JP2002286544A - 走査光学系の走査ビーム測定評価装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 主走査方向のどの像高でも、ビーム光軸に対
して検出手段を略垂直に配置でき、この配置を実現させ
るために必要な軸数を、一軸の回転ステージだけで済ま
せることが出来る走査光学系の走査ビーム測定評価装置
を得る。 【解決手段】 走査ビーム出射制御手段１７と、検出部
２０と、検出部２０から得られたデータを転送して保存
するデータ格納手段と、取得したデータに基づき走査ビ
ームの光量分布を解析する信号処理手段と、検出部２０
を主走査方向に走査光学系の全像高を移動できる走査方
向移動手段２３と、検出部２０を走査ビーム結像位置中
心に、全ての走査ビーム光軸を含む走査平面内で、回転
できる焦点中心回転手段とを備え、走査方向移動手段２
３により検出部２０を移動させて走査ビーム光量を取得
する際に、焦点中心回転手段を用いて、各像高で走査ビ
ームの入射角に応じて所定の回転角だけ検出部２０を回
転させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザビームプリ
ンタやレーザファクシミリ等の画像形成装置に係わり、
走査光学系のビーム径やドット間隔（リニアリティ）な
どを測定して、書込みユニットの評価、及び、ユニット
内で使用される光学素子の品質、例えば、面精度、表面
欠陥、内部欠陥等による光学性能上の影響を評価でき
る、走査光学系の走査ビーム測定評価装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】レーザープリンタ、複写機、ファクシミ
リ等の画像形成装置に用いられる書込み走査光学系ユニ
ットは、主にレーザ光源、コリメートレンズ、各種レン
ズ・ミラー、ポリゴンミラーなどで構成される走査光学
系を有している。一般に、画像形成装置では、レーザ光
源から発生されたレーザビームをコリメータレンズによ
って平行光に変換し、ポリゴンミラーへ照射され、その
回転によって偏向される。ポリゴンミラーによって反射
された光ビームは、結像レンズおよびミラー系によって
感光体上に結像される。

【０００３】感光体上の点像は、ポリゴンミラーの回転
による主走査方向への走査が行われ、また、感光体ドラ
ムの回転により、副走査方向への走査が行われ、静電潜
像を形成する。この静電潜像が形成された感光体ドラム
の表面にトナーを付着させて顕像化させることによりト
ナー像を形成し、このトナー像を転写紙に転写すると共
に定着して、その転写紙に画像を形成することが知られ
ている。

【０００４】ところで、走査光学系を構成している光学
素子に面精度（うねり）、表面欠陥、内部欠陥等の異常
があった場合、感光体上へ走査される走査ビームの主走
査方向の走査位置ずれや、ビームの深度方向の合焦位置
ずれにより、ビームのピーク光量の低下や、ビーム径へ
の影響を伴い、画像形成上の不良を発生させる原因とな
る。

【０００５】従来、走査光学系の走査ビームの評価は、
ピンホール又はスリットを感光体ドラムの表面に相当す
る位置に設け、通過するビーム光量から算出されたビー
ム径をもとに、その値が急激に変化するるかどうかによ
って、行われていることが知られている。

【０００６】しかし、この従来のビーム径の測定方法で
は、走査全域にわたり、例えば、１ｍｍごとに測定を行
った場合、その測定時間は膨大となる。また、ビームの
静止状態での測定のため、走査状態でのビーム特性を測
定できないという不具合もある。

【０００７】最近、レーザプリンタ等の走査光学系で
は、走査ビームの小径化が進んでおり、評価するにあた
り、一般的に検出系に対物レンズ等の拡大光学素子を使
うことも考えられるが、拡大光学素子を取入れた構成を
示す例は少ない。

【０００８】ところで、走査光学系の走査ビームを計測
する方法が種々提案されている。例えば、特開平０９−
２１９６８号公報の装置では、パルス変調されたレーザ
ビームをＣＣＤカメラに照射し、取得したデータから、
ビーム径の算出評価を行っている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の装置では、主走査方向に移動するＹステージ上に、
Ｙステージと直交なＸステージ、そしてその上に回転ス
テージをのせた三軸構成となっており、ＣＣＤカメラは
この上に搭載されているが、回転中心は、略ＣＣＤセン
サ面にあるため、ＣＣＤセンサ面をビーム光軸に対し
て、垂直になるようにするためには、回転ステージを回
転させ、さらにビーム結像面とＣＣＤセンサ面が一致す
るようにＸ、Ｙステージを移動させる必要がある。

【００１０】そこで、本発明の目的は、主走査方向のど
の像高でも、ビーム光軸に対して検出手段を略垂直に配
置でき、この配置を実現させるために必要な軸数を、一
軸の回転ステージだけで済ませることが出来る走査光学
系の走査ビーム測定評価装置を得ることにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１の発明は、走査光学系によって出射される走
査ビームの、光量分布、ビーム径、ドット間隔等の光学
特性を測定評価する走査光学系の走査ビーム測定評価装
置において、前記走査ビームの点灯・点滅を所定時間間
隔で行え、書込み密度相当のドット単位で制御すること
のできる走査ビーム出射制御手段と、取込んだ走査ビー
ム光量に比例した電気信号出力を行える光電変換手段を
備える検出手段と、該検出手段から得られたデータを転
送して保存するデータ格納手段と、取得したデータに基
づき走査ビームの光量分布を解析する信号処理手段と、
前記検出手段を主走査方向に走査光学系の全像高を移動
できる走査方向移動手段と、前記走査ビームの結像状態
を取得するにあたり、前記検出手段を走査ビーム結像位
置中心に、全ての走査ビーム光軸を含む走査平面内で、
回転できる焦点中心回転手段とを備え、前記走査方向移
動手段により前記検出手段を移動させて前記走査ビーム
光量を取得する際に、前記焦点中心回転手段を用いて、
各像高で走査ビームの入射角に応じて所定の回転角だ
け、前記検出手段を回転させることを特徴とする走査光
学系の走査ビーム測定評価装置である。また、請求項２
の発明は、前記信号処理手段を用いて、前記検出手段に
より取得した走査ビームの光量分布データから走査ビー
ムのビーム径を算出し、前記走査光学系と前記検出手段
とを相対移動可能なデフォーカス方向移動手段を設け、
前記デフォーカス方向移動手段によりデフォーカス方向
に相対的な距離を変えながら、前記検出手段により走査
ビーム光量を取り込み、逐次取得される走査ビームのビ
ーム径演算結果から、前記検出手段がビーム結像状態を
取得できる位置に、前記走査光学系を移動できるように
したことを特徴とする請求項１に記載の走査光学系の走
査ビーム測定評価装置である。また、請求項３の発明
は、前記検出手段は、前記光電変換手段に拡大結像する
結像手段と、前記光電変換手段に入射する光量を調整す
る光量調整手段とを備えていることを特徴とする請求項
１に記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置であ
る。また、請求項４の発明は、前記検出手段は、前記結
像手段、前記光量調整手段及び前記光電変換手段が、走
査光学系のデフォーカス方向に、それぞれ別々に微動で
きる調整用微動ステージを備えていることを特徴とする
請求項１に記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置
である。また、請求項５の発明は、前記結像手段の所定
の拡大倍率となるビーム検出位置と、前記焦点中心回転
手段の回転軸とが一致するように、前記検出手段と前記
焦点中心回転手段とを配置したことを特徴とする請求項
１に記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置であ
る。また、請求項６の発明は、前記焦点中心回転手段
は、前記走査ビーム結像位置を中心とする円弧状案内を
有する回転ステージと、該回転ステージを駆動する駆動
源とを備える自動回転ステージ構成としたことを特徴と
する請求項１に記載の走査光学系の走査ビーム測定評価
装置である。また、請求項７の発明は、前記焦点中心回
転手段は、前記走査方向移動手段による検出手段の主走
査方向の移動に伴い、走査光学系の各像高に従って所定
の回転角だけ回転できるように、回転角設定記憶手段を
有していることを特徴とする請求項１に記載の走査光学
系の走査ビーム測定評価装置である。また、請求項８の
発明は、前記検出手段を主走査方向に移動しながら、走
査光学系の全像高で走査ビームの光学特性を測定評価す
る際に、前記走査方向移動手段及び前記焦点中心回転手
段は、連動して自動測定を行えることを特徴とする請求
項１に記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置であ
る。また、請求項９の発明は、前記検出手段を構成す
る、結像手段、光量調整手段及び光電変換手段のうち、
光電変換手段だけ単独に回転する光電変換系回転手段を
設けたことを特徴とする請求項１に記載の走査光学系の
走査ビーム測定評価装置である。また、請求項１０の発
明は、前記走査方向移動手段、前記焦点中心回転手段及
び前記光電変換系回転手段は、前記検出手段を主走査方
向に移動しながら、走査光学系の全像高で走査ビームの
光学特性を測定評価する際に、光電変換系回転手段を自
動回転ステージ構成とし、前記焦点中心回転手段の回転
角と逆方向に同じ回転角だけ回転するようにしながら、
三軸を連動させて、自動測定を行えるように構成されて
いることを特徴とする請求項１に記載の走査光学系の走
査ビーム測定評価装置である。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。なお、以下に説明する実施の形態
は、レーザビームプリンタやレーザファクシミリ等の画
像形成装置に係わり、走査光学系書き込みユニットのビ
ーム径やドット間隔（リニアリティ）などの測定評価を
行いながら、ユニット内で使用される部品の組付け調整
を行うための組立調整装置と組合せて使用することもで
きる。また、該画像形成装置における書込みユニットと
して、ＬＥＤアレイ方式に代表される固体撮像式におけ
るドットの位置ずれ量の測定にも対応できる。

【００１３】図１は本発明に係る一実施形態の走査光学
系の走査ビーム測定評価装置の概略システム構成図であ
る。図１に示すように、この走査ビーム測定評価装置
（以下、測定装置と記す）は、走査光学系ユニット５０
によって出射される走査ビームの、光量分布、ビーム
径、ドット間隔等の光学特性を測定評価する走査光学系
の走査ビーム測定評価装置において、前記走査ビームの
点灯・点滅を所定時間間隔で行え、書込み密度相当のド
ット単位で制御することのできる走査ビーム出射制御手
段であり、点灯制御を行う信号発生制御部１７と、取込
んだ走査ビーム光量に比例した電気信号出力を行える二
次元エリア型受光素子等の光電変換手段である撮像手段
２８（図３参照）とを備える検出手段である検出部２０
と、検出部２０から得られたデータを転送して保存する
データ格納手段であるデータ格納部３３と、取得したデ
ータに基づき走査ビームの光量分布を解析する信号処理
手段である信号処理部３２と、検出部２０を主走査方向
に走査光学系ユニット５０の全像高を移動できる走査方
向移動手段２３と、前記走査ビームの結像状態を取得す
るにあたり、検出部２０を走査ビーム結像位置（感光体
像位置Ｒ）中心に、全ての走査ビーム光軸を含む走査平
面内で、回転できる焦点中心回転手段６０とを備え、走
査方向移動手段２３により検出手段２０を移動させて前
記走査ビーム光量を取得する際に、焦点中心回転手段６
０を用いて、各像高で走査ビームの入射角に応じて所定
の回転角だけ、検出部２０を回転させることを特徴とす
る。この測定装置１０に、走査光学系ユニット５０をセ
ットし、測定を行う。

【００１４】走査光学系ユニット５０は、レーザ光源と
して用いるレーザダイオード（以下、ＬＤと記す）１２
と、走査ビームの走査開始位置を検出する受光センサと
して用いるフォトダイオード（以下、ＰＤと記す）１３
については、測定装置１０と入出力できるようコネクタ
接続できるようにしてある。また、回転多面鏡１４への
信号入出力もコネクタ接続できるようにしておく。これ
により、測定装置１０は、ＬＤ１２から光ビームを回転
多面鏡１４への反射面に向けて照射し、光ビームを反射
させて走査させる。光ビームは、まず、ＰＤ１３に照射
され、走査ビームの走査開始位置となる同期信号１６を
得る。

【００１５】次に、光ビームは、コリメータレンズ等の
図示しないレンズにより、回転多面鏡１４によって反射
した光ビームは、ｆθレンズ１５などの構成により走査
され、感光体像位置Ｒに焦点を結んで直線上に結像す
る。このとき、測定装置１０は、走査ビームのレーザ光
源１２の変調を行える点灯制御部である信号発生制御部
１７は、計測部ＣＰＵ４１からの指令により、コントロ
ーラボックス４０を介し、予め信号記憶部１８に設定さ
れていたパターンのクロック信号１９により、信号発生
制御部１７から変調信号を出力し、ＬＤ１２を駆動でき
るようにする。

【００１６】測定装置１０は、この感光体像位置Ｒにお
いて、検出手段２０が配置されている。ＰＤ１３により
得られた同期信号１６をもとに、ＬＤ１２の信号発生制
御部１７を使って、走査ビームの発光のタイミングをと
り、また、検出手段２０の取込みトリガをかけ、カメラ
シャッター２２を開き受光させ、検出後、計測部ＣＰＵ
４１の指令により、コントローラボックス４０を介し
て、取得した画像データをデータ格納部３３へ転送す
る。この後、信号処理部３２により撮像した光量分布デ
ータの解析により、走査光学系のビーム径などの測定評
価を行う。 測定結果は、計測部ＣＰＵ４１にて演算さ
れ、表示部４２に表示される。

【００１７】検出手段２０は、走査方向移動手段２３に
よって、主走査方向であるＸ軸方向に移動可能とし、走
査領域内の任意の位置で走査ビームを検出可能となる。
また、走査方向移動手段２３の移動量は、位置検出セン
サ（本実施形態では、「リニアスケール」２６を使用し
ている）を用い、位置検出部２５により計測を行う。こ
れにより、検出手段２０のデータ取得位置を正確にかつ
高速に計測できる。この時、走査方向移動手段２３は、
計測部ＣＰＵ４１からコントローラボックス４０を介
し、機構制御部２４により駆動される。

【００１８】図２は本発明に係る一実施形態の走査光学
系の走査ビーム測定評価装置の概略平面図、図３は本発
明に係る一実施形態の走査光学系の走査ビーム測定評価
装置の概略装置側面図である。図２に示すように、走査
光学系ユニット５０から出射される走査ビームの結像状
態を取得するにあたり、検出手段２０を走査ビーム結像
位置（焦点）Ｐ中心に、全ての走査ビーム光軸を含む走
査平面内で、回転できる焦点中心回転手段６０を設けて
いる。走査方向移動手段２３により検出手段２０を移動
させて、主走査方向全像高での測定を行う。焦点中心回
転手段６０を用いて、各像高で走査ビームの入射角に従
って所定の回転角だけ、検出手段２０を回転させること
で、主走査方向のどの像高でも、ビーム光軸に対して検
出手段２０を略垂直に配置できる。

【００１９】図３に示すように、走査光学系ユニット５
０に、検出手段２０に対し相対移動可能なデフォーカス
方向移動手段６６を設け、デフォーカス方向に相対的な
距離を変えながら、逐次取得される光量分布データから
走査ビームのビーム径演算を信号処理部３２で行わせ、
その結果から、検出手段２０がビーム結像状態を取得で
きる位置に、走査光学系ユニット５０を移動できるよう
にする。検出手段２０は、拡大光学素子からなる拡大結
像手段２１と、光量調整手段２７と、二次元エリア型受
光素子からなる撮像手段２８により構成される。検出手
段２０において、拡大光学素子からなる結像手段と光量
調整手段２７と撮像手段が、走査光学系のデフォーカス
方向に、それぞれ別々に微動できる調整用微動ステージ
２９，３０，３１を備えている。

【００２０】検出手段２０において、拡大結像手段２１
の適正なビーム検出位置（設計上適正な拡大倍率となる
検出位置）と、焦点中心回転手段６０の回転軸を一致す
るように、配置している。

【００２１】焦点中心回転手段６０の回転機構は、例え
ば駆動系に電動モータ６１を用い、ウォームギア減速機
６２を使い回転軸を９０°曲げて、ベアリング６３に軸
支されながら、水平面内の回転駆動力はカップリング６
４を介して伝達し、Ｒガイド６５で案内されながら回転
するというものである。これにより、自動回転ステージ
を構成している。

【００２２】焦点中心回転手段６０は、走査方向移動手
段２３による検出手段２０の主走査方向の移動に伴い、
走査光学系の各像高に従って所定の回転角だけ回転す
る。走査方向移動手段２３と焦点中心回転手段６０は、
検出手段２０を主走査方向に移動しながら、走査光学系
の全像高で走査ビームの光学特性を測定評価する際に、
連動して、自動測定を行なう。

【００２３】図２に示すように、走査方向移動手段２
３、焦点中心回転手段６０及び撮像系回転手段６７は、
検出手段２０を主走査方向に移動しながら、走査光学系
の全像高で走査ビームの光学特性を測定評価する際に、
撮像系回転手段６７を自動回転ステージとし、焦点中心
回転手段６０の回転角と逆方向に同じ回転角だけ回転す
るようにしながら、三軸を連動させて、自動測定を行な
う。

【００２４】図４（Ａ）は本発明に係る一実施形態の走
査光学系の走査ビーム測定評価装置の検出手段である検
出部を示す平面図、（Ｂ）は本発明に係る一実施形態の
走査光学系の走査ビーム測定評価装置の撮像系回転手段
を示す平面図である。例えば、図４（Ａ）、（Ｂ）に示
すように、検出部２０を構成する、拡大結像手段２１、
光量調整手段２７及び撮像手段２８のうち、撮像手段２
８だけ単独に受光素子面を回転中心とした撮像系回転手
段６７を設けてある。

【００２５】以上の実施形態の走査光学系の走査ビーム
測定評価装置において、検出部２０を走査ビーム結像位
置（焦点）中心Ｐに、全ての走査ビーム光軸を含む走査
平面内で回転可能とし、主走査方向各像高で走査ビーム
の入射角に従った所定の回転角だけ回転できるようにし
たことで、主走査方向のどの像高でも、ビーム光軸に対
して検出部２０を垂直に配置することができるため、ビ
ーム検出を良好に行うことができる。例えば、検出部２
０に用いられている拡大光学素子からなる結像手段（例
えば、対物レンズ）２１は、ビーム光軸と垂直に配置さ
れるため、対物レンズの略中央にてビームを入射できる
ため、収差の影響を受けにくくなり、良好に拡大結像さ
せることが可能となる。また、同時に、対物レンズの拡
大倍率が小さく、開口数が小さい場合、この回転手段が
ないと、入射角度が大きい場合、対物レンズ鏡筒内にあ
たり、いわゆる光がケラレた状態となり測定できないと
いう不具合が生じる。

【００２６】また、検出手段に用いられている光量調整
手段（例えば、ＮＤフィルタ）２７に対する入射角度を
一定に保つことができるため、どの像高においても同じ
光量の調整ができるとともに、光量調整手段２７が入る
ことにより生じる、撮像系の受光素子面への結像位置の
変化量を最小限に抑えることが可能となる。

【００２７】次に、ビーム光軸に対して検出部２０を垂
直になるまで回転させない方法もある。これは、上記対
物レンズ鏡筒内によるケラレの生じない範囲で、回転さ
せるやり方で、対物レンズの開口数不足を補うだけ回転
させるもので、この方法によっても、全像高での走査ビ
ームの拡大検出が可能となり、回転角度が小さくて済
み、ビーム結像位置と回転中心とのわずかな位置ずれを
生じた場合でも、測定誤差を小さく抑えやすいという利
点もある。

【００２８】また、上記走査光学系の走査ビーム測定評
価装置において、走査光学系ユニット５０を、検出部２
０に対し、デフォーカス方向に相対的な距離を変えなが
ら、逐次取得される走査ビームのビーム径演算結果をも
とに、ビーム結像位置をみつけ、その位置に移動させる
ことで、検出部２０はビーム結像状態の走査ビームの測
定評価を行うことができる。

【００２９】また、上記走査光学系の走査ビーム測定評
価装置において、拡大光学素子からなる結像手段２１を
用いることで、走査ビームを拡大検出することで、二次
元エリア型受光素子からなる撮像手段２８の測定分解能
を上げることができ、高解像度化することができる。さ
らに、走査ビームの光量調整手段を用い、二次元エリア
型受光素子からなる撮像手段２８のダイナミックレンジ
を有効に利用することができる。

【００３０】また、上記走査光学系の走査ビーム測定評
価装置において、別々に微動できる調整用微動ステージ
２９〜３１を備えることで、それぞれそれぞれの位置を
微調整でき、設計上適正な拡大倍率となる拡大検出光学
系を構成できる。

【００３１】また、上記走査光学系の走査ビーム測定評
価装置において、検出部２０の設計上適正な検出位置
と、焦点中心回転手段６０との回転軸を一致させること
で、回転軸一軸だけで、ビーム光軸に対して検出部２０
を略垂直に配置させることができる。

【００３２】また、上記走査光学系の走査ビーム測定評
価装置において、焦点中心回転手段６０の回転ステージ
として、駆動系に電動モータ６１または空圧アクチュエ
ータなどの回転駆動源を用い、案内にＲガイド６５を用
いた構成により自動化することできる。

【００３３】上記走査光学系の走査ビーム測定評価装置
において、焦点中心回転手段６０は、検出部２０の主走
査方向の移動に伴い、設定記憶した回転角で、像高位置
に従った所定の回転動作を行うことができる。

【００３４】また、上記走査光学系の走査ビーム測定評
価装置において、走査方向移動手段２３と焦点中心回転
手段６０を自動化することで、所定の動作で連動させる
ことで、走査光学系の全像高で走査ビーム光学特性を自
動測定することができる。

【００３５】また、上記走査光学系の走査ビーム測定評
価装置において、検出部２０のうち撮像手段２８だけ単
独に回転する撮像系回転手段６７を設けることで、拡大
光学素子２１により結像された走査ビームの撮像手段２
８の受光素子面への入射角をかえることができ、実際に
則した光量分布を測定できる。

【００３６】また、上記走査光学系の走査ビーム測定評
価装置において、焦点中心回転手段６０の回転角と逆方
向に同じ回転角だけ回転させることで、拡大光学素子２
１により結像された走査ビームの撮像手段受光素子面へ
の入射角を、当初の走査ビームが感光体へ入射される角
度に戻すことができる。さらに、走査方向移動手段２
３、焦点中心回転手段６０及び撮像系回転手段６７の三
軸を連動させて、走査光学系の全像高で走査ビーム光学
特性を自動測定することができる。

【００３７】ところで、走査光学系を構成している走査
レンズに面精度（うねり）、表面欠陥、内部欠陥等の異
常があった場合、感光体上へ走査される走査ビームの主
走査方向の走査位置ずれや、ビームの深度方向の合焦位
置ずれにより、ビームのピーク光量の低下や、ビーム径
への影響を伴い、前記走査レンズを含む光学系によって
形成される画像にムラを生じ、画像品質が劣化する。

【００３８】したがって、走査レンズの品質すなわち面
精度、表面欠陥、内部欠陥等による画像ムラ等の光学性
能上の影響を測定する必要性生じる。しかし、走査ビー
ムの主走査方向の走査位置ずれ量や、ビームの深度方向
の合焦位置ずれ量や、それに伴って生じるビームのピー
ク光量の低下量や、ビームスポット径の変化量を正確に
測定することが難しいために、走査レンズの品質との対
応を定量化して評価するのは難しい。

【００３９】従来、走査光学系の走査ビームの評価は、
ピンホール又はスリットを感光体ドラムの表面に相当す
る位置に設け、通過するビーム光量から算出されたビー
ム径をもとに、その値が急激に変化するるかどうかによ
って、行われていることが知られている。

【００４０】しかし、この従来のビーム径の測定方法で
は、走査全域にわたり、例えば、１ｍｍごとに測定を行
った場合、その測定時間は膨大となる。また、ビームの
静止状態での測定のため、走査状態でのビーム特性を測
定できないという不具合もある。

【００４１】そこで、走査ビームを計測する方法がいく
つか提案されている。例えば、特開平０９−３３３９０
号公報の装置では、パルス変調されたレーザビームをＣ
ＣＤカメラに照射し、取得した二次元画像と予め取得し
てあるマスタ画像との差分値によって、走査ビームの異
常を検出している。

【００４２】しかしながら、特開平０９−３３３９０号
公報の従来装置では、評価対象である走査レンズ（ｆθ
レンズ）に対する評価結果を行う上で、たとえ、光学系
の光学性能を測定し、走査ビームの主走査方向の走査位
置ずれ量や、ビームの深度方向の合焦位置ずれ量や、そ
れに伴って生じるビームのピーク光量の低下量や、ビー
ムスポット径の変化量を測ることができたとしても、そ
れらが走査レンズ以外の要因で、生じている可能性を否
定できず、このため、走査レンズの評価を正しく行えな
いという不具合が生じる。

【００４３】この場合の、走査レンズ以外の要因とし
て、挙げられるのは、ポリゴンモータの低周波ジッタと
呼ばれる、繰返し性のない非同期成分を持つ、回転速度
むらである。これが原因で、主走査方向の走査位置ずれ
や、ピーク光量の低下が生じる。また、ＬＤユニットの
温度上昇が生じると、ビームスポット径が変化すること
が知られている。また、二次元エリアセンサの主走査移
動手段の位置決め精度等は、そのまま、走査ビームの主
走査方向の走査位置ずれ量の測定誤差となる。

【００４４】上述の光学系の光学性能測定における誤差
要因は、繰返し性のある成分と、ない成分に分けられる
が、繰返し性のある誤差成分は、予め、測定しておくこ
とで、補正処理を行えるが、繰返し性のない成分は、そ
のまま、誤差として残る。製品の中で使用している光学
素子や光学部品は、製造上の理由（歩留まり、製品コス
ト）で、与えられた公差の中で、作られているため、こ
の繰返し性のない成分が、大きいものも含まれている。
このため、これらの光学素子や光学部品を使って、走査
レンズを正確に評価することは、難しい。

【００４５】そこで、これらの問題も解決するために次
の走査光学系の走査ビーム測定評価装置について以下に
説明する。図５は本発明に係る他の実施形態の走査光学
系の走査ビーム測定評価装置の理想走査光学系の平面図
である。この実施形態において、他の部分は図１〜４に
示した実施形態と同様なので、説明を省略する。

【００４６】この理想光学系５０′とは、評価対象が走
査光学系の走査レンズ（ｆθレンズ１５）で、走査レン
ズ以外の光学素子や光学部品については、予め測定評価
項目に及ぼす誤差を測定しておくことができ、その誤差
の非再現性成分が極力小さなものを用いて構成してい
る。これにより、走査レンズの性能評価を精度良く行え
るようにする。

【００４７】図５に示すように、ポリゴンミラー１４
は、サーボモータ駆動される専用スピンドルモータから
なるポリゴンモータ回転機構６８に取付けられ、回転駆
動される。ポリゴンモータ回転機構６８は、理想走査光
学系５０′の剛性のあるハウジング７１にしっかりと固
定されている。また、ＬＤユニット１２は、ユニット近
傍に、ペルチェ素子６９と温度センサ７０から構成さ
れ、ＬＤユニットの温度が一定に保たれるように制御さ
れている。

【００４８】図６は本発明に係る他の実施形態の走査光
学系の走査ビーム測定評価装置を用いて評価した走査レ
ンズ不良位置近傍でのビーム径変動を示す図、図７は本
発明に係る一実施形態の走査光学系の走査ビーム測定評
価装置を用いて評価した走査レンズ不良位置近傍でのピ
ーク光量変動を示す図である。

【００４９】図６、図７は、本実施例の構成をとった走
査ビーム測定評価装置による走査光学系の光学性能の評
価するために、測定された、走査ビームの走査レンズ不
良位置近傍での、ビームスポット径とピーク光量の測定
例である。図からわかるように、ビームスポット径の急
激な太りとピーク光量の低下を確認することができる。

【００５０】この実施形態では、走査レンズ以外の光学
素子や光学部品については、予め測定評価項目に及ぼす
誤差を測定しておくことができ、その誤差の非再現性成
分が極力小さなものを用いることで理想走査光学系を構
成することで、走査ビームの主走査方向の走査位置ずれ
量や、ビームの深度方向の合焦位置ずれ量や、それに伴
って生じるビームのピーク光量の低下量や、ビームスポ
ット径の変化量などの光学系の光学性能の測定結果か
ら、走査レンズの品質すなわち面精度、表面欠陥、内部
欠陥等による画像ムラ等の光学性能に与える影響につい
て定量的に評価することのできる、走査光学系の走査ビ
ーム測定評価装置を提供することも目的とする。

【００５１】この走査光学系の走査ビーム測定評価装置
は、走査光学系によって出射される有効書込み幅内の全
ての走査ビームの光学特性、例えば、光量分布・ビーム
径・ビームピッチ、ドット位置などを測定評価するにあ
たり、走査ビームの出射において、ＯＮ／ＯＦＦの点灯
・点滅を正確な時間間隔で行え、書込み密度相当のドッ
ト単位で制御することのできる走査ビーム出射制御手段
と、取込んだ走査ビーム光量に比例した電気信号出力を
行える二次元エリア型受光素子からなる検出手段と、そ
の検出手段から得られたデータを高速に転送し、保存す
るデータ格納手段と、取得したデータに基づき走査ビー
ムの光量分布を解析する信号処理手段と、検出系を主走
査方向に走査光学系の全像高を移動できる走査方向移動
手段、の構成をとり、結像状態の走査ビームを詳細に測
定することができる走査光学系の走査ビーム測定評価装
置において、評価対象が走査光学系の走査レンズで、走
査レンズ以外の光学素子や光学部品については、予め測
定評価項目に及ぼす誤差を測定しておくことができ、そ
の誤差の非再現性成分が極力小さなものを用いることで
理想走査光学系を構成し、走査レンズの性能評価を精度
良く行えるようにすることを特徴とする走査光学系の走
査ビーム測定評価装置である。

【００５２】この構成によれば、走査レンズの品質、即
ち面精度、表面欠陥、内部欠陥等による画像ムラ等の光
学性能に与える影響について定量的に評価することがで
き、走査光学系内に用いられる光学レンズに要求される
面精度（うねり）、表面欠陥、内部欠陥等の仕様値を明
確にでき、光学素子の設計仕様に反映することができ
る。

【００５３】また、この実施形態では、偏向素子である
ポリゴンミラー用のモータ回転機構には、回転速度むら
（ジッタ）が小さい機構を使用することで、ポリゴンモ
ータに起因して測定結果に入る非再現性成分の誤差を小
さくでき、走査レンズの品質と走査光学系の性能に与え
る影響について定量的に評価することのできる、走査光
学系の走査ビーム測定評価装置を提供することも目的と
する。

【００５４】この走査光学系の走査ビーム測定評価装置
は、前記理想走査光学系において、偏向素子であるポリ
ゴンミラー用のポリゴンモータ回転機構には、回転速度
むら（ジッタ）が小さい機構のものを使用したことを特
徴とする走査光学系の走査ビーム測定評価装置である。

【００５５】この構成によれば、走査ビーム測定評価装
置のポリゴンミラー用モータ回転機構を使うことによ
り、走査レンズの品質すなわち面精度、表面欠陥、内部
欠陥等による画像ムラ等の光学性能に与える影響につい
て定量的に評価することができる。

【００５６】また、この実施形態では、偏向素子である
ポリゴンミラー用のモータ回転機構の回転速度むら（ジ
ッタ）が小さいものとして、DCブラシレスサーボモータ
により駆動され、動圧軸受により回転支持される、高精
度スピンドルモータを使うことで、ポリゴンモータに起
因して測定結果に入る非再現性成分の誤差を小さくで
き、走査レンズの品質と走査光学系の性能に与える影響
について定量的に評価することのできる、走査光学系の
走査ビーム測定評価装置を提供することも目的とする。

【００５７】この走査光学系の走査ビーム測定評価装置
は、前記ポリゴンモータの回転機構の回転速度むら（ジ
ッタ）が小さい機構として、DCブラシレスサーボモータ
により駆動され、動圧軸受により回転支持される、高精
度スピンドルモータからなることを特徴とする走査光学
系の走査ビーム測定評価装置である。

【００５８】この構成によれば、走査ビーム測定評価装
置のポリゴンミラー用モータ回転機構として、高精度ス
ピンドルモータを使うことにより、走査レンズの品質す
なわち面精度、表面欠陥、内部欠陥等による画像ムラ等
の光学性能に与える影響について定量的に評価すること
ができる。

【００５９】また、この実施形態では、前記ポリゴンモ
ータの回転機構として用いられている高精度スピンドル
モータは、回転速度むら（ジッタ）が十分小さくするこ
のできる回転数の範囲を広くとれることで、ポリゴンミ
ラーの回転数を変えることで、ポリゴンミラーの遠心力
の影響によるミラー面の変形具合がどの程度、走査光学
系の光学性能に対し、影響を与えるかを測定することが
できる、走査光学系の走査ビーム測定評価装置を提供す
ることも目的とする。

【００６０】この走査光学系の走査ビーム測定評価装置
は、前記ポリゴンモータの回転機構として用いられてい
る高精度スピンドルモータは、回転速度むら（ジッタ）
が十分小さくするこのできる回転数の範囲を広くとれる
ことを特徴とする走査光学系の走査ビーム測定評価装置
である。

【００６１】この構成によれば、走査ビーム測定評価装
置の前記ポリゴンモータ回転機構として用いられている
高精度スピンドルモータの回転数を変えることで、ポリ
ゴンミラーの遠心力の影響によるミラー面の変形具合が
どの程度、走査光学系の光学性能に対し、影響を与える
かを測定することができる。

【００６２】また、この実施形態では、偏向素子である
ポリゴンミラーの面倒れの小さなものを選択して使用す
ることで、測定結果に入る、ポリゴンミラー面で生じる
非再現性成分の誤差を小さくでき、走査レンズの品質と
走査光学系の性能に与える影響について定量的に評価す
ることのできる、走査光学系の走査ビーム測定評価装置
を提供することも目的とする。

【００６３】この走査光学系の走査ビーム測定評価装置
は、前記理想走査光学系において、偏向素子であるポリ
ゴンミラーは、前記走査レンズを搭載機種の形状と同一
とし、その面倒れは、予め計測しておき、そのうちで小
さなものを選択して使用したことを特徴とする走査光学
系の走査ビーム測定評価装置である。この構成によれ
ば、走査ビーム測定評価装置のポリゴンミラーに面倒れ
の小さなものを選択して使用することで、走査レンズの
品質すなわち面精度、表面欠陥、内部欠陥等による画像
ムラ等の光学性能に与える影響について定量的に評価す
ることができる。

【００６４】また、この実施形態では、走査ビーム出射
手段であるＬＤユニットには、ＬＤの発光に伴う温度上
昇を抑えるための温度制御装置を備えることで、測定結
果に入る非再現性成分の測定誤差を小さくでき、走査レ
ンズの品質と走査光学系の性能に与える影響について定
量的に評価することのできる、走査光学系の走査ビーム
測定評価装置を提供することも目的とする。

【００６５】この走査光学系の走査ビーム測定評価装置
は、前記理想走査光学系において、走査ビーム出射手段
であるＬＤユニットには、ＬＤの発光に伴う温度上昇を
抑えるための温度制御装置が備わっていることを特徴と
する走査光学系の走査ビーム測定評価装置である。

【００６６】この構成によれば、走査ビーム測定評価装
置の走査ビーム出射手段であるＬＤユニットに温度制御
装置を備えることで、走査レンズの品質すなわち面精
度、表面欠陥、内部欠陥等による画像ムラ等の光学性能
に与える影響について定量的に評価することができる。

【００６７】また、この実施形態では、走査ビーム出射
手段であるＬＤユニットには、ＬＤの発光に伴う温度上
昇を抑えるための温度制御装置として、ＬＤユニットの
近くに配置できるペルチェ素子と温度センサから構成さ
れ、ＬＤユニットの温度が一定に保たれるように制御で
きるようにすることで、測定結果に入る非再現性成分の
測定誤差を小さくでき、走査レンズの品質と走査光学系
の性能に与える影響について定量的に評価することので
きる、走査光学系の走査ビーム測定評価装置を提供する
ことも目的とする。

【００６８】この走査光学系の走査ビーム測定評価装置
は、ＬＤユニットの近くに配置できるペルチェ素子と温
度センサから構成され、ＬＤユニットの温度が一定に保
たれるように制御さていることを特徴とする走査光学系
の走査ビーム測定評価装置である。

【００６９】この構成によれば、走査ビーム測定評価装
置の走査ビーム出射手段に、温度制御を行うことで、走
査レンズの品質すなわち面精度、表面欠陥、内部欠陥等
による画像ムラ等の光学性能に与える影響について定量
的に評価することができる。

【００７０】また、この実施形態では、前記理想走査光
学系の光学系ハウジングは、前記スピンドルモータの回
転に伴う振動に対して、十分な剛性を持つことで、他の
光学素子へ伝わる振動を十分減衰するような構造とする
ことで、測定結果に入る振動の非再現性成分の測定誤差
を小さくでき、走査レンズの品質と走査光学系の性能に
与える影響について定量的に評価することのできる、走
査光学系の走査ビーム測定評価装置を提供することも目
的とする。

【００７１】この走査光学系の走査ビーム測定評価装置
は、前記理想走査光学系の光学系ハウジングは、前記ス
ピンドルモータの回転に伴う振動に対して、十分な剛性
を持つことで、他の光学素子へ伝わる振動を十分減衰す
るような構造としたことを特徴とする走査光学系の走査
ビーム測定評価装置である。

【００７２】この構成によれば、走査ビーム測定評価装
置の光学系ハウジング剛性を十分に保つことで、走査レ
ンズの品質すなわち面精度、表面欠陥、内部欠陥等によ
る画像ムラ等の光学性能に与える影響について定量的に
評価することができる。

【００７３】また、この実施形態では、前記理想走査光
学系の光学系ハウジングは、走査レンズのみの交換に伴
う、着脱動作を、シリンダを用いたクランプ治具によ
り、容易に行えるようにすることのできる、走査光学系
の走査ビーム測定評価装置を提供することも目的とす
る。

【００７４】この走査光学系の走査ビーム測定評価装置
は、前記理想走査光学系の光学系ハウジングは、走査レ
ンズのみの交換に伴う、着脱動作を、シリンダを用いた
クランプ治具により、容易に行えるようにしたことを特
徴とする走査光学系の走査ビーム測定評価装置である。
この構成によれば、走査ビーム測定評価装置の光学系ハ
ウジングを使うことで、走査レンズのみの交換に伴う、
着脱動作を、シリンダを用いたクランプ治具により、容
易に行えるようにすることのできる。

【００７５】また、この実施形態では、検出系を主走査
方向に走査光学系の全像高を移動できる前記走査方向移
動手段は用いられるステージは、案内に静圧空気軸受を
用い、ボールねじ駆動とするが、ボールねじとテーブル
との締結にばね継手を用いた高真直度ステージ機構とす
ることで、測定結果に入る非再現性成分の測定誤差を小
さくでき、走査レンズの品質と走査光学系の性能に与え
る影響について定量的に評価することのできる、走査光
学系の走査ビーム測定評価装置を提供することも目的と
する。

【００７６】この走査光学系の走査ビーム測定評価装置
は、検出系を主走査方向に走査光学系の全像高を移動で
きる前記走査方向移動手段は用いられるステージは、案
内に静圧空気軸受を用い、ボールねじ駆動とするが、ボ
ールねじとテーブルとの締結にばね継手を用いた高真直
度ステージ機構としたことを特徴とする走査光学系の走
査ビーム測定評価装置である。

【００７７】この構成によれば、走査ビーム測定評価装
置の走査方向移動手段として、案内に静圧空気軸受を用
い、ボールねじ駆動とするが、ボールねじとテーブルと
の締結にばね継手を用いた高真直度ステージ機構とする
ことで、走査レンズの品質すなわち面精度、表面欠陥、
内部欠陥等による画像ムラ等の光学性能に与える影響に
ついて定量的に評価することができる。

【００７８】図５〜７で説明した実施形態に係る発明
は、レーザビームプリンタやレーザファクシミリ等の画
像形成装置に係わり、走査光学系のビーム径やドット間
隔（リニアリティ）などを測定して、書込みユニットの
評価、及び、ユニット内で使用される走査レンズの品
質、例えば、面精度、表面欠陥、内部欠陥等による光学
性能上の影響を評価できる、走査光学系の走査ビーム測
定評価装置に関するものである。

【００７９】応用分野としては、レーザビームプリンタ
やレーザファクシミリ等の画像形成装置に係わり、走査
光学系書き込みユニットのビーム径やドット間隔（リニ
アリティ）などの測定評価を行いながら、ユニット内で
使用される部品の組付け調整を行うための組立調整装置
と組合せて使用することもできる。なお、本発明は上記
実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨
子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができ
る。

【００８０】

【発明の効果】以上、説明したように、請求項１の発明
によれば、主走査方向のどの像高でも、ビーム光軸に対
して検出手段を略垂直に配置でき、この配置を実現させ
るために必要な軸数を、一軸の回転ステージだけで済ま
せることが出来るという効果を有する。また、請求項２
の発明によれば、さらに、走査光学系を、検出手段に対
し、デフォーカス方向に相対的な距離を変えながら、逐
次取得される走査ビームのビーム径演算結果をもとに、
ビーム結像位置をみつけ、その位置に移動させること
で、検出手段はビーム結像状態の走査ビームの測定評価
を行える。また、請求項３の発明によれば、さらに、拡
大光学素子からなる結像手段を用いることで、走査ビー
ムを拡大検出することで、二次元エリア型受光素子から
なる撮像手段の測定分解能を上げることができ、高解像
度化することができる。また、走査ビームの光量調整手
段を用い、二次元エリア型受光素子からなる撮像手段の
ダイナミックレンジを有効に利用することができる。ま
た、請求項４の発明によれば、さらに、別々に微動でき
る調整用微動ステージを備えることで、それぞれそれぞ
れの位置を微調整でき、設計上適正な拡大倍率となる拡
大検出光学系を構成できるまた、請求項５の発明によれ
ば、さらに、検出手段の設計上適正な検出位置と、焦点
中心回転手段の回転軸を一致させることで、回転軸一軸
だけで、ビーム光軸に対して検出手段を略垂直に配置さ
せることができる。また、請求項６の発明によれば、さ
らに、焦点中心回転手段の回転ステージとして、駆動系
に電動モータまたは空圧アクチュエータなどの回転駆動
源を用い、案内にＲガイドを用いた構成により自動化す
ることできる。また、請求項７の発明によれば、さら
に、焦点中心回転手段は、検出手段の主走査方向の移動
に伴い、設定記憶した回転角で、像高位置に従った所定
の回転動作を行える。また、請求項８の発明によれば、
さらに、走査方向移動手段と焦点中心回転手段を自動化
することで、所定の動作で連動させることで、走査光学
系の全像高で走査ビーム光学特性を自動測定することが
できる。また、請求項９の発明によれば、さらに、検出
手段のうち撮像手段だけ単独に回転する撮像系回転手段
を設けることで、拡大光学素子により結像された走査ビ
ームの撮像手段の受光素子面への入射角をかえることが
でき、実際に則した光量分布を測定できる。また、請求
項１０の発明によれば、さらに、焦点中心回転手段の回
転角と逆方向に同じ回転角だけ回転させることで、拡大
光学素子により結像された走査ビームの撮像手段受光素
子面への入射角を、当初の走査ビームが感光体へ入射さ
れる角度に戻すことができる。また、走査方向移動手段
と焦点中心回転手段と撮像系回転手段の三軸を連動させ
て、走査光学系の全像高で走査ビーム光学特性を自動測
定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る一実施形態の走査光学系の走査ビ
ーム測定評価装置の概略システム構成図である。

【図２】本発明に係る一実施形態の走査光学系の走査ビ
ーム測定評価装置の概略平面図である。

【図３】本発明に係る一実施形態の走査光学系の走査ビ
ーム測定評価装置の概略装置側面図である。

【図４】本発明に係る一実施形態の走査光学系の走査ビ
ーム測定評価装置の撮像系回転手段を示す平面図であ
る。

【図５】本発明に係る他の実施形態の走査光学系の走査
ビーム測定評価装置の理想走査光学系の平面図である。

【図６】本発明に係る他の実施形態の走査光学系の走査
ビーム測定評価装置を用いて評価した走査レンズ不良位
置近傍でのビーム径変動を示す図である。

【図７】本発明に係る他の実施形態の走査光学系の走査
ビーム測定評価装置を用いて評価した走査レンズ不良位
置近傍でのピーク光量変動を示す図である。

【符号の説明】

１２ ＬＤユニット（レーザダイオード） １３ ＰＤ（フォトダイオード） １４ ポリゴンミラー（回転多面鏡） １５ ｆθレンズ １６ 同期信号 １７ 点灯制御部（信号発生制御部、光ビーム出射制御
手段） １８ 信号記憶部（回転角設定記憶手段） １９ クロック信号 ２０ 検出部（検出手段） ２１ 拡大結像手段 ２２ シャッター ２３ 走査方向移動手段 ２４ 機構制御部 ２５ 位置検出部 ２６ リニアスケール ２７ 光量調整手段 ２８ 撮像手段（光電変換手段、二次元エリア受光素
子） ２９ 拡大結像手段用微動ステージ ３０ 光量調整手段用微動ステージ ３１ 撮像手段用微動ステージ（光電変換手段用微動ス
テージ） ３２ 信号処理部 ３３ データ格納部 ４０ コントローラボックス ４１ 計測部ＣＰＵ ４２ 表示部 ５０ 走査光学系ユニット ５０′ 理想光学系ユニット ６０ 焦点中心回転手段（回転ステージ） ６１ 電動モータ（駆動源） ６２ ウォームギア減速機 ６３ ベアリング ６４ カップリング ６５ Ｒガイド ６６ デフォーカス方向移動手段 ６７ 撮像系回転手段（光電変換径回転手段） ６８ ポリゴンモータ回転機構 ６９ ペルチェ素子 ７０ 温度センサ ７１ ハウジング Ｐ 結像位置 Ｒ 感光体像位置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2C362 AA20 AA53 AA61 BB29 2G065 AA04 AA11 AB09 BA01 BA34 BB21 BB49 BC04 BC35 2G086 EE12 5C072 AA03 BA02 CA06 CA12 DA21 HA02 HA13 HB15 RA12 XA01 XA05

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 走査光学系によって出射される走査ビー
   ムの、光量分布、ビーム径、ドット間隔等の光学特性を
   測定評価する走査光学系の走査ビーム測定評価装置にお
   いて、 前記走査ビームの点灯・点滅を所定時間間隔で行え、書
   込み密度相当のドット単位で制御することのできる走査
   ビーム出射制御手段と、 取込んだ走査ビーム光量に比例した電気信号出力を行え
   る光電変換手段を備える検出手段と、 該検出手段から得られたデータを転送して保存するデー
   タ格納手段と、 取得したデータに基づき走査ビームの光量分布を解析す
   る信号処理手段と、 前記検出手段を主走査方向に走査光学系の全像高を移動
   できる走査方向移動手段と、 前記走査ビームの結像状態を取得するにあたり、前記検
   出手段を走査ビーム結像位置中心に、全ての走査ビーム
   光軸を含む走査平面内で、回転できる焦点中心回転手段
   とを備え、 前記走査方向移動手段により前記検出手段を移動させて
   前記走査ビーム光量を取得する際に、前記焦点中心回転
   手段を用いて、各像高で走査ビームの入射角に応じて所
   定の回転角だけ、前記検出手段を回転させることを特徴
   とする走査光学系の走査ビーム測定評価装置。
2. 【請求項２】 前記信号処理手段を用いて、前記検出手
   段により取得した走査ビームの光量分布データから走査
   ビームのビーム径を算出し、 前記走査光学系と前記検出手段とを相対移動可能なデフ
   ォーカス方向移動手段を設け、 前記デフォーカス方向移動手段によりデフォーカス方向
   に相対的な距離を変えながら、前記検出手段により走査
   ビーム光量を取り込み、 逐次取得される走査ビームのビーム径演算結果から、前
   記検出手段がビーム結像状態を取得できる位置に、前記
   走査光学系を移動できるようにしたことを特徴とする請
   求項１に記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置。
3. 【請求項３】 前記検出手段は、前記光電変換手段に拡
   大結像する結像手段と、前記光電変換手段に入射する光
   量を調整する光量調整手段とを備えていることを特徴と
   する請求項１に記載の走査光学系の走査ビーム測定評価
   装置。
4. 【請求項４】 前記検出手段は、前記結像手段、前記光
   量調整手段及び前記光電変換手段が、走査光学系のデフ
   ォーカス方向に、それぞれ別々に微動できる調整用微動
   ステージを備えていることを特徴とする請求項１に記載
   の走査光学系の走査ビーム測定評価装置。
5. 【請求項５】 前記結像手段の所定の拡大倍率となるビ
   ーム検出位置と、前記焦点中心回転手段の回転軸とが一
   致するように、前記検出手段と前記焦点中心回転手段と
   を配置したことを特徴とする請求項１に記載の走査光学
   系の走査ビーム測定評価装置。
6. 【請求項６】 前記焦点中心回転手段は、前記走査ビー
   ム結像位置を中心とする円弧状案内を有する回転ステー
   ジと、該回転ステージを駆動する駆動源とを備える自動
   回転ステージ構成としたことを特徴とする請求項１に記
   載の走査光学系の走査ビーム測定評価装置。
7. 【請求項７】 前記焦点中心回転手段は、前記走査方向
   移動手段による検出手段の主走査方向の移動に伴い、走
   査光学系の各像高に従って所定の回転角だけ回転できる
   ように、回転角設定記憶手段を有していることを特徴と
   する請求項１に記載の走査光学系の走査ビーム測定評価
   装置。
8. 【請求項８】 前記検出手段を主走査方向に移動しなが
   ら、走査光学系の全像高で走査ビームの光学特性を測定
   評価する際に、前記走査方向移動手段及び前記焦点中心
   回転手段は、連動して自動測定を行えることを特徴とす
   る請求項１に記載の走査光学系の走査ビーム測定評価装
   置。
9. 【請求項９】 前記検出手段を構成する、結像手段、光
   量調整手段及び光電変換手段のうち、光電変換手段だけ
   単独に回転する光電変換系回転手段を設けたことを特徴
   とする請求項１に記載の走査光学系の走査ビーム測定評
   価装置。
10. 【請求項１０】 前記走査方向移動手段、前記焦点中心
    回転手段及び前記光電変換系回転手段は、前記検出手段
    を主走査方向に移動しながら、走査光学系の全像高で走
    査ビームの光学特性を測定評価する際に、光電変換系回
    転手段を自動回転ステージ構成とし、前記焦点中心回転
    手段の回転角と逆方向に同じ回転角だけ回転するように
    しながら、三軸を連動させて、自動測定を行えるように
    構成されていることを特徴とする請求項１に記載の走査
    光学系の走査ビーム測定評価装置。