JP2002310790A - Chopping device and optical measuring instrument using it - Google Patents

Chopping device and optical measuring instrument using it

Info

Publication number
JP2002310790A
JP2002310790A JP2001110007A JP2001110007A JP2002310790A JP 2002310790 A JP2002310790 A JP 2002310790A JP 2001110007 A JP2001110007 A JP 2001110007A JP 2001110007 A JP2001110007 A JP 2001110007A JP 2002310790 A JP2002310790 A JP 2002310790A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chopper
chopper plate
plate
openings
plates
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001110007A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hidekazu Kimura
英一 木村
Masaaki Kimura
雅昭 木村
Noboru Azuma
昇 東
Hiroshi Yokota
博 横田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kurabo Industries Ltd
Kurashiki Spinning Co Ltd
Original Assignee
Kurabo Industries Ltd
Kurashiki Spinning Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kurabo Industries Ltd, Kurashiki Spinning Co Ltd filed Critical Kurabo Industries Ltd
Priority to JP2001110007A priority Critical patent/JP2002310790A/en
Publication of JP2002310790A publication Critical patent/JP2002310790A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable a chopping device to perform chopping at a high speed. SOLUTION: The chopping device 20 is provided with two discoid chopper plates 20a and 20b which are arranged coaxially with respect to their center axes. In the plates 20a and 20b, light transmitting openings 21a and 21b are respectively arranged at regular intervals along their circumferences. The second chopper plate 20b is fixed and the first chopper plate 21a is rotated. A measuring luminous flux 23 passes through the lapping sections of the openings of the chopper plates 20a and 20b and data are processed synchronously to the period of rotation of the first chopper plate 20a.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は紫外・可視から赤外
における所望の波長領域で、測定光束を試料に照射し、
その測定光と試料との相互作用による試料からの反射
光、透過光又は蛍光などを検出することにより、試料の物
性や濃度などを測定する光学的測定装置と、そのような
光学測定装置で、S/N(信号対ノイズ比)を向上させ
るために用いられるチョッピング装置に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention irradiates a sample with a measurement light beam in a desired wavelength range from ultraviolet / visible to infrared.
By detecting reflected light, transmitted light, fluorescence, etc. from the sample due to the interaction between the measurement light and the sample, an optical measurement device that measures the physical properties and concentration of the sample, and such an optical measurement device, The present invention relates to a chopping device used to improve the signal-to-noise ratio (S / N).

【0002】[0002]

【従来の技術】光学測定装置でS/N比を高めて測定を
行うために、測定光路上にはチョッピング装置が設けら
れることが多い。チョッピング装置は切り欠きのある円
板又は円弧状のチョッパ板を回転させたり、切り欠きの
あるチョッパ板を直線方向に往復移動させたりすること
により、光束を一定周期で断続し、その周期にあわせて検
出信号を処理することにより、外乱光などによるS/N
比の低下を防いでいる。
2. Description of the Related Art A chopping device is often provided on a measurement optical path in order to perform measurement with an S / N ratio increased by an optical measuring device. The chopping device intermittently intermits the luminous flux at a constant cycle by rotating a notched circular plate or an arc-shaped chopper plate, or by reciprocating a notched chopper plate in a linear direction. Processing the detection signal, the S / N caused by disturbance light
The ratio is prevented from dropping.

【0003】光学測定装置に用いる光源は、理想的な点
光源とは異なり、光学的に集光しても直径数mmの面積
を有する。ピンホールマスクを配置すれば光束の断面積
を狭くすることは可能であるが、光量が減るため有効な
方策ではない。このため、1枚の円板又はチョッパ板を
用いて機械的にチョッパで明暗を生じさせるには、チョ
ッパの開口と閉口が光束以上の大きさを有することが必
要である。
A light source used in an optical measuring device has an area of several mm in diameter even if it is optically converged, unlike an ideal point light source. If a pinhole mask is provided, it is possible to reduce the cross-sectional area of the light beam, but this is not an effective measure because the amount of light is reduced. For this reason, in order to mechanically generate light and darkness with a chopper using one disk or chopper plate, it is necessary that the opening and closing of the chopper have a size larger than the light flux.

【0004】また、機械的チョッパを駆動する機構とし
ては、回転系ではモータ、直線移動系ではボイスコイルや
ピエゾ素子が用いられる。モータは高速回転には限界が
あり、光学装置で用いられるものは、一般に無負荷状態
で10000rpm程度である。通常はさらに減速して
使用する場合が多い。ボイスコイルやピエゾ素子はモー
タよりは高速駆動することが可能であるが、基本的に直
線移動させる駆動機構である点と、駆動力が小さいもの
が多いため、大きいチョッパ機構を駆動することは困難
である。
As a mechanism for driving a mechanical chopper, a motor is used in a rotating system, and a voice coil or a piezo element is used in a linear moving system. The motor has a limit in high-speed rotation, and the one used in the optical device is generally about 10000 rpm in a no-load state. Usually, it is often used at a further reduced speed. Although voice coils and piezo elements can be driven at higher speeds than motors, it is difficult to drive a large chopper mechanism because it is basically a drive mechanism that moves linearly and many have a small driving force. It is.

【0005】また、チョッパの切り欠きの個数を増やせ
ば高速にチョッピングは可能であるが、遮光を行なうた
めにチョッパの開口と閉口が光束以上の大きさを保つよ
うにするにはチョッパの形状を大きくしなければならな
くなる。このため高速チョッピングが困難であり、測定
速度を速める上で障害になっている。
It is possible to perform high-speed chopping by increasing the number of cutouts in the chopper. You have to make it bigger. This makes it difficult to perform high-speed chopping, which is an obstacle to increasing the measurement speed.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は高速チョッピ
ングを可能にするチョッピング装置と、それを用いた光
学測定装置を提供することを目的とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a chopping device which enables high-speed chopping and an optical measuring device using the same.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明のチョッピング装
置は、第1、第2の2枚のチョッパ板と第1のチョッパ
板の移動を駆動する移動駆動機構を備えている。そし
て、それら2枚のチョッパ板は隣接して互いに平行に配
置され、第1のチョッパ板には光透過用開口部が等間隔
で一列に配列され、第2のチョッパ板には第1のチョッ
パ板の開口部と重なる位置に少なくとも1つの開口部が
形成されており、第2のチョッパ板は固定されており、
第1のチョッパ板は両チョッパ板の開口部の重なり部分
が開閉するように前記移動駆動機構により移動させられ
る。
The chopping apparatus of the present invention includes first and second two chopper plates and a movement drive mechanism for driving the movement of the first chopper plate. The two chopper plates are adjacently arranged in parallel with each other, the light transmission openings are arranged in a line at equal intervals in the first chopper plate, and the first chopper plate is arranged in the second chopper plate. At least one opening is formed at a position overlapping the opening of the plate, the second chopper plate is fixed,
The first chopper plate is moved by the moving drive mechanism so that the overlapping portion of the openings of both chopper plates opens and closes.

【0008】本発明の1つの局面では、2枚のチョッパ
板はいずれも円板状とすることができる。その場合、2
枚のチョッパ板は中心軸を同軸として配置されており、
第1のチョッパ板の開口部は円周に沿って配列されてお
り、第1のチョッパ板はその中心軸を回転軸として前記
移動駆動機構により回転させられるようになっているも
のとすることができる。
[0008] In one aspect of the present invention, both of the two chopper plates may be disc-shaped. In that case, 2
The chopper plates are arranged with the central axis coaxial,
The openings of the first chopper plate are arranged along the circumference, and the first chopper plate is adapted to be rotated by the moving drive mechanism with its center axis as a rotation axis. it can.

【0009】本発明の他の局面では、第1のチョッパ板
の開口部は直線上に配列されており、第1のチョッパ板
はその直線方向に沿って往復移動するように前記移動駆
動機構により移動させられるようになっているものとす
ることができる。
In another aspect of the present invention, the openings of the first chopper plate are arranged in a straight line, and the first chopper plate is moved by the moving drive mechanism so as to reciprocate along the linear direction. It can be adapted to be moved.

【0010】このチョッピング装置による光束の断続で
光束の遮断を確実に行なうようにするためには、両チョ
ッパ板の一方のチョッパ板に形成されている開口部は、
他方のチョッパ板に形成されている開口部間の閉口部よ
りも小さく設定されている。
In order to ensure that the light beam is interrupted by the intermittent light beam by the chopping device, an opening formed in one of the chopper plates should be formed as follows.
It is set smaller than the closed portion between the openings formed in the other chopper plate.

【0011】本発明の光学測定装置は、測定光束を試料
に照射する光源光学系と、その試料からの光を受光して
検出する受光光学系とを備えたものであり、光源光学系
から受光光学系に至る測定光束の光路上に上に記載した
本発明のチョッピング装置を備えている。
An optical measuring apparatus according to the present invention comprises a light source optical system for irradiating a sample with a measurement light beam and a light receiving optical system for receiving and detecting light from the sample. The above-described chopping device of the present invention is provided on the optical path of the measurement light beam reaching the optical system.

【0012】S/N比を向上させるために、第1のチョ
ッパ板に設けられている開口部の個数と第1のチョッパ
板の駆動周期によって決定される周波数を中心として、
受光光学系による検出信号のフィルタ処理を行なうデー
タ処理装置を備えていることが好ましい。
In order to improve the S / N ratio, the frequency determined by the number of openings provided in the first chopper plate and the driving cycle of the first chopper plate is centered.
It is preferable to include a data processing device for performing a filtering process on the detection signal by the light receiving optical system.

【0013】また、第1のチョッパ板に設けられている
開口部のばらつきによる影響をなくすために、データ処
理装置は第1のチョッパ板の駆動周期の整数倍の時間に
わたって検出データを積算する機能を備えていることが
好ましい。
Further, in order to eliminate the influence of variations in the openings provided in the first chopper plate, the data processing device has a function of integrating detection data over an integral multiple of the driving cycle of the first chopper plate. It is preferable to have.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】図1は一実施例の光学測定装置を
概略的に示したものであり、ここにはチョッピング装置
の第1の実施例も示されている。チョッピンク装置20
は2枚のチョッパ板20a、20bを備えている。これ
らのチョッパ20a、20b板はいずれも円板状であ
り、中心軸を同軸として配置されている。第1のチョッ
パ板20aには光透過用開口部21aが等間隔でこのチ
ョッパ板20aの円周に沿って配列されている。第2の
チョッパ板20bにも、第1のチョッパ板20aの開口
部21aと対応して、チョッパ板20bの円周に沿って
等間隔に開口部21aと同じ間隔で開口部21bが配列
されている。チョッパ板20bはこの光学測定装置に固
定されており、チョッパ板20aはその中心軸を回転軸
として移動駆動機構であるモータ18により等速回転さ
せられる。チョッパ板20aの回転を検出するために、
チョッパ板20aの周辺位置にフォトインタラプタ24
が設けられている。チョッパ板20aには後で図2に示
すように、このフォトインタラプタ24で検出される穴
25がチョッパ板20aの外周部に開けられている。
FIG. 1 schematically shows an optical measuring apparatus according to an embodiment, in which a first embodiment of a chopping apparatus is also shown. Chopping device 20
Has two chopper plates 20a and 20b. Each of these choppers 20a and 20b has a disk shape and is arranged coaxially with the center axis. In the first chopper plate 20a, light transmission openings 21a are arranged at equal intervals along the circumference of the chopper plate 20a. Openings 21b are also arranged on the second chopper plate 20b at equal intervals along the circumference of the chopper plate 20b, corresponding to the openings 21a of the first chopper plate 20a. I have. The chopper plate 20b is fixed to the optical measuring device, and the chopper plate 20a is rotated at a constant speed by a motor 18 as a moving drive mechanism with its center axis as a rotation axis. In order to detect the rotation of the chopper plate 20a,
The photo interrupter 24 is located around the chopper plate 20a.
Is provided. As shown later in FIG. 2, a hole 25 detected by the photo interrupter 24 is formed in the chopper plate 20a on the outer periphery of the chopper plate 20a.

【0015】測定光束23はチョッパ板20a、20b
の開口部の重なったところを透過する。チョッパ板20
aの回転によりその光束の透過が断続される。チョッパ
機構20を通過してきた測定光束23を検出するために
検出器22が配置されており、検出器22の検出信号は
増幅回路26,28を経てA/D変換回路30でデジタ
ル信号に変換され、信号処理を行うマイクロコンピュー
タ部32に導かれる。
The measurement light beam 23 is supplied to the chopper plates 20a and 20b.
Through the overlapping portions of the openings. Chopper plate 20
The transmission of the light beam is interrupted by the rotation of a. A detector 22 is disposed to detect the measurement light beam 23 passing through the chopper mechanism 20. A detection signal of the detector 22 is converted into a digital signal by an A / D conversion circuit 30 through amplification circuits 26 and 28. , And a microcomputer unit 32 that performs signal processing.

【0016】フォトインタラプタ24の検出信号は増幅
回路28に取り込まれ、増幅回路28はフォトインタラ
プタ24の信号の周波数と同期した周波数のみをA/D
変換回路30へ送る。増幅回路28はフィルタ回路であ
り、フォトインタラプタ24の検出信号により同期して
変調することにより信号のS/N比を高めている。検出
器22の信号を増幅し、デジタル信号として処理する部
分はデータ処理装置であり、この例では増幅回路26,
28、A/D変換回路30、マイクロコンピュータ部3
2を含んでいる。
The detection signal of the photo interrupter 24 is taken into an amplifier circuit 28, and the amplifier circuit 28 converts only the frequency synchronized with the frequency of the signal of the photo interrupter 24 into an A / D signal.
It is sent to the conversion circuit 30. The amplifying circuit 28 is a filter circuit, and increases the S / N ratio of the signal by synchronizing and modulating the signal with the detection signal of the photo interrupter 24. The part that amplifies the signal of the detector 22 and processes it as a digital signal is a data processing device. In this example, the amplifier circuit 26,
28, A / D conversion circuit 30, microcomputer unit 3
Contains 2.

【0017】本発明が対象とする光学測定装置は、紫
外、可視、赤外のいずれかの領域で試料の吸光度、反射
率、蛍光など、測定光との相互作用を測定する種々の光学
測定装置を含んでいる。図には示されていないが、必要
に応じ分光フィルタ、回折格子その他の分光素子を光路
上に配置することができる。光源や検出器はそれぞれの
波長域に応じて適当なものを選択して使用することがで
きる。
The optical measuring devices to which the present invention is applied are various optical measuring devices for measuring the interaction of the sample with the measuring light, such as the absorbance, reflectance, fluorescence, etc. in any of the ultraviolet, visible, and infrared regions. Contains. Although not shown in the drawing, a spectral filter, a diffraction grating, and other spectral elements can be arranged on the optical path as needed. Light sources and detectors can be used by selecting appropriate ones according to the respective wavelength ranges.

【0018】赤外又は近赤外領域の測定で本発明の光学
測定装置が適用される1つの例として、プラスチック材
を再利用するために、プラスチックボトルやシート状の
プラスチック廃棄物のようなプラスチック材を分別回収
する材質判別装置を挙げることができる。その材質判別
装置では、プラスチック材に近赤外領域の光を照射し、
プラスチック材からの反射光や透過光を受光してそのス
ペクトル特性から材質を判別する。その際、本発明のチ
ョッピング装置を用いることにより、高速で材質判別を
行なうことができるようになる。
One example of the application of the optical measuring device of the present invention in the measurement in the infrared or near-infrared region is the use of plastics such as plastic bottles or sheet-like plastic waste to recycle plastic materials. A material discriminating apparatus that separates and collects materials can be used. In the material discriminating device, the plastic material is irradiated with light in the near infrared region,
Light reflected or transmitted from a plastic material is received, and the material is determined from its spectral characteristics. At that time, by using the chopping device of the present invention, material discrimination can be performed at high speed.

【0019】図2はこの実施例における回転する方のチ
ョッパ板20aを例示したものである。チョッパ板20
aにはその円周に沿って開口部21aが等間隔で配列さ
れている。開口部21aの配列の外側には、フォトイン
タラプタ24でこのチョッパ板20aの基準位置を検出
するための穴25が開けられている。チョッパ板20a
の中心にはモータ18の回転軸を通す穴40とチョッパ
板20aをその回転軸に固定するための穴42が開けら
れている。
FIG. 2 illustrates the rotating chopper plate 20a in this embodiment. Chopper plate 20
Openings 21a are arranged at equal intervals along the circumference of a. A hole 25 for detecting a reference position of the chopper plate 20a by the photo interrupter 24 is formed outside the arrangement of the openings 21a. Chopper plate 20a
A hole 40 for passing the rotation shaft of the motor 18 and a hole 42 for fixing the chopper plate 20a to the rotation shaft are formed in the center of the hole.

【0020】他方のチョッパ板20bはチョッパ板20
aと同一寸法で同じサイズ及び同じ間隔で対応した位置
に配置された開口部21bを備えている。チョッパ板2
0bは光学測定装置に固定されるものであり、回転しな
いため基準位置を検出する穴25は設けられていない。
チョッパ板20bの中心部には回転軸を通すための穴が
開けられている。
The other chopper plate 20b is a chopper plate 20
An opening 21b is provided at the same size, the same size, and the same interval at the corresponding position. Chopper plate 2
The reference numeral 0b is fixed to the optical measuring device, and does not rotate, so that the hole 25 for detecting the reference position is not provided.
A hole is formed in the center of the chopper plate 20b for passing the rotation shaft.

【0021】チョッパ板20a,20bの具体的な寸法
を示すと、直径は約130mmであり、開口部21a,2
1bは円弧角2°の大きさをもつように形成され、開口
部間の閉口部はそれよりも大きな円弧角3°の大きさを
もつように設定されている。2つのチョッパ板20a,
20bが、このように開口部よりも閉口部のほうが大き
く設定されていることにより、測定光束の光路上におい
て、確実に光束を遮断することができるようになる。
The specific dimensions of the chopper plates 20a and 20b are approximately 130 mm, and the openings 21a and
1b is formed so as to have an arc angle of 2 °, and the closed portion between the openings is set to have a larger arc angle of 3 °. Two chopper plates 20a,
By setting the closing portion of the opening 20b to be larger than the opening as described above, the light beam can be reliably blocked on the optical path of the measurement light beam.

【0022】固定されたチョッパ板20bでは、測定光
束が通過する部分には少なくとも1つの開口部が必要で
あるが、測定光束が通過しない部分には開口部は設けな
くてもよい。
In the fixed chopper plate 20b, at least one opening is required in a portion through which the measurement light beam passes, but no opening may be provided in a portion through which the measurement light beam does not pass.

【0023】図3はチョッパ装置の第2の実施例を概略
的に表したものである。2つのチョッパ板40aと40
bは矩形であり、それぞれに開口部42aと42bが一
直線上に等間隔で配列されている。チョッパ板40aと
40bは互いに平行に配置され、開口部42aと42b
の位置が対応している。チョッパ板40aはボイスコイ
ルモータやピエゾ素子などにより矢印で示されるように
開口部42aの配列に沿った一直線上を往復方向に駆動
される。開口部42aと42bも図2の実施例と同様に
開口部よりも閉口部の方が大きくなるように設定されて
いる。
FIG. 3 schematically shows a second embodiment of the chopper device. Two chopper plates 40a and 40
b is a rectangle, and openings 42a and 42b are arranged at regular intervals on a straight line. The chopper plates 40a and 40b are arranged parallel to each other, and have openings 42a and 42b.
Correspond to the positions. The chopper plate 40a is driven by a voice coil motor, a piezo element, or the like in a reciprocating direction on a straight line along the arrangement of the openings 42a as indicated by arrows. The openings 42a and 42b are also set so that the size of the closed part is larger than that of the opening as in the embodiment of FIG.

【0024】図4は図1の実施例における検出信号を示
したものである。(A)の図の下側にチョッパ1回転デ
ータと示してある範囲は、フォトインタラプタ24によ
りチョッパ板20aの基準位置を穴25により検出し、
次に検出するまでの1回転分の検出信号を表わしたもの
である。その1回転データには開口部21aの数に相当
する数の信号が検出される。(B)はその1部分の信号
について時間軸を拡大して示したものであり、時間軸上
に黒丸で示した位置はA/D変換タイミングを表してい
る。
FIG. 4 shows a detection signal in the embodiment of FIG. In the range shown as chopper 1 rotation data in the lower side of FIG. 2A, the reference position of the chopper plate 20a is detected by the photo interrupter 24 through the hole 25,
This represents a detection signal for one rotation until the next detection. In the one rotation data, a number of signals corresponding to the number of the openings 21a are detected. (B) is an enlarged view of the time axis for one part of the signal, and the position indicated by a black circle on the time axis indicates the A / D conversion timing.

【0025】データ処理装置においてはチョッパ1回転
データと示された領域の整数倍のデータが積算され、又
はさらに平均化されることにより、チョッパ板の位置に
よる開口部のばらつきを平均化することができる。
In the data processing apparatus, data of an integral multiple of the region indicated as chopper one rotation data is integrated or further averaged, so that variations in the openings due to the position of the chopper plate can be averaged. it can.

【0026】[0026]

【発明の効果】本発明のチョッピング装置は、2枚のチ
ョッパ板を隣接して互いに平行に配置し、第1のチョッ
パ板には光透過用開口部が等間隔で一列に配列し、第2
のチョッパ板には第1のチョッパ板の開口部と重なる位
置に少なくとも1つの開口部を形成して、第2のチョッ
パ板を固定し、第1のチョッパ板を両チョッパ板の開口
部の重なり部分が開閉するように移動駆動機構により移
動させるようにしたので、高速チョッピングが可能にな
る。本発明の光学測定装置は、光源光学系から受光光学
系に至る測定光束の光路上に本発明のチョッピング装置
を備えたものであるので、種々の測定を行うに際し、高
速で測定を行うことができ、稼動効率が向上する。
According to the chopping device of the present invention, two chopper plates are arranged adjacent to each other and parallel to each other, and light transmitting openings are arranged in a line at equal intervals in the first chopper plate.
At least one opening is formed in the chopper plate at a position overlapping with the opening of the first chopper plate, the second chopper plate is fixed, and the first chopper plate is overlapped with the openings of both chopper plates. Since the moving drive mechanism is used to open and close the portion, high-speed chopping becomes possible. Since the optical measuring device of the present invention includes the chopping device of the present invention on the optical path of the measuring light beam from the light source optical system to the light receiving optical system, it is possible to perform high-speed measurement when performing various measurements. Operation efficiency is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 一実施例のチョッピング装置と光学測定装置
を概略的に示す概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram schematically showing a chopping device and an optical measurement device according to one embodiment.

【図2】 同実施例における回転する方のチョッパ板を
示す正面図である。
FIG. 2 is a front view showing a rotating chopper plate in the embodiment.

【図3】 チョッパ装置の他の実施例を示す概略斜視図
である。
FIG. 3 is a schematic perspective view showing another embodiment of the chopper device.

【図4】 図1の実施例における検出信号を示す波形図
であり、(A)は広い時間範囲の信号を示したもの、
(B)はその1部分の信号について時間軸を拡大して示
したものである。
4A and 4B are waveform diagrams showing detection signals in the embodiment of FIG. 1, wherein FIG. 4A shows a signal in a wide time range,
(B) is an enlarged view of the time axis for one part of the signal.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

18 モータ 20 チョッピンク装置 20a、20b,40a,40b 21a,21b,42a,42b 光透過用開口部 22 検出器 23 測定光束 24 フォトインタラプタ 26,28 増幅回路 30 A/D変換回路 32 マイクロコンピュータ部 Reference Signs List 18 motor 20 chopping device 20a, 20b, 40a, 40b 21a, 21b, 42a, 42b light transmission opening 22 detector 23 measurement light beam 24 photo interrupter 26, 28 amplification circuit 30 A / D conversion circuit 32 microcomputer section

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 東 昇 大阪府寝屋川市下木田町14番5号 倉敷紡 績株式会社技術研究所内 (72)発明者 横田 博 大阪府寝屋川市下木田町14番5号 倉敷紡 績株式会社技術研究所内 Fターム(参考) 2G059 AA05 BB08 EE01 EE02 EE07 EE12 HH01 HH02 HH03 JJ02 JJ05 JJ24 KK01 LL04 MM01 NN01 2G065 AB02 AB04 AB05 AB22 AB23 AB30 BA01 BB26 BB28 BB37 BC03 BC13 BC22 BC28 BC35 CA01 DA08 2H041 AA04 AB05 AC01 AC04 AZ01 AZ05  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Noboru 14-5 Shimogitacho, Neyagawa-shi, Osaka Kurashiki Textile Co., Ltd. (72) Hiroshi Yokota 14-5 Shimogitacho, Neyagawa-shi, Osaka No. F-term in Kurashiki Textile Co., Ltd. Technical Research Laboratory (reference) 2G059 AA05 BB08 EE01 EE02 EE07 EE12 HH01 HH02 HH03 JJ02 JJ05 JJ24 KK01 LL04 MM01 NN01 2G065 AB02 AB04 AB05 AB22 AB23 AB30 BA01 BB26 BC28 BC02 BC28 BC02 AA04 AB05 AC01 AC04 AZ01 AZ05

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1、第2の2枚のチョッパ板と第1の
チョッパ板の移動を駆動する移動駆動機構を備え、 前記2枚のチョッパ板は隣接して互いに平行に配置さ
れ、第1のチョッパ板には光透過用開口部が等間隔で一
列に配列され、第2のチョッパ板には第1のチョッパ板
の開口部と重なる位置に少なくとも1つの開口部が形成
されており、 第2のチョッパ板は固定されており、第1のチョッパ板
は両チョッパ板の開口部の重なり部分が開閉するように
前記移動駆動機構により移動させられるチョッピング装
置。
A first chopper plate and a movement drive mechanism for driving the movement of the first chopper plate, wherein the two chopper plates are adjacently arranged in parallel with each other; The first chopper plate has light transmission openings arranged in a line at equal intervals, and the second chopper plate has at least one opening formed at a position overlapping with the opening of the first chopper plate. A chopping device in which a second chopper plate is fixed, and the first chopper plate is moved by the moving drive mechanism so as to open and close an overlapping portion of the openings of both chopper plates.
【請求項2】 前記2枚のチョッパ板はいずれも円板状
であり、中心軸を同軸として配置されており、第1のチ
ョッパ板の開口部は円周に沿って配列されており、第1
のチョッパ板はその中心軸を回転軸として前記移動駆動
機構により回転させられる請求項1に記載のチョッピン
グ装置。
2. The two chopper plates are both disk-shaped, are arranged coaxially with a central axis, and the openings of the first chopper plate are arranged along the circumference. 1
The chopping device according to claim 1, wherein the chopper plate is rotated by the movement driving mechanism about a center axis thereof as a rotation axis.
【請求項3】 第1のチョッパ板の開口部は直線上に配
列されており、第1のチョッパ板はその直線方向に沿っ
て往復移動するように前記移動駆動機構により移動させ
られる請求項1に記載のチョッピング装置。
3. The opening of the first chopper plate is arranged in a straight line, and the first chopper plate is moved by the moving drive mechanism so as to reciprocate along the linear direction. 6. The chopping device according to 1.
【請求項4】 前記両チョッパ板の一方のチョッパ板に
形成されている開口部は、他方のチョッパ板に形成され
ている開口部間の閉口部よりも小さく設定されている請
求項1から3のいずれかに記載のチョッピング装置。
4. An opening formed in one of the chopper plates of the two chopper plates is set to be smaller than a closing portion between openings formed in the other chopper plate. The chopping device according to any one of the above.
【請求項5】 測定光束を試料に照射する光源光学系
と、その試料からの光を受光して検出する受光光学系と
を備えた光学測定装置において、 前記光源光学系から受光光学系に至る測定光束の光路上
に請求項1から4のいずれかに記載のチョッピング装置
を備えた光学測定装置。
5. An optical measuring apparatus comprising: a light source optical system for irradiating a sample with a measurement light beam; and a light receiving optical system for receiving and detecting light from the sample, wherein the light source optical system is connected to the light receiving optical system. An optical measuring device comprising the chopping device according to claim 1 on an optical path of a measuring light beam.
【請求項6】 第1のチョッパ板に設けられている開口
部の個数と第1のチョッパ板の駆動周期によって決定さ
れる周波数を中心として、前記受光光学系による検出信
号のフィルタ処理を行なうデータ処理装置を備えている
請求項5に記載の光学測定装置。
6. Data for performing a filtering process of a detection signal by the light receiving optical system around a frequency determined by the number of openings provided in the first chopper plate and a driving cycle of the first chopper plate. The optical measuring device according to claim 5, further comprising a processing device.
【請求項7】 前記データ処理装置は、第1のチョッパ
板の駆動周期の整数倍の時間にわたって検出データを積
算する機能を備えた請求項6に記載の光学測定装置。
7. The optical measurement device according to claim 6, wherein the data processing device has a function of integrating detection data over a time period that is an integral multiple of a driving cycle of the first chopper plate.
JP2001110007A 2001-04-09 2001-04-09 Chopping device and optical measuring instrument using it Pending JP2002310790A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001110007A JP2002310790A (en) 2001-04-09 2001-04-09 Chopping device and optical measuring instrument using it

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001110007A JP2002310790A (en) 2001-04-09 2001-04-09 Chopping device and optical measuring instrument using it

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002310790A true JP2002310790A (en) 2002-10-23

Family

ID=18961856

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001110007A Pending JP2002310790A (en) 2001-04-09 2001-04-09 Chopping device and optical measuring instrument using it

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002310790A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019044954A1 (en) * 2017-08-31 2019-03-07 株式会社フォーサイトテクノ Pulse laser shutter operation method, and pulse laser shutter device
CN111965809A (en) * 2020-07-31 2020-11-20 电子科技大学 Adjustable attenuator for ultraviolet/infrared/visible light full wave band

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50102388U (en) * 1973-12-24 1975-08-23
JPS5245455U (en) * 1975-09-27 1977-03-31
DE2712664A1 (en) * 1977-03-23 1978-09-28 Karl Ross Sign indicator for rotating voltmeters - has optical chopper system using IR emitting diodes and IR sensitive diodes or phototransistors
JPS62147324A (en) * 1985-12-20 1987-07-01 Sanyo Electric Co Ltd Chopper mechanism
JPH04285825A (en) * 1991-03-14 1992-10-09 Fujitsu Ltd Infrared chopper and infrared image sensing device provided with the chopper
JPH06341949A (en) * 1993-06-02 1994-12-13 Tetsudo Kizai Kogyo Kk Concentration measuring device for gas dissolved in liquid

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50102388U (en) * 1973-12-24 1975-08-23
JPS5245455U (en) * 1975-09-27 1977-03-31
DE2712664A1 (en) * 1977-03-23 1978-09-28 Karl Ross Sign indicator for rotating voltmeters - has optical chopper system using IR emitting diodes and IR sensitive diodes or phototransistors
JPS62147324A (en) * 1985-12-20 1987-07-01 Sanyo Electric Co Ltd Chopper mechanism
JPH04285825A (en) * 1991-03-14 1992-10-09 Fujitsu Ltd Infrared chopper and infrared image sensing device provided with the chopper
JPH06341949A (en) * 1993-06-02 1994-12-13 Tetsudo Kizai Kogyo Kk Concentration measuring device for gas dissolved in liquid

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019044954A1 (en) * 2017-08-31 2019-03-07 株式会社フォーサイトテクノ Pulse laser shutter operation method, and pulse laser shutter device
JPWO2019044954A1 (en) * 2017-08-31 2020-08-13 株式会社フォーサイトテクノ Method and device for operating pulse laser shutter
CN111965809A (en) * 2020-07-31 2020-11-20 电子科技大学 Adjustable attenuator for ultraviolet/infrared/visible light full wave band

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2004034911A1 (en) Ultrasonic probe
JPH02269938A (en) Analysis apparatus
EP2698639B1 (en) Test platform, test apparatus and control method thereof
WO2011078713A1 (en) Surface plasmon resonance detection system
JP2002310790A (en) Chopping device and optical measuring instrument using it
JP3591427B2 (en) Spectrophotometer
JP3293350B2 (en) Human body detection device
JP2003065802A (en) Optical encoder
JP2001285755A (en) Electronic equipment with rotation mechanism
KR101084601B1 (en) A rotary wavelength selection system by using laminated film filter
JPH08327317A (en) Heat source detector
GB1581392A (en) Optical bottle inspection apparatus
JPH0820611B2 (en) Rotary optical filter device
JP2001021489A (en) Spectroscopic analyzer
JPH07318817A (en) Optical chopping device
US6172366B1 (en) Device for producing and detecting induced heat radiation
JPH02162261A (en) A/d conversion start timing forming means of automatic analyzer
JPH0513454B2 (en)
JPH04138341A (en) Microspectroscope apparatus
TR2022008657T2 (en) BARCODE READING UNIT FOR AUTOMATIC TUBE SORTING DEVICE
JP2685198B2 (en) Wall thickness measuring device for bottomed cylindrical containers
JP2583868Y2 (en) Object chart and lens focal position detecting device
JPH03108883A (en) Pyroelectric infrared ray detector
JP2000292344A (en) Light passage forming device
JPH06273330A (en) Turbidimeter

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080201

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100105

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100126

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100525