JP2002260395A - メモリセル、特にマルチレベル不揮発性メモリセルの動的読取り方法および回路 - Google Patents

メモリセル、特にマルチレベル不揮発性メモリセルの動的読取り方法および回路

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JP2002260395A
JP2002260395A JP2002006591A JP2002006591A JP2002260395A JP 2002260395 A JP2002260395 A JP 2002260395A JP 2002006591 A JP2002006591 A JP 2002006591A JP 2002006591 A JP2002006591 A JP 2002006591A JP 2002260395 A JP2002260395 A JP 2002260395A
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memory cell
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ジョバンニ・カンパルド
Rino Micheloni
リノ・ミケローニ
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 微小であってもセル電流が存在しさえすれば
適正に作動し、マルチレベルメモリセルを読みとる方法
および回路を提供する。 【解決手段】 メモリセルを読む方法は容量性エレメン
トによってメモリセルに供給される電流の時間積分に基
づく。容量性エレメントは最初に充電され、その後で、
事前設定された時間内に線形放出される。この期間中、
メモリセルは一定電圧でバイアスされた状態にある。第
1作動モードにおいては、最初に第1キャパシタ(2
2)及び第2キャパシタ(23)がそれぞれ第1充電値
および第2充電値に充電される。第2キャパシタは当該
メモリセルを経て事前決定された時間内に一定電流で放
電され、第1充電は第1キャパシタと第2キャパシタの
間で分割され、その後で、分割された電荷が測定され
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はメモリセル、詳細に
はマルチレベル不揮発性メモリセルの動的読取り回路お
よび動的読取り方法に関する。
【0002】
【従来の技術】周知のように、ますます大きい密度の不
揮発性メモリの必要性はマルチレベルメモリの製造を促
し、浮動ゲート領域における帯電量として記憶される情
報はエントラップされた電荷をフラクションすることに
よってコード化される。この場合、マルチレベルフラッ
シュセルの特性はドレーン電流Idsのパターンをゲー
ト電圧Vgsの関数として表す幾つかの曲線によって示
され、各曲線はそれぞれ異なる論理値に関連する。例え
ば、しきい値電圧Vt1、Vt2、Vt3、Vt4に対
応するビット「11」、「10」、「01」、「00」
を記憶する4レベル(2ビット)フラッシュセルの特性
を図1に示す。
【0003】実際には、複数のメモリセルを有するメモ
リアレイに関する特性は1つの単一直線によって表すこ
とは不可能であり、図2及び3に示すように、それらを
相互に区別するに十分な量だけ間隔を保った振幅の種々
異なる分布体を形成する。この場合、図2はセル1つ当
たり2ビットで構成されるフラッシュセルのアレイ(配
列体)に関するしきい値電圧の分布を示し、図3はこれ
らに対応する特性の分布を示す。
【0004】マルチレベルセルの読取りは電流または電
圧を評価することによって実施される。
【0005】電流読取りは、図3に示すように、プリセ
ットされたゲート電圧Vgsにおいてセル内を流れる電
流とその特性がプログラムされたセルの分布の中間に相
当する標準セル内を流れる電流の比較に基づく。比較
は、セルの電流と標準電流の両方について電流から電圧
への変換を行った後で実施される。電流読取りは電流を
吸収するセルを必要とするので、セルの制御ゲート端子
に印加される読取り電圧Vrは、少なくとも最後のしき
い値電圧よりも更に高くなくてはならない(4レベルの
場合にはVt3より高い)。
【0006】
【本発明が解決しようとする課題】電流読取りには多数
の問題がある。それらの主要な原因の幾つかを次に示
す。すなわち、 ・ 分布「11」に属するセルにとって、また、電流吸
収が大きいので、望ましくない電圧降下の原因となり、
ひいてはセルの利得変動の原因となるセルの電源抵抗、 ・ 上記と類似の影響を及ぼす原因であるドレーン接触
抵抗、 ・ 新規製作プロセスにおいて、重要性がますます増加
する金属接続抵抗、および ・ カラムデコーダのパストランジスタに起因する抵
抗。
【0007】結果として、全体的に電流の変動範囲を減
少させる。従って、電流から電圧への変換後に電圧を比
較するコンパレータの感度は更に大きくなくてはならな
い。更に、実際の特性は、図4に示すように理想的な特
性とは異なる。実際には、配列体セルにおける実際のプ
ロットと理想的プロットとの間の差は、セルによって吸
収される電流が大きくなればなる程大きくなる。標準セ
ルは上述の寄生的な影響を最小限化するように設計可能
であるが、これらセルの特性はこれと同じ方法では修正
されない。
【0008】例えば、利得が20μA/Vのセルについ
て考察することとすれば、0.5Vで消去されるセルに
おいて、ゲート電圧Vr=6Vにおける吸収電流は11
0μAであるが、このセルのしきい値電圧が5.5Vで
あれば、その吸収電流は10μAである。
【0009】これらの条件下において、理想的な電流変
動範囲は100μAであり、各標準電流と最も近接した
セルの電流との間の差は10μAであるが、これらのし
きい値電圧の差は0.5Vである。実際の変動範囲は寄
生効果によって減少し、一般に約20μAである。この
種の効果を補償するために、セル曲線と標準曲線との差
は、一般に、最小差が6〜8μAになるように最適化さ
れる。ただし、これは、相互に非常に近似した特性を区
別することが困難であるために、1つの単一セル内に記
憶可能なレベル数を制限する。
【0010】実際には、1つの単一メモリセル内に4ビ
ットが記憶されるものと仮定する。特性を含む電圧範囲
は、信頼性および操作の問題に関して、読取り電圧Vr
=6Vにおいて、2ビットの場合(0.5Vから6.5
Vの間)と同じ状態に維持される。
【0011】説明を簡素化するために、変動範囲が10
0μAであり、等間隔をもつ16個の分布体であるもの
と仮定する。これらの条件において、分布体およびその
次の分布体からの距離の幅の和は7μA未満である。各
分布体の振幅を分布体間の差に等しく設定すると、各分
布体の幅は3.5μAであり、隣接分布体との差は3.
5μAであり、2つの分布体の間の標準特性は相互に
1.75μAの差をもつように設定される。現実の条件
としては、コンパレータの感度は約1μAでなければな
らない。
【0012】要するに、1つのセル当たり複数のビット
を持つマルチレベルセルの読取りは複雑になる。
【0013】前述の問題を克服するために、STMicroele
ctronics Srlに譲渡済みの米国特許第6,034,88
8号は閉ループ回路を用いる電圧読み取り方法を提案し
ている(図5参照)。この回路においては、読取られる
べきセルの電流が標準電流と比較され、当該セルのゲー
ト電圧はシステムの均衡に到達するまで調節される。そ
れにより、セルのゲート電圧は当該セルのしきい値とし
て画定可能な値に達する。
【0014】ただし、当該セルのゲート端子上の電圧読
取りを可能にするA/Dコンバータが必要であること、
及び、行は複数のセルに共用され、異なる電圧値を共用
できないので一時に複数セルの読取りが可能でないとい
う拘束条件があるために前記の解決方法も問題解決には
至らない。
【0015】前述の問題を解決するために考案された解
決方法は更に他の欠点を包含し(読取り時間の増加と更
に大きい対象部位)、いずれにせよ、非常に小さい電流
を識別する能力が必要である。他方、セル寸法の縮小を
含む新規技術は解決方法が直線性の損失を決定する寄生
効果の軽減方法として知られている場合であってもセル
電流の減少へと導く。
【0016】実際に、新規セルは、特性が平行に維持さ
れ得る場合であっても更に小さい電流で作動する。
【0017】
【課題を解決するための手段】本発明の一実施形態は、
小さくてもセル電流が存在すれば適正に作動し、マルチ
レベルメモリセルを読みとる方法および回路を提供す
る。
【0018】実際には、本発明は、読み取られるべきメ
モリセルに供給される電荷を、容量性エレメントの充電
ステップまたは放電ステップを介して、時間積分するこ
とに基づく。
【0019】
【発明の実施の形態】本発明の更に良好な理解を目的と
して、添付図面を参照しながら、単に限定しない例を提
供するために、以下、本発明の好ましい実施の形態につ
いて説明する。
【0020】図6において、電流供給源(ソース)10
は、以後接地線19と称する接地線または接続部と電荷
転送ノード11との間に接続され、かつ第1制御信号s
を受信する制御ノード10aを備える。電流ソース10
は、第1制御信号sによって作動可能化された時に、接
地線19に向けられた一定の電流Iを吸収する。電荷転
送ノード11は、結合解除ステージ21と、キャパシタ
ンスCaを持つ第1キャパシタ22と、キャパシタンス
Cbを持つ第2キャパシタ23とを有する読取り回路2
0に接続される。
【0021】詳細には、「カスコード」として知られて
いる回路によって形成される結合解除ステージ21は、
電荷転送ノード11に接続された入力およびNMOSタ
イプのカスコードトランジスタ25のゲート端子に接続
された出力を備えた、ここではインバータ24である反
転エレメントを有する。カスコードトランジスタ25
は、更に、電荷転送ノード11に接続されたソース端子
およびNMOSタイプのパストランジスタ27のドレー
ン端子に接続されたドレーン端子を備える。パストラン
ジスタ27は、第2制御信号Vpを受信するゲート端子
および電荷積分ノード28に接続されたドレーン端子を
備える。
【0022】第1キャパシタ22は、電荷積分28に接
続された第1端子22aおよび接地線19に接続された
第2端子22bを備える。電荷積分ノード28はPMO
Sタイプの充電トランジスタ29のドレーン端子に接続
される。充電トランジスタ29は、電源電圧Vddに設
定された電源線30に接続されたソース端子および充電
可能化信号enを受信するゲート端子を備える。
【0023】最後に、電荷積分ノード28は読取り回路
20の出力を形成し、以下に説明するように、電流ソー
ス10内を流れる電流Iに比例する電圧Vaを生成す
る。電圧Vbは電荷転送ノード11上に存在する。
【0024】本発明の第1の実施形態による、図6の回
路の動作を次に示す(図7aも参照)。
【0025】初めに、電荷ノード28および電荷転送ノ
ード11上の電圧Va及びVbはローである。第1制御
信号sは電流ソース10をオフ状態に維持する。更に、
電荷作動化信号enはローであり、充電トランジスタ2
9をオン状態に維持する。第2制御信号Vpはハイであ
り、パストランジスタ27をオンに維持する。この状態
において、インバータ24の出力はハイであり、カスコ
ードトランジスタ25はオンであって、第2キャパシタ
23をインバータ24のしきい値電圧まで充電すること
を作動可能化する。電荷転送ノード11上の電圧Vbが
インバータ24のトリガ電圧に達すると、直ちに、後者
が切り替わり、カスコードトランジスタ25をオフに
し、第2キャパシタ23の充電を中断する。更に、第1
キャパシタ22は電源電圧(即ちVa=Vdd)まで充
電する。
【0026】充電の終点における定常状態条件下におい
て、次に示す関係が成立する。
【0027】
【数1】
【0028】ここで、Vaiは充電段階の終点における電
圧Vaの値であり、Qaiは第1キャパシタ22に蓄えら
れた電荷であり、Vbiは充電段階の終点における電圧V
bの値であり、Qbiは第2番キャパシタ23に蓄えられ
た電荷である。
【0029】瞬間t1において、充電可能化信号enは
ハイ状態(Vdd)にスイッチし、充電−可能にするス
イッチで充電トランジスタ29をオフにする(このよう
にして、第1キャパシタ22を電源線30から隔離す
る)。次に(瞬間t2)において、第2制御信号Vpは
ローにスイッチし、パストランジスタ27をオフにする
(それによって、電荷転送ノード11と電荷積分ノード
28を隔離する)。最後に、(瞬間t3)において、第
1制御信号sはスイッチし、電流ソース10をオンにす
る。この場合、第2キャパシタ23が電流過渡現象によ
って影響されないように、第1近似を用いて、無視でき
る程度の短時間に定常状態になる。
【0030】従って、第2キャパシタ23は直線的に放
電し、電荷転送ノード11を介して電流ソース10へ一
定電流Iを供給する。瞬間t4において、制御信号sが
再びスイッチし、電流ソース10をオフして、放電段階
を中断する。実際には、電流ソース10がオン状態であ
る時の時間間隔がΔt=t4−t3であれば、ΔVbは
時間間隔Δt中における電荷転送ノード11上の電圧変
動であり、ΔQbは電流ソース10に供給される電荷、
即ち第2キャパシタ23によって失われる電荷であるの
で、次式が得られる。
【0031】
【数2】
【0032】例えば、Ca=0.5pF、及び、Cb=5
pFであれば、第2キャパシタ23の放電が行われる時
の時間間隔Δtは60nsecである。
【0033】次に(瞬間t5)、第2制御信号Vpが再
びハイにスイッチし、パストランジスタ27をオン状態
にして、結合解除段階21を介して、電荷積分ノード2
8と電荷転送ノード11を一緒に接続する。従って、第
1キャパシタ22は第2キャパシタ23へ急速に放電
し、後者によって失われた電荷を電荷共用プロセスに従
って再積分する。実際には、第1キャパシタ22は電荷
リザーバ(蓄積器)として機能する。ただし、電荷積分
ノード28と電荷転送ノード11は同じ電位を帯びるこ
とはない。事実、結合解除段階21は電荷転送ノード1
1がインバータ24のトリガ電圧値にのみ到達すること
を可能にし、その後でインバータ24がカスコードトラ
ンジスタ25をオン状態にし、従って、電荷転送ノード
11から電荷積分ノード28をも一度隔離する。その代
りに、電荷積分ノード28は、第2キャパシタ23と第
1キャパシタ22との間を容量的に共有する(電荷共有
段階)ことによって与えられる電圧値Vafになる。
【0034】最後に、定常状態において、第1キャパシ
タ22上の最終電圧はVafに等しく、第1キャパシタ2
2の最終電荷はQafに等しく、第1キャパシタ22から
第2キャパシタ23に転送される電荷は第1キャパシタ
によって失われた電荷ΔQbに等しいΔQaである(初期
状態に復帰済み)。従って、次式が得られる。
【0035】
【数3】
【0036】従って、
【0037】
【数4】
【0038】実際には、電荷積分ノード28上の最終電
圧Vaと電流源10によって吸収される電流との間には
線形関係が存在する。従って、事前設定された時限(積
分時間At)内に電流源10によって吸収される電流を
積分することにより、電荷積分ノード28上の電圧Va
は電流Iに比例することとなる。従って、積分時間Δt
およびキャパシタンスCaを適切にサイズ決定(サイジ
ング)することによって、電流Iの値は、非常に小さく
ても、現行電流回路によって読取り可能な振幅を持つ電
圧値(電圧Va)に変換可能である。
【0039】更に、電流源10の電流変動ΔIによって
生成される電荷積分ノード28上の電圧Vaの変動ΔV
aは方程式(1)から算定可能である。実際には、方程
式(1)から次式が得られる。
【0040】
【数5】
【0041】比較式(2)は、電荷積分ノード28上に
おいて得られる可能性のある電圧差ΔVaを測定するこ
とにより、相互間の非常に小さい電流変動を区別するこ
とが可能である。
【0042】例えば、Δt=50nsに設定した状態
で、電流変動ΔI=1μAを生じさせるために100m
Vの変動ΔVaが望ましい場合にが、次式が得られる。
【0043】
【数6】
【0044】電荷転送ノード11上の電圧Vbを最大電
流5μAに対して50ns中に0.5Vだけ低下させる
ことが望ましい場合には(概略的に電流源10によって
表されるメモリセルに関する変動範囲の最大値であるも
のと仮定される)、次式が得られる。
【0045】
【数7】
【0046】次に、このサイジングを用いると、電流源
10の電流Iが1μAだけ変動する毎に、電荷積分ノー
ド28上の電圧Vaは100mVだけ変化し、この変化
は何等問題なしに検出可能である。
【0047】本発明の第2の実施の形態によれば、電流
源10(ひいては、メモリセル)を流れる電流の測定は
動的に実施される。実際には、以上の記述において、第
1キャパシタ22によって第2キャパシタ23へ蓄積し
直される(リストアされる)電荷は放電ステップにおい
て第2キャパシタ23によって失われる電荷に等しいこ
とに留意されたい。次に、電流源10へ転送される電荷
は第1キャパシタ22によって直接供給され得る。
【0048】詳細には、この場合における読取り回路2
0の動作は次のようである(共通した瞬間を7aの場合
と同じ添字によって示す図7bのタイミングダイアグラ
ムも参照)。初期充電段階(瞬間t1まで)の後で、電
荷可能化信号enがハイ状態に切り替わる。次に、パス
トランジスタ27がオフ状態にされることなしに(従っ
て、第2制御信号Vpはハイに維持されたままで)、電
圧源10がオンされる(瞬間t3)。この状況におい
て、第1キャパシタ22によって電流源10へ供給され
る電流は明らかに電流Iに等しく、かつ図7aに示す充
電分割ステップにおける初期状態に戻すために第1キャ
パシタ22によって第2キャパシタ23へ供給されるべ
き電流と同じである。この状況において、第2キャパシ
タ23は無効力である、時限Δtの端末部において、電
荷積分ノード28上の電圧Vaの値は前記の電圧が充電
分割ステップの端末部における電圧値に等しい。
【0049】図6の電流源10を実現し、メモリセル3
6を有する回路35を図8に示す。
【0050】詳細には、メモリセル36、特に例えばフ
ラッシュセルなどの不揮発性メモリセルは接地線19
と、行デコーダ39を介して読取り電圧Vrでバイアス
された端子36b(概略的に示す)と、単に概略的に示
される列デコーダに属する復号用トランジスタ37所属
の電源端子に接続されたドレーン端子36cとに接続さ
れた電源端子36aを有する。読取り電圧Vrは、一般
に、例えば6Vである電源電圧Vddに等しい。
【0051】復号用トランジスタ37は列作動化信号V
yoを受け取るゲート端子37a及び被制御可能なカス
コード回路によって実現されるバイアス回路40を介し
て電荷転送ノード11に接続されたドレーン端子37b
を有する。
【0052】詳細には、バイアス回路40はNORゲー
ト41及び減結合トランジスタ42を有する。NORゲ
ート41は、電源入れ信号csmを受け取る第1入力
と、復号用トランジスタ37のドレーン端子37bに接
続された第2入力と、減結合トランジスタ42のゲート
端子に接続された出力とを有する。NMOSタイプの減
結合トランジスタ42は復号用トランジスタ37のドレ
ーン端子37bに接続された電源端子および電荷転送ノ
ード11に接続されたドレーン端子を有する。
【0053】図8は、更に、メモリセル36及び図6の
第2キャパシタ23に接続されたビット線と連携したキ
ャパシタンスを表す列キャパシタ45を示す。
【0054】図8(図9も参照)の回路35において、
メモリセル36のゲート端子36aは初めに読取り電圧
Vr(例えば6V)でバイアスされる。ゲート端子36
bが定常状態値に達した(電流フラッシュメモリでは数
十ナノセカンドを必要とする)後に限り列作動化信号V
yoが0Vからハイの値(図9の例では3V)にスイッ
チし、それによって、数ナノセカンド内に復号用トラン
ジスタ37をオン状態にする。
【0055】この段階において、オンにする信号csm
はローであり、バイアス回路40を作動可能化する。カ
スコード構造である後者は復号用トランジスタ37のド
レーン端子37b上の電圧を一定に維持し、ひいては、
メモリセル36のドレーン端子36c上の電圧V1も一
定値、即ち同様に図9に示すようにほぼ1Vに維持す
る。これらの状態において、メモリセル36は一定電流
を吸収し、列作動化信号Vyoがハイ状態を維持する限
り第2キャパシタ23は線形状に放電する(図9参
照)。従って、回路35は定電流源として効果的に機能
し、電源10に等価であり、メモリセル36を流れる電
流はIであって、更に、実際には、列作動化信号Vyo
は図6の第1制御信号sを実現する。
【0056】従って、異なる記憶レベルを電荷転送ノー
ド28上の検出可能電圧Vaの各値、ひいては、メモリ
セル34を流れる電流Iの各値と関連付けることによっ
て、各セル内に多数のビットを記憶することが可能であ
ることは明白である。同じ方法は、あらゆる場合に、2
レベルメモリセル用として読み取り時間を短縮するため
にのために使用可能である。
【0057】図10は、出力電圧Vaの変動範囲を更に
低い値、例えば−Vdd/2から+Vdd/2までの間
にシフトするように作動する読取り回路50を示す。こ
こで、Vddは第1キャパシタ22を充電するために用
いられる電源電圧である。読取り回路50がVddより
低い第2電源電圧Vccから出発して充電ポンプ回路
(図示せず)によって生成される第1電源電圧Vddに
おいて供給されるときに、これは特に有利である図10
の読取り回路50において、図6の読取り回路20の場
合と同じ構成要素は同じ参照番号によって表示される。
次に、図6の読取り回路20の場合と同様に、図10の
読取り回路50は電流源10と、第1キャパシタ22
と、第2キャパシタ23と、減結合ステージ21と、パ
ストランジスタ27と、充電トランジスタ29とを有す
る。
【0058】図10の実施形態において、NMOSタイ
プの負荷トランジスタ51は電荷転送ノード11とカス
コードトランジスタ25の電源端子との間に接続され、
第2電源電圧Vccに設定された第2電源線54に接続
されたゲート端子を備え、従って、常にオン状態にあ
る。負荷トランジスタ51は列デコーダの負荷をシミュ
レートする。減結合ステージ21は反転エレメントとし
てNORゲート52を有する。負荷トランジスタ51の
ドレーン端子に接続された第1入力、及び、第3制御信
号csを受け取り、かつ第2電源電圧Vccにおいて供
給される第2入力を備える。
【0059】PMOSタイプの補助トランジスタ53は
電荷積分ノード28と充電トランジスタ29のドレーン
端子の間に接続される。接地線19に接続され、従って
常時オン状態にあるゲート端子を備えた補助トランジス
タ53は、充電トランジスタ29がオフ状態にある時
に、第1キャパシタ22と充電可能化信号enとの間の
結合を減少させる。
【0060】ここに、第1キャパシタ22は、電荷転送
ノード28に接続された第1端子22aおよびシフトノ
ード55に接続され、電圧Vcに設定された第2端子2
2bを有する。シフトノード55は、接地線19または
例えば−Vccに等しい負電圧Vnegに設定された負
電圧ノード56に交互に接続される。詳細には、第1シ
フトトランジスタ58及び第2シフトトランジスタ59
はシフトノード55と接地線19との間に直列接続され
る。第3シフトトランジスタ60はシフトノード55と
負電圧ノード56との間に接続される。3個全てのシフ
トトランジスタ58〜60はNMOSタイプであって、
負電圧ノード56に接続されたバルク端子を備える。シ
フトトランジスタ58〜60は第1キャパシタ22と共
にシフチングステージ61を形成する。
【0061】第1シフトトランジスタ58(カスコード
トランジスタとして機能する)は接地線19に接続され
た電源端子と、第2測定バイアシング信号en1を受け
取るゲート端子と、第2シフトトランジスタ59の電源
端子へ接続されたそのドレーン端子とを有する。第2シ
フトトランジスタ59は第2電源線54に接続されたゲ
ート端子およびシフトノード55に接続されたドレーン
端子を有する。
【0062】第3シフトトランジスタ60はシフトノー
ド55に接続されたドレーン端子と、負電圧ノード56
に接続された電源端子と、シフトバイアシング信号en
2を受け取るゲート端子とを有する。
【0063】電流源10、第2キャパシタ23、減結合
ステージ21、パストランジスタ27、充電トランジス
タ29、負荷トランジスタ51、及び、補助トランジス
タ53は主ステージ62を形成する。
【0064】パストランジスタ27は負電圧ノード56
に接続されたバルク端子を有する。充電トランジスタ2
9および補助トランジスタ56は第1電源線30に接続
されたバルク端子を有する。
【0065】読取り回路50において、エンドスケール
値が50μA(上記で検討済みであるように)である場
合に、電流源10の電流Iの1μA毎の各変動値に関し
て電圧Vaが電荷積分ノード28上の電圧Vaの100
mVの変動に対応する5Vの電圧変動範囲を持つように
第1電源電圧Vddは6Vであることが好ましい。
【0066】読取り回路50の動作を以下に説明する
(図11も参照、ここに、図7aの場合と共通の瞬間は
同じ添字によって表示される)。
【0067】最初は、第3制御信号csおよび充電可能
化信号enは0Vである。バイアス測定信号en1はV
ccであり、バイアスシフト信号en2は−Vccであ
る。従って、減結合ステージ21が作動可能化され、充
電トランジスタ29がオン状態であり、第1キャパシタ
22の第2端子は接地に設定される。第2制御信号Vp
(図11には図示されず)のスイッチングの後で、測定
キャパシタ22及び放電キャパシタ23は図7aの場合
と同様に充電される。
【0068】瞬間t0において、第3制御信号csがハ
イ(即ちVcc)にスイッチし、減結合ステージ21を
作動不能にする。次に(瞬間t1において)、充電可能
化信号enがハイ(即ちVdd)にスイッチし、充電ト
ランジスタ29をオフ状態にする。第1制御信号sのス
イッチング(この場合にも、図11には図示せず)、お
よび、結果としての電流源10の活動化の後で、後者
(電流源)は電流Iを吸収する(図示されるように、メ
モリセルによって吸収される電流に等しく、その値はセ
ル時限t3〜t4のプログラミング電圧に依存する)。
【0069】次に(瞬間t6において)、第3制御信号
csが再びロー状態(0V)へスイッチし、減結合ステ
ージ21を再作動可能化する。信号Vpがハイにスイッ
チされ(図示されない方法において)、充電分割ステッ
プが作動化され、ひいては、図7aに示すように、電荷
積分ノード28上の電圧Vaが方程式(1)によって与
えられる値まで低下する。
【0070】充電分割ステップの末端部において(瞬間
t7)、第3制御信号csがハイ状態に再びスイッチ
し、減結合ステージ21をオフにし、電流源10を隔離
する。次に(瞬間t8において)、バイアス測定信号e
n1スイッチがロー(0V)にスイッチし、第2シフト
トランジスタ59をオフにして、シフトノード55を接
地線19から隔離する。次に(瞬間t9において)、バ
イアスシフト信号en2がハイ(即ちVcc)にスイッ
チし、シフトノード55に接続する第3シフトトランジ
スタ60をオンし、ひいては、第1キャパシタ22の第
2端子22bを負電圧Vnegにスイッチし、電圧変動
範囲シフトステップを活動可能化する。
【0071】従って、第1キャパシタ22の第2端子2
2bが接地電圧(0V)から負電圧Vnegにシフトさ
れる。更に、電荷保存に起因して、図12のシミュレー
ションにも(部分的に)示すように、1μAから50μ
Aまで1μAの段階的に変化する電流Iの値に関して電
荷積分ノード28上の電圧VaもVnegに等しい値だ
け低下する。
【0072】実際には、第2キャパシタ23との充電分
割に関して0Vから6Vまでの間である電荷積分ノード
28上の電圧Vaの変動範囲は−3Vから+3Vまでの
間である。
【0073】図13は、図6の読取り回路20の出力
に、従って、電荷積分ノード28上の電圧Vaをシフト
することなしに接続可能であるコンバータ回路65を示
す。従って、電圧Vaの変動範囲はVdd(2Vccに
等しい)から約0Vまでの間で変動する。
【0074】図13は図6の読取り回路20の第1キャ
パシタ22のみを示し、第1キャパシタ22の第2端子
22bは(図6の場合と同様に、直接接続される代り
に)バイアシングスイッチ66を介して接地線19に接
続される。ここに、バイアシングスイッチ66は、接地
に接続された電源端子、第1キャパシタ22の第2端子
22bに接続されたドレーン端子、及び、インバータ6
8を介してブースト制御ノード67に接続されたゲート
端子を有するNMOSトランジスタによって実現され
る。
【0075】電荷転送ノード28はコンパレータ70の
非反転入力へ接続される。更に、コンパレータ70は、
Vaの変動範囲の1/2に等しい(従って、Vccに等
しい)比較電圧V2を受け取る反転入力、V2(例えば
4V)より大きい電圧を受け取る第1電源入力、及び、
接地線19に接続された第2電源入力を有する。コンパ
レータ70の出力70aは外部と直接利用可能であり、
A/D変換の最上位ビットを表す論理信号MSBを供給
する。コンパレータ70の出力70aは、相互に反対の
第4信号s1及び第5信号s1nがそれぞれ供給される
第1出力71a及び第2出力71bを有するラッチスイ
ッチ71に接続される。
【0076】更に、電荷転送ノード28は、並列接続さ
れた第1および第2制御スイッチ74,75を介してA
/Dコンバータ73の入力73aに接続される。第1制
御スイッチ74は第4の制御信号s1によって制御さ
れ、第2制御スイッチ74は第5制御スイッチs1nに
よって制御されるので、これらのスイッチは一時に一度
だけ閉じられる。A/Dコンバータ73は0VとVcc
との間に含まれるアナログ電圧を変換し、出力73b上
に事前設定された精度に対応するディジタル信号を供給
する。
【0077】ラッチスイッチ71の第2出力7は、作動
ステップに従って、ブースト作動可能化ノード67を接
地線19またはラッチコンバータ71の第2出力71b
へ接続する第1作動可能化回路72へ接続される。図に
示す例において、第1作動可能化回路72は、変換回路
65の他の構成部材に同様に(図示されない方法におい
て)供給されるシフト作動可能化信号en3によって制
御われる転換スイッチ72aを有する。ブースト作動可
能化ノード67は、電圧シフト回路77(詳細には図示
されず)を介してNMOSタイプの第1ブーストトラン
ジスタ76のドレーン端子へ接続される。更に、第1ブ
ーストトランジスタ76は、第1キャパシタ22の第2
端子22bに接続されるドレーン端子および−Vcc
(ここでは、−3V)のブースト電圧Vboostを受
け取る電源端子を有する。第1ブーストトランジスタ7
6及びバイアシングスイッチ66を実現するNMOSト
ランジスタのウェル端子は、不完全な動作を防止するた
めに、公知の一方法により、適切に接続される。
【0078】コンバータ回路65の動作を次に示す。初
めに、読取り回路20の充電、放電、及び、充電分割ス
テップの期間中、コンバータ回路65は非活動状態にあ
り(シフト作動可能化信号en3の結果として)、ブー
スト作動可能化ノード67はロー論理電圧であって、イ
ンバータ68及び電圧シフチング回路77を介して、バ
イアシングスイッチ66を閉じた状態に、また、第1ブ
ーストトランジスタ76をオフ状態に維持する。
【0079】充電分割ステップの終端において、シフト
作動可能化信号en3がスイッチし、ラッチスイッチ7
1の第2出力71bをブースト作動可能化ノード67に
接続し、変換回路65を作動可能化する。次に、コンパ
レータ70は電荷転送ノード28上の電圧Vaと電圧V
2を比較し、電圧Vaが電圧V2より高いか又は低いか
に従って、出力70a上に、ハイ論理値(Vccに等し
い)か又はロー論理値(0Vに等しい)かの論理信号M
SBを生成する。次に、ラッチスイッチ71は、第4制
御信号s1および第5制御信号s1nを生成する。精確
には、論理信号MSBがロー(Va<V2)ならば、第
4制御信号s1はハイであり、第5制御信号s1nはロ
ーであるが、これに反して、論理信号MSBがハイ(V
a>V2)ならば、第4制御信号s1はローであり、第
5制御信号s1nはハイである。
【0080】前者の場合(s1=1;s1n=0;電圧
Vaが平均値未満)、第1制御スイッチ74は閉じら
れ、第2制御スイッチ75は開いたままに保たれ、その
結果、A/D変換器73には電荷転送ノード28上の電
圧Vaが直接供給され、論理信号MSBと共に、電荷転
送ノード28上の電圧Vaのデジタル変換に等価である
nビット出力信号0を構成するデジタル信号を即座に出
力可能である。更に、ラッチスイッチ71の第2出力7
1b上のロー信号はバイアシングスイッチ66を閉じた
状態に維持し、第1ブーストトランジスタ76をオフ状
態にする。
【0081】後者の場合(s1=0;s1n=1;電圧
Vaが平均値以上)、第1制御スイッチ74は開いた状
態に維持され、第2制御スイッチ75は閉じられる。更
に、ラッチスイッチ71の第2出力71b上のハイ信号
はバイアシングスイッチ66をオフにし、および第1ブ
ーストトランジスタ76をオンする。従って、ブースト
電圧Vboostは第1キャパシタ22の第2端子22
bに供給され、図10のシフトテップの場合と同様に電
荷転送ノード28上の電圧Vaを下方シフトさせる。次
に、電圧Vaは0Vから3Vの間に戻され、第2制御ス
イッチ75を介してA/Dコンバータ73に供給され
る。このステップにおいて、適切な制御信号がコンパレ
ータ70を作動不能にする。従って、この場合にも、A
/Dコンバータ73の出力73b上のデジタル信号は、
論理信号MSBと共にデジタル出力信号0を形成する。
【0082】図14は、図10の読取り回路50の出力
に接続可能な変換回路80および何時電圧Vaが電荷積
分ノード28へシフトされるかを示す。従って、電圧V
aの変動範囲はVccから―Vccまでである。
【0083】図14は、図10の読取り回路50の第1
キャパシタ22のみを示す。この図において、図13の
変換回路65の場合と同じ構成成分は同じ参照番号によ
って示される。
【0084】図14において、コンパレータ70の反転
入力は接地接続される。更に、コンパレータ70は、V
ccに設定された第2電源線54に接続された第1電源
入力、及び、低い値の負電圧、例えば−1Vに接続され
た第2電源入力を備える。
【0085】ラッチスイッチ71の第2出力71bは、
第2作動可能化回路82を介して、PMOSタイプの第
2ブーストトランジスタ83のゲート端子へ接続され
る。第2作動可能化回路82は、第2ブーストトランジ
スタ83のゲート端子を、作動ステップに従って、Vc
cに設定された第2電源線54又はラッチスイッチ71
の第2出力71bに接続する機能を有する。図に示す例
において、第2作動可能化回路82はインバータ82a
及びシフト可能化信号en3によって制御される転換ス
イッチ82bを有する。この場合、前記信号は(図示さ
れない方法において)変換回路80の他の構成部材にも
供給される。
【0086】第2ブーストトランジスタ83は、第2電
源線54に接続された電源端子およびシフトノード55
に接続されたドレーン端子を備える。
【0087】図10はシフトトランジスタ58〜60は
示さない。ただし、バイアシングスイッチ66と同様
に、かつ以下に更に詳しく説明するように、これらのシ
フトトランジスタは第2ブーストトランジスタ83の干
渉によりオフ常置になるように制御される。
【0088】最後に、分離スイッチ90が電荷転送ノー
ド28と第1キャパシタ22の第1端子22aとの間に
結合される。例えば全CMOSパストランジスタによっ
て形成される分離スイッチ90はシフト作動可能化信号
en3によって制御され、変換ステップに際して、読取
り回路50の残りの部分から第1キャパシタ22を分離
する。
【0089】図14の変換回路80の動作を以下に説明
する。
【0090】初めに、読取り回路50の電荷、放電、お
よび、充電分割ステップに際して、スイッチ90が閉じ
られ、変換回路80が活動不能化され(シフト作動可能
化信号en3の結果)、第2ブーストトランジスタ83
のゲート端子上の電圧Vccが第2ブーストトランジス
タ83をオフ状態に維持する。
【0091】充電分割ステップの終点において、シフト
作動可能化信号en3がスイッチし、スイッチ90を開
き、ラッチスイッチ71の第2出力71bを第2ブース
トトランジスタ83のゲート端子に接続し、変換回路8
0を作動可能にする。次に、コンパレータ70は 電荷
転送ノード28上の電圧Vaを接地電位と比較し、出力
70a上に、電圧Vaが0Vより高いか又は低いかに従
って、ハイ論理値(Vccに等しい)又はロー論理値
(0Vに等しい)の論理信号MSBを生成する。この場
合、論理信号MSBがハイであるか(Va>0V)、そ
の逆であるかに応じて、ラッチスイッチ71は第4制御
信号s1に対するハイ論理値を、第5制御信号s1nに
対するロー論理値を生成する。
【0092】電圧Vaが正(プラス)である(s1=
1;s1n=0)とき、第1制御スイッチ74が閉じら
れ、第2制御スイッチ75が開かれて、その結果、A/
D変換器73は電荷転送ノード28上の電圧Vaの供給
を直接受け、出力73b上にデジタル信号を即座に生成
可能であり、前記デジタル信号は論理信号MSBと共
に、電荷転送ノード28上の電圧Vaのデジタル変換値
に等価のnビット出力信号0を構成する。ラッチスイッ
チ71の第2出力71b上のロー信号は第2ブーストト
ランジスタ83をオフにする。
【0093】電圧Vaが負である(s1=0;s1n=
1)とき、第1制御スイッチ74が開かれ、第2制御ス
イッチ75が閉じられる。更に、ラッチスイッチ71の
第2出力71b上のハイ信号が第2ブーストトランジス
タ83をオンにする(そして、図示されていないシフト
トランジスタ58〜60をオフにする)。次に、電圧V
ccが第1キャパシタ22の第2端子22bに供給さ
れ、電荷転送ノード28上の電圧Vaを上方シフトさせ
る。従って、電圧Vaは0Vから3Vの間の値に戻さ
れ、第2制御スイッチ75を介してA/Dコンバータ7
3に供給される。
【0094】上述した場合の代替として、第2トランジ
スタ83が無くても差し支えなく、論理信号MSBを生
成した後で、シフトトランジスタ58〜60は、−Vc
cに対応するシフト操作を排除するような方法で制御可
能である。
【0095】ここで記述する読取り方法および回路の利
点を以下に説明する。先ず、メモリセルに供給される電
荷を時間積分すれば、当該メモリセルを流れる電流を測
定することによっては直接的に殆ど検出不可能な電気量
(メモリセル内電流)に関係する動的事象を何等の困難
なしに測定可能な量(電圧Va)に変換可能である。
【0096】これは、メモリセル電流を検出可能な他の
回路に移すための電流ミラーを一切必要とすることなし
に求められる。この方法において、次元的変化と連結し
た問題を回避すること、および、メモリセル電流の転送
経路上に寄生的構成成分が存在することは可能であり、
これは、マイクロアンペアオーダの電流および非常に短
い評価時間(100nsのオーダ)に関して、評価困難
な効果、従って巨視的誤差を生成する。
【0097】特に、本方法は短距離間隔に設定された多
数の電圧レベルを記憶するマルチレベルセルの読取りを
作動可能化する。
【0098】最後に、ここに記述および解説された読取
り方法および回路に多数の修正および改変を施すことが
可能であること、及び、これら全ての修正および改変が
添付特許請求項の範囲に定義された本発明の範囲の中に
含まれることは明瞭である。特に、揮発性または不揮発
性メモリセル、例えばフラッシュ及び2レベル又はマル
チレベルタイプのメモリセルであるかどうかに拘わら
ず、ここに記述された方法は異なるタイプのメモリセル
を読み取ることに使用可能である。メモリセルに供給さ
れ、かつ一層容易に測定可能な量に変換するために積分
される電流Iは、第2キャパシタ23の放電(または、
種々の変動範囲において、第1キャパシタ22の放電)
による代わりに当該メモリセルに適切に接続すられた容
量性エレメントの充電によって供給されることが可能な
はずである。
【0099】更に、減結合回路21は異なる方法、即
ち、一般に、事前設定されたバイアス電圧をカスコード
トランジスタ25に供給することにより、従って反転エ
レメント24を除去することにより作成可能である。こ
の場合、前期の事前設定されたバイアス電圧は、当該メ
モリセル(ドレーン端子)に接続されたその端子上の電
圧Vbに従ってこのトランジスタの導電率を調節する。
特定の実施の形態においては、パストランジスタ27は
無くても差し支えない。
【図面の簡単な説明】
【図1】2ビットフラッシュメモリセルの電流電圧特性
を示す図である。
【図2】2ビットフラッシュメモリセルのしきい値電圧
の分布を示す図である。
【図3】電流読み取り方法用の2ビットフラッシュメモ
リセルおよび標準セルの特性の分布を示す図である。
【図4】寄生効果による図1の理想特性の修正を示す図
である。
【図5】電圧読み取り方法用の既知の回路を示す図であ
る。
【図6】本発明による読取り回路の第1実施形態の簡素
化された電気結線図である。
【図7a】図6の回路の第1タイミングダイアグラムを
示す図である。
【図7b】図6の回路の第2タイミングダイアグラムを
示す図である。
【図8】図6の読取り回路を用いて読取り可能なメモリ
セルを有する回路の電気結線図である。
【図9】図8の回路に関するシミュレーションにおいて
求められた電気量のプロットを示す図である。
【図10】本発明による読取り回路の第2の実施形態の
電気結線図である。
【図11】図10の回路のタイミングダイアグラムを示
す図である。
【図12】図10の読取り回路に関するシミュレーショ
ンにおいて求められた電気量のプロットを示す図であ
る。
【図13】図6による読取り回路と共に使用可能な変換
回路の第1の実施形態の簡素化された回路図である。
【図14】図10による読取り回路と共に使用可能な変
換回路の第2の実施形態の簡素化された回路図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 リノ・ミケローニ イタリア国、22078 ツラーテ、ヴィア・ ルイーニ、11 Fターム(参考) 5B025 AD05 AE08

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 メモリセルの読取り方法であって、 容量性エレメントを介して前記メモリセルに電流を供給
    するステップと、 前記電流を時間積分するステップとを含むことを特徴と
    する方法。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の方法であって、 電流供給および時間積分する前記ステップが事前設定さ
    れた時間内に前記容量性エレメントを線形放電するステ
    ップを含むことを特徴とするメモリセルの読取り方法。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の方法であって、 電流を供給する前記ステップが前記メモリセルを一定電
    圧にバイアスするステップを含むことを特徴とするメモ
    リセルの読取り方法。
  4. 【請求項4】 請求項1に記載の方法であって、 更に、第1および第2のキャパシタをそれぞれ第1およ
    び第2充電値に充電するステップと、 前記第2キャパシタを事前設定された時間内に前記メモ
    リセルを介して一定電流で放電するステップと、 前記第1電荷を前記第1キャパシタと前記第2キャパシ
    タの間で分割するステップと、 分割した電気電荷を測定するステップとを含むことを特
    徴とするメモリセルの読取り方法。
  5. 【請求項5】 請求項1に記載の方法であって、 第1キャパシタを第1電荷値まで充電するステップと、 前記第1キャパシタを事前設定された時間内に前記メモ
    リセルを介して一定電流で放電するステップと、 前記第1キャパシタによって前記メモリセルへ供給され
    た電荷を測定するステップとを含むことを特徴とするメ
    モリセルの読取り方法。
  6. 【請求項6】 請求項5に記載の方法であって、 測定する前記ステップが前記第1キャパシタ上に存在す
    る電圧を検出するステップを含むことを特徴とするメモ
    リセルの読取り方法。
  7. 【請求項7】 請求項6に記載の方法であって、 更に前記第1キャパシタ上に存在する前記電圧をシフト
    するステップを含むことを特徴とするメモリセルの読取
    り方法。
  8. 【請求項8】 メモリセルの読取り装置であって、 容量性エレメントと、 前記容量性エレメントを前記メモリセルへ接続し、かつ
    一定電流を前記メモリセルに供給する接続バイアス手段
    と、 前記電流を時間内に積分する積分手段とを有することを
    特徴とする装置。
  9. 【請求項9】 請求項8記載の装置であって、 前記積分手段が事前設定された時間に亙り前記メモリセ
    ルを活動化する活動化手段と、前記容量性エレメントの
    電圧を測定する測定手段とを有することを特徴とするメ
    モリセルの読取り装置。
  10. 【請求項10】 請求項8に記載の装置であって、 前記容量性エレメントが第1および第2キャパシタを有
    し、更に前記装置が電源供給線と、前記第1キャパシタ
    と前記電源供給線との間に接続された第1スイッチング
    手段と、前記第1キャパシタと前記第2キャパシタの間
    に接続された第2スイッチング手段と、前記メモリセル
    と前記第2キャパシタの間に接続された一定電圧バイア
    シング回路と、前記第1キャパシタ上の電圧を検出する
    電圧検出手段とを有することを特徴とするメモリセルの
    読取り装置。
  11. 【請求項11】 請求項10に記載の装置であって、 前記第1キャパシタが第1および第2端子を有し、前記
    第2キャパシタが端子を有し、前記第1スイッチング手
    段が、前記第1キャパシタの前記第1端子と前記電源供
    給線との間に接続され、前記第2スイッチング手段が、
    前記第1キャパシタの前記第1端子と前記第2キャパシ
    タの前記端子との間に接続され、前記一定電圧バイアシ
    ング回路が前記メモリセルと前記第2キャパシタの前記
    端子との間に接続され、前記検出手段が前記第1キャパ
    シタの前記第1端子に接続されることを特徴とするメモ
    リセルの読取り装置。
  12. 【請求項12】 請求項11に記載の装置であって、 前記第2スイッチング手段がカスコードテージを有する
    ことを特徴とするメモリセルの読取り装置。
  13. 【請求項13】 請求項12に記載の装置であって、 前記カスコードステージにおいて、第1端子、第2端子
    および制御端子を備えた第1トランジスタを有し、前記
    第1端子が前記第1キャパシタの前記第1端子に接続さ
    れ、前記第2端子が前記第2キャパシタの前記端子に接
    続され、 前記カスコードステージにおいて、少なくとも1つの入
    力および1つの出力を備えた反転エレメントを有し、前
    記入力が前記第2キャパシタの前記端に接続され、前記
    出力が前記第1トランジスタの前記制御端子に接続され
    ることを特徴とするメモリセルの読取り装置。
  14. 【請求項14】 請求項11記載の装置であって、 前記一定電圧バイアシング回路が前記メモリセルと前記
    第2キャパシタの前記端子との間に接続されるカスコー
    ドステージを有することを特徴とするメモリセルの読取
    り装置。
  15. 【請求項15】 請求項14に記載の装置であって、 前記カスコードステージにおいて、 第1端子、第2端子および制御端子を備えた第2トラン
    ジスタを有し、前記第1端子が前記第2キャパシタの前
    記端子に接続され、前記第2端子が前記メモリセルに接
    続され、 少なくとも1つの入力および1つの出力を備えた反転エ
    レメントを有し、前記入力が前記メモリセルに接続さ
    れ、前記出力が前記第2トランジスタの前記制御端子に
    接続されることを特徴とするメモリセルの読取り装置。
  16. 【請求項16】 請求項11に記載の装置であって、 更に、標準電位ノード及びシフト電圧ノードを有し、前
    記シフト電圧ノードが前記標準電圧ノードより低い位電
    に設定され、前記第1キャパシタの前記第2端子が前記
    標準電位ノード及び交互に作動化される第1シフチング
    スイッチ及び第2シフチングスイッチを介して前記シフ
    ト電圧ノードにそれぞれ接続されることを特徴とするメ
    モリセルの読取り装置。
  17. 【請求項17】 請求項11に記載の装置であって、 前記第1キャパシタの前記第1端子に接続された第1入
    力と標準電圧を受け取る第2入力と出力とを備えたコン
    パレータと、スイッチング手段を介して前記第1キャパ
    シタの前記第1端子に接続されたA/D変換器と、前記
    第1キャパシタの前記第2端子に接続された第1端子と
    ブースト電圧へ接続された第2端子と前記コンパレータ
    の前記出力に接続された制御端子とを備えたブーストト
    ランジスタとを有することを特徴とするメモリセルの読
    取り装置。
  18. 【請求項18】 メモリセルの読取り装置であって、 放電しながら前記メモリセルに電流を供給するように構
    成された容量性エレメントと、 前記メモリセルに供給される電流に比例するセンス電圧
    を感知するように構成された電圧感知回路と、 前記容量性エレメントに接続され、前記メモリセルと前
    記電圧感知回路との間に接続された積分スイッチとを有
    し、前記積分スイッチが前記電圧感知回路へ結合された
    第1導通端子と前記メモリセルへ結合された第2導通端
    子と前記第2導通端子に結合された制御端子とを備える
    ことを特徴とするメモリセルの読取り装置。
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