JP2002307060A - 電解水製造装置 - Google Patents
電解水製造装置Info
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- JP2002307060A JP2002307060A JP2001116031A JP2001116031A JP2002307060A JP 2002307060 A JP2002307060 A JP 2002307060A JP 2001116031 A JP2001116031 A JP 2001116031A JP 2001116031 A JP2001116031 A JP 2001116031A JP 2002307060 A JP2002307060 A JP 2002307060A
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- Japan
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- electrolyzed water
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Abstract
(57)【要約】
【課題】隔膜の変形・破壊を防止し、また発生ガスが電
極表面に滞留しないようにして電解水を効率よく製造で
きるようにすることである。 【解決手段】電解質槽４にセラミックス絶縁材からなる
網目状の部材を設置し隔膜５の変形を抑止し、また、破
壊を防止した。電極材料をチタン製のラス材に白金メッ
キしたものを用い、電気分解によって発生したガスの電
極表面における滞留を防止し、低電力で効率の良い電気
分解がおこなわれるようにした。
極表面に滞留しないようにして電解水を効率よく製造で
きるようにすることである。 【解決手段】電解質槽４にセラミックス絶縁材からなる
網目状の部材を設置し隔膜５の変形を抑止し、また、破
壊を防止した。電極材料をチタン製のラス材に白金メッ
キしたものを用い、電気分解によって発生したガスの電
極表面における滞留を防止し、低電力で効率の良い電気
分解がおこなわれるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、水を電気分解し
て、酸性水及びアルカリ水を製造する装置に関し、特に
殺菌作用を有する電解水を効率的に製造する殺菌用電解
水製造装置に関するものである。
て、酸性水及びアルカリ水を製造する装置に関し、特に
殺菌作用を有する電解水を効率的に製造する殺菌用電解
水製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来技術】従来、小量の塩素イオンを添加した水を電
気分解して酸性電解水とアルカリ性電解水を生成させる
ことはおこなわれている。酸性電解水は、水素イオン濃
度（ｐＨ）が２．０〜２．７であり、酸化還元電位（Ｏ
ＲＰ）が１１００Ｖ以上を示し、１０ｐｐｍ以上の遊離
塩素を含有する。
気分解して酸性電解水とアルカリ性電解水を生成させる
ことはおこなわれている。酸性電解水は、水素イオン濃
度（ｐＨ）が２．０〜２．７であり、酸化還元電位（Ｏ
ＲＰ）が１１００Ｖ以上を示し、１０ｐｐｍ以上の遊離
塩素を含有する。
【０００３】酸性電解水は、遊離塩素を含有し、強い酸
性で高い酸化還元電位を呈するので、大腸菌や各種の細
菌やバクテリアに対して強力な殺菌効果を有しており、
近年、医療分野、農業分野、酪農分野等で広く使用され
始めている。また、アルカリ性電解水は、ｐＨが１０．
５〜１２．０の強いアルカリ性であり、殺菌力を有す
る。同時に油分やタンパク質を含む汚れに対して強い洗
浄力を有するので、野菜、果物、畜産品や水産品の洗
浄、機械部品や電子材料の洗浄用水として新用途が創出
され始めている。
性で高い酸化還元電位を呈するので、大腸菌や各種の細
菌やバクテリアに対して強力な殺菌効果を有しており、
近年、医療分野、農業分野、酪農分野等で広く使用され
始めている。また、アルカリ性電解水は、ｐＨが１０．
５〜１２．０の強いアルカリ性であり、殺菌力を有す
る。同時に油分やタンパク質を含む汚れに対して強い洗
浄力を有するので、野菜、果物、畜産品や水産品の洗
浄、機械部品や電子材料の洗浄用水として新用途が創出
され始めている。
【０００４】これらの酸性電解水及びアルカリ性電解水
を水の電気分解によって製造するには、隔膜によって陽
極槽と陰極槽に仕切った水電気分解装置を用い、電解質
を添加した原水を陽極槽及び陰極槽に通水して電気分解
する方法や、特開平８−１１６０号公報に示されるよう
に２枚のイオンを透過する隔膜で電解槽を陽極槽、電解
質槽及び陰極槽の３室構造とした電気分解装置を用い、
電解質槽に高濃度電解質を充填し、陽極槽及び陰極槽に
原水を通水して電気分解する方法がある。
を水の電気分解によって製造するには、隔膜によって陽
極槽と陰極槽に仕切った水電気分解装置を用い、電解質
を添加した原水を陽極槽及び陰極槽に通水して電気分解
する方法や、特開平８−１１６０号公報に示されるよう
に２枚のイオンを透過する隔膜で電解槽を陽極槽、電解
質槽及び陰極槽の３室構造とした電気分解装置を用い、
電解質槽に高濃度電解質を充填し、陽極槽及び陰極槽に
原水を通水して電気分解する方法がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の３室構造の電解
水製造装置は、電解質槽にはなにも充填せず空洞として
おくか、もしくはガラスや樹脂製のビーズまたはイオン
交換樹脂を充填し、各槽間に圧力差が生じたときに隔膜
や電極が変形または破損しないようにしていた。しかし
ながら、ビーズを充填する作業が面倒であり、装置の組
み立てが非常に煩雑となり、コストアップになると共
に、ビーズを均一に充填することが難しく、品質管理が
困難であった。また、従来の電極は、図４に示すように
電極面積を広く取るためパンチング材を用いていたが、
電気分解によって発生したガスがパンチング材の空隙に
滞留して抵抗となり、電気分解の妨げになることが判明
した。この現象はより強い電気分解をおこなおうとする
ほど強い現象として発現した。本発明は、以上のような
電解水を製造する際に阻害となる要因を取り除き、電解
水を効率よく製造できるようにすることである。
水製造装置は、電解質槽にはなにも充填せず空洞として
おくか、もしくはガラスや樹脂製のビーズまたはイオン
交換樹脂を充填し、各槽間に圧力差が生じたときに隔膜
や電極が変形または破損しないようにしていた。しかし
ながら、ビーズを充填する作業が面倒であり、装置の組
み立てが非常に煩雑となり、コストアップになると共
に、ビーズを均一に充填することが難しく、品質管理が
困難であった。また、従来の電極は、図４に示すように
電極面積を広く取るためパンチング材を用いていたが、
電気分解によって発生したガスがパンチング材の空隙に
滞留して抵抗となり、電気分解の妨げになることが判明
した。この現象はより強い電気分解をおこなおうとする
ほど強い現象として発現した。本発明は、以上のような
電解水を製造する際に阻害となる要因を取り除き、電解
水を効率よく製造できるようにすることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そこで、電解質槽には樹
脂製またはセラミックスなど絶縁材による網目状の構造
物を充填することによって隔膜の変形を抑止し、また、
破壊を防止した。電極は、金属平板に複数の切れ目を入
れて引き延ばす方法で作られたラス材を電極材料とし、
ラス材を使用することによってガスの滞留をなくなし、
低電力で効率のよい電解がおこなわれるようにした。
脂製またはセラミックスなど絶縁材による網目状の構造
物を充填することによって隔膜の変形を抑止し、また、
破壊を防止した。電極は、金属平板に複数の切れ目を入
れて引き延ばす方法で作られたラス材を電極材料とし、
ラス材を使用することによってガスの滞留をなくなし、
低電力で効率のよい電解がおこなわれるようにした。
【０００７】
【実施例】図１に示すように、電解槽１は、イオン交換
膜からなる隔膜５で陽極槽２、陰極槽３、電解質槽４の
３室に区切られており、各槽には供給口２５、３５、４
５と排出口２６、３６、４６が形成してある。陽極槽２
には図２に示すチタン製のラス材に白金メッキした電極
板を陽極２０として隔膜５に電気絶縁性を有するフレー
ム２１を介して配置してある。このフレーム２１は、電
極板がラス材であり、周辺が凹凸状となって電解槽の壁
にピッタリ設置できず液漏れが生ずる恐れがあるので、
これを防止するシール材としての機能を有する。
膜からなる隔膜５で陽極槽２、陰極槽３、電解質槽４の
３室に区切られており、各槽には供給口２５、３５、４
５と排出口２６、３６、４６が形成してある。陽極槽２
には図２に示すチタン製のラス材に白金メッキした電極
板を陽極２０として隔膜５に電気絶縁性を有するフレー
ム２１を介して配置してある。このフレーム２１は、電
極板がラス材であり、周辺が凹凸状となって電解槽の壁
にピッタリ設置できず液漏れが生ずる恐れがあるので、
これを防止するシール材としての機能を有する。
【０００８】さらに、電解水の遊離塩素濃度を調整した
い場合には、このフレーム２１に厚さを適宜選択したイ
オン交換膜をセットする。フレーム２１に取り付けるイ
オン交換膜の厚さは、隔膜５の厚さを考慮して決定する
必要がある。また、陰極槽３には陽極槽と同様にスペー
サ３１を介して隔膜５に陰極３０が配置してある。
い場合には、このフレーム２１に厚さを適宜選択したイ
オン交換膜をセットする。フレーム２１に取り付けるイ
オン交換膜の厚さは、隔膜５の厚さを考慮して決定する
必要がある。また、陰極槽３には陽極槽と同様にスペー
サ３１を介して隔膜５に陰極３０が配置してある。
【０００９】電解質槽４には、隔膜５を保持するように
塩化ビニール製の網を複数枚重ねたスペーサ４０が配設
してあり、隔膜５を保持しており、電解質槽４と陽極槽
２または、陰極槽３との間で圧力差が発生しても、隔膜
５が変形するのを防止している。スペーサ４０の材質は
電気絶縁性を有しておればよく、種々の合成樹脂、無機
材料が使用できる。また、網の枚数を変更することによ
って厚さを調整でき、電解質槽４の大きさが変更されて
も枚数を増減するだけで対応することができる。
塩化ビニール製の網を複数枚重ねたスペーサ４０が配設
してあり、隔膜５を保持しており、電解質槽４と陽極槽
２または、陰極槽３との間で圧力差が発生しても、隔膜
５が変形するのを防止している。スペーサ４０の材質は
電気絶縁性を有しておればよく、種々の合成樹脂、無機
材料が使用できる。また、網の枚数を変更することによ
って厚さを調整でき、電解質槽４の大きさが変更されて
も枚数を増減するだけで対応することができる。
【００１０】隔膜は、通水性を有するものとして、ポリ
弗化ビニル系繊維、アスベスト、グラスウール、ポリ塩
化ビニル繊維、ポリ塩化ビニリデン繊維、ポリエステル
繊維、芳香属ポリアミド繊維等の織布や不織布である。
また、例えば骨材にポリエステル繊維、ナイロン繊維、
ポリエチレン繊維の織布や不織布を用い、膜材に塩素化
ポリエチレン、ポリ塩化ビニルまたはポリ弗化ビニリデ
ンあるいはこれらに酸化チタンを混合した隔膜である。
また、通水性が小さい隔膜として、セロファン等の半透
膜あるいは陽イオン交換膜、陰イオン交換膜などが使用
される。隔膜は、製造する電解水の性状や電解質の種類
に応じて、電気分解作用を妨げず、効率的に電解水が得
られると共に、電解質や生成物によって腐食されない材
質のものを選択する。
弗化ビニル系繊維、アスベスト、グラスウール、ポリ塩
化ビニル繊維、ポリ塩化ビニリデン繊維、ポリエステル
繊維、芳香属ポリアミド繊維等の織布や不織布である。
また、例えば骨材にポリエステル繊維、ナイロン繊維、
ポリエチレン繊維の織布や不織布を用い、膜材に塩素化
ポリエチレン、ポリ塩化ビニルまたはポリ弗化ビニリデ
ンあるいはこれらに酸化チタンを混合した隔膜である。
また、通水性が小さい隔膜として、セロファン等の半透
膜あるいは陽イオン交換膜、陰イオン交換膜などが使用
される。隔膜は、製造する電解水の性状や電解質の種類
に応じて、電気分解作用を妨げず、効率的に電解水が得
られると共に、電解質や生成物によって腐食されない材
質のものを選択する。
【００１１】電解質槽４には、高濃度の電解質水溶液を
充填する。通常は塩化カリウムや塩化ナトリウムの１０
％以上の水溶液を使用し、別に設けた電解質水溶液貯槽
からポンプ等を使用して送給してもよい。電解質濃度は
水溶液の流動性に影響を与えない範囲で高くすることが
できる。また、処理水は、陽極槽２及び陰極槽３の下部
供給口２５、３５から導入し、電解後の生成水及びガス
を上部排出口から取り出す。
充填する。通常は塩化カリウムや塩化ナトリウムの１０
％以上の水溶液を使用し、別に設けた電解質水溶液貯槽
からポンプ等を使用して送給してもよい。電解質濃度は
水溶液の流動性に影響を与えない範囲で高くすることが
できる。また、処理水は、陽極槽２及び陰極槽３の下部
供給口２５、３５から導入し、電解後の生成水及びガス
を上部排出口から取り出す。
【００１２】電気分解すると、陽極槽２では、電解質槽
内に充填した電解質水溶液に含有している塩素イオン等
の陰イオンが各イオンの輸率に基づき陽極槽内に電気泳
動により移動し、電極表面において陰イオン及び水が電
気分解されてｐＨ値が１．９以下の強酸性電解水及び酸
素、塩素等のガスが生成する。この強酸性電解水は、陽
極槽２の排出口２６から排出される。一方、陰極側で
は、電解質槽内に充填した電解質水溶液に含有している
ナトリウムイオン等の陽イオンが各イオンの輸率に基づ
き陰極槽内に移動し、電極表面において陽イオン及び水
が電気分解されてｐＨ値が１２．１以上の強アルカリ性
電解水及び水素等のガスが生成される。
内に充填した電解質水溶液に含有している塩素イオン等
の陰イオンが各イオンの輸率に基づき陽極槽内に電気泳
動により移動し、電極表面において陰イオン及び水が電
気分解されてｐＨ値が１．９以下の強酸性電解水及び酸
素、塩素等のガスが生成する。この強酸性電解水は、陽
極槽２の排出口２６から排出される。一方、陰極側で
は、電解質槽内に充填した電解質水溶液に含有している
ナトリウムイオン等の陽イオンが各イオンの輸率に基づ
き陰極槽内に移動し、電極表面において陽イオン及び水
が電気分解されてｐＨ値が１２．１以上の強アルカリ性
電解水及び水素等のガスが生成される。
【００１３】１５００クーロン／リットル以上の直流電
流を処理水に対して負荷し、その後希釈してｐＨ値をコ
ントロールする。陽極２０と陰極３０に直流電流を通ず
るとその電流量に応じ、陰極槽では電解質槽４からプラ
スイオンが移動し、また電極表面においてはＯＨ-イオ
ン、・ＯＨラジカルが発生する。一方、陽極槽２では電
解質槽４からマイナスイオンが移動し、電極表面ではＯ
-2、Ｏ3、・Ｏ2ラジカルが発生する。
流を処理水に対して負荷し、その後希釈してｐＨ値をコ
ントロールする。陽極２０と陰極３０に直流電流を通ず
るとその電流量に応じ、陰極槽では電解質槽４からプラ
スイオンが移動し、また電極表面においてはＯＨ-イオ
ン、・ＯＨラジカルが発生する。一方、陽極槽２では電
解質槽４からマイナスイオンが移動し、電極表面ではＯ
-2、Ｏ3、・Ｏ2ラジカルが発生する。
【００１４】本発明の電解水製造装置の電解質槽４に飽
和食塩水を通じ、陽極槽と陰極槽に３リットル／分の量
の上水道水を軟水器に通した後の処理水を供給し、陽極
２０と陰極３０間に直流電流２０Ａを通じ、連続２４時
間の電気分解をおこなったところ、隔膜に異常は見られ
ず、電極発生したガスが電極表面に留まることなく排出
された。生成された電解水のうち陽極電解水を一度タン
クに貯め常温にて殺菌試験を行った。
和食塩水を通じ、陽極槽と陰極槽に３リットル／分の量
の上水道水を軟水器に通した後の処理水を供給し、陽極
２０と陰極３０間に直流電流２０Ａを通じ、連続２４時
間の電気分解をおこなったところ、隔膜に異常は見られ
ず、電極発生したガスが電極表面に留まることなく排出
された。生成された電解水のうち陽極電解水を一度タン
クに貯め常温にて殺菌試験を行った。
【００１５】陽極電解水のｐＨは３．５、酸化還元電位
は１１２０ｍＶ、溶存塩素濃度は２５ｐｐｍであった。
試験方法は試験菌液を生理食塩水で希釈し、１０６／ｍ
ｌの菌液を調整する。この菌液１に対して正極電解水９
を加え軽く混合して所定時間作用させる。殺菌効果は溶
解する塩素系化合物及び塩素イオンであると言われてい
るので所定時間経過後、チオ硫酸ナトリウムで中和し
た。
は１１２０ｍＶ、溶存塩素濃度は２５ｐｐｍであった。
試験方法は試験菌液を生理食塩水で希釈し、１０６／ｍ
ｌの菌液を調整する。この菌液１に対して正極電解水９
を加え軽く混合して所定時間作用させる。殺菌効果は溶
解する塩素系化合物及び塩素イオンであると言われてい
るので所定時間経過後、チオ硫酸ナトリウムで中和し
た。
【００１６】中和した直後直ちに生理食塩水で１０倍希
釈しそれぞれの培地に接種し培養した後、菌の集落数を
数え、効果を確認した。使用した菌はＥｓｃｈｅｒｉｃ
ｈｉａ ｃｏｌｉ、Ｓｔａｐｈｙｌｏｃｏｃｃｕｓ ａ
ｕｒｅｕｓ、Ｐｓｅｕｄｏｍｏｎａｓ ａｅｒｕｇｉｎ
ｏｓａの３種類、作用時間は３０秒である。その結果、
どの菌も集落数は１０以下であり、殺菌作用が確認され
た。
釈しそれぞれの培地に接種し培養した後、菌の集落数を
数え、効果を確認した。使用した菌はＥｓｃｈｅｒｉｃ
ｈｉａ ｃｏｌｉ、Ｓｔａｐｈｙｌｏｃｏｃｃｕｓ ａ
ｕｒｅｕｓ、Ｐｓｅｕｄｏｍｏｎａｓ ａｅｒｕｇｉｎ
ｏｓａの３種類、作用時間は３０秒である。その結果、
どの菌も集落数は１０以下であり、殺菌作用が確認され
た。
【００１７】
【発明の効果】従来の３室構造の電解水製造装置の電解
質槽にガラスや樹脂製のビーズ等を充填することなく網
目部材をスペーサとして設置するだけでよく、隔膜を所
定の位置に保持するので、破損することがなく、効率的
に電解水を製造することができる。また、ビーズの充填
に比較して装置の組み立てが単純となり、製造コストを
低減することができる。また、電極をラス材としたの
で、電気分解に伴って生ずるガスが電極表面に留まらず
に排出されるので、電気分解が効率よくおこなわれ、電
解水の製造効率が向上した。
質槽にガラスや樹脂製のビーズ等を充填することなく網
目部材をスペーサとして設置するだけでよく、隔膜を所
定の位置に保持するので、破損することがなく、効率的
に電解水を製造することができる。また、ビーズの充填
に比較して装置の組み立てが単純となり、製造コストを
低減することができる。また、電極をラス材としたの
で、電気分解に伴って生ずるガスが電極表面に留まらず
に排出されるので、電気分解が効率よくおこなわれ、電
解水の製造効率が向上した。
【図１】本発明の電解水製造装置の断面図。
【図２】本発明の電極板の平面図。
【図３】従来の３室型電解水製造装置。
【図４】従来の電極板の平面図。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１３年６月４日（２００１．６．４）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】さらに、電解水の遊離塩素濃度を調整した
い場合には、このフレーム２１に厚さを適宜選択したイ
オン交換膜をセットする。フレーム２１に取り付けるイ
オン交換膜の厚さは、隔膜５の厚さを考慮して決定する
必要がある。また、陰極槽３には陽極槽と同様にフレー
ム３１を介して隔膜５に陰極３０が配置してある。
い場合には、このフレーム２１に厚さを適宜選択したイ
オン交換膜をセットする。フレーム２１に取り付けるイ
オン交換膜の厚さは、隔膜５の厚さを考慮して決定する
必要がある。また、陰極槽３には陽極槽と同様にフレー
ム３１を介して隔膜５に陰極３０が配置してある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】陽極電解水のｐＨは３．５、酸化還元電位
は１１２０ｍＶ、溶存塩素濃度は２５ｐｐｍであった。
試験方法は試験菌液を生理食塩水で希釈し、１０6／ｍ
ｌの菌液を調整する。この菌液１に対して正極電解水９
を加え軽く混合して所定時間作用させる。殺菌効果は溶
解する塩素系化合物及び塩素イオンであると言われてい
るので所定時間経過後、チオ硫酸ナトリウムで中和し
た。
は１１２０ｍＶ、溶存塩素濃度は２５ｐｐｍであった。
試験方法は試験菌液を生理食塩水で希釈し、１０6／ｍ
ｌの菌液を調整する。この菌液１に対して正極電解水９
を加え軽く混合して所定時間作用させる。殺菌効果は溶
解する塩素系化合物及び塩素イオンであると言われてい
るので所定時間経過後、チオ硫酸ナトリウムで中和し
た。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正書】
【提出日】平成１３年８月２８日（２００１．８．２
８）
８）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 北田 淳 神奈川県相模原市横山６丁目４番１号 ア スリートタウンｋｏｉｚｕｍｉ601号 (72)発明者 梶家 廣隆 東京都中央区築地２−１−17 (72)発明者 広瀬 達朗 東京都中央区築地２−１−17 Ｆターム(参考） 4D061 DB07 DB08 EB01 EB04 EB12 EB19 EB30 EB35
Claims (4)
- 【請求項１】隔膜によって陽極槽、陰極槽及び電解質槽
の３室に仕切った電解槽からなる電解水製造装置におい
て、電解質槽に絶縁材からなる網目状のスペーサを充填
した電解水製造装置。 - 【請求項２】請求項１において、絶縁材は合成樹脂また
はセラミックスのいずれかである電解水製造装置。 - 【請求項３】隔膜によって陽極槽、陰極槽及び電解質槽
の３室に仕切った電解槽からなる電解水製造装置におい
て、電極が金属平板に切れ目を入れて引き延ばしたラス
材である電解水製造装置。 - 【請求項４】請求項３において、金属平板がチタンのラ
ス材に白金メッキしたものである電解水製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001116031A JP2002307060A (ja) | 2001-04-13 | 2001-04-13 | 電解水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001116031A JP2002307060A (ja) | 2001-04-13 | 2001-04-13 | 電解水製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002307060A true JP2002307060A (ja) | 2002-10-22 |
Family
ID=18966834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001116031A Pending JP2002307060A (ja) | 2001-04-13 | 2001-04-13 | 電解水製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002307060A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2013065661A1 (ja) * | 2011-11-01 | 2015-04-02 | 株式会社昭和 | 洗浄方法及び洗浄装置 |
-
2001
- 2001-04-13 JP JP2001116031A patent/JP2002307060A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2013065661A1 (ja) * | 2011-11-01 | 2015-04-02 | 株式会社昭和 | 洗浄方法及び洗浄装置 |
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