JP2002324671A - El phosphor and el element using same - Google Patents

El phosphor and el element using same

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JP2002324671A
JP2002324671A JP2001128886A JP2001128886A JP2002324671A JP 2002324671 A JP2002324671 A JP 2002324671A JP 2001128886 A JP2001128886 A JP 2001128886A JP 2001128886 A JP2001128886 A JP 2001128886A JP 2002324671 A JP2002324671 A JP 2002324671A
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JP
Japan
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phosphor
thin film
layer
coating layer
metal
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Application number
JP2001128886A
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Japanese (ja)
Inventor
Koji Tanabe
功二 田邉
Yosuke Chikahisa
陽介 近久
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide EL phosphor with little deterioration in brightness with which a dense coating layer can be formed and an EL element using the same, for one used for a display part, illumination of an operating part or the like of electronic equipment. SOLUTION: After phosphor particles 14A are continuously exposed to metal vapor to form a metal thin film on the surface, they are continuously exposed to ozone or oxygen plasma atmosphere to convert the metal thin film into a transparent metal oxide thin film, and form a coating layer 14B on the surface of the phosphor particles 14A, whereby, a dense coating layer can be formed, hence, an EL phosphor 14 with little deterioration in brightness.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、各種電子機器の表
示部や操作部の照明等に用いられるEL蛍光体及びこれ
を用いたEL素子に関するものである。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an EL phosphor used for illumination of a display section and an operation section of various electronic devices, and an EL device using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、各種電子機器の多様化が進むにつ
れて、暗闇でも表示部の識別や操作が可能なように表示
パネルやLCDの後方に照明用のバックライトを備えた
ものが増え、そのバックライト用としてEL素子が多く
使用されるようになっている。
2. Description of the Related Art In recent years, with the diversification of various electronic devices, there has been an increasing number of electronic devices equipped with a backlight for lighting behind a display panel or LCD so that a display unit can be identified and operated even in darkness. EL elements are increasingly used for backlights.

【0003】このような従来のEL素子について、図4
を用いて説明する。
FIG. 4 shows such a conventional EL element.
This will be described with reference to FIG.

【0004】図4は従来のEL素子の断面図であり、同
図において、1はポリエチレンテレフタレート等の光透
過性の基材で、この上面の全面にスパッタ法または電子
ビーム法等によって、酸化インジウム錫からなる光透過
性電極層2が形成されている。
FIG. 4 is a cross-sectional view of a conventional EL device. In FIG. 4, reference numeral 1 denotes a light-transmissive base material such as polyethylene terephthalate. A light transmitting electrode layer 2 made of tin is formed.

【0005】そして、この上に、合成樹脂3に発光の母
材となるEL蛍光体4を分散させた発光体層5や、同じ
く合成樹脂にチタン酸バリウム等を分散させた誘電体層
6、誘電体層6に接続された銀やカーボンレジン系の背
面電極層7、エポキシ樹脂やポリエステル樹脂等の絶縁
層8が順次重ねて印刷形成されて、EL素子が構成され
ている。
[0005] Further, on this, a luminescent layer 5 in which an EL phosphor 4 serving as a base material for light emission is dispersed in a synthetic resin 3, a dielectric layer 6 in which barium titanate or the like is dispersed in the synthetic resin, A back electrode layer 7 of silver or carbon resin connected to the dielectric layer 6 and an insulating layer 8 of epoxy resin, polyester resin or the like are sequentially formed by printing to form an EL element.

【0006】なお、発光体層5内のEL蛍光体4は、水
分による輝度の劣化を防ぐため、銅等に硫化亜鉛をドー
プした蛍光粒子4Aの表面を、酸化アルミニウムや酸化
チタン、シリカ等の金属酸化物や窒化アルミニウム等の
金属窒化物を蒸着した、被覆層4Bで覆って形成されて
いる。
The EL phosphor 4 in the luminous body layer 5 has a surface of the phosphor particles 4A obtained by doping zinc sulfide into copper or the like so as to prevent the luminance from being deteriorated by moisture. It is formed by covering with a coating layer 4B on which metal nitride such as metal oxide or aluminum nitride is deposited.

【0007】以上の構成において、EL素子を電子機器
に装着し、電子機器の回路(図示せず)からEL素子の
光透過性電極層2と背面電極層7の間に交流電圧を印加
すると、発光体層5のEL蛍光体4が発光し、この光が
電子機器の表示パネルやLCD等を後方から照光するた
め、周囲が暗い場合でも表示部や操作部の識別を明確に
行うことができるものであった。
In the above arrangement, when an EL element is mounted on an electronic device and an AC voltage is applied between the light transmitting electrode layer 2 and the back electrode layer 7 of the EL element from a circuit (not shown) of the electronic device, The EL phosphor 4 of the light emitting layer 5 emits light, and this light illuminates the display panel, LCD, or the like of the electronic device from behind, so that the display unit and the operation unit can be clearly identified even when the surroundings are dark. Was something.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
のEL素子においては、発光体層5内のEL蛍光体4の
被覆層4Bが、金属酸化物や金属窒化物を蒸着して形成
されているため、被覆層4Bの緻密性が荒く、また粒子
同士の結合も不充分で、高温多湿下においては輝度の劣
化が生じ易いという課題があった。
However, in the above-mentioned conventional EL device, the coating layer 4B of the EL phosphor 4 in the light emitting layer 5 is formed by depositing a metal oxide or a metal nitride. Further, there is a problem that the denseness of the coating layer 4B is rough, the bonding between the particles is insufficient, and the luminance is easily deteriorated under high temperature and high humidity.

【0009】本発明は、このような従来の課題を解決す
るものであり、高温多湿下においても輝度の劣化が少な
いEL蛍光体及びこれを用いたEL素子を提供すること
を目的とする。
An object of the present invention is to solve such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide an EL phosphor having less deterioration in luminance even under high temperature and high humidity and an EL element using the same.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、以下の構成を有するものである。
To achieve the above object, the present invention has the following arrangement.

【0011】本発明の請求項1に記載の発明は、蛍光粒
子を連続的に金属蒸気に晒して表面に金属薄膜を形成し
た後、これを連続的にオゾンまたは酸素プラズマ雰囲気
に晒し、金属薄膜を透明な金属酸化物薄膜に変換して、
蛍光粒子の表面に被覆層を形成してEL蛍光体を構成し
たものであり、金属薄膜を形成した後の酸化処理によっ
て被覆粒子の体積が膨張し、粒子同士の結合が多く緻密
な被覆層が形成できるため、輝度の劣化が少ないEL蛍
光体を得ることができるという作用を有する。
According to the first aspect of the present invention, after the fluorescent particles are continuously exposed to a metal vapor to form a metal thin film on the surface, the metal thin film is continuously exposed to an ozone or oxygen plasma atmosphere. Into a transparent metal oxide thin film,
An EL phosphor is formed by forming a coating layer on the surface of the fluorescent particles, and the volume of the coated particles expands due to the oxidation treatment after the formation of the metal thin film, and a dense coating layer with many bonds between the particles is formed. Since it can be formed, it has an effect that an EL phosphor with less deterioration in luminance can be obtained.

【0012】請求項2に記載の発明は、請求項1記載の
発明において、複数層の被覆層を形成したものであり、
緻密な被覆層を複数層設けることによって、EL蛍光体
をさらに輝度劣化の少ないものとすることができるとい
う作用を有する。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, a plurality of coating layers are formed.
Providing a plurality of dense coating layers has an effect that the EL phosphor can be further reduced in luminance degradation.

【0013】請求項3に記載の発明は、請求項2記載の
発明において、屈折率の異なる被覆層を交互に形成した
ものであり、蛍光粒子の発光した光が被覆層に反射し難
く、透過性の良好なEL蛍光体が得られるという作用を
有する。
According to a third aspect of the present invention, in the second aspect of the present invention, the coating layers having different refractive indexes are alternately formed, and the light emitted from the fluorescent particles is hardly reflected on the coating layer and is transmitted. It has the effect that an EL phosphor with good properties can be obtained.

【0014】請求項4に記載の発明は、請求項2記載の
発明において、被覆層の少なくとも一層を固体酸で形成
したものであり、高湿度中で蛍光粒子から溶出したイオ
ンを、被覆層の固体酸が捕捉することによって、高湿度
中での発光体層の絶縁性を維持し、合成樹脂が炭化す
る、所謂黒点の発生し難いEL発光体を得ることができ
るという作用を有する。
According to a fourth aspect of the present invention, in the second aspect of the present invention, at least one of the coating layers is formed of a solid acid, and ions eluted from the fluorescent particles in high humidity are removed. The capture of the solid acid has the effect of maintaining the insulating properties of the luminous body layer in high humidity and of obtaining an EL luminous body in which the synthetic resin is carbonized, which is less likely to generate so-called black spots.

【0015】請求項5に記載の発明は、請求項1記載の
発明において、雰囲気温度350℃以下で被覆層を形成
したものであり、被覆層形成時の熱劣化による蛍光粒子
の輝度低下を防止できるという作用を有する。
According to a fifth aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the coating layer is formed at an ambient temperature of 350 ° C. or less, and a decrease in luminance of the fluorescent particles due to thermal deterioration during the formation of the coating layer is prevented. Has the effect of being able to.

【0016】請求項6に記載の発明は、光透過性の基材
上に光透過性電極層と、請求項1記載のEL蛍光体を合
成樹脂に分散した発光体層、及び背面電極層を重ねて形
成してEL素子を構成したものであり、輝度劣化の少な
いEL素子を実現することができるという作用を有す
る。
According to a sixth aspect of the present invention, a light-transmitting electrode layer, a light-emitting layer in which the EL phosphor of the first aspect is dispersed in a synthetic resin, and a back electrode layer are provided on a light-transmitting substrate. The EL element is formed by being stacked, and has an effect that an EL element with less luminance degradation can be realized.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図1〜図3を用いて説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0018】なお、従来の技術の項で説明した構成と同
一構成の部分には同一符号を付して、詳細な説明を省略
する。
The same components as those described in the section of the related art are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0019】(実施の形態1)実施の形態1を用いて、
本発明の特に請求項1及び6記載の発明について説明す
る。
(Embodiment 1) Using Embodiment 1,
The invention of the first and sixth aspects of the present invention will be particularly described.

【0020】図1は本発明の第1の実施の形態によるE
L蛍光体を用いたEL素子の断面図であり、同図におい
て、1はポリエチレンテレフタレートやポリイミドフィ
ルム等の光透過性の基材で、この上面の全面にスパッタ
法または電子ビーム法、或いは酸化インジウム錫等を分
散した合成樹脂を印刷して、光透過性電極層2が形成さ
れている。
FIG. 1 shows E according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 1 is a cross-sectional view of an EL element using an L phosphor, in which 1 is a light-transmitting substrate such as polyethylene terephthalate or a polyimide film, and a sputtering method, an electron beam method, or indium oxide is formed on the entire upper surface thereof. The light transmitting electrode layer 2 is formed by printing a synthetic resin in which tin or the like is dispersed.

【0021】そして、この上に、フッ素ゴムやシアノ系
樹脂等の高誘電性の合成樹脂13に発光の母材となるE
L蛍光体14を分散させた発光体層15や、同じく高誘
電性の合成樹脂にチタン酸バリウム等の高誘電性無機充
填体を分散させた誘電体層6、誘電体層6に接続された
銀やカーボンレジン系の背面電極層7、エポキシ樹脂や
ポリエステル樹脂等の絶縁層8が順次重ねて印刷形成さ
れて、EL素子が構成されている。
Then, a high dielectric synthetic resin 13 such as a fluoro rubber or a cyano resin is added to the base material E as a base material for light emission.
The phosphor layer 15 in which the L phosphor 14 is dispersed, the dielectric layer 6 in which a high dielectric inorganic filler such as barium titanate is dispersed in a high dielectric synthetic resin, and the dielectric layer 6 are connected. A back electrode layer 7 of silver or carbon resin and an insulating layer 8 of epoxy resin, polyester resin or the like are sequentially superposed and printed to form an EL element.

【0022】なお、発光体層15内のEL蛍光体14
は、水分による輝度の劣化を防ぐため、銅等に硫化亜鉛
をドープした蛍光粒子14Aの表面を、被覆層14Bが
覆って形成されている。
The EL phosphor 14 in the light emitting layer 15
Is formed by covering the surface of fluorescent particles 14A obtained by doping zinc sulfide into copper or the like with a coating layer 14B in order to prevent deterioration in luminance due to moisture.

【0023】以上の構成において、EL素子を電子機器
に装着し、電子機器の回路(図示せず)からEL素子の
光透過性電極層2と背面電極層7の間に交流電圧を印加
すると、発光体層15のEL蛍光体14が発光し、この
光が電子機器の表示パネルやLCD等を後方から照光す
るため、周囲が暗い場合でも表示部や操作部の識別を明
確に行うことができる。
In the above configuration, when the EL element is mounted on an electronic device and an AC voltage is applied between the light transmitting electrode layer 2 and the back electrode layer 7 of the EL element from a circuit (not shown) of the electronic device, The EL phosphor 14 of the light emitting layer 15 emits light, and this light illuminates the display panel, LCD, or the like of the electronic device from behind, so that the display unit and the operation unit can be clearly identified even when the surroundings are dark. .

【0024】次に、以上のようなEL蛍光体14の製作
方法について説明する。
Next, a method of manufacturing the above-described EL phosphor 14 will be described.

【0025】図2はEL蛍光体の製造方法のプロセス図
であり、同図において、21Aは真空チャンバーで、金
属蒸着元から蒸発したアルミニウムやチタン、珪素等の
金属蒸気22が、左方から供給されるアルゴンガス等の
不活性ガス23と共に、真空チャンバー21A内に導入
される。
FIG. 2 is a process diagram of a method for manufacturing an EL phosphor. In FIG. 2, reference numeral 21A denotes a vacuum chamber in which a metal vapor 22 such as aluminum, titanium, or silicon vaporized from a metal deposition source is supplied from the left. Introduced into the vacuum chamber 21A together with the inert gas 23 such as argon gas.

【0026】そして、上方の投入口からバルブ24Aを
開けて、蛍光粒子14Aを投入し少量ずつ連続的に落下
させると、蛍光粒子14Aが金属蒸気22に晒されて、
表面に金属薄膜が形成される。
Then, when the bulb 24A is opened from the upper inlet, the fluorescent particles 14A are charged and dropped continuously little by little, the fluorescent particles 14A are exposed to the metal vapor 22,
A metal thin film is formed on the surface.

【0027】この金属薄膜はまだ酸化されていない金属
粒子であるため、既に酸化された金属酸化物を蒸着させ
る場合に比べ、比較的低温でも粒子同士の結合が行われ
易く、緻密に蛍光粒子14Aを覆うことができる。
Since this metal thin film is a metal particle which has not been oxidized yet, the particles are easily bonded to each other even at a relatively low temperature as compared with a case where an oxidized metal oxide is deposited, and the fluorescent particles 14A are densely formed. Can be covered.

【0028】なお、蛍光粒子14Aに複数層の被覆層1
4Bを形成する場合には、バルブ24Bを開放、バルブ
24Cを閉じて、移送管25Aによって金属薄膜が形成
された蛍光粒子14Aを上方へ移送し、真空チャンバー
21A内に再び落下させ、これを何回か繰返して所定の
厚さの金属薄膜を形成する。
The fluorescent particles 14A have a plurality of coating layers 1
In the case of forming 4B, the valve 24B is opened, the valve 24C is closed, and the fluorescent particles 14A on which the metal thin film is formed are transferred upward by the transfer tube 25A and dropped again into the vacuum chamber 21A. A metal thin film having a predetermined thickness is formed by repeating the process several times.

【0029】次に、バルブ24Cを開放、バルブ24B
を閉じて、移送管25Bによって金属薄膜が形成された
蛍光粒子14Aを、左方から酸素ガス26が供給され、
これがプラズマ装置27によってプラズマ化された、真
空チャンバー21B上方へ移送する。
Next, the valve 24C is opened, and the valve 24B is opened.
Is closed, the fluorescent particles 14A on which the metal thin film is formed by the transfer tube 25B are supplied with oxygen gas 26 from the left side,
This is transferred above the vacuum chamber 21B, which has been turned into plasma by the plasma device 27.

【0030】そして、蛍光粒子14Aを、真空チャンバ
ー21B上方から少量ずつ連続的に落下すると、プラズ
マ化された酸素ガス26雰囲気に晒されて金属薄膜が酸
化され、透明な金属酸化物薄膜に変換されて、被覆層1
4Bが形成される。
Then, when the fluorescent particles 14A are continuously dropped little by little from above the vacuum chamber 21B, they are exposed to the plasma gasified oxygen gas 26 atmosphere to oxidize the metal thin film and convert it into a transparent metal oxide thin film. And coating layer 1
4B is formed.

【0031】この時、酸化処理による金属薄膜から金属
酸化物薄膜への変換によって、蛍光粒子14Aを覆った
個々の被覆粒子の体積が膨張するため、さらに粒子同士
の結合が行われると共に、粒子間の空隙が少なくなり、
緻密な被覆層14Bが形成される。
At this time, the volume of each coated particle covering the fluorescent particles 14A expands due to the conversion from the metal thin film to the metal oxide thin film by the oxidation treatment, so that the particles are further bonded to each other, Gaps are reduced,
A dense covering layer 14B is formed.

【0032】なお、蛍光粒子14Aに形成した金属薄膜
が厚い場合には、酸化を完全なものとするために、バル
ブ24Dを開放し、バルブ24Eを閉じて、移送管25
Cによって蛍光粒子14Aを上方へ移送して、真空チャ
ンバー21B内に再び落下させ、これを金属薄膜が完全
に酸化されるまで繰返す。
When the metal thin film formed on the fluorescent particles 14A is thick, the valve 24D is opened, the valve 24E is closed, and the transfer pipe 25 is closed in order to complete the oxidation.
The fluorescent particles 14A are transferred upward by C and dropped again into the vacuum chamber 21B, and this is repeated until the metal thin film is completely oxidized.

【0033】最後に、こうして蛍光粒子14Aに所定膜
厚の被覆層14Bが形成されたEL蛍光体14は、真空
を解除してバルブ24Fを開放し、取出し口から取出さ
れる。
Finally, the EL phosphor 14 in which the coating layer 14B having the predetermined thickness is formed on the phosphor particles 14A is released from the outlet by releasing the vacuum and opening the valve 24F.

【0034】このように本実施の形態によれば、蛍光粒
子14Aを連続的に金属蒸気に晒して表面に金属薄膜を
形成した後、これを連続的にオゾンまたは酸素プラズマ
雰囲気に晒し、金属薄膜を透明な金属酸化物薄膜に変換
して、蛍光粒子14Aの表面に被覆層14Bを形成する
ことによって、粒子同士の結合が多く緻密な被覆層が形
成できるため、輝度の劣化が少ないEL蛍光体及びこれ
を用いたEl素子を得ることができるものである。
As described above, according to the present embodiment, after the fluorescent particles 14A are continuously exposed to metal vapor to form a metal thin film on the surface, they are continuously exposed to an ozone or oxygen plasma atmosphere, and Is converted into a transparent metal oxide thin film, and a coating layer 14B is formed on the surface of the fluorescent particles 14A, so that a dense coating layer can be formed with a large number of bonds between the particles, so that the EL phosphor is less reduced in luminance. And an El element using the same.

【0035】(実施の形態2)実施の形態2を用いて、
本発明の特に請求項2〜5記載の発明について説明す
る。
(Embodiment 2) Using Embodiment 2,
The invention of the present invention will be described below.

【0036】なお、実施の形態1の構成と同一構成の部
分には同一符号を付して、詳細な説明を省略する。
The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description is omitted.

【0037】図3は本発明の第2の実施の形態によるE
L蛍光体の部分断面図であり、同図において、14Aは
実施の形態1の場合と同様の、銅等に硫化亜鉛をドープ
した蛍光粒子で、この蛍光粒子14Aの表面には、複数
層の被覆層14B、14Cが交互に重ねて形成されてい
る。
FIG. 3 shows E according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 14 is a partial cross-sectional view of the L phosphor, in which 14A is a phosphor particle obtained by doping zinc sulfide into copper or the like as in Embodiment 1, and a surface of the phosphor particle 14A has a plurality of layers. The coating layers 14B and 14C are alternately formed.

【0038】次に、このようなEL蛍光体14を用いた
EL素子の具体的な製作方法と、その特性について説明
する。
Next, a specific method of manufacturing an EL device using such an EL phosphor 14 and its characteristics will be described.

【0039】先ず、厚さ125μmのポリエチレンテレ
フタレートフィルムの基材1上に、酸化インジウム錫を
厚さ30nmにスパッタし、光透過性電極層2を形成し
た後、順次重ねて以下の印刷を行った。
First, indium tin oxide was sputtered to a thickness of 30 nm on a substrate 1 of a polyethylene terephthalate film having a thickness of 125 μm to form a light-transmitting electrode layer 2, and then the following printing was performed by successively overlapping. .

【0040】光透過性電極層2上に、2エトキシエトキ
シエタノールに溶解した合成樹脂13としてのフッ素ゴ
ム(デュポン社製バイトンA)100重量%に対し、2
00gの蛍光体14を攪拌混合した後、所定パターンの
200メッシュステンレススクリーンで印刷し、100
℃で30分間乾燥して、発光体層15を形成した。
On the light-transmitting electrode layer 2, 100% by weight of fluoro rubber (Viton A manufactured by DuPont) as a synthetic resin 13 dissolved in 2 ethoxyethoxyethanol was added.
After stirring and mixing 00 g of the phosphor 14, it was printed on a 200 mesh stainless screen having a predetermined pattern,
It dried at 30 degreeC for 30 minutes, and the light emitting body layer 15 was formed.

【0041】なお、蛍光体14は、実施の形態1の場合
と同様の方法によって、蛍光粒子14A(株式会社東芝
製SP−500)に金属薄膜としてアルミニウムを用
い、形成された酸化アルミニウムの被覆層14Bが膜厚
20〜520nmの、(表1)に示すNo.3〜6の四
種類を製作した。
The phosphor 14 is formed by using a method similar to that of the first embodiment, using aluminum as a metal thin film for the fluorescent particles 14A (SP-500 manufactured by Toshiba Corporation) and forming a coating layer of aluminum oxide. No. 14B having a film thickness of 20 to 520 nm, and No. 14B shown in (Table 1). Four types of 3-6 were produced.

【0042】また、同様にして、1回の厚さを50nm
とし、屈折率1.46のシリカを3回、屈折率2.2の
酸化チタンを2回、合計250nmの厚さで最外周側に
シリカの被覆層14Bが形成されたNo.7、及び、シ
リカを3回、固体酸としての五酸化アンチモンを3回、
合計300nmの厚さで最外周側に五酸化アンチモンの
被覆層14Bが形成されたNo.8も製作した。
In the same manner, one thickness is set to 50 nm.
No. 3, in which silica having a refractive index of 1.46 was used three times and titanium oxide having a refractive index of 2.2 was used twice, and a silica coating layer 14B was formed on the outermost peripheral side with a total thickness of 250 nm. 7, and silica three times, antimony pentoxide as a solid acid three times,
No. 3 in which a coating layer 14B of antimony pentoxide was formed on the outermost peripheral side with a total thickness of 300 nm. 8 was also made.

【0043】さらに、比較用として、被覆層のないN
o.1、酸化アルミニウムを蒸着して被覆層を形成した
No.2の蛍光体(オスラムシルバニア社製CJ43
0)も製作した。
Further, for comparison, N
o. No. 1 in which aluminum oxide was deposited to form a coating layer. Phosphor 2 (CJ43 manufactured by OSRAM Sylvania)
0) was also produced.

【0044】次に、この各々の発光体層15上に、2エ
トキシエトキシエタノールに溶解したフッ素ゴム(デュ
ポン社製バイトンA)22重量%に、チタン酸バリウム
粉末(堺化学株式会社製BT−05)78重量%を分散
した誘電体ペーストを、所定パターンの100メッシュ
ステンレススクリーンで印刷し、発光体層15と同一条
件で乾燥して誘電体層6を形成した。
Next, on each of the light emitting layers 15, 22% by weight of fluoro rubber (Viton A manufactured by DuPont) dissolved in 2 ethoxyethoxyethanol was mixed with barium titanate powder (BT-05 manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd.). The dielectric paste in which 78% by weight was dispersed was printed on a 100-mesh stainless screen having a predetermined pattern, and dried under the same conditions as the light-emitting layer 15 to form the dielectric layer 6.

【0045】続いて、カーボンペースト(東洋紡株式会
社製DW−250H)を所定パターンの200メッシュ
ステンレススクリーンで印刷し、155℃で30分間乾
燥して背面電極層7を形成した。
Subsequently, a carbon paste (DW-250H manufactured by Toyobo Co., Ltd.) was printed on a 200-mesh stainless screen having a predetermined pattern, and dried at 155 ° C. for 30 minutes to form a back electrode layer 7.

【0046】最後に、絶縁レジスト(藤倉化成株式会社
製XB−804)を所定パターンの200メッシュステ
ンレススクリーンで印刷し、155℃で30分間乾燥し
て絶縁層8を形成した。
Finally, an insulating resist (XB-804 manufactured by Fujikura Kasei Co., Ltd.) was printed on a 200-mesh stainless screen having a predetermined pattern and dried at 155 ° C. for 30 minutes to form an insulating layer 8.

【0047】[0047]

【表1】 [Table 1]

【0048】以上のように製作したNo.1〜8のEL
素子について、(表1)に示すように、100V400
Hzでの初期輝度(Cd/m2)を製作後一日放置した
後で測定し、これらを40℃95%RH湿度槽中に10
0V400Hzで1000時間連続点灯した後、槽から
取り出して30分後に輝度を測定して、高湿度中での輝
度の変化を示す輝度保持率を比較評価した。
No. manufactured as described above. EL of 1-8
For the device, as shown in (Table 1), 100V400
The initial luminance at 10 Hz (Cd / m 2 ) was measured after standing for one day after fabrication,
After continuous lighting at 0 V and 400 Hz for 1000 hours, the luminance was measured 30 minutes after being taken out of the bath, and a luminance retention ratio indicating a change in luminance in high humidity was compared and evaluated.

【0049】この結果、(表1)から明らかなように、
被覆層のないNo.1や既に酸化された金属酸化物を蒸
着させたNo.2に比べ、金属薄膜を形成後酸化させた
No.3〜6は、被覆層厚さが大きくなるに従って、輝
度保持率が大きく、つまり、高湿度中での輝度の変化が
少なくなっている。
As a result, as apparent from (Table 1),
No. with no coating layer No. 1 or No. 1 in which an already oxidized metal oxide was deposited. No. 2 which was oxidized after forming the metal thin film, as compared with No. 2. In Nos. 3 to 6, the luminance retention rate increases as the thickness of the coating layer increases, that is, the change in luminance under high humidity decreases.

【0050】そして、屈折率の異なる被覆層を交互に形
成したNo.7は、被覆層のないものと殆ど同等の初期
輝度で、良好な透過性が得られた。
In the case of No. 1 in which coating layers having different refractive indexes were alternately formed. Sample No. 7 had an initial luminance almost equal to that without the coating layer, and good transmittance was obtained.

【0051】さらに、被覆層の一層を固体酸で形成した
No.8は、初期輝度の輝度保持率に加え、高湿度中で
蛍光粒子からイオンが溶出し、絶縁性が損なわれること
によって合成樹脂が炭化する、所謂黒点の発生も防止す
ることができた。
Further, No. 1 in which one layer of the coating layer was formed of a solid acid. In No. 8, in addition to the luminance retention rate of the initial luminance, ions were eluted from the fluorescent particles in high humidity, and the occurrence of so-called black spots, in which the synthetic resin was carbonized due to impaired insulation, could be prevented.

【0052】このように本実施の形態によれば、複数層
の被覆層を形成することによって、被覆層がさらに緻密
なものとなり、輝度劣化の少ないEL蛍光体を得ること
ができるものである。
As described above, according to the present embodiment, by forming a plurality of coating layers, the coating layer becomes more dense and an EL phosphor with less luminance deterioration can be obtained.

【0053】そして、屈折率の異なる被覆層を交互に形
成することによって、蛍光粒子の発生した光が被覆層に
反射し難く、透過性の良好なEL蛍光体が得られる。
By alternately forming the coating layers having different refractive indexes, light generated by the fluorescent particles is hardly reflected on the coating layer, and an EL phosphor having good transmittance can be obtained.

【0054】さらに、複数の被覆層の少なくとも一層
を、五酸化アンチモンや酸化ジルコニウム等の固体酸で
形成することによって、高湿度中での発光体層の絶縁性
を維持し、黒点の発生し難いEL蛍光体を得ることがで
きる。
Furthermore, by forming at least one of the plurality of coating layers with a solid acid such as antimony pentoxide or zirconium oxide, the insulating properties of the luminous layer in high humidity are maintained, and black spots are hardly generated. An EL phosphor can be obtained.

【0055】なお、蛍光粒子14A表面に被覆層14B
や14Cを形成する際の雰囲気温度は、350℃以下、
好ましくは0〜200℃で、この温度下で被覆層を形成
することによって、被覆層形成時の熱劣化による蛍光粒
子14Aの輝度低下を防止することができる。
The surface of the fluorescent particles 14A is covered with a coating layer 14B.
Temperature when forming C and 14C is 350 ° C. or less,
By forming the coating layer at this temperature, preferably at 0 to 200 ° C., it is possible to prevent a decrease in the brightness of the fluorescent particles 14 </ b> A due to thermal degradation during the formation of the coating layer.

【0056】また、以上の説明では、蛍光粒子14Aを
真空チャンバー21A内で連続的に落下させ、蒸着によ
って表面に金属薄膜を形成する方法について説明した
が、蛍光粒子14Aを攪拌装置等で攪拌しながら蒸着や
酸化を行なったり、蒸着法に代えて、スパッタ法やメッ
キ法によって金属薄膜を形成しても、本発明の実施は可
能である。
In the above description, a method of continuously dropping the fluorescent particles 14A in the vacuum chamber 21A and forming a metal thin film on the surface by vapor deposition has been described. However, the fluorescent particles 14A are stirred by a stirrer or the like. The present invention can be practiced by performing vapor deposition or oxidation while forming, or forming a metal thin film by sputtering or plating instead of vapor deposition.

【0057】[0057]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、緻密な被
覆層の形成が可能で、輝度の劣化が少ないEL蛍光体及
びこれを用いたEL素子を得ることができるという有利
な効果が得られる。
As described above, according to the present invention, it is possible to form a dense coating layer, and it is possible to obtain an EL phosphor having little luminance deterioration and an EL element using the same. can get.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態によるEL素子の断
面図
FIG. 1 is a sectional view of an EL device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】同製造方法のプロセス図FIG. 2 is a process diagram of the manufacturing method.

【図3】本発明の第2の実施の形態によるEL蛍光体の
部分断面図
FIG. 3 is a partial cross-sectional view of an EL phosphor according to a second embodiment of the present invention.

【図4】従来のEL素子の断面図FIG. 4 is a cross-sectional view of a conventional EL element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基材 2 光透過性電極層 6 誘電体層 7 背面電極層 8 絶縁層 13 合成樹脂 14 EL蛍光体 14A 蛍光粒子 14B、14C 被覆層 15 発光体層 21A、21B 真空チャンバー 22 金属蒸気 23 不活性ガス 24A、24B、24C、24D バルブ 25A、25B、25C 移送管 26 酸素ガス 27 プラズマ装置 Reference Signs List 1 base material 2 light-transmitting electrode layer 6 dielectric layer 7 back electrode layer 8 insulating layer 13 synthetic resin 14 EL phosphor 14A fluorescent particle 14B, 14C coating layer 15 light emitting layer 21A, 21B vacuum chamber 22 metal vapor 23 inert Gas 24A, 24B, 24C, 24D Valve 25A, 25B, 25C Transfer pipe 26 Oxygen gas 27 Plasma device

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05B 33/20 H05B 33/20 Fターム(参考) 3K007 AB11 AB13 AB18 CA06 CB01 DA04 DA05 DB02 DC01 EA02 EA03 EA04 EB04 FA01 4H001 CA01 CC02 CC04 CC05 CC06 XA16 XA30 YA29 4K029 AA22 BA03 BA17 BA35 BB02 BC07 BD00 CA01 EA08 GA02Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat II (reference) H05B 33/20 H05B 33/20 F term (reference) 3K007 AB11 AB13 AB18 CA06 CB01 DA04 DA05 DB02 DC01 EA02 EA03 EA04 EB04 FA01 4H001 CA01 CC02 CC04 CC05 CC06 XA16 XA30 YA29 4K029 AA22 BA03 BA17 BA35 BB02 BC07 BD00 CA01 EA08 GA02

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 蛍光粒子と、この表面を覆う被覆層から
なり、上記被覆層が、上記蛍光粒子を連続的に金属蒸気
に晒して表面に金属薄膜を形成した後、これを連続的に
オゾンまたは酸素プラズマ雰囲気に晒し、上記金属薄膜
を透明な金属酸化物薄膜に変換して形成されたEL蛍光
体。
1. A method comprising the steps of: (a) forming a thin metal film on a surface by continuously exposing the fluorescent particles to a metal vapor; Alternatively, an EL phosphor formed by exposing the metal thin film to a transparent metal oxide thin film by exposing to an oxygen plasma atmosphere.
【請求項2】 複数層の被覆層を形成した請求項1記載
のEL蛍光体。
2. The EL phosphor according to claim 1, wherein a plurality of coating layers are formed.
【請求項3】 屈折率の異なる被覆層を交互に形成した
請求項2記載のEL蛍光体。
3. The EL phosphor according to claim 2, wherein coating layers having different refractive indexes are alternately formed.
【請求項4】 被覆層の少なくとも一層を固体酸で形成
した請求項2記載のEL蛍光体。
4. The EL phosphor according to claim 2, wherein at least one of the coating layers is formed of a solid acid.
【請求項5】 雰囲気温度350℃以下で被覆層を形成
した請求項1記載のEL蛍光体。
5. The EL phosphor according to claim 1, wherein the coating layer is formed at an ambient temperature of 350 ° C. or lower.
【請求項6】 光透過性の基材上に光透過性電極層と、
請求項1記載のEL蛍光体を合成樹脂に分散した発光体
層、及び背面電極層を重ねて形成したEL素子。
6. A light transmitting electrode layer on a light transmitting substrate,
An EL element formed by laminating a light-emitting layer in which the EL phosphor according to claim 1 is dispersed in a synthetic resin and a back electrode layer.
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