JP2002305228A - Wafer cassette fixing device - Google Patents
Wafer cassette fixing deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置等
における基板カセット固定装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate cassette fixing device in a semiconductor manufacturing apparatus or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図７に従来の基板カセット固定装置の概
略図を示す。図７において、１は基板を収納する基板カ
セット、２は基板カセット１が載置される載せ台、３は
基板カセット１を水平方向に押え付ける押し付けシリン
ダ、４は基板カセット１の底部、５は基板カセット底部
固定レバー、８は基板処理装置のカセット基準面、１１
は基板カセットの固定を検知する基板カセット固定セン
サ、１２は基板カセット固定レバー５を作動する基板カ
セット固定シリンダである。図７に示すような従来の基
板カセット固定装置では、載せ台２上に基板カセット１
が載置されると、まず、固定シリンダ１２が作動して基
板カセット固定レバー５を回動し、基板カセット１の底
部４を載せ台２上に固定する。基板カセット１が固定さ
れたことが基板カセット固定センサ１１により確認され
ると、載せ台２を水平方向に押動する押し付けシリンダ
３により、基板カセット１を基板処理装置方向に押動
し、基板カセット１を基板処理装置のカセット基準面８
に固定する。2. Description of the Related Art FIG. 7 is a schematic view of a conventional substrate cassette fixing device. 7, reference numeral 1 denotes a substrate cassette for storing substrates, 2 denotes a mounting table on which the substrate cassette 1 is mounted, 3 denotes a pressing cylinder for pressing the substrate cassette 1 in a horizontal direction, 4 denotes a bottom of the substrate cassette 1, and 5 denotes The substrate cassette bottom fixing lever, 8 is a cassette reference plane of the substrate processing apparatus, 11
Is a substrate cassette fixing sensor for detecting the fixing of the substrate cassette, and 12 is a substrate cassette fixing cylinder for operating the substrate cassette fixing lever 5. In the conventional substrate cassette fixing device as shown in FIG.
Is mounted, first, the fixing cylinder 12 is operated to rotate the substrate cassette fixing lever 5, and the bottom 4 of the substrate cassette 1 is fixed on the mounting table 2. When it is confirmed by the substrate cassette fixing sensor 11 that the substrate cassette 1 is fixed, the substrate cassette 1 is pushed in the direction of the substrate processing apparatus by the pressing cylinder 3 for pushing the mounting table 2 in the horizontal direction. 1 is the cassette reference plane 8 of the substrate processing apparatus
Fixed to.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の基板カ
セット固定装置では、基板カセット１を載せ台上に固定
する動作と基板カセット１を基板処理装置のカセット基
準面８に押動するための動作に、押し付けシリンダ３と
固定シリンダ１２の２個の駆動源が用いられており、か
つ２つの動作の間に固定センサ１１によるセンシング工
程が設けられているため、信頼性が低く、タイムロスが
生じ、かつ部品点数が多いという課題があった。In the conventional substrate cassette fixing device described above, the operation of fixing the substrate cassette 1 on the mounting table and the operation of pushing the substrate cassette 1 against the cassette reference surface 8 of the substrate processing apparatus. In addition, since two driving sources of the pressing cylinder 3 and the fixed cylinder 12 are used, and a sensing step by the fixed sensor 11 is provided between the two operations, the reliability is low and a time loss occurs. In addition, there is a problem that the number of parts is large.
【０００４】本発明は、基板カセットを高い信頼性で高
速に固定することができ、かつ部品点数が少ない基板カ
セット固定装置を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a substrate cassette fixing device which can fix a substrate cassette at high speed with high reliability and has a small number of components.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、基板カセットを基板処理装置のカセット基
準面に押動するシリンダの動作に連動して、基板カセッ
トを載せ台上に固定することにより、基板カセットの載
せ台上への固定動作と基板処理装置のカセット基準面へ
の固定動作を一つの駆動源により行うようにしたもので
ある。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve this problem, the present invention is to fix a substrate cassette on a mounting table in conjunction with an operation of a cylinder for pushing a substrate cassette to a cassette reference surface of a substrate processing apparatus. Thus, the operation of fixing the substrate cassette on the mounting table and the operation of fixing the substrate processing apparatus to the cassette reference surface are performed by one driving source.
【０００６】本発明によると、基板カセットの固定動作
と基板カセットを基板処理装置のカセット基準面に押動
する動作の駆動源が一つとなるため、センシングが不要
となるとともに、基板カセットの固定を高い信頼性で、
かつ高速に行うことができる。According to the present invention, since there is only one drive source for the operation of fixing the substrate cassette and the operation of pushing the substrate cassette to the cassette reference surface of the substrate processing apparatus, sensing is not required and the fixing of the substrate cassette is not required. With high reliability,
It can be performed at high speed.
【０００７】[0007]
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、基板を収納する基板カセットの固定装置において、
基板カセットを基板処理装置のカセット基準面に押動す
るシリンダと、シリンダの動作に連動し、基板カセット
底部を載せ台に固定する固定レバーと、固定レバーに装
着され、溝カムによってガイドされるカムフオロアを備
えた固定手段を有し、シリンダの動作によりカムフオロ
アを介して、固定レバーを回動し、基板カセット底部を
載せ台に固定することを特徴とするもので、基板カセッ
ト底部を載せ台上に固定する動作と基板カセットを基板
処理装置のカセット基準面に固定する動作の駆動源が一
つとなり、かつ、センシングが不要となるため、部品点
数が少く、基板カセットの固定を高い信頼性で、かつ高
速に行うことができるという有利な作用を有する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The invention according to a first aspect of the present invention is directed to an apparatus for fixing a substrate cassette for storing substrates.
A cylinder for pushing the substrate cassette to the cassette reference surface of the substrate processing apparatus, a fixed lever for fixing the substrate cassette bottom to the mounting table in conjunction with the operation of the cylinder, and a cam follower mounted on the fixed lever and guided by the groove cam It is characterized in that the fixing lever is rotated by the operation of a cylinder via a cam follower, and the bottom of the substrate cassette is fixed to the mounting table, and the bottom of the substrate cassette is mounted on the mounting table. The driving source for the fixing operation and the operation for fixing the substrate cassette to the cassette reference surface of the substrate processing apparatus become one, and since sensing is not required, the number of parts is small, and the fixing of the substrate cassette is performed with high reliability. In addition, it has an advantageous effect that it can be performed at high speed.
【０００８】請求項２に記載の発明は、固定レバーに設
けられ、カムフオロアを固定レバーに偏移可能に嵌装す
る可動溝と、固定レバーを付勢する付勢手段を備え、付
勢手段により固定レバーに設けられた可動溝をスライド
し、可動溝に嵌装されるカムフオロアの位置を偏移する
ことにより、基板カセット底部の寸法誤差を吸収するこ
とを特徴とするもので、基板カセット底部のバラツキを
可動溝をスライドして可動溝に嵌装される位置を偏移す
ることにより吸収することが可能となるため、基板カセ
ットの固定の信頼性を一層高めることができる作用を有
する。According to a second aspect of the present invention, there is provided a movable groove provided on the fixed lever, the cam follower being fitted to the fixed lever so as to be displaceable, and a biasing means for biasing the fixed lever. By sliding the movable groove provided in the fixed lever and shifting the position of the cam follower fitted in the movable groove, the dimensional error at the bottom of the substrate cassette is absorbed, and Since the variation can be absorbed by sliding the movable groove to shift the position where the movable groove is fitted, the reliability of fixing the substrate cassette can be further improved.
【０００９】[0009]
【実施の形態】図１〜図４は、本発明に係る実施の形態
である基板カセット固定装置の動作工程を示し、図５
は、本発明に係る実施の形態である基板カセット固定装
置の概略図、図６は、基板カセット固定装置の基板カセ
ット底部固定部の拡大図である。1 to 4 show an operation process of a substrate cassette fixing apparatus according to an embodiment of the present invention.
1 is a schematic view of a substrate cassette fixing device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is an enlarged view of a substrate cassette fixing portion of the substrate cassette fixing device.
【００１０】図１〜図５において、１は基板を収納する
基板カセット、２は基板カセット１が載置される載せ
台、３は基板カセットを水平方向に押動する押し付けシ
リンダ、４は基板カセット１の底部、４ａは底部４に設
けた固定レバー嵌合部、５は基板カセット底部固定レバ
ー、５ａは固定レバー回動支点、６は押し付けシリンダ
３の動作に連動して、固定レバー５を回動するカムフオ
ロア、７はカムフオロア６をガイドする溝カム、８は基
板処理装置の前面に設けたカセット基準面、９は固定レ
バー５に設けられ、カムフオロア６が嵌装されるカムフ
オロア可動溝、１０は固定レバー５を基板カセット１の
底部４方向に付勢するレバー押えバネである。1 to 5, reference numeral 1 denotes a substrate cassette for storing substrates, 2 denotes a mounting table on which the substrate cassette 1 is mounted, 3 denotes a pressing cylinder for pressing the substrate cassette in a horizontal direction, and 4 denotes a substrate cassette. Reference numeral 1 denotes a bottom portion, 4a denotes a fixed lever fitting portion provided on the bottom portion 4, 5 denotes a substrate cassette bottom fixed lever, 5a denotes a fixed lever rotation fulcrum, and 6 denotes a rotation of the fixed lever 5 in conjunction with the operation of the pressing cylinder 3. A moving cam follower, 7 is a groove cam for guiding the cam follower 6, 8 is a cassette reference surface provided on the front surface of the substrate processing apparatus, 9 is provided on the fixed lever 5, and a cam follower movable groove on which the cam follower 6 is fitted is 10; A lever pressing spring for urging the fixed lever 5 in the direction of the bottom 4 of the substrate cassette 1.
【００１１】以下、図１〜図４に示す基板カセット固定
装置の動作工程図及び図５に示す基板カセット固定装置
の概略図により、本実施の形態における基板カセット固
定動作について説明する。図１に示すように、基板カセ
ット１が載せ台２上に載置されると、押し付けシリンダ
３が作動し、基板カセット１は前方にスライドされる。
この時、固定レバー５に設けたカムフオロア６は溝カム
７によってガイドされて上方に偏移するため、固定レバ
ー５は支点５ａを中心に回動し、その結果固定レバー５
の先端は、基板カセット底部４の固定レバー嵌合部４ａ
に嵌合し、図２に示すように、基板カセット１の底部４
を載せ台２上に固定する。そのため、基板カセット１は
基板処理装置のカセット基準面８に固定される前に載せ
台２上に固定される。次に、押し付けシリンダ３がその
まま動作し、基板カセット１を水平方向に押動すると、
基板カセット１は基板処理装置のカセット基準面８側に
スライドし、図３に示すように、基板処理装置のカセッ
ト基準面８に固定される。Hereinafter, the substrate cassette fixing operation in the present embodiment will be described with reference to the operation process diagrams of the substrate cassette fixing device shown in FIGS. 1 to 4 and the schematic diagram of the substrate cassette fixing device shown in FIG. As shown in FIG. 1, when the substrate cassette 1 is mounted on the mounting table 2, the pressing cylinder 3 is operated, and the substrate cassette 1 is slid forward.
At this time, the cam follower 6 provided on the fixed lever 5 is guided upward by the groove cam 7 and shifts upward, so that the fixed lever 5 rotates about the fulcrum 5a.
Is fixed lever fitting portion 4a of substrate cassette bottom portion 4.
And the bottom 4 of the substrate cassette 1 as shown in FIG.
Is fixed on the mounting table 2. Therefore, the substrate cassette 1 is fixed on the mounting table 2 before being fixed to the cassette reference surface 8 of the substrate processing apparatus. Next, when the pressing cylinder 3 operates as it is and pushes the substrate cassette 1 in the horizontal direction,
The substrate cassette 1 slides toward the cassette reference surface 8 of the substrate processing apparatus, and is fixed to the cassette reference surface 8 of the substrate processing apparatus as shown in FIG.
【００１２】次に、図６により、基板カセット１に誤差
が生じた場合の寸法誤差の調整動作について説明する。
カムフオロア６は、固定レバー５に設けたカムフオロア
可動溝９に嵌装され、かつ固定レバー５は、固定レバー
押えバネ１０により、固定レバー５の先端が基板カセッ
ト１の底部４に設けた固定レバー嵌合部４ａに嵌合する
ように付勢されているので、基板カセット１の底部４に
寸法誤差が生じた場合には、押えバネ１０により固定レ
バー５が可動し、寸法誤差分だけ可動溝９がスライド
し、可動溝９に嵌装されるカムフオロア６の位置を偏移
するため、基板カセット底部４に生じた寸法誤差を吸収
する。Next, referring to FIG. 6, an operation of adjusting a dimensional error when an error occurs in the substrate cassette 1 will be described.
The cam follower 6 is fitted in a cam follower movable groove 9 provided in the fixed lever 5, and the fixed lever 5 is fixed by a fixed lever holding spring 10 so that the tip of the fixed lever 5 is provided on the bottom 4 of the substrate cassette 1. When the bottom portion 4 of the substrate cassette 1 has a dimensional error, the fixing lever 5 is moved by the pressing spring 10, and the movable groove 9 is moved by the dimensional error. Slides to shift the position of the cam follower 6 fitted in the movable groove 9, thereby absorbing a dimensional error generated in the substrate cassette bottom 4.
【００１３】このように、本実施の形態によると、載せ
台２上に基板カセット１が載置されると、押し付けシリ
ンダ３が作動して、載せ台２を前方に押動し、この動作
に連動してカムフオロア６と溝カム７により、固定レバ
ー５は支点５ａを中心に回動し、そのため固定レバー５
の先端は基板カセット底部４の固定レバー嵌合部４ａに
嵌合し、基板カセット１を固定レバー５により固定す
る。次に、押し付けシリンダ３がそのまま動作し、基板
カセット１を水平方向に押動するため、基板カセット１
は基板処理装置のカセット基準面８に固定される。ま
た、基板カセット１の底部４に寸法誤差がある場合は、
押えバネ１０により固定レバー５を回動し、可動溝９が
スライドして可動溝９に嵌装されるカムフオロア６の位
置を偏移することにより、基板カセット底部に生じた寸
法誤差を吸収する。As described above, according to the present embodiment, when the substrate cassette 1 is mounted on the mounting table 2, the pressing cylinder 3 is operated to push the mounting table 2 forward, and this operation is performed. The fixed lever 5 pivots about the fulcrum 5a by the cam follower 6 and the groove cam 7 in conjunction therewith.
Is fitted into a fixing lever fitting portion 4 a of the substrate cassette bottom 4, and the substrate cassette 1 is fixed by the fixing lever 5. Next, the pressing cylinder 3 operates as it is, and pushes the substrate cassette 1 in the horizontal direction.
Is fixed to the cassette reference plane 8 of the substrate processing apparatus. If there is a dimensional error in the bottom part 4 of the substrate cassette 1,
The fixed lever 5 is rotated by the pressing spring 10, and the movable groove 9 slides to shift the position of the cam follower 6 fitted in the movable groove 9, thereby absorbing a dimensional error generated at the bottom of the substrate cassette.
【００１４】[0014]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、基板カセ
ット底部を載せ台上に固定する動作と、基板カセットを
基板処理装置のカセット基準面に固定する動作を、共通
する駆動源により行うため、駆動源が一つになり、か
つ、センシングが不要となるため、部品点数が少なくな
るとともに、基板カセット底部のバラツキを吸収するこ
とも可能となり、基板カセットの固定を高い信頼性で高
速に行うことができるという有利な効果を得ることがで
きる。As described above, according to the present invention, the operation of fixing the bottom of the substrate cassette on the mounting table and the operation of fixing the substrate cassette on the cassette reference surface of the substrate processing apparatus are performed by a common drive source. Therefore, since only one drive source is required and sensing is not required, the number of parts is reduced, and variations in the bottom of the substrate cassette can be absorbed. An advantageous effect that the operation can be performed can be obtained.
【図１】基板カセットが載せ台上に載置された状態を示
す図である。FIG. 1 is a diagram showing a state where a substrate cassette is mounted on a mounting table.
【図２】基板カセット底部に固定された状態を示す図で
ある。FIG. 2 is a diagram showing a state in which it is fixed to the bottom of the substrate cassette.
【図３】基板カセットが基板処理装置全面に固定された
状態を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a state in which a substrate cassette is fixed on the entire surface of the substrate processing apparatus.
【図４】基板カセット底部に誤差が生じる場合の状態を
示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a state where an error occurs at the bottom of the substrate cassette.
【図５】本発明の実施の形態である基板カセット固定装
置の概略図である。FIG. 5 is a schematic view of a substrate cassette fixing device according to an embodiment of the present invention.
【図６】基板カセット固定装置の基板カセット底部固定
部の拡大図である。FIG. 6 is an enlarged view of a substrate cassette bottom fixing portion of the substrate cassette fixing device.
【図７】従来の基板カセット固定装置の概念図である。FIG. 7 is a conceptual diagram of a conventional substrate cassette fixing device.
１ 基板カセット ２ カセット載せ台 ３ 押し付けシリンダ ４ 基板カセットの底部 ４ａ 固定レバー嵌合部 ５ 基板カセット底部固定レバー ５ａ 固定レバー回動支点 ６ カムフオロア ７ 溝カム ８ 基板処理装置のカセット基準面 ９ カムフオロア可動溝 １０ レバー押さえバネ １１ 基板カセット固定センサ １２ 基板カセット固定シリンダ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate cassette 2 Cassette mounting base 3 Pressing cylinder 4 Bottom part of substrate cassette 4a Fixed lever fitting part 5 Substrate cassette bottom fixing lever 5a Fixed lever rotation fulcrum 6 Cam follower 7 Groove cam 8 Cassette reference surface of substrate processing apparatus 9 Cam follower movable groove Reference Signs List 10 lever holding spring 11 substrate cassette fixing sensor 12 substrate cassette fixing cylinder
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5F031 CA01 DA08 LA15 MA17 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 5F031 CA01 DA08 LA15 MA17
Claims (2)
において、基板カセットを基板処理装置のカセット基準
面に押動するシリンダと、シリンダの動作に連動し、基
板カセット底部を載せ台に固定する固定レバーと、固定
レバーに装着され、溝カムによってガイドされるカムフ
オロアを備えた固定手段を有し、シリンダの動作により
カムフオロアを介して、固定レバーを回動し、基板カセ
ット底部を載せ台に固定することを特徴とする基板カセ
ット固定装置。In a fixing device for a substrate cassette for storing substrates, a cylinder for pushing a substrate cassette to a cassette reference surface of a substrate processing apparatus, and a fixing device for fixing a bottom portion of the substrate cassette to a mounting table in conjunction with the operation of the cylinder. A lever and a fixing means mounted on the fixing lever and provided with a cam follower guided by a groove cam. The operation of the cylinder rotates the fixing lever via the cam follower to fix the substrate cassette bottom to the mounting table. A substrate cassette fixing device, characterized in that:
固定レバーに偏移可能に嵌装する可動溝と、固定レバー
を付勢する付勢手段を備え、付勢手段により固定レバー
に設けられた可動溝をスライドし、可動溝に嵌装される
カムフオロアの位置を偏移することにより、基板カセッ
ト底部の寸法誤差を吸収することを特徴とする請求項１
記載の基板カセット固定装置。A movable groove provided on the fixed lever, the cam follower being fitted to the fixed lever such that the cam follower can be displaced; and a biasing means for biasing the fixed lever, the movable means being provided on the fixed lever by the biasing means. 2. A dimensional error at a bottom portion of a substrate cassette is absorbed by sliding a groove to shift a position of a cam follower fitted into a movable groove.
The substrate cassette fixing device as described in the above.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2001108769A JP4068814B2 (en) | 2001-04-06 | 2001-04-06 | Substrate cassette fixing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001108769A JP4068814B2 (en) | 2001-04-06 | 2001-04-06 | Substrate cassette fixing device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| JP (1) | JP4068814B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012023176A (en) * | 2010-07-14 | 2012-02-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | Grinder |
| CN114373705A (en) * | 2022-01-11 | 2022-04-19 | 无锡京运通科技有限公司 | Silicon wafer loading mechanism for silicon single crystal production inserting machine |
-
2001
- 2001-04-06 JP JP2001108769A patent/JP4068814B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012023176A (en) * | 2010-07-14 | 2012-02-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | Grinder |
| CN114373705A (en) * | 2022-01-11 | 2022-04-19 | 无锡京运通科技有限公司 | Silicon wafer loading mechanism for silicon single crystal production inserting machine |
| CN114373705B (en) * | 2022-01-11 | 2022-11-15 | 无锡京运通科技有限公司 | Silicon wafer loading mechanism for silicon single crystal production inserting machine |
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| JP4068814B2 (en) | 2008-03-26 |
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