JP2002324490A - Ac type plasma display device - Google Patents

Ac type plasma display device

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JP2002324490A
JP2002324490A JP2001125425A JP2001125425A JP2002324490A JP 2002324490 A JP2002324490 A JP 2002324490A JP 2001125425 A JP2001125425 A JP 2001125425A JP 2001125425 A JP2001125425 A JP 2001125425A JP 2002324490 A JP2002324490 A JP 2002324490A
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JP
Japan
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electrode
transparent
plasma display
display device
transparent electrode
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Application number
JP2001125425A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Ogura
健 小倉
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Nippon Electric Kagoshima Ltd
NEC Kagoshima Ltd
Original Assignee
Nippon Electric Kagoshima Ltd
NEC Kagoshima Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an AC type plasma display device which is free from degradation of light-transmitting property of a light emitting cell, free from cost-up, can reduce power consumption and improve luminous efficiency, displaying quality, in a structure in which each transparent electrode is isolated per light emitting cell. SOLUTION: In a disclosed AC type plasma display device 10, a scanning electrode 3 and a maintenance electrode 4 formed in parallel on the opposed surface of a first transparent substrate 1 in a front substrate 20 to a second transparent substrate 11 are constituted of transparent electrodes 3A, 4A consisting of transparent conductors such as indium-tin oxide, tin oxide, and bus electrodes (trace electrodes) 3B, 4B, consisting of silver or the like having a lower resistance than each transparent electrode 3A or 4A to reduce the line resistance. While each transparent electrode 3A or 4A is arranged in isolation for each light emitting cell 16 on a back substrate 30 partitioned by each barrier wall 14. Each transparent electrode 3A or 4A in each light emitting cell 16 is connected mutually by a connecting transparent electrode 17 formed of the same conductor as each transparent electrode 3A or 4A and straddling over each barrier wall 14.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、AC(Alternat
ing Current)型プラズマディスプレイ装置に係り、詳
しくは、前面基板上に平行に形成された走査電極及び維
持電極がそれぞれ透明電極とバス電極とから構成され、
各透明電極が発光セル毎に孤立して形成されてなるAC
型プラズマディスプレイ装置に関する。
The present invention relates to an AC (Alternat)
In particular, the present invention relates to a plasma display device, and more specifically, a scan electrode and a sustain electrode formed in parallel on a front substrate are respectively composed of a transparent electrode and a bus electrode,
AC in which each transparent electrode is formed separately for each light emitting cell
The present invention relates to a plasma display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】プラズマディスプレイ装置は、駆動電源
にACを利用するAC型、DC(Direct Current)を利
用するDC型、及びACとDCとを併用するハイブリッ
ド型の3種類に大別されるが、構造が比較的簡単で大画
面化が容易なAC型が一般に採用されている。
2. Description of the Related Art Plasma display devices are roughly classified into three types: an AC type using AC as a driving power source, a DC type using DC (Direct Current), and a hybrid type using both AC and DC. The AC type, which has a relatively simple structure and is easy to enlarge the screen, is generally employed.

【0003】このAC型プラズマディスプレイ装置の中
でも特に、前面基板(走査基板)の背面基板と対向する
面に平行に走査電極と維持電極(共通電極)とから成る
行電極対を形成すると共に、背面基板に行電極対と直交
するように列電極(データ電極)を形成し、データ電極
(アドレス電極)及び走査電極を駆動電圧により駆動し
て発光(表示)すべき単位セル(以下、発光セルと称す
る)を選択するための書き込み放電を行う一方、走査電
極及び維持電極を駆動して選択した発光セルの面放電に
よる維持放電を行うように構成した3電極面放電型は、
前面基板における面放電時に発生する高エネルギのイオ
ンが、背面基板に形成した蛍光体を衝撃して劣化させる
ことがないので、長寿命化を図ることができるため広く
採用されている。
In this AC type plasma display device, in particular, a row electrode pair including a scanning electrode and a sustain electrode (common electrode) is formed in parallel with a surface of a front substrate (scanning substrate) facing a rear substrate, and a back electrode is formed. A column electrode (data electrode) is formed on the substrate so as to be orthogonal to the row electrode pair, and a data cell (address electrode) and a scanning electrode are driven by a driving voltage to emit light (display). The three-electrode surface-discharge type is configured to perform a write discharge for selecting a scan electrode and a sustain discharge by driving a scan electrode and a sustain electrode to perform a sustain discharge by surface discharge of a selected light emitting cell.
Since high-energy ions generated at the time of surface discharge on the front substrate do not impact and deteriorate the phosphor formed on the rear substrate, they are widely used because they can extend the life.

【0004】図11は、従来のAC型3電極面放電型の
AC型プラズマディスプレイの主要部の構成を示す平面
図である。同プラズマディスプレイ装置は、図11に示
すように、透明基板から成る前面基板(図示せず)の背
面基板と対向する面に、画面の行方向Hに沿って平行に
行電極対を構成する走査電極51と維持電極52とが面
放電ギャップ53を介して形成されている。そして、走
査電極51及び維持電極52はそれぞれ、透明電極51
A、52Aと、ライン抵抗を減少させるために各透明電
極51A、52Aの一部に形成された各透明電極51
A、52Aより低抵抗のバス電極(トレース電極)51
B、52Bとから構成されている。一方、透明基板から
成る背面基板(図示せず)の前面基板と対向する面に
は、画面の列方向Vに沿って平行に列電極を構成するデ
ータ電極54が形成され、このデータ電極54は同様に
列方向Vに沿って形成された複数の隔壁55により囲ま
れるように配置されている。そして、各壁55により複
数の発光セル56が個々に区切られている。
FIG. 11 is a plan view showing a configuration of a main part of a conventional AC type three-electrode surface discharge type AC plasma display. In the plasma display device, as shown in FIG. 11, scanning is performed by forming a pair of row electrodes on a surface of a front substrate (not shown) made of a transparent substrate facing a rear substrate in parallel along a row direction H of a screen. The electrode 51 and the sustain electrode 52 are formed via a surface discharge gap 53. Then, the scanning electrode 51 and the sustain electrode 52 are respectively
A, 52A and each transparent electrode 51A formed on a part of each transparent electrode 51A, 52A to reduce line resistance.
A, bus electrode (trace electrode) 51 having lower resistance than 52A
B, 52B. On the other hand, on a surface of a rear substrate (not shown) made of a transparent substrate facing the front substrate, data electrodes 54 forming column electrodes are formed in parallel along the column direction V of the screen. Similarly, it is arranged so as to be surrounded by a plurality of partition walls 55 formed along the column direction V. The plurality of light emitting cells 56 are individually partitioned by each wall 55.

【0005】以上のような構成のAC型プラズマディス
プレイにおいて、データ電極54及び走査電極51を駆
動電圧(高電圧ACパルス)を印加することにより駆動
して複数の発光セルの中から発光すべき発光セルを選択
するための書き込み放電を行う一方、走査電極51及び
維持電極52を同様に駆動電圧を印加することにより駆
動して選択した発光セルの面放電による維持放電を行う
ことにより、任意の画像を画面に表示させる。ここで、
走査電極51及び維持電極52を構成している各透明電
極51A、52Aの面積は、AC型プラズマディスプレ
イ装置の消費電力及び発光効率に大きな影響を与える。
In the AC-type plasma display having the above configuration, the data electrode 54 and the scanning electrode 51 are driven by applying a driving voltage (high-voltage AC pulse) to emit light from a plurality of light-emitting cells. While performing a write discharge for selecting a cell, the scan electrode 51 and the sustain electrode 52 are similarly driven by applying a drive voltage to perform a sustain discharge by surface discharge of the selected light emitting cell, thereby forming an arbitrary image. Is displayed on the screen. here,
The area of each of the transparent electrodes 51A and 52A constituting the scan electrode 51 and the sustain electrode 52 has a great influence on the power consumption and the luminous efficiency of the AC type plasma display device.

【0006】そのような観点から、図11に示した構成
の従来のAC型プラズマディスプレイ装置では、走査電
極51及び維持電極52の各透明電極51A、52Aは
複数の発光セル56にまたがって共通に配置されている
ので、大きな面積で形成されていることになる。したが
って、AC型プラズマディスプレイ装置の駆動時は選択
した発光セル以外の発光セルの透明電極にも通電が行わ
れるようになるため、消費電力を増加させ、発光効率を
低下させることになる。
From such a viewpoint, in the conventional AC plasma display device having the configuration shown in FIG. 11, the transparent electrodes 51A and 52A of the scan electrode 51 and the sustain electrode 52 are commonly shared over a plurality of light emitting cells 56. Since they are arranged, they are formed with a large area. Therefore, when the AC type plasma display device is driven, current is also supplied to the transparent electrodes of the light emitting cells other than the selected light emitting cell, so that the power consumption is increased and the light emission efficiency is reduced.

【0007】それゆえ、消費電力低減及び発光効率向上
を図るために、図12に示すように、各発光セル56毎
に走査電極51及び維持電極52の各透明電極51A、
52Aを孤立させるように構成したAC型プラズマディ
スプレイ装置が提供されるようになってきている。図1
2のAC型プラズマディスプレイ装置では、各発光セル
56毎に孤立して各透明電極51A、52Aが形成され
ているので、駆動時は選択した発光セルの透明電極のみ
に通電が行われるようになる。なお、図12では、デー
タ電極の図示を省略している。
Therefore, in order to reduce power consumption and improve luminous efficiency, as shown in FIG. 12, each transparent electrode 51A of a scan electrode 51 and a sustain electrode 52 is provided for each light emitting cell 56.
An AC-type plasma display device configured to isolate 52A has been provided. FIG.
In the second AC plasma display device, the transparent electrodes 51A and 52A are formed separately for each light emitting cell 56, so that only the transparent electrode of the selected light emitting cell is energized during driving. . In FIG. 12, illustration of the data electrodes is omitted.

【0008】ところで、最近のAC型プラズマディスプ
レイ装置では、より大画面化に向かうにつれてさらに消
費電力低減及び発光効率向上の要求が高まってきてい
る。この結果、図13に示すように、各透明電極51
A、52Aを、面放電ギャップ53を形成するための細
長状の面放電部51a、52aとこれら各部51a、5
2aを支持する細長状の支持部51b、52bとからT
形状に構成し、各面放電部51a、52a及び各支持部
51b、52bを可能な限り微細幅に形成するようにし
たものが提供されるに至っている。
In recent AC plasma display devices, there is an increasing demand for further reduction in power consumption and improvement in luminous efficiency as the screen size increases. As a result, as shown in FIG.
A and 52A are formed by elongated surface discharge portions 51a and 52a for forming the surface discharge gap 53 and these portions 51a and 5a.
From the elongated support portions 51b and 52b that support
A configuration in which each of the surface discharge portions 51a and 52a and each of the support portions 51b and 52b are formed as fine as possible has been provided.

【0009】しかしながら、図13に示したような従来
のAC型プラズマディスプレイ装置では、各面放電部5
1a、52a及び各支持部51b、52bが微細幅に形
成されているので、何らかな原因により容易に断線し易
くなるという欠点が存在している。例えば、各面放電部
51a、52a及び各支持部51b、52bの形成は周
知のフォトリソグラフィ法により行われるが、その露光
時に前面基板上に塵埃が付着したりすると、この塵埃の
影響で現像後のパターンに断線が発生する。あるいは、
フォトリソグラフィ法により正常なパターンの各面放電
部51a、52a及び各支持部51b、52bが形成さ
れたとしても、この後に各面放電部51a、52a及び
各支持部51b、52b上に周囲から異物が付着したり
すると、同様にして異物の影響で断線が発生する。例え
ば、図13において、維持電極52の透明電極52Aの
一部である支持部52bに断線部57が発生した発光セ
ル56が存在するようになる。
However, in the conventional AC type plasma display device as shown in FIG.
Since 1a, 52a and the supporting portions 51b, 52b are formed to have a fine width, there is a disadvantage that disconnection is easily caused by some cause. For example, the surface discharge portions 51a and 52a and the support portions 51b and 52b are formed by a well-known photolithography method. However, if dust adheres to the front substrate at the time of the exposure, the dust after development is affected by the dust. Disconnection occurs in the pattern. Or,
Even if the surface discharge portions 51a and 52a and the support portions 51b and 52b having a normal pattern are formed by the photolithography method, foreign substances are subsequently formed on the surface discharge portions 51a and 52a and the support portions 51b and 52b from the surroundings. Is attached, a disconnection occurs similarly due to the influence of foreign matter. For example, in FIG. 13, the light emitting cell 56 in which the disconnection portion 57 has occurred is present in the support portion 52b which is a part of the transparent electrode 52A of the sustain electrode 52.

【0010】このように走査電極51及び電極電極52
の各透明電極の一部に断線が生ずると、これが欠陥とな
って駆動電圧が各支持部51b、52bから各面放電部
51a、52aに印加されなくなるため、対向する面放
電部51a、52a間で正常な放電が行われなくなるの
で、選択された発光セルであっても発光しないものが生
じてくる。特に、プラズマディスプレイ装置は、大画面
表示を製品のセールスポイントにしているので、例えば
1m2を越える画面面積を無欠陥で製造することが望ま
れているが、正常な放電が行われなくなると、高精細な
画像の表示が困難になるため、表示品質が悪化すること
になる。また、製造歩留りが低くなるので製造コストが
高くなる。
As described above, the scanning electrode 51 and the electrode electrode 52
When a part of each of the transparent electrodes is disconnected, this causes a defect, and a driving voltage is not applied to each of the surface discharge parts 51a, 52a from each of the support parts 51b, 52b. In this case, a normal discharge is not performed, so that even the selected light emitting cells do not emit light. In particular, since a plasma display device uses a large screen display as a selling point of a product, it is desired to manufacture a screen area exceeding 1 m 2 without defects, for example. However, when normal discharge is not performed, Since it is difficult to display a high-definition image, display quality deteriorates. Further, the manufacturing cost is increased because the manufacturing yield is reduced.

【0011】上述したように、微細幅に形成された走査
電極及び維持電極の各透明電極の一部が断線した場合で
も、断線の影響を防止して選択された発光セルで正常な
放電が行われるように構成したAC型プラズマディスプ
レイ装置が、例えば特開2000−251739号公報
に開示されている。同AC型プラズマディスプレイ装置
は、図14に示すように、各発光セル60毎に走査電極
61及び維持電極62の各透明電極61A、62Aを面
放電ギャップ63を形成するための細長状の面放電部6
1a、62aとこれら各部を支持する細長状の支持部6
1b、62bとにより構成し、各データ電極62に隣接
している各隔壁65上に沿って各バス電極61B、62
Bを延長させた補助パターン67を各面放電部61a、
62aに接続している。このような構成によれば、例え
ば維持電極62の透明電極の一部である支持部62bに
断線部68が発生したした発光セル60が存在したよう
な場合でも、補助パターン67により通電経路が確保さ
れるので、断線の影響を防止して選択された発光セルで
正常な放電が行われるようになる。
As described above, even if a part of each of the transparent electrodes of the scanning electrode and the sustaining electrode formed with a fine width is disconnected, a normal discharge is performed in the selected light emitting cell while preventing the influence of the disconnection. An AC-type plasma display device configured to operate as described above is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-251739. As shown in FIG. 14, the AC-type plasma display device has an elongated surface discharge for forming a surface discharge gap 63 by forming each transparent electrode 61A, 62A of a scan electrode 61 and a sustain electrode 62 for each light emitting cell 60. Part 6
1a, 62a and elongated support portions 6 for supporting these portions.
1b, 62b, and each bus electrode 61B, 62b along each partition 65 adjacent to each data electrode 62.
The auxiliary pattern 67 obtained by extending B is connected to each surface discharge portion 61a,
62a. According to such a configuration, for example, even when the light emitting cell 60 in which the disconnection portion 68 is present exists in the support portion 62b which is a part of the transparent electrode of the sustain electrode 62, the conduction path is secured by the auxiliary pattern 67. As a result, normal discharge is performed in the selected light emitting cell while preventing the influence of disconnection.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】ところで、特開200
0−251739号公報記載の従来のAC型プラズマデ
ィスプレイ装置では、補助パターンが光遮光性のバス電
極と同一導体から構成されているので、発光セルの光透
過性を低下させる、という問題がある。すなわち、上記
公報に記載されているAC型プラズマディスプレイ装置
は、図14において、光遮光性のCr−Cu−Cr積層
金属層から成るバス電極61B、62Bと同一導体によ
り補助パターン67が構成されて、この補助パターン6
7が発光セル60内に延長されて各面放電部61a、6
2aに接続されているため、補助パターン67の存在に
より発光セル60内を透過する光の一部が遮蔽されるこ
とになるので、発光セル60の光透過性が低下すること
になる。
SUMMARY OF THE INVENTION Incidentally, Japanese Patent Application Laid-Open
In the conventional AC plasma display device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 0-251739, since the auxiliary pattern is formed of the same conductor as the light-shielding bus electrode, there is a problem that the light transmittance of the light emitting cell is reduced. That is, in the AC type plasma display device described in the above publication, in FIG. 14, the auxiliary pattern 67 is formed by the same conductor as the bus electrodes 61B and 62B made of a light-shielding Cr-Cu-Cr laminated metal layer. , This auxiliary pattern 6
7 are extended into the light emitting cell 60, and the surface discharge portions 61a, 61
2a, a part of the light transmitted through the light emitting cell 60 is blocked by the presence of the auxiliary pattern 67, so that the light transmittance of the light emitting cell 60 is reduced.

【0013】また、特開2000−251739号公報
記載の従来のAC型プラズマディスプレイ装置では、補
助パターンを背面基板の隔壁上に沿って配置しているの
で、補助パターンのパターニングに高い加工精度が要求
されるため、製造方法が不利になる、という問題があ
る。すなわち、上記公報に記載されているAC型プラズ
マディスプレイ装置の製造方法は、図14において、前
面基板上にバス電極61B、62Bと同時に補助パター
ン67をパターニングするとき、補助パターン67の位
置を背面基板の隔壁65上に沿って配置させるように制
約を受けるので、パターニング精度を高くしなければな
らず、コストアップが避けられない。
In the conventional AC plasma display device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-251739, since the auxiliary patterns are arranged along the partition walls of the rear substrate, high processing accuracy is required for patterning the auxiliary patterns. Therefore, there is a problem that the manufacturing method is disadvantageous. That is, in the method of manufacturing an AC type plasma display device described in the above publication, when the auxiliary pattern 67 is patterned on the front substrate at the same time as the bus electrodes 61B and 62B in FIG. Is restricted along the partition wall 65, so that the patterning accuracy must be increased, and an increase in cost cannot be avoided.

【0014】この発明は、上述の事情に鑑みてなされた
もので、発光セル毎に透明電極を孤立させるように配置
した構成において、発光セルの光透過性を低下させるこ
となく、かつコストアップを伴うことなく消費電力低減
及び発光効率向上を図ることができ、さらに表示品質を
改善することができるようにしたAC型プラズマディス
プレイ装置及びその製造方法を提供することを目的とし
ている。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and in a configuration in which transparent electrodes are arranged so as to be isolated for each light emitting cell, the light transmittance of the light emitting cell is not reduced and the cost is increased. It is an object of the present invention to provide an AC plasma display device capable of reducing power consumption and improving luminous efficiency without accompanying the display, and further improving display quality, and a method of manufacturing the same.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1記載の発明は、前面基板と背面基板との間
に放電ガス空間が形成され、上記前面基板の上記背面基
板と対向する面に平行に形成される走査電極及び維持電
極が、それぞれ透明電極と該透明電極より低抵抗のバス
電極とから構成され、各透明電極が発光セル毎に孤立し
て形成されてなるAC型プラズマディスプレイ装置であ
って、複数の上記発光セルの上記透明電極は、複数の上
記発光セルにまたがって形成され上記透明電極と同一導
体から成る接続用透明電極により相互に電気的に接続さ
れていることを特徴としている。
According to a first aspect of the present invention, a discharge gas space is formed between a front substrate and a rear substrate, and the discharge gas space is opposed to the rear substrate of the front substrate. The scanning electrode and the sustaining electrode formed in parallel with the surface to be formed are each composed of a transparent electrode and a bus electrode having a lower resistance than the transparent electrode, and each transparent electrode is formed separately for each light emitting cell. In the plasma display device, the transparent electrodes of the plurality of light emitting cells are formed over the plurality of light emitting cells and are electrically connected to each other by a transparent electrode for connection made of the same conductor as the transparent electrode. It is characterized by:

【0016】また、請求項2記載の発明は、請求項1記
載のAC型プラズマディスプレイ装置に係り、上記透明
電極は、複数の上記発光セルに共通にまたがって形成さ
れている上記バス電極に接続された細長状の支持部と、
該支持部に接続されて面放電ギャップを形成するための
細長状の面放電部とから構成されていることを特徴とし
ている。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the AC type plasma display device according to the first aspect, wherein the transparent electrode is connected to the bus electrode commonly formed over a plurality of the light emitting cells. Elongated support part,
An elongated surface discharge portion connected to the support portion to form a surface discharge gap.

【0017】また、請求項3記載の発明は、請求項1又
は2記載のAC型プラズマディスプレイ装置に係り、上
記接続用透明電極は、上記バス電極と平行に形成されて
いることを特徴としている。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the AC type plasma display device according to the first or second aspect, wherein the connection transparent electrode is formed in parallel with the bus electrode. .

【0018】また、請求項4記載の発明は、請求項3記
載のAC型プラズマディスプレイ装置に係り、上記接続
用透明電極は、平行に形成された第1の接続用透明電極
と第2の接続用透明電極とから構成されていることを特
徴としている。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the AC type plasma display device according to the third aspect, wherein the connecting transparent electrode is formed in parallel with the first connecting transparent electrode and the second connecting transparent electrode. And a transparent electrode for use.

【0019】また、請求項5記載の発明は、請求項4記
載のAC型プラズマディスプレイ装置に係り、上記第1
及び第2の接続用透明電極は、略同一幅に形成されてい
ることを特徴としている。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the AC type plasma display device according to the fourth aspect, wherein
The second connection transparent electrode is characterized by being formed to have substantially the same width.

【0020】また、請求項6記載の発明は、前面基板と
背面基板との間に放電ガス空間が形成され、上記前面基
板の上記背面基板と対向する面に平行に形成される走査
電極及び維持電極が、それぞれ透明電極と該透明電極よ
り低抵抗のバス電極とから構成され、各透明電極が発光
セル毎に孤立して形成されてなるAC型プラズマディス
プレイ装置の製造方法であって、上記前面基板の上記背
面基板と対向する面となる主表面にフォトレジスト膜を
形成する第1の工程と、上記フォトレジスト膜を所望の
形状にパターニングして、上記前面基板の上記主表面の
上記走査電極及び維持電極を形成すべき領域のみを露出
する第2の工程と、上記前面基板の全面に透明導体膜を
形成する第3の工程と、上記前面基板上に残っている上
記フォトレジスト膜及び該フォトレジスト膜を覆ってい
る上記透明導体膜を同時に除去することにより、上記主
要面の露出された領域のみに上記透明導体膜を残して上
記走査電極及び維持電極を構成する透明電極を上記発光
セル毎に孤立するように形成し、同時に複数の発光セル
にまたがって複数の透明電極同士を電気的に接続する接
続用透明電極を形成する第4の工程とを含むことを特徴
としている。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a scan electrode and a sustain electrode in which a discharge gas space is formed between a front substrate and a rear substrate, and which is formed in parallel with a surface of the front substrate facing the rear substrate. The method for manufacturing an AC type plasma display device, wherein the electrodes are each composed of a transparent electrode and a bus electrode having a lower resistance than the transparent electrode, and each transparent electrode is formed separately for each light emitting cell. A first step of forming a photoresist film on a main surface of the substrate facing the back substrate; patterning the photoresist film into a desired shape to form the scanning electrodes on the main surface of the front substrate; A second step of exposing only a region where a sustain electrode is to be formed, a third step of forming a transparent conductor film over the entire surface of the front substrate, and the photoresist remaining on the front substrate And by simultaneously removing the transparent conductor film covering the photoresist film, leaving the transparent conductor film only in the exposed area of the main surface, the transparent electrode constituting the scan electrode and the sustain electrode is removed. And forming a connection transparent electrode for electrically connecting the plurality of transparent electrodes to each other over the plurality of light emitting cells at the same time.

【0021】また、請求項7記載の発明は、請求項6記
載のAC型プラズマディスプレイ装置の製造方法に係
り、上記第4の工程の後に、上記走査電極及び維持電極
の上記各透明電極上の一部に導体膜から成るバス電極を
形成する第5の工程を含むことを特徴としている。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an AC type plasma display device according to the sixth aspect, wherein after the fourth step, the scan electrodes and the sustain electrodes are formed on the transparent electrodes. The method is characterized by including a fifth step of partially forming a bus electrode made of a conductor film.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態について説明する。説明は実施例を用いて
具体的に行う。 ◇第1実施例 図1は、この発明の第1実施例であるAC型プラズマデ
ィスプレイ装置の構成を示す斜視図、図2は同AC型プ
ラズマディスプレイ装置の主要部の構成を示す平面図、
図3は同AC型プラズマディスプレイの主要部の構成を
拡大して示す平面図、図4は同AC型プラズマディスプ
レイの効果を説明する平面図、また、図5は同AC型プ
ラズマディスプレイの主要部の形成方法を工程順に示す
工程図、図6は同AC型プラズマディスプレイの主要部
の他の形成方法を工程順に示す工程図である。この例の
AC型プラズマディスプレイ装置10は、図1に示すよ
うに、前面基板20と背面基板30との間に放電ガス空
間40が形成される基本的構成を有している。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The description will be made specifically using an embodiment. First Embodiment FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of an AC type plasma display device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view showing a configuration of a main part of the AC type plasma display device,
FIG. 3 is an enlarged plan view showing a configuration of a main part of the AC plasma display, FIG. 4 is a plan view illustrating an effect of the AC plasma display, and FIG. 5 is a main part of the AC plasma display. And FIG. 6 is a process chart showing another method of forming the main part of the AC type plasma display in the order of steps. The AC type plasma display device 10 of this example has a basic configuration in which a discharge gas space 40 is formed between a front substrate 20 and a rear substrate 30 as shown in FIG.

【0023】前面基板20は、ガラス等から成る第1の
透明基板1と、第1の透明基板1の背面基板30と対向
する面に画面の行方向Hに沿って平行に面放電ギャップ
2を介して形成された走査電極3及び維持電極4と、各
走査電極3及び維持電極4を覆うように形成された第1
の透明誘電体層5と、第1の透明誘電体層5を覆うよう
に形成されたカラーフィルタ層6と、各カラーフィルタ
層6間に形成されたブラックマトリクス層7と、カラー
フィルタ層6及びブラックマトリクス層7を覆うように
形成された第2の透明誘電体層8と、第2の透明誘電体
層8を覆うように形成された保護層9とを備えている。
The front substrate 20 includes a first transparent substrate 1 made of glass or the like, and a surface discharge gap 2 on a surface of the first transparent substrate 1 facing the rear substrate 30 in parallel along the row direction H of the screen. The scanning electrode 3 and the sustain electrode 4 formed through the first electrode and a first electrode formed so as to cover the scanning electrode 3 and the sustain electrode 4.
, A color filter layer 6 formed so as to cover the first transparent dielectric layer 5, a black matrix layer 7 formed between the color filter layers 6, A second transparent dielectric layer 8 is formed so as to cover the black matrix layer 7, and a protective layer 9 is formed so as to cover the second transparent dielectric layer 8.

【0024】背面基板30は、ガラス等から成る第2の
透明基板11と、第2の透明基板11の前面基板20と
対向する面に画面の列方向Vに沿って平行に形成された
データ電極12と、データ電極12を覆うように形成さ
れた白色誘電体層13と、白色誘電体層13を覆うよう
に形成されかつデータ電極12と平行に形成されて複数
の発光セルを個々に区切る隔壁14と、各発光セル内の
白色誘電体層13及び隔壁14の側面を覆うように形成
された蛍光体層15とを備えている。
The rear substrate 30 includes a second transparent substrate 11 made of glass or the like, and data electrodes formed on the surface of the second transparent substrate 11 facing the front substrate 20 in parallel along the column direction V of the screen. 12, a white dielectric layer 13 formed so as to cover the data electrode 12, and a partition wall formed so as to cover the white dielectric layer 13 and formed in parallel with the data electrode 12 to individually partition a plurality of light emitting cells. And a phosphor layer 15 formed to cover the side surfaces of the white dielectric layer 13 and the partition walls 14 in each light emitting cell.

【0025】図2は、図1のAC型プラズマディスプレ
イ装置10の主要部の構成を示す平面図である。同AC
型プラズマディスプレイ装置10は、図2に示すよう
に、前面基板20の第1の透明基板1の第2の透明基板
11と対向する面に、行方向Hに沿って平行に形成され
た走査電極3及び維持電極4は、インジューム錫酸化物
(Indium Tin Oxide:ITO)、酸化錫(SnO2)等の
透明導体から成る透明電極3A、4Aと、ライン抵抗を
減少させるために各透明電極3A、4Aの一部に形成さ
れた各透明電極3A、4Aより低抵抗の銀(Ag)等か
ら成るバス電極(トレース電極)3B、4Bとから構成
されている。また、各透明電極3A、4Aは背面基板3
0の各隔壁14で区切られて各発光セル16毎に孤立し
ている。ここで、各発光セル16の各透明電極3A、4
Aは、各隔壁14にまたがって形成され各透明電極3
A、4Aと同一導体から成る接続用透明電極17により
相互に電気的に接続されている。
FIG. 2 is a plan view showing a configuration of a main part of the AC type plasma display device 10 of FIG. AC
As shown in FIG. 2, the scanning type plasma display device 10 has a scanning electrode formed on a surface of the front substrate 20 facing the second transparent substrate 11 of the first transparent substrate 1 in parallel with the row direction H. 3 and sustain electrodes 4 are made of indium tin oxide
(Indium Tin Oxide: ITO), transparent electrodes 3A and 4A made of a transparent conductor such as tin oxide (SnO 2 ), and transparent electrodes formed on a part of each of the transparent electrodes 3A and 4A to reduce line resistance. Bus electrodes (trace electrodes) 3B and 4B made of silver (Ag) or the like having a lower resistance than 3A and 4A. Further, each of the transparent electrodes 3A, 4A is
The light-emitting cells 16 are isolated from each other by being separated by the partition walls 14 of 0. Here, each transparent electrode 3A, 4A of each light emitting cell 16
A is formed over each partition 14 and each transparent electrode 3 is formed.
A and 4A are electrically connected to each other by a connection transparent electrode 17 made of the same conductor.

【0026】図3は、同AC型プラズマディスプレイの
主要部の構成を拡大して示す平面図である。接続用透明
電極17の幅W1は30〜100μm、面放電ギャップ
2の幅W2は50〜100μm、各透明電極電極3A、
4Aの幅W3は200〜400μm、各バス電極3B、
4Bの幅W4は10〜15μm、各バス電極3B、4B
と各接続用透明電極17との距離L1は50〜100μ
m、各透明電極3A、4Aの先端と各接続用透明電極1
7との距離はL2は、20〜30μmにそれぞれ設定さ
れる。また、各透明電極3A、4A及び各接続用透明電
極17の膜厚は、0.1〜0.2μmに設定される。
FIG. 3 is an enlarged plan view showing the configuration of the main part of the AC type plasma display. The width W1 of the connection transparent electrode 17 is 30 to 100 μm, the width W2 of the surface discharge gap 2 is 50 to 100 μm, each transparent electrode 3A,
The width W3 of 4A is 200 to 400 μm, and each bus electrode 3B,
4B has a width W4 of 10 to 15 μm, and each bus electrode 3B, 4B
And the distance L1 between each connection transparent electrode 17 is 50-100 μm.
m, tip of each transparent electrode 3A, 4A and transparent electrode 1 for each connection
The distance L7 is set to 20 to 30 μm. The thickness of each of the transparent electrodes 3A, 4A and each of the connecting transparent electrodes 17 is set to 0.1 to 0.2 μm.

【0027】上述したように、接続用透明電極17によ
って複数の発光セル16の各透明電極3A、4A同士を
接続することにより、図4に示すように、例えば維持電
極4の場合、各バス電極4Bから各透明電極4Aに至る
通電経路は、本来の当該発光セル16のバス電極4Bか
ら透明電極4Aに至る第1の通電経路P1と、左側の発
光セル16のバス電極4B、透明電極4A及び接続用透
明電極17を介して当該発光セル16の透明電極4Aに
至る第2の通電経路P2と、右側の発光セル16のバス
電極4B、透明電極4A及び接続用透明電極17を介し
て当該発光セル16の透明電極4Aに至る第3の通電経
路P3とから成る、3つの経路が確保できたことにな
る。
As described above, by connecting the transparent electrodes 3A, 4A of the plurality of light emitting cells 16 to each other by the connecting transparent electrode 17, as shown in FIG. The energization path from 4B to each transparent electrode 4A is the first energization path P1 from the original bus electrode 4B of the light emitting cell 16 to the transparent electrode 4A, and the bus electrode 4B, the transparent electrode 4A of the left light emitting cell 16 and the transparent electrode 4A. A second current path P2 extending to the transparent electrode 4A of the light emitting cell 16 via the connection transparent electrode 17 and the light emission via the bus electrode 4B, the transparent electrode 4A and the connection transparent electrode 17 of the right light emitting cell 16 This means that three paths including the third current path P3 reaching the transparent electrode 4A of the cell 16 have been secured.

【0028】したがって、この例によれば、本来の当該
発光セル16の第1の通電経路P1が、透明電極4Aに
断線部18が発生して遮断されたとしても、残りの第2
の通電経路P2及び第3の通電経路P3を利用すること
により容易に通電経路を確保することができるようにな
る。しかも接続用透明電極17は、各透明電極3A、4
Aと同一導体であるITO、酸化錫等の透明導体から構
成されているので、発光セル16の透過性を低下させる
ことはない。また、接続用透明電極17を追加しても、
これによる透明電極面積増加分は全電極面積に比較する
とわずかなので、発光セル16毎に各透明電極3A、4
Aを孤立させて形成したことにより得られる消費電力低
減及び発光効率向上の効果はそのまま得ることができ
る。
Therefore, according to this example, even if the original first energizing path P1 of the light emitting cell 16 is cut off due to the occurrence of the disconnection 18 in the transparent electrode 4A, the remaining second energizing path P1 is cut off.
By using the current path P2 and the third current path P3, the current path can be easily secured. Moreover, the connecting transparent electrode 17 is formed of each of the transparent electrodes 3A, 4A,
Since it is made of a transparent conductor such as ITO or tin oxide which is the same conductor as A, the transmittance of the light emitting cell 16 is not reduced. Further, even if the connection transparent electrode 17 is added,
Since the increase in the transparent electrode area due to this is small compared to the total electrode area, each transparent electrode 3A, 4A
The effect of reducing power consumption and improving luminous efficiency obtained by forming A in isolation can be obtained as it is.

【0029】なお、接続用透明電極17は、各透明電極
3A、4Aの各バス電極3B、4Bから離れた位置に形
成するほど、効果的となる。また、、各透明電極3A、
4A及び各接続用透明電極17を構成する透明導体とし
て、特に酸化錫を用いた場合はITOを用いた場合と比
較して、製造工程で熱が加えられても特性が安定してい
るという特長を有している。したがって、特に熱処理を
施すような場合には酸化錫を用いると有利となる。
The more effective the connecting transparent electrode 17 is, the farther away it is from the respective bus electrodes 3B, 4B of the respective transparent electrodes 3A, 4A. Further, each transparent electrode 3A,
In particular, when tin oxide is used as the transparent conductor constituting 4A and each connection transparent electrode 17, the characteristics are stable even when heat is applied in the manufacturing process, as compared with the case where ITO is used. have. Therefore, it is advantageous to use tin oxide particularly when heat treatment is performed.

【0030】次に、図5を参照して、同AC型プラズマ
ディスプレイの主要部の形成方法について工程順に説明
する。この例では、リフトオフ法を利用する方法(第1
の製造方法)について説明する。まず、図5(a)に示
すように、ガラス等から成る膜厚が1.0〜1.2mm
の第1の透明基板1を用いて、背面基板30と対向する
面となる主表面に回転塗布法により例えばネガタイプの
フォトレジストを塗布した後、乾燥処理を施して所定の
膜厚のフォトレジスト膜21を形成する。
Next, with reference to FIG. 5, a method of forming a main portion of the AC plasma display will be described in the order of steps. In this example, the method using the lift-off method (first
Will be described. First, as shown in FIG. 5A, the film thickness of glass or the like is 1.0 to 1.2 mm.
The first transparent substrate 1 is used to apply, for example, a negative-type photoresist to the main surface that is the surface facing the rear substrate 30 by a spin coating method, and then performs a drying process to apply a photoresist film having a predetermined thickness. 21 are formed.

【0031】次に、図5(b)に示すように、遮光部2
2を形成した所望のパターンを有する露光マスク23を
用いて、第1の透明基板1に対して紫外線を照射して露
光処理を施す。この露光処理により、遮光部22に相当
した領域のフォトレジスト膜21Aは未硬化となって、
アルカリ現像液に可溶性となる。一方、遮光部22以外
に相当した領域のフォトレジスト膜21Bは硬化され
て、アルカリ現像液に不溶性となる。
Next, as shown in FIG.
The first transparent substrate 1 is exposed to ultraviolet light by using an exposure mask 23 having a desired pattern in which the pattern 2 is formed, and is exposed. Due to this exposure processing, the photoresist film 21A in an area corresponding to the light-shielding portion 22 becomes uncured,
It becomes soluble in alkaline developer. On the other hand, the photoresist film 21B in a region other than the light-shielding portion 22 is hardened and becomes insoluble in the alkaline developer.

【0032】次に、図5(c)に示すように、露光マス
ク23を除去した後、第1の透明基板1をアルカリ現像
液に浸漬して、現像処理を施す。この現像処理により、
未硬化になっている領域のフォトレジスト膜21Aは除
去されて、主表面の走査電極及び維持電極を形成すべき
領域が露出されて、露出面24が形成される。
Next, as shown in FIG. 5C, after the exposure mask 23 is removed, the first transparent substrate 1 is immersed in an alkali developing solution to perform a developing process. By this development process,
The photoresist film 21A in the uncured region is removed, and the region on the main surface where the scan electrode and the sustain electrode are to be formed is exposed, and the exposed surface 24 is formed.

【0033】次に、図5(d)に示すように、スパッタ
法により、露出面24を含む全面に透明導体として例え
ば膜厚が0.1〜0.2μmの酸化錫膜25を形成す
る。
Next, as shown in FIG. 5D, a tin oxide film 25 having a thickness of, for example, 0.1 to 0.2 μm is formed as a transparent conductor on the entire surface including the exposed surface 24 by a sputtering method.

【0034】次に、図5(e)に示すように、残ってい
るフォトレジスト膜21Bを除去することにより、この
フォトレジスト21上の酸化錫膜25も同時に除去され
て、露出面24の面積に相当した酸化膜錫膜25のみが
残されることにより、走査電極3及び維持電極4の各透
明電極3A、4Aを各発光セル16毎に孤立するように
形成し、同時に複数の発光セル16にまたがって複数の
透明電極3A、4A同士を電気的に接続する接続用透明
電極17を形成する。
Next, as shown in FIG. 5E, by removing the remaining photoresist film 21B, the tin oxide film 25 on the photoresist 21 is also removed at the same time, and the area of the exposed surface 24 is reduced. The transparent electrode 3A, 4A of the scanning electrode 3 and the sustain electrode 4 is formed so as to be isolated for each light emitting cell 16 by leaving only the oxide film tin film 25 corresponding to. Then, a connecting transparent electrode 17 for electrically connecting the plurality of transparent electrodes 3A, 4A is formed.

【0035】次に、スパッタ法により、第1の透明基板
1の全面に導体膜として例えば膜厚が0.1〜0.2μ
mの銀膜を形成した後、銀膜を各透明電極3A、4Aの
一部に残すようにパターニングして、各バス電極3B、
4Bを形成する。
Next, a conductive film having a thickness of, for example, 0.1 to 0.2 μm is formed on the entire surface of the first transparent substrate 1 by sputtering.
After forming the silver film of m, the silver film is patterned so as to remain on a part of each of the transparent electrodes 3A, 4A, and the respective bus electrodes 3B,
4B is formed.

【0036】これ以降は、通常の工程を繰り返して、図
1に示したように、第1の透明誘電体層5、カラーフィ
ルタ層6、ブラックマトリクス層7、第2の透明誘電体
層8、保護層9等を順次に形成することで、前面基板2
0を完成させる。同様にして、図1に示したように、第
2の透明基板11を用意して、データ電極12、白色誘
電体層13、隔壁14、蛍光体層15等を順次に形成す
ることで、背面基板30を完成させる。続いて、背面基
板30上に前面基板20をシール(図示せず)を介して
重ね合わせ、両基板20、30間の放電ガス空間40内
にHe(ヘリウム)、Ne(ネオン)、Xe(キセノ
ン)等の放電用ガスを単独であるいは混合して封入する
ことによりAC型プラズマディスプレイ装置10を組み
立てる。
Thereafter, the ordinary steps are repeated, and as shown in FIG. 1, the first transparent dielectric layer 5, the color filter layer 6, the black matrix layer 7, the second transparent dielectric layer 8, By sequentially forming the protective layer 9 and the like, the front substrate 2
Complete 0. Similarly, as shown in FIG. 1, a second transparent substrate 11 is prepared, and a data electrode 12, a white dielectric layer 13, a partition 14, a phosphor layer 15, and the like are sequentially formed to form a rear surface. The substrate 30 is completed. Subsequently, the front substrate 20 is overlaid on the rear substrate 30 via a seal (not shown), and He (helium), Ne (neon), and Xe (xenon) are placed in the discharge gas space 40 between the substrates 20 and 30. The AC type plasma display device 10 is assembled by enclosing a discharge gas such as) alone or in a mixture.

【0037】このようなこの例のAC型プラズマディス
プレイ装置の製造方法によれば、周知のフォトリソグラ
フィ法を利用することにより、従来用いていた露光マス
クパターンを接続用透明電極パターンを加えた新しい露
光マスクパターンに変更するだけで、簡単に接続用透明
電極17を形成することができる。また、この例のAC
型プラズマディスプレイ装置の製造方法によれば、接続
用透明電極17は隣接する各発光セル16を横断するよ
うに形成すればよいので、従来のように背面基板に形成
した隔壁上に沿って配置するような制約は受けないた
め、それほど高いパターニング精度は要求されない。し
たがって、コストアップを避けることができる。
According to the manufacturing method of the AC type plasma display device of this example, a known exposure method is used to replace the conventionally used exposure mask pattern with a connection transparent electrode pattern and a new exposure method. The connection transparent electrode 17 can be easily formed only by changing to the mask pattern. Also, in this example, AC
According to the method of manufacturing the plasma display device, the connection transparent electrode 17 may be formed so as to cross each of the adjacent light emitting cells 16, and is arranged along the partition formed on the rear substrate as in the related art. Since there is no such restriction, a very high patterning accuracy is not required. Therefore, an increase in cost can be avoided.

【0038】次に、図6を参照して、同AC型プラズマ
ディスプレイの主要部の他の形成方法について工程順に
説明する。この例では、エッチング法を利用する方法
(第2の製造方法)について説明する。まず、図6
(a)に示すように、ガラス等から成る膜厚が1.0〜
1.2mmの第1の透明基板1を用いて、背面基板30
と対向する面となる主表面にスパッタ法により、全面に
膜厚が0.1〜0.2μmの酸化錫膜25を形成する。
Next, another method of forming the main part of the AC type plasma display will be described in the order of steps with reference to FIG. In this example, a method using an etching method (a second manufacturing method) will be described. First, FIG.
As shown in FIG.
Using the first transparent substrate 1 of 1.2 mm, the rear substrate 30
Then, a tin oxide film 25 having a thickness of 0.1 to 0.2 μm is formed on the entire main surface by sputtering.

【0039】次に、図6(b)に示すように、全面に回
転塗布法により例えばポジタイプのフォトレジストを塗
布した後、乾燥処理を施して所定の膜厚のフォトレジス
ト膜26を形成する。次に、遮光部22を形成した所望
のパターンを有する露光マスク23を用いて、第1の透
明基板1に対して紫外線を照射して露光処理を施す。こ
の露光処理により、遮光部22に相当した領域のフォト
レジスト膜26Aは硬化されて、アルカリ現像液に不溶
性となる。一方、遮光部22以外に相当した領域のフォ
トレジスト膜26Bは未硬化となって、アルカリ現像液
に可溶性となる。次に、露光マスク23を除去した後、
図6(c)に示すように、第1の透明基板1をアルカリ
現像液に浸漬して、現像処理を施す。この現像処理によ
り、硬化された領域のフォトレジスト膜26Aは残され
る。
Next, as shown in FIG. 6B, for example, a positive type photoresist is applied to the entire surface by a spin coating method, and then a drying process is performed to form a photoresist film 26 having a predetermined thickness. Next, the first transparent substrate 1 is exposed to ultraviolet light using an exposure mask 23 having a desired pattern on which the light-shielding portion 22 is formed, and is exposed. By this exposure processing, the photoresist film 26A in the area corresponding to the light shielding portion 22 is hardened and becomes insoluble in the alkaline developer. On the other hand, the photoresist film 26B in a region other than the light-shielding portion 22 is uncured and becomes soluble in the alkaline developer. Next, after removing the exposure mask 23,
As shown in FIG. 6C, the first transparent substrate 1 is immersed in an alkaline developer to perform a development process. By this development processing, the photoresist film 26A in the cured region is left.

【0040】次に、図6(d)に示すように、残された
フォトレジスト膜26Aをマスクとして用いて、ウエッ
トエッチングあるいはドライエッチング等のエッチング
処理を施して、不要な領域の酸化錫膜25を除去する。
これにより、走査電極3及び維持電極4の各透明電極3
A、4Aを各発光セル16毎に孤立するように形成し、
同時に複数の発光セル16にまたがって複数の透明電極
3A、4A同士を電気的に接続する接続用透明電極17
を形成する。次に、第1の透明基板1の全面にスパッタ
法により例えば銀膜を形成した後、銀膜を各透明電極3
A、4Aの一部に残すようにパターニングして、各バス
電極3B、4Bを形成する。これ以降は、上述した第1
の製造方法の場合と同様に、通常の工程を繰り返して前
面基板20を形成し、続いて背面基板30を形成した
後、AC型プラズマディスプレイ装置10を組み立て
る。このような第2の製造方法によっても、第1の製造
方法の場合と略同様な効果を得ることができる。
Next, as shown in FIG. 6D, an etching process such as wet etching or dry etching is performed by using the remaining photoresist film 26A as a mask, so that the tin oxide film 25 in an unnecessary region is removed. Is removed.
Thereby, each transparent electrode 3 of the scanning electrode 3 and the sustain electrode 4
A, 4A are formed so as to be isolated for each light emitting cell 16,
A connection transparent electrode 17 for electrically connecting the plurality of transparent electrodes 3A, 4A simultaneously over a plurality of light emitting cells 16.
To form Next, after a silver film, for example, is formed on the entire surface of the first transparent substrate 1 by a sputtering method, the silver film is
Each bus electrode 3B, 4B is formed by patterning so as to leave a part of A, 4A. After this, the first
As in the case of the manufacturing method described above, the normal process is repeated to form the front substrate 20 and then the rear substrate 30, and then the AC plasma display device 10 is assembled. According to such a second manufacturing method, substantially the same effects as in the case of the first manufacturing method can be obtained.

【0041】このように、この例の構成のAC型プラズ
マディスプレイ装置によれば、前面基板20の第1の透
明基板1の第2の透明基板11と対向する面に、行方向
Hに沿って平行に形成された走査電極3及び維持電極4
は、インジューム錫酸化物、酸化錫等の透明導体から成
る透明電極3A、4Aと、ライン抵抗を減少させるため
に各透明電極3A、4Aの一部に形成された各透明電極
3A、4Aより低抵抗の銀等から成るバス電極(トレー
ス電極)3B、4Bとから構成され、各透明電極3A、
4Aは背面基板30の各隔壁14で区切られた各発光セ
ル16毎に孤立して配置されている構成において、各発
光セル16の各透明電極3A、4Aは、各透明電極3
A、4Aと同一導体から成り各隔壁14にまたがって形
成された接続用透明電極17により相互に電気的に接続
されている。また、この例の構成のAC型プラズマディ
スプレイ装置の製造方法によれば、従来用いていた露光
マスクパターンを変更するだけで簡単に接続用透明電極
17を形成することができ、また、接続用透明電極17
は隣接する各発光セル16を横断するように形成すれば
よいので、それほど高いパターニング精度は要求されな
い。したがって、発光セル毎に透明電極を孤立させるよ
うに配置した構成において、発光セルの光透過性を低下
させることなく、かつコストアップを伴うことなく消費
電力低減及び発光効率向上を図ることができ、さらに表
示品質を改善することができる。
As described above, according to the AC type plasma display device having the configuration of this example, the front substrate 20 faces the surface of the first transparent substrate 1 facing the second transparent substrate 11 along the row direction H. Scan electrode 3 and sustain electrode 4 formed in parallel
Are composed of transparent electrodes 3A and 4A made of a transparent conductor such as indium tin oxide and tin oxide, and transparent electrodes 3A and 4A formed on a part of each of the transparent electrodes 3A and 4A to reduce line resistance. Bus electrodes (trace electrodes) 3B and 4B made of low-resistance silver or the like, and each transparent electrode 3A,
4A, the transparent electrodes 3A, 4A of the light emitting cells 16 are arranged separately for each light emitting cell 16 divided by each partition wall 14 of the rear substrate 30.
A and 4A are made of the same conductor and are electrically connected to each other by a connecting transparent electrode 17 formed over each partition wall. Further, according to the method of manufacturing the AC type plasma display device having the configuration of this example, the connection transparent electrode 17 can be easily formed only by changing the conventionally used exposure mask pattern. Electrode 17
Need only be formed so as to traverse each of the adjacent light emitting cells 16, so that a very high patterning accuracy is not required. Therefore, in a configuration in which the transparent electrodes are arranged so as to be isolated for each light emitting cell, power consumption can be reduced and light emission efficiency can be improved without lowering light transmittance of the light emitting cell and without increasing cost. Further, display quality can be improved.

【0042】◇第2実施例 図7は、この発明の第2実施例であるAC型プラズマデ
ィスプレイ装置の構成を示す平面図である。この例のA
C型プラズマディスプレイ装置の構成が、上述した第1
実施例の構成と大きく異なるところは、走査電極及び維
持電極の各透明電極の形状を微細幅に形成するようにし
た点である。この例のAC型プラズマディスプレイ装置
の走査電極3及び維持電極4の各透明電極3A、4A
は、図7に示すように、面放電ギャップ2を形成するた
めの細長状の面放電部3a、4aとこれら各部3a、4
aを支持する細長状の支持部3b、4bとからT形状に
構成し、各面放電部3a、4a及び各支持部3b、4b
を可能な限り微細幅に例えば50〜100μmに形成さ
れている。そして、各支持部3b、4bは接続用透明電
極17により互いに電気的に接続されている。
Second Embodiment FIG. 7 is a plan view showing a configuration of an AC type plasma display device according to a second embodiment of the present invention. A in this example
The configuration of the C-type plasma display device is the same as that of the first type described above.
A major difference from the configuration of the embodiment is that the shape of each transparent electrode of the scanning electrode and the sustaining electrode is formed in a fine width. The transparent electrodes 3A and 4A of the scan electrode 3 and the sustain electrode 4 of the AC type plasma display device of this example.
As shown in FIG. 7, elongated surface discharge portions 3a, 4a for forming the surface discharge gap 2 and these portions 3a, 4a
a are formed into a T shape from the elongated support portions 3b and 4b supporting the surface discharge portions 3a and 4b, and the surface discharge portions 3a and 4a and the support portions 3b and 4b.
Is formed to be as fine as possible, for example, 50 to 100 μm. And each support part 3b, 4b is electrically connected mutually by the transparent electrode 17 for a connection.

【0043】このように、この例の構成によっても、第
1実施例において述べたのと略同様な効果を得ることが
できる。加えて、この例の構成によれば、特に微細幅に
各透明電極を形成するようにしたのでより消費電力低減
を図ることができる。
As described above, according to the structure of this embodiment, substantially the same effects as those described in the first embodiment can be obtained. In addition, according to the configuration of this example, since each transparent electrode is formed particularly in a fine width, power consumption can be further reduced.

【0044】◇第3実施例 図8は、この発明の第3実施例であるAC型プラズマデ
ィスプレイ装置の構成を示す平面図である。この例のA
C型プラズマディスプレイ装置の構成が、上述した第1
実施例の構成と大きく異なるところは、走査電極及び維
持電極の各透明電極の形状をより微細幅に形成するよう
にした点である。この例のAC型プラズマディスプレイ
装置の走査電極3及び維持電極4の各透明電極3A、4
Aは、図8に示すように、面放電ギャップ2を形成する
ための細長状の面放電部3a、4aを門形状に構成する
ことによって、より微細幅に例えば40〜70μmに形
成されている。そして、各支持部面放電部3a、4aは
接続用透明電極17により互いに電気的に接続されてい
る。
Third Embodiment FIG. 8 is a plan view showing a configuration of an AC type plasma display device according to a third embodiment of the present invention. A in this example
The configuration of the C-type plasma display device is the same as that of the first type described above.
A major difference from the configuration of the embodiment is that each transparent electrode of the scanning electrode and the sustaining electrode is formed to have a finer width. The transparent electrodes 3A and 4A of the scan electrode 3 and the sustain electrode 4 of the AC type plasma display device of this example.
8A, as shown in FIG. 8, the elongated surface discharge portions 3a and 4a for forming the surface discharge gap 2 are formed in a gate shape, so that they are formed to have a finer width, for example, 40 to 70 μm. . The support surface discharge sections 3a, 4a are electrically connected to each other by the connection transparent electrode 17.

【0045】このように、この例の構成によっても、第
1実施例において述べたのと略同様な効果を得ることが
できる。加えて、この例の構成によれば、特に微細幅に
各透明電極を形成するようにしたのでより消費電力低減
を図ることができる。
As described above, according to the structure of this embodiment, substantially the same effects as those described in the first embodiment can be obtained. In addition, according to the configuration of this example, since each transparent electrode is formed particularly in a fine width, power consumption can be further reduced.

【0046】◇第4実施例 図9は、この発明の第4実施例であるAC型プラズマデ
ィスプレイ装置の構成を示す平面図である。この例のA
C型プラズマディスプレイ装置の構成が、上述した第1
実施例の構成と大きく異なるところは、走査電極及び維
持電極の各透明電極を接続する接続用透明電極の数を減
らすようにした点である。この例のAC型プラズマディ
スプレイ装置の走査電極3及び維持電極4の各透明電極
3A、4Aは、図9に示すように、任意の発光セル16
間の各透明電極3A、4A同士のみが接続用透明電極1
7により互いに電気的に接続されている。このような構
成により、必要最小限の接続用透明電極17を形成する
ことができるので、より消費電力低減を図ることができ
る。
Fourth Embodiment FIG. 9 is a plan view showing a configuration of an AC type plasma display device according to a fourth embodiment of the present invention. A in this example
The configuration of the C-type plasma display device is the same as that of the first type described above.
A major difference from the configuration of the embodiment is that the number of connecting transparent electrodes for connecting the transparent electrodes of the scanning electrode and the sustaining electrode is reduced. As shown in FIG. 9, the transparent electrodes 3A and 4A of the scan electrode 3 and the sustain electrode 4 of the AC-type plasma display device of this example are connected to an arbitrary light emitting cell 16 as shown in FIG.
Only the transparent electrodes 3A, 4A between each other are connected to the transparent electrode 1 for connection.
7 are electrically connected to each other. With such a configuration, the necessary minimum number of connection transparent electrodes 17 can be formed, so that power consumption can be further reduced.

【0047】このように、この例の構成によっても、第
1実施例において述べたのと略同様な効果を得ることが
できる。加えて、この例の構成によれば、必要な最小限
の接続用透明電極を形成するようにしたのでより消費電
力低減を図ることができる。
As described above, according to the configuration of this embodiment, substantially the same effects as those described in the first embodiment can be obtained. In addition, according to the configuration of this example, the necessary minimum number of transparent electrodes for connection are formed, so that power consumption can be further reduced.

【0048】◇第5実施例 図10は、この発明の第5実施例であるAC型プラズマ
ディスプレイ装置の構成を示す平面図である。この例の
AC型プラズマディスプレイ装置の構成が、上述した第
1実施例の構成と大きく異なるところは、走査電極及び
維持電極の各透明電極を接続する接続用透明電極を2系
統形成するようにした点である。この例のAC型プラズ
マディスプレイ装置の走査電極3及び維持電極4の各透
明電極3A、4Aは、図10に示すように、平行に形成
された第1の接続用透明電極17Aと第2の接続用透明
電極17Bとから構成されている。
Fifth Embodiment FIG. 10 is a plan view showing a configuration of an AC plasma display device according to a fifth embodiment of the present invention. The configuration of the AC type plasma display device of this example is significantly different from the configuration of the above-described first embodiment in that two systems of connection transparent electrodes for connecting the transparent electrodes of the scan electrode and the sustain electrode are formed. Is a point. As shown in FIG. 10, the transparent electrodes 3A and 4A of the scan electrode 3 and the sustain electrode 4 of the AC type plasma display device of this example are connected to the first connection transparent electrode 17A formed in parallel and the second connection. And the transparent electrode 17B.

【0049】このように第1及び第2の接続用透明電極
17A、17Bから成る2系統の接続用透明電極を形成
することにより、万一いずれか一方の接続用透明電極が
断線したような場合でも、残りの接続用透明電極により
補うことができるで、信頼性を向上させることができ
る。この場合、各接続用透明電極17A、17Bの幅
は、任意に設定することができるが、略同一幅に形成す
ることにより、上述したように万一いずれか一方が断線
した場合に、同一通電容量を持たせることができる。
By forming two connection transparent electrodes composed of the first and second connection transparent electrodes 17A and 17B in this way, in the event that one of the connection transparent electrodes is disconnected, However, it can be supplemented by the remaining connection transparent electrodes, and the reliability can be improved. In this case, the width of each of the connection transparent electrodes 17A and 17B can be set arbitrarily. However, by forming them to have substantially the same width, if any one of them is disconnected as described above, the same current is applied. Can have capacity.

【0050】このように、この例の構成によっても、第
1実施例において述べたのと略同様な効果を得ることが
できる。加えて、この例の構成によれば、複数系統の接
続用透明電極を形成するようにしたので信頼性を向上さ
せることができる。
As described above, according to the structure of this embodiment, substantially the same effects as those described in the first embodiment can be obtained. In addition, according to the configuration of this example, the reliability can be improved because a plurality of connection transparent electrodes are formed.

【0051】以上、この発明の実施例を図面により詳述
してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるもの
ではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変
更等があってもこの発明に含まれる。例えば、実施例で
示した各電極の膜厚及び寸法等の条件は一例を示したも
のであり、これらの値は発光セルのセルピッチ等に応じ
て適宜変更することができる。また、透明電極を形成す
る場合の透明導体膜の形成手段あるいはバス電極を形成
する場合の導体膜の形成手段は、スパッタ法により形成
する例で説明したが、スパッタ法に限らずにCVD(Ch
emical Vapor Deposition)法等の他の手段を利用する
ことができる。また、各透明電極及び接続用透明電極の
形成方法としては、リフトオフ法あるいはエッチング法
により形成する例で説明したが、これらの方法に限らず
に、レーザを利用した他の方法を利用するようにしても
よい。
Although the embodiment of the present invention has been described in detail with reference to the drawings, the specific configuration is not limited to this embodiment, and there are design changes and the like that do not depart from the gist of the present invention. Is also included in the present invention. For example, the conditions such as the film thickness and dimensions of each electrode described in the embodiment are merely examples, and these values can be appropriately changed according to the cell pitch of the light emitting cells. Further, the means for forming a transparent conductor film when forming a transparent electrode or the means for forming a conductor film when forming a bus electrode has been described by way of example of forming by a sputtering method.
Other means such as the emical vapor deposition method can be used. In addition, as a method of forming each transparent electrode and the connection transparent electrode, an example in which the transparent electrode and the connection transparent electrode are formed by a lift-off method or an etching method has been described. You may.

【0052】[0052]

【発明の効果】このように、この例の構成のAC型プラ
ズマディスプレイ装置によれば、前面基板上に平行に形
成される走査電極及び維持電極は、透明導体から成る透
明電極と、ライン抵抗を減少させるために低抵抗の導体
から成るバス電極とから構成され、各透明電極が各発光
セル毎に孤立して配置されている構成において、各発光
セルの各透明電極は、各透明電極と同一導体から成る接
続用透明電極により相互に電気的に接続されている。ま
た、この例の構成のAC型プラズマディスプレイ装置の
製造方法によれば、従来用いていた露光マスクパターン
を変更するだけで簡単に接続用透明電極を形成すること
ができ、また、接続用透明電極は隣接する各発光セルを
横断するように形成すればよいので、それほど高いパタ
ーニング精度は要求されない。したがって、発光セル毎
に透明電極を孤立させるように配置した構成において、
発光セルの光透過性を低下させることなく、かつコスト
アップを伴うことなく消費電力低減及び発光効率向上を
図ることができ、さらに表示品質を改善することができ
る。
As described above, according to the AC-type plasma display device of this embodiment, the scanning electrodes and the sustaining electrodes formed in parallel on the front substrate have the same line resistance as the transparent electrode made of a transparent conductor. And a bus electrode made of a low-resistance conductor to reduce the light emission.In a configuration in which each transparent electrode is separately arranged for each light emitting cell, each transparent electrode of each light emitting cell is the same as each transparent electrode. They are electrically connected to each other by a connection transparent electrode made of a conductor. Further, according to the method of manufacturing an AC type plasma display device having the configuration of this example, the connection transparent electrode can be easily formed only by changing the conventionally used exposure mask pattern. May be formed so as to cross each adjacent light emitting cell, so that a very high patterning accuracy is not required. Therefore, in a configuration in which the transparent electrodes are arranged so as to be isolated for each light emitting cell,
The power consumption can be reduced and the luminous efficiency can be improved without lowering the light transmittance of the light emitting cell and without increasing the cost, and the display quality can be further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の第1実施例であるAC型プラズマデ
ィスプレイ装置の構成を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of an AC plasma display device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】同AC型プラズマディスプレイ装置の主要部の
構成を示す平面図である。
FIG. 2 is a plan view showing a configuration of a main part of the AC type plasma display device.

【図3】同AC型プラズマディスプレイ装置の主要部の
構成を拡大して示す平面図である。
FIG. 3 is an enlarged plan view showing a configuration of a main part of the AC type plasma display device.

【図4】同AC型プラズマディスプレイ装置の効果を説
明する平面図である。
FIG. 4 is a plan view illustrating an effect of the AC type plasma display device.

【図5】同AC型プラズマディスプレイ装置の主要部の
形成方法を工程順に示す工程図である。
FIG. 5 is a process chart showing a method of forming a main part of the AC plasma display device in the order of steps.

【図6】同AC型プラズマディスプレイ装置の主要部の
他の形成方法を工程順に示す工程図である。
FIG. 6 is a process chart showing another method of forming the main part of the AC type plasma display device in the order of steps.

【図7】この発明の第2実施例であるAC型プラズマデ
ィスプレイ装置の構成を示す平面図である。
FIG. 7 is a plan view showing a configuration of an AC type plasma display device according to a second embodiment of the present invention.

【図8】この発明の第3実施例であるAC型プラズマデ
ィスプレイ装置の構成を示す平面図である。
FIG. 8 is a plan view showing a configuration of an AC type plasma display device according to a third embodiment of the present invention.

【図9】この発明の第4実施例であるAC型プラズマデ
ィスプレイ装置の構成を示す平面図である。
FIG. 9 is a plan view showing a configuration of an AC type plasma display device according to a fourth embodiment of the present invention.

【図10】この発明の第5実施例であるAC型プラズマ
ディスプレイ装置の構成を示す平面図である。
FIG. 10 is a plan view showing a configuration of an AC type plasma display device according to a fifth embodiment of the present invention.

【図11】従来のAC型プラズマディスプレイ装置の主
要部の構成を示す平面図である。
FIG. 11 is a plan view showing a configuration of a main part of a conventional AC type plasma display device.

【図12】従来のAC型プラズマディスプレイ装置の主
要部の他の構成を示す平面図である。
FIG. 12 is a plan view showing another configuration of a main part of a conventional AC type plasma display device.

【図13】従来のAC型プラズマディスプレイ装置の主
要部の他の構成を示す平面図である。
FIG. 13 is a plan view showing another configuration of a main part of a conventional AC plasma display device.

【図14】従来のAC型プラズマディスプレイ装置の主
要部の他の構成を示す平面図である。
FIG. 14 is a plan view showing another configuration of a main part of a conventional AC plasma display device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、11 透明基板 2 面放電ギャップ 3 走査電極 3A、4A 透明電極 3B、4B バス電極 4 維持電極(共通電極) 3a、4a 細長状の支持部 3b、4b 細長状の面放電部 5、8 透明誘電体層 6 カラーフィルタ層 7 ブラックマトリクス層 9 保護層 10 AC型プラズマディスプレイ装置 12 データ電極 13 白色誘電体層 14 隔壁 15 蛍光体層 16 発光セル 17、17A、17B 接続用透明電極 18 断線部 20 前面基板 21、26 フォトレジスト膜 22 遮光部 23 露光マスク 25 酸化錫膜 30 背面基板 40 放電ガス空間 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 11 Transparent substrate 2 Surface discharge gap 3 Scan electrode 3A, 4A Transparent electrode 3B, 4B Bus electrode 4 Sustain electrode (common electrode) 3a, 4a Elongated support part 3b, 4b Elongated surface discharge part 5, 8 Transparent Dielectric layer 6 Color filter layer 7 Black matrix layer 9 Protective layer 10 AC type plasma display device 12 Data electrode 13 White dielectric layer 14 Partition wall 15 Phosphor layer 16 Light emitting cell 17, 17A, 17B Transparent electrode for connection 18 Disconnection 20 Front substrate 21, 26 Photoresist film 22 Light shielding part 23 Exposure mask 25 Tin oxide film 30 Back substrate 40 Discharge gas space

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01J 11/00 H01J 11/00 K H04N 5/66 101 H04N 5/66 101A Fターム(参考) 5C027 AA01 AA03 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 GC02 GC05 GC06 GC19 JA07 JA16 LA05 MA03 MA12 MA23 MA26 5C058 AA11 AB02 BA02 BA26 BA35 5C094 AA02 AA10 AA22 AA44 BA31 CA19 DB04 EA04 EA05 EA07 EB02 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI Theme coat ゛ (Reference) H01J 11/00 H01J 11/00 K H04N 5/66 101 H04N 5/66 101A F-term (Reference) 5C027 AA01 AA03 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 GC02 GC05 GC06 GC19 JA07 JA16 LA05 MA03 MA12 MA23 MA26 5C058 AA11 AB02 BA02 BA26 BA35 5C094 AA02 AA10 AA22 AA44 BA31 CA19 DB04 EA04 EA05 EA07 EB02

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 前面基板と背面基板との間に放電ガス空
間が形成され、前記前面基板の前記背面基板と対向する
面に平行に形成される走査電極及び維持電極が、それぞ
れ透明電極と該透明電極より低抵抗のバス電極とから構
成され、各透明電極が発光セル毎に孤立して形成されて
なるAC型プラズマディスプレイ装置であって、 複数の前記発光セルの前記透明電極は、複数の前記発光
セルにまたがって形成され前記透明電極と同一導体から
成る接続用透明電極により相互に電気的に接続されてい
ることを特徴とするAC型プラズマディスプレイ装置。
A discharge gas space is formed between a front substrate and a rear substrate, and a scan electrode and a sustain electrode formed in parallel with a surface of the front substrate facing the rear substrate are transparent electrodes and a sustain electrode, respectively. An AC-type plasma display device comprising a transparent electrode and a bus electrode having a lower resistance than the transparent electrode, wherein each transparent electrode is formed separately for each light emitting cell, wherein the transparent electrodes of a plurality of the light emitting cells have a plurality of transparent electrodes. An AC type plasma display device, wherein the AC type plasma display device is formed so as to extend over the light emitting cells and is electrically connected to each other by a connecting transparent electrode formed of the same conductor as the transparent electrode.
【請求項2】 前記透明電極は、複数の前記発光セルに
共通にまたがって形成されている前記バス電極に接続さ
れた細長状の支持部と、該支持部に接続されて面放電ギ
ャップを形成するための細長状の面放電部とから構成さ
れていることを特徴とする請求項1記載のAC型プラズ
マディスプレイ装置。
2. The elongated electrode of claim 1, wherein the transparent electrode is connected to the bus electrode and is formed to extend over a plurality of the light emitting cells, and is connected to the support to form a surface discharge gap. 2. The AC type plasma display device according to claim 1, wherein said AC type plasma display device comprises:
【請求項3】 前記接続用透明電極は、前記バス電極と
平行に形成されていることを特徴とする請求項1又は2
記載のAC型プラズマディスプレイ装置。
3. The connection electrode according to claim 1, wherein the connection transparent electrode is formed in parallel with the bus electrode.
The AC-type plasma display device according to the above.
【請求項4】 前記接続用透明電極は、平行に形成され
た第1の接続用透明電極と第2の接続用透明電極とから
構成されていることを特徴とする請求項3記載のAC型
プラズマディスプレイ装置。
4. The AC type according to claim 3, wherein the connection transparent electrode comprises a first connection transparent electrode and a second connection transparent electrode formed in parallel. Plasma display device.
【請求項5】 前記第1及び第2の接続用透明電極は、
略同一幅に形成されていることを特徴とする請求項4記
載のAC型プラズマディスプレイ装置。
5. The first and second connection transparent electrodes,
5. The AC type plasma display device according to claim 4, wherein the AC type plasma display device is formed to have substantially the same width.
【請求項6】 前面基板と背面基板との間に放電ガス空
間が形成され、前記前面基板の前記背面基板と対向する
面に平行に形成される走査電極及び維持電極が、それぞ
れ透明電極と該透明電極より低抵抗のバス電極とから構
成され、各透明電極が発光セル毎に孤立して形成されて
なるAC型プラズマディスプレイ装置の製造方法であっ
て、 前記前面基板の前記背面基板と対向する面となる主表面
にフォトレジスト膜を形成する第1の工程と、 前記フォトレジスト膜を所望の形状にパターニングし
て、前記前面基板の前記主表面の前記走査電極及び維持
電極を形成すべき領域のみを露出する第2の工程と、 前記前面基板の全面に透明導体膜を形成する第3の工程
と、 前記前面基板上に残っている前記フォトレジスト膜及び
該フォトレジスト膜を覆っている前記透明導体膜を同時
に除去することにより、前記主要面の露出された領域の
みに前記透明導体膜を残して前記走査電極及び維持電極
を構成する透明電極を前記発光セル毎に孤立するように
形成し、同時に複数の発光セルにまたがって複数の透明
電極同士を電気的に接続する接続用透明電極を形成する
第4の工程とを含むことを特徴とするAC型プラズマデ
ィスプレイ装置の製造方法。
6. A discharge gas space is formed between a front substrate and a rear substrate, and a scan electrode and a sustain electrode formed in parallel to a surface of the front substrate facing the rear substrate are respectively formed of a transparent electrode and a sustain electrode. A method for manufacturing an AC type plasma display device, comprising: a bus electrode having a lower resistance than a transparent electrode, wherein each transparent electrode is formed separately for each light emitting cell, wherein the front substrate faces the rear substrate. A first step of forming a photoresist film on a main surface that is to be a surface, and patterning the photoresist film into a desired shape to form a region on the main surface of the front substrate where the scan electrodes and sustain electrodes are to be formed A second step of exposing only the first substrate, a third step of forming a transparent conductor film over the entire surface of the front substrate, the photoresist film remaining on the front substrate, and the photoresist film By simultaneously removing the covering transparent conductor film, the transparent electrodes constituting the scanning electrode and the sustain electrode are isolated for each light emitting cell while leaving the transparent conductor film only in the exposed area of the main surface. And forming a connection transparent electrode for electrically connecting the plurality of transparent electrodes simultaneously over a plurality of light emitting cells. Method.
【請求項7】 前記第4の工程の後に、前記走査電極及
び維持電極の前記各透明電極上の一部に導体膜から成る
バス電極を形成する第5の工程を含むことを特徴とする
請求項6記載のAC型プラズマディスプレイ装置の製造
方法。
7. The method according to claim 1, further comprising: after the fourth step, a fifth step of forming a bus electrode made of a conductive film on a part of each of the transparent electrodes of the scan electrode and the sustain electrode. Item 7. The method for manufacturing an AC plasma display device according to Item 6.
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