JP2002292558A - 枚葉式研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 半導体ウェーハなどの工作物の両面をラップ
する際に、工作物に曲げを生じて加工精度が低下しない
ようにした研磨装置を提供する。 【解決手段】 対向する一対のラップ定盤２４，３４の
一方の背面に複数の力センサ３６３を設け、工作物Ｗを
回転させた状態で力センサ３６３に働く荷重を測定す
る。測定した複数の荷重のばらつきが最小となるよう
に、ピエゾアクチュエータ８１を制御し、ガイドローラ
ユニット４の位置を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェーハ
等の薄い円盤状のワークを両面からラップ加工等の研磨
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の枚葉式両面ラップ盤としては、特
開平１０−８０８６１号公報に開示されているものが代
表的である。すなわち従来技術の枚葉式両面ラップ盤
は、図９に示すように、砥粒を含む加工液Ｌが供給され
円盤状のワークＷを表裏両面から挟持しつつ互いに対向
して回転する一対のラップ定盤１０１，１０２を有す
る。同枚葉式両面ラップ盤は四方からワークＷの外周面
と外周縁部に当接しワークＷを回転可能に支持する四つ
のガイドローラ１０３と、ガイドローラ１０３に支持さ
れているワークＷを所定の角速度で回転駆動する二対の
駆動ローラ１０４とを備える。

【０００３】ここで、ラップ定盤１０１，１０２は、ワ
ークＷの直径の半分強の直径を有し、それぞれ先端にラ
ップ面が形成されて主軸に弾性変形可能な円盤部材を介
して固定されている。ラップ定盤１０１，１０２は中空
の主軸によって互いに逆方向に同等の回転速度で高速で
回転駆動され、両ラップ定盤１０１，１０２の内部には
主軸の軸芯の孔を通して加工液Ｌが加圧供給される。一
方、ワークＷは、薄くて割れやすく精密かつ平坦に表面
が研磨されるべきシリコンウェーハである。

【０００４】一方のラップ定盤１０１は軸方向の所定位
置に位置決めされ、四つのガイドローラ１０３によりワ
ークの外周面および外周縁部が支持されかつ二対の駆動
ローラ１０４によって駆動されるワークＷは、このラッ
プ定盤１０１に軽く押し当てられる。そして、その背後
から他方のラップ定盤１０２が軸方向に移動してきてワ
ークＷを所定の押圧力でラップ定盤１０１に押さえ付け
るので、両ラップ定盤１０１，１０２によってワークＷ
の表裏両面が研磨される。その際、駆動ローラ１０４に
よってワークＷが回転駆動され、ワークＷの表裏両面の
全ての部分が順に送られてラップ定盤１０１，１０２の
ラップ面に摺接するので、ワークＷの表裏両面は平坦か
つ平滑に研磨される。また、両ラップ定盤１０１，１０
２のラップ面には、加工中には常に内周側から加工液Ｌ
が供給されワークＷは適当に冷却されつつ加工液Ｌ中の
砥粒によって研磨される。

【０００５】このような加工方法においては、ワークの
外周縁部を挟持しワークに回転力を与えるため駆動ロー
ラ及び従動ローラとワークの表裏面のわずかな摩擦力等
の違いにより、ワーク表裏面に働く力の差が生じてワー
ク外周縁部に振れが発生するという問題がある。加工精
度劣化を招くワーク外周縁部の振れを防止するため、ガ
イドローラのワーク外周面当接部の両側に外周面当接部
１０３ａの外径より大きい径の大径部１０３ｂを設け、
この大径部側面１０３ｃにてワーク外周縁部を当接させ
ている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ラップ
加工前のウェーハには前工程でスライスされたときに生
じた反りがあり、この反りはワークの外周部からワーク
の中心に向かって凹状（反対側から見れば凸状）をして
いる。この凹状のワークを平面状に矯正をした状態で加
工しようとすると、ワークに歪が生じた状態で加工する
ことになり、加工精度を低下させる。ワークの反りをそ
のままにした状態で加工するためには、ラップ定盤の加
工面とガイドローラの軸方向の相対位置を反りに合わせ
て調整する必要があった。この問題を解決するため、ワ
ークの反りの方向と量に合わせてこのガイドローラの軸
方向の位置を手動調整していた。

【０００７】この手動調整は、ワークのロットごとにこ
の反りの量が異なるため、ロットごとに行う必要があっ
た。また、ロット内でもこの反りの量が異なるため、厳
しい加工精度が要求される場合は、１枚ごとに手動調整
していた。このような手動調整はラップ盤を停止した状
態で行っていた。さらに、実際に加工する時にはワーク
が回転するため回転による遠心力がワークに働くと同時
に駆動ローラとラップ盤からの加工力がワークに加わる
ため、反りの量が変化する。従って、ワークの回転を停
止した状態での手動調整では精密な調整を行うことはで
きなかった。

【０００８】そこで本発明の目的は、加工中の駆動ロー
ラとラップ定盤によるワークの挟み込みによって決まる
ワーク外周縁部の位置と、ガイドローラの軸方向の位置
の不整合を自動的に調整し、加工精度の向上を図るもの
である。また、調整工数を低減させて生産性が向上する
ことにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、請求項１に記載の研磨装置は、ワーク加工中に
おけるワークに作用する軸方向の荷重を測定する力セン
サを設け、ワーク外周部を支持する複数の回転支持装置
の少なくとも１つをワークの軸方向に変位する送り機構
を設け、ワークに作用する軸方向の荷重をなくするよう
に力センサの出力に基づいて少なくとも1つの送り機構
を駆動制御する制御装置を設けたことを特徴とする。こ
れにより、ワークに作用する軸方向の荷重が加工中に自
動測定され、この測定された荷重をなくするように送り
機構を制御するため、ワークに無理な荷重が働かず、ワ
ークの変形を小さくでき、加工精度が向上する。請求項
２に記載の研磨装置においては、工具円盤の周りに円周
方向に角度配置した複数の力センサを設け、この複数の
力センサで測定された複数の測定値の差が最小となるよ
うに送り機構を駆動制御する制御装置を設けたことを特
徴とする。よって、ワークに働く荷重を高精度に検出で
き、さらに加工精度が向上できる。請求項３に記載の研
磨装置においては、複数の回転支持装置の内の少なくと
も1つとこの回転支持装置を取付ける部材と間にピエゾ
アクチュエータを設置したことを特徴とする。よって微
少変位を高精度に補償できる。

【００１０】請求項４に記載の研磨装置においては、回
転支持装置に力センサと軸方向に変位する送り機構とを
設けたことを特徴とする。よって、ワークの反りの大き
な部分で荷重を測定しているのでより高精度な検出がで
きる。本発明の解決手段によれば、加工中のワークの反
りの状態に合わせて最適位置に回転支持装置の軸方向の
位置を調節できるので、ワークの変形がなく、ワークを
精度よく加工することができる。また、手動調整が不要
となり、枚葉式両面ラップ盤を長時間停止させることも
なく、生産性が向上できる。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の第1の実施の形態を、図
１〜図９を参照して説明する。本発明の枚葉式両面ラッ
プ盤の基本構成は、図１に平面図、図２に側面図を示す
ように、円盤状のワークＷを表裏両面からラップ加工す
るもので、基準軸２と加圧軸３と複数の（図例では３つ
の）回転支持装置４と回転駆動機構５と制御装置９とを
備えている。ベッド１上には、基準軸２及びこれと同軸
に対向して加圧軸３が配置され、基準軸２と加圧軸３と
の間に門型支柱８が固定されている。門型支柱８には３
つの回転支持装置４と回転駆動機構５が取りつけられて
いる。そしてこれらの各部分の作動を制御する制御装置
が設けられている。

【００１２】基準軸２は、図３に示すように、基準軸テ
ーブル２０により支持された基準軸ケーシング２６と、
これに回転自在に軸支された基準側主軸２７と、これを
回転駆動するビルトイン形の基準軸モータ２８よりなる
もので、ワークＷの一側でワークＷの回転軸線に対し平
行に偏心して配置されている。基準軸テーブル２０は、
ラップ盤のベッド１に支持されたリニアガイド２１を介
して基準軸２の回転軸（従ってワークＷの回転軸線）と
平行に往復動可能に案内支持され、サーボモータ２２と
ねじ軸２２ｂよりなる送り装置により往復動される。基
準側主軸２７のワークＷ側先端には、ワークＷの半径よ
りやや大きい直径を有する基準側ラップ定盤２４が同軸
的に固定されている。そして、ラップ定盤２４の内部空
間には、基準側主軸２７の軸芯を貫通している加工液供
給孔２９を通じて、砥粒を含んだスラリー状の加工液Ｌ
が加圧供給される。

【００１３】一方、加圧軸３（図３参照）は、加圧軸ケ
ーシング３６と、これに回転自在に軸支された加圧側主
軸３７と、これを回転駆動するビルトイン形の加圧軸モ
ータ３８よりなるもので、基準軸と同軸的にウェーハＷ
の反対側に配置されている。加圧軸ケーシング３６は、
ベッド１に固定した加圧軸ハウジング３０にストローク
ボールベアリング３１を介して基準軸２と同軸的に往復
動可能に案内支持され、一対の加圧シリンダ３２により
ワークＷに向けて付勢される。

【００１４】加圧軸ケーシング３６は、図４に示すよう
に、ケーシング本体３６１とフロントキャップ３６２と
複数の（図例では等角度配置した３つの）力センサ３６
３とを有している。ケーシング本体３６１の後部は、ベ
アリング３６４を介しビルトインモータ３８のロータ３
８ｂが固着された加圧側主軸３７の後部を支承してい
る。

【００１５】ケーシング本体３６１前部は、内面に円筒
面３６１ａが形成され、この円筒面３６１ａにフロント
キャップ３６２の円筒状の小径部３６２ａが嵌挿されて
いる。フロントキャップ３６２はベアリング３６５を介
し加圧側主軸３７の前部を支承している。ベアリング３
６５の外輪は、固定リング３６６により回転軸方向に移
動しないようにフロントキャップ３６２に固定されてい
る。３つの力センサ３６３は、中心に孔のあいた円盤形
状の水晶圧電式力センサであり、加圧側主軸３７を中心
とした同一円周上で後述する回転支持装置４の配置角度
位相に対応する角度位置に等角度配置されている。フロ
ントキャップ３６２は、ボルト３６７により均一な締付
け力にて力センサ３６３の孔をボルト３６７が貫通して
ケーシング本体３６１に固定されている。

【００１６】加圧側主軸３７のワークＷ側先端には、基
準側ラップ定盤２４と同径の加圧側ラップ定盤３４が同
軸的に固定され、加圧側ラップ定盤３４は加圧軸モータ
３８により基準側ラップ定盤２４とは逆向きに回転駆動
されるようになっている。これにより両ラップ定盤はワ
ークを連れ回りしないようになっている。両ラップ定盤
の先端面には、ワークＷの両面をラップ加工する加工面
が形成されている。加圧軸３のラップ定盤３４の内部空
間にも、加圧側主軸３７の軸芯を貫通している加工液供
給孔３９を通じて、加工液Ｌが加圧供給される。

【００１７】回転支持装置４は、図２に示すように、２
つの固定回転支持装置４ｂ，４ｃと１つの可動回転支持
装置４ａとからなる。この可動回転支持装置４ａは退避
装置６に取付けられている。各回転支持装置４ａ，４
ｂ，４ｃは、ぞれぞれガイドローラ４１を内蔵し、回転
自在に軸支している。回転支持装置４ａ，４ｂ，４ｃ４
には、ガイドローラ４１に当接するワークＷの表裏両面
の外縁部付近と、所定の間隙を空けて対向する一対の対
向面４０ａと、両対向面にそれぞれ開口しワークＷに向
かってパージ流体Ｐを供給するパージ流体供給孔４０と
が形成されている。

【００１８】すなわち、各回転支持装置４ａ，４ｂ，４
ｃ４の両対向面４０ａは、ワークＷの厚さよりも所定の
寸法だけの間隙を空けてスロットを形成している。そし
て、このスロットにワークＷの両面の外縁部が所定の間
隙を空けてはまり込み、かつガイドローラ４１の外周面
にワークＷの外周面が当接してワークＷが転がるように
なっている。

【００１９】それゆえ、各回転支持装置４ａ，４ｂ，４
ｃのスロットの開口部では、ワークＷの表裏両面を伝わ
ってくる遊離砥粒を含む水溶液である加工液Ｌのゆっく
りとした流れに対して、パージ流体供給孔４０からワー
クＷの両側に噴出されて、スロットから勢い良く流出す
るパージ流体Ｐがぶつかることにより、スロットへの加
工液Ｌの浸入を防止する。その結果、ガイドローラ４１
は、パージ流体Ｐにのみ接触し、加工液Ｌには接触せ
ず、この加工液Ｌに混入された遊離砥粒により磨耗され
ることはない。

【００２０】なお、加工液Ｌは、水を溶媒とし砥粒を含
んだスラリー状の水溶液であり、一方、パージ流体Ｐは
水であるから、加工液Ｌにパージ流体Ｐが混じっても何
ら不都合はない。退避装置６は、ワークＷの搬入搬出時
に可動回転支持装置４ａを退避させてワークＷの出し入
れをする開口を作るための装置であり、図５に示すよう
に、門型支柱８に固定されたブラケット６４と、ブラケ
ット６４に固定されたロータリアクチュエータ６３と、
ロータリアクチュエータ６３により回転駆動される回動
軸６２とからなる。

【００２１】最上位の可動回転支持装置４ａは、エアシ
リンダ６１のピストンロッド６５の下端に取付けられ、
このエアシリンダ６１の基部がピエゾアクチュエータ８
１を介して回動軸６２に固定されている。ピエゾアクチ
ュエータ８１は、可動回転支持装置４ａをワークＷの軸
方向に変位させる送り機構として作用する。ピエゾアク
チュエータ８１は二枚の金属片の間に圧電材料を積層し
た構造であり、印加する電圧に比例して積層方向の厚さ
を変化させることができるため、この特性を利用してワ
ークＷ上部の可動回転支持装置４ａの回転軸方向の位置
調整を可能にしている。

【００２２】回転駆動機構５は、図３に示すように、一
対となってワークＷの外周縁部を挟む駆動ローラ５２ａ
および従動ローラ５２ｂを有している。駆動ローラ５２
ａは支持台（図示省略）上に固定した軸受けブロック５
３ａに軸支されてワーク駆動用のサーボモータ５４によ
り回転駆動される。従動ローラ５３ｂは前記支持台上に
ワークＷの軸線方向に移動可能に設けられた可動軸受け
ブロック５３ｂに軸支され、可動軸受けブロック５３ｂ
は押し圧シリンダ５５により固定軸受けブロック５３ａ
側に向けて付勢可能である。押し圧シリンダ５５を作動
させて駆動ローラ５２ａと従動ローラ５２ｂの間にワー
クＷを挟み、この状態でワーク駆動モータ５４により駆
動ローラ５２ａを回転駆動すれば、３つのガイドローラ
４１に支持されたワークＷは回転駆動される。

【００２３】制御装置９は、ＣＰＵ９１を中核としメモ
リ９３を持つプログラマブルな数値制御装置である。制
御装置９は、力センサ３６３の測定結果に基づいて、回
転しているワークＷの変形が最少となるように可動回転
支持装置４ａの軸方向の位置を自動調整制御する機能を
持つ。このような制御装置９の機能については、後の作
用の項で図６のフローチャートを参照しつつ順を追って
説明する。

【００２４】（第１の実施の形態の作用）上記のように
構成された本実施の形態の枚葉式両面ラップ盤は、次の
ように作用する。原位置状態では可動回転支持装置４ａ
が図５の想像線の位置に退避し、ワークの搬入が可能な
ように開口している。基準軸２と加圧軸３は後退してお
り、ワークの搬入が可能なように、両ラップ定盤２４、
３４の間が開いた状態となっている。従動ローラは後退
しワークの搬入が可能なように駆動ローラとの間を空け
ている。先ず、図示しないロボットアームにより、ワー
クＷは固定回転支持装置４ｂ、４ｃの前述のスロットに
挿入され、この先のガイドローラ４１上に載る。次に、
制御装置９は、サーボモータ２２を駆動させて基準軸２
を前進させ、基準側ラップ定盤２４先端の加工面とワー
ク回転駆動機構５の駆動ローラ５２ａのワークＷに対す
る当接線が互いに整列される所定位置に基準軸２を停止
させる。

【００２５】さらに、制御装置９は加圧シリンダ３２を
作動させる。ワークＷは基準側ラップ定盤２４と加圧側
ラップ定盤３４との間に所定の圧力で挟持される。さら
に、制御装置９は、退避装置６のロータリーアクチュエ
ータ６３を作動させて、回動軸６２及びこれに固定され
たピエゾアクチュエータ８１とエアーシリンダ６１と可
動回転支持装置４ａとを９０度旋回させる。さらに、制
御装置９は、エアーシリンダ６１を作動させ、ピストン
ロッド６５及びこれに固定された可動回転支持装置４ａ
を下降させる。これにより、全ての回転支持装置４ａ，
４ｂ，４ｃにそれぞれ内蔵されたガイドローラ４１がワ
ークＷの外周面に当接する。その結果、ワークＷは三つ
のガイドローラ４１で三方から回転可能に支持される。

【００２６】そして、回転支持装置４ａ，４ｂ，４ｃに
パージ流体Ｐが流され、ワークＷの外縁部の一部が回転
支持装置４ａ，４ｂ，４ｃのスロットの中央部に挟持さ
れる。次に、制御装置９は、押圧シリンダ５５を作動さ
せて従動ローラ５２ｂを前進させる。これにより、従動
ローラ５２ｂと駆動ローラ５２ａが適正な押圧力をもっ
てワークＷを挟持する。さらに、両ラップ定盤１１，２
１には、それぞれの加工液供給孔２９，３９から加工液
Ｌが互いに等しい所定の流量で供給される。そして、制
御装置９が駆動用モータ５４を所定の回転速度で回転さ
せると、ワークＷの外縁部を挟持している駆動ローラ５
２ａと従動ローラ５２ｂはワークＷの外縁部を下方に押
し出し、ワークＷを所定の速度で回転させる。

【００２７】同時に、両ビルトインモータ２８，３８
は、それぞれのラップ定盤２４，３４を互いに等しい回
転速度で互いに逆方向に回転駆動する。図２に示すよう
に、両ラップ定盤２４，３４はワークＷの中心から外縁
に至るまでの範囲を覆っており、ワークＷが所定の回転
速度で回転されるので、ワークＷの表裏両面の全体はそ
れぞれに摺接するラップ定盤２４，３４によってラップ
加工される。

【００２８】こうして所定時間をかけてラップ加工が終
了すると、両ラップ定盤２４，３４は互いに離れてワー
クＷを開放し、併せて回転駆動機構５の従動ローラ５２
ｂもワークＷから離れてワークＷを開放する。さらに、
図５で想像線により示すように、退避装置６の作用によ
り可動回転支持装置４ａは引き上げられてワークＷから
離れたうえで旋回され、ワークＷの延長面上から待避し
て開口を生じる。そこで、この開口から図示しないロボ
ットアームがラップ加工済みのワークＷを取り上げて次
の工程に送り、続けて次のワークＷを同開口から本実施
例の枚葉式両面ラップ盤に装着する。この装着方法は前
述の一枚目のワークＷの装着時と同様であるが、ワーク
Ｗの交換の間もパージ流体Ｐは、各パージ装置４に流さ
れたままで、加工液Ｌのガイドローラ４１への浸入を阻
止している。

【００２９】次に、本実施の形態の枚葉式両面ラップ盤
の可動回転支持装置４ａの自動位置合わせ機能につい
て、図６のフローチャートに従い図７ａ図７ｂ，図８
ａ，図８ｂを参照しつつ説明する。上述したラップ加工
が行われる間、制御装置９のＣＰＵ９１は、図６のフロ
ーチャートに示すステップに従って可動回転支持装置４
ａの自動位置合わせを行う。

【００３０】ステップＳ１で、３つの力センサ３６３の
荷重Ｐａ，Ｐｂ、Ｐｃを測定する。ここで、測定した荷
重が図７ａのように出力されたとする。この結果から、
図２によって下位に位置した２つのセンサ（ここではセ
ンサＢ及びＣとする）の圧力が高い事がわかり、図８a
の状態にワークＷは曲げられていると考えられる。ステ
ップＳ２では上位のセンサ（ここではセンサＡとする）
と下位の２個のセンサＢ、Ｃの平均値との荷重差ΔＰを
演算する。 荷重差ΔＰ＝Ｐａ−(Ｐｂ＋Ｐｃ)／２

【００３１】ステップＳ３では、予め入出力装置９２に
より入力されメモリ９３に記憶させておいた閾値ｋとス
テップＳ２で求めた荷重差ΔＰの絶対値とを比較する。
荷重差ΔＰの絶対値が閾値ｋより以下の場合は、この処
理フローを終了させる。つまり、可動回転支持装置４ａ
の位置を変更せずに加工を続行する。荷重差ΔＰの絶対
値が閾値ｋより大きい場合は処理ステップＳ４に移り、
予め求めてメモリに登録してある荷重差と可動回転支持
装置４ａの移動量の関係のテーブル（図示せず）から可
動回転支持装置４ａの軸方向の移動量を求める。ステッ
プＳ５では、荷重差ΔＰのの正負を判断する。正ならば
ステップＳ６に移りプラス方向へ可動回転支持装置４ａ
を位置決めする。これには設定した移動量に相当する電
圧をピエゾアクチュエータ８１に付加し、ピエゾアクチ
ュエータ８１の長さを変化させ、可動回転支持装置４ａ
の軸方向の位置を変える。負ならばステップＳ７に移り
マイナス方向へ可動回転支持装置４ａを位置決めする。
これはステップＳ６と逆の電圧を付加することにより行
う。

【００３２】その後再びステップＳ１に戻りＳ３までの
ステップを同様におこない、荷重差ΔＰが閾値ｋ以下に
なるまでステップＳ４以降のステップを繰り返す。

【００３３】したがって、本実施の形態の枚葉式両面ラ
ップ盤によれば、加工中に自動で回転支持装置を最適位
置に調節されワークは変形を強いられることなく加工さ
れるため、加工精度を上げることができるという効果が
ある。また、回転支持装置の位置調整工程に作業員の人
手が必要とされないので調整工数を低減することがで
き、枚葉式両面ラップ盤の稼働率が向上し、生産性も向
上する。

【００３４】次に、第２の実施の形態について、第１の
実施の形態と異なるところのみを説明する。これは第１
の実施の形態に対し、図４に示される力センサ３６３の
代わりに、図５に示すピエゾアクチュエータ８１を力セ
ンサとして使用するものである。つまり、荷重がピエゾ
アクチュエータに働くと電圧が変化する性質を利用する
ものである。まず、ピエゾアクチュエータ８１の電圧と
変位の関係を予めておき、前述のメモリ９３に登録して
おく。そして、ピエゾアクチュエータ８１の電圧を測定
し、この値を打消すような電圧をメモリ８１から求め
る。次に、制御回路を荷重検出回路状態から駆動回路状
態へ切替え、求めた電圧をピエゾアクチュエータ８１に
付加する。これによりピエゾアクチュエータ８１を変位
させ、ピエゾアクチュエータ８１に取付けられている可
動回転支持装置４ａの位置を移動させることができる。
これにより、力センサを別に設けなくてよいためコスト
が低減できる。また、本実施の形態の他の変形態様とし
て、ワーク上位の可動回転支持装置４ａをラップ定盤軸
方向に位置制御可能とするだけでなく、ワーク下位の２
つの固定回転支持装置４ｂ，４ｃもラップ定盤軸方向に
位置制御可能とし、垂直方向だけでなく水平方向にもワ
ークのひねりが起こらない様にして加工を実施すること
も可能である。

【００３５】さらに、本実施例の他の変形態様として、
回転支持装置をラップ定盤軸方向に制御するかわりに、
力センサの出力データを基に基準軸と加圧軸を垂直と水
平方向にラップ定盤最先端部を支点にしてほんのわずか
の角度旋回するようにしても同様な効果が得られる。さ
らに、回転支持装置４の数は３つとして図例を示した
が、４つでもよい。

【発明の効果】以上説明したとおり、この発明の枚葉式
両面ラップ盤は、加工中のワークの反りに合わせて最適
位置に回転支持装置の軸方向の位置を調節できるので、
ワークの変形がなく、ワークを精度よく加工することが
できる。また、手動調整が不要となり、枚葉式両面ラッ
プ盤を長時間停止させることもなく、生産性が向上でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施例としての枚葉式両面ラップ盤の全体構
成を示す平面図兼システム構成を示すブロック図

【図２】 実施例としての枚葉式両面ラップ盤の構成を
示す図１のII-II矢視図

【図３】 実施例としての枚葉式両面ラップ盤の平面図

【図４】 実施例の加圧軸の力センサ取付けを示す詳細
図

【図５】 実施例としての退避装置の構成を示す詳細図

【図６】 実施例の制御装置の制御ロジックを示すフロ
ーチャート

【図７】 実施例における力センサの荷重測定値を示す
説明図

【図８】 実施例における可動回転支持装置の位置とワ
ークの変形の関係を示す側面図

【図９】 従来技術の枚葉式両面ラップ盤の要部構成を
示す斜視図

【符号の説明】

１：ベッド ２：基準軸 ２４：基準側ラップ定盤 ３：加圧軸 ３４：加圧側ラップ定盤 ３６３：力センサ ４：回転支持装置 ４１：ガイドローラ ５：回転駆動機構 ５２ａ：駆動ローラ ５２ｂ：従動ローラ ６：退避装置 ６１：エアシリンダ ６２：回動軸 ６３：ロータリアクチュエータ ６４：ブラケット ８：門型支柱 ８１：ピエゾアクチュエータ ９：制御装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 町田 一夫 愛知県刈谷市朝日町１丁目１番地 豊田工 機株式会社内 Ｆターム(参考） 3C058 AA07 AB04 CB01 DA18

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２つの回転する工具円盤の間に円板状の
   薄いワークを挿入し、このワークの外周円部を複数の回
   転支持装置により回転支持した状態で前記２つの工具円
   盤をワークの両面に押しつけて研磨加工する研磨装置に
   おいて、前記ワーク加工中における前記ワークに作用す
   る軸方向の荷重を測定する力センサと、前記複数の回転
   支持装置の少なくとも１つをワークの軸方向に変位する
   送り機構と、前記ワークに作用する軸方向の荷重をなく
   するように前記力センサの出力に基づいて前記少なくと
   も1つの前記送り機構を駆動制御する制御装置と、から
   なることを特徴とする研磨装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の研磨装置において、前
   記力センサは前記工具円盤を取り付けた主軸の回りで円
   周方向に角度配置した複数の力センサからなり、前記制
   御装置は複数の前記力センサで測定された複数の測定値
   の差が最小となるように前記送り機構を駆動制御するこ
   とを特徴とする研磨装置。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の研磨装
   置において、前記送り機構は、複数の前記回転支持装置
   の内の少なくとも1つとこの回転支持装置を取付ける部
   材との間に入れられたピエゾアクチュエータであること
   を特徴とする研磨装置。
4. 【請求項４】請求項１から請求項３のうちいずれか１つ
   の請求項に記載の研磨装置において、前記力センサは前
   記回転軸方向に働く荷重を測定するように前記ワーク回
   転支持装置のうちの少なくとも１つに設けたことを特徴
   とする研磨装置。