KR101850147B1 - Light emitting layer of organic light emitting diodde device and method of fabricating the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 발광층 내에 분포되는 도펀트의 농도가 위치에 따라 달라지도록 제어되어 발광층의 발광효율을 높일 수 있는 유기발광다이오드 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 유기발광다이오드 소자는 기판; 상기 기판 상에 순차적으로 형성되는 제 1 전극 및 제 1 관련층; 상기 제 1 관련층 상에 형성되고, 호스트 물질과 도펀트 물질이 혼합되어 있으며, 상기 도펀트 물질의 농도가 위치에 따라 다른 발광층; 및 상기 발광층 상에 순차적으로 형성되는 제 2 관련층 및 제 2 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to an organic light emitting diode (OLED) device capable of increasing the luminous efficiency of a light emitting layer by controlling the concentration of a dopant distributed in a light emitting layer depending on a position, and a method of manufacturing the same. The organic light emitting diode device of the present invention comprises a substrate; A first electrode and a first associated layer sequentially formed on the substrate; A light emitting layer formed on the first related layer, wherein the host material and the dopant material are mixed, and the concentration of the dopant material varies depending on the position; And a second related layer and a second electrode sequentially formed on the light emitting layer.

Description

유기발광다이오드 소자 및 그 제조방법{LIGHT EMITTING LAYER OF ORGANIC LIGHT EMITTING DIODDE DEVICE AND METHOD OF FABRICATING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting diode (OLED)

본 발명은 유기발광다이오드 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting diode device and a method of manufacturing the same.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판 표시장치는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : 이하 "LCD"라 한다), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하 "PDP"라 한다) 및 전계발광장치(Electroluminescence Device) 등이 있다. 2. Description of the Related Art Recently, various flat panel display devices capable of reducing weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes (CRTs), have been developed. Such a flat panel display device includes a liquid crystal display (LCD), a field emission display (FED), a plasma display panel (PDP) And a light emitting device (Electroluminescence Device).

PDP는 구조와 제조공정이 단순하기 때문에 경박단소하면서도 대화면화에 가장 유리한 표시장치로 주목받고 있지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있다. TFT LCD(Thin Film Transistor LCD)는 가장 널리 사용되고 있는 평판표시소자이지만 시야각이 좁고 응답속도가 낮은 문제점이 있다. 전계발광장치는 발광층의 재료에 따라 무기발광다이오드 표시장치와 유기발광다이오드 소자로 대별 되며, 이 중 유기발광다이오드 소자는 스스로 발광하는 자발광소자로서 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. PDP has attracted attention as a display device that is most advantageous for large screen size but small size because of its simple structure and manufacturing process, but it has disadvantage of low luminous efficiency, low luminance and high power consumption. Thin Film Transistor LCD (TFT LCD) is the most widely used flat panel display device, but has a narrow viewing angle and low response speed. The electroluminescence device is classified into an inorganic light emitting diode display device and an organic light emitting diode device depending on the material of the light emitting layer. Among them, the organic light emitting diode device is a self light emitting device that emits itself, has a high response speed, .

유기발광다이오드(이하, OLED)는 도 1에 도시된 바와 같은 구조를 갖는다.An organic light emitting diode (OLED) has a structure as shown in FIG.

OLED는 전기에너지를 빛에너지로 전환하는 유기전자 소자로서 애노드 전극(ANODE)과 캐소드 전극(CATHODE) 사이에 빛을 내는 유기발광물질이 포함되어 있는 구조로 이루어져 있다. 애노드 전극(ANODE)으로부터는 정공이 주입되며 캐소드 전극(CATHODE)으로부터는 전자가 주입된다. 전극으로부터 주입된 정공과 전자가 빛을 내는 유기발광층(emission layer : EML)에 주입되면 여기자인 액시톤(exciton)을 형성하고, 이 엑시톤은 에너지를 빛으로 방출하면서 발광하게 된다. 애노드 전극(ANODE)으로부터 발광층(EML)으로 정공의 주입을 원활히 하기 위해 애노드 전극(ANODE)과 발광층(EML)과 사이에는 정공 주입층(Hole Injection Layer : HIL)과 정공 수송층(Hole Transport Layer : HTL)이 형성되고, 캐소드 전극(CATHODE)으로부터 발광층(EML)으로 전자의 주입을 원활하게 하기 위해 캐소드 전극(CATHODE)과 발광층(EML) 사이에는 전자 주입층(Electron Injection Layer : EIL)과 전자수송층(Electron Transport Layer : ETL)이 형성된다. 또한, 정공주입을 원활히 하기 위해 정공주입층(HIL)과 정공수송층(HTL)은 발광층(EML)과 애노드 전극의 중간에 해당하는 HOMO(highest occupied molecular orbital) 준위를 가져야 하며, 캐소드 전극으로부터 발광층(EML)으로의 전자전달을 원활히 하기 위하여 전자수송층(ETL)과 전자주입층(EIL)은 캐소드 전극과 발광층발광층(EML)의 중간에 해당하는 LUMO(lowest unoccupied molecular orbital) 준위를 가져야 한다. OLED소자 에서 나오는 휘도 및 소자의 효율특성은 애노드 전극(ANODE)으로부터 주입되는 정공과 캐소드 전극(CATHODE)으로부터 주입되는 전자의 양에 따라 결정된다. The OLED is an organic electronic device that converts electric energy into light energy, and includes an organic light emitting material that emits light between the anode electrode (ANODE) and the cathode electrode (CATHODE). Holes are injected from the anode electrode ANODE and electrons are injected from the cathode electrode CATHODE. When the holes and electrons injected from the electrodes are injected into an organic emission layer (EML) emitting light, excitons are formed. The excitons emit energy while emitting energy to light. A hole injection layer (HIL) and a hole transport layer (HTL) are interposed between the anode electrode ANODE and the light emitting layer EML to facilitate the injection of holes from the anode electrode ANODE to the light emitting layer EML. And an electron injection layer (EIL) and an electron transport layer (EIL) are formed between the cathode electrode CATHODE and the emission layer EML in order to smoothly inject electrons from the cathode electrode CATHODE to the emission layer EML. Electron Transport Layer (ETL) is formed. In order to facilitate hole injection, the hole injection layer (HIL) and the hole transport layer (HTL) must have a highest occupied molecular orbital (HOMO) level between the emission layer (EML) and the anode electrode, (EML) and the electron injection layer (EIL) must have a lowest unoccupied molecular orbital (LUMO) level between the cathode and the light emitting layer emission layer (EML) in order to facilitate electron transfer to the electron transport layer (EML). The luminance from the OLED element and the efficiency characteristics of the element are determined by the amount of holes injected from the anode electrode (ANODE) and the amount of electrons injected from the cathode electrode (CATHODE).

일반적으로 정공의 이동도는 전자의 이동도보다 빠르기 때문에 발광층이 아닌 다른 영역에서 엑시톤이 형성될 수 있고, 이 경우 인가되는 전류가 증가함에 따라 색 안정성이 저하되는 문제점이 있었다. 이러한 현상을 해결하기 위해 호스트(host) 발광물질(이하, "호스트"라 함)에 불순물 발광물질(이하, "도펀트"(dopant)라 함)를 균일하게 분포시켜 발광층을 형성함으로써 발광효율을 높이거나, 발광층을 2층 이상으로 형성하여 도핑농도를 조정함으로써 발광효율을 높이고 색 안정성을 높이는 방안이 강구되었다. In general, since the mobility of holes is faster than the mobility of electrons, excitons can be formed in regions other than the light emitting layer. In this case, there is a problem that the color stability is lowered as the applied current increases. In order to solve such a problem, an impurity light emitting material (hereinafter referred to as "dopant ") is uniformly distributed in a host luminescent material (hereinafter referred to as a host) Or by adjusting the doping concentration by forming two or more layers of the light emitting layer, thereby increasing the luminous efficiency and improving the color stability.

도 2는 종래의 방법에 의해 제조된 유기발광다이오드 소자를 도시한 도면으로서, 도 2의 (a)는 발광층을 제 1 발광층(EML1) 및 제 2 발광층(EML2)의 두개의 층으로 형성하고, 제 1 및 제 2 발광층에 첨가된 도펀트의 농도를 서로 달리하여 구성한 유기발광다이오드 소자를 개념적으로 도시한 도면이고, 도 2의 (b)는 발광층에 첨가된 도펀트를 균일하게 분산시킨 하나의 발광층을 포함한 발광다이오드소자를 도시한 도면이다. FIG. 2 is a view showing an organic light emitting diode device manufactured by a conventional method. In FIG. 2 (a), a light emitting layer is formed of two layers of a first light emitting layer (EML1) and a second light emitting layer (EML2) FIG. 2 (b) is a schematic view showing an organic light emitting diode device in which dopants added to the first and second light emitting layers are different from each other. FIG. 2 (b) And FIG.

도 2의 (a), (b)에 도시된 바와 같은 발광층(EML, EML1, EML2)에서는 호스트와 도펀트가 혼합되어 있다. 호스트의 HOMO준위 및 LUMO준위의 에너지 차이인 에너지 띠 간격(energy band gap)은 도펀트의 에너지 띠 간격과 서로 다르다. 일반적으로 두개의 발광물질(호스트 및 도펀트)이 혼합되 있는 경우에는 에너지 띠 간격이 큰 발광물질에서 생성된 엑시톤의 에너지가 에너지 띠 간격이 작은 발광물질 로 전이되면서 에너지 띠 간격이 작은 발광물질이 발광할 가능성이 높다. 따라서, 호스트의 에너지 띠 간격보다 큰 에너지 띠 간격을 갖는 도펀트를 호스트에 도핑함으로써 호스트가 직접 발광에 기여하도록 한다. 한편, 발광에 기여하지 않는 도펀트는 호스트보다 낮은 HOMO준위를 가지므로 정공전달층에서 전달되는 정공의 장벽으로서 작용한다. 따라서, 전자보다 빠른 이동도를 갖는 정공의 이동도를 낮춤으로써 발광층 이외의 영역에서 엑시톤이 형성되는 것을 방지하여 발광효율을 향상시킬 수 있게 된다.In the light emitting layers (EML, EML1, EML2) as shown in FIGS. 2A and 2B, a host and a dopant are mixed. The energy band gap, which is the energy difference between the HOMO and LUMO levels of the host, is different from the energy band gap of the dopant. Generally, when two luminescent materials (host and dopant) are mixed, the energy of the excitons generated from the luminescent material having a large energy band gap is transferred to the luminescent material having a small energy band gap, . Therefore, doping the host with a dopant having an energy band gap larger than the energy band gap of the host allows the host to directly contribute to light emission. On the other hand, the dopant that does not contribute to light emission has a HOMO level lower than that of the host, and thus acts as a barrier of holes transported from the hole transport layer. Accordingly, by decreasing the mobility of holes having a higher mobility than that of the former, it is possible to prevent the formation of excitons in a region other than the light emitting layer, thereby improving the luminous efficiency.

그러나, 이와 같은 발광층에서는 각 발광층의 전영역에 걸쳐 도펀트가 균일하게 분포되어 있기 때문에 정공의 이동도를 효율적으로 제어할 수 없거나, 2이상의 발광층을 이용하고 있기 때문에 제조공정의 복잡성 및 양산에 있어서 문제점이 있었다. 또한, 발광층에 도핑되는 도펀트가 이웃하는 정공수송층이나 전자수송층을 구성하는 물질과의 친화성 이 좋지 않은 경우 다른 문제점을 야기할 수 있는 문제점도 있다. However, in such a light emitting layer, since the dopant is uniformly distributed over the entire region of each light emitting layer, the mobility of holes can not be efficiently controlled, or since two or more light emitting layers are used, . In addition, when the dopant doped in the light emitting layer has poor affinity with a material constituting the hole transporting layer or the electron transporting layer adjacent to the light emitting layer, there arises another problem that it may cause another problem.

한편, 종래의 발광층(EML)을 형성하는 대표적인 방법으로 유기 기체상태 증착법(Organic Vapor Phase Deposition: OVPD), 미세 메탈 마스크(Fine Metal Mask: FMM)를 이용하는 방법 등이 알려져 있다. On the other hand, as a representative method of forming the conventional light emitting layer (EML), a method using an organic vapor phase deposition (OVPD) or a fine metal mask (FMM) is known.

유기 기체상태 증착법(OVPD)은 하나의 증착챔버에서 호스트와 도펀트물질을 동시에 가열하여 승화된 유기분자를 질소가스 등을 이용하여 차가운 기판으로 이동시켜 증착시키는 방법이다. 이 방식은 발광층을 2층 이상으로 형성할 때 증착챔버의 추가투자가 필요하고, 공정시간이 증가되는 문제점으로 인해 양산에 부적합한 문제점이 있었다. Organic gas-phase deposition (OVPD) is a method in which a host and a dopant material are simultaneously heated in one deposition chamber, and the sublimated organic molecules are transferred to a cold substrate by using nitrogen gas or the like. This method has a problem in that it is not suitable for mass production due to a problem that an additional investment of the deposition chamber is required when the light emitting layer is formed in two or more layers and the process time is increased.

미세 메탈마스크 이용법(FMM)은 보통 적색, 녹색, 청색 발광물질을 금속 미세 마스크를 이용하여 각각 화소을 패터닝하여 적색, 녹색 및 청색 화소를 형성하고 있다. 이 방식은 소자의 특성 측면에서 우수한 장점을 가지고 있으나, 마스크의 막힘 현상 등에 의하여 공정 수율이 저하되며, 대형 마스크 개발의 어려움으로 인하여 대형 표시장치의 적용에는 어려움이 있다. In the fine metal mask method (FMM), red, green, and blue light-emitting materials are formed by patterning each pixel using a metal fine mask. Although this method has excellent advantages in terms of device characteristics, the process yield is lowered due to clogging of the mask, and it is difficult to apply a large display device due to difficulty in developing a large mask.

상술한 바와 같이 유기발광다이오드 소자에 도펀트가 균일하게 분포된 발광층을 이용하는 것으로는 정공의 이동도를 효율적으로 제어할 수 없는 문제점이 있었으며, 도펀트의 농도가 다르게 형성된 2 이상의 발광층을 이용하는 것으로는 제조공정의 복잡성 및 양산에 있어서 문제점이 있었다. As described above, there is a problem that the mobility of holes can not be efficiently controlled by using a light emitting layer in which a dopant is uniformly distributed in an organic light emitting diode device. In the case of using two or more light emitting layers formed with different dopant concentrations, And there is a problem in mass production.

따라서, 본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해소하여, 발광층 내에서 도펀트의 분포구배를 제어하여 정공 이동도를 적절히 제어하고, 이웃하는 정공수송층 및 전자수송층과의 물질의 친화도에 따른 문제점을 해소할 수 있는 유기발광다이오드 소자 및 그 제조방법을 제공하는 것에 있다. Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and to control the distribution gradient of the dopant in the light emitting layer to appropriately control the hole mobility and solve the problems caused by the affinity of the materials with neighboring hole transporting layers and electron transporting layers And a method of manufacturing the same.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 유기발광다이오드 소자는 기판; 상기 기판 상에 순차적으로 형성되는 제 1 전극 및 제 1 관련층; 상기 제 1 관련층 상에 형성되고, 호스트 물질과 도펀트 물질이 혼합되어 있으며, 상기 도펀트 물질의 농도가 위치에 따라 다른 발광층; 및 상기 발광층 상에 순차적으로 형성되는 제 2 관련층 및 제 2 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, an organic light emitting diode device according to an embodiment of the present invention includes a substrate; A first electrode and a first associated layer sequentially formed on the substrate; A light emitting layer formed on the first related layer, wherein the host material and the dopant material are mixed, and the concentration of the dopant material varies depending on the position; And a second related layer and a second electrode sequentially formed on the light emitting layer.

또한, 본 발명의 실시예에 유기발광다이오드 소자의 제조방법은 제 1 기판 상에 제 1 전극 및 제 1 관련층을 순차적으로 형성하는 단계; 제 2 기판 상에 적어도 하나의 제 1 발광물질층과 적어도 하나의 제 2 발광물질층을 순차적으로 형성하는 단계; 상기 제 1 관련층과 상기 제 2 발광물질층이 서로 마주보도록 상기 제 1 기판과 제 2기판을 정렬시키는 단계; 상기 제 2 기판에 에너지를 인가함으로써 상기 제 1 및 제 2 발광물질층이 승화되어 상기 제 1 기판에 전사되어 발광층을 형성하는 전사단계; 상기 전사단계에서 형성된 상기 발광층 상에 제 2 관련층과 제 2 전극을 순차적으로 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting diode (OLED) device, comprising: sequentially forming a first electrode and a first associated layer on a first substrate; Sequentially forming at least one first light emitting material layer and at least one second light emitting material layer on a second substrate; Aligning the first substrate and the second substrate such that the first related layer and the second luminous material layer face each other; A transfer step of sublimating the first and second light emitting material layers by applying energy to the second substrate and transferring the first and second light emitting material layers to the first substrate to form a light emitting layer; And sequentially forming a second related layer and a second electrode on the light emitting layer formed in the transfer step.

상기 구성에서, 상기 제1 전극 및 제2 전극은 각각 애노드전극 및 캐소드전극이고, 상기 제 1 관련층은 정공의 유입 및 운반을 담당하는 정공관련층으로 구성하거나 이와 반대로 형성하여도 좋다. In the above structure, the first electrode and the second electrode may be an anode electrode and a cathode electrode, respectively, and the first associated layer may be formed of a hole-related layer that is responsible for the inflow and transport of holes and vice versa.

또한, 전사단계는 레이저 열 전사법(Laser Induced Thermal Imaging: LITI) 또는 주울 열 전사법에 의해 수행되는 것이 바람직하며, 에너지는 레이저 에너지, 적외선 에너지, 자외선 에너지, 전기 에너지 중의 어느 하나를 이용하여도 좋다.In addition, it is preferable that the transferring step is performed by laser induced thermal imaging (LITI) or joule heat transfer, and the energy may be obtained by using any one of laser energy, infrared energy, ultraviolet energy and electric energy good.

또한, 적어도 하나의 제 1 및 제 2 발광층은 상기 제 1 기판 상에 번갈아 적층되는 것이 바람직하다. Further, it is preferable that at least one of the first and second light emitting layers is alternately laminated on the first substrate.

또한, 제 1 발광층을 도펀트 물질층으로 하고 제 2 발광층을 호스트 물질층으로 하거나, 제 1 발광층을 호스트 물질층으로 하고, 제 2 발광층을 도펀트 물질층으로 하여도 좋다.Alternatively, the first light emitting layer may be a dopant material layer, the second light emitting layer may be a host material layer, the first light emitting layer may be a host material layer, and the second light emitting layer may be a dopant material layer.

본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 소자 및 그 제조방법에 의하면, 발광층 내에 분포되는 도펀트의 농도가 위치에 따라 달라지도록 적절히 제어될 수 있으므로, 정공 이동도의 제어에 따른 발광층의 발광효율을 높일 수 있고, 이웃하는 정공수송층 및 전자수송층의 물질과의 친화도에 따른 문제점을 해소할 수 있을 뿐 아니라, 제조공정상의 효율성을 높일 수 있는 유기발광다이오드 소자 및 그 제조방법을 제공할 수 있는 이점이 있다. According to the organic light emitting diode device and the manufacturing method thereof according to the embodiment of the present invention, the concentration of the dopant distributed in the light emitting layer can be appropriately controlled so as to be changed depending on the position, An organic light emitting diode device capable of solving the problems caused by the affinity of a hole transporting layer and an electron transporting layer adjacent to each other and an efficiency of a normal manufacturing process and a manufacturing method thereof have.

이하, 도 3 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 나타낸다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 8. FIG. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 소자(Organic Light Emitting Device: OLED)의 제조방법을 개략적으로 보여주는 흐름도, 도 4a 및 도 4b는 어셉터 기판(acceptor substrate) 상에 OLED의 제 1 전극 및 정공주입층과 정공수송층을 포함하는 정공관련층을 형성하는 과정을 보여주는 단면도, 도 5a 내지 도 5f는 도너 기판(donor substrate)상에 호스트층과 도펀트층을 형성하는 다양한 예를 도시한 단면도이고, 도 6a 내지 도 6f는 도 5a 내지 도 5f에 도시된 도너기판과 어셉터 기판의 합착 및 전사에 의해 발광층에 도펀트가 일정한 구배(gradient)를 가지고 형성되는 상태를 도시한 단면도이며, 도 7은 발광층이 형성된 어셉터 기판상에 전자수송층 및 전자주입층의 전자 관련층과 OLED의 제 2 전극이 형성된 상태를 도시한 단면도이며, 도 8은 종래의 기술에 따른 OLED와 본 발명의 실시예에 따른 전기적 특성 및 수명을 비교한 표 및 그래프이다. FIG. 3 is a flow chart schematically illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode (OLED) according to an embodiment of the present invention. FIGS. 4A and 4B are cross- 5A to 5F are cross-sectional views illustrating various processes for forming a host layer and a dopant layer on a donor substrate. FIGS. 5A to 5F are cross-sectional views illustrating a process of forming a hole-related layer including a hole injection layer and a hole injection layer, And FIGS. 6A to 6F are cross-sectional views showing a state in which the dopant is formed in the light emitting layer with a constant gradient by the adhesion and transfer of the donor substrate and the acceptor substrate shown in FIGS. 5A to 5F, FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a state in which an electron-transporting layer and an electron-transporting layer of an electron-injecting layer and a second electrode of an OLED are formed on an acceptor substrate having a light- Table and graph comparing electrical characteristics and life span according to embodiments of the invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따르는 유기발광다이오드 소자의 제조방법은 어셉터 기판 형성공정(S1)과, 도너 기판 형성공정(S2), 어셉터 기판과 도너 기판을 합착한 후 도너기판에 형성된 호스트층과 도펀트층을 어셉터 기판에 전사하는 합착 및 전사공정(S3), 어셉터 기판에 전자관련층과 제 2 전극을 형성하는 공정(S4)을 포함한다. Referring to FIG. 3, a method of manufacturing an organic light emitting diode (OLED) device according to an embodiment of the present invention includes a step S1 of forming an acceptor substrate, a step S2 of forming a donor substrate, a step of attaching an acceptor substrate and a donor substrate, A coalescing and transferring step (S3) of transferring the host layer and the dopant layer formed on the substrate to the acceptor substrate, and a step (S4) of forming the electron-associating layer and the second electrode on the acceptor substrate.

어셉터 기판 형성공정(S1)에서는 어셉터 기판에 OLED의 제1 전극 및 정공관련층(HIL/HTL)을 순차적으로 형성한다. 도너기판 형성공정(S2)에서는 발광물질로서의 호스트층과 도펀트층을 분리하여 각각 형성한다. 합착 및 전사공정(S3)에서는 어셉터 기판과 도너기판을 얼라인 및 합착한 후 레이저 열 전사법, 주울 열 전사법 등을 이용하여 도너 기판에 형성된 호스트층 및 도너층을 승화시켜 어셉터 기판에 전사시켜 발광층을 형성한다. 전자관련층 및 제 2 전극 형성공정(S4)에서는 발광층이 형성된 어셉터 기판 상에 전자관련층(ETL, EIL)과 제 2 전극을 순차적으로 형성한다. In the step of forming the acceptor substrate (S1), the first electrode of the OLED and the hole-related layer (HIL / HTL) are sequentially formed on the acceptor substrate. In the donor substrate formation step (S2), the host layer and the dopant layer as the light emitting material are separately formed. In the laminating and transferring step (S3), the acceptor substrate and the donor substrate are aligned and adhered, and then the host layer and the donor layer formed on the donor substrate are sublimated using the laser heat transfer method, the joule heat transfer method, Thereby forming a light emitting layer. In the electron-related layer and the second electrode forming step S4, the electron-related layers ETL and EIL and the second electrode are sequentially formed on the acceptor substrate on which the light-emitting layer is formed.

우선, 어셉터 기판 형성공정(S1)에 대하여 도 4a 및 도 4b를 참조하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다. First, an acceptor substrate forming step (S1) will be described in more detail with reference to Figs. 4A and 4B.

도 4a를 참조하면, 투명한 유리 또는 플라스틱 재질로 제작되는 어셉터 기판(100) 상에 OLED의 제1 전극(110)이 형성된다. 제1 전극(110)은 애노드전극, 또는 캐소드전극일 수 있다. 제1 전극(110)은 표시장치에 이용될 경우 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide) 등의 산화물을 포함하는 투명 도전체인 것이 바람직하다. 제1 전극(110)은 정공을 후술할 정공관련층(HIL, HTL)을 경유하여 발광층에 공급한다. Referring to FIG. 4A, a first electrode 110 of an OLED is formed on an acceptor substrate 100 made of transparent glass or a plastic material. The first electrode 110 may be an anode electrode or a cathode electrode. When the first electrode 110 is used in a display device, it is preferable that the first electrode 110 is a transparent conductive layer containing an oxide such as ITO (Indium Tin Oxide) or IZO (Indium Zinc Oxide). The first electrode 110 supplies holes to the light-emitting layer via hole-related layers (HIL, HTL) to be described later.

도 4b를 참조하면, 제 1 전극, 즉 애노드전극(110)이 형성된 어셉터 기판(100) 상에 열 증착(thermal evaporation) 방법을 이용하여 정공주입층(120) 및 정공수송층(130)을 연속적으로 전면 증착함으로써 정공 관련층이 형성된다.Referring to FIG. 4B, the hole injection layer 120 and the hole transport layer 130 are successively formed on the first electrode, that is, the susceptor substrate 100 on which the anode electrode 110 is formed, using a thermal evaporation method. The hole-related layer is formed.

다음으로, 도너 기판 형성공정(S2)에 대하여 도 5a 내지 도 5f를 참조하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다. Next, the donor substrate forming step (S2) will be described in more detail with reference to Figs. 5A to 5F.

도 5a 내지 도 5f를 참조하면, 투명한 유리 또는 플라스틱 재질로 제작되는 도너기판(200) 상에는 발광재료로서의 도펀트층과 호스트층이 분리된 상태로 각각 형성된다. 도 5a 내지 도 5f에는 도너기판(200)상에 도펀트층과 호스트층이 번갈아 형성된 다양한 실시예를 나타내고 있다. 이들 도펀트층과 호스트층은 열 증착(thermal evaporation) 등의 공정으로 도너기판(200) 상에 각각 형성된다. 도 5a는 도너기판(200) 상에 제 1 도펀트층(210)과 제 1 호스트층(220)이 순차적으로 형성된 도너기판의 예를 나타내며, 도 5b는 도너기판(200) 상에 제 1 도펀트층(210), 제 1 호스트층(220) 및 제 2 도펀트층(213)이 순차적으로 형성된 도너기 판의 예를 나타내고, 도 5c는 도너기판(200) 상에 제 1 도펀트층(210), 제 1 호스트층(220), 제 2 도펀트층(213) 및 제 2 호스트층(223)이 순차적으로 형성된 도너기판의 예를 나타내며, 도 5d는 도너기판(200) 상에 제 1 호스트층(220)과 제 1 도펀트층(210)이 이 순차적으로 형성된 도너기판의 예를 나타내고, 도 5e는 도너기판(200) 상에 제 1 호스트층(220), 제 1 도펀트층(210) 및 제 2 호스트층(223)이 이 순차적으로 형성된 도너기판의 예를 나타내며, 도 5f는 도너기판(200) 상에 제 1 호스트층(220), 제 1 도펀트층(210), 제 2 호스트층(223) 및 제 2 도펀트층(213)이 순차적으로 형성된 도너기판의 예를 나타내고 있다. 본 실시예에서는 도너기판(200) 상에 호스트층과 도펀트층 또는 도펀트층과 호스트층이 번갈아 배치되고, 2층 내지 4층 구조로 형성되는 것에 대한 예만을 들고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것이 아님은 물론이다. 본 발명의 기술적 사상에 따라 도펀트층과 호스트층을 형성하는 순서와 층수는 본 발명의 범위에 속한다. Referring to FIGS. 5A to 5F, on the donor substrate 200 made of transparent glass or plastic, a dopant layer and a host layer as a light emitting material are separately formed. FIGS. 5A to 5F show various embodiments in which the donor substrate 200 and the host layer are alternately formed on the donor substrate 200. The dopant layer and the host layer are respectively formed on the donor substrate 200 by a process such as thermal evaporation. 5A shows an example of a donor substrate on which a first dopant layer 210 and a first host layer 220 are sequentially formed on a donor substrate 200. FIG. FIG. 5C shows an example of a donor substrate 210 on which a first dopant layer 210, a first host layer 220 and a second dopant layer 213 are sequentially formed. 5D shows an example of a donor substrate on which a first host layer 220, a second dopant layer 213 and a second host layer 223 are sequentially formed. 5E shows an example of a donor substrate on which a first host layer 220, a first dopant layer 210 and a second host layer 210 are sequentially formed on a donor substrate 200, A first host layer 220, a first dopant layer 210, a second host layer 223, and a second host layer 223 are sequentially stacked on a donor substrate 200, 2 dopant Layer 213 is sequentially formed on the donor substrate. In the present embodiment, the host layer, the dopant layer, the dopant layer, and the host layer are alternately arranged on the donor substrate 200, and the present invention is not limited thereto. Of course not. The order and number of layers for forming the dopant layer and the host layer in accordance with the technical idea of the present invention fall within the scope of the present invention.

다음으로, 합착 및 전사공정(S3)에 대하여 도 6a 내지 도 6f를 참조하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다. 도 6a 내지 도 6f의 합착 및 전사공정은 도 5a 내지 도 5f의 도너기판을 이용하여 어셉터 기판에 발광층을 전사하는 공정을 도시한 도면이다. Next, the laminating and transferring step (S3) will be described in more detail with reference to Figs. 6A to 6F. 6A to 6F are views showing a step of transferring the light emitting layer to the acceptor substrate using the donor substrate of Figs. 5A to 5F.

도 6a를 참조하면, 정공 관련층(120, 130)이 형성된 어셉터 기판(100)과, 제 1 도펀트층(210)과 제 1 호스트층(220)이 순차적으로 형성된 도너 기판(200)을 얼라인 및 합착한다. 이러한 얼라인 및 합착 과정은 수분/산소로부터 제 1 도펀트층(210) 및 제 1 호스트층(220)인 유기 발광재료를 보호하기 위해, 진공 또는 불활 성기체(Ar, N2 등) 분위기 하에서 이루어진다. 합착은 기계적 가압에 의해 이루어질 수도 있다. 얼라인 및 합착 과정이 완료된 도너 기판(200)에 외부로부터 열 에너지가 인가된다. 이러한 열 에너지를 공급하는 에너지원으로는 레이저, 적외선, 자외선, 전기적 저항이 이용될 수 있다. 본 발명에서는 도펀트층(210)과 호스트층(220)이 분리된 층으로서 도너기판(200) 상에 형성되어 있기 때문에 전사과정에서 레이저 열 전사법(Laser Induced Thermal Imaging: LITI) 또는 주울 열 전사법을 이용하면 보다 효과적으로 전사공정을 달성할 수 있다. 레이저 열 전사법을 이용할 경우, 전사필름(도시생략) 상에 제 1 도펀트층(210) 및 제 1 호스트층(220)을 순차적으로 형성하고 도너기판(200)의 배면에서 레이저 등의 광을 조사하여 전사필름 상의 도펀트층(210) 및 호스트층(220)을 어셉터 기판(100) 상에 전사시켜 발광층(230)을 형성한다. 주울 열 전사법을 이용하는 경우에는 호스트층 및/또는 도펀트층 하부에 발열패턴(도시생략)을 형성시키고 외부로부터 전원을 연결하여 발열패턴에서 열이 발생하도록 함으로써 발열패턴 상에 형성된 도펀트층(210)과 호스트층(220)을 승화시킴으로써 어셉터 기판(200)에 발광층(230)을 형성한다. 6A, an acceptor substrate 100 on which hole-related layers 120 and 130 are formed, a donor substrate 200 on which a first dopant layer 210 and a first host layer 220 are sequentially formed, And cemented. This alignment and cementation process is performed under a vacuum or inactive gas (Ar, N 2, etc.) atmosphere to protect the organic light emitting material, which is the first dopant layer 210 and the first host layer 220, from moisture / . Adhesion may also be achieved by mechanical pressing. Thermal energy is applied from the outside to the donor substrate 200 on which alignment and adhesion processes have been completed. Laser, infrared, ultraviolet, electrical resistance can be used as an energy source for supplying such heat energy. In the present invention, since the dopant layer 210 and the host layer 220 are formed on the donor substrate 200 as separate layers, the laser induced thermal imaging (LITI) or Joule heat transfer The transfer process can be more effectively achieved. When a laser thermal transfer method is used, a first dopant layer 210 and a first host layer 220 are sequentially formed on a transfer film (not shown), and light such as a laser beam is irradiated from the back surface of the donor substrate 200 The dopant layer 210 and the host layer 220 on the transfer film are transferred onto the acceptor substrate 100 to form the light emitting layer 230. [ In the case of using the Joule heat transfer method, a heating pattern (not shown) is formed below the host layer and / or the dopant layer and a power source is connected from the outside to generate heat in the heating pattern, thereby forming the dopant layer 210, And the host layer 220 are sublimated to form the light emitting layer 230 on the acceptor substrate 200.

이하, 도너기판(200)에 형성된 도펀트층(210) 및 호스트층(220)이 어셉터 기판(100)으로 전사되어 발광층(230)이 형성되는 과정을 보다 상세히 설명하기로 한다. 레이저 열 전사법, 주울 열 전사법 등에 의해 도너기판(200)에 형성된 도펀트층(210) 및 호스트층(220)에 열이 전도되면 열 에너지가 공급되는 도펀트층(210)과 호스트층(220)이 차례로 승화되어 어셉터 기판(100)에 전사된다. 즉, 열 에너지에 의해 승화된 상대적으로 적은 양의 도펀트 발광물질(231)은 상대적으로 많은 양의 호스트 발광물질(232)에 침투되어 서로 혼합된 상태로 발광층(230)을 생성하게 된다. 결국, 도 6a의 우측에 도시된 바와 같이, 도너기판(200)과 가까운 쪽, 즉 발광층(230)의 상부측에 도펀트 발광물질(231)이 더 많이 분산되게 된다. The process of forming the light emitting layer 230 by transferring the dopant layer 210 and the host layer 220 formed on the donor substrate 200 to the acceptor substrate 100 will now be described in more detail. When heat is conducted to the dopant layer 210 and the host layer 220 formed on the donor substrate 200 by the laser thermal transfer method or the Joule heat transfer method, the dopant layer 210 and the host layer 220, Are successively sublimated and transferred to the susceptor substrate 100. That is, the relatively small amount of the dopant light emitting material 231 sublimated by the thermal energy penetrates the relatively large amount of the host light emitting material 232 to produce the light emitting layer 230 in a mixed state with each other. As a result, as shown in the right side of FIG. 6A, the dopant light emitting material 231 is more dispersed on the side closer to the donor substrate 200, that is, on the upper side of the light emitting layer 230.

도 6b 내지 도 6f에서도 도 6a와 마찬가지 공정을 거쳐 발광층(240, 250, 260, 270, 280)이 형성되므로, 여기에서는 그에 대한 상세한 설명은 생략한다. 도 6b 내지 도 6f를 통해 알 수 있는 바와 같이, 도너기판(200)에 형성되는 제 1 및 제 2 도펀트층(210, 213)과 제 1 및 제 2 호스트층(220, 223)의 형성위치 및 순서에 따라 어셉터 기판(100)에 형성되는 발광층(240, 250, 260, 270, 280)의 호스트 발광물질(242, 252, 262, 272, 282) 내에 분포되는 도펀트 발광물질(241, 251, 261, 271, 281)의 농도가 위치에 다르게 형성될 수 있다. 따라서, 도너기판(200) 상에 형성되는 도펀트층과 호스트층의 층수와 적층순서를 적절하게 선택하여 발광층 내의 위치에 따라 도펀트 농도가 다른 발광층을 형성할 수 있다. 상술한 전사공정에 의해 어셉터 기판 상에 위치에 따라 도펀트 농도가 다른 발광층이 형성되면, 도너기판과 어셉터 기판을 분리한다. In FIGS. 6B to 6F, since the light emitting layers 240, 250, 260, 270 and 280 are formed through the same processes as those of FIG. 6A, detailed description thereof will be omitted here. The formation positions of the first and second dopant layers 210 and 213 and the first and second host layers 220 and 223 formed on the donor substrate 200, The dopant light emitting materials 241, 251, and 252 distributed in the host light emitting materials 242, 252, 262, 272, and 282 of the light emitting layers 240, 250, 260, 270, and 280 formed on the acceptor substrate 100, 261, 271, and 281 may be formed at positions different from each other. Therefore, the number of layers of the dopant layer, the host layer, and the stacking order formed on the donor substrate 200 can be appropriately selected to form the light emitting layer having a different dopant concentration depending on the position in the light emitting layer. When the light emitting layer having a different dopant concentration is formed on the acceptor substrate by the above-described transfer step, the donor substrate and the acceptor substrate are separated.

다음으로, 어셉터 기판에 전자관련층(ETL/EIL) 및 제2전극을 형성하는 공정(S4)에 대하여 도 7을 참조하여 설명하기로 한다. 설명을 간략히 하기 위하여 도 6a에 의해 형성된 발광층의 경우를 예로 들어 설명하기로 한다. Next, the step S4 of forming the electron-related layer (ETL / EIL) and the second electrode on the acceptor substrate will be described with reference to Fig. For simplicity of explanation, the case of the light emitting layer formed by the method of FIG. 6A will be described as an example.

도 7을 참조하면, 발광층(230)이 형성된 어셉터 기판(100) 상에 열 증착(thermal evaporation) 공정으로 전자수송층(300) 및 전자주입층(400)이 연속적 으로 전면 증착되어 전자 관련층(300, 400)이 형성된다. 정공 관련층(120, 130), 발광층(230), 전자 관련층(300, 400)은 OLED의 유기화합물층을 구성한다.7, an electron transport layer 300 and an electron injection layer 400 are continuously and entirely deposited on an acceptor substrate 100 on which an emission layer 230 is formed by a thermal evaporation process to form an electron- 300, and 400 are formed. The hole-related layers 120 and 130, the light-emitting layer 230, and the electron-related layers 300 and 400 constitute an organic compound layer of the OLED.

다음으로, 전자 관련층(300, 400)이 형성된 어셉터 기판(100)의 전면 상에 OLED의 제 2 전극(500)이 형성된다. 제 2 전극(500)은 캐소드전극으로서 금속 재질의 단층 구조로 형성될 수 있으며 또한, 유전층들 사이에 협지된 제 1 및 제 2 층의 금속층을 포함하여 다층 구조로 형성될 수도 있다. 제 2 전극(500)은 Vss 공급배선을 통해 인가되는 전자를 유기화합물층에 인가한다.Next, the second electrode 500 of the OLED is formed on the front surface of the acceptor substrate 100 on which the electron-related layers 300 and 400 are formed. The second electrode 500 may be formed as a cathode electrode in a single layer structure of a metal material and may also be formed in a multi-layer structure including first and second metal layers sandwiched between the dielectric layers. The second electrode 500 applies the electrons applied through the Vss supply wiring to the organic compound layer.

도 8 및 도 9는 본 발명의 실시예에 따르는 OLED의 발광효율의 상승 및 수명향상 효과를 나타낸 표 및 그래프이다. FIGS. 8 and 9 are tables and graphs showing the effect of improving the luminous efficiency and lifetime of the OLED according to the embodiment of the present invention.

도 8은 종래의 기술에 따른 OLED와 본 발명의 실시예에 따른 OLED의 전기적 특성 및 수명을 비교한 표 및 그래프이다. 8 is a table and a graph comparing the electrical characteristics and lifetime of the OLED according to the conventional art and the OLED according to the embodiment of the present invention.

도 8의 (a)는 종래의 OLED와 본 발명의 도 7에 도시된 실시예에 따르는 OLED에 10mA/㎠ 의 전류를 흘렸을 때 전기적 특성을 나타낸 도면이며, 도 8의 (b)는 동작시간에 따른 휘도변화를 나타낸 도면이다. FIG. 8A is a graph showing electrical characteristics when a current of 10 mA / cm 2 is supplied to a conventional OLED and an OLED according to the embodiment of FIG. 7 of the present invention. FIG. Fig.

도 8의 (a) 및 (b)로부터 본 발명의 실시예에 따른 OLED의 전기적 특성과 수명이 종래의 OLED에 비해 향상되었음을 알 수 있다. , 8 (a) and 8 (b), it can be seen that the electrical characteristics and lifetime of the OLED according to the embodiment of the present invention are improved as compared with the conventional OLED. ,

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예컨대, 본 발명의 실시예에서는 제1 전극 및 제2 전극을 각각 애노드전극 및 캐소드전극으로 하여 설명하였지만, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되지 않고 제1 전극 및 제2 전극을 각각 캐소드전극 및 애노드전극으로 하는 경우에도 그대로 적용된다. 이 경우, 실시예에서 설명한 정공관련층은 전자관련층으로, 실시예에서 설명한 전자관련층은 정공관련층으로 대체될 수 있다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. For example, in the embodiment of the present invention, the first electrode and the second electrode are described as the anode electrode and the cathode electrode, respectively. However, the technical idea of the present invention is not limited to this, and the first electrode and the second electrode may be referred to as a cathode electrode and an anode Even when the electrode is used, it is applied as it is. In this case, the hole-related layer described in the embodiment may be replaced with an electron-related layer, and the electron-related layer described in the embodiment may be replaced with a hole-related layer. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.

도 1은 유기발광다이오드의 구조를 나타내는 도면. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a view showing a structure of an organic light emitting diode. FIG.

도 2는 종래의 방법에 의해 제조된 유기발광다이오드 소자를 도시한 도면.2 is a view showing an organic light emitting diode device manufactured by a conventional method.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 소자의 제조방법을 보여주는 흐름도.3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode device according to an embodiment of the present invention.

도 4a 및 도 4b는 어셉터 기판 상에 OLED의 제 1 전극 및 정공주입층과 정공수송층을 포함하는 정공관련층을 형성하는 과정을 보여주는 단면도.4A and 4B are cross-sectional views illustrating a process of forming a hole-related layer including a first electrode, a hole injection layer, and a hole transport layer on an acceptor substrate.

도 5a 내지 도 5f는 도너 기판 상에 호스트층과 도펀트층을 형성하는 다양한 예를 도시한 단면도. 5A to 5F are cross-sectional views showing various examples of forming a host layer and a dopant layer on a donor substrate;

도 6a 내지 도 6f는 도 5a 내지 도 5f에 도시된 도너기판과 어셉터 기판의 합착 및 전사에 의해 발광층에 도펀트가 일정한 구배를 가지고 형성되는 상태를 도시한 단면도.6A to 6F are cross-sectional views showing a state in which a dopant is formed in the light emitting layer with a constant gradient by coalescence and transfer of the donor substrate and the acceptor substrate shown in Figs. 5A to 5F.

도 7은 발광층이 형성된 어셉터 기판상에 전자수송층 및 전자주입층의 전자 관련층과 OLED의 제 2 전극이 형성된 상태를 도시한 단면도. 7 is a cross-sectional view showing a state in which an electron-transporting layer and an electron-transporting layer of an electron-injecting layer and a second electrode of an OLED are formed on an acceptor substrate on which a light-emitting layer is formed;

도 8은 종래의 기술에 따른 OLED와 본 발명의 실시예에 따른 전기적 특성 및 수명을 비교한 표 및 그래프.8 is a table and graph comparing the electrical characteristics and lifetime according to the OLED according to the prior art and the embodiment of the present invention.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉Description of the Related Art

100 : 어셉터 기판 110 : 제 1 전극100: Acceptor substrate 110: First electrode

120 : 정공주입층 130 : 정공수송층120: Hole injection layer 130: Hole transport layer

200 : 도너기판 210, 213 : 도펀트층 200: donor substrate 210, 213: dopant layer

220, 223 : 호스트층 220, 223: host layer

220, 230, 240, 250, 260, 270, 280 : 발광층220, 230, 240, 250, 260, 270, 280:

300 : 전자수송층 400 : 전자주입층300: electron transport layer 400: electron injection layer

500 : 제2 전극500: Second electrode

Claims (9)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 기판 상에 제 1 전극 및 제 1 관련층을 순차적으로 형성하는 단계;Sequentially forming a first electrode and a first associated layer on a first substrate; 제 2 기판 상에 발열패턴들을 형성하고, 상기 발열패턴들과 접촉하도록 적어도 하나의 제 1 발광물질층과 적어도 하나의 제 2 발광물질층을 순차적으로 형성하는 단계;Forming heating patterns on a second substrate, and sequentially forming at least one first light emitting material layer and at least one second light emitting material layer to contact with the heating patterns; 상기 제 1 관련층과 상기 제 2 발광물질층이 서로 마주보도록 상기 제 1 기판과 제 2기판을 정렬시키는 단계;Aligning the first substrate and the second substrate such that the first related layer and the second luminous material layer face each other; 상기 제 2 기판의 상기 발열패턴들에 전원을 연결하여 전기 에너지를 인가함으로써 상기 적어도 하나의 제 1 발광물질층 및 상기 적어도 하나의 제 2 발광물질층이 승화되어 상기 제 1 기판에 전사되어 상기 제 1 관련층 상에 발광층을 형성하는 전사단계; The at least one first light emitting material layer and the at least one second light emitting material layer are sublimated and transferred to the first substrate by applying electrical energy by connecting a power source to the heating patterns of the second substrate, 1) a step of forming a light-emitting layer on an associated layer; 상기 전사단계에서 형성된 상기 제 1 기판의 상기 발광층 상에 제 2 관련층과 제 2 전극을 순차적으로 형성하는 단계를 포함하며,Sequentially forming a second related layer and a second electrode on the light emitting layer of the first substrate formed in the transfer step, 상기 제 1 발광물질층의 농도는 상기 발광층의 상기 제 1 관련층과 가까운 제 1 면과 상기 제 2 관련층과 가까운 제 2 면 사이에서 상기 제 1 면에서 상기 제 2 면으로 갈수록 증가 감소를 반복하거나 감소 증가를 반복하는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드 소자의 제조방법.The concentration of the first luminescent material layer is increased or decreased from the first surface to the second surface between a first surface close to the first related layer of the light emitting layer and a second surface close to the second related layer And repeating the increase or decrease of the thickness of the organic light emitting diode. 제 4 항에 있어서,5. The method of claim 4, 전사단계는 주울 열 전사법에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드 소자의 제조방법.Wherein the step of transferring is performed by Joule heat transfer method. 삭제delete 제 4 항에 있어서, 5. The method of claim 4, 상기 적어도 하나의 제 1 발광물질층 및 상기 적어도 하나의 제 2 발광물질층은 상기 제 1 기판 상에 번갈아 적층되는 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드 소자의 제조방법.Wherein the at least one first light emitting material layer and the at least one second light emitting material layer are alternately stacked on the first substrate. 제 4 항에 있어서, 5. The method of claim 4, 상기 적어도 하나의 제 1 발광물질층은 도펀트 물질층이고, 상기 적어도 하나의 제 2 발광물질층은 호스트 물질층인 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드 소자의 제조방법.Wherein the at least one first light emitting material layer is a dopant material layer and the at least one second light emitting material layer is a host material layer. 제 4 항에 있어서, 5. The method of claim 4, 상기 적어도 하나의 제 1 발광물질층은 호스트 물질층이고, 상기 적어도 하나의 제 2 발광물질층은 도펀트 물질층인 것을 특징으로 하는 유기발광다이오드 소자의 제조방법.Wherein the at least one first light emitting material layer is a host material layer and the at least one second light emitting material layer is a dopant material layer.
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