JP2002278114A - Method and device for electrophotography - Google Patents

Method and device for electrophotography

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JP2002278114A JP2002004442A JP2002004442A JP2002278114A JP 2002278114 A JP2002278114 A JP 2002278114A JP 2002004442 A JP2002004442 A JP 2002004442A JP 2002004442 A JP2002004442 A JP 2002004442A JP 2002278114 A JP2002278114 A JP 2002278114A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and a device for electrophotography which establish a toner recycle system by using an a-Si photosensitive body and injection electrostatic charging. SOLUTION: The method and device for electrophotography are equipped with an electrostatic charging means having an image carrier which is constituted by laminating an a-Si photoconductive layer and an a-C surface layer containing at least silicon atoms on a conductive base and characterized by that the silicon atom content rate of the surface layer is 0.2 to 20 atom.% magnetic toner which has toner particle containing at least binding resin and magnetic bodies and inorganic powder and whose means circularity is >=0.950 and whose saturated magnetism under 79.6 kA/m is 10 to 50 Am<2> /kg, electrostatically charged particles made principally of conductive particles having 0.1 to 10 μm particle size, and a conductive and elastic surface and carries the electrostatically charge particles and are characterized by that the electrostatically charged particles come into contact with the image carrier to charge it to the negative polarity, an electrostatic latent image is formed by an IAE system, and there is not cleaning process between transfer and the electrostatic charging.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、非単結晶シリコン
系電子写真感光体と接触帯電手段と球形トナーを用い、
転写から帯電までの間にクリーニング工程が無い特定の
システムを用いる電子写真方法及び装置に関し、詳しく
は、特定のシリコン原子含有率(シリコン原子と炭素原
子の総量に対するシリコン原子の比率)の表面層を付加
した非単結晶シリコン感光体を用いた電子写真方法及び
装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a non-single-crystal silicon electrophotographic photosensitive member, a contact charging means, and a spherical toner.
More specifically, the present invention relates to an electrophotographic method and apparatus using a specific system in which there is no cleaning process between transfer and charging. Specifically, a surface layer having a specific silicon atom content (ratio of silicon atoms to the total amount of silicon atoms and carbon atoms) is prepared. The present invention relates to an electrophotographic method and apparatus using an added non-single-crystal silicon photoconductor.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、電子写真方法は、帯電−露光−現
像−転写−転写残トナーのクリーニング−感光体残留電
荷の除電−帯電といったサイクルを繰り返す事が一般的
であった。この方式においては、転写後の感光体(像担
持体)に残存する転写残トナーはクリーナー(クリーニ
ング装置)によって感光体面から除去されて廃トナーと
なるが、この廃トナーは環境保護の面からも出ないこと
が望ましい。そこでクリーナーをなくし、転写後の感光
体上の転写残トナーは現像装置によって「現像兼クリー
ニング」で感光体上から除去し現像装置に回収・再用す
る装置構成にしたトナーリサイクルプロセスの電子写真
装置も出現している。特開平10−307455号公報
には、こうした電子写真装置の開示がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, an electrophotographic method generally repeats a cycle of charge-exposure-development-transfer-cleaning of toner remaining after transfer-discharging of residual charge of a photoconductor-charging. In this method, the transfer residual toner remaining on the photoreceptor (image carrier) after transfer is removed from the photoreceptor surface by a cleaner (cleaning device) to become waste toner. It is desirable not to come out. Therefore, the electrophotographic device of the toner recycling process is configured so that the cleaner is eliminated, and the transfer residual toner on the photoreceptor after transfer is removed from the photoreceptor by "development and cleaning" by a developing device and is collected and reused in the developing device. Has also appeared. JP-A-10-307455 discloses such an electrophotographic apparatus.

【0003】現像兼クリーニングとは、転写後に感光体
上に残留したトナーを次工程以降の現像時、即ち引き続
き感光体を帯電し、露光して潜像を形成し、該潜像の現
像時にかぶり取りバイアス(現像装置に印加する直流電
圧と感光体の表面電位間の電位差であるかぶり取り電位
差Vback)によって回収する方法である。この方法
によれば、転写残トナーは現像装置に回収されて次工程
以後に再利用されるため、廃トナーをなくし、メンテナ
ンスに手を煩わせることも少なくすることができる。ま
たクリーナーレスであることでスペース面での利点も大
きく、電子写真装置を大幅に小型化できるようになる。
[0003] Developing and cleaning means that the toner remaining on the photoreceptor after transfer is developed at the next and subsequent steps, that is, the photoreceptor is subsequently charged and exposed to form a latent image. This is a method of recovering by a picking bias (fogging potential difference Vback, which is a potential difference between a DC voltage applied to the developing device and a surface potential of the photoconductor). According to this method, since the transfer residual toner is collected in the developing device and reused after the next process, waste toner can be eliminated, and troublesome maintenance can be reduced. Further, the cleaner-less has a great advantage in terms of space, and the size of the electrophotographic apparatus can be greatly reduced.

【0004】以下に、図3を用いて簡単に現像兼クリー
ニング工程を利用したトナーリサイクルプロセスを説明
する。 (1)感光体201は接触帯電部材202により、電圧
を印加され均一に帯電される。この図の場合は負帯電と
する。 (2)均一に負帯電された感光体201上に、画像情報
に対応した反転現像方式の露光(例えばレーザー光)2
03が与えられ潜像を形成する。 (3)現像器204から電荷を付与された着色粉体であ
るトナー205が、潜像に応じた形で感光体201表面
に供給され顕像を形成する。この場合、トナーとしては
負帯電のものを用いる。 (4)転写ローラー206で電圧を印加、或いは静電吸
着力を付与する部材によって、転写材207にトナー像
が転写され、定着装置209で定着される。この際、一
部のトナーは転写され残留し、且つ更にその一部はトナ
ーと逆極性の電圧を印加された転写帯電部材によって本
来の極性と逆極性に帯電されるものが生じる。これを反
転トナー208と呼ぶ。この場合、転写帯電は正帯電と
なる。 (5)感光体表面に残留した転写残トナーは(1)の電
圧を印加された接触帯電部材202と感光体201との
摺擦により、上記反転トナーも含めて帯電極性と等しい
極性に電荷を再付与され、感光体上に再度吐き出され
る。反転トナーを元の極性にそろえる事をトナー極性の
正規化と呼ぶ。 (6)帯電極性と等しい電荷を再付与されたトナー20
5は、現像器の現像バイアスにより、現像時の余剰トナ
ーと共に再度現像器204に回収される。このような一
連のサイクルにより、廃トナーを生じないシステムが可
能となる。ここでの説明は、概要を述べたものであり、
この記載に限定されるものではない。
Hereinafter, a toner recycling process using a developing / cleaning process will be described with reference to FIG. (1) The photosensitive member 201 is uniformly charged by applying a voltage by the contact charging member 202. In the case of this figure, it is negatively charged. (2) Exposure (for example, laser light) of the reversal development method corresponding to image information on the uniformly negatively charged photoconductor 201
03 to form a latent image. (3) The toner 205, which is a colored powder to which an electric charge is applied from the developing device 204, is supplied to the surface of the photoconductor 201 in a form corresponding to the latent image to form a visible image. In this case, a negatively charged toner is used. (4) The toner image is transferred to the transfer material 207 by a member that applies a voltage by the transfer roller 206 or imparts an electrostatic attraction force, and is fixed by the fixing device 209. At this time, a part of the toner is transferred and remains, and a part of the toner is charged to a polarity opposite to the original polarity by a transfer charging member to which a voltage having a polarity opposite to that of the toner is applied. This is called a reversal toner 208. In this case, the transfer charge is positive. (5) The transfer residual toner remaining on the photoreceptor surface is charged to the same polarity as the charging polarity including the reversal toner by the rubbing between the contact charging member 202 and the photoreceptor 201 to which the voltage of (1) is applied. It is re-applied and discharged again onto the photoreceptor. Aligning the inverted toner to the original polarity is called toner polarity normalization. (6) Toner 20 recharged with charge equal to charge polarity
5 is again collected by the developing device 204 together with the surplus toner during development by the developing bias of the developing device. Such a series of cycles enables a system that does not generate waste toner. The explanation here is only a summary,
It is not limited to this description.

【0005】尚、特開平10−307455号公報に非
単結晶シリコン感光体のトナーリサイクルプロセスの開
示がある。特開2000−98846号公報には非単結
晶シリコン感光体、特には非単結晶炭素からなる表面層
を有する非単結晶シリコン感光体の接触帯電に関する開
示がある。
Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-307455 discloses a toner recycling process for a non-single-crystal silicon photoreceptor. Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-98846 discloses contact charging of a non-single-crystal silicon photoconductor, particularly a non-single-crystal silicon photoconductor having a surface layer made of non-single-crystal carbon.

【0006】また、特許公報第2811312号等で、
組成式Si1-xxのxの値が0.5<x<0.9の技術
開示があり、特開平10−20663号公報等で、組成
式Si1-xxのxの値が0.95≦x<1の技術開示が
ある。
Also, in Japanese Patent Publication No. 2811312 and the like,
The value of x in the composition formula Si 1-x C x is there disclosure 0.5 <x <0.9 technology, in JP-A-10-20663 discloses such, the value of x in the composition formula Si 1-x C x There is a technical disclosure of 0.95 ≦ x <1.

【0007】一方、特開平10−213946号公報に
は、感光体の飽和電位より低い電圧を帯電手段に印加し
て使用する事で、クリーナーレスでトナーの吐き出しを
良くする技術の開示があり、特開平10−274884
号公報には、トナーリサイクルプロセスにおいてトナー
を正規化しておいた方が良い旨の技術開示があり、さら
に特開平9−325578号公報には、帯電突入前に残
トナートリボを帯電と逆極性に帯電する、本来の帯電以
外の電荷付与手段に関する開示がある。
On the other hand, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-21946 discloses a technique for improving the discharge of toner without using a cleaner by applying a voltage lower than the saturation potential of the photoreceptor to the charging means and using the charging means. JP-A-10-274884
Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-325578 discloses that it is better to normalize the toner in the toner recycling process. There is a disclosure regarding a charge applying means other than the original charging.

【0008】非単結晶シリコン感光体は比類なき電位安
定性を持ち、特に高速複写機、高速プリンター領域で用
いられている。特に導電性基体上にシリコン原子を母体
とする非単結晶材料で構成された光導電層に炭素原子を
母体とする非単結晶材料で構成された表面層を積層した
感光体は、非単結晶炭素膜の特徴である潤滑性、高硬
度、耐酸化性から融着防止、長寿命、環境安定性といっ
た優れた性能を有している。
[0008] Non-single-crystal silicon photoreceptors have unmatched potential stability and are used especially in high-speed copying machines and high-speed printers. In particular, a photoconductor in which a photoconductive layer composed of a non-single-crystal material mainly composed of silicon atoms is laminated on a conductive substrate and a surface layer composed of a non-single-crystal material mainly composed of carbon atoms is non-single-crystal It has excellent properties such as lubrication, high hardness, and oxidation resistance, which are the characteristics of carbon films, such as anti-fusing, long life, and environmental stability.

【0009】小型機、普及機の領域においてもその優れ
た電位安定性を望む声は大きかったが、本体が棄却され
るまでのプリント枚数は多くて百万枚ほどであり、非単
結晶シリコン感光体の数百万枚といった耐久寿命とのミ
スマッチでなかなか広く普及していない。
There has been a great demand for excellent electric potential stability even in the field of small-sized machines and popularized machines, but the number of prints before the main body is rejected is at most one million, and non-single-crystal silicon Due to the mismatch with the durable life of millions of bodies, it is not widely used.

【0010】また、前述クリーナーレスシステムにおい
ては、非単結晶シリコン感光体の中には、トナーや帯電
部材との帯電系列、等のミスマッチから、(5)の工程
において反転トナーをカブリ取りバイアスによっても回
収しにくい極性分布、具体的には帯電極性と逆の方向の
平均極性に変換してしまう現象があり、非単結晶シリコ
ン感光体のメリットを十分に付加したクリーナーレスシ
ステムを達成し得ない課題があった。
In the cleanerless system described above, in the non-single-crystal silicon photoreceptor, due to the mismatch of the toner and the charging system with the charging member, the reverse toner is removed by the fog removing bias in the step (5). There is a phenomenon that the polarity distribution is difficult to recover, specifically, the average polarity in the direction opposite to the charging polarity is converted, and it is not possible to achieve a cleaner-less system that fully adds the advantages of the non-single-crystal silicon photoconductor There were challenges.

【0011】特に、炭素原子を母体とする非単結晶材料
で構成された表面層では、樹脂など有機物からなる表面
層に比べ、反転トナーが正規化されにくい傾向にあり、
これによって画像カブリ、現像剤劣化による濃度薄など
の画像トラブルを生じる事があった。
In particular, in a surface layer composed of a non-single-crystal material having a carbon atom as a base, the reversal toner tends to be less normalized than a surface layer composed of an organic substance such as a resin.
This may cause image trouble such as image fogging and low density due to deterioration of the developer.

【0012】特に重要なのは、トナーと感光体の帯電極
性が同じ事、すなわち画像部を露光し、電位減衰させた
部分を現像するIAE(Image Area Exposure、「イメ
ージ露光」の意)方式による画像形成方式であることで
ある。帯電器内に混入したトナーは、上記のごとく帯電
される事によって、帯電部材と反発して感光体上に吐き
出され、その状態がトナーとして正規の状態であるか
ら、現像バイアスによって回収される、というプロセス
が成立する。逆に非画像部を露光し、電位減衰させた部
分以外を現像するBAE(「バックスキャン露光」の
意)方式であると、トナーと感光体の帯電極性が異なる
為、帯電工程で充分に帯電されないで吐き出されなかっ
たり、充分帯電して吐き出されたとしても現像工程で回
収されない、という不具合が生じることがある。
What is particularly important is that the toner and the photoreceptor have the same charge polarity, that is, image formation by the IAE (Image Area Exposure, meaning "image exposure") method in which the image area is exposed and the potential attenuated part is developed. It is a method. By being charged as described above, the toner mixed in the charger is repelled from the charging member and is discharged onto the photoreceptor, and since the state is a normal state as the toner, the toner is recovered by the developing bias. Is established. Conversely, in the BAE (“back scan exposure”) system in which the non-image area is exposed and the area other than the area where the potential is attenuated is developed, the charging polarity of the toner and that of the photoconductor are different, so that the charging process is sufficient. In some cases, the toner may not be discharged without being discharged, or may not be collected in the developing process even if the discharge is sufficiently charged.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の技術
課題の解決を目指したものであり、非単結晶シリコン感
光体を用いた場合においても、広く小型機、普及機にも
普及可能とならしめる、リサイクル効果をもつクリーナ
ーレストナーリサイクルプロセスを良好に機能させる電
子写真方法及び電子写真装置を提供する事を目的とす
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned technical problems, and can be widely used in small-sized machines and popular machines even when a non-single-crystal silicon photoconductor is used. It is an object of the present invention to provide an electrophotographic method and an electrophotographic apparatus that make a cleaner-less toner recycling process having a recycling effect function well.

【0014】すなわち、電子写真装置の生涯寿命に渡っ
て排出される廃棄物が大幅に削減され、さまざまな環境
においても画像流れや画像ムラが発生せず、きわめて鮮
明な画像が長期間安定して得られる電子写真装置及び電
子写真方法を提供することを目的とする。
That is, wastes discharged over the lifetime of the electrophotographic apparatus are greatly reduced, no image deletion or image unevenness occurs in various environments, and extremely clear images can be stably obtained for a long period of time. It is an object to provide an electrophotographic apparatus and an electrophotographic method obtained.

【0015】さらに、帯電部材の寿命が長く、最小のメ
ンテナンスコストで長期間、安定して高品質な画像が得
られる電子写真装置及び電子写真方法を提供することを
目的とする。
Still another object of the present invention is to provide an electrophotographic apparatus and an electrophotographic method capable of stably obtaining high-quality images for a long period of time with a long service life of a charging member and a minimum maintenance cost.

【0016】また、a−Si感光体が均一に帯電され、
ムラがなく、均一で高コントラストで解像度が高く、か
ぶりの少ない鮮明な画像が得られる電子写真装置及び電
子写真方法を提供することを目的とする。
Further, the a-Si photosensitive member is uniformly charged,
An object of the present invention is to provide an electrophotographic apparatus and an electrophotographic method capable of obtaining a clear image with no unevenness, uniform, high contrast, high resolution, and little fog.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する為
に、本発明者らは(5)の反転トナーを正規化する工程
について鋭意研究を行ったところ、炭素原子を母体とし
少なくともシリコン原子を含有する非単結晶材料で特定
のシリコン原子含有率(シリコン原子と炭素の総量に対
するシリコン原子の比率)を有する表面層を付加した非
単結晶シリコン感光体を用いる事でこの工程がきわめて
円滑且つ安定的に行われる事を見出した。
Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the present inventors have conducted intensive studies on the step (5) for normalizing the reversal toner. This process is extremely smooth and stable by using a non-single-crystal silicon photoreceptor to which a surface layer having a specific silicon atom content (ratio of silicon atoms to the total amount of silicon atoms and carbon) is added. It was found that it was done in a typical way.

【0018】具体的には、該像担持体は、導電性基体上
にシリコン原子を母体とする非単結晶材料で構成された
光導電層及び炭素原子を母体とし少なくともシリコン原
子を含有する非単結晶材料で構成された表面層を積層し
てなり、該表面層のシリコン原子含有率(シリコン原子
と炭素の総量に対するシリコン原子の比率)が0.2原
子%以上20原子%以下であり、該トナーは、少なくと
も結着樹脂と磁性体とを含有するトナー粒子と無機微粉
体とを有し、平均円形度が0.950以上である磁性ト
ナーであって、該磁性トナーの79.6kA/m(10
00エルステッド)下における飽和磁化が10Am2
kg(emu/g)以上50Am2/kg以下であり、
該帯電手段は、粒径が0.1μm〜10μmである導電
性粒子を主成分とする帯電粒子と、導電性と弾性を有し
た表面を備え、該帯電粒子を担持する帯電粒子担持体に
より構成され、該帯電粒子は該像担持体に接触し、該像
担持体表面を負極性に帯電し、露光により電位を減衰さ
せるIAE方式で静電潜像を形成し、電位が減衰した部
分をトナーにより現像し、転写から帯電までの間にクリ
ーニング工程が無い事を特徴とする電子写真方法及び装
置で極めて良好なトナーリサイクルプロセスが達成され
た。
More specifically, the image carrier comprises a photoconductive layer composed of a non-single-crystal material having silicon atoms as a base on a conductive substrate and a non-monolayer containing carbon atoms as a base and containing at least silicon atoms. A surface layer made of a crystalline material is laminated, and the silicon atom content (ratio of silicon atoms to the total amount of silicon atoms and carbon) of the surface layer is 0.2 atomic% or more and 20 atomic% or less; The toner is a magnetic toner having toner particles containing at least a binder resin and a magnetic substance and inorganic fine powder, and having an average circularity of 0.950 or more, and 79.6 kA / m of the magnetic toner. (10
00 Oersted) and the saturation magnetization is 10 Am 2 /
kg (emu / g) or more and 50 Am 2 / kg or less,
The charging means is composed of charged particles mainly composed of conductive particles having a particle size of 0.1 μm to 10 μm, and a charged particle carrier having a surface having conductivity and elasticity and supporting the charged particles. The charged particles are brought into contact with the image carrier, the surface of the image carrier is charged to a negative polarity, an electrostatic latent image is formed by an IAE method in which the potential is attenuated by exposure, and the portion in which the potential is attenuated is a toner. An extremely good toner recycling process was achieved by an electrophotographic method and apparatus characterized in that there was no cleaning step between transfer and electrification.

【0019】本発明者らは、上記像担持体(以下、「a
−Si感光体」ともいう)用いた電子写真装置におい
て、高画質化を追求すると共に、電子写真装置の生涯寿
命の間に排出される廃棄物を大幅に削減する検討を鋭意
行ってきた。その結果、転写残トナーを再利用するため
にクリーニング工程を取り除き、現像工程で転写残トナ
ーを回収することが、転写残トナーの排出を抑えること
が可能となり廃棄物の削減に大変有効であるとの結論に
至った。
The present inventors have proposed the above-mentioned image carrier (hereinafter referred to as “a
In addition to pursuing higher image quality in an electrophotographic apparatus using the same (also referred to as “Si photoreceptor”), studies have been made earnestly to significantly reduce waste discharged during the lifetime of the electrophotographic apparatus. As a result, removing the cleaning step to reuse the transfer residual toner and collecting the transfer residual toner in the developing step can suppress the discharge of the transfer residual toner, which is very effective in reducing waste. Came to the conclusion.

【0020】しかしながら、帯電工程でコロナ帯電器を
用いた場合は、転写残トナーを現像工程で回収するため
に、転写残トナーが帯電器を通過する際に、a−Si感
光体上の転写残トナーの影響によりコロナ放電むらが誘
発して帯電むらが発生したり、最悪の場合は異常放電が
発生してa−Si感光体を破損する場合があることがわ
かった。
However, when the corona charger is used in the charging step, the transfer residual toner passes through the charger so that the transfer residual toner on the a-Si photoreceptor is collected in order to collect the transfer residual toner in the developing step. It was found that the corona discharge unevenness was induced by the influence of the toner to cause charging unevenness, and in the worst case, abnormal discharge occurred to damage the a-Si photosensitive member.

【0021】そこでa−Si感光体をコロナ帯電器によ
って帯電した場合に問題となりやすい画像流れや帯電ム
ラをなくすために注目されている接触帯電方式の帯電器
を使用して検討したところ、異常放電の発生は防止でき
るようになったものの、転写残トナーが帯電器を通過す
る際に、転写残トナーが接触帯電器を汚染することによ
り帯電部材の性能が劣化し、帯電部材の寿命が短くなっ
たり、帯電能力が低下して画像コントラストや均一性が
悪化したり、更には接触帯電器に付着した転写残トナー
が性能劣化して画像品質が低下、例えばカブリが増加す
る場合があった。
In consideration of the problem of image deletion and uneven charging, which is likely to be a problem when the a-Si photoreceptor is charged by a corona charger, a contact charging type charging unit, which has attracted attention, was examined. Can be prevented, however, when the transfer residual toner passes through the charger, the transfer residual toner contaminates the contact charger, thereby deteriorating the performance of the charging member and shortening the life of the charging member. In some cases, the image contrast and uniformity are deteriorated due to a decrease in charging ability, and further, the transfer residual toner adhered to the contact charger is deteriorated in performance, resulting in a decrease in image quality, for example, an increase in fog.

【0022】そこで本発明者らは、異常放電を抑止でき
る接触帯電方式を用いて、a−Si感光体及びトナーの
最適化を鋭意検討した結果、a−Si感光体の表面を構
成する材料として、少なくとも水素を含有し、炭素原子
を母体とし少なくともシリコン原子を含有する非単結晶
材料であり、該表面層のシリコン原子含有率(シリコン
原子と炭素の総量に対するシリコン原子の比率)が0.
2原子%以上20原子%以下であり、トナーとして、少
なくとも結着樹脂を含有するトナー粒子と無機微粉体と
を有し、平均円形度が0.950以上である球形トナー
であるトナーを用いることが効果的であることを見いだ
した。転写残トナーによる接触帯電部材の汚染の状況に
ついて検討した結果、たとえ一旦帯電部材が転写残トナ
ーに汚染されても、該帯電部材上の転写残トナーが速や
かにa−Si感光体上に吐き出され、現像工程で回収さ
れることにより、帯電部材の寿命や帯電能力の低下を防
ぐことが可能である知見が得られた。そこで帯電部材か
らa−Si感光体へ転写残トナーが吐き出しやすい構成
を検討した結果、前述した特定の表面層を有する像担持
体と特定の球形トナーを用いることが有用であることが
判明した。
The present inventors have conducted intensive studies on the optimization of the a-Si photosensitive member and the toner using a contact charging method capable of suppressing abnormal discharge. A non-single-crystal material containing at least hydrogen, carbon atoms as a base material and at least silicon atoms, wherein the surface layer has a silicon atom content (ratio of silicon atoms to the total amount of silicon atoms and carbon) of 0.
The toner is a spherical toner having a content of at least 2 atomic% and not more than 20 atomic%, having toner particles containing at least a binder resin and inorganic fine powder, and having an average circularity of 0.950 or more. Was found to be effective. As a result of examining the situation of the contamination of the contact charging member by the transfer residual toner, even if the charging member is once contaminated with the transfer residual toner, the transfer residual toner on the charging member is quickly discharged onto the a-Si photosensitive member. In addition, it has been found that it is possible to prevent a reduction in the life and charging ability of the charging member by being collected in the developing step. Therefore, as a result of examining a configuration in which the transfer residual toner is easily discharged from the charging member to the a-Si photoconductor, it has been found that it is useful to use the above-described image carrier having the specific surface layer and the specific spherical toner.

【0023】このメカニズムについては現在、詳細は不
明であるが、a−Si感光体とトナーが特定の付着力を
有することにより、帯電部材上に存在する転写残トナー
が効率的にa−Si感光体へ吐き出されるものと推定さ
れ、その際に特定の表面層と球形トナーが効果的である
ことから、像担持体の表面層の表面自由エネルギーと球
形トナーの形状に起因する付着力(主に分子間力と推定
される)が大きく作用しているものと推定され、この付
着力は表面層のシリコン原子含有率(シリコン原子と炭
素の総量に対するシリコン原子の比率)と球形トナーの
平均円形度に大きく依存するものと考えられる。
Although the details of this mechanism are unknown at present, since the a-Si photoreceptor and the toner have a specific adhesive force, the transfer residual toner present on the charging member can be efficiently a-Si photosensitive. It is presumed that the toner is exhaled to the body. At that time, since the specific surface layer and the spherical toner are effective, the surface free energy of the surface layer of the image carrier and the adhesive force due to the shape of the spherical toner (mainly, It is presumed that the intermolecular force is acting largely, and this adhesive force is based on the silicon atom content of the surface layer (the ratio of silicon atoms to the total amount of silicon atoms and carbon) and the average circularity of the spherical toner. It is considered that it largely depends on.

【0024】以上述べてきたように、本発明は接触帯電
装置、特定の球形トナー、特定のシリコン原子含有率
(シリコン原子と炭素の総量に対するシリコン原子の比
率)の表面層を有するa−Si感光体という三者を組み
合わせることによって、高画質、長寿命で廃棄物の排出
量が少ない電子写真装置を可能としたものである。
As described above, the present invention relates to an a-Si photosensitive device having a contact charging device, a specific spherical toner, and a surface layer having a specific silicon atom content (ratio of silicon atoms to the total amount of silicon atoms and carbon). By combining the three members, the body, an electrophotographic apparatus with high image quality, long life, and low waste is made possible.

【0025】以下に、本発明の詳細を説明する。本発明
に用いられる像担持体は、導電性基体と、該導電性基体
上に少なくとも水素及びハロゲンのいずれかを含みシリ
コン原子を母体とする非単結晶材料で構成された光導電
層と、少なくとも水素及びハロゲンのいずれかを含み炭
素原子を母体とし少なくともシリコン原子を含有する非
単結晶材料で構成された表面層とを有しており、該表面
層のシリコン原子含有率(シリコン原子と炭素の総量に
対するシリコン原子の比率)が0.2原子%以上20原
子%以下であることを特徴とする。
Hereinafter, the present invention will be described in detail. The image carrier used in the present invention is a conductive substrate, and a photoconductive layer formed of a non-single-crystal material having at least one of hydrogen and halogen and a silicon atom as a base on the conductive substrate, A surface layer composed of a non-single-crystal material containing any one of hydrogen and halogen, carbon atoms as a host, and containing at least silicon atoms, and a silicon atom content of the surface layer (silicon atoms and carbon atoms). (A ratio of silicon atoms to the total amount) is 0.2 atomic% or more and 20 atomic% or less.

【0026】図1及び図2は本発明に用いられる像担持
体の模式的な断面図の一例である。図1に示すa−Si
感光体はアルミニウム等の導電性基体101と、導電性
基体101の表面に順次積層された電荷注入阻止層(下
部阻止層)102と光導電層103及び表面層105を
有する。ここで、電荷注入阻止層102は導電性基体1
01から光導電層103への電荷の注入を阻止するもの
であり、必要に応じて設けられる。また、光導電層10
3は少なくともシリコン原子を含む非単結晶材料で構成
され、光導電性を示すものである。更に光導電層103
と表面層105の間に表面から光導電層103への電荷
の注入を阻止する能力をもつ層として、かつまたは表面
を保護する能力をもつ層としてバッファ層104を設け
ても良い。
FIG. 1 and FIG. 2 are examples of a schematic sectional view of an image carrier used in the present invention. A-Si shown in FIG.
The photoreceptor has a conductive substrate 101 made of aluminum or the like, a charge injection blocking layer (lower blocking layer) 102, a photoconductive layer 103, and a surface layer 105 sequentially laminated on the surface of the conductive substrate 101. Here, the charge injection blocking layer 102 is
This block prevents the injection of electric charges from the photoconductive layer 103 into the photoconductive layer 103, and is provided as necessary. In addition, the photoconductive layer 10
Reference numeral 3 denotes a non-single-crystal material containing at least silicon atoms and exhibits photoconductivity. Further, the photoconductive layer 103
The buffer layer 104 may be provided between the surface layer 105 and the surface layer 105 as a layer capable of preventing charge injection from the surface into the photoconductive layer 103 and / or a layer capable of protecting the surface.

【0027】図2に示したように光導電層103は、少
なくともシリコン原子と炭素原子を含む非単結晶材料で
構成された電荷輸送層107と、少なくともシリコン原
子を含む非単結晶材料で構成された電荷発生層106が
順次積層された構成の機能分離型としても良い。まず、
母体となる非単結晶シリコン感光体部分の作製概要を述
べる。
As shown in FIG. 2, the photoconductive layer 103 is composed of a charge transport layer 107 made of a non-single-crystal material containing at least silicon atoms and carbon atoms, and a non-single-crystal material containing at least silicon atoms. The charge generation layer 106 may be of a function-separated type in which the charge generation layers 106 are sequentially stacked. First,
The production outline of the non-single-crystal silicon photoreceptor portion serving as a base will be described.

【0028】(導電性基体)導電性基体の基材として
は、導電性でも電気絶縁性であってもよい。導電性基体
としては、例えば、Al、Cr、Mo、Au、In、N
b、Te、V、Ti、Pt、Pd、Feの如き金属、お
よびこれらの合金、例えばステンレスが挙げられる。ま
た、ポリエステル、ポリエチレン、ポリカーボネート、
セルロースアセテート、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニ
ル、ポリスチレン、ポリアミドの如き合成樹脂のフィル
ムまたはシート、ガラス、セラミック等の電気絶縁性支
持体の少なくとも感光層を形成する側の表面を導電処理
したものも導電性基体として用いることができる。
(Conductive Substrate) The substrate of the conductive substrate may be either conductive or electrically insulating. Examples of the conductive substrate include Al, Cr, Mo, Au, In, and N.
Metals such as b, Te, V, Ti, Pt, Pd, Fe, and alloys thereof, for example, stainless steel. Also, polyester, polyethylene, polycarbonate,
Films or sheets of synthetic resin such as cellulose acetate, polypropylene, polyvinyl chloride, polystyrene, polyamide, etc., electrically insulating supports such as glass, ceramics, etc. Can be used as

【0029】(光導電層)光導電層は、例えばグロー放
電法(例えば、低周波CVD法、高周波CVD法または
マイクロ波CVD法等の交流放電CVD法、または直流
放電CVD法)、スパッタリング法、真空蒸着法、イオ
ンプレーティング法、光CVD法、熱CVD法の如き数
々の薄膜堆積法によって形成することができる。これら
の薄膜堆積法は、製造条件、設備資本投資下の負荷程
度、製造規模、作製される電子写真装置用像担持体に所
望される特性等の要因によって適宜選択されて採用され
るが、所望の特性を有する電子写真装置用像担持体を製
造するに当たっての条件の制御が比較的容易であること
からしてグロー放電法、特にRF帯、μW帯またはVH
F帯の電源周波数を用いた高周波グロー放電法が好適で
ある。
(Photoconductive layer) The photoconductive layer is formed by, for example, a glow discharge method (for example, an AC discharge CVD method such as a low frequency CVD method, a high frequency CVD method or a microwave CVD method, or a DC discharge CVD method), a sputtering method, It can be formed by various thin film deposition methods such as a vacuum deposition method, an ion plating method, a photo CVD method, and a thermal CVD method. These thin film deposition methods are appropriately selected and adopted depending on factors such as manufacturing conditions, the degree of load under capital investment, the manufacturing scale, and the characteristics desired for the image carrier for an electrophotographic device to be manufactured. The glow discharge method, particularly the RF band, the μW band, or the VH, is used because it is relatively easy to control the conditions for producing an image carrier for an electrophotographic apparatus having the following characteristics.
The high-frequency glow discharge method using the power frequency in the F band is preferable.

【0030】グロー放電法によって光導電層103を形
成するには、基本的には周知のごとくシリコン原子(S
i)を供給し得るSi供給用の原料ガスと、水素原子
(H)を供給し得るH供給用の原料ガス、及びハロゲン
原子(X)を供給し得るX供給用の原料ガスの少なくと
もいずれかを、内部が減圧にし得る反応容器内に所望の
ガス状態で導入して、該反応容器内にグロー放電を生起
させ、導入した原料ガスを分解し、あらかじめ所定の位
置に設置されてある所定の導電性基体101上にa−S
i:H、Xからなる層を形成すればよい。
In order to form the photoconductive layer 103 by the glow discharge method, basically, as is well known, silicon atoms (S
At least one of a source gas for supplying Si that can supply i), a source gas for supplying H that can supply hydrogen atoms (H), and a source gas for supplying X that can supply halogen atoms (X) Is introduced in a desired gas state into a reaction vessel in which the pressure can be reduced, a glow discharge is generated in the reaction vessel, the introduced raw material gas is decomposed, and a predetermined gas is installed in a predetermined position in advance. A-S on the conductive substrate 101
i: A layer composed of H and X may be formed.

【0031】また、シリコン原子の未結合手を補償し、
層品質の向上、特に光導電性および電荷保持特性を向上
させるためには、光導電層103中に水素原子及びハロ
ゲン原子の少なくともいずれかが含有されることが必要
であるが、水素原子またはハロゲン原子の含有量、また
は水素原子とハロゲン原子の和の量は、シリコン原子と
水素原子及びハロゲン原子の和に対して10〜30原子
%、より好ましくは15〜25原子%とされるのが、上
記の目的(シリコン原子の未結合手の補償等)を達成す
る上で望ましい。
Further, the dangling bonds of silicon atoms are compensated,
In order to improve the layer quality, in particular, the photoconductivity and the charge retention characteristics, it is necessary that the photoconductive layer 103 contains at least one of a hydrogen atom and a halogen atom. The content of atoms or the sum of hydrogen atoms and halogen atoms is 10 to 30 atom%, more preferably 15 to 25 atom%, based on the sum of silicon atoms, hydrogen atoms and halogen atoms. It is desirable to achieve the above object (compensation of dangling bonds of silicon atoms, etc.).

【0032】本発明において好適に使用し得るハロゲン
化合物としては、具体的には弗素ガス(F2)、Br
F、ClF、ClF3、BrF3、BrF5、IF3、IF
7の如きハロゲン間化合物を挙げることができる。ハロ
ゲン原子を含む珪素化合物、いわゆるハロゲン原子で置
換されたシラン誘導体としては、具体的には、たとえば
SiF4、Si26の如き弗化珪素が好ましいものとし
て挙げることができる。
As the halogen compound which can be suitably used in the present invention, specifically, fluorine gas (F 2 ), Br
F, ClF, ClF 3 , BrF 3 , BrF 5 , IF 3 , IF
And interhalogen compounds such as 7 . As a silicon compound containing a halogen atom, that is, a silane derivative substituted by a so-called halogen atom, specifically, for example, silicon fluoride such as SiF 4 or Si 2 F 6 can be preferably mentioned.

【0033】本発明においては、光導電層103には必
要に応じて伝導性を制御する原子を含有させることが好
ましい。伝導性を制御する原子は、光導電層103中に
万偏なく均一に分布した状態で含有されても良いし、ま
たは層厚方向には不均一な分布状態で含有している部分
があってもよい。
In the present invention, it is preferable that the photoconductive layer 103 contains atoms for controlling conductivity as necessary. The atoms for controlling the conductivity may be contained in the photoconductive layer 103 in a state of being uniformly distributed in the photoconductive layer 103, or there may be a part containing the atoms in the layer thickness direction in a non-uniform distribution state. Is also good.

【0034】前記伝導性を制御する原子としては、半導
体分野における、いわゆる不純物を挙げることができ、
p型伝導特性を与える周期律表13族に属する原子(以
後「13族原子」と略記する)またはn型伝導特性を与
える周期律表15族に属する原子(以後「第15族原
子」と略記する)を用いることができる。
Examples of the atoms for controlling the conductivity include so-called impurities in the semiconductor field.
An atom belonging to Group 13 of the periodic table that gives p-type conduction properties (hereinafter abbreviated as “Group 13 atom”) or an atom belonging to Group 15 of the periodic table that gives n-type conduction properties (hereinafter abbreviated as “Group 15 atom”). Do) can be used.

【0035】第13族原子としては、具体的には、硼素
(B)、アルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)、イ
ンジウム(In)、タリウム(Tl)があり、特にB、
Al、Gaが好適である。第15族原子としては、具体
的には燐(P)、砒素(As)、アンチモン(Sb)、
ビスマス(Bi)があり、特にP、Asが好適である。
Specific examples of Group 13 atoms include boron (B), aluminum (Al), gallium (Ga), indium (In), and thallium (Tl).
Al and Ga are preferred. Specific examples of Group 15 atoms include phosphorus (P), arsenic (As), antimony (Sb),
There is bismuth (Bi), and P and As are particularly preferable.

【0036】光導電層103に含有される伝導性を制御
する原子の含有量としては、帯電特性や電子写真装置等
についての所期の性能等によって適切に決定することが
望ましいが、好ましくは1×10-2〜1×104原子p
pm、より好ましくは5×10-2〜5×103原子pp
m、最適には1×10-1〜1×103原子ppmとされ
るのが望ましい。
It is desirable that the content of the atoms controlling the conductivity contained in the photoconductive layer 103 be appropriately determined in accordance with the charging characteristics, the expected performance of the electrophotographic apparatus, and the like. × 10 -2 to 1 × 10 4 atoms p
pm, more preferably 5 × 10 -2 to 5 × 10 3 atoms pp
m, most preferably 1 × 10 -1 to 1 × 10 3 atomic ppm.

【0037】伝導性を制御する原子、たとえば、第13
族原子または第15族原子を構造的に導入するには、層
形成の際に、第13族原子導入用の原料物質または第1
5族原子導入用の原料物質をガス状態で、光導電層10
3を形成するための他のガスとともに反応容器中に導入
してやればよい。第13族原子導入用の原料物質または
第15族原子導入用の原料物質となり得るものとして
は、常温常圧でガス状のまたは、少なくとも層形成条件
下で容易にガス化し得るものが採用されるのが望まし
い。
Atoms that control conductivity, for example, thirteenth
In order to structurally introduce a group 13 atom or a group 15 atom, a source material for introducing a group 13 atom or
The raw material for introducing the group V atom is in a gaseous state, and the photoconductive layer 10
What is necessary is just to introduce into a reaction container with other gas for forming 3. As a raw material for introducing a Group 13 atom or a raw material for introducing a Group 15 atom, a material which is gaseous at ordinary temperature and normal pressure or which can be easily gasified at least under layer forming conditions is employed. It is desirable.

【0038】また、これらの伝導性を制御する原子導入
用の原料物質を必要に応じてH2やHe等により希釈し
て使用してもよい。
Further, these raw materials for introducing atoms for controlling conductivity may be diluted with H 2 , He or the like as necessary.

【0039】さらに本発明においては、光導電層103
に炭素原子、酸素原子、及び窒素原子を単独でまたは複
数種含有させることも有効である。炭素原子、酸素原
子、及び窒素原子の含有量は、シリコン原子、炭素原
子、酸素原子及び窒素原子の和に対して、好ましくは1
×10-5〜10原子%、より好ましくは1×10-4〜8
原子%、最適には1×10-3〜5原子%が望ましい。炭
素原子、酸素原子、及び窒素原子は、光導電層中に万遍
なく均一に含有されても良いし、光導電層の層厚方向に
含有量が変化するような不均一な分布をもたせた部分が
あっても良い。
Further, in the present invention, the photoconductive layer 103
It is also effective to make a carbon atom, an oxygen atom, and a nitrogen atom alone or in combination. The content of carbon, oxygen and nitrogen atoms is preferably 1 to the sum of silicon, carbon, oxygen and nitrogen atoms.
× 10 -5 to 10 atomic%, more preferably 1 × 10 -4 to 8
Atomic%, optimally 1 × 10 −3 to 5 atomic% is desirable. Carbon atoms, oxygen atoms, and nitrogen atoms may be evenly and uniformly contained in the photoconductive layer, or have a non-uniform distribution such that the content changes in the thickness direction of the photoconductive layer. There may be parts.

【0040】本発明において、光導電層103の層厚
は、所望の電子写真特性が得られること及び経済的効果
等の点から適宜所望にしたがって決定され、好ましくは
15〜60μm、より好ましくは20〜50μm、最適
には20〜40μmとされるのが望ましい。15μm未
満であると帯電部材への通過電流量が増大し劣化が早ま
りやすい。60μmを超えるとa−Si感光体の異常成
長部位が大きくなり、具体的には水平方向で50〜15
0μm、高さ方向で5〜20μmとなり表面を摺擦する
帯電部材へのダメージが無視しえなくなる場合がある。
In the present invention, the thickness of the photoconductive layer 103 is determined as desired from the viewpoint of obtaining desired electrophotographic characteristics and economic effects, and is preferably 15 to 60 μm, more preferably 20 to 60 μm. It is desirable that the thickness be 50 μm, most preferably 20 to 40 μm. If the thickness is less than 15 μm, the amount of current passing through the charging member increases, and the deterioration tends to be accelerated. When the thickness exceeds 60 μm, the abnormally grown portion of the a-Si photoreceptor becomes large.
0 μm, and 5 to 20 μm in the height direction, the damage to the charging member rubbing the surface may not be ignored.

【0041】なお、光導電層103の層厚は、原料ガス
の導入量等の成膜条件によって調整することができる
が、膜厚計(例えばHELMUTFISHERGMBH
社製FisherScopemms)を用いることによ
り測定することができ、光導電層103の層厚を確認す
ることができる。
The thickness of the photoconductive layer 103 can be adjusted according to the film forming conditions such as the amount of the source gas to be introduced, but it can be adjusted with a film thickness meter (for example, HELMUTFISTERGMBH).
It can be measured by using FisherScopes (manufactured by Co., Ltd.), and the thickness of the photoconductive layer 103 can be confirmed.

【0042】さらに、光導電層を堆積する際の導電性基
体101の温度は、層設計にしたがって適宜最適範囲が
選択されるが、通常の場合、好ましくは200〜350
℃、より好ましくは230〜330℃、最適には250
〜310℃とするのが望ましい。
Further, the temperature of the conductive substrate 101 at the time of depositing the photoconductive layer is appropriately selected in an optimum range according to the layer design.
° C, more preferably 230-330 ° C, optimally 250
It is desirable that the temperature be set to 310 ° C.

【0043】(表面層)本発明に用いられる像担持体
は、少なくとも水素及びハロゲンのいずれかを含み炭素
原子を母体とし少なくともシリコン原子を含有する非単
結晶材料(「a−SiC:H(X)」とも示す)で構成
された表面層を有する。この表面層に含まれるシリコン
原子の含有量は、表面層中の炭素原子とシリコン原子の
和に対するシリコン原子の比率Si/(Si+C)で
0.2原子%以上20原子%以下であることを特徴とす
る。
(Surface Layer) The image bearing member used in the present invention is a non-single-crystal material (“a-SiC: H (X ) "). The content of silicon atoms contained in the surface layer is 0.2 to 20 atomic% in terms of the ratio of silicon atoms to the sum of carbon atoms and silicon atoms in the surface layer, Si / (Si + C). And

【0044】表面層中のシリコン原子の含有量が0.2
原子%よりも少ないと、帯電手段から吐き出されたトナ
ーの正規化が不十分になり、カブリを生じやすくなる。
シリコン原子の含有量が20原子%超えると、帯電手段
からのトナーの吐き出しが悪くなり、帯電特性が悪化し
て、カブリが発生したり、表面磨耗の増加等を生じやす
くなる。
When the content of silicon atoms in the surface layer is 0.2
If the content is less than atomic%, normalization of the toner discharged from the charging unit becomes insufficient, and fog is likely to occur.
When the content of silicon atoms exceeds 20 atomic%, the discharge of the toner from the charging unit is deteriorated, the charging characteristics are deteriorated, and fog is generated and surface wear is easily increased.

【0045】a−SiC:H(X)及びa−C:H
(X)(「水素及びハロゲンの少なくともいずれかを含
み炭素原子を母体とする非単結晶材料」の意)は、高硬
度で耐久性に優れている。ここで言うa−C:H(X)
とは、黒鉛(グラファイト)とダイヤモンドとの中間的
な性質を持つアモルファス状の炭素を主に表している
が、微結晶や多結晶を部分的に含んでいても良い。本発
明に用いられるa−SiC:H(X)を含む表面層10
5は多少の不純物が含有されても、同様の効果を得るこ
とができる。例えば、該表面層にN、O、P、B等の不
純物が含有されたとしても、含有量が全元素に対して1
0原子%以下程度であれば本発明の効果は充分に得られ
る。
A-SiC: H (X) and aC: H
(X) (meaning “non-single-crystal material containing at least one of hydrogen and halogen and having a carbon atom as a base”) has high hardness and excellent durability. AC here: H (X)
The term "mainly" means amorphous carbon having an intermediate property between graphite (diamond) and diamond, but may partially include microcrystals or polycrystals. Surface layer 10 containing a-SiC: H (X) used in the present invention
5 can obtain the same effect even if some impurities are contained. For example, even if the surface layer contains impurities such as N, O, P, and B, the content is 1 to all elements.
The effect of the present invention can be sufficiently obtained if the content is about 0 atomic% or less.

【0046】本発明に用いられる表面層中には、好まし
くは水素原子が含有される。水素原子を含有させること
で効果的に膜中の構造欠陥が補償され、局在準位密度が
低減するため、膜の透明性が改善され、表面層中では好
ましくない不要の光吸収が抑えられることによって光感
度が改善する。また、膜中の水素原子の存在が固体潤滑
性に重要な役割を果たしているといわれている。
The surface layer used in the present invention preferably contains a hydrogen atom. Inclusion of hydrogen atoms effectively compensates for structural defects in the film and reduces the local level density, thereby improving the transparency of the film and suppressing unwanted unwanted light absorption in the surface layer. This improves light sensitivity. It is said that the presence of hydrogen atoms in the film plays an important role in solid lubricity.

【0047】本発明で用いられる表面層の膜中に含まれ
る水素原子の含有量は、H/(Si+C+H)で41原
子%〜60原子%、更に好適には45原子%〜50原子
%が適している。水素量が41原子%より少ない場合に
は光学的バンドギャップが狭くなり、感度の面で適さな
くなる。また、60原子%を超える場合には硬度が低下
し、削れが発生し易くなる。光学的バンドギャップは一
般には1.2eV〜2.2eV程度の値であれば好適に
用いることができ、感度の点からは1.6eV以上とす
ることが更に望ましい。
The content of hydrogen atoms contained in the film of the surface layer used in the present invention is preferably 41 to 60 atomic%, more preferably 45 to 50 atomic% in terms of H / (Si + C + H). ing. When the amount of hydrogen is less than 41 atomic%, the optical band gap becomes narrow, which is not suitable in terms of sensitivity. On the other hand, when the content exceeds 60 atomic%, the hardness is reduced, and shaving is likely to occur. Generally, the optical band gap can be suitably used as long as it is about 1.2 eV to 2.2 eV, and more preferably 1.6 eV or more from the viewpoint of sensitivity.

【0048】この表面層は自由表面を有し、主に長期間
の使用における摩耗や傷の防止といった効果と共に、帯
電部材の長寿命化や帯電能力の安定化といった本発明の
目的を達成するために設けられる。
This surface layer has a free surface and is intended to achieve the objects of the present invention such as the effect of preventing abrasion and scratches during long-term use, and the prolongation of the life of the charging member and the stabilization of the charging ability. Is provided.

【0049】表面層の層厚は、反射分光式干渉計(大塚
電子(株)製MCPD2000)により干渉度合いを測
定し、この値と既知の屈折率から膜厚を算出する。後述
する表面層の膜厚は成膜条件等によって調整することが
できる。膜厚は5〜2000nmが好ましく、より好ま
しくは10〜100nmである。5nmより薄くなると
長期的な使用における効果を得るのが難しくなる。20
00nmを超えると光感度の低下や残電等のデメリット
を考慮する必要がでてくるので、2000nm以下であ
ることが好ましい。
The thickness of the surface layer is determined by measuring the degree of interference with a reflection spectroscopic interferometer (MCPD2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.), and calculating the film thickness from this value and a known refractive index. The thickness of the surface layer described later can be adjusted by film formation conditions and the like. The thickness is preferably 5 to 2000 nm, more preferably 10 to 100 nm. When the thickness is less than 5 nm, it is difficult to obtain the effect in long-term use. 20
If the thickness exceeds 00 nm, it is necessary to consider demerits such as a decrease in photosensitivity and residual charge, so that the thickness is preferably 2000 nm or less.

【0050】また、基板温度は室温から400℃までに
調整されるが、あまり基板温度が高過ぎるとバンドギャ
ップが低下して透明度が低下するため低めの温度設定が
好ましい。
The substrate temperature is adjusted from room temperature to 400 ° C., but if the substrate temperature is too high, the band gap decreases and the transparency decreases, so a lower temperature setting is preferable.

【0051】また表面層の屈折率は、1.6〜2.8程
度であれば好適に用いられ、好ましくは1.6〜2.
2、特には1.6〜2.0が好ましい。ここで、屈折率
は、長波長光多重干渉により測定する。具体的にはガラ
ス基板(Coaning社製7059)上に表面層を成
膜したサンプルを可視分光器(日立社製330など)
で、2500nm付近から短波長側に分光透過率を測定
し(極値が4〜5個判る波長範囲)、得られた極値の波
長・透過率を用いて屈折率を計算する。また、表面層1
05の比誘電率は、屈折率を二乗することにより求めら
れる。
The refractive index of the surface layer is suitably used if it is about 1.6 to 2.8, and preferably 1.6 to 2.8.
2, particularly preferably 1.6 to 2.0. Here, the refractive index is measured by long-wavelength light multiplex interference. Specifically, a sample obtained by forming a surface layer on a glass substrate (7059 manufactured by Coating) is applied to a visible spectroscope (eg, 330 manufactured by Hitachi).
Then, the spectral transmittance is measured from around 2500 nm to the short wavelength side (wavelength range in which 4 to 5 extreme values are found), and the refractive index is calculated using the obtained extreme value wavelength / transmittance. In addition, surface layer 1
The relative dielectric constant of 05 is obtained by squaring the refractive index.

【0052】さらに表面層のシリコン原子含有率(シリ
コン原子と炭素の総量に対するシリコン原子の比率)
は、ESCA(米国SSI社製「SSX−100」な
ど)を用いて、シリコン原子と炭素の相対値を測定し、
その比率を計算することによって得た。
Further, the content of silicon atoms in the surface layer (the ratio of silicon atoms to the total amount of silicon atoms and carbon)
Measures the relative values of silicon atoms and carbon using ESCA (such as "SSX-100" manufactured by SSI, USA)
Obtained by calculating the ratio.

【0053】該表面層105は、例えばグロー放電法、
スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング
法、光CVD法、熱CVD法の如き周知の薄膜堆積法に
よって形成することができる。これらの薄膜堆積法は、
製造条件、設備資本投資下の負荷程度、製造規模、作製
される電子写真装置用像担持体に所望される特性等の要
因によって適宜選択されて採用されるが、像担持体の生
産性から光導電層と同等の堆積法によることが好まし
い。
The surface layer 105 is formed, for example, by a glow discharge method.
It can be formed by a known thin film deposition method such as a sputtering method, a vacuum evaporation method, an ion plating method, a photo CVD method, and a thermal CVD method. These thin film deposition methods
It is appropriately selected and adopted depending on factors such as the manufacturing conditions, the load under capital investment, the manufacturing scale, and the characteristics desired for the image carrier for an electrophotographic device to be manufactured. It is preferable to use a deposition method equivalent to that of the conductive layer.

【0054】表面層の形成については、少なくとも炭化
水素系のガスなどの原料ガスをプラズマで分解し、堆積
成膜させて形成する公知の方法が用いられる。より具体
的には、50〜450MHzの高周波(VHF帯)を用
いたプラズマCVD法や、RF電力を用いるプラズマC
VD法を好ましくは例示することができる。
For forming the surface layer, a known method is used in which at least a raw material gas such as a hydrocarbon-based gas is decomposed by plasma and deposited to form a film. More specifically, a plasma CVD method using a high frequency (VHF band) of 50 to 450 MHz or a plasma CVD method using RF power
The VD method can be preferably exemplified.

【0055】原料ガスを分解するための高周波電力につ
いては、出来るだけ高い方が炭化水素の分解が充分に進
むため好ましく、具体的には原料ガスに対して、単位時
間(min)、標準状態(normal)におけるガス
の単位容積(ml)あたりの電気量(W)が5W・mi
n/ml(normal)以上が好ましいが、あまり高
くなると異常放電が発生してしまい、像担持体の特性を
劣化させるので、異常放電が発生しない程度の電力に抑
える必要がある。
The high frequency power for decomposing the raw material gas is preferably as high as possible because the decomposition of hydrocarbon proceeds sufficiently. Specifically, the unit time (min) and the standard state ( normal), the amount of electricity (W) per unit volume (ml) of gas is 5 W · mi
n / ml (normal) or more is preferable, but if the temperature is too high, abnormal discharge occurs and the characteristics of the image carrier deteriorate. Therefore, it is necessary to suppress the electric power to such an extent that abnormal discharge does not occur.

【0056】放電空間の圧力については通常のRF(代
表的には13.56MHz)電力を用いる場合には1
3.3Pa〜1333Pa(0.1Torr〜10To
rr)、VHF帯(代表的には50〜450MHz)を
用いる場合には13.3mP 〜13.3Pa(0.1m
Torr〜100mTorr)程度に保たれる。
The pressure in the discharge space is 1 when using normal RF (typically 13.56 MHz) power.
3.3 Pa to 1333 Pa (0.1 Torr to 10 To)
rr), 13.3 mP to 13.3 Pa (0.1 m) when using the VHF band (typically 50 to 450 MHz).
(Torr to 100 mTorr).

【0057】さらに本発明においては、表面層105に
は必要に応じて伝導性を制御する原子を含有させること
が好ましい。伝導性を制御する原子は、表面層105中
に万偏なく均一に分布した状態で含有されても良いし、
または層厚方向には不均一な分布状態で含有している部
分があってもよい。
Further, in the present invention, it is preferable that the surface layer 105 contains atoms for controlling conductivity as necessary. The atoms for controlling the conductivity may be contained in the surface layer 105 in a state of being uniformly distributed without unevenness,
Alternatively, there may be a portion contained in a non-uniform distribution state in the layer thickness direction.

【0058】前記の伝導性を制御する原子としては、半
導体分野における、いわゆる不純物を挙げることがで
き、p型伝導特性を与える周期律表第13族に属する原
子、またはn型伝導特性を与える周期律表第15族に属
する原子を用いることができる。本発明において表面層
中に含有される伝導性を制御する原子の含有量として
は、所望にしたがって適宜決定されるが、好ましくは1
0〜1×104原子ppm、より好適には50〜5×1
3原子ppm、最適には1×102〜1×103原子p
pmとされるのが望ましい。
Examples of the atoms for controlling the conductivity include so-called impurities in the field of semiconductors, such as atoms belonging to Group 13 of the periodic table giving p-type conduction characteristics or a period giving n-type conduction characteristics. An atom belonging to Group 15 of the Table can be used. In the present invention, the content of atoms for controlling conductivity contained in the surface layer is appropriately determined as desired, but is preferably 1
0 to 1 × 10 4 atomic ppm, more preferably 50 to 5 × 1
0 3 atomic ppm, optimally 1 × 10 2 to 1 × 10 3 atomic p
pm.

【0059】また表面層105と光導電層103との間
に、炭素原子の含有量が光導電層103に向かって減少
するように変化する領域を設けても良い。これにより表
面層と光導電層の密着性を向上させ、界面での光の反射
による干渉の影響をより少なくすることができる。
Further, between the surface layer 105 and the photoconductive layer 103, a region where the content of carbon atoms changes so as to decrease toward the photoconductive layer 103 may be provided. Thereby, the adhesion between the surface layer and the photoconductive layer can be improved, and the influence of interference due to light reflection at the interface can be further reduced.

【0060】本発明の表面層中には必要に応じてハロゲ
ン原子が含まれていても良い。ハロゲン原子供給用ガス
となり得る物質としては、たとえばF2、BrF、Cl
F、ClF3、BrF3、BrF5、IF3、IF7の如き
ハロゲン間化合物を挙げることができる。更にCF4
CHF3、C26、ClF3、CHClF2、F2、C
3 8、C410の如きフッ素含有ガスが好適に用いられ
る。
In the surface layer of the present invention, if necessary,
Atoms may be included. Halogen atom supply gas
Examples of substances that can beTwo, BrF, Cl
F, ClFThree, BrFThree, BrFFive, IFThree, IF7Like
Interhalogen compounds can be mentioned. Further CFFour,
CHFThree, CTwoF6, ClFThree, CHClFTwo, FTwo, C
ThreeF 8, CFourFTenA fluorine-containing gas such as
You.

【0061】ハロゲン原子を表面層中に含有させる場合
では、成膜時の高周波電力については、出来るだけ高い
方が原料ガスの分解が充分に進むため好ましく、具体的
には原料ガスに対して1ml/min(normal)
当り5W以上が好ましいが、あまり高くなると異常放電
が発生してしまい、電子写真感光体の特性を劣化させる
ので、異常放電が発生しない程度の電力に抑える必要が
ある。
In the case where halogen atoms are contained in the surface layer, it is preferable that the high-frequency power during film formation be as high as possible because decomposition of the source gas proceeds sufficiently. / Min (normal)
However, if the power is too high, abnormal discharge will occur and the characteristics of the electrophotographic photoreceptor will be deteriorated. Therefore, it is necessary to suppress the electric power to such a level that abnormal discharge does not occur.

【0062】ハロゲン原子を表面層中に含有させる場合
では、成膜時の放電空間の圧力については通常のRF
(代表的には13.56MHz)電力を用いる場合に
は、一般に13.3Pa〜1333Pa、中でも特に1
33Pa以下の範囲で作製した場合に良好な膜が得られ
る。VHF帯(代表的には50〜450MHz)を用い
る場合には、一般に13.3mPa〜13.3Pa程度
に保たれるが、可能な限り低い圧力が望ましい。
In the case where halogen atoms are contained in the surface layer, the pressure in the discharge space at the time of film formation is controlled by ordinary RF.
When using power (typically 13.56 MHz), the power is generally 13.3 Pa to 1333 Pa,
A good film can be obtained when the film is manufactured in a range of 33 Pa or less. When a VHF band (typically 50 to 450 MHz) is used, the pressure is generally maintained at about 13.3 mPa to 13.3 Pa, but a pressure as low as possible is desirable.

【0063】本発明において表面層中に含有されるハロ
ゲン原子の含有量としては、所望に従って適宜決定され
るが、好ましくは全原子に対して6〜50原子%、より
好適には30〜50原子%とされるのが好ましい。
In the present invention, the content of halogen atoms contained in the surface layer is appropriately determined as desired, but is preferably 6 to 50 atom%, more preferably 30 to 50 atom%, based on all atoms. % Is preferred.

【0064】(バッファ層)本発明に用いられる像担持
体は、前記表面層と前記光導電層の間にバッファ層10
4が設けられている形態であることも好ましい。
(Buffer Layer) The image carrier used in the present invention comprises a buffer layer 10 between the surface layer and the photoconductive layer.
It is also preferable that the form provided with 4 is provided.

【0065】バッファ層は、少なくとも水素及びハロゲ
ンのいずれかを含み、シリコン原子を母体としたアモル
ファスシリコン(a−Si(H、X))をベースとし、
更に炭素原子、窒素原子および酸素原子から選ばれる少
なくとも一種以上の原子を更に含有する非単結晶材料か
ら構成される。このような非単結晶材料として、少なく
とも水素及びハロゲンのいずれかを含むアモルファス炭
化珪素、アモルファス窒化珪素、アモルファス酸化珪素
が挙げられる。より好ましくはa−Siとa|C:Hの
中間の組成であるアモルファス炭化珪素(a−Si:C
(H、X))を主体とする非単結晶材料で形成されるこ
とが好ましい。
The buffer layer contains at least one of hydrogen and halogen and is based on amorphous silicon (a-Si (H, X)) having silicon atoms as a base,
Further, it is composed of a non-single-crystal material further containing at least one or more atoms selected from carbon atoms, nitrogen atoms and oxygen atoms. Examples of such non-single-crystal materials include amorphous silicon carbide, amorphous silicon nitride, and amorphous silicon oxide containing at least one of hydrogen and halogen. More preferably, amorphous silicon carbide (a-Si: C) having a composition intermediate between a-Si and a | C: H
It is preferably formed of a non-single-crystal material mainly composed of (H, X)).

【0066】この場合、光導電層103から表面層10
5に向かってバッファ層104の組成を連続的に変化さ
せる事も可能であり、このようなバッファ層を設けるこ
とが干渉防止等に効果的である。また、このバッファ層
104に13族元素、15族元素などのドーパントを含
有させることにより伝導型を制御し、表面からの帯電キ
ャリアの注入を阻止する上部阻止能を持たせることも可
能である。
In this case, from the photoconductive layer 103 to the surface layer 10
It is also possible to continuously change the composition of the buffer layer 104 toward 5, and providing such a buffer layer is effective for preventing interference and the like. In addition, it is also possible to control the conductivity type by adding a dopant such as a group 13 element or a group 15 element to the buffer layer 104 so as to have an upper stopping power for preventing injection of charged carriers from the surface.

【0067】本発明におけるバッファ層に用いられる原
料ガスとしては、次のようなものが好適に挙げられる。
As the source gas used for the buffer layer in the present invention, the following can be suitably mentioned.

【0068】炭素供給用ガスとなり得る物質としては、
CH4、C26、C38、C410の如きガス状態の、ま
たはガス化し得る炭化水素が有効に使用されるものとし
て挙げられる。
Examples of the substance that can serve as a carbon supply gas include:
Hydrocarbons in the gaseous state or gasifiable hydrocarbons such as CH 4 , C 2 H 6 , C 3 H 8 , and C 4 H 10 are mentioned to be effectively used.

【0069】窒素または酸素供給用ガスとなり得る物質
としては、NH3、NO、N2O、NO2、O2、CO、C
2、N2の如きガス状態の、またはガス化し得る化合物
が有効に使用されるものとして挙げられる。
Substances that can serve as nitrogen or oxygen supply gas include NH 3 , NO, N 2 O, NO 2 , O 2 , CO, C
Compounds in a gaseous state or gasifiable compounds such as O 2 and N 2 are mentioned as being effectively used.

【0070】バッファ層は、例えばプラズマCVD法、
スパッタリング法、イオンプレーティング法によって作
製可能である。また、本発明におけるバッファ層を作製
する際のプラズマCVD法に用いる放電周波数としては
如何なる周波数も用いることが出来、工業的にはRF周
波数帯と呼ばれる1MHz以上、50MHz未満の高周
波でも、VHF帯と呼ばれる50MHz以上、450M
Hz以下の高周波でも好適に用いることが出来る。
The buffer layer is formed, for example, by a plasma CVD method,
It can be manufactured by a sputtering method or an ion plating method. In addition, any frequency can be used as a discharge frequency used in the plasma CVD method when the buffer layer is manufactured in the present invention, and even at a high frequency of 1 MHz or more and less than 50 MHz, which is industrially called an RF frequency band, the VHF band is used. 50MHz or more, called 450M
A high frequency of not more than Hz can be suitably used.

【0071】また、バッファ層を堆積する際の導電性基
板温度は50〜450℃、より好ましくは、100〜3
00℃に調整されることが好ましい。
The temperature of the conductive substrate when depositing the buffer layer is 50 to 450 ° C., more preferably 100 to 3 ° C.
Preferably, the temperature is adjusted to 00 ° C.

【0072】(その他の層)本発明における感光体は、
上記表面層、バッファ層、光導電層の他に、下部阻止層
が光導電層と導電性基体との間に設けられていても好ま
しい。
(Other Layers) The photoreceptor of the present invention comprises:
In addition to the above surface layer, buffer layer, and photoconductive layer, a lower blocking layer may be provided between the photoconductive layer and the conductive substrate.

【0073】下部阻止層102を設ける場合には、一般
的にa−Si(H、X)をベースとし、13族元素、1
5族元素などのドーパントを含有させることにより伝導
型を制御し、導電性基体からのキャリアの注入阻止能を
持たせることが可能である。この場合、必要に応じて、
炭素原子、窒素原子および酸素原子から選ばれる少なく
とも一種以上の原子を含有させることで応力を調整し、
感光層の密着性向上の機能を持たせることもできる。
When the lower blocking layer 102 is provided, it is generally based on a-Si (H, X),
By including a dopant such as a group V element, the conductivity type can be controlled and the ability to inhibit the injection of carriers from the conductive substrate can be provided. In this case, if necessary,
Adjust the stress by containing at least one or more atoms selected from carbon atoms, nitrogen atoms and oxygen atoms,
It may have a function of improving the adhesion of the photosensitive layer.

【0074】以下、図5の装置を用いた非単結晶シリコ
ン感光体の作製手順の一例を述べる。図5は、高周波電
源を用いたRFプラズマCVD法による像担持体の堆積
装置の一例を模式的に示した図である。
Hereinafter, an example of a procedure for manufacturing a non-single-crystal silicon photoconductor using the apparatus shown in FIG. 5 will be described. FIG. 5 is a diagram schematically showing an example of an image carrier deposition apparatus by an RF plasma CVD method using a high frequency power supply.

【0075】この装置は大別すると、反応容器2110
を有する堆積装置2100、原料ガス供給装置220
0、反応容器2110内を減圧する為の排気装置(図示
せず)から構成されている。堆積装置2100中の反応
容器2110内にはアースに接続された導電性基体21
12、導電性基体加熱用ヒーター2113、原料ガス導
入管2114が設置され、更に高周波マッチングボック
ス2115を介して高周波電源2120が接続されてい
る。
This apparatus is roughly classified into a reaction vessel 2110
Device 2100 having source gas, source gas supply device 220
0, an exhaust device (not shown) for reducing the pressure inside the reaction vessel 2110. The conductive substrate 21 connected to the ground is provided in the reaction vessel 2110 in the deposition apparatus 2100.
12, a heater 2113 for heating the conductive substrate, a source gas introduction pipe 2114, and a high frequency power supply 2120 are connected via a high frequency matching box 2115.

【0076】原料ガス供給装置2200は、SiH4
2、CH4、NO、B26、CF4の如き原料ガスボン
ベ2221〜2226とバルブ2231〜2236、圧
力調整器2261〜2266、流入バルブ2241〜2
246、流出バルブ2251〜2256及びマスフロー
コントローラー2211〜2216から構成され、各原
料ガスを封入したガスのボンベは補助バルブ2260を
介して反応容器2110内の原料ガス導入管2114に
接続されている。導電性基体2112は導電性受け台の
上に設置されることによってアースに接続される。
The raw material gas supply device 2200 includes SiH 4 ,
H 2, CH 4, NO, B 2 H 6, such as raw material gas cylinder CF 4 2,221 to 2,226 and the valve 2231 to 2,236, the pressure regulator 2261-2266, inlet valve 2241-2
246, outflow valves 2251 to 2256, and mass flow controllers 2211 to 2216. A gas cylinder filled with each source gas is connected to a source gas introduction pipe 2114 in a reaction vessel 2110 via an auxiliary valve 2260. The conductive substrate 2112 is connected to ground by being placed on a conductive cradle.

【0077】以下、図5の装置を用いた、像担持体作製
手順の一例について説明する。反応容器2110内に導
電性基体2112を設置し、不図示の排気装置(例えば
真空ポンプ)により反応容器2110内を排気する。続
いて導電性基体加熱用ヒーター2113により導電性基
体2112の温度を20℃〜500℃の所望の温度に制
御する。次いで、像担持体形成用の原料ガスを反応容器
2110内に流入させる。原料ガスの導入は、ガスボン
ベのバルブ2231〜2236、反応容器のリークバル
ブ2117が閉じられている事を確認し、又、流入バル
ブ2241〜2246、流出バルブ2251〜225
6、補助バルブ2260が開かれている事を確認し、メ
インバルブ2118を開いて反応容器2110及びガス
供給配管2116を排気する。
Hereinafter, an example of a procedure for producing an image carrier using the apparatus shown in FIG. 5 will be described. The conductive base 2112 is placed in the reaction vessel 2110, and the inside of the reaction vessel 2110 is evacuated by an exhaust device (not shown) (for example, a vacuum pump). Subsequently, the temperature of the conductive substrate 2112 is controlled to a desired temperature of 20 ° C. to 500 ° C. by the heater 2113 for heating the conductive substrate. Next, a source gas for forming an image carrier is caused to flow into the reaction vessel 2110. For the introduction of the raw material gas, it is confirmed that the valves 2231 to 2236 of the gas cylinder and the leak valve 2117 of the reaction vessel are closed, and the inflow valves 2241 to 2246 and the outflow valves 2251 to 225
6. Confirm that the auxiliary valve 2260 is open, open the main valve 2118, and exhaust the reaction vessel 2110 and the gas supply pipe 2116.

【0078】その後、真空計2119の読みが0.67
mPaになった時点で補助バルブ2260、流出バルブ
2251〜2256を閉じる。その後原料ガスボンベ2
221〜2226より各ガスをバルブ2231〜223
6を開いて導入し、圧力調整器2261〜2266によ
り各ガス圧を2kg/cm2(0.2MPa)に調整す
る。次に流入バルブ2241〜2246を徐々に開けて
各ガスをマスフローコントローラー2211〜2216
内に導入する。
Thereafter, the reading of the vacuum gauge 2119 becomes 0.67.
When the pressure reaches mPa, the auxiliary valve 2260 and the outflow valves 2251 to 2256 are closed. Then the raw material gas cylinder 2
From 221 to 2226, each gas is supplied to a valve 2231 to 223.
6 is opened and introduced, and each gas pressure is adjusted to 2 kg / cm 2 (0.2 MPa) by the pressure adjusters 2261 to 2266. Next, the inflow valves 2241 to 2246 are gradually opened, and each gas is supplied to the mass flow controllers 2211 to 2216.
Introduce within.

【0079】以上の手順によって成膜準備を完了した
後、導電性基体2112上に、まず光導電層の形成を行
う。
After the preparation for film formation is completed by the above procedure, first, a photoconductive layer is formed on the conductive base 2112.

【0080】即ち、導電性基体2112が所望の温度に
なったところで、各流出バルブ2251〜2256のう
ちの必要なものと補助バルブ2260とを徐々に開き、
各原料ガスボンベ2221〜2226から所望の原料ガ
スを原料ガス導入管2114を介して反応容器2110
内に導入する。次に、各マスフローコントローラー22
11〜2216によって、各原料ガスが所望の流量にな
る様に調整する。その際、反応容器2110内が13
3.3Pa以下の所望の圧力になる様に、真空計211
9を見ながらメインバルブ2118の開口を調整する。
That is, when the conductive substrate 2112 reaches a desired temperature, the necessary one of the outflow valves 2251 to 2256 and the auxiliary valve 2260 are gradually opened,
A desired source gas is supplied from each source gas cylinder 2221 to 2226 through a source gas introduction pipe 2114 to a reaction vessel 2110.
Introduce within. Next, each mass flow controller 22
According to 11 to 2216, each source gas is adjusted so as to have a desired flow rate. At this time, the inside of the reaction vessel 2110 is 13
Vacuum gauge 211 so that a desired pressure of 3.3 Pa or less is obtained.
9 while adjusting the opening of the main valve 2118.

【0081】内圧が安定したところで、高周波電源21
20を所望の電力に設定して、例えば周波数1MHz〜
450MHz、例えば13.56MHzの高周波電力を
高周波マッチングボックス2115を通じてカソード電
極2111に供給し高周波グロー放電を生起させる。こ
の放電エネルギーによって反応容器2110内に導入さ
せた各原料ガスが分解され、導電性基体2112上にシ
リコン原子を主成分とする所望の非単結晶材料で構成さ
れる光導電層が堆積する。所望の層厚の形成が行われた
後、高周波電力の供給を止め、各流出バルブ2251〜
2256を閉じて反応容器2110への各原料ガスの流
入を止め、光導電層の形成を終える。光導電層の組成や
層厚は公知のものを使用することができる。
When the internal pressure is stabilized, the high-frequency power supply 21
20 is set to a desired power, for example, a frequency of 1 MHz to
A high frequency power of 450 MHz, for example, 13.56 MHz is supplied to the cathode electrode 2111 through the high frequency matching box 2115 to generate a high frequency glow discharge. Each source gas introduced into the reaction vessel 2110 is decomposed by the discharge energy, and a photoconductive layer composed of a desired non-single-crystal material containing silicon atoms as a main component is deposited on the conductive base 2112. After the desired layer thickness is formed, the supply of the high-frequency power is stopped, and each outflow valve 2251 to
By closing 2256, the flow of each source gas into the reaction vessel 2110 is stopped, and the formation of the photoconductive layer is completed. Known compositions and layer thicknesses of the photoconductive layer can be used.

【0082】上記光導電層に表面層を形成する場合も、
基本的には上記の操作を繰り返せばよい。
When a surface layer is formed on the photoconductive layer,
Basically, the above operation may be repeated.

【0083】図4は、VHF電源を用いたVHFプラズ
マCVD法による感光体の堆積装置の一例を模式的に示
した図である。この装置は図5に示した堆積装置210
0を図4の堆積装置3100に置き換えることで構成さ
れる。
FIG. 4 is a diagram schematically showing an example of an apparatus for depositing a photosensitive member by a VHF plasma CVD method using a VHF power supply. This apparatus is a deposition apparatus 210 shown in FIG.
0 is replaced by the deposition apparatus 3100 of FIG.

【0084】VHFプラズマCVD法によるこの装置で
の堆積膜の形成は、基本的にRFプラズマCVD法の場
合と同様に行うことができる。但し、印加する高周波電
力は50MHz〜450MHz、例えば周波数105M
HzのVHF電源によりおこない、圧力は13.3mP
a〜13.3Pa程度のRFプラズマCVD法よりも低
めに保たれる。
The formation of a deposited film in this apparatus by the VHF plasma CVD method can be performed basically in the same manner as in the case of the RF plasma CVD method. However, the applied high frequency power is 50 MHz to 450 MHz, for example, a frequency of 105 M
Hz VHF power supply, pressure is 13.3 mP
a is kept lower than that of the RF plasma CVD method of about 13.3 Pa.

【0085】先ず反応容器3110内に導電性基体31
12を設置する。そして不図示の排気装置(例えば拡散
ポンプ)により反応容器3110内を排気管3121を
介して排気する。続いて、基体加熱用ヒータ3113に
より導電性基体3112を加熱する。そして不図示のガ
ス導入管よりガスを導入する。本装置においては導電性
基体3112により取り囲まれた放電空間3130にお
いて、導入された原料ガスは、マッチングボックス31
15を通じて放電空間3130にVHF電力を導入する
ことにより生起されたグロー放電によって、励起されて
解離し、導電性基体3112上に所定の堆積膜が形成さ
れる。この時、層形成の均一化を図るため導電性支持体
を回転させる回転用モーター3120によって、所望の
回転速度で回転させる。
First, the conductive substrate 31 is placed in the reaction vessel 3110.
12 is installed. Then, the inside of the reaction vessel 3110 is exhausted through an exhaust pipe 3121 by an exhaust device (not shown) (for example, a diffusion pump). Subsequently, the conductive substrate 3112 is heated by the substrate heating heater 3113. Then, gas is introduced from a gas introduction pipe (not shown). In this apparatus, in the discharge space 3130 surrounded by the conductive base 3112, the introduced source gas is supplied to the matching box 31.
Glow discharge generated by introducing VHF power into the discharge space 3130 through 15 excites and dissociates, and a predetermined deposited film is formed on the conductive substrate 3112. At this time, the conductive support is rotated at a desired rotation speed by a rotation motor 3120 for rotating the conductive support in order to achieve uniform layer formation.

【0086】次に、本発明の電子写真方法、装置につい
て概要を述べる。本発明の電子写真方法は、前述したよ
うに特定のa−Si感光体を接触帯電により帯電し、イ
メージ露光(IAE)により静電潜像を形成し、後述す
る特定のトナーで静電潜像を現像することを特徴とす
る。本発明の電子写真方法は、このような工程を含むも
のであれば良く、定着、前露光等の他の工程を含むもの
であっても良い。
Next, the outline of the electrophotographic method and apparatus of the present invention will be described. According to the electrophotographic method of the present invention, as described above, a specific a-Si photosensitive member is charged by contact charging, an electrostatic latent image is formed by image exposure (IAE), and an electrostatic latent image is formed with a specific toner described later. Is developed. The electrophotographic method of the present invention only needs to include such steps, and may include other steps such as fixing and pre-exposure.

【0087】また、本発明の電子写真装置は、上記の電
子写真方法を実現することのできる装置であれば特に限
定されず、本発明の電子写真装置を構成する各手段等に
ついては、従来より知られている技術を利用して作製す
ることもでき、また実現すべき機能を有しているもので
あれば、従来より知られている種々の手段等を好適に用
いることができる。
The electrophotographic apparatus of the present invention is not particularly limited as long as the apparatus can realize the above-described electrophotographic method. It can be manufactured by using a known technique, and various conventionally known means can be suitably used as long as it has a function to be realized.

【0088】図3は、本発明に従う電子写真装置の一例
を示す概略構成図である。本実施形態における電子写真
装置は、回転する像担持体と、該像担持体の表面を帯電
させる帯電手段と、該像担持体の帯電面に静電潜像を形
成する潜像形成手段と、該像担持体表面にトナーを付着
させることにより該静電潜像をトナー像として現像する
現像手段と、該トナー像を記録媒体に転写する転写手段
と、未定着のトナー像を記録媒体に定着させる定着手段
とを備えている。
FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of the electrophotographic apparatus according to the present invention. The electrophotographic apparatus according to the present embodiment includes a rotating image carrier, a charging unit that charges a surface of the image carrier, a latent image forming unit that forms an electrostatic latent image on a charged surface of the image carrier, Developing means for developing the electrostatic latent image as a toner image by attaching toner to the surface of the image carrier, transfer means for transferring the toner image to a recording medium, and fixing an unfixed toner image to the recording medium And a fixing unit for causing the fixing device to perform the fixing.

【0089】[像担持体]図3において、201は、像
担持体としての回転ドラム型の電子写真像担持体(単に
「像担持体」ともいう)である。本実施形態の複写機は
反転現像を用いており、像担持体201は例えば直径3
0mmの負極性像担持体であり、前述した表面層や光導
電層等が形成されている。像担持体201は、矢印の方
向に例えば200mm/secの表面速度をもって回転
駆動される。
[Image Carrier] In FIG. 3, reference numeral 201 denotes a rotating drum type electrophotographic image carrier (also simply referred to as "image carrier") as an image carrier. The copying machine of this embodiment uses reversal development, and the image carrier 201 has a diameter of, for example, 3 mm.
This is a 0 mm negative image carrier, on which the above-mentioned surface layer, photoconductive layer and the like are formed. The image carrier 201 is rotationally driven in the direction of the arrow at a surface speed of, for example, 200 mm / sec.

【0090】[帯電]202は、所定の押圧力をもって
像担持体201に接触させて配設した可撓性の接触帯電
部材としての帯電粒子担持体である導電性弾性ローラー
(以下、「帯電ローラー」ともいう)である。この帯電
ローラー202には予めその外周面に帯電粒子をコート
して担持させてあり、像担持体201との帯電ニップ部
には帯電粒子が存在している。
[Charging] 202 is a conductive elastic roller (hereinafter referred to as a “charging roller”) which is a charged particle carrier as a flexible contact charging member disposed in contact with the image carrier 201 with a predetermined pressing force. ”). The outer peripheral surface of the charging roller 202 is coated with and charged with charged particles in advance, and the charged particles are present in a charging nip portion with the image carrier 201.

【0091】帯電ローラー202は、本実施の形態にお
いては、帯電ニップ部において像担持体201の回転方
向と逆方向(カウンター)に100%の周速で回転駆動
され、像担持体201の面に対して相対的な速度差を持
って接触する。そしてこの帯電ローラー202に帯電バ
イアス電源から所定の帯電バイアスが印加される。これ
により像担持体201の外周面が注入帯電方式で所定の
極性・電位に一様に接触帯電処理される。
In the present embodiment, the charging roller 202 is rotated at a peripheral speed of 100% in a direction (counter) opposite to the rotation direction of the image carrier 201 in the charging nip portion. Contact with a relative speed difference. Then, a predetermined charging bias is applied to the charging roller 202 from a charging bias power supply. As a result, the outer peripheral surface of the image carrier 201 is uniformly contact-charged to a predetermined polarity and potential by the injection charging method.

【0092】本実施形態では、像担持体201の現像部
位電位が150V〜800V、好ましくは250V〜6
00V、より好ましくは300V〜450Vに一様に帯
電処理されるように、帯電バイアス電源から帯電バイア
スを帯電ローラー202に印加する。150V未満であ
るとトナーがトナー担持体からa−Si感光体へ現像さ
せることが出来ず、それが蓄積して画像濃度薄などの弊
害を引き起こすことがある。また800Vを超えると帯
電部材への通過電流量が増加し帯電部材の劣化が早まる
事、印加電圧が大きくなり部分的に微細放電が発生する
ことがあるため好ましくない。この帯電ローラー、帯電
粒子M、注入帯電等については別項で詳述する。
In this embodiment, the potential of the developing portion of the image carrier 201 is 150 V to 800 V, preferably 250 V to 6 V.
A charging bias is applied to the charging roller 202 from a charging bias power source so that the charging process is uniformly performed at 00V, more preferably 300V to 450V. If the voltage is lower than 150 V, the toner cannot be developed from the toner carrier to the a-Si photosensitive member, and the toner may accumulate to cause adverse effects such as low image density. On the other hand, when the voltage exceeds 800 V, the amount of current passing through the charging member is increased, so that the deterioration of the charging member is accelerated, and the applied voltage is increased, which may cause partial discharge. The charging roller, the charged particles M, the injection charging, and the like will be described in detail in another section.

【0093】[露光]203はレーザーダイオード・ポ
リゴンミラー等を含む潜像形成手段であるレーザービー
ムスキャナ(露光装置)等から目的の画像情報の時系列
電気ディジタル画素信号に対応して強度変調されたレー
ザー光であり、該潜像形成手段はレーザー光203を出
力し、該レーザー光でもって上記像担持体201の一様
帯電面を走査露光する露光である。この走査露光により
像担持体201の面に目的の画像情報に対応した静電潜
像が形成される。
[Exposure] 203 is intensity-modulated from a laser beam scanner (exposure device) or the like, which is a latent image forming means including a laser diode and a polygon mirror, in accordance with a time-series electric digital pixel signal of target image information. The latent image forming means outputs a laser beam 203, and scans the uniformly charged surface of the image carrier 201 with the laser beam. By this scanning exposure, an electrostatic latent image corresponding to the target image information is formed on the surface of the image carrier 201.

【0094】静電潜像形成手段に用いる光源は、上記レ
ーザービームスキャナに限定されず、LEDアレイであ
っても良く、この場合は、目的の画像情報に対応する位
置のLEDを点灯し、像担持体201の面に静電潜像を
形成する。より詳しくは、像担持体の帯電面において、
現像時にトナーが付着すべき画像部となる部分に光を照
射し、像担持体の帯電面の所定の部分の電位を減衰させ
て静電潜像を形成(イメージ露光:IAE)する。
The light source used for the electrostatic latent image forming means is not limited to the laser beam scanner, but may be an LED array. In this case, the LED at the position corresponding to the target image information is turned on, and the image is turned on. An electrostatic latent image is formed on the surface of the carrier 201. More specifically, on the charged surface of the image carrier,
During development, light is irradiated to a portion to be an image portion to which toner is to be attached, thereby attenuating the potential of a predetermined portion of the charged surface of the image carrier to form an electrostatic latent image (image exposure: IAE).

【0095】[現像]204は現像手段としての現像器
である。像担持体201に形成された静電潜像は、現像
器204によりトナー像として現像される。なお、ここ
ではトナー205として負帯電トナーが用いられる。こ
の現像手段は、現像兼クリーニングが可能な現像手段で
あれば特に限定されず、例えば、トナーを収容する現像
容器と、この現像容器の開口部に設けられトナーを担持
搬送する導電性の現像スリーブと、現像スリーブ内に固
定されて複数の磁界を形成する磁石等の磁界発生手段
と、現像スリーブ上におけるトナーの層厚を規制するト
ナー規制部材(例えばスリーブに当接する弾性ブレード
や、スリーブに対して離間して設けられ、先端に磁界を
集中させることによりトナーの層厚を規制する金属製の
ブレード)とを有し、現像スリーブに所望の現像バイア
スを印加できる公知の現像手段を用いることが出来る。
[Development] 204 is a developing device as a developing means. The electrostatic latent image formed on the image carrier 201 is developed by the developing device 204 as a toner image. Here, a negatively charged toner is used as the toner 205. The developing unit is not particularly limited as long as it is a developing unit capable of performing both development and cleaning. For example, a developing container for storing toner and a conductive developing sleeve provided at an opening of the developing container for carrying and transporting the toner are provided. A magnetic field generating means such as a magnet fixed in the developing sleeve to form a plurality of magnetic fields; and a toner regulating member (for example, an elastic blade contacting the sleeve, A metal blade that regulates the layer thickness of the toner by concentrating a magnetic field at the tip, and a known developing unit that can apply a desired developing bias to the developing sleeve. I can do it.

【0096】[転写]206は接触転写手段としての転
写手段である中抵抗の転写ローラーであり、像担持体2
01に所定に圧接させて転写ニップ部を形成させてあ
る。この転写ニップ部に不図示の給紙部から所定のタイ
ミングで被記録体(記録媒体)としての転写材207が
給紙され、かつ転写ローラー206に所定の転写バイア
ス電圧、ここでは正帯電、が印加されることで、像担持
体201側のトナー像、ここでは負帯電トナー、が転写
ニップ部に給紙された転写材207の面に、静電気力と
押圧力にて順次に転写されていく。なお、本発明では上
記の転写手段に特に限定されるものではなく、公知の転
写手段を用いることが出来る。
[Transfer] Reference numeral 206 denotes a transfer roller of medium resistance, which is a transfer means serving as a contact transfer means.
The transfer nip portion is formed by pressing the transfer nip portion 01 at a predetermined pressure. A transfer material 207 as a recording medium (recording medium) is supplied to the transfer nip from a paper supply unit (not shown) at a predetermined timing, and a predetermined transfer bias voltage, here positive charge, is applied to the transfer roller 206. By being applied, the toner image on the image carrier 201 side, in this case, the negatively charged toner, is sequentially transferred to the surface of the transfer material 207 fed to the transfer nip portion by electrostatic force and pressing force. . In the present invention, the transfer unit is not particularly limited, and a known transfer unit can be used.

【0097】[定着]209は熱定着方式等の定着装置
である。像担持体201側のトナー像の転写を受けた転
写材207は像担持体201の面から分離されてこの定
着装置209に導入され、トナー像の定着を受けて画像
形成物(プリント、コピー)として装置外へ排出され
る。なお、本実施の形態では図に示されるように加熱加
圧定着手段が例示されているが、本発明では上記の定着
手段に限定されず、公知の種々の定着手段を好適に用い
ることが出来る。
[Fixing] 209 is a fixing device such as a heat fixing system. The transfer material 207 having received the transfer of the toner image on the image carrier 201 is separated from the surface of the image carrier 201 and introduced into the fixing device 209, where the toner image is fixed and an image formed product (print, copy) is received. Is discharged out of the apparatus. In this embodiment, a heating and pressing fixing unit is illustrated as shown in the figure, but the present invention is not limited to the above fixing unit, and various known fixing units can be suitably used. .

【0098】[帯電ローラー]本実施形態における接触
帯電部材としての帯電ローラー202は芯金上にゴムま
たは発泡体の中抵抗層を形成することにより作製され
る。
[Charging Roller] The charging roller 202 as a contact charging member in this embodiment is manufactured by forming a medium-resistance layer of rubber or foam on a cored bar.

【0099】中抵抗層は樹脂(例えばウレタン)、導電
性粒子(例えばカーボンブラック)、硫化剤、発泡剤等
により処方され、芯金の上にローラー状に形成される。
その後必要に応じて表面を研磨する。
The medium resistance layer is formulated with a resin (for example, urethane), conductive particles (for example, carbon black), a sulfide agent, a foaming agent, and the like, and is formed in a roller shape on a cored bar.
Thereafter, the surface is polished if necessary.

【0100】本実施形態の帯電ローラー202のローラ
ー抵抗を測定したところ、該抵抗は100kΩ・cmで
あった。なお、ローラー抵抗は、帯電ローラー202の
芯金に総圧1kgの加重がかかるよう直径30mmのア
ルミ基体に帯電ローラー202を圧着した状態で、芯金
とアルミ基体との間に100Vを印加し計測した。
When the roller resistance of the charging roller 202 of this embodiment was measured, the resistance was 100 kΩ · cm. The roller resistance is measured by applying a voltage of 100 V between the core metal and the aluminum substrate while the charging roller 202 is pressed against an aluminum substrate having a diameter of 30 mm so that a total pressure of 1 kg is applied to the core metal of the charging roller 202. did.

【0101】ここで、接触帯電部材である帯電ローラー
202は電極として機能することが重要である。つま
り、弾性を持たせて被帯電体との十分な接触状態を得る
と同時に、移動する被帯電体を充電するに十分低い抵抗
を有する必要がある。一方では被帯電体にピンホールな
どの低耐圧欠陥部位が存在した場合に電圧のリークを防
止する必要がある。被帯電体として電子写真用像担持体
を用いた場合、体積固有抵抗が1×103〜1×108Ω
・cmであることが好ましく、十分な帯電性と耐リーク
を得るには104〜107Ω・cmの抵抗がより望まし
い。帯電ローラーの抵抗が上記の範囲から外れると、前
述した充電及び耐リークを達成できないことがある。
Here, it is important that the charging roller 202 as a contact charging member functions as an electrode. That is, it is necessary to obtain a sufficient contact state with the member to be charged by providing elasticity, and at the same time, it is necessary to have a resistance low enough to charge the moving member to be charged. On the other hand, it is necessary to prevent voltage leakage when a low withstand voltage defect site such as a pinhole is present in the member to be charged. When an electrophotographic image carrier is used as a member to be charged, the volume resistivity is 1 × 10 3 to 1 × 10 8 Ω.
Cm, and a resistance of 10 4 to 10 7 Ω · cm is more desirable to obtain sufficient chargeability and leakage resistance. If the resistance of the charging roller is out of the above range, the above-described charging and leakage resistance may not be achieved.

【0102】帯電ローラー202の表面は帯電粒子を保
持できるミクロな凹凸等に代表される多孔体表面を有す
るものが望ましい。
The surface of the charging roller 202 desirably has a porous body surface represented by micro unevenness capable of holding charged particles.

【0103】帯電ローラー202の硬度は、アスカーC
硬度で50度以下が好ましいが、硬度が低すぎると形状
が安定しないために被帯電体との接触性が悪くなり、高
すぎると被帯電体との間に帯電ニップ部を確保できない
だけでなく、被帯電体表面へのミクロな接触性が悪くな
るので、アスカーC硬度で25度から50度がより好ま
しい範囲である。なお、帯電ローラー202の硬度は、
高分子計器(株)製のAsker−Cマイクロゴム硬度
計を用いて測定することができる。より詳しくは、本硬
度計により、帯電ローラーの任意の五点におけるゴム硬
度を測定し、その五点の平均値をもって帯電ローラーの
硬度とする。
The hardness of the charging roller 202 is asker C
The hardness is preferably 50 degrees or less, but if the hardness is too low, the shape becomes unstable, so that the contact property with the member to be charged is deteriorated. If the hardness is too high, not only the charging nip portion cannot be secured with the member to be charged, but also Since the microscopic contact with the surface of the member to be charged deteriorates, the Asker C hardness is more preferably 25 to 50 degrees. The hardness of the charging roller 202 is
It can be measured using an Asker-C micro rubber hardness meter manufactured by Kobunshi Keiki Co., Ltd. More specifically, the hardness of the charging roller is measured at any five points of the charging roller using the present hardness meter, and the average value of the five points is defined as the hardness of the charging roller.

【0104】帯電ローラー202の材質としては、弾性
発泡体に限定するものではなく、弾性体の材料として、
EPDM、ウレタン、NBR、シリコーンゴムや、IR
等に抵抗調整のためにカーボンブラックや金属酸化物等
の導電性物質を分散したゴム材や、またこれらを発泡さ
せたものがあげられる。また、特に導電性物質を分散せ
ずに、イオン導電性の材料を用いて抵抗調整をすること
も可能である。
The material of the charging roller 202 is not limited to an elastic foam.
EPDM, urethane, NBR, silicone rubber, IR
For example, a rubber material in which a conductive substance such as carbon black or a metal oxide is dispersed for the purpose of resistance adjustment, or a foamed material thereof may be used. Further, it is also possible to adjust the resistance by using an ionic conductive material without dispersing the conductive substance.

【0105】帯電ローラー202は被帯電体としての像
担持体201に対して弾性に抗して所定の押圧力で圧接
させて配設し、本実施形態では幅数mmの帯電ニップ部
を形成させてある。
The charging roller 202 is disposed by being pressed against the image carrier 201 as a member to be charged with a predetermined pressing force against elasticity. In this embodiment, a charging nip portion having a width of several mm is formed. It is.

【0106】[帯電粒子]本発明に用いられる帯電粒子
は、導電性微粉体を主成分とするものであり、導電性微
粉体の平均粒子径は0.1〜10μmである。帯電粒子
の平均粒子径が小さいと、現像性の低下を防ぐために帯
電粒子のトナー全体に対する含有量を小さく設定しなけ
ればならない。帯電粒子の平均粒子径が0.1μm未満
では、帯電粒子の有効量を確保できず、帯電工程におい
て、接触帯電部材への絶縁性の転写残トナーへの付着・
混入による帯電阻害に打ち勝って像担持体の帯電を良好
に行なわせるのに十分な量の帯電粒子を帯電部材と像担
持体とのニップ部或いはその近傍の帯電領域に介在させ
ることができず、帯電不良を生じ易くなる。この観点か
ら、導電性微粉体の平均粒子径は好ましくは0.15μ
m以上、更に好ましくは0.2μm以上、5μm以下が
良い。
[Charged Particles] The charged particles used in the present invention are mainly composed of conductive fine powder, and the average particle diameter of the conductive fine powder is 0.1 to 10 μm. If the average particle diameter of the charged particles is small, the content of the charged particles with respect to the entire toner must be set small in order to prevent a decrease in the developing property. If the average particle size of the charged particles is less than 0.1 μm, an effective amount of the charged particles cannot be secured, and in the charging step, adhesion to the insulative transfer residual toner on the contact charging member and
A sufficient amount of charged particles to overcome the charging inhibition due to the contamination and make the charging of the image carrier good can not be interposed in the nip portion between the charging member and the image carrier or the charging area in the vicinity thereof, Poor charging easily occurs. In this respect, the average particle size of the conductive fine powder is preferably 0.15 μm.
m or more, more preferably 0.2 μm or more and 5 μm or less.

【0107】また、導電性微粉体の平均粒子径が10μ
mよりも大きいと、帯電部材から脱落した帯電粒子は静
電潜像を書き込む露光光を遮光或いは拡散し、静電潜像
の欠陥を生じ画像品位を低下させることがある。更に、
帯電粒子である導電性微粉体の平均粒子径が大きいと、
単位重量当りの粒子数が減少するため、帯電部材からの
帯電粒子の脱落等による減少、劣化を考慮して帯電粒子
を帯電部材と像担持体とのニップ部或いはその近傍の帯
電領域に逐次に帯電粒子が供給し続け介在させるため
に、また、接触帯電部材が帯電粒子を介して像担持体へ
の緻密な接触性を維持し良好な帯電性を安定して得るた
めには、帯電粒子のトナー全体に対する含有量を大きく
しなければならない。しかし、帯電粒子の含有量を大き
くしすぎると、特に高湿環境下で、現像性を低下させ、
画像濃度低下やトナー飛散を生ずる。
The conductive fine powder has an average particle diameter of 10 μm.
If it is larger than m, the charged particles dropped from the charging member may shield or diffuse the exposure light for writing the electrostatic latent image, causing a defect in the electrostatic latent image and deteriorating the image quality. Furthermore,
When the average particle size of the conductive fine powder that is a charged particle is large,
Since the number of particles per unit weight is reduced, the charged particles are sequentially transferred to the nip portion between the charging member and the image carrier or a charged area in the vicinity thereof in consideration of the reduction and deterioration due to the dropping of the charged particles from the charging member. In order for the charged particles to be continuously supplied and interposed, and in order for the contact charging member to maintain dense contact with the image carrier via the charged particles and stably obtain good chargeability, the charged particles are The content in the whole toner must be increased. However, if the content of the charged particles is too large, particularly under a high humidity environment, the developing property is reduced,
This causes a reduction in image density and toner scattering.

【0108】本実施形態では、帯電粒子として、比抵抗
が107Ω・cm、平均粒径1.5μmの導電性酸化亜
鉛粒子を用いる。
In the present embodiment, conductive zinc oxide particles having a specific resistance of 10 7 Ω · cm and an average particle diameter of 1.5 μm are used as the charged particles.

【0109】本発明における帯電粒子の平均粒径及び粒
度分布の測定には、ベックマンコールター社製、LS−
230型レーザー回折式粒度分布測定装置にリキッドモ
ジュールを取付けて用い、0.04〜2000μmの測
定範囲で測定した。測定法としては、純水10mlに微
量の界面活性剤を添加し、これに導電性微粉体の試料1
0mgを加え、超音波分散機(超音波ホモジナイザー
)にて10分間分散した後、測定時間90秒、測定回
数1回で測定した。
In the measurement of the average particle size and the particle size distribution of the charged particles in the present invention, LS-L manufactured by Beckman Coulter, Inc. was used.
The measurement was performed in a measurement range of 0.04 to 2000 μm using a liquid module attached to a 230-type laser diffraction particle size distribution analyzer. As a measurement method, a trace amount of a surfactant was added to 10 ml of pure water, and a conductive fine powder sample 1 was added thereto.
After adding 0 mg and dispersing for 10 minutes with an ultrasonic dispersing machine (ultrasonic homogenizer), measurement was performed with a measuring time of 90 seconds and one measurement.

【0110】本発明において、帯電粒子の粒度及び粒度
分布の調整方法としては、帯電粒子の一次粒子が製造時
において所望の粒度及び粒度分布が得られるように製造
法、製造条件を設定する方法以外にも、一次粒子の小さ
な粒子を凝集させる方法、一次粒子の大きな粒子を粉砕
する方法或いは分級による方法等が可能であり、更に
は、所望の粒度及び粒度分布の基材粒子の表面の一部も
しくは全部に導電性粒子を付着或いは固定化する方法、
所望の粒度及び粒度分布の粒子に導電性成分が分散され
た形態を有する導電性微粒子を用いる方法等も可能であ
り、これらの方法を組み合わせて帯電粒子の粒度及び粒
度分布を調整することも可能である。
In the present invention, the method of adjusting the particle size and the particle size distribution of the charged particles is not limited to the method of setting the manufacturing method and the manufacturing conditions so that the desired particle size and the particle size distribution of the primary particles of the charged particles can be obtained at the time of manufacturing. In addition, a method of agglomerating small particles of primary particles, a method of pulverizing large particles of primary particles, a method of classification, and the like are further possible, and further, a part of the surface of base particles having a desired particle size and particle size distribution. Or a method of attaching or fixing conductive particles to all,
A method using conductive fine particles having a form in which a conductive component is dispersed in particles having a desired particle size and particle size distribution is also possible, and it is also possible to adjust the particle size and particle size distribution of the charged particles by combining these methods. It is.

【0111】帯電粒子が凝集体として構成されている場
合の粒径は、その凝集体としての平均粒径として定義さ
れる。帯電粒子は、一次粒子の状態で存在するばかりで
なく二次粒子の凝集した状態で存在することも問題はな
い。どのような凝集状態であれ、凝集体として帯電部材
と像担持体とのニップ部或いはその近傍の帯電領域に介
在し、帯電補助或いは促進の機能が実現できればその形
態は問わない。
When the charged particles are constituted as an aggregate, the particle size is defined as the average particle size of the aggregate. There is no problem that the charged particles exist not only in the state of primary particles but also in the state of aggregation of secondary particles. Regardless of the state of aggregation, the form is not particularly limited as long as it can be provided as an aggregate in the nip portion between the charging member and the image bearing member or in a charging region in the vicinity thereof and realize the function of assisting or promoting charging.

【0112】帯電粒子の抵抗は、109Ω・cm以下が
好ましく良い。帯電粒子の抵抗が、109Ω・cmより
も大きいと帯電粒子を帯電部材と像担持体とのニップ部
或いはその近傍の帯電領域に介在させ、接触帯電部材の
帯電粒子を介しての像担持体への緻密な接触性を維持さ
せても、良好な帯電性を得るための帯電促進効果が得ら
れないことがある。帯電粒子の帯電促進効果を十分に引
き出し、良好な帯電性を安定して得るためには、帯電粒
子の抵抗が、接触帯電部材の表面部或いは像担持体との
接触部の抵抗よりも小さいことが好ましい。
The resistance of the charged particles is preferably 10 9 Ω · cm or less. If the resistance of the charged particles is greater than 10 9 Ω · cm, the charged particles are interposed in the nip portion between the charging member and the image bearing member or in the charged area in the vicinity of the nip portion, and the image is carried through the charged particles of the contact charging member. Even if the close contact with the body is maintained, the charge promotion effect for obtaining good chargeability may not be obtained. In order to sufficiently extract the effect of accelerating the charging of the charged particles and stably obtain good charging properties, the resistance of the charged particles must be smaller than the resistance of the surface portion of the contact charging member or the contact portion with the image carrier. Is preferred.

【0113】更に、帯電粒子の抵抗が、106Ω・cm
以下であることが、接触帯電部材への絶縁性の転写残ト
ナーへの付着・混入による帯電阻害に打ち勝って像担持
体の帯電をより良好に行なわせる上で好ましく良い。一
方、抵抗値は低すぎてもよくなく、該帯電粒子が帯電し
非画像部に現像され帯電を促進するために1×10-1Ω
・cm以上であることが好ましい。本実施形態では1×
107Ω・cmのものを用いる。
Further, the resistance of the charged particles is 10 6 Ω · cm
It is preferable that the following conditions are satisfied in order to overcome the charging inhibition due to the adhesion and mixing of the insulating transfer residual toner to the contact charging member and to perform better charging of the image carrier. On the other hand, the resistance value is not good or too low, 1 × 10 to the charging particles promotes the development charged charged non-image portion -1 Omega
・ It is preferably at least cm. In this embodiment, 1 ×
Use a thing of 10 7 Ω · cm.

【0114】抵抗測定は、錠剤法により測定し正規化し
て求めた。即ち、底面積2.26cm2の円筒内に約
0.5gの粉体試料を入れ、上下電極に15kgの加圧
を行うと同時に100Vの電圧を印加して抵抗値を計測
し、その後正規化して比抵抗を算出した。
The resistance was measured by the tablet method and normalized. That is, a powder sample of about 0.5 g is placed in a cylinder having a bottom area of 2.26 cm 2 , 15 kg of pressure is applied to the upper and lower electrodes, and at the same time, a voltage of 100 V is applied to measure the resistance value. To calculate the specific resistance.

【0115】帯電粒子は、潜像露光時に妨げにならない
よう、白色または透明に近いことが望ましい。また、非
磁性であることが好ましい。さらに、帯電粒子が像担持
体上から記録材Pに一部転写されてしまうことを考える
とカラー記録では、透明、白色または淡色の帯電粒子で
あることがよく、より好ましくは、帯電粒子の露光光に
対する透過率が30%以上であることが良い。
The charged particles are desirably white or nearly transparent so as not to hinder the exposure of the latent image. Further, it is preferably non-magnetic. Further, in consideration of the fact that the charged particles are partially transferred from the image carrier to the recording material P, in color recording, transparent, white or light-colored charged particles are preferable, and more preferably, the charged particles are exposed to light. The light transmittance is preferably 30% or more.

【0116】なお本発明においては、粒子の光透過性に
ついては以下の手順で測定した。片面に接着層を有する
透明のフィルムの導電性微粉体を一層分固定した状態で
透過率を測定する。光はシートの鉛直方向から照射しフ
ィルム背面に透過した光を集光し光量を測定した。フィ
ルムのみと粒子を付着したときの光量から正味の光量と
して粒子の透過率を算出した。実際にはX−Rite社
製310T透過型濃度計を用いて測定した。
In the present invention, the light transmittance of the particles was measured according to the following procedure. The transmittance is measured with one layer of the conductive fine powder of a transparent film having an adhesive layer on one side fixed. The light was irradiated from the vertical direction of the sheet, and the light transmitted through the back of the film was collected and the amount of light was measured. The transmittance of the particles was calculated as a net light amount from the light amount when the particles were attached only to the film. Actually, it was measured using a 310T transmission densitometer manufactured by X-Rite.

【0117】帯電粒子の材料としては、本実施形態では
酸化亜鉛を用いるが、これに限るものではない。例えば
カーボンブラック、グラファイトの如き炭素微粉末;
銅、金、銀、アルミニウム、ニッケルの如き金属微粉
末;酸化亜鉛、酸化チタン、酸化スズ、酸化アルミニウ
ム、酸化インジウム、酸化珪素、酸化マグネシウム、酸
化バリウム、酸化モリブデン、酸化鉄、酸化タングステ
ンの如き金属酸化物;硫化モリブデン、硫化カドミウ
ム、チタン酸カリの如き金属化合物、またはこれらの複
合酸化物が必要に応じて粒度及び粒度分布を調整するこ
とで使用できる。これらの中でも酸化亜鉛、酸化スズ、
酸化チタンの金属酸化物微粒子が特に好ましい。
As the material of the charged particles, zinc oxide is used in the present embodiment, but the material is not limited to zinc oxide. Fine carbon powder such as carbon black, graphite;
Fine metal powders such as copper, gold, silver, aluminum and nickel; metals such as zinc oxide, titanium oxide, tin oxide, aluminum oxide, indium oxide, silicon oxide, magnesium oxide, barium oxide, molybdenum oxide, iron oxide, and tungsten oxide Oxides; metal compounds such as molybdenum sulfide, cadmium sulfide, potassium titanate, or composite oxides thereof can be used by adjusting the particle size and particle size distribution as needed. Among them, zinc oxide, tin oxide,
Metal oxide fine particles of titanium oxide are particularly preferred.

【0118】また、導電性金属酸化物の抵抗値を制御す
る等の目的で、アンチモン、アルミニウムの如き元素を
ドープした金属酸化物、導電性材料を表面に有する微粒
子も使用できる。例えば酸化スズ・アンチモンで表面処
理された酸化チタン微粒子、アンチモンでドープされた
酸化第二スズ微粒子、または酸化第二スズ微粒子であ
る。その他、酸化チタンやアルミナなど他の金属酸化物
の導電性無機粒子や有機物との混合物、または、これら
に表面処理を施したものなど各種導電粒子が使用可能で
ある。二つ以上混合して使用しても良い。市販の酸化ス
ズ・アンチモン処理された導電性酸化チタン微粒子とし
ては、例えばEC−300(チタン工業株式会社)、E
T−300、HJ−1、HI−2(以上、石原産業株式
会社)、W−P(三菱マテリアル株式会社)などが挙げ
られる。市販のアンチモンドープの導電性酸化スズとし
ては、例えばT−1(三菱マテリアル株式会社)やSN
−100P(石原産業株式会社)などが、また市販の酸
化第二スズとしては、SH−S(日本化学産業株式会
社)などが挙げられる。
For the purpose of controlling the resistance of the conductive metal oxide, a metal oxide doped with an element such as antimony and aluminum, and fine particles having a conductive material on the surface can also be used. For example, titanium oxide fine particles surface-treated with tin oxide / antimony, stannic oxide fine particles doped with antimony, or stannic oxide fine particles. In addition, various conductive particles such as a mixture of conductive inorganic particles of other metal oxides such as titanium oxide and alumina with an organic substance, or a surface-treated mixture thereof can be used. You may mix and use two or more. Examples of commercially available conductive titanium oxide fine particles treated with tin oxide and antimony include EC-300 (Titanium Industry Co., Ltd.) and E
T-300, HJ-1, HI-2 (the above, Ishihara Sangyo Co., Ltd.), WP (Mitsubishi Materials Corporation) and the like. Examples of commercially available antimony-doped conductive tin oxide include T-1 (Mitsubishi Materials Corporation) and SN
-100P (Ishihara Sangyo Co., Ltd.) and commercially available stannic oxide include SH-S (Nippon Chemical Industry Co., Ltd.).

【0119】また、帯電粒子には、上記のような導電性
微粉体の他に、帯電粒子の導電性、光透過性、色調、比
重、流動性等の諸物性を調整するために、他の微粉体を
添加しても良い。この微粉体は帯電粒子の所望の物性を
調整するものであれば良く、導電性のないものも使用す
ることができる。
In addition to the above-mentioned conductive fine powder, the charged particles may have other properties such as conductivity, light transmittance, color tone, specific gravity, and fluidity. Fine powder may be added. The fine powder only needs to adjust the desired physical properties of the charged particles, and those having no conductivity can be used.

【0120】帯電粒子を前記当接部に介在させる方法に
ついては特に限定されないが、帯電ローラー表面に帯電
粒子を供給する帯電粒子補給手段を帯電手段に備える方
法や、トナーに帯電粒子を外添させて間接的に介在させ
る方法等が挙げられる。
The method of interposing charged particles in the contact portion is not particularly limited, but includes a method in which the charging means includes a charged particle replenishing means for supplying the charged particles to the surface of the charging roller, or a method in which the charged particles are externally added to the toner. And indirectly intervening.

【0121】[注入帯電]像担持体201と接触帯電部
材である帯電ローラー202との帯電ニップ部Aに帯電
粒子を介在させることで、該粒子の滑剤効果により、摩
擦抵抗が大きくてそのままでは像担持体201に対して
速度差を持たせて接触させることが困難であった帯電ロ
ーラーであっても、それを像担持体201面に対して無
理なく容易に効果的に速度差を持たせて接触させた状態
にすることが可能となると共に、該帯電ローラー202
が該帯電粒子を介して像担持体201面に密に接触して
より高い頻度で像担持体201面に接触する構成とな
る。
[Injection Charging] By interposing charged particles in the charging nip portion A between the image bearing member 201 and the charging roller 202 serving as a contact charging member, frictional resistance is large due to the lubricant effect of the particles. Even if it is difficult for the charging roller to contact the carrier 201 with a speed difference, the charging roller is easily and effectively provided with a speed difference with respect to the image carrier 201 surface. The charging roller 202 can be brought into contact with the charging roller 202.
Are in intimate contact with the surface of the image carrier 201 via the charged particles and come into contact with the surface of the image carrier 201 more frequently.

【0122】帯電ローラー202と像担持体201との
間に十分な速度差を設けることにより、帯電ローラー2
02と像担持体201の帯電ニップ部において帯電粒子
が像担持体201に接触する機会を格段に増加させ、高
い接触性を得ることができ、帯電ローラー202と像担
持体201の帯電ニップ部Aに存在する帯電粒子が像担
持体201表面を隙間なく摺擦することで像担持体20
1に電荷を直接注入できるようになり、帯電ローラー2
02による像担持体201の接触帯電は帯電粒子の介在
により注入帯電機構が支配的となる。
By providing a sufficient speed difference between the charging roller 202 and the image carrier 201, the charging roller 2
02 and the charging nip portion of the image carrier 201, the chance of contact of the charged particles with the image carrier 201 is remarkably increased, and a high contact property can be obtained. The charged particles existing on the surface of the image carrier 201
1 can be directly injected into the charging roller 2.
In the contact charging of the image carrier 201 by 02, the injection charging mechanism becomes dominant due to the presence of charged particles.

【0123】速度差を設ける構成としては、帯電ローラ
ー202を回転駆動または固定して像担持体201と速
度差を設けることになる。好ましくは、帯電ローラー2
02を回転駆動し、さらに、その回転方向は像担持体2
01表面の移動方向とは逆方向に回転するように構成す
ることが望ましい。
As a configuration for providing a speed difference, the charging roller 202 is rotationally driven or fixed to provide a speed difference from the image carrier 201. Preferably, the charging roller 2
02 is rotated, and the rotation direction is
Desirably, the rotation direction is opposite to the direction of movement of the 01 surface.

【0124】[トナー]本発明に用いられるトナーは、
少なくとも結着樹脂及び磁性体を含有するトナー粒子
と、無機微粉体とを含み、平均円形度が0.950以上
である磁性トナーであって、該磁性トナーの79.6k
A/m(1000エルステッド)下における飽和磁化が
10Am2/kg(emu/g)以上50Am2/kg以
下であることを特徴とする。本発明に用いられるトナー
は、上記の物性を有するものであれば特に限定されず、
製造方法や構成材料等については従来より知られている
種々の技術を利用することができる。
[Toner] The toner used in the present invention is as follows.
A magnetic toner, comprising toner particles containing at least a binder resin and a magnetic substance, and inorganic fine powder, and having an average circularity of 0.950 or more, wherein 79.6 k of the magnetic toner is used.
Saturation magnetization in A / m (1000 Oe) below is characterized in that at 10Am 2 / kg (emu / g ) or more 50 Am 2 / kg or less. The toner used in the present invention is not particularly limited as long as it has the above physical properties,
Various techniques known in the art can be used for the manufacturing method and the constituent materials.

【0125】本発明に用いられるトナーは、粉砕法によ
って製造することも可能であるが、この粉砕法で得られ
るトナー粒子は一般に不定形のものであり、本発明に用
いられるトナーの必須要件である平均円形度が0.95
0以上という物性という好ましい物性を得るためには機
械的・熱的または何らかの特殊な処理を行うことが必要
となる。そこで、本発明においては、トナー粒子を懸濁
重合法により製造(以下、重合法で製造されたトナーを
「重合トナー」ともいう)することが好ましい。但し、
下記に述べる重合トナー以外の粉砕トナーでも、球形度
が条件に入っていれば同様の効果が得られる。
The toner used in the present invention can be produced by a pulverizing method. However, the toner particles obtained by the pulverizing method are generally irregular in shape and are indispensable for the toner used in the present invention. Some average circularity is 0.95
In order to obtain a desirable physical property of 0 or more, it is necessary to perform a mechanical / thermal or some special treatment. Therefore, in the present invention, it is preferable to produce the toner particles by a suspension polymerization method (hereinafter, the toner produced by the polymerization method is also referred to as “polymerized toner”). However,
Similar effects can be obtained with pulverized toners other than the polymerized toners described below, provided that the sphericity is within the conditions.

【0126】重合トナーは、形状がほぼ均一な球状であ
り、粒径のばらつきも少ないことから流動性に優れ、ま
た、粒子表面への着色剤の露出等が生ぜず、均一な摩擦
帯電性を有するために高画質化に有利となる。また、ワ
ックスを内包化することができ、良好な定着性、耐オフ
セット性が得られる。このため、高画質機において徐々
に採用が広がりつつある。
The polymerized toner has a substantially uniform spherical shape and a small variation in the particle size, so that the polymerized toner has excellent fluidity. In addition, a colorant is not exposed on the surface of the particle, and uniform triboelectrification is obtained. This is advantageous for high image quality. In addition, wax can be included, and good fixing properties and offset resistance can be obtained. For this reason, the adoption is gradually spreading in high image quality machines.

【0127】本発明の電子写真方法に関わる重合トナー
の製造方法では、一般に重合性単量体中に磁性体、離型
剤、荷電制御剤、その他必要に応じて着色剤、架橋剤、
可塑剤の如きその他の添加剤及び、例えば重合反応で生
成する重合体の粘度を低下させるために入れる有機溶
媒、高分子重合体、分散剤等を適宜加えて、ホモジナイ
ザー、ボールミル、コロイドミル、超音波分散機等の分
散機に依って均一に溶解または分散せしめ、得られた単
量体系を、分散安定剤を含有する水系媒体中に懸濁す
る。この時、高速撹拌機もしくは超音波分散機のような
高速分散機を使用して一気に所望のトナー粒子のサイズ
とするほうが、得られるトナー粒子の粒径を整える上で
好ましい。重合開始剤添加の時期としては、重合性単量
体中に他の添加剤を添加する時同時に加えても良いし、
水系媒体中に懸濁する直前に混合しても良い。又、造粒
直後、重合反応を開始する前に重合性単量体または溶媒
に溶解した重合開始剤を加える事も出来る。これらの原
料は、通常トナーの製造で用いられるものが使用でき
る。
In the method for producing a polymerized toner relating to the electrophotographic method of the present invention, generally, a magnetic material, a release agent, a charge control agent, and, if necessary, a colorant, a crosslinking agent,
Other additives such as a plasticizer and, for example, an organic solvent to be added to reduce the viscosity of the polymer formed in the polymerization reaction, a polymer, a dispersant, and the like are added as appropriate, and a homogenizer, a ball mill, a colloid mill, an ultra It is uniformly dissolved or dispersed by a disperser such as a sonic disperser, and the obtained monomer system is suspended in an aqueous medium containing a dispersion stabilizer. At this time, it is preferable to use a high-speed disperser, such as a high-speed stirrer or an ultrasonic disperser, to make the desired toner particle size at a stretch in order to adjust the particle size of the obtained toner particles. As the timing of the addition of the polymerization initiator, it may be added simultaneously with the addition of other additives in the polymerizable monomer,
You may mix immediately before suspending in an aqueous medium. Immediately after granulation and before the initiation of the polymerization reaction, a polymerization initiator dissolved in a polymerizable monomer or a solvent can be added. As these raw materials, those usually used in the production of toner can be used.

【0128】重合トナーの製造条件としては、重合温度
は40℃以上、一般には50〜90℃の温度に設定して
重合を行う。この温度範囲で重合を行うと、内部に封じ
られるべき離型剤やワックスの類が、相分離により析出
して内包化がより完全となる。残存する重合性単量体を
消費するために、重合反応終期ならば、反応温度を90
〜150℃にまで上げることは可能である。
As for the production conditions of the polymerized toner, the polymerization is carried out at a polymerization temperature of 40 ° C. or higher, generally 50 to 90 ° C. When the polymerization is carried out in this temperature range, the release agent and waxes to be sealed inside are precipitated by phase separation, and the encapsulation becomes more complete. In order to consume the remaining polymerizable monomer, the reaction temperature is set to 90 at the end of the polymerization reaction.
It is possible to increase to ~ 150 ° C.

【0129】さらにまた、本発明に用いられるトナー
は、単量体には可溶で得られる重合体が不溶な水系有機
溶剤を用い直接トナーを生成する分散重合方法又は水溶
性極性重合開始剤存在下で直接重合しトナーを生成する
ソープフリー重合方法に代表される乳化重合方法等を用
いトナーを製造する方法、乳化重合で得られたポリマー
粒子等を会合凝集させる方法でも製造が可能である。
Further, the toner used in the present invention may be prepared by a dispersion polymerization method in which an aqueous organic solvent which is soluble in a monomer and in which a polymer obtained is insoluble is used to directly form a toner, or a toner having a water-soluble polar polymerization initiator. Production is also possible by a method of producing a toner using an emulsion polymerization method typified by a soap-free polymerization method in which a polymer is directly polymerized below to form a toner, and a method of associating and aggregating polymer particles and the like obtained by emulsion polymerization.

【0130】重合トナー粒子は重合終了後、公知の方法
によって濾過、洗浄、乾燥を行い、無機微粉体を混合し
表面に付着させることで、トナーを得ることができる。
また、製造工程に分級工程を入れ、粗粉や微粉をカット
することも、本発明の望ましい形態の一つである。
After polymerization is completed, the polymerized toner particles are filtered, washed and dried by a known method, mixed with an inorganic fine powder and adhered to the surface to obtain a toner.
In addition, it is also a desirable embodiment of the present invention to insert a classifying step into the manufacturing process and cut coarse or fine powder.

【0131】この懸濁重合法で得られるトナーは、個々
のトナー粒子形状がほぼ球形に揃っているため、平均円
形度が0.950以上という本発明に必須な物性要件を
満たすトナーが得られやすく、さらにこういったトナー
は帯電量の分布も比較的均一となるため高い転写性を有
している。
Since the toner obtained by this suspension polymerization method has a substantially spherical shape of individual toner particles, a toner having an average circularity of 0.950 or more and satisfying the physical properties essential for the present invention can be obtained. Such toners have high transferability because the charge amount distribution is relatively uniform.

【0132】本発明に用いられるトナーは、少なくとも
結着樹脂及び磁性体を含有するトナー粒子と、無機微粉
体とを有する。上記結着樹脂としては、従来より知られ
ている種々の結着樹脂を用いることができる。このよう
な結着樹脂としては、例えば、ポリスチレン、ポリビニ
ルトルエンの如きスチレン及びその置換体の単重合体;
スチレン−プロピレン共重合体、スチレン−ビニルトル
エン共重合体、スチレン−ビニルナフタリン共重合体、
スチレン−アクリル酸メチル共重合体、スチレン−アク
リル酸エチル共重合体、スチレン−アクリル酸ブチル共
重合体、スチレン−アクリル酸オクチル共重合体、スチ
レン−アクリル酸ジメチルアミノエチル共重合体、スチ
レン−メタアクリル酸メチル共重合体、スチレン−メタ
アクリル酸エチル共重合体、スチレン−メタアクリル酸
ブチル共重合体、スチレン−メタクリル酸ジメチルアミ
ノエチル共重合体、スチレン−ビニルメチルエーテル共
重合体、スチレン−ビニルエチルエーテル共重合体、ス
チレン−ビニルメチルケトン共重合体、スチレン−ブタ
ジエン共重合体、スチレン−イソプレン共重合体、スチ
レン−マレイン酸共重合体、スチレン−マレイン酸エス
テル共重合体の如きスチレン系共重合体;ポリメチルメ
タクリレート、ポリブチルメタクリレート、ポリ酢酸ビ
ニル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリビニルブチ
ラール、シリコン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド
樹脂、エポキシ樹脂、ポリアクリル酸樹脂、ロジン、変
性ロジン、テルペン樹脂、フェノール樹脂、脂肪族また
は脂環族炭化水素樹脂、芳香族系石油樹脂を例示するこ
とができる。これらは一種または二種以上で用いること
ができる。
The toner used in the present invention has toner particles containing at least a binder resin and a magnetic substance, and inorganic fine powder. As the binder resin, various types of binder resins conventionally known can be used. As such a binder resin, for example, a homopolymer of styrene such as polystyrene and polyvinyltoluene and a substituted product thereof;
Styrene-propylene copolymer, styrene-vinyltoluene copolymer, styrene-vinylnaphthalene copolymer,
Styrene-methyl acrylate copolymer, styrene-ethyl acrylate copolymer, styrene-butyl acrylate copolymer, styrene-octyl acrylate copolymer, styrene-dimethylaminoethyl acrylate copolymer, styrene-meta Methyl acrylate copolymer, styrene-ethyl methacrylate copolymer, styrene-butyl methacrylate copolymer, styrene-dimethylaminoethyl methacrylate copolymer, styrene-vinyl methyl ether copolymer, styrene-vinyl Styrene copolymers such as ethyl ether copolymer, styrene-vinyl methyl ketone copolymer, styrene-butadiene copolymer, styrene-isoprene copolymer, styrene-maleic acid copolymer, and styrene-maleic acid ester copolymer Polymer; polymethyl methacrylate, polymethyl methacrylate Butyl methacrylate, polyvinyl acetate, polyethylene, polypropylene, polyvinyl butyral, silicone resin, polyester resin, polyamide resin, epoxy resin, polyacrylic resin, rosin, modified rosin, terpene resin, phenol resin, aliphatic or alicyclic hydrocarbon Resins and aromatic petroleum resins can be exemplified. These can be used alone or in combination of two or more.

【0133】前記懸濁重合法において好適に用いられる
重合性単量体としては、例えば、スチレン、o−メチル
スチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、
p−メトキシスチレン、p−エチルスチレンの如きスチ
レン系単量体、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、
アクリル酸n−ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリ
ル酸n−プロピル、アクリル酸n−オクチル、アクリル
酸ドデシル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル
酸ステアリル、アクリル酸2−クロルエチル、アクリル
酸フェニルの如きアクリル酸エステル類、メタクリル酸
メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸n−プロピ
ル、メタクリル酸n−ブチル、メタクリル酸イソブチ
ル、メタクリル酸n−オクチル、メタクリル酸ドデシ
ル、メタクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸ス
テアリル、メタクリル酸フェニル、メタクリル酸ジメチ
ルアミノエチル、メタクリル酸ジエチルアミノエチルの
如きメタクリル酸エステル類、その他のアクリロニトリ
ル、メタクリロニトリル、アクリルアミドを例示するこ
とができ、これらの一種または二種以上を用いることが
できる。上述の単量体の中でも、スチレンまたはスチレ
ン誘導体を少なくとも含むように上記単量体を使用する
ことが、得られる磁性トナーの現像特性及び耐久性の点
から好ましい。
The polymerizable monomers suitably used in the suspension polymerization method include, for example, styrene, o-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene,
p-methoxystyrene, styrene monomers such as p-ethylstyrene, methyl acrylate, ethyl acrylate,
Acrylic esters such as n-butyl acrylate, isobutyl acrylate, n-propyl acrylate, n-octyl acrylate, dodecyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, stearyl acrylate, 2-chloroethyl acrylate, phenyl acrylate , Methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-propyl methacrylate, n-butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, n-octyl methacrylate, dodecyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, stearyl methacrylate, phenyl methacrylate, Examples thereof include methacrylates such as dimethylaminoethyl methacrylate and diethylaminoethyl methacrylate, and other acrylonitrile, methacrylonitrile, and acrylamide. Or it may be used two or more. Among the above-mentioned monomers, it is preferable to use the above-mentioned monomer so as to include at least styrene or a styrene derivative from the viewpoint of the developing characteristics and durability of the obtained magnetic toner.

【0134】また、前記重合性単量体を重合させるにあ
たり用いることができる重合開始剤としては、例えば、
2,2'−アゾビス−(2,4−ジメチルバレロニトリ
ル)、2,2'−アゾビスイソブチロニトリル、1,1'
−アゾビス(シクロヘキサン−1−カルボニトリル)、
2,2'−アゾビス−4−メトキシ−2,4−ジメチル
バレロニトリル、アゾビスイソブチロニトリルの如きア
ゾ系またはジアゾ系重合開始剤、ベンゾイルパーオキサ
イド、メチルエチルケトンパーオキサイド、ジイソプロ
ピルパーオキシカーボネート、クメンヒドロパーオキサ
イド、2,4−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、ラ
ウロイルパーオキサイド、t−ブチルパーオキシ−2−
エチルヘキサノエートの如き過酸化物系重合開始剤を例
示することができ、これらを一種または二種以上用いる
ことができる。
Examples of the polymerization initiator that can be used in polymerizing the polymerizable monomer include, for example,
2,2′-azobis- (2,4-dimethylvaleronitrile), 2,2′-azobisisobutyronitrile, 1,1 ′
-Azobis (cyclohexane-1-carbonitrile),
Azo or diazo polymerization initiators such as 2,2'-azobis-4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile and azobisisobutyronitrile, benzoyl peroxide, methyl ethyl ketone peroxide, diisopropyl peroxycarbonate, cumene Hydroperoxide, 2,4-dichlorobenzoyl peroxide, lauroyl peroxide, t-butylperoxy-2-
A peroxide-based polymerization initiator such as ethylhexanoate can be exemplified, and one or more of these can be used.

【0135】また、前記重合性単量体を重合させるにあ
たり用いることができる架橋剤としては、例えば、主と
して二個以上の重合可能な二重結合を有する化合物で従
来より知られている種々の架橋剤を使用することがで
き、例えば、ジビニルベンゼン、ジビニルナフタレンの
如き芳香族ジビニル化合物;例えばエチレングリコール
ジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレー
ト、1,3−ブタンジオールジメタクリレートの如き二
重結合を二個有するカルボン酸エステル;ジビニルアニ
リン、ジビニルエーテル、ジビニルスルフィド、ジビニ
ルスルホンの如きジビニル化合物;及び三個以上のビニ
ル基を有する化合物を例示することができ、これらを一
種または二種以上用いることができる。
Examples of the cross-linking agent that can be used in polymerizing the polymerizable monomer include, for example, various cross-linking agents that are conventionally known as compounds having two or more polymerizable double bonds. For example, aromatic divinyl compounds such as divinylbenzene and divinylnaphthalene; having two double bonds such as ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate and 1,3-butanediol dimethacrylate can be used. Examples thereof include carboxylic acid esters; divinyl compounds such as divinylaniline, divinyl ether, divinyl sulfide, and divinyl sulfone; and compounds having three or more vinyl groups, and one or more of these can be used.

【0136】また、前記懸濁重合法で好適に用いられる
分散安定剤としては、公知の界面活性剤、有機・無機分
散剤を用いることができる。中でも無機分散剤が有害な
超微粉を生じ難く、その立体障害性により分散安定性を
得ているので反応温度を変化させても安定性が崩れ難
く、洗浄も容易でトナーに悪影響を与え難いので、好ま
しく使用できる。
As the dispersion stabilizer suitably used in the suspension polymerization method, known surfactants and organic / inorganic dispersants can be used. Above all, inorganic dispersants are unlikely to produce harmful ultrafine powders, and because of their steric hindrance, they have dispersion stability, so even if the reaction temperature is changed, their stability is not easily lost, and they are easy to wash and do not adversely affect the toner. Can be preferably used.

【0137】界面活性剤としては、例えば、ドデシルベ
ンゼン硫酸ナトリウム、テトラデシル硫酸ナトリウム、
ペンタデシル硫酸ナトリウム、オクチル硫酸ナトリウ
ム、オレイン酸ナトリウム、ラウリル酸ナトリウム、ス
テアリン酸ナトリウム、ステアリン酸カリウム等を例示
することができ、これらを一種または二種以上用いるこ
とができる。
Examples of the surfactant include sodium dodecylbenzene sulfate, sodium tetradecyl sulfate,
Examples thereof include sodium pentadecyl sulfate, sodium octyl sulfate, sodium oleate, sodium laurate, sodium stearate, and potassium stearate, and one or more of these can be used.

【0138】有機分散剤としては、例えば、ポリビニル
アルコール、ゼラチン、メチルセルロース、メチルヒド
ロキシプロピルセルロール、エチルセルロース、カルボ
キシメチルセルロースのナトリウム塩、ポリアクリル酸
及びその塩、デンプンを例示することができ、これらを
一種または二種以上用いることができる。
Examples of the organic dispersant include polyvinyl alcohol, gelatin, methyl cellulose, methyl hydroxypropyl cellulose, ethyl cellulose, sodium salts of carboxymethyl cellulose, polyacrylic acid and salts thereof, and starch. Alternatively, two or more kinds can be used.

【0139】無機分散剤としては、例えば、燐酸カルシ
ウム、燐酸マグネシウム、燐酸アルミニウム、燐酸亜鉛
の如き燐酸多価金属塩、炭酸カルシウム、炭酸マグネシ
ウムの如き炭酸塩、メタ硅酸カルシウム、硫酸カルシウ
ム、硫酸バリウムの如き無機塩、水酸化カルシウム、水
酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、シリカ、ベン
トナイト、アルミナ如きの無機酸化物を例示することが
でき、これらを一種または二種以上用いることができ
る。
Examples of the inorganic dispersant include polyvalent metal phosphates such as calcium phosphate, magnesium phosphate, aluminum phosphate and zinc phosphate, carbonates such as calcium carbonate and magnesium carbonate, calcium metasilicate, calcium sulfate and barium sulfate. And inorganic oxides such as calcium hydroxide, magnesium hydroxide, aluminum hydroxide, silica, bentonite, and alumina, and one or more of these can be used.

【0140】また、本発明に用いられるトナーには、離
型性や可塑性を調整するワックス類を用いることができ
る。このようなワックス類としては、例えば、パラフィ
ンワックス、マイクロクリスタリンワックス、ペトロラ
クタムの如き石油系ワックス及びその誘導体、モンタン
ワックス及びその誘導体、フィッシャートロプシュ法に
よる炭化水素ワックス及びその誘導体、ポリエチレンに
代表されるポリオレフィンワックス及びその誘導体、カ
ルナバワックス、キャンデリラワックスの如き天然ワッ
クス及びその誘導体などで、誘導体には酸化物や、ビニ
ル系モノマーとのブロック共重合物、グラフト変性物を
含む。さらには、高級脂肪族アルコール、ステアリン
酸、パルミチン酸の如き脂肪酸、またはその化合物、酸
アミドワックス、エステルワックス、ケトン、硬化ヒマ
シ油及びその誘導体、植物系ワックス、動物性ワックス
を例示することができ、これらを一種または二種以上を
用いることができる。
The toner used in the present invention may include waxes for adjusting the releasability and plasticity. Examples of such waxes include paraffin wax, microcrystalline wax, petroleum wax such as petrolactam and its derivatives, montan wax and its derivatives, hydrocarbon wax and its derivatives by Fischer-Tropsch method, and polyethylene. Natural waxes and derivatives thereof such as polyolefin waxes and derivatives thereof, carnauba wax and candelilla wax, and derivatives include oxides, block copolymers with vinyl monomers, and graft modified products. Furthermore, fatty acids such as higher aliphatic alcohols, stearic acid and palmitic acid, or compounds thereof, acid amide waxes, ester waxes, ketones, hydrogenated castor oil and derivatives thereof, vegetable waxes, and animal waxes can be exemplified. These may be used alone or in combination of two or more.

【0141】また、本発明に用いられるトナーには、ト
ナーの帯電性を制御する荷電制御剤を用いることができ
る。このような荷電制御剤としては、例えば、ネガ系荷
電制御剤としてサリチル酸、アルキルサリチル酸、ジア
ルキルサリチル酸、ナフトエ酸、ダイカルボン酸の如き
芳香族カルボン酸の金属化合物、アゾ染料またはアゾ顔
料の金属塩または金属錯体、スルホン酸またはカルボン
酸基を側鎖に持つ高分子型化合物、ホウ素化合物、尿素
化合物、ケイ素化合物、カリックスアレーンをネガ系荷
電制御剤として例示することができ、これらを一種また
は二種以上用いることができる。また、ポジ系荷電制御
剤としては、例えば、四級アンモニウム塩、該四級アン
モニウム塩を側鎖に有する高分子型化合物、グアニジン
化合物、ニグロシン系化合物、イミダゾール化合物を例
示することができ、これらを一種または二種以上用いる
ことができる。
Further, as the toner used in the present invention, a charge control agent for controlling the chargeability of the toner can be used. Examples of such charge control agents include, as negative charge control agents, salicylic acid, alkyl salicylic acid, dialkyl salicylic acid, naphthoic acid, metal compounds of aromatic carboxylic acids such as dicarboxylic acids, metal salts of azo dyes or azo pigments, or Metal complexes, high molecular compounds having a sulfonic acid or carboxylic acid group in the side chain, boron compounds, urea compounds, silicon compounds, calixarenes can be exemplified as negative charge control agents, and these may be used alone or in combination of two or more. Can be used. Examples of the positive charge control agent include a quaternary ammonium salt, a polymer compound having the quaternary ammonium salt in a side chain, a guanidine compound, a nigrosine compound, and an imidazole compound. One or two or more can be used.

【0142】また、本発明に用いられるトナーには、必
要に応じて着色剤を用いることができる。このような着
色剤としては、例えば、磁性または非磁性無機化合物、
公知の染料及び顔料、より具体的には、例えば、コバル
ト、ニッケルの如き強磁性金属粒子、またはこれらにク
ロム、マンガン、銅、亜鉛、アルミニウム、希土類元素
などを加えた合金、ヘマタイトの如き粒子、チタンブラ
ック、ニグロシン染料/顔料、カーボンブラック、フタ
ロシアニンを例示することができ、これらを一種または
二種以上用いることができる。なお、着色剤は、後述す
る磁性体や無機微粉体と同様に疎水化処理したものを用
いても良い。
In the toner used in the present invention, a coloring agent can be used if necessary. Such colorants include, for example, magnetic or non-magnetic inorganic compounds,
Known dyes and pigments, more specifically, for example, cobalt, ferromagnetic metal particles such as nickel, or chromium, manganese, copper, zinc, aluminum, alloys such as rare earth elements, particles such as hematite, Examples include titanium black, nigrosine dye / pigment, carbon black, and phthalocyanine, and one or more of these can be used. As the coloring agent, a colorant that has been subjected to a hydrophobic treatment in the same manner as a magnetic substance or an inorganic fine powder described later may be used.

【0143】本発明に用いられるトナーに含まれる磁性
体には、公知の磁性体を用いることができる。このよう
な磁性体としては、例えば、四三酸化鉄、γ−酸化鉄の
如き酸化鉄を主成分とするものを例示することができ、
これらを一種または二種以上を用いることができる。磁
性体には、さらにリン、コバルト、ニッケル、銅、マグ
ネシウム、マンガン、アルミニウム、珪素等の他の元素
を含んでも良い。なお、トナーの飽和磁化は、用いられ
る磁性体の種類や磁性体の配合量等によって調整するこ
とができる。
As the magnetic substance contained in the toner used in the present invention, a known magnetic substance can be used. Examples of such a magnetic material include those mainly containing iron oxide such as triiron tetroxide and γ-iron oxide,
One or two or more of these can be used. The magnetic material may further contain other elements such as phosphorus, cobalt, nickel, copper, magnesium, manganese, aluminum, and silicon. The saturation magnetization of the toner can be adjusted by the type of the magnetic material used, the amount of the magnetic material, and the like.

【0144】上記磁性体は、表面が疎水化処理されてい
ることが好ましく、公知の処理剤を用い公知の方法によ
って疎水化処理を行うことができる。このような疎水化
処理に用いられる処理剤としては、水系媒体中で加水分
解しながら磁性体の表面に結合するシランカップリング
剤やチタンカップリング剤の如きカップリング剤、特に
シランカップリング剤が好ましく、このようなシランカ
ップリング剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシ
ラン、ビニルトリエトキシシラン、γ−メタクリルオキ
シプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシ
シラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキ
シシラン、イソブチルトリメトキシシラン、ジメチルジ
メトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、トリメチ
ルメトキシシラン、ヒドロキシプロピリトリメトキシシ
ラン、フェニルトリメトキシシラン、n−ヘキサデシル
トリメトキシシラン、n−オクタデシルトリメトキシシ
ランを例示することができ、これらを一種または二種以
上を用いることができる。
The surface of the magnetic material is preferably subjected to a hydrophobic treatment, and the hydrophobic treatment can be performed by a known method using a known treating agent. Examples of the treating agent used in such a hydrophobizing treatment include coupling agents such as a silane coupling agent and a titanium coupling agent that are bonded to the surface of the magnetic body while being hydrolyzed in an aqueous medium, in particular, a silane coupling agent. Preferably, as such a silane coupling agent, for example, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, isobutyltriethoxysilane Methoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, trimethylmethoxysilane, hydroxypropyltrimethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, n-hexadecyltrimethoxysilane, n-octadecyltrimethoxysilane Can be exemplified down, it is possible to use more of these one or two or.

【0145】本発明に用いられるトナーには、トナーの
流動性等を調整する目的で無機微粉体が含まれる。この
ような無機微粉体としては、例えば、シリカ、アルミ
ナ、チタニアを例示することができ、これらを一種また
は二種以上用いることができる。より詳しくは、例え
ば、ケイ酸微粉体としてはケイ素ハロゲン化物の蒸気相
酸化により生成されたいわゆる乾式法又はヒュームドシ
リカと称される乾式シリカ、及び水ガラス等から製造さ
れるいわゆる湿式シリカの両者が使用可能であるが、表
面及びシリカ微粉体の内部にあるシラノール基が少な
く、またNa2O、SO3 2-等の製造残滓の少ない乾式シ
リカの方が好ましい。また乾式シリカにおいては、製造
工程において例えば、塩化アルミニウム、塩化チタン等
他の金属ハロゲン化合物をケイ素ハロゲン化合物と共に
用いることによって、シリカと他の金属酸化物の複合微
粉体(複酸化物)を得ることも可能であり、前記無機微
粉体はそれらも包含するものである。
The toner used in the present invention contains an inorganic fine powder for the purpose of adjusting the fluidity and the like of the toner. Examples of such an inorganic fine powder include silica, alumina and titania, and one or more of these can be used. More specifically, for example, both the so-called dry method produced by the vapor phase oxidation of silicon halide or fumed silica as the silicic acid fine powder, and the so-called wet silica produced from water glass and the like are both used. there is a usable, less silanol groups on the inner surface and the silica fine powder, also Na 2 O, towards less dry silica of manufacture residues of SO 3 2-like. In the case of fumed silica, for example, a composite fine powder (complex oxide) of silica and another metal oxide is obtained by using another metal halide compound such as aluminum chloride, titanium chloride or the like together with a silicon halide compound in the production process. It is also possible, and the inorganic fine powder also includes them.

【0146】また、上記無機微粉体は、トナー全量に対
して総量で0.1〜3.0質量%配合されることが好ま
しい。無機微粉体の配合量が0.1質量%よりも小さい
と、無機微粉体の外添による効果(トナーの流動性や帯
電性の向上等)が十分に発揮されないことがある。ま
た、無機微粉体の配合量が3.0質量%よりも大きい
と、定着性が悪くなることがある。
It is preferable that the inorganic fine powder is blended in a total amount of 0.1 to 3.0% by mass based on the total amount of the toner. If the amount of the inorganic fine powder is less than 0.1% by mass, the effects of external addition of the inorganic fine powder (such as improvement in the fluidity and chargeability of the toner) may not be sufficiently exhibited. If the amount of the inorganic fine powder is more than 3.0% by mass, the fixability may be deteriorated.

【0147】また、上記無機微粉体は、一次粒径が4〜
100nmであることが好ましい。無機微粉体の平均粒
径が上記範囲よりも小さいと無機微粉体の凝集性が高ま
り、凝集体による像担持体等の損傷を引き起こし、画像
欠陥を生じやすくなる。また、無機微粉体の平均粒径が
上記範囲よりも大きいとトナーの流動性向上効果が十分
に得られず、トナーの帯電不足に起因する画像欠陥を生
じやすくなる。
Further, the inorganic fine powder has a primary particle size of 4 to
Preferably it is 100 nm. When the average particle size of the inorganic fine powder is smaller than the above range, the cohesiveness of the inorganic fine powder is increased, and the image carrier and the like are damaged by the aggregates, so that image defects are likely to occur. If the average particle size of the inorganic fine powder is larger than the above range, the effect of improving the fluidity of the toner cannot be sufficiently obtained, and image defects due to insufficient charging of the toner are likely to occur.

【0148】無機微粉体の平均粒径は、従来より知られ
ている種々の測定方法によって測定することができる。
より具体的には、本発明に用いられる無機微粉体の平均
粒径は、走査型電子顕微鏡によりトナーを拡大撮影し、
走査型電子顕微鏡に付属させたXMA等の元素分析手段
によって無機微粉体に含まれる元素でマッピングされた
トナーの写真を対照しつつ、トナー表面に付着または遊
離して存在している無機微粉体の一次粒子を100個以
上測定することにより測定することができる。
The average particle size of the inorganic fine powder can be measured by various conventionally known measuring methods.
More specifically, the average particle size of the inorganic fine powder used in the present invention, magnified and photographed the toner with a scanning electron microscope,
While comparing the photograph of the toner mapped with the elements contained in the inorganic fine powder by the elemental analysis means such as XMA attached to the scanning electron microscope, the inorganic fine powder adhered or separated on the toner surface is removed. It can be measured by measuring 100 or more primary particles.

【0149】また、上記無機微粉体は、比表面積(BE
T値)が20〜400m2/gであることが好ましい。
BET値は、後述する疎水化処理によってそれほどに影
響を受けないことから疎水化処理の前後いずれで測定し
ても良いが、疎水化処理後に測定することが、より実際
的な無機微粉体の物性を把握する上で好ましい。無機微
粉体のBET値は、BET法に従って、比表面積測定装
置オートソーブ1(湯浅アイオニクス社製)を用い、試
料表面に窒素ガスを吸着させ、BET多点法を用いて算
出することができる。
The inorganic fine powder has a specific surface area (BE)
(T value) is preferably from 20 to 400 m 2 / g.
The BET value may be measured before or after the hydrophobizing treatment since it is not so affected by the hydrophobizing treatment described later, but it is more practical to measure the BET value after the hydrophobizing treatment. It is preferable in grasping. The BET value of the inorganic fine powder can be calculated according to the BET method by using a specific surface area measuring apparatus Autosorb 1 (manufactured by Yuasa Ionics), adsorbing nitrogen gas on the sample surface, and using the BET multipoint method.

【0150】また、上記無機微粉体は、表面が疎水化処
理されていることが好ましい。無機微粉体の疎水化処理
は、無機微粉体の種類等によって用いられる処理剤を適
宜選択すると良く、このような疎水化処理に使用される
処理剤としては、例えば、シランカップリング剤やチタ
ンカップリング剤の如きカップリング剤やシリコーンオ
イルの如き公知の処理剤を例示することができる。また
無機微粉体の疎水化処理は、磁性体の疎水化処理と同様
またはそれに準じて行うことができる。
The surface of the inorganic fine powder is preferably subjected to a hydrophobic treatment. In the hydrophobizing treatment of the inorganic fine powder, a treating agent used according to the type of the inorganic fine powder may be appropriately selected. Examples of the treating agent used in such a hydrophobizing treatment include a silane coupling agent and a titanium cup. Coupling agents such as ring agents and known treatment agents such as silicone oil can be exemplified. The hydrophobic treatment of the inorganic fine powder can be performed in the same manner as or similar to the hydrophobic treatment of the magnetic substance.

【0151】また、上記無機微粉体は、シリコーンオイ
ルで疎水化処理されていることがより好ましい。このよ
うな疎水化処理に使用されるシリコーンオイルとして
は、例えば、ジメチルシリコーンオイル、メチルフェニ
ルシリコーンオイル、α−メチルスチレン変性シリコー
ンオイル、クロルフェニルシリコーンオイル、フッ素変
性シリコーンオイルを例示することができ、これらを一
種または二種以上用いることができる。
It is more preferable that the inorganic fine powder has been subjected to hydrophobic treatment with silicone oil. Examples of the silicone oil used in such a hydrophobizing treatment include, for example, dimethyl silicone oil, methylphenyl silicone oil, α-methylstyrene-modified silicone oil, chlorophenyl silicone oil, and fluorine-modified silicone oil. One or more of these can be used.

【0152】本発明に用いられるトナーは、平均円形度
が0.950以上であり、好ましくは0.970以上で
ある。トナーの平均円形度が0.950よりも大きくな
ると、トナーの形状がより球形に近くなり、トナー粒子
と像担持体との接触面積が小さくなり、鏡像力やファン
デルワールス力等に起因するトナー粒子の像担持体への
付着力が低下し、転写性が向上する。さらに平均円形度
が高い場合では、磁性トナーが現像部において均一で細
い穂を形成し、潜像に対して忠実な現像を行うことが可
能となり、画質の向上が期待できる。一方で平均円形度
が0.950よりも小さくなると、上記の効果が得られ
ないことがあるため好ましくない。
The toner used in the present invention has an average circularity of 0.950 or more, preferably 0.970 or more. When the average circularity of the toner is larger than 0.950, the shape of the toner becomes closer to a sphere, the contact area between the toner particles and the image carrier becomes smaller, and the toner caused by the mirror image force, van der Waals force, etc. Adhesion of the particles to the image carrier is reduced, and transferability is improved. Further, when the average circularity is high, the magnetic toner forms uniform and thin spikes in the developing section, and it is possible to perform development faithful to the latent image, and an improvement in image quality can be expected. On the other hand, when the average circularity is smaller than 0.950, the above-described effects may not be obtained, which is not preferable.

【0153】本発明に用いられるトナーの平均円形度
は、粒子の形状を定量的に表現する簡便な方法として用
いたものであり、本発明では東亜医用電子製フロー式粒
子像分析装置「FPIA−1000」を用いて測定を行
い、3μm以上の円相当径の粒子群について測定された
各粒子の円形度(Ci)を下式(1)によりそれぞれ求
め、さらに下式(2)で示すように測定された全粒子の
円形度の総和を全粒子数(m)で除した値を平均円形度
(C)と定義する。
The average circularity of the toner used in the present invention is used as a simple method for quantitatively expressing the shape of the particles. In the present invention, the flow particle image analyzer “FPIA-” manufactured by Toa Medical Electronics Co., Ltd. 1000 ", and the circularity (Ci) of each particle measured for a group of particles having a circle equivalent diameter of 3 μm or more is obtained by the following equation (1), and further as shown by the following equation (2). The value obtained by dividing the sum of the measured circularities of all the particles by the total number of particles (m) is defined as the average circularity (C).

【0154】[0154]

【外1】式(1) [Formula 1] Equation (1)

【0155】なお、本発明で用いている測定装置である
「FPIA−1000」は、各粒子の円形度を算出後、
平均円形度の算出に当たって、粒子を得られた円形度に
よって、円形度0.40〜1.00を61分割したクラ
スに分け、分割点の中心値と頻度を用いて平均円形度の
算出を行う算出法を用いている。しかしながら、この算
出法で算出される平均円形度の値と、上述した各粒子の
円形度を直接用いる算出式によって算出される平均円形
度の値との誤差は非常に少なく、実質的には無視出来る
程度のものであり、本発明においては、算出時間の短絡
化や算出演算式の簡略化の如きデータの取り扱い上の理
由で、上述した各粒子の円形度を直接用いる算出式の概
念を利用し、一部変更したこのような算出法を用いても
良い。
[0155] The measuring device "FPIA-1000" used in the present invention calculates the circularity of each particle, and then calculates the circularity.
In calculating the average circularity, the particles are classified into classes obtained by dividing the circularity from 0.40 to 1.00 into 61 according to the obtained circularity, and the average circularity is calculated using the center value and frequency of the division points. The calculation method is used. However, the error between the value of the average circularity calculated by this calculation method and the value of the average circularity calculated by the above-described calculation formula that directly uses the circularity of each particle is very small, and is substantially ignored. In the present invention, the concept of the above-described calculation formula that directly uses the circularity of each particle is used for the reason of handling data such as shortening of calculation time and simplification of calculation formula. However, such a calculation method partially modified may be used.

【0156】具体的な測定方法としては、界面活性剤を
約0.1mg溶解している水10mlに現像剤約5mg
を分散させて分散液を調整し、超音波(20kHz、5
0W)を分散液に5分間照射し、分散液濃度を5000
〜2万個/μlとして、前記装置により測定を行い、3
μm以上の円相当径の粒子群の平均円形度を求める。
As a specific measuring method, about 5 mg of a developer is added to 10 ml of water in which about 0.1 mg of a surfactant is dissolved.
Is dispersed to prepare a dispersion, and ultrasonic waves (20 kHz, 5 kHz,
0W) to the dispersion for 5 minutes to bring the dispersion concentration to 5000
220,000 / μl, and the measurement was performed using the above apparatus.
The average circularity of a particle group having a circle equivalent diameter of not less than μm is determined.

【0157】本発明における平均円形度とは、現像剤の
凹凸の度合いの指標であり、現像剤が完全な球形の場合
1.000を示し、現像剤の表面形状が複雑になるほど
平均円形度は小さな値となる。
The average circularity in the present invention is an index of the degree of unevenness of the developer. The average circularity is 1.000 when the developer has a perfect spherical shape. It will be a small value.

【0158】なお、本測定において3μm以上の円相当
径の粒子群についてのみ円形度を測定する理由は、3μ
m未満の円相当径の粒子群にはトナー粒子とは独立して
存在する外部添加剤の粒子群も多数含まれるため、その
影響によりトナー粒子群についての円形度が正確に見積
もれないからである。
The reason why the circularity is measured only for particles having a circle equivalent diameter of 3 μm or more in this measurement is as follows.
This is because the particle group having a circle-equivalent diameter of less than m includes a large number of particles of the external additive that are present independently of the toner particles, and the circularity of the toner particle group cannot be accurately estimated due to the influence. .

【0159】なお、本発明に用いられるトナーは、現像
特性、転写性、帯電性等の観点から重量平均粒径が3〜
10μmであることが好ましい。この範囲よりも小さす
ぎると転写効率が低下し帯電の均一性の維持が困難にな
る。また、重量平均粒径が上記範囲よりも大きすぎると
現像性が低下し高画質の画像を形成できなくなる。
The toner used in the present invention has a weight average particle diameter of 3 to 3 from the viewpoints of development characteristics, transferability, chargeability and the like.
It is preferably 10 μm. If it is smaller than this range, the transfer efficiency is lowered and it becomes difficult to maintain the uniformity of charging. On the other hand, if the weight average particle size is too large, the developability is reduced and a high quality image cannot be formed.

【0160】本発明に用いられるトナーの重量平均粒径
は、粉体の重量平均粒径を測定する種々の方法で測定す
ることができるが、本発明ではコールターマルチサイザ
ー(コールター社製)を好適に用いることができ、これ
に個数分布、体積分布を出力するインターフェイス(日
科機社製)及びPC9801パーソナルコンピュータ
(NEC社製)を接続した測定装置を例示することがで
きる。
The weight average particle size of the toner used in the present invention can be measured by various methods for measuring the weight average particle size of the powder. In the present invention, Coulter Multisizer (manufactured by Coulter Co., Ltd.) is preferred. And a measuring device to which an interface (manufactured by Nikkaki Co., Ltd.) for outputting a number distribution and a volume distribution and a PC9801 personal computer (manufactured by NEC) are connected.

【0161】重量平均粒径の測定方法は、用いる測定装
置等によって異なるが、上記測定装置では、電解水溶液
(例えばコールターサイエンティフィックジャパン社製
ISOTONR−II)に分散剤(例えばアルキルベンゼ
ンスルホン酸等の界面活性剤)を必要に応じて加え、測
定試料(トナー)を添加し、超音波分散器等により分散
処理を行い、100μmアパーチャーを用い前記コール
ターマルチサイザーにより2μm以上のトナー粒子の体
積及び個数を測定し、これらの測定結果からトナー粒子
の体積分布及び個数分布を算出し、この体積分布から体
積基準の重量平均粒径を求める方法を例示することがで
きる。
The method of measuring the weight average particle size varies depending on the measuring device used. In the measuring device described above, a dispersant (for example, alkylbenzenesulfonic acid or the like) is added to an electrolytic aqueous solution (for example, ISOTON-II manufactured by Coulter Scientific Japan). Surfactant) as needed, a sample to be measured (toner) is added, dispersion treatment is performed using an ultrasonic disperser or the like, and the volume and number of toner particles of 2 μm or more are measured using the Coulter Multisizer using a 100 μm aperture. For example, a method of calculating the volume distribution and the number distribution of the toner particles from the measurement results and calculating the volume-based weight average particle diameter from the volume distribution can be exemplified.

【0162】本発明に用いられる磁性トナーの79.6
kA/m(1000エルステッド)下における飽和磁化
は、10〜50Am2/kg(emu/g)である。
79.6 of Magnetic Toner Used in the Present Invention
kA / m (1000 Oe) saturation magnetization under is 10~50Am 2 / kg (emu / g ).

【0163】しかし、トナーの磁場79.6kA/mに
おける飽和磁化が10Am2/kg未満であると、トナ
ー担持体上に磁力を作用させるとトナーの穂立ちが不安
定となり、トナーへの帯電付与が均一に行えないことに
よるカブリ、画像濃度ムラ、転写残トナーの回収不良等
の画像不良を生じる易くなる。磁性トナーの磁場79.
6kA/mにおける飽和磁化が50Am2/kgよりも
大きいと、トナーに磁力を作用させると磁気凝集により
トナーの流動性が著しく低下し、転写性が低下すること
で転写残トナーが増加し、及びトナー粒子と導電性微粉
体がともに挙動する傾向が強まることで帯電粒子担持体
に付着・混入して介在する導電性微粉体が減少するとと
もに、帯電粒子担持体と像担持体との当接部に介在する
導電性微粉体量が転写残トナー量に対して相対的にも減
少し、帯電性の低下に伴うカブリ及び画像汚れを生じ易
くなる。
However, if the saturation magnetization of the toner in the magnetic field of 79.6 kA / m is less than 10 Am 2 / kg, the magnetic force acts on the toner carrier, so that the toner spikes become unstable and the toner is charged. Image defects, such as fogging, uneven image density, and poor recovery of untransferred toner, are likely to occur. Magnetic field of magnetic toner 79.
If the saturation magnetization at 6 kA / m is larger than 50 Am 2 / kg, when a magnetic force is applied to the toner, the fluidity of the toner is remarkably reduced due to magnetic aggregation, and the transferability is reduced, so that the transfer residual toner is increased. As the tendency of the toner particles and the conductive fine powder to behave together increases, the conductive fine powder adhering to and mixed with the charged particle carrier is reduced, and the contact portion between the charged particle carrier and the image carrier is reduced. In this case, the amount of the conductive fine powder interposed in the toner particles is relatively reduced with respect to the amount of the transfer residual toner.

【0164】本発明において磁性トナーの飽和磁化は、
振動型磁力計VSMP−1−10(東英工業社製)を用
いて、25℃の室温にて外部磁場79.6kA/mで測
定することができる。
In the present invention, the saturation magnetization of the magnetic toner is
It can be measured at room temperature of 25 ° C. with an external magnetic field of 79.6 kA / m using a vibrating magnetometer VSMP-1-10 (manufactured by Toei Industry Co., Ltd.).

【0165】また、本発明に用いられる磁性トナーは、
導電性微粉体を外添させることも好ましい。本発明にお
いて、導電性微粉体のトナー全体に対する含有量は、
0.1〜10質量%であることが好ましく良い。導電性
微粉体のトナー全体に対する含有量が0.1質量%より
も少ないと、接触帯電部材への絶縁性の転写残トナーへ
の付着・混入による帯電阻害に打ち勝って像担持体の帯
電を良好に行なわせるのに十分な量の導電性微粉体を、
帯電部材と像担持体とのニップ部或いはその近傍の帯電
領域に介在させることができず、帯電性が低下し帯電不
良を生じることがある。また、含有量が10質量%より
も多い場合では、現像兼クリーニングによって回収され
る導電性微粉体が多くなりすぎることによる現像部での
トナーの帯電能、現像性を低下させ、画像濃度低下やト
ナー飛散を生ずることがある。導電性微粉体のトナー全
体に対する含有量は、0.2〜5質量%であることが更
に好ましく良い。
The magnetic toner used in the present invention is:
It is also preferable to externally add a conductive fine powder. In the present invention, the content of the conductive fine powder with respect to the whole toner is,
The content is preferably 0.1 to 10% by mass. If the content of the conductive fine powder with respect to the entire toner is less than 0.1% by mass, the charging of the image carrier is improved by overcoming the charging inhibition due to the adhesion and mixing of the insulating transfer residual toner to the contact charging member. A sufficient amount of conductive fine powder to make
It cannot be interposed in the nip portion between the charging member and the image bearing member or in a charging region in the vicinity thereof, so that the charging property is reduced and charging failure may occur. On the other hand, if the content is more than 10% by mass, the amount of the conductive fine powder recovered by the developing and cleaning becomes too large, so that the chargeability and developability of the toner in the developing section are reduced, and the image density is reduced. The toner may be scattered. The content of the conductive fine powder with respect to the entire toner is more preferably 0.2 to 5% by mass.

【0166】[0166]

【実施例】以下、実施例により本発明の効果を具体的に
説明する。なお、本発明はこれらの実施例に限定される
ものではない。なお、実施例において測定された物性
は、実施の形態に記載した方法と同様の方法によって測
定した。また、本実施例で「部」とは質量部である。
EXAMPLES The effects of the present invention will be specifically described below with reference to examples. Note that the present invention is not limited to these examples. Note that the physical properties measured in the examples were measured by the same methods as those described in the embodiments. In this example, "parts" refers to parts by mass.

【0167】[実施例1]まず、図5に記載のRFによ
るプラズマCVD装置を用いて下記に示した条件により
直径30mm、肉厚2.5mmのアルミニウム製導電性
基体としての鏡面加工を施したシリンダー上に、下部阻
止層、光導電層及びバッファ層を積層した。さらにその
上にSiを微量含有したa−C:Hからなる表面層を積
層することで、表面層のシリコン原子含有率(シリコン
原子と炭素の総量に対するシリコン原子の比率)の異な
る負帯電用a−Si感光体(A1)〜(A4)及び
(A)〜(E)を作製した。なお、RFの周波数は1
3.56MHzを用いた。
Example 1 First, a mirror-finished aluminum conductive substrate having a diameter of 30 mm and a thickness of 2.5 mm was subjected to the following conditions under the conditions shown below using an RF plasma CVD apparatus shown in FIG. A lower blocking layer, a photoconductive layer, and a buffer layer were stacked on the cylinder. Furthermore, a surface layer made of aC: H containing a small amount of Si is laminated thereon, so that the silicon atom content (ratio of silicon atoms to the total amount of silicon atoms and carbon atoms) of the surface layer is different for negative charging. -Si photoreceptors (A1) to (A4) and (A) to (E) were produced. The RF frequency is 1
3.56 MHz was used.

【0168】 <感光体の製造条件>下部阻止層 SiH4 : 150ml/min(normal:25℃、10Pa) PH3 : 500ppm(SiH基準) NO : 10ml/min(normal) パワー : 200W 内圧 : 67Pa 基体温度 : 240℃ 膜厚 : 1μm光導電層 SiH4 : 200ml/min(normal) パワー : 500W 内圧 : 67Pa 基体温度 : 240℃ 膜厚 : 25μmバッファ層 SiH4 : 50ml/min(normal) CH4 : 500ml/min(normal) パワー : 1500W 内圧 : 67Pa 基体温度 : 240℃ 膜厚 : 0.5μm表面層 SiH4 : (A1)0.15ml/min(normal) (A2)0.2ml/min(normal) (A3)0.5ml/min(normal) (A4)0.7ml/min(normal) (A)1.0ml/min(normal) (B)1.5ml/min(normal) (C)4.0ml/min(normal) (D)6.0ml/min(normal) (E)8.0ml/min(normal) CH4 : 100ml/min(normal) パワー : 1500W 内圧 : 67Pa 基体温度 : 50℃ 膜厚 : 0.3μm 次の手順で重合トナー(1)を作製した。イオン交換水
709gに0.1M−Na3PO4水溶液451gを投入
し60℃に加温した後、1.0M−CaCl2水溶液6
7.7gを徐々に添加してCa3(PO42を含む水系
媒体を得た。
[0168] <production conditions of the photoconductive> lower blocking layer SiH 4: 150ml / min (normal : 25 ℃, 10 5 Pa) PH 3: 500ppm (SiH 4 criteria) NO: 10ml / min (normal ) Power: 200 W internal pressure : 67 Pa Base temperature: 240 ° C. Film thickness: 1 μm Photoconductive layer SiH 4 : 200 ml / min (normal) Power: 500 W Internal pressure: 67 Pa Base temperature: 240 ° C. Film thickness: 25 μm Buffer layer SiH 4 : 50 ml / min (normal) CH 4 : 500 ml / min (normal) Power: 1500 W Internal pressure: 67 Pa Base temperature: 240 ° C. Film thickness: 0.5 μm Surface layer SiH 4 : (A1) 0.15 ml / min (normal) (A2) 0.2 ml / min ( normal) (A3) 0.5m / Min (normal) (A4) 0.7 ml / min (normal) (A) 1.0 ml / min (normal) (B) 1.5 ml / min (normal) (C) 4.0 ml / min (normal) ( D) 6.0 ml / min (normal) (E) 8.0 ml / min (normal) CH 4 : 100 ml / min (normal) Power: 1500 W Internal pressure: 67 Pa Base temperature: 50 ° C. Film thickness: 0.3 μm Thus, a polymerization toner (1) was prepared. 451 g of a 0.1 M Na 3 PO 4 aqueous solution was added to 709 g of ion-exchanged water and heated to 60 ° C., and then a 1.0 M CaCl 2 aqueous solution 6 was added.
7.7 g was gradually added to obtain an aqueous medium containing Ca 3 (PO 4 ) 2 .

【0169】 スチレン 80部 n−ブチルアクリレート 20部 不飽和ポリエステル樹脂 2部 飽和ポリエステル樹脂 3部 負荷電性制御剤(モノアゾ染料系のFe化合物) 1部 表面処理疎水化磁性体 90部 上記処方をアトライター(三井三池化工機(株))を用
いて均一に分散混合した。この単量体組成物を60℃に
加温し、そこにベヘニン酸ベヘニルを主体とするエステ
ルワックス(DSCにおける吸熱ピークの極大値72
℃)6部を添加混合溶解し、これに重合開始剤2,2'
−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)[t1/
2=140分、60℃条件下]5gを溶解した。
Styrene 80 parts n-butyl acrylate 20 parts Unsaturated polyester resin 2 parts Saturated polyester resin 3 parts Negative charge control agent (monoazo dye-based Fe compound) 1 part Surface-treated hydrophobized magnetic material 90 parts The mixture was uniformly dispersed and mixed using a lighter (Mitsui Miike Kakoki Co., Ltd.). This monomer composition was heated to 60 ° C., and an ester wax mainly containing behenyl behenate (maximum endothermic peak in DSC of 72) was added thereto.
° C) 6 parts were added, mixed and dissolved, and the polymerization initiator 2, 2 'was added thereto.
-Azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) [t1 /
2 = 140 minutes, at 60 ° C.].

【0170】前記水系媒体中に上記重合性単量体系を投
入し、60℃、N2雰囲気下においてTK式ホモミキサ
ー(特殊機化工業(株))にて10,000rpmで1
5分間撹拌し、造粒した。その後パドル撹拌翼で撹拌し
つつ、60℃で6時間反応させた。その後液温を80℃
とし更に4時間撹拌を続けた。反応終了後、80℃で更
に2時間蒸留を行い、その後、懸濁液を冷却し、塩酸を
加えてリン酸カルシウム塩を溶解し、濾過、水洗、乾燥
して重量平均粒径6.5μmのトナー粒子を得た。
The above polymerizable monomer system was charged into the above aqueous medium, and the mixture was heated at 10,000 rpm at 60 ° C. under a N 2 atmosphere at 10,000 rpm using a TK homomixer.
The mixture was stirred for 5 minutes and granulated. Thereafter, the mixture was reacted at 60 ° C. for 6 hours while stirring with a paddle stirring blade. After that, the liquid temperature was 80 ° C.
The stirring was further continued for 4 hours. After the completion of the reaction, distillation was further performed at 80 ° C. for 2 hours. Thereafter, the suspension was cooled, hydrochloric acid was added to dissolve the calcium phosphate, filtered, washed with water, and dried to obtain toner particles having a weight average particle size of 6.5 μm. I got

【0171】このトナー粒子100部と、一次粒径8n
mのシリカにヘキサメチルジシラザンで表面を処理し処
理後のBET値が250m2/gの疎水性シリカ微粉体
1.2部及び帯電粒子2部をヘンシェルミキサー(三井
三池化工機(株))で混合して、重合トナー(1)を調
製した。得られたトナーの平均円形度は0.983、磁
場79.6kA/mにおける磁化の強さは、28Am2
/kgであった。
100 parts of the toner particles and a primary particle size of 8n
m of silica is treated with hexamethyldisilazane on its surface, and 1.2 parts of hydrophobic silica fine powder having a BET value of 250 m 2 / g and 2 parts of charged particles after the treatment are mixed with a Henschel mixer (Mitsui Miike Kakoki Co., Ltd.) And polymerized toner (1) was prepared. The average circularity of the obtained toner is 0.983, and the intensity of magnetization in a magnetic field of 79.6 kA / m is 28 Am 2.
/ Kg.

【0172】本実施例における帯電粒子としては酸化亜
鉛を用いた。ここで使用した酸化亜鉛からなる導電性微
粉体は一次粒子径0.1〜0.3μmの酸化亜鉛一次粒
子を圧力により造粒して得られた粒子を風力分級して得
られた、体積平均粒径1.5μm、粒度分布における
0.5μm以下が35体積%、5μm以上が0個数%の
微粒子(抵抗107Ω・cm、透過率35%)である。
この酸化亜鉛微粉体は、走査型電子顕微鏡にて3000
倍及び3万倍で観察したところ、0.1〜0.3μmの
酸化亜鉛一次粒子と1〜4μmの凝集体からなってい
た。
In this example, zinc oxide was used as the charged particles. The conductive fine powder made of zinc oxide used here was obtained by subjecting particles obtained by granulating primary particles of zinc oxide having a primary particle diameter of 0.1 to 0.3 μm by pressure to air classification, and a volume average. Fine particles (resistance: 10 7 Ω · cm, transmittance: 35%) having a particle diameter of 1.5 μm and a particle size distribution of 0.5 vol.
This zinc oxide fine powder was 3,000 with a scanning electron microscope.
Observation at 2 × and 30,000 × revealed that the particles consisted of primary particles of zinc oxide of 0.1 to 0.3 μm and aggregates of 1 to 4 μm.

【0173】以上の手順で作製した像担持体及び重合ト
ナー(1)を用い、導電性微粉体を介して像担持体の帯
電を行う弾性ローラー帯電器を用いた図3に示される構
成の電子写真装置により評価を行った。結果を表1に示
す。なお、この際のプロセススピードは400mm/
s、感光体と弾性ローラーの相対速度は逆方向200%
とした。
Using the image carrier and the polymerized toner (1) produced by the above procedure, an electronic roller having the configuration shown in FIG. 3 using an elastic roller charger for charging the image carrier via conductive fine powder. The evaluation was performed using a photographic device. Table 1 shows the results. The process speed at this time was 400 mm /
s, relative speed between photoconductor and elastic roller is 200% in reverse direction
And

【0174】(表面層のシリコン原子含有率の算出)上
記負帯電用a−Si感光体(A1)〜(A4)及び
(A)〜(E)の表面層と同条件でシリコンウェハー上
にサンプルを作製し、ESCAを用いて、シリコン原子
と炭素原子の相対値を測定し、その比率を計算すること
によってシリコン原子含有率(シリコン原子と炭素の総
量に対するシリコン原子の比率)を得た。
(Calculation of silicon atom content of surface layer) A sample was placed on a silicon wafer under the same conditions as the surface layers of the negatively charged a-Si photoconductors (A1) to (A4) and (A) to (E). Was prepared, the relative value of silicon atoms and carbon atoms was measured using ESCA, and the ratio was calculated to obtain the silicon atom content (the ratio of silicon atoms to the total amount of silicon atoms and carbon).

【0175】(帯電器の帯電能力)A4紙を用いて10
万枚通紙耐久を行った。この際、帯電器には一定電圧を
印加し、1万枚毎での現像器位置での暗部電位を測定
し、耐久による暗部電位の変化を評価した。更に、暗部
電位画像がハーフトーン濃度で現像されるように現像バ
イアスを調整してベタハーフトーン画像を出力し、画像
濃度の分布を目視で評価し、次の基準を設けて3段階に
評価した。 A:測定誤差内で暗部電位の変化は認められず、ハーフ
トーン画像も均一。 B:耐久後半で暗部電位の低下が認められ、ハーフトー
ン画像で若干の濃度ムラが認められる。 C:耐久中に徐々に暗部電位が低下し、ハーフトーン画
像で濃度ムラが認められる。
(Charging Ability of Charging Unit)
Endurance of 10,000 passes. At this time, a constant voltage was applied to the charger, and the dark portion potential at the developing device position was measured for every 10,000 sheets, and the change in the dark portion potential due to durability was evaluated. Further, the developing bias was adjusted so that the dark area potential image was developed at the halftone density, a solid halftone image was output, and the distribution of the image density was visually evaluated. . A: No change in dark area potential was observed within the measurement error, and the halftone image was uniform. B: In the latter half of the endurance, a decrease in the dark portion potential is observed, and a slight density unevenness is observed in the halftone image. C: Dark portion potential gradually decreases during durability, and density unevenness is observed in a halftone image.

【0176】(帯電器からの吐き出し効率)上記帯電器
の帯電能力評価と同時に、べた黒後のべた白部分のカブ
リを1万枚毎に測定した。この際、ドラム上のトナーを
粘着テープで剥離し濃度を測定し、帯電器突入前、帯電
器通過後のテープ剥離濃度から、濃度差(帯電器前濃度
−帯電器後濃度)の帯電器前濃度に対する比率を吐き出
し効率とし、次の基準を設けて3段階に評価した。 A:吐き出し効率50%以上 B:吐き出し効率30%以上50%未満 C:吐き出し効率30%未満 (帯電器からの吐き出しトナーの帯電量) ホソカワミクロン社製の帯電量(以下、トリボも併用)
測定器「E−SPARTANALYZERMODELE
ST−II」を用いて帯電量分布を測定した。帯電量分布
の指標として便宜的に平均帯電量を用い、次の基準を設
けて3段階に評価した。尚、測定結果の例を図6に示
す。実線がランクAの測定結果に相当し、破線がランク
Cの測定結果に相当する。 A:平均帯電量が充分ネガになっている。 B:平均帯電量が若干ネガになっている。 C:平均帯電量がほぼ0付近。
(Ejection Efficiency from Charger) At the same time as the evaluation of the chargeability of the charger, fog in a solid white portion after solid black was measured for every 10,000 sheets. At this time, the toner on the drum is peeled off with an adhesive tape to measure the density, and the density difference (density before charging—density after charging) before charging is determined from the tape peeling density before entering the charger and after passing through the charger. The ratio with respect to the concentration was defined as the discharge efficiency, and the following criteria were set and evaluated in three steps. A: Discharge efficiency of 50% or more B: Discharge efficiency of 30% or more and less than 50% C: Discharge efficiency of less than 30% (charge amount of toner discharged from the charger) Charge amount manufactured by Hosokawa Micron Corporation (hereinafter also referred to as tribo)
Measuring instrument "E-SPARTANALYZERMODEL
The charge amount distribution was measured using "ST-II". For convenience, the average charge amount was used as an index of the charge amount distribution, and the evaluation was made in three stages by setting the following criteria. FIG. 6 shows an example of the measurement result. The solid line corresponds to the measurement result of rank A, and the broken line corresponds to the measurement result of rank C. A: The average charge amount is sufficiently negative. B: The average charge amount is slightly negative. C: The average charge amount is almost 0.

【0177】(カブリ)上記帯電器の帯電能力評価、吐
き出し効率評価と同時に、1万枚毎にキヤノン製TES
TSHEETNA−7(A)(部品番号:FY9−90
60A−010)でサンプル画像を出し、白地部分の反
射濃度を反射濃度計(マクベス社製RD914)で測定
し、次の基準を設けて地かぶりのレベルを3段階に評価
した。 A:測定誤差内で反射濃度の変化は認められず、地かぶ
りレベルは良好 B:耐久後半で反射濃度の増加が認められ、地かぶりが
若干認められる C:耐久中に徐々に反射濃度が増加し、地かぶりが認め
られる (磨耗量)上記耐久前後の表面層の膜厚を干渉式膜厚計
で測定し、その磨耗量を測定した。そして、次の基準を
設けて3段階に評価した。 A:測定誤差内で磨耗量は検出されず、非常に良好 B:磨耗しているが、軽微であり、良好C:磨耗量が多
い。
(Fog) The evaluation of the charging ability of the above-mentioned charger and the evaluation of the discharge efficiency are performed, and at the same time, the TES manufactured by Canon is evaluated every 10,000 sheets.
TSHETNA-7 (A) (Part number FY9-90
60A-010), the reflection density of a white background portion was measured with a reflection densitometer (RD914 manufactured by Macbeth), and the following standard was set to evaluate the ground fog level in three steps. A: No change in reflection density was observed within the measurement error, and the ground fogging level was good. B: Increase in reflection density was observed in the latter half of endurance, and slight ground fog was observed. C: Reflection density gradually increased during endurance. The thickness of the surface layer before and after the endurance was measured with an interference type thickness meter, and the amount of abrasion was measured. Then, the following criteria were set and evaluated in three stages. A: The amount of wear is not detected within the measurement error, and is very good. B: Worn but slightly, good. C: The amount of wear is large.

【0178】[比較例1]図5に記載のRFによるプラ
ズマCVD装置を用いて直径30mm、肉厚2.5mm
のアルミニウム製導電性基体としての鏡面加工を施した
シリンダー上に実施例1に示す条件で下部阻止層、光導
電層、バッファ層を積層した。さらにその上に下記の作
製条件でSiを微量含有したa−C:Hからなる表面層
を積層することで、表面層のシリコン原子含有率(シリ
コン原子と炭素の総量に対するシリコン原子の比率)の
異なる負帯電用a−Si感光体(F)〜(I)を作製し
た。なお、RFの周波数は13.56MHzを用いた。
Comparative Example 1 A 30 mm diameter and 2.5 mm wall thickness was obtained using the RF plasma CVD apparatus shown in FIG.
A lower blocking layer, a photoconductive layer, and a buffer layer were laminated under the conditions shown in Example 1 on a mirror-finished cylinder as an aluminum conductive substrate. Further, a surface layer made of aC: H containing a small amount of Si is laminated thereon under the following manufacturing conditions, so that the silicon atom content of the surface layer (the ratio of silicon atoms to the total amount of silicon atoms and carbon) is reduced. Different negative charging a-Si photoconductors (F) to (I) were produced. The RF frequency used was 13.56 MHz.

【0179】 <感光体の製造条件>表面層 SiH4 : (F)0ml/min(normal) (G)0.1ml/min(normal) (H)9.0ml/min(normal) (I)15.0ml/min(normal) CH4 : 100ml/min(normal) パワー : 1500W 内圧 : 67Pa 基体温度 : 50℃ 膜厚 : 0.3μm こうして得られた感光体(F)〜(I)と重合トナー
(1)について、実施例1と同様に評価を行った。結果
を表1に示す。
<Production Conditions of Photoconductor> Surface layer SiH 4 : (F) 0 ml / min (normal) (G) 0.1 ml / min (normal) (H) 9.0 ml / min (normal) (I) 15 0.0 ml / min (normal) CH 4 : 100 ml / min (normal) Power: 1500 W Internal pressure: 67 Pa Base temperature: 50 ° C. Film thickness: 0.3 μm The photoconductors (F) to (I) thus obtained and the polymerized toner ( 1) was evaluated in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.

【0180】[0180]

【表1】 [Table 1]

【0181】実施例1、比較例1の結果から、表面層の
シリコン原子含有率が0.2原子%以上にすることで吐
き出しトナーのトリボがネガ化する為、カブリが悪化し
ないことがわかった。また、20原子%以下にすること
で高い吐き出し効率を維持できる為、トナー混入による
帯電器の帯電能力が低下することはなくなり、同時に帯
電器の寿命も確保することができることがわかった。さ
らにシリコン原子含有量の低い方が磨耗に関しては有利
であることがわかった。総合評価は、各項目を総合的に
判断し、非常に良好をA、良好をB、従来と同等以下を
Cとした。
From the results of Example 1 and Comparative Example 1, it was found that when the silicon atom content of the surface layer was 0.2 atomic% or more, the discharge toner was negatively charged and the fog was not deteriorated. . Further, it is found that since the discharge efficiency can be maintained high by setting the content to 20 atomic% or less, the charging ability of the charger due to toner mixing does not decrease, and at the same time, the life of the charger can be ensured. Furthermore, it has been found that a lower silicon atom content is more advantageous with respect to wear. In the comprehensive evaluation, each item was judged comprehensively, and A was very good, B was good, and C was equal to or less than the conventional value.

【0182】[実施例2]実施例1と同様の手順でa−
Si感光体(B)を作製した。次に、重合トナー(1)
と同様の手法により、平均円形度の異なる球形トナー
(A)〜(E)を作製した。こうして得られたa−Si
感光体(B)と球形トナー(A)〜(E)について、実
施例1と同様に評価を行った。結果を表2に示す。
[Embodiment 2] In the same procedure as in Embodiment 1, a-
A Si photoreceptor (B) was produced. Next, the polymerized toner (1)
Spherical toners (A) to (E) having different average circularities were produced in the same manner as in (1). A-Si thus obtained
The photoconductor (B) and the spherical toners (A) to (E) were evaluated in the same manner as in Example 1. Table 2 shows the results.

【0183】[比較例2]実施例1と同様の手順でa−
Si感光体(B)を作製した。次に、重合トナー(1)
と同様の手法により、トナー(F)を作製した。こうし
て得られたa−Si感光体(B)とトナー(F)につい
て、実施例1と同様に評価を行った。結果を表2に示
す。
[Comparative Example 2] a-
A Si photoreceptor (B) was produced. Next, the polymerized toner (1)
In the same manner as in the above, a toner (F) was produced. The thus obtained a-Si photoreceptor (B) and toner (F) were evaluated in the same manner as in Example 1. Table 2 shows the results.

【0184】[0184]

【表2】 [Table 2]

【0185】実施例2、比較例2の結果から、重合トナ
ーの球形度が0.950以上にすることで高い吐き出し
効率を維持できる為、トナー混入による帯電器の帯電能
力が低下することはなくなり、同時に帯電器の寿命も確
保することができることがわかった。また、球形度の高
い方が、吐き出しトナーのトリボがネガ化することに関
しては有利であることがわかった。総合評価は、各項目
を総合的に判断し、非常に良好をA、良好をB、従来と
同等以下をCとした。
From the results of Example 2 and Comparative Example 2, since the high discharge efficiency can be maintained by setting the sphericity of the polymerized toner to 0.950 or more, the charging ability of the charger due to toner mixing does not decrease. At the same time, it was found that the life of the charger could be ensured. It has also been found that higher sphericity is more advantageous in terms of negative discharge toner tribo. In the comprehensive evaluation, each item was judged comprehensively, and A was very good, B was good, and C was equal to or less than the conventional value.

【0186】[実施例3]実施例1と同様の手順で、負
帯電用a−Si感光体(C)を作製した。次に、次の手
順で粉砕トナーを作製した。 ・スチレン/n−ブチルアクリレート共重合体(質量比80/20) 100質 量部 ・不飽和ポリエステル樹脂 2質量部 ・飽和ポリエステル樹脂 3質量部 ・負荷電性制御剤(モノアゾ染料系のFe化合物) 1質量部 ・表面処理疎水化磁性体 90質量部 ・エステルワックス(DSCにおける吸熱ピークの極大値72℃) 5質量部 上記材料をブレンダーにて混合し、110℃に加熱した
二軸エクストルーダーで溶融混練し、冷却した混練物を
ハンマーミルで粗粉砕し、粗粉砕物をジェットミルで微
粉砕後、機械式球形化処理を行い、得られた処理物を風
力分級して重量平均粒径8.9μmの黒色粒子を得た。
この黒色粒子100部と、ヘキサメチルジシラザンで処
理をした後シリコーンオイルで処理し、処理後のBET
値が180m2/gの疎水性シリカ微粉体0.9部、及
び酸化亜鉛微粉体2部とをヘンシェルミキサー(三井三
池化工機(株))で混合して、平均円形度の異なる粉砕
トナー(A)〜(B)を調製した。得られたトナーの磁
場79.6kA/mにおける磁化の強さは28Am2
kgであった。
Example 3 An a-Si photosensitive member for negative charging (C) was manufactured in the same procedure as in Example 1. Next, a pulverized toner was prepared in the following procedure.・ Styrene / n-butyl acrylate copolymer (mass ratio 80/20) 100 parts by mass ・ 2 parts by mass of unsaturated polyester resin ・ 3 parts by mass of saturated polyester resin ・ Negative charge control agent (monoazo dye-based Fe compound) 1 part by mass ・ Surface-treated hydrophobized magnetic substance 90 parts by mass ・ Ester wax (maximum endothermic peak in DSC: 72 ° C.) 5 parts by mass The above materials are mixed by a blender and melted by a biaxial extruder heated to 110 ° C. The kneaded and cooled kneaded material is coarsely pulverized by a hammer mill, the coarsely pulverized material is finely pulverized by a jet mill, and then subjected to mechanical spheronization treatment. 9 μm black particles were obtained.
100 parts of the black particles are treated with hexamethyldisilazane, and then treated with silicone oil.
0.9 parts of hydrophobic silica fine powder having a value of 180 m 2 / g and 2 parts of zinc oxide fine powder were mixed with a Henschel mixer (Mitsui Miike Kakoki Co., Ltd.), and pulverized toners having different average circularities ( A) and (B) were prepared. The magnetization strength of the obtained toner in a magnetic field of 79.6 kA / m is 28 Am 2 / m.
kg.

【0187】こうして得られたa−Si感光体(C)と
粉砕トナー(A)〜(B)について、実施例1と同様に
評価を行った。結果を表3に示す。
The thus obtained a-Si photosensitive member (C) and pulverized toners (A) and (B) were evaluated in the same manner as in Example 1. Table 3 shows the results.

【0188】[比較例3]実施例1と同様の手順でa−
Si感光体(C)を作製した。次に、機械式球形化処理
を行わない以外は実施例3と同様の手法により、平均円
形度の異なる粉砕トナー(C)を作製した。こうして得
られたa−Si感光体(C)と粉砕トナー(C)につい
て、実施例1と同様に評価を行った。結果を表3に示
す。
[Comparative Example 3] a-
A Si photoreceptor (C) was produced. Next, pulverized toners (C) having different average circularities were produced in the same manner as in Example 3 except that the mechanical sphering treatment was not performed. The a-Si photoconductor (C) and the pulverized toner (C) thus obtained were evaluated in the same manner as in Example 1. Table 3 shows the results.

【0189】[0189]

【表3】 [Table 3]

【0190】実施例3、比較例3の結果から、粉砕トナ
ーにおいても球形度が0.950以上にすることで高い
吐き出し効率を維持できる為、トナー混入による帯電器
の帯電能力が低下することはなくなり、同時に帯電器の
寿命も確保することができることがわかった。また、球
形度の高い方が、吐き出しトナーのトリボがネガ化に関
しては有利であることがわかった。総合評価は、各項目
を総合的に判断し、非常に良好をA、良好をB、従来と
同等以下をCとした。
From the results of Example 3 and Comparative Example 3, it is possible to maintain a high discharge efficiency by setting the sphericity to 0.950 or more even in the pulverized toner. It was found that the life of the charger could be ensured at the same time. Further, it was found that the higher the sphericity, the more advantageous the discharge toner tribo is in terms of negative. In the comprehensive evaluation, each item was judged comprehensively, and A was very good, B was good, and C was equal to or less than the conventional value.

【0191】[実施例4]図4に示すVHFプラズマC
VD法によるa−Si感光体の製造装置を用い、鏡面加
工を施したアルミニウムシリンダー上に、下記に示す条
件で電荷注入阻止層、光導電層、バッファ層、表面層を
積層し、負帯電用a−Si感光体(J1)〜(J4)及
び(J)〜(L)を得た。なお、VHF周波数は105
MHzを用いた。
[Embodiment 4] VHF plasma C shown in FIG.
A charge injection blocking layer, a photoconductive layer, a buffer layer, and a surface layer are laminated under the following conditions on a mirror-finished aluminum cylinder using an apparatus for manufacturing an a-Si photoreceptor by a VD method. The a-Si photoconductors (J1) to (J4) and (J) to (L) were obtained. The VHF frequency is 105
MHz was used.

【0192】 <感光体の製造条件>下部阻止層 ・SiH4 : 200ml/min(normal) ・H2 : 400ml/min(normal) ・NO : 10ml/min(normal) ・PH3 : 2000ppm(SiH4に対して) ・パワー : 1200W ・放電空間の圧力 : 0.8Pa ・基体温度 : 250℃ ・膜厚 : 2μm光導電層 ・SiH4 : 200ml/min(normal) ・H2 : 400ml/min(normal) ・パワー : 1200W ・放電空間の圧力 : 0.8Pa ・基体温度 : 250℃ ・膜厚 : 30μmバッファ層 ・SiH4 : 20ml/min(normal) ・CH4 : 50ml/min(normal) ・パワー : 1200W ・放電空間の圧力 : 0.8Pa ・基体温度 : 250℃ ・膜厚 : 0.3μm表面層 ・SiH4 : (J1)0.07ml/min(normal) (J2)0.1ml/min(normal) (J3)0.25ml/min(normal) (J4)0.35ml/min(normal) (J)0.5ml/min(normal) (K)2.0ml/min(normal) (L)4.0ml/min(normal) ・CH4 : 50ml/min(normal) ・パワー : 1500W ・放電空間の圧力 : 0.5Pa ・基体温度 : 100℃ ・膜厚 : 0.5μm 次の手順で重合トナー(2)を作製した。まず、重合ト
ナー(1)と同様の手法により重量平均粒径6.4μm
のトナー粒子を得た。このトナー粒子100部と、一次
粒径8nmのシリカにヘキサメチルジシラザンで表面を
処理した後シリコーンオイルで処理し、処理後のBET
値が150m2/gの疎水性シリカ微粉体1.2部、及
び酸化亜鉛からなる導電性微粉体2部とをヘンシェルミ
キサー(三井三池化工機(株))で混合して、重合トナ
ー(2)を調製した。得られたトナーの平均円形度は
0.983、磁場79.6kA/mにおける磁化の強さ
は、28Am2/kgであった。
[0192] <production conditions of the photoconductive> lower blocking layer · SiH 4: 200ml / min ( normal) · H 2: 400ml / min (normal) · NO: 10ml / min (normal) · PH 3: 2000ppm (SiH 4・ Power: 1200 W ・ Discharge space pressure: 0.8 Pa ・ Substrate temperature: 250 ° C. ・ Film thickness: 2 μm photoconductive layer・ SiH 4 : 200 ml / min (normal) ・ H 2 : 400 ml / min (normal)・ Power: 1200 W ・ Discharge space pressure: 0.8 Pa ・ Substrate temperature: 250 ° C. ・ Film thickness: 30 μm buffer layer・ SiH 4 : 20 ml / min (normal) ・ CH 4 : 50 ml / min (normal) ・ Power: 1200 W ・ Discharge space pressure: 0.8 Pa ・ Base temperature: 25 ° C. · thickness: 0.3 [mu] m surface layer · SiH 4: (J1) 0.07ml / min (normal) (J2) 0.1ml / min (normal) (J3) 0.25ml / min (normal) (J4) 0.35ml / min (normal) (J ) 0.5ml / min (normal) (K) 2.0ml / min (normal) (L) 4.0ml / min (normal) · CH 4: 50ml / min (normal Power: 1500 W Pressure in discharge space: 0.5 Pa Base temperature: 100 ° C. Film thickness: 0.5 μm Polymerized toner (2) was prepared by the following procedure. First, a weight average particle size of 6.4 μm was obtained in the same manner as in the polymerization toner (1).
Was obtained. 100 parts of this toner particle and silica having a primary particle size of 8 nm are treated with hexamethyldisilazane on the surface, then treated with silicone oil, and BET after the treatment is treated.
1.2 parts of a hydrophobic silica fine powder having a value of 150 m 2 / g and 2 parts of a conductive fine powder made of zinc oxide were mixed with a Henschel mixer (Mitsui Miike Kakoki Co., Ltd.), and polymerized toner (2 ) Was prepared. The average circularity of the obtained toner was 0.983, and the magnetization intensity in a magnetic field of 79.6 kA / m was 28 Am 2 / kg.

【0193】こうして得られた感光体(J1)〜(J
4)及び(J)〜(L)と重合トナー(2)について、
実施例1と同様に評価を行った。結果を表4に示す。
The thus obtained photosensitive members (J1) to (J1)
4) and (J) to (L) and the polymerized toner (2)
Evaluation was performed in the same manner as in Example 1. Table 4 shows the results.

【0194】[比較例4]図4に示すVHFプラズマC
VD装置を用いて直径30mm、肉厚2.5mmのアル
ミニウム製導電性基体としての鏡面加工を施したシリン
ダー上に実施例4に示す条件で下部阻止層、光導電層、
バッファ層を積層した。さらにその上に下記の作製条件
でSiを微量含有したa−C:Hからなる表面層を積層
することで、表面層のシリコン原子含有率(シリコン原
子と炭素の総量に対するシリコン原子の比率)の異なる
負帯電用a−Si感光体(M)及び(N)を作製した。
なお、VHF周波数は105MHzを用いた。
[Comparative Example 4] VHF plasma C shown in FIG.
A lower blocking layer, a photoconductive layer, and a mirror-finished cylinder as a conductive substrate made of aluminum having a diameter of 30 mm and a thickness of 2.5 mm using a VD apparatus under the conditions shown in Example 4.
A buffer layer was laminated. Further, a surface layer made of aC: H containing a small amount of Si is laminated thereon under the following manufacturing conditions, so that the silicon atom content of the surface layer (the ratio of silicon atoms to the total amount of silicon atoms and carbon) is reduced. Different negative charging a-Si photoconductors (M) and (N) were prepared.
The VHF frequency used was 105 MHz.

【0195】 <感光体の製造条件>表面層 SiH4 : (M)0.03ml/min(normal) (N)4.5ml/min(normal) CH4 : 50ml/min(normal) パワー : 1500W 放電空間の圧力 : 0.5Pa 基体温度 : 100℃ 膜厚 : 0.5μm こうして得られた感光体(M)及び(N)と重合トナー
(2)について、実施例1と同様に評価を行った。結果
を表4に示す。
<Photoconductor Production Conditions> Surface layer SiH 4 : (M) 0.03 ml / min (normal) (N) 4.5 ml / min (normal) CH 4 : 50 ml / min (normal) Power: 1500 W Discharge Space pressure: 0.5 Pa Substrate temperature: 100 ° C. Film thickness: 0.5 μm The photoconductors (M) and (N) thus obtained and the polymerized toner (2) were evaluated in the same manner as in Example 1. Table 4 shows the results.

【0196】[0196]

【表4】 [Table 4]

【0197】実施例4、比較例4の結果から、表面層の
シリコン原子含有率が0.2原子%以上にすることで吐
き出しトナーのトリボがネガ化する為、カブリが悪化し
ないことがわかった。また、20原子%以下にすること
で高い吐き出し効率を維持できる為、トナー混入による
帯電器の帯電能力が低下することはなくなり、同時に帯
電器の寿命も確保することができることがわかった。さ
らにシリコン原子含有量の低い方が磨耗に関しては有利
であることがわかった。総合評価は、各項目を総合的に
判断し、非常に良好をA、良好をB、従来と同等以下を
Cとした。
From the results of Example 4 and Comparative Example 4, it was found that when the silicon atom content of the surface layer was 0.2 atomic% or more, the discharge toner was negatively charged and the fog was not deteriorated. . Further, it is found that since the discharge efficiency can be maintained high by setting the content to 20 atomic% or less, the charging ability of the charger due to toner mixing does not decrease, and at the same time, the life of the charger can be ensured. Furthermore, it has been found that a lower silicon atom content is more advantageous with respect to wear. In the comprehensive evaluation, each item was judged comprehensively, and A was very good, B was good, and C was equal to or less than the conventional value.

【0198】VHFにより作製したa−Si感光体を用
いても、本発明は同様に効果が得られることが判明し
た。また、トナーとして重合トナーを用いることで非常
に良好な高画質画像が得られることが分かった。
It has been found that the same effects can be obtained in the present invention by using an a-Si photosensitive member produced by VHF. It was also found that a very good high-quality image can be obtained by using the polymerized toner as the toner.

【0199】[0199]

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、a−Si感光体を像担持体とする電子写真方法及び
装置において、導電性基体と、該導電性基体上に少なく
とも水素及びハロゲンのいずれかを含みシリコン原子を
母体とする非単結晶材料で構成された光導電層と、少な
くとも水素及びハロゲンのいずれかを含み炭素原子を母
体とし少なくともシリコン原子を0.2原子%以上20
原子%以下含有する非単結晶材料で構成された表面層と
を有する像担持体を用い、少なくとも結着樹脂及び磁性
体を含有するトナー粒子と無機微粉体とを含み、平均円
形度が0.950以上である磁性トナーであって、該磁
性トナーの79.6kA/mにおける飽和磁化が10A
2/kg以上50Am2/kg以下であるトナーを用
い、粒径が0.1μm〜10μmである導電性微粉体を
主成分とする帯電粒子と、導電性と弾性を有した表面を
備え、表面に該帯電粒子を担持し、該帯電粒子を介して
該像担持体に接触する帯電粒子担持体とを用いて該像担
持体表面を負極性に帯電させ、IAE方式で潜像を形成
する電子写真方法及び装置により、転写から帯電までの
間にクリーニング工程が無くても極めて良好なトナーリ
サイクルプロセスを達成する事が可能になった。
As described above, according to the present invention, in an electrophotographic method and apparatus using an a-Si photosensitive member as an image carrier, a conductive substrate and at least hydrogen and A photoconductive layer composed of a non-single-crystal material containing any one of halogens and containing silicon atoms as a host; and containing at least one of hydrogen and halogen and containing carbon atoms as a host and containing at least 0.2 at.
An image carrier having a surface layer composed of a non-single-crystal material containing at most atomic%, containing at least toner particles containing a binder resin and a magnetic material, and inorganic fine powder, and having an average circularity of 0.1%. 950 or more, wherein the magnetic toner has a saturation magnetization of 10 A at 79.6 kA / m.
a toner having a particle size of not less than m 2 / kg and not more than 50 Am 2 / kg, comprising charged particles mainly composed of conductive fine powder having a particle size of 0.1 μm to 10 μm, and a surface having conductivity and elasticity; The surface of the image carrier is supported by the charged particles, and the surface of the image carrier is negatively charged by using the charged particle carrier that comes into contact with the image carrier via the charged particles to form a latent image by an IAE method. The electrophotographic method and apparatus have made it possible to achieve an extremely good toner recycling process without a cleaning step between transfer and charging.

【0200】これにより、電子写真装置の生涯寿命に渡
って排出される廃棄物が大幅に削減され、さまざまな環
境においても画像流れや画像ムラが発生せず、きわめて
鮮明な画像が長期間安定して得られる電子写真装置及び
電子写真方法を提供することができる。
As a result, the amount of waste discharged over the lifetime of the electrophotographic apparatus is greatly reduced, no image deletion or image unevenness occurs in various environments, and extremely clear images can be stabilized for a long time. An electrophotographic apparatus and an electrophotographic method obtained by the above method can be provided.

【0201】さらに、帯電部材の寿命が長く、最小のメ
ンテナンスコストで長期間、安定して高品質な画像が得
られる電子写真装置及び電子写真方法を提供することが
できる。
Further, it is possible to provide an electrophotographic apparatus and an electrophotographic method capable of stably obtaining high-quality images for a long period of time with a long service life of the charging member and a minimum maintenance cost.

【0202】また、a−Si感光体が均一に帯電され、
ムラがなく、均一で高コントラストで解像度が高く、か
ぶりの少ない鮮明な画像が得られる電子写真装置及び電
子写真方法を提供することができる。
Further, the a-Si photosensitive member is uniformly charged,
It is possible to provide an electrophotographic apparatus and an electrophotographic method capable of obtaining a clear image with no unevenness, high contrast, high resolution, and low fog.

【0203】さらに本発明では、像担持体の光導電層と
表面層の間に、少なくとも水素及びハロゲンのいずれか
を含み、シリコンを主体とし、炭素、酸素、窒素から選
ばれる少なくとも一つ以上の原子を更に含有する非単結
晶材料から成るバッファ層を有すると、表面層と光導電
層との密着性の向上や、界面での光の反射による干渉の
影響の軽減等の観点からより一層効果的である。
Further, in the present invention, between the photoconductive layer and the surface layer of the image bearing member, at least one of hydrogen and halogen is contained, mainly composed of silicon, and at least one of carbon, oxygen and nitrogen. Having a buffer layer made of a non-single-crystal material further containing atoms further improves the adhesion between the surface layer and the photoconductive layer, and further reduces the influence of interference due to light reflection at the interface. It is a target.

【0204】さらに本発明では、表面層が、50〜45
0MHzの高周波を用いたプラズマCVD法によって、
少なくとも炭化水素系のガスを分解することによって堆
積成膜により形成されると、より低圧な条件で表面層が
形成され、表面保護や光透過等の表面層の特性の劣化を
抑制する上でより一層効果的である。
Further, according to the present invention, the surface layer has a thickness of 50 to 45.
By a plasma CVD method using a high frequency of 0 MHz,
When formed by deposition film formation by decomposing at least a hydrocarbon-based gas, a surface layer is formed under lower pressure conditions, which is more effective in suppressing deterioration of surface layer characteristics such as surface protection and light transmission. More effective.

【0205】さらに本発明では、帯電粒子を担持してい
る帯電粒子担持体の表面と像担持体の表面が相対的速度
差を有して移動している状態で帯電粒子を介して像担持
体に接触して像担持体を帯電させると、帯電粒子と像担
持体の高い接触性が得られる観点においてより効果的で
あり、帯電粒子担持体の表面と像担持体表面が互いに逆
方向に移動しつつ像担持体を帯電させると、より一層効
果的である。
Further, in the present invention, the image carrier is charged via the charged particles while the surface of the charged particle carrier carrying the charged particles and the surface of the image carrier are moving with a relative speed difference. When the image carrier is charged by contact with the surface, it is more effective in terms of obtaining high contact between the charged particles and the image carrier, and the surface of the charged particle carrier and the surface of the image carrier move in opposite directions to each other. It is even more effective to charge the image carrier while charging.

【0206】さらに本発明では、帯電粒子担持体は多孔
体表面を有する弾性体で形成されていると、帯電粒子担
持体上に十分な帯電粒子を担持することが可能となり、
帯電粒子と像担持体の接触性を高める上でより一層効果
的である。
Further, in the present invention, if the charged particle carrier is formed of an elastic body having a porous material surface, it becomes possible to carry sufficient charged particles on the charged particle carrier.
It is even more effective in increasing the contact between the charged particles and the image carrier.

【0207】さらに本発明では、帯電粒子担持体は、ア
スカーC硬度が50度以下、より好ましくは25度以上
50度以下のローラー部材であると、帯電粒子担持体の
形状安定性、及び帯電粒子担持体表面のミクロな凹凸に
対する追従性が得られることから、像担持体との接触性
を高める上でより一層効果的である。
Further, in the present invention, if the charged particle carrier is a roller member having an Asker C hardness of 50 degrees or less, more preferably 25 degrees or more and 50 degrees or less, the shape stability of the charged particle carrier and the charged particles Since the ability to follow microscopic irregularities on the surface of the carrier is obtained, it is even more effective in enhancing the contact with the image carrier.

【0208】さらに本発明では、帯電粒子担持体の体積
固有抵抗が1×103Ω・cm以上1×108Ω・cm以
下のローラー部材であると、像担持体に対する帯電特性
及び耐リーク性が得られることから、像担持体に対する
帯電特性を向上させる上でより一層効果的である。
Further, in the present invention, when the charged particle carrier is a roller member having a volume resistivity of 1 × 10 3 Ω · cm or more and 1 × 10 8 Ω · cm or less, the charging characteristics and the leak resistance of the image carrier are improved. Is more effective in improving the charging characteristics for the image carrier.

【0209】さらに本発明では、導電性微粉体の抵抗が
1×109Ω・cm以下、より好ましくは1×10-1Ω
・cm以上1×109Ω・cm以下であると、像担持体
に対する帯電促進を向上させる上でより効果的である。
Further, in the present invention, the resistance of the conductive fine powder is 1 × 10 9 Ω · cm or less, more preferably 1 × 10 −1 Ω · cm.
It is more effective to improve the charge promotion for the image bearing member when it is not less than cm and not more than 1 × 10 9 Ωcm.

【0210】さらに本発明では、導電性微粉体をトナー
の表面に付着させる構成とすると、トナーの過剰な帯電
を防止し、トナーの過剰帯電に伴う現像性の低下を防止
する上でより一層効果的である。
Further, in the present invention, if the conductive fine powder is configured to adhere to the surface of the toner, excessive charging of the toner is prevented, and the effect of preventing the deterioration of the developing property due to the excessive charging of the toner is further improved. It is a target.

【0211】さらに本発明では、無機微粉体が疎水化処
理されていると、環境変動に伴う無機微粉体の特性変化
をより抑制することができ、トナーの帯電性、現像特
性、転写性、及び形成される画像の画質などについて、
環境変化に伴う特性の変動を防止する上でより効果的で
ある。
Further, in the present invention, when the inorganic fine powder is subjected to the hydrophobic treatment, the change in the characteristics of the inorganic fine powder due to environmental fluctuation can be further suppressed, and the charging property, developing property, transfer property, Regarding the image quality of the formed image,
It is more effective in preventing a change in characteristics due to an environmental change.

【0212】さらに本発明では、トナーの表面に付着し
ている導電性微粉体が現像工程で像担持体に付着し、転
写工程の後も該像担持体上に残留し運ばれて帯電粒子担
持体に到達する構成とすると、現像手段が帯電粒子担持
体への帯電粒子の供給手段を兼ねることが可能となり、
装置の小型化やメンテナンス性の向上等の観点からより
一層効果的である。
Further, in the present invention, the conductive fine powder adhering to the surface of the toner adheres to the image carrier in the developing step, and remains on the image carrier after the transfer step to carry the charged particles. If it is configured to reach the body, it becomes possible for the developing means to also serve as a means for supplying charged particles to the charged particle carrier,
It is even more effective from the viewpoint of downsizing of the device and improvement of maintainability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の電子写真装置に用いられる電子写真感
光体の一例を示す模式的断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing an example of an electrophotographic photosensitive member used in an electrophotographic apparatus of the present invention.

【図2】本発明の電子写真装置に用いられる電子写真感
光体の他の一例を示す模式的断面図である。
FIG. 2 is a schematic sectional view showing another example of the electrophotographic photosensitive member used in the electrophotographic apparatus of the present invention.

【図3】本発明に用いられる電子写真装置の一例を示す
模式的断面図である。
FIG. 3 is a schematic sectional view illustrating an example of an electrophotographic apparatus used in the present invention.

【図4】本発明の電子写真感光体を形成するための堆積
装置の一例を示す模式的断面図である。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing one example of a deposition apparatus for forming the electrophotographic photosensitive member of the present invention.

【図5】本発明の電子写真感光体を形成するための堆積
装置の一例を示す模式的断面図である。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing one example of a deposition apparatus for forming the electrophotographic photosensitive member of the present invention.

【図6】トナーの帯電量分布を測定した結果の一例を示
す図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating an example of a result of measuring a charge amount distribution of a toner.

【符号の説明】 101 導電性基体 102 下部阻止層(電荷注入阻止層) 103 光導電層 104 バッファ層 105 表面層 106 電荷発生層 107 電荷輸送層 201 電子写真像担持体(感光体) 202 接触帯電部材(帯電粒子担持体) 203 レーザー光 204 現像器(現像手段) 205 トナー 206 転写ローラー(転写手段) 207 転写材(記録媒体) 208 反転トナー 209 定着装置 2100、3100 堆積装置 2110、3110 反応容器 2111、3111 カソード電極 2112、3112 導電性基体 2113、3113 導電性基体加熱用ヒーター 2114 原料ガス導入管 2115、3115 高周波マッチングボックス 2116 ガス供給配管 2117 リークバルブ 2118 メインバルブ 2119 真空計 2120 高周波電源 2121 絶縁材料 2123 導電性受け台 2200 原料ガス供給装置 2211〜2216 マスフローコントローラー 2221〜2226 原料ガスボンベ 2231〜2236 バルブ 2241〜2246 流入バルブ 2251〜2256 流出バルブ 2260 補助バルブ 2261〜2266 圧力調整器 3120 回転モーター 3121 排気口 3130 放電空間DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 Conductive substrate 102 Lower blocking layer (charge injection blocking layer) 103 Photoconductive layer 104 Buffer layer 105 Surface layer 106 Charge generation layer 107 Charge transport layer 201 Electrophotographic image carrier (photoconductor) 202 Contact charging Member (charged particle carrier) 203 Laser beam 204 Developing device (developing device) 205 Toner 206 Transfer roller (transfer device) 207 Transfer material (recording medium) 208 Inverted toner 209 Fixing device 2100, 3100 Stacking device 2110, 3110 Reaction container 2111 , 3111 cathode electrode 2112, 3112 conductive substrate 2113, 3113 conductive substrate heating heater 2114 source gas introduction pipe 2115, 3115 high frequency matching box 2116 gas supply pipe 2117 leak valve 2118 main valve 2119 vacuum 2120 High frequency power supply 2121 Insulating material 2123 Conductive pedestal 2200 Source gas supply device 2211 to 2216 Mass flow controller 2221 to 2226 Source gas cylinder 2231 to 2236 Valve 2224 to 2246 Inflow valve 2251 to 2256 Outflow valve 2260 Auxiliary valve 2261 to 2266 Pressure regulator 3120 Rotating motor 3121 Exhaust port 3130 Discharge space

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G03G 9/08 374 G03G 9/08 374 9/083 15/02 101 15/02 101 103 103 9/08 101 15/08 507 15/08 507B (72)発明者 橋爪 淳一郎 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 三浦 正治 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 Fターム(参考) 2H005 AA01 AA02 AA08 AA15 EA02 2H068 DA04 DA05 DA24 DA54 DA55 DA56 DA57 EA24 FC03 2H077 AA37 AC11 AC16 AD02 AD06 GA04 2H200 FA14 GA15 GA23 GA33 GA44 GB11 GB37 HA02 HA21 HA29 HB12 HB17 HB45 HB46 HB47 HB48 JA02 JA28 MA08 MB01 MB04 MB06 MC01 MC02 NA02 PA11 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G03G 9/08 374 G03G 9/08 374 9/083 15/02 101 15/02 101 103 103 9/08 101 15/08 507 15/08 507B (72) Inventor Junichiro Hashizume 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. (72) Inventor Masaharu Miura 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Kyano 2H005 AA01 AA02 AA08 AA15 EA02 2H068 DA04 DA05 DA24 DA54 DA55 DA56 DA57 EA24 FC03 2H077 AA37 AC11 AC16 AD02 AD06 GA04 2H200 FA14 GA15 GA23 GA33 GA44 GB11 GB37 HA02 HA21 HA29 HB12 HB47B JAB JA28 MA08 MB01 MB04 MB06 MC01 MC02 NA02 PA11

Claims (30)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回転する像担持体の表面を帯電させる帯
電工程と、該像担持体の帯電面に静電潜像を形成する潜
像形成工程と、該像担持体表面にトナーを付着させるこ
とにより該静電潜像をトナー像として現像する現像工程
と、該トナー像を記録媒体に転写する転写工程とを含む
電子写真方法に於いて、前記像担持体は、導電性基体
と、該導電性基体上に少なくとも水素及びハロゲンのい
ずれかを含みシリコン原子を母体とする非単結晶材料で
構成された光導電層と、少なくとも水素及びハロゲンの
いずれかを含み炭素原子を母体とし少なくともシリコン
原子をSi/(Si+C)で0.2原子%以上20原子
%以下含有する非単結晶材料で構成された表面層とを有
し、前記トナーは、少なくとも結着樹脂及び磁性体を含
有するトナー粒子と無機微粉体とを含み、平均円形度が
0.950以上である磁性トナーであって、該磁性トナ
ーの79.6kA/mにおける飽和磁化が10Am2
kg以上50Am2/kg以下であり、前記帯電工程
は、粒径が0.1μm〜10μmである導電性微粉体を
主成分とする帯電粒子と、導電性と弾性を有した表面を
備え、表面に該帯電粒子を担持し、該帯電粒子を介して
該像担持体に接触する帯電粒子担持体とを用いて、該像
担持体表面を負極性に帯電させ、前記潜像形成工程は、
画像部を露光して電位を減衰させることにより静電潜像
を形成する潜像形成工程であり、転写から帯電までの間
にクリーニング工程が無い事を特徴とする電子写真方
法。
A charging step of charging a surface of a rotating image carrier; a latent image forming step of forming an electrostatic latent image on a charged surface of the image carrier; and attaching toner to the surface of the image carrier. A developing step of developing the electrostatic latent image as a toner image, and a transfer step of transferring the toner image to a recording medium, wherein the image carrier has a conductive base, A photoconductive layer formed of a non-single-crystal material on a conductive substrate and containing at least one of hydrogen and halogen and containing silicon atoms as a host; and a photoconductive layer containing at least one of hydrogen and halogen and containing carbon atoms as a host and containing at least silicon atoms And a surface layer composed of a non-single-crystal material containing Si / (Si + C) in an amount of 0.2 atomic% or more and 20 atomic% or less, wherein the toner comprises at least a binder resin and a magnetic material. And nothing A magnetic toner having an average circularity of 0.950 or more, wherein the saturation magnetization of the magnetic toner at 79.6 kA / m is 10 Am 2 /
kg or more and 50 Am 2 / kg or less, and the charging step includes charged particles mainly composed of conductive fine powder having a particle size of 0.1 μm to 10 μm, and a surface having conductivity and elasticity. The charged particles are supported, and the surface of the image carrier is negatively charged by using a charged particle carrier contacting the image carrier via the charged particles, and the latent image forming step includes:
An electrophotographic method comprising: a latent image forming step of forming an electrostatic latent image by exposing an image portion to attenuate a potential to form an electrostatic latent image, wherein there is no cleaning step between transfer and charging.
【請求項2】 前記像担持体の前記光導電層と前記表面
層の間に、少なくとも水素及びハロゲンのいずれかを含
み、シリコンを主体とし、炭素、酸素、窒素から選ばれ
る少なくとも一つ以上の原子を更に含有する非単結晶材
料から成るバッファ層を有することを特徴とする請求項
1に記載の電子写真方法。
2. The method according to claim 1, wherein the surface of the image carrier includes at least one of hydrogen and halogen, and is mainly composed of silicon and at least one of carbon, oxygen, and nitrogen. 2. The electrophotographic method according to claim 1, further comprising a buffer layer made of a non-single-crystal material further containing atoms.
【請求項3】 前記表面層が、50〜450MHzの高
周波を用いたプラズマCVD法によって、少なくとも炭
化水素系のガスを分解することによって堆積成膜により
形成されることを特徴とする請求項1または2に記載の
電子写真方法。
3. The method according to claim 1, wherein the surface layer is formed by depositing a film by decomposing at least a hydrocarbon gas by a plasma CVD method using a high frequency of 50 to 450 MHz. 3. The electrophotographic method according to 2.
【請求項4】 前記帯電工程は、前記帯電粒子を担持し
ている前記帯電粒子担持体の表面と前記像担持体の表面
が相対的速度差を有して移動している状態で帯電粒子を
介して像担持体に接触して像担持体を帯電させることを
特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電子
写真方法。
4. The charging step includes charging the charged particles while the surface of the charged particle carrier carrying the charged particles and the surface of the image carrier are moving with a relative speed difference. The electrophotographic method according to any one of claims 1 to 3, wherein the image carrier is charged by contacting the image carrier via the image carrier.
【請求項5】 前記帯電工程は、前記帯電粒子担持体の
表面と前記像担持体表面が互いに逆方向に移動しつつ像
担持体を帯電させることを特徴とする請求項4に記載の
電子写真方法。
5. The electrophotographic apparatus according to claim 4, wherein in the charging step, the image carrier is charged while the surface of the charged particle carrier and the surface of the image carrier move in directions opposite to each other. Method.
【請求項6】 前記帯電工程において、前記帯電粒子担
持体は多孔体表面を有する弾性体で形成されていること
を特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の電
子写真方法。
6. The electrophotographic method according to claim 1, wherein, in the charging step, the charged particle carrier is formed of an elastic body having a porous body surface.
【請求項7】 前記帯電粒子担持体は、アスカーC硬度
が50度以下のローラー部材であることを特徴とする請
求項1乃至6のいずれか一項に記載の電子写真方法。
7. The electrophotographic method according to claim 1, wherein the charged particle carrier is a roller member having an Asker C hardness of 50 degrees or less.
【請求項8】 前記帯電粒子担持体は、アスカーC硬度
が25度以上50度以下のローラー部材であることを特
徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の電子写
真方法。
8. The electrophotographic method according to claim 1, wherein the charged particle carrier is a roller member having an Asker C hardness of 25 to 50 degrees.
【請求項9】 前記帯電粒子担持体は、体積固有抵抗が
1×103Ω・cm以上1×108Ω・cm以下のローラ
ー部材であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれ
か一項に記載の電子写真方法。
9. The roller according to claim 1, wherein the charged particle carrier is a roller member having a volume resistivity of 1 × 10 3 Ω · cm or more and 1 × 10 8 Ω · cm or less. The electrophotographic method according to claim 1.
【請求項10】 前記導電性微粉体の抵抗が1×109
Ω・cm以下であることを特徴とする請求項1乃至9の
いずれか一項に記載の電子写真方法。
10. The resistance of the conductive fine powder is 1 × 10 9
The electrophotographic method according to any one of claims 1 to 9, wherein the resistance is Ω · cm or less.
【請求項11】 前記導電性微粉体の抵抗が1×10-1
Ω・cm以上1×109Ω・cm以下であることを特徴
とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の電子写真
方法。
11. The resistance of the conductive fine powder is 1 × 10 −1
The electrophotographic method according to any one of claims 1 to 9, wherein the resistivity is not less than Ω · cm and not more than 1 × 10 9 Ω · cm.
【請求項12】 前記トナーは表面に導電性微粉体を有
することを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項
に記載の電子写真方法。
12. The electrophotographic method according to claim 1, wherein the toner has a conductive fine powder on a surface thereof.
【請求項13】 前記トナーは疎水化処理されている無
機微粉体を有することを特徴とする請求項1乃至12の
いずれか一項に記載の電子写真方法。
13. The electrophotographic method according to claim 1, wherein the toner has an inorganic fine powder that has been subjected to a hydrophobic treatment.
【請求項14】 前記無機微粉体はシリコーンオイルで
処理されていることを特徴とする請求項1乃至13のい
ずれか一項に記載の電子写真方法。
14. The electrophotographic method according to claim 1, wherein the inorganic fine powder is treated with silicone oil.
【請求項15】 前記導電性微粉体が、前記現像工程で
前記像担持体に付着し、前記転写工程の後も該像担持体
上に残留し運ばれて前記帯電粒子担持体に到達すること
を特徴とする請求項12に記載の電子写真方法。
15. The method according to claim 15, wherein the conductive fine powder adheres to the image carrier in the developing step, remains on the image carrier after the transfer step, and reaches the charged particle carrier. The electrophotographic method according to claim 12, wherein:
【請求項16】 回転する像担持体と、該像担持体の表
面を帯電させる帯電手段と、該像担持体の帯電面に静電
潜像を形成する潜像形成手段と、該像担持体表面にトナ
ーを付着させることにより該静電潜像をトナー像として
現像する現像手段と、該トナー像を記録媒体に転写する
転写手段とを備えた電子写真装置に於いて、前記像担持
体は、導電性基体と、該導電性基体上に少なくとも水素
及びハロゲンのいずれかを含みシリコン原子を母体とす
る非単結晶材料で構成された光導電層と、少なくとも水
素及びハロゲンのいずれかを含み炭素原子を母体とし少
なくともシリコン原子をSi/(Si+C)で0.2原
子%以上20原子%以下含有する非単結晶材料で構成さ
れた表面層とを有し、前記トナーは、少なくとも結着樹
脂及び磁性体を含有するトナー粒子と無機微粉体とを含
み、平均円形度が0.950以上である磁性トナーであ
って、該磁性トナーの79.6kA/mにおける飽和磁
化が10Am2/kg以上50Am2/kg以下であり、
前記帯電手段は、粒径が0.1μm〜10μmである導
電性微粉体を主成分とする帯電粒子と、導電性と弾性を
有した表面を備え、該帯電粒子を表面に担持し、該帯電
粒子を介して該像担持体に接触する帯電粒子担持体とを
有し、該像担持体表面を負極性に帯電し、前記潜像形成
手段は、画像部を露光して電位を減衰させることにより
静電潜像を形成する潜像形成手段であり、転写から帯電
までの間にクリーニング手段が無い事を特徴とする電子
写真装置。
16. A rotating image carrier, charging means for charging the surface of the image carrier, latent image forming means for forming an electrostatic latent image on a charged surface of the image carrier, and the image carrier In an electrophotographic apparatus including a developing unit that develops the electrostatic latent image as a toner image by attaching toner to a surface thereof, and a transfer unit that transfers the toner image to a recording medium, the image carrier is A conductive substrate, a photoconductive layer formed on the conductive substrate of a non-single-crystal material containing at least one of hydrogen and halogen and containing silicon atoms as a host, and a carbon containing at least one of hydrogen and halogen. A surface layer composed of a non-single-crystal material containing at least 0.2 atomic% and not more than 20 atomic% of silicon atoms in Si / (Si + C) based on the atoms, and the toner comprises at least a binder resin and Contains magnetic material A toner having an average circularity of 0.950 or more and a saturation magnetization at 79.6 kA / m of not less than 10 Am 2 / kg and not more than 50 Am 2 / kg. And
The charging unit includes charged particles mainly composed of conductive fine powder having a particle size of 0.1 μm to 10 μm, and a surface having conductivity and elasticity. A charged particle carrier that contacts the image carrier through the particles, the surface of the image carrier is negatively charged, and the latent image forming unit exposes the image area to attenuate the potential. 1. An electrophotographic apparatus comprising: a latent image forming unit that forms an electrostatic latent image by using a cleaning unit between transfer and charging.
【請求項17】 前記像担持体の前記光導電層と前記表
面層の間に、少なくとも水素及びハロゲンのいずれかを
含み、シリコンを主体とし、炭素、酸素、窒素から選ば
れる少なくとも一つ以上の原子を更に含有する非単結晶
材料から成るバッファ層を有することを特徴とする請求
項16に記載の電子写真装置。
17. A method according to claim 1, wherein the photoconductive layer and the surface layer of the image bearing member contain at least one of hydrogen and halogen, are mainly composed of silicon, and are at least one selected from carbon, oxygen and nitrogen. 17. The electrophotographic apparatus according to claim 16, further comprising a buffer layer made of a non-single-crystal material further containing atoms.
【請求項18】 前記表面層が、50〜450MHzの
高周波を用いたプラズマCVD法によって、少なくとも
炭化水素系のガスを分解することによって堆積成膜によ
り形成されることを特徴とする請求項16または17に
記載の電子写真装置。
18. The method according to claim 16, wherein the surface layer is formed by depositing a film by decomposing at least a hydrocarbon-based gas by a plasma CVD method using a high frequency of 50 to 450 MHz. 18. The electrophotographic apparatus according to 17.
【請求項19】 前記帯電手段は、前記帯電粒子を担持
している前記帯電粒子担持体の表面と前記像担持体の表
面が、相対的速度差を有して移動している状態で帯電粒
子を介して像担持体に接触して像担持体を帯電させるこ
とを特徴とする請求項16乃至18のいずれか一項に記
載の電子写真装置。
19. The charging unit according to claim 1, wherein the surface of the charged particle carrier supporting the charged particles and the surface of the image carrier are moving with a relative speed difference. The electrophotographic apparatus according to any one of claims 16 to 18, wherein the image carrier is charged by contacting the image carrier via the image carrier.
【請求項20】 前記帯電手段は、前記帯電粒子担持体
の表面と前記像担持体の表面が互いに逆方向に移動しつ
つ像担持体を帯電させることを特徴とする請求項19に
記載の電子写真装置。
20. The electronic device according to claim 19, wherein the charging unit charges the image carrier while the surface of the charged particle carrier and the surface of the image carrier move in directions opposite to each other. Photo equipment.
【請求項21】 前記帯電手段において、前記帯電粒子
担持体は多孔体表面を有する弾性体で形成されているこ
とを特徴とする請求項16乃至20のいずれか一項に記
載の電子写真装置。
21. The electrophotographic apparatus according to claim 16, wherein in the charging unit, the charged particle carrier is formed of an elastic body having a porous body surface.
【請求項22】 前記帯電粒子担持体は、アスカーC硬
度が50度以下のローラー部材であることを特徴とする
請求項16乃至21のいずれか一項に記載の電子写真装
置。
22. The electrophotographic apparatus according to claim 16, wherein the charged particle carrier is a roller member having an Asker C hardness of 50 degrees or less.
【請求項23】 前記帯電粒子担持体は、アスカーC硬
度が25度以上50度以下のローラー部材であることを
特徴とする請求項16乃至21のいずれか一項に記載の
電子写真装置。
23. The electrophotographic apparatus according to claim 16, wherein the charged particle carrier is a roller member having an Asker C hardness of 25 degrees or more and 50 degrees or less.
【請求項24】 前記帯電粒子担持体は、体積固有抵抗
1×103Ω・cm以上1×108Ω・cm以下のローラ
ー部材であることを特徴とする請求項16乃至23のい
ずれか一項に記載の電子写真装置。
24. The roller according to claim 16, wherein the charged particle carrier is a roller member having a volume resistivity of 1 × 10 3 Ω · cm or more and 1 × 10 8 Ω · cm or less. An electrophotographic apparatus according to the item.
【請求項25】 前記導電性微粉体の抵抗が1×109
Ω・cm以下であることを特徴とする請求項16乃至2
4のいずれか一項に記載の電子写真装置。
25. The conductive fine powder has a resistance of 1 × 10 9.
3. The resistance according to claim 1, wherein the resistance is Ω · cm or less.
5. The electrophotographic apparatus according to claim 4.
【請求項26】 前記導電性微粉体の抵抗が1×10-1
Ω・cm以上1×109Ω・cm以下であることを特徴
とする請求項16乃至24のいずれか一項に記載の電子
写真装置。
26. The resistance of the conductive fine powder is 1 × 10 −1
25. The electrophotographic apparatus according to any one of claims 16 to 24, wherein the resistance is not less than Ω · cm and not more than 1 × 10 9 Ω · cm.
【請求項27】 前記トナーは表面に導電性微粉体を有
することを特徴とする請求項16乃至26のいずれか一
項に記載の電子写真装置。
27. The electrophotographic apparatus according to claim 16, wherein said toner has conductive fine powder on a surface thereof.
【請求項28】 前記トナーは疎水化処理されている無
機微粉体を有することを特徴とする請求項16乃至27
のいずれか一項に記載の電子写真装置。
28. The toner according to claim 16, wherein the toner comprises an inorganic fine powder that has been subjected to a hydrophobic treatment.
The electrophotographic apparatus according to any one of the above.
【請求項29】 前記無機微粉体はシリコーンオイルで
処理されていることを特徴とする請求項16乃至28の
いずれか一項に記載の電子写真装置。
29. An electrophotographic apparatus according to claim 16, wherein said inorganic fine powder is treated with silicone oil.
【請求項30】 前記導電性微粉体が、前記現像手段に
よって前記像担持体に付着し、前記トナー像転写後も該
像担持体上に残留し運ばれて前記帯電粒子担持体に到達
することを特徴とする請求項27に記載の電子写真装
置。
30. The method according to claim 30, wherein the conductive fine powder adheres to the image carrier by the developing means, remains on the image carrier after the toner image is transferred, and reaches the charged particle carrier. The electrophotographic apparatus according to claim 27, wherein:
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006047367A (en) * 2004-07-30 2006-02-16 Kyocera Mita Corp Magnetic toner
JP2009036932A (en) * 2007-07-31 2009-02-19 Kyocera Corp Electrophotographic photoreceptor, and image forming apparatus equipped therewith
JP2010049246A (en) * 2008-07-25 2010-03-04 Canon Inc Image forming method and image forming apparatus
JP2010049241A (en) * 2008-07-25 2010-03-04 Canon Inc Electrophotographic photoreceptor and electrophotographic equipment
JP2011133864A (en) * 2009-11-26 2011-07-07 Canon Inc Electrophotographic photoreceptor and electrophotographic device
JP2013011916A (en) * 2008-07-25 2013-01-17 Canon Inc Electrophotographic photoreceptor and electrophotographic apparatus

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006047367A (en) * 2004-07-30 2006-02-16 Kyocera Mita Corp Magnetic toner
JP2009036932A (en) * 2007-07-31 2009-02-19 Kyocera Corp Electrophotographic photoreceptor, and image forming apparatus equipped therewith
JP2010049246A (en) * 2008-07-25 2010-03-04 Canon Inc Image forming method and image forming apparatus
JP2010049241A (en) * 2008-07-25 2010-03-04 Canon Inc Electrophotographic photoreceptor and electrophotographic equipment
JP4580028B2 (en) * 2008-07-25 2010-11-10 キヤノン株式会社 Image forming method and image forming apparatus
US8323862B2 (en) 2008-07-25 2012-12-04 Canon Kabushiki Kaisha Electrophotographic photosensitive member and electrophotographic apparatus
JP2013011916A (en) * 2008-07-25 2013-01-17 Canon Inc Electrophotographic photoreceptor and electrophotographic apparatus
US8685611B2 (en) 2008-07-25 2014-04-01 Canon Kabushiki Kaisha Electrophotographic photosensitive member and electrophotographic apparatus
JP2011133864A (en) * 2009-11-26 2011-07-07 Canon Inc Electrophotographic photoreceptor and electrophotographic device

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