JP2002313567A - Organic electroluminescence element and its manufacturing method - Google Patents

Organic electroluminescence element and its manufacturing method

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JP2002313567A
JP2002313567A JP2001119832A JP2001119832A JP2002313567A JP 2002313567 A JP2002313567 A JP 2002313567A JP 2001119832 A JP2001119832 A JP 2001119832A JP 2001119832 A JP2001119832 A JP 2001119832A JP 2002313567 A JP2002313567 A JP 2002313567A
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organic
layer
electroluminescent device
organic electroluminescent
manufacturing
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Teiichiro Nishimura
貞一郎 西村
Kenichi Takahashi
賢一 高橋
Shinichiro Tamura
眞一郎 田村
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic EL element of excellent luminescent performance, able of using the luminescence with high efficiency. SOLUTION: In this organic EL element with an ITO electrode 15, a hole transport layer 14, an electron transportable luminescent layer 13, a Ca layer 12 and an Al electrode 11 laminated in this order on a glass substrate 16, the film of the hole transport layer 14 is formed of a PEDOT aqueous solution, and the film of the electron transportable luminescent layer 13 is formed of an MEH-PPV solution. Both films are formed by baking while controlling baking conditions such as a pressure reduced state or a heating temperature after spin-coating the solutions. Crater-like unevenness is thereby formed in the interface of the hole transport layer 14 and electron transportable luminescent layer 13 or the interface of the electron transportable luminescent layer 13 and Ca layer 12 with the evaporation of the solution during baking, and the luminescent area of the interface is enlarged to improve luminous efficiency.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、自発光型
の薄型平面ディスプレイ等に用いて好適な有機電界発光
素子及びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent device suitable for use in, for example, a self-luminous thin flat display and the like and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、有機発光素子(EL)からなるデ
ィスプレイパネルは視認性が高く、表示能力に優れ、高
速応答も可能という特徴を持っている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a display panel made of an organic light emitting element (EL) has features of high visibility, excellent display capability, and high-speed response.

【0003】近年、有機化合物を構成材料とする電場発
光デバイスについて報告がなされた(Applied physics
letters 51 p.913(1987))。この報告では、C.W.T
angらは有機発光層及び電荷輸送層を積層した構造の
電場発光デバイスを開示している。
In recent years, reports have been made on electroluminescent devices using organic compounds as constituent materials (Applied physics).
letters 51 p.913 (1987)). In this report, C.I. W. T
disclose an electroluminescent device having a structure in which an organic light emitting layer and a charge transport layer are stacked.

【0004】ここでは、発光材料として高い発光効率と
電子輸送を合わせ持つトリス(8−キリノール)アルミ
ニウム錯体(以下Alq3と称す)を用いて、優れた電
場発光デバイスを得ている。また、有機発光層を形成す
るAlq3にクマリン誘導体やDCM1(Eastman chemi
cals)等の蛍光色素をドープした素子を作製し、色素の
適切な選択により発光色が変わることを報告するととも
に、発光効率も非ドープに比べ、上昇することを開示し
ている。(Journal of Applied physics,65,p.3610(198
9))。
Here, an excellent electroluminescent device is obtained by using a tris (8-quinolinol) aluminum complex (hereinafter referred to as Alq 3 ) having both high luminous efficiency and electron transport as a luminescent material. In addition, a coumarin derivative or DCM1 (Eastman chemi) is added to Alq 3 forming an organic light emitting layer.
cals), and reported that the emission color was changed by appropriate selection of the dye, and that the luminous efficiency was higher than that of the undoped one. (Journal of Applied physics, 65, p.3610 (198
9)).

【0005】この研究に続いて、多くの研究開発がなさ
れ、新しい機能材料として、蛍光発光性のキレート金属
錯体や電子輸送性有機分子や正孔輸送性有機分子が開発
されるとともに、カラー化に向けての種々の検討がなさ
れている。
Following this research, much research and development has been carried out. As a new functional material, a chelate metal complex having a fluorescent property, an organic molecule having an electron transporting property and an organic molecule having a hole transporting property have been developed. Various investigations have been made toward this.

【0006】図11に、従来の有機電界発光素子の一例
を示す。
FIG. 11 shows an example of a conventional organic electroluminescent device.

【0007】この有機電界発光素子10は、透明ガラス
基板6上に、ITO(Indium Tin Oxide)透明電極5、
ホール輸送層4、発光層3、電子輸送層2及び陰極1
を、例えば、真空蒸着法で順次成膜したものである。
The organic electroluminescent device 10 includes an ITO (Indium Tin Oxide) transparent electrode 5 on a transparent glass substrate 6.
Hole transport layer 4, light emitting layer 3, electron transport layer 2, and cathode 1
Are sequentially formed by, for example, a vacuum evaporation method.

【0008】この有機電界発光素子10において、陽極
であるITO透明電極5と陰極1との間に直流電圧8を
印加すると、ITO透明電極5から注入されたキャリア
としてのホール(正孔)がホール輸送層4を経て、一
方、陰極1から注入された電子が電子輸送層2を経て夫
々移動し、発光層3において、それら電子−正孔対の再
結合が生じ、そこから所定波長の発光9が生じて、それ
を透明ガラス基板6の側から観察できる。
In this organic electroluminescent device 10, when a DC voltage 8 is applied between the ITO transparent electrode 5 serving as the anode and the cathode 1, holes (holes) as carriers injected from the ITO transparent electrode 5 become holes. On the other hand, electrons injected from the cathode 1 move through the electron transport layer 2 via the transport layer 4, and recombination of the electron-hole pairs occurs in the light-emitting layer 3, from which light emission 9 of a predetermined wavelength occurs. Occurs, which can be observed from the transparent glass substrate 6 side.

【0009】図12に、従来の別の有機電界発光素子を
示すが、この有機電界発光素子10Aでは、電子輸送層
2が発光層を兼ねている。
FIG. 12 shows another conventional organic electroluminescent device. In this organic electroluminescent device 10A, the electron transport layer 2 also serves as a light emitting layer.

【0010】図13に、図12の有機電界発光素子10
Aを用いた平面ディスプレイの構成例を示す。
FIG. 13 shows the organic electroluminescent device 10 of FIG.
1 shows a configuration example of a flat panel display using A.

【0011】図示の如く、電子輸送層2とホール輸送層
4とからなる有機積層構造が、陰極1と陽極5の間に配
される。陰極1及び陽極5は、互いに交差するストライ
プ状に設けられ、夫々、輝度信号回路34及びシフトレ
ジスタ内蔵の制御回路35により選択されて信号電圧が
印加される。これにより、選択された陰極1及び陽極5
が交差する位置(画素)の有機積層構造が発光する。
As shown in the figure, an organic laminated structure including an electron transport layer 2 and a hole transport layer 4 is disposed between a cathode 1 and an anode 5. The cathode 1 and the anode 5 are provided in a stripe shape crossing each other, and selected by a luminance signal circuit 34 and a control circuit 35 with a built-in shift register, respectively, to which a signal voltage is applied. Thus, the selected cathode 1 and anode 5
The organic laminated structure at the position (pixel) where the light crosses emits light.

【0012】このような従来の有機電界発光素子の有機
層の界面構造を示すために、更に他の従来例による有機
EL素子10Bの層構造の要部を図14に示す。この例
の場合、ホール輸送層14の材料としてPEDOTが用
いられ、図12と同様に電子輸送層が発光層を兼ねる電
子輸送性発光層13がMEH−PPVを用いて形成さ
れ、この上には電子の注入性を高めるCa層12がAl
電極11との間に設けられている。そして、いずれの例
においても図14に示すように、有機層の界面はフラッ
トに形成されている。
In order to show the interface structure of the organic layer of such a conventional organic electroluminescent device, FIG. 14 shows a main part of a layer structure of still another conventional organic EL device 10B. In the case of this example, PEDOT is used as the material of the hole transporting layer 14, and the electron transporting layer 13 is formed by using MEH-PPV as in FIG. The Ca layer 12 that enhances the electron injection property is made of Al
It is provided between the electrode 11. In each case, as shown in FIG. 14, the interface of the organic layer is formed flat.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ディスプレイでは、発光スペクトルの半値幅が広く、人
の目に明るく感じられる半値幅の狭い高効率な発光が得
られず、色コントラストが良く、高効率のカラー発光デ
ィスプレイを得ることが課題となっている。
However, in the conventional display, the half width of the emission spectrum is wide, and high efficiency light emission with a narrow half width that can be perceived brightly by human eyes cannot be obtained. The challenge is to obtain efficient color light emitting displays.

【0014】また、特開平7−114350号公報で
は、ガラス基板の積層は厚みが増し高い解像度が得られ
ない上、壊れやすく歩留まりが低いという問題もあり、
特開平11−17894号公報において、フレキシブル
で薄型構成が可能な新規な構成の基板材料を積層してカ
ラー化素子を構成し、薄型、大画面が可能でかつ製造が
容易な電場発光ディスプレイパネルが開示されたが、な
お改良の余地が多い。
Further, in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-114350, there is a problem that the thickness of the laminated glass substrate is increased, high resolution cannot be obtained, and the glass substrate is easily broken and the yield is low.
Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-17894 discloses an electroluminescent display panel in which a color element is formed by laminating a substrate material having a novel configuration capable of being flexible and thin, and which is thin, has a large screen, and is easy to manufacture. Although disclosed, there is still much room for improvement.

【0015】そこで本発明の目的は、発光性能が優れ、
この発光を高効率で利用可能な有機電界発光素子及びそ
の製造方法を提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to provide an excellent light emitting performance,
An object of the present invention is to provide an organic electroluminescent device capable of utilizing this light emission with high efficiency and a method of manufacturing the same.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、発光領
域を含む有機層が基体上に設けられている有機電界発光
素子において、前記有機層がこの隣接層との界面に凹凸
を有していることを特徴とする有機電界発光素子(以
下、本発明の有機電界発光素子と称する。)に係るもの
である。
That is, according to the present invention, there is provided an organic electroluminescent device in which an organic layer including a light emitting region is provided on a substrate, wherein the organic layer has irregularities at an interface with the adjacent layer. The present invention relates to an organic electroluminescent device (hereinafter referred to as an organic electroluminescent device of the present invention).

【0017】本発明の有機電界発光素子によれば、有機
層が隣接層との界面に凹凸を有しているので、有機層の
界面の面積が拡大されるため、高発光率の有機電界発光
素子を提供することができる。
According to the organic electroluminescent device of the present invention, since the organic layer has unevenness at the interface with the adjacent layer, the area of the interface of the organic layer is enlarged, and thus the organic electroluminescent device having a high luminous efficiency is obtained. An element can be provided.

【0018】また、本発明は、発光領域を含む有機層が
基体上に設けれている有機電界発光素子において、前記
有機層がこの隣接層との界面に凹凸を有していることを
特徴とする有機電界発光素子を製造するに際し、前記有
機層を形成するときの環境条件をコントロールすること
によって前記凹凸を形成する有機電界発光素子の製造方
法(以下、本発明の製造方法と称する。)に係るもので
ある。
Further, the present invention provides an organic electroluminescent device in which an organic layer including a light emitting region is provided on a substrate, wherein the organic layer has irregularities at an interface with the adjacent layer. When manufacturing the organic electroluminescent device, the method for manufacturing the organic electroluminescent device for forming the unevenness by controlling environmental conditions when forming the organic layer (hereinafter, referred to as the manufacturing method of the present invention). It is related.

【0019】本発明の製造方法によれば、有機層を形成
するときの環境条件をコントロールするので、有機材料
の溶液の溶媒、焼成温度、減圧度等の如き環境条件をコ
ントロールすることによって、有機層の隣接層との界面
に凹凸を形成することができ、上記した本発明の有機電
界発光素子と同様な効果が奏せられる有機電界発光素子
の再現性の良い製造方法が提供できる。
According to the production method of the present invention, the environmental conditions when forming the organic layer are controlled. Therefore, by controlling the environmental conditions such as the solvent of the solution of the organic material, the sintering temperature, the degree of reduced pressure, etc. An unevenness can be formed at an interface between a layer and an adjacent layer, and a method for manufacturing an organic electroluminescent device with good reproducibility, which can provide the same effect as the organic electroluminescent device of the present invention described above, can be provided.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】上記した本発明の有機電界発光素
子及びその製造方法においては、前記環境条件として、
有機層構成材料の溶液の塗布層の焼成条件をコントロー
ルすることが望ましい。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the above-described organic electroluminescent device and the method of manufacturing the same according to the present invention, the environmental conditions include:
It is desirable to control the firing conditions of the coating layer of the solution of the organic layer constituting material.

【0021】そして、前記環境条件として、焼成条件の
コントロールにより、有機層構成材料の溶液の塗布層か
ら溶媒を蒸発除去することにより、有機層の界面に凹凸
が形成され易い点で望ましい。
As the environmental condition, it is desirable that irregularities are easily formed at the interface of the organic layer by evaporating and removing the solvent from the applied layer of the solution of the organic layer constituting material by controlling the firing conditions.

【0022】その際、前記焼成条件を前記有機層の焼成
時の減圧度によってコントロールし、1気圧(760m
mHg)を減圧度ゼロとしたとき(後述する減圧度も同
様)、前記減圧度を−400mmHg〜−760mmH
gの範囲で行うことが望ましい。
At this time, the sintering conditions are controlled by the degree of reduced pressure at the time of sintering of the organic layer, and are controlled at 1 atm (760 m).
mHg) is set to zero (the same applies to the degree of decompression to be described later), and the degree of decompression is from −400 mmHg to −760 mmH.
It is desirable to carry out in the range of g.

【0023】また、前記焼成条件を前記有機層の焼成時
の焼成温度によってコントロールし、前記焼成温度を7
0℃〜150℃の範囲で行うことにより、基本温度を7
0℃(溶媒の転移点65℃以上であるのでその分子構造
が伸びる。)とすることで、溶媒の変性が生じることな
く、凹凸が形成され易いために望ましい。
The firing conditions are controlled by the firing temperature at the time of firing the organic layer.
By performing in the range of 0 ° C to 150 ° C, the basic temperature is reduced to 7 ° C.
A temperature of 0 ° C. (the molecular structure of the solvent is extended since it has a transition point of 65 ° C. or higher) is preferable because the solvent is not denatured and irregularities are easily formed.

【0024】また、前記焼成条件として、前記溶液の塗
布層を冷却した後に前記焼成を行うか又は、前記溶液を
冷却して塗布し塗布層を冷却した後に、減圧によって前
記溶媒を蒸発除去することにより、有機層の界面に凹凸
を形成できる点で望ましい。
As the calcination conditions, the calcination may be carried out after cooling the coating layer of the solution, or the solution may be cooled and applied to cool the coating layer, and then the solvent may be removed by evaporation under reduced pressure. This is desirable in that irregularities can be formed at the interface of the organic layer.

【0025】また、前記焼成条件として前記溶液に高沸
点溶媒を添加して塗布後に前記焼成を行い、前記高沸点
溶媒を1〜10重量%の範囲で添加することにより、有
機層の界面に凹凸を形成できる点で望ましい。
As the baking conditions, a high-boiling solvent is added to the solution, the coating is baked after coating, and the high-boiling solvent is added in the range of 1 to 10% by weight, so that the interface of the organic layer is uneven. Is desirable in that it can form

【0026】また、前記焼成条件として、前記溶液に熱
分解性物質を添加した後に前記焼成を行い、前記熱分解
物質を1〜10重量%添加することにより、有機層の界
面に凹凸を形成できる点で望ましい、
As the firing conditions, the above-mentioned firing is performed after adding a thermally decomposable substance to the solution, and 1 to 10% by weight of the thermally decomposed substance is added, whereby irregularities can be formed at the interface of the organic layer. Desirable in terms of,

【0027】この場合、前記有機層の一方の面側から焼
成時の加熱を行うか、或いは溶媒蒸発のための減圧を行
うことにより、有機層の界面に凹凸を効果的に形成する
ことができる。
In this case, by heating at the time of sintering from one surface side of the organic layer or reducing the pressure for evaporating the solvent, unevenness can be effectively formed at the interface of the organic layer. .

【0028】そして、前記有機層を、有機ホール輸送層
と必要あれば有機発光層と有機電子輸送層とがこの順に
積層された積層構造とし、これらの層のうちの少なくと
も一層に、前記凹凸を設けることが望ましく、この場
合、凹凸はlcm2当り150〜300個存在し、凹凸
の高さは80nm〜100nmであるものが望ましい。
The organic layer has a laminated structure in which an organic hole transporting layer and, if necessary, an organic light emitting layer and an organic electron transporting layer are laminated in this order, and at least one of these layers has the unevenness. it is desirable to provide, in this case, irregularities are present 150-300 pieces 2 per lcm, the height of the irregularities is what is desired that 80 nm to 100 nm.

【0029】更に、前記凹凸を設ける層に、配向結晶化
したπ電子共役高分子層を含ませることにより、有機層
の界面に効果的に凹凸を形成することができる。
Further, by including the oriented and crystallized π-electron conjugated polymer layer in the layer having the unevenness, the unevenness can be effectively formed at the interface of the organic layer.

【0030】そして、光学的に透明な基体上に透明電
極、有機ホール輸送層、必要あれば有機発光層、有機電
子輸送層及び金属電極を積層することにより、カラーデ
ィスプレイ用の好適な素子として構成することができ
る。
Then, a transparent electrode, an organic hole transport layer, and if necessary, an organic light emitting layer, an organic electron transport layer and a metal electrode are laminated on an optically transparent substrate to form a suitable element for a color display. can do.

【0031】なお、本発明において、「凹凸」とは有機
EL層界面の表面粗さを意味する。
In the present invention, “irregularities” means the surface roughness at the interface of the organic EL layer.

【0032】以下、本発明の実施の形態を図面参照下で
具体的に説明する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described with reference to the drawings.

【0033】図1に本発明の実施の形態の基本構造の二
例を示す。即ち、本実施の形態は、透明ガラス基板16
上にITO透明電極15、ホール輸送層(PEDOT)
14、電子輸送性発光層(MEH−PPV)13、Ca
(カルシウム)層12及びAl(アルミニウム)からな
る陰極11を順次積層して有機電界発光素子(以下、有
機EL素子と称する。)が形成される。
FIG. 1 shows two examples of the basic structure of the embodiment of the present invention. That is, in the present embodiment, the transparent glass substrate 16
ITO transparent electrode 15 and hole transport layer (PEDOT) on top
14, electron transporting light emitting layer (MEH-PPV) 13, Ca
An organic electroluminescent device (hereinafter, referred to as an organic EL device) is formed by sequentially laminating a (calcium) layer 12 and a cathode 11 made of Al (aluminum).

【0034】そして、図1(a)の構造は、ホール輸送
層14の成膜時に、後述する溶液の塗布条件、或いは焼
成条件等のコントロールにより、その表面に凹凸20が
形成され、この上に電子輸送性発光層13が積載される
ことにより、両層の界面が凹凸状に形成される。これに
より有機層同士の接合面積が増大するため発光効率が向
上する。
In the structure of FIG. 1A, irregularities 20 are formed on the surface of the hole transport layer 14 by controlling the solution application conditions or the baking conditions, which will be described later, when the hole transport layer 14 is formed. By mounting the electron transporting light emitting layer 13, the interface between both layers is formed in an uneven shape. As a result, the bonding area between the organic layers is increased, so that the luminous efficiency is improved.

【0035】また、図1(b)の構造は、電子輸送性発
光層13の成膜時に、上記と同様に溶液の塗布条件、或
いは焼成条件等のコントロールにより、その表面に凹凸
21が形成され、この上にCa層12が積層されること
により、両層の界面が凹凸状に形成される。これにより
有機層の電極との接合面積が増大するため電子の注入量
が増加し、発光効率が向上する。
In the structure shown in FIG. 1B, irregularities 21 are formed on the surface of the electron-transporting light-emitting layer 13 by controlling the solution application conditions or firing conditions in the same manner as described above. By laminating the Ca layer 12 thereon, the interface between the two layers is formed in an uneven shape. As a result, the bonding area of the organic layer with the electrode increases, so that the amount of injected electrons increases, and the luminous efficiency improves.

【0036】上記した凹凸を形成するために、ホール輸
送層14の材料として図2に示すPoly(3,4)-ethylenedi
oxythiophene(PEDOT)水溶液を用い、電子輸送性発光層
13の材料としてPoly(phenylene-vinylene)(PPV)溶液
を用い、これらの層の成膜時の環境条件(塗布条件及び
焼成条件等)がコントロールされる。
In order to form the above irregularities, the material of the hole transport layer 14 is shown in FIG. 2 as a poly (3,4) -ethylenedi
Using an oxythiophene (PEDOT) aqueous solution and a poly (phenylene-vinylene) (PPV) solution as the material of the electron transporting light emitting layer 13, controlling the environmental conditions (coating conditions and firing conditions, etc.) when forming these layers. Is done.

【0037】なお、本発明は、クレーター状の凹凸を有
機層の界面に形成して有機EL素子を構成することによ
って、発光面積を拡大させるものであるから、凹凸を形
成する有機層を厚くすることで、層中の空気の含有率を
高めることにより、一層発光面積の拡大が得られ、発光
効率を向上させることができる。このために有機層の膜
厚は70nm〜150nmが望ましい。
In the present invention, the luminous area is enlarged by forming crater-like irregularities at the interface of the organic layer to constitute the organic EL device. Therefore, the thickness of the organic layer forming the irregularities is increased. Thus, by increasing the content of air in the layer, the emission area can be further increased, and the emission efficiency can be improved. For this reason, the thickness of the organic layer is desirably 70 nm to 150 nm.

【0038】図4に本実施の形態による有機EL素子の
作製〜特性測定のプロセスの概略を示す。
FIG. 4 shows an outline of a process of manufacturing an organic EL device according to the present embodiment and measuring characteristics.

【0039】まず、疎水性表面を有する透明基板は、基
板洗浄工程Aにおいて、最初にFisher社製の洗
剤を用いて20分間超音波洗浄した後、超純水で数回洗
浄し、2回超音波洗浄が行われる。その後、アセトン及
びイソプロピルアルコールで洗浄後、クリーンオーブン
で120℃乾燥させ、更に、使用する前にUV−ozo
neを20分間照射した後にITO透明電極が真空蒸着
される。
Firstly, a transparent substrate having a hydrophobic surface, in the substrate cleaning step A 1, the first was subjected to ultrasonic cleaning for 20 minutes using a Fisher Co. detergent, washed several times with ultrapure water, twice Ultrasonic cleaning is performed. Then, after washing with acetone and isopropyl alcohol, drying in a clean oven at 120 ° C., and further, UV-ozo before use.
After irradiating ne for 20 minutes, an ITO transparent electrode is vacuum deposited.

【0040】処理槽18A内においては、大気状態で塗
布条件をコントロールしてPEDOT水溶液のスピンコ
ートA2を行い、これをホットプレート上に載せて焼成
3が行われる。焼成は大気状態又は減圧状態の処理槽
18A内において、焼成温度又は減圧度がコントロール
される。
[0040] In the treatment tank 18A performs spin coating A 2 of PEDOT aqueous solution to control the coating conditions at atmospheric conditions, firing A 3 is performed by placing them on a hot plate. In the baking, the baking temperature or the degree of decompression is controlled in the processing tank 18A in an atmospheric state or a reduced pressure state.

【0041】処理槽18B内においては、大気状態で塗
布条件をコントロールしてMEH−PPV溶液のスピン
コートAを行う。そしてこの際、凹凸形成後に凹部で
のショートを避けるために、MEH−PPVの塗布層は
例えば100μm厚程度が好ましい。そして、これをホ
ットプレート上に載せて焼成A5が行われ、焼成は大気
状態又は減圧状態の処理槽18B内において、焼成温度
又は減圧度がコントロールされる。
[0041] In the treatment tank 18B performs a spin coating A 4 of MEH-PPV solution to control the coating conditions at atmospheric conditions. At this time, the MEH-PPV coating layer is preferably, for example, about 100 μm thick in order to avoid a short circuit in the recess after the formation of the unevenness. Then, this fired A 5 put on a hot plate is performed, the calcination is in the processing tank 18B atmospheric conditions or under reduced pressure, the firing temperature or the degree of reduced pressure is controlled.

【0042】上記の工程終了後、Ca、Alの真空蒸着
6を行って陰極としての金属電極が形成される。
[0042] After completion of the above steps, Ca, a metal electrode as a cathode by performing a vacuum deposition A 6 of Al is formed.

【0043】そして、上記の如く作製した有機EL素子
の発光効率について効率測定A7が行われる。
[0043] Then, the luminous efficiency of the organic EL devices fabricated as described above efficiency measurement A 7 is performed.

【0044】上記したプロセスにより、図1(a)に示
した構造を有する有機EL素子25A及び図1(b)に
示した構造を有する有機EL素子25Bが作製される
が、その詳細の製造工程を図5及び図6と図7及び図8
に示す。
By the above-described process, the organic EL element 25A having the structure shown in FIG. 1A and the organic EL element 25B having the structure shown in FIG. 1B are manufactured. 5 and 6 and FIGS. 7 and 8
Shown in

【0045】図5及び図6により、図1(a)に示した
有機EL素子25A(PEDOT層の界面に凹凸を形
成)の製造工程を示す。まず図5(a)に示すように、
基板として形成したガラス基板16に対して、図4にお
ける洗浄処理等が行われる。
FIGS. 5 and 6 show the manufacturing process of the organic EL element 25A (forming irregularities at the interface of the PEDOT layer) shown in FIG. 1A. First, as shown in FIG.
The cleaning process shown in FIG. 4 is performed on the glass substrate 16 formed as a substrate.

【0046】次いで図5(b)に示すように、表面を洗
浄処理されたガラス基板16上に真空蒸着によりITO
透明電極15が積層され、この上に図5(c)に示すよ
うに、PEDOT水溶液を主として図4における処理槽
18A内でスピンコートし、ホール輸送層14が積層さ
れる。この際、PEDOT水溶液の塗布条件として、大
気中で塗布、保冷室内で塗布、塗布液を冷却して塗布、
又は熱分解性物質を添加して塗布のいずれかが選択され
る。
Next, as shown in FIG. 5 (b), ITO was deposited on the glass substrate 16 whose surface was cleaned by vacuum evaporation.
The transparent electrode 15 is laminated, and as shown in FIG. 5C, a PEDOT aqueous solution is spin-coated mainly in the treatment tank 18A in FIG. 4, and the hole transport layer 14 is laminated. At this time, the application conditions of the PEDOT aqueous solution are as follows: application in the air, application in a cold room, application by cooling the application solution,
Alternatively, a coating is selected by adding a thermally decomposable substance.

【0047】次いで図5(d)に示すように、処理槽1
8A内で、ホール輸送層14としてPEDOTが積層さ
れたガラス基板16をホットプレート17上に載せ、焼
成が行われる。この焼成条件として、大気中又は減圧度
及び温度がコントロールされる。これにより、この焼成
時の加熱温度が下方から上方へ熱伝導されるため、PE
DOT水溶液の蒸発に伴いガスが抜け出ることにより、
ホール輸送層14の表面にクレーター状の凹凸20が発
生し、界面の発光面積が拡大する。
Next, as shown in FIG.
In 8A, a glass substrate 16 on which PEDOT is laminated as a hole transport layer 14 is placed on a hot plate 17 and baked. As the firing conditions, the degree of air pressure or the degree of pressure reduction and the temperature are controlled. As a result, the heating temperature during this firing is thermally conducted from below to above, so that PE
Gas escapes as the DOT aqueous solution evaporates,
Crater-like irregularities 20 are generated on the surface of the hole transport layer 14, and the light emitting area at the interface is enlarged.

【0048】このような現象は、保冷室内等でPEDO
T水溶液を塗布することによってガスの蒸発を抑えてお
き、焼成時の急激な高温又は減圧状態の中に曝すことに
よってもよく、塗布液に熱分解性物質を微量添加させて
おくことでも達成できる。
[0048] Such a phenomenon is caused by PEDO in a cold room or the like.
The evaporation of the gas may be suppressed by applying a T aqueous solution, and the gas may be exposed to a sudden high temperature or reduced pressure during firing, or may be achieved by adding a small amount of a thermally decomposable substance to the application liquid. .

【0049】次いで図6(e)に示すように、凹凸20
が形成されたホール輸送層14上に、MEH−PPV溶
液を大気状態の図4における処理槽18B内でスピンコ
ート後に、同処理槽18B内で焼成されて電子輸送性発
光層13が形成される。この際、MEH−PPVの焼成
条件として、大気中又は減圧下で減圧度又は温度がコン
トロールされる。従って、電子輸送性発光層13のホー
ル輸送層14との界面が上記凹凸20の形状に形成され
る。
Next, as shown in FIG.
After the MEH-PPV solution is spin-coated on the hole transport layer 14 on which is formed in the processing tank 18B in FIG. 4 in the air state, the MEH-PPV solution is baked in the processing tank 18B to form the electron transporting light-emitting layer 13. . At this time, as a firing condition of the MEH-PPV, the degree of decompression or the temperature is controlled in the air or under reduced pressure. Therefore, the interface between the electron transporting light emitting layer 13 and the hole transporting layer 14 is formed in the shape of the irregularities 20.

【0050】次いで、図6(f)に示すように、この上
に電子の注入性を向上させるためにCa層12を成膜
後、図6(g)に示すように陰極としてのAl電極11
が積層されて製造工程が終了する。
Next, as shown in FIG. 6 (f), after a Ca layer 12 is formed thereon to improve the electron injecting property, an Al electrode 11 as a cathode is formed as shown in FIG. 6 (g).
Are stacked, and the manufacturing process ends.

【0051】本発明の有機EL素子は、有機層が隣接層
との界面に凹凸を有しているので、有機層の界面の面積
が拡大されるため発光効率が向上する。これは、上記し
たPEDOTからなる凹凸状の有機層が、配向結晶化し
たπ電子共役高分子化合物を含んでいるため、発光性が
良く、凹凸によって発光面積が拡大されることにより、
更に発光効率の向上に寄与していることによるものであ
る。このことは、MEH−PPVからなる有機層に凹凸
を設ける後述する有機EL素子25Bにおいても同様で
ある。
In the organic EL device of the present invention, since the organic layer has irregularities at the interface with the adjacent layer, the area of the interface between the organic layers is enlarged, so that the luminous efficiency is improved. This is because the uneven organic layer made of PEDOT contains the oriented and crystallized π-electron conjugated polymer compound, so that the light emitting property is good, and the light emitting area is enlarged by the unevenness.
This is because it further contributes to the improvement of luminous efficiency. This is the same in an organic EL element 25B, which will be described later, in which unevenness is formed in an organic layer made of MEH-PPV.

【0052】図7及び図8により、図1(b)に示した
有機EL素子25B(MEH−PPV層の界面に凹凸を
形成)の製造工程を示す。まず、図7(a)〜図7
(c)は上記した有機EL素子25Aと同様に行われ
る。
FIGS. 7 and 8 show a process of manufacturing the organic EL element 25B (forming irregularities at the interface of the MEH-PPV layer) shown in FIG. 1B. First, FIGS. 7A to 7
(C) is performed in the same manner as in the above-described organic EL element 25A.

【0053】そして、有機EL素子25Bの場合も、図
7(d)に示すように、MEH−PPVの塗布条件が選
択され、主として図4における処理槽18B内でスピン
コートし、電子輸送性発光層13が積層される。即ち、
これの塗布条件として、大気中で塗布、保冷室内で塗
布、塗布液を冷却して塗布、又は高分子溶液に高沸点溶
媒添加のいずれかが選択される。
In the case of the organic EL element 25B, as shown in FIG. 7D, the application condition of MEH-PPV is selected, and the organic EL element 25B is spin-coated mainly in the processing tank 18B in FIG. Layer 13 is laminated. That is,
As the application conditions, any one of application in the atmosphere, application in a cold room, application by cooling the application liquid, or addition of a high boiling point solvent to the polymer solution is selected.

【0054】次いで図8(e)に示すように、同処理槽
18B内で電子輸送性発光層13としてMEH−PPV
が積層されたガラス基板16をホットプレート17上に
載せて焼成が行われる。そしてこの焼成条件として、大
気中又は減圧下で減圧度又は焼成温度がコントロールさ
れる。従って、この場合も上記有機EL素子25Aと同
様に、下からの加熱によって、MEH−PPV溶液の蒸
発によるガスが抜け出る際に電子輸送性発光層13の表
面にクレーター上に凹凸21が生じ、発光面積が拡大す
る。
Next, as shown in FIG. 8E, MEH-PPV was formed as the electron transporting light emitting layer 13 in the processing tank 18B.
Is placed on a hot plate 17 for firing. As the firing conditions, the degree of vacuum or the firing temperature is controlled in the air or under reduced pressure. Therefore, also in this case, as in the case of the organic EL element 25A, unevenness 21 is generated on the crater on the surface of the electron-transporting light-emitting layer 13 when the gas escapes due to the evaporation of the MEH-PPV solution due to heating from below, thereby causing light emission. The area increases.

【0055】このような現象は、保冷室内等でMEH−
PPV溶液を塗布してガスの蒸発を抑えておき、焼成時
の急激な高温又は減圧状態の中に曝すことによっても発
生し、又は高分子溶液に高沸点溶媒を添加させておくこ
とによっても発生させることができる。
[0055] Such a phenomenon is caused by MEH-
It is also generated by applying a PPV solution to suppress gas evaporation and exposing it to a sudden high temperature or reduced pressure during baking, or by adding a high boiling solvent to the polymer solution. Can be done.

【0056】次いで、図8(f)に示すように、凹凸2
1が形成された電子輸送性発光層13の上に、電子の注
入性を向上させるためにCa層12を成膜することによ
り、Ca層12の電子輸送性発光層13との界面が上記
凹凸21に対応して形成される。
Next, as shown in FIG.
By forming a Ca layer 12 on the electron transporting light emitting layer 13 on which the electron transporting light emitting layer 1 is formed in order to improve the electron injecting property, the interface between the Ca layer 12 and the electron transporting light emitting layer 13 has the unevenness. 21 is formed.

【0057】その後、図8(g)に示すAl電極11は
上記有機EL素子25Aと同様に形成されて、有機EL
電子25Bの製造工程は終了する。
Thereafter, the Al electrode 11 shown in FIG. 8 (g) is formed in the same manner as the above-mentioned organic EL element 25A.
The manufacturing process of the electrons 25B ends.

【0058】[0058]

【実施例】上記した実施の形態に基づき、有機層溶液の
塗布条件及び焼成条件を変えて有機EL素子を作製する
と共に、この有機EL素子と発光効率を比較するため
に、実施例と同じ材料を用い、従来の方法による有機E
L素子を比較例として作製した。初めに比較例を説明す
る。
EXAMPLES Based on the above-described embodiment, an organic EL device was manufactured by changing the application conditions and baking conditions of the organic layer solution, and the same materials as in the examples were used to compare the luminous efficiency with the organic EL device. And organic E by a conventional method.
An L element was produced as a comparative example. First, a comparative example will be described.

【0059】比較例 疎水性表面を有する透明基板16に積層したITO電極
15の上に、PEDOT水溶液を4000rpm/1m
inの条件でスピンコートした後、ホットプレート上で
温度を120℃に設定し、2時間焼成を行ってホール輸
送層14を積層した。同様に、MEH−PPV溶液も3
000rpm/1minの条件でスピンコートした後、
70℃で3時間焼成を行い電子輸送性発光層13を積層
した。なお、すべて大気中で行った。この上にCa層1
2及びAl電極11を積層して陰極を形成し、有機EL
素子を作製した。この陰極として真空蒸着するCa層1
2の膜厚は500Å、Al電極11は1000Åであ
り、後述する各実施例も同様である。
[0059] On the ITO electrode 15 laminated on a transparent substrate 16 having a comparative example hydrophobic surface, PEDOT aqueous solution 4000 rpm / 1 m
After spin coating under the conditions of “in”, the temperature was set to 120 ° C. on a hot plate, and firing was performed for 2 hours to laminate the hole transport layer 14. Similarly, the MEH-PPV solution is 3
After spin coating under the condition of 000 rpm / 1 min,
Baking was performed at 70 ° C. for 3 hours, and the electron transporting light emitting layer 13 was laminated. All tests were performed in the atmosphere. Ca layer 1 on this
2 and an Al electrode 11 to form a cathode,
An element was manufactured. Ca layer 1 vacuum-deposited as this cathode
2 has a thickness of 500 ° and the Al electrode 11 has a thickness of 1000 °, which is the same in each embodiment described later.

【0060】実施例1 上記した製造工程により、疎水性表面を有する透明基板
16に積載したITO電極15上に、PEDOT水溶液
を4000rpm/1minの条件で図4に示す処理槽
18Aを用いてスピンコートした後、同処理槽18A内
において減圧度を−400mmHg、−600mmH
g、−760mmHgの3形態とし、ホットプレート1
7の温度を120℃に設定し、2時間焼成を行ってホー
ル輸送層14を積層した。同様に、処理槽18B内にお
いて、MEH−PPV溶液を3000rpm/1min
の条件でスピンコートした後、上記と同じ減圧度状態に
おいて70℃で3時間焼成を行い、電子輸送性発光層1
3を積層した。このように減圧度をコントロールしてホ
ール輸送層14及び電子輸送性発光層13を形成し、こ
の上にCa層12及びAl電極11を真空蒸着して有機
EL素子25Aを作製した。
Example 1 According to the above-described manufacturing process, a PEDOT aqueous solution was spin-coated on the ITO electrode 15 mounted on the transparent substrate 16 having a hydrophobic surface under the condition of 4000 rpm / 1 min using the processing bath 18A shown in FIG. After that, the degree of decompression was reduced to -400 mmHg and -600 mmH in the treatment tank 18A.
g, -760 mmHg, hot plate 1
7 was set at 120 ° C., and baked for 2 hours to laminate the hole transport layer 14. Similarly, in the treatment tank 18B, the MEH-PPV solution is supplied at 3000 rpm / 1 min.
After spin-coating under the conditions described above, baking was performed at 70 ° C. for 3 hours in the same reduced pressure state as described above to obtain the electron transporting light-emitting layer 1.
3 were stacked. As described above, the hole transport layer 14 and the electron transporting light emitting layer 13 were formed by controlling the degree of pressure reduction, and the Ca layer 12 and the Al electrode 11 were vacuum-deposited thereon to produce an organic EL device 25A.

【0061】なお、PEDOT水溶液で成膜するホール
輸送層14のみ、またはMEH−PPV溶液で成膜する
電子輸送性発光層13のみを実施例1と同様の成膜条件
で行う以外は、比較例と同様の方法により、前者で有機
EL素子25Aを、後者で有機EL素子25Bを作製し
た。
The comparative example was performed except that only the hole transporting layer 14 formed with a PEDOT aqueous solution or the electron transporting light emitting layer 13 formed with a MEH-PPV solution was formed under the same film forming conditions as in Example 1. In the same manner as in the above, an organic EL element 25A was manufactured in the former, and an organic EL element 25B was manufactured in the latter.

【0062】実施例2 上記した製造工程により、疎水性表面を有する透明基板
16に積層したITO電極15上に、PEDOT水溶液
を4000rpm/1minの条件で図4に示す処理槽
18Aを用いてスピンコートした後、同処理槽18A内
において減圧度を−760mmHgに保ち、ホットプレ
ート17の温度を100℃又は150℃に設定し、2時
間焼成を行ってホール輸送層14を積層した。同様に、
同処理槽18B内においてMEH−PPV溶液を300
0rpm/1minの条件でスピンコートした後、上記
と同じ減圧度状態において100℃又は150℃で3時
間焼成を行い、電子輸送性発光13を積層した。このよ
うに焼成温度をコントロールしてホール輸送層14及び
電子輸送性発光層13を形成し、この上にCa層12及
びAl電極11を真空蒸着して有機EL素子25Aを作
製した。
Example 2 According to the above-described manufacturing process, the PEDOT aqueous solution was spin-coated on the ITO electrode 15 laminated on the transparent substrate 16 having a hydrophobic surface under the condition of 4000 rpm / 1 min using the processing bath 18A shown in FIG. After that, the pressure reduction degree was kept at -760 mmHg in the same treatment tank 18A, the temperature of the hot plate 17 was set to 100 ° C or 150 ° C, and calcination was performed for 2 hours to laminate the hole transport layer 14. Similarly,
The MEH-PPV solution was placed in the processing tank 18B for 300 hours.
After spin-coating under the condition of 0 rpm / 1 min, baking was performed at 100 ° C. or 150 ° C. for 3 hours in the same reduced pressure state as above, and the electron transporting luminescence 13 was laminated. As described above, the hole transporting layer 14 and the electron transporting light emitting layer 13 were formed by controlling the firing temperature, and the Ca layer 12 and the Al electrode 11 were vacuum-deposited thereon to produce the organic EL element 25A.

【0063】なお、PEDOT水溶液で成膜するホール
輸送層14のみ、または、MEH−PPV溶液で成膜す
る電子輸送性発光層13のみを実施例2と同様の成膜条
件で行う以外は、比較例と同様の方法により、前者で有
機EL素子25Aを、後者で有機EL素子25Bを作製
した。
It should be noted that only the hole transport layer 14 formed of the PEDOT aqueous solution or the electron transportable light emitting layer 13 formed of the MEH-PPV solution was formed under the same film forming conditions as in Example 2. In the same manner as in the example, an organic EL element 25A was manufactured in the former and an organic EL element 25B was manufactured in the latter.

【0064】実施例3 上記した製造工程により、疎水性表面を有する透明基板
上16に積層したITO電極15上に、PEDOT水溶
液及びMEH−PPV溶液をスピンコートする際に、保
冷室内で行いスピンコート時の溶媒蒸発を抑制した。ス
ピンコート条件及び焼成条件は実施例1と同じ方法で行
い、ホール輸送層14及び電子輸送性発光層13を積層
後、この上にCa層12及びAl電極11を真空蒸着し
て有機EL素子25Aを作成した。
Example 3 In the above-described manufacturing process, when the PEDOT aqueous solution and the MEH-PPV solution were spin-coated on the ITO electrode 15 laminated on the transparent substrate 16 having a hydrophobic surface, the spin-coating was performed in a cool room. Solvent evaporation at the time was suppressed. The spin coating conditions and the firing conditions were the same as in Example 1. After the hole transport layer 14 and the electron transporting light emitting layer 13 were stacked, the Ca layer 12 and the Al electrode 11 were vacuum-deposited thereon to form the organic EL device 25A. It was created.

【0065】なお、PEDOT水溶液で成膜するホール
輸送層14のみ、または、MEH−PPV溶液で成膜す
る電子輸送性発光層13のみを実施例3と同様の成膜条
件で行う以外は、比較例と同様の方法により、前者で有
機EL素子25Aを、後者で有機EL素子25Bを作製
した。
It should be noted that only the hole transport layer 14 formed with the PEDOT aqueous solution or the electron transportable light emitting layer 13 formed with the MEH-PPV solution was formed under the same film forming conditions as in Example 3. In the same manner as in the example, an organic EL element 25A was manufactured in the former and an organic EL element 25B was manufactured in the latter.

【0066】実施例4 上記した製造工程により、疎水性表面を有する透明基板
16に積層したITO電極15上に、PEDOT水溶液
を4000rpm/1minの条件で図4に示す処理槽
18Aを用いてスピンコートした後、大気状態の処理槽
18B内においてホットプレート17の温度を120℃
に設定し、2時間焼成を行ってホール輸送層14を積層
した。次に同じ条件下の同処理槽内で、MEH−PPV
溶液の溶媒をシクロヘキサノンからニトロベンゼンに変
え、添加量を3w%、5w%又は10w%に変えて、3
000rpm/1minでスピンコートし、高沸点溶媒
における効果を試みた。更に、ホットプレート17の温
度を200℃に設定し、3時間焼成を行い、電子輸送性
発光層13を積層した。この上にCa層12及びAl電
極11を真空蒸着して有機EL素子25Bを作製した。
Example 4 By the above-described manufacturing process, the PEDOT aqueous solution was spin-coated on the ITO electrode 15 laminated on the transparent substrate 16 having a hydrophobic surface under the condition of 4000 rpm / 1 min using the processing bath 18A shown in FIG. After that, the temperature of the hot plate 17 is set to 120 ° C. in the processing tank 18B in the atmospheric state.
And firing was performed for 2 hours to laminate the hole transport layer 14. Next, MEH-PPV was placed in the same treatment tank under the same conditions.
The solvent of the solution was changed from cyclohexanone to nitrobenzene, and the added amount was changed to 3 w%, 5 w% or 10 w%,
Spin coating was performed at 000 rpm / 1 min, and the effect in a high boiling point solvent was attempted. Further, the temperature of the hot plate 17 was set at 200 ° C., and the mixture was baked for 3 hours to laminate the electron transporting light emitting layer 13. The Ca layer 12 and the Al electrode 11 were vacuum-deposited thereon to produce an organic EL device 25B.

【0067】実施例5 上記した製造工程により、疎水性表面を有する透明基板
16に積層したITO電極15上に、PEDOT水溶液
に熱分解性の炭酸アンモニウム(70℃で熱分解)を3
w%、7w%又は10w%含有させ、図4に示す処理槽
18A内において4000rpm/1minの条件でス
ピンコートを行った後、同処理槽内において温度を12
0℃に設定し、2時間焼成を行ってホール輸送層14を
積層した。また、MEH−PPV溶液にも同様に炭酸ア
ンモニウムを含有させ、3000rpm/1minでス
ピンコート後、ホットプレート17の温度を200℃に
設定し、3時間焼成を行い、電子輸送性発光層13を積
層した。この上にCa層12及びAl電極11を真空蒸
着して有機EL素子25Aを作製した。
Example 5 According to the above-described manufacturing process, a thermally decomposable ammonium carbonate (pyrolyzed at 70 ° C.) was added to an aqueous PEDOT solution on an ITO electrode 15 laminated on a transparent substrate 16 having a hydrophobic surface.
w%, 7 w%, or 10 w%, and spin-coated at 4000 rpm / 1 min in the processing bath 18A shown in FIG.
The temperature was set to 0 ° C., and the mixture was baked for 2 hours to laminate the hole transport layer 14. Similarly, the MEH-PPV solution also contains ammonium carbonate, spin-coated at 3000 rpm / 1 min, set the temperature of the hot plate 17 at 200 ° C., baked for 3 hours, and laminated the electron transporting light emitting layer 13. did. A Ca layer 12 and an Al electrode 11 were vacuum-deposited thereon to produce an organic EL device 25A.

【0068】なお、PEDOT水溶液で成膜するホール
輸送層14のみ、または、MEH−PPV溶液で成膜す
る電子輸送性発光層13のみを実施例5と同様の成膜条
件で行う以外は、比較例と同様の方法により、前者で有
機EL素子25Aを、後者で有機EL素子25Bを作製
した。
It should be noted that only the hole transport layer 14 formed of a PEDOT aqueous solution or the electron transportable light emitting layer 13 formed of a MEH-PPV solution was formed under the same film forming conditions as in Example 5. In the same manner as in the example, an organic EL element 25A was manufactured in the former and an organic EL element 25B was manufactured in the latter.

【0069】実施例6 上記した製造工程により、疎水性表面を有する透明基板
16に積層したITO電極15上に、冷蔵庫等で冷却し
たPEDOT水溶液を4000rpm/1minの条件
で、図4に示す処理槽18B内においてスピンコートし
た後、同処理槽内において減圧度を−760mmHgに
保ち温度を120℃に設定し、2時間焼成を行ってホー
ル輸送層14を積層した。同様に冷却したMEH−PP
V溶液を用い、処理槽18A内において3000rpm
/1minの条件でスピンコートした後、同処理槽18
B内において100℃で3時間焼成を行い、電子輸送性
発光層13を積層した。この上にCa層12及びAl電
極11を真空蒸着して有機EL素子25Aを作製した。
Example 6 In the above-described manufacturing process, a PEDOT aqueous solution cooled in a refrigerator or the like was applied to the ITO electrode 15 laminated on the transparent substrate 16 having a hydrophobic surface under the condition of 4000 rpm / 1 min. After spin-coating in 18B, the pressure reduction degree was maintained at -760 mmHg in the same treatment tank, the temperature was set to 120 ° C, and firing was performed for 2 hours to laminate the hole transport layer 14. MEH-PP cooled similarly
V solution and 3000 rpm in the processing tank 18A.
After spin coating under the condition of / 1 min, the same treatment tank 18 was used.
In B, baking was performed at 100 ° C. for 3 hours, and the electron transporting light emitting layer 13 was laminated. A Ca layer 12 and an Al electrode 11 were vacuum-deposited thereon to produce an organic EL device 25A.

【0070】なお、PEDOT水溶液で成膜するホール
輸送層14のみ、または、MEH−PPV溶液で成膜す
る電子輸送性発光層13のみを実施例6と同様の成膜条
件で行う以外は、比較例と同様の方法により、前者で有
機EL素子25Aを、後者で有機EL素子25Bを作製
した。
It should be noted that only the hole transport layer 14 formed with the PEDOT aqueous solution or the electron transportable light emitting layer 13 formed with the MEH-PPV solution was formed under the same film forming conditions as in Example 6. In the same manner as in the example, an organic EL element 25A was manufactured in the former and an organic EL element 25B was manufactured in the latter.

【0071】上記した比較例及び各実施例の有機EL素
子について、それぞれの発光効率を測定した。測定は、
TOPCOM社製のBM5A輝度計を用いた。測定結果
による各例別の測定データを以下の表に示す。
The luminous efficiency of each of the organic EL devices of the comparative example and each of the examples was measured. The measurement is
A BM5A luminance meter manufactured by TOPCOM was used. The following table shows the measurement data for each example based on the measurement results.

【0072】[0072]

【表1】 [Table 1]

【0073】[0073]

【表2】 [Table 2]

【0074】[0074]

【表3】 [Table 3]

【0075】表1、表2及び表3から、各表において、
PEDOT及びMEH−PPVの両方又はいずれかを減
圧状態で焼成することにより、比較例に比べて発光効率
の向上が顕著であり、また、減圧度が高い程その効果が
大であるという結果が得られている。これは、PEDO
T及びMEH−PPV双方を焼成時に減圧する表1の場
合、PEDOTのみを焼成時に減圧する表2の場合、M
EH−PPVのみを焼成時に減圧する表3の場合のいず
れにも共通しており、また、いずれかを減圧して焼成す
る場合であっても、PEDOTよりはMEH−PPVを
焼成時に減圧する方が効果が大きい結果となっている。
これらの結果から、いずれも焼成時に減圧することによ
り、ホール輸送層14及び電子輸送性発光層13の界面
に凹凸が効果的に形成され、発光効率の向上に寄与して
いることが証明できる。
From Tables 1, 2 and 3, in each table,
By baking PEDOT and / or MEH-PPV under reduced pressure, the luminous efficiency is significantly improved as compared with the comparative example, and the effect is higher as the degree of reduced pressure is higher. Have been. This is PEDO
In Table 1 where both T and MEH-PPV are depressurized during firing, in Table 2 where only PEDOT is depressurized during firing, M
This is common to any of Table 3 in which only EH-PPV is depressurized at the time of firing, and even if any one of the pressures is depressurized and fired, the MEH-PPV is depressurized during firing rather than PEDOT. Has a large effect.
From these results, it can be proved that by reducing the pressure during firing, irregularities are effectively formed at the interface between the hole transporting layer 14 and the electron transporting light emitting layer 13, which contributes to the improvement of the luminous efficiency.

【0076】[0076]

【表4】 [Table 4]

【0077】[0077]

【表5】 [Table 5]

【0078】[0078]

【表6】 [Table 6]

【0079】表4、表5及び表6から、各表において、
PEDOT及びMEH−PPVの両方又はいずれかを焼
成温度をコントロールして焼成することにより、比較例
に比べて発光効率が上がる傾向がみられ、また、焼成温
度が高い程発光効率が向上することが顕著に表われてい
る。これは、PEDOT及びMEH−PPV双方を焼成
時に温度コントロールする表4の場合、PEDOTのみ
を焼成時に温度コントロールする表5の場合、MEH−
PPVのみを焼成時に温度コントロールする表6の場合
のいずれにも共通しており、これらの結果から、焼成時
に温度を高く設定することにより、ホール輸送層14及
び電子輸送性発光層13の界面に凹凸が効果的に形成さ
れ、発光効率の向上に寄与していることが証明できる。
From Tables 4, 5, and 6, in each table,
By sintering both or any of PEDOT and MEH-PPV by controlling the sintering temperature, the luminous efficiency tends to be higher than that of the comparative example, and the higher the sintering temperature, the higher the luminous efficiency. It is noticeable. This is because in Table 4 where both PEDOT and MEH-PPV are temperature controlled during firing, and in Table 5 where only PEDOT is temperature controlled during firing, MEH-
The results are common to all of the cases of Table 6 in which only PPV is temperature-controlled during firing. From these results, by setting the temperature high during firing, the interface between the hole transport layer 14 and the electron transporting light-emitting layer 13 can be obtained. It can be proved that the irregularities are effectively formed and contribute to the improvement of the luminous efficiency.

【0080】[0080]

【表7】 [Table 7]

【0081】[0081]

【表8】 [Table 8]

【0082】[0082]

【表9】 [Table 9]

【0083】表7、表8及び表9から、各表において、
PEDOT及びMEH−PPVの両方又はいずれかを保
冷室内で塗布することにより、比較例に比べて発光効率
が上がる効果が顕著に表われている。これはPEDOT
及びMEH−PPV双方を保冷室内で塗布する表7の場
合、PEDOTのみを保冷室内で塗布する表8の場合、
MEH−PPVのみを保冷室内で塗布する表9の場合の
いずれにも共通しており、これらの結果から、スピンコ
ートを保冷室等の低温雰囲気内で行えば焼成時の急激な
温度上昇により、ホール輸送層14及び電子輸送性発光
層13の界面に凹凸が効果的に形成され、発光効率の向
上に寄与していることが証明できる。
From Tables 7, 8, and 9, in each table,
By applying both or any of PEDOT and MEH-PPV in a cold room, the effect of increasing the luminous efficiency as compared with the comparative example is remarkably exhibited. This is PEDOT
In the case of Table 7 in which both PEMOT and MEH-PPV are applied in the cold room, in the case of Table 8 in which only PEDOT is applied in the cold room,
It is common to any of the cases of Table 9 in which only MEH-PPV is applied in a cold room. From these results, if spin coating is performed in a low-temperature atmosphere such as a cold room, a sharp rise in temperature during firing causes It can be proved that the unevenness is effectively formed at the interface between the hole transport layer 14 and the electron transporting light emitting layer 13 and contributes to the improvement of the luminous efficiency.

【0084】[0084]

【表10】 [Table 10]

【0085】表10から、MEH−PPV溶液に高沸点
熔媒を添加することにより、比較例に比べて発光効率が
上がる顕著な効果が見られ、更に、添加量が3w%〜1
0w%の範囲で多い程、発光効率が向上していることが
分る。従って、MEH−PPV溶液に高沸点溶媒を添加
することにより、電子輸送性発光層13の界面に凹凸が
効果的に形成され、発光効率の向上に寄与することが証
明できる。
From Table 10, it can be seen that the addition of the high boiling solvent to the MEH-PPV solution has a remarkable effect of increasing the luminous efficiency as compared with the comparative example.
It can be seen that the more the amount is in the range of 0%, the more the luminous efficiency is improved. Therefore, it can be proved that by adding a high boiling point solvent to the MEH-PPV solution, irregularities are effectively formed at the interface of the electron transporting light emitting layer 13, which contributes to improvement of luminous efficiency.

【0086】[0086]

【表11】 [Table 11]

【0087】[0087]

【表12】 [Table 12]

【0088】[0088]

【表13】 [Table 13]

【0089】表11、表12及び表13から、各表にお
いてPEDOT及びMEH−PPVの両方又はいずれか
に熱分解性の炭酸アンモニウムを添加することにより、
比較例に比べて発光効率が向上する顕著な効果が表われ
ている。更に、その添加量が3w%〜10w%の範囲で
多い程、発光効率が向上する結果が得られている。これ
はPEDOT及びMEH−PPV双方に炭酸アンモニウ
ムを添加する表11の場合、PEDOTのみに炭酸アン
モニウムを添加する表12の場合、MEH−PPVのみ
に炭酸アンモニウムを添加する表13の場合のいずれに
も共通しており、これらの結果から、炭酸アンモニウム
を添加することにより、ホール輸送層14及び電子輸送
性発光層13の界面に凹凸が効果的に形成され、発光効
率の向上に寄与することが証明できる。
From Tables 11, 12 and 13, the addition of thermally decomposable ammonium carbonate to PEDOT and / or MEH-PPV in each table gives
A remarkable effect of improving the luminous efficiency as compared with the comparative example is exhibited. Furthermore, the result that the luminous efficiency is improved as the added amount is larger in the range of 3 w% to 10 w% is obtained. This is the same as Table 11 in which ammonium carbonate is added to both PEDOT and MEH-PPV, Table 12 in which ammonium carbonate is added only to PEDOT, and Table 13 in which ammonium carbonate is added only to MEH-PPV. From these results, it is proved that the addition of ammonium carbonate effectively forms irregularities at the interface between the hole transporting layer 14 and the electron transporting light emitting layer 13 and contributes to the improvement of luminous efficiency. it can.

【0090】[0090]

【表14】 [Table 14]

【0091】[0091]

【表15】 [Table 15]

【0092】[0092]

【表16】 [Table 16]

【0093】表14、表15及び表16から、PEDO
T及びMEH−PPVの両方又はいずれかを冷蔵庫で予
め冷却して塗布することにより、比較例に比べて発光効
率の向上が顕著な結果が得られている。従って、これ
は、PEDOT及びMEH−PPV双方を冷蔵庫で冷却
した表14の場合、、PEDOTのみを冷蔵庫で冷却し
た表15の場合、MEH−PPVのみを冷蔵庫で冷却し
た表16の場合のいずれにも共通しており、これらの結
果から、塗布材料を冷却してから塗布し焼成すると、焼
成時の急激な温度上昇により、ホール輸送層14及び電
子輸送性発光層13の界面に凹凸が効果的に形成され、
発光効率の向上に寄与していることが証明できる。
From Tables 14, 15 and 16, it is found that PEDO
By applying both and / or TH and / or MEH-PPV by cooling in advance in a refrigerator, a remarkable improvement in luminous efficiency is obtained as compared with the comparative example. Therefore, this corresponds to Table 14 in which both PEDOT and MEH-PPV were cooled in a refrigerator, Table 15 in which only PEDOT was cooled in a refrigerator, and Table 16 in which only MEH-PPV was cooled in a refrigerator. From these results, it can be seen from these results that when the coating material is cooled, then coated and fired, the temperature rises sharply during firing, so that irregularities are effectively formed at the interface between the hole transport layer 14 and the electron transportable light emitting layer 13. Formed in
It can be proved that it contributes to the improvement of the luminous efficiency.

【0094】上記した各実施例によれば、PEDOT水
溶液によるホール輸送層14及びMEH−PPV溶液に
よる電子輸送性発光層13を透明基板16に積層された
ITO電極15の上に積層する際に、PEDOT水溶液
及びMEH−PPV溶液をスピンコート後の焼成時に、
減圧下において下方から加熱することにより、層中に含
有している空気が蒸発する際、界面にクレーター状の凹
凸が形成され、これにより、界面が拡大されて発光面積
が拡大され、発光効率が向上した有機EL素子を作製す
ることができる。
According to each of the above embodiments, when the hole transporting layer 14 made of the PEDOT aqueous solution and the electron transporting light emitting layer 13 made of the MEH-PPV solution are laminated on the ITO electrode 15 laminated on the transparent substrate 16, At the time of firing after spin coating the PEDOT aqueous solution and MEH-PPV solution,
By heating from below under reduced pressure, when the air contained in the layer evaporates, crater-like irregularities are formed at the interface, whereby the interface is enlarged, the light emitting area is enlarged, and the luminous efficiency is increased. An improved organic EL device can be manufactured.

【0095】また、PEDOT水溶液及びMEH−PP
V溶液を予め冷却後に塗布するか、或いは保冷室内にお
いて塗布することにより、焼成時に急激に高温に曝され
ることにより更に効果が高められ、また、MEH−PP
V溶液に高沸点溶媒を添加、或いはPEDOT水溶液に
熱分解性物質を添加することによっても更に効果を高め
ることができる。
Further, a PEDOT aqueous solution and MEH-PP
By applying the V solution after cooling beforehand or by applying it in a cold room, the effect is further enhanced by suddenly exposing it to a high temperature during firing, and MEH-PP
The effect can be further enhanced by adding a high boiling point solvent to the V solution or adding a thermally decomposable substance to the PEDOT aqueous solution.

【0096】また、上記表1〜表16によって明らかな
ように、発光効率を向上させるための最も効果的な方法
は、焼成条件を減圧度でコントロールするのが最も効果
的であり、次は、溶媒に熱分解性物質の添加、温度コン
トロールの順に効果があると言える。
As is apparent from Tables 1 to 16, the most effective method for improving the luminous efficiency is to control the firing conditions by the degree of reduced pressure. It can be said that the effect is obtained in the order of adding the thermally decomposable substance to the solvent and controlling the temperature.

【0097】また、減圧度又は温度等の上記成膜条件を
PEDOTのみに適用する場合よりも、MEH−PPV
のみに適用する場合の方が効果的であり、PEDOT及
びMEH−PPVの双方に適用する場合が更に良い結果
が得られる。従って、共通の条件下で成膜する程、効果
的であると言える。
Further, the MEH-PPV is more effective than the case where the above film forming conditions such as the degree of pressure reduction or temperature are applied only to PEDOT.
When applied to only PEDOT and MEH-PPV, more effective results are obtained. Therefore, it can be said that the more the film is formed under common conditions, the more effective it is.

【0098】また、有機層を構成する上でのプロセスが
容易であるため、薄型で大画面が可能な有機EL素子が
提供され、この成果は工業的価値が大きい。
Further, since the process for forming the organic layer is easy, an organic EL device which is thin and has a large screen is provided, and this result has great industrial value.

【0099】上記した実施の形態及び各実施例は、本発
明の技術的思想に基づいて変形することができる。
The above-described embodiments and examples can be modified based on the technical idea of the present invention.

【0100】例えば、上記した実施例では、ホール輸送
層14又は電子輸送性発光層13の界面に凹凸20、2
1を形成したが、図9に示すように、上記双方の界面に
凹凸20、21を形成することもでき、これにより、有
機層と電極との接合面積が増え、電子の注入量が増える
ため、更に発光効率の向上に寄与することができる。
For example, in the above-described embodiment, the unevenness 20, 2,
Although 1 was formed, as shown in FIG. 9, irregularities 20 and 21 could also be formed at the interface between the two, thereby increasing the junction area between the organic layer and the electrode and increasing the amount of injected electrons. , Can further contribute to the improvement of the luminous efficiency.

【0101】また、図10に示すように、電子輸送性能
及び正孔輸送性能を有する材料を用いて、単層の有機層
からなる発光層22の界面に凹凸23を形成し、この上
にAl電極11を積層して有機EL素子を作製すること
もできる。
As shown in FIG. 10, irregularities 23 are formed at the interface of the light emitting layer 22 composed of a single organic layer using a material having electron transporting performance and hole transporting performance. The organic EL element can also be manufactured by laminating the electrodes 11.

【0102】また、有機層の塗布方法はスピンコート以
外の例えば印刷等の適宜な方法であってもよく、また、
減圧度、焼成温度及び加熱方法等も実施例以外の適宜で
あってよく、溶液に添加する物質は、ニトロベンゼンや
炭酸アンモニウム以外の同等な効果を発揮する物質であ
ってもよい。
The method of applying the organic layer may be any suitable method other than spin coating, such as printing.
The degree of pressure reduction, the firing temperature, the heating method, and the like may be appropriate other than the examples, and the substance to be added to the solution may be a substance exhibiting an equivalent effect other than nitrobenzene and ammonium carbonate.

【0103】[0103]

【発明の作用効果】上述した如く、本発明の有機電界発
光素子及びその製造方法は、有機層の隣接層との界面に
凹凸が形成され、有機層の界面の発光面積が拡大される
ため、有機電界発光素子の発光効率を高めることができ
る。
As described above, according to the organic electroluminescent device of the present invention and the method of manufacturing the same, unevenness is formed at the interface between the organic layer and the adjacent layer, and the light emitting area at the interface of the organic layer is enlarged. The luminous efficiency of the organic electroluminescent device can be increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例による有機EL素子の基本構成
を示す概略断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing a basic configuration of an organic EL device according to an embodiment of the present invention.

【図2】同、有機EL素子に用いたPEDOTの化学構
造を示す図である。
FIG. 2 is a view showing a chemical structure of PEDOT used in the organic EL device.

【図3】同、有機EL素子に用いたMEH−PPVの化
学構造を示す図である。
FIG. 3 is a view showing a chemical structure of MEH-PPV used in the organic EL device.

【図4】同、有機EL素子の作製〜効率測定のプロセス
を示す図である。
FIG. 4 is a view showing a process of manufacturing an organic EL device and measuring efficiency thereof.

【図5】同、有機EL素子の製造工程の一例を示す概略
断面図である。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing one example of a manufacturing process of the organic EL element.

【図6】同、有機EL素子の製造工程の一例を示す概略
断面図である。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing one example of a manufacturing process of the organic EL element.

【図7】同、有機EL素子の他の製造工程の一例を示す
概略断面図である。
FIG. 7 is a schematic sectional view showing an example of another manufacturing process of the organic EL element.

【図8】同、有機EL素子の他の製造工程の一例を示す
概略断面図である。
FIG. 8 is a schematic sectional view showing an example of another manufacturing process of the organic EL element.

【図9】同、有機EL素子の変形例を示す概略断面図で
ある。
FIG. 9 is a schematic sectional view showing a modified example of the organic EL element.

【図10】同、有機EL素子の他の変形例を示す概略断
面図である。
FIG. 10 is a schematic sectional view showing another modified example of the organic EL element.

【図11】従来例による有機EL素子の一例を示す概略
断面図である。
FIG. 11 is a schematic sectional view showing an example of an organic EL device according to a conventional example.

【図12】同、有機EL素子の他の一例を示す概略断面
図である。
FIG. 12 is a schematic sectional view showing another example of the same organic EL element.

【図13】同、有機EL素子を用いた平面ディスプレイ
の構成例を示す概略図である。
FIG. 13 is a schematic view showing a configuration example of a flat display using an organic EL element.

【図14】同、有機EL素子の更に他の一例を示す概略
断面図である。
FIG. 14 is a schematic sectional view showing still another example of the organic EL device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11…Al電極(陰極)、12…Ca層、13…電子輸
送性発光層(MEH−PPV)、14…ホール輸送層
(PEDOT)、15…ITO電極、16…ガラス基
板、17…ホットプレート、18A、18B…処理槽、
20、21、23…凹凸、22…発光層(ホール輸送
性、電子輸送性)、25A、25B…有機EL素子、A
1〜A7…工程
11 ... Al electrode (cathode), 12 ... Ca layer, 13 ... Electron transporting light emitting layer (MEH-PPV), 14 ... Hole transporting layer (PEDOT), 15 ... ITO electrode, 16 ... Glass substrate, 17 ... Hot plate, 18A, 18B ... processing tank,
20, 21, 23: unevenness, 22: light emitting layer (hole transporting property, electron transporting property), 25A, 25B: organic EL element, A
1 ~A 7 ... process

─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成13年9月3日(2001.9.3)[Submission date] September 3, 2001 (2001.9.3)

【手続補正1】[Procedure amendment 1]

【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing

【補正対象項目名】図3[Correction target item name] Figure 3

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【図3】 FIG. 3

フロントページの続き (72)発明者 田村 眞一郎 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 Fターム(参考) 3K007 AB03 AB18 BA06 CB01 DA01 DB03 EB00 FA01 Continuation of the front page (72) Inventor Shinichiro Tamura 6-35 Kita Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Corporation F-term (reference) 3K007 AB03 AB18 BA06 CB01 DA01 DB03 EB00 FA01

Claims (23)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 発光領域を含む有機層が基体上に設けら
れている有機電界発光素子において、前記有機層がこの
隣接層との界面に凹凸を有していることを特徴とする有
機電界発光素子。
1. An organic electroluminescent device in which an organic layer including a light emitting region is provided on a substrate, wherein the organic layer has irregularities at an interface with an adjacent layer. element.
【請求項2】 前記有機層が、有機ホール輸送層と有機
層と必要あれば有機発光層と有機電子輸送層とがこの順
に積層された積層構造からなり、これらの層のうちの少
なくとも一層が、前記凹凸を有している、請求項1に記
載した有機電界発光素子。
2. The organic layer has a laminated structure in which an organic hole transporting layer, an organic layer, and if necessary, an organic light emitting layer and an organic electron transporting layer are laminated in this order, and at least one of these layers is formed. The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein the organic electroluminescent device has the irregularities.
【請求項3】 前記凹凸を有する層が、配向結晶化した
π電子共役高分子層を含んでいる、請求項1に記載した
有機電界発光素子。
3. The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein the layer having irregularities includes an oriented and crystallized π-electron conjugated polymer layer.
【請求項4】 光学的に透明な基体上に透明電極、有機
ホール輸送層、必要あれば有機発光層、有機電子輸送層
及び金属電極が積層されている請求項1に記載した有機
電界発光素子。
4. The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein a transparent electrode, an organic hole transport layer, an organic light emitting layer, an organic electron transport layer and a metal electrode are laminated on an optically transparent substrate. .
【請求項5】 カラーディスプレイ用の素子として構成
されている、請求項1に記載した有機電界発光素子。
5. The organic electroluminescent device according to claim 1, which is configured as a device for a color display.
【請求項6】 発光領域を含む有機層が基体上に設けら
れている有機電界発光素子において、前記有機層がこの
隣接層との界面に凹凸を有していることを特徴とする有
機電界発光素子を製造するに際し、前記有機層を形成す
るときの環境条件をコントロールすることによって前記
凹凸を形成する有機電界発光素子の製造方法。
6. An organic electroluminescent device in which an organic layer including a light emitting region is provided on a substrate, wherein the organic layer has irregularities at an interface with an adjacent layer. A method for manufacturing an organic electroluminescent device, wherein the unevenness is formed by controlling environmental conditions when forming the organic layer when manufacturing the device.
【請求項7】 前記環境条件として、有機層構成材料の
溶液の塗布層の焼成条件をコントロールする、請求項6
に記載した有機電界発光素子の製造方法。
7. A sintering condition of a coating layer of a solution of an organic layer constituting material is controlled as the environmental condition.
3. The method for producing an organic electroluminescent device according to 1.).
【請求項8】 前記環境条件として、有機層構成材料の
溶液の塗布層から溶媒を蒸発除去する、請求項6に記載
した有機電界発光素子の製造方法。
8. The method for manufacturing an organic electroluminescent device according to claim 6, wherein the solvent is evaporated from the coating layer of the solution of the organic layer constituent material as the environmental condition.
【請求項9】 前記焼成条件を前記有機層の焼成時の減
圧度とする、請求項7に記載した有機電界発光素子の製
造方法。
9. The method for manufacturing an organic electroluminescent device according to claim 7, wherein the firing conditions are a degree of reduced pressure at the time of firing the organic layer.
【請求項10】 1気圧(760mmHg)を減圧度ゼ
ロとしたとき、前記減圧度を−400mmHg〜−76
0mmHgとする、請求項9に記載した有機電界発光素
子の製造方法。
10. When one atmospheric pressure (760 mmHg) is set to a pressure reduction degree of zero, the pressure reduction degree is -400 mmHg to -76 mm.
The method for producing an organic electroluminescent device according to claim 9, wherein the pressure is 0 mmHg.
【請求項11】 前記焼成条件を前記有機層の焼成時の
焼成温度とする、請求項7に記載した有機電界発光素子
の製造方法。
11. The method for manufacturing an organic electroluminescent device according to claim 7, wherein the firing condition is a firing temperature at the time of firing the organic layer.
【請求項12】 前記焼成温度を70℃〜150℃とす
る、請求項11に記載した有機電界発光素子の製造方
法。
12. The method according to claim 11, wherein the sintering temperature is 70 ° C. to 150 ° C.
【請求項13】 前記焼成条件として、前記溶液の塗布
層を冷却した後に前記焼成を行う、請求項7に記載した
有機電界発光素子の製造方法。
13. The method for manufacturing an organic electroluminescent device according to claim 7, wherein the baking is performed after cooling the coating layer of the solution.
【請求項14】 前記環境条件として、前記溶液の塗布
層を冷却した後に減圧によって前記溶媒を蒸発除去す
る、請求項8に記載した有機電界発光素子の製造方法。
14. The method according to claim 8, wherein, as the environmental condition, the solvent is evaporated and removed under reduced pressure after cooling the coating layer of the solution.
【請求項15】 前記焼成条件として、前記溶液に高沸
点溶媒を添加した後に前記焼成を行う、請求項7に記載
した有機電界発光素子の製造方法。
15. The method according to claim 7, wherein the baking is performed after adding a high boiling point solvent to the solution as the baking condition.
【請求項16】 前記高沸点溶媒を1〜10重量%添加
する、請求項15に記載した有機電界発光素子の製造方
法。
16. The method according to claim 15, wherein the high boiling point solvent is added in an amount of 1 to 10% by weight.
【請求項17】 前記焼成条件として、前記溶液に熱分
解性物質を添加した後に前記焼成を行う、請求項7に記
載した有機電界発光素子の製造方法。
17. The method for manufacturing an organic electroluminescent device according to claim 7, wherein the baking is performed after adding a thermally decomposable substance to the solution as the baking condition.
【請求項18】 前記熱分解物質を1〜10重量%添加
する、請求項17に記載した有機電界発光素子の製造方
法。
18. The method according to claim 17, wherein the pyrolytic substance is added in an amount of 1 to 10% by weight.
【請求項19】 前記有機層の一方の面側から焼成時の
加熱を行うか、或いは溶媒蒸発のための減圧を行う、請
求項7又は8に記載した有機電界発光素子の製造方法。
19. The method for manufacturing an organic electroluminescent device according to claim 7, wherein heating during firing is performed from one surface side of the organic layer, or pressure reduction for evaporating a solvent is performed.
【請求項20】 前記有機層を、有機ホール輸送層と必
要あれば有機発光層と有機電子輸送層とがこの順に積層
された積層構造とし、これらの層のうち少なくとも一層
に、前記凹凸を設ける、請求項6に記載した有機電界発
光素子の製造方法。
20. The organic layer has a laminated structure in which an organic hole transporting layer and, if necessary, an organic light emitting layer and an organic electron transporting layer are laminated in this order, and the unevenness is provided on at least one of these layers. A method for manufacturing an organic electroluminescent device according to claim 6.
【請求項21】 前記凹凸を設ける層に、配向結晶化し
たπ電子共役高分子層と含ませる、請求項6に記載した
有機電界発光素子の製造方法。
21. The method for manufacturing an organic electroluminescent device according to claim 6, wherein the layer provided with the unevenness includes an oriented and crystallized π-electron conjugated polymer layer.
【請求項22】 光学的に透明な基体上に透明電極、有
機ホール輸送層、必要あれば有機発光層、有機電子輸送
層及び金属電極を積層する、請求項6に記載した有機電
界発光素子の製造方法。
22. The organic electroluminescent device according to claim 6, wherein a transparent electrode, an organic hole transport layer, an organic light emitting layer, an organic electron transport layer and a metal electrode are laminated on an optically transparent substrate. Production method.
【請求項23】 カラーディスプレイ用の素子として構
成する、請求項6に記載した有機電界発光素子の製造方
法。
23. The method for manufacturing an organic electroluminescent device according to claim 6, which is configured as a device for a color display.
JP2001119832A 2001-04-18 2001-04-18 Organic electroluminescence element and its manufacturing method Pending JP2002313567A (en)

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