−メトキシプロピオン酸エ
チル、2−メトキシプロピオン酸ブチル、2−エトキシ
プロピオン酸ブチル、2−ブトキシプロピオン酸ブチ
ル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、3−エトキシプ
ロピオン酸ブチル、3−プロポキシプロピオン酸ブチ
ル、3−ブトキシプロピオン酸ブチルなどのエステル
類、トリフルオロメチルベンゼン、1,3−ビス(トリ
フルオロメチル)ベンゼン、ヘキサフルオロベンゼン、
ヘキサフルオロシクロヘキサン、ペルフルオロジメチル
シクロヘキサン、ペルフルオロメチルシクロヘキサン、
オクタフルオロデカリン、1,1,2−トリクロロ−1,
2,2−トリフルオロエタンなどのフッ素原子含有溶
媒、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、ジ
メチルアセトアミド、N−メチルピロリドンの如き非プ
ロトン性極性溶媒が挙げられる。
【0197】これらの溶剤の中で、水、アルコール類、
グリコールエーテル類、エチレングリコールアルキルエ
ーテルアセテート類、およびフッ素原子含有溶媒が好ま
しく用いられる。
【0198】(D)安定化剤と(A)分解性化合物の残
存部との反応を行う際の反応温度は通常0〜130℃と
することができ、反応時間は通常10秒〜1時間とする
ことができる。
【0199】また、本発明の屈折率変化性組成物が任意
成分である(D)安定化剤を含有する場合には、放射線
照射後ベークと連続してあるいは別個に、残存する
(A)成分と(D)成分とを反応させる安定化のための
加熱処理を行うのが好ましい。安定化のための加熱処理
は35〜200℃が好ましく、より好ましくはPEBの
温度より10℃以上高い温度であり、さらに好ましくは
PEBの温度より20℃以上高い温度である。
【0200】さらに、放射線未照射部に残存する(C)
成分などを分解し、材料の安定性をさらに高めるために
再露光処理を行うことができる。
【0201】再露光処理は、例えば、屈折率を変化させ
る工程で用いた放射線と同様の波長の放射線を、同様の
露光量にて例えばパターン全面に照射することで実施で
きる。
【0202】所望によりさらに加熱処理を行うことによ
り材料の安定性をさらに高めることができる。このとき
の加熱には材料成形時のプレベ−クと同様な装置が使用
でき、その条件は任意に設定することができる。
【0203】上記のようにして形成された本発明の屈折
率パターンは、放射線照射部の屈折率の方が放射線未照
射部の屈折率より大きくなる。この差は、本発明に用い
る屈折率変化材料中の(A)成分と(B)成分の種類と
含有量を調整することにより、任意に調整でき、例えば
屈折率差の最大値を0.02より大きい値とすることが
できる。
【0204】また、本発明の屈折率パターンは、前述の
ように屈折率を変化させるために使用した波長付近の光
が通過する条件下で使用しても、屈折率の変化が引き起
こされることがなく、劣化することがないため、光エレ
クトロニクスやディスプレイ分野に使用される光学材料
として極めて有用である。
【0205】
【実施例】以下、本発明を以下の実施例によって説明す
るが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0206】また、以下において、各化合物のポリスチ
レン換算重量平均分子量は、昭和電工(株)製のGPC
クロマトグラフSYSTEM-21を用いて測定した。
【0207】〔(A)成分の合成例〕 (A)成分の合成例1 窒素置換した1Lのフラスコに3,3,4,4,5,
5,5−ヘプタフロロペンタンアルデヒド63.62g
およびテトラヒドロフラン500gを仕込み、−78℃
に冷却した。これに、三フッ化ホウ素エーテル錯体0.
64gを加え、窒素雰囲気下において−78℃で48時
間撹拌した。得られた反応溶液に無水酢酸0.8gとピ
リジン0.6gを冷却した状態で加え、引き続き−78
℃で2時間攪拌を行った。反応液を減圧下、60℃の加
熱により全量を100mlに濃縮後、5Lのイオン交換
水に10分間で連続的に投入した。析出物をテトラヒド
ロフラン50重量部で再溶解させ、5Lのイオン交換水
で再沈精製し、50℃にて真空乾燥を行い43.31g
の化合物(A−1)を得た。得られた化合物の重量平均
分子量は2,700であった。
【0208】(A)成分の合成例2 アルゴン雰囲気下で1Lの三つ口フラスコに、ヘキサフ
ロログルタール酸ジクロリド83.08gを400ml
のクロロホルムに溶解させた溶液を仕込み、そこにエチ
レングリコール18.62gと水酸化カリウム33.6
6gを200mlのイオン交換水に溶解させた溶液を加
えて攪拌し界面重縮合を行った。反応を6時間行ったあ
と、テトラヒドロフラン−メタノールで2度再沈精製を
行った。析出した重合体をろ別後、50℃にて真空乾燥
を行い59.87gの化合物(A−2)を得た。得られ
た化合物の重量平均分子量は16,700であった。
【0209】(A)成分の合成例3 1Lのフラスコに単量体としてo−フタルアルデヒド5
0重量部とテトラヒドロフラン500重量部を、窒素置
換した反応容器に仕込み、−78℃に冷却した。これ
に、n−ブチルリチウム(1.5モル/L)のn−ヘキ
サン溶液1.0重量部を加え、窒素雰囲気下において−
78℃で48時間冷却下で撹拌した。得られた反応溶液
に無水酢酸0.8重量部とピリジン0.6重量部を冷却し
た状態で加え、引き続き−78℃で2時間攪拌を行っ
た。反応液を減圧下、60℃の加熱により100mlに
濃縮後、5Lのイオン交換水に10分間で投入した。析
出物をテトラヒドロフラン50重量部で再溶解させ、5
Lのイオン交換水で再沈精製し、50℃にて真空乾燥を
行い45重量部の化合物(A−3)を得た。得られた化
合物の重量平均分子量は26,000であった。
【0210】(A)成分の合成例4 アルゴン雰囲気下で500mlの三つ口フラスコにテレ
フタル酸クロリド61.51gを150mlのクロロホ
ルムに溶解させ、そこに1,4−ベンゼンチオール3
3.05gと水酸化カリウム33.66gを150ml
のイオン交換水に溶解させたものを加えて攪拌し界面重
縮合を行った。反応を6時間行ったあと、テトラヒドロ
フラン−メタノールで2度再沈精製を行った。析出した
化合物をろ別後、50℃にて真空乾燥を行い75.98
gの化合物(A−4)を得た。得られた化合物の重量平
均分子量は33,600であった。
【0211】〔(B)成分の合成例〕 (B)成分の合成例1 1Lの三つ口フラスコ中で、フェニルトリメトキシシラ
ン39.66g、およびジフェニルジメトキシラン2
4.44gをエチレングリコールエチルメチルエーテル
100gに溶解させ、得られた溶液をマグネチックスタ
ーラにより撹拌しながら70℃に加温した。これに、イ
オン交換水5.20gを溶液に1時間かけて連続的に添
加した。その後、70℃で4時間反応させた後、得られ
た反応液を室温まで冷却した。その後、反応副生成物で
あるメタノール9.20gを反応液から減圧留去した。
この際の重合体(B−1)の重量平均分子量は1,60
0であった。ここにメチルエチルケトン溶媒ジルコニア
ゾル(平均粒径0.01〜0.05μm、ジルコニア濃度
30%)を54.90g加えた。得られた無機酸化物粒
子混合液(Bmix−1)の固形分濃度は31.3%で
あった。
【0212】(B)成分の合成例2 合成例1で得られた(B−1)に、メチルエチルケトン
溶媒酸化チタンゾル(平均粒径0.01〜0.05μm、
酸化チタンの濃度30%)を54.90g加えた。得ら
れた無機酸化物粒子混合液(Bmix−2)の固形分濃
度は31.3%であった。
【0213】(B)成分の合成例3 合成例1で得られた(B−1)に、メチルエチルケトン
溶媒酸化スズゾル(平均粒径0.01〜0.05μm、五
酸化アンチモンの濃度30%)を54.90g加えた。
得られた無機酸化物粒子混合液(Bmix−3)の固形
分濃度は31.3%であった。
【0214】(B)成分の合成例4 合成例1で得られた(B−1)に、メタノール分散アル
ミナゾル(平均粒子径0.0015μm〜0.003μ
m、固形分30%、水分5.6%)を54.90g加え
た。得られた無機酸化物粒子混合液(Bmix−4)の
固形分濃度は31.3%であった。
【0215】(B)成分の合成例5 1Lの三つ口フラスコにテトラメトキシシラン15.2
2g、メチルトリメトキシラン27.24gをとり、エ
チレングリコールエチルメチルエーテル100gを加え
て溶解させ、得られた混合溶液をマグネチックスターラ
により撹拌しながら60℃に加温した。これに、イオン
交換水5.20gを1時間かけて連続的に添加した。そ
して、60℃で4時間反応させた後、得られた反応液を
室温まで冷却した。その後、反応副生成物であるメタノ
ール9.20gを反応液から減圧留去した。この際の化
合物(B−2)の重量平均分子量は1,600であっ
た。ここにメチルエチルケトン溶媒シリカゾル(平均粒
径0.01〜0.05μm、シリカ濃度30%)を54.
90g加えた。得られた無機酸化物粒子混合液(Bmi
x−5)の固形分濃度は31.3%であった。
【0216】実施例1 (A)成分として化合物(A−1)を50重量部、
(B)成分として無機酸化物粒子混合液(Bmix−
1)の固形分で50重量部、および(C)成分として2
−(4−メトキシフェニル)−ビス(4,6−トリクロ
ロメチル)−s−トリアジン1重量部を、全体の固形分
濃度が20%になるようにジエチレングリコールエチル
メチルエーテルに溶解、分解させた後、孔径0.2μm
のメンブランフィルターで濾過し、屈折率変化性組成物
を調製した。
【0217】塗膜の形成 シリコン基板上にスピンナーを用いて、上記の組成物を
塗布した後、90℃で2分間ホットプレート上でプリベ
ークして膜厚1.0μmの塗膜を形成した。屈折率パターンの形成 上記のようにして得られた塗膜に、NSR1505i6
A縮小投影放射線照射機((株)ニコン製、NA=0.
45,λ=365nm)により最適焦点深度にて、露光
量100mJ/cm2でパターンマスクを介して放射線
照射処理を行った。次いで、130℃にて2分間の露光
後ベーク処理を行うことにより、放射線照射部と放射線
未照射部で屈折率差を有する屈折率パターンを形成し
た。以下、ここで形成された屈折率パターンについて、
放射線照射部を「屈折率変化部」、放射線未照射部を
「屈折率未変化部」という。屈折率の測定 上記で形成した屈折率パターンの屈折率未変化部、屈折
率変化部のそれぞれの屈折率を、Auto EL IV NIR III
(ルドルフリサーチ社製)エリプソメーターを用いて6
33nmで測定した。結果を表1に示す。
【0218】透明性の評価 シリコン基板の代わりにガラス基板「コーニング173
7(コーニング社製)」を用いた以外は上記および
と同様にしてガラス基板上に屈折率パターンを形成し
た。以下、ここで形成されたガラス基板上の屈折率パタ
ーンについても、放射線照射部を「屈折率変化部」、放
射線未照射部を「屈折率未変化部」という。次いで、こ
の屈折率パターンを有するガラス基板につき、屈折率変
化部、屈折率未変化部のそれぞれの透過率を分光光度計
「150−20型ダブルビーム(日立製作所製)」を用
いて400〜800nmの波長で測定した。このとき最
低透過率が95%を超える場合、透過率は良好であり、
それ以下の場合は不良といえる。結果を表1に示す。
【0219】安定化処理 (D)成分として2,2,3,3,4,4,4−ヘプタ
フロロブチルオキシラン(10mol%テトラブチルアンモニ
ウムブロミド添加)の20%ジメチルホルムアミド溶液
を100℃に加熱して、ここに上記のようにして形成し
たシリコン基板上、およびガラス基板上の屈折率パター
ンを100℃にて2分間、浸漬した後、超純水で1分間
洗浄した。ついで、Canon PLA-501Fでフィルターを用い
ずパターン全面に対して4.5mW/cm2にて1分間
の再露光処理を行い、さらにオーブンにて200℃で1
0分間加熱し、屈折率パターンの安定化処理を行った。
【0220】屈折率、および透明性の評価 上記で安定化処理を行ったシリコン基板上の屈折率パタ
ーンについて、上記と同様にして、屈折率変化部およ
び屈折率未変化部の屈折率の測定を行った。結果を表2
に示す。また、安定化処理を行ったガラス基板上の屈折
率パターンについて、上記と同様にして、屈折率変化
部および屈折率未変化部の透明性の測定を行った。結果
を表2に示す。
【0221】屈折率パターンの安定性評価 上記で安定化処理を行ったシリコン基板上の屈折率パタ
ーン、およびガラス基板上の屈折率パターンについて、
Canon PLA-501Fでフィルターを用いずパターン全面に対
して4.5mW/cm2にて30分間の露光処理を行
い、放射線照射の加速処理を実施した。この処理を行っ
たシリコン基板上の屈折率パターンについて、上記と
同様にして、屈折率変化部および屈折率未変化部の屈折
率の測定を行った。結果を表2に示す。また、安定化処
理を行ったガラス基板上の屈折率パターンについて、上
記と同様にして、屈折率変化部および屈折率未変化部
の透明性の測定を行った。結果を表2に示す。
【0222】実施例2 (B)成分として無機酸化物粒子混合液(Bmix−
2)の固形分で50重量部を用い、工程(屈折率パタ
ーンの形成)における露光後ベークの温度を表1に記載
の通りとし、工程(安定化処理)における(D)成分
の種類および安定化処理温度を表2に記載の通りとした
以外は実施例1と同様にして評価を行った。結果につい
ては表1および表2にまとめた。
【0223】実施例3 (A)成分として、化合物(A−2)を50重量部、
(B)成分として無機酸化物粒子混合液(Bmix−
3)の固形分で50重量部、(C)成分として、N−
(2−ニトロベンジルオキシカルボニル)ピロリジンを
5重量部を用い、工程(屈折率パターンの形成)にお
ける露光後ベークの温度を表1に記載の通りとし、工程
(安定化処理)における(D)成分の種類および安定
化処理温度を表2に記載の通りとした以外は実施例1と
同様にして評価を行った。結果については表1および表
2にまとめた。
【0224】実施例4 (A)成分として、化合物(A−2)を50重量部、
(B)成分として無機酸化物粒子混合液(Bmix−
4)の固形分で50重量部、(C)成分として、N−
(2−ニトロベンジルオキシカルボニル)ピロリジンを
5重量部を用い、工程(屈折率パターンの形成)にお
ける露光後ベークの温度を表1に記載の通りとし、工程
(安定化処理)における(D)成分の種類および安定
化処理温度を表2に記載の通りとした以外は実施例1と
同様にして評価を行った。結果については表1および表
2にまとめた。
【0225】実施例5 (A)成分として、化合物(A−3)を50重量部、
(B)成分として無機酸化物粒子混合液(Bmix−
5)の固形分で50重量部を用い、工程(屈折率パタ
ーンの形成)における放射線照射量を表1に記載の通り
とし、工程(安定化処理)における(D)成分の種類
を表2に記載の通りとした以外は実施例1と同様にして
評価を行った。結果については表1および表2にまとめ
た。
【0226】実施例6 (A)成分として、化合物(A−4)を50重量部、
(B)成分として無機酸化物粒子混合液(Bmix−
5)の固形分で50重量部、(C)成分として、N−
(2−ニトロベンジルオキシカルボニル)ピロリジンを
5重量部を用い、工程(屈折率パターンの形成)にお
ける放射線照射量を表1に記載の通りとし、工程(安
定化処理)における(D)成分の種類を表2に記載の通
りとした以外は実施例1と同様にして評価を行った。結
果については表1および表2にまとめた。
【0227】
【表1】
【0228】
【表2】
【0229】ただし、表2において、(D)成分の記号
は、それぞれ以下のものを表す。 D−1;2,2,3,3,4,4,4−ヘプタフロロブ
チルオキシラン(10mol%テトラブチルアンモニウムブロ
ミド添加)の20%ジメチルホルムアミド溶液 D−2;エチレンジアミンの1%水溶液 D−3;ビスフェノールAジグリシジルエーテル(10mo
l%テトラブチルアンモニウムブロミド添加)の20%ジ
メチルホルムアミド溶液
【0230】実施例7 実施例1において、さらに(D)グリセロールジグリシ
ジルエーテルを15重量部添加した他は実施例1と同様
にして屈折率変化性組成物を調製した。
【0231】上記組成物を用いて、実施例1における工
程と同様に塗膜を形成し、次に工程前段と同様にし
て放射線照射処理を行った。次いで、110℃で2分間
の露光後ベークを行い、引き続いて130℃で10分の
安定化処理を行った。ここで形成された屈折率パターン
についても、放射線照射部を「屈折率変化部」、放射線
未照射部を「屈折率未変化部」という。
【0232】上記のように形成した屈折率パターンにつ
いて、実施例1における工程および工程と同様にし
て屈折率、透明性を評価した。結果を表3に示す。さら
に、実施例1の工程と同様にして上記で形成した屈折
率パターンの安定性評価を実施した。結果を表3に示
す。
【0233】
【表3】
【0234】
【発明の効果】本発明の方法により形成された屈折率パ
ターンは、充分に大きな屈折率差を有し、しかも形成さ
れた屈折率差は光、熱に対して安定であることから、光
エレクトロニクスやディスプレイ分野に使用される光学
材料として極めて有用である。本発明の屈折率パターン
は、その他フォトアレイ、レンズ各種、フォトカプラ、
フォトインタラプタ、偏光ビームスプリッタ、ホログラ
ム、シングルモード/マルチモード等光ファイバ、バン
ドルファイバ、ライトガイド各種、単芯/多芯/光電気
結合等光コネクタ、光アイソレータ、偏光子、フォトダ
イオード/フォトトランジスタ/フォトIC/CCDイ
メージセンサ/CMOSイメージセンサ/光ファイバセ
ンサ、光ファイバジャイロ等光センサ各種、CD/LD
/PD/DVD等光ディスク各種、光スイッチ各種、導
波路、光学式タッチパネル、回折格子、導光板、光拡散
板、反射防止板、光学封止材等の光学材料に用いられ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G03H 1/02 G03H 1/02 // G03F 7/004 521 G03F 7/004 521 (72)発明者 熊野 厚司 東京都中央区築地二丁目11番24号 ジェイ エスアール株式会社内 (72)発明者 山田 憲司 東京都中央区築地二丁目11番24号 ジェイ エスアール株式会社内 Fターム(参考) 2H025 AA11 AB14 AC01 AC04 AC08 AD01 AD03 BH05 DA40 2H049 AA33 AA43 AA62 2K008 AA04 DD12 4J002 AB021 AC011 AC031 AC071 AC081 AC091 BB111 BB121 BB151 BB181 BB191 BB231 BC111 BC121 BD051 BD101 BD141 BE021 BF011 BG041 BG051 BG061 BG071 BG081 BG101 BG121 BL011 BP031 BQ001 CB001 CF001 CF061 CH021 CK021 CL011 CL031 CN021 CN031 CP031 DE067 DE087 DE097 DE147 EC076 ED026 ED056 EF066 EF106 EH096 EH126 EV046 EX036 GP00

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A)分解性化合物、(B)無機酸化物
    粒子を含有する非分解性成分および(C)感放射線分解
    剤を含有することを特徴とする感放射線性屈折率変化性
    組成物。
  2. 【請求項2】 (D)安定化剤をさらに含有する請求項
    1に記載の組成物。
  3. 【請求項3】 (B)成分の屈折率nBが(A)成分の
    屈折率nAと下記式(1) nB− nA≧0.05 ・・・・・ (1) の関係にある、請求項1または2に記載の組成物。
  4. 【請求項4】 (B)成分の屈折率nBが(A)成分の
    屈折率nAと下記式(2) nA−nB≧0.05 ・・・・・ (2) の関係にある、請求項1または2に記載の組成物。
  5. 【請求項5】 (A)分解性化合物が、一般式(1)〜
    (6)および(10)または(11)〜(14) 【化1】 (式(1)において、R1はアルキレン基、パーフロロ
    アルキレン基、アルキルシリレン基、アルキレンアリー
    レンアルキレン基またはアリーレン基でありそしてR2
    はアルキレン基、パーフロロアルキレン基、アルキレン
    アリーレンアルキレン基、アリーレン基、アルキルシリ
    レン基またはアルキルゲルミレン基であり、そして上記
    アルキレン基またはパーフロロアルキレン基は−O−、
    −CO−、−COO−または−OCOO−結合を含んで
    いてもよい。) 【化2】 (式(2)において、MはSiまたはGeであり、R3
    はアルキレン基、パーフロロアルキレン基、アルキレン
    アリーレンアルキレン基、アリーレン基、アルキルシリ
    レン基、アルキルゲルミレン基または単結合であり、R
    4は酸素原子、アルキレン基、パーフロロアルキレン
    基、アルキレンアリーレンアルキレン基、アリーレン
    基、アルキルシリレン基または単結合であり、R5
    6、R7およびR8はそれぞれ独立に水素原子、アルキ
    ル基、アリール基、アルコキシル基、チオアルキル基、
    アルコキシエステル基、パーフロロアルキル基、パーフ
    ロロアルコキシル基、パーフロロアルコキシエステル基
    またはパーフロロアリール基であり、そしてmは0から
    2までの整数であり、そして上記アルキレン基またはパ
    ーフロロアルキレン基は−O−、−CO−、−COO−
    または−OCOO−結合を含んでいてもよい。) 【化3】 (式(3)において、R9およびR10はそれぞれ独立
    に、アルキレン基、パーフロロアルキレン基、アルキレ
    ンアリーレンアルキレン基、アリーレン基、アルキルシ
    リレン基またはアルキルゲルミレン基であり、そして上
    記アルキレン基またはパーフロロアルキレン基は−O
    −、−CO−、−COO−または−OCOO−結合を含
    んでいてもよい。) 【化4】 (式(4)において、R11はオキシアルキレン基または
    単結合でありそしてR12は水素原子、アルキル基、アル
    コキシル基、アルコキシエステル基、パーフロロアルキ
    ル基、パーフロロアルコキシエステル基、パーフロロア
    リール基、アルキレンアリーレンアルキレン基またはア
    リール基である。) 【化5】 (式(5)において、R13は水素原子、アルキル基、ア
    ルコキシル基、アルコキシエステル基、パーフロロアル
    キル基、パーフロロアルコキシル基、パーフロロアルコ
    キシエステル基、パーフロロアリール基またはアリール
    基である。) 【化6】 (式(6)において、R14は、アルキレン基、下記式
    (7)、(8)、または(9)で表される構造であ
    る。) 【化7】 (式(7)において、R15、R16、R17およびR18は互
    いに独立に水素原子、炭素数1〜6の鎖状アルキル基、
    塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、水酸基、メルカプト
    基、カルボキシル基、炭素数1〜6のアルコキシル基、
    炭素数1〜6のアルキルチオ基、炭素数1〜6のハロゲ
    ン化アルキル基、炭素数1〜6のハロゲン化アルコキシ
    ル基、炭素数1〜6のハロゲン化アルキルチオ基、炭素
    数1〜6のヒドロキシアルキル基、炭素数1〜6のメル
    カプトアルキル基、炭素数1〜6のヒドロキシアルコキ
    シル基、炭素数1〜6のメルカプトアルキルチオ基、炭
    素数6〜10のアリール基または炭素数7〜11のアラ
    ルキル基である。) 【化8】 (式(8)において、R19はアルキレン基である。) 【化9】 (式(9)において、R20はアルキレン基である。) 【化10】 (式(10)において、R21はアルキレン基、アルキレ
    ンアリーレンアルキレン基、またはアリーレン基であ
    る。)また、塩基分解性化合物としては、下記式(1
    1)〜(14)のそれぞれで表される構造よりなる群か
    ら選ばれる少なくとも1つの構造を有する化合物を挙げ
    ることができる。これらの化合物は単独で、あるいは2
    種以上を一緒に用いることができる。 【化11】 (式(11)において、R22はアルキレン基、アラルキ
    レン基、またはアリーレン基であり、R23はアルキレン
    基、アラルキレン基、アリーレン基、アルキレンアリー
    レンアルキレン基、アルキルシリレン基、またはアルキ
    ルゲルミレン基であり、R24、R25、R26およびR27
    それぞれ独立して水素原子、アルキル基、アリール基、
    アルコキシル基またはチオアルキル基であり、iおよび
    jはそれぞれ独立に0または1である。) 【化12】 (式(12)において、R28はアルキレン基、アラルキ
    レン基またはアリーレン基であり、R29はアルキレン
    基、アラルキレン基、アリーレン基、アルキレンアリー
    レンアルキレン基、アルキルシリレン基またはアルキル
    ゲルミレン基である。) 【化13】 (式(13)において、R30およびR31はそれぞれ独立
    にアルキレン基、アラルキレン基、アリーレン基、アル
    キレンアリーレンアルキレン基、アルキルシリレン基、
    またはアルキルゲルミレン基である。) 【化14】 (式(14)において、R32およびR33はそれぞれ独立
    に、アルキレン基、アラルキレン基、アリーレン基、ア
    ルキレンアリーレンアルキレン基、アルキルシリレン
    基、またはアルキルゲルミレン基である。)のそれぞれ
    で表される構造よりなる群から選ばれる、少なくとも一
    つの構造を含有する化合物である請求項1〜4のいずれ
    かに記載の組成物。
  6. 【請求項6】 (B)成分が無機酸化物粒子とともにバ
    インダー成分を含有する請求項1〜5のいずれかに記載
    の組成物。
  7. 【請求項7】 請求項1または2に記載の感放射線性屈
    折率変化性組成物に放射線を照射することを特徴とする
    屈折率変化方法。
  8. 【請求項8】 請求項1または2に記載の感放射線性屈
    折率変化性組成物の一部に放射線を照射することを特徴
    とする屈折率パターン形成方法。
  9. 【請求項9】 請求項1に記載の感放射線性屈折率変化
    性組成物の一部に放射線を照射し、次いで(D)安定化
    剤で処理することを特徴とする屈折率パターンの形成方
    法。
  10. 【請求項10】 請求項2に記載の感放射線性屈折率変
    化性組成物の一部に放射線を照射し、次いで(D)安定
    化剤が(A)分解性化合物と反応し得る温度で処理する
    ことを特徴とする屈折率パターンの形成方法。
  11. 【請求項11】 放射線照射部と放射線未照射部の屈折
    率の最大差が0.02以上である、請求項8〜10のい
    ずれかに記載の屈折率パターン形成方法。
  12. 【請求項12】 請求項8〜11のいずれかに記載の方
    法で形成された屈折率パターン。
  13. 【請求項13】 請求項8〜11のいずれかに記載の方
    法で形成された光学材料。
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