JP2002265204A - オゾン発生装置およびその取扱い方法 - Google Patents
オゾン発生装置およびその取扱い方法Info
- Publication number
- JP2002265204A JP2002265204A JP2001063464A JP2001063464A JP2002265204A JP 2002265204 A JP2002265204 A JP 2002265204A JP 2001063464 A JP2001063464 A JP 2001063464A JP 2001063464 A JP2001063464 A JP 2001063464A JP 2002265204 A JP2002265204 A JP 2002265204A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- tank
- temperature
- ozone
- ozone generator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】オゾン発生装置で、原料ガスに窒素ガスを混合
した場合に、タンク内に硝酸等の有害物質の発生や、オ
ゾン発生装置の腐食を防止する。 【解決手段】原料ガスを導入するタンク１と、このタン
ク１内にあって原料ガス内で放電を起こしてオゾンを発
生させる放電部２と、を有するオゾン発生装置におい
て、放電が生じているときに放電部２を冷却する冷却流
体系統４と、タンク１内部の温度をＮ２Ｏ５が固化する
温度よりも高い温度にするための加熱流体系統７と、冷
却流体系統４および加熱流体系統７を切り換える切り換
え手段８と、を有する。
した場合に、タンク内に硝酸等の有害物質の発生や、オ
ゾン発生装置の腐食を防止する。 【解決手段】原料ガスを導入するタンク１と、このタン
ク１内にあって原料ガス内で放電を起こしてオゾンを発
生させる放電部２と、を有するオゾン発生装置におい
て、放電が生じているときに放電部２を冷却する冷却流
体系統４と、タンク１内部の温度をＮ２Ｏ５が固化する
温度よりも高い温度にするための加熱流体系統７と、冷
却流体系統４および加熱流体系統７を切り換える切り換
え手段８と、を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、沿面放電により空
気や酸素等の原料ガスからオゾンを発生させるオゾン発
生装置およびその取扱い方法に関する。
気や酸素等の原料ガスからオゾンを発生させるオゾン発
生装置およびその取扱い方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、上下水道の殺菌、脱水、脱
臭、工業排水処理の脱臭、脱色、パルプ漂白、および医
療機器の殺菌等を行うためにオゾンが用いられている
が、このようなオゾンを発生させる手段としてオゾン発
生ユニットとオゾンユニットに周辺機器を具備したオゾ
ン発生装置が設けられている。特に近年水源の汚濁に伴
う富栄養化に基づく水問題、難分解性物質の混入が懸念
され、例えば２−メチルイソボルネオール、ジオスミン
等に関わる臭気成分、トリハロメタンやトリクロロエチ
レン等の揮発性有機塩素化合物、抱水クロラール等の非
揮発性物質による水道汚染に象徴される微量レベルの有
機物に対処しなければならないケースが増えており、オ
ゾンを用いた高度な処理が求められるようになってい
る。
臭、工業排水処理の脱臭、脱色、パルプ漂白、および医
療機器の殺菌等を行うためにオゾンが用いられている
が、このようなオゾンを発生させる手段としてオゾン発
生ユニットとオゾンユニットに周辺機器を具備したオゾ
ン発生装置が設けられている。特に近年水源の汚濁に伴
う富栄養化に基づく水問題、難分解性物質の混入が懸念
され、例えば２−メチルイソボルネオール、ジオスミン
等に関わる臭気成分、トリハロメタンやトリクロロエチ
レン等の揮発性有機塩素化合物、抱水クロラール等の非
揮発性物質による水道汚染に象徴される微量レベルの有
機物に対処しなければならないケースが増えており、オ
ゾンを用いた高度な処理が求められるようになってい
る。
【０００３】上述したような用途に用いられるオゾン発
生ユニットは、対向電極間で無声放電させオゾンを発生
させるものと、沿面電極間で放電させ、オゾンを発生さ
せるものが一般的である。
生ユニットは、対向電極間で無声放電させオゾンを発生
させるものと、沿面電極間で放電させ、オゾンを発生さ
せるものが一般的である。
【０００４】ここでは、対向電極間で無声放電を用いた
従来例を説明する。図４は、一般的な放電オゾン発生ユ
ニットの放電部の構成を示す平面構成図である。また、
図５は図４の立断面構成図である。図４、図５に示すよ
うに、この種の放電オゾン発生ユニットは、二つの冷却
体３の向かい合った面に電極板１１ａ、１１ｂを取り付
ける。この電極板１１ａ、１１ｂの距離は一定に保たれ
ており、電極２を構成する。また片方の電極板１１ｂ
の、他方の電極１１ａへ対向する面には誘電材１９が取
り付けられており、放電空間２０を形成している。電極
板１１ａ、１１ｂの端部それぞれに高電圧を印加するた
めの給電部１６ａ、１６ｂが設けられている。
従来例を説明する。図４は、一般的な放電オゾン発生ユ
ニットの放電部の構成を示す平面構成図である。また、
図５は図４の立断面構成図である。図４、図５に示すよ
うに、この種の放電オゾン発生ユニットは、二つの冷却
体３の向かい合った面に電極板１１ａ、１１ｂを取り付
ける。この電極板１１ａ、１１ｂの距離は一定に保たれ
ており、電極２を構成する。また片方の電極板１１ｂ
の、他方の電極１１ａへ対向する面には誘電材１９が取
り付けられており、放電空間２０を形成している。電極
板１１ａ、１１ｂの端部それぞれに高電圧を印加するた
めの給電部１６ａ、１６ｂが設けられている。
【０００５】また原料ガス１２の供給口１３とオゾンの
排出口１４、および放電空間２０を通過する前後の原料
ガス１２を分ける仕切り板２９が設けられており、供給
口１３から供給された原料ガス１２が放電空間２０を通
過して排出口１４へ流れるようになっている。
排出口１４、および放電空間２０を通過する前後の原料
ガス１２を分ける仕切り板２９が設けられており、供給
口１３から供給された原料ガス１２が放電空間２０を通
過して排出口１４へ流れるようになっている。
【０００６】このように構成された放電オゾン発生ユニ
ットにおいて、電極２はタンク１に収納され、タンク１
外の原料ガス供装置６からタンク１内に原料ガスが１２
供給され、タンク１内に充満したガスは、電極２の供給
口１３から放電空間２０に導かれる。給電部１６ａ、１
６ｂ間にタンク１外の電源１５から高電圧が印加され
て、電極板１１ａ、１１ｂで放電が生じる。供給された
原料ガス１２が放電空間２０を通過するときにオゾンと
なり、このオゾンが排出口１４から取り出され、オゾン
排出管２６でタンク外まで導かれる。
ットにおいて、電極２はタンク１に収納され、タンク１
外の原料ガス供装置６からタンク１内に原料ガスが１２
供給され、タンク１内に充満したガスは、電極２の供給
口１３から放電空間２０に導かれる。給電部１６ａ、１
６ｂ間にタンク１外の電源１５から高電圧が印加され
て、電極板１１ａ、１１ｂで放電が生じる。供給された
原料ガス１２が放電空間２０を通過するときにオゾンと
なり、このオゾンが排出口１４から取り出され、オゾン
排出管２６でタンク外まで導かれる。
【０００７】このとき、放電により発生する熱を冷却す
るために、冷却体３の内部に設けられた冷却水室２３に
タンク１外の冷却水循環装置４から冷却水２４が所定の
流量で入口ポート２１から供給され、出口ポート２２か
ら排出されて循環されている。
るために、冷却体３の内部に設けられた冷却水室２３に
タンク１外の冷却水循環装置４から冷却水２４が所定の
流量で入口ポート２１から供給され、出口ポート２２か
ら排出されて循環されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】放電の際にオゾンをよ
り効率的に発生させるために供給ガスに微量（数％）の
窒素を混入しているが、この窒素が、放電により酸素や
オゾンと反応してＮ２Ｏ ５を生成する。Ｎ２Ｏ５は３０
℃から４０℃では気体であるが、それ以下の温度では固
体となるため、タンク内のほぼ全域に付着し、電極のメ
ンテナンス等のためにタンクを開放すると、このＮ２Ｏ
５が空気中のＨ２Ｏと反応してＨＮＯ３（硝酸）を生成
し、金属部分を腐食するといった課題がある。
り効率的に発生させるために供給ガスに微量（数％）の
窒素を混入しているが、この窒素が、放電により酸素や
オゾンと反応してＮ２Ｏ ５を生成する。Ｎ２Ｏ５は３０
℃から４０℃では気体であるが、それ以下の温度では固
体となるため、タンク内のほぼ全域に付着し、電極のメ
ンテナンス等のためにタンクを開放すると、このＮ２Ｏ
５が空気中のＨ２Ｏと反応してＨＮＯ３（硝酸）を生成
し、金属部分を腐食するといった課題がある。
【０００９】本発明は、オゾン発生装置で、原料ガスに
窒素ガスを混合した場合でも、タンク内に硝酸等の有害
物質の発生や、オゾン発生装置の腐食を防止または抑制
することを目的とする。
窒素ガスを混合した場合でも、タンク内に硝酸等の有害
物質の発生や、オゾン発生装置の腐食を防止または抑制
することを目的とする。
【００１０】なお、オゾン発生装置の放電面等への硝酸
アンモニウム等の塩の付着を防止する技術について、特
開平６−９２０３号公報、特開平８−２１７４１１号公
報、特開平１１−１３９８１０号公報等に開示がある。
また、オゾン流量制御装置近傍へのＮ２Ｏ５の付着を防
止する技術について、特開平１０−３３８５０６号公報
に開示がある。しかし、これらはいずれも、上記本発明
の目的に沿うものでなく、したがって上記課題を解決す
るものでない。
アンモニウム等の塩の付着を防止する技術について、特
開平６−９２０３号公報、特開平８−２１７４１１号公
報、特開平１１−１３９８１０号公報等に開示がある。
また、オゾン流量制御装置近傍へのＮ２Ｏ５の付着を防
止する技術について、特開平１０−３３８５０６号公報
に開示がある。しかし、これらはいずれも、上記本発明
の目的に沿うものでなく、したがって上記課題を解決す
るものでない。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するものであって、請求項１の発明は、原料ガスを導入
するタンクと、このタンク内にあって前記原料ガス内で
放電を起こしてオゾンを発生させる放電部と、を有する
オゾン発生装置において、前記原料ガスは第１のガスを
含み、この第１のガスは常温で固化する第２のガスを生
成するものであり、前記オゾン発生装置は、前記放電が
生じているときに該放電部を冷却する冷却流体系統と、
前記タンク内部の温度を前記第２のガスが固化する温度
よりも高い温度にするための加熱流体系統と、前記冷却
流体系統および加熱流体系統を切り換える切り換え手段
と、を有すること、を特徴とする。
するものであって、請求項１の発明は、原料ガスを導入
するタンクと、このタンク内にあって前記原料ガス内で
放電を起こしてオゾンを発生させる放電部と、を有する
オゾン発生装置において、前記原料ガスは第１のガスを
含み、この第１のガスは常温で固化する第２のガスを生
成するものであり、前記オゾン発生装置は、前記放電が
生じているときに該放電部を冷却する冷却流体系統と、
前記タンク内部の温度を前記第２のガスが固化する温度
よりも高い温度にするための加熱流体系統と、前記冷却
流体系統および加熱流体系統を切り換える切り換え手段
と、を有すること、を特徴とする。
【００１２】請求項１の発明によれば、オゾン発生装置
のメンテナンス等のためにそのタンクを開放する際に、
タンク壁等に有害化合物を発生するのが防止または抑制
されるため、タンク壁の腐食を回避することが可能とな
る。また、冷却流体系統と加熱流体系統とを切り換えて
用いるので、比較的安価な装置とすることができる。
のメンテナンス等のためにそのタンクを開放する際に、
タンク壁等に有害化合物を発生するのが防止または抑制
されるため、タンク壁の腐食を回避することが可能とな
る。また、冷却流体系統と加熱流体系統とを切り換えて
用いるので、比較的安価な装置とすることができる。
【００１３】請求項２の発明は、請求項１に記載のオゾ
ン発生装置において、前記第１のガスはＮ２であり、前
記第２のガスはＮ２Ｏ５であって、前記加熱流体系統
は、前記タンク内部の温度を４０℃以上に保持するもの
であること、を特徴とする。請求項２の発明によれば、
請求項１のオゾン発生装置の原料ガスに窒素を含有させ
るときに特に有効である。
ン発生装置において、前記第１のガスはＮ２であり、前
記第２のガスはＮ２Ｏ５であって、前記加熱流体系統
は、前記タンク内部の温度を４０℃以上に保持するもの
であること、を特徴とする。請求項２の発明によれば、
請求項１のオゾン発生装置の原料ガスに窒素を含有させ
るときに特に有効である。
【００１４】請求項３の発明は、原料ガスを導入するタ
ンクと、このタンク内にあって前記原料ガス内で放電を
起こしてオゾンを発生させる放電部と、を有するオゾン
発生装置において、前記原料ガスは第１のガスを含み、
この第１のガスは常温で固化する第２のガスを生成する
ものであり、前記オゾン発生装置は、前記原料ガスが前
記タンクに導入される前にその原料ガスを前記第２のガ
スが固化する温度よりも高い温度に加熱する加熱手段を
有すること、を特徴とする。
ンクと、このタンク内にあって前記原料ガス内で放電を
起こしてオゾンを発生させる放電部と、を有するオゾン
発生装置において、前記原料ガスは第１のガスを含み、
この第１のガスは常温で固化する第２のガスを生成する
ものであり、前記オゾン発生装置は、前記原料ガスが前
記タンクに導入される前にその原料ガスを前記第２のガ
スが固化する温度よりも高い温度に加熱する加熱手段を
有すること、を特徴とする。
【００１５】請求項３の発明によれば、オゾン発生装置
のメンテナンス等のためにそのタンクを開放する際に、
タンク壁等に有害化合物を発生するのが防止または抑制
されるため、タンク壁の腐食を回避することが可能とな
る。また、原料ガスがタンクに導入される前にその原料
ガスを加熱するので、必ずしもタンクや放電部を改造し
なくともよく、構造が簡単になりうる。
のメンテナンス等のためにそのタンクを開放する際に、
タンク壁等に有害化合物を発生するのが防止または抑制
されるため、タンク壁の腐食を回避することが可能とな
る。また、原料ガスがタンクに導入される前にその原料
ガスを加熱するので、必ずしもタンクや放電部を改造し
なくともよく、構造が簡単になりうる。
【００１６】請求項４の発明は、原料ガスを導入するタ
ンクと、このタンク内にあって前記原料ガス内で放電を
起こしてオゾンを発生させる放電部と、を有するオゾン
発生装置において、前記原料ガスは第１のガスを含み、
この第１のガスは常温で固化する第２のガスを生成する
ものであり、前記オゾン発生装置は、前記タンクをその
外側から加熱して前記タンク内の温度を前記第２のガス
が固化する温度よりも高い温度に加熱する加熱手段を有
すること、を特徴とする。
ンクと、このタンク内にあって前記原料ガス内で放電を
起こしてオゾンを発生させる放電部と、を有するオゾン
発生装置において、前記原料ガスは第１のガスを含み、
この第１のガスは常温で固化する第２のガスを生成する
ものであり、前記オゾン発生装置は、前記タンクをその
外側から加熱して前記タンク内の温度を前記第２のガス
が固化する温度よりも高い温度に加熱する加熱手段を有
すること、を特徴とする。
【００１７】請求項４の発明によれば、オゾン発生装置
のメンテナンス等のためにそのタンクを開放する際に、
タンク壁等に有害化合物を発生するのが防止または抑制
されるため、タンク壁の腐食を回避することが可能とな
る。また、タンクの外側から加熱するので、既設の装置
の改造が容易である。
のメンテナンス等のためにそのタンクを開放する際に、
タンク壁等に有害化合物を発生するのが防止または抑制
されるため、タンク壁の腐食を回避することが可能とな
る。また、タンクの外側から加熱するので、既設の装置
の改造が容易である。
【００１８】請求項５の発明は、請求項３または４に記
載のオゾン発生装置において、前記第１のガスはＮ２で
あり、前記第２のガスはＮ２Ｏ５であって、前記加熱手
段は前記タンク内部の温度を４０℃以上に保持するもの
であること、を特徴とする。請求項５の発明によれば、
請求項３または４のオゾン発生装置の原料ガスに窒素を
含有させるときに特に有効である。
載のオゾン発生装置において、前記第１のガスはＮ２で
あり、前記第２のガスはＮ２Ｏ５であって、前記加熱手
段は前記タンク内部の温度を４０℃以上に保持するもの
であること、を特徴とする。請求項５の発明によれば、
請求項３または４のオゾン発生装置の原料ガスに窒素を
含有させるときに特に有効である。
【００１９】請求項６の発明は、請求項３、４または５
に記載のオゾン発生装置において、前記加熱手段は電熱
線を用いるものであること、を特徴とする。請求項６の
発明によれば、請求項３、４または５の発明の作用・効
果に加えて、加熱手段を、比較的簡単な構造で制御しや
すいものとできる。
に記載のオゾン発生装置において、前記加熱手段は電熱
線を用いるものであること、を特徴とする。請求項６の
発明によれば、請求項３、４または５の発明の作用・効
果に加えて、加熱手段を、比較的簡単な構造で制御しや
すいものとできる。
【００２０】請求項７の発明は、請求項３、４または５
に記載のオゾン発生装置において、前記加熱手段は温水
を熱源とする熱交換器を用いるものであること、を特徴
とする。請求項７の発明によれば、請求項３、４または
５の発明の作用・効果に加えて、加熱手段を、比較的安
価で制御しやすいものとできる。
に記載のオゾン発生装置において、前記加熱手段は温水
を熱源とする熱交換器を用いるものであること、を特徴
とする。請求項７の発明によれば、請求項３、４または
５の発明の作用・効果に加えて、加熱手段を、比較的安
価で制御しやすいものとできる。
【００２１】請求項８の発明は、原料ガスをタンク内に
導入する工程と、このタンク内の前記原料ガス内で放電
を起こしてオゾンを発生させるオゾン発生工程と、前記
オゾン発生工程の後に前記タンクを開放する開放工程
と、を有するオゾン発生装置取扱い方法において、前記
原料ガスは第１のガスを含み、この第１のガスは常温で
固化する第２のガスを生成するものであり、前記開放工
程の前に、前記タンク内部の温度を前記第２のガスが固
化する温度よりも高い温度にする加熱工程を有するこ
と、を特徴とする。
導入する工程と、このタンク内の前記原料ガス内で放電
を起こしてオゾンを発生させるオゾン発生工程と、前記
オゾン発生工程の後に前記タンクを開放する開放工程
と、を有するオゾン発生装置取扱い方法において、前記
原料ガスは第１のガスを含み、この第１のガスは常温で
固化する第２のガスを生成するものであり、前記開放工
程の前に、前記タンク内部の温度を前記第２のガスが固
化する温度よりも高い温度にする加熱工程を有するこ
と、を特徴とする。
【００２２】請求項８の発明によれば、オゾン発生装置
のメンテナンス等のためにそのタンクを開放する際に、
タンク壁等に有害化合物を発生するのが防止または抑制
されるため、タンク壁の腐食を回避することが可能とな
る。
のメンテナンス等のためにそのタンクを開放する際に、
タンク壁等に有害化合物を発生するのが防止または抑制
されるため、タンク壁の腐食を回避することが可能とな
る。
【００２３】請求項９の発明は、請求項８に記載のオゾ
ン発生装置取扱い方法において、前記第１のガスはＮ２
であり、前記第２のガスはＮ２Ｏ５であって、前記加熱
工程は、前記タンク内部の温度を４０℃以上にするもの
であること、を特徴とする。請求項９の発明によれば、
請求項８のオゾン発生装置取扱い方法で、原料ガスに窒
素を含有させるときに特に有効である。
ン発生装置取扱い方法において、前記第１のガスはＮ２
であり、前記第２のガスはＮ２Ｏ５であって、前記加熱
工程は、前記タンク内部の温度を４０℃以上にするもの
であること、を特徴とする。請求項９の発明によれば、
請求項８のオゾン発生装置取扱い方法で、原料ガスに窒
素を含有させるときに特に有効である。
【００２４】
【発明の実施形態】以下、図１ないし図３を参照しなが
ら本発明の実施の形態を説明する。ただし、従来の技術
と共通の部分または他の実施の形態と共通の部分には共
通の符号を付して、重複説明を適宜省略する。
ら本発明の実施の形態を説明する。ただし、従来の技術
と共通の部分または他の実施の形態と共通の部分には共
通の符号を付して、重複説明を適宜省略する。
【００２５】［第１の実施の形態］図１は、本発明によ
るオゾン発生装置の第１の実施の形態を示す。図１で、
タンク１内には、電極２とこれに隣接する冷却体３が設
けられている。タンク１外には原料ガス供給装置６があ
って、原料ガスをタンク１内に供給できるようになって
いる。
るオゾン発生装置の第１の実施の形態を示す。図１で、
タンク１内には、電極２とこれに隣接する冷却体３が設
けられている。タンク１外には原料ガス供給装置６があ
って、原料ガスをタンク１内に供給できるようになって
いる。
【００２６】冷却体３には、タンク１外から冷水を供給
して循環する冷却水循環装置４が接続されている。ま
た、タンク１外には温水装置７もあって、切り換え弁８
の切り換えにより、冷水の代わりに温水装置７の温水
が、冷却体３に供給できるようになっている。タンク１
の内壁部の数個所と冷却体３には温度センサ５が取り付
けられており、タンク１外に設置された温度制御盤９
で、温度センサ５位置の温度を測定できるようになって
いる。
して循環する冷却水循環装置４が接続されている。ま
た、タンク１外には温水装置７もあって、切り換え弁８
の切り換えにより、冷水の代わりに温水装置７の温水
が、冷却体３に供給できるようになっている。タンク１
の内壁部の数個所と冷却体３には温度センサ５が取り付
けられており、タンク１外に設置された温度制御盤９
で、温度センサ５位置の温度を測定できるようになって
いる。
【００２７】この装置で、オゾン発生時は、電極２の放
電によりタンク１内へ封入された酸素よりオゾンを得
る。オゾン発生中は冷却水循環装置４より一定量の冷却
水を冷却体３へ流し、冷却体３と冷却体に密着した電極
２を冷却している。タンク１内には原料ガス供給装置６
から少量の窒素が送り込まれ、放電によりオゾン以外に
Ｎ２Ｏ５を発生し、タンク１内のタンク壁や冷却体３等
の金属部に固体の状態で付着する。
電によりタンク１内へ封入された酸素よりオゾンを得
る。オゾン発生中は冷却水循環装置４より一定量の冷却
水を冷却体３へ流し、冷却体３と冷却体に密着した電極
２を冷却している。タンク１内には原料ガス供給装置６
から少量の窒素が送り込まれ、放電によりオゾン以外に
Ｎ２Ｏ５を発生し、タンク１内のタンク壁や冷却体３等
の金属部に固体の状態で付着する。
【００２８】メンテナンス等のためにタンク１を開放す
る場合は、タンク１を開ける前に次の操作を行う。すな
わち、オゾン発生を停止した後に、冷却体３への水を切
り替える弁８を切り替え、温水装置７から、温度が４０
℃以上に調節された温水を冷却体３へ流す。その間、冷
却体３やタンク壁に複数取り付けられた温度センサ５で
各部の温度を測定し、各部の温度測定結果が４０℃以上
に保たれているかどうかを温度制御盤９で監視し、温度
が一定時間４０℃以上に保たれるように切換弁８を制御
する。一定時間各部の温度が４０℃以上に保たれたこと
を確認した後に、温度制御盤９が開放ＯＫのサインを出
す。
る場合は、タンク１を開ける前に次の操作を行う。すな
わち、オゾン発生を停止した後に、冷却体３への水を切
り替える弁８を切り替え、温水装置７から、温度が４０
℃以上に調節された温水を冷却体３へ流す。その間、冷
却体３やタンク壁に複数取り付けられた温度センサ５で
各部の温度を測定し、各部の温度測定結果が４０℃以上
に保たれているかどうかを温度制御盤９で監視し、温度
が一定時間４０℃以上に保たれるように切換弁８を制御
する。一定時間各部の温度が４０℃以上に保たれたこと
を確認した後に、温度制御盤９が開放ＯＫのサインを出
す。
【００２９】タンク内温度を４０℃以上に一定時間保つ
ことにより、タンク１内金属部に付着したＮ２Ｏ５は４
０℃で昇華して気体となるため、タンク１を開放したと
きに、気体となったＮ２Ｏ５が大気中に拡散し、タンク
内で硝酸を生成することなく金属部の腐食は防げる。
ことにより、タンク１内金属部に付着したＮ２Ｏ５は４
０℃で昇華して気体となるため、タンク１を開放したと
きに、気体となったＮ２Ｏ５が大気中に拡散し、タンク
内で硝酸を生成することなく金属部の腐食は防げる。
【００３０】［第２の実施の形態］図２を用いて第２の
実施の形態を説明する。図２で、原料ガス供給装置６と
タンク１の間に加熱装置１０が配置されている。加熱装
置１０の構造としては、電熱線でも良いし、また、温水
や蒸気等の高温流体を用いた熱交換器でもよい。オゾン
発生時は、加熱装置１０は動作せず、原料ガス供給装置
６から提供された原料ガスは加熱されることなくタンク
１へ流入する。
実施の形態を説明する。図２で、原料ガス供給装置６と
タンク１の間に加熱装置１０が配置されている。加熱装
置１０の構造としては、電熱線でも良いし、また、温水
や蒸気等の高温流体を用いた熱交換器でもよい。オゾン
発生時は、加熱装置１０は動作せず、原料ガス供給装置
６から提供された原料ガスは加熱されることなくタンク
１へ流入する。
【００３１】メンテナンス等のためにタンク１を開放す
る場合は、タンク１を開ける前に次の操作を行う。すな
わち、オゾン発生を停止した後に、加熱装置１０によっ
て、タンク１内へ供給するガスの温度を４０℃以上に暖
め、オゾン発生装置の温度を４０℃以上に保つ。タンク
１内の複数個所に取り付けられた温度センサ５に基づい
て、タンク内温度を４０℃以上に一定時間保つよう温度
制御盤９で給ガス温度制御、温度監視を行いタンク開放
判定を行う。一定時間各部の温度が４０℃以上になって
いることが確認されたら、温度制御盤９がタンク開放Ｏ
Ｋのサインを出す。
る場合は、タンク１を開ける前に次の操作を行う。すな
わち、オゾン発生を停止した後に、加熱装置１０によっ
て、タンク１内へ供給するガスの温度を４０℃以上に暖
め、オゾン発生装置の温度を４０℃以上に保つ。タンク
１内の複数個所に取り付けられた温度センサ５に基づい
て、タンク内温度を４０℃以上に一定時間保つよう温度
制御盤９で給ガス温度制御、温度監視を行いタンク開放
判定を行う。一定時間各部の温度が４０℃以上になって
いることが確認されたら、温度制御盤９がタンク開放Ｏ
Ｋのサインを出す。
【００３２】タンク内温度を４０℃以上に一定時間保つ
ことにより、タンク１内金属部に付着したＮ２Ｏ５は４
０℃で昇華して気体となるため、タンク１を開放しても
タンク内で硝酸を生成することなく、金属部の腐食は防
げる。
ことにより、タンク１内金属部に付着したＮ２Ｏ５は４
０℃で昇華して気体となるため、タンク１を開放しても
タンク内で硝酸を生成することなく、金属部の腐食は防
げる。
【００３３】［第３の実施の形態］図３を用いて第３の
実施の形態を説明する。図３で、タンク１の外側にヒー
タ２８が巻かれている。ヒータ２８の構造としては、電
熱線でも良いし、また、温水や蒸気等の高温流体を用い
た熱交換器でもよい。この装置で、オゾン発生時はヒー
タ２８による加熱は行わない。
実施の形態を説明する。図３で、タンク１の外側にヒー
タ２８が巻かれている。ヒータ２８の構造としては、電
熱線でも良いし、また、温水や蒸気等の高温流体を用い
た熱交換器でもよい。この装置で、オゾン発生時はヒー
タ２８による加熱は行わない。
【００３４】メンテナンス等のためにタンク１を開放す
る場合は、タンク１を開ける前に次の操作を行う。すな
わち、オゾン発生を停止した後に、ヒータ２８によりタ
ンク１を加熱し、タンク１内の温度を４０℃以上に暖め
て、オゾン発生装置の温度を４０℃以上に保つ。タンク
１内の複数個所に取り付けられた温度センサ５に基づい
て、タンク１内の各部が４０℃以上であるかどうかの判
断を温度制御盤９にて行い、一定時間各部温度が４０℃
以上になるようにヒータコントローラ２７を制御する。
一定時間各部温度が４０℃以上になったことが確認され
たら温度制御盤９がタンク開放ＯＫのサインを出す。
る場合は、タンク１を開ける前に次の操作を行う。すな
わち、オゾン発生を停止した後に、ヒータ２８によりタ
ンク１を加熱し、タンク１内の温度を４０℃以上に暖め
て、オゾン発生装置の温度を４０℃以上に保つ。タンク
１内の複数個所に取り付けられた温度センサ５に基づい
て、タンク１内の各部が４０℃以上であるかどうかの判
断を温度制御盤９にて行い、一定時間各部温度が４０℃
以上になるようにヒータコントローラ２７を制御する。
一定時間各部温度が４０℃以上になったことが確認され
たら温度制御盤９がタンク開放ＯＫのサインを出す。
【００３５】タンク内温度を４０℃以上に一定時間保つ
ことにより、タンク１内金属部に付着したＮ２Ｏ５は４
０℃で昇華して気体となるため、タンク１を開放しても
タンク内で硝酸を生成することなく金属部の腐食は防げ
る。
ことにより、タンク１内金属部に付着したＮ２Ｏ５は４
０℃で昇華して気体となるため、タンク１を開放しても
タンク内で硝酸を生成することなく金属部の腐食は防げ
る。
【００３６】
【発明の効果】本発明によれば、オゾン発生装置のメン
テナンス等のためにそのタンクを開放する際に、タンク
壁等に有害化合物を発生するのが防止または抑制され、
タンク壁の腐食を回避することが可能となる。
テナンス等のためにそのタンクを開放する際に、タンク
壁等に有害化合物を発生するのが防止または抑制され、
タンク壁の腐食を回避することが可能となる。
【図１】本発明に係るオゾン発生装置の第１の実施の形
態を示す模式的系統図。
態を示す模式的系統図。
【図２】本発明に係るオゾン発生装置の第２の実施の形
態を示す模式的系統図。
態を示す模式的系統図。
【図３】本発明に係るオゾン発生装置の第３の実施の形
態を示す模式的系統図。
態を示す模式的系統図。
【図４】従来のオゾン発生装置の模式的平面図。
【図５】図４のオゾン発生装置の模式的立断面図。
１…タンク、２…電極、３…冷却体、４…冷却水循環装
置、５…温度センサ、６…原料ガス供給装置、７…温水
装置、８…切換弁、９…温度制御盤、１０…加熱装置、
１１ａ、ｂ…電極板、１２…原料ガス、１３…供給口、
１４…排出口、１５…電源、１６…給電部、１９…誘電
材、２０…放電空間、２１…冷却水入り口ポート、２２
…冷却水出口ポート、２３…冷却水室、２４…冷却水、
２６…オゾン排出口、２７…ヒータコントローラ、２８
…ヒータ、２９…仕切り板。
置、５…温度センサ、６…原料ガス供給装置、７…温水
装置、８…切換弁、９…温度制御盤、１０…加熱装置、
１１ａ、ｂ…電極板、１２…原料ガス、１３…供給口、
１４…排出口、１５…電源、１６…給電部、１９…誘電
材、２０…放電空間、２１…冷却水入り口ポート、２２
…冷却水出口ポート、２３…冷却水室、２４…冷却水、
２６…オゾン排出口、２７…ヒータコントローラ、２８
…ヒータ、２９…仕切り板。
Claims (9)
- 【請求項１】 原料ガスを導入するタンクと、このタン
ク内にあって前記原料ガス内で放電を起こしてオゾンを
発生させる放電部と、を有するオゾン発生装置におい
て、 前記原料ガスは第１のガスを含み、この第１のガスは常
温で固化する第２のガスを生成するものであり、 前記オゾン発生装置は、前記放電が生じているときに該
放電部を冷却する冷却流体系統と、前記タンク内部の温
度を前記第２のガスが固化する温度よりも高い温度にす
るための加熱流体系統と、前記冷却流体系統および加熱
流体系統を切り換える切り換え手段と、を有すること、 を特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載のオゾン発生装置におい
て、前記第１のガスはＮ２であり、前記第２のガスはＮ
２Ｏ５であって、前記加熱流体系統は、前記タンク内部
の温度を４０℃以上に保持するものであること、を特徴
とするオゾン発生装置。 - 【請求項３】 原料ガスを導入するタンクと、このタン
ク内にあって前記原料ガス内で放電を起こしてオゾンを
発生させる放電部と、を有するオゾン発生装置におい
て、 前記原料ガスは第１のガスを含み、この第１のガスは常
温で固化する第２のガスを生成するものであり、 前記オゾン発生装置は、前記原料ガスが前記タンクに導
入される前にその原料ガスを前記第２のガスが固化する
温度よりも高い温度に加熱する加熱手段を有すること、 を特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項４】 原料ガスを導入するタンクと、このタン
ク内にあって前記原料ガス内で放電を起こしてオゾンを
発生させる放電部と、を有するオゾン発生装置におい
て、 前記原料ガスは第１のガスを含み、この第１のガスは常
温で固化する第２のガスを生成するものであり、 前記オゾン発生装置は、前記タンクをその外側から加熱
して前記タンク内の温度を前記第２のガスが固化する温
度よりも高い温度に加熱する加熱手段を有すること、 を特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項５】 請求項３または４に記載のオゾン発生装
置において、前記第１のガスはＮ２であり、前記第２の
ガスはＮ２Ｏ５であって、前記加熱手段は前記タンク内
部の温度を４０℃以上に保持するものであること、を特
徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項６】 請求項３、４または５に記載のオゾン発
生装置において、前記加熱手段は電熱線を用いるもので
あること、を特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項７】 請求項３、４または５に記載のオゾン発
生装置において、前記加熱手段は温水を熱源とする熱交
換器を用いるものであること、を特徴とするオゾン発生
装置。 - 【請求項８】 原料ガスをタンク内に導入する工程と、
このタンク内の前記原料ガス内で放電を起こしてオゾン
を発生させるオゾン発生工程と、前記オゾン発生工程の
後に前記タンクを開放する開放工程と、を有するオゾン
発生装置取扱い方法において、 前記原料ガスは第１のガスを含み、この第１のガスは常
温で固化する第２のガスを生成するものであり、 前記開放工程の前に、前記タンク内部の温度を前記第２
のガスが固化する温度よりも高い温度にする加熱工程を
有すること、 を特徴とするオゾン発生装置取扱い方法。 - 【請求項９】 請求項８に記載のオゾン発生装置取扱い
方法において、前記第１のガスはＮ２であり、前記第２
のガスはＮ２Ｏ５であって、前記加熱工程は、前記タン
ク内部の温度を４０℃以上にするものであること、を特
徴とするオゾン発生装置取扱い方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001063464A JP2002265204A (ja) | 2001-03-07 | 2001-03-07 | オゾン発生装置およびその取扱い方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001063464A JP2002265204A (ja) | 2001-03-07 | 2001-03-07 | オゾン発生装置およびその取扱い方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002265204A true JP2002265204A (ja) | 2002-09-18 |
Family
ID=18922456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001063464A Pending JP2002265204A (ja) | 2001-03-07 | 2001-03-07 | オゾン発生装置およびその取扱い方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002265204A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013150819A1 (ja) | 2012-04-05 | 2013-10-10 | 三菱電機株式会社 | オゾン発生システムおよびオゾン発生方法 |
| US10221068B2 (en) | 2014-06-27 | 2019-03-05 | Mitsubishi Electric Corporation | Ozone generating system and operation method thereof |
| US10544045B2 (en) | 2014-09-22 | 2020-01-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Ozone generation system and method for operating same |
-
2001
- 2001-03-07 JP JP2001063464A patent/JP2002265204A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013150819A1 (ja) | 2012-04-05 | 2013-10-10 | 三菱電機株式会社 | オゾン発生システムおよびオゾン発生方法 |
| CN104144874A (zh) * | 2012-04-05 | 2014-11-12 | 三菱电机株式会社 | 臭氧产生机构以及臭氧产生方法 |
| EP2835347A4 (en) * | 2012-04-05 | 2015-12-09 | Mitsubishi Electric Corp | OZONE GENERATOR SYSTEM AND ASSOCIATED METHOD |
| CN104144874B (zh) * | 2012-04-05 | 2016-04-27 | 三菱电机株式会社 | 臭氧产生机构以及臭氧产生方法 |
| US9371229B2 (en) | 2012-04-05 | 2016-06-21 | Mitsubishi Electric Corporation | Ozone-generating system and ozone generation method |
| US10221068B2 (en) | 2014-06-27 | 2019-03-05 | Mitsubishi Electric Corporation | Ozone generating system and operation method thereof |
| US10544045B2 (en) | 2014-09-22 | 2020-01-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Ozone generation system and method for operating same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5620957B2 (ja) | 電気化学的酸素発生システム | |
| CA2869291C (en) | Ozone-generating system and ozone generation method | |
| JP2002265204A (ja) | オゾン発生装置およびその取扱い方法 | |
| CA2953302C (en) | Ozone generating system and operation method thereof | |
| JP2006017357A (ja) | 熱処理装置 | |
| JPS6157222A (ja) | ハロゲンを含有する有害物質を浄化する装置 | |
| JP2004097650A (ja) | 脱臭器 | |
| JP4542871B2 (ja) | ガス処理装置 | |
| US6735233B2 (en) | Gas discharge laser with means for removing gas impurities | |
| JP2001170664A5 (ja) | ||
| JP2005246256A (ja) | オゾン熱分解装置 | |
| JPH10156168A (ja) | 間欠オゾン供給装置 | |
| US10544045B2 (en) | Ozone generation system and method for operating same | |
| JP4117446B2 (ja) | オゾン水供給装置 | |
| JP3804229B2 (ja) | オゾナイザ | |
| JPH11169663A (ja) | 高温腐食性ガス体の除害装置及び除害方法 | |
| JP2009028630A (ja) | 塗料温度の調整方法、およびこの方法に用いられる塗料温度調整装置 | |
| KR100479708B1 (ko) | 콘덴서 제조용 화성조의 열풍 송풍 장치 | |
| KR200222044Y1 (ko) | 오존발생기 | |
| RU2235060C2 (ru) | Способ получения озона | |
| JPH01160807A (ja) | オゾン発生装置及びオゾン発生方法 | |
| JP2007007330A (ja) | 空気清浄機 | |
| JP2000072412A (ja) | オゾナイザ | |
| JPS60103624A (ja) | 加熱処理方法 | |
| Neubrand | Dealing with gases: A converter for explosive gas mixtures |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060817 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070228 |