JP2002310665A - Columnar member holding part and vibration gyro manufacturing method using the same - Google Patents

Columnar member holding part and vibration gyro manufacturing method using the same

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JP2002310665A
JP2002310665A JP2001121533A JP2001121533A JP2002310665A JP 2002310665 A JP2002310665 A JP 2002310665A JP 2001121533 A JP2001121533 A JP 2001121533A JP 2001121533 A JP2001121533 A JP 2001121533A JP 2002310665 A JP2002310665 A JP 2002310665A
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克己 藤本
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibration gyro manufacturing method, capable of stably fixing a vibrator and support members with high accuracy, and to provide a columnar member holding part used in the same. SOLUTION: This columnar member holding part 20 is equipped with two longitudinal contact pieces 20a and 20b for horizontally pinching an end part of the vibrator as a columnar member, and two lateral contact pieces 20c and 20d; they are deformed elastically, to widen the space between them by applying pressures to pressing parts 20m and 20n, and the vibrator is disposed in the widened space; and then by removing the pressures the vibrator is disposed at a position and the support members are fixed in this state. This vibration is prevented from looking to the exterior, the stability of vibration is enhance, and the performance of the vibration gyro can be enhanced.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、柱状部材保持部お
よびそれを用いた振動ジャイロの製造方法、具体的には
柱状部材保持部を用いて振動子と支持部材を高精度で位
置決めして固定する振動ジャイロの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a columnar member holding portion and a method of manufacturing a vibrating gyroscope using the same, and more specifically, a highly accurate positioning and fixing of a vibrator and a supporting member using the columnar member holding portion. The present invention relates to a method of manufacturing a vibrating gyroscope.

【0002】[0002]

【従来の技術】図9に、従来の振動ジャイロにおける振
動子部の斜視図を示す。図9において、振動子部1は振
動子2と金属製の支持部材9、10から構成されてい
る。
2. Description of the Related Art FIG. 9 is a perspective view of a vibrator portion of a conventional vibrating gyroscope. In FIG. 9, the vibrator section 1 includes a vibrator 2 and metal supporting members 9 and 10.

【0003】このうち、振動子2は、厚み方向に分極さ
れるとともに一方主面に第1の電極4と第2の電極5が
形成された圧電体基板3と、厚み方向に分極されるとと
もに一方主面に第3の電極7が形成された圧電体基板6
が、互いに分極の方向が逆になるように、第4の電極8
を介して他方主面同士で貼り合わされて構成されてい
る。支持部材9、10は、それぞれ2つのZ字状の屈曲
部を有するように形成されており、圧電体基板6の一方
主面上において、第3の電極7に例えばハンダや導電性
接着剤によって電気的かつ機械的に固定されている。な
お、最終的には圧電体基板3の一方主面上においても、
支持部材9、10と同様に第1の電極4と第2の電極5
にまたがるように2つの支持部材が固定されるが、ここ
では省略している。
[0003] Among them, the vibrator 2 is polarized in the thickness direction and has a piezoelectric substrate 3 having a first electrode 4 and a second electrode 5 formed on one main surface thereof. On the other hand, the piezoelectric substrate 6 having the third electrode 7 formed on the main surface
However, the fourth electrodes 8 are arranged so that the directions of polarization are opposite to each other.
And the other main surfaces are bonded together. The support members 9 and 10 are formed to have two Z-shaped bent portions, respectively, and are provided on the third electrode 7 on one main surface of the piezoelectric substrate 6 by, for example, solder or a conductive adhesive. Electrically and mechanically fixed. In addition, finally, even on one main surface of the piezoelectric substrate 3,
The first electrode 4 and the second electrode 5 like the support members 9 and 10
The two support members are fixed so as to straddle, but are omitted here.

【0004】図10に、振動子2に支持部材9、10を
固定する方法を示すための展開斜視図を示す。
FIG. 10 is an exploded perspective view showing a method of fixing the supporting members 9 and 10 to the vibrator 2.

【0005】図10に示すように、支持部材9、10
は、樹脂からなる枠状の振動子ベース11の枠の内部
に、振動子ベース11の一方の内側面から対向する他方
の内側面へと張り渡されている。ここで、振動子ベース
11は、支持部材9、10を介して振動子2を中空に保
持するとともに、振動子2の振動のエネルギーを枠内に
閉じこめるためのもので、射出成形によって支持部材
9、10と一体に形成されている。
[0005] As shown in FIG.
Is extended from one inner surface of the vibrator base 11 to the other opposing inner surface inside the frame of the vibrator base 11 made of resin. Here, the vibrator base 11 is for holding the vibrator 2 hollow through the support members 9 and 10 and for confining the energy of the vibration of the vibrator 2 in the frame. , 10 are formed integrally.

【0006】振動子2は振動子ベース11の枠の内部に
おいて、支持部材9、10の上に載せられて、その接触
部において例えばハンダや導電性接着剤などによって接
着・固定される。このとき、振動子2は圧電体基板6の
一方主面が支持部材9、10と接触するため、実際には
そこに形成された第3の電極7と金属製の支持部材9、
10が電気的かつ機械的に接続されることになる。
The vibrator 2 is mounted on supporting members 9 and 10 inside the frame of the vibrator base 11, and is adhered and fixed at a contact portion thereof with, for example, solder or a conductive adhesive. At this time, since the vibrator 2 has one main surface of the piezoelectric substrate 6 in contact with the support members 9 and 10, the third electrode 7 and the metal support member 9,
10 will be electrically and mechanically connected.

【0007】振動子2の振動が極力妨げられることが無
く、しかも振動子2の振動が振動子ベース11から外に
極力漏れることが無いように、振動子2に支持部材9、
10を固定する際には、振動子2は支持部材9、10の
所定の位置、実際には中央部に位置決めする必要があ
る。そこで、振動子ベース11の対向する2つの側壁の
内側には、振動子2の両端を保持して支持部材9、10
に対して位置決めする柱状部材保持部12、13が設け
られている。
The vibrator 2 is provided with a support member 9 so that the vibration of the vibrator 2 is not obstructed as much as possible and the vibration of the vibrator 2 does not leak out of the vibrator base 11 as much as possible.
When fixing the vibrator 10, the vibrator 2 needs to be positioned at a predetermined position of the support members 9 and 10, actually at the center. Therefore, inside the two opposing side walls of the vibrator base 11, both ends of the vibrator 2 are held to support members 9, 10.
The columnar member holding portions 12 and 13 for positioning with respect to are provided.

【0008】ここで、図11に柱状部材保持部12の拡
大斜視図を示す。柱状部材保持部12は、振動子2の一
方の端面に当接する長手方向当接片12a、振動子2の
一方の端部の幅方向両側面に当接する幅方向当接片12
bおよび12c、振動子2の一方の端部の底面に当接す
る底面当接片12d、腕部12eおよび12fを一体に
して構成されている。腕部12eおよび12fは、それ
ぞれ一端が幅方向当接片12bおよび12cに接続さ
れ、他端が振動子ベース11の側壁の内側面に接続され
ることによって、長手方向当接片12a、幅方向当接片
12bおよび12c、底面当接片12dを振動子ベース
11の側壁の内側の中空に保持している。振動子ベース
11の長手方向当接片12に近接する部分には、両者が
接触しないように、逃げのための凹部が形成されてい
る。なお、詳細な説明は省略するが、柱状部材保持部1
3も柱状部材保持部12と全く同様に構成されている。
FIG. 11 is an enlarged perspective view of the columnar member holding section 12. As shown in FIG. The columnar member holding portion 12 includes a longitudinal contact piece 12a that abuts one end face of the vibrator 2 and a width contact piece 12a that abuts both side faces in the width direction of one end of the vibrator 2.
b and 12c, a bottom surface contact piece 12d that contacts the bottom surface of one end of the vibrator 2, and arm portions 12e and 12f are integrally formed. The arm portions 12e and 12f have one ends connected to the width-direction abutting pieces 12b and 12c, respectively, and the other end connected to the inner side surface of the side wall of the vibrator base 11, so that the longitudinal-direction abutting pieces 12a and the width direction The contact pieces 12b and 12c and the bottom contact piece 12d are held in the hollow inside the side wall of the vibrator base 11. A concave portion for escape is formed in a portion of the vibrator base 11 close to the longitudinal contact piece 12 so that they do not contact each other. Although detailed description is omitted, the columnar member holding unit 1
3 is configured in exactly the same manner as the columnar member holding portion 12.

【0009】振動子2は、このように構成された柱状部
材保持部12、13によって支持部材9、10上の所定
の場所に位置決めされ、その状態で支持部材9、10に
固定される。そして、振動子2と支持部材9、10の固
定後は、振動子2の振動の妨げにならないように、腕部
12e、12fを振動子ベース11との接続部あるいは
適当な位置で切断することによって、柱状部材保持部1
2は取り除かれる。柱状部材保持部13についても同様
に取り除かれる。
The vibrator 2 is positioned at a predetermined position on the support members 9 and 10 by the columnar member holding portions 12 and 13 configured as described above, and is fixed to the support members 9 and 10 in that state. After the vibrator 2 and the support members 9 and 10 are fixed, the arms 12e and 12f are cut at a connection portion with the vibrator base 11 or at an appropriate position so as not to hinder the vibration of the vibrator 2. The columnar member holding portion 1
2 is removed. The columnar member holder 13 is similarly removed.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】図11に示した柱状部
材保持部12、13の場合、柱状部材保持部12の長手
方向当接片12aと柱状部材保持部13の長手方向当接
片の間隔は、振動子2の長さが多少ばらついても収納で
きるように、振動子2の長さよりわずかに大きく形成さ
れている。また、柱状部材保持部12の幅方向当接片1
2bと12cの間隔も、振動子2の幅が多少ばらついて
も収納できるように、振動子2の幅よりわずかに大きく
形成されている。柱状部材保持部13における幅方向当
接片についても同様に形成されている。
In the case of the columnar member holders 12 and 13 shown in FIG. 11, the distance between the longitudinal abutment piece 12a of the columnar member holder 12 and the longitudinal abutment piece of the columnar member holder 13 is shown. Is formed slightly larger than the length of the vibrator 2 so that it can be accommodated even if the length of the vibrator 2 varies somewhat. The width direction contact piece 1 of the columnar member holding portion 12
The interval between 2b and 12c is also formed slightly larger than the width of the vibrator 2 so that it can be accommodated even if the width of the vibrator 2 varies somewhat. The width direction contact piece in the columnar member holding portion 13 is formed in the same manner.

【0011】そのため、振動子2は柱状部材保持部12
と13で保持された状態においても、長手方向および幅
方向にわずかながら移動可能となり、それによって振動
子2と支持部材9、10との位置決め精度が十分に得ら
れないという問題がある。また、接着剤の硬化時の熱や
振動によって、硬化の前後において振動子2と支持部材
9、10との位置関係が変化する可能性もある。そし
て、振動子2と支持部材9、10との位置決め精度が不
十分な場合には、振動子2の振動が不安定になったり、
振動が外部に漏れるということがおきる。
For this reason, the vibrator 2 is provided with the columnar member holding portion 12.
Even in the state where the vibrator 2 and the support members 9 and 10 are held in the state where the vibrator 2 and the supporting members 9 and 10 are not sufficiently obtained, there is a problem in that they can be slightly moved in the longitudinal direction and the width direction. Further, there is a possibility that the positional relationship between the vibrator 2 and the support members 9 and 10 before and after the curing may be changed due to heat or vibration during curing of the adhesive. If the positioning accuracy between the vibrator 2 and the support members 9 and 10 is insufficient, the vibration of the vibrator 2 becomes unstable,
Vibration leaks to the outside.

【0012】また、振動子2の位置決め精度を改善する
ために、振動子2を柱状部材保持部内において長手方向
や幅方向における1つの方向に押しつけるような機構を
設けることも考えられるが、その場合には振動子2のば
らつきに偏りが生じ、特に振動ジャイロの温度特性に何
らかの傾きを与えてしまう可能性がある。
In order to improve the positioning accuracy of the vibrator 2, it is conceivable to provide a mechanism for pressing the vibrator 2 in one of the longitudinal direction and the width direction in the columnar member holding portion. In this case, there is a possibility that the variation of the vibrator 2 is biased and the temperature characteristic of the vibrating gyroscope is given some inclination.

【0013】さらに、振動子2は自重によって支持部材
9、10に押しつけられているだけであるため、振動子
の小型化・軽量化が進むことによって振動子を支持部材
に押しつける力が不足し、接着剤の硬化時に振動子2が
支持部材9、10から浮いて導通不良が発生しやすくな
るという問題もある。
Further, since the vibrator 2 is only pressed against the supporting members 9 and 10 by its own weight, the force for pressing the vibrator against the supporting member is insufficient due to the progress of miniaturization and weight reduction of the vibrator. There is also a problem that the vibrator 2 floats from the support members 9 and 10 when the adhesive is hardened, so that poor conduction is likely to occur.

【0014】本発明は上記の問題点を解決することを目
的とするもので、振動子と支持部材を高い位置精度で安
定に固定することのできる振動ジャイロの製造方法およ
びそれに用いられる柱状部材保持部を提供する。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and a method of manufacturing a vibrating gyroscope capable of stably fixing a vibrator and a support member with high positional accuracy and a columnar member holding used therefor Provide department.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の柱状部材保持部は、所定の長さと幅を有す
る柱状部材の両端部を保持して所定の位置に位置決めす
る柱状部材保持部であって、前記柱状部材の2つの端部
を、前記柱状部材の長さより短い間隔をあけて前記柱状
部材の長手方向から挟むように配置されるとともに、そ
れぞれ前記柱状部材の幅方向に2つに分けて構成される
合計4つの長手方向当接片と、前記柱状部材の2つの端
部を、それぞれ前記柱状部材の端部の幅より狭い間隔を
あけて前記柱状部材の幅方向から挟むように配置される
4つの幅方向当接片と、外部からの圧力が印加される4
つの押圧部とを備え、前記柱状部材の2つの端部に対応
する位置において、互いに隣接して配置されるそれぞれ
1つの前記長手方向当接片と前記幅方向当接片と前記押
圧部が一体に形成されるとともに、前記4つの押圧部に
圧力を加えて弾性変形させることによって前記4つの押
圧部にそれぞれ一体に形成される前記長手方向当接片と
前記幅方向当接片が移動して、互いに対向する2つの前
記長手方向当接片の間隔と互いに対向する2つの前記幅
方向当接片の間隔がそれぞれ一時的に前記柱状部材の長
さおよび前記柱状部材の端部の幅より拡大するように形
成されていることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a columnar member holding portion of the present invention is a columnar member which holds both ends of a columnar member having a predetermined length and width and positions it at a predetermined position. In the holding portion, the two end portions of the columnar member are arranged so as to be sandwiched from the longitudinal direction of the columnar member at intervals shorter than the length of the columnar member, and are respectively arranged in the width direction of the columnar member. A total of four longitudinal contact pieces, which are divided into two, and two ends of the columnar member are separated from the width direction of the columnar member at intervals smaller than the width of the end of the columnar member. Four width-direction abutting pieces arranged so as to sandwich the same, and four to which external pressure is applied.
At one position corresponding to the two ends of the columnar member, each one of the longitudinal contact pieces, the width contact pieces, and the press parts, which are arranged adjacent to each other, are integrated. The longitudinal abutment piece and the width abutment piece, which are respectively formed integrally with the four pressing portions by applying pressure to the four pressing portions and elastically deforming, are moved. The distance between the two longitudinal contact pieces facing each other and the distance between the two width contact pieces facing each other are temporarily larger than the length of the columnar member and the width of the end of the columnar member. It is characterized by being formed so that it does.

【0016】また、本発明の柱状部材保持部は、前記4
つの長手方向当接片、前記4つの幅方向当接片、および
前記4つの押圧部が、前記柱状部材が位置決めされる位
置決め対象とともに1つの金属板を加工してなるリード
フレームとして形成されていることを特徴とする。
Further, the columnar member holding portion of the present invention is characterized in that:
The two longitudinal contact pieces, the four width contact pieces, and the four pressing portions are formed as a lead frame formed by processing one metal plate together with a positioning target on which the columnar member is positioned. It is characterized by the following.

【0017】また、本発明の信号ジャイロの製造方法
は、上記の前者の柱状部材保持部を用い、前記柱状部材
である振動子に、該振動子を支持する支持部材を固定す
る振動ジャイロの製造方法であって、前記柱状部材保持
部の押圧部に圧力を加えて弾性変形させることによっ
て、互いに対向する2つの前記長手方向当接片の間隔と
互いに対向する2つの前記幅方向当接片の間隔を、それ
ぞれ一時的に前記振動子の長さおよび前記振動子の端部
の幅より広げる第1の工程と、前記第1の工程によって
広がった互いに対向する2つの前記長手方向当接片の間
であって、かつ互いに対向する2つの前記幅方向当接片
の間に、前記振動子を配置する第2の工程と、前記柱状
支持部材保持部の押圧部に加えていた圧力を取り去るこ
とによって、互いに対向する2つの前記長手方向当接片
および2つの前記幅方向当接片で前記振動子を挟持し
て、前記振動子を前記支持部材に対して位置決めする第
3の工程と、前記支持部材を前記振動子に固定する第4
の工程と、前記振動子から前記柱状部材保持部を取り除
く第5の工程と、を有することを特徴とする。
Further, the method of manufacturing a signal gyro according to the present invention is directed to a method of manufacturing a vibrating gyroscope using the former columnar member holding portion and fixing a supporting member supporting the vibrator to the vibrator as the columnar member. A method of applying a pressure to a pressing portion of the columnar member holding portion to elastically deform the pressing portion, so that a space between the two facing longitudinal contact pieces and a width of the two facing width contact pieces facing each other. A first step of temporarily increasing the interval from the length of the vibrator and the width of the end of the vibrator, respectively, and two longitudinal contact pieces opposing each other, which are widened by the first step. A second step of disposing the vibrator between the two width-direction abutting pieces that are opposed to each other, and removing pressure applied to a pressing portion of the columnar supporting member holding portion. By each other A third step of sandwiching the vibrator between the two longitudinal contact pieces and the two width contact pieces to position the vibrator with respect to the support member; and 4th fixed to the vibrator
And a fifth step of removing the columnar member holding portion from the vibrator.

【0018】また、本発明の振動ジャイロの製造方法
は、リードフレームとして形成された上記の後者の柱状
部材保持部および前記位置決め対象である支持部材を用
い、前記柱状部材である振動子に、該振動子を支持する
前記支持部材を固定する振動ジャイロの製造方法であっ
て、前記リードフレームの前記柱状部材保持部の押圧部
に圧力を加えて弾性変形させることによって、互いに対
向する2つの前記長手方向当接片の間隔と互いに対向す
る2つの前記幅方向当接片の間隔を、それぞれ一時的に
前記振動子の長さおよび前記振動子の端部の幅より広げ
る第1の工程と、前記第1の工程によって広がった互い
に対向する2つの前記長手方向当接片の間であって、か
つ互いに対向する2つの前記幅方向当接片の間に、前記
振動子を配置する第2の工程と、前記柱状支持部材保持
部の押圧部に加えていた圧力を取り去ることによって、
互いに対向する2つの前記長手方向当接片および2つの
前記幅方向当接片で前記振動子を挟持して、前記振動子
を前記支持部材に対して位置決めする第3の工程と、前
記支持部材を前記振動子に固定する第4の工程と、前記
リードフレームから前記支持部材を切り離すことによっ
て、前記振動子から前記柱状部材保持部を取り除く第5
の工程と、を有することを特徴とする。
Further, the method for manufacturing a vibrating gyroscope according to the present invention uses the latter columnar member holding portion formed as a lead frame and the supporting member to be positioned, and further comprises: A method of manufacturing a vibrating gyroscope that fixes the supporting member that supports a vibrator, the method including applying pressure to a pressing portion of the columnar member holding portion of the lead frame to elastically deform the pressing member, thereby forming the two longitudinally opposed longitudinal members. A first step of temporarily widening the interval between the two width-direction abutting pieces and the interval between the two width-direction abutting pieces that are opposed to each other, more than the length of the vibrator and the width of the end of the vibrator; Disposing the vibrator between the two longitudinal contact pieces facing each other spread by the first step and between the two width contact pieces facing each other; And step, by removing the pressure that has been added to the pressing portion of the columnar support member holding portion,
A third step of sandwiching the vibrator between the two longitudinal contact pieces and the two width contact pieces facing each other and positioning the vibrator with respect to the support member; A fourth step of fixing the columnar member holding section from the vibrator by separating the support member from the lead frame.
And a step of:

【0019】このように構成および実施することによ
り、本発明の柱状部材保持部およびそれを用いた振動ジ
ャイロの製造方法においては、振動子と支持部材を高い
位置精度で安定に固定することができる。
With such a configuration and implementation, in the columnar member holding portion and the method of manufacturing a vibrating gyroscope using the same according to the present invention, the vibrator and the supporting member can be stably fixed with high positional accuracy. .

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】図1に、本発明の柱状部材保持部
の一実施例の拡大斜視図を示す。また、図2にその平面
図を、図3にその正面図を示す。図1ないし3におい
て、図11と同一の部分には同じ記号を付し、その説明
を省略する。
FIG. 1 is an enlarged perspective view of one embodiment of a columnar member holding portion of the present invention. FIG. 2 is a plan view and FIG. 3 is a front view. 1 to 3, the same parts as those in FIG. 11 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0021】図1において、柱状部材保持部20は、振
動子2の一方の端面に当接する長手方向当接片20aお
よび20b、振動子2の一方の端部の幅方向両側面に当
接する幅方向当接片20cおよび20d、振動子2の一
方の端部の底面に当接する底面当接片20eおよび20
f、腕部20gおよび20h、固定部20iおよび20
jから構成されている。このうち、長手方向当接片20
a、幅方向当接片20c、底面当接片20e、腕部20
g、固定部20iが一体に形成されている。また、長手
方向当接片20b、幅方向当接片20d、底面当接片2
0f、腕部20h、固定部20jも一体に形成されてい
る。固定部20i、20jは振動子ベース11の1つの
側壁の内側面に接続され、固定部20iと幅方向当接片
20cは腕部20gを介して、固定部20jと幅方向当
接片20dは腕部20hを介してそれぞれ接続されてい
る。すなわち、固定部20iと腕部20gで長手方向当
接片20a、幅方向当接片20c、底面当接片20eを
振動子ベース11の内側面中空に保持している。また、
固定部20jと腕部20hで長手方向当接片20b、幅
方向当接片20d、底面当接片20fを振動子ベース1
1の側壁の内側の中空に保持している。
In FIG. 1, the columnar member holding portion 20 has longitudinal contact pieces 20a and 20b which contact one end face of the vibrator 2, and widths which contact both side faces in the width direction of one end of the vibrator 2. Direction contact pieces 20c and 20d, bottom contact pieces 20e and 20 that contact the bottom face of one end of the vibrator 2.
f, arms 20g and 20h, fixing portions 20i and 20
j. Among them, the longitudinal contact piece 20
a, width direction contact piece 20c, bottom contact piece 20e, arm part 20
g, the fixing portion 20i is integrally formed. Also, a longitudinal contact piece 20b, a width contact piece 20d, a bottom contact piece 2
0f, the arm portion 20h, and the fixing portion 20j are also integrally formed. The fixing portions 20i and 20j are connected to the inner side surface of one side wall of the vibrator base 11, and the fixing portion 20i and the width direction contact piece 20c are connected to each other via the arm portion 20g. Each is connected via an arm 20h. That is, the fixing portion 20i and the arm portion 20g hold the longitudinal contact piece 20a, the width contact piece 20c, and the bottom contact piece 20e hollow inside the transducer base 11. Also,
The fixing portion 20j and the arm portion 20h connect the longitudinal contact piece 20b, the width contact piece 20d, and the bottom contact piece 20f to the vibrator base 1.
1 is held in the hollow inside the side wall.

【0022】この柱状部材保持部20においては、長手
方向当接片20aと20bが従来の柱状部材保持部12
における長手方向当接片12aに相当する。また、底面
当接片20fと20gが従来の柱状部材保持部12にお
ける底面当接片12dに相当する。
In the columnar member holding section 20, the longitudinal contact pieces 20a and 20b are formed by the conventional columnar member holding section 12a.
Corresponds to the longitudinal contact piece 12a. The bottom contact pieces 20f and 20g correspond to the bottom contact piece 12d in the conventional columnar member holding portion 12.

【0023】なお、振動子ベース11の柱状部材保持部
20が設けられた側壁と対向するもう1つの側壁の内側
にも同様の構成のもう1つの柱状部材保持部が設けられ
ている。
Further, another columnar member holding portion having the same configuration is provided inside another side wall of the vibrator base 11 opposite to the side wall on which the columnar member holding portion 20 is provided.

【0024】柱状部材保持部20の長手方向当接片20
aおよび20bと対向するもう1つの柱状部材保持部の
2つの長手方向当接片との間隔は、振動子2の長さより
わずかに短く形成されている。また、柱状部材保持部2
0の幅方向当接片20cと20dの間隔は、振動子2の
幅よりわずかに短く形成されている。対向するもう1つ
の柱状部材保持部における幅方向当接片についても同様
に形成されている。
The longitudinal contact piece 20 of the columnar member holding portion 20
The distance between a and 20b and the two longitudinal contact pieces of the other columnar member holding portion facing each other is formed slightly shorter than the length of the vibrator 2. In addition, the columnar member holding section 2
The interval between the zero width direction contact pieces 20c and 20d is formed slightly shorter than the width of the vibrator 2. The widthwise abutting piece of another opposing columnar member holding portion is similarly formed.

【0025】固定部20i、20jは四角形の板状に形
成され、その一辺が振動子ベース11の側壁に接続され
ている。そのため、固定部20i、20jの振動子ベー
スに接続されていない方の2つのコーナー部分は、上下
方向からの圧力に対して変形しやすくなっている。さら
に、内部に略三角形状の穴が設けられているため、特に
腕部20g、20hとの接続位置に近いコーナー部分が
変形しやすくなっている。本発明においては、この部分
を押圧部と呼び、固定部20i、20jの押圧部の符号
をそれぞれ20m、20nとする。なお、対向するもう
1つの側壁に接続して設けられた柱状部材保持部におい
ても同様に押圧部を有している。
The fixing portions 20 i and 20 j are formed in a rectangular plate shape, and one side thereof is connected to the side wall of the vibrator base 11. Therefore, the two corner portions of the fixed portions 20i and 20j, which are not connected to the vibrator base, are easily deformed by pressure from the vertical direction. Further, since a substantially triangular hole is provided in the inside, particularly, a corner portion near the connection position with the arm portions 20g and 20h is easily deformed. In the present invention, this portion is called a pressing portion, and the reference numerals of the pressing portions of the fixed portions 20i and 20j are 20m and 20n, respectively. The columnar member holding portion provided to be connected to another opposing side wall also has a pressing portion.

【0026】このように構成された柱状部材保持部20
を用いた振動ジャイロの製造方法について以下に説明す
る。
The columnar member holding section 20 thus configured
A method of manufacturing a vibrating gyroscope using the method will be described below.

【0027】まず第1の工程として、振動子ベース11
に設けられた柱状部材保持部20の2つの固定部20
i、20jの押圧部20m、20nに下から上に向かう
圧力を加える。実際には押圧部20m、20nをピンの
ようなもので下から突き上げる。それによって、固定部
20i、20jは上方に反るように弾性変形する。この
とき、押圧部20m、20nの近傍に接続されている腕
部20g、20fも、特に幅方向当接片20c、20d
と接続されている方の端部が大きく上方に移動する。た
だ、この場合、固定部20i、20jの振動子ベース1
1との接続部が変形の支点になるため、腕部20g、2
0fの幅方向当接片20c、20dと接続されている方
の端部は単に上方に移動するだけではなく、互いに離
れ、しかも振動子ベース11の固定部20i、20jが
接続されている側壁に近づくように移動する。これに従
って、腕部20gに接続されている長手方向当接片20
aと幅方向当接片20cと底部当接片20e、および腕
部20hに接続されている長手方向当接片20bと幅方
向当接片20dと底部当接片20fも、上方に移動する
とともに、互いに離れ、しかも振動子ベース11の固定
部20i、20jが接続されている側壁に近づくように
移動する。なお、柱状部材保持部20と対向するもう1
つの柱状部材保持部においても、押圧部に同様の圧力が
加えられ、長手方向当接片と幅方向当接片と底部当接片
が同様の動きをする。
First, as a first step, the vibrator base 11
Fixing portions 20 of columnar member holding portions 20 provided in
Pressure is applied upward from below to the pressing portions 20m and 20n of i and 20j. Actually, the pressing portions 20m and 20n are pushed up from below with a pin-like material. Thereby, the fixing portions 20i and 20j are elastically deformed so as to warp upward. At this time, the arm portions 20g and 20f connected near the pressing portions 20m and 20n are also particularly the width direction contact pieces 20c and 20d.
The end that is connected to moves significantly upward. However, in this case, the vibrator base 1 of the fixed portions 20i and 20j
Since the connection portion with 1 serves as a fulcrum of deformation, the arm portion 20g, 2
The ends connected to the width-wise abutting pieces 20c, 20d of 0f not only move upward but also separate from each other, and are attached to the side walls to which the fixed parts 20i, 20j of the vibrator base 11 are connected. Move closer. According to this, the longitudinal contact piece 20 connected to the arm 20g
a, the width direction contact piece 20c and the bottom contact piece 20e, and the longitudinal direction contact piece 20b, the width direction contact piece 20d and the bottom contact piece 20f connected to the arm 20h also move upward. Are moved away from each other and closer to the side wall to which the fixing portions 20i and 20j of the vibrator base 11 are connected. In addition, another one facing the columnar member holding portion 20 is provided.
In the two columnar member holding portions, the same pressure is applied to the pressing portions, and the longitudinal contact pieces, the width contact pieces, and the bottom contact pieces move in the same manner.

【0028】図4および図5に、このときの柱状部材保
持部20の動作を示す正面図とA−A断面図を示す。図
4および図5において、(a)は押圧部に圧力を加える
前の状態、(b)は圧力を加えている状態をそれぞれ示
している。
FIGS. 4 and 5 are a front view and an AA sectional view showing the operation of the columnar member holding section 20 at this time. 4 and 5, (a) shows a state before pressure is applied to the pressing portion, and (b) shows a state where pressure is applied.

【0029】図4(a)に示すように、押圧部20m、
20nに圧力を加える前の柱状部材保持部20の2つの
幅方向当接片20cと20dの間隔はW1で、振動子2
の一端の幅より狭くなるように設定されている。そし
て、図4(b)に示すように、押圧部20m、20nに
圧力を加えて固定部20i、20jを弾性変形させるこ
とによって、2つの幅方向当接片20cと20dの間隔
はW2に拡がる。この間隔w2が振動子の端部の幅より
大きくなるように、押圧部20m、20nに加える圧力
をあらかじめ決めてある。なお、図4(b)において、
2つの白抜き矢印は、押圧部20m、20nに加える圧
力とその方向を示している。
As shown in FIG. 4A, the pressing portion 20m,
Before applying pressure to 20n, the interval between the two widthwise contact pieces 20c and 20d of the columnar member holding portion 20 is W1, and the vibrator 2
Is set so as to be narrower than the width of one end. Then, as shown in FIG. 4B, by applying pressure to the pressing portions 20m and 20n to elastically deform the fixing portions 20i and 20j, the interval between the two widthwise abutting pieces 20c and 20d increases to W2. . The pressure applied to the pressing portions 20m and 20n is determined in advance so that the interval w2 is larger than the width of the end of the vibrator. In FIG. 4B,
Two white arrows indicate the pressure applied to the pressing portions 20m and 20n and the directions thereof.

【0030】また、図5(a)に示すように、押圧部2
0m、20nに圧力を加える前の柱状部材保持部20の
長手方向当接片20aおよび20bと対向するもう1つ
の柱状部材保持部の2つの長手方向当接片との間隔はL
1で、振動子2の長さよりわずかに短くなるように設定
されている。そして、図5(b)に示すように、押圧部
20m、20nに圧力を加えて固定部20i、20jを
弾性変形させることによって、それぞれ2つずつの長手
方向当接片の間隔はL2に拡がる。この間隔L2が振動
子の長さより大きくなるように、押圧部20m、20n
に加える圧力をあらかじめ決めてある。
Further, as shown in FIG.
Before applying pressure to 0 m and 20 n, the distance between the longitudinal contact pieces 20 a and 20 b of the columnar member holding section 20 and the two longitudinal contact pieces of the other columnar member holding section facing each other is L.
1 is set to be slightly shorter than the length of the vibrator 2. Then, as shown in FIG. 5B, by applying pressure to the pressing portions 20m and 20n to elastically deform the fixing portions 20i and 20j, the interval between each two longitudinal contact pieces increases to L2. . The pressing parts 20m, 20n
The pressure to be applied is predetermined.

【0031】このように、第1の工程として押圧部20
m、20nに圧力を加えることによって、簡単に柱状部
材保持部20の長手方向当接片20aおよび20bと、
対向するもう1つの柱状部材保持部の長手方向当接片の
間隔を振動子2の長さより大きくすることができる。ま
た、柱状部材保持部20の幅方向当接片20cと20d
の間隔、およびもう1つの柱状部材保持部の2つの幅方
向当接片の間隔を振動子2の幅より大きくすることがで
きる。
As described above, as the first step, the pressing portion 20
By applying pressure to m and 20n, the longitudinal contact pieces 20a and 20b of the columnar member holding portion 20 can be easily formed,
The interval between the longitudinal contact pieces of the other columnar member holding portion facing each other can be made larger than the length of the vibrator 2. Also, the width direction contact pieces 20c and 20d of the columnar member holding portion 20 are provided.
And the distance between the two widthwise contact pieces of the other columnar member holding portion can be made larger than the width of the vibrator 2.

【0032】次に、第2の工程として、第1の工程によ
って広がった互いに2つの柱状部材保持部の対向する2
つずつの長手方向当接片の間であって、かつ互いに対向
する2つずつの幅方向当接片の間であって、しかも対向
する2つの底部当接片の上に振動子2を配置する。この
状態においては振動子2は水平方向に移動し得るため、
その位置精度は十分ではない。
Next, as a second step, two opposing columns of the two columnar member holding portions spread by the first step.
The vibrator 2 is arranged between two longitudinal contact pieces and between two width contact pieces opposing each other, and on two opposing bottom contact pieces. I do. In this state, the vibrator 2 can move in the horizontal direction.
Its position accuracy is not enough.

【0033】次に、第3の工程として、柱状部材保持部
20の押圧部20m、20nおよびもう1つの柱状部材
保持部の押圧部に加えていた圧力を取り去る。これによ
って柱状部材保持部20の固定部20i、20jおよび
もう1つの柱状部材保持部の固定部の変形が解消され、
長手方向当接片および幅方向当接片および底部当接片が
元の位置に戻る。その際、振動子2は4つの長手方向当
接片によって長手方向から挟まれ、それぞれ2つの幅方
向当接片によってその端部が幅方向から挟まれて支持部
材9、10に対して位置決めされる。その際、振動子2
にはいずれかの方向から偏った圧力が加えられているわ
けではないので、対向するそれぞれ4つの長手方向当接
片および幅方向当接片の略中央部に位置することにな
り、支持部材9、10に対して高い精度で位置決めされ
る。しかも、振動子2には水平方向四方から力が加わっ
ている状態であるため、外部からの力が加わらない限り
水平方向への移動の自由度はない。
Next, as a third step, the pressure applied to the pressing portions 20m and 20n of the columnar member holding portion 20 and the pressing portion of the other columnar member holding portion is removed. Thereby, the deformation of the fixing portions 20i and 20j of the columnar member holding portion 20 and the fixing portion of the other columnar member holding portion is eliminated,
The longitudinal abutment, the width abutment and the bottom abutment return to their original positions. At this time, the vibrator 2 is sandwiched in the longitudinal direction by the four longitudinal contact pieces, and its end is sandwiched in the width direction by the two width contact pieces to be positioned with respect to the support members 9 and 10. You. At that time, vibrator 2
Is not necessarily biased from either direction, so that it is located at approximately the center of the four opposing longitudinal contact pieces and the widthwise contact pieces, respectively, and , 10 with high accuracy. In addition, since a force is applied to the vibrator 2 from all four directions in the horizontal direction, there is no degree of freedom of movement in the horizontal direction unless an external force is applied.

【0034】さらに、振動子2は、支持部材9、10に
対して位置決めされるだけではなく、長手方向当接片や
幅方向当接片によって挟まれ、しかも弾性変形した固定
部が元に戻ろうとする力によって、下の方向に力が加え
られている。すなわち支持部材9、10に押しつけられ
ている。そのため、振動子2の自重によって支持部材
9、10と接触する場合に比較して両者が互いに押しつ
けられる力が強く、接触部の位置が安定する。
Further, the vibrator 2 is not only positioned with respect to the support members 9 and 10, but also sandwiched between the longitudinal contact pieces and the width contact pieces, and the elastically deformed fixed portion returns to its original position. A force is applied in the downward direction by the force that is going to be applied. That is, they are pressed against the support members 9 and 10. Therefore, compared with the case where the vibrator 2 comes into contact with the support members 9 and 10 due to its own weight, the force of pressing the two members against each other is stronger, and the position of the contact portion is stabilized.

【0035】なお、このとき振動子2と支持部材9、1
0の接触部の少なくとも一方側にはハンダや導電性接着
剤が塗布されているものとする。
At this time, the vibrator 2 and the support members 9, 1
It is assumed that solder or a conductive adhesive is applied to at least one side of the zero contact portion.

【0036】次に、第4の工程として、ハンダを溶かし
たり導電性接着剤に熱を加えて硬化させるなどして振動
子2と支持部材9、10を固定する。その際、振動子2
と支持部材9、10が互いに押しつけられているため
に、両者の位置関係が変化したり導通不良が発生したり
する可能性はほとんど無い。
Next, as a fourth step, the vibrator 2 and the supporting members 9 and 10 are fixed by melting solder or applying heat to the conductive adhesive to cure the conductive adhesive. At that time, vibrator 2
Since the and the support members 9 and 10 are pressed against each other, there is almost no possibility that the positional relationship between them and the conduction failure will occur.

【0037】最後に、第5の工程として、振動子ベース
11の側壁と2つの柱状部材保持部の4つの固定部との
接続部、あるいは2つの柱状部材保持部の4つの腕部の
適当な位置が切断されることによって、2つの柱状部材
保持部が取り除かれる。
Finally, as a fifth step, a connection portion between the side wall of the vibrator base 11 and the four fixing portions of the two columnar member holding portions, or an appropriate one of the four arm portions of the two columnar member holding portions. By cutting the position, the two columnar member holding portions are removed.

【0038】このように、本発明の振動ジャイロの製造
方法においては、柱状部材保持部20を備えた振動子ベ
ース11を用いることによって、支持部材9、10を振
動子2に高い位置精度で安定に固定することができる。
また、柱状部材保持部には振動子を支持部材に押しつけ
る機能を持っているため、振動子が軽量化しても支持部
材との接続が不安定になることがなく、導通不良の発生
を防止することができる。そして、支持部材と振動子と
の位置精度を高め、安定に固定することによって、振動
子の振動の安定性を向上させ、しかも振動が外部に漏れ
るのを防止することができる。
As described above, in the method for manufacturing a vibrating gyroscope according to the present invention, by using the vibrator base 11 having the columnar member holding portion 20, the supporting members 9, 10 can be stably mounted on the vibrator 2 with high positional accuracy. Can be fixed.
In addition, since the columnar member holding portion has a function of pressing the vibrator against the support member, even if the vibrator is reduced in weight, connection with the support member does not become unstable, and occurrence of poor conduction is prevented. be able to. Then, by increasing the positional accuracy between the support member and the vibrator and fixing the vibrator stably, the stability of the vibration of the vibrator can be improved and the vibration can be prevented from leaking to the outside.

【0039】ところで、振動ジャイロの製造方法におい
て、振動子を固定する支持部材は必ずしもあらかじめ振
動子ベースと一体に形成されているわけではない。例え
ばフープ状のリードフレームの一部として支持部材が供
給され、リードフレームの状態で支持部材と振動子を固
定し、その後でリードフレームから振動子ごと支持部材
をカットして振動子ベースに固定するという製造方法も
考えられる。その際、リードフレームに支持部材ととも
に柱状部材保持部が一体に形成されていれば、支持部材
と振動子との位置精度をさらに向上させることができ
る。
By the way, in the method of manufacturing the vibrating gyroscope, the supporting member for fixing the vibrator is not always formed integrally with the vibrator base in advance. For example, a supporting member is supplied as a part of a hoop-shaped lead frame, and the supporting member and the vibrator are fixed in the state of the lead frame, and thereafter, the supporting member is cut together with the vibrator from the lead frame and fixed to the vibrator base. Such a manufacturing method is also conceivable. At this time, if the columnar member holding portion is formed integrally with the support member on the lead frame, the positional accuracy between the support member and the vibrator can be further improved.

【0040】図6に、このようなリードフレームに支持
部材と一体に形成された、本発明の柱状部材保持部の別
の実施例の斜視図を示す。
FIG. 6 is a perspective view of another embodiment of the columnar member holding portion of the present invention formed integrally with the support member on such a lead frame.

【0041】図6において、リードフレーム33は、枠
部31と、1つの金属板を加工して枠部31と一体に連
続して形成された柱状部材保持部30および支持部材3
2から構成されている。なお、1つの振動子に対応する
柱状部材保持部は、振動子の2つの端部に対応して2つ
存在するが、ここでは1つの端部に対応する柱状部材保
持部30のみを図示し、全く同じ構成のもう1つの柱状
部材保持部の図示を省略している。また、1つの振動子
の1つの面に固定する支持部材も2つ存在するが、ここ
では1つの支持部材32のみを図示し、もう1つの支持
部材の図示を省略している。
In FIG. 6, a lead frame 33 includes a frame portion 31, a columnar member holding portion 30 formed by processing one metal plate and integrally formed with the frame portion 31, and a support member 3.
2 is comprised. There are two columnar member holders corresponding to one vibrator corresponding to the two ends of the vibrator, but here, only the columnar member holder 30 corresponding to one end is shown. The illustration of another columnar member holding portion having exactly the same configuration is omitted. In addition, there are two support members fixed to one surface of one vibrator, but here, only one support member 32 is shown, and illustration of another support member is omitted.

【0042】図6に示す柱状部材保持部30は、振動子
2の一方の端面に当接する長手方向当接片30aおよび
30b、振動子2の一方の端部の幅方向両側面に当接す
る幅方向当接片30cおよび30d、振動子2の一方の
端部の底面に当接する底面当接片30eおよび30f、
腕部30gおよび30h、固定部30iおよび30jか
ら構成されている。このうち、長手方向当接片30a、
幅方向当接片30c、底面当接片30e、腕部30g、
固定部30iが一体に形成されている。また、長手方向
当接片30b、幅方向当接片30d、底面当接片30
f、腕部30h、固定部30jも一体に形成されてい
る。固定部30i、30jはリードフレーム33の枠部
31に接続され、固定部30iと底面当接片30eは腕
部30gを介して、固定部30jと底面当接片30dは
腕部30hを介してそれぞれ接続されている。すなわ
ち、固定部30iと腕部30gで長手方向当接片30
a、幅方向当接片30c、底面当接片30eをリードフ
レーム33の枠内の中空に保持している。また、固定部
30jと腕部30hで長手方向当接片30b、幅方向当
接片30d、底面当接片30fをリードフレーム33の
枠内の中空に保持している。
The columnar member holding portion 30 shown in FIG. 6 has longitudinal contact pieces 30a and 30b which contact one end face of the vibrator 2, and widths which contact both side faces in the width direction of one end of the vibrator 2. Direction contact pieces 30c and 30d, bottom contact pieces 30e and 30f that contact the bottom face of one end of the vibrator 2,
It is composed of arms 30g and 30h and fixed parts 30i and 30j. Among them, the longitudinal contact piece 30a,
Width direction contact piece 30c, bottom contact piece 30e, arm 30g,
The fixing part 30i is formed integrally. Further, a longitudinal contact piece 30b, a width contact piece 30d, a bottom contact piece 30
f, the arm portion 30h, and the fixing portion 30j are also integrally formed. The fixing portions 30i and 30j are connected to the frame portion 31 of the lead frame 33. The fixing portion 30i and the bottom contacting piece 30e are connected via an arm 30g, and the fixing portion 30j and the bottom contacting piece 30d are connected via an arm 30h. Each is connected. That is, the fixing portion 30i and the arm portion 30g form the longitudinal contact piece 30.
a, the width direction contact piece 30c and the bottom face contact piece 30e are held hollow in the frame of the lead frame 33. The fixing portion 30j and the arm portion 30h hold the longitudinal contact piece 30b, the width contact piece 30d, and the bottom contact piece 30f hollow in the frame of the lead frame 33.

【0043】柱状部材保持部30の長手方向当接片30
aおよび30bと対向するもう1つの柱状部材保持部の
2つの長手方向当接片との間隔は、振動子2の長さより
わずかに短く形成されている。また、柱状部材保持部3
0の幅方向当接片30cと30dの間隔は、振動子2の
幅よりわずかに短く形成されている。対向するもう1つ
の柱状部材保持部における幅方向当接片についても同様
に形成されている。
The longitudinal contact piece 30 of the columnar member holding portion 30
The distance between the two abutting pieces of the other columnar member holding portion facing a and 30b is formed slightly shorter than the length of the vibrator 2. In addition, the columnar member holding portion 3
The interval between the zero width direction contact pieces 30c and 30d is slightly shorter than the width of the vibrator 2. The widthwise abutting piece of another opposing columnar member holding portion is similarly formed.

【0044】固定部30i、30jは、枠部31と部分
的に接続されているだけなので、腕部30g、30hと
固定部30i、30jとの接続部に上下方向から加わる
圧力によって上下方向に弾性変形しやすくなっている。
固定部30i、30jが変形すると、腕部30g、30
hはそれに接続して形成されている長手方向当接片30
a、幅方向当接片30c、底面当接片30e、および長
手方向当接片30b、幅方向当接片30d、底面当接片
30fとともに上下方向に移動する。本発明において
は、この上下方向から圧力が加わる腕部30g、30h
と固定部30i、30jとの接続部を押圧部と呼び、押
圧部の符号をそれぞれ30m、30nとする。ただし、
図6においては押圧部30nは幅方向当接片30dの陰
になっているために表示を省略している。
Since the fixing portions 30i and 30j are only partially connected to the frame portion 31, the fixing portions 30i and 30j are vertically elastically applied to the connecting portions between the arm portions 30g and 30h and the fixing portions 30i and 30j. It is easy to deform.
When the fixing portions 30i, 30j are deformed, the arms 30g, 30
h is a longitudinal contact piece 30 formed to be connected thereto.
a, moves in the vertical direction together with the width direction contact piece 30c, the bottom face contact piece 30e, the longitudinal direction contact piece 30b, the width direction contact piece 30d, and the bottom face contact piece 30f. In the present invention, the arms 30g and 30h to which pressure is applied from the vertical direction
The connection portion between the first and second fixing portions 30i and 30j is called a pressing portion, and the reference numerals of the pressing portions are 30m and 30n, respectively. However,
In FIG. 6, the display of the pressing portion 30n is omitted because it is shaded by the widthwise contact piece 30d.

【0045】このように構成された柱状部材保持部30
においても、押圧部30m、30nに下から上に向かう
圧力を加えることによって、腕部30gに接続されてい
る長手方向当接片30aと長手方向当接片30bは、上
方に移動するとともに、互いに離れ、しかも対向するも
う1つの柱状部材保持部の長手方向当接片との間隔が振
動子2の長さより少し拡がる。また、幅方向当接片30
c、30dも上方に移動するとともに、その間隔が振動
子2の幅より少し拡がる。そして、互いに2つの柱状部
材保持部の対向する2つずつの長手方向当接片の間であ
って、かつ互いに対向する2つずつの幅方向当接片の間
であって、しかも対向する2つの底部当接片の上に振動
子2を配置して押圧部に加えていた圧力を取り去ること
によって、振動子2は4つの長手方向当接片によって長
手方向から挟まれ、それぞれ2つの幅方向当接片によっ
てその端部が幅方向から挟まれて2つの支持部材に対し
て位置決めされる。その際、振動子2にはいずれかの方
向から偏った圧力が加えられているわけではないので、
対向するそれぞれ4つの長手方向当接片および幅方向当
接片の略中央部に位置し、支持部材に対して高い精度で
位置決めされる。しかも、振動子2には水平方向四方か
ら力が加わっている状態であるため、外部からの力が加
わらない限り水平方向への移動の自由度もない。
The columnar member holding section 30 thus configured
Also, by applying a pressure upward from below to the pressing portions 30m and 30n, the longitudinal contact piece 30a and the longitudinal contact piece 30b connected to the arm 30g move upward and Further, the distance between the other columnar member holding portion and the longitudinal abutting piece is slightly larger than the length of the vibrator 2. Also, the width direction contact piece 30
c and 30d also move upward, and the distance between them increases slightly from the width of the vibrator 2. And, between two opposing longitudinal contact pieces of the two columnar member holding portions, and between two opposing width contact pieces opposing to each other, and furthermore, facing two opposing pieces. By arranging the vibrator 2 on the two bottom abutting pieces and removing the pressure applied to the pressing portion, the vibrator 2 is sandwiched from the longitudinal direction by the four longitudinal abutting pieces, each having two width directions. The end is sandwiched in the width direction by the contact piece and positioned with respect to the two support members. At this time, since the pressure biased from any direction is not applied to the vibrator 2,
It is located at a substantially central portion of each of the four longitudinal contact pieces and the width contact pieces facing each other, and is positioned with high precision with respect to the support member. In addition, since a force is applied to the vibrator 2 from all four directions in the horizontal direction, there is no degree of freedom of movement in the horizontal direction unless an external force is applied.

【0046】さらに、振動子2は、支持部材に対して位
置決めされるだけではなく、長手方向当接片や幅方向当
接片によって挟まれ、しかも長手方向当接片や幅方向当
接片の元に戻ろうとする力によって、下の方向に力が加
えられる。すなわち支持部材に押しつけられる。そのた
め、振動子2の自重によって支持部材と接触する場合に
比較して両者が押しつけられる力が強く、安定する。
Further, the vibrator 2 is not only positioned with respect to the support member, but also sandwiched between the longitudinal contact pieces and the width contact pieces. The force trying to return applies a force in the downward direction. That is, it is pressed against the support member. Therefore, compared to the case where the vibrator 2 comes into contact with the support member by its own weight, the force for pressing the both members is strong and stable.

【0047】なお、このとき振動子2と2つの支持部材
の接触部の少なくとも一方側にはハンダや導電性接着剤
が塗布されているものとする。
At this time, it is assumed that solder or a conductive adhesive is applied to at least one side of the contact portion between the vibrator 2 and the two support members.

【0048】振動子2と支持部材を固定した後は、支持
部材を振動子ベースに固定する。そして、その状態で例
えば柱状部材保持部30の腕部30g、30hと固定部
30i、30jとの接続部を切り離し、同時に、支持部
材をリードフレーム33の枠部31から切り離すことに
よって、振動子2からリードフレーム33の枠部31と
柱状部材保持部30を取り除くことができる。このよう
にして、振動子2は支持部材によって振動子ベースの内
側の中空に保持される。
After fixing the vibrator 2 and the support member, the support member is fixed to the vibrator base. Then, in this state, for example, the connecting portions between the arm portions 30g and 30h of the columnar member holding portion 30 and the fixing portions 30i and 30j are cut off, and at the same time, the support member is cut off from the frame portion 31 of the lead frame 33. Thus, the frame portion 31 and the columnar member holding portion 30 of the lead frame 33 can be removed. In this way, the vibrator 2 is held in the hollow inside the vibrator base by the support member.

【0049】このように、本発明の柱状部材保持部を用
いることによって、支持部材32を含む2つの支持部材
を振動子2に高い位置精度で安定に固定することができ
る。しかも、図1に示した柱状部材保持部20の場合と
異なり、柱状部材保持部と支持部材が同じリードフレー
ム33に一体に形成されているため、柱状部材保持部と
支持部材との間の位置精度をさらに高くすることがで
き、柱状部材保持部20を用いる場合よりさらに高い位
置精度で支持部材を振動子2に固定することができる。
また、柱状部材保持部には振動子を支持部材に押しつけ
る機能を持っているため、振動子が軽量化しても支持部
材との接続が不安定になることがない。そして、支持部
材と振動子との位置精度を高めることによって、振動子
の振動の安定性をさらに向上させ、しかも振動が外部に
漏れるのを防止することができる。
As described above, by using the columnar member holding portion of the present invention, two support members including the support member 32 can be stably fixed to the vibrator 2 with high positional accuracy. Further, unlike the case of the columnar member holding portion 20 shown in FIG. 1, the columnar member holding portion and the support member are integrally formed on the same lead frame 33, so that the position between the columnar member holding portion and the support member is different. The accuracy can be further increased, and the support member can be fixed to the vibrator 2 with higher positional accuracy than when the columnar member holding section 20 is used.
Further, since the columnar member holding portion has a function of pressing the vibrator against the support member, the connection with the support member does not become unstable even when the vibrator is reduced in weight. By increasing the positional accuracy between the support member and the vibrator, the stability of the vibration of the vibrator can be further improved, and the vibration can be prevented from leaking to the outside.

【0050】なお、上記の各実施例においては、支持部
材の端部を振動子ベースに固定するタイプの振動ジャイ
ロを示したが、枠状の振動子ベースを用いず、支持部材
の端部を下に曲げて部品搭載基板に直接固定するタイプ
の振動ジャイロでも構わない。
In each of the embodiments described above, the vibration gyro of the type in which the end of the support member is fixed to the vibrator base is shown, but the end of the support member is not used without using a frame-shaped vibrator base. A vibrating gyroscope that is bent downward and directly fixed to the component mounting board may be used.

【0051】図7に、このようなリードフレームに、端
部を部品搭載基板に直接固定する支持部材と一体に形成
された、本発明の柱状部材保持部のさらに別の実施例の
斜視図を示す。図7において、図6と同一もしくは同等
の部分には同じ記号を付し、その説明を省略する。
FIG. 7 is a perspective view of still another embodiment of the columnar member holding portion of the present invention formed integrally with such a lead frame with a supporting member for fixing the end portion directly to the component mounting board. Show. 7, the same or equivalent parts as those in FIG. 6 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0052】図7において、リードフレーム40の、図
6に示したリードフレーム33との違いは、支持部材3
2を支持部材41に変えた点だけで、リードフレーム3
3と同様に1つの金属板を加工して形成されている。リ
ードフレーム40における柱状部材保持部30の役割は
リードフレーム33の場合と全く同じであるため説明を
省略するが、全く同様の作用効果を奏するものである。
In FIG. 7, the difference between the lead frame 40 and the lead frame 33 shown in FIG.
2 is changed to the support member 41, and the lead frame 3
Similar to No. 3, it is formed by processing one metal plate. Since the role of the columnar member holding portion 30 in the lead frame 40 is exactly the same as that of the lead frame 33, the description is omitted, but the same operational effects are obtained.

【0053】図8に、リードフレーム40を用いて製造
された振動ジャイロの斜視図を示す。図8において、図
7と同一もしくは同等の部分には同じ記号を付し、その
説明を省略する。
FIG. 8 is a perspective view of a vibrating gyroscope manufactured using the lead frame 40. 8, the same or equivalent parts as those in FIG. 7 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0054】図8において、振動ジャイロ50は、振動
子2を4つの支持部材41、42、43、44を介して
部品搭載基板45上の中空に保持して構成されている。
4つの支持部材41、42、43、44は、振動子2の
厚み方向および幅方向の振動を抑制しないように、いく
つもの屈曲部を備えている。そして、振動子2の各電極
は支持部材41、42、43、44を介して部品搭載基
板45上に形成される振動子2を厚み方向に屈曲振動さ
せる駆動回路やコリオリ力を検出するための回路(図示
は省略)と接続されている。なお、部品搭載基板45上
には振動子2や各回路を覆うカバーが設けられるが、こ
こでは省略している。
In FIG. 8, a vibrating gyroscope 50 is configured by holding a vibrator 2 in a hollow above a component mounting board 45 via four support members 41, 42, 43 and 44.
The four support members 41, 42, 43, and 44 have a number of bent portions so as not to suppress vibration in the thickness direction and the width direction of the vibrator 2. Each electrode of the vibrator 2 is used to detect a drive circuit for bending and vibrating the vibrator 2 formed on the component mounting board 45 in the thickness direction via the support members 41, 42, 43, and 44 and a Coriolis force. It is connected to a circuit (not shown). Although a cover for covering the vibrator 2 and each circuit is provided on the component mounting board 45, it is omitted here.

【0055】このように構成された振動ジャイロ50に
おいては、リードフレーム40に形成された柱状部材保
持部30を用いて振動子2と支持部材との固定を行うた
め、振動子の振動の安定性を向上させ、しかも振動が外
部に漏れるのを防止することができる。
In the vibrating gyroscope 50 configured as described above, since the vibrator 2 and the supporting member are fixed using the columnar member holding portion 30 formed on the lead frame 40, the vibration stability of the vibrator is stabilized. And vibration can be prevented from leaking to the outside.

【0056】[0056]

【発明の効果】本発明の柱状部材保持部およびそれを用
いた振動ジャイロの製造方法においては、柱状部材保持
部が柱状部材である振動子の2つの端部を水平方向から
挟むそれぞれ4つの長手方向当接片と幅方向当接片を備
え、これらを圧力による弾性変形を利用して広げたとこ
ろに振動子を配置し、その後圧力を除去することによっ
て振動子を所定の位置に配置し、その状態で振動子と支
持部材を固定することによって、振動子と支持部材を高
い位置精度で安定に固定することができ、振動ジャイロ
の性能の向上を図ることができる。
According to the columnar member holding portion and the method of manufacturing a vibrating gyroscope using the same according to the present invention, the columnar member holding portion sandwiches two ends of the vibrator, which is a columnar member, in four longitudinal directions respectively. With a direction contact piece and a width direction contact piece, the vibrator is arranged at a place where they are spread by utilizing elastic deformation due to pressure, and then the vibrator is arranged at a predetermined position by removing the pressure, By fixing the vibrator and the support member in this state, the vibrator and the support member can be stably fixed with high positional accuracy, and the performance of the vibrating gyroscope can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の柱状部材保持部の一実施例を示す斜視
図である。
FIG. 1 is a perspective view showing one embodiment of a columnar member holding section of the present invention.

【図2】図1の柱状部材保持部を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a columnar member holding section of FIG. 1;

【図3】図1の柱状部材保持部を示す正面図である。FIG. 3 is a front view showing a columnar member holding section of FIG. 1;

【図4】図1の柱状部材保持部の弾性変形を説明するた
めの正面図である。
FIG. 4 is a front view for explaining an elastic deformation of the columnar member holding section of FIG. 1;

【図5】図1の柱状部材保持部の弾性変形を説明するた
めの断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining an elastic deformation of the columnar member holding section in FIG. 1;

【図6】本発明の柱状部材保持部の別の実施例を示す斜
視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing another embodiment of the columnar member holding section of the present invention.

【図7】本発明の柱状部材保持部のさらに別の実施例を
示す斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view showing still another embodiment of the columnar member holding section of the present invention.

【図8】図7の柱状部材保持部を用いて製造した振動ジ
ャイロを示す斜視図である。
FIG. 8 is a perspective view showing a vibrating gyroscope manufactured using the columnar member holding section of FIG. 7;

【図9】従来の振動ジャイロの振動子部を示す斜視図で
ある。
FIG. 9 is a perspective view showing a vibrator portion of a conventional vibrating gyroscope.

【図10】従来の振動子に支持部材を固定する方法を説
明するための展開斜視図である。
FIG. 10 is an exploded perspective view for explaining a conventional method of fixing a support member to a vibrator.

【図11】従来の柱状部材保持部を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a conventional columnar member holding section.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2…振動子 9、10、32、41、41、43、44…支持部材 11…振動子ベース 20、30…柱状部材保持部 20a、20b、30a、30b…長手方向当接片 20c、20d、30c、30d…幅方向当接片 20e、20f、30e、30f…底面当接片 20g、20h、30g、30h…腕部 20i、20j、30i、30j…固定部 20m、20n、30m、30n…押圧部 31…枠部 33、40…リードフレーム 45…部品搭載基板 50…振動ジャイロ 2 vibrator 9, 10, 32, 41, 41, 43, 44 support member 11 vibrator base 20, 30 columnar member holding portion 20a, 20b, 30a, 30b longitudinal contact piece 20c, 20d 30c, 30d: width direction contact piece 20e, 20f, 30e, 30f: bottom contact piece 20g, 20h, 30g, 30h: arm part 20i, 20j, 30i, 30j: fixing part 20m, 20n, 30m, 30n: pressing Part 31 ... Frame parts 33, 40 ... Lead frame 45 ... Component mounting board 50 ... Vibrating gyroscope

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定の長さと幅を有する柱状部材の両端
部を保持して所定の位置に位置決めする柱状部材保持部
であって、 前記柱状部材の2つの端部を、前記柱状部材の長さより
短い間隔をあけて前記柱状部材の長手方向から挟むよう
に配置されるとともに、それぞれ前記柱状部材の幅方向
に2つに分けて構成される合計4つの長手方向当接片
と、 前記柱状部材の2つの端部を、それぞれ前記柱状部材の
端部の幅より狭い間隔をあけて前記柱状部材の幅方向か
ら挟むように配置される4つの幅方向当接片と、 外部からの圧力が印加される4つの押圧部とを備え、 前記柱状部材の2つの端部に対応する位置において、互
いに隣接して配置されるそれぞれ1つの前記長手方向当
接片と前記幅方向当接片と前記押圧部が一体に形成され
るとともに、前記4つの押圧部に圧力を加えて弾性変形
させることによって前記4つの押圧部にそれぞれ一体に
形成される前記長手方向当接片と前記幅方向当接片が移
動して、互いに対向する2つの前記長手方向当接片の間
隔と互いに対向する2つの前記幅方向当接片の間隔がそ
れぞれ一時的に前記柱状部材の長さおよび前記柱状部材
の端部の幅より拡大するよう形成されていることを特徴
とする柱状部材保持部。
1. A columnar member holding section for holding both ends of a columnar member having a predetermined length and width and positioning the columnar member at a predetermined position, wherein two end portions of the columnar member are fixed to the length of the columnar member. A total of four longitudinal contact pieces, which are arranged so as to be sandwiched from the longitudinal direction of the columnar member at a shorter interval and are each divided into two in the width direction of the columnar member, Four width-direction abutting pieces arranged so as to sandwich the two ends from the width direction of the columnar member at intervals smaller than the width of the end of the columnar member; And four pressing portions, each of which is disposed adjacent to each other at a position corresponding to the two end portions of the columnar member, each one of the longitudinal contact pieces, the width contact pieces, and the press. The part is formed integrally By applying pressure to the four pressing portions to elastically deform the four pressing portions, the longitudinal contact piece and the width contact piece formed integrally with the four pressing portions move, and the two opposing pieces are opposed to each other. The space between the longitudinal contact pieces and the space between the two width-direction contact pieces facing each other are formed so as to be temporarily larger than the length of the columnar member and the width of the end of the columnar member. A columnar member holding section, characterized in that:
【請求項2】 前記4つの長手方向当接片、前記4つの
幅方向当接片、および前記4つの押圧部が、前記柱状部
材が位置決めされる位置決め対象とともに1つの金属板
を加工してなるリードフレームとして形成されているこ
とを特徴とする、請求項1に記載の柱状部材保持部。
2. The four longitudinal contact pieces, the four width contact pieces, and the four pressing portions are formed by processing one metal plate together with a positioning target on which the columnar member is positioned. The columnar member holder according to claim 1, wherein the columnar member holder is formed as a lead frame.
【請求項3】 請求項1に記載の柱状部材保持部を用
い、前記柱状部材である振動子に、該振動子を支持する
支持部材を固定する振動ジャイロの製造方法であって、 前記柱状部材保持部の押圧部に圧力を加えて弾性変形さ
せることによって、互いに対向する2つの前記長手方向
当接片の間隔と互いに対向する2つの前記幅方向当接片
の間隔を、それぞれ一時的に前記振動子の長さおよび前
記振動子の端部の幅より広げる第1の工程と、 前記第1の工程によって広がった互いに対向する2つの
前記長手方向当接片の間であって、かつ互いに対向する
2つの前記幅方向当接片の間に、前記振動子を配置する
第2の工程と、 前記柱状支持部材保持部の押圧部に加えていた圧力を取
り去ることによって、互いに対向する2つの前記長手方
向当接片および2つの前記幅方向当接片で前記振動子を
挟持して、前記振動子を前記支持部材に対して位置決め
する第3の工程と、 前記支持部材を前記振動子に固定する第4の工程と、 前記振動子から前記柱状部材保持部を取り除く第5の工
程と、を有することを特徴とする振動ジャイロの製造方
法。
3. A method for manufacturing a vibrating gyroscope using the columnar member holding portion according to claim 1, wherein a supporting member supporting the vibrator is fixed to the vibrator as the columnar member. By applying pressure to the pressing portion of the holding portion and elastically deforming it, the interval between the two longitudinal contact pieces opposing each other and the interval between the two width contact pieces opposing each other are temporarily set, respectively. A first step of increasing the length of the vibrator and a width of the end of the vibrator, and between the two opposing longitudinal contact pieces spread by the first step and facing each other A second step of arranging the vibrator between the two width-direction abutting pieces, and removing the pressure applied to the pressing portion of the columnar support member holding section, thereby forming the two opposing sections. Longitudinal contact piece and A third step of positioning the vibrator with respect to the support member by holding the vibrator between the two width-direction contact pieces and a fourth step of fixing the support member to the vibrator. And a fifth step of removing the columnar member holding portion from the vibrator.
【請求項4】 リードフレームとして形成された請求項
2に記載の柱状部材保持部および前記位置決め対象であ
る支持部材を用い、前記柱状部材である振動子に、該振
動子を支持する前記支持部材を固定する振動ジャイロの
製造方法であって、 前記リードフレームの前記柱状部材保持部の押圧部に圧
力を加えて弾性変形させることによって、互いに対向す
る2つの前記長手方向当接片の間隔と互いに対向する2
つの前記幅方向当接片の間隔を、それぞれ一時的に前記
振動子の長さおよび前記振動子の端部の幅より広げる第
1の工程と、 前記第1の工程によって広がった互いに対向する2つの
前記長手方向当接片の間であって、かつ互いに対向する
2つの前記幅方向当接片の間に、前記振動子を配置する
第2の工程と、 前記柱状支持部材保持部の押圧部に加えていた圧力を取
り去ることによって、互いに対向する2つの前記長手方
向当接片および2つの前記幅方向当接片で前記振動子を
挟持して、前記振動子を前記支持部材に対して位置決め
する第3の工程と、 前記支持部材を前記振動子に固定する第4の工程と、 前記リードフレームから前記支持部材を切り離すことに
よって、前記振動子から前記柱状部材保持部を取り除く
第5の工程と、を有することを特徴とする振動ジャイロ
の製造方法。
4. The supporting member supporting the vibrator on the vibrator as the columnar member, using the columnar member holding portion and the supporting member as the positioning target according to claim 2 formed as a lead frame. A method of manufacturing a vibrating gyroscope, comprising: applying a pressure to a pressing portion of the columnar member holding portion of the lead frame to resiliently deform the pressing portion; Opposite 2
A first step of temporarily increasing the distance between the two width-direction abutting pieces from the length of the vibrator and the width of the end of the vibrator; A second step of disposing the vibrator between the two longitudinal contact pieces between the two longitudinal contact pieces and facing each other; and a pressing portion of the columnar support member holding portion. By removing the pressure applied to the vibrator, the vibrator is sandwiched between the two longitudinal contact pieces and the two width contact pieces facing each other, and the vibrator is positioned with respect to the support member. A third step of fixing the support member to the vibrator; a fifth step of removing the columnar member holding portion from the vibrator by separating the support member from the lead frame. And having A method for manufacturing a vibrating gyroscope, characterized in that:
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