JP2002318157A - 電磁波検出装置 - Google Patents

電磁波検出装置

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JP2002318157A
JP2002318157A JP2001126065A JP2001126065A JP2002318157A JP 2002318157 A JP2002318157 A JP 2002318157A JP 2001126065 A JP2001126065 A JP 2001126065A JP 2001126065 A JP2001126065 A JP 2001126065A JP 2002318157 A JP2002318157 A JP 2002318157A
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electromagnetic wave
wavelength
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wavelength band
mirror
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Naoki Oda
直樹 小田
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NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】カセグレン型電磁波検出装置において多波長の
電磁波を同時に検出する際、従来では同装置の体積が大
きく、且つ光学系が複雑で調整が難しい。同装置を小さ
くすると共に光学調整を簡便化する方法を提供するのが
課題である。 【解決手段】電磁波検出装置において、副鏡には赤外線
透過材料を用い、且つ副鏡表面にはダイクロイックコー
ティングを施すことにより、長波長赤外線を主焦点側に
透過させ、短波長赤外線をカセグレン焦点側に反射させ
ると共に、デッドスペースである副鏡裏側の主焦点にも
センサを配置して同装置を小さくし、且つカセグレン焦
点に配置した光学系やセンサの調整を簡単にすることが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は赤外線を透過し、且
つ表面がダイクロイック薄膜(誘電体多層薄膜)でコー
ティングされた副鏡を設置することにより、赤外線と可
視光線を同時に検出する電磁波検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】2つの赤外バンド(波長帯域)と1つの
可視光バンドを同時に検出する電磁波検出装置の従来例
として、図4にR.P.Jonas氏らによって著述さ
れ、学術誌SPIEの第3061巻、第388頁(19
97年刊行)に掲載されている論文中の電磁波検出装置
のレイアウトを示す。入射電磁波49は、第1凹面鏡5
0、第1平面鏡51および第2凹面鏡52で反射され、
2つのダイクロイックミラーによって、3つのバンドに
分離される。第1ダイクロイックミラー53で反射され
た波長帯の電磁波は、第1焦点面54に焦点を結ぶ。他
方、第1ダイクロイックミラー53を透過した波長帯の
電磁波のうち、第2ダイクロイックミラー55で反射さ
れた波長帯の電磁波は、第1レンズ群56を通り第2焦
点面57に焦点を結ぶ。最後に、第2ダイクロイックミ
ラー55を透過した波長帯の電磁波は、第2平面鏡58
で反射され第2レンズ群59を通り第3焦点面60に焦
点を結ぶ。これらの焦点面に電磁波検出器を配置するこ
とにより、3つの波長帯の電磁波を同時に観測する構成
となっている。
【0003】図5に、Huixing氏著述の論文(S
PIE誌、第4130巻、1頁(2000年)掲載)か
ら引用した電磁波検出装置の他の従来例を示す。被写体
からの入射電磁波99は、走査平面鏡100によりカセ
グレン望遠鏡の主鏡101に導入される。主鏡で反射さ
れた電磁波は、副鏡102で反射され主鏡の後方に設置
した誘電体多層膜による波長特性を有するダイクロイッ
クミラー103、104、107により各波長毎に割り
振られる。ダイクロイックミラー103は、波長約1μ
m以下の電磁波を透過し波長約1μm以上の電磁波を反
射する。ダイクロイックミラー103を透過した波長約
1μm以下の電磁波は、ダイクロイックミラー104に
より更に2つに分割され、波長約0.8μm〜1μmの
電磁波はダイクロイックミラー104を透過し、波長約
0.8μm以下の電磁波は反射される。ダイクロイック
ミラー104を透過して集光された電磁波の焦点面10
5には、0.84〜0.89μmの波長帯と0.9〜
0.965μmの波長帯の電磁波を検出するフィルタと
Siセンサが配置されている。ダイクロイックミラー1
04を反射して集光された電磁波の焦点面106には、
0.43〜0.48μm,0.48〜0.53μm,
0.53〜0.58μm,0.58〜0.68μmの波
長帯の電磁波を検出するフィルタやSiセンサが配置さ
れている。ダイクロイックミラー103によって反射さ
れた波長約1μm以上の電磁波は、ダイクロイックミラ
ー107により波長約3μm以上の電磁波は透過され、
波長約3μm以下の電磁波は反射される。ダイクロイッ
クミラー107により反射され集光された電磁波の焦点
面108には、1.58〜1.64μmの波長帯の電磁
波を検出するフィルタとHgCdTeセンサが配置され
ている。ダイクロイックミラー107を透過した波長約
3μm以上の電磁波は、平面鏡109で反射され焦点面
110に結像する。この焦点面には波長帯3.55〜
3.93μm、10.3〜11.3μm及び11.5〜
12.5μmの赤外線を検出するフィルタとHgCdT
eセンサが配置されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記の2つの従来例の
電磁波検出装置において、多波長の電磁波を同時に検出
しようとする場合、様々な種類のセンサを配置するため
にカセグレン焦点部を広く取る必要があり、しかも多数
の光学系が必要になって調整が大変難しくなる。また、
多数のダイクロイックミラーや光学系を介するため、総
合的な透過率や反射率が低下しセンサに入射する輻射量
が減少するという問題もある。
【0005】本発明の目的は、カセグレン光学系を用い
て多波長の電磁波、主に可視光と赤外線を同時に検出す
る装置において、赤外線を透過する材料より成り、且つ
表面にはダイクロイックコーティングを施した副鏡を用
い、長波長赤外線を主鏡の主焦点側に透過させ、短波長
赤外線をカセグレン焦点側に反射させる光学構成をとる
ことにより、副鏡裏側にもセンサを配置してデッドスペ
ースを有効利用し、コンパクトで光軸調整がより容易な
多波長同時検出装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係わ
る発明の電磁波検出装置は、主反射鏡と、前記主反射鏡
の反射する電磁波のうちの第1の波長帯域の電磁波を透
過し前記主反射鏡の反射する電磁波のうちの前記第1の
波長帯域とは波長帯域が異なる第2の波長帯域の電磁波
を反射する分波機能を備えた副反射鏡と、前記第1の波
長帯域の電磁波の集束点に配設した第1の電磁波検出器
と、前記第2の波長帯域の電磁波の集束点に配設した第
2の電磁波検出器を備えることを特徴とする。また、本
発明の請求項2に係わる発明の電磁波検出装置は、前記
請求項1に係わる発明の記載の前記主反射鏡の反射面が
放物面であり、前記副反射鏡の反射面が双曲面であるこ
とを特徴とする。また、本発明の請求項3に係わる発明
の電磁波検出装置は、前記請求項1に係わる発明の記載
の前記主反射鏡の反射面が放物面であり、前記副反射鏡
の反射面が楕円面であることを特徴とする。また、本発
明の請求項4に係わる発明の電磁波検出装置は、前記請
求項1に係わる発明の記載の前記主反射鏡の反射面が放
物面であり、前記副反射鏡の反射面が球面であることを
特徴とする。また、本発明の請求項5に係わる発明の電
磁波検出装置は、前記請求項1に係わる発明の記載の前
記主反射鏡の反射面が放物面であり、前記副反射鏡の反
射面が平面であることを特徴とする。また、本発明の請
求項6に係わる発明の電磁波検出装置は、前記請求項1
乃至5に係わる発明の記載の前記副反射鏡の母材が、前
記第1の波長帯域の電磁波を透過する電磁波透過特性を
有し、前記副反射鏡の反射面のもつ分波機能が誘電体多
層膜によるものであることを特徴とする。また、本発明
の請求項7に係わる発明の電磁波検出装置は、前記請求
項1に係わる発明の記載の前記副反射鏡が、反射する第
2の波長帯域の電磁波を、さらに複数の波長帯域の電磁
波に分波する複数の分波手段と、前記分波されたそれぞ
れの電磁波を検出する複数の電磁波検出器を備えること
を特徴とする。また、本発明の請求項8に係わる発明の
電磁波検出装置は、前記請求項1に係わる発明の記載の
前記第1の波長帯域が中赤外線より波長の長い波長帯域
であり、前記第2の波長帯域が中赤外線より波長の短い
波長帯域であることを特徴とする。また、本発明の請求
項9に係わる発明の電磁波検出装置は、前記請求項6に
係わる発明の記載の前記母材が、Ge、ZnS、ZnS
e、CaF2 、BaF2 、GaAs、Si、InPのい
ずれかであり、且つ前記第1の波長帯域と前記第2の波
長帯域とが帯域の境を接し、前記帯域の境の波長が6〜
7μmであることを特徴とする。また、本発明の請求項
10に係わる発明の電磁波検出装置は、前記請求項7に
係わる発明の記載の前記第1の電磁波検出器が、波長8
〜14μmの範囲を検出する赤外センサであり、前記分
波されたそれぞれの電磁波を検出する複数の電磁波検出
器が、可視光線を検出するセンサと波長0.8〜5μm
の範囲の赤外線を検出するセンサを含むことを特徴とす
る。また、本発明の請求項11に係わる発明の電磁波検
出装置は、前記請求項10に係わる発明の記載の前記波
長8〜14μmの範囲を検出する赤外センサが、ボロメ
−タ型、焦電型、熱電対型を含む熱型センサまたはHg
CdTeセンサであり、前記可視光線を検出するセンサ
が、CCDセンサやCMOSセンサであり、前記波長
0.8〜5μmの範囲の赤外線を検出する赤外センサ
が、InSb、HgCdTe、InGaAs、InA
s、PbS、PbSeを用いたセンサであることを特徴
とする。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明のカセグレン光学系を用い
た電磁波検出装置の実施形態について図面を参照して説
明する。本発明の電磁波検出装置を図1に示す。被写体
からの入射電磁波7は主鏡1で反射して副鏡2に向か
う。同副鏡2にはダイクロイックコーティングが施さ
れ、一部の電磁波を透過し他の電磁波を反射する。副鏡
を透過した電磁波は、主鏡1の主焦点3に結像し同焦点
部には検出器が配置されている。副鏡で反射した電磁波
はカセグレン焦点に導かれ、ダイクロイックミラー4に
より、更に分けられる。一部の電磁波は透過して焦点部
5に結像し、他の電磁波は反射され焦点部6に結像す
る。各焦点部には検出器が配置されている。被写体から
の電磁波10は、まず主鏡1に入射する。主鏡1は直径
30cm、F値1の反射鏡であり、その鏡面には可視光
から赤外線の波長域に渡って反射率の高いAu又はAl
が蒸着され、可視光線及び赤外線の反射率を高くしてい
る。主鏡1で反射された可視光線及び赤外線は集束され
つつ副鏡2に向かう。副鏡2は赤外線を透過する材料に
ダイクロイック特性を有する薄膜が蒸着されている。赤
外線透過材料として、本実施例ではGeを用いた。勿
論、Ge以外の他の材料、例えばZnSe,ZnS,G
aAs,BaF2 ,CaF2 、Si、InPも使用する
ことができる。図2は、副鏡にコーティングされた薄膜
のダイクロイック特性を示す。副鏡2のダイクロイック
特性として、本実施例では図2の曲線22の特性を有す
る薄膜を用いた。つまりダイクロイック薄膜がコーティ
ングされた副鏡2は、波長約6μm以上の赤外線を透過
し、それ以下の波長の赤外線や可視光線を反射する。副
鏡2で反射した波長約6μm以下の電磁波は、ダイクロ
イックミラー4により、更に2つの波長帯に分けられ
る。本実施例では、ダイクロイックミラー4のダイクロ
イック特性として、図2の曲線21の透過特性を持つ誘
電体多層薄膜を用いた。波長3μm以上で6μm以下の
赤外線は、ダイクロイックミラー4を透過して焦点部5
に結像する。波長3μm以下の赤外線や可視光線は、ダ
イクロイックミラー4で反射して焦点部6に結像する。
本発明の電磁波検出装置において、主焦点3、各焦点部
5及び6に配置することができるセンサの例を図3の表
にまとめて示す。その内本実施例では、副鏡2を透過し
た波長約6μm以上の赤外線は、副鏡2の裏側の焦点部
3には、ボロメータ型非冷却赤外センサを配置し、波長
8〜14μmの赤外線が主に検出するようにした。副鏡
の直径は10cmで、副鏡で反射された波長6μm以下
の赤外線や可視光線の合成F値は3.5である。焦点部
5では、波長3〜6μmの赤外線を検出することがで
き、ここに電子冷凍型のHgCdTeセンサを配置し
た。また、焦点部6にSi−CCD可視光センサを配置
し、可視光線の検出を行った。可視光線ではなく、波長
0.8〜3μmの短波長の近赤外線を検出したい場合
は、この波長領域において、より感度の高いPbSやI
nGaAsのようなセンサを配置しても構わない。
【0008】以上、本実施例では、副鏡2に蒸着したダ
イクロイック薄膜の特性として図2の曲線22のものを
用いたが、目的に応じて様々な波長特性を有するダイク
ロイック薄膜を用いても構わない。また本実施例では、
各焦点部に配置したセンサの種類を限定したが、図3に
示したように焦点部の空間が許す限り、目的に応じて他
のセンサを配置しても構わない。また、本実施例では、
反射鏡の構成を主鏡の反射面が放物面であり、副鏡の反
射面が双曲面である、いわゆるカセグレン型の反射鏡構
成の場合を述べたが、副鏡の反射面が楕円面である、い
わゆるグレゴリアン型の反射鏡構成であってもよい。ま
た、結像点に多少の収差が残っても作りやすくする場合
には、副鏡の反射面を球面に選んでもよい。また、本実
施例では、副鏡表面を曲面にしてF値を変換する構成と
したが、平面鏡を用いてF値を変えないようにしてもよ
い。
【0009】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による電磁
波検出装置を実現することにより、副鏡裏側のデッドス
ペースにセンサを配置することで装置全体の体積を小さ
くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による電磁波検出装置の実施の形態の構
成を示す図である。
【図2】本発明による電磁波検出装置の副鏡に蒸着した
薄膜のダイクロイック特性を示す図である。
【図3】本発明の電磁波検出装置に用いるセンサの例を
示す図である。
【図4】従来の電磁波検出装置の構成を示す図である。
【図5】もう一つの従来の電磁波検出装置の構成を示す
図である。
【符号の説明】
1 主鏡 2 副鏡 3 主焦点 4 ダイクロイックミラー 5 焦点部 6 焦点部 7 入射電磁波 49 入射電磁波 50 第1凹面鏡 51 第1平面鏡 52 第2凹面鏡 53 第1ダイクロイックミラー 54 第1焦点面 55 第2ダイクロイックミラー 56 第1レンズ群 57 第2焦点面 58 第2平面鏡 59 第2レンズ群 60 第3焦点面 99 入射電磁波 100 走査平面鏡 101 主鏡 102 副鏡 103 ダイクロイックミラー 104 ダイクロイックミラー 105 焦点面 106 焦点面 107 ダイクロイックミラー 108 焦点面 109 平面鏡 110 焦点面
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02B 17/00 G02B 17/00 Z 5F088 23/02 23/02 23/12 23/12 H01L 31/0232 H04N 5/33 H04N 5/33 H01L 31/02 D Fターム(参考) 2G065 AB02 AB04 BA02 BA04 BA06 BA11 BA12 BA13 BA14 BB13 BB14 BB27 2G066 BA01 BA08 BA09 BA11 BA14 BA25 BA44 BA60 2H039 AA02 AB03 AB22 2H087 KA15 NA03 RA04 TA00 TA04 TA06 5C024 AX01 AX06 EX41 5F088 AB02 AB07 AB09 BB03 JA13 LA01 LA03

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 主反射鏡と、前記主反射鏡の反射する電
    磁波のうちの第1の波長帯域の電磁波を透過し前記主反
    射鏡の反射する電磁波のうちの前記第1の波長帯域とは
    波長帯域が異なる第2の波長帯域の電磁波を反射する分
    波機能を備えた副反射鏡と、前記第1の波長帯域の電磁
    波の集束点に配設した第1の電磁波検出器と、前記第2
    の波長帯域の電磁波の集束点に配設した第2の電磁波検
    出器を備えることを特徴とする電磁波検出装置。
  2. 【請求項2】 前記主反射鏡の反射面が放物面であり、
    前記副反射鏡の反射面が双曲面であることを特徴とする
    前記請求項1記載の電磁波検出装置。
  3. 【請求項3】 前記主反射鏡の反射面が放物面であり、
    前記副反射鏡の反射面が楕円面であることを特徴とする
    前記請求項1記載の電磁波検出装置。
  4. 【請求項4】 前記主反射鏡の反射面が放物面であり、
    前記副反射鏡の反射面が球面であることを特徴とする前
    記請求項1記載の電磁波検出装置。
  5. 【請求項5】 前記主反射鏡の反射面が放物面であり、
    前記副反射鏡の反射面が平面であることを特徴とする前
    記請求項1記載の電磁波検出装置。
  6. 【請求項6】 前記副反射鏡の母材が前記第1の波長帯
    域の電磁波を透過する電磁波透過特性を有し、前記副反
    射鏡の反射面のもつ分波機能が誘電体多層膜によるもの
    であることを特徴とする前記請求項1乃至5記載の電磁
    波検出装置。
  7. 【請求項7】 前記副反射鏡が反射する第2の波長帯域
    の電磁波を、さらに複数の波長帯域の電磁波に分波する
    複数の分波手段と、前記分波されたそれぞれの電磁波を
    検出する複数の電磁波検出器を備えることを特徴とする
    請求項1記載の電磁波検出装置。
  8. 【請求項8】 前記第1の波長帯域が中赤外線より波長
    の長い波長帯域であり、前記第2の波長帯域が中赤外線
    より波長の短い波長帯域であることを特徴とする前記請
    求項1記載の電磁波検出装置。
  9. 【請求項9】 前記母材が、Ge、ZnS、ZnSe、
    CaF2 、BaF2、GaAs、Si、InPのいずれ
    かであり、且つ前記第1の波長帯域と前記第2の波長帯
    域とが帯域の境を接し、前記帯域の境の波長が6〜7μ
    mであることを特徴とする前記請求項6記載の電磁波検
    出装置。
  10. 【請求項10】 前記第1の電磁波検出器が、波長8〜
    14μmの範囲を検出する赤外センサであり、前記分波
    されたそれぞれの電磁波を検出する複数の電磁波検出器
    が、可視光線を検出するセンサと波長0.8〜5μmの
    範囲の赤外線を検出するセンサを含むことを特徴とする
    前記請求項7記載の電磁波検出装置。
  11. 【請求項11】 前記波長8〜14μmの範囲を検出す
    る赤外センサが、ボロメ−タ型、焦電型、熱電対型を含
    む熱型センサまたはHgCdTeセンサであり、前記可
    視光線を検出するセンサが、CCDセンサやCMOSセ
    ンサであり、前記波長0.8〜5μmの範囲の赤外線を
    検出する赤外センサが、InSb、HgCdTe、In
    GaAs、InAs、PbS、PbSeを用いたセンサ
    であることを特徴とする前記請求項10記載の電磁波検
    出装置。
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