JP2002298104A - Method for manufacturing rfid label - Google Patents
Method for manufacturing rfid labelInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、生産、物流、人流
などの管理において、RFID(Radio Frequency Iden
tification)と呼ばれる自動認識、識別システムに用い
られるRFIDラベルの製造方法に関する。さらに詳し
くは、アンテナ基板と半導体チップとをダイマウント用
粘着テープに貼り付けて製造するRFIDラベルをリー
ル状に巻き付けられた長尺状のダイマウント用粘着テー
プの供給・排出形態に対応して一連の各工程を行う一貫
的な製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an RFID (Radio Frequency ID
The present invention relates to a method for manufacturing an RFID label used in an automatic recognition and identification system called "tification". More specifically, a series of RFID labels manufactured by attaching an antenna substrate and a semiconductor chip to an adhesive tape for die mounting are manufactured in a series corresponding to the supply / discharge form of a long adhesive tape for die mounting wound in a reel shape. And a consistent manufacturing method for performing each of the steps.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、粘着テープにアンテナ基板および
半導体チップを貼り付け、両者間を金線などのワイヤに
より接続する種類のRFIDラベルを製造するには、図
3に示されるような製造工程で製造される。すなわち、
アンテナ基板2や半導体チップ(ダイ)3を貼着するダ
イマウント用粘着テープ1をリール状に巻かれたものか
ら巻き戻し、まず、アンテナ基板2を貼着する。アンテ
ナ基板2は誘電体の厚さもある程度必要であり、図4お
よび5に完成品であるRFIDラベルの断面説明図が示
されるように、一般的にはガラスエポキシ基板2aなど
の表面に導電体膜2bが形成されたものがアンテナ基板
2として用いられ、その一部に貫通孔が形成されてお
り、半導体チップ(ダイ)3をその貫通孔内に装着する
ことができるようになっている。そのため、このアンテ
ナ基板2は、リール状に巻いた状態で供給することがで
きず、一定寸法の短冊状シートで供給されている。2. Description of the Related Art Conventionally, in order to manufacture an RFID label of a type in which an antenna substrate and a semiconductor chip are attached to an adhesive tape and both are connected by a wire such as a gold wire, a manufacturing process as shown in FIG. Manufactured. That is,
The die mount adhesive tape 1 to which the antenna substrate 2 and the semiconductor chip (die) 3 are adhered is rewound from the reel-shaped one, and the antenna substrate 2 is first adhered. The antenna substrate 2 also needs a certain thickness of a dielectric material, and as shown in FIGS. 4 and 5, a cross-sectional explanatory view of a completed RFID label, a conductive film is generally formed on the surface of the glass epoxy substrate 2a or the like. The antenna substrate 2b is used as the antenna substrate 2, and a through hole is formed in a part of the antenna substrate 2. The semiconductor chip (die) 3 can be mounted in the through hole. For this reason, the antenna substrate 2 cannot be supplied in a state of being wound in a reel shape, but is supplied in the form of a strip-shaped sheet having a certain size.
【0003】一方、このアンテナ基板2や半導体チップ
3を貼着するダイマウント用粘着テープ1は、リール状
に巻かれ、順次巻き戻してアンテナ基板2が貼り付けら
れ、アンテナ基板1とほぼ同じ大きさの定寸にカットさ
れ、それぞれがつぎの工程に送られる。すなわち、図3
に示されるように、アンテナ基板の貫通孔により露出す
るダイマウント用粘着テープ1に半導体チップ3をマウ
ントするダイマウント工程、半導体チップ3の各電極端
子とアンテナ基板2との間で金線などのワイヤ4をワイ
ヤボンディングする工程、ワイヤボンディングされた表
面に、たとえばエポキシ樹脂などからなる液状の樹脂5
を滴下して塗布する工程、90℃程度で硬化させるポス
トキュア工程、その表面に保護用粘着テープ6を貼り付
け、その保護用粘着テープ6を巻き付ける工程を順次行
うことにより、RFIDラベルを出荷できる状態にす
る。On the other hand, the die mount adhesive tape 1 to which the antenna substrate 2 and the semiconductor chip 3 are adhered is wound in a reel shape, sequentially rewound, and the antenna substrate 2 is adhered, and has substantially the same size as the antenna substrate 1. The pieces are cut to a fixed size and each is sent to the next step. That is, FIG.
As shown in FIG. 2, a die mounting step of mounting the semiconductor chip 3 on the die mounting adhesive tape 1 exposed through the through hole of the antenna substrate, a method of forming a gold wire or the like between each electrode terminal of the semiconductor chip 3 and the antenna substrate 2. A step of wire-bonding the wire 4, a liquid resin 5 made of, for example, epoxy resin or the like on the wire-bonded surface;
The RFID label can be shipped by sequentially performing a process of dropping and applying, a post-curing process of curing at about 90 ° C., a process of attaching a protective adhesive tape 6 to the surface thereof, and a step of winding the protective adhesive tape 6. State.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】前述のように、従来の
アンテナ基板とダイとを粘着テープ上に組み立てるRF
IDラベルの製法では、アンテナ基板が貼着されたダイ
マウント用粘着テープを、アンテナ基板の大きさに合せ
てカットし、各工程をそれぞれバッチ式に行っている。
そのため、各工程で、基板1枚1枚について、位置決め
を行う必要があると共に、次工程に送るための機構が必
要になるなど装置が大掛かりになる。さらに、工程によ
って作業が滞留し、生産効率が低いという問題がある。As described above, an RF for assembling a conventional antenna substrate and a die on an adhesive tape is used.
In the method of manufacturing an ID label, an adhesive tape for die mounting to which an antenna substrate is attached is cut in accordance with the size of the antenna substrate, and each process is performed in a batch manner.
Therefore, in each process, it is necessary to perform positioning for each substrate, and a large-scale apparatus is required, such as a mechanism for sending the substrate to the next process. Further, there is a problem that work is stagnated in some processes and production efficiency is low.
【0005】さらに、前述のように、ワイヤボンディン
グをした後に、そのボンディング部を保護するため、樹
脂を滴下して硬化させているが、ワイヤボンディング部
は、半導体チップ(ダイ)と垂直方向にワイヤが延びる
ため、その部分のワイヤを保護しようとすると、図4に
示されるように、半導体チップ部での樹脂が盛り上がり
(図4の5a参照)、アンテナ基板2の部分の厚さより
相当厚くなる。そのため、RFIDラベルの厚さが均一
にならないと共に、厚くなるという問題がある。一方、
液状樹脂の滴下を薄く均一にしようとすると、図5に示
されるように、半導体チップのワイヤボンディング部の
ワイヤが樹脂層から露出し(図5の4a参照)、外力に
よりワイヤを切断しやすいという問題がある。Further, as described above, after the wire bonding, a resin is dropped and cured in order to protect the bonding portion, but the wire bonding portion is formed in a direction perpendicular to the semiconductor chip (die). Therefore, when the wire in that portion is to be protected, as shown in FIG. 4, the resin in the semiconductor chip portion rises (see 5a in FIG. 4), and becomes considerably thicker than the antenna substrate 2 portion. Therefore, there is a problem that the thickness of the RFID label is not uniform and becomes thick. on the other hand,
If the drop of the liquid resin is made thin and uniform, as shown in FIG. 5, the wire of the wire bonding portion of the semiconductor chip is exposed from the resin layer (see 4a of FIG. 5), and the wire is easily cut by an external force. There's a problem.
【0006】本発明の目的は、このような問題を解決す
るためになされたもので、リール状に巻かれたダイマウ
ント用粘着テープをテープのままで巻き戻しながら各工
程を一貫作業で行うことにより作業効率を向上させると
共に、ワイヤボンディン部の出っ張りをなくすることに
よりワイヤを外力から完全に保護しながら薄型のRFI
Dラベルを製造する方法を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve such a problem, and to perform each step in an integrated operation while rewinding a die-mounted adhesive tape wound in a reel form as it is. In addition to improving work efficiency, eliminating the protrusion of the wire bond portion completely protects the wire from external forces while reducing the thickness of the RFI.
It is to provide a method for manufacturing a D label.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明によるRFIDラ
ベルの製造方法は、リール状に巻かれたダイマウント用
粘着テープを端部から巻き戻しながら、該テープの表面
に貫通孔が形成された短冊状のアンテナ基板を順次貼り
付け、該アンテナ基板の貫通孔により露出する前記ダイ
マウント用粘着テープ表面に半導体チップをマウント
し、該半導体チップの電極端子と前記アンテナ基板との
間をワイヤボンディングにより接続し、該ボンディング
部のワイヤを潰してワイヤの突出部をなくし、該ワイヤ
ボンディング部に液状樹脂を滴下して硬化させることに
より封止し、表面に保護テープを貼り付けてリール状に
巻き付ける一連の工程を、前記半導体チップマウント用
粘着テープを巻き戻して搬送しながら一貫工程で行うこ
とを特徴とする。According to a method of manufacturing an RFID label according to the present invention, a strip having a through-hole formed in the surface of a die-mount adhesive tape wound on a reel while rewinding the tape from an end thereof. -Shaped antenna substrates are sequentially attached, a semiconductor chip is mounted on the surface of the adhesive tape for die mounting exposed through the through holes of the antenna substrate, and the electrode terminals of the semiconductor chip and the antenna substrate are connected by wire bonding. Then, the wire of the bonding portion is crushed to eliminate the projecting portion of the wire, a liquid resin is dropped on the wire bonding portion, and the wire resin is cured and sealed. The process is performed in an integrated process while rewinding and transporting the semiconductor chip mounting adhesive tape.
【0008】この方法によれば、ダイマウント用粘着テ
ープをアンテナ基板に合せて切断しないで、ダイマウン
ト用粘着テープを巻き戻して搬送しながら各工程を一貫
して行っているため、各工程でアンテナ基板などの位置
合せを行う必要がなく、また、一つの工程で半製品が滞
留するということもなくなり、非常に効率的に製造する
ことができる。なお、たとえばワイヤボンディング部を
封止する場合の硬化時間がかかる場合のように、工程に
より他の工程より時間のかかる場合は、たとえば硬化さ
せるための乾燥炉を長くし、その乾燥炉内を搬送させる
ことにより、ダイマウント用粘着テープを一定の速度で
搬送させながら各工程を連続的に行うことができる。According to this method, each step is performed consistently while rewinding and transporting the die mount adhesive tape without cutting the die mount adhesive tape along the antenna substrate. There is no need to align the antenna substrate and the like, and there is no stagnation of semi-finished products in one process, so that it is possible to manufacture very efficiently. If the process requires more time than other processes, for example, when the curing time for sealing the wire bonding portion is longer, for example, lengthen the drying furnace for curing, and transport in the drying furnace. By doing so, each step can be performed continuously while the adhesive tape for die mounting is transported at a constant speed.
【0009】さらに、本発明によれば、ワイヤボンディ
ングをした後に、そのボンディング部のワイヤ潰しを行
っているため、ボンディン部におけるワイヤの出っ張り
が殆どなくなり、液状樹脂の滴下を少なくして、薄型に
しながら、ワイヤボンディング部を完全に被覆すること
ができる。その結果、平行な板状で薄型のRFIDラベ
ルが得られると共に、ワイヤの出っ張り部がないため、
携帯時に何かにぶつけてワイヤを切断するというような
事故もなく、非常に信頼性が向上する。Furthermore, according to the present invention, since the wire is crushed at the bonding portion after the wire bonding, the protrusion of the wire at the bond portion is almost eliminated, the dripping of the liquid resin is reduced, and the thickness is reduced. However, the wire bonding portion can be completely covered. As a result, a thin RFID label with a parallel plate shape is obtained, and there is no protrusion of the wire.
There is no accident such as hitting something and cutting the wire when carrying, greatly improving reliability.
【0010】[0010]
【発明の実施の形態】つぎに、図面を参照しながら本発
明のRFIDラベルの製造方法について説明をする。本
発明によるRFIDラベルの製造方法は、図1にその工
程説明図が、図2に製品の断面説明図がそれぞれ示され
るように、リール状に巻かれたダイマウント用粘着テー
プ1を端部から巻き戻しながら、そのテープ1の表面に
貫通孔が形成された短冊状のアンテナ基板2を順次貼り
付ける。そして、そのアンテナ基板2の貫通孔により露
出するダイマウント用粘着テープ1の表面に半導体チッ
プ3をマウントし(図2参照)、半導体チップ3の電極
端子とアンテナ基板2との間に、金線などのワイヤ4を
ボンディングすることにより両者間を接続する。Next, a method for manufacturing an RFID label according to the present invention will be described with reference to the drawings. The method for manufacturing an RFID label according to the present invention, as shown in FIG. 1 and the sectional view of the product in FIG. While rewinding, a strip-shaped antenna substrate 2 having a through hole formed on the surface of the tape 1 is sequentially attached. Then, the semiconductor chip 3 is mounted on the surface of the die mount adhesive tape 1 exposed through the through hole of the antenna substrate 2 (see FIG. 2), and a gold wire is provided between the electrode terminal of the semiconductor chip 3 and the antenna substrate 2. The wires 4 are bonded to each other to bond them.
【0011】ついで、ボンディング部のワイヤを潰して
ワイヤの突出部をなくし、ワイヤボンディング部に液状
の樹脂5を滴下して硬化させることにより封止する。そ
の後、表面に保護テープ6を貼り付けてリール状に巻き
付ける。この一連の工程を、半導体チップマウント用粘
着テープを巻き戻して搬送しながら一貫工程で行うと共
に、前述のワイヤボンディング部を潰すことにより、ワ
イヤの突出部を無くし、樹脂でワイヤ部分の全体を被覆
しながら薄型にしたことに特徴がある。Next, the wire of the bonding portion is crushed to eliminate the projecting portion of the wire, and the resin is sealed by dropping and curing the liquid resin 5 on the wire bonding portion. Then, the protective tape 6 is stuck on the surface and wound on a reel. This series of steps is performed in an integrated process while rewinding and transporting the adhesive tape for semiconductor chip mounting, and by crushing the aforementioned wire bonding part, the projecting part of the wire is eliminated, and the entire wire part is covered with resin. The feature is that it is made thinner.
【0012】ダイマウント用粘着テープ1は、たとえば
ポリイミドなどからなる幅が20〜30mm程度、厚さ
が0.06mm程度の長尺もので、巻き付けられてリー
ル状にされている。したがって、一端側を引っ張れば、
巻き戻されて順次搬送することができる。アンテナ基板
2は、たとえば0.14mm厚程度のガラスエポキシ基
板2aなどの誘電体基板が安価であるため用いられ、そ
の表面にCu、Alなどの導電体膜2bが全面に印刷な
どにより設けられている。そして、たとえば20〜30
mm×60mm程度の大きさの短冊状に切断されると共
に、その中心部に半導体チップ3をマウントするため、
2mm×3mm程度の貫通孔が形成されている。このア
ンテナ基板2は、たとえば図示しない質問装置からの無
線による質問を受けると共に、その質問に対して半導体
チップ3から送り出されるその答えを無線で送信するの
に用いられる。The pressure-sensitive adhesive tape 1 for die mounting is made of, for example, polyimide and has a length of about 20 to 30 mm and a thickness of about 0.06 mm, and is wound into a reel. Therefore, if you pull one end,
It can be rewound and transported sequentially. The antenna substrate 2 is used because a dielectric substrate such as a glass epoxy substrate 2a having a thickness of about 0.14 mm is inexpensive, and a conductive film 2b such as Cu or Al is provided on the entire surface by printing or the like. I have. And, for example, 20-30
In order to cut the semiconductor chip 3 at the center while cutting it into a strip having a size of about mm × 60 mm,
A through hole of about 2 mm × 3 mm is formed. The antenna substrate 2 is used, for example, to receive a wireless question from a question device (not shown) and wirelessly transmit the answer sent from the semiconductor chip 3 to the question.
【0013】半導体チップ3は、RFIDが取り付けら
れる個々の物体や個人を確認するように多数の目的に使
用できる所定のデジタル値を記憶するように形成されて
いる。また、種々のデータを書き込んだり、読み出した
りできるようになっている。The semiconductor chip 3 is formed to store a predetermined digital value that can be used for a number of purposes to identify individual objects or individuals to which the RFID is attached. Various data can be written and read.
【0014】この半導体チップ3とアンテナ基板2と
は、金線などのワイヤ4がワイヤボンディングされるこ
とにより、信号の授受を相互間で行えるように接続され
ている。半導体チップ3とのワイヤボンディングは、半
導体チップ3の電極端子上に、先端にボールを形成した
ワイヤの先端部を、超音波をかけながら押し付け、10
0〜110℃程度にすることによりボンディングされ
る。通常のボンディング部はワイヤボンディングをした
ままであるが、この状態ではボンディング部から延びる
ワイヤ4は、半導体チップ3の表面と垂直方向に延び
る。そのため、本発明ではこの後に潰し工程を設けてい
る。すなわち、ボンディングされたワイヤ4をアンテナ
基板2の厚さまでクランプすることにより、ボンディン
グ部からワイヤ4が真横に延びるように潰す。そして、
ワイヤ4の他端部側をアンテナ基板2表面の導電体膜2
a上にステッチボンドすることにより、アンテナ基板側
のワイヤボンディングを行う。この方法で導電体膜2a
とボンディングすることにより、上部に出っ張ることな
くボンディングされる。The semiconductor chip 3 and the antenna substrate 2 are connected so that signals can be transmitted and received between the semiconductor chip 3 and a wire 4 such as a gold wire by wire bonding. Wire bonding with the semiconductor chip 3 is performed by pressing the tip of a wire having a ball formed at the tip onto the electrode terminal of the semiconductor chip 3 while applying ultrasonic waves.
Bonding is performed by setting the temperature to about 0 to 110 ° C. The normal bonding portion remains wire-bonded, but in this state, the wire 4 extending from the bonding portion extends in a direction perpendicular to the surface of the semiconductor chip 3. Therefore, in the present invention, a crushing step is provided after this. That is, by clamping the bonded wire 4 to the thickness of the antenna substrate 2, the wire 4 is crushed so as to extend right from the bonding portion. And
The other end of the wire 4 is connected to the conductor film 2 on the surface of the antenna substrate 2.
The wire bonding on the antenna substrate side is performed by stitch bonding on a. In this way, the conductor film 2a
Is bonded without protruding to the upper portion.
【0015】その後、半導体チップ全面およびアンテナ
基板2のワイヤボンディング部を被覆するように、液状
のエポキシ樹脂などからなる樹脂5を滴下し、90℃程
度で60分程度加熱することにより、硬化して、図2に
示されるようにアンテナ基板と2半導体チップ3との隙
間およびワイヤボンディング部を完全に被覆した樹脂層
5が形成される。この硬化工程(ポストキュア)は、他
の工程より時間がかかるが、乾燥炉を長く形成し、一定
速度で、または間欠的に進むダイマウント用粘着テープ
1が通り過ぎるときに硬化しているように形成しておく
ことにより、各工程で待ち時間を設けることなく、連続
的に作業を続けることができる。Thereafter, a resin 5 made of a liquid epoxy resin or the like is dropped so as to cover the entire surface of the semiconductor chip and the wire bonding portion of the antenna substrate 2, and is cured by heating at about 90 ° C. for about 60 minutes. As shown in FIG. 2, a resin layer 5 which completely covers the gap between the antenna substrate and the two semiconductor chips 3 and the wire bonding portion is formed. This curing step (post-curing) takes longer than other steps, but forms a long drying oven and cures as the die mount adhesive tape 1 passes at a constant speed or intermittently. By forming them, work can be continuously performed without providing a waiting time in each step.
【0016】その後、保護用粘着テープ6を表面に貼り
付け、リール状に巻き付けるこにより、出荷できる状態
に製造することができる。Thereafter, the protective adhesive tape 6 is stuck on the surface and wound in a reel shape, so that it can be manufactured in a state ready for shipment.
【0017】本発明によれば、ダイマウント用粘着テー
プを切断することなく、長尺のままで巻き戻して一定速
度または間欠的に搬送しながら各工程の作業を行ってい
るため、各工程で一々アンテナ基板の位置合せなどをす
る必要がなく、しかも一工程で半製品が滞留することな
く、一貫して各工程を行うことができる。その結果、生
産ライン全体の生産効率が向上する。According to the present invention, the work of each step is carried out while cutting the adhesive tape for die mounting without cutting it, and while it is rewound as it is long and conveyed at a constant speed or intermittently. It is not necessary to align the antenna substrates one by one, and moreover, each process can be performed consistently without a semi-finished product staying in one process. As a result, the production efficiency of the entire production line is improved.
【0018】さらに、本発明によれば、ワイヤボンディ
ングを行った後に、そのボンディング部の潰し工程を設
けているため、ワイヤの出っ張り部がなくなり、ワイヤ
部分の全体を樹脂により被覆しても、非常に薄型のRF
IDラベルとなる。しかも、ワイヤ部分は完全に樹脂に
より被覆されているため、外力に対する耐性が向上し、
信頼性が非常に向上する。Further, according to the present invention, since the step of crushing the bonding portion after the wire bonding is performed, the projecting portion of the wire is eliminated, so that even if the entire wire portion is covered with the resin, the very Thin RF
It becomes an ID label. Moreover, since the wire portion is completely covered with resin, the resistance to external force is improved,
The reliability is greatly improved.
【0019】[0019]
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、非常に
薄型で、しかも信頼性の向上したRFIDラベルが、生
産効率の向上により非常に安価に得られる。As described above, according to the present invention, a very thin and highly reliable RFID label can be obtained at a very low cost due to an improvement in production efficiency.
【図1】本発明によるRFIDラベルの製造工程を模式
的に示した図である。FIG. 1 is a view schematically showing a manufacturing process of an RFID label according to the present invention.
【図2】本発明により製造されたRFIDラベルの断面
説明図である。FIG. 2 is an explanatory sectional view of an RFID label manufactured according to the present invention.
【図3】従来のRFIDラベルの製造工程を模式的に示
した図である。FIG. 3 is a view schematically showing a manufacturing process of a conventional RFID label.
【図4】従来の方法により製造されたRFIDラベルの
断面説明図である。FIG. 4 is an explanatory cross-sectional view of an RFID label manufactured by a conventional method.
【図5】従来の方法により樹脂層を薄くしたRFIDラ
ベルの断面説明図である。FIG. 5 is an explanatory sectional view of an RFID label in which a resin layer is thinned by a conventional method.
1 ダイマウント用粘着テープ 2 アンテナ基板 3 半導体チップ 4 ワイヤ 5 樹脂 6 保護用粘着テープ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Adhesive tape for die mounts 2 Antenna substrate 3 Semiconductor chip 4 Wire 5 Resin 6 Protective adhesive tape
Claims (1)
テープを端部から巻き戻しながら、該テープの表面に貫
通孔が形成された短冊状のアンテナ基板を順次貼り付
け、該アンテナ基板の貫通孔により露出する前記ダイマ
ウント用粘着テープ表面に半導体チップをマウントし、
該半導体チップの電極端子と前記アンテナ基板との間を
ワイヤボンディングにより接続し、該ボンディング部の
ワイヤを潰してワイヤの突出部をなくし、該ワイヤボン
ディング部に液状樹脂を滴下して硬化させることにより
封止し、表面に保護テープを貼り付けてリール状に巻き
付ける一連の工程を、前記半導体チップマウント用粘着
テープを巻き戻して搬送しながら一貫工程で行うことを
特徴とするRFIDラベルの製造方法。1. A strip-shaped antenna substrate having a through-hole formed on the surface of a tape is sequentially attached to a die-mount adhesive tape wound in a reel shape while rewinding the tape from an end portion thereof. A semiconductor chip is mounted on the die mount adhesive tape surface exposed by the hole,
By connecting the electrode terminal of the semiconductor chip and the antenna substrate by wire bonding, crushing the wire of the bonding portion to eliminate the projecting portion of the wire, dropping a liquid resin on the wire bonding portion and curing the resin. A method of manufacturing an RFID label, wherein a series of steps of sealing, attaching a protective tape to the surface, and winding the tape in a reel shape are performed in an integrated step while unwinding and transporting the adhesive tape for mounting a semiconductor chip.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2001098716A JP2002298104A (en) | 2001-03-30 | 2001-03-30 | Method for manufacturing rfid label |
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