JP2002276612A - 水平維持装置 - Google Patents

水平維持装置

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JP2002276612A
JP2002276612A JP2001080533A JP2001080533A JP2002276612A JP 2002276612 A JP2002276612 A JP 2002276612A JP 2001080533 A JP2001080533 A JP 2001080533A JP 2001080533 A JP2001080533 A JP 2001080533A JP 2002276612 A JP2002276612 A JP 2002276612A
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JP2001080533A
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Haruhisa Takatani
晴久 高谷
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TAKATANI ENGINEERING KK
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TAKATANI ENGINEERING KK
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 精密で高価なサーボ弁を使用することなく、
複雑な電気的な制御も不要で、油圧シリンダによりテー
ブルの水平維持を行える水平維持装置を提供する。 【構成】 テーブル102の傾斜とロータリ制御弁50
の入力軸14に垂下させた錘6の関係でインナーロータ
12を回転させ、圧油の供給、排出を切替え、これによ
ってロータリ制御弁50の出力軸13の回転を追従さ
せ、油圧シリンダ2のロッド3を進退させ、テーブル1
02の傾きを水平にする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、テーブル等の水平維持
装置に関し、特に油圧シリンダ等の油圧アクチュエータ
及び3方向切替型ロータリ制御弁を用いたものに関す
る。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】水平昇
降機構を用いた水平維持装置に関し、一般的には機械的
に行うパンタグラフ式と油圧同調方式が最も簡便でかつ
普及している。パンタグラフ式は、図1に示すようにリ
ンク機構101とその駆動装置である油圧シリンダ10
2を用いてテーブル103を水平に昇降させるので、最
も単純で再現性があるが、テーブル103があまり広い
場合、大きい場合、重い場合にはリンク機構101の剛
性や油圧シリンダ102の負荷を考慮すると不向きであ
る。なお図中104はベースプレートを示す。
【0003】油圧同調方式は、基本的には図2に示すよ
うに一対以上の油圧シリンダ105・・・を用い、それ
ぞれの油圧シリンダ105の分担負荷に対応させて可変
絞り106、106を調節し、油圧シリンダ105の作
動を同一に行わせようとする方式である。ところが同一
負荷条件で油温一定の場合でも、作動開始から長時間経
過すると、油圧シリンダ105相互間に速度変化が生じ
る。これは、弁を通過する油量が弁上流側と弁下流側の
圧力差の平方根に比例するという原理を近似しようとし
ているところに無理があるためで、簡便ではあっても実
際の水平昇降装置としては問題がある。
【0004】積極的な制御による方式には図3に示すよ
うなものがある。アクチュエータ107、107には電
気油圧式サーボ弁アクチュエータ、ボールネジサーボモ
ータを用い、位置決めセンサ108、108を用いてテ
ーブル103の位置をフィードバックして制御する方法
である。この方式は、最も正確で再現性があり、負荷変
動に関係なく(ただし、アクチュエータ7の負荷容量が
十分大きいことが必要)、平行に上下することが可能で
ある。しかしながら、この方式では、油圧サーボ弁を用
いる場合にはその本来の能力を引き出すための製造上の
配慮が必要であり、サーボモータを用いる場合には耐環
境性に問題があり、さらに、いずれにしても高価とな
り、運用に熟練技術者が必要になるという問題がある。
【0005】いずれにしても、矩形等の形状を有するテ
ーブルを設置面の凹凸にかかわらず水平にバランスさせ
る技術は非常に困難と考えられている。2本の油圧シリ
ンダだけの作用ではなく、4本の油圧シリンダで水平を
取ろうとしてその中の1本に修正を加えてテーブル10
3を傾けた場合、図4に示すように、少なくともその油
圧シリンダに近い2本にも影響が及ぶことになり、その
補正を全ての状態で最適に制御できないからである。図
4の上向きの矢印109、109a、109bは油圧シ
リンダの動作を示す。
【0006】なお本明細書では、「テーブル」には、テ
ーブル等の板状のものだけでなく、立体的形状の、例え
ば車両、機器、飛行機等々水平昇降の対象となるすべて
のものを含む。
【0007】本発明はこのような従来の問題点にかんが
みてなしたもので、精密で高価なサーボ弁を使用するこ
となく、複雑な電気的な制御も不要で、油圧シリンダに
よりテーブルの水平維持を行える水平維持装置を提供す
ることを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
水平維持装置は、上記目的を達成するために、テーブル
を水平に支持するための水平維持装置であって、上記テ
ーブル下面に進退動部の上端を上下方向で回転可能に軸
支する少なくとも2個の油圧アクチュエータと、これら
油圧アクチュエータの少なくとも一方に対応させて上記
テーブル下面に取り付ける3方向切替型ロータリ制御弁
と、上記油圧アクチュエータを軸支する支持軸と上記3
方向切替型ロータリ制御弁の入力軸との間を上記テーブ
ルの傾斜と上記3方向切替型ロータリ制御弁の入力軸と
を対応動作させるために連結する伝動手段とからなり、
上記支持軸の上記テーブルに対する回転方向位置を固定
とし、上記支持軸と上記3方向切替型ロータリ制御弁の
入出力軸とを平行に配置し、上記テーブルの傾斜に伴う
上記支持軸の回転方向位置変化を上記3方向切替型ロー
タリ制御弁の入力軸に伝え、上記3方向切替型ロータリ
制御弁の出力軸を追従回転させ、上記油圧アクチュエー
タへの圧油の供給、排出を制御することを特徴とする。
【0009】同請求項2に係る水平維持装置は、上記目
的を達成するために、請求項1の水平維持装置におい
て、上記伝動手段が、上記3方向切替型ロータリ制御弁
の入力軸から垂下した錘であることを特徴とする。
【0010】同請求項3に係る水平維持装置は、上記目
的を達成するために、請求項1の水平維持装置におい
て、上記伝動手段が、上記油圧アクチュエータの支持軸
と上記3方向切替型ロータリ制御弁の入力軸とに互いに
噛み合うように設けた歯車列であることを特徴とする。
【0011】同請求項4に係る水平維持装置は、上記目
的を達成するために、請求項1の水平維持装置におい
て、上記伝動手段が、上記3方向切替型ロータリ制御弁
の入力軸から垂下した錘と、上記油圧アクチュエータの
支持軸と上記3方向切替型ロータリ制御弁の入力軸とに
互いに噛み合うように設けた歯車列からなることを特徴
とする。
【0012】同請求項5に係る水平維持装置は、上記目
的を達成するために、請求項1ないし4のいずれかの水
平維持装置において、3方向切替型ロータリ制御弁の出
力軸に、該出力軸を回転駆動する手段を連結してなるこ
とを特徴とする。
【0013】本発明の請求項6に係る水平維持装置は、
上記目的を達成するために、請求項1ないし5のいずれ
かの水平維持装置において、上記3方向切替型ロータリ
制御弁が、中空円筒状で内腔を有するとともに隣接位置
する圧油制御ポート、圧油送入出ポート及びタンクポー
トを備えたケーシングと、圧油制御ポート用環状溝、圧
油送入出ポート用環状溝及びタンクポート用環状溝を上
記ケーシングの各ポートと対応する外周面位置に備え上
記ケーシング内に摺接嵌合する中空円筒形のアウターロ
ータと、上記圧油用油路口とタンク用油路口とに対応す
る位置に設けた切替用環状溝、上記圧油送入出ポート用
環状溝と対応する位置に設けた制御用環状溝、上記切替
用環状溝と制御用環状溝を連結する連結溝及び上記連結
用油路口の開口形状と同一形状を有し上記連結用油路口
及びそれらの中間位置で上記切替用環状溝を分断するラ
ンド部を有し上記アウターロータ内に摺接嵌合する円筒
形のインナーロータとからなり、かつ上記両ロータがそ
れぞれ外方へ突出する軸を同軸に備え、これら軸の一方
が上記入力軸、他方が上記出力軸であることを特徴とす
る。
【0014】本発明の請求項7に係る水平維持装置は、
上記目的を達成するために、請求項1ないし6のいずれ
かの水平維持装置において、上記油圧アクチュエータの
支持軸と上記3方向切替型ロータリ制御弁の入力軸とを
一線上に配してなることを特徴とする。
【0015】本発明の請求項8に係る水平維持装置は、
上記目的を達成するために、請求項1ないし7のいずれ
かの水平維持装置において、上記テーブルの交差する2
本の対角線または該対角線に近接する2本の線上それぞ
れに上記油圧アクチュエータを一対ずつ上記テーブルの
外周縁近傍に近づけて対向配置してなることを特徴とす
る。
【0016】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。なお以下では従来と共通する部分に
は共通する符号を付して説明する。図5は、本発明に係
る水平維持装置の一実施形態を示す斜視図である。本実
施形態装置は、テーブル103の2本の対角線110、
110に対応させ、かつテーブル103の四隅近傍で、
テーブル103を2対の支持装置120・・・により支
持し、テーブル103の傾きを水平に修正できるように
してある。組になっている支持装置120同士は、対向
するように設けてある。
【0017】図6は支持装置120を示す斜視図
(A)、油圧制御系統図(B)、及び概念的側面断面図
(C)である。なお図6(C)は、図5のテーブル10
3の対角線に沿うものである。この支持装置120は、
トッププレート1の下部に油圧シリンダ2のロッド3先
端を一つの軸4の周りで回動可能に軸支し、同じくトッ
ププレート1の下部に3方向切替型のロータリ制御弁5
0を固定して構成してある。また軸4には適宜の剛体部
材を介して錘6を垂下させるとともに、電磁ブレーキ7
を取り付け、出力軸13にはトルクモータ9を取り付け
てある。軸4には錘6の揺動に伴って軸4の軸周りで回
動する歯車4aが取り付けてあり、後述するように3方
向切替型のロータリ制御弁50の入力軸14に取り付け
た歯車14aと噛み合っている。両歯車4a、14aの
噛み合いは、歯車14aが噛み合い回転によって増速さ
れるようにして、制御感度を増幅させている。図中5は
ストッパ、8はリミットスイッチである。これらストッ
パ5、電磁ブレーキ7、リミットスイッチ8はロータリ
制御弁50の後述する入、出力軸の回転範囲の限定や回
転止めとするものである。錘6は、後述するようにテー
ブル103の傾斜と3方向切替型ロータリ制御弁50の
入力軸14とを対応動作させるために連結する伝動手段
となる。錘6と入力軸14との取り付けには、剛体部材
ではなくひも等の柔らかい部材を用いることもできる
が、その場合、連結箇所は入力軸14に対して回転トル
クを与え得るように取り付ける必要がある。
【0018】図7は、本実施形態に用いた3方向切替型
のロータリ制御弁50の組立断面図、図8はロータリ制
御弁50を構成するアウターロータとインナーロータを
示す分解斜視図である。また図9は、3方向切替型のロ
ータリ制御弁50と油圧シリンダ2の連通接続形態を示
す概念図である。
【0019】まずロータリ制御弁50の構造を説明す
る。このロータリー制御弁50は、ケーシング10内に
アウターロータ11を回転自在にして嵌合し、さらにア
ウターロータ11内にインナーロータ12を回転自在に
嵌合して構成したもので、アウターロータ11は出力軸
13を、インナーロータ12は入力軸14を備える。た
だし、入出力はこの逆であってもよいし、各支持軸に他
の軸を連結してこれを介して入出力する構成としてもよ
い。図では、アウターロータ11の一端にボルト止めし
た出力軸13には、ケーシング10にボルト止めしたカ
バー15aを貫通させてトルクモータ9の出力軸9aの
端部を機械的に連結固定し、カバー15bから外側へ突
出するインナーロータ12の入力軸14には錘6等を連
結し(図7では図示を省略)、両軸5、8それぞれをカバ
ー15a、15bの内側に設けたベアリング16、16
により支持してある。
【0020】ケーシング10は、内部に中空円筒部17
を有し、圧油制御ポートP、タンクポートT及びコント
ロールポートCを形成してある。そして図7に示すよう
に、圧油制御ポートPは室A1に連通させてあり、コン
トロールポートCは室A2に連通させてある。
【0021】アウターロータ11は、ケーシング10の
中空円筒部17の内周面に外周面を摺接させて嵌合し、
ケーシング10の各ポートP、T、Cと対応する位置に
3本の環状溝20、21、22を備えている。これらの
環状溝20、21、22のうち、圧油送入出ポート用環
状溝21には中空円筒部17内へ貫通する一対の連結用
油路口23、23が径方向で対向させて形成してある。
また圧油制御ポート用環状溝20とタンクポート用環状
溝22にはそれぞれ4個の圧油用油路口24とタンク用
油路口25が設けてある。これら油路口24、25も中
空円筒部17内へ貫通している。図10はこれらの配置
態様を示すアウターロータ11の内面の展開図である。
【0022】またインナーロータ12は、連結用油路口
23、23に対応する位置に設けた切替用環状溝26
と、これを挟んで圧油制御ポート用環状溝20とタンク
ポート用環状溝22に対応する位置に設けた制御用環状
溝27、28とを有し、切替用環状溝26は、表面がラ
ンド部を形成する四つの隔壁ピン29・・・により四分
割してあり、その分割部分である制御溝部26a、26
b、26c、26dは、連結溝30、31により交互に
制御用環状溝27、28に連結してある。図11はこれ
らの配置態様を示すインナーロータ12の外面の展開図
である。
【0023】図12に示すように、隔壁ピン29の直径
W1は切替用環状溝26の幅W2よりも大きく、かつア
ウターロータ11の連結用油路口23の開口径と等しく
してある。このため切替用環状溝26と連結用油路口2
3との間には、アウターロータ11とインナーロータ1
2との相対回転角度差によって、図13に示すように角
度差に比例する面積の開口部分Xが生じるようになって
いる。隔壁ピン29は、例えば丸棒材を切替用環状溝2
6に打ち込み、頂部表面をインナーロータ12の表面に
沿うように円筒研磨して形成するが、その他の手段によ
ってもよいことはもちろんである。
【0024】以上のように構成した水平維持装置用の支
持装置120の動作を説明する。まずアウターロータ1
1の連結用油路口23の内周面側をインナーロータ12
の隔壁ピン29により塞ぎ、図示せぬ油圧源からの圧油
が圧油制御ポートPと油圧シリンダ2の一方の室A1に
供給されており、トッププレート1が水平を保っている
状態を初期状態とし、トッププレート1が何らかの原因
で回動して傾斜したとする。トッププレート1が傾斜す
ると、それに伴って錘6も回転し、トッププレート1の
傾斜角度に対応した角度だけロータリ制御弁50の入力
軸14も回転する。すると、アウターロータ11の連結
用油路口23とインナーロータ12の隔壁ピン29との
位置がずれて、図11に示すように連結用油路口23が
インナーロータ12の制御溝部26a、26cに対して
開口する。
【0025】圧油制御ポートPから供給されている圧油
は、アウターロータ11の圧油制御ポート用環状溝2
0、圧油用油路口24を通り、インナーロータ12の制
御用環状溝27に入り、連結溝30を介して制御溝部2
6a、26cに入り、連結用油路口23からアウターロ
ータ11の圧油送入出ポート用環状溝21へ入り、コン
トロールポートCから油圧シリンダ2の他方の室A2に
供給され、これによって油圧シリンダ2のピストン4が
図中左方向へ移動するように駆動する。
【0026】上述のようなインナーロータ12の回転動
作に対し何らかの手段によって出力軸13を介してアウ
ターロータ11へピストン4の移動量に応じたフィード
バックが掛かるようにすると、アウターロータ11はイ
ンナーロータ12の回転に追従する。
【0027】一方、インナーロータ12を回転させたと
きに、連結用油路口23がインナーロータ12の制御溝
部26b、26dに対して開口したとすると、制御溝部
26a、26cが連結用油路口23に対してブロックさ
れることから、圧油制御ポートPとコントロールポート
Cの間が遮断され、コントロールポートCとタンクポー
トTが連通する。即ち、油圧シリンダ2の他方の室A2
からの戻りの圧油は、圧油戻りポートAから圧油送入出
ポート用環状溝21、連結用油路口23、制御溝部26
b、26d、連結溝31を介して制御用環状溝28、タ
ンク用油路口25、タンクポート用環状溝22、タンク
ポートTを通りタンク54へ排出される。すると油圧シ
リンダ2の他方の室A2内の圧力が低下するため、一方
の室A1の内圧によりピストン4は図3中右方へ移動す
る。これによってアウターロータ11にフィードバック
が掛かり、アウターロータ11はインナーロータ12の
回転に追従する。
【0028】このような圧油の供給、排出動作におい
て、インナーロータ12の回転量と油圧アクチュエータ
の作動量とをほぼリニアな関係にすることができる。即
ち、インナーロータ12を回転させると連結用油路口2
3が切替用環状溝26に対してインナーロータ12の回
転角度に比例して開口するが、上述のように開口部分X
の面積はインナーロータ12の回動量に応じて近似的に
リニヤに変化するように形成することが容易に可能であ
り、またアウターロータ11がインナーロータ12の回
転に追従し、隔壁ピン29が所定の遅れをもって開口部
分Xを塞いで圧油の供給、排出を停止させる方向に動く
ようにすれば、油圧シリンダ2はインナーローラ12の
回転に対応する分だけ駆動されることになる。もちろ
ん、以上の説明とは逆にアウターロータ11を駆動側、
インナーロータ12を被駆動側としても同様の結果が得
られる。
【0029】図14は、図5に示した本発明の実施形態
装置の制御系統図である。4つの支持装置120に対す
る圧油の供給ライン、排出ライン、操作パネル130、
マスターコントローラ140からのトルクモータ9への
制御系統を示している。
【0030】ここで本実施形態装置の全体動作を説明す
る。例えば図15(A)に示すように、本発明の実施形
態装置を段差のある地面の上に置き、さらにテーブル1
03が図示のように傾いていたとする(図では一対の支
持装置120、120の関係のみを示す。)。この状態
で図15の右側の支持装置120をマスターに、左側を
スレーブにして制御する。なお各支持装置120は、ト
ッププレート1が水平で、ロータリ制御弁50の全ポー
トが閉となるように予めセットし、そのようにした状態
でトッププレート1をテーブル103に取り付けたもの
とする。
【0031】このような状態で地面の上に置き、そこで
ロータリ制御弁50のロックを外すと、トッププレート
1がテーブル103の傾きに沿って傾斜しているのでロ
ータリ制御弁50全体が傾き、錘6は常に鉛直方向に垂
れ下がろうとして図中右回り方向へ回動しようとし、イ
ンナーロータ12は慣性により初期設置状態を保とうと
するが、錘6の動きに伴って歯車4aが右回りに回転
し、これと噛み合っているロータリ制御弁50側の歯車
14aは左周りに回転しようとする。すると上述のよう
にロータリ制御弁50内でのアウターロータ11とイン
ナーロータ12の位置ずれによってポート開状態とな
り、スレーブ側の支持装置120の油圧シリンダ2に対
して圧油供給が行われ、そのロッド3が上昇する。この
動作は各支持装置120において行われ、テーブル10
3が水平になり、トッププレート1も水平になって、錘
6の垂下方向とテーブル103のなす面に対する垂線と
が一致するまで、すなわと図15(B)の状態になるま
で繰り返される。これを各支持装置120に関して行え
ばよい。
【0032】また必要に応じてマスターとなる支持装置
120を定め、マスターコントローラ140からマスタ
ーとなる支持装置120のトルクモータ9に対して油圧
シリンダ2のロッド3を伸ばしあるいは縮めるように指
令し、ロッド3が上昇あるいは下降するようにロータリ
制御弁50のアウターロータ11をわずかな角度だけ回
転駆動する。すると、上述のようにロータリ制御弁50
内でのアウターロータ11とインナーロータ12の位置
ずれによってポート開状態となり、マスター側の支持装
置120の油圧シリンダ2に対して圧油供給が行われ、
そのロッド3が上昇する。なお図示の実施形態の場合は
出力軸13への駆動力の印加となるが、既述のようにロ
ータリ制御弁50はどちらが入力でも構わない。これに
対し、スレーブ側の支持装置120の油圧シリンダ2は
遅れをもって動作し、テーブル103が水平状態に至る
まで上記と同様の動作を行う。
【0033】そしてテーブル103が水平状態になる
と、錘6の垂下方向とテーブル103のなす面に対する
垂線とが一致し、ロータリ制御弁50の全ポートが閉状
態となり、スレーブ側の支持装置120における油圧シ
リンダ2のロッド3の上昇も停止し、テーブル103は
水平になる。この動作は、テーブル103の高さ位置を
変更する場合や、テーブル103を揺動させたい場合な
どに行わせるとよい。
【0034】すなわち図示の実施形態のように、一つの
支持装置120をマスターとし、他の三つの支持装置1
20・・をスレーブとして上記と同じ動作を行わせる
と、サーボ弁や複雑な電気的制御を用いずに、油圧シリ
ンダ2の動作によってテーブル103の水平維持を簡単
に行える。もちろん、どの支持装置120をマスターと
するかは任意である。
【0035】さらにマスターコントローラ140からマ
スターとなる支持装置120のトルクモータ9に対して
所定の一まで油圧シリンダ2のロッド3を伸ばしあるい
は縮めるように指令し、適宜の検出手段によりロッド3
の上昇位置あるいは下降位置が目標位置に到達したこと
が検出し、マスターコントローラ140からの指令によ
り停止させ、それにスレーブ側の支持装置120の動作
を対応させるように制御することも可能である。
【0036】なお、例えばロッド3の軸4と3方向切替
型ロータリ制御弁50の入力軸14の連結には歯車機構
以外の機構を用いても構わない。ベルトを用いた伝動手
段も採用できる。もちろん錘6を使用すれば、錘6が水
平センサとして働くので多くの場合に便利である。また
ロータリ制御弁50の出力軸13と入力軸14が油圧シ
リンダ2の支持軸と同軸となるように構成してもよい。
さらに支持装置120の数等も上記実施形態に限定され
ない。さらに、例えば飛行機等を支持する場合には、機
首1点と翼2点等の3点支持になるが、やはり本発明を
上述のように実施できる。もちろん支持点数が図示の実
施形態よりもさらに多くても構わない。もちろん支持装
置120の構成各部の上下方向での揺動動作が妨げられな
いように各支持装置120・・・を設置することが条件と
なる。
【0037】
【発明の効果】本発明に係る水平維持装置は以上説明し
てきたようなものなので、従来のように精密で高価なサ
ーボ弁を使用したり、複雑な電気的な制御を採用したり
することなく、3方向切替型ロータリ制御弁と油圧シリ
ンダとの協調動作によりテーブルの水平維持を簡単に行
えるという大きな効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】パンタグラフ式の水平昇降機構を用いた従来の
水平維持装置を示す概念図である。
【図2】油圧同調方式による水平昇降機構を用いた従来
の水平維持装置を示す概念図である。
【図3】電気油圧式サーボ弁等による水平昇降機構を用
いた従来の水平維持装置を示す概念図である。
【図4】テーブルの水平維持について示す斜視図であ
る。
【図5】本発明に係る水平維持装置の一実施形態を示す
斜視図である。
【図6】図5の装置の支持装置を示す斜視図(A)、油
圧制御系統図(B)、及び概念的側面図(C)である。
【図7】本実施形態に用いた3方向切替型のロータリ制
御弁の組立断面図である。
【図8】ロータリ制御弁を構成するアウターロータとイ
ンナーロータを示す分解斜視図である。
【図9】3方向切替型のロータリ制御弁と油圧シリンダ
の連通接続形態を示す概念図である。
【図10】アウターロータの側壁面の展開図である。
【図11】インナーロータの側壁面の展開図である。
【図12】切替用環状溝と隔壁ピンとの寸法関係を示す
平面図である。
【図13】隔壁ピンによる油路口の開口制御状態を示す
平面図である。
【図14】本発明の実施形態装置の制御系統図である。
【図15】本実施形態装置の全体動作を説明するための
概念的側面図である。
【符号の説明】
1 トッププレート 2 油圧シリンダ 3 油圧シリンダのロッド 4 軸 4a 歯車 5 ストッパ 6 錘 7 電磁ブレーキ 8 圧力スイッチ 9 トルクモータ 10 ケーシング 11 アウターロータ 12 インナーロータ 13 出力軸 14 入力軸 14a 歯車 20 圧油制御ポート用環状溝 21 圧油送入出ポート用環状溝 22 タンクポート用環状溝 23 連結用油路口 24 圧油用油路口 25 タンク用油路口 26 切替用環状溝 27、28 制御用環状溝 29 隔壁ピン 30、31 連結溝 50 ロータリ制御弁 103 テーブル 120 支持装置 A1、A2 ピストンロッドの室 P 圧油制御ポート Ps 圧油の供給圧力と室A1の内圧 Pl 室A2の内圧 T タンクポート C コントロールポート

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 テーブルを水平に支持するための水平維
    持装置であって、上記テーブル下面に進退動部の上端を
    上下方向で回転可能に軸支する少なくとも2個の油圧ア
    クチュエータと、これら油圧アクチュエータの少なくと
    も一方に対応させて上記テーブル下面に取り付ける3方
    向切替型ロータリ制御弁と、上記油圧アクチュエータを
    軸支する支持軸と上記3方向切替型ロータリ制御弁の入
    力軸との間を上記テーブルの傾斜と上記3方向切替型ロ
    ータリ制御弁の入力軸とを対応動作させるために連結す
    る伝動手段とからなり、上記支持軸の上記テーブルに対
    する回転方向位置を固定とし、上記支持軸と上記3方向
    切替型ロータリ制御弁の入出力軸とを平行に配置し、上
    記テーブルの傾斜に伴う上記支持軸の回転方向位置変化
    を上記3方向切替型ロータリ制御弁の入力軸に伝え、上
    記3方向切替型ロータリ制御弁の出力軸を追従回転さ
    せ、上記油圧アクチュエータへの圧油の供給、排出を制
    御することを特徴とする水平維持装置。
  2. 【請求項2】 請求項1の水平維持装置において、上記
    伝動手段が、上記3方向切替型ロータリ制御弁の入力軸
    から垂下した錘であることを特徴とする水平維持装置。
  3. 【請求項3】 請求項1の水平維持装置において、上記
    伝動手段が、上記油圧アクチュエータの支持軸と上記3
    方向切替型ロータリ制御弁の入力軸とに互いに噛み合う
    ように設けた歯車列であることを特徴とする水平維持装
    置。
  4. 【請求項4】 請求項1の水平維持装置において、上記
    伝動手段が、上記3方向切替型ロータリ制御弁の入力軸
    から垂下した錘と、上記油圧アクチュエータの支持軸と
    上記3方向切替型ロータリ制御弁の入力軸とに互いに噛
    み合うように設けた歯車列からなることを特徴とする水
    平維持装置。
  5. 【請求項5】 請求項1ないし4のいずれかの水平維持
    装置において、3方向切替型ロータリ制御弁の出力軸
    に、該出力軸を回転駆動する手段を連結してなることを
    特徴とする水平維持装置。
  6. 【請求項6】 請求項1ないし5のいずれかの水平維持
    装置において、上記3方向切替型ロータリ制御弁が、中
    空円筒状で内腔を有するとともに隣接位置する圧油制御
    ポート、圧油送入出ポート及びタンクポートを備えたケ
    ーシングと、圧油制御ポート用環状溝、圧油送入出ポー
    ト用環状溝及びタンクポート用環状溝を上記ケーシング
    の各ポートと対応する外周面位置に備え上記ケーシング
    内に摺接嵌合する中空円筒形のアウターロータと、上記
    圧油用油路口とタンク用油路口とに対応する位置に設け
    た切替用環状溝、上記圧油送入出ポート用環状溝と対応
    する位置に設けた制御用環状溝、上記切替用環状溝と制
    御用環状溝を連結する連結溝及び上記連結用油路口の開
    口形状と同一形状を有し上記連結用油路口及びそれらの
    中間位置で上記切替用環状溝を分断するランド部を有し
    上記アウターロータ内に摺接嵌合する円筒形のインナー
    ロータとからなり、かつ上記両ロータがそれぞれ外方へ
    突出する軸を同軸に備え、これら軸の一方が上記入力
    軸、他方が上記出力軸であることを特徴とする水平維持
    装置。
  7. 【請求項7】 請求項1ないし6のいずれかの水平維持
    装置において、上記油圧アクチュエータの支持軸と上記
    3方向切替型ロータリ制御弁の入力軸とを一線上に配し
    てなることを特徴とする水平維持装置。
  8. 【請求項8】 請求項1ないし7のいずれかの水平維持
    装置において、上記テーブルの交差する2本の対角線ま
    たは該対角線に近接する2本の線上それぞれに上記油圧
    アクチュエータを一対ずつ上記テーブルの外周縁近傍に
    近づけて対向配置してなることを特徴とする水平維持装
    置。
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