JP2002333020A - 磁気軸受制御装置 - Google Patents
磁気軸受制御装置Info
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
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- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 変位信号のオフセット調整が容易で、且つ正
確な調整ができ、更に磁気軸受を用いたターボ分子ポン
プ等の場合は、コントローラとポンプ（磁気軸受）の組
合せが変わるたびにオフセットの再調整を行う必要がな
い磁気軸受制御装置を提供すること。 【解決手段】 オフセット調整回路１１を具備し、変位
センサの出力信号に基いて被浮上体を所定位置に浮上支
持するように磁気軸受の電磁石の励磁電流を制御するコ
ントローラ１７を具備する磁気軸受制御装置において、
コントローラ１７は第１の信号変換装置１、制御装置１
４及び第２の信号変換装置２を具備し、装置治具１３の
変位センサの出力信号を第１の信号変換装置１を介して
該制御装置１４に入力し、該制御装置１４は該第１の信
号変換装置１からの出力が目標値となるようにセンサ補
正値を生成し、該センサ補正値を第２の信号変換装置２
を介してオフセット調整回路１１に入力し、電気的ずれ
を調整するように構成されている。装置治具１３は被浮
上体の中心位置が変位センサ間の機械的隙間の中心位置
になるように固定した場合と同等な装置治具である。
確な調整ができ、更に磁気軸受を用いたターボ分子ポン
プ等の場合は、コントローラとポンプ（磁気軸受）の組
合せが変わるたびにオフセットの再調整を行う必要がな
い磁気軸受制御装置を提供すること。 【解決手段】 オフセット調整回路１１を具備し、変位
センサの出力信号に基いて被浮上体を所定位置に浮上支
持するように磁気軸受の電磁石の励磁電流を制御するコ
ントローラ１７を具備する磁気軸受制御装置において、
コントローラ１７は第１の信号変換装置１、制御装置１
４及び第２の信号変換装置２を具備し、装置治具１３の
変位センサの出力信号を第１の信号変換装置１を介して
該制御装置１４に入力し、該制御装置１４は該第１の信
号変換装置１からの出力が目標値となるようにセンサ補
正値を生成し、該センサ補正値を第２の信号変換装置２
を介してオフセット調整回路１１に入力し、電気的ずれ
を調整するように構成されている。装置治具１３は被浮
上体の中心位置が変位センサ間の機械的隙間の中心位置
になるように固定した場合と同等な装置治具である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電磁石の磁気吸引
力を利用して回転軸等の被浮上体を非接触で浮上支持す
る磁気軸受を制御する磁気軸受制御装置に関し、特に対
向して配置された変位センサ間に位置する被浮上体の機
械的浮上位置と変位センサの変位検出信号から得られる
電気的浮上位置にずれが発生した場合、該電気的浮上位
置が機械的浮上位置になるように電気的なずれを補正す
る変位センサのオフセット調整機能を有する磁気軸受制
御装置に関するものである。
力を利用して回転軸等の被浮上体を非接触で浮上支持す
る磁気軸受を制御する磁気軸受制御装置に関し、特に対
向して配置された変位センサ間に位置する被浮上体の機
械的浮上位置と変位センサの変位検出信号から得られる
電気的浮上位置にずれが発生した場合、該電気的浮上位
置が機械的浮上位置になるように電気的なずれを補正す
る変位センサのオフセット調整機能を有する磁気軸受制
御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気軸受は、回転軸等の被浮上体を非接
触で支持できる軸受であることから、例えばターボ分子
ポンプ等に用いて高速回転運動が可能となり、軸受の摩
耗という問題が生ぜず、又潤滑油等を必要としないので
メンテナンスフリーである等の種々の特徴を有してい
る。係る磁気軸受には、回転軸を半径方向に浮上位置制
御するラジアル能動磁気軸受、また回転軸を軸方向に浮
上位置制御するアキシャル能動磁気軸受等がある。これ
ら従来の磁気軸受を用いた磁気軸受制御装置の変位セン
サ部分の構成例を図１に示す。
触で支持できる軸受であることから、例えばターボ分子
ポンプ等に用いて高速回転運動が可能となり、軸受の摩
耗という問題が生ぜず、又潤滑油等を必要としないので
メンテナンスフリーである等の種々の特徴を有してい
る。係る磁気軸受には、回転軸を半径方向に浮上位置制
御するラジアル能動磁気軸受、また回転軸を軸方向に浮
上位置制御するアキシャル能動磁気軸受等がある。これ
ら従来の磁気軸受を用いた磁気軸受制御装置の変位セン
サ部分の構成例を図１に示す。
【０００３】図１において、３は回転軸等の被浮上体、
４は保護ベアリング（タッチダウンベアリング）、５
Ｐ、５Ｎは被浮上体３の浮上位置を検出する変位セン
サ、６Ｐ、６Ｎは変位センサ５Ｐ、５Ｎに巻かれたセン
サコイル、７は変位センサ５Ｐ、５Ｎに対向して被浮上
体３に設けられたセンサターゲット、８は交流信号源
（ＯＳＣ）、９はセンサブリッジ、１０は同期検波器、
１１はオフセット調整回路、１２は増幅器である。
４は保護ベアリング（タッチダウンベアリング）、５
Ｐ、５Ｎは被浮上体３の浮上位置を検出する変位セン
サ、６Ｐ、６Ｎは変位センサ５Ｐ、５Ｎに巻かれたセン
サコイル、７は変位センサ５Ｐ、５Ｎに対向して被浮上
体３に設けられたセンサターゲット、８は交流信号源
（ＯＳＣ）、９はセンサブリッジ、１０は同期検波器、
１１はオフセット調整回路、１２は増幅器である。
【０００４】被浮上体３の浮上位置は、対向して配置さ
れた変位センサ５Ｐ、５Ｎに巻かれたセンサコイル６
Ｐ、６Ｎに交流信号源８から交流信号を印加することに
より、センサターゲット７と変位センサ５Ｐ、５Ｎ間の
それぞれの距離ｇｓ’、ｇｓ”に応じてセンサコイル６
Ｐ、６Ｎに発生する信号をセンサブリッジ９と同期検波
器１０とによって変位信号に変換し、増幅器１２を通し
て変位信号（＋ＶＰ〜−ＶＮ）として検出される。被浮
上体３が変位センサ５Ｐ、５Ｎと接触することを防止す
るため通常保護ベアリング４に接触するように、被浮上
体３の中心からの保護ベアリング４、４までの距離をｇ
ｂ’、ｇｂ”とし、被浮上体３の中心からの変位センサ
５Ｐ、５Ｎまでの距離をｇｓ’、ｇｓ”とした場合、
（ｇｂ’＋ｇｂ”）＜（ｇｓ’＋ｇｓ”）となるように
構成されている。
れた変位センサ５Ｐ、５Ｎに巻かれたセンサコイル６
Ｐ、６Ｎに交流信号源８から交流信号を印加することに
より、センサターゲット７と変位センサ５Ｐ、５Ｎ間の
それぞれの距離ｇｓ’、ｇｓ”に応じてセンサコイル６
Ｐ、６Ｎに発生する信号をセンサブリッジ９と同期検波
器１０とによって変位信号に変換し、増幅器１２を通し
て変位信号（＋ＶＰ〜−ＶＮ）として検出される。被浮
上体３が変位センサ５Ｐ、５Ｎと接触することを防止す
るため通常保護ベアリング４に接触するように、被浮上
体３の中心からの保護ベアリング４、４までの距離をｇ
ｂ’、ｇｂ”とし、被浮上体３の中心からの変位センサ
５Ｐ、５Ｎまでの距離をｇｓ’、ｇｓ”とした場合、
（ｇｂ’＋ｇｂ”）＜（ｇｓ’＋ｇｓ”）となるように
構成されている。
【０００５】増幅器１２から出力される被浮上体３の中
心からの変位センサ５Ｐ、５Ｎまでの距離ｇｓ’、ｇ
ｓ”に相当する電気信号の中心位置｛（＋ＶＰ）＋（−
ＶＮ）＝０｝は、磁気軸受の構成が変わったり、センサ
コイル６Ｐ、６Ｎやセンサブリッジ９、同期検波器１
０、増幅器１２などのばらつきにより、必ずしも保護ベ
アリング４の内輪の内径の機械的中心（ｇｂ’＋ｇ
ｂ”）／２と一致しないのが一般的である。
心からの変位センサ５Ｐ、５Ｎまでの距離ｇｓ’、ｇ
ｓ”に相当する電気信号の中心位置｛（＋ＶＰ）＋（−
ＶＮ）＝０｝は、磁気軸受の構成が変わったり、センサ
コイル６Ｐ、６Ｎやセンサブリッジ９、同期検波器１
０、増幅器１２などのばらつきにより、必ずしも保護ベ
アリング４の内輪の内径の機械的中心（ｇｂ’＋ｇ
ｂ”）／２と一致しないのが一般的である。
【０００６】上記機械的中心位置と電気信号の中心位置
とを一致させるために、被浮上体３をＰ方向及びＮ方向
に保護ベアリング４に接触するところまで外力等により
移動させ、それぞれの方向に移動させたときの増幅器１
２からの電気的な変位信号の（＋ＶＰ）と（−ＶＮ）の
絶対値が同じになるようにオフセット調整回路１１によ
り調整を行って、浮上状態において機械的な隙間距離ｇ
ｂ’とｇｂ”とが等しくなるように対応させて電気的な
変位信号を調整していた。そしてこの調整された変位信
号を位相補正回路１８等を介して電磁石１９Ｐ、１９Ｎ
の励磁電流を制御している。
とを一致させるために、被浮上体３をＰ方向及びＮ方向
に保護ベアリング４に接触するところまで外力等により
移動させ、それぞれの方向に移動させたときの増幅器１
２からの電気的な変位信号の（＋ＶＰ）と（−ＶＮ）の
絶対値が同じになるようにオフセット調整回路１１によ
り調整を行って、浮上状態において機械的な隙間距離ｇ
ｂ’とｇｂ”とが等しくなるように対応させて電気的な
変位信号を調整していた。そしてこの調整された変位信
号を位相補正回路１８等を介して電磁石１９Ｐ、１９Ｎ
の励磁電流を制御している。
【０００７】上記のように手動での調整によるオフセッ
ト調整方法は、機械的中心位置を決定する保護ベアリン
グ４、４等のがたや被浮上体３の傾き状態、被浮上体３
を保護ベアリング４、４等まで接触するように移動させ
る外力等の強さによって被浮上体３の位置が変化し、正
確な調整が困難であった。また、磁気軸受の制御コント
ローラや被浮上体、或いは磁気軸受構成が変わる異機種
毎に手動で調整を行う必要があり、特に変位センサ数が
多い多軸制御の磁気軸受装置においては調整に多大な労
力を要していた。更に磁気軸受を用いたターボ分子ポン
プ等の場合は、磁気軸受のコントローラとポンプとの互
換性が求められるが、組合せが変わるたびにオフセット
の再調整を行う必要があり、互換性の障害となってい
た。
ト調整方法は、機械的中心位置を決定する保護ベアリン
グ４、４等のがたや被浮上体３の傾き状態、被浮上体３
を保護ベアリング４、４等まで接触するように移動させ
る外力等の強さによって被浮上体３の位置が変化し、正
確な調整が困難であった。また、磁気軸受の制御コント
ローラや被浮上体、或いは磁気軸受構成が変わる異機種
毎に手動で調整を行う必要があり、特に変位センサ数が
多い多軸制御の磁気軸受装置においては調整に多大な労
力を要していた。更に磁気軸受を用いたターボ分子ポン
プ等の場合は、磁気軸受のコントローラとポンプとの互
換性が求められるが、組合せが変わるたびにオフセット
の再調整を行う必要があり、互換性の障害となってい
た。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の点に鑑
みてなされたもので、変位信号のオフセット調整が容易
で、且つ正確な調整ができ、更に磁気軸受を用いたター
ボ分子ポンプ等の場合は、コントローラとポンプ（磁気
軸受）の組合せが変わるたびにオフセットの再調整を行
う必要がない磁気軸受制御装置を提供することを目的と
する。
みてなされたもので、変位信号のオフセット調整が容易
で、且つ正確な調整ができ、更に磁気軸受を用いたター
ボ分子ポンプ等の場合は、コントローラとポンプ（磁気
軸受）の組合せが変わるたびにオフセットの再調整を行
う必要がない磁気軸受制御装置を提供することを目的と
する。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載の発明は、被浮上体を磁気浮上支持する
少なくとも一対の電磁石、該被浮上体の浮上位置を検出
する少なくとも一対の変位センサとを具備する磁気軸受
を制御する磁気軸受制御装置であって、浮上体の変位セ
ンサ間の機械的位置と変位センサの出力信号により検出
した該被浮上体の電気的検出位置が一致するように電気
的ずれを補正するセンサオフセット調整回路を具備し、
変位センサの出力信号に基いて浮上体を所定位置に浮上
支持するように磁気軸受の電磁石の励磁電流を制御する
コントローラを具備する磁気軸受制御装置において、コ
ントローラは、該コントローラに被浮上体の中心位置が
変位センサ間の機械的隙間の中心位置になるように固定
した場合と同等な装置治具を接続し、変位センサの出力
信号の電気的ずれを検出し、該電気的ずれをセンサオフ
セット調整回路を介して調整するセンサオフセット調整
機能を具備することを特徴とする。
請求項１に記載の発明は、被浮上体を磁気浮上支持する
少なくとも一対の電磁石、該被浮上体の浮上位置を検出
する少なくとも一対の変位センサとを具備する磁気軸受
を制御する磁気軸受制御装置であって、浮上体の変位セ
ンサ間の機械的位置と変位センサの出力信号により検出
した該被浮上体の電気的検出位置が一致するように電気
的ずれを補正するセンサオフセット調整回路を具備し、
変位センサの出力信号に基いて浮上体を所定位置に浮上
支持するように磁気軸受の電磁石の励磁電流を制御する
コントローラを具備する磁気軸受制御装置において、コ
ントローラは、該コントローラに被浮上体の中心位置が
変位センサ間の機械的隙間の中心位置になるように固定
した場合と同等な装置治具を接続し、変位センサの出力
信号の電気的ずれを検出し、該電気的ずれをセンサオフ
セット調整回路を介して調整するセンサオフセット調整
機能を具備することを特徴とする。
【００１０】コントローラは上記のようなセンサオフセ
ット調整機能を具備するので、該コントローラに被浮上
体の中心位置が変位センサ間の機械的隙間の中心位置に
なるように固定した場合と同等な装置治具を接続し、変
位センサの出力信号の電気的ずれを検出し、該電気的ず
れをセンサオフセット調整回路を介して調整することが
でき、変位信号のオフセット調整が容易で、且つ正確な
調整ができる。常に変位センサ間の機械的隙間の中心位
置に被浮上体の中心が一致するように磁気浮上させるこ
とが可能になる。従って、従来のように手動による困難
なオフセット調整作業が不要となる。
ット調整機能を具備するので、該コントローラに被浮上
体の中心位置が変位センサ間の機械的隙間の中心位置に
なるように固定した場合と同等な装置治具を接続し、変
位センサの出力信号の電気的ずれを検出し、該電気的ず
れをセンサオフセット調整回路を介して調整することが
でき、変位信号のオフセット調整が容易で、且つ正確な
調整ができる。常に変位センサ間の機械的隙間の中心位
置に被浮上体の中心が一致するように磁気浮上させるこ
とが可能になる。従って、従来のように手動による困難
なオフセット調整作業が不要となる。
【００１１】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の磁気軸受制御装置において、コントローラは、第１の
信号変換装置、制御装置及び第２の信号変換装置を具備
し、装置治具の変位センサの出力信号を第１の信号変換
装置を介して該制御装置に入力し、該制御装置は該第１
の信号変換装置からの出力が目標値となるようにセンサ
補正値を生成し、該センサ補正値を第２の信号変換装置
を介してセンサオフセット調整回路に入力し、電気的ず
れを調整するように構成されていることを特徴とする。
の磁気軸受制御装置において、コントローラは、第１の
信号変換装置、制御装置及び第２の信号変換装置を具備
し、装置治具の変位センサの出力信号を第１の信号変換
装置を介して該制御装置に入力し、該制御装置は該第１
の信号変換装置からの出力が目標値となるようにセンサ
補正値を生成し、該センサ補正値を第２の信号変換装置
を介してセンサオフセット調整回路に入力し、電気的ず
れを調整するように構成されていることを特徴とする。
【００１２】上記のようにコントローラの制御装置は、
第１の信号変換装置からの出力が目標値となるようにセ
ンサ補正値を生成し、該センサ補正値を第２の信号変換
装置を介してセンサオフセット調整回路に入力し、電気
的ずれを調整するので、コントローラに装置治具を接続
し、簡単な操作をするだけで、変位信号のオフセット調
整を行うことができる。
第１の信号変換装置からの出力が目標値となるようにセ
ンサ補正値を生成し、該センサ補正値を第２の信号変換
装置を介してセンサオフセット調整回路に入力し、電気
的ずれを調整するので、コントローラに装置治具を接続
し、簡単な操作をするだけで、変位信号のオフセット調
整を行うことができる。
【００１３】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の磁気軸受制御装置において、コントローラは、記憶装
置を具備し、該単数或いは複数の磁気軸受に対するセン
サ補正値を該記憶装置に記憶し、被浮上体を磁気浮上さ
せるときに制御装置は該記憶装置に記憶された該センサ
補正値を読み出し、第２の信号変換装置及びセンサオフ
セット調整回路を介して電気的ずれを調整することを特
徴とする。
の磁気軸受制御装置において、コントローラは、記憶装
置を具備し、該単数或いは複数の磁気軸受に対するセン
サ補正値を該記憶装置に記憶し、被浮上体を磁気浮上さ
せるときに制御装置は該記憶装置に記憶された該センサ
補正値を読み出し、第２の信号変換装置及びセンサオフ
セット調整回路を介して電気的ずれを調整することを特
徴とする。
【００１４】上記のようにコントローラは、単数或いは
複数の磁気軸受に対するセンサ補正値を記憶装置に記憶
し、被浮上体を磁気浮上させるときに制御装置は該記憶
装置に記憶された該センサ補正値を読み出し、第２の信
号変換装置及びセンサオフセット調整回路を介して電気
的ずれを調整するので、一度コントローラに装置治具を
接続し、センサ補正値を得ておけば、自動的にオフセッ
ト調整が行われるのでオフセット調整が簡単となる。
複数の磁気軸受に対するセンサ補正値を記憶装置に記憶
し、被浮上体を磁気浮上させるときに制御装置は該記憶
装置に記憶された該センサ補正値を読み出し、第２の信
号変換装置及びセンサオフセット調整回路を介して電気
的ずれを調整するので、一度コントローラに装置治具を
接続し、センサ補正値を得ておけば、自動的にオフセッ
ト調整が行われるのでオフセット調整が簡単となる。
【００１５】請求項４に記載の発明は、請求項３に記載
の磁気軸受制御装置において、コントローラに、複数の
異なった磁気軸受の被浮上体の中心位置が変位センサ間
の機械的隙間の中心位置になるように固定した場合と同
等な装置治具を接続し、該異なる磁気軸受に対するセン
サ補正値を記憶装置に記憶し、コントローラにて浮上制
御せしめる磁気軸受が変わる時に、記憶装置から該磁気
軸受に相当するセンサ補正値を読み出し、第２の信号変
換装置及び前記センサオフセット調整回路を介して電気
的ずれを調整することを特徴とする。
の磁気軸受制御装置において、コントローラに、複数の
異なった磁気軸受の被浮上体の中心位置が変位センサ間
の機械的隙間の中心位置になるように固定した場合と同
等な装置治具を接続し、該異なる磁気軸受に対するセン
サ補正値を記憶装置に記憶し、コントローラにて浮上制
御せしめる磁気軸受が変わる時に、記憶装置から該磁気
軸受に相当するセンサ補正値を読み出し、第２の信号変
換装置及び前記センサオフセット調整回路を介して電気
的ずれを調整することを特徴とする。
【００１６】上記のようにコントローラは、異なる磁気
軸受に対するセンサ補正値を記憶装置に記憶し、コント
ローラにて浮上制御せしめる磁気軸受が変わる時に、記
憶装置から該磁気軸受に相当するセンサ補正値を読み出
し、第２の信号変換装置及び前記センサオフセット調整
回路を介して電気的ずれを調整するので、一度コントロ
ーラに装置治具を接続し、センサ補正値を得ておけば、
異なる磁気軸受であっても簡単にオフセット調整を行う
ことができる。
軸受に対するセンサ補正値を記憶装置に記憶し、コント
ローラにて浮上制御せしめる磁気軸受が変わる時に、記
憶装置から該磁気軸受に相当するセンサ補正値を読み出
し、第２の信号変換装置及び前記センサオフセット調整
回路を介して電気的ずれを調整するので、一度コントロ
ーラに装置治具を接続し、センサ補正値を得ておけば、
異なる磁気軸受であっても簡単にオフセット調整を行う
ことができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基いて説明する。図２は本発明に係る磁気軸受制御
装置のコントローラの構成例を示す図であり、本磁気軸
受制御装置は、１軸方向の磁気軸受を制御する磁気軸受
制御装置の構成例を示す。図２において、図１と同一符
号を付した部分は同一又は相当部分を示す。図２におい
て、１７は磁気軸受制御を行うコントローラであり、該
コントローラ１７は、第１の信号変換装置１、第２の信
号変換装置２、交流信号源（ＯＳＣ）８、センサブリッ
ジ９、同期検波器１０、オフセット調整回路１１、増幅
器１２、制御装置１４、不揮発性記憶装置（ＥＥＰＲＯ
Ｍ）１５及び操作パネル１６を具備する。
面に基いて説明する。図２は本発明に係る磁気軸受制御
装置のコントローラの構成例を示す図であり、本磁気軸
受制御装置は、１軸方向の磁気軸受を制御する磁気軸受
制御装置の構成例を示す。図２において、図１と同一符
号を付した部分は同一又は相当部分を示す。図２におい
て、１７は磁気軸受制御を行うコントローラであり、該
コントローラ１７は、第１の信号変換装置１、第２の信
号変換装置２、交流信号源（ＯＳＣ）８、センサブリッ
ジ９、同期検波器１０、オフセット調整回路１１、増幅
器１２、制御装置１４、不揮発性記憶装置（ＥＥＰＲＯ
Ｍ）１５及び操作パネル１６を具備する。
【００１８】磁気軸受制御を行うコントローラ１７に、
変位センサ５Ｐ、５Ｎを具備し、変位センサ５Ｐ、５Ｎ
間の機械的中心位置に被浮上体３をその中心が位置する
ように固定した場合と同等な装置治具１３を接続し、そ
のセンサ入力に相当する部分に交流信号源８より交流信
号が印加する。その結果、装置治具１３のセンサ出力に
相当する部分からの信号がセンサブリッジ９と同期検波
器１０により直流の変位信号に変換された後、増幅器１
２を通して変位信号（＋ＶＰ〜−ＶＮ）として出力され
る。この変位信号は第１の信号変換装置１により制御装
置１４に読み込まれる。装置治具１３により磁気軸受の
被浮上体３が変位センサ５Ｐ、５Ｎ間の機械的中心に位
置する場合を模擬されているので、その場合の変位信号
の電気的ずれを制御装置１４が判断することができる。
変位センサ５Ｐ、５Ｎを具備し、変位センサ５Ｐ、５Ｎ
間の機械的中心位置に被浮上体３をその中心が位置する
ように固定した場合と同等な装置治具１３を接続し、そ
のセンサ入力に相当する部分に交流信号源８より交流信
号が印加する。その結果、装置治具１３のセンサ出力に
相当する部分からの信号がセンサブリッジ９と同期検波
器１０により直流の変位信号に変換された後、増幅器１
２を通して変位信号（＋ＶＰ〜−ＶＮ）として出力され
る。この変位信号は第１の信号変換装置１により制御装
置１４に読み込まれる。装置治具１３により磁気軸受の
被浮上体３が変位センサ５Ｐ、５Ｎ間の機械的中心に位
置する場合を模擬されているので、その場合の変位信号
の電気的ずれを制御装置１４が判断することができる。
【００１９】その後、制御装置１４はこの電気的ずれに
相当する電気量を第２の信号変換装置２とオフセット調
整回路１１を通して増幅器１２に加算することにより変
位センサ５Ｐ、５Ｎの出力の補正を行うと共に、不揮発
性記憶装置１５にその補正するに必要な電気量に相当す
る情報を記憶する。また、第１の信号変換装置１はアナ
ログ電気量をデジタル電気量に変換するＡ／Ｄ変換回路
等を、第２の信号変換装置２はデジタル電気量をアナロ
グ電気量に変換するＤ／Ａ変換回路や電子ボリューム等
を用いて実現することができる。
相当する電気量を第２の信号変換装置２とオフセット調
整回路１１を通して増幅器１２に加算することにより変
位センサ５Ｐ、５Ｎの出力の補正を行うと共に、不揮発
性記憶装置１５にその補正するに必要な電気量に相当す
る情報を記憶する。また、第１の信号変換装置１はアナ
ログ電気量をデジタル電気量に変換するＡ／Ｄ変換回路
等を、第２の信号変換装置２はデジタル電気量をアナロ
グ電気量に変換するＤ／Ａ変換回路や電子ボリューム等
を用いて実現することができる。
【００２０】上記一連の調整方法は、操作パネル１６の
スイッチを押すことにより制御装置１４に指示が出さ
れ、自動的に開始される。調整終了後、実際の磁気軸受
装置を接続した場合、前記不揮発性記憶装置１５に記憶
した情報を制御装置１４が読み出し、変位信号に第２の
信号変換装置２とオフセット調整回路１１、増幅器１２
とを通して加算することにより被浮上体３が変位センサ
５Ｐ、５Ｎ間の機械的中心位置に磁気浮上するようにオ
フセット調整する。
スイッチを押すことにより制御装置１４に指示が出さ
れ、自動的に開始される。調整終了後、実際の磁気軸受
装置を接続した場合、前記不揮発性記憶装置１５に記憶
した情報を制御装置１４が読み出し、変位信号に第２の
信号変換装置２とオフセット調整回路１１、増幅器１２
とを通して加算することにより被浮上体３が変位センサ
５Ｐ、５Ｎ間の機械的中心位置に磁気浮上するようにオ
フセット調整する。
【００２１】複数の磁気軸受がある場合は、それぞれの
磁気軸受に対応する変位センサを具備する装置治具１３
を準備し、前記調整方法を繰り返してそれぞれの構成の
センサ補正情報を不揮発性記憶装置１５に記憶し、実際
の磁気軸受装置接続時に操作パネル１６によりその磁気
軸受に相当する補正値を選択して前記方法にて磁気浮上
補正を行ってもよい。
磁気軸受に対応する変位センサを具備する装置治具１３
を準備し、前記調整方法を繰り返してそれぞれの構成の
センサ補正情報を不揮発性記憶装置１５に記憶し、実際
の磁気軸受装置接続時に操作パネル１６によりその磁気
軸受に相当する補正値を選択して前記方法にて磁気浮上
補正を行ってもよい。
【００２２】なお、上記例では１軸方向のみの実施例に
ついて説明したが１軸以上の複数の制御軸を備える磁気
軸受装置に関して同様な方法を用いてもよいことは勿論
である。
ついて説明したが１軸以上の複数の制御軸を備える磁気
軸受装置に関して同様な方法を用いてもよいことは勿論
である。
【００２３】上記のように保護ベアリング４、４等（図
１参照）により決定される機械的中心位置と、変位セン
サ５Ｐ、５Ｎにより検出されるセンサ部分の電気回路構
成（センサブリッジ９、同期検波器１０等）におけるば
らつきを含んだ電気的な中心位置とを、磁気軸受に対し
て予め変位センサ５Ｐ、５Ｎとセンサターゲット７との
隙間を被浮上体３の中心位置になるように固定（変位セ
ンサ５Ｐ、５Ｎ間の機械的中心位置に被浮上体３の中心
が一致するように固定）した場合と同等となる装置治具
１３により、調整することにより、調整時の誤差を少な
くして一致させることができるから、常に上記機械的中
心位置に被浮上体３の中心が一致するように磁気浮上さ
せることが可能となる。
１参照）により決定される機械的中心位置と、変位セン
サ５Ｐ、５Ｎにより検出されるセンサ部分の電気回路構
成（センサブリッジ９、同期検波器１０等）におけるば
らつきを含んだ電気的な中心位置とを、磁気軸受に対し
て予め変位センサ５Ｐ、５Ｎとセンサターゲット７との
隙間を被浮上体３の中心位置になるように固定（変位セ
ンサ５Ｐ、５Ｎ間の機械的中心位置に被浮上体３の中心
が一致するように固定）した場合と同等となる装置治具
１３により、調整することにより、調整時の誤差を少な
くして一致させることができるから、常に上記機械的中
心位置に被浮上体３の中心が一致するように磁気浮上さ
せることが可能となる。
【００２４】また、磁気浮上制御を行うコントローラ１
７、或いは磁気軸受部分を含むターボ分子ポンプ等の相
互の組み合わせが変わった場合でも、装置治具１３に対
する変位センサの取付け位置と上記機械的中心位置を決
定する保護ベアリング４、４等の関係位置のずれは、一
般的には被浮上体３が磁気浮上している場合の機械的な
隙間に対して無視でき、被浮上体３を外力等によって移
動させて調整する従来方法と比べて誤差が少なく、略上
記機械的中心位置に被浮上体３を磁気浮上させることが
できる。
７、或いは磁気軸受部分を含むターボ分子ポンプ等の相
互の組み合わせが変わった場合でも、装置治具１３に対
する変位センサの取付け位置と上記機械的中心位置を決
定する保護ベアリング４、４等の関係位置のずれは、一
般的には被浮上体３が磁気浮上している場合の機械的な
隙間に対して無視でき、被浮上体３を外力等によって移
動させて調整する従来方法と比べて誤差が少なく、略上
記機械的中心位置に被浮上体３を磁気浮上させることが
できる。
【００２５】制御装置１４は、第１の信号変換装置１か
らの変位信号からセンサ補正値を検出して不揮発性記憶
装置１５に自動的に記憶し、この値を読み出してオフセ
ット調整回路１１を介して自動的にオフセット調整を行
うので、オフセット調整方法が簡素化される。
らの変位信号からセンサ補正値を検出して不揮発性記憶
装置１５に自動的に記憶し、この値を読み出してオフセ
ット調整回路１１を介して自動的にオフセット調整を行
うので、オフセット調整方法が簡素化される。
【００２６】更に、磁気軸受の構成が変わる場合は、各
軸受に対して予め変位センサとセンサターゲットとの隙
間を被浮上体の中心位置になるように固定した場合と同
等となる装置治具１３をコントローラ１７に接続し、制
御装置１４によりそれぞれ調整を行い、不揮発性記憶装
置１５にそのセンサ補正値を記憶し、該記憶されている
複数のセンサ補正値の中から該当する補正値を読み出
し、オフセット調整回路１１によりセンサ調整、即ちオ
フセット調整を自動的に行うことにより、どのような構
成の磁気軸受を具備する磁気軸受装置であっても上記機
械的中心位置に被浮上体の中心を一致させて磁気浮上さ
せることが可能となる。
軸受に対して予め変位センサとセンサターゲットとの隙
間を被浮上体の中心位置になるように固定した場合と同
等となる装置治具１３をコントローラ１７に接続し、制
御装置１４によりそれぞれ調整を行い、不揮発性記憶装
置１５にそのセンサ補正値を記憶し、該記憶されている
複数のセンサ補正値の中から該当する補正値を読み出
し、オフセット調整回路１１によりセンサ調整、即ちオ
フセット調整を自動的に行うことにより、どのような構
成の磁気軸受を具備する磁気軸受装置であっても上記機
械的中心位置に被浮上体の中心を一致させて磁気浮上さ
せることが可能となる。
【００２７】図３は装置治具１３の構成例を示す図であ
る。装置治具１３は被浮上体３を有し、該被浮上体３の
上下にラジアル方向の変位を検出する変位センサ５Ｐ−
１、５Ｎ−１及び５Ｐ−２、５Ｎ−２が配置されてい
る。上部の変位センサ５Ｐ−１、５Ｎ−１に対向して被
浮上体３にセンサターゲット７−１が設けられ、また下
部の変位センサ５Ｐ−２、５Ｎ−２に対向して被浮上体
３にセンサターゲット７−２が設けられている。また、
被浮上体３の下方にはアキシャル方向の変位を検出する
変位センサ５Ｎ−３が配置されている。
る。装置治具１３は被浮上体３を有し、該被浮上体３の
上下にラジアル方向の変位を検出する変位センサ５Ｐ−
１、５Ｎ−１及び５Ｐ−２、５Ｎ−２が配置されてい
る。上部の変位センサ５Ｐ−１、５Ｎ−１に対向して被
浮上体３にセンサターゲット７−１が設けられ、また下
部の変位センサ５Ｐ−２、５Ｎ−２に対向して被浮上体
３にセンサターゲット７−２が設けられている。また、
被浮上体３の下方にはアキシャル方向の変位を検出する
変位センサ５Ｎ−３が配置されている。
【００２８】２０は被浮上体３を固定するための固定具
で上下に２個ずつ配置されている。該固定具２０で被浮
上体３をその中心が変位センサ５Ｐ−１、５Ｎ−１間の
機械的中心位置及び変位センサ５Ｐ−２、５Ｎ−２間の
機械的中心位置に位置するように固定する。また、被浮
上体３の下端と変位センサ５Ｎ−３の距離は所定の値に
なる位置に固定している。これにより、装置治具１３は
複数の磁気軸受を有する磁気軸受装置の被浮上体３が変
位センサ５Ｐ−１、５Ｎ−１間の機械的中心位置及び変
位センサ５Ｐ−２、５Ｎ−２間の機械的中心位置にその
中心が位置するように固定した場合を模擬することにな
る。
で上下に２個ずつ配置されている。該固定具２０で被浮
上体３をその中心が変位センサ５Ｐ−１、５Ｎ−１間の
機械的中心位置及び変位センサ５Ｐ−２、５Ｎ−２間の
機械的中心位置に位置するように固定する。また、被浮
上体３の下端と変位センサ５Ｎ−３の距離は所定の値に
なる位置に固定している。これにより、装置治具１３は
複数の磁気軸受を有する磁気軸受装置の被浮上体３が変
位センサ５Ｐ−１、５Ｎ−１間の機械的中心位置及び変
位センサ５Ｐ−２、５Ｎ−２間の機械的中心位置にその
中心が位置するように固定した場合を模擬することにな
る。
【００２９】
【発明の効果】以上、説明したように各請求項に記載の
発明によれば、下記のような優れた効果が得られる。
発明によれば、下記のような優れた効果が得られる。
【００３０】請求項１に記載の発明によれば、コントロ
ーラはセンサオフセット調整機能を具備するので、該コ
ントローラに被浮上体の中心位置が変位センサ間の機械
的隙間の中心位置になるように固定した場合と同等な装
置治具を接続し、変位センサの出力信号の電気的ずれを
検出し、該電気的ずれをセンサオフセット調整回路を介
して調整することができ、変位信号のオフセット調整が
容易で、且つ正確な調整ができる。常に変位センサ間の
機械的隙間の中心位置に被浮上体の中心が一致するよう
に磁気浮上させることが可能になる。
ーラはセンサオフセット調整機能を具備するので、該コ
ントローラに被浮上体の中心位置が変位センサ間の機械
的隙間の中心位置になるように固定した場合と同等な装
置治具を接続し、変位センサの出力信号の電気的ずれを
検出し、該電気的ずれをセンサオフセット調整回路を介
して調整することができ、変位信号のオフセット調整が
容易で、且つ正確な調整ができる。常に変位センサ間の
機械的隙間の中心位置に被浮上体の中心が一致するよう
に磁気浮上させることが可能になる。
【００３１】請求項２に記載の発明によれば、コントロ
ーラの制御装置は、第１の信号変換装置からの出力が目
標値となるようにセンサ補正値を生成し、該センサ補正
値を第２の信号変換装置を介してセンサオフセット調整
回路に入力し、電気的ずれを調整するので、コントロー
ラに装置治具を接続し、簡単な操作をするだけで、変位
信号のオフセット調整を行うことができる。
ーラの制御装置は、第１の信号変換装置からの出力が目
標値となるようにセンサ補正値を生成し、該センサ補正
値を第２の信号変換装置を介してセンサオフセット調整
回路に入力し、電気的ずれを調整するので、コントロー
ラに装置治具を接続し、簡単な操作をするだけで、変位
信号のオフセット調整を行うことができる。
【００３２】請求項３に記載の発明によれば、コントロ
ーラは、単数或いは複数の磁気軸受に対するセンサ補正
値を記憶装置に記憶し、被浮上体を磁気浮上させるとき
に制御装置は該記憶装置に記憶された該センサ補正値を
読み出し、第２の信号変換装置及びセンサオフセット調
整回路を介して電気的ずれを調整するので、一度コント
ローラに装置治具を接続し、センサ補正値を得ておけ
ば、自動的にオフセット調整が行われるのでオフセット
調整が簡単となる。
ーラは、単数或いは複数の磁気軸受に対するセンサ補正
値を記憶装置に記憶し、被浮上体を磁気浮上させるとき
に制御装置は該記憶装置に記憶された該センサ補正値を
読み出し、第２の信号変換装置及びセンサオフセット調
整回路を介して電気的ずれを調整するので、一度コント
ローラに装置治具を接続し、センサ補正値を得ておけ
ば、自動的にオフセット調整が行われるのでオフセット
調整が簡単となる。
【００３３】請求項４に記載の発明によれば、コントロ
ーラは、異なる磁気軸受に対するセンサ補正値を記憶装
置に記憶し、コントローラにて浮上制御せしめる磁気軸
受が変わる時に、記憶装置から該磁気軸受に相当するセ
ンサ補正値を読み出し、第２の信号変換装置及び前記セ
ンサオフセット調整回路を介して電気的ずれを調整する
ので、一度コントローラに装置治具を接続し、センサ補
正値を得ておけば、異なる磁気軸受であっても簡単にオ
フセット調整を行うことができる。
ーラは、異なる磁気軸受に対するセンサ補正値を記憶装
置に記憶し、コントローラにて浮上制御せしめる磁気軸
受が変わる時に、記憶装置から該磁気軸受に相当するセ
ンサ補正値を読み出し、第２の信号変換装置及び前記セ
ンサオフセット調整回路を介して電気的ずれを調整する
ので、一度コントローラに装置治具を接続し、センサ補
正値を得ておけば、異なる磁気軸受であっても簡単にオ
フセット調整を行うことができる。
【図１】従来の磁気軸受制御装置の変位センサ部分の構
成例を示す図である。
成例を示す図である。
【図２】本発明に係る磁気軸受制御装置のコントローラ
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
【図３】本発明に係る磁気軸受制御装置のオフセット調
整に用いる装置治具の構成を示す図である。
整に用いる装置治具の構成を示す図である。
１ 第１の信号変換装置 ２ 第２の信号変換装置 ３ 被浮上体 ４ 保護ベアリング ５Ｐ 変位センサ ５Ｎ 変位センサ ６Ｐ センサコイル ６Ｎ センサコイル ７ センサターゲット ８ 交流信号源（ＯＳＣ） ９ センサブリッジ １０ 同期検波器 １１ オフセット調整回路 １２ 増幅器 １３ 装置治具 １４ 制御装置 １５ 不揮発性記憶装置（ＥＥＰＲＯＭ） １６ 操作バネル １７ コントローラ １８ 位相補正回路 １９Ｐ 電磁石 １９Ｎ 電磁石 ２０ 固定具
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桑山 宏 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原電産内 (72)発明者 遠藤 慎介 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原電産内 Ｆターム(参考） 3J102 AA01 BA05 DA09 DB05 DB24 DB37 GA06
Claims (4)
- 【請求項１】 被浮上体を磁気浮上支持する少なくとも
一対の電磁石、該被浮上体の浮上位置を検出する少なく
とも一対の変位センサとを具備する磁気軸受を制御する
磁気軸受制御装置であって、前記浮上体の前記変位セン
サ間の機械的位置と前記変位センサの出力信号により検
出した該被浮上体の電気的検出位置が一致するように電
気的ずれを補正するセンサオフセット調整回路を具備
し、前記変位センサの出力信号に基いて前記浮上体を所
定位置に浮上支持するように前記磁気軸受の電磁石の励
磁電流を制御するコントローラを具備する磁気軸受制御
装置において、 前記コントローラは、該コントローラに前記被浮上体の
中心位置が前記変位センサ間の機械的隙間の中心位置に
なるように固定した場合と同等な装置治具を接続し、前
記変位センサの出力信号の電気的ずれを検出し、該電気
的ずれを前記センサオフセット調整回路を介して調整す
るセンサオフセット調整機能を具備することを特徴とす
る磁気軸受制御装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の磁気軸受制御装置にお
いて、 前記コントローラは、第１の信号変換装置、制御装置、
及び第２の信号変換装置を具備し、前記装置治具の変位
センサの出力信号を第１の信号変換装置を介して該制御
装置に入力し、該制御装置は該第１の信号変換装置から
の出力が目標値となるようにセンサ補正値を生成し、該
センサ補正値を前記第２の信号変換装置を介して前記セ
ンサオフセット調整回路に入力し、前記電気的ずれを調
整するように構成されていることを特徴とする磁気軸受
制御装置。 - 【請求項３】 請求項２に記載の磁気軸受制御装置にお
いて、 前記コントローラは、記憶装置を具備し、該単数或いは
複数の磁気軸受に対する前記センサ補正値を該記憶装置
に記憶し、前記被浮上体を磁気浮上させるときに前記制
御装置は該記憶装置に記憶された該センサ補正値を読み
出し、前記第２の信号変換装置及び前記センサオフセッ
ト調整回路を介して前記電気的ずれを調整することを特
徴とする磁気軸受制御装置。 - 【請求項４】 請求項３に記載の磁気軸受制御装置にお
いて、 前記コントローラに、複数の異なった磁気軸受の前記被
浮上体の中心位置が前記変位センサ間の機械的隙間の中
心位置になるように固定した場合と同等な装置治具を接
続し、該異なる磁気軸受に対する前記センサ補正値を前
記記憶装置に記憶し、前記コントローラにて浮上制御せ
しめる磁気軸受が変わる時に、前記記憶装置から該磁気
軸受に相当するセンサ補正値を読み出し、前記第２の信
号変換装置及び前記センサオフセット調整回路を介して
前記電気的ずれを調整することを特徴とする磁気軸受制
御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001140006A JP2002333020A (ja) | 2001-05-10 | 2001-05-10 | 磁気軸受制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001140006A JP2002333020A (ja) | 2001-05-10 | 2001-05-10 | 磁気軸受制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002333020A true JP2002333020A (ja) | 2002-11-22 |
Family
ID=18986688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001140006A Pending JP2002333020A (ja) | 2001-05-10 | 2001-05-10 | 磁気軸受制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002333020A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006029453A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Koyo Seiko Co Ltd | 磁気軸受装置 |
| WO2006028319A1 (en) * | 2004-09-10 | 2006-03-16 | Korea Institute Of Machinery And Materials | Levitation control apparatus for magnetic levitation train |
| CN102425555A (zh) * | 2011-11-11 | 2012-04-25 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 一种获取磁悬浮分子泵转子径向悬浮中心的方法 |
| CN103939485A (zh) * | 2013-10-30 | 2014-07-23 | 南京航空航天大学 | 带有位移传感器自动标定功能的磁悬浮轴承数字控制器 |
| CN109538630A (zh) * | 2018-12-03 | 2019-03-29 | 珠海格力电器股份有限公司 | 电机磁悬浮轴承控制装置、控制方法、电机及压缩机 |
| CN113217540A (zh) * | 2021-06-08 | 2021-08-06 | 北京泓慧国际能源技术发展有限公司 | 磁轴承轴向悬浮位置自校正系统和方法 |
| CN114962453A (zh) * | 2022-05-27 | 2022-08-30 | 北京航空航天大学 | 磁悬浮转子位移信号的反馈调节电路及磁悬浮设备 |
-
2001
- 2001-05-10 JP JP2001140006A patent/JP2002333020A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006029453A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Koyo Seiko Co Ltd | 磁気軸受装置 |
| WO2006028319A1 (en) * | 2004-09-10 | 2006-03-16 | Korea Institute Of Machinery And Materials | Levitation control apparatus for magnetic levitation train |
| KR100626335B1 (ko) * | 2004-09-10 | 2006-09-20 | 한국기계연구원 | 자기부상열차의 부상제어장치 |
| CN102425555A (zh) * | 2011-11-11 | 2012-04-25 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 一种获取磁悬浮分子泵转子径向悬浮中心的方法 |
| CN103939485A (zh) * | 2013-10-30 | 2014-07-23 | 南京航空航天大学 | 带有位移传感器自动标定功能的磁悬浮轴承数字控制器 |
| CN103939485B (zh) * | 2013-10-30 | 2017-02-01 | 南京航空航天大学 | 带有位移传感器自动标定功能的磁悬浮轴承数字控制器 |
| CN109538630A (zh) * | 2018-12-03 | 2019-03-29 | 珠海格力电器股份有限公司 | 电机磁悬浮轴承控制装置、控制方法、电机及压缩机 |
| CN113217540A (zh) * | 2021-06-08 | 2021-08-06 | 北京泓慧国际能源技术发展有限公司 | 磁轴承轴向悬浮位置自校正系统和方法 |
| CN113217540B (zh) * | 2021-06-08 | 2023-01-03 | 北京泓慧国际能源技术发展有限公司 | 磁轴承轴向悬浮位置自校正系统和方法 |
| CN114962453A (zh) * | 2022-05-27 | 2022-08-30 | 北京航空航天大学 | 磁悬浮转子位移信号的反馈调节电路及磁悬浮设备 |
| CN114962453B (zh) * | 2022-05-27 | 2023-01-31 | 北京航空航天大学 | 磁悬浮转子位移信号的反馈调节电路及磁悬浮设备 |
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