JP2002298322A - 磁気記録再生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】製造が容易であり且つトラック間のピッチを狭
めた場合においてもトラッキングを高精度に行うことが
可能な磁気記録再生装置を提供すること。 【解決手段】本発明の磁気記録再生装置１は、互いに平
行に及び交互に配列した帯状磁気記録部２２と帯状非磁
性部２３とを備えた磁気記録媒体２、帯状磁気記録部２
２の１つとそれに隣接する帯状非磁性部２３の１つとの
境界部に対向した第１の磁気検出部１３ｂを有する第１
の磁気センサと、帯状磁気記録部２２の１つに対向した
第２の磁気検出部１３ａを有する第２の磁気センサと、
帯状磁気記録部２２の１つに対向した磁場発生部１４と
を備えた記録再生ヘッド７、及び帯状磁気記録部２２の
１つに沿って磁気記録媒体２と記録再生ヘッド７とを相
対移動させる駆動機構を具備することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録再生装置
に係り、特には、ディスクリート磁気記録媒体を用いた
磁気記録再生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】パーソナルコンピュータなどの情報機器
の機能は飛躍的に向上しており、そのため、ユーザが扱
う情報量も著しく増大している。それゆえ、従来に比べ
て飛躍的に記録密度の高い磁気記録再生装置に対する期
待は高まる一方である。

【０００３】磁気記録媒体への記録密度を高めるために
は、トラック間のピッチを狭めることが必要である。し
かしながら、現在、トラック間のピッチを狭めた場合、
隣接トラック間の干渉が大きくなる。そのため、クロス
イレースやクロストークなどの問題を生ずる。

【０００４】このような問題に対し、特開平７−２１０
８６３号公報や特開平９−７１４３号公報等は、磁気記
録層をトラックに対応して帯状にパターニングすること
により帯状磁気記録部を形成するとともに隣接トラック
同士をそれらの間に介在する帯状非磁性部で磁気的に分
離したディスクリート磁気記録媒体を開示している。こ
のような磁気記録媒体によると、各隣接トラック間の干
渉はそれらの間に介在する帯状非磁性部によって抑制さ
れるため、上記問題が発生するのを防止することができ
る。

【０００５】ところで、ディスクリート磁気記録媒体の
帯状非磁性部は例えば溝状に形成される。この場合、溝
状の帯状非磁性部の静電容量を検出することや溝状の帯
状非磁性部に光を照射して反射光を検出することによっ
てトラッキングを行うことが可能であることが知られて
いる。また、溝状の帯状非磁性部にトラッキング用の磁
気信号を予め記録しておき、ヘッドに設けられた磁気セ
ンサを用いてこの磁気信号を読み出すことによってもト
ラッキングを行うことが可能であることも知られてい
る。

【０００６】しかしながら、静電容量や反射光を検出す
る方法では、記録された情報の読み出しに利用する磁気
センサとは異なる種類のセンサが別途必要である。その
ため、記録再生ヘッドの構造やその製造工程が複雑とな
り、一体型のヘッドを作製することが困難である。ま
た、溝状の帯状非磁性部にトラッキング用の磁気信号を
予め記録する方法では、そのような磁気信号を記録する
ための操作が複雑であり、しかも、トラックピッチを１
００ｎｍ以下とした場合に十分に高い精度でトラッキン
グを行うことができない。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
に鑑みてなされたものであり、製造が容易であり且つト
ラック間のピッチを狭めた場合においてもトラッキング
を高精度に行うことが可能な磁気記録再生装置を提供す
ることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の側面によ
ると、基板と、前記基板の一主面に設けられ互いに平行
に配列した複数の帯状磁気記録部と、それぞれ前記複数
の帯状磁気記録部間に介在する複数の帯状非磁性部とを
備えた磁気記録媒体、前記複数の帯状磁気記録部の１つ
とそれに隣接する前記複数の帯状非磁性部の１つとの境
界部に対向した第１の磁気検出部を有する第１の磁気セ
ンサと、前記複数の帯状磁気記録部の１つに対向した第
２の磁気検出部を有する第２の磁気センサと、前記複数
の帯状磁気記録部の１つに対向した磁場発生部とを備え
た記録再生ヘッド、及び前記複数の帯状磁気記録部の１
つに沿って前記磁気記録媒体と前記記録再生ヘッドとを
相対移動させる駆動機構を具備することを特徴とする磁
気記録再生装置が提供される。

【０００９】また、本発明の第２の側面によると、基板
と、前記基板の一主面に設けられ互いに平行に配列した
複数の帯状磁気記録部と、それぞれ前記複数の帯状磁気
記録部間に介在する複数の帯状非磁性部とを備えた磁気
記録媒体、前記複数の帯状磁気記録部の１つとそれに隣
接する前記複数の帯状非磁性部の１つとの第１の境界部
に対向した第１の磁気検出部を有する第１の磁気センサ
と、前記複数の帯状磁気記録部の１つとそれに隣接する
前記複数の帯状非磁性部の１つとの第２の境界部に対向
した第２の磁気検出部を有する第２の磁気センサと、前
記複数の帯状磁気記録部の１つに対向した第３の磁気検
出部を有する第３の磁気センサと、前記複数の帯状磁気
記録部の１つに対向した磁場発生部とを備え、前記第１
及び第２の境界部を形成する２つの帯状磁気記録部の間
に前記第１及び第２の境界部を形成する２つの帯状非磁
性部の双方が介在するか或いは前記第１及び第２の境界
部を形成する２つの帯状非磁性部の間に前記第１及び第
２の境界部を形成する２つの帯状磁気記録部の双方が介
在するように前記第１及び第２の磁気検出部が配置され
た記録再生ヘッド、及び前記複数の帯状磁気記録部の１
つに沿って前記磁気記録媒体と前記記録再生ヘッドとを
相対移動させる駆動機構を具備することを特徴とする磁
気記録再生装置が提供される。

【００１０】さらに、本発明の第３の側面によると、基
板と、前記基板の一主面に設けられ互いに平行に配列し
た複数の帯状磁気記録部と、それぞれ前記複数の帯状磁
気記録部間に介在する複数の帯状非磁性部とを備えた磁
気記録媒体、前記複数の帯状磁気記録部の１つとそれに
隣接する前記複数の帯状非磁性部の２つの一方との境界
部に対向した第１の磁気検出部を有する第１の磁気セン
サと、前記１つの帯状磁気記録部と前記２つの帯状非磁
性部の他方との境界部に対向した第２の磁気検出部を有
する第２の磁気センサと、前記複数の帯状磁気記録部の
１つに対向した磁場発生部とを備えた記録再生ヘッド、
及び前記複数の帯状磁気記録部の１つに沿って前記磁気
記録媒体と前記記録再生ヘッドとを相対移動させる駆動
機構を具備することを特徴とする磁気記録再生装置が提
供される。

【００１１】本発明の第１の側面に係る磁気記録再生装
置において、通常、駆動機構は磁気記録媒体に対する記
録再生ヘッドの相対位置を複数の帯状磁気記録部の配列
方向に変化させる動作を有している。この場合、本発明
の第１の側面に係る磁気記録再生装置は、第１の磁気セ
ンサと駆動機構とに接続され且つ駆動機構の動作を第１
の磁気センサからの信号に基づいて制御する制御部をさ
らに備えることができる。

【００１２】また、本発明の第２及び第３の側面に係る
磁気記録再生装置において、通常、駆動機構は磁気記録
媒体に対する記録再生ヘッドの相対位置を複数の帯状磁
気記録部の配列方向に変化させる動作を有している。こ
の場合、本発明の第２及び第３の側面に係る磁気記録再
生装置は、第１の磁気センサと第２の磁気センサと駆動
機構とに接続され且つ駆動機構の動作を第１の磁気セン
サからの第１の信号と第２の磁気センサからの第２の信
号とに基づいて制御する制御部をさらに備えることがで
きる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明について、図面を参
照しながらより詳細に説明する。なお、各図において、
同様または類似する構成要素には同一の参照符号を付
し、重複する説明は省略する。

【００１４】図１は、本発明の第１〜第３の実施形態に
係る磁気記録再生装置を概略的に示す斜視図である。図
１に示す磁気記録再生装置１において、磁気記録媒体と
して磁気ディスク２を有している。この磁気記録再生装
置１は、磁気ディスク２として、後述するディスクリー
ト磁気記録媒体（ディスクリート磁気ディスク）を使用
している。

【００１５】磁気ディスク２はスピンドル３に回転可能
に支持されており、スピンドル３には制御回路（図示せ
ず）からの制御信号に応じて動作するモータ（図示せ
ず）が接続されている。図１に示す磁気記録再生装置１
では、これにより、磁気ディスク２の回転などを制御可
能としている。

【００１６】磁気ディスク２の円周部近傍には固定軸４
が配置されており、この固定軸４は、その上下２ヶ所に
配置されたボールベアリング（図示せず）を介して磁気
ヘッドアセンブリ５を揺動可能に支持している。磁気ヘ
ッドアセンブリ５のボビン部にはコイル（図示せず）が
巻きつけられており、このコイルとそれを挟んで対向し
て配置された永久磁石と対向ヨークとは磁気回路を形成
するのとともにボイスコイルモータ６を構成している。
このボイスコイルモータ６も制御回路に接続されてお
り、それにより、磁気ヘッドアセンブリ５の先端のヘッ
ドスライダ７を、磁気ディスク２の所望のトラック上へ
と位置させることを可能としている。

【００１７】磁気ヘッドアセンブリ５は、例えば、駆動
コイルを保持するボビン部などを備えたアクチュエータ
アーム８を有している。このアクチュエータアーム８に
はサスペンション９の一端が取り付けられており、サス
ペンション９の他端にはヘッドスライダ７が取り付けら
れている。このヘッドスライダ７には、後述する記録再
生ヘッドが組み込まれている。

【００１８】サスペンション９上には信号の書き込み及
び読み取り用などのリード線（図示せず）が形成されて
おり、これらリード線はヘッドスライダ７に組み込まれ
た記録再生ヘッドの電極にそれぞれ電気的に接続されて
いる。なお、この磁気記録再生装置１において、情報の
記録及び再生は、磁気ディスク２を回転させて、ヘッド
スライダ７を磁気ディスク２から浮上させた状態で行
う。また、図１に示す磁気記録再生装置１において、制
御回路などは制御部を構成しており、スピンドル３に接
続されたモータ及びボイスコイルモータ６などは駆動機
構を構成している。

【００１９】本発明の第１〜第３の実施形態では、主と
してヘッドスライダ７の構造が互いに異なっている。以
下、それぞれの実施形態の相違点について主に説明す
る。

【００２０】図２は、本発明の第１の実施形態に係る磁
気記録再生装置１で使用するヘッドスライダ７を概略的
に示す平面図である。図２に示すヘッドスライダ７は支
持体１１を有しており、支持体１１の一端部はスライダ
部１２を構成している。支持体１１の他端部の一主面に
は、情報読み出し用の磁気センサの磁気検出部１３ａと
トラッキング用の磁気センサの磁気検出部１３ｂと情報
記録用の磁場発生部１４とが設けられている。このよう
に構成されるヘッドスライダ７は磁気ディスク２に対し
て、例えば、図３及び図４に示すように配置される。

【００２１】図３は、本発明の第１の実施形態に係る磁
気記録再生装置１を概略的に示す断面図である。なお、
図３では、ヘッドスライダ７と磁気ディスク２との相対
位置の理解を容易にするためにその理解に不要な構成部
材は省略されており、ヘッドスライダ７の断面構造を説
明するためにヘッドスライダ７の向きを９０°回転させ
て描いている。

【００２２】図３に示すように、ヘッドスライダ７は、
その磁気検出部１３ａなどが設けられた面が磁気ディス
ク２と対向するように配置される。ヘッドスライダ７を
このように配置すると、モータ１０を駆動してスピンド
ル３に支持された磁気ディスク２を回転させることによ
り生ずる気流によってヘッドスライダ７を磁気ディスク
２から浮上させることができる。

【００２３】図４は、本発明の第１の実施形態に係る磁
気記録再生装置１を概略的に示す平面図である。なお、
図４では、ヘッドスライダ７と磁気ディスク２との相対
位置の理解を容易にするためにその理解に不要な構成部
材は省略されており、ヘッドスライダ７は透視図として
描かれている。

【００２４】図４に示すように、磁気ディスク２は、基
板２１の一主面上で複数の帯状磁気記録部２２と複数の
帯状非磁性部２３とを交互に配列した構造を有してい
る。このような磁気ディスク２は、ディスクリート磁気
記録媒体と呼ばれる。

【００２５】帯状磁気記録部２２のそれぞれは磁気記録
膜で構成されており、隣り合う帯状磁気記録部２２間の
距離は一定である。この磁気記録膜は、通常の磁気記録
膜で使用されるのと同様の磁気記録材料で構成され得
る。

【００２６】帯状磁気記録部２２は、基板２１の主面に
垂直な方向から見た場合に、渦巻線状或いは同心円状の
形状を有している。なお、帯状磁気記録部２２が同心円
状の形状を有している場合、それら帯状磁気記録部２２
は相互に離間された複数個の円を形成する。一方、帯状
磁気記録部２２が渦巻線状の形状を有している場合、そ
れら帯状磁気記録部２２は相互に接続されて１本の帯を
形成する。

【００２７】帯状非磁性部２３は、帯状磁気記録部２２
間に介在するように設けられている。したがって、帯状
磁気記録部２２が基板２１の主面に垂直な方向から見て
同心円状の形状を有している場合、帯状非磁性部２３は
相互に離間された複数個の円を形成する。また、帯状磁
気記録部２２が渦巻線状の形状を有している場合、帯状
非磁性部２３は相互に接続されて１本の帯を形成する。

【００２８】帯状非磁性部２３は、帯状磁気記録部２２
の図中縦方向に隣り合うもの同士を磁気的に分離する役
割を担っている。また、帯状非磁性部２３は、それを構
成する材料を適宜選択することにより、クロスイレース
を防止し且つ熱設計を容易とし得る。

【００２９】帯状非磁性部２３は、通常、非磁性薄膜で
構成されるか或いは溝である。帯状非磁性部２３が非磁
性薄膜で構成される場合、その材料は非磁性材料であれ
ば特に制限はなく、例えば、金などの非磁性金属やＳｉ
Ｏ₂及びＡｌ₂Ｏ₃などの誘電体を使用することができ
る。また、帯状非磁性部２３が溝である場合、その溝の
内側に磁気記録膜は存在していなくてもよく、その溝が
完全に埋め込まれなければ溝の底面及び側壁は磁気記録
膜で覆われていてもよい。

【００３０】以上のように構成される磁気記録再生装置
１で情報の書き込み及び書き込んだ情報の読み出しを行
う場合、磁気検出部１３ａと磁場発生部１４とがいずれ
かの帯状磁気記録部２２（或いは、トラック）上に位置
するようにヘッドスライダ７を両矢印２６に示す方向に
位置合わせしつつ、磁気ディスク２を回転させることに
より、帯状磁気記録部２２及び帯状非磁性部２３を矢印
２５で示す方向に移動させる。本実施形態では、そのよ
うな位置合わせ，換言すればトラッキング，に、磁気検
出部１３ｂを有する磁気センサを利用する。

【００３１】すなわち、本実施形態では、図４に示すよ
うに、トラッキング用磁気センサの磁気検出部１３ｂを
いずれかの帯状磁気記録部２２とそれに隣接する帯状非
磁性部２３との境界部に対向させる。記録再生ヘッド７
の磁気ディスク２に対する相対位置が両矢印２６に示す
方向にズレた場合、磁気検出部１３ｂと帯状磁気記録部
２２とが重なり合う面積も変化する。その結果、磁気検
出部１３ｂを有する磁気センサからの信号の大きさも変
化する。

【００３２】なお、帯状磁気記録部２２には記録マーク
が形成されるため、例え上記のズレが生じていない場合
であっても、トラッキング用磁気センサからの信号の大
きさは帯状磁気記録部２２に記録されている情報“１”
と情報“０”とに応じて変化する。すなわち、トラッキ
ング用磁気センサからの信号は、上記のズレに対応した
情報と帯状磁気記録部２２に記録された情報に対応した
情報とを含んでいる。そのため、トラッキング用磁気セ
ンサからの信号をトラッキング制御に利用するために
は、そこから上記のズレに対応した情報のみを抽出する
必要がある。

【００３３】トラッキング用磁気センサからの信号から
上記のズレに対応した情報を得るには、トラッキング用
磁気センサからの信号の絶対値を求めればよい。例え
ば、図４において、記録再生ヘッド７の磁気ディスク２
に対する相対位置が図中下方向にズレた場合、トラッキ
ング用磁気センサからの信号の絶対値は減少する。これ
とは逆に、記録再生ヘッド７の磁気ディスク２に対する
相対位置が図中上方向にズレた場合、トラッキング用磁
気センサからの信号の絶対値は増加する。

【００３４】したがって、この絶対値の時間変化が抑制
されるように（理想的にはゼロとなるように）或いはこ
の絶対値が一定の値を維持するように、記録再生ヘッド
７を磁気ディスク２に対して両矢印２６で示す方向に適
宜移動させることによりトラッキング制御が可能とな
る。また、その絶対値を一定時間積分することにより得
られる値の時間変化が抑制されるように或いはそれが一
定の値を維持するように記録再生ヘッド７を磁気ディス
ク２に対して両矢印２６で示す方向に適宜移動させても
よい。

【００３５】なお、上記絶対値変化の時間積分が大きい
場合には、トラッキングのサンプリング周波数を高める
必要があると判断することができる。したがって、上記
絶対値変化の時間積分に基づいてトラッキングのサンプ
リング周波数を変化させてもよい。

【００３６】以上説明したように、本実施形態では、ト
ラッキング信号を検出するセンサとして磁気センサを使
用している。換言すれば、本実施形態では、記録再生ヘ
ッドが本来有している読み出し用の磁気センサと同様の
構造のセンサを設けることによりトラッキングを可能と
している。そのため、本実施形態によると、記録再生ヘ
ッド７の構造が簡略化され、したがって、その製造が容
易である。また、本実施形態では、帯状磁気記録部２２
と帯状非磁性部２３との境界部を利用してトラッキング
を行っている。すなわち、磁気ディスク２にトラッキン
グ信号を記録する必要がない。しかも、磁気ディスク２
に対する記録再生ヘッド７の相対位置のズレに対する上
記の絶対値変化は極めて大きいため、トラック間のピッ
チを狭めた場合においてもトラッキングを高精度に行う
ことができる。すなわち、本実施形態に係る磁気記録再
生装置１は、製造が容易であり且つトラック間のピッチ
を狭めた場合においてもトラッキングを高精度に行うこ
と，したがって、高速トラッキングを行うこと，が可能
である。

【００３７】以上説明した第１の実施形態では、図４に
示すように、磁気検出部１３ｂを、読み出し用磁気セン
サの磁気検出部１３ａが対向する帯状磁気記録部２２と
トラッキング用磁気センサの磁気検出部１３ｂが対向す
る境界部を形成する帯状磁気記録部２２とが隣り合うよ
うに支持体１１に設けたが、磁気検出部１３ｂの配置は
これに限られるものではない。例えば、磁気検出部１３
ａが対向する帯状磁気記録部２２と磁気検出部１３ｂが
対向する境界部を形成する帯状磁気記録部２２との間に
１つ以上の帯状磁気記録部２２が介在していてもよい。
或いは、磁気検出部１３ａが対向する帯状磁気記録部２
２と磁気検出部１３ｂが対向する境界部を形成する帯状
磁気記録部２２とは同一であってもよい。

【００３８】また、図４では、磁気検出部１３ｂを、そ
れが磁気検出部１３ａにより近い帯状非磁性部２３と磁
気検出部１３ａからより遠い帯状磁気記録部２２との境
界部に対向するように支持体１１に設けたが、磁気検出
部１３ａからより遠い帯状非磁性部２３と磁気検出部１
３ａにより近い帯状磁気記録部２２との境界部に対向す
るように支持体１１に設けてもよい。さらに、図４で
は、磁気検出部１３ａと磁場発生部１４とを、それらが
同一の帯状磁気記録部２２と対向するように支持体１１
に設けたが、それらが別々の帯状磁気記録部２２と対向
するように支持体１１に設けてもよい。

【００３９】次に、本発明の第２の実施形態について説
明する。図５は、本発明の第２の実施形態に係る磁気記
録再生装置１で使用するヘッドスライダ７を概略的に示
す平面図である。図５に示すヘッドスライダ７は支持体
１１を有しており、支持体１１の一端部はスライダ部１
２を構成している。支持体１１の他端部の一主面には、
情報読み出し用の磁気センサの磁気検出部１３ａとトラ
ッキング用の１対の磁気センサの磁気検出部１３ｂ，１
３ｃと情報記録用の磁場発生部１４とが設けられてい
る。このように構成されるヘッドスライダ７は磁気ディ
スク２に対して、例えば、図３及び図６に示すように配
置される。

【００４０】図６は、本発明の第２の実施形態に係る磁
気記録再生装置１を概略的に示す平面図である。なお、
図６では、ヘッドスライダ７と磁気ディスク２との相対
位置の理解を容易にするためにその理解に不要な構成部
材は省略されており、ヘッドスライダ７は透視図として
描かれている。

【００４１】本実施形態に係る磁気記録再生装置１で
は、記録再生ヘッド７に、トラッキング用の磁気センサ
として、磁気検出部１３ｂを有する磁気センサに加え、
磁気検出部１３ｃを有する磁気センサが設けられている
こと以外は第１の実施形態に係る磁気記録再生装置１と
ほぼ同様の構造を有している。

【００４２】このような構造によると、図６において、
記録再生ヘッド７の磁気ディスク２に対する相対位置が
図中下方向にズレた場合、磁気検出部１３ｂを有するト
ラッキング用磁気センサからの信号の絶対値は減少し、
磁気検出部１３ｃを有するトラッキング用磁気センサか
らの信号の絶対値は増加する。これとは逆に、記録再生
ヘッド７の磁気ディスク２に対する相対位置が図中上方
向にズレた場合、磁気検出部１３ｂを有するトラッキン
グ用磁気センサからの信号の絶対値は増加し、磁気検出
部１３ｃを有するトラッキング用磁気センサからの信号
の絶対値は減少する。

【００４３】したがって、それら絶対値の差が小さくな
るように（ゼロになるように）、記録再生ヘッド７を磁
気ディスク２に対して両矢印２６で示す方向に適宜移動
させることによりトラッキング制御が可能となる。な
お、それら絶対値を一定時間積分することにより得られ
る値の差が小さくなるように（ゼロになるように）、記
録再生ヘッド７を磁気ディスク２に対して両矢印２６で
示す方向に適宜移動させてもよい。

【００４４】このような方法によると、第１の実施形態
で説明した方法に比べて、より高精度に及びより高速に
トラッキングを行うことができる。また、記録再生ヘッ
ド７が磁気ディスク２の主面に平行な面内で微小角度回
転した場合、そのズレを、それらトラッキング用磁気セ
ンサからの信号に基づいて補正することができる。この
ズレの補正には、圧電素子などを利用することができ
る。

【００４５】以上説明した第２の実施形態では、図６に
示すように、磁気検出部１３ｂ，１３ｃを、読み出し用
磁気センサの磁気検出部１３ａが対向する帯状磁気記録
部２２とトラッキング用磁気センサの磁気検出部１３
ｂ，１３ｃが対向する境界部を形成する帯状磁気記録部
２２のぞれぞれとが隣り合うように支持体１１に設けた
が、磁気検出部１３ｂ，１３ｃの配置はこれに限られる
ものではない。例えば、磁気検出部１３ａが対向する帯
状磁気記録部２２と磁気検出部１３ｂ，１３ｃが対向す
る境界部を形成する帯状磁気記録部２２のそれぞれとの
間に１つ以上の帯状磁気記録部２２が介在していてもよ
い。

【００４６】また、図６では、磁気検出部１３ａを中心
として磁気検出部１３ｂと磁気検出部１３ｃとを対称な
位置に配置したが、それらを対称な位置に配置しなくて
もよい。また、図６では、磁気検出部１３ｂ，１３ｃ
を、それらの間に磁気検出部１３ａが介在するように支
持体１１に設けたが、磁気検出部１３ａが対向する帯状
磁気記録部２２と磁気検出部１３ｂ，１３ｃが対向する
境界部を形成する帯状磁気記録部２２の一方とは同一で
あってもよい。さらに、磁気検出部１３ａ，１３ｂ間に
磁気検出部１３ｃを介在させてもよく、或いは、磁気検
出部１３ａ，１３ｃ間に磁気検出部１３ｂを介在させて
もよい。

【００４７】また、図６では、磁気検出部１３ｂ，１３
ｃのそれぞれを、磁気検出部１３ａにより近い帯状非磁
性部２３と磁気検出部１３ａからより遠い帯状磁気記録
部２２との境界部に対向するように支持体１１に設けた
が、磁気検出部１３ａからより遠い帯状非磁性部２３と
磁気検出部１３ａにより近い帯状磁気記録部２２との境
界部に対向するように支持体１１に設けてもよい。さら
に、図６では、磁気検出部１３ａと磁場発生部１４と
を、それらが同一の帯状磁気記録部２２と対向するよう
に支持体１１に設けたが、それらが別々の帯状磁気記録
部２２と対向するように支持体１１に設けてもよい。

【００４８】次に、本発明の第３の実施形態について説
明する。図７は、本発明の第３の実施形態に係る磁気記
録再生装置１で使用するヘッドスライダ７を概略的に示
す平面図である。図７に示すヘッドスライダ７は支持体
１１を有しており、支持体１１の一端部はスライダ部１
２を構成している。支持体１１の他端部の一主面には、
情報読み出し用であり且つトラッキング用の１対の磁気
センサの磁気検出部１３ｂ，１３ｃと情報記録用の磁場
発生部１４とが設けられている。このように構成される
ヘッドスライダ７は磁気ディスク２に対して、例えば、
図８に示すように配置される。

【００４９】図８は、本発明の第３の実施形態に係る磁
気記録再生装置１を概略的に示す平面図である。なお、
図８では、ヘッドスライダ７と磁気ディスク２との相対
位置の理解を容易にするためにその理解に不要な構成部
材は省略されており、ヘッドスライダ７は透視図として
描かれている。

【００５０】本実施形態に係る磁気記録再生装置１で
は、記録再生ヘッド７に読み出し専用の磁気センサが設
けられておらず、その代わりにトラッキング用の磁気セ
ンサを読み出し兼用としたこと以外は第２の実施形態に
係る磁気記録再生装置１とほぼ同様の構造を有してい
る。すなわち、本実施形態に係る磁気記録再生装置１で
は、第２の実施形態に係る磁気検出部１３ａを有する磁
気センサを削除し、１対のトラッキング用磁気センサを
それらの磁気検出部１３ｂ，１３ｃが１つの帯状磁気記
録部２２の両側の境界部にそれぞれ対向するように配置
している。

【００５１】このような構造によると、第２の実施形態
で説明したのと同様の方法によりトラッキングを行うこ
とが可能である。また、帯状磁気記録部２２に記録され
た情報は、例えば、磁気検出部１３ｂを有する磁気セン
サからの信号と磁気検出部１３ｃを有する磁気センサか
らの信号との和として読み出すことができる。

【００５２】なお、本実施形態では、図８に示すよう
に、磁気検出部１３ｂ，１３ｃを、磁気検出部１３ｂ，
１３ｃが対向する２つの境界部を形成する帯状磁気記録
部２２と磁場発生部１４が対向する帯状磁気記録部２２
とが同一となるように支持体１１に設けたが、それらは
同一でなくてもよい。

【００５３】以上説明した第１〜第３の実施形態に係る
磁気記録再生装置１において、記録再生ヘッド７に設け
られる磁気センサは、プレーナ型のＧＭＲ素子であるこ
とが好ましい。プレーナ型ＧＭＲ素子を上記磁気センサ
として利用する場合、ウエハのプレーナ型ＧＭＲ素子を
形成した面を磁気ディスク２に対向させることとなる。
そのため、複数の磁気センサを１つの基板１１に対して
同時に形成することができ、ヘッド実装が容易になる。

【００５４】上述した第１〜第３の実施形態で使用する
磁気ディスク２は、例えば、以下の方法で製造すること
ができる。まず、光ディスクの製造で利用されているよ
うに、金型を用いたポリマーの射出成形などにより表面
にランド・グルーブのような凹凸構造を有する基板２１
を形成する。或いは、平坦な表面を有する基板２１を用
いる場合は、その平坦面上にレジスト膜のような樹脂薄
膜を成膜し、この薄膜に金型を押し付けて凹凸構造を転
写することにより基板２１の表面にランド・グルーブの
ような凹凸構造を形成する。次いで、基板２１の凹凸構
造が設けられた面に、スパッタリング法のような通常の
気相堆積法などを用いて磁気記録膜を成膜する。このよ
うな方法によると、磁気記録膜は基板表面の凸部上だけ
でなく凹部の底面及び側壁をも覆うように形成される。
しかしながら、通常、基板表面の凹凸構造は磁気記録膜
にも転写されるため、このような方法により、基板２１
上に帯状磁気記録部２２と帯状非磁性部２３とが設けら
れた磁気ディスク２を得ることができる。

【００５５】また、上記磁気ディスク２は、他の方法で
製造することもできる。すなわち、まず、平坦な表面を
有する基板２１を準備する。次に、基板２１の平坦面全
体に磁気記録膜を成膜する。次いで、磁気記録膜上にレ
ジスト膜などを成膜し、このレジスト膜に金型を押し当
てて凹凸構造を転写する。すなわち、レジストパターン
を形成する。その後、このレジストパターンをマスクと
して用いて磁気記録膜をエッチングすることにより、基
板２１上に帯状磁気記録部２２と帯状非磁性部２３とが
設けられた磁気ディスク２を得ることができる。

【００５６】上述した磁気ディスク２の製造方法は、い
ずれも大量生産に適しており、しかも、帯状磁気記録部
２２の幅を狭くすることができる。また、上記磁気ディ
スク２は、これら以外の方法で製造することも可能であ
る。例えば、光リソグラフィや電子線リソグラフィなど
を用いた方法や、操作型トンネル顕微鏡や近接場光顕微
鏡などの走査型プローブを用いた方法を利用することも
できる。光リソグラフィを用いた方法によると、帯状磁
気記録部２２の幅を狭めることは比較的困難であるが、
高い生産性を実現することができる。また、電子線リソ
グラフィや走査型プローブを用いた方法によると、高い
生産性を実現することは困難であるが、帯状磁気記録部
２２の幅を狭めることができる。なお、これら技術は、
上記金型，すなわち原盤，の製造にも利用可能である。

【００５７】以上説明した第１〜第３の実施形態では、
トラッキング制御を行うに当たり、記録再生ヘッド７を
両矢印２６の方向に移動させたが、記録再生ヘッド７の
移動方向は両矢印２６で示す方向に限られるものではな
い。すなわち、記録再生ヘッド７の移動方向は、矢印２
５と交差する方向であれば特に制限はない。

【００５８】また、上記第１〜第３の実施形態では、記
録や再生の際に、帯状磁気記録部２２を矢印２５に示す
方向に移動させたが、記録再生ヘッド７に対して帯状磁
気記録部２２を矢印２５に示す方向に相対移動させるこ
とができれば、帯状磁気記録部２２のみを移動させても
よく、記録再生ヘッド７のみを移動させてもよく、或い
は、帯状磁気記録部２２及び記録再生ヘッド７の双方を
移動させてもよい。同様に、上記第１〜第３の実施形態
では、トラッキング制御を行う際に、記録再生ヘッド７
を両矢印２６の方向に移動させたが、帯状磁気記録部２
２に対して記録再生ヘッド７を両矢印２６に示す方向に
相対移動させることができれば、記録再生ヘッド７のみ
を移動させてもよく、帯状磁気記録部２２のみを移動さ
せてもよく、或いは、帯状磁気記録部２２及び記録再生
ヘッド７の双方を移動させてもよい。

【００５９】さらに、上記第１〜第３の実施形態では、
磁気記録媒体２を磁気ディスクとし、帯状磁気記録部２
２及び帯状非磁性部２３を渦巻線状或いは同心円状とし
た場合について説明したが、磁気記録媒体２は他の形態
であっても良い。例えば、磁気記録媒体２はカードであ
っても良い。この場合、帯状磁気記録部２２及び帯状非
磁性部２３は直線状とすることが好ましい。

【００６０】また、帯状磁気記録部２２及び帯状非磁性
部２３を渦巻線状とする場合、マルチスパイラル構造を
採用してもよい。通常、それぞれのスパイラルは同時に
形成されるため、隣り合う帯状磁気記録部２２間の間隔
を一定に維持することは容易である。したがって、この
ような構造に対しても、上記第１〜第３の実施形態で説
明した技術を適用することができる。

【００６１】

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。 （実施例１）本実施例では、以下に詳述するように図３
及び図４に示す磁気記録再生装置１を作製し、そのトラ
ッキング精度を調べた。

【００６２】すなわち、本実施例では、プレーナ型ＧＭ
Ｒ素子の読み出し部１３ａ，１３ｂのサイズをそれぞれ
縦７０ｎｍ×幅２０ｎｍとし、単磁極書き込み部１４の
サイズは縦８０ｎｍ×幅２０ｎｍとした。それらＧＭＲ
素子は、同一の基板から作製した。また、読み出し部１
３ａと読み出し部１３ｂとの間の距離は４６０ｎｍと
し、読み出し部１３ａと書き込み部１４との間の距離は
２００ｎｍとした。なお、ここで「縦」は帯状磁気記録
部２２の長手方向に沿った方向を意味し、「横」はそれ
に垂直な方向を意味している。本実施例では、以上のよ
うに構成されるヘッドスライダ７を、圧電素子を有する
２段アクチュエータで支持した。

【００６３】また、本実施例では、以下の方法で作製し
た磁気ディスク２を使用した。すなわち、まず、直径
２．５インチ（＝６.３５ｃｍ）のガラス基板上に、厚
さ３０ｎｍのＰｄ下地層（図示せず）、厚さ５０ｎｍの
ＣｏＣｒＰｔ膜、及び厚さ５０ｎｍのＳｉＯ₂膜を順次
成膜した。なお、ＣｏＣｒＰｔは垂直磁気記録材料であ
る。

【００６４】次に、ＳｉＯ₂膜上にレジストをスピンコ
ートしてレジスト膜を形成した。次いで、金型をレジス
ト膜に押し当てて、そのレジスト膜に凹凸パターンを転
写した。すなわち、レジストパターンを形成した。な
お、ここで使用した金型は、電子線リソグラフィ技術及
びメッキ法を用いて作製したＮｉ金型であり、そのレジ
スト膜との接触面には、幅４０ｎｍ、高さ５０ｎｍ、間
隔７０ｎｍの渦巻線状の凸部が設けられている。

【００６５】次いで、そのレジストパターンをエッチン
グマスクとして用いた反応性イオンエッチング（ＲＩ
Ｅ）によりＳｉＯ₂膜の露出部を除去して、底面がＴｂ
ＦｅＣｏ膜で構成された渦巻線状の凹部を形成した。さ
らに、ＳｉＯ₂膜をマスクとして用いてＡｒイオンミリ
ングを行うことにより、ＣｏＣｒＰｔ膜の露出部及びＳ
ｉＯ₂膜を除去した。以上のようにして、渦巻線状のＣ
ｏＣｒＰｔ膜で構成された帯状磁気記録部２２を得た。

【００６６】その後、基板２１の帯状磁気記録部２２を
形成した面全体に厚さ５０ｎｍのＳｉＯ₂膜を成膜し
て、帯状磁気記録部２２によって形成された渦巻線状の
凹部をＳｉＯ₂で埋め込んだ。次に、このＳｉＯ₂膜を、
帯状磁気記録部２２の上面が露出するまで化学的機械研
磨法（ＣＭＰ法）によって研磨した。これにより、渦巻
線状のＳｉＯ₂膜で構成された帯状非磁性部２３を得
た。さらに、帯状磁気記録部２２及び帯状非磁性部２３
上にダイアモンドライクカーボン保護膜を成膜した。以
上のようにして、磁気ディスク２を得た。

【００６７】このようにして得られた磁気ディスク２を
磁気力顕微鏡で観察した。その結果、幅７０ｎｍの帯状
磁気記録部２２の幅方向に隣り合う部分が幅４０ｎｍの
帯状非磁性部２３で分離された構造を確認することがで
きた。

【００６８】以上のように構成される磁気記録再生装置
１について、読み出し部１３ｂを有する磁気センサが検
出する磁気信号帯２００ｎｍ分の磁気信号の絶対値が一
定となるように記録再生ヘッド２６の両矢印２６に示す
方向の位置を制御して、読み出し時におけるトラッキン
グ精度を調べた。その結果、２００Ｍｂｐｓの読み出し
速度でも十分に高精度にトラッキングを行うことができ
た。

【００６９】（実施例２）本実施例では、以下に詳述す
るように図６に示す磁気記録再生装置１を作製し、その
トラッキング精度を調べた。

【００７０】すなわち、本実施例では、プレーナ型ＧＭ
Ｒ素子の読み出し部１３ａ〜１３ｃのサイズをそれぞれ
縦７０ｎｍ×幅２０ｎｍとし、単磁極書き込み部１４の
サイズは縦８０ｎｍ×幅２０ｎｍとした。それらＧＭＲ
素子は、同一の基板から作製した。また、読み出し部１
３ａと読み出し部１３ｂとの間の距離及び読み出し部１
３ａと読み出し部１３ｃとの間の距離はそれぞれ４６０
ｎｍとし、読み出し部１３ａと書き込み部１４との間の
距離は２００ｎｍとした。なお、ここで「縦」は帯状磁
気記録部２２の長手方向に沿った方向を意味し、「横」
はそれに垂直な方向を意味している。本実施例では、以
上のように構成されるヘッドスライダ７を、圧電素子を
有する２段アクチュエータで支持した。また、本実施例
では、実施例１で使用したのと同様の磁気ディスク２を
使用した。

【００７１】以上のように構成される磁気記録再生装置
１について、読み出し部１３ｂを有する磁気センサが検
出する磁気信号の絶対値と読み出し部１３ｃを有する磁
気センサが検出する磁気信号の絶対値との差分が一定と
なるように記録再生ヘッド２６の両矢印２６に示す方向
の位置を制御して、読み出し時におけるトラッキング精
度を調べた。その結果、６００Ｍｂｐｓの読み出し速度
でも十分に高精度にトラッキングを行うことができた。

【００７２】（実施例３）本実施例では、以下に詳述す
るように図８に示す磁気記録再生装置１を作製し、その
トラッキング精度を調べた。

【００７３】すなわち、本実施例では、プレーナ型ＧＭ
Ｒ素子の読み出し部１３ｂ，１３ｃのサイズをそれぞれ
縦４０ｎｍ×幅２０ｎｍとし、単磁極書き込み部１４の
サイズは縦８０ｎｍ×幅２０ｎｍとした。それらＧＭＲ
素子は、同一の基板から作製した。また、読み出し部１
３ｂと読み出し部１３ｃとの間の距離は１０ｎｍとし、
読み出し部１３ｂ，１３ｃと書き込み部１４との間の距
離は２００ｎｍとした。なお、ここで「縦」は帯状磁気
記録部２２の長手方向に沿った方向を意味し、「横」は
それに垂直な方向を意味している。本実施例では、以上
のように構成されるヘッドスライダ７を、圧電素子を有
する２段アクチュエータで支持した。また、本実施例で
は、実施例１で使用したのと同様の磁気ディスク２を使
用した。

【００７４】以上のように構成される磁気記録再生装置
１について、読み出し部１３ｂを有する磁気センサが検
出する磁気信号の絶対値と読み出し部１３ｃを有する磁
気センサが検出する磁気信号の絶対値との差分が一定と
なるように、記録再生ヘッド２６の両矢印２６に示す方
向の位置並びに記録再生ヘッド２６が帯状磁気記録部２
２に対して為す角度を制御して、読み出し時におけるト
ラッキング精度を調べた。その結果、８００Ｍｂｐｓの
読み出し速度でも十分に高精度にトラッキングを行うこ
とができた。

【００７５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明では、トラ
ッキング信号を検出するセンサとして磁気センサを使用
している。そのため、本発明によると、記録再生ヘッド
の構造が簡略化され、したがって、磁気記録再生装置の
製造が容易となる。また、本発明では、帯状磁気記録部
と帯状非磁性部との間の境界部から得られる磁気信号を
トラッキングに利用している。この磁気信号の絶対値
は、磁気記録媒体に対する記録再生ヘッドの相対位置の
ズレに対して極めて大きく変化する。そのため、本発明
によると、トラック間のピッチを狭めた場合においても
トラッキングを高精度に行うことができる。すなわち、
本発明によると、製造が容易であり且つトラック間のピ
ッチを狭めた場合においてもトラッキングを高精度に行
うことが可能な磁気記録再生装置が提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１〜第３の実施形態に係る磁気記録
再生装置を概略的に示す斜視図。

【図２】本発明の第１の実施形態に係る磁気記録再生装
置で使用するヘッドスライダを概略的に示す平面図。

【図３】本発明の第１の実施形態に係る磁気記録再生装
置を概略的に示す断面図。

【図４】本発明の第１の実施形態に係る磁気記録再生装
置を概略的に示す平面図。

【図５】本発明の第２の実施形態に係る磁気記録再生装
置で使用するヘッドスライダを概略的に示す平面図。

【図６】本発明の第２の実施形態に係る磁気記録再生装
置を概略的に示す平面図。

【図７】本発明の第３の実施形態に係る磁気記録再生装
置で使用するヘッドスライダを概略的に示す平面図。

【図８】本発明の第３の実施形態に係る磁気記録再生装
置を概略的に示す平面図。

【符号の説明】

１…磁気記録再生装置； ２…磁気ディスク； ３…ス
ピンドル；４…固定軸； ５…磁気ヘッドアセンブリ；
６…ボイスコイルモータ；７…ヘッドスライダ； ８
…アクチュエータアーム； ９…サスペンション；１０
…モータ； １１…支持体； １２…スライダ部；１３
ａ〜１３ｃ…磁気検出部； １４…磁場発生部； ２１
…基板；２２…帯状磁気記録部； ２３…帯状非磁性
部； ２５…矢印；２６…両矢印

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5D006 DA03 5D042 LA01 MA01 5D096 AA02 BB01 BB02 CC01 CC07 DD01 EE09 GG02 KK11

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板と、前記基板の一主面に設けられ互
   いに平行に配列した複数の帯状磁気記録部と、それぞれ
   前記複数の帯状磁気記録部間に介在する複数の帯状非磁
   性部とを備えた磁気記録媒体、 前記複数の帯状磁気記録部の１つとそれに隣接する前記
   複数の帯状非磁性部の１つとの境界部に対向した第１の
   磁気検出部を有する第１の磁気センサと、前記複数の帯
   状磁気記録部の１つに対向した第２の磁気検出部を有す
   る第２の磁気センサと、前記複数の帯状磁気記録部の１
   つに対向した磁場発生部とを備えた記録再生ヘッド、及
   び前記複数の帯状磁気記録部の１つに沿って前記磁気記
   録媒体と前記記録再生ヘッドとを相対移動させる駆動機
   構を具備することを特徴とする磁気記録再生装置。
2. 【請求項２】 前記駆動機構は前記磁気記録媒体に対す
   る前記記録再生ヘッドの相対位置を前記複数の帯状磁気
   記録部の配列方向に変化させる動作を有し、前記第１の
   磁気センサと前記駆動機構とに接続され且つ前記駆動機
   構の動作を前記第１の磁気センサからの信号に基づいて
   制御する制御部をさらに具備することを特徴とする請求
   項１に記載の磁気記録再生装置。
3. 【請求項３】 基板と、前記基板の一主面に設けられ互
   いに平行に配列した複数の帯状磁気記録部と、それぞれ
   前記複数の帯状磁気記録部間に介在する複数の帯状非磁
   性部とを備えた磁気記録媒体、 前記複数の帯状磁気記録部の１つとそれに隣接する前記
   複数の帯状非磁性部の１つとの第１の境界部に対向した
   第１の磁気検出部を有する第１の磁気センサと、前記複
   数の帯状磁気記録部の１つとそれに隣接する前記複数の
   帯状非磁性部の１つとの第２の境界部に対向した第２の
   磁気検出部を有する第２の磁気センサと、前記複数の帯
   状磁気記録部の１つに対向した第３の磁気検出部を有す
   る第３の磁気センサと、前記複数の帯状磁気記録部の１
   つに対向した磁場発生部とを備え、前記第１及び第２の
   境界部を形成する２つの帯状磁気記録部の間に前記第１
   及び第２の境界部を形成する２つの帯状非磁性部の双方
   が介在するか或いは前記第１及び第２のの境界部を形成
   する２つの帯状非磁性部の間に前記第１及び第２の境界
   部を形成する２つの帯状磁気記録部の双方が介在するよ
   うに前記第１及び第２の磁気検出部が配置された記録再
   生ヘッド、及び前記複数の帯状磁気記録部の１つに沿っ
   て前記磁気記録媒体と前記記録再生ヘッドとを相対移動
   させる駆動機構を具備することを特徴とする磁気記録再
   生装置。
4. 【請求項４】 基板と、前記基板の一主面に設けられ互
   いに平行に配列した複数の帯状磁気記録部と、それぞれ
   前記複数の帯状磁気記録部間に介在する複数の帯状非磁
   性部とを備えた磁気記録媒体、 前記複数の帯状磁気記録部の１つとそれに隣接する前記
   複数の帯状非磁性部の２つの一方との境界部に対向した
   第１の磁気検出部を有する第１の磁気センサと、前記１
   つの帯状磁気記録部と前記２つの帯状非磁性部の他方と
   の境界部に対向した第２の磁気検出部を有する第２の磁
   気センサと、前記複数の帯状磁気記録部の１つに対向し
   た磁場発生部とを備えた記録再生ヘッド、及び前記複数
   の帯状磁気記録部の１つに沿って前記磁気記録媒体と前
   記記録再生ヘッドとを相対移動させる駆動機構を具備す
   ることを特徴とする磁気記録再生装置。
5. 【請求項５】 前記駆動機構は前記磁気記録媒体に対す
   る前記記録再生ヘッドの相対位置を前記複数の帯状磁気
   記録部の配列方向に変化させる動作を有し、前記第１の
   磁気センサと前記第２の磁気センサと前記駆動機構とに
   接続され且つ前記第１の磁気センサからの第１の信号と
   前記第２の磁気センサからの第２の信号とに基づいて制
   御する制御部をさらに具備することを特徴とする請求項
   ３または請求項４に記載の磁気記録再生装置。