JP2002329951A - Mounting substrate coating equipment and coating method - Google Patents

Mounting substrate coating equipment and coating method

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JP2002329951A
JP2002329951A JP2001134852A JP2001134852A JP2002329951A JP 2002329951 A JP2002329951 A JP 2002329951A JP 2001134852 A JP2001134852 A JP 2001134852A JP 2001134852 A JP2001134852 A JP 2001134852A JP 2002329951 A JP2002329951 A JP 2002329951A
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coating
mounting substrate
liquid
tank
coating liquid
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Kei Okubo
絅 大久保
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NAKA LIQUID CONTROL KK
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide mounting substrate coating equipment or a coating method which are suitable for using silicon liquid as coating agent which has intrinsic physical properties such as compressibility and gas absorption. SOLUTION: The mounting substrate coating equipment is provided with a coating liquid tank, a jetting part and a liquid sending means. The jetting part is equipped with an on-off valve, and the jetting of coating liquid against a surface of the mounting substrate is controlled by an on/off operation of the valve. The liquid sending means constitutes a liquid sending system in which a free drop liquid sending using a height difference and an open system pressurized liquid sending interlocked with the coating liquid jetting by opening the valve in the jetting part are combined.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、実装基板に防湿絶縁用
のコーティング液をコーティングする装置及びコーティ
ング方法に関する。より詳細には、本発明は該コーティ
ング液としてシリコン液の使用に適した実装基板コーテ
ィング装置及びコーティング方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus and a method for coating a mounting substrate with a coating solution for moisture-proof insulation. More particularly, the present invention relates to a mounting substrate coating apparatus and a coating method suitable for using a silicon liquid as the coating liquid.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体、各種電子部品またはコネクター
等を搭載した実装基板は、それら各種部品を湿気や漏電
等から守るために従来より防湿絶縁剤による被覆処理が
行われており、かかる防湿絶縁剤としてはウレタン樹脂
が広く使用されている。しかしながら、近年では実装基
板に耐熱性が要求されるようになり、ウレタン樹脂では
かかる要求に充分対応できないという問題がある。さら
に溶剤系樹脂を使用する場合は、人体や環境に対する悪
影響からその使用や廃棄には充分注意する必要がある。
2. Description of the Related Art A mounting board on which a semiconductor, various electronic parts or connectors are mounted has been conventionally coated with a moisture-proof insulating agent in order to protect the various parts from moisture, electric leakage and the like. As such, urethane resins are widely used. However, in recent years, heat resistance has been required of the mounting substrate, and there is a problem that urethane resin cannot sufficiently meet such a requirement. Furthermore, when using a solvent-based resin, it is necessary to pay close attention to its use and disposal because of its adverse effects on the human body and the environment.

【0003】ところで、実装基板には、上記防湿・絶縁
処理しなくてはならない部品がある反面、放熱フィンや
コネクターのように、防湿・絶縁処理をしてはいけない
部品も搭載されており、防湿絶縁剤によるコーティング
はこれらの部品を避けて選択的に行う必要がある。コー
ティング方法としては、噴霧塗布、刷毛塗り、1本ノズ
ルによる塗布等があるが、噴霧塗布は防湿絶縁剤が飛散
しやすいため、搭載部品の選択的被覆には適しておら
ず、刷毛塗りや1本ノズルによる塗布は選択性には優れ
るものの効率が悪く大量処理に不適切であるという欠点
がある。そこで、最近ではフラットパターンノズル(特
開昭62−154794号公報)を利用して、該ノズル
の移動軌跡をロボットで描かせる等の工夫がされてい
る。
[0003] By the way, on the mounting board, there are parts which must be subjected to the above-mentioned moisture proof and insulating treatment, but on the other hand, parts such as radiation fins and connectors which must not be subjected to the moisture proof and insulating treatment are mounted. Coating with an insulating material must be performed selectively avoiding these components. Examples of the coating method include spray coating, brush coating, and coating with a single nozzle. However, spray coating is not suitable for selective coating of mounted components because the moisture-proof insulating agent is easily scattered. The coating by this nozzle is excellent in selectivity, but has a drawback that it is inefficient and unsuitable for mass processing. Therefore, recently, a flat pattern nozzle (Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-154794) has been used to draw a locus of movement of the nozzle by a robot.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ウレタン樹脂より耐熱
性のある樹脂としてはシリコンが挙げられる。またシリ
コンは無溶剤系樹脂であるため、環境に優しく、また安
全で衛生的であるという長所がある。しかしながら、シ
リコン液を用いた実装基板のコーティングには、(1)シ
リコンが有する圧縮性によって、加圧下で送液された場
合に吐出口で急激に膨化して飛散する可能性がある、
(2)シリコンが有するガス吸収性によって、特に陰圧下
でガスを内部に抱き込みやすい、(3)基板コーティング
用シリコンは不溶性の添加剤を多く含むため、装置の機
構部に摩耗等の損傷を与えやすい、(4)シリコンは湿気
硬化反応性樹脂であるため、湿気存在下で液表面に被膜
(スラグ)が形成される、というシリコン固有の物性に
基づく種々の問題がある。このため、従来、特にシリコ
ン液を用いたコーティングの自動化や多量処理化は困難
であった。
As a resin having higher heat resistance than urethane resin, silicon can be cited. In addition, since silicon is a solventless resin, it has the advantages of being environmentally friendly, safe and sanitary. However, the coating of the mounting substrate using the silicon liquid has a possibility that (1) due to the compressibility of silicon, when the liquid is sent under pressure, the liquid may be rapidly expanded at the discharge port and scattered.
(2) Due to the gas absorbency of silicon, it is easy to embrace the gas inside, especially under negative pressure. (3) Silicon for substrate coating contains a large amount of insoluble additives, so damage to the mechanism of the device such as wear may occur. (4) Since silicon is a moisture-curing reactive resin, there are various problems based on the inherent properties of silicon that a film (slag) is formed on the liquid surface in the presence of moisture. For this reason, conventionally, it has been difficult to automate or mass-process the coating, particularly using a silicon liquid.

【0005】そこで、本発明の第1の目的は、シリコン
固有の物性に起因する上記問題を解消してシリコンをコ
ーティング剤として使用することのできるコーティング
装置またはコーティング方法を提供することである。言
い換えれば、本発明の第1の目的はシリコンの物性を考
慮して、該シリコンの物性に適したコーティング装置、
並びにコーティング方法を提供することである。
Therefore, a first object of the present invention is to provide a coating apparatus or a coating method which can solve the above-mentioned problems caused by the physical properties inherent to silicon and can use silicon as a coating agent. In other words, a first object of the present invention is to consider a physical property of silicon, and a coating apparatus suitable for the physical property of the silicon.
As well as providing a coating method.

【0006】さらに本発明の第2の目的は、シリコンに
適した実装基板のコーティング装置並びにコーティング
方法において、生産性が高く効率的に基板をコーティン
グするためのコーティング装置並びにコーティング方法
を提供することである。
A second object of the present invention is to provide a coating apparatus and a coating method for coating a substrate with high productivity and efficiency in a coating apparatus and a coating method for a mounting substrate suitable for silicon. is there.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決すべく種々検討していたところ、シリコン液の送
液手段として、重力を利用した送液(高低差を利用した
自由落下送液)と開放下での加圧送液とを組み合わせる
ことによって、圧力負荷を抑えた状態でシリコン液を吐
出口に送液でき、これによってシリコン液の圧縮性に起
因する吐出時の不都合やガス吸収性による気体の抱き込
み現象が解消できることを見出し、これによりシリコン
液をコーティング剤とする実装基板コーティングが自動
化できることを確認した。さらに特定構造の仕切板を設
けた連続槽を用いてコーティング液を送液することによ
り、シリコン液から夾雑物が簡単に除去でき、コーティ
ング装置への信頼性が確保できること、並びにコーティ
ングを乾燥条件下または窒素ガス置換条件下で行うこと
によって、コーティング時における液表面被膜化が回避
できること等を見出した。
The present inventors have made various studies to solve the above-mentioned problems, and as a means for sending a silicon liquid, a liquid sending method using gravity (free fall using a height difference). Combination of the liquid supply and the pressurized liquid supply under the open state enables the silicon liquid to be supplied to the discharge port with a reduced pressure load, thereby causing inconvenient discharge and gas due to the compressibility of the silicon liquid. It was found that the phenomenon of gas entrapment due to absorptivity could be eliminated, and it was confirmed that the mounting substrate coating using a silicon liquid as a coating agent could be automated. In addition, by sending the coating liquid using a continuous tank provided with a partition plate with a specific structure, impurities can be easily removed from the silicon liquid, reliability of the coating device can be ensured, and the coating can be dried under dry conditions. Alternatively, it has been found that the formation of a liquid surface at the time of coating can be avoided by performing the process under a nitrogen gas replacement condition.

【0008】さらに本発明者らは、かかる知見に基づい
て、さらに第2の目的である生産性の高いコーティング
方法および装置の開発を目指して検討していたところ、
コーティング法として、実装基板の裏面には浸漬法を、
また部品搭載面である表面には部品に選択的に塗布でき
るノズル吐出法を採用し、しかもこれを同時に行うこと
により速やかにコーティング処理できること、さらに複
数のノズルを用いた選択的塗布方法によって、高率化及
び多量生産化が可能となることを見出した。
Further, based on such knowledge, the present inventors have studied for the purpose of developing a coating method and an apparatus having high productivity, which is a second object.
As a coating method, dipping method on the back of the mounting board,
In addition, a nozzle discharge method that can selectively apply to the component is adopted for the surface that is the component mounting surface, and the coating process can be performed quickly by performing this process simultaneously. In addition, the selective application method using multiple nozzles enables high efficiency. It has been found that efficiency and mass production are possible.

【0009】本発明は、これらの知見に基づいて開発さ
れたものである。すなわち、本発明は、下記項1〜11
に掲げる、シリコン液をコーティング液として使用する
ことのできる実装基板のコーティング装置である: 項1.実装基板の裏面にコーティング液を浸漬塗布する
コーティング液槽、実装基板の表面にコーティング液を
吐出塗布する吐出部、及び上記コーティング液槽から吐
出部にコーティング液を送液する送液手段を有する実装
基板コーティング装置であって、 ・吐出部は開閉弁を備え、該弁の開閉によりコーティン
グ液の吐出が制御されており、 ・送液手段は、高低差を利用した自由落下送液と、上記
吐出部の開閉弁開放によるコーティング液吐出に連動し
た開放系加圧送液とを組み合わせた送液システムからな
ることを特徴とする実装基板コーティング装置。 項2.吐出部がコーティング液槽の上方に配設され、該
吐出部とコーティング液槽との間に、実装基板を配置し
該位置でコーティングすることによって、コーティング
液が循環送液できるように構成されてなる項1記載の実
装基板コーティング装置。 項3.吐出部とコーティング液槽との間に配置された実
装基板に対して、吐出部からのコーティング液吐出によ
る表面コーティングとコーティング液槽への浸漬による
裏面コーティングとを同時に行うように構成されてなる
項1または2に記載の実装基板コーティング装置。 項4.吐出部が複数の吐出ノズルを備えてなり、各吐出
ノズルが、実装基板表面に搭載された部品位置に対応し
て、選択的にコーティング液を吐出塗布できるように制
御されてなることを特徴とする項1乃至3のいずれかに
記載の実装基板コーティング装置。 項5.コーティング液槽が実装基板浸漬槽を含む少なく
とも3槽の順次低水位連続槽からなるものであって、実
装基板浸漬槽と次下流槽とは該浸漬槽から溢れたコーテ
ィング液が堰を超えて次下流槽に落下流入するように堰
によって仕切られ、最下流槽と最下流前槽とは下方部が
開口した仕切板で仕切られて該下方部開口部を通じてコ
ーティング液が最下流前槽から最下流槽に流入するよう
に構成され、さらに最下流槽には、上記連続槽の水位が
順次低くなるように流出口が設けられてなるものであ
る、項1乃至4のいずれかに記載の実装基板コーティン
グ装置。 項6.さらに、実装基板搬送手段と上下駆動手段を有
し、実装基板搬送手段によって実装基板は吐出部とコー
ティング液槽の実装基板浸漬槽との間のコーティング位
置に移動配置され、上下駆動手段でコーティング液槽を
上昇させることによって、上記コーティング位置に配置
された実装基板の裏面を実装基板浸漬槽のコーティング
液に浸漬させて実装基板の裏面塗布を行うように構成さ
れてなる、項1乃至5のいずれかに記載の実装基板コー
ティング装置。 項7.実装基板の裏面浸漬塗布後、該裏面が実装基板浸
漬槽のコーティング液に浸漬したままで該実装基板を実
装基板搬送手段によって進行方向に水平移動させ、次い
で上下駆動手段によってコーティング液槽を降下させて
裏面をコーティング液から脱着させ、さらに実装基板搬
送手段によって該実装基板を進行方向に水平移動させて
次の実装基板をコーティング位置に配置させるように構
成されてなる項6記載の実装基板コーティング装置。 項8.さらにコーティングした実装基板から、余剰コー
ティング液を除去する手段を備える項1乃至7のいずれ
かに記載の実装基板コーティング装置。 項9.コーティング工程が、乾燥条件下または窒素ガス
置換条件下で行われるように構成されてなる項1乃至8
のいずれかに記載の実装基板コーティング装置。 項10.コーティング工程部に加えて硬化反応部を備え
た実装基板コーティング装置であって、硬化反応が高湿
度下で行われるように設定されてなる項1乃至9のいず
れかに記載の実装基板コーティング装置。 項11.コーティング液としてシリコン液を用いる、項
1乃至10のいずれかに記載の実装基板コーティング装
置。
The present invention has been developed based on these findings. That is, the present invention provides the following items 1 to 11
Item 1 is a coating apparatus for a mounting substrate that can use a silicon liquid as a coating liquid. A mounting having a coating liquid tank for dip-coating the coating liquid on the back surface of the mounting substrate, a discharge unit for discharging and applying the coating liquid on the surface of the mounting substrate, and a liquid sending unit for sending the coating liquid from the coating liquid tank to the discharge unit. A substrate coating apparatus, wherein the discharge unit is provided with an on-off valve, and the discharge of the coating liquid is controlled by opening and closing the valve. A mounting substrate coating apparatus characterized by comprising a liquid supply system combining an open system pressure liquid supply interlocked with a coating liquid discharge by opening and closing an opening / closing valve of a part. Item 2. The discharge unit is disposed above the coating liquid tank, and the mounting substrate is disposed between the discharge unit and the coating liquid tank and coating is performed at this position, so that the coating liquid can be circulated and sent. Item 4. The mounting substrate coating apparatus according to Item 1. Item 3. An item configured to simultaneously perform front surface coating by discharging the coating liquid from the discharge part and back surface coating by immersion in the coating liquid tank with respect to the mounting substrate disposed between the discharge part and the coating liquid tank. 3. The mounting substrate coating apparatus according to 1 or 2. Item 4. The discharge unit includes a plurality of discharge nozzles, and each discharge nozzle is controlled so as to selectively discharge and apply a coating liquid in accordance with a position of a component mounted on a mounting board surface. Item 4. The mounting substrate coating apparatus according to any one of Items 1 to 3. Item 5. The coating liquid tank is composed of at least three successive low-water tanks including a mounting substrate immersion tank. It is partitioned by a weir so that it falls into the downstream tank, and the most downstream tank and the most downstream front tank are separated by a partition plate whose lower part is opened. Item 5. The mounting substrate according to any one of Items 1 to 4, wherein the mounting substrate is configured to flow into the tank, and further provided with an outlet in the most downstream tank so that the water level of the continuous tank is gradually lowered. Coating equipment. Item 6. Further, it has a mounting substrate transport means and a vertical driving means, and the mounting substrate is moved to the coating position between the discharge portion and the mounting substrate immersion tank of the coating liquid tank by the mounting substrate transport means, and the coating liquid is moved by the vertical driving means. Item 1 to Item 5 wherein, by raising the bath, the back surface of the mounting substrate arranged at the coating position is immersed in the coating liquid of the mounting substrate immersion bath to apply the back surface of the mounting substrate. A mounting substrate coating apparatus according to any one of the above. Item 7. After immersion coating of the back surface of the mounting substrate, the mounting substrate is horizontally moved in the traveling direction by the mounting substrate transfer means while the back surface is immersed in the coating liquid of the mounting substrate immersion tank, and then the coating liquid tank is lowered by the vertical driving means. Item 7. The mounting substrate coating apparatus according to Item 6, wherein the back surface is detached from the coating liquid, and the mounting substrate is horizontally moved in the advancing direction by the mounting substrate transport means to arrange the next mounting substrate at the coating position. . Item 8. Item 8. The mounting substrate coating apparatus according to any one of Items 1 to 7, further comprising a unit for removing an excess coating solution from the coated mounting substrate. Item 9. Items 1 to 8 wherein the coating step is performed under dry conditions or nitrogen gas replacement conditions.
The mounting substrate coating apparatus according to any one of the above. Item 10. Item 10. The mounting substrate coating apparatus according to any one of Items 1 to 9, wherein the mounting substrate coating apparatus includes a curing reaction section in addition to the coating process section, wherein the setting is such that the curing reaction is performed under high humidity. Item 11. Item 11. The mounting substrate coating apparatus according to any one of Items 1 to 10, wherein a silicon liquid is used as the coating liquid.

【0010】なお、上記本発明の実装基板コーティング
装置は、シリコン液をコーティング液として使用するの
に適した装置であるが、コーティング液は特にこれに限
定されることなく、ウレタン樹脂を始めとして実装基板
のコーティングに使用される防湿絶縁剤を広く使用する
ことができる。
The mounting substrate coating apparatus of the present invention is an apparatus suitable for using a silicon liquid as a coating liquid. However, the coating liquid is not particularly limited to this, and the coating liquid may be formed of a urethane resin or the like. A wide variety of moisture-proof insulating agents used for coating a substrate can be used.

【0011】さらに本発明は、下記項12〜17に掲げ
る実装基板のコーティング方法である。尚、当該コーテ
ィング方法は、コーティング液でコーティングされてな
る実装基板の製造方法として言い換えることもできる。 項12.上記項1乃至11のいずれかに記載の装置を用
いて実装基板をコーティング液でコーティングする工程
を有する実装基板のコーティング方法。 項13.ノズルを用いてコーティング液を実装基板表面
に吐出塗布する工程を含む実装基板のコーティング方法
であって、コーティング液のノズル吐出口への送液を重
力を利用した自由落下送液と開放系加圧送液とを組み合
わせて行うことを特徴とする、実装基板のコーティング
方法。 項14.実装基板の裏面をコーティング液槽に浸漬する
工程と実装基板の表面をコーティング液で吐出塗布する
工程を含む実装基板のコーティング方法であって、実装
基板の表面塗布を複数のノズルを用いた選択的コーティ
ングによって行うことを特徴とする項13に記載の実装
基板のコーティング方法。 項15.実装基板の裏面をコーティング液槽中のコーテ
ィング液に浸漬すると同時に、吐出部を用いて実装基板
の表面を選択的にコーティングする第一工程、実装基板
をその裏面が浸漬槽のコーティング液に浸漬した状態で
移動方向に水平移動させる第二工程、実装基板を浸漬槽
のコーティング液から脱着させる第三工程を有する、請
求項13または14のいずれかに記載の実装基板のコー
ティング方法。 項16.実装基板へのコーティング液のコーティングを
乾燥条件下または窒素ガス置換条件下で行い、次いでコ
ーティングした実装基板を高湿度条件下に置くことによ
ってコーティング液を硬化させることを特徴とする請求
項12乃至15のいずれかに記載の実装基板のコーティ
ング方法。 項17.コーティング液としてシリコン液を用いる、項
12至16のいずれかに記載の実装基板のコーティング
方法。
Further, the present invention is a method for coating a mounting substrate described in the following items 12 to 17. In addition, the coating method can be paraphrased as a method of manufacturing a mounting substrate coated with a coating liquid. Item 12. Item 12. A method for coating a mounting substrate, comprising a step of coating the mounting substrate with a coating liquid using the apparatus according to any one of the above items 1 to 11. Item 13. A method for coating a mounting substrate, comprising a step of discharging and applying a coating liquid onto a mounting substrate surface using a nozzle, wherein the coating liquid is supplied to a nozzle discharge port by free-fall liquid feeding using gravity and open system pressure feeding. A method for coating a mounting substrate, wherein the method is performed in combination with a liquid. Item 14. A method for coating a mounting substrate, comprising a step of dipping the back surface of the mounting substrate in a coating liquid tank and a step of discharging and applying the surface of the mounting substrate with a coating liquid, wherein the surface application of the mounting substrate is selectively performed using a plurality of nozzles. Item 14. The method for coating a mounting substrate according to Item 13, wherein the method is performed by coating. Item 15. The first step of immersing the back surface of the mounting substrate in the coating liquid in the coating liquid tank and simultaneously coating the surface of the mounting substrate selectively using the discharge unit, the back surface of the mounting substrate was immersed in the coating liquid of the immersion tank. The method for coating a mounting substrate according to claim 13, further comprising a second step of horizontally moving the mounting substrate in the moving direction in the state, and a third step of detaching the mounting substrate from the coating liquid in the immersion tank. Item 16. The coating liquid is applied to the mounting substrate under a dry condition or a nitrogen gas replacement condition, and then the coated liquid is cured by placing the coated mounting substrate under a high humidity condition. The method for coating a mounting board according to any one of the above. Item 17. Item 17. The method for coating a mounting substrate according to any one of Items 12 to 16, wherein a silicon liquid is used as the coating liquid.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】本発明において、実装基板の裏面
は、浸漬法により、また各種の部品が搭載された表面は
選択塗布可能なようにノズル吐出法によってコーティン
グされる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the present invention, the back surface of a mounting substrate is coated by a dipping method, and the surface on which various components are mounted is coated by a nozzle discharge method so as to be selectively coated.

【0013】本発明の実装基板コーティング装置は、シ
リコン液をコーティング剤として用いるのに適している
点を特徴とする。すなわち、本発明の装置はシリコン液
の物性に適した送液手段及び吐出部を備えることを特徴
とする実装基板コーティング装置である。
[0013] The mounting substrate coating apparatus of the present invention is characterized in that it is suitable for using a silicon liquid as a coating agent. That is, the apparatus of the present invention is a mounting substrate coating apparatus including a liquid sending unit and a discharge unit suitable for the physical properties of the silicon liquid.

【0014】なお、以下の明細書の記載においてコーテ
ィング液をシリコン液といいかえることもでできる。
[0014] In the following description, the coating liquid may be referred to as a silicon liquid.

【0015】具体的には、送液手段は、重力(高低差)
を利用した自由落下送液と開放系加圧送液とを組み合わ
せて構成され、これによってコーティング液の送液にあ
たり該コーティング液に一定以上の圧力負荷がかからな
いように調整される。かかる構成により、本発明の装置
においてはシリコン液が有する圧縮性やガス吸収性とい
った固有の物性に基づく不都合を回避することができ
る。ここで開放系加圧送液とは、送液経路の吐出口(排
出口)を開放した状態で加圧して吐出口方向に送液する
送液方法であり、本発明においてはコーティング液を吐
出部の吐出口に送液する手段として使用される。この場
合、吐出部には開閉弁が設けられており該弁の開閉によ
り実装基板表面へのコーティング液の吐出が制御され、
当該開閉弁の開放による吐出に連動して上記の加圧送液
が行われるように構成される。
[0015] Specifically, the liquid sending means is gravity (difference in height)
Is used in combination with free-flow liquid sending using an open system and pressurized liquid sending with an open system, whereby the coating liquid is adjusted so that a pressure load of a certain level or more is not applied to the coating liquid. With such a configuration, in the apparatus of the present invention, it is possible to avoid inconveniences due to inherent physical properties such as compressibility and gas absorbency of the silicon liquid. Here, the open system pressurized liquid supply is a liquid supply method in which the pressure is applied in a state where the discharge port (discharge port) of the liquid supply path is opened and the liquid is supplied in the direction of the discharge port. Is used as a means for sending the liquid to the discharge port. In this case, an opening / closing valve is provided in the discharge unit, and the opening and closing of the valve controls the discharge of the coating liquid onto the mounting substrate surface,
The above-described pressurized liquid sending is performed in conjunction with the discharge by opening the on-off valve.

【0016】本発明のコーティング装置は、実装基板の
裏面にコーティング液を浸漬塗布するためのコーティン
グ液槽、実装基板の表面にコーティング液を吐出塗布す
る吐出部、及び上記コーティング液槽から該吐出部にコ
ーティング液を送液する送液手段を有する実装基板コー
ティング装置であって、好ましくはコーティング液槽か
ら流出したコーティング液が送液手段を通じて吐出部に
供給され、次いで該吐出部から実装基板に吐出されたコ
ーティング液の残部が再度コーティング液槽に再供給さ
れることによって、コーティング液が循環しながら送液
される、いわゆる循環送液システムを有する装置であ
る。
The coating apparatus of the present invention comprises: a coating liquid tank for dip-coating a coating liquid on the back surface of a mounting board; a discharge section for discharging and coating the coating liquid on the surface of the mounting board; and a discharging section from the coating liquid tank. A coating liquid having a liquid feeding means for feeding a coating liquid to the mounting substrate, wherein the coating liquid flowing out of the coating liquid tank is preferably supplied to a discharge portion through the liquid feeding means, and then discharged to the mounting substrate from the discharge portion. This is a device having a so-called circulating liquid feeding system in which the coating liquid is sent while being circulated by re-supplying the remaining coating liquid to the coating liquid tank again.

【0017】かかる循環送液システムを図1及び図2に
示す。なお、かかる図は本発明の送液システムの概念を
示す具体的態様の一例であり、本発明はかかる具体的な
態様に制限されるものではない。
Such a circulating liquid feeding system is shown in FIGS. It is to be noted that this figure is an example of a specific embodiment showing the concept of the liquid feeding system of the present invention, and the present invention is not limited to such a specific embodiment.

【0018】ここでは、コーティング液槽(1)、吐出
部(2)及び該コーティング液槽から吐出部にコーティ
ング液を送液する送液手段(3)を有し、該送液手段
(3)として、コーティング液槽(1)より低位置に配
置されたタンク(31)、コーティング液槽(1)からタン
ク(31)にコーティング液を送液するチューブ(32)、該タ
ンク(31)の下方に導管(33)を通じて接続されたポンプ(3
4)、ポンプ(34)から吐出部へコーティング液を送液する
チューブ(35)を備える。そして吐出部(2)はコーティ
ング液槽(1)の上方部に配設され、該吐出部(2)と
コーティング液槽(1)との間に実装基板Aを配置させ
てコーティングするコーティング位置(41)を設ける。か
かる循環送液システムによって、コーティング液はまず
コーティング液槽(1)から高低差を利用した自由落下
送液によってチューブ(32)を通じてタンク(31)内に流入
し、タンクに流入したコーティング液はタンク下部の導
管(33)を通じてポンプ(34)に送られ、次いでポンプ(34)
による加圧送液によってチューブ(35)を通じて吐出部
(2)に送液される。そして、コーティングに際して、
吐出部(2)に送液されたコーティング液をその下方部
に配置された実装基板Aの表面に落下吐出させる。これ
によって、コーティングに使用されなかった余分なコー
ティング液はコーティング液槽(1)内に再び流入し、
再び送液手段(3)を介して吐出部(2)に送液される
ことになる。
Here, a coating liquid tank (1), a discharge section (2), and a liquid supply means (3) for supplying the coating liquid from the coating liquid tank to the discharge section are provided. A tank (31) arranged at a lower position than the coating liquid tank (1), a tube (32) for feeding the coating liquid from the coating liquid tank (1) to the tank (31), and a lower part of the tank (31). Pump (3)
4) a tube (35) for feeding the coating liquid from the pump (34) to the discharge section. The discharge part (2) is disposed above the coating liquid tank (1), and the coating position (coating position) where the mounting substrate A is disposed between the discharge part (2) and the coating liquid tank (1) to perform coating. 41) is provided. With such a circulating liquid feeding system, the coating liquid first flows into the tank (31) through the tube (32) by the free fall liquid feeding using a height difference from the coating liquid tank (1). Pumped to the pump (34) through the lower conduit (33), and then to the pump (34)
Is sent to the discharge section (2) through the tube (35) by the pressurized liquid sending. And when coating
The coating liquid sent to the discharge section (2) is dropped and discharged onto the surface of the mounting substrate A disposed below the coating liquid. As a result, excess coating liquid not used for coating flows again into the coating liquid tank (1),
The liquid is again sent to the discharge section (2) via the liquid sending means (3).

【0019】なお、ここでポンプ(34)内から吐出部
(2)にコーティング液を送液する方法として、前述す
る開放系加圧送液が採用される。具体的には、吐出部
(2)に設けられた開閉弁(21)を開放して実装基板表面
にコーティング液を吐出コーティングするのと同時に、
ポンプ(34)が作動してコーティング液が加圧送液され
る。尚、図1及び2においてポンプ(34)としてピストン
ポンプを例示するが、加圧によって吐出部にコーティン
グ液を送液できる加圧手段であれば特に制限されない。
このように、コーティング液は吐出部(2)の開放と連
動して加圧されるため、一定以上の圧力負荷がかからな
いように調整される。コーティング液としてシリコン液
を使用する場合、シリコン液に負荷できる圧力としては
0.2MPa以下、好ましくは0.1MPa以下である。
Here, as the method for feeding the coating liquid from the inside of the pump (34) to the discharge section (2), the above-described open-type pressurized liquid feeding is adopted. Specifically, at the same time as opening and closing the on-off valve (21) provided in the discharge part (2) to discharge-coat the coating liquid on the mounting substrate surface,
The pump (34) operates to feed the coating liquid under pressure. In FIGS. 1 and 2, a piston pump is exemplified as the pump (34), but there is no particular limitation as long as it is a pressurizing unit that can feed the coating liquid to the discharge unit by pressurization.
As described above, since the coating liquid is pressurized in conjunction with the opening of the discharge unit (2), the coating liquid is adjusted so as not to apply a pressure load exceeding a certain level. When a silicon liquid is used as the coating liquid, the pressure that can be applied to the silicon liquid is 0.2 MPa or less, and preferably 0.1 MPa or less.

【0020】吐出部(2)は、チューブ(35)を通じて供
給されたコーティング液を該下方部に配置される実装基
板A表面に吐出し、該基板表面を該コーティング液でコ
ーティングする機能を担う部位であり、例えば図1及び
2に示すように、上記チューブ(35)と連通し途中に開閉
弁(21)を備えた吐出ノズル(22)を用いることができる。
The discharge part (2) discharges the coating liquid supplied through the tube (35) to the surface of the mounting substrate A disposed below the part, and has a function of coating the substrate surface with the coating liquid. For example, as shown in FIGS. 1 and 2, a discharge nozzle (22) having an on-off valve (21) in communication with the tube (35) can be used.

【0021】ここで吐出ノズルは1本でもいいが、コー
ティング作業の効率性から2以上複数本備えていること
が好ましい。この場合、チューブ(35)の先端部は吐出ノ
ズル数に応じて複数本に分岐し、該分岐チューブ(23)の
先端にそれぞれ吐出ノズル(22)が接続される。また分岐
チューブ(23)または吐出ノズル(22)には、各チューブま
たはノズル毎に開閉弁(21)が設けられる。かかる吐出部
(2)に供給されたコーティング液は、吐出ノズル(22)
を通じて下方部に配置された実装基板A上に吐出され、
これによって各種の部品を搭載した基板表面がコーティ
ングされる。吐出ノズル(22)の位置またはその動作は、
実装基板の部品搭載表面に応じてコーティングしてはな
らない部位を避けながら対象とする部位を選択的にコー
ティングするように、またコーティングが短時間で終了
するようにコンピュータなどで制御管理することが好ま
しい。すなわち吐出部(2)は、好適には上記機能に加
えて実装基板表面を搭載部品やその位置に応じて選択的
かつ効率的にシリコンコーティングできる機能を備え
る。
The number of discharge nozzles may be one, but it is preferable to provide two or more discharge nozzles from the viewpoint of the efficiency of the coating operation. In this case, the distal end of the tube (35) branches into a plurality of tubes according to the number of discharge nozzles, and the distal end of the branch tube (23) is connected to the discharge nozzle (22). The branch tube (23) or the discharge nozzle (22) is provided with an on-off valve (21) for each tube or nozzle. The coating liquid supplied to the discharge section (2) is supplied to a discharge nozzle (22)
Is discharged onto the mounting board A arranged at the lower part through
Thus, the surface of the substrate on which various components are mounted is coated. The position of the discharge nozzle (22) or its operation is
It is preferable to control and manage with a computer or the like so that the target part is selectively coated while avoiding the part which should not be coated according to the component mounting surface of the mounting board, and the coating is completed in a short time. . That is, the discharge section (2) preferably has a function of selectively and efficiently silicon-coating the surface of the mounting board in accordance with the mounted components and their positions, in addition to the above functions.

【0022】斯くして吐出部(2)からコーティング液
を吐出することによって実装基板Aの表面がコーティン
グされるが、ここで余分に吐出されたコーティング液
は、実装基板Aの下方に配置されたコーティング液槽
(1)で受けることができる。またコーティング位置(4
1)を該コーティング液槽(1)の上方部に設け、該位置
に実装基板Aを配置することによって、実装基板Aの裏
面への浸漬塗布を併せて行うこともできる。ここで実装
基板の裏面へのコーティング液の浸漬塗布は、コーティ
ング液槽(1)の下部に設けられた上下駆動手段(5)
によって該コーティング液槽(1)を上昇させることに
よって行うことができる。この際、コーティング液槽
(1)は、実装基板Aの裏面がコーティング液に浸漬す
るように、具体的には基板の表面とコーティング液の液
面とがほぼ一致するまで(図1において、ストローク
S)上昇させる。かかる裏面浸漬塗布と上記の表面吐出
塗布とを同時に実施することにより、より効率的なコー
ティング処理を行うことが出来る。
In this way, the surface of the mounting substrate A is coated by discharging the coating liquid from the discharging part (2). The coating liquid discharged extra here is disposed below the mounting substrate A. It can be received in the coating liquid tank (1). Also the coating position (4
By providing 1) above the coating liquid tank (1) and arranging the mounting substrate A at this position, dip coating on the back surface of the mounting substrate A can also be performed. Here, the dip coating of the coating liquid on the back surface of the mounting substrate is performed by a vertical driving means (5) provided below the coating liquid tank (1).
By raising the coating liquid tank (1). At this time, the coating liquid tank (1) is set so that the back surface of the mounting substrate A is immersed in the coating liquid, specifically, until the surface of the substrate and the liquid level of the coating liquid substantially match (stroke in FIG. 1). S) Raise. By performing such backside dip coating and the above-described surface discharge coating simultaneously, a more efficient coating process can be performed.

【0023】なお、当該循環送液システムにおいて、循
環するコーティング液の容量は常に一定に保たれること
が好ましい。かかる容量の調整は、制限されないが、例
えばタンク(31)内に常に一定量のコーティング液が貯え
られるように制御管理することによって行うことができ
る。かかる制御システムとしては、具体的には、タンク
内のコーティング液が所定の下限域(例えば、タンク内
容量の約1/3)を下回るとと、自動的にコーティング
液補給部(38)から供給口(36)を通じてタンク内にコーテ
ィング液が供給される方法が例示できる。
In the circulating liquid feeding system, it is preferable that the volume of the circulating coating liquid is always kept constant. The adjustment of the volume is not limited, but can be performed, for example, by controlling and managing such that a constant amount of the coating liquid is always stored in the tank (31). Specifically, the control system automatically supplies the coating liquid from the coating liquid supply unit (38) when the coating liquid in the tank falls below a predetermined lower limit (for example, about 1/3 of the tank internal capacity). A method of supplying the coating liquid into the tank through the port (36) can be exemplified.

【0024】本発明のコーティング装置は、基本的には
前述するコーティング液槽(1)、吐出部(2)、及び
送液手段(3)を備えた送液システムを備えるものであ
ればよい。しかし、コーティング液としてシリコン液を
使用する場合には、その中には夾雑物や表面硬化によっ
て形成された被膜成分(固形分)が混在するため、上記
構成に加えてコーティング液の浄化手段を備えているこ
とが好ましい。
The coating apparatus of the present invention basically needs to have a liquid feeding system including the above-mentioned coating liquid tank (1), discharge section (2), and liquid sending means (3). However, when a silicon liquid is used as the coating liquid, since impurities and a film component (solid content) formed by surface hardening are mixed therein, a coating liquid purifying means is provided in addition to the above configuration. Is preferred.

【0025】かかるコーティング液、特にシリコン液の
浄化手段を図3を利用して説明する。
The means for purifying the coating liquid, particularly the silicon liquid, will be described with reference to FIG.

【0026】コーティング液の浄化は、コーティング液
槽(1)を、図3に示すように、水位が順次低くなるよ
うに構成された実装基板浸漬槽(11)を含む少なくとも3
槽の連続槽とすることによって実施できる。当該連続槽
は、まず浸漬槽(11)とその下流に位置する第2槽(次下
流槽)(12)とを所定高さの堰(14)によって仕切り、浸漬
槽から溢れたコーティング液が該堰(14)を超えて第2槽
(12)に落下流入する構成とされる。これによって同時に
液表面に硬化反応によって形成された被膜(スラグ)も
第2槽(12)に流出する。そして連続槽の最下流槽(図3
では第3槽)(13)には連続槽の水位が順次が低くなるよ
うに流出口(15)が設けられている。そして、該最下流槽
(13)とその前槽(最下流前槽、図3では第2槽)とは下
方部が開口してなる仕切り板(16)で仕切られており、該
仕切板(16)によって夾雑物やスラグ等の浮遊物(17)が堰
き止められ、浄化されたコーティング液が下方開口部を
通って最下流槽(13)に流入するように構成される。そし
て、当該最下流槽に流入した浄化コーティング液は流出
口(15)から、チューブ(32)を通じてタンク(31)に流入す
る(図1、2)。浄化手段は、水位の高低差を利用した
送液(自由落下送液)を利用して行われるため、シリコ
ン液の送液方法として適しており、前述する循環送液シ
ステムの一部に組み込んで行うことができる。具体的に
は、基板表面吐出塗布をコーティング液槽の浸漬槽(11)
の上方部で行うことにより、コーティング液の余剰分が
浸漬槽(11)内に落下流入し、これによって増量したコー
ティング液は浸漬槽(11)から堰(14)を超えて低水位の第
2槽(12)に流入し、該2槽からより低水位の第3槽(13)
へと移動する際に第2槽と第3槽との間に設置された仕
切板(16)でスラグなどの不純物が分別除去され、これに
よって浄化されたコーティング液は第3槽の流出口(15)
を通じてコーティング液槽(1)から流出し、前述する
送液手段(3)を介して吐出部(2)に送液される。
In order to purify the coating liquid, as shown in FIG. 3, the coating liquid tank (1) includes at least a mounting substrate immersion tank (11) configured to gradually lower the water level.
It can be implemented by using a continuous tank. In the continuous tank, first, an immersion tank (11) and a second tank (next downstream tank) (12) located downstream of the immersion tank (11) are separated by a weir (14) having a predetermined height. The second tank beyond the weir (14)
It is configured to fall into (12). As a result, a coating (slag) formed on the liquid surface by the curing reaction also flows out to the second tank (12). And the most downstream tank of the continuous tank (Fig. 3
In the third tank (13), an outlet (15) is provided so that the water level in the continuous tank becomes lower in order. And the most downstream tank
(13) and its front tank (the most downstream tank, the second tank in FIG. 3) are separated by a partition plate (16) having an opening at the lower part. The suspended matter (17) such as slag is blocked, and the purified coating liquid is configured to flow into the most downstream tank (13) through the lower opening. And the purification | coating coating liquid which flowed into the said most downstream tank flows into the tank (31) from the outlet (15) through the tube (32) (FIGS. 1, 2). Since the purifying means is carried out by using a liquid supply using a difference in water level (free-fall liquid supply), it is suitable as a liquid supply method of the silicon liquid, and is incorporated in a part of the above-mentioned circulation liquid supply system. It can be carried out. Specifically, the substrate surface discharge coating is applied to the immersion tank (11) of the coating liquid tank.
The excess of the coating liquid falls into the immersion tank (11) by flowing in the upper part of the immersion tank (11). The third tank (13) which flows into the tank (12) and has a lower water level from the two tanks
When moving to the second tank, impurities such as slag are separated and removed by a partition plate (16) installed between the second tank and the third tank, and the coating liquid thus purified is discharged to the outlet ( 15)
The liquid flows out of the coating liquid tank (1) through the liquid supply unit (3), and is sent to the discharge unit (2) via the above-described liquid sending unit (3).

【0027】また、実装基板の裏面を浸漬槽(11)のコー
ティング液に浸漬する際、気体をかみやすく、このまま
にしておくと気泡を抱き込んだままで被膜が形成されて
しまう。この不都合を解消し、安定した品質の実装基板
を調製するためには、基板裏面に混入した気泡を除去す
るか、または気泡によって生じる塗り残し部をなくす手
段(以下、かかる手段を総じて気泡除去方法という)を
備えていることが好ましい。
Further, when immersing the back surface of the mounting substrate in the coating liquid of the immersion tank (11), the gas is easily chewed, and if left as it is, a film is formed with air bubbles contained therein. In order to eliminate this inconvenience and to prepare a mounting board of stable quality, it is necessary to remove air bubbles mixed in the back surface of the substrate or to remove unpainted portions caused by air bubbles (hereinafter, such means are collectively referred to as an air bubble removing method). Is preferably provided.

【0028】かかる気泡の除去手段を図3を利用して説
明する。
The means for removing such bubbles will be described with reference to FIG.

【0029】気泡除去または塗残部の解消は、実装基板
の裏面浸漬塗布並びに実装基板の搬送とを組み合わせる
ことによって実施できる。実装基板の裏面塗布は、前述
するように浸漬槽(11)を上下駆動手段(5)によって、
実装基板の裏面にコーティング液が浸漬するまで(図で
はストロークS)上昇させることによって行われるが、
この時、実装基板を液に浸漬した状態のままで進行方向
(図では右方向)に一定距離(図では距離a)移動させ
ることによって、裏面側に混入した気泡の存在でコーテ
ィング液と接触できなかった箇所にコーティング液を接
触塗布することができる。移動距離aは特に制限されな
いが、基板の長手方向寸法の80%程度を挙げることが
できる。この際の移動速度は、特に制限されないが、速
すぎると進行方向前面で液面が盛り上がり、コーティン
グを避けたい実装部品にも液が付着するため、不具合を
生じない程度の低速で行うことが好ましい。基板の浸漬
移動が終了すると、浸漬槽を含むコーティング液槽
(1)は上下駆動手段(5)によって元の位置まで下降
し、次いで実装基板は一定距離(図では距離b)移動方
向に水平移動する。この移動は、コーティング処理の短
時間化を目指して高速で行うことができる。上記浸漬移
動と高速移動とが終了すると実装基板は距離(a+b)
ほど進行方向に移動したことになり、これによって基板
の一枚分の送りが終了し、次にコーティングする処理基
板がコーティング位置(41)に配置される。
The removal of air bubbles or the elimination of the uncoated portion can be carried out by combining the dip coating of the back surface of the mounting substrate and the transport of the mounting substrate. As described above, the back surface of the mounting substrate is applied by moving the immersion tank (11) by the vertical driving means (5).
It is performed by raising until the coating liquid is immersed on the back surface of the mounting board (stroke S in the figure).
At this time, by moving the mounting board in the advancing direction (right direction in the figure) with a certain distance (distance a in the figure) while immersed in the liquid, the coating liquid can be brought into contact with the coating liquid due to the presence of bubbles mixed on the back side. The coating liquid can be contact-applied to a portion that did not exist. The moving distance a is not particularly limited, but may be about 80% of the longitudinal dimension of the substrate. The moving speed at this time is not particularly limited, but if it is too fast, the liquid surface rises on the front surface in the traveling direction, and the liquid adheres to the mounted parts to be prevented from being coated. . When the immersion movement of the substrate is completed, the coating liquid tank (1) including the immersion tank is lowered to the original position by the vertical drive means (5), and then the mounting substrate is horizontally moved in the movement direction for a fixed distance (distance b in the figure). I do. This movement can be performed at a high speed in order to shorten the coating process. When the immersion movement and the high-speed movement have been completed, the mounting substrate is at a distance (a + b).
As a result, the movement of one substrate is completed, and the processing substrate to be coated next is arranged at the coating position (41).

【0030】尚、図3においてコーティング液槽(1)
は、架台(54)に搭載されてその下部に設けられた上下駆
動手段(5)によって昇降移動する。この時、架台(54)
毎昇降移動させるために、架台の両側2箇所にスライド
ベアリング(51)(図1)で案内された上下動軸受部(52)
を設け、その中央に例えば上下駆動源(53)を設けること
が好ましい。なお、上下駆動源としてはエアシリンダや
減速機付きサーボモーターを例示することができる。
In FIG. 3, the coating liquid tank (1)
Is mounted on the gantry (54) and moved up and down by a vertical drive means (5) provided below the gantry (54). At this time, the stand (54)
Vertical bearings (52) guided by slide bearings (51) (Fig. 1) at two places on both sides of the gantry to move up and down each time
It is preferable to provide, for example, a vertical drive source (53) at the center. In addition, as the vertical drive source, an air cylinder and a servomotor with a speed reducer can be exemplified.

【0031】さらに本発明のコーティング装置は、コー
ティング後に、実装基板の表面及び裏面に塗布された余
分なコーティング液を除去する手段を備えていることが
好ましい。これによって基板のコーティング厚を均一な
薄膜にすることができる。例えば、かかる手段としては
エアによって基板表面から余分なコーティング液を吹き
落とす方法が挙げられる。コーティング液としてシリコ
ン液を使用する場合は、シリコン液の湿気硬化性を考慮
してドライエアが採用される。具体的には図3に示すよ
うに、コーティング位置から1基板送り分(a+b)ほ
ど進行方向に搬送されたコーティング済み実装基板A’
の配置部(42)先端の上下にエアナイフなどのドライエア
吹出装置(61)を設け、上下方向からドライエアを基板表
面と裏面に高速で吹出することによって、実装基板表裏
面に付着した余分のコーティング液を除去することがで
きる。そして、基板配置部(42)をコーティング液槽の上
方部に設けることによって、かかる除去をコーティング
液槽の上で行なうことができ、これによって余分なコー
ティング液は該コーティング液槽に落下回収することが
できる。
Further, it is preferable that the coating apparatus of the present invention is provided with a means for removing excess coating liquid applied to the front and back surfaces of the mounting substrate after coating. As a result, the coating thickness of the substrate can be made uniform. For example, as such means, there is a method of blowing off excess coating liquid from the substrate surface by air. When a silicon liquid is used as the coating liquid, dry air is adopted in consideration of the moisture curability of the silicon liquid. More specifically, as shown in FIG. 3, the coated mounting substrate A ′ transported in the traveling direction by one substrate feed (a + b) from the coating position.
A dry air blowing device (61) such as an air knife is installed above and below the tip of the mounting part (42), and the dry air is blown from the top and bottom at high speed to the front and back surfaces of the board, so that the excess coating liquid adhering to the front and back surfaces of the mounting board is Can be removed. By providing the substrate disposing portion (42) above the coating liquid tank, such removal can be performed on the coating liquid tank, whereby excess coating liquid can be dropped and collected in the coating liquid tank. Can be.

【0032】本発明の実装基板コーティング装置は、少
なくとも上記のいわゆる「コーティング工程部」を備え
るものであればよいが、他の構成部として、塗布したコ
ーティング液を硬化させて被膜形成する「硬化反応部」
を有していてもよく、また必要に応じてさらに、コーテ
ィングすべき実装基板をコーティング工程部に供給する
実装基板供給部、及び/またはコーティングした実装基
板を収納する実装基板収納部を有することもできる。か
かる各構成部を備えた実装基板コーティング装置を、一
例として図4を示す。
The mounting substrate coating apparatus of the present invention may be provided with at least the above-mentioned "coating process section". Another component is a "curing reaction" for curing the applied coating liquid to form a film. Department "
And, if necessary, a mounting substrate supply unit for supplying a mounting substrate to be coated to the coating process unit, and / or a mounting substrate storage unit for storing the coated mounting substrate. it can. FIG. 4 shows an example of a mounting substrate coating apparatus provided with such components.

【0033】図4において、実装基板コーティング装置
は、大きく分けてコーティング部(7)と後工程部
(8)とから構成され、該コーティング部(7)は実装
基板供給部(71)と該実装基板供給部から順次供給搬送さ
れる実装基板をコーティングするコーティング工程部(7
2)を備え、また後工程部(8)はコーティング工程部で
コーティングされた基板塗布面のコーティング液を硬化
させて被膜形成する硬化反応部(81)とコーティングされ
た実装基板を収納する実装基板収納部(82)を備える。そ
して、実装基板コーティング装置はさらに実装基板搬送
手段を備えており、該手段によって実装基板をコーティ
ング部(7)から後工程部(8)へと搬送することがで
きる。
In FIG. 4, the mounting board coating apparatus is roughly divided into a coating section (7) and a post-processing section (8), and the coating section (7) is provided with a mounting board supply section (71) and the mounting section. The coating process section (7) coats the mounting board sequentially supplied and transported from the board supply section.
The post-processing section (8) includes a curing reaction section (81) for curing the coating liquid on the substrate application surface coated in the coating processing section to form a film, and a mounting board for storing the coated mounting board. A storage section (82) is provided. Further, the mounting substrate coating apparatus further includes a mounting substrate transporting unit, which can transport the mounting substrate from the coating unit (7) to the post-process unit (8).

【0034】実装基板の供給または収納には、当業界で
広く使用されるマガジンラック方式を利用することがで
きる。実装基板収納部(71)から実装基板Aをコーティン
グ工程部(72)に供給搬送するには、まず基板をマガジン
ラック(73)から一枚ずつ引き出し、引き出された基板を
搬送チェーン(43)に取り付けられたチャック(44)で進行
方向に搬送する方法が例示できる(図1において左から
右方向へ)。
For supplying or storing the mounting substrate, a magazine rack system widely used in the art can be used. To supply and transport the mounting board A from the mounting board storage section (71) to the coating process section (72), first, the boards are pulled out one by one from the magazine rack (73), and the drawn-out boards are transferred to the transfer chain (43). An example is a method of transporting in the traveling direction by the attached chuck (44) (from left to right in FIG. 1).

【0035】コーティング工程部(72)において、実装基
板のコーティングは、各種の部品が搭載された基板表面
はノズル吐出により、また基板裏面は浸漬法によって行
われる。コーティング液としてシリコン液を使用する場
合、シリコン液は湿気硬化反応性樹脂ゆえに湿気暴露す
ると液表面が硬化してスラグで覆われ、コーティングが
困難になる不都合さがある。これを解消するために、コ
ーティング工程部(72)、好ましくはコーティング部
(7)全体をカバー(74)で覆い、該内部を乾燥条件下ま
たは窒素置換ガス条件下にすることもできる。前者の乾
燥条件を採用する場合、湿度が5%以下になるように調
整することが好ましい。
In the coating section (72), coating of the mounting substrate is performed by nozzle discharge on the surface of the substrate on which various components are mounted, and by immersion on the back surface of the substrate. When a silicon liquid is used as the coating liquid, the silicon liquid is a moisture-curing reactive resin, so that when exposed to moisture, the liquid surface is hardened and covered with slag, which makes coating difficult. In order to solve this, the coating process section (72), preferably the entire coating section (7) may be covered with a cover (74), and the inside thereof may be made under dry conditions or nitrogen-substituted gas conditions. When the former drying condition is adopted, it is preferable to adjust the humidity so as to be 5% or less.

【0036】コーティングが終わると、実装基板A’は
硬化反応部(81)に搬送される。なお、コーティング液と
してシリコン液を使用する場合、該シリコンは前述する
ように湿気硬化反応性樹脂であるため、硬化反応部(8
1)、好ましくは後工程部(8)全体をカバー(84)で覆
い、該内部を高湿度条件下にすることが望ましく、これ
によって硬化を速やかに行うことができる。高湿度下に
するには加湿器を利用することができる。図4では、搬
送される実装基板A’の下方部に加湿器(85)が設置され
る。この場合、加湿器から基板の裏面及び側面に対して
蒸気噴霧できるように蒸気噴出口(86)を設けることが好
ましい。次いで、基板A’は実装基板収納部(82)に搬送
され、該収納部に設けられたマガジンラック(83)に一枚
ずつ収納できるようになっている。
When the coating is completed, the mounting substrate A 'is transported to the curing reaction section (81). When a silicon liquid is used as the coating liquid, since the silicon is a moisture-curing reactive resin as described above, the curing reaction section (8
1) Preferably, the entire post-process section (8) is covered with a cover (84), and the inside is desirably subjected to high humidity conditions, whereby the curing can be carried out quickly. Humidifiers can be used to achieve high humidity. In FIG. 4, a humidifier (85) is installed below the conveyed mounting substrate A '. In this case, it is preferable to provide a steam outlet (86) so that steam can be sprayed from the humidifier to the back and side surfaces of the substrate. Next, the substrates A 'are transported to the mounting substrate storage section (82), and can be stored one by one in a magazine rack (83) provided in the storage section.

【0037】以上のコーティング部(7)と後工程部
(8)は、共通基板(9)に据え付けられており、これ
によって容易に該装置を一体として搬送若しくは移動す
ることが可能であり、また使用時の機械精度を維持する
ことができる。
The coating section (7) and the post-process section (8) are mounted on a common substrate (9), so that the apparatus can be easily transported or moved as a single unit. Machine accuracy during use can be maintained.

【0038】以下、図1〜4を利用して、本発明の実装
基板コーティング装置並びに該装置を用いた実装基板の
コーティング方法を経時的に説明する。
The apparatus for coating a mounting substrate of the present invention and a method for coating a mounting board using the apparatus will be described with reference to FIGS.

【0039】実装基板収納部(71)に収納された実装基板
Aは、実装基板収納部(71)のマガジンラック(73)から一
枚ずつ引き出されて、搬送チェーン(43)に取り付けられ
たチャック(44)によってコーティング工程部(72)に供給
搬送される(図1)。コーティング工程部(72)に搬送さ
れた実装基板Aは浸漬槽(11)上方部のコーティング位置
(41)に配置され、この位置で基板表面と裏面にコーティ
ング液が塗布される。
The mounting boards A stored in the mounting board storage section (71) are pulled out one by one from the magazine rack (73) of the mounting board storage section (71), and the chucks attached to the transport chain (43) are pulled out. By (44), it is supplied and conveyed to the coating process part (72) (FIG. 1). The mounting board A transported to the coating process section (72) has a coating position above the immersion tank (11).
The coating liquid is applied to the front and back surfaces of the substrate at this position.

【0040】具体的には、実装基板がコーティング位置
(41)に配置され停止すると、直ちにピストンポンプ(34)
が作動し、吐出部(2)の開閉弁(21)の開放に伴ってコ
ーティング液を吐出部(2)に加圧送液し、コーティン
グ液を吐出ノズル(22)から、上記コーティング位置(41)
に待機した実装基板Aの表面に対して吐出される。さら
に、これと同時に、上下駆動源(エアシリンダ)(53)
の上昇駆動によって架台(54)に据え付けられた浸漬槽(1
1)を含むコーティング液層(1)が上記実装基板の待機
位置にむけてゆっくり上昇する。これによって実装基板
の裏面が該浸漬槽のコーティング液に浸漬される。この
時、浸漬槽(11)は基板の表面とコーティング液の液面と
がほぼ一致するような上昇ストロークSで上昇すること
が好ましく、具体的には40〜100mmの範囲を選択するこ
とができる。なお、本発明のコーティング装置は、コー
ティング液を浸漬槽(11)と吐出部(2)間を循環させる
循環送液システムを備え、かつ浸漬槽(11)には堰(14)が
設けられて吐出部(2)からの落下流入によって増量し
たコーティング液が次下流槽(12)に流出する構造を有す
るため、浸漬槽の液面は常に一定に保たれ、これによっ
て上記の上昇ストロークSも一定に維持することができ
る。
Specifically, the mounting substrate is positioned at the coating position.
As soon as it is located at (41) and stops, the piston pump (34)
Is activated, and the opening and closing valve (21) of the discharge section (2) is opened to pressurize and send the coating liquid to the discharge section (2), and the coating liquid is discharged from the discharge nozzle (22) to the coating position (41).
Is discharged onto the surface of the mounting substrate A that has been waiting for the first time. Furthermore, at the same time, the vertical drive source (air cylinder) (53)
The immersion tank (1) installed on the gantry (54) by
The coating liquid layer (1) containing (1) slowly rises toward the standby position of the mounting substrate. As a result, the back surface of the mounting substrate is immersed in the coating liquid in the immersion tank. At this time, the immersion tank (11) preferably rises with a rising stroke S such that the surface of the substrate and the liquid level of the coating liquid substantially coincide with each other, and specifically, a range of 40 to 100 mm can be selected. . The coating apparatus of the present invention is provided with a circulation liquid sending system for circulating the coating liquid between the immersion tank (11) and the discharge section (2), and the immersion tank (11) is provided with a weir (14). Since the coating liquid, which has been increased due to the falling inflow from the discharge section (2), flows out to the next downstream tank (12), the liquid level of the immersion tank is always kept constant, whereby the rising stroke S is also kept constant. Can be maintained.

【0041】上昇ストロークSに達した時、基板表面へ
の吐出塗布も完了する。
When the rising stroke S is reached, the discharge application on the substrate surface is also completed.

【0042】次いで、直ちに実装基板は裏面が浸漬槽(1
1)に浸漬した状態で、低速で進行方向に水平移動する
(移動距離a)。かかる基板の浸漬移動によって、裏面
部に抱き込まれた気泡による塗布残りが解消され裏面全
体に万遍なくコーティング液を塗布することができる。
Next, immediately after the mounting substrate is placed in the dipping tank (1
While immersed in 1), it horizontally moves in the traveling direction at a low speed (movement distance a). By the immersion movement of the substrate, the remaining coating due to the air bubbles entrapped on the rear surface is eliminated, and the coating liquid can be uniformly applied to the entire rear surface.

【0043】基板の浸漬移動が終了すると、直ちに上下
駆動源(53)が下降駆動して、浸漬槽(11)は元の位置まで
降下する(下降ストロークS)。次いで、コーティング
液が塗布された基板A’は、高速で進行方向に水平移動
する(移動距離b)。この移動によって、次にコーティ
ングする実装基板Aが、コーティング位置(41)に配置さ
れることになる。すなわち、上記浸漬移動と高速移動
(a+b)によって1基板送り分、進行方向に基板が搬
送されることになる。なお、特に制限されないが、基板
1枚分の生産効率は、好ましくはA4サイズで3枚/分
である。
As soon as the immersion movement of the substrate is completed, the vertical drive source (53) is driven to descend, and the immersion tank (11) descends to its original position (downstroke S). Next, the substrate A ′ to which the coating liquid has been applied horizontally moves at a high speed in the traveling direction (movement distance b). By this movement, the mounting substrate A to be coated next is arranged at the coating position (41). That is, the substrate is transported in the traveling direction by one substrate feed by the immersion movement and the high-speed movement (a + b). Although not particularly limited, the production efficiency for one substrate is preferably 3 substrates / minute for A4 size.

【0044】次いで、コーティング液が塗布された基板
A’は、高速移動によって搬送された実装基板配置部(4
2)の先端部の上下に設けられたドライエア吹出装置(61)
によって表面及び裏面にドライエアが高速で吹き付けら
れ、これによって余分なコーティング液が除去され、コ
ーティングの厚みを均一化することができる。なお、以
上のコーティング工程は、乾燥条件下または窒素置換ガ
ス条件下で行うことが好ましい。例えば乾燥条件として
は湿度が5%以下の条件を挙げることができる。
Next, the substrate A ′ to which the coating liquid has been applied is transferred to the mounting substrate placement portion (4
Dry air blowing device (61) provided above and below the tip of 2)
As a result, dry air is blown onto the front and back surfaces at a high speed, whereby excess coating liquid is removed, and the coating thickness can be made uniform. In addition, it is preferable to perform the above-mentioned coating process under dry conditions or nitrogen replacement gas conditions. For example, drying conditions include a condition in which the humidity is 5% or less.

【0045】斯くしてコーティング液が裏面及び表面に
塗布された実装基板A’は、搬送チェーン(43)に取り付
けられたチャック(44)に保持され、搬送手段によって硬
化反応部(81)に搬送される。ここで実装基板A’は高湿
度下に置かれることにより、コーティング液として用い
たシリコン液が表面硬化し基板面に所望の防湿・絶縁被
膜が形成される。防湿・絶縁被膜が形成された実装基板
は、次いで搬送手段によって実装基板収納部(82)に搬送
され、該収納部に設けられたマガジンラック(83)に一枚
ずつ収納される。
The mounting substrate A 'on which the coating liquid has been applied to the back surface and the front surface is held by the chuck (44) attached to the transport chain (43) and transported to the curing reaction section (81) by the transport means. Is done. Here, when the mounting substrate A ′ is placed under high humidity, the surface of the silicon liquid used as the coating liquid is hardened, and a desired moisture-proof / insulating coating is formed on the substrate surface. The mounting board on which the moisture-proof / insulating coating is formed is then transported to the mounting board storage section (82) by the transport means, and stored one by one in a magazine rack (83) provided in the storage section.

【0046】[0046]

【発明の効果】本発明の実装基板コーティング装置及び
コーティング方法は、実装基板のコーティング剤として
耐湿性及び耐熱性に優れるシリコンを使用するのに適し
た装置及び方法であり、これによってシリコンを用いて
実装基板を自動的にコーティングすることが可能とな
る。斯くして本発明の装置及び方法によれば、シリコン
の耐熱性に基づいて、耐熱性に優れた実装基板を製造す
ることができる。
The apparatus and method for coating a mounting substrate according to the present invention is an apparatus and a method suitable for using silicon having excellent moisture resistance and heat resistance as a coating agent for a mounting substrate. The mounting substrate can be automatically coated. Thus, according to the apparatus and method of the present invention, a mounting substrate having excellent heat resistance can be manufactured based on the heat resistance of silicon.

【0047】本発明のコーティング装置は、送液システ
ムとして自由落下方式と開放系圧送方式を採用すること
によって、圧縮性及びガス吸収性といったシリコン液固
有の物性に関わらずシリコン液を定量的に送液吐出する
ことができる。また、本発明のコーティング装置は、循
環送液システムを有することによって無駄なく且つ廃棄
物をだすことなくコーティング液を利用できるので、経
済的で且つ環境に配慮した装置である。
The coating apparatus of the present invention employs a free-falling method and an open system pressure-feeding method as a liquid-feeding system to quantitatively send the silicon liquid regardless of the physical properties such as compressibility and gas absorption. Liquid can be discharged. In addition, the coating apparatus of the present invention is economical and environmentally friendly because the coating liquid can be used without waste and without waste by having the circulation liquid sending system.

【0048】本発明のコーティング装置は、循環送液シ
ステム中にコーティング液中の夾雑物を除去する手段を
備えることによって、装置の安全性や信頼性が確保でき
るとともに常に浄化されたコーティング液を利用して実
装基板を塗布することができ、これによって品質の安定
した実装基板を製造することができる。本発明のコーテ
ィング装置は、シリコン液によるコーティングを乾燥条
件又は窒素ガス置換条件で行う構成を有することによっ
て、コーティング時またはそれ以前にシリコン液が硬化
することを防止することができる。
The coating apparatus of the present invention is provided with means for removing contaminants in the coating liquid in the circulating liquid supply system, thereby ensuring the safety and reliability of the apparatus and using a purified coating liquid at all times. Thus, the mounting substrate can be applied, whereby a mounting substrate with stable quality can be manufactured. The coating apparatus of the present invention has a configuration in which the coating with the silicon liquid is performed under the drying condition or the nitrogen gas replacement condition, so that the silicon liquid can be prevented from being cured at the time of coating or before the coating.

【0049】さらに本発明のコーティング装置は、実装
基板の表面吐出塗布と裏面浸漬塗布とを同時に行うこと
によって、また表面吐出塗布を複数の選択的ノズルを使
用して行うことによって効率のよいコーティングがで
き、これによって実装基板を多量に生産することが可能
となる。例えば本発明の装置によれば、大型の実装基板
(A4サイズ)への塗布を1600枚/8時間の割合で行う
ことが可能となる。
Further, the coating apparatus of the present invention provides efficient coating by simultaneously performing surface discharge application and back surface immersion application of a mounting substrate, and by performing surface discharge application using a plurality of selective nozzles. This makes it possible to produce a large number of mounting boards. For example, according to the apparatus of the present invention, it is possible to perform coating on a large mounting substrate (A4 size) at a rate of 1600 sheets / 8 hours.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実装基板コーティング装置のコーティ
ング工程部における循環送液システムを示す概念図であ
る。
FIG. 1 is a conceptual diagram showing a circulating liquid supply system in a coating process section of a mounting board coating apparatus of the present invention.

【図2】図1に示す循環送液システムをI方向からみた
図である。
FIG. 2 is a view of the circulating liquid feeding system shown in FIG. 1 as viewed from an I direction.

【図3】図1に示す装置のコーティング工程部をII方向
からみた図である。
FIG. 3 is a view of a coating process section of the apparatus shown in FIG. 1 as viewed from a direction II.

【図4】本発明の実装基板コーティング装置の全体概要
図を示す。
FIG. 4 is an overall schematic view of a mounting board coating apparatus according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1. コーティング液槽 11.実装基板浸漬槽 12.次下流槽(最下流前槽、第2槽) 13.最下流槽(第3槽) 14.堰 15.流出口 16.仕切り 17.コーティング液夾雑物(浮遊物) 2.吐出部 21.開閉弁 22.吐出ノズル 3.送液手段 31.タンク 32.チューブ 33.導管 34.ポンプ 35.チューブ 36.供給口 37.タンク蓋 38.コーティング液補給部 4.搬送手段 41.コーティング位置 42.基板配置部 43.搬送チェーン 44.チャック 45.実装基板移動ライン 46.チェーン歯車回転軸 47.チェーン歯車 5.上下駆動手段 51.スライドベアリング 52.上下動軸受部 53.上下駆動源 54.架台 61.ドライエア吹出装置(エアーナイフ) 7.コーティング部 71.実装基板供給部 72.コーティング供給部 73.マガジンラック 74.カバー 8.後工程部 81.硬化反応部 82.実装基板収納部 83.マガジンラック 84.カバー 85.加湿器 86.蒸気噴出口 9.共通基板 S :上昇(下降)ストローク A :実装基板(コーティング前) A' :実装基板(コーティング済) 1. Coating liquid tank 11. Mounting substrate immersion tank 12. Next downstream tank (most downstream front tank, second tank) 13. Most downstream tank (third tank) 14. Weir 15. Outflow port 16. Partition 17. Coating liquid Contaminants (suspension) 2. Discharge section 21. On-off valve 22. Discharge nozzle 3. Liquid sending means 31. Tank 32. Tube 33. Conduit 34. Pump 35. Tube 36. Supply port 37. Tank lid 38. Coating liquid replenishment part 4. Transportation means 41. Coating position 42. Substrate placement part 43. Transportation chain 44. Chuck 45. Mounting substrate movement line 46. Chain gear rotation axis 47. Chain gear 5. Vertical drive means 51. Slide bearing 52. Vertical motion bearing part 53. Vertical drive source 54. Stand 61. Dry air blowing device (air knife) 7. Coating section 71. Mounting board supply section 72. Coating supply section 73. Magazine rack 74. Cover Post-process section 81. Cure reaction section 82. Mounting board storage section 83. Magazine rack 84. Cover 85. Humidifier 86. Steam outlet 9. Common board S: Up (down) stroke A: Mounting board (before coating) A ': Mounting board (coated)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B05D 7/24 302 B05D 7/24 302Y Fターム(参考) 4D075 AB03 AB04 AB41 AC12 AC84 CA47 DA06 DC19 EB42 4F040 AA12 AB04 AC02 BA35 4F041 AA05 AB02 BA07 4F042 AA06 CA01 CB02 CB20 CC14 DE01 5E314 AA01 BB02 BB11 BB12 CC03 CC04 EE01 FF01 GG01 GG03──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) B05D 7/24 302 B05D 7/24 302Y F term (Reference) 4D075 AB03 AB04 AB41 AC12 AC84 CA47 DA06 DC19 EB42 4F040 AA12 AB04 AC02 BA35 4F041 AA05 AB02 BA07 4F042 AA06 CA01 CB02 CB20 CC14 DE01 5E314 AA01 BB02 BB11 BB12 CC03 CC04 EE01 FF01 GG01 GG03

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】実装基板の裏面にコーティング液を浸漬塗
布するコーティング液槽、実装基板の表面にコーティン
グ液を吐出塗布する吐出部、及び上記コーティング液槽
から吐出部にコーティング液を送液する送液手段を有す
る実装基板コーティング装置であって、 ・吐出部は開閉弁を備え、該弁の開閉によりコーティン
グ液の吐出が制御されており、 ・送液手段は、高低差を利用した自由落下送液と、上記
吐出部の開閉弁開放によるコーティング液吐出に連動し
た開放系加圧送液とを組み合わせた送液システムからな
ることを特徴とする実装基板コーティング装置。
A coating liquid bath for dip-coating the coating liquid on the back surface of the mounting substrate; a discharge unit for discharging and coating the coating liquid on the surface of the mounting substrate; and a feeding unit for feeding the coating liquid from the coating liquid tank to the discharge unit. A mounting substrate coating apparatus having a liquid means, wherein the discharge section is provided with an on-off valve, and discharge of the coating liquid is controlled by opening and closing the valve. A mounting substrate coating apparatus, comprising: a liquid supply system in which a liquid is combined with an open-system pressurized liquid supply interlocked with the coating liquid discharge by opening the on-off valve of the discharge unit.
【請求項2】吐出部がコーティング液槽の上方に配設さ
れ、該吐出部とコーティング液槽との間に、実装基板を
配置し該位置でコーティングすることによって、コーテ
ィング液が循環送液できるように構成されてなる請求項
1記載の実装基板コーティング装置。
2. A discharge section is provided above the coating liquid tank, and a coating substrate can be disposed between the discharge section and the coating liquid tank and coating is performed at this position, whereby the coating liquid can be circulated and sent. 2. The mounting substrate coating apparatus according to claim 1, wherein the coating apparatus is configured as follows.
【請求項3】吐出部とコーティング液槽との間に配置さ
れた実装基板に対して、吐出部からのコーティング液吐
出による表面コーティングとコーティング液槽への浸漬
による裏面コーティングとを同時に行うように構成され
てなる請求項1または2に記載の実装基板コーティング
装置。
3. A coating substrate disposed between a discharge section and a coating liquid tank is simultaneously coated with a front surface by discharging the coating liquid from the discharge section and a backside coating by immersion in the coating liquid tank. The mounting substrate coating apparatus according to claim 1 or 2, which is configured.
【請求項4】吐出部が複数の吐出ノズルを備えてなり、
各吐出ノズルが、実装基板表面に搭載された部品位置に
対応して、選択的にコーティング液を吐出塗布できるよ
うに制御されてなることを特徴とする請求項1乃至3の
いずれかに記載の実装基板コーティング装置。
4. The discharge unit includes a plurality of discharge nozzles,
4. The discharge nozzle according to claim 1, wherein each of the discharge nozzles is controlled so as to selectively discharge and apply the coating liquid in accordance with the position of the component mounted on the mounting substrate surface. Mounting substrate coating equipment.
【請求項5】コーティング液槽が実装基板浸漬槽を含む
少なくとも3槽の順次低水位連続槽からなるものであっ
て、実装基板浸漬槽と次下流槽とは該浸漬槽から溢れた
コーティング液が堰を超えて次下流槽に落下流入するよ
うに堰によって仕切られ、最下流槽と最下流前槽とは下
方部が開口した仕切板で仕切られて該下方部開口部を通
じてコーティング液が最下流前槽から最下流槽に流入す
るように構成され、さらに最下流槽には、上記連続槽の
水位が順次低くなるように流出口が設けられてなるもの
である、請求項1乃至4のいずれかに記載の実装基板コ
ーティング装置。
5. A coating liquid tank comprising at least three successive low water level tanks including a mounting substrate immersion tank, wherein the mounting substrate immersion tank and the next downstream tank are provided with a coating liquid overflowing from the immersion tank. It is partitioned by a weir so that it falls into the next downstream tank beyond the weir. 5. The liquid discharger according to claim 1, wherein the liquid is configured to flow from the front tank to the most downstream tank, and the further most downstream tank is provided with an outflow port so that the water level of the continuous tank gradually decreases. 6. A mounting substrate coating apparatus according to any one of the above.
【請求項6】さらに、実装基板搬送手段と上下駆動手段
を有し、実装基板搬送手段によって実装基板は吐出部と
コーティング液槽の実装基板浸漬槽との間のコーティン
グ位置に移動配置され、上下駆動手段でコーティング液
槽を上昇させることによって、上記コーティング位置に
配置された実装基板の裏面を実装基板浸漬槽のコーティ
ング液に浸漬させて実装基板の裏面塗布を行うように構
成されてなる、請求項1乃至5のいずれかに記載の実装
基板コーティング装置。
6. A mounting substrate transfer means and a vertical drive means, wherein the mounting substrate is moved and arranged at a coating position between a discharge portion and a mounting substrate immersion tank of a coating liquid tank by the mounting substrate transfer means. By raising the coating liquid tank by the driving means, the back surface of the mounting substrate arranged at the coating position is immersed in the coating liquid of the mounting substrate immersion tank to apply the rear surface of the mounting substrate. Item 6. A mounting substrate coating apparatus according to any one of Items 1 to 5.
【請求項7】実装基板の裏面浸漬塗布後、該裏面が実装
基板浸漬槽のコーティング液に浸漬したままで該実装基
板を実装基板搬送手段によって進行方向に水平移動さ
せ、次いで上下駆動手段によってコーティング液槽を降
下させて裏面をコーティング液から脱着させ、さらに実
装基板搬送手段によって該実装基板を進行方向に水平移
動させて次の実装基板をコーティング位置に配置させる
ように構成されてなる請求項6記載の実装基板コーティ
ング装置。
7. The mounting substrate is horizontally moved in a traveling direction by a mounting substrate transport means while the back surface is immersed in a coating liquid in a mounting substrate dipping tank after the dip coating of the mounting substrate, and then the coating is performed by a vertical driving means. 7. The apparatus according to claim 6, wherein the liquid tank is lowered so that the back surface is detached from the coating liquid, and the mounting substrate is horizontally moved in the advancing direction by the mounting substrate transport means to arrange the next mounting substrate at the coating position. The mounting substrate coating apparatus according to the above.
【請求項8】さらにコーティングした実装基板から、余
剰コーティング液を除去する手段を備える請求項1乃至
7のいずれかに記載の実装基板コーティング装置。
8. The mounting substrate coating apparatus according to claim 1, further comprising means for removing an excess coating solution from the coated mounting substrate.
【請求項9】コーティング工程が、乾燥条件下または窒
素ガス置換条件下で行われるように構成されてなる請求
項1乃至8のいずれかに記載の実装基板コーティング装
置。
9. The apparatus according to claim 1, wherein the coating step is performed under a dry condition or a nitrogen gas replacement condition.
【請求項10】コーティング工程部に加えて硬化反応部
を備えた実装基板コーティング装置であって、硬化反応
が高湿度下で行われるように設定されてなる請求項1乃
至9のいずれかに記載の実装基板コーティング装置。
10. A mounting substrate coating apparatus having a curing reaction section in addition to a coating processing section, wherein the curing reaction is set to be performed under high humidity. Mounting board coating equipment.
【請求項11】コーティング液としてシリコン液を用い
る、請求項1乃至10のいずれかに記載の実装基板コー
ティング装置。
11. The apparatus according to claim 1, wherein a silicon liquid is used as the coating liquid.
【請求項12】請求項1乃至11のいずれかに記載の装
置を用いて実装基板をコーティング液でコーティングす
る工程を有する実装基板のコーティング方法。
12. A method for coating a mounting substrate, comprising a step of coating the mounting substrate with a coating liquid using the apparatus according to claim 1.
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