JP2002319342A - 真空バルブ - Google Patents
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- JP2002319342A JP2002319342A JP2001121197A JP2001121197A JP2002319342A JP 2002319342 A JP2002319342 A JP 2002319342A JP 2001121197 A JP2001121197 A JP 2001121197A JP 2001121197 A JP2001121197 A JP 2001121197A JP 2002319342 A JP2002319342 A JP 2002319342A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 多回数の電流遮断が可能であり、特に耐電圧
性能が良好な真空バルブを小形で経済的に提供する。 【解決手段】 筒状の絶縁筒１の両端部にそれぞれ設け
られた固定側端板２および可動側端板３により内部が閉
塞された真空容器内に、固定側端板２に固定され端部に
電極７が設けられた固定側の電極棒４と、端部に電極７
に接離可能な電極８が設けられた可動側の電極棒５と、
電極７、８を包囲し電流遮断時に電極７、８から発生す
る金属蒸気により絶縁筒１の内壁面が汚染されるのを防
止するシールド９とを備えた真空バルブにおいて、シー
ルド９の端部９ａと対向する電極棒４、５の表面がステ
ンレス材料で構成されたパイプ１１で覆われている。
性能が良好な真空バルブを小形で経済的に提供する。 【解決手段】 筒状の絶縁筒１の両端部にそれぞれ設け
られた固定側端板２および可動側端板３により内部が閉
塞された真空容器内に、固定側端板２に固定され端部に
電極７が設けられた固定側の電極棒４と、端部に電極７
に接離可能な電極８が設けられた可動側の電極棒５と、
電極７、８を包囲し電流遮断時に電極７、８から発生す
る金属蒸気により絶縁筒１の内壁面が汚染されるのを防
止するシールド９とを備えた真空バルブにおいて、シー
ルド９の端部９ａと対向する電極棒４、５の表面がステ
ンレス材料で構成されたパイプ１１で覆われている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、電流遮断時に電
極から発生する金属蒸気により絶縁筒の内壁面が汚染さ
れるのを防止するシールドを備えた真空バルブに関する
ものである。
極から発生する金属蒸気により絶縁筒の内壁面が汚染さ
れるのを防止するシールドを備えた真空バルブに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は例えば特開平１０−２１８０２号
公報に示された従来の真空バルブを示す断面図である。
図において、１は円筒形のアルミナセラミック等からな
る絶縁筒である。２は固定側端板、３は可動側端板であ
り、これらの固定側端板２及び可動側端板３はそれぞれ
絶縁筒１の両端部にろう付により同軸状に取付けられて
いる。組立は銀と銅の共晶ろう材である銀ろうを使用し
て行われるのが一般的であり、固定側端板２には固定側
の電極棒４が、可動側端板３にはベロ−ズ６を介して可
動側の電極棒５がろう付接合されている。７は固定側の
電極棒４の先端部にろう付接合された固定側の電極、８
は可動側の電極棒５の先端部にろう付接合され固定側の
電極７と対向して配置された可動側の電極である。
公報に示された従来の真空バルブを示す断面図である。
図において、１は円筒形のアルミナセラミック等からな
る絶縁筒である。２は固定側端板、３は可動側端板であ
り、これらの固定側端板２及び可動側端板３はそれぞれ
絶縁筒１の両端部にろう付により同軸状に取付けられて
いる。組立は銀と銅の共晶ろう材である銀ろうを使用し
て行われるのが一般的であり、固定側端板２には固定側
の電極棒４が、可動側端板３にはベロ−ズ６を介して可
動側の電極棒５がろう付接合されている。７は固定側の
電極棒４の先端部にろう付接合された固定側の電極、８
は可動側の電極棒５の先端部にろう付接合され固定側の
電極７と対向して配置された可動側の電極である。
【０００３】ベロ−ス６は、薄いステンレス鋼で蛇腹状
に製作されており、気密を保ちながら可動側の電極棒５
が動くことを可能にしている。９は絶縁筒１用のシ−ル
ドで、絶縁筒１の内面を覆うように配設され、絶縁筒１
の内面が電極７、８の電流遮断ア−クにより発生する金
属蒸気で汚染され絶縁筒１の内壁面の絶縁耐力が低下す
るのを防止している。２０はシールド９の両端部９ａを
囲い、シールド９の端部９ａの電界緩和を図る補助シー
ルド、１０はベローズカバーで、ベローズ６を覆うよう
に配設され、ベローズ６が電極７、８の電流遮断ア−ク
により発生する金属蒸気で汚染されるのを防止してい
る。なお、シールド９およびベローズカバー１０の機能
は遮蔽であるため、一般的には耐電圧性能の良好なステ
ンレス材料が使用される。
に製作されており、気密を保ちながら可動側の電極棒５
が動くことを可能にしている。９は絶縁筒１用のシ−ル
ドで、絶縁筒１の内面を覆うように配設され、絶縁筒１
の内面が電極７、８の電流遮断ア−クにより発生する金
属蒸気で汚染され絶縁筒１の内壁面の絶縁耐力が低下す
るのを防止している。２０はシールド９の両端部９ａを
囲い、シールド９の端部９ａの電界緩和を図る補助シー
ルド、１０はベローズカバーで、ベローズ６を覆うよう
に配設され、ベローズ６が電極７、８の電流遮断ア−ク
により発生する金属蒸気で汚染されるのを防止してい
る。なお、シールド９およびベローズカバー１０の機能
は遮蔽であるため、一般的には耐電圧性能の良好なステ
ンレス材料が使用される。
【０００４】ところで、真空バルブに必要な性能として
は、イ．短絡電流の遮断能力が大きく、多回数の遮断が
可能であること、ロ．耐圧性能が良いこと、ハ．負荷電
流の遮断回数寿命が長いこと、等の性能が必要であり、
以上に加え、小形で低コストであることが要求される。
多回数の短絡電流や負荷電流の遮断を実現する上で、遮
断の際に発生する金属蒸気をより効果的に遮蔽するため
に、絶縁筒１用のシールド９の両端部９ａはしぼり加工
により、電極７、８に対向する部位と比べより直径が小
さく作られている。そのために、シールド９の両端部は
電極棒４、５との距離が接近する構造になっている。一
方、電極棒４、５は短絡電流や負荷電流を通電するた
め、温度上昇を極力小さくする必要があり、一般的な材
料として電気伝導率が良く、安価な銅が用いられる。
は、イ．短絡電流の遮断能力が大きく、多回数の遮断が
可能であること、ロ．耐圧性能が良いこと、ハ．負荷電
流の遮断回数寿命が長いこと、等の性能が必要であり、
以上に加え、小形で低コストであることが要求される。
多回数の短絡電流や負荷電流の遮断を実現する上で、遮
断の際に発生する金属蒸気をより効果的に遮蔽するため
に、絶縁筒１用のシールド９の両端部９ａはしぼり加工
により、電極７、８に対向する部位と比べより直径が小
さく作られている。そのために、シールド９の両端部は
電極棒４、５との距離が接近する構造になっている。一
方、電極棒４、５は短絡電流や負荷電流を通電するた
め、温度上昇を極力小さくする必要があり、一般的な材
料として電気伝導率が良く、安価な銅が用いられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の真空バルブは上
記のように構成され、絶縁筒１用のシールド９の両端部
９ａは電界強度が高い上、対向する電極棒４、５の材料
である銅は電気伝導率は良いが、反面、耐電圧性能が悪
く、シールド９の両端部９ａの背後に補助シールド２０
を設け電界緩和を図っており、真空バルブの軸線方向の
寸法を大きくせざるを得ないという問題点があった。ま
た、補助シールドを用いないときには、電極棒とシール
ドの両端部との間の距離を大きくせざるを得ず、真空バ
ルブの径方向の寸法を大きくせざるを得ないという問題
点があった。なお、電極棒の表面をニッケルやクロム等
でメッキすることで電極棒の耐電圧性能を高めることも
可能であるが、メッキ液の中の不純物混入や、メッキの
ボイド部に汚れが付着したりするため、安定的に耐圧を
高くすることができないという問題点があった。
記のように構成され、絶縁筒１用のシールド９の両端部
９ａは電界強度が高い上、対向する電極棒４、５の材料
である銅は電気伝導率は良いが、反面、耐電圧性能が悪
く、シールド９の両端部９ａの背後に補助シールド２０
を設け電界緩和を図っており、真空バルブの軸線方向の
寸法を大きくせざるを得ないという問題点があった。ま
た、補助シールドを用いないときには、電極棒とシール
ドの両端部との間の距離を大きくせざるを得ず、真空バ
ルブの径方向の寸法を大きくせざるを得ないという問題
点があった。なお、電極棒の表面をニッケルやクロム等
でメッキすることで電極棒の耐電圧性能を高めることも
可能であるが、メッキ液の中の不純物混入や、メッキの
ボイド部に汚れが付着したりするため、安定的に耐圧を
高くすることができないという問題点があった。
【０００６】この発明は上記のような問題点を解消する
ことを課題とするものであって、多回数の電流遮断が可
能であり、特に耐電圧性能が良好な真空バルブを小形で
経済的に提供することを目的とする。
ことを課題とするものであって、多回数の電流遮断が可
能であり、特に耐電圧性能が良好な真空バルブを小形で
経済的に提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明に係る真空バル
ブは、シールドの端部と対向する電極棒の表面がステン
レス材料で構成された覆体で覆われている。
ブは、シールドの端部と対向する電極棒の表面がステン
レス材料で構成された覆体で覆われている。
【０００８】この発明に係る真空バルブでは、覆体はス
テンレス鋼パイプである。
テンレス鋼パイプである。
【０００９】この発明に係る真空バルブは、シールドの
端部と対向する電極棒の表面にはプラズマ溶射により耐
火性金属層が形成されている。
端部と対向する電極棒の表面にはプラズマ溶射により耐
火性金属層が形成されている。
【００１０】この発明に係る真空バルブでは、耐火性金
属層は、クロムで構成されている。
属層は、クロムで構成されている。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の各実施の形態を
図に基づいて説明するが、図３に示される従来の真空バ
ルブと同一又は同等部材、部位については、同一符号を
付し、その説明を省略する。 実施の形態１．
図に基づいて説明するが、図３に示される従来の真空バ
ルブと同一又は同等部材、部位については、同一符号を
付し、その説明を省略する。 実施の形態１．
【００１２】図１はこの発明の実施の形態１に係る真空
バルブを示す断面図であり、図において、１１は絶縁筒
１用のシールド９の両端部９ａに対向した固定用の電極
棒４および可動用の電極棒５の部位の外周部を覆った覆
体であるステンレス鋼のパイプである。一方のパイプ１
１は、一端部が固定用の電極７にろう付により接合され
ている。他方のパイプ１１は、一端部が可動用の電極８
にろう付により接合されている。
バルブを示す断面図であり、図において、１１は絶縁筒
１用のシールド９の両端部９ａに対向した固定用の電極
棒４および可動用の電極棒５の部位の外周部を覆った覆
体であるステンレス鋼のパイプである。一方のパイプ１
１は、一端部が固定用の電極７にろう付により接合され
ている。他方のパイプ１１は、一端部が可動用の電極８
にろう付により接合されている。
【００１３】次に、この実施の形態１による真空バルブ
の電気的性能について説明する。真空バルブの固定側の
電極７と可動側の電極８との間に電圧が印加された場
合、シ−ルド９は絶縁筒１のほぼ中央に支持されている
ので、シ−ルド９の電位は、シールド９と、固定側の電
極棒４、固定側の電極７、可動側の電極棒５および可動
側の電極８との間の容量から決まり、固定側の電極７と
可動側の電極８との間の中間電位に近くなる。シールド
９の両端部９ａは、遮断の際に発生する電極７、８の金
属蒸気を効果的に遮蔽するために、しぼり加工により半
径が中間部と比較して小さいため、電界集中部となり電
界強度は高い。
の電気的性能について説明する。真空バルブの固定側の
電極７と可動側の電極８との間に電圧が印加された場
合、シ−ルド９は絶縁筒１のほぼ中央に支持されている
ので、シ−ルド９の電位は、シールド９と、固定側の電
極棒４、固定側の電極７、可動側の電極棒５および可動
側の電極８との間の容量から決まり、固定側の電極７と
可動側の電極８との間の中間電位に近くなる。シールド
９の両端部９ａは、遮断の際に発生する電極７、８の金
属蒸気を効果的に遮蔽するために、しぼり加工により半
径が中間部と比較して小さいため、電界集中部となり電
界強度は高い。
【００１４】次に、真空バルブの構成部品間の耐圧性能
について述べる。まず、シールド９の両端部９ａと固定
側端板２やベローズカバー１０との間の耐圧であるが、
距離が長くとれ、また固定側端板２やベローズカバー１
０の材料としてステンレス材料が使用できるため、耐電
圧は良好である。また、シールド９の中間部と電極７、
８との間の耐圧は、やはり両者間の距離が長く、また電
極７、８の周縁部のＲ加工が大きいので、耐圧は良好で
ある。
について述べる。まず、シールド９の両端部９ａと固定
側端板２やベローズカバー１０との間の耐圧であるが、
距離が長くとれ、また固定側端板２やベローズカバー１
０の材料としてステンレス材料が使用できるため、耐電
圧は良好である。また、シールド９の中間部と電極７、
８との間の耐圧は、やはり両者間の距離が長く、また電
極７、８の周縁部のＲ加工が大きいので、耐圧は良好で
ある。
【００１５】一方、シールド９の両端部９ａと電極棒
４、５との間の耐圧であるが、両者間の距離が短く、シ
ールド９の両端部９ａの電界強度が高いため耐圧条件が
厳しい。しかしながら、電極棒４、５側の表面は耐電圧
性能が高いステンレス材料で構成されたパイプ１１で覆
われているため、耐電圧が良好であり、その分シールド
９と電極棒４、５との間の距離を接近させることがで
き、真空バルブの径方向の寸法を小形化することができ
る。また、シールド９の端部９ａと電極棒４、５との間
の距離も短くなり、遮断の際に発生する電極７、８の金
属蒸気をより効果的に閉じ込めることができる。このよ
うに、複雑な構造を用いることなく、電極棒４、５の端
部をステンレス鋼のパイプ１１で覆うだけで真空バルブ
の耐電圧性能を向上させることができるため、信頼性の
高い真空バルブを実現することができる。
４、５との間の耐圧であるが、両者間の距離が短く、シ
ールド９の両端部９ａの電界強度が高いため耐圧条件が
厳しい。しかしながら、電極棒４、５側の表面は耐電圧
性能が高いステンレス材料で構成されたパイプ１１で覆
われているため、耐電圧が良好であり、その分シールド
９と電極棒４、５との間の距離を接近させることがで
き、真空バルブの径方向の寸法を小形化することができ
る。また、シールド９の端部９ａと電極棒４、５との間
の距離も短くなり、遮断の際に発生する電極７、８の金
属蒸気をより効果的に閉じ込めることができる。このよ
うに、複雑な構造を用いることなく、電極棒４、５の端
部をステンレス鋼のパイプ１１で覆うだけで真空バルブ
の耐電圧性能を向上させることができるため、信頼性の
高い真空バルブを実現することができる。
【００１６】なお、遮断器の操作機構の動作により、真
空バルブの開閉動作が行われるが、操作機構の部品の公
差等の原因から、固定側の電極棒４に対して、可動側の
電極棒５の軸心がずれ、可動側の電極８がいくらか傾く
ることが生じる。従って、可動側の電極棒５とシールド
９の端部９ａとの距離が不安定であるので、可動側の電
極棒５だけにでもステンレス鋼のパイプ１１を設けるこ
とで真空バルブの耐電圧性能を向上させることができ
る。
空バルブの開閉動作が行われるが、操作機構の部品の公
差等の原因から、固定側の電極棒４に対して、可動側の
電極棒５の軸心がずれ、可動側の電極８がいくらか傾く
ることが生じる。従って、可動側の電極棒５とシールド
９の端部９ａとの距離が不安定であるので、可動側の電
極棒５だけにでもステンレス鋼のパイプ１１を設けるこ
とで真空バルブの耐電圧性能を向上させることができ
る。
【００１７】実施の形態２．図２はこの発明の実施の形
態２に係る真空バルブを示す断面図である。図におい
て、１２はシールド９の両端部９ａと対向する電極棒
４、５の部位の表面にプラズマ溶射により覆われた耐火
性金属層である。この耐火性金属層の被覆は溶射により
行われるので、必要な個所のみに施すことが可能であ
る。従って、シールド９の端部９ａと対向することのな
い電極７、８の近傍では耐火性金属層１２の被覆がなさ
れていない。
態２に係る真空バルブを示す断面図である。図におい
て、１２はシールド９の両端部９ａと対向する電極棒
４、５の部位の表面にプラズマ溶射により覆われた耐火
性金属層である。この耐火性金属層の被覆は溶射により
行われるので、必要な個所のみに施すことが可能であ
る。従って、シールド９の端部９ａと対向することのな
い電極７、８の近傍では耐火性金属層１２の被覆がなさ
れていない。
【００１８】金属材料の耐圧性能は一般的に融点の低い
銀や銅よりも融点の高いクロム、ニッケル、タングステ
ン、モリブデン等の耐火性金属の耐圧は高い傾向があ
る。この場合においても、シールド９の絞り加工された
端部９ａと電極棒４、５との間の耐圧は、両者間の距離
が短く、シールド９の端部９ａの電界強度が高いため耐
圧条件が厳しくなるが、電極棒４、５側の表面は耐火性
金属層１２で覆われているので、耐電圧性能が良好であ
り、その分、シールド９と電極棒４、５との間の距離を
接近させることができ、真空バルブの径方向の寸法を小
さくすることができる。また、シールド９の端部９ａと
電極棒４、５との間の距離を短くすることで、遮断の際
に発生する電極７、８の金属蒸気をより効果的にシール
ド９内に閉じ込めることができる。
銀や銅よりも融点の高いクロム、ニッケル、タングステ
ン、モリブデン等の耐火性金属の耐圧は高い傾向があ
る。この場合においても、シールド９の絞り加工された
端部９ａと電極棒４、５との間の耐圧は、両者間の距離
が短く、シールド９の端部９ａの電界強度が高いため耐
圧条件が厳しくなるが、電極棒４、５側の表面は耐火性
金属層１２で覆われているので、耐電圧性能が良好であ
り、その分、シールド９と電極棒４、５との間の距離を
接近させることができ、真空バルブの径方向の寸法を小
さくすることができる。また、シールド９の端部９ａと
電極棒４、５との間の距離を短くすることで、遮断の際
に発生する電極７、８の金属蒸気をより効果的にシール
ド９内に閉じ込めることができる。
【００１９】ところで、耐火性金属層１２の材料として
は、汎用的に使用される材料でありコストも安価である
ためクロム、ニッケル、タングステン、モリブデンの中
から選ばれるのが望ましい。その中で、特に耐火性金属
層１２の材料としてクロムを用いた場合、クロムはろう
材との濡れ性が悪いため、真空バルブのろう付組み立て
の際の銀ろうの流れによる表面汚染を防止することが可
能であり、安定して耐圧の良好な真空バルブを得ること
ができるため、最も望ましい。
は、汎用的に使用される材料でありコストも安価である
ためクロム、ニッケル、タングステン、モリブデンの中
から選ばれるのが望ましい。その中で、特に耐火性金属
層１２の材料としてクロムを用いた場合、クロムはろう
材との濡れ性が悪いため、真空バルブのろう付組み立て
の際の銀ろうの流れによる表面汚染を防止することが可
能であり、安定して耐圧の良好な真空バルブを得ること
ができるため、最も望ましい。
【００２０】なお、この実施の形態でも、可動側の電極
棒５とシールド９の端部９ａとの距離が不安定な可動側
の電極棒５だけにでも耐火性金属層１２を設けることで
真空バルブの耐電圧性能を向上させることができる。ま
た、上記実施の形態１および実施の形態２では、シール
ド９の端部９ａに絞り加工した真空バルブについて説明
したが、端部に絞り加工が施されていないシールドを有
する真空バルブでも、シールドの端部は電界値は大きい
ので、端部に対向した電極棒の表面に、実施の形態１の
覆体、実施の形態２の耐火性金属層を設けることで、真
空バルブの耐電圧性能を向上させることができる。
棒５とシールド９の端部９ａとの距離が不安定な可動側
の電極棒５だけにでも耐火性金属層１２を設けることで
真空バルブの耐電圧性能を向上させることができる。ま
た、上記実施の形態１および実施の形態２では、シール
ド９の端部９ａに絞り加工した真空バルブについて説明
したが、端部に絞り加工が施されていないシールドを有
する真空バルブでも、シールドの端部は電界値は大きい
ので、端部に対向した電極棒の表面に、実施の形態１の
覆体、実施の形態２の耐火性金属層を設けることで、真
空バルブの耐電圧性能を向上させることができる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の真空バ
ルブによれば、シールドの端部と対向する電極棒の表面
がステンレス材料で構成された覆体で覆われているの
で、真空バルブの耐圧性能が向上でき、真空バルブを小
形化することができる。
ルブによれば、シールドの端部と対向する電極棒の表面
がステンレス材料で構成された覆体で覆われているの
で、真空バルブの耐圧性能が向上でき、真空バルブを小
形化することができる。
【００２２】また、この発明の真空バルブによれば、覆
体はステンレス鋼パイプであるので、既製のステンレス
鋼パイプを用いて簡単に耐圧性能が向上でき、真空バル
ブを小形化することができる。
体はステンレス鋼パイプであるので、既製のステンレス
鋼パイプを用いて簡単に耐圧性能が向上でき、真空バル
ブを小形化することができる。
【００２３】また、この発明の真空バルブによれば、シ
ールドの端部と対向する電極棒の表面にはプラズマ溶射
により耐火性金属層が形成されているので、メッキによ
り生じる不都合、即ちメッキ液の中の不純物混入や、メ
ッキのボイド部に汚れが付着するような不都合が生じる
ことは無く、真空バルブの耐圧性能が向上できるととも
に、真空バルブを小形化することができる。また、必要
な部位のみを選択して電極棒の表面を耐火性金属で被覆
することができ、耐火性金属の無駄な使用を避けること
もできる。
ールドの端部と対向する電極棒の表面にはプラズマ溶射
により耐火性金属層が形成されているので、メッキによ
り生じる不都合、即ちメッキ液の中の不純物混入や、メ
ッキのボイド部に汚れが付着するような不都合が生じる
ことは無く、真空バルブの耐圧性能が向上できるととも
に、真空バルブを小形化することができる。また、必要
な部位のみを選択して電極棒の表面を耐火性金属で被覆
することができ、耐火性金属の無駄な使用を避けること
もできる。
【００２４】また、この発明の真空バルブによれば、耐
火性金属の材料は、クロムであるので、真空バルブの組
み立てにろう材が用いられたときに、クロムはろう材と
の濡れ性が悪いため耐火性金属層の表面のろう材による
汚染が問題になるようなことはなく、安定した耐圧性能
の良好な真空バルブを得ることができる。
火性金属の材料は、クロムであるので、真空バルブの組
み立てにろう材が用いられたときに、クロムはろう材と
の濡れ性が悪いため耐火性金属層の表面のろう材による
汚染が問題になるようなことはなく、安定した耐圧性能
の良好な真空バルブを得ることができる。
【図１】 この発明の実施の形態1に係る真空バルブを
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】 この発明の実施の形態２に係る真空バルブを
示す断面図である。
示す断面図である。
【図３】 従来の真空バルブを示す断面図である。
１ 絶縁筒、２ 固定側端板、３ 可動側端板、４ 固
定側電極棒、５ 可動側電極棒、７ 固定側電極、８
可動側電極、９ シールド、９ａ 端部、１１パイプ
（覆体）、１２ 耐火性金属層。
定側電極棒、５ 可動側電極棒、７ 固定側電極、８
可動側電極、９ シールド、９ａ 端部、１１パイプ
（覆体）、１２ 耐火性金属層。
Claims (4)
- 【請求項１】 絶縁筒の両端部にそれぞれ設けられた固
定側端板および可動側端板により内部が閉塞された真空
容器内に、前記固定側端板に固定され端部に電極が設け
られた固定側の電極棒と、端部に前記電極に接離可能な
電極が設けられた可動側の電極棒と、前記電極を包囲し
電流遮断時に電極から発生する金属蒸気により前記絶縁
筒の内壁面が汚染されるのを防止するシールドとを備え
た真空バルブにおいて、 前記シールドの端部と対向する前記電極棒の表面がステ
ンレス材料で構成された覆体で覆われたことを特徴とす
る真空バルブ。 - 【請求項２】 覆体はステンレス鋼パイプである請求項
第１項に記載の真空バルブ。 - 【請求項３】 絶縁筒の両端部にそれぞれ設けられた固
定側端板および可動側端板により内部が閉塞された真空
容器内に、前記固定側端板に固定され端部に電極が設け
られた固定側の電極棒と、端部に前記電極に接離可能な
電極が設けられた可動側の電極棒と、前記電極を包囲し
電流遮断時に電極から発生する金属蒸気により前記絶縁
筒の内壁面が汚染されるのを防止するシールドとを備え
た真空バルブにおいて、 前記シールドの端部と対向する前記電極棒の表面にはプ
ラズマ溶射により耐火性金属層が形成されたことを特徴
とする真空バルブ。 - 【請求項４】 耐火性金属層は、クロムで構成されたこ
とを特徴とする請求項第３項に記載の真空バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001121197A JP2002319342A (ja) | 2001-04-19 | 2001-04-19 | 真空バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001121197A JP2002319342A (ja) | 2001-04-19 | 2001-04-19 | 真空バルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002319342A true JP2002319342A (ja) | 2002-10-31 |
Family
ID=18971122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001121197A Pending JP2002319342A (ja) | 2001-04-19 | 2001-04-19 | 真空バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002319342A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2001-04-19 JP JP2001121197A patent/JP2002319342A/ja active Pending
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