JP2002298448A

JP2002298448A - 原盤作製装置及び方法、並びにディスク作製装置及び方法

Info

Publication number: JP2002298448A
Application number: JP2001099767A
Authority: JP
Inventors: Yasuyuki Hieda; 泰之稗田; Katsuyuki Naito; 勝之内藤
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2001-03-30
Filing date: 2001-03-30
Publication date: 2002-10-11

Abstract

(57)【要約】【課題】スピンドルモーターの軸ブレの幅に制限を受
けずに、１ＭＴＰＩのトラック密度を可能にすること。【解決手段】ディスク６１の表面に、複数のサブトラッ
クパターンが互いに平行に配列してなる記録トラック帯
パターンをディスク６１の中心軸周りにスパイラル状に
作製するディスク作製装置であって、ディスク６１を保
持するディスク保持手段６２と、ディスク６１を中心軸
周りに回転させるディスク回転手段６３と、複数の前記
サブトラックパターンをそれぞれ描画する複数のプロー
ブを一列に配列してなるヘッド６４と、ヘッド６４をそ
の長手方向がディスク６１の動径方向に沿うように保持
可能なヘッド保持手段６５と、ヘッド６４をヘッド保持
手段６５により保持した状態でヘッド６４をディスク６
１の動径方向に移動するヘッド移動手段６６とを具備す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、原盤作製装置及び
方法、並びにディスク作製装置及び方法に係わり、特に
Ｔｂｉｔｓ／ｉｎｃｈ２の高密度記録が可能な原盤作製
装置及び方法、並びにディスク作製装置及び方法に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】パソコンなど情報機器の飛躍的な機能向
上により、ユーザーの扱う情報は著しく増大してきてい
る。このような状況により、従来より飛躍的に記録密度
の高い情報記録再生装置に対する期待は高まるばかりで
ある。

【０００３】記録密度を高めるためには、記録マークを
小さくするとともに、記録トラックの間隔を小さくしな
くてはならない。現在、狭トラック化に対しては、書き
込みヘッドの微細化により進められている。しかし、記
録密度が１Ｔｂｉｔｓ／ｉｎｃｈ２レベルになってくる
と、書き込みヘッドの微細化だけでは狭トラック化は実
現できなくなってくる。

【０００４】１Ｔｂｉｔｓ／ｉｎｃｈ２の記録密度で
は、トラック間隔とマーク間隔を等しいとした場合、ト
ラック密度は１ＭＴＰＩ、つまりトラックの間隔は２５
ｎｍという高いトラック密度が必要となる。このような
高いトラック密度になると、ＨＤＤやＤＶＤなどのディ
スク状記録媒体の場合には、ディスクを駆動するスピン
ドルモーターの軸ブレの大きさが問題になってくる。光
ディスクの原盤記録などに使われるエアスピンドルモー
ターでは、非同期の軸ブレは１０ｎｍ以下と非常に小さ
いが、それでも１ＭＴＰＩという高いトラック密度では
軸ブレの大きさはトラック間隔と同程度となってしま
う。

【０００５】狭トラック化を実現する方法の一つとし
て、あらかじめトラッキング用のサーボパターンを物理
的な凹凸パターンとして、ディスクに作りこんでおく方
法が提案されている（特開平６−１１１５０２）。この
方法では、もともと真円度の高いトラックが形成されて
いるため、従来のＨＤＤに比較するとトラック密度の向
上を可能とするものの、やはりサーボパターンの描画の
際にはスピンドルモーターを用いるために、軸ブレによ
るトラックの干渉は免れない。

【０００６】以上のように、スピンドルモーターを用い
た従来の情報記録再生装置では、１ＭＴＰＩ程度の高い
トラック密度のトラックを書こうとすると、軸ブレによ
り隣り合うトラックが重なってしまう場所ができてしま
うという問題がある。これにより、従来の技術により作
製された記録トラックでは、記録密度がＴｂｉｔｓ／ｉ
ｎｃｈ２レベルになると、記録の書き込みや読み出しの
際に正しくトラッキングすることが不可能となる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、Ｔｂ
ｉｔｓ／ｉｎｃｈ２の記録密度を実現するためには、高
いトラック密度を可能にする技術が必要となるが、従来
の方法では、スピンドルモーターの軸ブレのためにトラ
ック密度の向上には限界がある。

【０００８】本発明は上記実情に鑑みてなされたもので
あり、通常のスピンドルモーターを用いても、トラック
の高密度化を可能にする原盤作製装置及び方法、並びに
ディスク作製装置及び方法を提供することを目的とす
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】（構成）上記課題を解決
するために本発明の第１は、ディスク原盤の表面に、複
数のサブトラックパターンが互いに平行に配列してなる
記録トラック帯パターンを前記ディスク原盤の中心軸周
りにスパイラル状に作製する原盤作製装置であって、前
記ディスク原盤を保持する原盤保持手段と、前記ディス
ク原盤を中心軸周りに回転させる原盤回転手段と、複数
の前記サブトラックパターンをそれぞれ描画する複数の
プローブを所定の間隔に配列してなるヘッドと、前記デ
ィスク原盤の動径方向に対して前記所定の間隔に前記複
数のプローブが配列するように前記ヘッドを保持可能な
ヘッド保持手段と、前記ヘッドをヘッド保持手段により
保持した状態で当該ヘッドを前記ディスク原盤の動径方
向に移動するヘッド移動手段とを具備することを特徴と
する原盤作製装置を提供する。

【００１０】また本発明の第２は、情報を記録するディ
スクの表面に、複数のサブトラックパターンが互いに平
行に配列してなる記録トラック帯パターンを前記ディス
クの中心軸周りにスパイラル状に作製するディスク作製
装置であって、前記ディスクを保持するディスク保持手
段と、前記ディスクを中心軸周りに回転させるディスク
回転手段と、複数の前記サブトラックパターンをそれぞ
れ描画する複数のプローブを所定の間隔に配列してなる
ヘッドと、前記ディスクの動径方向に対して前記所定の
間隔に前記複数のプローブが配列するように前記ヘッド
を保持可能なヘッド保持手段と、前記ヘッドをヘッド保
持手段により保持した状態で当該ヘッドを前記ディスク
の動径方向に移動するヘッド移動手段とを具備すること
を特徴とするディスク作製装置を提供する。

【００１１】また本発明の第３は、ディスク原盤の表面
に、複数のサブトラックパターンが互いに平行に配列し
てなる記録トラック帯パターンを前記ディスク原盤の中
心軸周りにスパイラル状に作製する原盤作製方法であっ
て、前記ディスク原盤を保持し、複数のプローブを所定
の間隔に配列してなるヘッドを前記ディスク原盤の動径
方向に対して前記所定の間隔に前記複数のプローブが配
列するように保持し、前記ディスク原盤を中心軸周りに
回転させ、前記ヘッドを保持した状態で当該ヘッドを前
記ディスク原盤の動径方向に移動しながら、前記複数の
プローブにより前記複数のサブトラックパターンをそれ
ぞれ描画することを特徴とする原盤作製方法を提供す
る。

【００１２】また本発明の第４は、情報を記録するディ
スクの表面に、複数のサブトラックパターンが互いに平
行に配列してなる記録トラック帯パターンを前記ディス
クの中心軸周りにスパイラル状に作製するディスク作製
方法であって、前記ディスクを保持し、複数のプローブ
を所定の間隔に配列してなるヘッドを前記ディスクの動
径方向に対して前記所定の間隔に前記複数のプローブが
配列するように保持し、前記ディスクを中心軸周りに回
転させ、前記ヘッドを保持した状態で当該ヘッドを前記
ディスクの動径方向に移動しながら、前記複数のプロー
ブにより前記複数のサブトラックパターンをそれぞれ描
画することを特徴とするディスク作製方法を提供する。

【００１３】上記した本発明の第１乃至第４のいずれに
おいても、以下の構成を備えることが望ましい。

【００１４】（１）前記複数のプローブのそれぞれは近
接場光を発生するプローブであること。

【００１５】（２）前記複数のプローブのそれぞれは電
子を放出するプローブであること。

【００１６】なお、上記したようにディスク原盤を作製
した後に、当該ディスク原盤表面をレジストに直接押し
付けることで転写してレジストパターンを作製し、この
レジストパターンを用いて情報記録用のディスクの表面
を加工してディスクを作製することが可能である。ディ
スク原盤をレジストに転写する方法としては、ナノイン
プリント（Ｓ．Ｙ．Ｃｈｏｕｅｔａｌ．Ａｐｐ
ｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．６７，３１１４（１９９
５））といった方法が挙げられる。

【００１７】（作用）まず第一に、複数のプローブを固
定したヘッドを用いて複数のトラックを一括して作成す
ることを特徴とする。複数の固定されたプローブを用い
ることによりトラック間隔はプローブを配置する間隔に
よって規定されることになり、それぞれのトラック同士
は平行に保たれる。従って、複数のプローブにより複数
のトラックを一括作成する方法は、トラック作成の際に
ディスクを駆動するスピンドルモーターの軸ブレによる
トラックの重なりは原理的に起こらなくすることができ
る。

【００１８】第二に、本発明のトラック作成方法では、
作成するトラックの形を、HDDなどで使われているよう
な同心円状ではなく、光ディスクで使われているような
スパイラル形状とする。同心円状のトラックを形成しよ
うとした場合には、トラックの１周分書き始めと１周分
描き終わりの位置を各トラックで合わせなければならな
い。しかしこれに関しても、スピンドルモーターの軸ブ
レ幅以上に精密にトラックの継ぎ目を合わせることは困
難である。従って、Ｔｂｉｔｓ／ｉｎｃｈ２レベルの記
録密度になった場合には同心円状のトラックを形成する
ことは実際上不可能である。スパイラル形状のトラック
にした場合には、トラックの継ぎ目を合せることが必要
ではなくなるのでこのような問題も回避することができ
る。

【００１９】第三に、ヘッドをスパイラル状にディスク
状記録媒体もしくは記録媒体用原盤に相対移動させなが
ら複数のお互いに平行なスパイラル形状のトラックを作
成する際に、半径方向のスパイラルの間隔を調整する点
である。スパイラル形状のトラックにおいて半径方向に
隣接するトラック帯（複数のサブトラックを有する。）
を考えた場合、内側のトラック帯の最も外側のサブトラ
ックと外側のトラック帯の最も内側のサブトラックとの
間の間隔は、ディスク状記録媒体もしくは記録媒体用原
盤を回転駆動するスピンドルモーターの非同期軸ぶれの
大きさより大きくなるように設定される。かかる設定条
件の下でヘッドをディスクの半径方向に移動させながら
トラックを作成することを特徴とする。これは、複数の
トラックからなるスパイラル同士が重ならないようにす
るためである。このようにすると、内側のトラック帯の
最も外側のサブトラックと外側のトラック帯の最も内側
のサブトラックとの間の間隔は、スピンドルモーターの
軸ブレにより制限されることになるが、本発明ではスパ
イラル形状のトラック内部では複数の非常に高密度に並
んだサブトラックが形成されるために、スパイラルの間
隔を広げても平均的なトラック密度を実質的に下げるこ
とにはならない。

【００２０】スパイラルの形状を以上のようにすること
により、Ｔｂｉｔｓ／ｉｎｃｈ２という高い記録密度で
あるにもかかわらず、一般に使用されているスピンドル
モーターを用いてもトラックが重なることなく、記録ト
ラックを形成することができる。図１は、本発明で作成
されるトラックの形状の模式図を示す。１ａ、１ｂ、１
ｃはそれぞれ内側のトラック帯のサブトラックである。
一方、２ａ、２ｂ、２ｃはそれぞれ外側のトラック帯の
サブトラックである。Ｗｔはサブトラック１ａ、１ｂ、
１ｃ、２ａ、２ｂ、２ｃのうち互いに隣接するものの間
のトラック間隔を示し、Ｗｓは外側のトラック帯の中心
と内側のトラック帯の中心との間の間隔を示す。

【００２１】本発明によれば、複数の固定されたプロー
ブにより一括してサブトラックが形成されるため、スピ
ンドルモーターの軸フレの最大幅ΔＷの値が大きい場合
でも、内側のトラック帯の最も外側のサブトラック１ｃ
と外側のトラック帯の最も内側のサブトラック２ａとの
間の間隔を十分大きく設定することにより、隣接するト
ラック間の干渉をなくしてトラック密度を高めることが
できる。具体的には描画する際に、ヘッドを動径方向に
一定速度で移動させ、ディスクが一回転する間に移動す
る距離、つまりＷｓが、Ｗｓ＞Ｗｔ×（サブトラックの
本数−１）＋ΔＷなる関係式を満たすように速度を調整
すればよい。

【００２２】本発明では、記録トラックを形成する記録
媒体は、磁気媒体、光記録媒体等であり、光ディスク用
の原盤に対しても適用可能であるがそれらに限られるも
のではない。磁気記録媒体を用いた場合には、トラック
描画用プローブはＨＤＤの書き込みヘッドなどを用いる
ことができる。光ディスク原盤加工などには、ディスク
基板上に塗布されたレジスト膜に対して、近接場光プロ
ーブからなるトラック描画用プローブとしてのヘッドを
用いることができる。また、レジストとして電子線レジ
ストを用いれば、微小な電子エミッタ−からなるトラッ
ク描画用プローブを用いることも可能である。

【００２３】磁気記録媒体を用いた場合、Ｔｂｉｔｓ／
ｉｎｃｈ２レベルの記録密度では、記録マークが熱的に
不安定になり、記録を保持できなくなるが、それを防ぐ
ために、一つ一つの記録ビットをパターニングして磁気
的に分離してしまい安定化させる方法、いわゆるパター
ンドメディアが提案されている。Ｔｂｉｔｓ／ｉｎｃｈ
2の記録密度のパターンドメディアでは、ナノメーター
スケールのパターンを作製するコストを下げることが重
要となるが、その手段としてナノメータースケールの凹
凸原盤をレジストに押し付けパターン形成するナノイン
プリントと呼ばれる方法が提案されている。ナノインプ
リント用の原盤を本発明による方法により作製すること
も可能である。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照しつつ詳細に説明する。

【００２５】（第１の実施形態）本実施形態では光ディ
スクのＬ／Ｇ（ランド／グルーブ）形成を行った例につ
いて述べる。

【００２６】図２に本実施形態で用いたヘッドの構造を
示す。本ヘッドは複数の近接場光プローブからなるヘッ
ドである。近接場光プローブの作成方法は次のとおりで
ある。即ち、Ｓｉ基板（１００面）１１を異方性エッチ
ングすることによりＳｉ基板１１の表面１１ｂに微小開
口部１１ｃを形成し、Ｓｉ基板１１の表面（開口裏面）
１１ａ側から透過防止膜としてアルミニウム膜１２を形
成した。アルミニウム膜１２を形成した後でも微小開口
部１１ｃが残存するように、形成するアルミニウム膜の
膜厚を調整する。次に、微小開口部１１ｃに光を集光す
るためにテーパー状のくぼみ部分にボールレンズ１３を
設置した。なお、ここで用いた近接場光プローブアレイ
の作成に関しては、興梠らによって開示されている方法
（特開平11―110793）を利用した。微小開口部１１ｃの
大きさはそれぞれ２０nm×２０nmとした。プローブは１
００個一列に、ディスクの動径方向に対する間隔が４０
ｎｍとなるように斜めに配列して形成した。

【００２７】図６は、本発明のディスク作製装置の構成
を示す図である。図６において、６１はディスク、６２
はディスクを保持するディスク保持手段、６３はディス
ク６１を中心軸周りに回転させるディスク回転手段、６
４は上記の如く作製したヘッド、６４ａは上記の如く作
成した近接場プローブ、６５はディスクの動径方向に対
して上記プローブが４０ｎｍの一定間隔に配列するよう
にヘッド６４を保持可能なヘッド保持手段、６６はヘッ
ド６４をヘッド保持手段６５により保持した状態でヘッ
ド６４をディスク６１の動径方向に移動するヘッド移動
手段である。

【００２８】トラックを形成するディスク６１としては
光リソグラフィー用ネガティブレジストをスピンコート
したガラスディスクを用いた。本実施形態では、ヘッド
６４はスライダ（ディスク保持手段６２）に取り付け浮
上走行させた。浮上量は２０ｎｍとした。露光は、光源
としてアルゴンイオンレーザーを用いた。ヘッド６４の
プローブアレイ全体に均一に当たるようにした。ヘッド
はエアスライダにより半径方向に５ｍｍ／ｍｉｎで均一
のスピードで移動させた。なお、ディスクの回転速度は
１０００ｒｐｍとした。このような条件では、サブトラ
ック領域の幅が４０ｎｍ×９９個＝３９６０ｎｍとな
り、またトラック帯の間隔Ｗｓは、５ｍｍ／ｍｉｎ÷１
０００ｒｐｍ＝５０００ｎｍとなり、内側のトラック帯
の最も外側のサブトラックと外側のトラック帯の最も内
側のサブトラックとの間の間隔は、スピンドルモーター
の軸ぶれより十分大きな値となっている。

【００２９】以上にようにして露光されたレジストを現
像し、反応性イオンエッチングによりガラス基板にパタ
ーンを転写し、レジストを除去した。この時のガラス表
面を原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）で観察した際の観察像を
図３に示す。ちょうど、スパイラルの隙間の部分の像を
得ることができた。幅２０ｎｍのランドが３０ｎｍ間隔
で１００列並んだＬ／Ｇ/構造が、スパイラル間の隙間
５００ｎｍで作成されていることが確認された。

【００３０】（第２の実施形態）本実施形態では磁性体
からなるパターンドメディアを作成するためのナノイン
プリント原盤の作成を行った例について述べる。

【００３１】図４には本実施形態で用いたヘッドの構造
を示す。微小な電子放出用電極からなるプローブであ
る。このプローブの作製方法は以下の通りである。Ｓｉ
基板（１００面）２１を異方性エッチングすることによ
り微小開口部２４を形成した後、Ｓｉ基板２１の開口裏
面側から酸化膜２２を２００ｎｍ形成し、その後電子放
出用電極としてチタン膜２３をテーパー状のくぼみ部分
に蒸着した。その後、微小開口部２４側から反応性イオ
ンエッチングを行い、チタン電極２３の先端を露呈させ
た。微小開口部２４の大きさはそれぞれ２０nm×２０nm
とした。プローブは１００個一列に、ディスクの動径方
向に対する間隔が４０ｎｍとなるように斜めに配列して
形成した。

【００３２】本実施形態の原盤作製装置としては図６と
同様の装置が用いられる。ここで電子線レジストとして
アモルファスＳｉをディスク表面に形成した。ヘッドを
スライダに固定し、ディスクに接触させ、ディスクを１
０００ｒｐｍで回転させた。浮上量は２０ｎｍとした。
ヘッドはエアスライダにより半径方向に５ｍｍ／ｍｉｎ
の均一のスピードで移動させながら、チタン電極２３と
アモルファスシリコンに対して−１０Ｖ，パルス幅１０
ｎｓｅｃのパルス電圧を印加し、アモルファスシリコン
膜を局所的に陽極酸化した。

【００３３】次に、フッ酸溶液により酸化された部分を
除去した。図５は、以上のように作成したナノインプリ
ント原盤の記録トラックのＡＦＭ像を示す図である。こ
のように作成した原盤を、磁気記録媒体上にレジストを
塗布したディスクに高圧で押しつけてレジストパターン
を作成した後、イオンミリングしたところ、直径２０ｎ
ｍの磁性体ドットからなる記録トラックが形成された。

【００３４】（第３の実施形態）本実施形態では、垂直
磁気媒体に対して直接パターニングすることによりパタ
ーンドメディアを作成した例について述べる。ヘッドは
第２の実施形態で示したものと同じものを用いた。ディ
スクとしては、ガラス基板上に磁気媒体材料を製膜した
上に電子線用ネガティブレジストをスピンコートしたも
のを用いた。

【００３５】本実施形態では、ヘッドは第２の実施形態
と同様に浮上走行させ、浮上量は２０ｎｍとした。ヘッ
ドはエアスライダにより半径方向に５ｍｍ／ｍｉｎの均
一のスピードで移動させた。ディスクは第２の実施形態
と同様に回転させた。回転速度は１０００ｒｐｍとし
た。チタン電極２３から電子をフィールドエミッション
させてレジストを露光させた。チタン電極２３にはー１
００Ｖ、パルス幅１０ｎｓｅｃのパルス電圧を印加し
た。露光後レジストを現像し、イオンミリングにより磁
気媒体材料にパターンを転写した。この試料をＡＦＭで
観察したところ、直径２０ｎｍの磁性体ドットが形成さ
れているのが確認された。

【００３６】なお本発明は上記実施形態に限定されるこ
とはない。例えば、先端が先鋭な複数のプローブからな
るヘッドを構成し、レジストを塗布したガラスディスク
に直接物理的に接触させることでレジストに溝を形成す
るような方法であっても良い。

【００３７】その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で
種々変形して実施することが可能である。

【００３８】

【発明の効果】本発明によれば、スピンドルモーターの
軸ブレによるトラックの重なりをなくし、Ｔｂｉｔｓ／
ｉｎｃｈ２の記録密度を達成するのに必要な高いトラッ
ク密度を達成することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明により作成される記録トラックの特徴
を説明する概略図。

【図２】本発明の第１の実施形態において使用された
ヘッドの断面図。

【図３】本発明の第１の実施形態において作成された
Ｌ／Ｇ構造のＡＦＭ像を示す図。

【図４】本発明の第２の実施形態において使用された
ヘッドの断面図。

【図５】本発明の第１の実施形態において作成された
磁性体ドット列のＡＦＭ像を示す図。

【図６】本発明の第１の実施形態に係るディスク作製
装置の構造を示す概略図。

【符号の説明】

１１…Ｓｉ基板（１００面）１１ａ…Ｓｉ基板１１の表面（開口裏面）１１ｂ…Ｓｉ基板１１の表面１１ｃ…微小開口部１２…アルミニウム膜１３…ボールレンズ２１…Ｓｉ基板（１００面）２２…酸化膜２３…チタン膜２４…微小開口部６１…ディスク６２…ディスク保持手段６３…ディスク回転手段６４…ヘッド６５…ヘッド保持手段６６…ヘッド移動手段

フロントページの続きＦターム(参考） 5D090 AA01 BB01 BB16 FF11 FF22 GG11 KK13 KK14 KK17 5D119 AA22 BA01 BB09 CA06 CA09 CA12 DA01 EB12 EC44 JA42 5D121 AA02 BB01 BB38 BB40 JJ09 JJ10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ディスク原盤の表面に、複数のサブトラ
ックパターンが互いに平行に配列してなる記録トラック
帯パターンを前記ディスク原盤の中心軸周りにスパイラ
ル状に作製する原盤作製装置であって、前記ディスク原
盤を保持する原盤保持手段と、前記ディスク原盤を中心
軸周りに回転させる原盤回転手段と、複数の前記サブト
ラックパターンをそれぞれ描画する複数のプローブを所
定の間隔に配列してなるヘッドと、前記ディスク原盤の
動径方向に対して前記所定の間隔に前記複数のプローブ
が配列するように前記ヘッドを保持可能なヘッド保持手
段と、前記ヘッドをヘッド保持手段により保持した状態
で当該ヘッドを前記ディスク原盤の動径方向に移動する
ヘッド移動手段とを具備することを特徴とする原盤作製
装置。
【請求項２】前記複数のプローブのそれぞれは近接場
光を発生するプローブであることを特徴とする請求項１
記載の原盤作製装置。
【請求項３】前記複数のプローブのそれぞれは電子を
放出するプローブであることを特徴とする請求項１記載
の原盤作製装置。
【請求項４】情報を記録するディスクの表面に、複数
のサブトラックパターンが互いに平行に配列してなる記
録トラック帯パターンを前記ディスクの中心軸周りにス
パイラル状に作製するディスク作製装置であって、前記
ディスクを保持するディスク保持手段と、前記ディスク
を中心軸周りに回転させるディスク回転手段と、複数の
前記サブトラックパターンをそれぞれ描画する複数のプ
ローブを所定の間隔に配列してなるヘッドと、前記ディ
スクの動径方向に対して前記所定の間隔に前記複数のプ
ローブが配列するように前記ヘッドを保持可能なヘッド
保持手段と、前記ヘッドをヘッド保持手段により保持し
た状態で当該ヘッドを前記ディスクの動径方向に移動す
るヘッド移動手段とを具備することを特徴とするディス
ク作製装置。
【請求項５】前記複数のプローブのそれぞれは近接場
光を発生するプローブであることを特徴とする請求項４
記載のディスク作製装置。
【請求項６】前記複数のプローブのそれぞれは電子を
放出するプローブであることを特徴とする請求項４記載
のディスク作製装置。
【請求項７】ディスク原盤の表面に、複数のサブトラ
ックパターンが互いに平行に配列してなる記録トラック
帯パターンを前記ディスク原盤の中心軸周りにスパイラ
ル状に作製する原盤作製方法であって、前記ディスク原
盤を保持し、複数のプローブを所定の間隔に配列してな
るヘッドを前記ディスク原盤の動径方向に対して前記所
定の間隔に前記複数のプローブが配列するように保持
し、前記ディスク原盤を中心軸周りに回転させ、前記ヘ
ッドを保持した状態で当該ヘッドを前記ディスク原盤の
動径方向に移動しながら、前記複数のプローブにより前
記複数のサブトラックパターンをそれぞれ描画すること
を特徴とする原盤作製方法。
【請求項８】前記複数のプローブのそれぞれは近接場
光を発生するプローブであることを特徴とする請求項７
記載の原盤作製方法。
【請求項９】前記複数のプローブのそれぞれは電子を
放出するプローブであることを特徴とする請求項７記載
の原盤作製方法。
【請求項１０】情報を記録するディスクの表面に、複
数のサブトラックパターンが互いに平行に配列してなる
記録トラック帯パターンを前記ディスクの中心軸周りに
スパイラル状に作製するディスク作製方法であって、前
記ディスクを保持し、複数のプローブを所定の間隔に配
列してなるヘッドを前記ディスクの動径方向に対して前
記所定の間隔に前記複数のプローブが配列するように保
持し、前記ディスクを中心軸周りに回転させ、前記ヘッ
ドを保持した状態で当該ヘッドを前記ディスクの動径方
向に移動しながら、前記複数のプローブにより前記複数
のサブトラックパターンをそれぞれ描画することを特徴
とするディスク作製方法。
【請求項１１】前記複数のプローブのそれぞれは近接
場光を発生するプローブであることを特徴とする請求項
１０記載のディスク作製方法。
【請求項１２】前記複数のプローブのそれぞれは電子
を放出するプローブであることを特徴とする請求項１０
記載のディスク作製方法。